KR20170028373A - 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩 및 그 사용 방법 - Google Patents
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Abstract
1 차원 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩은 2 차원 빔 형성 및 스티어링 솔리드 스테이트 라이더의 단순한 빌딩 블록이어서, 복수의 상기 칩들의 사용을 통해 높은 수율 및 저가로 상기 라이더들의 제조를 가능하게 한다. 제조 고려 설계 룰들을 따르는 혁신적인 광자 집적 회로 칩 아키텍처들이 상기 빌딩 블록들을 인에이블한다.
Description
관련 출원들에 대한 상호 참조
본 출원은 2014년 6월 30일자로 출원된 미국 특허출원 제14/318,716호에 대해 우선권을 주장하고, 그 내용은 여기에 참조로 통합된다.
본 발명의 분야
본 발명은 일반적으로 환경 센싱의 분야에 관한 것으로, 특히, 실시간 3 차원 맵핑 및 오브젝트 검출, 추적, 식별 및/또는 분류를 위한 비행 시간 (Time of Flight; ToF) 라이더 센서들의 사용에 관한 것이다.
라이더 센서는 광 검출 및 레인징 (light detection and ranging) 센서이다. 그것은 레이저로부터의 펄스들 (또는 대안적으로 변조된 신호) 을 이용하여, 타겟 또는 장면에 광 (light) 을 조사하고, 그리고 광자들이 상기 타겟 또는 랜드스케이프로 이동하고 라이더 모듈에서의 리시버 (receiver) 에 대한 반사 후 리턴하는데 걸리는 시간을 측정하는 것에 의해, 타겟 또는 장면에서의 오브젝트들까지의 거리를 측정할 수 있는 광학 원격 센싱 모듈이다. 반사된 펄스들 (또는 변조된 신호들) 이 검출되고, 여기서 그 펄스들 (또는 변조된 신호들) 의 비행 시간 및 강도는 각각 센싱된 오브젝트의 거리 및 반사율 (reflectivity) 의 측정치들이다.
종래의 라이더 센서들은 레이저 빔들을 스캔하기 위해 기계 가동부 (mechanically moving part) 들을 활용한다. ADAS (advanced driver assist systems) 및 자율 주행 시스템들 (autonomous driving systems) 과 같은, 자동차 애플리케이션들에서 사용되는 소정의 시스템들을 포함한, 일부 시스템들에서는, 더 높은 센서 신뢰도, 더 긴 센서 수명, 더 작은 센서 사이즈, 더 낮은 센서 무게, 및 더 낮은 센서 비용을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는 다양한 잠재적인 이점들을 위해 솔리드 스테이트 센서들을 이용하는 것이 선호된다.
레이더 위상 어레이들의 생성을 위해 사용되는 무선 주파수 (RF) 지연선 (delay line) 들이 수십 년 전에는 레이더 신호들의 솔리드 스테이트 스티어링을 위해 사용되었다. RF 안테나 어레이들 및 검출기들과 결합된 광자 집적 회로 (photonic integrated circuit; PIC) 기반 지연선들이 20 년 전에는 레이더 신호들의 솔리드 스테이트 스티어링에 있어서 지연들의 정밀도를 개선시키기 위해 사용되었다. 마이크로스케일 및 나노스케일 디바이스들을 가진 PIC들은 레이저 빔들의 솔리드 스테이트 스티어링을 위해, 튜너블 광학 지연선들 및 광학 안테나들을 포함한, 광학 위상 어레이들 (optical phased arrays; OPA들) 을 생성하기 위해 사용될 수 있다.
지금까지 생성되는 광학 도메인에서의 위상 어레이들은 복잡하고, 고가이며, 및/또는 빔 형성 및 빔 스티어링과는 상이한 목적을 갖는다; 일부는 공간 필터들, 광학 증폭기들 및 링 레이저들을 결합한다 (US 7,339,727), 일부는 복수의 광학 입력 빔들을 수반한다 (US 7,406,220), 일부는 볼륨 회절 격자들 및 복수의 입력 방향들을 수반한다 (US 7,428,100), 일부는 복수의 파장들의 빔들을 결합한다 (US 7,436,588), 일부는 광학 위상 레퍼런스 소스들 및 이득 엘리먼트들을 갖는다 (US 7,489,870), 일부는 시야에서의 미리결정된 영역들 및 복수의 빔 형성 엘리먼트들을 갖는다 (US 7,532,311), 및 일부는 다수의 주파수들 및 다수의 광학 위상 레퍼런스 소스들을 갖는다 (US 7,555,217).
지금까지 생성되는 광학 도메인에서의 2 차원 빔 형성 및 스티어링 위상 어레이들은, 그들이 복잡한 2 차원 픽셀 어레이를 가진 2 개의 차원들에서 스티어링하기 때문에 낮은 수율 (yields) 을 갖고 고가이다.
1 차원 (1D) 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩은 2 차원 (2D) 빔 형성 및 스티어링 솔리드 스테이트 라이더의 단순한 빌딩 블록 (building block) 이어서, 복수의 상기 칩들의 사용을 통해 높은 수율 및 저가로 상기 라이더들의 제조를 가능하게 한다. 제조 고려 설계 (Design for Manufacturing; DFM) 룰들을 따르는 혁신적인 광자 집적 회로 (Photonic Integrated Circuit; PIC) 칩 아키텍처들이 상기 빌딩 블록들을 인에이블한다.
다음의 도면들은 본 발명의 실시형태들의 예시이고 본 명세서의 일부를 형성하는 청구항들에 의해 포괄되는 것으로서 본 발명을 제한하도록 의도되지 않는다.
도 1 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩의 스플리팅 섹션을 나타내고, 그 스플리팅 섹션은 1×L Y-브랜치 트리 (20), 그 다음에 1×M 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하여, 1×N 스플리터를 초래한다 (여기서 L×M=N, 예를 들어, 8×128=1024).
도 2 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 광학 위상 시프터들 (40), 및 1 차원 픽셀 어레이 구성 (configuration) 으로 레이 아웃된 면외 (out-of-plane) 광학 커플러들 (120) 을 포함한다. 그레이디드-인덱스 (GRIN) 렌즈 (140) 가 스티어링 방향에 수직인 차원에서 스폿 사이즈를 감소시키기 위해 사용된다. 대안적으로, 표준 기하학적 굴절 렌즈, 회절 광학 소자 (DOE), 홀로그래픽 광학 소자 (HOE) 또는 온-칩 격자가 상기 스폿 사이즈 감소를 달성하기 위해 사용될 수 있다.
도 3 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 푸시-풀 구성의 2 개의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (40), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 4 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 푸시-풀 구성의 2 개의 그룹화된 세트들의 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (50), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 5 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 선형 및 비선형 가열 전극들 양자 모두가 푸시-풀 구성으로 있는, 2 개의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (40) 및 2 개의 그룹화된 비선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (60), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 6 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 한 쌍 (40) 이 코어스 (coarse) 위상 조정들에 사용되고 한 쌍 (70) 이 파인 (fine) 위상 조정들에 사용되고, 전극들의 상기 쌍들 양자 모두가 푸시-풀 구성으로 있는, 2 개의 쌍들의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들, 하나의 위상 오프셋 전극 (80), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 7 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 각각의 옴가열기가 직렬의 선형 가열기들로 이루어지고, 한 쌍 (90) 이 코어스 위상 조정들에 사용되고 한 쌍 (100) 이 파인 위상 조정들에 사용되고, 전극들의 상기 쌍들 양자 모두가 푸시-풀 구성으로 있는, 2 개의 쌍들의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들, 하나의 세트의 위상 오프셋 전극들 (110), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 8 의 개략적 다이어그램은 추가된 오목 렌즈 (130) 가 스티어링 레인지를 확장하기 위해 사용된다는 점을 제외하면 도 7 의 개략적 다이어그램과 유사하다.
도 9 의 개략적 다이어그램은 레이저가 2 개의 PIC들 간에 공유된다는 점을 제외하면 도 7 에 나타낸 복수의 광자 집적 회로 (PIC) 를 포함한다. 대안적으로, 각각의 PIC 에는 별개의 레이저가 공급될 수 있다
도 1 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩의 스플리팅 섹션을 나타내고, 그 스플리팅 섹션은 1×L Y-브랜치 트리 (20), 그 다음에 1×M 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하여, 1×N 스플리터를 초래한다 (여기서 L×M=N, 예를 들어, 8×128=1024).
도 2 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 광학 위상 시프터들 (40), 및 1 차원 픽셀 어레이 구성 (configuration) 으로 레이 아웃된 면외 (out-of-plane) 광학 커플러들 (120) 을 포함한다. 그레이디드-인덱스 (GRIN) 렌즈 (140) 가 스티어링 방향에 수직인 차원에서 스폿 사이즈를 감소시키기 위해 사용된다. 대안적으로, 표준 기하학적 굴절 렌즈, 회절 광학 소자 (DOE), 홀로그래픽 광학 소자 (HOE) 또는 온-칩 격자가 상기 스폿 사이즈 감소를 달성하기 위해 사용될 수 있다.
도 3 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 푸시-풀 구성의 2 개의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (40), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 4 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 푸시-풀 구성의 2 개의 그룹화된 세트들의 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (50), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 5 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 선형 및 비선형 가열 전극들 양자 모두가 푸시-풀 구성으로 있는, 2 개의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (40) 및 2 개의 그룹화된 비선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (60), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 6 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 한 쌍 (40) 이 코어스 (coarse) 위상 조정들에 사용되고 한 쌍 (70) 이 파인 (fine) 위상 조정들에 사용되고, 전극들의 상기 쌍들 양자 모두가 푸시-풀 구성으로 있는, 2 개의 쌍들의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들, 하나의 위상 오프셋 전극 (80), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 7 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 각각의 옴가열기가 직렬의 선형 가열기들로 이루어지고, 한 쌍 (90) 이 코어스 위상 조정들에 사용되고 한 쌍 (100) 이 파인 위상 조정들에 사용되고, 전극들의 상기 쌍들 양자 모두가 푸시-풀 구성으로 있는, 2 개의 쌍들의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들, 하나의 세트의 위상 오프셋 전극들 (110), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 8 의 개략적 다이어그램은 추가된 오목 렌즈 (130) 가 스티어링 레인지를 확장하기 위해 사용된다는 점을 제외하면 도 7 의 개략적 다이어그램과 유사하다.
도 9 의 개략적 다이어그램은 레이저가 2 개의 PIC들 간에 공유된다는 점을 제외하면 도 7 에 나타낸 복수의 광자 집적 회로 (PIC) 를 포함한다. 대안적으로, 각각의 PIC 에는 별개의 레이저가 공급될 수 있다
라이더-기반 장치 및 방법이 광자 집적 회로들 (PIC들) 을 사용한 레이저 빔들의 솔리드 스테이트 스티어링을 위해 사용된다. 집적 광학 설계 및 제작 마이크로- 및 나노기술들이 레이저로부터 본질적으로 균일하게 픽셀들의 어레이로 광학 신호를 분포시키는 칩-스케일 광학 스플리터들의 생산을 위해 사용되고, 그 픽셀들은 튜너블 광학 지연선들 및 광학 안테나들을 포함한다. 그 안테나들은 광의 면외 커플링을 달성한다.
상기 어레이에서의 안테나-포함 픽셀들의 지연선들이 튜닝됨에 따라, 각각의 안테나는 특정 위상의 광을 방출하여 이들 방출물들의 간섭을 통해 원하는 원거리장 방사 패턴을 형성한다. 상기 어레이는 솔리드 스테이트 광학 위상 어레이 (OPA) 의 기능을 서빙한다.
많은 수의 안테나들을 통합함으로써, 고분해능 원거리장 패턴들이 OPA 에 의해 달성되어, 솔리드 스테이트 라이더에서 필요한 방사 패턴 빔 형성 및 스티어링, 뿐만 아니라 3 차원 홀로그래피, 광학 메모리, 광학 공간-분할 멀티플렉싱을 위한 모드 매칭, 자유 공간 통신, 및 생물의학 과학 (biomedical sciences) 에 필요한 임의 방사 패턴들의 생성을 지원할 수 있다. 어레이로부터의 이미징이 종래에는 픽셀들의 강도를 통해 송신되기 때문에, OPA 는 단일의 소스로부터 코히어런트 광파를 수용하는 픽셀들의 광학 위상의 제어를 통해 이미징을 허용한다.
1 차원 (1D) 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩은 솔리드 스테이트 라이더의 단순한 빌딩 블록이어서, 저가로 높은 수율을 가진 라이더들의 제조를 가능하게 한다.
스폿 사이즈의 수직 차원 (즉, 스티어링 방향에 수직인 차원) 은 적어도 하나의 온-칩 격자 또는 적어도 하나의 오프-칩 렌즈로 감소된다.
상기 오프-칩 렌즈의 타입들은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는다:
- 굴절 렌즈
- 그레이디드-인덱스 (GRIN) 렌즈
- 회절 광학 소자 (DOE)
- 홀로그래픽 광학 소자 (HOE)
하나 또는 복수의 1D 빔 형성 및 스티어링 회로들이 원하는 수평 시야 (FOV) 또는 스티어링 레인지를 달성하기 위해 사용될 수 있다.
빔 스플리팅은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 빔 스플리팅 광학 디바이스들의 임의의 서브세트로 달성된다:
- Y-브랜치들
- 방향성 커플러들
- 멀티모드 간섭 (MMI) 커플러들
빔 스플리팅을 위한 선호된 실시형태는 Y-브랜치 스플리터들, 그 다음에 MMI 커플러들을 포함한다.
위상 시프팅은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 위상 시프팅 광학 디바이스들의 임의의 서브세트로 제어된다:
- 이득 엘리먼트들
- 전대역 통과 (all-pass) 필터들
- 브래그 격자들
- 분산 재료 (dispersive material) 들
- 파장 튜닝
- 위상 튜닝
위상 튜닝이 사용되는 경우, 상기 지연선들, 및 상기 광학 스플리터들을, 그들이 튜너블일 때 튜닝하는데 사용되는 액츄에이션 메커니즘들은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 다양한 메커니즘들 중 임의의 것일 수 있다:
- 열-광학 액츄에이션
- 전기-광학 액츄에이션
- 전계흡수 액츄에이션
- 자유 이송자 흡수 액츄에이션
- 자기-광학 액츄에이션
- 액정 액츄에이션
- 전광 (all-optical) 액츄에이션
각각의 픽셀은 최대 가요성을 위한 독립적인 위상 제어 및 원거리장 방사 패턴의 최적의 제어를 가질 수 있고, 또는 그룹화 (때때로 밴딩 (banding) 이라 불림) 가 설계, 제작, 테스팅, 제어 및 동작의 단순화를 위해 하나의 제어 신호로 복수의 픽셀들에 위상 튜닝을 제공하기 위해 사용될 수 있다.
그룹화된 위상 시프팅은 다음의 임의의 서브세트로 제어된다:
- 하나 또는 복수의 선형 (삼각형) 전극(들) - 직렬 또는 병렬; 동일한 또는 코어스 및 파인 조정 전극들
- 하나 또는 복수의 비선형 (부선형 (sublinear) 또는 초선형 (superlinear)) 전극(들) - 직렬 또는 병렬; 동일한 또는 코어스 및 파인 조정 전극들
다각형 형상 (예를 들어, 직사각형) 의 하나 또는 복수의 위상 오프셋 전극(들) - 직렬 또는 병렬; 동일한 또는 코어스 및 파인 조정 전극들 - 애디티브 (additive) 또는 서브트랙티브 (subtractive); 푸시-푸시 또는 푸시-풀 구성들.
광학 안테나들은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, PIC 의 면외로 광을 커플링할 수 있는 다양한 나노구조들 중 임의의 것일 수 있다:
- 격자들
- 홀로그래픽 광학 소자들 (HOE)
- 미러들
- 내부 전반사 (TIR) 인터페이스들
- 렌즈들
OPA PIC 를 포함하는 칩은 상보형 금속 산화물 반도체 (CMOS) 프로세스와 양립되는 것이 바람직하다.
Claims (22)
- 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치로서,
적어도 하나의 광학 전력 스플리터;
적어도 하나의 광학 위상 시프터; 및
픽셀 어레이 구성 (configuration) 으로 레이 아웃된 적어도 하나의 면외 (out-of-plane) 광학 커플러
를 포함하는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 1 항에 있어서,
형성가능하고 스티어링가능한 빔은,
적어도 하나의 온-칩 격자; 및
적어도 하나의 오프-칩 렌즈
를 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 스티어링 방향에 수직인 방향에서의 스폿 사이즈 감소의 수단을 갖는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 오프-칩 렌즈는,
굴절 렌즈;
그레이디드-인덱스 렌즈;
회절 광학 소자; 및
홀로그래픽 광학 소자
를 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 1 항에 있어서,
1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로는 증가된 스티어링 레인지를 초래하는 복수의 광학 위상 어레이들을 포함하는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 광학 전력 스플리터는,
Y-브랜치들;
방향성 커플러들; 및
멀티모드 간섭 커플러들
을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 전력 스플리팅 광학 디바이스들의 임의의 서브세트로 달성되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 5 항에 있어서,
광학 전력 스플리팅은 Y-브랜치들로, 그 다음에 멀티모드 간섭 커플러들로 달성되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 1 항에 있어서,
적어도 하나의 위상 시프터는,
이득 엘리먼트들;
전대역 통과 필터들;
브래그 격자들;
분산 재료 (dispersive material) 들;
파장 튜닝; 및
위상 튜닝
을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 위상 시프팅 광학 디바이스들의 서브세트로 제어되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 위상 튜닝의 액츄에이션 메커니즘은,
열-광학 액츄에이션;
전기-광학 액츄에이션;
전계흡수 액츄에이션;
자유 이송자 흡수 액츄에이션;
자기-광학 액츄에이션;
액정 액츄에이션; 및
전광 (all-optical) 액츄에이션
을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 액츄에이션 메커니즘들의 서브세트를 활용하는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 1 항에 있어서,
각각의 픽셀은 그 픽셀과 독립적인 위상 시프터를 연관시킨, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 1 항에 있어서,
복수의 픽셀들은 위상 시프터들을 결합한 것에 의해 밴딩되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 10 항에 있어서,
픽셀들의 밴딩된 제어는,
선형 전극들;
비선형 전극들; 및
위상 오프셋 전극들
중 하나 또는 복수를 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 제어 엘리먼트들의 서브세트로 달성되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 11 항에 있어서,
상기 선형, 비선형 및 위상 오프셋 전극들의 세트로부터 적어도 하나의 타입의 전극들이 복수 개 존재하고, 복수 수량으로 존재하는 전극들은,
직렬;
병렬;
애디티브 (additive); 및
서브트랙티브 (subtractive)
중 적어도 하나의 방식으로 배치되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 면외 광학 커플러는,
격자들;
홀로그래픽 광학 소자들;
미러들;
내부 전반사 인터페이스들; 및
렌즈들
을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 1 항에 있어서,
스티어링 레인지를 확장하기 위해 렌즈 장치 (lensing apparatus) 와 결합되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 제 1 항에 있어서,
광자 집적 회로는 상보형 금속 산화물 반도체 실리콘 제작 프로세스와 양립되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치. - 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법으로서,
상기 광자 집적 회로 장치는,
적어도 하나의 광학 전력 스플리터;
적어도 하나의 광학 위상 시프터; 및
픽셀 어레이 구성 (configuration) 으로 레이 아웃된 적어도 하나의 면외 (out-of-plane) 광학 커플러
를 포함하는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법. - 제 16 항에 있어서,
형성가능한 및 스티어링가능한 빔은,
적어도 하나의 온-칩 격자; 및
적어도 하나의 오프-칩 렌즈
를 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 스티어링 방향에 수직인 방향에서의 스폿 사이즈 감소의 수단을 갖는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법. - 제 16 항에 있어서,
상기 1 차원 빔 형성 및 스티어링은 복수의 광학 위상 어레이들로 획득되는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법. - 제 16 항에 있어서,
각각의 픽셀은 그 픽셀과 독립적인 위상 시프터를 연관시킨, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법. - 제 16 항에 있어서,
복수의 픽셀들은 위상 시프터들을 결합한 것에 의해 밴딩되는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법. - 제 16 항에 있어서,
복수의 위상 시프팅 전극들은,
직렬;
병렬;
애디티브 (additive); 및
서브트랙티브 (subtractive)
중 적어도 하나의 방식으로 배치되는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법. - 제 16 항에 있어서,
빔 형성 및 스티어링 장치는 스티어링 레인지를 확장하기 위해 렌즈 장치 (lensing apparatus) 와 결합되는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019139186A1 (ko) * | 2018-01-11 | 2019-07-18 | 주식회사 큐유아이 | 안테나 어레이의 지향성을 개선하는 rf 렌즈 장치 및 그를 포함하는 송수신 안테나 시스템 |
Families Citing this family (196)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10132928B2 (en) * | 2013-05-09 | 2018-11-20 | Quanergy Systems, Inc. | Solid state optical phased array lidar and method of using same |
US10126412B2 (en) | 2013-08-19 | 2018-11-13 | Quanergy Systems, Inc. | Optical phased array lidar system and method of using same |
US10203399B2 (en) | 2013-11-12 | 2019-02-12 | Big Sky Financial Corporation | Methods and apparatus for array based LiDAR systems with reduced interference |
US9360554B2 (en) | 2014-04-11 | 2016-06-07 | Facet Technology Corp. | Methods and apparatus for object detection and identification in a multiple detector lidar array |
US9575341B2 (en) | 2014-06-28 | 2017-02-21 | Intel Corporation | Solid state LIDAR circuit with waveguides tunable to separate phase offsets |
US9753351B2 (en) * | 2014-06-30 | 2017-09-05 | Quanergy Systems, Inc. | Planar beam forming and steering optical phased array chip and method of using same |
US9869753B2 (en) | 2014-08-15 | 2018-01-16 | Quanergy Systems, Inc. | Three-dimensional-mapping two-dimensional-scanning lidar based on one-dimensional-steering optical phased arrays and method of using same |
US10036803B2 (en) | 2014-10-20 | 2018-07-31 | Quanergy Systems, Inc. | Three-dimensional lidar sensor based on two-dimensional scanning of one-dimensional optical emitter and method of using same |
US9921307B2 (en) * | 2015-01-30 | 2018-03-20 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Combined RADAR sensor and LIDAR sensor processing |
US10036801B2 (en) | 2015-03-05 | 2018-07-31 | Big Sky Financial Corporation | Methods and apparatus for increased precision and improved range in a multiple detector LiDAR array |
CN104933966B (zh) * | 2015-07-23 | 2018-01-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板及其驱动方法、显示装置 |
US10063849B2 (en) | 2015-09-24 | 2018-08-28 | Ouster, Inc. | Optical system for collecting distance information within a field |
US9992477B2 (en) | 2015-09-24 | 2018-06-05 | Ouster, Inc. | Optical system for collecting distance information within a field |
US10557939B2 (en) | 2015-10-19 | 2020-02-11 | Luminar Technologies, Inc. | Lidar system with improved signal-to-noise ratio in the presence of solar background noise |
JP2018533026A (ja) | 2015-11-05 | 2018-11-08 | ルミナー テクノロジーズ インコーポレイテッド | 高分解能のデプスマップを作成するための、改善された走査速度を有するライダーシステム |
WO2017095817A1 (en) | 2015-11-30 | 2017-06-08 | Luminar Technologies, Inc. | Lidar system with distributed laser and multiple sensor heads and pulsed laser for lidar system |
WO2017151843A1 (en) * | 2016-03-02 | 2017-09-08 | The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Naval | Chip-scale two-dimensionai optical phased array with simplified controls |
US9866816B2 (en) | 2016-03-03 | 2018-01-09 | 4D Intellectual Properties, Llc | Methods and apparatus for an active pulsed 4D camera for image acquisition and analysis |
US10101630B2 (en) | 2016-04-28 | 2018-10-16 | Analog Photonic Llc | Optical waveguide device |
US10838062B2 (en) | 2016-05-24 | 2020-11-17 | Veoneer Us, Inc. | Direct detection LiDAR system and method with pulse amplitude modulation (AM) transmitter and quadrature receiver |
KR102559580B1 (ko) * | 2016-08-17 | 2023-07-25 | 삼성전자주식회사 | 광 조향용 OPA, 및 그 OPA를 구비한 LiDAR 시스템 |
WO2018039432A1 (en) | 2016-08-24 | 2018-03-01 | Ouster, Inc. | Optical system for collecting distance information within a field |
WO2018128662A2 (en) | 2016-10-14 | 2018-07-12 | Analog Photonics LLC | Large scale optical phased array |
US10731964B2 (en) * | 2016-11-03 | 2020-08-04 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Photonic imaging array |
KR102587956B1 (ko) | 2016-11-11 | 2023-10-11 | 삼성전자주식회사 | 빔 스티어링 소자 및 이를 적용한 시스템 |
US10942257B2 (en) | 2016-12-31 | 2021-03-09 | Innovusion Ireland Limited | 2D scanning high precision LiDAR using combination of rotating concave mirror and beam steering devices |
US10763290B2 (en) | 2017-02-22 | 2020-09-01 | Elwha Llc | Lidar scanning system |
JP7140784B2 (ja) * | 2017-03-01 | 2022-09-21 | ポイントクラウド インコーポレイテッド | モジュラー三次元光学検知システム |
US9905992B1 (en) | 2017-03-16 | 2018-02-27 | Luminar Technologies, Inc. | Self-Raman laser for lidar system |
US9810775B1 (en) | 2017-03-16 | 2017-11-07 | Luminar Technologies, Inc. | Q-switched laser for LIDAR system |
US9810786B1 (en) | 2017-03-16 | 2017-11-07 | Luminar Technologies, Inc. | Optical parametric oscillator for lidar system |
US9869754B1 (en) | 2017-03-22 | 2018-01-16 | Luminar Technologies, Inc. | Scan patterns for lidar systems |
US10254388B2 (en) | 2017-03-28 | 2019-04-09 | Luminar Technologies, Inc. | Dynamically varying laser output in a vehicle in view of weather conditions |
US10061019B1 (en) | 2017-03-28 | 2018-08-28 | Luminar Technologies, Inc. | Diffractive optical element in a lidar system to correct for backscan |
US10007001B1 (en) | 2017-03-28 | 2018-06-26 | Luminar Technologies, Inc. | Active short-wave infrared four-dimensional camera |
US11119198B2 (en) | 2017-03-28 | 2021-09-14 | Luminar, Llc | Increasing operational safety of a lidar system |
US10209359B2 (en) | 2017-03-28 | 2019-02-19 | Luminar Technologies, Inc. | Adaptive pulse rate in a lidar system |
US10732281B2 (en) | 2017-03-28 | 2020-08-04 | Luminar Technologies, Inc. | Lidar detector system having range walk compensation |
US10114111B2 (en) | 2017-03-28 | 2018-10-30 | Luminar Technologies, Inc. | Method for dynamically controlling laser power |
US10267899B2 (en) | 2017-03-28 | 2019-04-23 | Luminar Technologies, Inc. | Pulse timing based on angle of view |
US10121813B2 (en) | 2017-03-28 | 2018-11-06 | Luminar Technologies, Inc. | Optical detector having a bandpass filter in a lidar system |
US10545240B2 (en) | 2017-03-28 | 2020-01-28 | Luminar Technologies, Inc. | LIDAR transmitter and detector system using pulse encoding to reduce range ambiguity |
US10139478B2 (en) | 2017-03-28 | 2018-11-27 | Luminar Technologies, Inc. | Time varying gain in an optical detector operating in a lidar system |
US10897082B1 (en) | 2017-03-29 | 2021-01-19 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Steerable phased array antenna |
US11181622B2 (en) | 2017-03-29 | 2021-11-23 | Luminar, Llc | Method for controlling peak and average power through laser receiver |
US10983213B2 (en) | 2017-03-29 | 2021-04-20 | Luminar Holdco, Llc | Non-uniform separation of detector array elements in a lidar system |
US11002853B2 (en) | 2017-03-29 | 2021-05-11 | Luminar, Llc | Ultrasonic vibrations on a window in a lidar system |
US10976417B2 (en) | 2017-03-29 | 2021-04-13 | Luminar Holdco, Llc | Using detectors with different gains in a lidar system |
US10969488B2 (en) | 2017-03-29 | 2021-04-06 | Luminar Holdco, Llc | Dynamically scanning a field of regard using a limited number of output beams |
US10663595B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-05-26 | Luminar Technologies, Inc. | Synchronized multiple sensor head system for a vehicle |
US10191155B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-01-29 | Luminar Technologies, Inc. | Optical resolution in front of a vehicle |
US10088559B1 (en) | 2017-03-29 | 2018-10-02 | Luminar Technologies, Inc. | Controlling pulse timing to compensate for motor dynamics |
US10254762B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-04-09 | Luminar Technologies, Inc. | Compensating for the vibration of the vehicle |
US10641874B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-05-05 | Luminar Technologies, Inc. | Sizing the field of view of a detector to improve operation of a lidar system |
US10295668B2 (en) | 2017-03-30 | 2019-05-21 | Luminar Technologies, Inc. | Reducing the number of false detections in a lidar system |
US10401481B2 (en) | 2017-03-30 | 2019-09-03 | Luminar Technologies, Inc. | Non-uniform beam power distribution for a laser operating in a vehicle |
US9989629B1 (en) | 2017-03-30 | 2018-06-05 | Luminar Technologies, Inc. | Cross-talk mitigation using wavelength switching |
US10241198B2 (en) | 2017-03-30 | 2019-03-26 | Luminar Technologies, Inc. | Lidar receiver calibration |
US10684360B2 (en) | 2017-03-30 | 2020-06-16 | Luminar Technologies, Inc. | Protecting detector in a lidar system using off-axis illumination |
US11022688B2 (en) | 2017-03-31 | 2021-06-01 | Luminar, Llc | Multi-eye lidar system |
US20180284246A1 (en) | 2017-03-31 | 2018-10-04 | Luminar Technologies, Inc. | Using Acoustic Signals to Modify Operation of a Lidar System |
US10641876B2 (en) | 2017-04-06 | 2020-05-05 | Quanergy Systems, Inc. | Apparatus and method for mitigating LiDAR interference through pulse coding and frequency shifting |
US10677897B2 (en) | 2017-04-14 | 2020-06-09 | Luminar Technologies, Inc. | Combining lidar and camera data |
WO2019018035A1 (en) | 2017-04-17 | 2019-01-24 | Purdue Research Foundation | ULTRA-LOOP LASER BEAM ORIENTATION USING FREQUENCY NETWORK OPTICS |
CN110603461B (zh) * | 2017-05-11 | 2021-10-22 | 华为技术有限公司 | 飞行时间设备 |
EP3615901A4 (en) | 2017-05-15 | 2020-12-16 | Ouster, Inc. | OPTICAL IMAGING TRANSMITTER WITH BRIGHTNESS IMPROVEMENT |
CN108693513A (zh) * | 2017-06-09 | 2018-10-23 | 深圳市涵光半导体有限公司 | 激光雷达及其二维相控阵激光发射单元 |
KR102407142B1 (ko) | 2017-06-30 | 2022-06-10 | 삼성전자주식회사 | 빔 스티어링 소자 및 이를 포함하는 전자 장치 |
KR102429877B1 (ko) | 2017-07-03 | 2022-08-05 | 삼성전자주식회사 | 하이브리드 2차원 스캐너 시스템과 그 동작방법 |
WO2019010621A1 (zh) * | 2017-07-11 | 2019-01-17 | 深圳市涵光半导体有限公司 | 相控阵激光雷达 |
KR102434702B1 (ko) | 2017-07-24 | 2022-08-22 | 삼성전자주식회사 | 라이다 시스템 및 이의 구동 방법 |
FR3070102B1 (fr) * | 2017-08-08 | 2019-09-06 | Thales | Dispositif de reception optique d'un signal provenant d'un reseau antennaire a commande de phase et systeme antennaire associe |
CN107329132B (zh) * | 2017-08-11 | 2023-09-29 | 深圳力策科技有限公司 | 一种基于光学相位阵列的激光雷达收发天线及测距方法 |
US10627653B2 (en) * | 2017-08-28 | 2020-04-21 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Thermal guiding for photonic components |
US10838048B2 (en) * | 2017-09-08 | 2020-11-17 | Quanergy Systems, Inc. | Apparatus and method for selective disabling of LiDAR detector array elements |
US11320717B2 (en) * | 2017-09-18 | 2022-05-03 | Advanced Micro Foundry Pte. Ltd. | Optical phase array, methods of forming and operating the same |
US10838043B2 (en) | 2017-11-15 | 2020-11-17 | Veoneer Us, Inc. | Scanning LiDAR system and method with spatial filtering for reduction of ambient light |
US10613200B2 (en) | 2017-09-19 | 2020-04-07 | Veoneer, Inc. | Scanning lidar system and method |
US11460550B2 (en) | 2017-09-19 | 2022-10-04 | Veoneer Us, Llc | Direct detection LiDAR system and method with synthetic doppler processing |
KR101924890B1 (ko) | 2017-09-28 | 2018-12-04 | 광주과학기술원 | 광 위상 배열 안테나 및 이를 포함하는 라이다 |
US11194022B2 (en) | 2017-09-29 | 2021-12-07 | Veoneer Us, Inc. | Detection system with reflection member and offset detection array |
US20190107622A1 (en) * | 2017-10-11 | 2019-04-11 | Veoneer Us, Inc. | Scanning LiDAR System and Method with Source Laser Beam Splitting Apparatus and Method |
US10520589B2 (en) * | 2017-10-16 | 2019-12-31 | Sensors Unlimited, Inc. | Multimode ROIC pixel with laser range finding (LRF) capability |
US10211593B1 (en) | 2017-10-18 | 2019-02-19 | Luminar Technologies, Inc. | Optical amplifier with multi-wavelength pumping |
US11835838B2 (en) | 2017-10-27 | 2023-12-05 | Exciting Technology LLC | System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering |
US11835841B2 (en) | 2017-10-27 | 2023-12-05 | Exciting Technology LLC | System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering |
US10845671B2 (en) | 2017-10-27 | 2020-11-24 | Exciting Technology, Llc | System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering |
US11585901B2 (en) | 2017-11-15 | 2023-02-21 | Veoneer Us, Llc | Scanning lidar system and method with spatial filtering for reduction of ambient light |
US10663585B2 (en) | 2017-11-22 | 2020-05-26 | Luminar Technologies, Inc. | Manufacturing a balanced polygon mirror |
US10451716B2 (en) | 2017-11-22 | 2019-10-22 | Luminar Technologies, Inc. | Monitoring rotation of a mirror in a lidar system |
US11340336B2 (en) | 2017-12-07 | 2022-05-24 | Ouster, Inc. | Rotating light ranging system with optical communication uplink and downlink channels |
US10495794B2 (en) * | 2017-12-12 | 2019-12-03 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Polarization insensitive optical phased array and associated method |
DE102017222864A1 (de) * | 2017-12-15 | 2019-06-19 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Ablenkung von Laserstrahlen |
US11493601B2 (en) | 2017-12-22 | 2022-11-08 | Innovusion, Inc. | High density LIDAR scanning |
US10666348B1 (en) | 2018-01-08 | 2020-05-26 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Phased array receiver with reduced number of beam former elements |
CN108387909A (zh) * | 2018-01-23 | 2018-08-10 | 国耀量子雷达科技有限公司 | 基于激光雷达网的区域环境监测系统 |
KR102611985B1 (ko) | 2018-01-24 | 2023-12-08 | 삼성전자주식회사 | 양방향성 광 집적 회로 소자 어레이 및 이를 이용한 양방향성 광 시스템 |
KR102474591B1 (ko) | 2018-01-24 | 2022-12-05 | 삼성전자주식회사 | 광 조향 장치 및 이를 포함하는 센서 시스템 |
KR102501469B1 (ko) | 2018-02-02 | 2023-02-20 | 삼성전자주식회사 | 빔 스티어링 장치를 포함한 시스템 |
US10365536B1 (en) | 2018-02-07 | 2019-07-30 | Eagle Technology, Llc | Optical device including a monolithic body of optical material and related methods |
WO2020013890A2 (en) | 2018-02-23 | 2020-01-16 | Innovusion Ireland Limited | Multi-wavelength pulse steering in lidar systems |
WO2019165294A1 (en) | 2018-02-23 | 2019-08-29 | Innovusion Ireland Limited | 2-dimensional steering system for lidar systems |
US11081792B2 (en) | 2018-03-07 | 2021-08-03 | Anokiwave, Inc. | Phased array with low-latency control interface |
US10578720B2 (en) | 2018-04-05 | 2020-03-03 | Luminar Technologies, Inc. | Lidar system with a polygon mirror and a noise-reducing feature |
US11029406B2 (en) | 2018-04-06 | 2021-06-08 | Luminar, Llc | Lidar system with AlInAsSb avalanche photodiode |
WO2019204367A1 (en) * | 2018-04-16 | 2019-10-24 | Phase Sensitive Innovations, Inc. | Beam steering antenna transmitter, multi-user antenna mimo transmitter and related methods of communication |
JP6746039B2 (ja) * | 2018-04-27 | 2020-08-26 | 三菱電機株式会社 | 空間光通信装置 |
WO2019221799A1 (en) | 2018-05-17 | 2019-11-21 | Hi Llc | Stacked photodetector assemblies |
US10158038B1 (en) | 2018-05-17 | 2018-12-18 | Hi Llc | Fast-gated photodetector architectures comprising dual voltage sources with a switch configuration |
US10340408B1 (en) | 2018-05-17 | 2019-07-02 | Hi Llc | Non-invasive wearable brain interface systems including a headgear and a plurality of self-contained photodetector units configured to removably attach to the headgear |
US10348051B1 (en) | 2018-05-18 | 2019-07-09 | Luminar Technologies, Inc. | Fiber-optic amplifier |
US10884105B2 (en) * | 2018-05-31 | 2021-01-05 | Eagle Technology, Llc | Optical system including an optical body with waveguides aligned along an imaginary curved surface for enhanced beam steering and related methods |
US11402505B2 (en) | 2018-06-05 | 2022-08-02 | Silc Technologies, Inc. | Control of phase in steering of LIDAR output signals |
US10420498B1 (en) | 2018-06-20 | 2019-09-24 | Hi Llc | Spatial and temporal-based diffusive correlation spectroscopy systems and methods |
US11536805B2 (en) | 2018-06-25 | 2022-12-27 | Silc Technologies, Inc. | Optical switching for tuning direction of LIDAR output signals |
US10591601B2 (en) | 2018-07-10 | 2020-03-17 | Luminar Technologies, Inc. | Camera-gated lidar system |
US11213206B2 (en) | 2018-07-17 | 2022-01-04 | Hi Llc | Non-invasive measurement systems with single-photon counting camera |
US10627516B2 (en) | 2018-07-19 | 2020-04-21 | Luminar Technologies, Inc. | Adjustable pulse characteristics for ground detection in lidar systems |
JP2020021024A (ja) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | 日本放送協会 | 光偏向装置およびモード変換部設計方法 |
US10551501B1 (en) | 2018-08-09 | 2020-02-04 | Luminar Technologies, Inc. | Dual-mode lidar system |
US10732032B2 (en) | 2018-08-09 | 2020-08-04 | Ouster, Inc. | Scanning sensor array with overlapping pass bands |
US10739189B2 (en) | 2018-08-09 | 2020-08-11 | Ouster, Inc. | Multispectral ranging/imaging sensor arrays and systems |
US11681021B2 (en) | 2018-08-17 | 2023-06-20 | SiLC Technologies. Inc. | Optical sensor system |
US10340651B1 (en) | 2018-08-21 | 2019-07-02 | Luminar Technologies, Inc. | Lidar system with optical trigger |
KR20200038663A (ko) | 2018-10-04 | 2020-04-14 | 삼성전자주식회사 | 광학 위상 어레이의 위상 최적화 방법 |
US11892565B2 (en) | 2018-10-12 | 2024-02-06 | Silc Technologies, Inc. | Controlling direction of LIDAR output signals |
US11205858B1 (en) | 2018-10-16 | 2021-12-21 | Anokiwave, Inc. | Element-level self-calculation of phased array vectors using direct calculation |
US10985819B1 (en) | 2018-10-16 | 2021-04-20 | Anokiwave, Inc. | Element-level self-calculation of phased array vectors using interpolation |
US11561451B2 (en) | 2018-10-23 | 2023-01-24 | Exciting Technology LLC | System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering |
US11624807B2 (en) | 2018-12-11 | 2023-04-11 | Silc Technologies, Inc. | Image distance in LIDAR systems |
CN109707585B (zh) * | 2018-12-20 | 2020-07-07 | 浙江大学 | 一种基于相控阵控制的激光推进方法 |
WO2020131148A1 (en) | 2018-12-21 | 2020-06-25 | Hi Llc | Biofeedback for awareness and modulation of mental state using a non-invasive brain interface system and method |
US11500071B2 (en) | 2019-01-25 | 2022-11-15 | Silc Technologies, Inc. | Steering of output signals in LIDAR systems |
US11774561B2 (en) | 2019-02-08 | 2023-10-03 | Luminar Technologies, Inc. | Amplifier input protection circuits |
US11579299B2 (en) | 2019-04-02 | 2023-02-14 | Litexel Inc. | 3D range imaging method using optical phased array and photo sensor array |
US11143860B1 (en) | 2019-04-29 | 2021-10-12 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Photonic crystal-based optical steering |
EP3966590A1 (en) | 2019-05-06 | 2022-03-16 | Hi LLC | Photodetector architectures for time-correlated single photon counting |
WO2020236371A1 (en) | 2019-05-21 | 2020-11-26 | Hi Llc | Photodetector architectures for efficient fast-gating |
US11828881B2 (en) | 2019-05-30 | 2023-11-28 | Microvision, Inc. | Steered LIDAR system with arrayed receiver |
US11796643B2 (en) | 2019-05-30 | 2023-10-24 | Microvision, Inc. | Adaptive LIDAR scanning methods |
US11754682B2 (en) | 2019-05-30 | 2023-09-12 | Microvision, Inc. | LIDAR system with spatial beam combining |
US11539144B2 (en) | 2019-06-03 | 2022-12-27 | Raymond Albert Fillion | Phased array antenna with isotropic and non-isotropic radiating and omnidirectional and non-omnidirectional receiving elements |
US10838059B2 (en) | 2019-06-03 | 2020-11-17 | Raymond Albert Fillion | Acoustic phased array antenna with isotropic and non-isotropic radiating elements |
WO2021029929A2 (en) | 2019-06-03 | 2021-02-18 | Raymond Albert Fillion | Phased array antenna with isotropic and non-isotropic radiating and omnidirectional and non-omnidirectional receiving elements |
US10868207B1 (en) | 2019-06-06 | 2020-12-15 | Hi Llc | Photodetector systems with low-power time-to-digital converter architectures to determine an arrival time of photon at a photodetector based on event detection time window |
US11480660B2 (en) | 2019-07-09 | 2022-10-25 | Microvision, Inc. | Arrayed MEMS mirrors for large aperture applications |
US11579256B2 (en) | 2019-07-11 | 2023-02-14 | Microvision, Inc. | Variable phase scanning lidar system |
US11579257B2 (en) | 2019-07-15 | 2023-02-14 | Veoneer Us, Llc | Scanning LiDAR system and method with unitary optical element |
US11474218B2 (en) | 2019-07-15 | 2022-10-18 | Veoneer Us, Llc | Scanning LiDAR system and method with unitary optical element |
EP3779560A1 (en) * | 2019-08-13 | 2021-02-17 | Imec VZW | A dispersive optical phased array for two-dimensional scanning |
US11313969B2 (en) | 2019-10-28 | 2022-04-26 | Veoneer Us, Inc. | LiDAR homodyne transceiver using pulse-position modulation |
CN110596679B (zh) * | 2019-10-28 | 2021-10-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种固态激光雷达系统 |
US11579305B2 (en) | 2019-11-05 | 2023-02-14 | Silc Technologies, Inc. | LIDAR output steering systems having optical gratings |
US11703598B2 (en) | 2019-11-18 | 2023-07-18 | Silc Technologies, Inc. | Steering of LIDAR output signals |
CN110736974A (zh) * | 2019-12-03 | 2020-01-31 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种全固态激光雷达扫描光源及全固态激光雷达 |
WO2021167877A1 (en) | 2020-02-21 | 2021-08-26 | Hi Llc | Multimodal wearable measurement systems and methods |
US11096620B1 (en) | 2020-02-21 | 2021-08-24 | Hi Llc | Wearable module assemblies for an optical measurement system |
US11950879B2 (en) | 2020-02-21 | 2024-04-09 | Hi Llc | Estimation of source-detector separation in an optical measurement system |
WO2021167876A1 (en) | 2020-02-21 | 2021-08-26 | Hi Llc | Methods and systems for initiating and conducting a customized computer-enabled brain research study |
US11969259B2 (en) | 2020-02-21 | 2024-04-30 | Hi Llc | Detector assemblies for a wearable module of an optical measurement system and including spring-loaded light-receiving members |
US11771362B2 (en) | 2020-02-21 | 2023-10-03 | Hi Llc | Integrated detector assemblies for a wearable module of an optical measurement system |
WO2021167892A1 (en) | 2020-02-21 | 2021-08-26 | Hi Llc | Wearable devices and wearable assemblies with adjustable positioning for use in an optical measurement system |
DE102020202819A1 (de) * | 2020-03-05 | 2021-09-09 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | LiDAR-Vorrichtung |
US11573294B2 (en) * | 2020-03-17 | 2023-02-07 | Litexel Inc. | Switched optical phased array based beam steering LiDAR |
US11877825B2 (en) | 2020-03-20 | 2024-01-23 | Hi Llc | Device enumeration in an optical measurement system |
US11857348B2 (en) | 2020-03-20 | 2024-01-02 | Hi Llc | Techniques for determining a timing uncertainty of a component of an optical measurement system |
WO2021188486A1 (en) | 2020-03-20 | 2021-09-23 | Hi Llc | Phase lock loop circuit based adjustment of a measurement time window in an optical measurement system |
US11819311B2 (en) | 2020-03-20 | 2023-11-21 | Hi Llc | Maintaining consistent photodetector sensitivity in an optical measurement system |
US11864867B2 (en) | 2020-03-20 | 2024-01-09 | Hi Llc | Control circuit for a light source in an optical measurement system by applying voltage with a first polarity to start an emission of a light pulse and applying voltage with a second polarity to stop the emission of the light pulse |
WO2021188487A1 (en) | 2020-03-20 | 2021-09-23 | Hi Llc | Temporal resolution control for temporal point spread function generation in an optical measurement system |
US11245404B2 (en) | 2020-03-20 | 2022-02-08 | Hi Llc | Phase lock loop circuit based signal generation in an optical measurement system |
US11903676B2 (en) | 2020-03-20 | 2024-02-20 | Hi Llc | Photodetector calibration of an optical measurement system |
WO2021188489A1 (en) | 2020-03-20 | 2021-09-23 | Hi Llc | High density optical measurement systems with minimal number of light sources |
US11822205B2 (en) | 2020-04-17 | 2023-11-21 | Exciting Technology LLC | System, method, and apparatus for high precision light beam steering using rotating lens elements |
US11789121B2 (en) | 2020-05-28 | 2023-10-17 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Determining an angle of an incident beam of coherent light |
US11994785B2 (en) | 2020-06-03 | 2024-05-28 | Raytheon Company | Dispersive beam steering based on optical-frequency shift patterns |
CN111596498B (zh) * | 2020-07-01 | 2022-03-01 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种基于液晶相控阵的环形光束产生方法 |
US11940621B2 (en) | 2020-09-04 | 2024-03-26 | Analog Photonics LLC | Two dimensional optical phased arrays using edge-coupled integrated circuits |
CN112034657B (zh) * | 2020-09-10 | 2022-07-22 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 全固态芯片化大角度光学波束成形系统 |
CN112490671A (zh) * | 2020-10-26 | 2021-03-12 | 深圳奥锐达科技有限公司 | 一种反射式光学相控阵芯片及制造方法及激光扫描装置 |
TW202224363A (zh) * | 2020-12-02 | 2022-06-16 | 稜研科技股份有限公司 | 光電混合波束成型的傳送器、接收器及訊號處理方法 |
ES2913576B2 (es) | 2020-12-02 | 2022-10-11 | Univ Malaga | Deflector lateral de haz unico, multiplexor/demultiplexor y dispositivo alimentador de antena optica que incorporan el deflector, y metodos que los utilizan |
US11934048B2 (en) * | 2021-01-29 | 2024-03-19 | Raytheon Company | Photonic integrated circuit-based coherently phased array laser transmitter |
WO2022162981A1 (ja) | 2021-02-01 | 2022-08-04 | 日本碍子株式会社 | 光走査素子 |
TWI760103B (zh) * | 2021-02-09 | 2022-04-01 | 國立臺灣科技大學 | 可調控光學相位陣列 |
US11644621B2 (en) | 2021-02-11 | 2023-05-09 | Raytheon Company | Digital input circuit design for photonic integrated circuit |
US11532881B2 (en) * | 2021-02-11 | 2022-12-20 | Raytheon Company | Photonic integrated circuit-based optical phased array phasing technique |
US11988903B2 (en) | 2021-02-11 | 2024-05-21 | Raytheon Company | Photonic integrated circuit-based optical phased array calibration technique |
US11326758B1 (en) | 2021-03-12 | 2022-05-10 | Veoneer Us, Inc. | Spotlight illumination system using optical element |
US11714330B2 (en) * | 2021-04-30 | 2023-08-01 | The Regents Of The University Of Michigan | Phase-combining waveguide doubler for optical phased array in solid-state lidar applications |
US11732858B2 (en) | 2021-06-18 | 2023-08-22 | Veoneer Us, Llc | Headlight illumination system using optical element |
CN115685220A (zh) * | 2021-07-30 | 2023-02-03 | 北京万集科技股份有限公司 | 目标探测方法、opa激光雷达及计算机可读存储介质 |
CN113703244B (zh) * | 2021-08-19 | 2023-12-19 | 扬州大学 | 一种大规模集成的电光微环光学相控阵 |
KR20240091181A (ko) * | 2021-10-29 | 2024-06-21 | 바텔리 메모리얼 인스티튜트 | 차동 분할 개구 안테나용 빔 조향 및 널링 |
US11888515B1 (en) | 2022-07-14 | 2024-01-30 | Raytheon Company | System and method for parallel real-time photonic integrated circuit (PIC) optical phased array calibration and ultraviolet laser micro-ring wavelength offset trimming |
CN116068273B (zh) * | 2023-03-06 | 2023-06-13 | 中国人民解放军海军工程大学 | 一种大功率短波相控阵相位检测方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01238627A (ja) * | 1988-03-19 | 1989-09-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光導波路素子 |
JP2005202069A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Sony Corp | 偏向素子及びこれを用いた画像表示装置 |
US20100187442A1 (en) * | 2008-07-29 | 2010-07-29 | University Of Washington | Beam generation and steering with integrated optical circuits for light detection and ranging |
US20100187402A1 (en) * | 2008-07-29 | 2010-07-29 | Universtiy Of Washington | Method of performing hyperspectral imaging with photonic integrated circuits |
KR20110117260A (ko) * | 2009-03-20 | 2011-10-26 | 알까뗄 루슨트 | 다기능 도파관 격자를 갖춘 코히어런트 광학 편향기 |
Family Cites Families (72)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3781552A (en) | 1972-08-02 | 1973-12-25 | K Kadrmas | Self-calibrating multiple field of view telescope for remote atmospheric electromagnetic probing and data acquisition |
JPH0315003A (ja) | 1989-03-16 | 1991-01-23 | Omron Corp | グレーティング・レンズおよび集光グレーティング・カプラ |
EP0464263A3 (en) | 1990-06-27 | 1992-06-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Device for obstacle detection for pilots of low flying aircrafts |
US5455669A (en) | 1992-12-08 | 1995-10-03 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik | Laser range finding apparatus |
JP3042278B2 (ja) | 1993-09-17 | 2000-05-15 | 三菱電機株式会社 | 距離測定装置 |
US5543805A (en) | 1994-10-13 | 1996-08-06 | The Boeing Company | Phased array beam controller using integrated electro-optic circuits |
US5682229A (en) | 1995-04-14 | 1997-10-28 | Schwartz Electro-Optics, Inc. | Laser range camera |
US5898483A (en) | 1997-05-01 | 1999-04-27 | Lockheed Martin Corporation | Method for increasing LADAR resolution |
CN1226815C (zh) * | 2002-03-06 | 2005-11-09 | 中国科学院物理研究所 | 利用垂直腔面发射半导体激光器制作相控阵激光装置 |
US6765663B2 (en) | 2002-03-14 | 2004-07-20 | Raytheon Company | Efficient multiple emitter boresight reference source |
US6891987B2 (en) | 2002-04-24 | 2005-05-10 | Hrl Laboratories, Llc | Multi-aperture beam steering system with wavefront correction based on a tunable optical delay line |
AU2003900878A0 (en) * | 2003-02-26 | 2003-03-13 | Tele-Ip Limited | Improved sodar sounding in the lower atmosphere |
US7180579B1 (en) | 2003-03-28 | 2007-02-20 | Irvine Sensors Corp. | Three-dimensional imaging processing module incorporating stacked layers containing microelectronic circuits |
US6950733B2 (en) | 2003-08-06 | 2005-09-27 | Ford Global Technologies, Llc | Method of controlling an external object sensor for an automotive vehicle |
US7129510B2 (en) | 2004-10-29 | 2006-10-31 | Corning Incorporated | Optical sensors |
US7095925B2 (en) * | 2004-11-03 | 2006-08-22 | Intel Corporation | Optical phased array transmitter/receiver |
US7555217B2 (en) | 2005-02-28 | 2009-06-30 | Searete Llc | Multi wavelength electromagnetic device |
US7375804B2 (en) | 2005-03-01 | 2008-05-20 | Lockheed Martin Corporation | Single detector receiver for multi-beam LADAR systems |
EP1724609A1 (de) | 2005-05-18 | 2006-11-22 | Leica Geosystems AG | Verfahren zur Lagebestimmung einer Empfängereinheit |
US20080002176A1 (en) | 2005-07-08 | 2008-01-03 | Lockheed Martin Corporation | Lookdown and loitering ladar system |
CA2633377C (en) * | 2005-12-19 | 2016-05-10 | Institut National D'optique | Object-detecting lighting system and method |
US7936448B2 (en) | 2006-01-27 | 2011-05-03 | Lightwire Inc. | LIDAR system utilizing SOI-based opto-electronic components |
US7544945B2 (en) | 2006-02-06 | 2009-06-09 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) array laser scanner |
CN101688774A (zh) | 2006-07-13 | 2010-03-31 | 威力登音响公司 | 高精确度激光雷达系统 |
EP1901093B1 (de) | 2006-09-15 | 2018-11-14 | Triple-IN Holding AG | Aufnahme von Entfernungsbildern |
EP1916542B1 (en) | 2006-10-24 | 2009-06-17 | C.R.F. Società Consortile per Azioni | Optical method and device for measuring the distance from an obstacle |
JP2008227121A (ja) | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体デバイスの製造方法 |
US7746450B2 (en) | 2007-08-28 | 2010-06-29 | Science Applications International Corporation | Full-field light detection and ranging imaging system |
US7746449B2 (en) | 2007-11-14 | 2010-06-29 | Rosemount Aerospace Inc. | Light detection and ranging system |
US7697126B2 (en) | 2008-04-02 | 2010-04-13 | Spatial Integrated Systems, Inc. | Three dimensional spatial imaging system and method |
US9285459B2 (en) | 2008-05-09 | 2016-03-15 | Analog Devices, Inc. | Method of locating an object in 3D |
WO2010016120A1 (ja) | 2008-08-06 | 2010-02-11 | 株式会社ニコンビジョン | 測距装置 |
CN101655563B (zh) | 2008-08-21 | 2012-07-04 | 金华市蓝海光电技术有限公司 | 一种高精度、低功耗激光测距的方法及其装置 |
WO2010085877A1 (en) * | 2009-01-27 | 2010-08-05 | Xyz Interactive Technologies Inc. | A method and apparatus for ranging finding, orienting, and/or positioning of single and/or multiple devices |
EP2401575B1 (en) | 2009-02-25 | 2019-12-25 | Dimensional Photonics International, Inc. | Method and apparatus for generating a display of a three-dimensional surface |
US8085209B2 (en) | 2009-04-02 | 2011-12-27 | Viasat, Inc. | Sub-array polarization control using rotated dual polarized radiating elements |
US8125367B2 (en) | 2009-08-06 | 2012-02-28 | Irvine Sensors Corp. | AM chirp LADAR readout circuit and module |
GB0915775D0 (en) * | 2009-09-09 | 2009-10-07 | Univ Gent | Implantable sensor |
EP2517189B1 (en) * | 2009-12-22 | 2014-03-19 | Leddartech Inc. | Active 3d monitoring system for traffic detection |
US8964298B2 (en) | 2010-02-28 | 2015-02-24 | Microsoft Corporation | Video display modification based on sensor input for a see-through near-to-eye display |
US8467641B2 (en) | 2010-03-12 | 2013-06-18 | The Johns Hopkins University | System and method for using planar device to generate and steer light beam |
US8629977B2 (en) | 2010-04-14 | 2014-01-14 | Digital Ally, Inc. | Traffic scanning LIDAR |
US20130114924A1 (en) | 2010-04-29 | 2013-05-09 | Agency For Science, Technology And Research | Optical Arrangement and a Method of Forming the Same |
CN102884444B (zh) | 2010-05-07 | 2014-08-13 | 三菱电机株式会社 | 激光雷达装置 |
EP2388615B1 (en) | 2010-05-17 | 2020-03-18 | Velodyne LiDAR, Inc. | High definition lidar system |
US8200055B2 (en) | 2010-07-19 | 2012-06-12 | Harish Subbaraman | Two-dimensional surface normal slow-light photonic crystal waveguide optical phased array |
US8829417B2 (en) | 2010-11-08 | 2014-09-09 | The Johns Hopkins University | Lidar system and method for detecting an object via an optical phased array |
CA2825540C (en) | 2011-01-26 | 2016-12-13 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Waveguide-type polarization beam splitter exhibiting reduced temperature-related wavelength dependent variation of the polarization extinction ratio |
US8659748B2 (en) | 2011-02-15 | 2014-02-25 | Optical Air Data Systems, Llc | Scanning non-scanning LIDAR |
US9222771B2 (en) * | 2011-10-17 | 2015-12-29 | Kla-Tencor Corp. | Acquisition of information for a construction site |
US8731247B2 (en) | 2012-01-20 | 2014-05-20 | Geodigital International Inc. | Densifying and colorizing point cloud representation of physical surface using image data |
US20130208256A1 (en) | 2012-02-10 | 2013-08-15 | Optical Air Data Systems, Llc. | LDV with Diffractive Optical Element for Transceiver Lens |
US9851443B2 (en) | 2012-03-16 | 2017-12-26 | Alcatel Lucent | Optical beam sweeper |
US8687086B1 (en) | 2012-03-30 | 2014-04-01 | Gopro, Inc. | On-chip image sensor data compression |
CN102636776B (zh) * | 2012-03-31 | 2013-10-23 | 中国科学院上海技术物理研究所 | THz级大带宽激光合成孔径雷达成像系统的数据处理方法 |
US9014903B1 (en) | 2012-05-22 | 2015-04-21 | Google Inc. | Determination of object heading based on point cloud |
KR102038533B1 (ko) | 2012-06-14 | 2019-10-31 | 한국전자통신연구원 | 레이저 레이더 시스템 및 목표물 영상 획득 방법 |
CA2816227A1 (en) * | 2012-07-06 | 2014-01-06 | Kapsch Trafficcom Ag | Method for detecting a wheel of a vehicle |
US9383753B1 (en) | 2012-09-26 | 2016-07-05 | Google Inc. | Wide-view LIDAR with areas of special attention |
US20160047901A1 (en) | 2012-12-25 | 2016-02-18 | Quanergy Systems, Inc. | Robust lidar sensor for broad weather, shock and vibration conditions |
US9476981B2 (en) | 2013-01-08 | 2016-10-25 | Massachusetts Institute Of Technology | Optical phased arrays |
KR102181537B1 (ko) | 2013-01-08 | 2020-11-23 | 메사추세츠 인스티튜트 오브 테크놀로지 | 광학 위상 어레이들 |
US20140211194A1 (en) | 2013-01-27 | 2014-07-31 | Quanergy Systems, Inc. | Cost-effective lidar sensor for multi-signal detection, weak signal detection and signal disambiguation and method of using same |
US10132928B2 (en) | 2013-05-09 | 2018-11-20 | Quanergy Systems, Inc. | Solid state optical phased array lidar and method of using same |
US9069080B2 (en) | 2013-05-24 | 2015-06-30 | Advanced Scientific Concepts, Inc. | Automotive auxiliary ladar sensor |
US9683928B2 (en) | 2013-06-23 | 2017-06-20 | Eric Swanson | Integrated optical system and components utilizing tunable optical sources and coherent detection and phased array for imaging, ranging, sensing, communications and other applications |
US10126412B2 (en) | 2013-08-19 | 2018-11-13 | Quanergy Systems, Inc. | Optical phased array lidar system and method of using same |
US8836922B1 (en) | 2013-08-20 | 2014-09-16 | Google Inc. | Devices and methods for a rotating LIDAR platform with a shared transmit/receive path |
US20150192677A1 (en) | 2014-01-03 | 2015-07-09 | Quanergy Systems, Inc. | Distributed lidar sensing system for wide field of view three dimensional mapping and method of using same |
US9104086B1 (en) | 2014-02-24 | 2015-08-11 | Sandia Corporation | Method and apparatus of wide-angle optical beamsteering from a nanoantenna phased array |
US9753351B2 (en) | 2014-06-30 | 2017-09-05 | Quanergy Systems, Inc. | Planar beam forming and steering optical phased array chip and method of using same |
US9869753B2 (en) | 2014-08-15 | 2018-01-16 | Quanergy Systems, Inc. | Three-dimensional-mapping two-dimensional-scanning lidar based on one-dimensional-steering optical phased arrays and method of using same |
-
2014
- 2014-06-30 US US14/318,716 patent/US9753351B2/en active Active
-
2015
- 2015-06-23 WO PCT/US2015/037246 patent/WO2016022220A2/en active Application Filing
- 2015-06-23 CN CN201580043763.7A patent/CN106575017B/zh active Active
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- 2015-06-23 EP EP15830163.0A patent/EP3161533A4/en not_active Withdrawn
- 2015-06-23 KR KR1020177002229A patent/KR102017474B1/ko active IP Right Grant
- 2015-06-29 TW TW104120988A patent/TWI647469B/zh active
-
2017
- 2017-09-05 US US15/695,864 patent/US9964833B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01238627A (ja) * | 1988-03-19 | 1989-09-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光導波路素子 |
JP2005202069A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Sony Corp | 偏向素子及びこれを用いた画像表示装置 |
US20100187442A1 (en) * | 2008-07-29 | 2010-07-29 | University Of Washington | Beam generation and steering with integrated optical circuits for light detection and ranging |
US20100187402A1 (en) * | 2008-07-29 | 2010-07-29 | Universtiy Of Washington | Method of performing hyperspectral imaging with photonic integrated circuits |
US8203115B2 (en) * | 2008-07-29 | 2012-06-19 | University Of Washington | Method of performing hyperspectral imaging with photonic integrated circuits |
KR20110117260A (ko) * | 2009-03-20 | 2011-10-26 | 알까뗄 루슨트 | 다기능 도파관 격자를 갖춘 코히어런트 광학 편향기 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Jie Sun 외 5인. Large-Scal silicon photonic circuits for optical phased arrays. IEEE journal of selected topics in quantum electronics. vol.20, no.4, 2014.07., page 1 ~ 15 1부.* * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019139186A1 (ko) * | 2018-01-11 | 2019-07-18 | 주식회사 큐유아이 | 안테나 어레이의 지향성을 개선하는 rf 렌즈 장치 및 그를 포함하는 송수신 안테나 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201604569A (zh) | 2016-02-01 |
CN106575017B (zh) | 2020-01-14 |
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EP3161533A2 (en) | 2017-05-03 |
US20150378241A1 (en) | 2015-12-31 |
US9753351B2 (en) | 2017-09-05 |
WO2016022220A3 (en) | 2016-05-12 |
EP3161533A4 (en) | 2018-02-28 |
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