KR20170039877A - Device for aligning substrate - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a device for aligning a substrate and, more specifically, relates to a device for aligning a substrate, which aligns an object with respect to a substrate with a target mark formed on the substrate and an object mark formed on an object, and comprises: a camera chamber providing an atmospheric pressure accommodating space which is independently sealed in a vacuum chamber; an aligning camera provided in the camera chamber, and photographing the target mark and the object mark; and a chamber moving unit moving the camera chamber in the vacuum chamber. Therefore, an operating distance of the aligning camera can be shortened, and a focusing area of the aligning camera with respect to a mark can be adjusted.

Description

기판 얼라인 장치{DEVICE FOR ALIGNING SUBSTRATE}≪ Desc / Clms Page number 1 > DEVICE FOR ALIGNING SUBSTRATE &

본 발명은 기판 얼라인 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 기판처리장치에서 기판과 피대상물(오브젝트)을 얼라인할 수 있는 기판 얼라인 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate aligning apparatus, and more particularly, to a substrate aligning apparatus capable of aligning a substrate and an object (object) in a substrate processing apparatus.

일반적으로 플라즈마 화학 기상 증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition; PECVD) 장비는, 디스플레이 제조 공정 또는 반도체 제조 공정 중에 진공 상태에서 가스의 화학적 반응을 이용하여 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등을 기판에 증착시키기 위해 사용된다.Generally, a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) apparatus is a method of depositing an insulating film, a protective film, an oxide film, a metal film, and the like on a substrate using a chemical reaction of a gas in a vacuum state during a display manufacturing process or a semiconductor manufacturing process .

도 1은 기존 기판처리장치를 도시한 도면이다.1 is a view showing an existing substrate processing apparatus.

도 1을 참조하면, 기존 기판처리장치는 진공챔버(10), 상기 진공챔버(10)의 내부에 승강 가능하게 제공되며 기판(2)이 로딩되는 서셉터(20)를 포함하며, 서셉터(20)의 상부에는 전극 및 공정가스가 분출되는 샤워헤드(30)가 구비된다.1, the conventional substrate processing apparatus includes a vacuum chamber 10, a susceptor 20 which is provided inside the vacuum chamber 10 so as to be able to lift and in which the substrate 2 is loaded, 20 are provided with an electrode and a shower head 30 through which the process gas is ejected.

상기 샤워헤드(30)를 통해 진공챔버(10)의 내부에 공정가스가 공급됨과 동시에 전극에 RF 전원이 인가됨에 따라, 진공챔버(10)의 내부에 공급된 공정가스는 플라즈마화 되어 서셉터(20)의 상면에 안착된 기판(2) 상에 증착될 수 있다.As the process gas is supplied to the inside of the vacuum chamber 10 through the showerhead 30 and RF power is applied to the electrodes, the process gas supplied into the vacuum chamber 10 is converted into plasma, 20 on the upper surface of the substrate 2.

한편, 기판(2) 상에 각종 막(예를 들어, 절연막, 보호막, 산화막, 금속막)을 특정 패턴 형태로 증착할 경우에는, 기판(2)의 상면에 마스크(4)를 배치하고, 마스크(4)가 배치된 상태에서 증착 공정을 수행함으로써, 기판(2) 상에는 특정 증착 패턴을 형성할 수 있다.On the other hand, when depositing various films (for example, an insulating film, a protective film, an oxide film, and a metal film) on the substrate 2 in a specific pattern form, the mask 4 is disposed on the upper surface of the substrate 2, A specific deposition pattern can be formed on the substrate 2 by performing the deposition process in a state in which the substrate 4 is disposed.

또한, 기판(2) 상에 특정 증착 패턴이 정확히 형성되기 위해서는 기판(2)에 대한 마스크(4)의 위치가 정확하게 얼라인될 수 있어야 한다. 이를 위해 기판(2)의 상면에 마스크(4)를 안착하기 전에, 기판(2)에 대한 마스크(4)의 위치를 정렬시키기 위한 얼라인 공정이 수행될 수 있다.Further, in order for a specific deposition pattern to be accurately formed on the substrate 2, the position of the mask 4 with respect to the substrate 2 must be accurately aligned. To this end, an alignment process for aligning the position of the mask 4 with respect to the substrate 2 may be performed before the mask 4 is placed on the upper surface of the substrate 2. [

얼라인 방법 중 하나로서, 기존에는 기판(2)에 형성된 타겟 마크(target mark)와 마스크(4)에 형성된 오브젝트 마크(object mark)를 얼라인 카메라(40)로 촬영하여 비교한 후, 타겟 마크에 대한 오브젝트 마크의 거리 및 방향 오차만큼 기판(2)에 대해 마스크(4)를 이동시켜 얼라인 공정을 수행하는 방법이 제시된 바 있다.As one of the alignment methods, conventionally, a target mark formed on the substrate 2 and an object mark formed on the mask 4 are photographed and aligned by the alignment camera 40, and then the target mark The mask 4 is moved with respect to the substrate 2 by the distance and the direction error of the object mark with respect to the substrate 2 to carry out the alignment process.

그러나, 기존에는 기판(2)에 형성된 타겟 마크와 마스크(4)에 형성된 오브젝트 마크를 촬영하기 위한 얼라인 카메라(40)가 진공챔버의 외부에 배치됨에 따라, 얼라인 카메라의 작동거리(working distance)가 증가하는 문제점이 있고, 불가피하게 얼라인 카메라로서 긴 작동거리를 갖는 고성능 카메라를 사용해야 하기 때문에, 원가가 상승될 뿐만 아니라 얼라인 제어가 복잡한 문제점이 있다.However, conventionally, as the alignment camera 40 for photographing the target mark formed on the substrate 2 and the object mark formed on the mask 4 is disposed outside the vacuum chamber, the working distance of the aligned camera ). Inevitably, a high-performance camera having a long working distance is required as the alignment camera, so that not only the cost is increased but also the alignment control is complicated.

또한, 기존에는 오브젝트 마크의 일부가 얼라인 카메라의 포커싱 영역(Field Of View; FOV)의 외측에 배치될 경우에는, 오브젝트 마크를 정확하게 인식하기 어려워 미스 얼라인으로 판단되는 경우가 빈번하게 발생하는 문제점이 있다.In addition, when a part of the object mark is disposed outside the field of view (FOV) of the aligned camera, it is difficult to correctly recognize the object mark, .

이에 따라, 최근에는 얼라인 정확도 및 효율성을 향상시키기 위한 다양한 검토가 이루어지고 있으나, 아직 미흡하여 이에 대한 개발이 요구되고 있다.Accordingly, in recent years, various studies have been made to improve the accuracy and efficiency of the alignment, but there is still insufficient and development thereof is required.

본 발명은 얼라인 정확도 및 효율성을 향상시킬 수 있는 기판 얼라인 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a substrate aligning apparatus capable of improving alignment accuracy and efficiency.

특히, 본 발명은 얼라인 카메라의 작동거리를 단축할 수 있으며, 원가를 절감하고 제어의 용이함을 제공할 수 있는 기판 얼라인 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In particular, it is an object of the present invention to provide a substrate aligning apparatus capable of shortening a working distance of an aligning camera, reducing cost, and providing ease of control.

또한, 본 발명은 마크에 대한 카메라의 위치(포커싱 영역)를 가변시켜 마크의 인식률 저하에 따른 미스 얼라인을 방지할 수 있는 기판 얼라인 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a substrate aligning apparatus capable of changing misalignment due to a decrease in the recognition rate of a mark by varying the position (focusing area) of the camera with respect to the mark.

또한, 본 발명은 구조를 간소화할 수 있으며, 설계자유도를 향상시킬 수 있는 기판 얼라인 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a substrate aligning apparatus which can simplify the structure and improve the degree of design freedom.

상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 기판에 형성된 타겟 마크 및 오브젝트에 형성된 오브젝트 마크를 이용하여 기판에 대한 오브젝트의 얼라인을 수행하는 기판 얼라인 장치는, 진공챔버의 내부에서 독립적으로 밀폐된 대기압 수용공간을 제공하는 카메라 챔버와, 카메라 챔버의 내부에 제공되며, 타겟 마크 및 오브젝트 마크를 촬영하는 얼라인 카메라와, 카메라 챔버를 진공챔버의 내부에서 이동시키는 챔버이동유닛을 포함한다. 이러한 구성에 의하여, 얼라인 카메라의 작동거리를 단축할 수 있으며, 마크에 대한 얼라인 카메라의 포커싱 영역을 선택적으로 조절할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate aligning apparatus for aligning an object with respect to a substrate using a target mark formed on the substrate and an object mark formed on the object, A camera chamber provided in the interior of the camera chamber for providing an atmospheric pressure accommodating space which is independently sealed in the interior of the chamber; an alignment camera for photographing a target mark and an object mark; a chamber for moving the camera chamber in the vacuum chamber; Mobile unit. With this configuration, the working distance of the alignment camera can be shortened and the focusing area of the alignment camera with respect to the mark can be selectively adjusted.

참고로, 본 발명에서 오브젝트라 함은, 디스플레이 제조 공정 또는 반도체 제조 공정 중에 기판에 대해 정렬이 필요한 피대상물로 이해될 수 있으며, 오브젝트의 종류 및 특성에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 일 예로, 오브젝트는 기판 상에 특정 증착 패턴을 형성하기 위해 기판에 적층되는 마스크를 포함할 수 있다.For reference, an object in the present invention can be understood as an object to be aligned with respect to a substrate during a display manufacturing process or a semiconductor manufacturing process, and the present invention is not limited or limited by the kind and characteristics of an object. In one example, the object may include a mask that is laminated to the substrate to form a particular deposition pattern on the substrate.

카메라 챔버는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 진공챔버 상에서 다양한 위치에 장착될 수 있다. 일 예로, 카메라 챔버는 기판의 하부에 배치되도록 진공챔버의 하부에 장착될 수 있다. 다른 일 예로, 카메라 챔버는 기판의 상부에 배치되도록 진공챔버의 상부에 장착되거나, 진공챔버의 측벽에 장착될 수 있다.The camera chamber may be mounted at various locations on the vacuum chamber according to the required conditions and design specifications. In one example, the camera chamber may be mounted to the lower portion of the vacuum chamber so that it is disposed at the bottom of the substrate. In another example, the camera chamber may be mounted on top of the vacuum chamber to be placed on top of the substrate, or mounted on the side wall of the vacuum chamber.

카메라 챔버는 내부에 대기압 수용공간을 제공 가능한 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 카메라 챔버는 대기압 수용공간을 형성하는 챔버 몸체, 및 챔버 몸체의 내부에 수용되는 얼라인 카메라가 타겟 마크 및 오브젝트 마크를 견시(viewing)할 수 있도록 챔버 몸체에 형성되는 사이트 윈도우(sight window)을 포함할 수 있다.The camera chamber may be provided with various structures capable of providing an atmospheric pressure accommodating space therein. For example, the camera chamber may include a chamber body defining an atmospheric pressure receiving space, and a sight window formed in the chamber body so that an alignment camera accommodated in the chamber body can view the target mark and the object mark ).

챔버이동유닛은 카메라 챔버를 진공챔버의 내부에서 3축 방향(예를들어, X축,Y축,Z축 또는 R축,θ축,Z축)으로 이동시킬 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 챔버이동유닛은 일단은 대기압챔버에 연결되고 타단은 진공챔버의 외측에 배치되는 가동샤프트, 진공챔버의 외측에 제공되며 가동샤프트를 가동샤프트의 축 방향을 따라 직선 이동시키는 직선구동부, 및 진공챔버의 외측에 제공되며 가동샤프트를 회전 구동시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.The chamber moving unit can be provided in various structures capable of moving the camera chamber in a three-axis direction (e.g., X axis, Y axis, Z axis or R axis,? Axis, Z axis) . For example, the chamber moving unit may include a movable shaft, one end of which is connected to the atmospheric pressure chamber and the other end of which is disposed outside the vacuum chamber, a linear driving unit provided outside the vacuum chamber and linearly moving the movable shaft along the axial direction of the movable shaft, And a rotation driving unit provided outside the vacuum chamber for rotationally driving the movable shaft.

직선구동부는 가동샤프트를 가동샤프트의 축 방향을 따라 이동시킬 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 직선구동부는, 회전 가능하게 제공되는 스크류부재, 상기 스크류부재를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제1모터, 제1모터의 구동력을 스크류부재로 전달하는 제1동력전달부재, 및 스크류부재의 회전에 대응하여 스크류부재를 따라 직선 이동하며 가동샤프트가 연결되는 가동부재를 포함하여 구성될 수 있다.The linear driving portion may be provided in various structures capable of moving the movable shaft along the axial direction of the movable shaft. For example, the linear driving unit may include a screw member rotatably provided, a first motor for providing a driving force for rotating the screw member, a first power transmitting member for transmitting a driving force of the first motor to the screw member, And a movable member that linearly moves along the screw member corresponding to the rotation of the screw member and to which the movable shaft is connected.

회전구동부는 진공챔버의 외측에 구비되어 가동샤프트를 회전 구동시키도록 구성되며, 가동샤프트가 회전함에 따라 카메라 챔버는 X축 및 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 경우에 따라서는 카메라 챔버가 X축 직선구동수단 및 Y축 직선구동수단에 의해 직선 이동하며 X축 및 Y축 방향으로 이동하도록 구성하는 것도 가능하다. 회전구동부는 가동샤프트를 회전 구동시킬 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 회전구동부는, 가동샤프트를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제2모터, 제2모터의 구동력을 가동샤프트로 전달하는 제2동력전달부재를 포함하여 구성될 수 있다.The rotation driving unit is provided outside the vacuum chamber to rotate the movable shaft. As the movable shaft rotates, the camera chamber can move in the X and Y axis directions. In some cases, the camera chamber may be linearly moved by the X-axis linear driving means and the Y-axis linear driving means and moved in the X-axis and Y-axis directions. The rotation driving unit may be provided in various structures capable of rotationally driving the movable shaft. For example, the rotary drive unit may include a second motor that provides a drive force for rotating the movable shaft, and a second power transmission member that transmits the drive force of the second motor to the movable shaft.

챔버이동유닛의 구조 및 작동구조를 간소화할 수 있도록, 회전구동부는 직선구동부에 구동력에 의해 가동샤프트와 함께 직선 이동 가능하게 제공될 수 있다. 다르게는, 회전구동부 및 직선구동부가 각각 독립적으로 작동하도록 구성하는 것도 가능하다. 일 예로, 직선구동부가 회전 가능하게 제공되는 스크류부재, 스크류부재를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제1모터, 제1모터의 구동력을 스크류부재로 전달하는 제1동력전달부재, 및 스크류부재의 회전에 대응하여 스크류부재를 따라 직선 이동하며 가동샤프트가 연결되는 가동부재를 포함할 수 있고, 회전구동부는, 가동부재 상에 장착되며 가동샤프트를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제2모터, 및 제2모터의 구동력을 가동샤프트로 전달하는 제2동력전달부재를 포함할 수 있으며, 회전구동부는 제1모터의 구동력에 의해 가동부재와 함께 직선 이동할 수 있다.In order to simplify the structure and operating structure of the chamber moving unit, the rotation driving unit can be provided to the linear driving unit linearly movably together with the movable shaft by a driving force. Alternatively, the rotation drive unit and the linear drive unit may be configured to operate independently of each other. For example, there may be a screw member in which a linear driving unit is rotatably provided, a first motor that provides a driving force for rotating the screw member, a first power transmitting member that transmits a driving force of the first motor to the screw member, A second motor that is mounted on the movable member and provides a driving force for rotating the movable shaft, and a second motor that is mounted on the movable member and that provides a driving force for rotating the movable shaft, And a second power transmitting member for transmitting the driving force of the motor to the movable shaft, and the rotation driving unit can linearly move together with the movable member by the driving force of the first motor.

카메라 챔버는, 얼라인 카메라가 오브젝트의 영역 상에 배치되는 촬영위치, 및 상기 얼라인 카메라가 오브젝트의 영역 외측에 배치되는 비촬영위치로 이동 가능하게 제공될 수 있다. 여기서, 얼라인 카메라의 촬영위치라 함은, 평면 투영시 얼라인 카메라의 포커싱 영역이 오브젝트의 영역에 배치되는 상태로 이해될 수 있고, 얼라인 카메라의 비촬영위치라 함은, 평면 투영시 얼라인 카메라의 포커싱 영역이 오브젝트의 외측 영역에 배치되는 상태로 이해될 수 있다.The camera chamber may be provided so as to be movable to a photographing position where the aligning camera is disposed on an area of the object and a non-photographing position where the aligning camera is disposed outside the area of the object. Here, the photographing position of the aligning camera can be understood as a state in which the focusing area of the aligning camera is arranged in the area of the object when the planar projection is performed, and the non-photographing position of the aligning camera is a plane- It can be understood that the focusing area of the camera, which is the camera, is disposed in the outer area of the object.

카메라 챔버의 촬영위치 및 비촬영위치로의 이동은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 방식으로 구현될 수 있다. 일 예로, 카메라 챔버는 챔버이동유닛에 의해 촬영위치 및 비촬영위치로 이동하도록 구성될 수 있다. 경우에 따라서는, 카메라 챔버가 별도의 이동유닛에 의해 촬영위치 및 비촬영위치로 이동하거나, 촬영위치에서 비촬영위치로 직선 이동하도록 구성하는 것도 가능하다.The movement of the camera chamber to the photographing position and the non-photographing position can be implemented in various ways according to the required conditions and design specifications. In one example, the camera chamber may be configured to move to a shooting position and a non-shooting position by a chamber moving unit. In some cases, the camera chamber may be moved to a photographing position and a non-photographing position by a separate mobile unit, or may be linearly moved from a photographing position to a non-photographing position.

한편, 가동샤프트는 중공 단면 형태를 갖도록 형성될 수 있다. 아울러, 카메라에 연결되는 카메라 케이블은 중공 단면 형태를 갖는 가동샤프트의 내부를 따라 배치될 수 있다. 또한, 카메라 챔버의 대기압 수용공간에는 쿨링가스를 공급하기 위한 쿨링배관이 연결될 수 있는 바, 쿨링배관은 가동샤프트의 내부를 따라 제공되어 일단은 대기압 수용공간에 배치되고 타단은 진공챔버의 외부에 배치될 수 있다.Meanwhile, the movable shaft may be formed to have a hollow sectional shape. In addition, the camera cable connected to the camera may be disposed along the inside of the movable shaft having a hollow cross-sectional shape. In addition, a cooling pipe for supplying a cooling gas can be connected to the atmospheric pressure accommodation space of the camera chamber. The cooling pipe is provided along the inside of the movable shaft so that one end is disposed in the atmospheric pressure accommodating space and the other end is disposed outside the vacuum chamber .

그리고, 가동샤프트 상에는 진공챔버와 가동샤프트의 사이를 밀봉하기 위한 밀봉부재가 제공될 수 있다. 밀봉부재로서는 진공 구역(진공챔버 내부)과 대기압 구역(진공챔버 외부)의 경계를 차단할 수 있는 다양한 밀봉수단이 사용될 수 있다. 일 예로, 밀봉부재로서는 마그네틱 씰(magnetic fluid seal)이 사용될 수 있다. 또한, 진공챔버와 가동부재의 사이에는 마감을 위한 커버부재가 제공될 수 있다. 커버부재의 일단은 진공챔버의 외면에 연결되고 타단은 가동부재에 연결될 수 있으며, 가동부재의 이동에 대응하여 진공챔버와 가동부재의 사이에서 신축될 수 있다.And, on the movable shaft, a sealing member for sealing between the vacuum chamber and the movable shaft may be provided. As the sealing member, various sealing means capable of blocking the boundary between the vacuum zone (inside the vacuum chamber) and the atmospheric pressure zone (outside the vacuum chamber) can be used. As an example, a magnetic fluid seal may be used as the sealing member. Further, a cover member for finishing may be provided between the vacuum chamber and the movable member. One end of the cover member can be connected to the outer surface of the vacuum chamber and the other end can be connected to the movable member and can be expanded or contracted between the vacuum chamber and the movable member corresponding to the movement of the movable member.

상기 카메라 챔버가 기판의 상부에 배치되는 구조의 경우에도, 카메라 챔버는, 얼라인 카메라가 오브젝트의 영역 상에 배치되는 촬영위치, 및 상기 얼라인 카메라가 오브젝트의 영역 외측에 배치되는 비촬영위치로 이동 가능하게 제공될 수 있다. 상기 카메라 챔버가 비촬영위치로 이동한 상태에서는 진공챔버의 내부에서 기판 및 오브젝트의 이동이 보다 자유롭게 보장될 수 있다.Even in the case of the structure in which the camera chamber is disposed on the upper side of the substrate, the camera chamber is provided with a photographing position where the aligning camera is disposed on an area of the object, and a non-photographing position where the aligning camera is disposed outside the object area And can be provided movably. The movement of the substrate and the object within the vacuum chamber can be more freely ensured when the camera chamber is moved to the non-shooting position.

한편, 얼라인 카메라를 이용한 얼라인 공정이 완료된 후, 카메라 챔버가 비촬영위치에 배치된다 하더라도, 증착 공정이 수행되는 동안 파티클과 같은 이물질이 카메라 챔버(특히, 사이트 윈도우)에 영향을 줄 수 있는 우려가 있다. 특히, 카메라 챔버가 기판의 상부에 배치되는 구조의 경우, 이물질에 의한 영향이 발생될 우려가 크다. 이를 위해 진공챔버의 내면에는 카메라 챔버가 수용되기 위한 챔버수용부가 형성될 수 있고, 카메라 챔버는 비촬영위치에서 챔버수용부에 수용될 수 있다.On the other hand, even if the camera chamber is disposed at the non-shooting position after the alignment process using the alignment camera is completed, foreign matter such as particles may affect the camera chamber (in particular, the site window) There is a concern. Particularly, in the case of a structure in which the camera chamber is disposed on the upper portion of the substrate, there is a great possibility that the influence due to foreign matter may occur. To this end, a chamber accommodating portion for accommodating the camera chamber can be formed on the inner surface of the vacuum chamber, and the camera chamber can be accommodated in the chamber accommodating portion in the non-photographing position.

더욱 바람직하게, 증착 공정이 수행되는 동안 파티클과 같은 이물질에 의한 영향을 최소화할 수 있도록, 카메라 챔버에는 쉴드부재(shield member)가 연결될 수 있으며, 카메라 챔버가 챔버수용부에 수용된 상태에서 챔버수용부는 쉴드부재에 의해 차단될 수 있다.More preferably, a shield member may be connected to the camera chamber so as to minimize the influence of foreign matter such as particles during the deposition process, and with the camera chamber being accommodated in the chamber accommodating portion, It can be blocked by the shield member.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 얼라인 정확도 및 효율성을 향상시킬 수 있As described above, according to the present invention, it is possible to improve alignment accuracy and efficiency

특히, 본 발명에 따르면 진공챔버의 내부에서 독립적으로 밀폐된 대기압 수용공간을 제공하는 카메라 챔버를 이용하여, 진공챔버의 내부에 얼라인 카메라를 배치하고, 카메라 챔버가 챔버이동유닛에 의해 3축(예를들어, X축,Y축,Z축 또는 R축,θ축,Z축) 방향으로 이동할 수 있게 함으로써, 얼라인 카메라의 작동거리를 단축할 수 있으며, 원가를 절감하고 제어의 용이함을 제공할 수 있다.In particular, according to the present invention, an alignment camera is disposed inside a vacuum chamber using a camera chamber that provides an atmospheric pressure accommodating space that is independently enclosed in a vacuum chamber, and the camera chamber is moved to a three- The X-axis, the Y-axis, the Z-axis, or the R-axis, the? -Axis, and the Z-axis) can reduce the working distance of the alignment camera and reduce cost and ease control. can do.

또한, 본 발명에 따르면 마크에 대한 카메라의 위치(포커싱 영역)를 가변시킬 수 있게 함으로써, 마크의 일부가 얼라인 카메라의 포커싱 영역의 외측에 배치될 경우에도, 마크의 인식률 저하에 따른 미스 얼라인을 미연에 방지하고, 얼라인 공정을 안정적으로 수행할 수 있다.Further, according to the present invention, it is possible to vary the position (focusing area) of the camera with respect to the mark, so that even when a part of the mark is disposed outside the focusing area of the camera, And the alignment process can be performed stably.

또한, 본 발명에 따르면 직선구동부에 구동력에 의해 회전구동부가 가동샤프트와 함께 작동될 수 있게 함으로써, 챔버이동유닛의 구조를 간소화할 수 있으며, 챔버이동유닛의 장착에 필요한 공간을 최소화할 수 있다.In addition, according to the present invention, the rotation driving portion can be operated with the movable shaft by the driving force to the linear driving portion, the structure of the chamber moving unit can be simplified, and the space required for mounting the chamber moving unit can be minimized.

또한, 본 발명에 따르면 기판처리공정시 발생되는 이물질에 의한 얼라인 카메라의 성능 저하 및 손상을 최소화할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to minimize the performance degradation and damage of the alignment camera due to foreign substances generated during the substrate processing step.

도 1은 기존 기판처리장치를 도시한 도면,
도 2는 본 발명에 따른 기판 얼라인 장치를 설명하기 위한 도면,
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 기판 얼라인 장치의 구조 및 작동구조를 설명하기 위한 도면,
도 6은 본 발명에 따른 기판 얼라인 장치로서, 카메라 챔버의 촬영위치 및 비촬영위치를 설명하기 위한 도면,
도 7 내지 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 장치를 설명하기 위한 도면,
도 11은 본 발명에 따른 기판 얼라인 장치로서, 카메라의 위치(포커싱 영역) 가변 상태를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view showing an existing substrate processing apparatus,
2 is a view for explaining a substrate aligning apparatus according to the present invention,
FIGS. 3 to 5 are views for explaining the structure and operating structure of the substrate aligning apparatus according to the present invention;
6 is a view for explaining a photographing position and a non-photographing position of a camera chamber, which is a substrate aligning apparatus according to the present invention,
7 to 10 are views for explaining a substrate aligning apparatus according to another embodiment of the present invention,
11 is a view for explaining the position (focusing area) variable state of the camera, which is a substrate aligning apparatus according to the present invention.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 이러한 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments. For reference, the same numbers in this description refer to substantially the same elements and can be described with reference to the contents described in the other drawings under these rules, and the contents which are judged to be obvious to the person skilled in the art or repeated can be omitted.

도 2는 본 발명에 따른 기판 얼라인 장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 기판 얼라인 장치의 구조 및 작동구조를 설명하기 위한 도면이며, 도 6은 본 발명에 따른 기판 얼라인 장치로서, 카메라 챔버의 촬영위치 및 비촬영위치를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 2 is a view for explaining a substrate aligning apparatus according to the present invention, FIGS. 3 to 5 are views for explaining the structure and operating structure of the substrate aligning apparatus according to the present invention, Fig. 8 is a view for explaining a photographing position and a non-photographing position of a camera chamber.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 얼라인 장치는, 기판(210)에 형성된 타겟 마크(212) 및 오브젝트(220)에 형성된 오브젝트 마크(222)를 이용하여 기판(210)에 대한 오브젝트(220)의 얼라인을 수행하기 위해 제공되며, 카메라 챔버(310), 얼라인 카메라(320), 챔버이동유닛(330)을 포함한다.2 to 5, a substrate aligning apparatus according to the present invention is a substrate aligning apparatus for aligning a substrate 210 using a target mark 212 formed on a substrate 210 and an object mark 222 formed on the object 220. [ And includes a camera chamber 310, an aligned camera 320, and a chamber movement unit 330. The camera chamber 310 includes a camera lens 310, an alignment camera 320,

참고로, 본 발명에서 오브젝트(220)라 함은, 디스플레이 제조 공정 또는 반도체 제조 공정 중에 기판(210)에 대해 정렬이 필요한 피대상물로 이해될 수 있으며, 오브젝트(220)의 종류 및 특성에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 일 예로, 오브젝트(220)는 기판(210) 상에 특정 증착 패턴을 형성하기 위해 기판(210)에 적층되는 마스크를 포함할 수 있다.For reference, the object 220 in the present invention may be understood as an object to be aligned with respect to the substrate 210 during a display manufacturing process or a semiconductor manufacturing process. The invention is not limited or limited. In one example, the object 220 may include a mask that is deposited on the substrate 210 to form a particular deposition pattern on the substrate 210.

아울러, 본 발명에 따른 기판 얼라인 장치는, 기판처리장치 상에서 기판(210)의 상면에 오브젝트(220)를 안착하기 전에, 기판(210)에 대한 오브젝트(220)의 위치를 정렬시키기 위해 사용될 수 있으며, 기판처리장치는 진공챔버(110) 및 서셉터(120)를 포함할 수 있다.The substrate aligning apparatus according to the present invention can be used to align the position of the object 220 with respect to the substrate 210 before the object 220 is placed on the upper surface of the substrate 210 on the substrate processing apparatus. And the substrate processing apparatus may include a vacuum chamber 110 and a susceptor 120.

상기 진공챔버(110)는 내부에 소정 처리 공간을 갖도록 제공되며, 측벽 적어도 일측에는 기판(210) 및 마스크 등이 출입되기 위한 출입부가 제공된다.The vacuum chamber 110 is provided with a predetermined processing space therein, and at least one side of the side wall is provided with an access portion for accessing the substrate 210 and a mask.

상기 진공챔버(110)의 사이즈 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 적절히 변경될 수 있으며, 진공챔버(110)의 특성에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 일 예로, 진공챔버(110)는 대면적 크기의 기판(210) 및 마스크와 함께 각종 이송유닛이 수용될 수 있는 대면적 처리 공간을 갖도록 제공될 수 있다.The size and structure of the vacuum chamber 110 may be appropriately changed according to required conditions and design specifications, and the present invention is not limited or limited by the characteristics of the vacuum chamber 110. In one example, the vacuum chamber 110 may be provided with a large-area processing space in which various transfer units can be accommodated together with the substrate 210 and the mask of a large-area size.

상기 서셉터(120)는 진공챔버(110)의 내부에 상하 방향을 따라 승강 가능하게 제공되며, 서셉터(120)의 상면에는 기판(210)이 안착될 수 있다. 상기 서셉터(120)는 모터와 같은 통상의 구동수단에 의해 상하 방향을 따라 이동될 수 있다.The susceptor 120 is provided in the vacuum chamber 110 so as to be able to move up and down along the vertical direction and the substrate 210 can be seated on the upper surface of the susceptor 120. The susceptor 120 can be moved along the vertical direction by a normal driving means such as a motor.

상기 서셉터(120)의 상부에는 공정가스를 공급하고 RF 에너지를 공급하는 샤워헤드(130)가 제공될 수 있으며, 샤워헤드(130)로서는 공지된 통상의 샤워헤드가 사용될 수 있다.The upper portion of the susceptor 120 may be provided with a showerhead 130 for supplying a process gas and supplying RF energy. The showerhead 130 may be a conventional showerhead known in the art.

상기 오브젝트(220)는 오브젝트 지지대(미도시)에 의해 지지될 수 있으며, 오브젝트 지지대는 통상의 구동수단에 의해 X, Y, Z 방향으로 이동 가능하게 제공될 수 있다.The object 220 may be supported by an object support (not shown), and the object support may be provided movably in X, Y, and Z directions by normal driving means.

상기 카메라 챔버(310)는 진공챔버의 내부에서 독립적으로 밀폐된 대기압 수용공간을 제공한다.The camera chamber 310 provides an enclosed atmospheric pressure accommodating space within the vacuum chamber.

상기 카메라 챔버(310)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 진공챔버 상에서 다양한 위치에 장착될 수 있다. 일 예로, 상기 카메라 챔버(310)는 기판의 하부에 배치되도록 진공챔버의 하부에 장착될 수 있다.The camera chamber 310 may be mounted at various locations on the vacuum chamber according to the required conditions and design specifications. For example, the camera chamber 310 may be mounted on a lower portion of the vacuum chamber so as to be disposed below the substrate.

상기 카메라 챔버(310)는 내부에 대기압 수용공간을 제공 가능한 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 상기 카메라 챔버(310)는 대기압 수용공간을 형성하는 챔버 몸체(312), 및 챔버 몸체(312)의 내부에 수용되는 얼라인 카메라(320)가 타겟 마크(212) 및 오브젝트 마크(222)를 견시(viewing)할 수 있도록 챔버 몸체(312)에 형성되는 사이트 윈도우(sight window)(314)를 포함할 수 있다.The camera chamber 310 may be provided in various structures capable of providing an atmospheric pressure accommodating space therein. The camera chamber 310 includes a chamber body 312 forming an atmospheric pressure accommodating space and an alignment camera 320 accommodated in the chamber body 312. The target mark 212 and the object mark 222 And a sight window 314 formed in the chamber body 312 to allow the user to view the displayed image.

상기 챔버몸체는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 사각, 삼각 또는 구 등의 형태로 제공될 수 있 챔버몸체의 형상 및 구조에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.The chamber body may be provided in the shape of a square, a triangle, a sphere, or the like depending on the required conditions and design specifications. The present invention is not limited or limited by the shape and structure of the chamber body.

상기 사이트 윈도우(314)는 통상의 투명한 재질로 형성될 수 있으며, 얼라인 카메라(320)의 가독성(readability)을 저해하지 않는 한에서 약간의 불투명한 정도를 포함할 수도 있다.The site window 314 may be formed of a conventional transparent material and may include some degree of opacity as long as it does not interfere with the readability of the alignment camera 320. [

상기 얼라인 카메라(320)는 카메라 챔버(310)의 내부의 대기압 수용공간 상에 제공되며, 타겟 마크(212) 및 오브젝트 마크(222)를 촬영한다. 상기 얼라인 카메라(320)로서는 비젼카메라와 같은 통상의 카메라가 사용될 수 있으며, 얼라인 카메라(320)의 종류 및 특성에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 발명에서는 얼라인 카메라(320)가 카메라 챔버(310)를 매개로 진공챔버의 내부에 배치됨에 따라 카메라의 작동거리(working distance)를 단축할 수 있기 때문에, 기존과 같이 얼라인 카메라(320)로서 고성능 카메라를 사용할 필요가 없다. 여기서, 상기 카메라의 작동거리라 함은 카메라와 피사체의 사이 거리를 의미한다.The alignment camera 320 is provided on the atmospheric pressure accommodating space inside the camera chamber 310 and photographs the target mark 212 and the object mark 222. As the alignment camera 320, a conventional camera such as a vision camera can be used, and the present invention is not limited or limited by the type and characteristics of the alignment camera 320. [ However, in the present invention, since the alignment camera 320 is disposed inside the vacuum chamber through the camera chamber 310, the working distance of the camera can be shortened, 320, there is no need to use a high-performance camera. Here, the working distance of the camera means the distance between the camera and the subject.

상기 챔버이동유닛(330)은 카메라 챔버(310)를 진공챔버의 내부에서 3축(예를들어, X축,Y축,Z축 또는 R축,θ축,Z축) 방향으로 이동시키도록 제공된다.The chamber moving unit 330 is provided to move the camera chamber 310 in three axes (for example, X axis, Y axis, Z axis or R axis, θ axis, Z axis) do.

상기 챔버이동유닛(330)은 카메라 챔버(310)를 진공챔버의 내부에서 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 상기 챔버이동유닛(330)은 가동샤프트(340), 직선구동부(350) 및 회전구동부(360)를 포함하여 구성될 수 있다.The chamber moving unit 330 may be provided in various structures capable of moving the camera chamber 310 in three axial directions inside the vacuum chamber. For example, the chamber moving unit 330 may include a movable shaft 340, a linear driving unit 350, and a rotation driving unit 360.

상기 가동샤프트(340)의 일단은 진공챔버의 하부를 관통하여 대기압 수용공간에 배치되는 카메라 챔버(310)에 일체로 연결되고, 타단은 진공챔버의 외측에 배치된다. 일 예로, 상기 가동샤프트(340)로서는 중공 단면 형태를 갖는 중공 부재가 사용될 수 있다.One end of the movable shaft 340 is integrally connected to the camera chamber 310 disposed in the atmospheric pressure accommodation space through the lower portion of the vacuum chamber and the other end is disposed outside the vacuum chamber. For example, as the movable shaft 340, a hollow member having a hollow cross-sectional shape may be used.

상기 직선구동부(350)는 진공챔버의 외측에 구비되어 가동샤프트(340)를 가동샤프트(340)의 축 방향(일 예로, Z축 방향)을 따라 직선 이동시키도록 구성된다.The linear driving unit 350 is provided outside the vacuum chamber and is configured to linearly move the movable shaft 340 along the axial direction of the movable shaft 340 (e.g., the Z-axis direction).

상기 직선구동부(350)는 가동샤프트(340)를 가동샤프트(340)의 축 방향을 따라 이동시킬 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 상기 직선구동부(350)는, 회전 가능하게 제공되는 스크류부재(352), 상기 스크류부재(352)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제1모터(354), 상기 제1모터(354)의 구동력을 스크류부재(352)로 전달하는 제1동력전달부재(356), 및 상기 스크류부재(352)의 회전에 대응하여 스크류부재(352)를 따라 직선 이동하며 가동샤프트(340)가 연결되는 가동부재(358)를 포함하여 구성될 수 있다.The linear driving unit 350 may be provided in various structures that can move the movable shaft 340 along the axial direction of the movable shaft 340. For example, the linear driving unit 350 includes a screw member 352 rotatably provided, a first motor 354 for providing a driving force for rotating the screw member 352, a first motor 354, A first power transmission member 356 for transmitting the driving force of the screw member 352 to the screw member 352 and a second power transmitting member 352 for linearly moving along the screw member 352 in correspondence with the rotation of the screw member 352, And a movable member 358.

상기 스크류부재(352)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 진공챔버의 외면에 회전 가능하게 장착되거나, 진공챔버의 외측에 인접한 구조물에 회전 가능하게 장착될 수 있다. 또한, 상기 스크류부재(352)로서는 통상의 볼스크류가 사용될 수 있으며, 스크류부재(352)의 종류 및 특성은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The screw member 352 may be rotatably mounted on the outer surface of the vacuum chamber or may be rotatably mounted on the structure adjacent to the outside of the vacuum chamber according to the required conditions and design specifications. As the screw member 352, a conventional ball screw may be used, and the type and characteristics of the screw member 352 may be variously changed according to required conditions and design specifications.

상기 제1모터(354)로서는 통상의 서보 모터가 사용될 수 있으며, 경우에 따라서는 여타 다른 통상의 모터가 제1모터로서 사용될 수 있다.As the first motor 354, a conventional servo motor may be used, and in some cases, other conventional motors may be used as the first motor.

상기 제1동력전달부재(356)는 제1모터(354)의 구동력을 스크류부재(352)로 전달하기 위해 제공되며, 제1동력전달부재(356)로서는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 동력전달부재가 사용될 수 있다. 일 예로, 상기 제1동력전달부재(356)로서는 통상의 벨트가 사용될 수 있다. 경우에 따라서는 제1동력전달부재로서 통상의 체인 또는 기어 조합이 사용될 수 있다.The first power transmitting member 356 is provided to transmit the driving force of the first motor 354 to the screw member 352. As the first power transmitting member 356, A transmitting member may be used. For example, as the first power transmitting member 356, an ordinary belt may be used. In some cases, a conventional chain or gear combination may be used as the first power transmitting member.

상기 스크류부재(352)의 회전은 가동부재(358)의 직선 이동으로 전환될 수 있으며, 가동부재(358)의 직선 이동에 대응하여 가동샤프트(340)가 함께 직선 이동할 수 있다.The rotation of the screw member 352 can be switched to the linear movement of the movable member 358 and the movable shaft 340 can linearly move together with the linear movement of the movable member 358. [

상기 회전구동부(360)는 진공챔버의 외측에 구비되어 가동샤프트(340)를 회전 구동시키도록 구성되며, 회전구동부(360)에 의해 가동샤프트(340)가 회전함에 따라 카메라 챔버(310)는 X축 및 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 참고로, 본 발명의 실시예에서는 카메라 챔버(310)가 회전구동부(360)에 의해 회전하며 X축 및 Y축 방향으로 이동하도록 구성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 카메라 챔버가 X축 직선구동수단 및 Y축 직선구동수단에 의해 직선 이동하며 X축 및 Y축 방향으로 이동하도록 구성하는 것도 가능하다.The rotation driving unit 360 is disposed outside the vacuum chamber to rotationally drive the movable shaft 340. As the movable shaft 340 rotates by the rotation driving unit 360, Axis and Y-axis directions. For reference, in the embodiment of the present invention, the camera chamber 310 is configured to rotate by the rotation driving unit 360 and to move in the X-axis and Y-axis directions. However, in some cases, It is also possible to constitute linear movement by the linear driving means and Y-axis linear driving means and movement in the X-axis and Y-axis directions.

상기 회전구동부(360)는 가동샤프트(340)를 회전 구동시킬 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 상기 회전구동부(360)는, 가동샤프트(340)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제2모터(362), 상기 제2모터(362)의 구동력을 가동샤프트(340)로 전달하는 제2동력전달부재(364)를 포함하여 구성될 수 있다.The rotation driving unit 360 may be provided in various structures capable of rotationally driving the movable shaft 340. The rotation driving unit 360 includes a second motor 362 for providing a driving force for rotating the movable shaft 340, a second motor 362 for transmitting the driving force of the second motor 362 to the movable shaft 340, 2 power transmission member 364. The power transmission member 364 may be of any type.

상기 제2모터(362)로서는 통상의 서보 모터가 사용될 수 있으며, 경우에 따라서는 여타 다른 통상의 모터가 제2모터로서 사용될 수 있다.As the second motor 362, a conventional servo motor may be used, and in some cases, other conventional motors may be used as the second motor.

상기 제2동력전달부재(364)는 제2모터(362)의 구동력을 가동샤프트(340)로 전달하기 위해 제공되며, 제2동력전달부재(364)로서는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 동력전달부재가 사용될 수 있다. 일 예로, 상기 제2동력전달부재(364)로서는 통상의 벨트가 사용될 수 있다. 경우에 따라서는 제2동력전달부재로서 통상의 체인 또는 기어 조합이 사용될 수 있다.The second power transmitting member 364 is provided to transmit the driving force of the second motor 362 to the movable shaft 340. The second power transmitting member 364 is provided with various motive power A transmitting member may be used. For example, the second power transmitting member 364 may be a conventional belt. In some cases, a conventional chain or gear combination may be used as the second power transmitting member.

바람직하게, 상기 챔버이동유닛(330)의 구조 및 작동구조를 간소화할 수 있도록, 전술한 회전구동부(360)는 직선구동부(350)에 구동력에 의해 가동샤프트(340)와 함께 직선 이동 가능하게 제공될 수 있다. 다르게는, 회전구동부 및 직선구동부가 각각 독립적으로 작동하도록 구성하는 것도 가능하다. 이하에서는 상기 직선구동부(350)가 회전 가능하게 제공되는 스크류부재(352), 상기 스크류부재(352)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제1모터(354), 상기 제1모터(354)의 구동력을 스크류부재(352)로 전달하는 제1동력전달부재(356), 및 상기 스크류부재(352)의 회전에 대응하여 스크류부재(352)를 따라 직선 이동하며 가동샤프트(340)가 연결되는 가동부재(358)를 포함하고, 상기 회전구동부(360)는, 상기 가동부재(358) 상에 장착되며 가동샤프트(340)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제2모터(362), 및 상기 제2모터(362)의 구동력을 가동샤프트(340)로 전달하는 제2동력전달부재(364)를 포함하며, 상기 회전구동부(360)는 제1모터(354)의 구동력에 의해 가동부재(358)와 함께 직선 이동하도록 구성된 예를 들어 설명하기로 한다.The rotation driving unit 360 may be provided to be linearly movable with the movable shaft 340 by a driving force to the linear driving unit 350 so as to simplify the structure and operating structure of the chamber moving unit 330 . Alternatively, the rotation drive unit and the linear drive unit may be configured to operate independently of each other. A first motor 354 for providing a driving force for rotating the screw member 352; a driving motor 354 for driving the first motor 354; And a movable member 340 connected to the movable shaft 340 and linearly moved along the screw member 352 in correspondence to the rotation of the screw member 352. The movable member 340 is connected to the movable member 340 via the screw member 352, (360) comprises a second motor (362) mounted on the movable member (358) and providing a driving force for rotating the movable shaft (340), and a second motor And a second power transmission member 364 for transmitting the driving force of the first motor 352 to the movable shaft 340. The rotation driving unit 360 is coupled with the movable member 358 by the driving force of the first motor 354 An example configured to move in a straight line will be described.

상기 가동부재(358)의 일단에는 스크류부재(352)를 따라 이동하는 볼너트부(358a)가 형성될 수 있고, 가동부재(358)의 다른 일단에는 제2모터(362)가 장착될 수 있다. 상기 제1모터(354)는 진공챔버의 저면에서 제2모터(362)와 비동축적으로 배치되도록 진공챔버의 저면에 연결된 구조물 상에 장착될 수 있다. 상기 제1모터(354) 및 제2모터(362)의 배치 및 장착 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 적절히 변경될 수 있다.A ball nut portion 358a may be formed on one end of the movable member 358 to move along the screw member 352 and a second motor 362 may be mounted on the other end of the movable member 358 . The first motor 354 may be mounted on a structure connected to the bottom surface of the vacuum chamber such that it is non-coaxially disposed with the second motor 362 at the bottom surface of the vacuum chamber. The arrangement and mounting structure of the first motor 354 and the second motor 362 can be appropriately changed according to required conditions and design specifications.

이러한 구성에 의하여, 도 4와 같이, 상기 제1모터(354)의 구동력에 의해 스크류부재(352)가 회전할 수 있고, 스크류부재(352)의 회전에 대응하여 스크류부재(352)를 따라 가동부재(358)가 직선 이동할 수 있으며, 결과적으로 가동부재(358)에 연결된 가동샤프트(340) 및 카메라 챔버(310)가 Z축 방향을 따라 직선 이동함으로써 얼라인 카메라(320)의 포커싱을 조절할 수 있다. 또한, 상기 오브젝트 마크(222)의 일부가 얼라인 카메라(320)의 포커싱 영역(FOV)의 외측에 배치될 경우에는, 제2모터(362)의 구동력에 의해 가동샤프트(340)를 회전시킴으로써 오브젝트 마크(222)에 대한 얼마인 카메라의 위치(포커싱 영역)를 가변시킬 수 있다.(도 10 및 도 11 참조)4, the screw member 352 can be rotated by the driving force of the first motor 354 and can be moved along the screw member 352 corresponding to the rotation of the screw member 352 The movable member 340 and the camera chamber 310 connected to the movable member 358 can linearly move along the Z-axis direction so that the focusing of the aligned camera 320 can be adjusted have. When a part of the object mark 222 is disposed outside the focusing area FOV of the alignment camera 320, the movable shaft 340 is rotated by the driving force of the second motor 362, It is possible to vary the position (focusing area) of the camera with respect to the mark 222 (see Figs. 10 and 11)

아울러, 도 6을 참조하면, 상기 카메라 챔버(310)는, 얼라인 카메라(320)가 오브젝트의 영역 상에 배치되는 촬영위치(P1), 및 상기 얼라인 카메라(320)가 오브젝트의 영역 외측에 배치되는 비촬영위치(P2)로 이동 가능하게 제공될 수 있다. 여기서, 얼라인 카메라(320)의 촬영위치(P1)라 함은, 평면 투영시 얼라인 카메라(320)의 포커싱 영역이 오브젝트의 영역에 배치되는 상태로 이해될 수 있고, 얼라인 카메라(320)의 비촬영위치(P2)라 함은, 평면 투영시 얼라인 카메라(320)의 포커싱 영역이 오브젝트의 외측 영역에 배치되는 상태로 이해될 수 있다.6, the camera chamber 310 includes a photographing position P1 in which the alignment camera 320 is disposed on an area of the object, and a photographing position P1 in which the alignment camera 320 is located outside the area of the object And can be provided movably in the non-photographing position P2 in which it is disposed. Here, the photographing position P1 of the aligning camera 320 can be understood as a state in which the focusing area of the aligning camera 320 is disposed in the area of the object in the planar projection, The non-photographing position P2 of the planar projection camera 320 can be understood as a state in which the focusing area of the aligning camera 320 is disposed in the outer area of the object.

상기 카메라 챔버(310)의 촬영위치(P1) 및 비촬영위치(P2)로의 이동은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 방식으로 구현될 수 있다. 일 예로, 카메라 챔버(310)는 챔버이동유닛(330)에 의해 촬영위치(P1) 및 비촬영위치(P2)로 이동하도록 구성될 수 있다. 보다 구체적으로, 카메라 챔버(310)는 챔버이동유닛(330)의 회전구동부(360)에 의해 회전함으로써 촬영위치(P1) 및 비촬영위치(P2)로 이동할 수 있다. 경우에 따라서는, 카메라 챔버가 별도의 이동유닛에 의해 촬영위치 및 비촬영위치로 이동하거나, 촬영위치에서 비촬영위치로 직선 이동하도록 구성하는 것도 가능하다.The movement of the camera chamber 310 to the photographing position P1 and the non-photographing position P2 can be implemented in various ways according to the required conditions and design specifications. In one example, the camera chamber 310 may be configured to move to the photographing position P1 and the non-photographing position P2 by the chamber moving unit 330. [ More specifically, the camera chamber 310 can be moved to the photographing position P1 and the non-photographing position P2 by rotating by the rotation driving unit 360 of the chamber moving unit 330. In some cases, the camera chamber may be moved to a photographing position and a non-photographing position by a separate mobile unit, or may be linearly moved from a photographing position to a non-photographing position.

한편, 상기 카메라에 연결되는 카메라 케이블(322)은 중공 단면 형태를 갖는 가동샤프트(340)의 내부를 따라 배치될 수 있다. 물론, 카메라 케이블(322)이 가동샤프트(340)의 외측에 배치되도록 구성하는 것도 가능하지만, 카메라 챔버(310)의 대기압 수용공간의 대기압 상태를 안정적으로 유지할 수 있도록 카메라 케이블(322)은 가동샤프트(340)의 내부를 따라 배치되는 것이 바람직하다.Meanwhile, the camera cable 322 connected to the camera may be arranged along the inside of the movable shaft 340 having a hollow cross-sectional shape. The camera cable 322 may be configured such that the camera cable 322 is disposed outside the movable shaft 340. However, in order to stably maintain the atmospheric pressure state of the atmospheric pressure accommodating space of the camera chamber 310, (Not shown).

아울러, 상기 카메라 챔버(310)의 대기압 수용공간에는 쿨링배관(316)이 연결될 수 있으며, 쿨링배관(316)을 통해 카메라 챔버(310)의 내부 공간에는 고온 환경에서 얼라인 카메라(320)를 보호하기 위한 쿨링가스가 공급될 수 있다. 바람직하게 상기 쿨링배관(316)은 가동샤프트(340)의 내부를 따라 제공되어 일단은 대기압 수용공간에 배치되고 타단은 진공챔버의 외부에 배치될 수 있다.In addition, a cooling pipe 316 can be connected to the atmospheric pressure accommodation space of the camera chamber 310, and the inside space of the camera chamber 310 can be protected by the cooling pipe 316 A cooling gas can be supplied. Preferably, the cooling pipe 316 is provided along the inside of the movable shaft 340 so that one end is disposed in the atmospheric pressure accommodating space and the other end is disposed outside the vacuum chamber.

한편, 상기 가동샤프트(340)는 진공챔버의 하부를 관통하도록 배치되기 때문에, 진공챔버와 가동샤프트(340)의 사이가 밀봉될 수 있어야 한다. 이를 위해, 상기 가동샤프트(340) 상에는 진공챔버와 가동샤프트(340)의 사이를 밀봉하도록 밀봉부재(410)가 제공될 수 있다.On the other hand, since the movable shaft 340 is disposed so as to pass through the lower portion of the vacuum chamber, the space between the vacuum chamber and the movable shaft 340 must be sealed. To this end, a sealing member 410 may be provided on the movable shaft 340 so as to seal between the vacuum chamber and the movable shaft 340.

상기 밀봉부재(410)로서는 진공 구역(진공챔버 내부)과 대기압 구역(진공챔버 외부)의 경계를 차단할 수 있는 다양한 밀봉수단이 사용될 수 있다. 일 예로, 상기 밀봉부재(410)로서는 통상의 마그네틱 씰(magnetic fluid seal)이 사용될 수 있다.As the sealing member 410, various sealing means capable of blocking the boundary between the vacuum zone (inside the vacuum chamber) and the atmospheric pressure zone (outside the vacuum chamber) can be used. For example, as the sealing member 410, a conventional magnetic fluid seal may be used.

또한, 상기 진공챔버와 가동부재(358)의 사이에는 마감을 위한 커버부재(420)가 제공될 수 있다. 상기 커버부재(420)는 일단이 진공챔버의 외면에 연결되고 타단은 가동부재(358)에 연결될 수 있으며, 가동부재(358)의 이동에 대응하여 진공챔버와 가동부재(358)의 사이에서 신축될 수 있다. 일 예로, 상기 커버부재(420)로서는 주름관 구조의 벨로우즈가 사용될 수 있으며, 커버부재(420)의 종류 및 특성은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 적절히 변경될 수 있다.Further, a cover member 420 for finishing may be provided between the vacuum chamber and the movable member 358. The cover member 420 may be connected at one end to the outer surface of the vacuum chamber and at the other end to the movable member 358. The movable member 358 may be movable between a vacuum chamber and a movable member 358, . For example, a bellows having a corrugated pipe structure may be used as the cover member 420, and the type and characteristics of the cover member 420 may be appropriately changed according to required conditions and design specifications.

전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 카메라 챔버가 기판의 하부에 배치되도록 진공챔버의 하부에 장착된 예를 들어 설명하고 있지만, 다르게는 카메라 챔버가 기판의 상부에 배치되도록 장착될 수 있다.In the above-described embodiments of the present invention, the camera chamber is mounted on the lower portion of the vacuum chamber so as to be disposed below the substrate. Alternatively, the camera chamber may be mounted on the upper portion of the substrate.

도 7 내지 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 장치를 설명하기 위한 도면이다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.7 to 10 are views for explaining a substrate aligning apparatus according to another embodiment of the present invention. In addition, the same or equivalent portions as those in the above-described configuration are denoted by the same or equivalent reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted.

이하에서는 카메라 챔버(310)가 기판의 상부에 배치되도록 진공챔버의 측벽에 장착된 예를 들어 설명하기로 한다. 경우에 따라서는 카메라 챔버가 기판의 상부에 배치되도록 진공챔버의 상부에 장착되도록 구성하는 것도 가능하다.Hereinafter, an example in which the camera chamber 310 is mounted on the side wall of the vacuum chamber so as to be disposed on the top of the substrate will be described. In some cases, the camera chamber may be mounted on the top of the vacuum chamber so as to be disposed on the top of the substrate.

도 7 내지 도 10을 참조하면, 카메라 챔버(310)가 진공챔버의 측벽에 장착된 경우에도, 챔버이동유닛(330)은, 일단은 대기압챔버에 연결되고 타단은 진공챔버의 외측에 배치되는 가동샤프트(340), 상기 진공챔버의 외측에 제공되며 가동샤프트(340)를 가동샤프트(340)의 축 방향을 따라 직선 이동시키는 직선구동부(350), 및 상기 진공챔버의 외측에 제공되며 가동샤프트(340)를 회전 구동시키는 회전구동부(360)를 포함할 수 있다.7 to 10, even when the camera chamber 310 is mounted on the side wall of the vacuum chamber, the chamber moving unit 330 is connected to the atmospheric pressure chamber at one end and the other end A linear driving unit 350 provided outside the vacuum chamber and linearly moving the movable shaft 340 along the axial direction of the movable shaft 340 and a linear driving unit 350 provided outside the vacuum chamber, And a rotation driving unit 360 for rotating the driving unit 340.

일 예로, 상기 직선구동부(350)는, 회전 가능하게 제공되는 스크류부재(352), 상기 스크류부재(352)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제1모터(354), 상기 제1모터(354)의 구동력을 스크류부재(352)로 전달하는 제1동력전달부재(356), 및 상기 스크류부재(352)의 회전에 대응하여 스크류부재(352)를 따라 직선 이동하며 가동샤프트(340)가 연결되는 가동부재(358)를 포함하여 구성될 수 있다.For example, the linear driving unit 350 includes a screw member 352 rotatably provided, a first motor 354 for providing a driving force for rotating the screw member 352, a first motor 354, A first power transmission member 356 for transmitting the driving force of the screw member 352 to the screw member 352 and a second power transmitting member 352 for linearly moving along the screw member 352 in correspondence with the rotation of the screw member 352, And a movable member 358.

상기 스크류부재(352)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 진공챔버의 외면에 회전 가능하게 장착되거나, 진공챔버의 외측에 인접한 구조물에 회전 가능하게 장착될 수 있다.The screw member 352 may be rotatably mounted on the outer surface of the vacuum chamber or may be rotatably mounted on the structure adjacent to the outside of the vacuum chamber according to the required conditions and design specifications.

상기 제1모터(354)로서는 통상의 서보 모터가 사용될 수 있으며, 경우에 따라서는 여타 다른 통상의 모터가 제1모터로서 사용될 수 있다.As the first motor 354, a conventional servo motor may be used, and in some cases, other conventional motors may be used as the first motor.

상기 제1동력전달부재(356)는 제1모터(354)의 구동력을 스크류부재(352)로 전달하기 위해 제공되며, 제1동력전달부재(356)로서는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 동력전달부재가 사용될 수 있다. 일 예로, 상기 제1동력전달부재(356)로서는 통상의 벨트가 사용될 수 있다. 경우에 따라서는 제1동력전달부재로서 통상의 체인 또는 기어 조합이 사용될 수 있다.The first power transmitting member 356 is provided to transmit the driving force of the first motor 354 to the screw member 352. As the first power transmitting member 356, A transmitting member may be used. For example, as the first power transmitting member 356, an ordinary belt may be used. In some cases, a conventional chain or gear combination may be used as the first power transmitting member.

상기 스크류부재(352)의 회전은 가동부재(358)의 직선 이동으로 전환될 수 있으며, 가동부재(358)의 직선 이동에 대응하여 가동샤프트(340)가 함께 직선 이동할 수 있다.The rotation of the screw member 352 can be switched to the linear movement of the movable member 358 and the movable shaft 340 can linearly move together with the linear movement of the movable member 358. [

상기 회전구동부(360)는 진공챔버의 외측에 구비되어 가동샤프트(340)를 회전 구동시키도록 구성되며, 가동샤프트(340)가 회전함에 따라 카메라 챔버(310)는 X축 및 Y축(또는 R축 및 θ축) 방향으로 이동할 수 있다.The rotation driving unit 360 is disposed outside the vacuum chamber to rotate the movable shaft 340. As the movable shaft 340 rotates, the camera chamber 310 rotates about the X axis and the Y axis (or R Axis and the &thetas; axis).

상기 회전구동부(360)는 가동샤프트(340)를 회전 구동시킬 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 상기 회전구동부(360)는, 가동샤프트(340)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제2모터(362), 상기 제2모터(362)의 구동력을 가동샤프트(340)로 전달하는 제2동력전달부재(364)를 포함하여 구성될 수 있다.The rotation driving unit 360 may be provided in various structures capable of rotationally driving the movable shaft 340. The rotation driving unit 360 includes a second motor 362 for providing a driving force for rotating the movable shaft 340, a second motor 362 for transmitting the driving force of the second motor 362 to the movable shaft 340, 2 power transmission member 364. The power transmission member 364 may be of any type.

상기 제2모터(362)로서는 통상의 서보 모터가 사용될 수 있으며, 경우에 따라서는 여타 다른 통상의 모터가 제2모터로서 사용될 수 있다.As the second motor 362, a conventional servo motor may be used, and in some cases, other conventional motors may be used as the second motor.

상기 제2동력전달부재(364)는 제2모터(362)의 구동력을 가동샤프트(340)로 전달하기 위해 제공되며, 제2동력전달부재(364)로서는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 동력전달부재가 사용될 수 있다. 일 예로, 상기 제2동력전달부재(364)로서는 통상의 벨트가 사용될 수 있다. 경우에 따라서는 제2동력전달부재로서 통상의 체인 또는 기어 조합이 사용될 수 있다.The second power transmitting member 364 is provided to transmit the driving force of the second motor 362 to the movable shaft 340. The second power transmitting member 364 is provided with various motive power A transmitting member may be used. For example, the second power transmitting member 364 may be a conventional belt. In some cases, a conventional chain or gear combination may be used as the second power transmitting member.

바람직하게, 상기 챔버이동유닛(330)의 구조 및 작동구조를 간소화할 수 있도록, 전술한 회전구동부(360)는 직선구동부(350)에 구동력에 의해 가동샤프트(340)와 함께 직선 이동 가능하게 제공될 수 있다. 일 예로, 상기 제2모터(362)는 가동부재(358) 상에 장착될 수 있으며, 회전구동부(360)는 제1모터(354)의 구동력에 의해 가동부재(358)와 함께 직선 이동할 수 있다.The rotation driving unit 360 may be provided to be linearly movable with the movable shaft 340 by a driving force to the linear driving unit 350 so as to simplify the structure and operating structure of the chamber moving unit 330 . For example, the second motor 362 may be mounted on the movable member 358, and the rotation driving unit 360 may linearly move together with the movable member 358 by the driving force of the first motor 354 .

바람직하게, 상기 카메라 챔버(310)가 진공챔버의 측벽에 장착된 경우에는, 챔버이동유닛(330)의 장착 공간을 최소화할 수 있도록 제1모터(354) 및 제2모터(362)는 진공챔버의 일면에서 동축적으로 배치될 수 있다. 상기 가동부재(358)에는 스크류부재(352)를 따라 이동하는 볼너트부(358a)가 형성될 수 있고, 가동부재(358)의 다른 일단에는 제2모터(362)가 장착될 수 있다. 상기 제1모터(354)는 제2모터(362)와 동축적으로 배치되도록 진공챔버의 외측에 연결된 구조물 상에 장착될 수 있다.The first motor 354 and the second motor 362 may be disposed in a vacuum chamber so that the mounting space of the chamber moving unit 330 can be minimized when the camera chamber 310 is mounted on the side wall of the vacuum chamber. As shown in FIG. The movable member 358 may be provided with a ball nut portion 358a that moves along the screw member 352 and a second motor 362 may be mounted to the other end of the movable member 358. The first motor 354 may be mounted on a structure connected to the outside of the vacuum chamber so as to be disposed coaxially with the second motor 362.

이러한 구성에 의하여, 도 9와 같이, 상기 제1모터(354)의 구동력에 의해 스크류부재(352)가 회전할 수 있고, 스크류부재(352)의 회전에 대응하여 스크류부재(352)를 따라 가동부재(358)가 직선 이동할 수 있으며, 결과적으로 가동부재(358)에 연결된 가동샤프트(340) 및 카메라 챔버(310)가 Z축 방향을 따라 직선 이동함으로써 얼라인 카메라(320)의 포커싱을 조절할 수 있다. 또한, 상기 오브젝트 마크(222)의 일부가 얼라인 카메라(320)의 포커싱 영역(FOV)의 외측에 배치될 경우에는, 제2모터(362)의 구동력에 의해 가동샤프트(340)를 회전시킴으로써 오브젝트 마크(222)에 대한 얼마인 카메라의 위치(포커싱 영역)를 가변시킬 수 있다.(도 10 및 도 11 참조)9, the screw member 352 can be rotated by the driving force of the first motor 354 and can be moved along the screw member 352 corresponding to the rotation of the screw member 352 The movable member 340 and the camera chamber 310 connected to the movable member 358 can linearly move along the Z-axis direction so that the focusing of the aligned camera 320 can be adjusted have. When a part of the object mark 222 is disposed outside the focusing area FOV of the alignment camera 320, the movable shaft 340 is rotated by the driving force of the second motor 362, It is possible to vary the position (focusing area) of the camera with respect to the mark 222 (see Figs. 10 and 11)

상기 카메라 챔버(310)가 기판의 상부에 배치되는 구조의 경우에도, 카메라 챔버(310)는, 얼라인 카메라(320)가 오브젝트의 영역 상에 배치되는 촬영위치(P1), 및 상기 얼라인 카메라(320)가 오브젝트의 영역 외측에 배치되는 비촬영위치(P2)로 이동 가능하게 제공될 수 있다. 상기 카메라 챔버(310)가 비촬영위치(P2)로 이동한 상태에서는 진공챔버의 내부에서 기판 및 오브젝트의 이동이 보다 자유롭게 보장될 수 있다.In the case of the structure in which the camera chamber 310 is disposed on the top of the substrate, the camera chamber 310 also includes a photographing position P1 where the aligning camera 320 is disposed on an area of the object, (Not shown) in which the object 320 is disposed outside the area of the object. When the camera chamber 310 is moved to the non-photographing position P2, movement of the substrate and the object within the vacuum chamber can be more freely guaranteed.

바람직하게, 상기 카메라 챔버(310)가 기판의 상부에 배치되는 구조의 경우에는, 얼라인 카메라(320)를 이용한 얼라인 공정이 완료된 후, 카메라 챔버(310)가 비촬영위치(P2)에 배치된다 하더라도, 증착 공정이 수행되는 동안 파티클과 같은 이물질이 카메라 챔버(310)(특히, 사이트 윈도우)에 영향을 줄 수 있는 우려가 있다.Preferably, in the case of the structure in which the camera chamber 310 is disposed on the substrate, after the alignment process using the aligning camera 320 is completed, the camera chamber 310 is placed at the non-photographing position P2 There is a concern that foreign substances such as particles may affect the camera chamber 310 (in particular, the site window) while the deposition process is performed.

이를 위해 상기 진공챔버의 내면에는 카메라 챔버(310)가 수용되기 위한 챔버수용부(112)가 형성될 수 있고, 상기 카메라 챔버(310)는 비촬영위치(P2)에서 챔버수용부(112)에 수용될 수 있다.A chamber accommodating portion 112 for accommodating the camera chamber 310 may be formed on the inner surface of the vacuum chamber and the camera chamber 310 may be formed in the chamber accommodating portion 112 at the non- Lt; / RTI >

더욱 바람직하게, 증착 공정이 수행되는 동안 파티클과 같은 이물질에 의한 영향을 최소화할 수 있도록, 카메라 챔버(310)에는 쉴드부재(shield member)(316)가 연결될 수 있으며, 카메라 챔버(310)가 챔버수용부(112)에 수용된 상태에서 챔버수용부(112)는 쉴드부재(316)에 의해 차단될 수 있다.More preferably, a shield member 316 may be connected to the camera chamber 310 so as to minimize the effect of foreign matter such as particles during the deposition process, The chamber accommodating portion 112 can be blocked by the shield member 316 while being accommodated in the accommodating portion 112.

상기 쉴드부재(316)는 챔버수용부(112)를 차단 가능한 다양한 구조 및 형태로 제공될 수 있으며, 쉴드부재(316)의 재질 및 특성에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.The shield member 316 may be provided in various structures and shapes capable of blocking the chamber accommodating portion 112, and the present invention is not limited or limited by the material and characteristics of the shield member 316.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been disclosed for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. It will be understood that the present invention can be changed.

110 : 진공챔버 120 : 서셉터
130 : 샤워헤드 210 : 기판
212 : 타겟 마크 220 : 오브젝트
222 : 오브젝트 마크 310 : 카메라 챔버
320 : 얼라인 카메라 330 : 챔버이동유닛
340 : 가동샤프트 350 : 직선구동부
352 : 스크류부재 354 : 제1모터
356 : 제1동력전달부재 358 : 가동부재
360 : 회전구동부 362 : 제2모터
364 : 제2동력전달부재110: vacuum chamber 120: susceptor
130: showerhead 210: substrate
212: target mark 220: object
222: object mark 310: camera chamber
320: alignment camera 330: chamber transfer unit
340: movable shaft 350: linear driving part
352: screw member 354: first motor
356: first power transmitting member 358: movable member
360: rotation driving part 362: second motor
364: second power transmitting member

Claims (21)

기판에 형성된 타겟 마크 및 오브젝트에 형성된 오브젝트 마크를 이용하여 상기 기판에 대한 상기 오브젝트의 얼라인을 수행하는 기판 얼라인 장치에 있어서,
진공챔버의 내부에서 독립적으로 밀폐된 대기압 수용공간을 제공하는 카메라 챔버와;
상기 카메라 챔버의 내부에 제공되며, 상기 타겟 마크 및 상기 오브젝트 마크를 촬영하는 얼라인 카메라와;
상기 카메라 챔버를 상기 진공챔버의 내부에서 이동시키는 챔버이동유닛을;
포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
A substrate aligning apparatus for aligning an object with respect to a substrate using a target mark formed on the substrate and an object mark formed on the object,
A camera chamber providing an atmospheric pressure accommodating space which is independently sealed inside the vacuum chamber;
An alignment camera provided inside the camera chamber for photographing the target mark and the object mark;
A chamber moving unit for moving the camera chamber inside the vacuum chamber;
The substrate alignment device comprising:
제1항에 있어서,
상기 카메라 챔버는,
상기 대기압 수용공간을 형성하는 챔버 몸체와;
상기 얼라인 카메라가 상기 타겟 마크 및 상기 오브젝트 마크를 견시할 수 있도록 상기 챔버 몸체에 형성되는 사이트 윈도우(sight window)를;
포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the camera chamber comprises:
A chamber body forming the atmospheric pressure accommodating space;
A sight window formed on the chamber body so that the alignment camera can observe the target mark and the object mark;
The substrate alignment device comprising:
제1항에 있어서,
상기 챔버이동유닛은,
일단은 상기 카메라 챔버에 연결되고 타단은 상기 진공챔버의 외측에 배치되는 가동샤프트와;
상기 진공챔버의 외측에 제공되며, 상기 가동샤프트를 상기 가동샤프트의 축 방향을 따라 직선 이동시키는 직선구동부를;
포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
The method according to claim 1,
The chamber moving unit includes:
A movable shaft having one end connected to the camera chamber and the other end disposed outside the vacuum chamber;
A linear driving unit provided on the outside of the vacuum chamber and linearly moving the movable shaft along an axial direction of the movable shaft;
The substrate alignment device comprising:
제3항에 있어서,
상기 직선구동부는,
회전 가능하게 제공되는 스크류부재와;
상기 스크류부재를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제1모터와;
상기 제1모터의 구동력을 상기 스크류부재로 전달하는 제1동력전달부재와;
상기 스크류부재의 회전에 대응하여 상기 스크류부재를 따라 직선 이동하며, 상기 가동샤프트가 연결되는 가동부재를;
포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
The method of claim 3,
The straight-
A screw member rotatably provided;
A first motor for providing a driving force for rotating the screw member;
A first power transmitting member for transmitting the driving force of the first motor to the screw member;
A movable member linearly moved along the screw member corresponding to rotation of the screw member and connected to the movable shaft;
The substrate alignment device comprising:
제1항에 있어서,
상기 챔버이동유닛은,
일단은 상기 카메라 챔버에 연결되고 타단은 상기 진공챔버의 외측에 배치되는 가동샤프트와;
상기 진공챔버의 외측에 제공되며 상기 가동샤프트를 회전 구동시키는 회전구동부를;
포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
The method according to claim 1,
The chamber moving unit includes:
A movable shaft having one end connected to the camera chamber and the other end disposed outside the vacuum chamber;
A rotation driving unit provided outside the vacuum chamber for rotating the movable shaft;
The substrate alignment device comprising:
제5항에 있어서,
상기 회전구동부는,
상기 가동샤프트를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제2모터와;
상기 제2모터의 구동력을 상기 가동샤프트로 전달하는 제2동력전달부재를;
포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
6. The method of claim 5,
The rotation drive unit includes:
A second motor for providing a driving force for rotating the movable shaft;
A second power transmitting member for transmitting the driving force of the second motor to the movable shaft;
The substrate alignment device comprising:
제3항에 있어서,
상기 진공챔버의 외측에 제공되며 상기 가동샤프트를 회전 구동시키는 회전구동부를 더 포함하되,
상기 회전구동부는 상기 직선구동부에 구동력에 의해 상기 가동샤프트와 함께 직선 이동 가능하게 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
The method of claim 3,
And a rotation driving unit provided on the outside of the vacuum chamber for rotationally driving the movable shaft,
Wherein the rotation driving portion is provided to the linear driving portion in a linearly movable manner together with the movable shaft by a driving force.
제7항에 있어서,
상기 직선구동부는,
회전 가능하게 제공되는 스크류부재와; 상기 스크류부재를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제1모터와; 상기 제1모터의 구동력을 상기 스크류부재로 전달하는 제1동력전달부재와; 상기 스크류부재의 회전에 대응하여 상기 스크류부재를 따라 직선 이동하며, 상기 가동샤프트가 연결되는 가동부재를; 포함하고,
상기 회전구동부는,
상기 가동부재 상에 장착되며 상기 가동샤프트를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 제2모터와; 상기 제2모터의 구동력을 상기 가동샤프트로 전달하는 제2동력전달부재를; 포함하며,
상기 회전구동부는 상기 제1모터의 구동력에 의해 상기 가동부재와 함께 직선 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
8. The method of claim 7,
The straight-
A screw member rotatably provided; A first motor for providing a driving force for rotating the screw member; A first power transmitting member for transmitting the driving force of the first motor to the screw member; A movable member linearly moved along the screw member corresponding to rotation of the screw member and connected to the movable shaft; Including,
The rotation drive unit includes:
A second motor mounted on the movable member and providing a driving force for rotating the movable shaft; A second power transmitting member for transmitting the driving force of the second motor to the movable shaft; ≪ / RTI &
Wherein the rotation driving unit linearly moves together with the movable member by a driving force of the first motor.
제3항 또는 제5항에 있어서,
상기 가동샤프트는 중공 단면 형태를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
The method according to claim 3 or 5,
Wherein the movable shaft is formed to have a hollow cross-sectional shape.
제9항에 있어서,
상기 가동샤프트의 내부를 따라 제공되며 상기 얼라인 카메라에 연결되는 카메라 케이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
10. The method of claim 9,
And a camera cable provided along the inside of the movable shaft and connected to the aligning camera.
제9항에 있어서,
상기 가동샤프트의 내부를 따라 제공되어 일단은 상기 대기압 수용공간에 배치되고 타단은 진공챔버의 외부에 배치되는 쿨링배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
10. The method of claim 9,
And a cooling pipe provided along the inside of the movable shaft and having one end disposed in the atmospheric pressure accommodating space and the other end disposed outside the vacuum chamber.
제3항 또는 제5항에 있어서,
상기 가동샤프트 상에 장착되며, 상기 진공챔버와 상기 가동샤프트의 사이를 밀봉하는 밀봉부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
The method according to claim 3 or 5,
And a sealing member mounted on the movable shaft and sealing between the vacuum chamber and the movable shaft.
제12항에 있어서,
상기 밀봉부재는 마그네틱 씰(magnetic fluid seal)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
13. The method of claim 12,
Wherein the sealing member comprises a magnetic fluid seal. ≪ RTI ID = 0.0 > 8. < / RTI >
제4항에 있어서,
일단은 상기 진공챔버의 외면에 연결되고 타단은 상기 가동부재에 연결되며, 상기 가동부재의 이동에 대응하여 상기 진공챔버와 상기 가동부재의 사이에서 신축되는 커버부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
5. The method of claim 4,
Further comprising a cover member, one end of which is connected to the outer surface of the vacuum chamber and the other end of which is connected to the movable member, and which is expanded and contracted between the vacuum chamber and the movable member in correspondence with the movement of the movable member Alignment device.
제1항 내지 제8항 및 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 카메라 챔버는 상기 기판의 하부에 배치되도록 상기 진공챔버의 하부에 장착된 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
15. The method according to any one of claims 1 to 8 and 14,
Wherein the camera chamber is mounted on a lower portion of the vacuum chamber so as to be disposed below the substrate.
제1항 내지 제8항 및 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 카메라 챔버는 상기 기판의 상부에 배치되도록 상기 진공챔버의 상부에 장착된 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
15. The method according to any one of claims 1 to 8 and 14,
Wherein the camera chamber is mounted on top of the vacuum chamber to be disposed on top of the substrate.
제1항 내지 제8항 및 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 카메라 챔버는 상기 기판의 상부에 배치되도록 상기 진공챔버의 측벽에 장착된 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
15. The method according to any one of claims 1 to 8 and 14,
Wherein the camera chamber is mounted to a sidewall of the vacuum chamber so as to be disposed on top of the substrate.
제1항 내지 제8항 및 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 카메라 챔버는, 상기 얼라인 카메라가 상기 오브젝트의 영역 상에 배치되는 촬영위치, 및 상기 얼라인 카메라가 상기 오브젝트의 영역 외측에 배치되는 비촬영위치로 이동 가능하게 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
15. The method according to any one of claims 1 to 8 and 14,
Wherein the camera chamber is provided so as to be movable to a shooting position in which the alignment camera is disposed on an area of the object and a non-shooting position in which the alignment camera is disposed outside the area of the object. / RTI >
제18항에 있어서,
상기 카메라 챔버는 상기 챔버이동유닛에 의해 상기 촬영위치 및 상기 비촬영위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
19. The method of claim 18,
Wherein the camera chamber moves to the photographing position and the non-photographing position by the chamber moving unit.
제18항에 있어서,
상기 진공챔버의 내면에는 상기 카메라 챔버가 수용되기 위한 챔버수용부가 형성되고,
상기 카메라 챔버는 상기 비촬영위치에서 상기 챔버수용부에 수용되는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
19. The method of claim 18,
A chamber accommodating portion for accommodating the camera chamber is formed on the inner surface of the vacuum chamber,
Wherein the camera chamber is received in the chamber receiving portion in the non-imaging position.
제20항에 있어서,
상기 카메라 챔버에 연결되는 쉴드부재(shield member)를 더 포함하고,
상기 카메라 챔버가 상기 챔버수용부에 수용된 상태에서 상기 챔버수용부는 상기 쉴드부재에 의해 차단되는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 장치.
21. The method of claim 20,
Further comprising a shield member connected to the camera chamber,
Wherein the chamber accommodating portion is blocked by the shield member while the camera chamber is accommodated in the chamber accommodating portion.
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