KR20170029623A

KR20170029623A - 필러 충전 필름, 매엽 필름, 적층 필름, 첩합체, 및 필러 충전 필름의 제조 방법

Info

Publication number: KR20170029623A
Application number: KR1020177004495A
Authority: KR
Inventors: 유따까 무라모또; 마사나오 기쿠치
Original assignee: 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤
Priority date: 2014-10-28
Filing date: 2015-10-28
Publication date: 2017-03-15
Also published as: JP2016083940A; JP2022060301A; JP2020111065A; JP7360064B2; TWI668097B; KR101929692B1; CN106794622A; US20170320279A1; US10065380B2; JP6756098B2; TW201622952A; JP7051256B2; CN106794622B

Abstract

[과제] 필러 충전 필름, 매엽 필름, 적층 필름, 첩합체, 및 필러 충전 필름의 제조 방법을 제공하는 것에 있다.
[해결 수단] 상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 어느 관점에 의하면, 필름 본체와, 필름 본체의 표면에 형성된 복수의 오목부와, 오목부의 각각에 충전된 필러를 구비하고, 오목부의 개구면의 직경은 적어도 가시광 파장보다 크고, 오목부의 배열 패턴은 필름 본체의 길이 방향을 따른 주기성을 갖고, 필름 본체의 일방의 단부에 있어서의 필러의 충전율과, 필름 본체의 다른 부분에 있어서의 필러의 충전율의 차는 0.5％ 미만인, 필러 충전 필름이 제공된다.

Description

필러 충전 필름, 매엽 필름, 적층 필름, 첩합체, 및 필러 충전 필름의 제조 방법{FILLER-FILLED FILM, SHEET FILM, LAMINATE FILM, BONDED BODY, AND METHOD FOR PRODUCING FILLER-FILLED FILM}

본 발명은, 필러 충전 필름, 매엽 필름, 적층 필름, 첩합체(貼合體), 및 필러 충전 필름의 제조 방법에 관한 것이다.

최근, 여러 가지 엠보스 필름이 개발되어 사용되고 있다. 이와 같은 엠보스 필름으로서 오목부의 직경이 1㎛ 이상이고, 또한 오목부의 배열 패턴이 엠보스 필름의 길이 방향을 따른 주기성을 갖는 것이 알려져 있다. 즉, 이와 같은 엠보스 필름에서는 동일한 배열 패턴이 엠보스 필름의 길이 방향으로 반복 형성된다.

이와 같은 엠보스 필름은 예를 들어 필러 충전 필름으로서 사용된다. 필러 충전 필름은 엠보스 필름의 오목부에 필러를 충전한 것이다.

또, 이와 같은 엠보스 필름은 스탬퍼 원반을 사용하여 제작된다. 스탬퍼 원반은 평판상 기판의 표면(전사면)에 상기 배열 패턴의 반전 형상(즉, 복수의 볼록부)이 형성된 것이다. 그리고, 스탬퍼 원반의 전사면 형상을 피전사 필름에 순차 전사해 감으로써 엠보스 필름을 제작한다.

일본 공개특허공보 2009-258751호

그러나, 스탬퍼 원반을 사용하여 엠보스 필름을 제작하는 방법에서는 피전사 필름에 대한 스탬퍼 원반의 위치 결정 등을 정확하게 행하는 것이 매우 어렵다는 문제가 있었다. 이 때문에, 이 방법으로 제작된 엠보스 필름에서는 오목부의 불량(위치 어긋남, 결손, 변형 등)이 발생하기 쉽다는 문제가 있었다. 불량이 된 오목부에는 필러가 충전되지 않는 경우가 있을 수 있다. 또한, 오목부의 불량은 필러 충전 필름이 길어질수록 커지기 쉽다. 이 때문에, 필러의 충전율이 필러 충전 필름의 길이 방향으로 흐트러진다는 문제가 생길 수 있다.

또, 특허문헌 1에는 모스아이 필름을 롤 투 롤로 제작하는 방법을 개시한다. 이 방법에서는 먼저 둘레면에 모스아이 필름의 반전 형상이 형성된 원기둥 형상의 원반을 준비한다. 그리고, 원반의 둘레면 형상을 필름에 전사함으로써 모스아이 필름을 제작한다. 그러나, 이 모스아이 필름에서는 요철의 직경이 매우 작기(1㎛ 미만) 때문에, 상기 문제를 전혀 해결할 수 없다.

그래서, 본 발명은 상기 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적으로 하는 점은 필러의 충전율이 보다 안정적인, 신규 또한 개량된 필러 충전 필름, 매엽 필름, 적층 필름, 첩합체, 및 필러 충전 필름의 제조 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 어느 관점에 의하면, 필름 본체와, 필름 본체의 표면에 형성된 복수의 오목부와, 오목부의 각각에 충전된 필러를 구비하고, 오목부의 개구면의 직경은 적어도 가시광 파장보다 크고, 오목부의 배열 패턴은 필름 본체의 길이 방향을 따른 주기성을 갖고, 필름 본체의 일방의 단부(端部)에 있어서의 필러의 충전율과, 필름 본체의 다른 부분에 있어서의 필러의 충전율의 차는 0.5％ 미만인, 필러 충전 필름이 제공된다.

여기서, 필름 본체는 장척 필름이어도 된다.

또, 필러의 충전율은 필름 본체의 길이 방향을 따른 주기성을 가지고 있어도 된다.

또, 모든 오목부는 대략 동일 형상으로 되어 있어도 된다.

또, 필름 본체의 단위면적당에 충전되는 필러의 수는 50,000,000개/㎠ 이하여도 된다.

또, 필러는 오목부 내에서 필름 본체와 일체화되어 있어도 된다.

또, 필름 본체의 표면 중, 적어도 일부에 형성된 피복층을 구비하고 있어도 된다.

또, 피복층은 오목부의 표면, 오목부 사이의 볼록부의 표면, 및 필러의 노출면 중, 적어도 일부에 형성되어 있어도 된다.

또, 피복층은 무기 재료를 포함하고 있어도 된다.

또, 필름 본체는 경화성 수지 또는 가역성 수지로 형성되어 있어도 된다.

본 발명의 다른 관점에 의하면, 상기 필러 충전 필름을 복수장으로 컷함으로써 제작되는 매엽 필름이 제공된다.

본 발명의 다른 관점에 의하면, 상기 필름이 적층된 적층 필름이 제공된다.

여기서, 필름 본체의 이면에 형성된 점착층을 구비하고 있어도 된다.

본 발명의 다른 관점에 의하면, 상기 필름과, 상기 필름이 첩합된 기재를 구비하는 첩합체가 제공된다.

본 발명의 다른 관점에 의하면, 둘레면에 복수의 볼록부가 형성된 원통 또는 원기둥 형상의 원반을 준비하는 스텝과, 장척의 피전사 필름을 롤 투 롤로 반송하는 한편으로, 원반의 둘레면 형상을 피전사 필름에 전사함으로써 필름 본체를 제작하는 스텝과, 필름 본체의 표면에 형성된 복수의 오목부에 필러를 충전하는 스텝을 포함하고, 오목부의 개구면의 직경은 적어도 가시광 파장보다 크고, 필름 본체의 일방의 단부에 있어서의 필러의 충전율과, 필름 본체의 다른 부분에 있어서의 필러의 충전율의 차는 0.5％ 미만인, 필러 충전 필름의 제조 방법이 제공된다.

본 발명의 상기 각 관점에 의한 필러 충전 필름에서는 필름 본체의 일방의 단부에 있어서의 필러의 충전율과, 필름 본체의 다른 부분에 있어서의 필러의 충전율의 차는 0.5％ 미만이다. 따라서, 필러의 충전율이 보다 안정된다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 필러의 충전율이 보다 안정된다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관련된 필러 충전 필름의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는 동 실시형태에 관련된 필러 충전 필름의 구성을 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 3은 필러 충전 필름의 각 부분으로부터 필름 개시점까지의 거리와 각 부분의 필러 충전율의 대응 관계를 모식적으로 나타내는 그래프이다.
도 4는 필러 충전 필름의 변형예를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 5는 필러 충전 필름의 변형예를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 6는 필러 충전 필름의 변형예를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 7은 필러 충전 필름의 변형예를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 8은 필러 충전 필름의 변형예를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 9는 필러 충전 필름의 변형예를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 10은 필름 본체를 제작하기 위한 전사 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 설명도이다.
도 11은 노광 장치의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 12는 원반의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 13은 필름 본체의 일례를 나타내는 SEM(주사형 전자현미경) 사진이다.
도 14는 필름 본체의 일례를 나타내는 SEM 사진이다.

이하에 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 본 명세서 및 도면에 있어서 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙임으로써 중복 설명을 생략한다.

＜1. 필러 충전 필름의 구성＞

먼저, 도 1∼도 3에 기초하여, 본 실시 형태에 관련된 필러 충전 필름(1)의 구성에 대해 설명한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 필러 충전 필름(1)은 필름 본체(2)와, 필름 본체(2)의 표면에 형성된 복수의 오목부(3)와, 오목부(3)의 각각에 충전된 필러(4)를 구비한다.

필름 본체(2)는 복수의 오목부(3)가 형성되는 필름이다. 필름 본체(2)를 구성하는 재료는 특별히 문제되지 않는다. 예를 들어, 필름 본체(2)는 임의의 경화성 수지 또는 가역성 수지로 형성되어 있어도 된다. 여기서, 경화성 수지로서는 광경화성 수지, 열경화성 수지를 들 수 있다. 가역성 수지로서는 열가소성 수지(보다 상세하게는 열에 의해 용융하는 결정성 수지) 등을 들 수 있다. 따라서, 필름 본체(2)는 예를 들어 광경화성 수지, 열경화성 수지 및 열가소성 수지 중 적어도 1종 이상으로 형성되어 있어도 된다. 필름 본체(2)가 광경화성 수지 또는 열경화성 수지로 형성되는 경우, 필름 본체(2)는 시트상의 피전사 기재 필름(161)과 피전사 기재 필름(161) 상에 형성된 경화 수지층(162a)으로 구성되어도 된다(도 10 참조). 경화 수지층(162a)은 광경화성 수지 또는 열경화성 수지가 경화된 층이다. 경화 수지층(162a)의 표면에 오목부(3)가 형성된다. 경화성 수지와 피전사 기재 필름을 구성하는 수지가 혼합된 상태로 필름 본체(2)가 성막되어도 된다.

또, 필름 본체(2)의 두께도 특별히 문제되지 않는다. 필름 본체(2)의 두께는 상기 서술한 피전사 기재 필름(161)의 유무에 따라 조정되어도 된다. 예를 들어, 필름 본체(2)의 두께는 필름 본체(2)가 피전사 기재 필름(161)을 갖는 경우, 10∼300㎛여도 된다. 이 경우, 경화 수지층(162a)의 두께는 1∼50㎛여도 되고, 피전사 기재 필름(161)의 두께는 9∼250㎛여도 된다. 한편, 필름 본체(2)가 피전사 기재 필름(161)을 갖지 않는 경우, 필름 본체(2)의 두께는 8∼200㎛여도 된다.

또, 필름 본체(2)의 폭도 특별히 문제되지 않는다. 예를 들어, 필름 본체(2)의 폭은 0.05∼300㎝여도 된다. 필름 본체(2)의 길이도 특별히 문제되지 않는다. 단, 필름 본체(2)가 장척 필름이 되는 경우, 후술하는 필러 충전율의 편차가 커지기 쉽다. 따라서, 필름 본체(2)가 장척 필름이 되는 경우, 본 실시 형태의 효과가 보다 현저하게 나타난다. 예를 들어, 필름 본체(2)의 길이의 하한값은 5m, 10m, 30m, 50m, 100m, 200m, 300m, 및 500m 중 어느 것이어도 된다.

오목부(3)는 필름 본체(2)의 표면에 복수 형성되어 있다. 오목부(3)의 개구면의 직경은 적어도 가시광 파장보다 크다. 여기서, 오목부(3)의 개구면의 직경은 예를 들어 오목부(3)의 개구면을 포함하는 최소의 원(예를 들어 오목부(3)의 개구면의 외접원)의 직경이다. 오목부(3)의 개구면의 직경은 구체적으로는 0.8∼500㎛인 것이 바람직하고, 1.0∼300㎛인 것이 보다 바람직하며, 1.6㎛보다 크고 300㎛ 미만인 것이 보다 더 바람직하다. 즉, 하한값은 0.8㎛ 이상이 바람직하고, 1.0㎛ 이상이 보다 바람직하며, 1.6㎛보다 큰 것이 보다 더 바람직하다. 상한값은 500㎛ 이하가 바람직하고, 300㎛ 이하가 보다 바람직하며, 300㎛ 미만이 보다 더 바람직하다.

오목부(3)의 개구면의 형상은 특별히 문제되지 않고, 임의의 형상이어도 된다. 예를 들어, 오목부(3)의 개구면의 형상은 원형, 타원형, 및 다각형 등이어도 된다. 오목부(3)의 개구면의 형상이 다각형이 되는 경우, 개구면의 직경은 다각형을 구성하는 1변의 길이 중 가장 긴 것이어도 된다. 오목부(3)의 개구면은 곡선을 일부에 갖는 형상이라도 된다. 또 개구면의 면적은 상기 서술한 개구면의 조건을 만족하면 일정하지 않아도 된다. 또, 개구면의 형상은 최소 면적의 개구면을 점으로 간주하고, 그 이상의 면적을 갖는 개구면을 그 형상에 의해 선, 면으로서 분류해도 된다. 선상의 개구면은 최소 면적의 개구면을 갖는 오목부(3)가 선상으로(즉 1 차원 방향으로) 연결됨으로써 형성된다. 면상의 개구면은 최소 면적의 개구면을 갖는 오목부(3)가 면상으로(즉 2 차원 방향으로) 연결됨으로써 형성된다. 따라서, 선상, 면상의 오목부(3)는 최소 면적의 개구면을 갖는 오목부(3)의 집합체로 간주할 수 있다. 선이나 면의 형상은 특별히 한정되지 않는다. 오목부(3)의 집합체는 면과 선이 결합한 것이어도 된다. 오목부(3)의 집합체는 1개의 오목부(3)로서 계측된다. 또, 도 1에 나타내는 요철 형상이 역전되어 있어도 된다. 즉, 오목부(3)가 볼록부가 되고, 오목부(3) 사이의 볼록부(3b)(도 2 참조)가 오목부로 되어 있어도 된다.

오목부(3)의 깊이(d)(도 2 참조)는 특별히 문제되지 않는다. 예를 들어, 깊이(d)는 0.08∼30㎛여도 된다. 깊이(d)는 0.08∼15㎛인 것이 바람직하다. 또, 오목부(3)의 개구면이 사각형(정방형, 또는 장방형) 또는 대략 원형(진원, 타원, 또는 이들에 근사할 수 있는 원)이 되는 경우, 오목부(3)의 어스펙트비는 0.1∼10 정도여도 된다. 여기서, 어스펙트비는 개구면의 직경을 깊이(d)로 제산한 값이다.

오목부(3)의 깊이가 30㎛를 초과하거나, 또는 오목부(3)의 어스펙트비가 10을 초과하는 경우, 오목부(3)의 형성이 곤란해지므로 바람직하지 않다. 또, 오목부(3)의 깊이가 0.08㎛ 미만, 또는 오목부(3)의 어스펙트비가 0.1 미만인 경우, 필러(4)의 충전이 곤란해지는 경우가 있기 때문에 바람직하지 않다.

또, 필름 본체(2)가 피전사 기재 필름(161)을 갖는 경우, 오목부(3)는 경화 수지층(162a)을 관통해도 된다. 단, 필름 본체(2)가 피전사 기재 필름(161)을 가지고 있는지의 여부에 관계 없이, 오목부(3)는 필름 본체(2)를 관통하고 있지 않은 것이 바람직하다.

또, 각 오목부(3)의 형상(개구면 형상, 단면 형상(도 2에 나타내는 단면 형상))은 필름 본체(2) 전체에 걸쳐서 대략 동일한 것이 바람직하다. 오목부(3)의 단면 형상 또는 개구면의 형상이 대략 동일한 경우, 필러 충전 필름(1)에 있어서의 오목부(3)의 형성 상태의 파악이 보다 용이해지기 때문에 바람직하다.

또, 오목부(3)의 배열 패턴은 필름 본체(2)의 길이 방향P를 따른 주기성을 갖는다. 구체적으로는, 오목부(3)의 배열 패턴은 단위 배열 패턴M이 필름 본체(2)의 길이 방향으로 반복되는 배열 패턴으로 되어 있다. 도 1의 예에서는, 단위 배열 패턴M은 길이 방향P에 수직인 방향으로 배열된 2열의 오목부(3)로 구성된다. 각 열의 오목부(3)는 등간격으로 배열되어 있다. 또, 각 열의 오목부(3)는 타방의 열의 오목부(3)끼리의 사이에 배치된다. 그리고, 단위 배열 패턴M이 길이 방향P를 따라 반복됨으로써 육방 격자 배열 패턴이 형성된다. 육방 격자 배열 패턴은 오목부(3)를 최조밀하게 배열하는 패턴의 일례이다. 물론, 배열 패턴은 이 예에 한정되지 않는다. 예를 들어 배열 패턴은 정방 격자 배열 패턴이어도 된다. 이 경우, 단위 배열 패턴은 길이 방향P에 수직인 방향으로 배열된 1열의 오목부(3)로 구성된다. 열 내의 오목부(3)는 등간격으로 배치된다. 또, 다른 배열 패턴으로서는 사방 격자, 평행체 격자 등의 격자 형상을 들 수 있다. 또, 임의로 묘화(점묘)된 것이라도 된다.

또, 단위 배열 패턴M의 폭MW는 필름 본체(2)의 폭에 일치한다. 한편, 단위 배열 패턴M의 길이ML은 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어, 후술하는 원반(110)(도 10 참조)의 둘레면에 형성되는 볼록부(113)의 배열 패턴에 주기성이 없는 경우, 길이ML은 원반(110)의 원둘레의 길이에 일치한다. 한편, 볼록부(113)의 배열 패턴이 원반(110)의 둘레 방향을 따른 주기성을 갖는 경우, 즉 볼록부(113)의 단위 배열 패턴이 원반(110)의 둘레 방향으로 반복되는 경우, 길이ML은 볼록부(113)의 단위 배열 패턴의 길이(원반(110)의 둘레 방향의 길이)에 일치한다. 단위 배열 패턴M의 길이ML은 단위 배열 패턴M이 1열의 오목부(3)로 구성되는 경우에 최소가 된다. 즉, 이 경우 길이ML은 오목부(3)의 직경 정도가 된다. 한편, 볼록부(113)의 배열 패턴에 주기성이 없는 경우에 최대가 된다. 이 경우, 길이ML은 원반(110)의 원둘레 길이에 일치한다. 따라서, 단위 배열 패턴M의 길이ML의 범위는 매우 광범위해진다. 또한, 원반(110)의 직경은 특별히 제한되지 않지만, 예를 들어 50∼300㎜가 된다.

여기서, 오목부(3)의 배열 패턴은 필름 본체(2)의 길이 방향과 직행하는 방향(필름 본체(2)의 폭 방향)에 대해서도 주기성을 갖고 있어도 된다. 즉, 필름 본체(2)의 폭 방향을 따라 동일한 배열 패턴이 반복되어도 된다. 필름 본체(2)의 길이 방향P를 따른 주기성과, 이것과 직행하는 방향의 주기성은 동일해도 되고 상이해도 된다. 필러 충전 필름(1)을 매엽화한 경우에, 대략 동일한 매엽 필름을 얻을 수 있기 때문에 있다.

또, 오목부(3)의 면밀도, 즉 필름 본체(2)의 단위면적당에 형성되는 오목부(3)의 개수는 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어, 당해 개수는 50,000,000개/㎠ 이하여도 된다. 오목부(3)의 면밀도가 50,000,000개/㎠를 초과하는 경우, 오목부(3)를 형성할 때에 원반(110)과 필름 본체(2)의 접촉 면적이 증가하고, 원반(110)과 필름 본체(2)의 이형성이 저하해 오목부(3)가 형성되기 어려워지기 때문에 바람직하지 않다. 또한, 오목부(3)의 면밀도의 하한값은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 100개/㎠ 이상이어도 된다.

또한, 1개의 오목부(3)에 1개의 필러(4)가 충전되는 경우, 오목부(3)의 면밀도는 필러(4)의 면밀도, 즉 필름 본체(2)의 단위면적당에 충전되는 필러(4)의 개수에 일치한다. 또, 오목부(3) 간의 거리도 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어, 오목부(3) 간의 거리의 하한값은 0.5㎛여도 된다. 보다 상세하게는, 오목부(3) 간의 거리의 하한값은 필러(4)의 최소 직경의 5/8 이상이 바람직하고, 1/2 이상이 보다 바람직하다. 오목부(3) 간의 거리의 상한값은 특별히 제한은 없지만, 1000㎛ 정도여도 된다. 여기서, 오목부(3) 간의 거리는 개구면의 중심점 간 거리여도 된다.

또, 오목부(3)의 결손은 길이 방향P에 연속해 생기는 경우도 있을 수 있지만, 그러한 경우라도 연속된 결손은 매우 적다. 여기서 오목부(3)의 결손이란, 오목부(3)가 형성되지 않은 것(바꿔 말하면, 볼록부(113)(도 10 참조)의 형상이 필름 본체(2)에 전사되지 않은 것)을 의미한다. 또 길이 방향P로 연속한 결손이란, 길이 방향P에 평행한 직선 상에서 연속해 발생하는 결손을 의미한다. 본 실시 형태에서는 길이 방향P로 연속한 결손은 10개 이하, 바람직하게는 5개 이하가 된다.

도 13 및 도 14에 필름 본체(2)의 일례를 나타낸다. 도 13 및 도 14는 모두 필름 본체(2)의 SEM 사진이다. 도 13A 및 도 14A는 필름 본체(2)의 표면을 관찰한 SEM 화상이고, 도 13B 및 도 14B는 도 13A 및 도 14A에 나타내는 전사물을 X-XX선으로 절단한 단면을 관찰한 SEM 화상이다. 도 13A 및 도 14A의 상하 방향은 도 1의 길이 방향P이고, 좌우 방향은 필름 본체(2)의 폭 방향이다. 도 13A에서는 개구면의 형상이 원형으로 되어 있고, 오목부(3)의 배열 패턴은 육방 격자상 배열 패턴으로 되어 있다. 또, 도 14A에서는 개구면의 형상이 정방형으로 되어 있고, 오목부(3)의 배열 패턴은 정방 격자상 배열 패턴으로 되어 있다.

필러(4)는 오목부(3)에 충전되는 것이다. 충전이란, 필러의 과반이 오목부(3)에 매입되어 있는 상태를 가리킨다. 또한, 1개의 오목부(3)에 1개의 필러(4)가 충전되는 것이 바람직하다. 단, 오목부(3)의 집합체에는 복수의 필러(4)가 충전되는 경우가 있을 수 있다. 필러(4)를 구성하는 재료(조성)는 특별히 문제되지 않고, 필러 충전 필름(1)의 용도에 따라 적절히 선택되면 된다. 예를 들어, 필러(4)는 무기물, 유기물, 무기물이 다층 구조를 취하고 있는 것, 무기물(무기 재료)과 유기물(유기 재료)의 혼재물(예를 들어, 유기물로 이루어지는 미소 고형물을 무기물로 피복한 것) 등을 사용할 수 있다. 구체적으로는, 필러(4)는 안료, 염료, 결정성 무기물 등이어도 된다. 또, 필러(4)는 결정성의 유기 재료 또는 무기 재료를 해쇄한 것이어도 된다. 또, 모든 오목부(3)에 동일한 필러(4)를 충전해도 되고, 상이한 종류의 필러(4)를 충전해도 된다. 예를 들어, 오목부(3)의 개구면의 직경이 상이한 경우, 그것들에 따른 직경의 필러(4)를 충전해도 된다. 필러(4)의 형상은 특별히 문제되지 않는다. 필러(4)의 형상은 등방성을 갖는 것, 예를 들어 구형이어도 된다. 또, 필러의 비중은 특별히 제한되지 않지만, 예를 들어 0.8∼23이어도 된다. 필러의 크기는 필러의 최대 길이가 오목부(3)의 개구면의 최소 길이 이하인 것이 바람직하다. 필러는 여러 가지 물성이나 기능성이 부여된 것이어도 된다.

또, 필러(4)는 오목부(3) 내에서 필름 본체(2)와 일체화되어 있어도 된다. 필름 본체(2)와의 일체화는 예를 들어 오목부(3)의 일부만을 경화시킨 상태에서 필러(4)를 오목부(3)에 충전하고, 그 후 오목부(3)를 완전히 경화시키면 된다. 또, 필러(4)를 오목부(3)에 충전시킨 후, 미경화의 경화성 수지를 필러 충전 필름(1)의 표면에 도포 또는 산포하고, 경화성 수지를 경화시켜도 된다.

본 실시 형태에서는, 필러(4)의 충전율(이하, 「필러 충전율」이라고도 칭한다)은 매우 안정되어 있다. 즉, 필름 본체(2)의 일방의 단부F에 있어서의 필러 충전율과, 필름 본체(2)의 다른 부분에 있어서의 필러 충전율의 차는 0.5％ 미만, 바람직하게는 0.3％ 이하, 보다 바람직하게는 0.1％ 이하이다.

여기서, 일방의 단부F는 후술하는 원반(110)에 의해 최초로 오목부(3)가 형성되는 측의 단부, 즉 전사의 개시점이다. 한편, 타방의 단부R은 원반(110)에 의해 마지막에 오목부(3)가 형성되는 측의 단부, 즉 전사의 종료점이다. 본 실시 형태에서는, 일방의 단부F로부터 타방의 단부F를 향하는 방향을 길이 방향P의 정방향으로 한다. 그리고, 필름 본체(2)의 각 부분(지점)에 있어서의 필러 충전율은, 예를 들어 이하와 같이 산출된다.

즉, 착안한 부분을 포함하는 단위 배열 패턴M을 추출하고, 이 단위 배열 패턴M에 대해 길이 방향P의 정방향측에 배치되는 소정 개수m(m은 0 이상의 임의의 정수)의 단위 배열 패턴M을 추출한다. 그리고, 추출된 단위 배열 패턴M을 계측 대상 영역으로 한다.

그리고, 계측 대상 영역 내에 복수의 대표 영역을 설정하고, 각 대표 영역 내의 필러(4)의 개수를 광학 현미경 관찰 등에 의해 계측한다. 그리고, 각 대표 영역의 측정값의 총합을 각 대표 영역 내에 존재하는 필러(4)의 이상(理想) 개수의 총합으로 제산함으로써, 필러 충전율을 계측한다. 여기서, 대표 영역 내에 존재하는 필러(4)의 이상 개수는 대표 영역 내에 존재해야 하는 필러(4)의 개수이다. 즉, 대표 영역 내에서 오목부(3)의 결손이 일절 존재하지 않고, 또한 대표 영역 내의 모든 오목부(3)에 필러(4)가 과부족 없이 충전되었다고 가정한 경우에 계측되는 필러(4)의 개수이다.

필러 충전율은, 어떠한 원인에 의해 100(％)을 하회하는 경우가 있다. 이 원인으로서는, 오목부(3)의 위치 어긋남(본래 형성되어야 하는 위치와는 상이한 위치에 오목부(3)가 형성되는 것), 오목부(3)의 결손, 변형(본래의 형상과는 상이한 형상이 되는 것) 등을 들 수 있다. 오목부(3)의 위치 어긋남, 변형이 생긴 경우, 필러(4)는 오목부(3)에 충전되지 않을 가능성이 있다. 오목부(3)의 결손이 발생한 경우, 필러(4)가 충전되어야 하는 오목부(3)가 존재하지 않는다. 따라서, 어느 경우에도 필러 충전율은 감소한다. 도 1에서는, 지점X에 있어서의 단위 배열 패턴M 내에서 2개의 오목부(3a)가 결손되어 있다. 또, 다른 단부R에 있어서의 단위 배열 패턴M 내에서 1개의 오목부(3a)가 결손되어 있다.

필러 충전율의 분포는 여러 가지 양태가 있을 수 있다. 예를 들어, 필러 충전율은 길이 방향P를 따른 주기성을 갖는 경우가 있다. 구체적으로는, 도 3의 그래프L1이 나타내는 바와 같이, 각 부분에 있어서의 필러 충전율은 길이 방향P를 따라 물결친 분포가 되는 경우가 있다.

여기서, 도 3의 가로축은 필름 본체(2)의 개시점으로부터 필름 본체(2) 상의 각 부분까지의 거리(즉, 길이 방향 거리)를 나타내고, 세로축은 필러 충전율을 나타낸다. 그래프L1은 본 실시 형태에 관련된 필러 충전 필름(1)의 길이 방향 거리와 필러 충전율의 대응 관계를 나타낸다. 한편, 그래프L2는 종래의(즉 스탬퍼 원반을 사용하여 제작된) 필러 충전 필름의 길이 방향 거리와 필러 충전율의 대응 관계를 나타낸다.

그래프L1, L2가 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관련된 필러 충전 필름(1) 및 종래의 필러 충전 필름의 어느 것에 있어서도, 필러 충전율은 길이 방향 을 따라 물결친 분포로 되어 있다. 단, 본 실시 형태에 관련된 필러 충전 필름(1)에서는 필러 충전율의 편차가 작은데 대해, 종래의 필러 충전 필름에서는 필러 충전율의 편차가 매우 크다. 그리고, 종래의 필러 충전 필름에서는 필름 본체가 길어질수록 필러 충전율의 편차가 커진다. 이것에 대해, 본 실시 형태에서는 후술하는 실시예에 나타내는 바와 같이, 필름 본체(2)가 길어져도 필러 충전율의 편차를 억제할 수 있다. 즉, 본 실시 형태에서는 각 부분에 있어서의 필러 충전율과 일방의 단부F에 있어서의 필러 충전율의 차는 0.5％ 미만으로 억제된다.

＜2. 각종 변형예＞

다음으로, 도 4∼도 9에 기초하여 필러 충전 필름(1)의 각종 변형예에 대해 설명한다. 도 4에 나타내는 필러 충전 필름(1a)은 상기 서술한 필러 충전 필름(1)에 피복층(5)을 추가한 것이다. 피복층(5)은 필름 본체(2)의 표면, 즉 오목부(3)의 표면(벽면 및 저면)과, 오목부(3) 간의 볼록부(3b)의 표면(선단면)을 덮는다. 또한, 피복층(5)은 오목부(3)의 표면 및 볼록부(3b)의 표면 중, 어느 일방만을 덮어도 된다. 필러(4)는 피복층(5)으로 덮인 오목부(3) 내에 충전된다.

여기서, 피복층(5)을 구성하는 재료(조성)는 특별히 제한되지 않고, 유기 재료여도 되고, 무기 재료여도 된다. 피복층(5)을 구성하는 재료는 필러 충전 필름(1a)의 용도에 따라 적절히 선택되면 되지만, 필름 본체(2)와 상이한 재료로 구성되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 피복층(5)은 무기층이어도 된다. 피복층(5)은 예를 들어 피복층(5)을 구성하는 재료를 필름 본체(2)에 증착함으로써 형성된다. 피복층(5)의 층두께는 특별히 문제되지 않지만, 오목부(3)의 형상에 관계 없이, 필름 본체(2)의 표면 상에서 대략 균일한 것이 바람직하다. 또, 오목부(3)의 표면에 형성되는 부분은 오목부(3)의 중공 부분의 30체적％ 이하의 비율로 오목부(3)의 표면에 형성되는 것이 바람직하다. 또, 증착의 방법은 특별히 문제되지 않는다. 예를 들어 사방(斜方) 증착을 행함으로써, 오목부(3)의 일부에만(즉, 경사지게) 피복층(5)을 형성해도 된다. 이 경우, 오목부(3)의 벽면을 경사지게 할 수 있으므로, 필러(4)를 오목부(3)에 충전하기 쉬워진다. 피복층(5)을 유기 재료로 구성하는 경우에는, 유기 재료를 도포 혹은 산포함으로써 피복층(5)을 형성해도 된다. 이때도, 개구면과 산포되는 방향이 경사져도 된다.

도 5에 나타내는 필러 충전 필름(1b)은 도 4에 나타내는 필러 충전 필름(1a)의 표면에 추가로 피복층(6)을 형성한 것이다. 피복층(6)은 피복층(5) 중 볼록부(3b)를 덮는 부분과, 필러(4)의 노출면을 덮는다. 여기서, 필러(4)의 노출면은 오목부(3)의 개구면을 통하여 외부로 노출되는 면을 의미한다. 피복층(6)을 구성하는 재료도 특별히 제한되지 않고, 유기 재료여도 되고, 무기 재료여도 된다. 피복층(6)을 구성하는 재료는 필러 충전 필름(1b)의 용도에 따라 적절히 선택되면 된다. 예를 들어, 피복층(6)은 피복층(5)과 동일한 무기 재료로 구성되어 있어도 되고, 상이한 무기 재료로 구성되어 있어도 된다. 피복층(6)은 피복층(5)과 동일한 방법으로 형성된다.

도 6에 나타내는 필러 충전 필름(1c)은 필러 충전 필름(1)의 표면에 피복층(7)을 형성한 것이다. 피복층(7)은 볼록부(3b)의 표면과, 필러(4)의 노출면을 덮는다. 피복층(7)을 구성하는 재료(조성)는 특별히 제한되지 않고, 유기 재료여도 되도, 무기 재료여도 된다. 피복층(7)을 구성하는 재료는 필러 충전 필름(1c)의 용도에 따라 적절히 선택되면 된다. 예를 들어, 피복층(7)은 무기층이어도 된다. 피복층(7)은 피복층(5)과 동일한 방법으로 형성된다.

도 7에 나타내는 필러 충전 필름(1d)은 필름 본체(2)의 이면(오목부(3)가 형성된 면과 반대측의 면)에 점착층(8)을 형성한 것이다. 이 필러 충전 필름(1d)은 점착층(8)을 개재하여 다른 물체(예를 들어 본 실시 형태에 관련된 다른 필러 충전 필름, 임의의 기재 등)에 부착되어도 된다. 또한, 점착층(8)은 도 4∼6에 나타내는 필러 충전 필름(1a∼1c)에 형성되어 있어도 되는 것은 물론이다.

도 8에 나타내는 적층 필름(20)은 2장의 필러 충전 필름(1)이 점착층(8)을 개재하여 첩합된 것이다. 도 8에 나타내는 적층 필름(20)에서는 적층 장수는 2장이지만, 적층 장수가 이것에 한정되지 않는 것은 물론이다. 또, 각 필러 충전 필름(1)의 오목부(3)의 배열 패턴은 동일해도 되고, 상이해도 된다. 예를 들어, 각 필러 충전 필름(1)의 오목부(3)의 배열 패턴은 서로 상사형이어도 된다. 또, 각 필러 충전 필름(1)에 동일한 필러(4)를 충전해도 되지만, 필러 충전 필름(1)마다 상이한 필러(4)를 충전해도 된다.

적층 필름(20)은 도 7에 나타내는 필러 충전 필름(1d)을 적층함으로써 제작되어도 된다. 또, 적층 필름(20)은 필러 충전 필름(1)의 표면에 점착층(8)을 도공하고, 그 위에 다른 필러 충전 필름(1)을 첩부한다는 공정을 반복함으로써 제작해도 된다. 또한, 도 4∼6에 나타내는 필러 충전 필름(1a∼1c)을 적층해도 되는 것은 물론이다.

도 9에 나타내는 첩합체(30)는 기재(31)의 표면에 점착층(8)을 개재하여 필러 충전 필름(1)을 첩합한 것이다. 기재(31)의 종류는 특별히 제한되지 않는다. 기재(31)는 평면상의 부재(예를 들어 필름, 판)여도 되고, 입체상의 부재(예를 들어 각종 케이싱 등)여도 된다. 또, 필러 충전 필름(1a∼1d), 적층 필름(20), 및 후술하는 매엽 필름이 기재(31)에 첩합되어도 된다.

＜3. 매엽 필름＞

상기 서술한 필러 충전 필름(1)은 복수장으로 컷됨으로써 매엽 필름으로 되어도 된다. 본 실시 형태에 관련된 필러 충전 필름(1)에서는 전역에서 필러 충전율을 안정화시킬 수 있으므로, 동질의 매엽 필름을 복수 제작할 수 있다. 또한, 상기 서술한 각 변형예에 관련된 필름도 마찬가지로 매엽 필름으로 되어도 된다.

상기 각 필름의 용도는 특별히 제한되지 않지만, 예를 들어 프린티드 일렉트로닉스나 그 응용 분야(관련 분야) 등에 사용되어도 된다. 또, 상기 서술한 분야에 한정하지 않고, 기능성 필름(디바이스)으로서 사용되어도 된다. 예를 들어, 바이오 센서나 진단 디바이스와 같은 의료나 바이오, 헬스케어, 라이프 사이언스 등에 사용되어도 되고, 광학 소자여도 된다. 또, 배터리나 에너지 관련, 차재(자동차) 관련에 사용해도 된다.

＜4. 전사 장치의 구성＞

필름 본체(2)는 롤 투 롤 방식의 전사 장치에 의해서 제조 가능하다. 이하에서는 도 10을 참조해, 전사 장치의 일례인 전사 장치(100)의 구성에 대해 설명한다. 도 10에 나타내는 전사 장치(100)에서는 광 경화성 수지를 사용하여 필름 본체(2)를 제작한다.

전사 장치(100)는 원반(110)과, 기재 공급 롤(151)과, 권취 롤(152)과, 가이드 롤(153, 154)과, 닙롤(155)과, 박리 롤(156)과, 도포 장치(157)와, 광원(158)을 구비한다.

원반(110)은 원통 또는 원기둥 형상의 부재이고, 원반(110)의 둘레면에는 복수의 볼록부(113)가 형성된다. 이들 볼록부(113)는 상기 서술한 오목부(3)의 반전 형상으로 되어 있다. 즉, 전사 장치(100)에서는 원반(110)의 둘레면에 형성된 볼록부(113)의 배열 패턴을 피전사 필름(2a)에 전사함으로써, 필름 본체(2)를 제작한다.

원반(110)을 구성하는 재료, 원반(110)의 사이즈(직경 등)는 특별히 문제되지 않는다. 예를 들어, 원반(110)은 용융 석영 유리 또는 합성 석영 유리 등의 석영 유리(SiO₂), 스테인리스강 등으로 구성되어 있어도 된다. 원반(110)의 직경(외경)은 50∼300㎜여도 된다. 원반(110)이 원통 형상으로 되는 경우, 두께는 2∼50㎜여도 된다.

원반(110)의 둘레면에 볼록부(113)를 형성하는 방법은 특별히 문제되지 않는다. 예를 들어, 볼록부(113)는 원반(110)의 둘레면을 기계적으로 절삭함으로써 제작되어도 되고, 에칭에 의해 제작되어도 된다. 원반(110)을 에칭에 의해 제작하는 공정의 개요는 이하와 같다. 즉, 원통 또는 원기둥 형상의 기재의 둘레면을 레지스트층으로 덮는다. 이어서, 레지스트층 중, 볼록부(113)가 형성되지 않는 부분(오목부가 되는 부분)에 레이저 광을 조사함으로써, 레지스트층에 잠상을 형성한다. 또한, 레이저 광을 기재에 조사하는 노광 장치의 구성예에 대해서는 후술한다. 이어서, 레지스트층을 현상함으로써 잠상 부분을 제거한다. 이어서, 레지스트층을 마스크로 하여 기재를 에칭한다. 이것에 의해, 볼록부(113) 사이의 부분이 에칭되므로, 볼록부(113)가 형성된다. 또, 원반(110)의 둘레면에는 원반(110)의 둘레면 상의 위치를 나타내는 마킹이 실시되어 있어도 된다. 이와 같은 마킹을 피전사 필름(2a)에 전사함으로써, 전사의 진척을 확인할 수 있다. 또한, 원반(110)에 마킹을 실시하는 대신에, 원반(110)에 형성되는 볼록부(113)의 일부를 의도적으로 어긋나게 해 형성해도 된다. 이 경우, 당해 볼록부(113)에 대응하는 오목부(3)의 위치도 어긋나므로, 그 오목부(3)가 마킹을 대신하게 된다. 또한, 볼록부(113)의 위치 어긋남은 필름 본체(2)의 품질에 영향이 나타나지 않는 범위 내에서 설정되는 것이 바람직하다.

도 12에 원반(110)의 일례를 나타낸다. 원반(110)의 둘레면에는 복수의 볼록부(113)가 형성되어 있다. 볼록부(113)의 배열 패턴은 도 1에 나타내는 오목부(3)의 배열 패턴의 반전 형상으로 되어 있다. 즉, 볼록부(113)의 배열 패턴은 육방 격자상 배열 패턴으로 되어 있고, 원반(110)의 축 방향 A, 둘레 방향 B의 어느 방향에 대해서도 주기성을 가지고 있다.

기재 공급 롤(151)은 장척의 피전사 기재 필름(161)이 롤상으로 감긴 롤이고, 권취 롤(152)은 필름 본체(2)를 권취하는 롤이다. 또, 가이드 롤(153, 154)은 피전사 기재 필름(161)을 반송하는 롤이다. 닙롤(155)은 미경화 수지층(162)이 적층된 피전사 기재 필름(161), 즉 피전사 필름(2a)을 원반(110)에 밀착시키는 롤이다. 박리 롤(156)은 경화 수지층(162a)이 적층된 피전사 기재 필름(161), 즉 필름 본체(2)를 원반(110)으로부터 박리하는 롤이다.

도포 장치(157)는 코터 등의 도포 수단을 구비하고, 미경화의 광 경화 수지 조성물을 피전사 기재 필름(161)에 도포하여, 미경화 수지층(162)을 형성한다. 도포 장치(157)는 예를 들어 그라비어 코터, 와이어 바 코터, 또는 다이 코터 등이어도 된다. 또, 광원(158)은 광 경화 수지 조성물을 경화 가능한 파장의 광을 발하는 광원이고, 예를 들어 자외선 램프 등이어도 된다.

또한, 광 경화성 수지 조성물은 소정 파장의 광이 조사됨으로써 유동성이 저하하고, 경화하는 수지이다. 구체적으로는, 광 경화성 수지 조성물은 아크릴 수지 등의 자외선 경화 수지여도 된다. 또, 광 경화성 수지 조성물은 필요에 따라 개시제, 필러, 기능성 첨가제, 용제, 무기 재료, 안료, 대전 방지제, 또는 증감 색소 등을 포함해도 된다.

전사 장치(100)에서는 먼저, 기재 공급 롤(151)로부터 가이드 롤(153)을 개재하여, 피전사 기재 필름(161)이 연속적으로 송출된다. 또한, 송출 도중에 기재 공급 롤(151)을 별도 로트의 기재 공급 롤(151)로 변경해도 된다. 송출된 피전사 기재 필름(161)에 대해, 도포 장치(157)에 의해 미경화의 광 경화 수지 조성물이 도포되어, 피전사 기재 필름(161)에 미경화 수지층(162)이 적층된다. 이것에 의해, 피전사 필름(2a)이 제작된다. 피전사 필름(2a)은 닙롤(155)에 의해 원반(110)과 밀착된다. 광원(158)은 원반(110)에 밀착된 미경화 수지층(162)에 광을 조사함으로써, 미경화 수지층(162)을 경화한다. 이것에 의해, 원반(110)의 외주면에 형성된 볼록부(113)의 배열 패턴이 미경화 수지층(162)에 전사된다. 즉, 오목부(3)가 형성된 경화 수지층(162a)이 형성된다. 여기서, 광원(158)은 오목부(3)에 대해 경사지게 광을 조사해도 된다. 이 경우, 오목부(3)의 일부만이 경화된다. 계속해서, 경화 수지층(162a)이 적층된 피전사 기재 필름(161), 즉 필름 본체(2)는 박리 롤(156)에 의해 원반(110)으로부터 박리된다. 이어서, 필름 본체(2)는 가이드 롤(154)을 개재하여, 권취 롤(152)에 의해 권취된다.

이와 같이, 전사 장치(100)에서는 피전사 필름(2a)을 롤 투 롤로 반송하는 한편으로, 원반(110)의 둘레면 형상을 피전사 필름(2a)에 전사한다. 이것에 의해, 필름 본체(2)가 제작된다.

또한, 필름 본체(2)를 열가소성 수지로 제작하는 경우, 도포 장치(157) 및 광원(158)은 불필요해진다. 또, 피전사 기재 필름(161)을 열가소성 수지 필름으로 하고, 원반(110)보다 상류측에 가열 장치를 배치한다. 이 가열 장치에 의해 피전사 기재 필름(161)을 가열해 유연하게 하고, 그 후 피전사 기재 필름(161)을 원반(110)에 압박한다. 이것에 의해, 원반(110)의 둘레면에 형성된 볼록부(113)의 배열 패턴이 피전사 기재 필름(161)에 전사된다. 또한, 피전사 기재 필름(161)을 열가소성 수지 이외의 수지로 구성된 필름으로 하고, 피전사 기재 필름(161)과 열가소성 수지 필름을 적층해도 된다. 이 경우, 적층 필름은 가열 장치로 가열된 후, 원반(110)에 압박된다.

따라서, 전사 장치(100)는 원반(110)에 형성된 볼록부(113)의 배열 패턴이 전사된 전사물, 즉 필름 본체(2)를 연속적으로 제조할 수 있다. 또, 전사 장치(100)를 사용하여 제작된 필름 본체(2)는, 오목부(3)의 불량 발생을 억제할 수 있고, 나아가서는 필러 충전율의 편차를 억제할 수 있다.

＜5. 노광 장치의 구성＞

다음으로, 도 11에 기초하여 노광 장치(200)의 구성에 대해 설명한다. 노광 장치(200)는 원반(110)을 형성하는 장치이다. 노광 장치(200)는 레이저 광원(221)과, 제 1 미러(223)와, 포토다이오드(Photodiode : PD)(224)와, 편향 광학계(225)와, 제어 기구(237)와, 제 2 미러(231)와, 이동 광학 테이블(232)과, 스핀들 모터(235)와, 턴테이블(236)을 구비한다. 또, 기재(110a)는 턴테이블(236) 상에 적재되어, 회전할 수 있도록 되어 있다.

레이저 광원(221)은 레이저 광(220)을 발하는 광원이고, 예를 들어 고체 레이저 또는 반도체 레이저 등이다. 레이저 광원(221)이 발하는 레이저 광(220)의 파장은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 400㎚∼500㎚의 청색광 대역의 파장이어도 된다. 또, 레이저 광(220)의 스폿 직경(레지스트층에 조사되는 스폿의 직경)은 오목부(3)의 개구면의 직경보다 작으면 되고, 예를 들어 200㎚ 정도이면 된다. 레이저 광원(221)으로부터 발하게 되는 레이저 광(220)은 제어 기구(237)에 의해 제어된다.

레이저 광원(221)으로부터 출사된 레이저 광(220)은 평행빔인 상태에서 직진하고, 제 1 미러(223)에서 반사되어, 편향 광학계(225)로 유도된다.

제 1 미러(223)는 편광 빔 스플리터로 구성되어 있고, 편광 성분의 일방을 반사시키고, 편광 성분의 타방을 투과시키는 기능을 갖는다. 제 1 미러(223)를 투과한 편광 성분은 포토 다이오드(224)에 의해 수광되고, 광전 변환된다. 또, 포토 다이오드(224)에 의해 광전 변환된 수광 신호는 레이저 광원(221)에 입력되고, 레이저 광원(221)은 입력된 수광 신호에 기초하여 레이저 광(220)의 위상 변조를 행한다.

또, 편향 광학계(225)는 집광 렌즈(226)와, 전기 광학 편향 소자(Electro Optic Deflector : EOD)(227)와, 콜리메이터 렌즈(228)를 구비한다.

편향 광학계(225)에 있어서, 레이저 광(220)은 집광 렌즈(226)에 의해 전기 광학 편향 소자(227)에 집광된다. 전기 광학 편향 소자(227)는 레이저 광(220)의 조사 위치를 제어하는 것이 가능한 소자이다. 노광 장치(200)는 전기 광학 편향 소자(227)에 의해, 이동 광학 테이블(232) 상으로 유도되는 레이저 광(220)의 조사 위치를 변화시키는 것도 가능하다. 레이저 광(220)은 전기 광학 편향 소자(227)에 의해 조사 위치가 조정된 후, 콜리메이터 렌즈(228)에 의해 재차 평행빔화된다. 편향 광학계(225)로부터 출사된 레이저 광(220)은 제 2 미러(231)에 의해 반사되어, 이동 광학 테이블(232) 상으로 수평 또한 평행으로 유도된다.

이동 광학 테이블(232)은 빔 익스팬더(Beam expander : BEX)(233)와, 대물 렌즈(234)를 구비한다. 이동 광학 테이블(232)로 유도된 레이저 광(220)은 빔 익스팬더(233)에 의해 원하는 빔 형상으로 정형된 후, 대물 렌즈(234)를 통하여, 기재(110a)의 레지스트층에 조사된다. 또, 이동 광학 테이블(232)은 기재(110a)가 1회전할 때마다 화살표R 방향(이송 피치 방향)으로 1이송 피치만큼 이동한다. 턴테이블(236) 상에는 기재(110a)가 설치된다. 스핀들 모터(235)는 턴테이블(236)을 회전시킴으로써, 기재(110a)를 회전시킨다.

또, 제어 기구(237)는 포매터(240)와, 드라이버(230)를 구비하고, 레이저 광(220)의 조사를 제어한다. 포매터(240)는 레이저 광(220)의 조사를 제어하는 변조 신호를 생성하고, 드라이버(230)는 포매터(240)가 생성한 변조 신호에 기초하여 레이저 광원(221)을 제어한다. 이것에 의해, 기재(110a)에 대한 레이저 광(220)의 조사가 제어된다.

포매터(240)는 원반(110)에 묘화하는 임의의 패턴이 그려진 입력 화상에 기초하여, 원반(110)에 레이저 광(220)을 조사하기 위한 제어 신호를 생성한다. 구체적으로는, 먼저 포매터(240)는 원반(110)에 묘화하는 임의의 패턴이 그려진 입력 화상을 취득한다. 입력 화상은 축 방향으로 원반(110)의 외주면을 절개하여 일평면으로 편, 원반(110)의 외주면의 전개도에 상당하는 화상이다. 다음으로, 포매터(240)는 입력 화상을 소정 크기의 소영역으로 분할하고(예를 들어, 격자상으로 분할하고), 소영역의 각각에 묘화 패턴이 포함되는지의 여부를 판단한다. 계속해서, 포매터(240)는 묘화 패턴이 포함된다고 판단한 각 소영역에 레이저 광(220)을 조사하도록 제어하는 제어 신호를 생성한다. 또한, 드라이버(230)는 포매터(240)가 생성한 제어 신호에 기초하여 레이저 광원(221)의 출력을 제어한다. 이것에 의해, 원반(110)에 대한 레이저 광(220)의 조사가 제어된다.

＜6. 필러 충전 필름의 제조 방법＞

다음으로, 필러 충전 필름(1)의 제조 방법에 대해 설명한다. 먼저, 상기 서술한 원반(110)을 준비한다. 이어서, 전사 장치(100)를 사용하여, 피전사 필름(2a)에 원반(110)의 둘레면 형상을 전사한다. 이것에 의해, 필름 본체(2)를 제작한다. 이어서, 필름 본체(2)의 표면에 형성된 복수의 오목부(3)에 필러(4)를 충전한다. 여기서, 오목부(3)에 필러(4)를 충전하는 방법은 특별히 문제되지 않는다. 예를 들어, 필름 본체(2)의 표면에 필러(4)를 분산시킨다. 이어서, 필름 본체(2)의 표면을 천 등으로 와이프한다. 이것에 의해, 필러(4)를 필름 본체(2)의 표면에 형성된 오목부(3)에 충전할 수 있다. 또한, 오목부(3)의 일부만이 경화되어 있는 경우, 필러(4)를 오목부(3)에 충전시킨 후에 오목부(3)를 완전히 경화시켜도 된다. 이것에 의해, 필러(4)가 오목부(3) 내에서 필름 본체(2)와 일체화된다. 또한 필러 충전 필름(1)에 충전된 필러(4)를 다른 필름 등에 전사해도 된다. 또한, 이와 같은 전사 필름을 순차 적층해도 된다. 또한, 또 다른 필름으로 적층해도 된다. 즉, 전사 및 적층을 반복함으로써, 필러의 일부 또는 전부가 다른 필름의 정해진 위치에 형성되게 된다.

실시예

(실시예)

다음으로, 본 발명의 실시예를 설명한다. 실시예에서는 전사 장치(100)를 사용하여 필름 본체(2)를 제작했다. 원반(110)은 이하의 공정에 의해 제작했다. 구체적으로는, 4.5㎜ 두께의 원통 형상의 석영 유리로 이루어지는 기재(110a)의 외주면에, 탄화수소계 가스를 사용한 CVD(Chemical Vapor Deposition)에 의해 DLC(Diamond Like Carbon)를 막두께 800㎚로 성막하고, 중간층으로 했다. 다음으로, 중간층 상에 텅스텐 산화물을 스퍼터법에 의해 막두께 55㎚로 성막하고, 레지스트층으로 했다.

계속해서, 노광 장치(100)에 의해 레이저 광에 의한 열 리소그래피를 행하여, 레지스트층에 잠상을 형성했다. 또한, 노광 장치(100)의 레이저 광원에는 파장 405㎚의 레이저 광을 발하는 청색 반도체 레이저를 사용했다. 노광 패턴은 직경 7㎛의 원을 10㎛ 피치(원의 중심 간 거리)로 육방 격자로 배열한 배열 패턴을 사용했다. 또, 직경 7㎛의 원이 원반 상에서 볼록부가 되도록(즉, 직경 7㎛의 원이 전사 후의 필름 본체(2)에서는 오목부(3)가 되도록), 직경 7㎛의 원 이외의 부분을 노광 장치(100)로 노광했다.

계속해서, 레지스트층이 노광된 기재(110a)를 TMAH(수산화테트라메틸암모늄)의 2.38질량％ 수용액을 사용해 현상하여, 노광한 부분의 레지스트를 용해시켰다.

또한, 현상 후의 레지스트층을 마스크로 사용하고, O₂ 가스에 의한 반응성 이온 에칭으로 중간층을 에칭했다. 계속해서, 레지스트층 및 중간층을 마스크로 사용하고, CF계 가스에 의한 반응성 이온 에칭으로 기재(110a)를 에칭했다. 또한, 기재(110a)의 에칭은 필름 본체(2)에 있어서의 오목부(3)의 어스펙트비가 1이 되도록 볼록부(113)의 높이가 7㎛가 될 때까지 행했다. 이상의 공정에 의해, 외주면에 요철 구조가 형성된 원통 형상의 원반(110)을 제작했다.

계속해서, 50㎝ 폭의 PET로 이루어지는 기재 필름(두께 50㎛)에, 아크릴레이트 수지(M208, 토아고세이) 100질량부, 광 중합 개시제(IRGCUR184, BASF) 2질량부를 함유하는 광 경화 수지 조성물을 막두께 30㎛로 도포했다. 또한, 전사 장치(100)를 사용해, 원반을 기재 필름에 가압하고, 1000m 강분의 기재 필름에 요철 구조를 전사했다. 광 조사는 고압 수은등으로 1000mJ로 행했다. 이것에 의해, 직경 7㎛, 깊이 7㎛(어스펙트비 1)의 원형의 오목부가, 그 오목부의 중심 간 거리 10㎛로 육방 격자상으로 배열된 필름 본체(2)가 제작되었다.

또, 1㎟의 대표 영역을 임의로 100개소 추출하고, 각 대표 영역 내의 오목부의 수를 광학 현미경으로 계측했다. 그리고, 각 대표 영역에서 계측된 개수의 총수를 대표 영역의 총면적으로 제산함으로써, 오목부(3)의 면밀도(필름 본체(2)의 단위면적당에 형성되는 오목부(3)의 수)를 산출했다. 이 결과, 오목부(3)의 면밀도는 11,500개/㎟=1,150,000개/㎠가 되었다. 여기서, 카운트 대상이 되는 오목부(3)는 서로 연결되어 있지 않은(오목부(3) 사이에 볼록부(3b)가 존재한다) 오목부(3)로 했다. 즉, 본 실시예에서는 서로 연결된 오목부(3)를 불량으로 판정했다. 이와 같은 불량은 오목부(3)의 위치 어긋남 등에 의해 생길 수 있다.

또, 닛폰쇼쿠바이사 제조 에포스타 MA1006을 준비하고, 이 수지 필러를 평균 직경이 5㎛가 되도록 분급했다. 수지 필러의 직경은 수지 필러의 각 입자를 구(球)로 간주했을 때의 직경, 즉 구 상당 직경이다. 또, 평균 직경은 수지 필러의 직경의 산술 평균값이다. 분급은, 화상형 입도 분포계 FPIA3000(시스멕스사, 말번사 제조)을 사용해 행했다. 분급 후의 수지 필러를 필러(4)로서 사용했다. 필러(4)의 충전은 상기 서술한 방법으로 행했다. 즉, 필름 본체(2)의 표면에 필러(4)를 분산했다. 이어서, 필러(4)를 천으로 와이프함으로써, 오목부(3)에 필러(4)를 충전했다. 이것에 의해, 필러 충전 필름(1)을 제작했다.

또, 1㎟의 대표 영역을 임의로 100개소 추출하고, 각 대표 영역 내의 필러(4)의 수를 광학 현미경으로 계측했다. 그리고, 각 대표 영역에서 계측된 개수의 총수를 대표 영역의 총면적으로 제산함으로써, 필러(4)의 면밀도(필름 본체(2)의 단위면적당에 형성되는 오목부(3)의 수)를 산출했다. 이 결과, 필러(4)의 면밀도는 11,500개/㎟=1,150,000개/㎠가 되었다. 또한, 카운트 대상이 되는 필러(4)는 오목부(3)에 완전히 충전되어 있는 필러(4)로 했다. 또한, 오목부(3)끼리가 연결된 경우라도, 그 오목부(3)에 필러(4)가 완전히 충전되어 있는 경우에는, 그 필러(4)도 카운트 대상으로 했다. 후술하는 필러 충전율의 계측에서도 카운트 대상을 동일하게 했다. 또한, 2개의 오목부(3)가 연결되어 있는 경우, 그 오목부(3)에는 최대 2개의 필러(4)가 충전될 수 있다.

그리고, 필러 충전 필름(1)의 길이 방향P의 선단 가장자리(원반(110)에 최초로 투입되는 가장자리)로부터 1m의 지점을 일방의 단부F(개시점), 선단 가장자리로부터 1000m의 지점을 타방의 단부R(종료점)로 하고, 선단 가장자리로부터 1m, 250m, 500m, 750m, 1000m의 각 지점에 있어서의 필러 충전율을 산출했다.

구체적으로는, 각 지점을 포함하는 단위 배열 패턴M을 추출하고, 이 단위 배열 패턴M에 대해 길이 방향P의 정방향측으로 10㎝(필름폭의 20％)의 범위 내에 존재하는 단위 배열 패턴M을 추출했다. 그리고, 이들 단위 배열 패턴M을 계측 대상 영역으로 했다.

그리고, 계측 대상 영역 내에 200㎛*200㎛의 대표 영역을 약 25㎠분 설정하고, 각 대표 영역 내의 필러(4)의 개수를 광학 현미경 관찰에 의해 계측했다. 그리고, 각 대표 영역의 측정값의 총합을 각 대표 영역 내에 존재하는 필러(4)의 이상 개수의 총합으로 제산함으로써, 필러 충전율을 계측했다. 각 지점에서의 필러 충전율을 이하의 표 1에 나타낸다. 표 1에 나타내는 바와 같이, 필러 충전 필름(1)의 길이가 1000m가 되는 경우, 선단 가장자리로부터 1m의 필러 충전율과, 250m, 500m, 750m, 1000m의 각 지점에서의 필러 충전율은 거의 변하지 않았다. 따라서, 필러 충전 필름(1)의 전체 길이에 대해 0.1％, 25％, 50％, 75％, 100％의 지점에서 안정적인(즉, 재현성이 높다) 필러 충전율이 얻어지게 된다.

또, 선단 가장자리로부터 100 m 간격의 지점에서 동일하게 필러 충전율을 계측한 바, 표 1과 대략 동일한 값이 얻어졌다. 이와 같이, 본 실시예에서는 필름 본체(2)의 일방의 단부F에 있어서의 필러 충전율과, 필름 본체(2)의 다른 부분에 있어서의 필러 충전율의 차는 0.1％ 이하인 것이 분명해졌다. 또, 필러 충전 필름(1)에는 오목부(3)가 육방 격자상, 즉 가장 조밀한 배열 패턴으로 배치되어 있다. 즉, 필러 충전 필름(1)에는 필러(4)가 가장 조밀한 배열 패턴으로 충전되어 있다. 그리고, 이와 같은 배열 패턴이라도, 필러 충전 필름(1)의 길이 방향에 있어서 매우 안정적인(즉, 매우 재현성이 높다) 필러 충전율이 얻어지고 있다. 따라서, 필러(4)는 오목부(3)를 형성할 수 있는 범위이면, 어떠한 배열 패턴으로 충전했다고 해도 동일한 효과를 기대할 수 있다.

또, 상기 대표 영역에서 길이 방향P로 연속된 오목부(3)의 결손을 관찰한 바, 연속한 결손의 수가 10개 이상이 되는 지점은 확인할 수 없었다.

(비교예)

10㎝*10㎝ 크기의 SUS판을 기계적으로 절삭함으로써, 실시예와 동일한 배열 패턴의 볼록부가 형성된 스탬퍼 원반을 얻었다. 또, 스탬퍼 원반의 볼록부가 형성된 면(요철면)에는 불소계 이형제(다이킨코교사 제조 다이프리 GA70500)를 스프레이했다. 그리고, 전사 장치(100)의 원반(110)을 스탬퍼 원반으로 바꿔놓은 것 이외에는 동일한 처리를 행함으로써, 필름 본체를 제작했다.

필름 본체의 오목부의 형상을 광학 현미경으로 관찰한 바, 스탬퍼를 200회 반복한 지점(선단 가장자리로부터 20m의 지점)에서, 오목부의 불량(오목부끼리의 연결)을 확인할 수 있었다. 그래서, 스탬퍼를 200회 강반복한 시점에서 스탬퍼를 정지하고, 필러를 오목부에 충전했다. 필러는 실시예와 동일하게 했다. 그리고, 선단 가장자리로부터 200m의 지점에서의 필러 충전율을 측정한 바, 필러 충전율은 99.5％가 되었다. 그 후, 스탬퍼의 횟수가 증가할 때마다 오목부의 불량의 수가 증대해 갔다. 따라서, 스탬퍼 횟수가 증가할 때마다 필러 충전율의 편차가 커져, 필러 충전율이 99.5％보다 낮은 값이 된다고 추정된다.

이상의 결과에 의해, 실시예에서는 비교예보다 필러 충전율을 높은 범위로 유지할 수 있는 것이 분명해졌다.

이상에 의해, 본 실시 형태에 의한 필러 충전 필름(1)에서는 필러 충전율이 보다 안정된다. 여기서, 필름 본체(2)는 장척 필름이어도 된다. 종래의 필러 충전 필름에서는 필름 본체(2)가 장척이 될수록 필러 충전율이 안정되지 않게 되므로, 본 실시 형태의 효과가 보다 현저하게 나타나기 쉽다.

또, 필러 충전율은 필름 본체(2)의 길이 방향을 따른 주기성을 가지고 있어도 된다. 이 경우라도, 필러 충전율이 안정된다.

또, 모든 오목부(3)는 대략 동일 형상으로 되어 있어도 된다. 이 경우, 필러 충전율이 더욱 안정될 수 있다.

또, 필름 본체(2)의 단위면적당에 충전되는 필러의 수는 50,000,000개/㎠ 이하여도 된다. 이 경우라도 필러 충전율이 안정된다.

또, 필러(4)는 오목부(3) 내에서 필름 본체(2)와 일체화되어 있어도 된다. 이 경우, 필러(4)의 헛된 누락이 억제되므로, 필러 충전율이 보다 안정된다.

또, 필름 본체(2)의 표면 중, 적어도 일부에 형성된 피복층(5, 6, 7)을 구비하고 있어도 된다. 이 경우라도, 필러 충전율이 안정된다. 또한, 필러 충전 필름(1)의 용도에 따라 피복층(5, 6, 7)을 형성함으로써, 필러 충전 필름(1)의 용도가 확대된다.

또, 피복층은 오목부의 표면, 오목부 사이의 볼록부의 표면, 및 필러의 노출면 중, 적어도 일부에 형성되어 있어도 된다. 이 경우라도, 필러 충전율이 안정된다.

또, 피복층은 무기 재료를 포함하고 있어도 된다. 이 경우라도, 필러 충전율이 안정된다.

또, 필름 본체는 경화성 수지 또는 가역성 수지로 형성되어 있어도 된다. 이 경우라도, 필러 충전율이 안정된다.

또, 본 실시 형태에서는 필러 충전 필름(1)은 매엽 필름으로 되어도 된다. 이 경우, 매엽 필름의 품질이 안정된다.

또, 복수의 필름이 적층된 적층 필름이 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 적층 필름의 품질이 안정된다.

또, 필름 본체의 이면에 형성된 점착층을 구비하고 있어도 된다. 이것에 의해, 필러 충전 필름(1)을 용이하게 다른 기재(31) 등에 첩합할 수 있다.

또, 본 실시 형태에서는 상기 각 필름을 기재(31)에 첩합함으로써 첩합체(30)을 제작해도 된다. 이 경우, 첩합체(30)의 기능이 안정될 수 있다. 필러 충전 필름(1) 등의 필러 충전율이 안정되어 있기 때문이다.

이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 상세하게 설명했지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 본 발명이 속하는 기술 분야에 있어서의 통상적인 지식을 갖는 사람이면, 특허 청구의 범위에 기재된 기술적 사상의 범주 내에 있어서, 각종 변경예 또는 수정예에 상도할 수 있는 것은 분명하고, 이들에 대해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것이라 이해된다.

1, 1a∼1d : 필러 충전 필름
2 : 필름 본체
3 : 오목부
4 : 필러
5, 6, 7 : 피복층
8 : 점착층

Claims

필름 본체와,
상기 필름 본체의 표면에 형성된 복수의 오목부와,
상기 오목부의 각각에 충전된 필러를 구비하고,
상기 오목부의 개구면의 직경은 적어도 가시광 파장보다 크고,
상기 오목부의 배열 패턴은 상기 필름 본체의 길이 방향을 따른 주기성을 갖고,
상기 필름 본체의 일방의 단부에 있어서의 상기 필러의 충전율과, 상기 필름 본체의 다른 부분에 있어서의 상기 필러의 충전율의 차는 0.5％ 미만인, 필러 충전 필름.
제 1 항에 있어서, 상기 필름 본체는, 장척 필름인, 필러 충전 필름.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 필러의 충전율은, 상기 필름 본체의 길이 방향을 따른 주기성을 갖는, 필러 충전 필름.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 모든 상기 오목부는, 대략 동일 형상으로 되어 있는, 필러 충전 필름.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필름 본체의 단위면적당에 충전되는 필러의 수는, 50,000,000개/㎠ 이하인, 필러 충전 필름.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필러는, 상기 오목부 내에서 상기 필름 본체와 일체화되어 있는, 필러 충전 필름.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필름 본체의 표면 중, 적어도 일부에 형성된 피복층을 구비하는, 필러 충전 필름.
제 7 항에 있어서, 상기 피복층은, 상기 오목부의 표면, 상기 오목부 사이의 볼록부의 표면, 및 상기 필러의 노출면 중, 적어도 일부에 형성되는, 필러 충전 필름.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 피복층은, 무기 재료를 포함하는, 필러 충전 필름.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필름 본체는, 경화성 수지 또는 가역성 수지로 형성되는, 필러 충전 필름.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 필러 충전 필름을 복수장으로 컷함으로써 제작되는, 매엽 필름.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 필름이 적층된, 적층 필름.
제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필름 본체의 이면에 형성된 점착층을 구비하는, 필름.
제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 기재된 필름과,
상기 필름이 첩합된 기재를 구비하는, 첩합체.
둘레면에 복수의 볼록부가 형성된 원통 또는 원기둥 형상의 원반을 준비하는 스텝과,
장척의 피전사 필름을 롤 투 롤로 반송하는 한편으로, 상기 원반의 둘레면 형상을 상기 피전사 필름에 전사함으로써, 필름 본체를 제작하는 스텝과,
상기 필름 본체의 표면에 형성된 복수의 오목부에 필러를 충전하는 스텝을 포함하고,
상기 오목부의 개구면의 직경은 적어도 가시광 파장보다 크고,
상기 필름 본체의 일방의 단부에 있어서의 상기 필러의 충전율과, 상기 필름 본체의 다른 부분에 있어서의 상기 필러의 충전율의 차는 0.5％ 미만인, 필러 충전 필름의 제조 방법.