KR20170041604A - 소결 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따르면, 저면부, 상기 저면부의 평면에 대하여 수직으로 연장된 측벽 및, 상기 저면부에 하부 표면에 형성된 스페이서를 구비한 용기; 상기 용기의 스페이서가 지지되는 상부 표면, 상기 상부 표면의 가장자리를 따라서 연장된 테두리면 및, 구멍을 구비하는 받침대; 상면부 및, 상기 상면부의 평면에 대하여 수직으로 연장된 측벽을 구비하는 용기 챔버로서, 상기 용기 챔버의 측벽에는 제 1 내표면 및 제 2 내표면이 형성되고, 상기 용기 챔버가 상기 용기를 덮을 때 상기 용기 챔버의 측벽의 제 1 내표면과 상기 용기의 측벽의 외표면 사이에 가스 통과 공간이 형성되는, 용기 챔버; 상기 용기의 저면부상에 배치되는 저면부 및, 상기 저면부의 평면으로부터 수직으로 연장되는 측벽을 가지며, 상부가 개방된, 세라믹 플레이트; 및, 상기 용기의 측벽과 상기 세라믹 플레이트의 측벽 사이에 개재되는 산화 억제용 링으로서, 상기 산화 억제용 링의 외표면은 상기 용기의 측벽 내표면으로부터 이격되는 산화 억제용 링;을 구비하는, 소결 장치가 제공된다.

Description

소결 장치{SINTERING DEVICE}

본 발명은 소결 장치에 관한 것으로서, 특히 소결 장치내에서 소결되는 소프트 메탈의 산화를 억제할 수 있도록 티타늄 또는 티타늄 합금 재료의 실린더를 구비하는 소결 장치에 관한 것이다. 또한 본 발명은 용기 받침대에 놓이는 용기를 별도의 용기 커버를 이용하지 않고도 용기 챔버로 간편하게 밀폐할 수 있는 소결 장치에 관한 것이다.

종래의 소결장치는 용기 받침대, 용기 받침대에 놓이는 용기, 소결하기 위해 용기에 넣어진 소프트 메탈(soft metal)을 밀폐하는 용기 커버, 용기와 용기 받침대를 커버하는 용기 챔버로 구성된다.

이와 같은 선행기술의 일예로서 독일 공개특허 제DE102012100631호의 소결장치(sintering apparatus)가 2013년 07월 25일자로 공개되어 있다.

용기 받침대는 소프트 메탈을 소정 온도로 소결시키도록 아르곤(Ar) 가스 공급구멍과 용기 챔버에서 유해가스를 배출하는 배출구멍이 각각 형성된다.

그러나 이와 같은 종래의 소결장치는 다수의 부품으로 구성되어 조립 분리 시간이 많이 소요되는 단점이 있다.

따라서 조립이 간편하게 이루어질 수 있는 조립 장치가 필요한 실정이다.

독일 공개특허 제DE102012100631호 (2013년 07월 25일 공개)

본 발명의 목적은 용기 받침대에 놓이는 용기를 별도의 용기 커버를 이용하지 않고도 용기를 용기 챔버로 간편하게 밀폐할 수 있는 소결장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 용기 챔버로 공급되는 아르곤 가스(argon gas)와 용기 챔버(chamber) 외부로 유해가스가 신속히 배출되게 조절할 수 있는 소결 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 공기에 포함된 산소에 의한 소프트 메탈의 산화가 억제될 수 있는 소결 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면,

저면부, 상기 저면부의 평면에 대하여 수직으로 연장된 측벽 및, 상기 저면부에 하부 표면에 형성된 스페이서를 구비한 용기;

상기 용기의 스페이서가 지지되는 상부 표면, 상기 상부 표면의 가장자리를 따라서 연장된 테두리면 및, 구멍을 구비하는 받침대;

상면부 및, 상기 상면부의 평면에 대하여 수직으로 연장된 측벽을 구비하는 용기 챔버로서, 상기 용기 챔버의 측벽에는 제 1 내표면 및 제 2 내표면이 형성되고, 상기 용기 챔버가 상기 용기를 덮을 때 상기 용기 챔버의 측벽의 제 1 내표면과 상기 용기의 측벽의 외표면 사이에 가스 통과 공간이 형성되는, 용기 챔버;

상기 용기의 저면부상에 배치되는 저면부 및, 상기 저면부의 평면으로부터 수직으로 연장되는 측벽을 가지며, 상부가 개방된, 세라믹 플레이트; 및,

상기 용기의 측벽과 상기 세라믹 플레이트의 측벽 사이에 개재되는 산화 억제용 링으로서, 상기 산화 억제용 링의 외표면은 상기 용기의 측벽 내표면으로부터 이격되는 산화 억제용 링;을 구비하는, 소결 장치가 제공된다.

본 발명의 일 특징에 따르면, 상기 세라믹 플레이트에는 상기 세라믹 플레이트의 공간을 분할하는 하나 이상의 격벽이 형성된다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 세라믹 플레이트의 내부에는 산화 억제용 시트가 배치된다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 산화 억제용 링 및 상기 산화 억제용 시트는 티타늄 또는 티타늄 합금 재료로 만들어진다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 용기 챔버의 측벽의 제 1 내표면으로부터 직각으로 연장된 하부 지지면은 상기 받침대의 테두리면상에 지지되고,

상기 용기 챔버의 측벽의 제 2 내표면으로부터 직각으로 연장된 중간 지지면은 상기 용기의 측벽의 상부 표면에 지지되고,

상기 용기 챔버의 제 1 내표면과 중간 지지면 사이에는 고리형의 간극부가 형성됨으로써, 상기 용기 챔버가 상기 용기를 덮은 상태에서, 상기 간극부는 상기 가스 통과 공간으로부터 연장된 공간을 형성한다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 저면부의 구멍, 상기 용기의 저면부의 하부 표면과 상기 받침대의 상부 표면 사이에서 상기 스페이서에 의해 이격된 공간, 상기 용기의 측벽의 외부 표면과 상기 용기 챔버의 측벽의 제 1 내표면 사이의 가스 통과 공간 및, 상기 산화 억제용 링의 외표면이 상기 용기의 측벽 내표면으로부터 이격됨으로써 형성된 공간은 소통 가능하게 연결된다.

본 발명의 변형예의 소결장치는, 내측에 공간이 형성되게 원통형의 측벽이 저면에서 수직 상방으로 형성되고 상부가 개방된 내부 공간이 형성된 용기, 상기 용기를 덮도록 원통형의 측벽이 수직 하방으로 형성된 용기 챔버를 포함하는 소결장치에 있어서,

상기 용기는 받침부가 하부에 일체로 형성되고,

상기 받침부에는 불활성 가스인 아르곤(argon) 가스의 유입 및 소결과정에서 발생되는 가스의 배출 통로로서 가로방향과 세로방향으로 관통홀들이 형성되고 상기 가로방향과 세로방향의 관통홀들이 교차되는 지점에는 상기 용기의 중심에서 저면을 관통하여 외부로 연통되는 홀이 형성되어 있고,

상기 용기 챔버의 측벽 하단은 용기의 받침부에 높이가 낮게 형성된 턱 위에 안착됨과 함께 용기 챔버의 내측면에서 내경이 확대되게 형성된 턱이 용기의 측벽 상단에 가스가 유동가능하게 기밀되지 않게 안착되어 용기 챔버가 용기에 장착되는 것을 특징으로 하여 구성된다.

상기 용기의 측벽 내경 보다 용기 챔버의 측벽의 내경이 더 커서 상기 측벽들 사이에 가스 유동 통로로서의 환형의 공간부가 형성되며, 상기 공간부는 용기 하부에 형성된 가로방향 및 세로방향의 관통홀들과 연통된다.

본 발명에 따른 소결 장치에는 티타늄 또는 티타늄 합금으로 제작된 실린더가 구비되므로, 용기 내부로 유입될 수 있는 공기에 포함된 산소에 의해 소프트 메탈이 산화되는 작용이 효과적으로 억제될 수 있다. 또한 본 발명에 따른 소결 장치에서는 전체 부품수가 감소되고, 부품의 조립성이 향상되고, 용기 챔버로 공급되는 아르곤 가스(argon gas)의 공급 및 용기 챔버(chamber) 외부로 배출되는 유해가스의 배출을 신속히 조절될 수 있다. 또한 유해가스의 배출 후 산소의 유입을 차단하기 위하여 공급되는 아르곤 가스의 유입이 온도 스케줄에 따라 작동됨으로써 소프트 메탈을 정상적으로 소결하는 데 이용될 수 있다

도 1은 본 발명의 소결장치를 보여주는 개략적인 분해 단면도.
도 2는 도 1의 결합단면도.
도 3은 본 발명의 소결장치를 보여주는 개략적인 분해 사시도
도 4는 본 발명의 소결장치가 적용된 것을 개략적으로 보여주는 사용상태 단면도.
도 5는 도 4의 “A”부분 확대도로서, 소결장치에서 가스의 유입/배출 구조를 개략적으로 보여주는 부분 확대단면도.
도 6은 용기의 저면 구조를 보여주는 저면사시도.
도 7은 용기의 저면 구조를 보여주는 다른 실시예의 저면사시도.
도 8 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 소결 장치의 개략적인 분해 사시도이다.
도 9 는 도 8 에 따른 소결 장치의 구성 요소들이 분해 상태로 도시된 단면도이다.
도 10 은 도 8 에 따른 소결 장치의 구성 요소들이 결합 상태로 도시된 단면도이다.
도 11 은 도 8 에 도시된 용기의 저면도이다.
도 12 는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 소결 장치의 각 구성 요소의 단면도가 분해 상태로 개략적으로 도시된 것이다.
도 13 은 도 12 에 도시된 소결 장치가 결합 상태로 도시된 단면도이다.
도 14는 도 8의 실시예에 대한 변형예의 분해사시도이다.
도 15는 도 14의 부분단면도이다.
도 16은 도 14의 소결장치가 결합된 상태의 단면도이다.

이하 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 소결 장치를 상세히 설명하기로 한다.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 소결 장치를 개략적으로 도시한 분해 단면도이다.

본 발명의 소결 장치(1)는 용기 받침대(10) 위에 놓이는 용기(20)와, 용기(20)와 용기 받침대(10)를 커버하는 용기 챔버(30)를 포함한다.

용기 챔버(30)에는 용기 받침대(10)에 결합되도록 하부에 단턱부(31)가 형성된다. 또한 용기 챔버(30)의 중간 높이에는 중간 지지턱(32)이 형성되며, 상기 중간 지지턱(32)은 용기(20)의 측벽의 상부 표면(23)에 지지된다.

그리고 이에 대응하여 용기 받침대(10)에는 용기 챔버(30)의 단턱부(31)가 결합되도록 상부 외측에 용기 챔버 고정홈(12)이 형성된다.

용기 받침대(10)에는 가스 유입구/배출구(11)가 중앙에 형성되고, 용기(20)는 용기 받침대(10)와 용기 챔버(30)로 밀폐된다.

용기(20)는 외부 저면에 가스가 유입되거나 유해가스가 배출되도록 통로 수단이 구비된다.

이 통로수단은 용기(20)의 외부 저면 둘레 내측으로 돌출부(21)가 형성되고, 이 돌출부(21) 사이에는 오목홈(22)이 형성된다.(도 6 참조). 이 돌출부(21)는 원형태로 구성될 수 있고, 기타 형태로 이루어질 수 있다.

이 돌출부(21)에 의해 용기(20)는 용기 받침대(10)에서 상방으로 이격된 상태가 된다.

이와 같이 용기(20)와 용기 받침대(10) 사이가 이격되어 있어서 용기(20)에서 발생되는 유해가스가 용기 챔버(30) 내측의 간극(t)을 통해서 외부로 배출되게 하거나 용기(20) 내부로 아르곤 가스가 유입되는 것이 가능하게 된다.

간극(t)을 통해 배출되는 유해가스는 용기(20)를 받치는 용기 받침대(10)의 중앙에 유입구/배출구(11)로 배출되고, 아르곤 가스도 이 유입구/배출구(11)를 통해서 용기(20) 내로 유입된다.

용기 받침대(10)의 가스 유입구/배출구(11)는 용기(20) 및 용기 챔버(30)로 불활성 가스인 아르곤(argon) 가스가 공급되도록 하는 한편 용기(20) 및 용기 챔버(30)에서 발생된 유해가스를 용기(20) 및 용기 챔버(30) 외부로 배출하는 역할을 한다.

이를 위해 용기 받침대(10)의 가스 유입구/배출구(11)는 유입/배출되는 아르곤(Ar) 가스의 유입(공급)/유해가스의 배출을 제어하도록 T밸브(40)가 결합된다.

T밸브(40)의 일 측에는 아르곤(Ar) 가스 공급 밸브(41)가, 그리고 타 측에는 가스 배출 밸브(42)가 결합된다. 미설명부호 43은 유해가스를 정화하는 필터이고, 미설명부호 44는 필터에서 정화된 가스를 외부로 배출하는 팬(fan)이다.

용기 받침대(10) 위에 놓이는 용기(20)는 바닥면이 용기 받침대(10)와 간격을 이루도록 하부 저면에 돌출부(21)가 형성되고, 이 돌출부(21)에 오목홈(22)이 형성된다(도 6 참조).

이와 달리 용기(20)의 하부 저면에 음각형태의 오목홈(22-1)이 방사상으로 형성될 수 있다(도 7참조). 오목홈(22-1)의 중심에는 중심 오목부가 형성된다. 이 음각형태의 오목홈(22-1)은 상기의 용기(20)에 돌출부(21)와 오목부(22)를 형성하는 작업보다 쉽게 제작이 가능하다.

용기(20) 하부의 돌출부(21)는 용기 받침대(10)의 상면에 형성된 용기 고정홈(13)에 결합되어 용기(20)의 위치가 변동되지 않게 된다.

그리고 용기(20)의 하부 저면에 형성된 돌출부(21)의 오목홈(22)을 통해서 용기 받침대(10)로 부터 아르곤 가스가 공급되도록 또는 용기(20)로부터 용기 챔버(30) 외부로 유해가스가 배출된다.

용기 외부로의 유해가스 배출시에 아르곤 가스의 공급이 중단되고 유해가스만 배출되는데 이는 소결온도에 영향을 받는다.

유해가스는 초기 소결온도인 대략 400~500℃에서 배출이 이루어진다.

초기 소결온도 범위를 지나면 용기(20) 내에서는 유해가스가 거의 발생되지 않으므로 용기(20)로부터 외부로 유해가스의 배출은 차단되고, 대신에 아르곤 가스가 용기(20) 내부로 공급된다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 소결 장치(1)는 용기 받침대(10) 위에 용기(20)를 올려놓고, 용기(20)에 알루미나 비드(alumina bead)를 조금 넣어 가공한 소프트 메탈(soft metal)(도시하지 않음)을 넣는다.

용기(20)에 넣어진 소프트 메탈을 밀폐시키도록 용기 챔버(30)를 덮는다.

물론 용기 받침대(10)는 아르곤 가스를 공급하도록 그리고 소결 중에 발생되는 유해가스를 배출하도록 가스 유입부/배출구(11)에 T밸브(40) 등이 연결된 상태이다.

이와 같이 용기 챔버(30)를 덮은 다음 아르곤 가스를 공급하고, 온도를 조절한다.

아르곤 가스는 분당0.5ml ~ 1.5ml 공급한다.

아르곤 가스가 과잉 공급되는 경우 소결물에는 영향이 없지만 아르곤의 소모가 더 발생될 뿐이다.

그러나 아르곤 가스의 공급이 부족한 경우, 용기 내의 소결물에 문제가 발생되기 때문에 장시간 작업 후 새로 작업해야하는 문제가 발생된다.

따라서 아르곤 가스의 공급 부족이 발생되지 않도록 압력센서가 이용된다.

압력센서는 아르곤 가스의 공급 부족이 예상되는 경우 이를 감지하여 외부 표시창(도시되지 않음)에 표시 및 소리를 발생하도록 구성되는 것이 바람직하다. 예컨대 압력센서가 감지한 긴급 상태를 외부로 알려주도록 경고음 및 경보 표시를 동시에 발행하여 관리자가 이를 알 수 있게 한다.

또한 아르곤 가스가 과잉 공급되는 경우 이를 감지한 압력센서의 신호에 따라서 아르곤 가스의 공급이 차단되도록 레귤레이터(regulator)(도시되지 않음)로 일정량이 조절되게 세팅(setting)되어 있다.

한편, 소결장치(1)에는 온도센서(R-type)(도시되지 않음)가 장착되어 있어서 소결장치(1)의 내부 온도를 실시간으로 감지할 수 있다. 예컨대, 소결장치(1)의 내부 온도를 원하는 온도로 적절히 설정한 후 온도센서에 의해 실시간으로 감지된 감지온도에 의해 히터(heater)(도시되지 않음)를 제어하면 소결장치(10)의 내부 온도는 허용 오차 범위 내에 유지된다.

여기에서 허용 오차 범위는 ±0.5% 이내가 바람직하다.

소결장치(1)의 온도가 설정 온도보다 낮게 유지되는 경우는 대부분 히터 불량으로 인해 발생된다.

히터 불량으로 인하여 소결장치(1)의 온도가 설정 온도보다 낮게 유지되는 경우, 소결물은 강도, 경도 등의 부적합이 발생된다.

이와 반대로 소결장치(1)가 설정 온도 보다 높게 유지되는 경우는 대부분 발생되지 않는다. 그러나 설정 온도 보다 높게 유지되는 경우 설정 온도 보다 낮게 유지되는 경우와 마찬가지로 강도, 경도 등의 부적합이 발생될 것이다.

본 발명의 소결장치(1)는 초기 소결온도, 중간 소결온도, 최종 소결온도의 3단계로 대략 조절될 수 있다.

예컨대, 설정된 초기 소결온도는 대략 400~500℃이고, 상온에서 이와 같은 온도에 도달하기 까지 40분 내지 60분의 시간이 소요된다.

그리고 중간 소결온도는 상기 초기 소결온도에서 대략 1,000℃이고, 이와 같은 온도로 가열되기 까지 20분 내지 40분이 소요된다.

또한 최종 소결온도는 대략 1,250 ~ 1,380℃이고, 중간 소결온도에서 최종 소결온도에 도달하기 까지 40분 내지 60분이 소요된다.

초기 소결온도로 온도를 상승시키면 용기(20) 내에 담긴 소정 형상으로 알루미나 비드를 넣어 가공된 소프트 메탈에서 유해가스가 발생 된다. 이는 소프트 메탈을 소정 형상으로 유지하기 위해 메탈 바인더(metal binder)를 사용하기 때문이다.

용기(20) 내에서 유해가스가 발생되면 유해가스 배출밸브(42)가 온 작동되어 용기(20)의 가스 유입부/배출부(11)를 통해서 용기 챔버(30) 외부로 배출되고, 필터(43)에서 정화된 후 팬(44)에 의해 외부로 강제 배출된다.

유해 가스는 초기 소결온도 범위의 400-500℃에서 가장 많이 발생된다. 이외의 구간에서는, 즉 중간 소결온도, 최종 소결온도에서는 거의 발생되지 않는다.

상온에서 400-500℃의 초기 소결시, 소결물은 아르곤 가스 투입이 없어도 무관하므로 이때 유해가스를 배출한다. 즉 초기 소결온도는 아르곤 가스 투입을 하지 않고 유해가스만을 배출한다.

초기 소결온도 구간 이외에는 유해가스가 거의 발생되지 않으므로 중간 소결온도로 상승된 후에는 유해가스를 배출하지 않는다.

또한 중간 소결온도에서 최종 소결온도로 상승된 후에도 유해가스가 거의 발생되지 않으므로 최종 소결온도로 상승된 후에는 유해가스를 배출하지 않는다.

이와 같이 유해가스를 배출하기 위해서는 용기(20)와 용기 챔버(30) 사이에 간극(t)이 필요하다.

이 간극(t)을 통해서 초기 소결온도에서는 유해가스가 배출되고, 초기 소결이 이루어진 다음 아르곤 가스가 주입된다.

아르곤 가스는 용기(20) 내부로 산소가 유입되는 것을 차단하여 소결물의 산화를 방지하는 역할을 한다.

또한 용기(20)는 용기 챔버(30)로 덮여져서 밀폐됐을 때, 간극(gap)(t)은 1mm이상이다.

간극이 1mm 미만인 경우 용기 내로 공급되는 아르곤가스의 양이 적어져서 용기 내의 소결물을 둘러싸는 아르곤 가스의 두께가 얇아지는 단점이 있다. 이와 같이 아르곤 가스의 두께가 얇아지면 산화방지층의 두께가 얇아져서 소결물의 산화가 이루어지기 쉬운 상태가 되는 문제가 있다.

이와 달리 간극(gap)(t)이 너무 크면 아르곤 가스의 공급량이 많아져서 아르곤 가스 층의 두께가 커지고, 이에 따라서 산화방지층의 두께가 두꺼워지는 장점이 있다. 하지만 아르곤가스의 소모가 많이 되고, 용기 사이즈가 커져 소결장치의 사이즈(size)가 커지는 문제가 있다.

따라서 간극(gap)(t)은 1mm-10mm의 범위가 바람직하다.

도 8 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 소결 장치의 개략적인 분해 사시도이다. 도 9 는 도 8 에 따른 소결 장치의 구성 요소들이 분해 상태로 도시된 단면도이다. 도 10 은 도 8 에 따른 소결 장치의 구성 요소들이 결합 상태로 도시된 단면도이다. 도 11 은 용기의 저면을 나타내는 저면도이다.

도면을 참조하면, 본 발명에 따른 소결 장치는 상부가 개방된 내부 공간(124)이 형성된 용기(120), 상기 용기(120)를 지지하는 받침대(110) 및, 상기 용기(120)를 덮는 용기 챔버(130)를 구비한다.

용기(120)는 저면부(121), 측벽(122) 및, 스페이서(123)를 구비한다. 도면에 도시된 실시예에서 저면부(121)는 원형으로 형성되며, 상기 저면부(121)의 외주를 따라서 저면부(121)의 평면에 직각으로 형성된 측벽(122)이 구비된다. 측벽(122)에는 용기(120)의 내부를 향하는 내표면(122a), 용기(120)의 외부를 향하는 외표면(122b) 및, 상부를 향하는 상부 표면(122c)이 구비된다. 측벽(122)의 상부 표면(122c)은 도면에 도시된 바와 같이 고리형으로 형성된다.

용기(120)의 저부에는 스페이서(123)가 구비된다. 스페이서(123)는 용기(120)의 저면부(121)가 받침대(110)의 표면으로부터 이격된 상태로 유지될 수 있게 한다. 스페이서(123)는 저면부(121)의 아래를 향하는 표면에 복수개로 제공되는 것이 바람직스럽다. 도 11 에 도시된 바와 같이, 스페이서(123)는 저면부(121)의 아래를 향하는 표면에서 원호 형상으로 4 개가 제공되며, 동일한 각도 간격으로 서로 이격된다.

도 9 에 도시된 바와 같이, 스페이서(123)는 h 의 높이를 가진다. 따라서, 용기(120)가 받침대(110)의 상부 표면에 놓일 때 용기(120)의 저면부(121)의 아래르 향하는 표면과 받침대(110)의 상부 표면 사이에는 h 로 표시된 높이를 가진 공간이 형성된다. 상기 공간을 통하여 가스가 유동할 수 있다.

받침대(110)는 상기 받침대(110)를 관통하여 형성된 구멍(110a)과, 상기 용기(110)가 지지되는 상부 표면(110b)과, 상기 상부 표면(110b)의 가장자리를 따라서 상기 상부 표면(110b)의 높이보다 낮은 높이로 연장된 테두리 면(110c)을 구비한다. 도면에 도시된 실시예에서 받침대(110)의 상부 표면(110b)은 원형으로 형성되고, 따라서 테두리 면(110c)은 고리형으로 형성된다. 상기 구멍(110a)은 상부 표면(110b)의 중심에 형성되는 것이 바람직스럽다. 상기 구멍(110a)을 통하여 가스 유입 또는 가스 유출이 이루어질 수 있다.

용기 챔버(130)는 도 9 에 도시된 바와 같이 상면부(131)와, 상기 상면부(131)로부터 상면부(131)의 평면에 대하여 직각으로 연장된 측벽(132)을 구비한다. 상기 측벽(132)에는 제 1 높이에 걸쳐 제 1 내표면(132c)이 형성되고, 제 2 높이에 걸쳐 제 2 내표면(132d)이 형성되며, 상기 측벽(132)의 제 1 높이의 위에 상기 제 2 높이가 배치된다. 도면에 도시된 실시예에서 원형으로 형성되는 제 1 내표면(132c)과 제 2 내표면(132d)은 상이한 직경을 가지며, 제 1 내표면(132c)의 직경은 제 2 내표면(132d)의 직경보다 크다.

한편, 상기 용기 챔버(130)의 제 1 내표면(132c)의 직경은 상기 용기(120)의 측벽(122)의 외표면(122b)의 직경보다 크다. 용기 챔버(130)의 제 2 내표면(132d)의 직경은 상기 용기(130)의 측벽(122)의 내표면(122a)의 직경과 같다.

측벽(131)의 저부에는 상기 제 1 내표면(132c)에 대하여 직각으로 형성된 하부 지지면(132a)이 형성되고, 측벽(132)의 중간에는 상기 제 2 내표면(132d)에 대하여 직각으로 형성된 중간 지지면(132b)이 형성된다.

용기 챔버(130)가 상기 용기(120)를 덮을 때, 상기 용기 챔버(130)의 측벽(132)의 하부 지지면(132a)은 상기 받침대(110)의 테두리 면(110c)에 지지되는 반면에, 상기 중간 지지면(132b)은 상기 용기(120)의 측벽(122)의 상부 표면(122c)에 지지된다. 또한 위에서 설명된 바와 같이 상기 용기 챔버(130)의 제 1 내표면(132c)의 직경은 상기 용기(120)의 측벽(122)의 외표면(122b)의 직경보다 크므로, 상기 용기 챔버(130)의 제 1 내표면(132c)과 상기 용기(120)의 측벽(122)의 외표면(122b) 사이에는 가스 통과 공간이 형성된다. 상기 가스 통과 공간은 전체적으로 t 의 반경 방향 크기를 가지는 고리형으로 형성된다.

용기 챔버(130)의 제 1 내표면(132c)과 중간 지지면(132b) 사이에는 간극부(133)가 형성된다. 도 9 로부터 이해할 수 있는 바와 같이, 간극부(133)는 고리형의 공간으로서 형성되고, 제 1 내표면(132c)으로부터 상방향으로 연장된 표면을 가지고, t 의 반경 방향 크기를 가진다. 결과적으로, 용기 챔버(130)가 상기 용기(120)를 덮을 때, 상기 간극부(133)는 제 1 내표면(132c)과 상기 용기(120)의 측벽(122)의 외표면(122b) 사이에 형성된 가스 통과 공간으로부터 연장되는 공간을 형성한다.

도 10 에 도시된 바와 같이, 용기(120)는 받침대(110)상에 지지되고, 용기 챔버(130)는 용기(120)를 덮으며, 이때 용기 챔버(130)의 측벽(132)의 하부 지지면(132a)은 받침대(110)의 테두리면(110c)에 지지되고, 상기 용기 챔버(130)의 측벽(132)의 중간 지지면(132b)은 용기(120)의 측벽(122)의 상부 표면(122c)에 지지된다.

한편, 받침대(110)의 상부 표면(110b)과 용기(120)의 저면부(121)의 하부 표면 사이에는 높이(h)를 가지는 간격이 형성된다. 또한 용기 챔버(130)의 제 1 내표면(132c)과 상기 용기(120)의 측벽(122)의 외표면(122b) 사이에는 두께 t 를 가지는 고리형의 가스 통과 공간이 형성된다. 상기 가스 통과 공간은 용기 챔버(130)의 제 1 간극부(133)로 연장된다.

받침대(110)의 구멍(110a)을 통해 외부로부터 유입된 가스는 용기(120)의 저면부(121)와 받침대(110)의 상부 표면 사이의 간격을 통과하며, 다시 상기 용기 챔버(130)의 제 1 내표면(132c)과 상기 용기(120)의 측벽(122)의 외표면(122b) 사이의 가스 통과 공간을 통과한다. 이후에 가스는 용기(120)와 내표면(122a)과 용기 챔버(130)의 제 2 내표면(132d)으로 둘러싸인 공간 내부로 유입될 수 있다. 반대로, 용기(120)에 담긴 소프트 메탈의 소결시에 발생되는 유해 가스는 역순(逆順)으로 구멍(110a)을 통해 배출될 수 있다. 이때 가스의 압력에 의해 용기 챔버(130)의 중간 지지면(132b)과 용기(120)의 측벽(122)의 상부 표면(122c) 사이에 미세한 간극이 형성되므로 가스가 유출 및 유입이 이루어질 수 있다. 상기 용기 챔버(130)의 제 1 내표면(132c)과 상기 용기(120)의 측벽(122)의 외표면(122b) 사이의 상기 가스 통과 공간을 구비함으로써, 가스의 배출이 원활해질 수 있다.

*한편, 도 3 을 참조하여 설명된 T 밸브(40)가 상기 받침대(110)의 구멍(110a)에 결합됨으로써 아르곤 가스의 유입 및 유해 가스의 배출이 이루어질 수 있다. 도 9 에 도시된 t 는 예를 들어 1 mm 이상이며, 1 mm 내지 10 mm 인 것이 바람직스럽다. 도 8 내지 도 11 을 참조하여 설명된 소결 장치도 위에서 도 1 내지 도 7 을 참조하여 설명된 바와 같은 방법을 통하여 소결 작업을 수행할 수 있다.

도 12 는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 소결 장치의 각 구성 요소를 분해 상태로 개략적으로 도시한 것이다. 도 13 은 도 12 에 도시된 소결 장치의 각 구성 요소를 결합 상태로 도시한 단면도이다. 이후에 보다 상세하게 설명되는 바로서, 도 12 및 도 13 에 도시된 소결 장치는 도 8 내지 도 11 을 참조하여 설명된 본 발명의 소결 장치와 실질적으로 유사하며, 예외적으로 세라믹 플레이트, 산화 억제용 링 및 산화 억제용 시트등을 더 구비한다. 따라서 위에서 이미 설명된 부분에 대해서는 도 12 및 도 13 에 도시된 실시예에서 설명을 생략될 수 있다는 점이 이해되어야 한다.

도 12 및 도 13 을 참조하면, 본 발명에 따른 소결 장치는 상부가 개방된 내부 공간이 형성된 용기(220), 상기 용기(220)를 지지하는 받침대(210), 상기 용기(120)를 덮는 용기 챔버(130)를 구비한다. 상기 용기(220)의 내부에는 세라믹 플레이트(240)가 배치되고, 상기 세라믹 플레이트(240)와 상기 용기(220) 사이에는 산화 억제용 링(250)이 개재된다. 또한 상기 세라믹 플레이트(240)의 내부에는 산화 억제용 시트(260)가 선택적으로 배치될 수 있다.

용기(220)는 저면부(221), 측벽(222) 및, 스페이서(223)를 구비한다. 도면에 도시된 실시예에서 저면부(221)는 원형으로 형성되며, 상기 저면부(221)의 외주를 따라서 저면부(221)의 평면에 직각으로 형성된 측벽(222)이 구비된다. 측벽(222)에는 용기(220)의 내부를 향하는 내표면(222a), 용기(220)의 외부를 향하는 외표면(222b) 및, 상부를 향하는 상부 표면(222c)이 구비된다. 측벽(222)의 상부 표면(222c)은 도면에 도시된 바와 같이 고리형으로 형성된다.

용기(220)의 저부에는 스페이서(223)가 구비된다. 스페이서(223)는 용기(220)의 저면부(221)가 받침대(210)의 표면으로부터 이격된 상태로 유지될 수 있게 한다. 스페이서(223)는 저면부(221)의 아래를 향하는 표면에 복수개로 제공되는 것이 바람직스럽다. 스페이서(223)는 예를 들어 도 7 을 참조하여 설명된 바와 같이 구성될 수 있다. 즉, 도 7 에 도시된 바와 같이 스페이서(223)들 사이에 오목홈(22-1)이 방사상으로 다수개 형성되고, 저면부(221)의 중심에 중심 오목부가 형성된 형태일 수 있다. 스페이서(223)들 사이에 형성된 오목홈(22-1, 도 7)을 통하여 가스가 유동할 수 있다.

받침대(210)는 상기 받침대(210)를 관통하여 형성된 구멍(210a)과, 상기 용기(210)가 지지되는 상부 표면(210b)과, 상기 상부 표면(210b)의 가장자리를 따라서 상기 상부 표면(210b)의 높이보다 낮은 높이로 연장된 테두리 면(210c)을 구비한다. 도면에 도시된 실시예에서 받침대(210)의 상부 표면(210b)은 원형으로 형성되고, 따라서 테두리 면(210c)은 고리형으로 형성된다. 상기 구멍(210a)은 상부 표면(210b)의 중심에 형성되는 것이 바람직스럽다. 상기 구멍(210a)을 통하여 가스 유입 또는 가스 유출이 이루어질 수 있다.

용기 챔버(230)는 상면부(231)와, 상기 상면부(231)로부터 상면부(231)의 평면에 대하여 직각으로 연장된 측벽(232)을 구비한다. 상기 측벽(232)에는 제 1 높이에 걸쳐 제 1 내표면(232c)이 형성되고, 제 2 높이에 걸쳐 제 2 내표면(232d)이 형성되며, 상기 측벽(232)의 제 1 높이의 위에 상기 제 2 높이가 배치된다. 도면에 도시된 실시예에서 원형으로 형성되는 제 1 내표면(232c)과 제 2 내표면(232d)은 상이한 직경을 가지며, 제 1 내표면(232c)의 직경은 제 2 내표면(232d)의 직경보다 크다.

한편, 상기 용기 챔버(230)의 제 1 내표면(232c)의 직경은 상기 용기(220)의 측벽(222)의 외표면(222b)의 직경보다 크다. 용기 챔버(230)의 제 2 내표면(232d)의 직경은 상기 용기(230)의 측벽(222)의 내표면(222a)의 직경과 같거나 클 수 있다.

측벽(231)의 저부에는 상기 제 1 내표면(232c)에 대하여 직각으로 형성된 하부 지지면(232a)이 형성되고, 측벽(232)의 중간에는 상기 제 2 내표면(232d)에 대하여 직각으로 형성된 중간 지지면(232b)이 형성된다.

용기 챔버(230)가 상기 용기(220)를 덮을 때, 상기 용기 챔버(230)의 측벽(232)의 하부 지지면(232a)은 상기 받침대(210)의 테두리 면(210c)에 지지되는 반면에, 상기 중간 지지면(232b)은 상기 용기(220)의 측벽(222)의 상부 표면(222c)에 지지된다. 또한 위에서 설명된 바와 같이 상기 용기 챔버(230)의 제 1 내표면(232c)의 직경은 상기 용기(220)의 측벽(222)의 외표면(222b)의 직경보다 크므로, 상기 용기 챔버(230)의 제 1 내표면(232c)과 상기 용기(220)의 측벽(222)의 외표면(222b) 사이에는 가스 통과 공간이 형성된다. 상기 가스 통과 공간은 전체적으로 t 의 반경 방향 크기를 가지는 고리형으로 형성된다.

선택적으로, 도 9 를 참조하여 위에서 설명된 바와 같이, 용기 챔버(230)의 제 1 내표면(232c)과 중간 지지면(232b) 사이에는 간극부(미도시)가 형성될 수 있다. 도 9 로부터 이해할 수 있는 바와 같이, 간극부(미도시)는 고리형의 공간으로서 형성되고, 제 1 내표면(232c)으로부터 상방향으로 연장된 표면을 가지고, t 의 반경 방향 크기를 가질 수 있다. 결과적으로, 용기 챔버(230)가 상기 용기(220)를 덮을 때, 상기 간극부(미도시)는 제 1 내표면(232c)과 상기 용기(220)의 측벽(222)의 외표면(222b) 사이에 형성된 가스 통과 공간으로부터 연장되는 공간을 형성할 수 있다.

세라믹 플레이트(240)는 용기(220)의 내부 공간에 배치된다. 즉, 세라믹 플레이트(240)는 용기(220)의 저면부(221)상에 놓인다. 세라믹 플레이트(240)는 원형의 저면부(241)와, 상기 저면부(241)의 평면으로부터 수직으로 연장된 측벽(242)을 구비하고, 상부가 개방되어 있다. 세라믹 플레이트(240)는 그 내부에 소프트 메탈을 담아서 소결 작용을 받게 할 수 있다. 세라믹 플레이트(240)의 내부에는 하나 이상의 격벽(240a)이 구비됨으로써 세라믹 플레이트(240)의 내부 공간을 분할할 수 있다. 세라믹 플레이트(240)의 분할된 공간에는 상이한 종류의 소프트 메탈이 담겨서 동시에 소결 작용을 받을 수 있다.

세라믹 플레이트(240)의 측벽(242)과 용기(220)의 측벽(222) 사이에는 산화 억제용 링(250)이 구비된다. 상기 산화 억제용 링(250)은 상부 및 하부가 개방된 원통형으로 형성된다.

산화 억제용 링(250)이 세라믹 플레이트(240)의 측벽(242)과 용기(220)의 측벽(222) 사이에 배치될 때, 산화 억제용 링(250)의 내표면은 상기 세라믹 플레이트(240)의 측벽(242)의 외표면과 접촉되는 것이 바람직스러운 반면에, 산화 억제용 링(250)의 외표면은 상기 용기(220)의 측벽(222)의 내표면(222b)으로부터 이격되는 것이 바람직스럽다. 즉, 산화 억제용 링(250)의 외표면과 용기(220)의 측벽(222)의 내표면(222b) 사이에 링 형상의 공간이 형성되며, 상기 링 형상의 공간을 통하여 가스가 유동할 수 있다.

산화 억제용 링(250)은 예를 들어 티타늄 또는 티타늄 합금으로 제작되는 것이 바람직스럽다. 산화 억제용 링(250)은 공기가 용기 챔버(231)로 둘러싸인 내부 공간으로 유입될 때 공기에 포함된 산소가 소프트 메탈을 산화시키는 것을 억제한다.

세라믹 플레이트(240)의 저면부(241)의 상부 표면에는 산화 억제용 시트(260)가 배치될 수 있다. 상기 산화 억제용 시트(260)는 원형 또는 다각형으로 형성된 시트로서, 티타늄 또는 티타늄 합금으로 제작될 수 있다. 산화 억제용 시트(260)가 구비됨으로써 산소에 의한 산화 억제 작용이 억제될 수 있다.

도 13 을 참조하면, 용기(220)는 받침대(210)상에 지지되고, 용기 챔버(230)는 용기(220)를 덮으며, 이때 용기 챔버(230)의 측벽(232)의 하부 지지면(232a)은 받침대(210)의 테두리면(210c)에 지지되고, 상기 용기 챔버(230)의 측벽(232)의 중간 지지면(232b)은 용기(220)의 측벽(222)의 상부 표면(222c)에 지지된다.

세라믹 플레이트(240)는 용기(220)의 내부에 배치되고, 산화 억제용 링(250)은 세라믹 플레이트(240)의 측벽(242)과 용기(220)의 측벽(222) 사이에 배치된다. 산화 억제용 링(250)은 용기(220)의 측벽(222)으로부터 이격됨으로써, 용기(220)의 측벽(222)과 산화 억제용 링(250) 사이에 가스 통과 공간이 형성된다.

한편, 용기 챔버(230)의 제 1 내표면(232c)과 상기 용기(220)의 측벽(222)의 외표면(222b) 사이에는 고리형의 가스 통과 공간이 형성된다. 상기 가스 통과 공간은 용기 챔버(230)의 제 1 간극부(미도시)로 연장된다.

받침대(210)의 구멍(210a)을 통해 외부로부터 유입된 가스는 용기(220)의 저면부(221)와 받침대(210)의 상부 표면 사이의 간격을 통과하는데, 예를 들어 도 7 에 도시된 바와 같이 오목홈(22-1)을 통과한다. 상기 유입된 가스는 다시 상기 용기 챔버(230)의 제 1 내표면(232c)과 상기 용기(220)의 측벽(222)의 외표면(222b) 사이의 가스 통과 공간을 통과한다.

이후에 가스는 산화 억제 링(250)과 용기(220)의 내표면(222a) 사이의 공간을 통과한다. 이후에 가스는 세라믹 플레이트(240)와 용기 챔버(230)의 제 2 내표면(232d)으로 둘러싸인 공간 내부로 유입될 수 있다.

역으로, 세라믹 플레이트(240)에 담긴 소프트 메탈의 소결시에 발생되는 유해 가스는 역순(逆順)으로 구멍(210a)을 통해 외부로 배출될 수 있다.

도 14, 15, 16에 있어서, 본 변형예의 소결 장치는 상부가 개방된 내부 공간이 형성된 용기(330), 상기 용기(330)를 지지하도록 하부에 일체로 형성된 받침부(331) 및 상기 용기(330)를 덮는 용기 챔버(340)를 포함한다.

상기 용기(330)는 내측에 공간이 형성되게 원통형의 측벽(332)이 저면에서 수직 상방으로 형성되고, 하부의 받침부(331)에는 가로방향과 세로방향으로 관통홀(334)들이 형성되어 있으며, 상기 가로방향과 세로방향의 관통홀(334)들이 교차되는 지점에는 상기 용기(330)의 중심에서 저면을 관통하여 외부로 연통되는 홀(335)이 형성되어 있다. 또한 상기 받침부(331)에는 높이가 낮은 턱(333)이 형성되어 있다.

상기 관통홀(334)들은 불활성 가스인 아르곤(argon) 가스의 유입 및 소결과정에서 발생되는 가스의 배출 통로로서 작용하며, 상기 홀(335)은 상기 가스들의 유입구/배출구로서 도 3과 4에 도시된 아르곤 가스 공급 및 소결시 발생되는 가스 배출을 위한 구조와 소결장치의 다른 부분들이 동일하게 제공된다.

상기 용기 챔버(340)는 용기(330)를 커버하도록 용기 위에 장착되며, 상기 용기 챔버(340)의 내측면에는 내경이 확대되게 턱(341)이 형성되고, 원통형의 측벽(342)이 수직 하방으로 형성되어 있다.

상기 용기 챔버(340)가 용기(330)에 장착될 때, 용기 챔버의 측벽(342) 하단은 용기(330)의 턱(333) 위에 안착됨과 함께 용기 챔버의 턱(341)은 용기(330)의 측벽(332) 상단에 시일되지 않아서 가스가 유동가능하게 안착된다.

이때, 용기(330)의 측벽(332) 내경 보다 용기 챔버(340)의 측벽(342)의 내경이 더 커서 상기 측벽(332,342)들 사이에 가스 유동 통로로서의 환형의 공간부(336)가 형성되며, 상기 공간부(336)는 용기(330) 하부에 형성된 가로방향 및 세로방향의 관통홀(334)들과 연통된다.

이로써, 용기(330)의 저면에 형성된 홀(335)을 통해 가스 공급장치로 부터의 아르곤 가스가 유입되어 관통홀(334)들과 측벽(332, 342)들 사이의 공간부(336)를 로 공급되고, 공급된 아르곤 가스는 용기 챔버의 턱(341)과 용기(330)의 측벽(332) 상단 사이에 시일되지 않은 미세한 간극을 통해 용기 챔버내부로 공급될 수 있고, 소결시 발생되는 유해가스도 상기 공간부와 관통홀들 및 홀(335)을 통해 배출될 수 있게 된다.

본 변형예에서는, 용기(330)의 하부에 가스 유입/배출 통로로서의 관통홀(334)과 홀(335)이 형성됨과 함께 용기 챔버(340)가 안착될 수 있게 턱(333)이 형성됨으로써, 용기와 받침대를 받침부로서 일체화하고 받침부에 가스 유입/배출 통로가 일체로 형성하여 소결장치를 콤팩트하게 하고 부품수를 감소시키며 제조비용 및 조립비용을 절감시키도록 개선된 점에서, 도 8 내지 10에 도시된 실시예에서 용기(120)와, 그것을 지지하는 받침대(110)를 별개로 구성하고 용기의 저면에 가스 통로로서의 공간 형성을 위해 스페이서(123)가 저면부(121)에 형성된 구성과 차이가 있다.

본 발명의 소결장치는, 소결되는 소프트 메탈의 산화를 억제할 수 있도록 합금재료의 실린더를 구비하는 소결 장치에 이용될 수 있다.

110. 받침대 120. 용기
124. 내부 공간 130. 용기 챔버

Claims (8)

1. 저면부, 상기 저면부의 평면에 대하여 수직으로 연장된 측벽 및, 상기 저면부에 하부 표면에 형성된 스페이서를 구비한 용기;
   상기 용기의 스페이서가 지지되는 상부 표면, 상기 상부 표면의 가장자리를 따라서 연장된 테두리면 및, 구멍을 구비하는 받침대;
   상면부 및, 상기 상면부의 평면에 대하여 수직으로 연장된 측벽을 구비하는 용기 챔버로서, 상기 용기 챔버의 측벽에는 제 1 내표면 및 제 2 내표면이 형성되고, 상기 용기 챔버가 상기 용기를 덮을 때 상기 용기 챔버의 측벽의 제 1 내표면과 상기 용기의 측벽의 외표면 사이에 가스 통과 공간이 형성되는, 용기 챔버;
   상기 용기의 저면부상에 배치되는 저면부 및, 상기 저면부의 평면으로부터 수직으로 연장되는 측벽을 가지며, 상부가 개방된, 세라믹 플레이트; 및,
   상기 용기의 측벽과 상기 세라믹 플레이트의 측벽 사이에 개재되는 산화 억제용 링으로서, 상기 산화 억제용 링의 외표면은 상기 용기의 측벽 내표면으로부터 이격되는 산화 억제용 링;을 구비하는, 소결 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 세라믹 플레이트에는 상기 세라믹 플레이트의 공간을 분할하는 하나 이상의 격벽이 형성되는 것을 특징으로 하는, 소결 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 세라믹 플레이트의 내부에는 산화 억제용 시트가 배치되는 것을 특징으로 하는, 소결 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 산화 억제용 링 및 상기 산화 억제용 시트는 티타늄 또는 티타늄 합금 재료로 만들어지는 것을 특징으로 하는, 소결 장치.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 용기 챔버의 측벽의 제 1 내표면으로부터 직각으로 연장된 하부 지지면은 상기 받침대의 테두리면상에 지지되고,
   상기 용기 챔버의 측벽의 제 2 내표면으로부터 직각으로 연장된 중간 지지면은 상기 용기의 측벽의 상부 표면에 지지되고,
   상기 용기 챔버의 제 1 내표면과 중간 지지면 사이에는 고리형의 간극부가 형성됨으로써, 상기 용기 챔버가 상기 용기를 덮은 상태에서, 상기 간극부는 상기 가스 통과 공간으로부터 연장된 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는, 소결 장치.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 저면부의 구멍, 상기 용기의 저면부의 하부 표면과 상기 받침대의 상부 표면 사이에서 상기 스페이서에 의해 이격된 공간, 상기 용기의 측벽의 외부 표면과 상기 용기 챔버의 측벽의 제 1 내표면 사이의 가스 통과 공간 및, 상기 산화 억제용 링의 외표면이 상기 용기의 측벽 내표면으로부터 이격됨으로써 형성된 공간은 소통 가능하게 연결된 것을 특징으로 하는, 소결 장치.
   
7. 내측에 공간이 형성되게 원통형의 측벽이 저면에서 수직 상방으로 형성되고 상부가 개방된 내부 공간이 형성된 용기, 상기 용기를 덮도록 원통형의 측벽이 수직 하방으로 형성된 용기 챔버를 포함하는 소결장치에 있어서,
   상기 용기는 받침부가 하부에 일체로 형성되고,
   상기 받침부에는 불활성 가스인 아르곤(argon) 가스의 유입 및 소결과정에서 발생되는 가스의 배출 통로로서 가로방향과 세로방향으로 관통홀들이 형성되고 상기 가로방향과 세로방향의 관통홀들이 교차되는 지점에는 상기 용기의 중심에서 저면을 관통하여 외부로 연통되는 홀이 형성되어 있고,
   상기 용기 챔버의 측벽 하단은 용기의 받침부에 높이가 낮게 형성된 턱 위에 안착됨과 함께 용기 챔버의 내측면에서 내경이 확대되게 형성된 턱이 용기의 측벽 상단에 가스가 유동가능하게 기밀되지 않게 안착되어 용기 챔버가 용기에 장착되는 것을 특징으로 하는 소결장치.
   
8. 제 7항에 있어서, 상기 용기의 측벽 내경 보다 용기 챔버의 측벽의 내경이 더 커서 상기 측벽들 사이에 가스 유동 통로로서의 환형의 공간부가 형성되며, 상기 공간부는 용기 하부에 형성된 가로방향 및 세로방향의 관통홀들과 연통된 것을 특징으로 하는 소결장치.
   
   
   
   

Images