KR20170032919A

KR20170032919A - 진공밸브

Info

Publication number: KR20170032919A
Application number: KR1020150130230A
Authority: KR
Inventors: 조영재; 김종학
Original assignee: 플라텍(주)
Priority date: 2015-09-15
Filing date: 2015-09-15
Publication date: 2017-03-24
Also published as: KR101779197B1

Abstract

본 발명은 진공챔버와 진공펌프 사이를 연결하는 배관에 마련되어 공기유로를 차단하게 되는 진공밸브에 관한 것으로, 실린더(110)와, 상기 실린더(110) 내에 제1탄성체(120)에 의해 탄성 지지되어 공압 신호에 의해 상하 슬라이딩 가능한 피스톤(131)을 갖는 실린더 구동부(100)와; 두 개의 포트(201)(202)가 서로 수직하게 마련되어 유로를 형성하는 메인케이싱(210)과, 상기 피스톤(131)과 밸브스템(222)으로 연결되어 상기 유로를 개폐하게 되는 밸브플레이트(221)와, 하단이 상기 밸브플레이트(221)에 고정되어 상기 밸브스템(222)을 감싸도록 마련되어 신축 가능한 벨로즈(230)와, 상기 벨로즈(230) 내측에 위치하여 제2탄성체(243)에 의해 탄성 지지되어 발열이 이루어지는 히팅부(240)를 갖는 밸브몸체부(200)와; 상기 실린더 구동부(100)와 상기 밸브몸체부(300) 사이에 조립되어 상기 제2탄성체(243)를 지지하며, 상기 밸브스템(221)을 수직으로 관통하는 제1공기유로(311)와, 상기 히팅부(240)의 상부에 형성된 냉각룸과 연통되는 제2공기유로(312)를 갖는 단열몸체부(300):를 포함하다.

Description

진공밸브{Vacuum valve}

본 발명은 진공챔버와 진공펌프 사이를 연결하는 배관에 마련되어 진공펌프가 다운(down)되는 경우에 백스트림(backstream)에 의한 진공챔버의 오염을 방지할 수 있는 진공밸브(일명 "아이솔레이션 밸브(isolation valve)"로도 지칭함)에 관한 것이다.

반도체 소자의 제조공정에서 진공을 필요로 하는 공간, 즉 모든 진공 장비에 구비된 진공 챔버와 같은 소정의 공간 내부에 진공을 형성하기 위해서는 진공펌프(vacuum pump)를 연결하여 펌핑(pumping)함으로써 챔버 내부를 진공상태로 만들게 되며, 이때 진공챔버와 진공펌프를 연결하는 배관에는 아이솔레이션 밸브(isolation valve)라는 개폐장치를 설치하여 진공펌프로부터의 펌핑 상태를 제어한다.

도 1은 일반적으로 진공장비에 설치되는 진공밸브의 배치구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.

도 1을 참고하면, 진공챔버(10)와 진공펌프(20)는 진공라인(30)에 의해 연결되며, 진공라인(30) 상에는 진공밸브(40)가 구비되어 진공라인(30)의 개폐가 이루어진다.

진공밸브(40)는 신축 가능한 벨로즈가 구비되어 벨로즈의 신축 작용에 의해 진공라인이 닫히거나 개방이 이루어지며, 벨로즈의 신축 조작은 공압 신호에 의해 동작이 이루어진다.

한편, 공정 진행 중에 정전 또는 진공펌프(40) 자체의 문제 등으로 인해 진공펌프(40)의 작동이 중단되는 경우에 역류가 발생되어 생성물이 진공챔버(10)의 오염이 발생될 수 있다.

또한 공정 중에 진공밸브(40)를 구성하는 밸브부재 또는 벨로즈 등에 생성물이 부착될 수 있으며, 이러한 부착물은 밸브의 개폐정밀도를 저하시킬 수 있다.

이러한 문제점을 개선하기 위하여 등록특허공보 제10-0479547호(공고일자: 2005.04.06)에서는 진공밸브 내에 히터를 부착하여 생성물이 부착되는 것을 방지할 수 있는 진공밸브를 제안하고 있다.

공개특허공보 특2002-0044873(공개일자: 2002.06.19)

등록특허공보 제10-0479547호(공고일자: 2005.04.06)

본 발명은 이러한 종래기술의 진공밸브를 개선하여 진공밸브를 가열하기 위한 히터에 의한 열화(degradation)를 방지하고 신속한 개폐 동작을 구현할 수 있는 진공밸브를 제공하고자 한다.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공밸브는, 실린더와, 상기 실린더 내에 제1탄성체에 의해 탄성 지지되어 공압 신호에 의해 상하 슬라이딩 가능한 피스톤을 갖는 실린더 구동부와; 두 개의 포트가 서로 수직하게 마련되어 유로를 형성하는 메인케이싱과, 상기 피스톤과 밸브스템으로 연결되어 상기 유로를 개폐하게 되는 밸브플레이트와, 하단이 상기 밸브플레이트에 고정되어 상기 밸브스템을 감싸도록 마련되어 신축 가능한 벨로즈와, 상기 벨로즈 내측에 위치하여 제2탄성체에 의해 탄성 지지되어 발열이 이루어지는 히팅부를 갖는 밸브몸체부와; 상기 실린더 구동부와 상기 밸브몸체부 사이에 조립되어 상기 제2탄성체를 지지하며, 상기 밸브스템을 수직으로 관통하는 제1공기유로와, 상기 히팅부의 상부에 형성된 냉각룸과 연통되는 제2공기유로를 갖는 단열몸체부:를 포함한다.

바람직하게는, 상기 벨로즈의 상단과 접하고 상기 히팅부가 안착 위치하게 되는 고정플레이트를 더 포함하되, 상기 고정플레이트는 상기 벨로즈의 내측과 상기 고정플레이트의 상측을 연통하는 공기유로를 형성하도록 통기요홈이 형성됨을 특징으로 한다.

보다 바람직하게는, 상기 고정플레이트의 상측은 상기 냉각룸인 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 히팅부는, 상기 고정플레이트 상부에 안착되는 제1히팅블록과; 상기 제1히팅블록 하단에 일체로 형성되어 상기 벨로즈에 삽입 위치하여 외주면에 요철 또는 주름이 형성된 제2히팅블록;을 포함한다.

바람직하게는, 상기 제1공기유로와 상기 제2공기유로는 압축공기를 발생시키는 에어펌프가 연결되어 대기압 이상의 압축공기가 공급되는 것을 특징으로 한다.

보다 바람직하게는, 상기 제1공기유로 및 제2공기유로와, 상기 에어펌프를 연결하는 에어 공급라인에는 에어 공급량을 조절하는 니들 밸브가 마련됨을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 진공밸브는, 히팅부에서 발생된 고온의 열이 구동부로 전달되는 것을 차단할 수 있도록 외부에서 대기압 이상의 압력으로 압축공기가 흐르도록 공기유로를 갖는 단열수단을 포함하며, 벨로즈의 구조를 개선하여 밸브의 신속한 개폐 동작에 의해 생성물이 진공챔버로 역류되어 오염이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 일반적으로 진공장비에 설치되는 진공밸브의 배치구조를 개략적으로 보여주는 도면,
도 2는 본 발명에 따른 진공펌프의 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 진공펌프의 분해 사시도,
도 4는 도 2의 A-A선의 단면도,
도 5는 도 2의 B-B선의 단면도,
도 6은 본 발명에 따른 진공펌프의 종단면 구성도,
도 7은 본 발명에 따른 진공펌프에 있어서 벨로즈를 보여주는 사시도,
도 8의 (a)(b)는 각각 본 발명에 따른 진공펌프에 있어서 단열몸체부의 사시도 및 저면 사시도,
도 9는 도 8(a)의 C-C선의 단면도.

본 발명의 실시예에서 제시되는 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있다. 또한 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경물, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 본 발명에서 제1 및/또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소들과 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 제1구성요소는 제2구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2구성요소는 제1구성요소로도 명명될 수 있다.

어떠한 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다거나 "접속되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떠한 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다거나 또는 "직접 접촉되어"있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하기 위한 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 인접하는"과 "~에 직접 인접하는"등의 표현도 마찬가지로 해석되어야 한다.

본 명세서에서 사용하는 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서 "포함한다" 또는 "가지다"등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 진공펌프의 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 진공펌프의 분해 사시도이다.

도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 진공펌프는, 유로의 개폐를 위한 구동력을 발생시키는 실린더 구동부(100)와, 두 개의 포트(201)(202)가 마련되고 벨로즈(230)와 히팅부(240)가 구비되어 유로의 개폐가 이루어지는 밸브몸체부(200)와; 실린더 구동부(100)와 밸브몸체부(200) 사이에 조립되어 밸브몸체부(200)에서 발생되어 실린더 구동부(100)로 전달되는 열을 단열시키기 위한 단열몸체부(300)를 포함한다.

실린더 구동부(100)는 하부가 개방되고 상부에 관통공(111)이 형성된 실린더(110)와, 실린더(110) 내에 수납되는 제1탄성체(120)와, 제1탄성체(120)에 의해 탄성 지지되어 실린더(110) 내에 상하 슬라이딩 가능하게 수납되는 피스톤(131)을 포함한다.

피스톤(131)은 밸브스템(222) 선단과 조립을 위한 고정너트(132)가 구비된다. 또한 피스톤(131)은 실린더(110) 내벽과 기밀을 갖고 접촉이 이루어지도록 주지의 오링(O-ring)과 같은 기밀부재가 마련될 수 있다.

밸브몸체부(200)는 하부에 제1포트(201)가 마련되고 측면 일측에 제2포트(202)가 마련되어 수직하게 형성된 유로를 제공하게 되는 메인케이싱(210)과, 피스톤(131)과 연결되어 유로를 개폐하게 되는 밸브부재(221)(222)와, 밸브부재(221)(222)를 외주면을 감싸도록 마련되어 신축 가능한 벨로즈(230)와, 벨로즈(230) 내측에 구비되는 히팅부(240)를 포함한다.

밸브부재(221)(222)는 밸브몸체부(200)의 유로 상에 형성된 밸브시트에 접하여 유로를 차단하게 되는 밸브플레이트(221)와, 밸브플레이트(221) 상단에 수직하게 고정되는 밸브스템(222)을 포함한다.

밸브스템(222)은 히팅부(240)를 관통하여 선단이 피스톤(131)과 조립되며, 이때 밸브스템(222)은 스냅링(223)이 삽입되어 히팅부(240)와 조립이 이루어진다.

벨로즈(230)는 상단에 고정플레이트(231)가 마련되며, 고정플레이트(231)는 대략 벨로즈(230)와 동일한 직경을 갖는 개구부가 형성되어 개구부를 통해 히팅부(240)가 안착되어 고정된다.

고정플레이트(231)는 개구부 상단으로 복수 개의 통기요홈(231a)이 형성되어 벨로즈(230) 내측은 통기요홈(231a)을 통해 고정플레이트(231) 상측과 연통되는 공기유로가 형성되어 신속한 밸브의 닫힘 동작이 이루어질 수 있다.

또한 밸브스템(222)과 히팅부(240) 사이에는 최대한 갭(gap)을 유지하여 밸브스템(222)을 따라서 충분한 공기유로가 형성되어 신속한 밸브의 닫힘 동작을 유도할 수 있다.

히팅부(240)는 고정플레이트(231) 상부에 안착되는 제1히팅블록(241)과, 제1히팅블록(241) 하단에 일체로 형성되어 벨로즈(230)에 삽입되어 위치하게 되는 제2히팅블록(242)을 포함한다. 한편, 히팅부(240)는 자체가 발열이 이루어지는 히팅모재일 수 있다.

제1히팅블록(241)은 주지의 카트리지 히터(cartridge heater)가 삽입되어 전기저항에 의해 발열이 이루어지며, 또한 온도센서와 온도스위치(overtemp switch)가 마련되어 일정 온도에서 제어가 이루어질 수 있다.

제1히팅블록(241) 상부에는 복수의 제2탄성체(243)가 마련되며, 이때 제2탄성체(243)는 제1히팅블록(241)을 하방으로 가압하여 밸브 개방 시에 히팅부(240) 하단면과 밸브플레이트(221)의 상부면 사이의 접촉성을 좋게 할 수 있다.

제1히팅블록(241) 상부면에는 각 제2탄성체(243)가 위치하게 되는 제1스프링시트(241a)가 마련된다.

제2히팅블록(242)은 외주면에 요철 또는 주름(242a)이 형성되어 발열면적을 크게할 수 있다.

특히 도 7을 참고하면, 벨로즈(230) 상단에 고정플레이트(231)가 고정되며, 고정플레이트(231)는 개구부에 히팅부(240)가 안착 위치한다. 고정플레이트(231)의 개구부 상단 내측 테두리를 따라서 형성되는 통기요홈(231a)은 적어도 히팅부(240) 바깥으로 노출되며, 따라서 벨로즈(230) 내측 공간은 통기요홈(231a)을 통해 고정플레이트(231) 상측과 연통되는 공기유로를 제공하며, 이때 고정플레이트(131)의 상측은 제2공기유로와 연통되는 냉각룸이다.

다시 도 2 및 도 3을 참고하면, 단열몸체부(300)는 실린더 구동부(110)와 밸브몸체부(200) 사이에 조립되어 제2탄성체(243)를 지지하게 되며, 밸브스템(222)과 수직하게 관통 형성되는 제1공기유로(311)와, 히팅부(240) 상부가 위치하게 되는 냉각룸과 연통되는 제2공기유로(312)가 형성된다.

또한 단열몸체부(300)는 피스톤(131)의 구동을 위한 공압신호가 작용하게 되는 공압포트(313a)(313b)가 마련된다. 본 실시예에서 공압포트(313a)(313b)는 단열몸체부(300) 외주면에 관통 형성된 입력포트(313a)와, 입력포트(313a)에서 수직으로 연장되어 상부면에 형성된 출력포트(313b)를 예시하고 있으며, 입력포트(313a)를 통해 공압신호가 입력되면 이 공압신호는 출력포트(313b)를 통해 배출되어 피스톤(131) 하부면에 형성된 압력실에 인가되어 피스톤(131)의 상하 조작이 이루어질 수 있다.

도 8을 참고하면, 단열몸체부(300)는 저면에 복수의 제2스프링시트(314)가 마련되어 제2탄성체(243)(도 3 참고)의 상단이 고정 지지된다.

도면부호 101은 조립볼트이며, 조립볼트는 실린더 구동부(100), 단열몸체부(300) 및 밸브몸체부(200)를 차례로 관통하여 진공밸브를 일체로 고정하게 된다.

한편, 실린더 구동부(100), 단열몸체부(300) 및 밸브몸체부(200) 사이의 각 조립면에는 오링과 같은 주지의 실링(sealing) 부재가 삽입될 수 있다.

도 4는 도 2의 A-A선의 단면도이며, 도 5는 도 2의 B-B선의 단면도로써, 밸브가 폐색된 상태를 보여주고 있다.

도 4 및 도 5를 참고하면, 본 발명의 진공밸브는 입력포트(313a)에 공압신호의 없는 경우에 제1탄성체(120)에 의해 아래로 가압된 상태이며, 이때 밸브플레이트(221)는 메인케이싱(210)의 제1포트(201)에 형성된 밸브시트(201a)에 밀착되어 유로를 차단한다.

바람직하게는, 밸브플레이트(221) 하면에는 밸브시트(201a)와 밀착되어 기밀성을 높이기 위한 오링 등의 기밀부재(221a)가 마련될 수 있다.

한편, 히팅부(240)는 벨로즈(230) 내에 배치되어 발열이 이루어져 고온 상태를 유지함으로써 밸브부재와 벨로즈 등의 밸브 내부에 생성물이 부착되는 것을 방지한다.

특히 본 발명의 단열몸체부(300)는 밸브몸체부(200)의 히팅부(240)에서 발생된 고온의 열이 실린더 구동부(100)로 전달되는 것을 방지한다.

구체적으로, 단열몸체부(300)의 제1공기유로(311)를 통해 냉각 에어가 공급되며, 이때 제1공기유로(311)는 밸브스템(222)을 수직으로 통과하면서 밸브스템(222)을 통해 피스톤(131)으로 전달되는 고온의 열을 차단하게 된다.

구체적으로, 도 9를 참고하면, 단열몸체부(300)는 중앙에 수직하게 관통 형성된 스템홀(316)이 형성되며, 밸브스템(222)은 스템홀(316)에 삽입되어 상하 슬라이딩이 가능하다. 도면부호 316b는 제1공기유로(311)의 상단에 형성되어 오링이 위치하게되는 환형 요홈으로써 실린더 구동부(100)의 압력실(131a)(도 6 참고)로 유입된 압축 공기가 제1공기유로(311)를 통하여 배출되는 것을 방지한다.

한편 스템홀(316) 내에는 스냅링(223)이 위치하게 되며, 스템홀(316)과 스냅링(223) 사이의 유격을 최소화함으로써 스냅링(223)은 스템홀(316)에 고정되며, 따라서 밸브스템(222)은 실질적으로 스냅링(223)과 접하여 상하 슬라이딩이 이루어진다.

바람직하게는, 스템홀(316) 내에는 수직 방향으로 일부 절개된 요홈(316a)이 형성된다. 따라서, 제1공기유로(311)를 따라서 흐르는 일부 냉각 에어는 요홈(316a)을 따라서 냉각룸(315)으로 이동하면서 밸브스템(222)을 냉각시키는 역할을 한다.

다시 도 4 및 도 5를 참고하면, 단열몸체부(300)의 제2공기유로(312)를 통해 냉각 에어가 공급되며, 제2공기유로(312)는 히팅부(240) 상부에 형성된 냉각룸(315)과 연통되어 히팅부(240) 상단에 냉각 에어가 공급되어 히팅부(240)에서 발생된 고온의 열이 실린더 구동부(100)로 전달되는 것을 차단한다.

제1공기유로(311)와 제2공기유로(312)로 공급되는 냉각 에어는 에어펌프(미도시)에 의해 대기압 이상의 압력으로 압축공기의 공급이 이루어지며, 이때 에어 공급라인 상에 니들 밸브(needle valve)가 마련되어 에어 공급량 조절이 이루어질 수 있다.

한편, 단열몸체부(300)의 입력포트(313a)를 통해 입력되는 공압 신호에 의해 유로의 개폐가 이루어지며, 이때 공압신호는 입력포트(313a)를 통해 입력되어 피스톤(131) 하단의 압력실(131a)로 유입된다.

한편, 단열몸체부(300)는 제1공기유로(311)와 제2공기유로(312)를 통해 냉각용 에어가 공급되며, 냉각용 에어는 밸브몸체부(200)에서 발생되어 상단에 배치되는 실린더 구동부(100)로 전달되는 고온의 열을 차단하는 기능을 한다.

구체적으로, 제1공기유로(311)는 밸브스템(222)을 수직으로 관통하도록 수평 방향으로 유로가 형성되어 냉각용 에어가 흐르면서 밸브스템(222)을 통해 전달되는 전도열을 차단한다. 한편, 제2공기유로(312)는 히팅부(240) 상부에 형성된 냉각룸(315)으로 냉각용 에어가 공급되어 히팅부(240)에서 발생되어 실린더 구동부(100)로 전달되는 복사열을 차단한다.

다음으로, 도 6은 본 발명에 따른 진공펌프의 종단면 구성도로써, 밸브가 개방된 상태를 보여주고 있다.

도 6에 도시된 것과 같이, 진공밸브는 입력포트(313a)에 공압신호가 입력되어 개방 상태를 유지하게 되며, 이때 히팅부(240)의 측면에서 발생된 고온의 열은 복사열로써 벨로즈(230) 측면과 밸브플레이트(221) 상단 외곽으로 전달되며, 특히 히팅부(240)의 하단은 밸브플레이트(221)의 상단 면과 밀착된 상태가 되어 히팅부(240)에서 발생된 고온의 열이 밸브플레이트(221)에 직접 전달됨으로써 밸브가 개방된 상태에서 진공챔버에서 발생된 생성물이 부착되는 것을 방지할 수 있다.

또한 히팅부(240)는 제2탄성체(243)에 의해 아래로 가압된 상태가 유지됨으로써 밸브플레이트(221)와 히팅부(240) 사이 접촉성을 높일 수 있다.

앞서 설명한 것과 같이, 히팅부(240)에서 발생된 고온의 열은 제1공기유로와 제2공기유로에 의해 차단이 이루어져 피스톤(131)에 구비된 기밀부재가 열화되는 것을 방지한다.

한편, 입력포트(313a)에는 공압신호를 단속하게 되는 솔레노이드 밸브(Normal Open Type)와 급속배기 밸브가 마련될 수 있으며, 이때 솔레노이드 밸브는 진공펌프에서 출력되는 'Fail' 신호에 의해 연동되어 작동이 이루어지도록 하여 진공펌프의 정지 시에 진공밸브의 신속한 폐색 동작이 이루어질 수 있다.

특히, 본 발명에서 폐색 동작 시에 벨로즈(230)의 내부와 냉각룸(315)은 고정플레이트(231)에 형성된 통기요홈(231a)(도 7 참고)에 의해 연통된 공기유로가 형성되고 밸브스템(222)과 히팅부(240) 사이의 갭(gap)에 의해 제공되는 공기유로에 의해 신속한 밸브 차단이 이루어질 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

100 : 실린더 구동부 110 : 실린더
111 : 관통공 120 : 제1탄성체
131 : 피스톤 131a : 압력실
132 : 고정너트 200 : 밸브몸체부
201 : 제1포트 202 : 제2포트
210 : 메인케이싱 221 : 밸브플레이트
222 : 밸브스템 223 : 스냅링
230 : 벨로즈 231 : 고정플레이트
231a : 통기요홈 240 : 히팅부
241 : 제1히팅블록 241a : 제1스프링시트
242 : 제2히팅블록 243 : 제2탄성체
300 : 단열몸체부 311 : 제1공기유로
312 : 제2공기유로 313a : 입력포트
313b : 출력포트 314 : 제2스프링시트
315 : 냉각룸 316 : 스템홀

Claims

실린더와, 상기 실린더 내에 제1탄성체에 의해 탄성 지지되어 공압 신호에 의해 상하 슬라이딩 가능한 피스톤을 갖는 실린더 구동부와;
두 개의 포트가 서로 수직하게 마련되어 유로를 형성하는 메인케이싱과, 상기 피스톤과 밸브스템으로 연결되어 상기 유로를 개폐하게 되는 밸브플레이트와, 하단이 상기 밸브플레이트에 고정되어 상기 밸브스템을 감싸도록 마련되어 신축 가능한 벨로즈와, 상기 벨로즈 내측에 위치하여 제2탄성체에 의해 탄성 지지되어 발열이 이루어지는 히팅부를 갖는 밸브몸체부와;
상기 실린더 구동부와 상기 밸브몸체부 사이에 조립되어 상기 제2탄성체를 지지하며, 상기 밸브스템을 수직으로 관통하는 제1공기유로와, 상기 히팅부의 상부에 형성된 냉각룸과 연통되는 제2공기유로를 갖는 단열몸체부:를 포함하는 진공밸브.
제1항에 있어서, 상기 벨로즈의 상단과 접하고 상기 히팅부가 안착 위치하게 되는 고정플레이트를 더 포함하되, 상기 고정플레이트는 상기 벨로즈의 내측과 상기 고정플레이트의 상측을 연통하는 공기유로를 형성하도록 통기요홈이 형성됨을 특징으로 하는 진공밸브.
제2항에 있어서, 상기 고정플레이트의 상측은 상기 냉각룸인 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제2항에 있어서, 상기 히팅부는,
상기 고정플레이트 상부에 안착되는 제1히팅블록과;
상기 제1히팅블록 하단에 일체로 형성되어 상기 벨로즈에 삽입 위치하여 외주면에 요철 또는 주름이 형성된 제2히팅블록;을 포함하는 진공밸브.
제1항에 있어서, 상기 제1공기유로와 상기 제2공기유로는 압축공기를 발생시키는 에어펌프가 연결되어 대기압 이상의 압축공기가 공급되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제5항에 있어서, 상기 제1공기유로 및 제2공기유로와, 상기 에어펌프를 연결하는 에어 공급라인에는 에어 공급량을 조절하는 니들 밸브가 마련됨을 특징으로 하는 진공밸브.