KR20170028373A - 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩 및 그 사용 방법 - Google Patents

평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩 및 그 사용 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20170028373A
KR20170028373A KR1020177002229A KR20177002229A KR20170028373A KR 20170028373 A KR20170028373 A KR 20170028373A KR 1020177002229 A KR1020177002229 A KR 1020177002229A KR 20177002229 A KR20177002229 A KR 20177002229A KR 20170028373 A KR20170028373 A KR 20170028373A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical
steering
integrated circuit
photonic integrated
circuit device
Prior art date
Application number
KR1020177002229A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102017474B1 (ko
Inventor
루아이 엘다다
Original Assignee
콰너지 시스템즈, 인크.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 콰너지 시스템즈, 인크. filed Critical 콰너지 시스템즈, 인크.
Publication of KR20170028373A publication Critical patent/KR20170028373A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102017474B1 publication Critical patent/KR102017474B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/292—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection by controlled diffraction or phased-array beam steering
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
    • G01S7/4813—Housing arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4814—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4817—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements relating to scanning

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Variable-Direction Aerials And Aerial Arrays (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)

Abstract

1 차원 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩은 2 차원 빔 형성 및 스티어링 솔리드 스테이트 라이더의 단순한 빌딩 블록이어서, 복수의 상기 칩들의 사용을 통해 높은 수율 및 저가로 상기 라이더들의 제조를 가능하게 한다. 제조 고려 설계 룰들을 따르는 혁신적인 광자 집적 회로 칩 아키텍처들이 상기 빌딩 블록들을 인에이블한다.

Description

평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩 및 그 사용 방법{PLANAR BEAM FORMING AND STEERING OPTICAL PHASED ARRAY CHIP AND METHOD OF USING SAME}
관련 출원들에 대한 상호 참조
본 출원은 2014년 6월 30일자로 출원된 미국 특허출원 제14/318,716호에 대해 우선권을 주장하고, 그 내용은 여기에 참조로 통합된다.
본 발명의 분야
본 발명은 일반적으로 환경 센싱의 분야에 관한 것으로, 특히, 실시간 3 차원 맵핑 및 오브젝트 검출, 추적, 식별 및/또는 분류를 위한 비행 시간 (Time of Flight; ToF) 라이더 센서들의 사용에 관한 것이다.
라이더 센서는 광 검출 및 레인징 (light detection and ranging) 센서이다. 그것은 레이저로부터의 펄스들 (또는 대안적으로 변조된 신호) 을 이용하여, 타겟 또는 장면에 광 (light) 을 조사하고, 그리고 광자들이 상기 타겟 또는 랜드스케이프로 이동하고 라이더 모듈에서의 리시버 (receiver) 에 대한 반사 후 리턴하는데 걸리는 시간을 측정하는 것에 의해, 타겟 또는 장면에서의 오브젝트들까지의 거리를 측정할 수 있는 광학 원격 센싱 모듈이다. 반사된 펄스들 (또는 변조된 신호들) 이 검출되고, 여기서 그 펄스들 (또는 변조된 신호들) 의 비행 시간 및 강도는 각각 센싱된 오브젝트의 거리 및 반사율 (reflectivity) 의 측정치들이다.
종래의 라이더 센서들은 레이저 빔들을 스캔하기 위해 기계 가동부 (mechanically moving part) 들을 활용한다. ADAS (advanced driver assist systems) 및 자율 주행 시스템들 (autonomous driving systems) 과 같은, 자동차 애플리케이션들에서 사용되는 소정의 시스템들을 포함한, 일부 시스템들에서는, 더 높은 센서 신뢰도, 더 긴 센서 수명, 더 작은 센서 사이즈, 더 낮은 센서 무게, 및 더 낮은 센서 비용을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는 다양한 잠재적인 이점들을 위해 솔리드 스테이트 센서들을 이용하는 것이 선호된다.
레이더 위상 어레이들의 생성을 위해 사용되는 무선 주파수 (RF) 지연선 (delay line) 들이 수십 년 전에는 레이더 신호들의 솔리드 스테이트 스티어링을 위해 사용되었다. RF 안테나 어레이들 및 검출기들과 결합된 광자 집적 회로 (photonic integrated circuit; PIC) 기반 지연선들이 20 년 전에는 레이더 신호들의 솔리드 스테이트 스티어링에 있어서 지연들의 정밀도를 개선시키기 위해 사용되었다. 마이크로스케일 및 나노스케일 디바이스들을 가진 PIC들은 레이저 빔들의 솔리드 스테이트 스티어링을 위해, 튜너블 광학 지연선들 및 광학 안테나들을 포함한, 광학 위상 어레이들 (optical phased arrays; OPA들) 을 생성하기 위해 사용될 수 있다.
지금까지 생성되는 광학 도메인에서의 위상 어레이들은 복잡하고, 고가이며, 및/또는 빔 형성 및 빔 스티어링과는 상이한 목적을 갖는다; 일부는 공간 필터들, 광학 증폭기들 및 링 레이저들을 결합한다 (US 7,339,727), 일부는 복수의 광학 입력 빔들을 수반한다 (US 7,406,220), 일부는 볼륨 회절 격자들 및 복수의 입력 방향들을 수반한다 (US 7,428,100), 일부는 복수의 파장들의 빔들을 결합한다 (US 7,436,588), 일부는 광학 위상 레퍼런스 소스들 및 이득 엘리먼트들을 갖는다 (US 7,489,870), 일부는 시야에서의 미리결정된 영역들 및 복수의 빔 형성 엘리먼트들을 갖는다 (US 7,532,311), 및 일부는 다수의 주파수들 및 다수의 광학 위상 레퍼런스 소스들을 갖는다 (US 7,555,217).
지금까지 생성되는 광학 도메인에서의 2 차원 빔 형성 및 스티어링 위상 어레이들은, 그들이 복잡한 2 차원 픽셀 어레이를 가진 2 개의 차원들에서 스티어링하기 때문에 낮은 수율 (yields) 을 갖고 고가이다.
1 차원 (1D) 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩은 2 차원 (2D) 빔 형성 및 스티어링 솔리드 스테이트 라이더의 단순한 빌딩 블록 (building block) 이어서, 복수의 상기 칩들의 사용을 통해 높은 수율 및 저가로 상기 라이더들의 제조를 가능하게 한다. 제조 고려 설계 (Design for Manufacturing; DFM) 룰들을 따르는 혁신적인 광자 집적 회로 (Photonic Integrated Circuit; PIC) 칩 아키텍처들이 상기 빌딩 블록들을 인에이블한다.
다음의 도면들은 본 발명의 실시형태들의 예시이고 본 명세서의 일부를 형성하는 청구항들에 의해 포괄되는 것으로서 본 발명을 제한하도록 의도되지 않는다.
도 1 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩의 스플리팅 섹션을 나타내고, 그 스플리팅 섹션은 1×L Y-브랜치 트리 (20), 그 다음에 1×M 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하여, 1×N 스플리터를 초래한다 (여기서 L×M=N, 예를 들어, 8×128=1024).
도 2 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 광학 위상 시프터들 (40), 및 1 차원 픽셀 어레이 구성 (configuration) 으로 레이 아웃된 면외 (out-of-plane) 광학 커플러들 (120) 을 포함한다. 그레이디드-인덱스 (GRIN) 렌즈 (140) 가 스티어링 방향에 수직인 차원에서 스폿 사이즈를 감소시키기 위해 사용된다. 대안적으로, 표준 기하학적 굴절 렌즈, 회절 광학 소자 (DOE), 홀로그래픽 광학 소자 (HOE) 또는 온-칩 격자가 상기 스폿 사이즈 감소를 달성하기 위해 사용될 수 있다.
도 3 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 푸시-풀 구성의 2 개의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (40), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 4 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 푸시-풀 구성의 2 개의 그룹화된 세트들의 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (50), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 5 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 선형 및 비선형 가열 전극들 양자 모두가 푸시-풀 구성으로 있는, 2 개의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (40) 및 2 개의 그룹화된 비선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들 (60), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 6 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 한 쌍 (40) 이 코어스 (coarse) 위상 조정들에 사용되고 한 쌍 (70) 이 파인 (fine) 위상 조정들에 사용되고, 전극들의 상기 쌍들 양자 모두가 푸시-풀 구성으로 있는, 2 개의 쌍들의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들, 하나의 위상 오프셋 전극 (80), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 7 의 개략적 다이어그램은 1D 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩을 나타내고, 그 칩은 레이저 (10), Y-브랜치 트리 (20) 및 멀티모드 간섭 커플러들 (30) 을 포함하는 스플리팅 섹션, 각각의 옴가열기가 직렬의 선형 가열기들로 이루어지고, 한 쌍 (90) 이 코어스 위상 조정들에 사용되고 한 쌍 (100) 이 파인 위상 조정들에 사용되고, 전극들의 상기 쌍들 양자 모두가 푸시-풀 구성으로 있는, 2 개의 쌍들의 그룹화된 선형 옴가열 전극들의 형태의 광학 위상 시프터들, 하나의 세트의 위상 오프셋 전극들 (110), 및 면외 광학 커플러들 (120) 을 포함한다.
도 8 의 개략적 다이어그램은 추가된 오목 렌즈 (130) 가 스티어링 레인지를 확장하기 위해 사용된다는 점을 제외하면 도 7 의 개략적 다이어그램과 유사하다.
도 9 의 개략적 다이어그램은 레이저가 2 개의 PIC들 간에 공유된다는 점을 제외하면 도 7 에 나타낸 복수의 광자 집적 회로 (PIC) 를 포함한다. 대안적으로, 각각의 PIC 에는 별개의 레이저가 공급될 수 있다
라이더-기반 장치 및 방법이 광자 집적 회로들 (PIC들) 을 사용한 레이저 빔들의 솔리드 스테이트 스티어링을 위해 사용된다. 집적 광학 설계 및 제작 마이크로- 및 나노기술들이 레이저로부터 본질적으로 균일하게 픽셀들의 어레이로 광학 신호를 분포시키는 칩-스케일 광학 스플리터들의 생산을 위해 사용되고, 그 픽셀들은 튜너블 광학 지연선들 및 광학 안테나들을 포함한다. 그 안테나들은 광의 면외 커플링을 달성한다.
상기 어레이에서의 안테나-포함 픽셀들의 지연선들이 튜닝됨에 따라, 각각의 안테나는 특정 위상의 광을 방출하여 이들 방출물들의 간섭을 통해 원하는 원거리장 방사 패턴을 형성한다. 상기 어레이는 솔리드 스테이트 광학 위상 어레이 (OPA) 의 기능을 서빙한다.
많은 수의 안테나들을 통합함으로써, 고분해능 원거리장 패턴들이 OPA 에 의해 달성되어, 솔리드 스테이트 라이더에서 필요한 방사 패턴 빔 형성 및 스티어링, 뿐만 아니라 3 차원 홀로그래피, 광학 메모리, 광학 공간-분할 멀티플렉싱을 위한 모드 매칭, 자유 공간 통신, 및 생물의학 과학 (biomedical sciences) 에 필요한 임의 방사 패턴들의 생성을 지원할 수 있다. 어레이로부터의 이미징이 종래에는 픽셀들의 강도를 통해 송신되기 때문에, OPA 는 단일의 소스로부터 코히어런트 광파를 수용하는 픽셀들의 광학 위상의 제어를 통해 이미징을 허용한다.
1 차원 (1D) 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩은 솔리드 스테이트 라이더의 단순한 빌딩 블록이어서, 저가로 높은 수율을 가진 라이더들의 제조를 가능하게 한다.
스폿 사이즈의 수직 차원 (즉, 스티어링 방향에 수직인 차원) 은 적어도 하나의 온-칩 격자 또는 적어도 하나의 오프-칩 렌즈로 감소된다.
상기 오프-칩 렌즈의 타입들은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는다:
- 굴절 렌즈
- 그레이디드-인덱스 (GRIN) 렌즈
- 회절 광학 소자 (DOE)
- 홀로그래픽 광학 소자 (HOE)
하나 또는 복수의 1D 빔 형성 및 스티어링 회로들이 원하는 수평 시야 (FOV) 또는 스티어링 레인지를 달성하기 위해 사용될 수 있다.
빔 스플리팅은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 빔 스플리팅 광학 디바이스들의 임의의 서브세트로 달성된다:
- Y-브랜치들
- 방향성 커플러들
- 멀티모드 간섭 (MMI) 커플러들
빔 스플리팅을 위한 선호된 실시형태는 Y-브랜치 스플리터들, 그 다음에 MMI 커플러들을 포함한다.
위상 시프팅은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 위상 시프팅 광학 디바이스들의 임의의 서브세트로 제어된다:
- 이득 엘리먼트들
- 전대역 통과 (all-pass) 필터들
- 브래그 격자들
- 분산 재료 (dispersive material) 들
- 파장 튜닝
- 위상 튜닝
위상 튜닝이 사용되는 경우, 상기 지연선들, 및 상기 광학 스플리터들을, 그들이 튜너블일 때 튜닝하는데 사용되는 액츄에이션 메커니즘들은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 다양한 메커니즘들 중 임의의 것일 수 있다:
- 열-광학 액츄에이션
- 전기-광학 액츄에이션
- 전계흡수 액츄에이션
- 자유 이송자 흡수 액츄에이션
- 자기-광학 액츄에이션
- 액정 액츄에이션
- 전광 (all-optical) 액츄에이션
각각의 픽셀은 최대 가요성을 위한 독립적인 위상 제어 및 원거리장 방사 패턴의 최적의 제어를 가질 수 있고, 또는 그룹화 (때때로 밴딩 (banding) 이라 불림) 가 설계, 제작, 테스팅, 제어 및 동작의 단순화를 위해 하나의 제어 신호로 복수의 픽셀들에 위상 튜닝을 제공하기 위해 사용될 수 있다.
그룹화된 위상 시프팅은 다음의 임의의 서브세트로 제어된다:
- 하나 또는 복수의 선형 (삼각형) 전극(들) - 직렬 또는 병렬; 동일한 또는 코어스 및 파인 조정 전극들
- 하나 또는 복수의 비선형 (부선형 (sublinear) 또는 초선형 (superlinear)) 전극(들) - 직렬 또는 병렬; 동일한 또는 코어스 및 파인 조정 전극들
다각형 형상 (예를 들어, 직사각형) 의 하나 또는 복수의 위상 오프셋 전극(들) - 직렬 또는 병렬; 동일한 또는 코어스 및 파인 조정 전극들 - 애디티브 (additive) 또는 서브트랙티브 (subtractive); 푸시-푸시 또는 푸시-풀 구성들.
광학 안테나들은 다음을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, PIC 의 면외로 광을 커플링할 수 있는 다양한 나노구조들 중 임의의 것일 수 있다:
- 격자들
- 홀로그래픽 광학 소자들 (HOE)
- 미러들
- 내부 전반사 (TIR) 인터페이스들
- 렌즈들
OPA PIC 를 포함하는 칩은 상보형 금속 산화물 반도체 (CMOS) 프로세스와 양립되는 것이 바람직하다.

Claims (22)

  1. 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치로서,
    적어도 하나의 광학 전력 스플리터;
    적어도 하나의 광학 위상 시프터; 및
    픽셀 어레이 구성 (configuration) 으로 레이 아웃된 적어도 하나의 면외 (out-of-plane) 광학 커플러
    를 포함하는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    형성가능하고 스티어링가능한 빔은,
    적어도 하나의 온-칩 격자; 및
    적어도 하나의 오프-칩 렌즈
    를 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 스티어링 방향에 수직인 방향에서의 스폿 사이즈 감소의 수단을 갖는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 오프-칩 렌즈는,
    굴절 렌즈;
    그레이디드-인덱스 렌즈;
    회절 광학 소자; 및
    홀로그래픽 광학 소자
    를 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로는 증가된 스티어링 레인지를 초래하는 복수의 광학 위상 어레이들을 포함하는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 광학 전력 스플리터는,
    Y-브랜치들;
    방향성 커플러들; 및
    멀티모드 간섭 커플러들
    을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 전력 스플리팅 광학 디바이스들의 임의의 서브세트로 달성되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    광학 전력 스플리팅은 Y-브랜치들로, 그 다음에 멀티모드 간섭 커플러들로 달성되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    적어도 하나의 위상 시프터는,
    이득 엘리먼트들;
    전대역 통과 필터들;
    브래그 격자들;
    분산 재료 (dispersive material) 들;
    파장 튜닝; 및
    위상 튜닝
    을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 위상 시프팅 광학 디바이스들의 서브세트로 제어되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 위상 튜닝의 액츄에이션 메커니즘은,
    열-광학 액츄에이션;
    전기-광학 액츄에이션;
    전계흡수 액츄에이션;
    자유 이송자 흡수 액츄에이션;
    자기-광학 액츄에이션;
    액정 액츄에이션; 및
    전광 (all-optical) 액츄에이션
    을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 액츄에이션 메커니즘들의 서브세트를 활용하는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    각각의 픽셀은 그 픽셀과 독립적인 위상 시프터를 연관시킨, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    복수의 픽셀들은 위상 시프터들을 결합한 것에 의해 밴딩되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    픽셀들의 밴딩된 제어는,
    선형 전극들;
    비선형 전극들; 및
    위상 오프셋 전극들
    중 하나 또는 복수를 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 제어 엘리먼트들의 서브세트로 달성되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 선형, 비선형 및 위상 오프셋 전극들의 세트로부터 적어도 하나의 타입의 전극들이 복수 개 존재하고, 복수 수량으로 존재하는 전극들은,
    직렬;
    병렬;
    애디티브 (additive); 및
    서브트랙티브 (subtractive)
    중 적어도 하나의 방식으로 배치되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 면외 광학 커플러는,
    격자들;
    홀로그래픽 광학 소자들;
    미러들;
    내부 전반사 인터페이스들; 및
    렌즈들
    을 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    스티어링 레인지를 확장하기 위해 렌즈 장치 (lensing apparatus) 와 결합되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    광자 집적 회로는 상보형 금속 산화물 반도체 실리콘 제작 프로세스와 양립되는, 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링 광자 집적 회로 장치.
  16. 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법으로서,
    상기 광자 집적 회로 장치는,
    적어도 하나의 광학 전력 스플리터;
    적어도 하나의 광학 위상 시프터; 및
    픽셀 어레이 구성 (configuration) 으로 레이 아웃된 적어도 하나의 면외 (out-of-plane) 광학 커플러
    를 포함하는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    형성가능한 및 스티어링가능한 빔은,
    적어도 하나의 온-칩 격자; 및
    적어도 하나의 오프-칩 렌즈
    를 포함하지만 이들에 제한되지는 않는, 스티어링 방향에 수직인 방향에서의 스폿 사이즈 감소의 수단을 갖는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 1 차원 빔 형성 및 스티어링은 복수의 광학 위상 어레이들로 획득되는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법.
  19. 제 16 항에 있어서,
    각각의 픽셀은 그 픽셀과 독립적인 위상 시프터를 연관시킨, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법.
  20. 제 16 항에 있어서,
    복수의 픽셀들은 위상 시프터들을 결합한 것에 의해 밴딩되는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법.
  21. 제 16 항에 있어서,
    복수의 위상 시프팅 전극들은,
    직렬;
    병렬;
    애디티브 (additive); 및
    서브트랙티브 (subtractive)
    중 적어도 하나의 방식으로 배치되는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법.
  22. 제 16 항에 있어서,
    빔 형성 및 스티어링 장치는 스티어링 레인지를 확장하기 위해 렌즈 장치 (lensing apparatus) 와 결합되는, 광자 집적 회로 장치를 활용한 광학 위상 어레이 기반 1 차원 빔 형성 및 스티어링을 위한 방법.
KR1020177002229A 2014-06-30 2015-06-23 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩 및 그 사용 방법 KR102017474B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/318,716 2014-06-30
US14/318,716 US9753351B2 (en) 2014-06-30 2014-06-30 Planar beam forming and steering optical phased array chip and method of using same
PCT/US2015/037246 WO2016022220A2 (en) 2014-06-30 2015-06-23 Planar beam forming and steering optical phased array chip and method of using same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170028373A true KR20170028373A (ko) 2017-03-13
KR102017474B1 KR102017474B1 (ko) 2019-09-03

Family

ID=54930334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020177002229A KR102017474B1 (ko) 2014-06-30 2015-06-23 평면 빔 형성 및 스티어링 광학 위상 어레이 칩 및 그 사용 방법

Country Status (8)

Country Link
US (2) US9753351B2 (ko)
EP (1) EP3161533A4 (ko)
JP (1) JP2017521734A (ko)
KR (1) KR102017474B1 (ko)
CN (1) CN106575017B (ko)
SG (1) SG11201610963XA (ko)
TW (1) TWI647469B (ko)
WO (1) WO2016022220A2 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019139186A1 (ko) * 2018-01-11 2019-07-18 주식회사 큐유아이 안테나 어레이의 지향성을 개선하는 rf 렌즈 장치 및 그를 포함하는 송수신 안테나 시스템

Families Citing this family (196)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10132928B2 (en) * 2013-05-09 2018-11-20 Quanergy Systems, Inc. Solid state optical phased array lidar and method of using same
US10126412B2 (en) 2013-08-19 2018-11-13 Quanergy Systems, Inc. Optical phased array lidar system and method of using same
US10203399B2 (en) 2013-11-12 2019-02-12 Big Sky Financial Corporation Methods and apparatus for array based LiDAR systems with reduced interference
US9360554B2 (en) 2014-04-11 2016-06-07 Facet Technology Corp. Methods and apparatus for object detection and identification in a multiple detector lidar array
US9575341B2 (en) 2014-06-28 2017-02-21 Intel Corporation Solid state LIDAR circuit with waveguides tunable to separate phase offsets
US9753351B2 (en) * 2014-06-30 2017-09-05 Quanergy Systems, Inc. Planar beam forming and steering optical phased array chip and method of using same
US9869753B2 (en) 2014-08-15 2018-01-16 Quanergy Systems, Inc. Three-dimensional-mapping two-dimensional-scanning lidar based on one-dimensional-steering optical phased arrays and method of using same
US10036803B2 (en) 2014-10-20 2018-07-31 Quanergy Systems, Inc. Three-dimensional lidar sensor based on two-dimensional scanning of one-dimensional optical emitter and method of using same
US9921307B2 (en) * 2015-01-30 2018-03-20 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Combined RADAR sensor and LIDAR sensor processing
US10036801B2 (en) 2015-03-05 2018-07-31 Big Sky Financial Corporation Methods and apparatus for increased precision and improved range in a multiple detector LiDAR array
CN104933966B (zh) * 2015-07-23 2018-01-26 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及其驱动方法、显示装置
US9992477B2 (en) 2015-09-24 2018-06-05 Ouster, Inc. Optical system for collecting distance information within a field
US10063849B2 (en) 2015-09-24 2018-08-28 Ouster, Inc. Optical system for collecting distance information within a field
US10557939B2 (en) 2015-10-19 2020-02-11 Luminar Technologies, Inc. Lidar system with improved signal-to-noise ratio in the presence of solar background noise
WO2017079483A1 (en) 2015-11-05 2017-05-11 Luminar Technologies, Inc. Lidar system with improved scanning speed for high-resolution depth mapping
CN108603758A (zh) 2015-11-30 2018-09-28 卢米诺技术公司 具有分布式激光器和多个传感器头的激光雷达系统和激光雷达系统的脉冲激光器
EP3423884A4 (en) * 2016-03-02 2019-11-20 The Government of the United States of America as represented by the Secretary of the Navy TWO-DIMENSIONAL OPTICAL PHASE OPTICAL CONTROL NETWORK WITH SIMPLIFIED COMMAND
US9866816B2 (en) 2016-03-03 2018-01-09 4D Intellectual Properties, Llc Methods and apparatus for an active pulsed 4D camera for image acquisition and analysis
US10809591B2 (en) 2016-04-28 2020-10-20 Analog Photonics LLC Optical phase shifter device
US10838062B2 (en) 2016-05-24 2020-11-17 Veoneer Us, Inc. Direct detection LiDAR system and method with pulse amplitude modulation (AM) transmitter and quadrature receiver
KR102559580B1 (ko) * 2016-08-17 2023-07-25 삼성전자주식회사 광 조향용 OPA, 및 그 OPA를 구비한 LiDAR 시스템
SG11201901600WA (en) 2016-08-24 2019-03-28 Ouster Inc Optical system for collecting distance information within a field
US10613410B2 (en) 2016-10-14 2020-04-07 Analog Photonics LLC Large scale optical phased array
US10731964B2 (en) 2016-11-03 2020-08-04 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Photonic imaging array
KR102587956B1 (ko) 2016-11-11 2023-10-11 삼성전자주식회사 빔 스티어링 소자 및 이를 적용한 시스템
US10942257B2 (en) 2016-12-31 2021-03-09 Innovusion Ireland Limited 2D scanning high precision LiDAR using combination of rotating concave mirror and beam steering devices
US10763290B2 (en) 2017-02-22 2020-09-01 Elwha Llc Lidar scanning system
US11585899B2 (en) * 2017-03-01 2023-02-21 Pointcloud Inc. Modular three-dimensional optical sensing system
US9810786B1 (en) 2017-03-16 2017-11-07 Luminar Technologies, Inc. Optical parametric oscillator for lidar system
US9905992B1 (en) 2017-03-16 2018-02-27 Luminar Technologies, Inc. Self-Raman laser for lidar system
US9810775B1 (en) 2017-03-16 2017-11-07 Luminar Technologies, Inc. Q-switched laser for LIDAR system
US9869754B1 (en) 2017-03-22 2018-01-16 Luminar Technologies, Inc. Scan patterns for lidar systems
US11119198B2 (en) 2017-03-28 2021-09-14 Luminar, Llc Increasing operational safety of a lidar system
US10121813B2 (en) 2017-03-28 2018-11-06 Luminar Technologies, Inc. Optical detector having a bandpass filter in a lidar system
US10114111B2 (en) 2017-03-28 2018-10-30 Luminar Technologies, Inc. Method for dynamically controlling laser power
US10139478B2 (en) 2017-03-28 2018-11-27 Luminar Technologies, Inc. Time varying gain in an optical detector operating in a lidar system
US10545240B2 (en) 2017-03-28 2020-01-28 Luminar Technologies, Inc. LIDAR transmitter and detector system using pulse encoding to reduce range ambiguity
US10732281B2 (en) 2017-03-28 2020-08-04 Luminar Technologies, Inc. Lidar detector system having range walk compensation
US10254388B2 (en) 2017-03-28 2019-04-09 Luminar Technologies, Inc. Dynamically varying laser output in a vehicle in view of weather conditions
US10061019B1 (en) 2017-03-28 2018-08-28 Luminar Technologies, Inc. Diffractive optical element in a lidar system to correct for backscan
US10267899B2 (en) 2017-03-28 2019-04-23 Luminar Technologies, Inc. Pulse timing based on angle of view
US10209359B2 (en) 2017-03-28 2019-02-19 Luminar Technologies, Inc. Adaptive pulse rate in a lidar system
US10007001B1 (en) 2017-03-28 2018-06-26 Luminar Technologies, Inc. Active short-wave infrared four-dimensional camera
US10663595B2 (en) 2017-03-29 2020-05-26 Luminar Technologies, Inc. Synchronized multiple sensor head system for a vehicle
US10969488B2 (en) 2017-03-29 2021-04-06 Luminar Holdco, Llc Dynamically scanning a field of regard using a limited number of output beams
US10641874B2 (en) 2017-03-29 2020-05-05 Luminar Technologies, Inc. Sizing the field of view of a detector to improve operation of a lidar system
US10088559B1 (en) 2017-03-29 2018-10-02 Luminar Technologies, Inc. Controlling pulse timing to compensate for motor dynamics
WO2018183715A1 (en) 2017-03-29 2018-10-04 Luminar Technologies, Inc. Method for controlling peak and average power through laser receiver
US10254762B2 (en) 2017-03-29 2019-04-09 Luminar Technologies, Inc. Compensating for the vibration of the vehicle
US10983213B2 (en) 2017-03-29 2021-04-20 Luminar Holdco, Llc Non-uniform separation of detector array elements in a lidar system
US11002853B2 (en) 2017-03-29 2021-05-11 Luminar, Llc Ultrasonic vibrations on a window in a lidar system
US10976417B2 (en) 2017-03-29 2021-04-13 Luminar Holdco, Llc Using detectors with different gains in a lidar system
US10191155B2 (en) 2017-03-29 2019-01-29 Luminar Technologies, Inc. Optical resolution in front of a vehicle
US10897082B1 (en) 2017-03-29 2021-01-19 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Steerable phased array antenna
US10401481B2 (en) 2017-03-30 2019-09-03 Luminar Technologies, Inc. Non-uniform beam power distribution for a laser operating in a vehicle
US10684360B2 (en) 2017-03-30 2020-06-16 Luminar Technologies, Inc. Protecting detector in a lidar system using off-axis illumination
US10241198B2 (en) 2017-03-30 2019-03-26 Luminar Technologies, Inc. Lidar receiver calibration
US9989629B1 (en) 2017-03-30 2018-06-05 Luminar Technologies, Inc. Cross-talk mitigation using wavelength switching
US10295668B2 (en) 2017-03-30 2019-05-21 Luminar Technologies, Inc. Reducing the number of false detections in a lidar system
US20180284246A1 (en) 2017-03-31 2018-10-04 Luminar Technologies, Inc. Using Acoustic Signals to Modify Operation of a Lidar System
US11022688B2 (en) 2017-03-31 2021-06-01 Luminar, Llc Multi-eye lidar system
US10641876B2 (en) 2017-04-06 2020-05-05 Quanergy Systems, Inc. Apparatus and method for mitigating LiDAR interference through pulse coding and frequency shifting
US10677897B2 (en) 2017-04-14 2020-06-09 Luminar Technologies, Inc. Combining lidar and camera data
US11698460B2 (en) 2017-04-17 2023-07-11 Purdue Research Foundation Ultrafast laser beam steering using frequency-arrayed optics
WO2018205006A1 (en) * 2017-05-11 2018-11-15 Huawei Technologies Co., Ltd. Time-of-flight apparatus
US11086013B2 (en) 2017-05-15 2021-08-10 Ouster, Inc. Micro-optics for imaging module with multiple converging lenses per channel
CN108693513A (zh) * 2017-06-09 2018-10-23 深圳市涵光半导体有限公司 激光雷达及其二维相控阵激光发射单元
KR102407142B1 (ko) 2017-06-30 2022-06-10 삼성전자주식회사 빔 스티어링 소자 및 이를 포함하는 전자 장치
KR102429877B1 (ko) 2017-07-03 2022-08-05 삼성전자주식회사 하이브리드 2차원 스캐너 시스템과 그 동작방법
US11567177B2 (en) * 2017-07-11 2023-01-31 Suteng Innovation Technology Co., Ltd Optical phased array lidar
KR102434702B1 (ko) * 2017-07-24 2022-08-22 삼성전자주식회사 라이다 시스템 및 이의 구동 방법
FR3070102B1 (fr) * 2017-08-08 2019-09-06 Thales Dispositif de reception optique d'un signal provenant d'un reseau antennaire a commande de phase et systeme antennaire associe
CN107329132B (zh) * 2017-08-11 2023-09-29 深圳力策科技有限公司 一种基于光学相位阵列的激光雷达收发天线及测距方法
US10627653B2 (en) * 2017-08-28 2020-04-21 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Thermal guiding for photonic components
US10838048B2 (en) * 2017-09-08 2020-11-17 Quanergy Systems, Inc. Apparatus and method for selective disabling of LiDAR detector array elements
SG11202002406TA (en) * 2017-09-18 2020-04-29 Advanced Micro Foundry Pte Ltd Optical phase array, methods of forming and operating the same
US11460550B2 (en) 2017-09-19 2022-10-04 Veoneer Us, Llc Direct detection LiDAR system and method with synthetic doppler processing
US10838043B2 (en) 2017-11-15 2020-11-17 Veoneer Us, Inc. Scanning LiDAR system and method with spatial filtering for reduction of ambient light
US10613200B2 (en) 2017-09-19 2020-04-07 Veoneer, Inc. Scanning lidar system and method
KR101924890B1 (ko) 2017-09-28 2018-12-04 광주과학기술원 광 위상 배열 안테나 및 이를 포함하는 라이다
US11194022B2 (en) 2017-09-29 2021-12-07 Veoneer Us, Inc. Detection system with reflection member and offset detection array
US20190107622A1 (en) * 2017-10-11 2019-04-11 Veoneer Us, Inc. Scanning LiDAR System and Method with Source Laser Beam Splitting Apparatus and Method
US10520589B2 (en) * 2017-10-16 2019-12-31 Sensors Unlimited, Inc. Multimode ROIC pixel with laser range finding (LRF) capability
US10003168B1 (en) 2017-10-18 2018-06-19 Luminar Technologies, Inc. Fiber laser with free-space components
US11835841B2 (en) 2017-10-27 2023-12-05 Exciting Technology LLC System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering
US10845671B2 (en) 2017-10-27 2020-11-24 Exciting Technology, Llc System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering
US10989982B2 (en) * 2018-10-23 2021-04-27 Exciting Technology, Llc System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering
US11835838B2 (en) 2017-10-27 2023-12-05 Exciting Technology LLC System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering
US11585901B2 (en) 2017-11-15 2023-02-21 Veoneer Us, Llc Scanning lidar system and method with spatial filtering for reduction of ambient light
US10451716B2 (en) 2017-11-22 2019-10-22 Luminar Technologies, Inc. Monitoring rotation of a mirror in a lidar system
US10324185B2 (en) * 2017-11-22 2019-06-18 Luminar Technologies, Inc. Reducing audio noise in a lidar scanner with a polygon mirror
US11340336B2 (en) * 2017-12-07 2022-05-24 Ouster, Inc. Rotating light ranging system with optical communication uplink and downlink channels
US10495794B2 (en) * 2017-12-12 2019-12-03 Huawei Technologies Co., Ltd. Polarization insensitive optical phased array and associated method
DE102017222864A1 (de) * 2017-12-15 2019-06-19 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Ablenkung von Laserstrahlen
US11493601B2 (en) 2017-12-22 2022-11-08 Innovusion, Inc. High density LIDAR scanning
US10666348B1 (en) 2018-01-08 2020-05-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Phased array receiver with reduced number of beam former elements
CN108387909A (zh) * 2018-01-23 2018-08-10 国耀量子雷达科技有限公司 基于激光雷达网的区域环境监测系统
KR102474591B1 (ko) 2018-01-24 2022-12-05 삼성전자주식회사 광 조향 장치 및 이를 포함하는 센서 시스템
KR102611985B1 (ko) 2018-01-24 2023-12-08 삼성전자주식회사 양방향성 광 집적 회로 소자 어레이 및 이를 이용한 양방향성 광 시스템
KR102501469B1 (ko) 2018-02-02 2023-02-20 삼성전자주식회사 빔 스티어링 장치를 포함한 시스템
US10365536B1 (en) 2018-02-07 2019-07-30 Eagle Technology, Llc Optical device including a monolithic body of optical material and related methods
WO2020013890A2 (en) 2018-02-23 2020-01-16 Innovusion Ireland Limited Multi-wavelength pulse steering in lidar systems
CN112292608A (zh) 2018-02-23 2021-01-29 图达通爱尔兰有限公司 用于lidar系统的二维操纵系统
US11081792B2 (en) 2018-03-07 2021-08-03 Anokiwave, Inc. Phased array with low-latency control interface
US10324170B1 (en) 2018-04-05 2019-06-18 Luminar Technologies, Inc. Multi-beam lidar system with polygon mirror
US11029406B2 (en) 2018-04-06 2021-06-08 Luminar, Llc Lidar system with AlInAsSb avalanche photodiode
WO2019204367A1 (en) * 2018-04-16 2019-10-24 Phase Sensitive Innovations, Inc. Beam steering antenna transmitter, multi-user antenna mimo transmitter and related methods of communication
JP6746039B2 (ja) * 2018-04-27 2020-08-26 三菱電機株式会社 空間光通信装置
US10158038B1 (en) 2018-05-17 2018-12-18 Hi Llc Fast-gated photodetector architectures comprising dual voltage sources with a switch configuration
US10515993B2 (en) 2018-05-17 2019-12-24 Hi Llc Stacked photodetector assemblies
US10340408B1 (en) 2018-05-17 2019-07-02 Hi Llc Non-invasive wearable brain interface systems including a headgear and a plurality of self-contained photodetector units configured to removably attach to the headgear
US10348051B1 (en) 2018-05-18 2019-07-09 Luminar Technologies, Inc. Fiber-optic amplifier
US10884105B2 (en) * 2018-05-31 2021-01-05 Eagle Technology, Llc Optical system including an optical body with waveguides aligned along an imaginary curved surface for enhanced beam steering and related methods
US11402505B2 (en) 2018-06-05 2022-08-02 Silc Technologies, Inc. Control of phase in steering of LIDAR output signals
US10420498B1 (en) 2018-06-20 2019-09-24 Hi Llc Spatial and temporal-based diffusive correlation spectroscopy systems and methods
US11536805B2 (en) 2018-06-25 2022-12-27 Silc Technologies, Inc. Optical switching for tuning direction of LIDAR output signals
US10591601B2 (en) 2018-07-10 2020-03-17 Luminar Technologies, Inc. Camera-gated lidar system
US11213206B2 (en) 2018-07-17 2022-01-04 Hi Llc Non-invasive measurement systems with single-photon counting camera
US10627516B2 (en) 2018-07-19 2020-04-21 Luminar Technologies, Inc. Adjustable pulse characteristics for ground detection in lidar systems
JP2020021024A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 日本放送協会 光偏向装置およびモード変換部設計方法
US10739189B2 (en) 2018-08-09 2020-08-11 Ouster, Inc. Multispectral ranging/imaging sensor arrays and systems
US11473970B2 (en) 2018-08-09 2022-10-18 Ouster, Inc. Subpixel apertures for channels in a scanning sensor array
US10551501B1 (en) 2018-08-09 2020-02-04 Luminar Technologies, Inc. Dual-mode lidar system
US11681021B2 (en) 2018-08-17 2023-06-20 SiLC Technologies. Inc. Optical sensor system
US10340651B1 (en) 2018-08-21 2019-07-02 Luminar Technologies, Inc. Lidar system with optical trigger
KR20200038663A (ko) 2018-10-04 2020-04-14 삼성전자주식회사 광학 위상 어레이의 위상 최적화 방법
US11892565B2 (en) 2018-10-12 2024-02-06 Silc Technologies, Inc. Controlling direction of LIDAR output signals
US10985819B1 (en) 2018-10-16 2021-04-20 Anokiwave, Inc. Element-level self-calculation of phased array vectors using interpolation
US11205858B1 (en) 2018-10-16 2021-12-21 Anokiwave, Inc. Element-level self-calculation of phased array vectors using direct calculation
US11624807B2 (en) 2018-12-11 2023-04-11 Silc Technologies, Inc. Image distance in LIDAR systems
CN109707585B (zh) * 2018-12-20 2020-07-07 浙江大学 一种基于相控阵控制的激光推进方法
US11006876B2 (en) 2018-12-21 2021-05-18 Hi Llc Biofeedback for awareness and modulation of mental state using a non-invasive brain interface system and method
EP3914928A4 (en) 2019-01-25 2022-10-19 SiLC Technologies, Inc. ROUTING OF OUTPUT SIGNALS IN LIDAR SYSTEMS
US11774561B2 (en) 2019-02-08 2023-10-03 Luminar Technologies, Inc. Amplifier input protection circuits
US11579299B2 (en) 2019-04-02 2023-02-14 Litexel Inc. 3D range imaging method using optical phased array and photo sensor array
US11143860B1 (en) 2019-04-29 2021-10-12 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Photonic crystal-based optical steering
CN113795737A (zh) 2019-05-06 2021-12-14 Hi有限责任公司 用于时间相关的单光子计数的光电探测器架构
US11081611B2 (en) 2019-05-21 2021-08-03 Hi Llc Photodetector architectures for efficient fast-gating comprising a control system controlling a current drawn by an array of photodetectors with a single photon avalanche diode
US11754682B2 (en) 2019-05-30 2023-09-12 Microvision, Inc. LIDAR system with spatial beam combining
US11796643B2 (en) 2019-05-30 2023-10-24 Microvision, Inc. Adaptive LIDAR scanning methods
US11828881B2 (en) 2019-05-30 2023-11-28 Microvision, Inc. Steered LIDAR system with arrayed receiver
US11539144B2 (en) 2019-06-03 2022-12-27 Raymond Albert Fillion Phased array antenna with isotropic and non-isotropic radiating and omnidirectional and non-omnidirectional receiving elements
US10838059B2 (en) 2019-06-03 2020-11-17 Raymond Albert Fillion Acoustic phased array antenna with isotropic and non-isotropic radiating elements
US11411324B2 (en) 2019-06-03 2022-08-09 Raymond Albert Fillion Phased array antenna with isotropic and non-isotropic radiating and omnidirectional and non-omnidirectional receiving elements
AU2020287839A1 (en) 2019-06-06 2021-12-02 Hi Llc Photodetector systems with low-power time-to-digital converter architectures
US11480660B2 (en) 2019-07-09 2022-10-25 Microvision, Inc. Arrayed MEMS mirrors for large aperture applications
US11579256B2 (en) 2019-07-11 2023-02-14 Microvision, Inc. Variable phase scanning lidar system
US11474218B2 (en) 2019-07-15 2022-10-18 Veoneer Us, Llc Scanning LiDAR system and method with unitary optical element
US11579257B2 (en) 2019-07-15 2023-02-14 Veoneer Us, Llc Scanning LiDAR system and method with unitary optical element
EP3779560A1 (en) * 2019-08-13 2021-02-17 Imec VZW A dispersive optical phased array for two-dimensional scanning
CN110596679B (zh) * 2019-10-28 2021-10-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种固态激光雷达系统
US11313969B2 (en) 2019-10-28 2022-04-26 Veoneer Us, Inc. LiDAR homodyne transceiver using pulse-position modulation
US11579305B2 (en) 2019-11-05 2023-02-14 Silc Technologies, Inc. LIDAR output steering systems having optical gratings
US11703598B2 (en) 2019-11-18 2023-07-18 Silc Technologies, Inc. Steering of LIDAR output signals
CN110736974A (zh) * 2019-12-03 2020-01-31 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种全固态激光雷达扫描光源及全固态激光雷达
WO2021167877A1 (en) 2020-02-21 2021-08-26 Hi Llc Multimodal wearable measurement systems and methods
US11969259B2 (en) 2020-02-21 2024-04-30 Hi Llc Detector assemblies for a wearable module of an optical measurement system and including spring-loaded light-receiving members
WO2021167876A1 (en) 2020-02-21 2021-08-26 Hi Llc Methods and systems for initiating and conducting a customized computer-enabled brain research study
US11096620B1 (en) 2020-02-21 2021-08-24 Hi Llc Wearable module assemblies for an optical measurement system
US11771362B2 (en) 2020-02-21 2023-10-03 Hi Llc Integrated detector assemblies for a wearable module of an optical measurement system
US11630310B2 (en) 2020-02-21 2023-04-18 Hi Llc Wearable devices and wearable assemblies with adjustable positioning for use in an optical measurement system
US11950879B2 (en) 2020-02-21 2024-04-09 Hi Llc Estimation of source-detector separation in an optical measurement system
DE102020202819A1 (de) * 2020-03-05 2021-09-09 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung LiDAR-Vorrichtung
US11573294B2 (en) * 2020-03-17 2023-02-07 Litexel Inc. Switched optical phased array based beam steering LiDAR
US11864867B2 (en) 2020-03-20 2024-01-09 Hi Llc Control circuit for a light source in an optical measurement system by applying voltage with a first polarity to start an emission of a light pulse and applying voltage with a second polarity to stop the emission of the light pulse
US11607132B2 (en) 2020-03-20 2023-03-21 Hi Llc Temporal resolution control for temporal point spread function generation in an optical measurement system
US11877825B2 (en) 2020-03-20 2024-01-23 Hi Llc Device enumeration in an optical measurement system
US11819311B2 (en) 2020-03-20 2023-11-21 Hi Llc Maintaining consistent photodetector sensitivity in an optical measurement system
US11645483B2 (en) 2020-03-20 2023-05-09 Hi Llc Phase lock loop circuit based adjustment of a measurement time window in an optical measurement system
US11903676B2 (en) 2020-03-20 2024-02-20 Hi Llc Photodetector calibration of an optical measurement system
US11245404B2 (en) 2020-03-20 2022-02-08 Hi Llc Phase lock loop circuit based signal generation in an optical measurement system
US11857348B2 (en) 2020-03-20 2024-01-02 Hi Llc Techniques for determining a timing uncertainty of a component of an optical measurement system
US11187575B2 (en) 2020-03-20 2021-11-30 Hi Llc High density optical measurement systems with minimal number of light sources
US11822205B2 (en) 2020-04-17 2023-11-21 Exciting Technology LLC System, method, and apparatus for high precision light beam steering using rotating lens elements
US11789121B2 (en) 2020-05-28 2023-10-17 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Determining an angle of an incident beam of coherent light
US11994785B2 (en) 2020-06-03 2024-05-28 Raytheon Company Dispersive beam steering based on optical-frequency shift patterns
CN111596498B (zh) * 2020-07-01 2022-03-01 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种基于液晶相控阵的环形光束产生方法
WO2022051453A1 (en) 2020-09-04 2022-03-10 Analog Photonics LLC Two dimensional optical phased arrays using edge-coupled integrated circuits
CN112034657B (zh) * 2020-09-10 2022-07-22 中国科学院空天信息创新研究院 全固态芯片化大角度光学波束成形系统
CN112490671A (zh) * 2020-10-26 2021-03-12 深圳奥锐达科技有限公司 一种反射式光学相控阵芯片及制造方法及激光扫描装置
ES2913576B2 (es) 2020-12-02 2022-10-11 Univ Malaga Deflector lateral de haz unico, multiplexor/demultiplexor y dispositivo alimentador de antena optica que incorporan el deflector, y metodos que los utilizan
TW202224363A (zh) * 2020-12-02 2022-06-16 稜研科技股份有限公司 光電混合波束成型的傳送器、接收器及訊號處理方法
US11934048B2 (en) * 2021-01-29 2024-03-19 Raytheon Company Photonic integrated circuit-based coherently phased array laser transmitter
JPWO2022162981A1 (ko) 2021-02-01 2022-08-04
TWI760103B (zh) * 2021-02-09 2022-04-01 國立臺灣科技大學 可調控光學相位陣列
US11532881B2 (en) * 2021-02-11 2022-12-20 Raytheon Company Photonic integrated circuit-based optical phased array phasing technique
US11988903B2 (en) 2021-02-11 2024-05-21 Raytheon Company Photonic integrated circuit-based optical phased array calibration technique
US11644621B2 (en) 2021-02-11 2023-05-09 Raytheon Company Digital input circuit design for photonic integrated circuit
US11326758B1 (en) 2021-03-12 2022-05-10 Veoneer Us, Inc. Spotlight illumination system using optical element
US11714330B2 (en) 2021-04-30 2023-08-01 The Regents Of The University Of Michigan Phase-combining waveguide doubler for optical phased array in solid-state lidar applications
US11732858B2 (en) 2021-06-18 2023-08-22 Veoneer Us, Llc Headlight illumination system using optical element
CN115685220A (zh) * 2021-07-30 2023-02-03 北京万集科技股份有限公司 目标探测方法、opa激光雷达及计算机可读存储介质
CN113703244B (zh) * 2021-08-19 2023-12-19 扬州大学 一种大规模集成的电光微环光学相控阵
AU2022376964A1 (en) * 2021-10-29 2024-05-16 Battelle Memorial Institute Beam steering and nulling for a differentially segmented aperture antenna
US11888515B1 (en) 2022-07-14 2024-01-30 Raytheon Company System and method for parallel real-time photonic integrated circuit (PIC) optical phased array calibration and ultraviolet laser micro-ring wavelength offset trimming
CN116068273B (zh) * 2023-03-06 2023-06-13 中国人民解放军海军工程大学 一种大功率短波相控阵相位检测方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01238627A (ja) * 1988-03-19 1989-09-22 Fuji Photo Film Co Ltd 光導波路素子
JP2005202069A (ja) * 2004-01-14 2005-07-28 Sony Corp 偏向素子及びこれを用いた画像表示装置
US20100187442A1 (en) * 2008-07-29 2010-07-29 University Of Washington Beam generation and steering with integrated optical circuits for light detection and ranging
US20100187402A1 (en) * 2008-07-29 2010-07-29 Universtiy Of Washington Method of performing hyperspectral imaging with photonic integrated circuits
KR20110117260A (ko) * 2009-03-20 2011-10-26 알까뗄 루슨트 다기능 도파관 격자를 갖춘 코히어런트 광학 편향기

Family Cites Families (72)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3781552A (en) 1972-08-02 1973-12-25 K Kadrmas Self-calibrating multiple field of view telescope for remote atmospheric electromagnetic probing and data acquisition
JPH0315003A (ja) 1989-03-16 1991-01-23 Omron Corp グレーティング・レンズおよび集光グレーティング・カプラ
EP0464263A3 (en) 1990-06-27 1992-06-10 Siemens Aktiengesellschaft Device for obstacle detection for pilots of low flying aircrafts
US5455669A (en) 1992-12-08 1995-10-03 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik Laser range finding apparatus
JP3042278B2 (ja) 1993-09-17 2000-05-15 三菱電機株式会社 距離測定装置
US5543805A (en) 1994-10-13 1996-08-06 The Boeing Company Phased array beam controller using integrated electro-optic circuits
US5682229A (en) 1995-04-14 1997-10-28 Schwartz Electro-Optics, Inc. Laser range camera
US5898483A (en) 1997-05-01 1999-04-27 Lockheed Martin Corporation Method for increasing LADAR resolution
CN1226815C (zh) * 2002-03-06 2005-11-09 中国科学院物理研究所 利用垂直腔面发射半导体激光器制作相控阵激光装置
US6765663B2 (en) 2002-03-14 2004-07-20 Raytheon Company Efficient multiple emitter boresight reference source
US6891987B2 (en) 2002-04-24 2005-05-10 Hrl Laboratories, Llc Multi-aperture beam steering system with wavefront correction based on a tunable optical delay line
AU2003900878A0 (en) * 2003-02-26 2003-03-13 Tele-Ip Limited Improved sodar sounding in the lower atmosphere
US7180579B1 (en) 2003-03-28 2007-02-20 Irvine Sensors Corp. Three-dimensional imaging processing module incorporating stacked layers containing microelectronic circuits
US6950733B2 (en) 2003-08-06 2005-09-27 Ford Global Technologies, Llc Method of controlling an external object sensor for an automotive vehicle
US7129510B2 (en) 2004-10-29 2006-10-31 Corning Incorporated Optical sensors
US7095925B2 (en) * 2004-11-03 2006-08-22 Intel Corporation Optical phased array transmitter/receiver
US7957648B2 (en) 2005-02-28 2011-06-07 The Invention Science Fund I, Llc Electromagnetic device with integral non-linear component
US7375804B2 (en) 2005-03-01 2008-05-20 Lockheed Martin Corporation Single detector receiver for multi-beam LADAR systems
EP1724609A1 (de) 2005-05-18 2006-11-22 Leica Geosystems AG Verfahren zur Lagebestimmung einer Empfängereinheit
US20080002176A1 (en) 2005-07-08 2008-01-03 Lockheed Martin Corporation Lookdown and loitering ladar system
WO2007071032A1 (en) * 2005-12-19 2007-06-28 Institut National D'optique Object-detecting lighting system and method
US7936448B2 (en) 2006-01-27 2011-05-03 Lightwire Inc. LIDAR system utilizing SOI-based opto-electronic components
US7544945B2 (en) 2006-02-06 2009-06-09 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) array laser scanner
EP2041515A4 (en) 2006-07-13 2009-11-11 Velodyne Acoustics Inc HIGH DEFINITION LIDAR SYSTEM
EP1901093B1 (de) 2006-09-15 2018-11-14 Triple-IN Holding AG Aufnahme von Entfernungsbildern
ATE434196T1 (de) 2006-10-24 2009-07-15 Fiat Ricerche Optisches verfahren und vorrichtung zur messung der entfernung von einem hindernis
JP2008227121A (ja) 2007-03-13 2008-09-25 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体デバイスの製造方法
US7746450B2 (en) 2007-08-28 2010-06-29 Science Applications International Corporation Full-field light detection and ranging imaging system
US7746449B2 (en) 2007-11-14 2010-06-29 Rosemount Aerospace Inc. Light detection and ranging system
US7697126B2 (en) 2008-04-02 2010-04-13 Spatial Integrated Systems, Inc. Three dimensional spatial imaging system and method
US9285459B2 (en) 2008-05-09 2016-03-15 Analog Devices, Inc. Method of locating an object in 3D
WO2010016120A1 (ja) 2008-08-06 2010-02-11 株式会社ニコンビジョン 測距装置
CN101655563B (zh) 2008-08-21 2012-07-04 金华市蓝海光电技术有限公司 一种高精度、低功耗激光测距的方法及其装置
CA2764120C (en) * 2009-01-27 2019-01-08 Xyz Interactive Technologies Inc. A method and apparatus for ranging finding, orienting, and/or positioning of single and/or multiple devices
JP2012518844A (ja) 2009-02-25 2012-08-16 ディメンジョナル フォトニクス インターナショナル，インコーポレイテッド 三次元計測システムのための輝度およびカラー表示
US8085209B2 (en) 2009-04-02 2011-12-27 Viasat, Inc. Sub-array polarization control using rotated dual polarized radiating elements
US8125367B2 (en) 2009-08-06 2012-02-28 Irvine Sensors Corp. AM chirp LADAR readout circuit and module
GB0915775D0 (en) * 2009-09-09 2009-10-07 Univ Gent Implantable sensor
WO2011077400A2 (en) * 2009-12-22 2011-06-30 Leddartech Inc. Active 3d monitoring system for traffic detection
US8964298B2 (en) 2010-02-28 2015-02-24 Microsoft Corporation Video display modification based on sensor input for a see-through near-to-eye display
US8467641B2 (en) 2010-03-12 2013-06-18 The Johns Hopkins University System and method for using planar device to generate and steer light beam
US8629977B2 (en) 2010-04-14 2014-01-14 Digital Ally, Inc. Traffic scanning LIDAR
US20130114924A1 (en) 2010-04-29 2013-05-09 Agency For Science, Technology And Research Optical Arrangement and a Method of Forming the Same
WO2011138895A1 (ja) 2010-05-07 2011-11-10 三菱電機株式会社 レーザレーダ装置
WO2011146523A2 (en) 2010-05-17 2011-11-24 Velodyne Acoustics, Inc. High definition lidar system
US8200055B2 (en) 2010-07-19 2012-06-12 Harish Subbaraman Two-dimensional surface normal slow-light photonic crystal waveguide optical phased array
US8829417B2 (en) 2010-11-08 2014-09-09 The Johns Hopkins University Lidar system and method for detecting an object via an optical phased array
WO2012102039A1 (ja) 2011-01-26 2012-08-02 日本電信電話株式会社 導波路型偏波ビームスプリッタ
US8659748B2 (en) 2011-02-15 2014-02-25 Optical Air Data Systems, Llc Scanning non-scanning LIDAR
US9222771B2 (en) * 2011-10-17 2015-12-29 Kla-Tencor Corp. Acquisition of information for a construction site
US8731247B2 (en) 2012-01-20 2014-05-20 Geodigital International Inc. Densifying and colorizing point cloud representation of physical surface using image data
US20130208256A1 (en) 2012-02-10 2013-08-15 Optical Air Data Systems, Llc. LDV with Diffractive Optical Element for Transceiver Lens
US9851443B2 (en) 2012-03-16 2017-12-26 Alcatel Lucent Optical beam sweeper
US8687086B1 (en) 2012-03-30 2014-04-01 Gopro, Inc. On-chip image sensor data compression
CN102636776B (zh) * 2012-03-31 2013-10-23 中国科学院上海技术物理研究所 THz级大带宽激光合成孔径雷达成像系统的数据处理方法
US9014903B1 (en) 2012-05-22 2015-04-21 Google Inc. Determination of object heading based on point cloud
KR102038533B1 (ko) 2012-06-14 2019-10-31 한국전자통신연구원 레이저 레이더 시스템 및 목표물 영상 획득 방법
CA2816227A1 (en) * 2012-07-06 2014-01-06 Kapsch Trafficcom Ag Method for detecting a wheel of a vehicle
US9383753B1 (en) 2012-09-26 2016-07-05 Google Inc. Wide-view LIDAR with areas of special attention
US20160047901A1 (en) 2012-12-25 2016-02-18 Quanergy Systems, Inc. Robust lidar sensor for broad weather, shock and vibration conditions
KR102181537B1 (ko) 2013-01-08 2020-11-23 메사추세츠 인스티튜트 오브 테크놀로지 광학 위상 어레이들
US9476981B2 (en) 2013-01-08 2016-10-25 Massachusetts Institute Of Technology Optical phased arrays
US20140211194A1 (en) 2013-01-27 2014-07-31 Quanergy Systems, Inc. Cost-effective lidar sensor for multi-signal detection, weak signal detection and signal disambiguation and method of using same
US10132928B2 (en) 2013-05-09 2018-11-20 Quanergy Systems, Inc. Solid state optical phased array lidar and method of using same
US9069080B2 (en) 2013-05-24 2015-06-30 Advanced Scientific Concepts, Inc. Automotive auxiliary ladar sensor
US9683928B2 (en) 2013-06-23 2017-06-20 Eric Swanson Integrated optical system and components utilizing tunable optical sources and coherent detection and phased array for imaging, ranging, sensing, communications and other applications
US10126412B2 (en) 2013-08-19 2018-11-13 Quanergy Systems, Inc. Optical phased array lidar system and method of using same
US8836922B1 (en) 2013-08-20 2014-09-16 Google Inc. Devices and methods for a rotating LIDAR platform with a shared transmit/receive path
US20150192677A1 (en) 2014-01-03 2015-07-09 Quanergy Systems, Inc. Distributed lidar sensing system for wide field of view three dimensional mapping and method of using same
US9104086B1 (en) 2014-02-24 2015-08-11 Sandia Corporation Method and apparatus of wide-angle optical beamsteering from a nanoantenna phased array
US9753351B2 (en) 2014-06-30 2017-09-05 Quanergy Systems, Inc. Planar beam forming and steering optical phased array chip and method of using same
US9869753B2 (en) 2014-08-15 2018-01-16 Quanergy Systems, Inc. Three-dimensional-mapping two-dimensional-scanning lidar based on one-dimensional-steering optical phased arrays and method of using same

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01238627A (ja) * 1988-03-19 1989-09-22 Fuji Photo Film Co Ltd 光導波路素子
JP2005202069A (ja) * 2004-01-14 2005-07-28 Sony Corp 偏向素子及びこれを用いた画像表示装置
US20100187442A1 (en) * 2008-07-29 2010-07-29 University Of Washington Beam generation and steering with integrated optical circuits for light detection and ranging
US20100187402A1 (en) * 2008-07-29 2010-07-29 Universtiy Of Washington Method of performing hyperspectral imaging with photonic integrated circuits
US8203115B2 (en) * 2008-07-29 2012-06-19 University Of Washington Method of performing hyperspectral imaging with photonic integrated circuits
KR20110117260A (ko) * 2009-03-20 2011-10-26 알까뗄 루슨트 다기능 도파관 격자를 갖춘 코히어런트 광학 편향기

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Jie Sun 외 5인. Large-Scal silicon photonic circuits for optical phased arrays. IEEE journal of selected topics in quantum electronics. vol.20, no.4, 2014.07., page 1 ~ 15 1부.* *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019139186A1 (ko) * 2018-01-11 2019-07-18 주식회사 큐유아이 안테나 어레이의 지향성을 개선하는 rf 렌즈 장치 및 그를 포함하는 송수신 안테나 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
US9964833B2 (en) 2018-05-08
TWI647469B (zh) 2019-01-11
EP3161533A2 (en) 2017-05-03
KR102017474B1 (ko) 2019-09-03
CN106575017A (zh) 2017-04-19
CN106575017B (zh) 2020-01-14
EP3161533A4 (en) 2018-02-28
US20150378241A1 (en) 2015-12-31
JP2017521734A (ja) 2017-08-03
US9753351B2 (en) 2017-09-05
WO2016022220A3 (en) 2016-05-12
TW201604569A (zh) 2016-02-01
SG11201610963XA (en) 2017-01-27
WO2016022220A2 (en) 2016-02-11
US20180074384A1 (en) 2018-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9964833B2 (en) Planar beam forming and steering optical phased array chip and method of using same
EP3180655B1 (en) Three-dimensional-mapping two-dimensional-scanning lidar based on one-dimensional-steering optical phased arrays and method of using same
US11209546B1 (en) Solid state optical phased array lidar and method of using same
US11960006B2 (en) Wavelength division multiplexed LiDAR
TWI780120B (zh) 模組式三維光學感測系統(二)
US11573294B2 (en) Switched optical phased array based beam steering LiDAR
WO2018218003A1 (en) Solid-state light detection and ranging (lidar) system with real-time self-calibration
GB2612428A (en) Optical components for imaging
CN112748420A (zh) 一种基于一维光学相控阵的主瓣栅瓣多点扫描激光雷达
WO2019014596A1 (en) SEMICONDUCTOR LIGHT DETECTION AND TELEMETRY SYSTEM BASED ON OPTICAL PHASE CONTROL OPTICAL NETWORK COMPRISING OPTICAL POWER DISTRIBUTION NETWORK
KR20240015657A (ko) 마이크로렌즈 어레이 및 일체형 포토닉 스위치 어레이를 갖는 라이다
Lee et al. Silicon photonic optical phase arrays with apodized subwavelength gratings
US10698291B2 (en) Integrated phased array for two dimensional beem steering through constructive interference by light emitting structures comprising select elements on a two-dimensional lattice
US20240160028A1 (en) Flat optics for light coupling

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant