KR20170021041A - 진공펌프용 화학물질 포집장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공펌프용 화학물질 포집장치에 관한 것으로, 하우징 내부 둘레를 따라 활성탄을 형성하고, 이 활성탄 내주면을 따라 중앙부에 수직 관통된 유로를 형성하는 집진필터를 설치하며, 하우징의 유입구와 대응되는 내주면에 확산판을 설치하고, 하우징 상면을 뚜껑으로 밀폐하여, 유입구를 통해 기체를 공급함으로써, 이 기체가 확산판에 충돌되어 하우징 내부 둘레방향으로 확산되면서 활성탄 및 집진필터를 통과하고, 이때, 이 기체에 포함된 불순물 및 이물질이 제거되어 진공펌프로 정화된 기체가 공급되도록 한다.
본 발명에 따르면, 하우징 내로 공급되는 기체가 확산판에 의해 고르게 확산되어 활성탄 및 집진필터의 특정부분에 불순물 또는 이물질이 적층되는 것이 방지되고, 불순물 또는 이물질의 적층 방지로 활성탄 및 집진필터의 성능이 장기간 유지되며, 활성탄에서 1차로 불순물을 제거하되, 집진필터를 통해 2차로 이물질을 제거하여 정화기능이 향상되고, 장기간 사용으로 인해 유지보수 비용 절감과 동시에 제품의 신뢰성이 향상되는 장점이 있다.

Description

진공펌프용 화학물질 포집장치{chemicals collecting device for vacuum pumps}

본 발명은 포집장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유입구를 통해 유입되는 기체 내에 포함된 불순물 및 이물질을 필터링 하여 진공펌프와 연결된 배출구 상으로 정화된 기체가 배출되도록 하는 진공펌프용 화학물질 포집장치에 관한 것이다.

일반적으로, 화학물질 포집장치는 다양한 기계장치와 진공펌프 사이에 설치되어 진공펌프 내로 유입되는 기체에 포함된 불순물(예컨대 유기용매, 부식성가스등)을 필터링한다.

이때, 포집장치는 그 내부에서 기체에 포함된 불순물을 집진한 상태로, 기체를 토출함으로써, 기체내에 포함된 불순물이 제거되는 것이다.

특허문헌 1은 종래의 케미컬 필터를 나타낸 것으로서, 이를 참조하면, 중공형 하우징 내에 케미컬필터가 설치되고, 이 케미컬필터 내부로 기포배출라인이 삽입 되며, 하우징 바닥면에 기포배출라인 상에 기포 발생여부를 감지하는 기포센서가 설치되고, 하우징 일단이 펌핑부와 연결된 구조입니다.

이때, 케미컬필터는 공급라인을 따라 유동하는 케미컬 용액에 함유된 각종 이물질과 변질된 케미컬 용액 찌꺼기 및 기포 등을 필터링한다.

특히, 케미컬필터의 내벽에 기포 및 파티클 성분이 쌓이게 되면, 벤트펌프가 기포배출라인을 통해 기포를 배출하여 케미컬필터 내벽에 쌓여있는 이물질을 제거하게 된다.

이때, 기포배출라인상에 기포가 발생되면, 기포센서가 기포를 감지하여 제어부로 인가하고, 그러면, 에어밸브가 기포를 제거하기 위해 개폐된다.

하지만, 상기와 같은 특허문헌 1은, 케미컬필터의 일 부분으로만 케미컬 용액이 연속 주입되어 케미컬 필터의 특정 부분에 이물질이 적층되고, 케미컬필터의 특정 부분의 이물질 적층으로 케미컬필터의 필터 성능이 단시간에 급격히 저하되며, 케미컬필터의 특정 부분이 케밀컬용액과의 연속적인 반응으로 케미컬필터에 손괴가 발생되며, 이에따라, 케미컬필터를 지속적으로 교체하여 제품의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.

KR 10-2007-0007450 A

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 하우징 내부 둘레를 따라 활성탄을 형성하고, 이 활성탄 내주면을 따라 중앙부에 수직 관통된 유로를 형성하는 집진필터를 설치하며, 하우징의 유입구와 대응되는 내주면에 확산판을 설치하고, 하우징 상면을 뚜껑으로 밀폐하여, 유입구를 통해 기체를 공급함으로써, 이 기체가 확산판에 충돌되어 하우징 내부 둘레방향으로 확산되면서 활성탄 및 집진필터를 통과하고, 이때, 이 기체에 포함된 불순물 및 이물질이 제거되어 진공펌프로 정화된 기체가 공급되도록 하는 진공펌프용 화학물질 포집장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 진공펌프용 화학물질 포집장치는, 상방이 개방된 중공형상으로 외면에 유입구가 형성되고, 저면에 상기 유입구와 직교되게 형성된 배출구가 형성된 하우징과; 상기 하우징 내부 둘레를 따라 형성되어 상기 유입구를 통해 유입되는 기체에 포함된 불순물을 포집하는 활성탄; 중앙부에 수직방향으로 관통 형성되어 상기 배출구와 연통된 유로가 형성되어 있고, 상기 활성탄 내주면을 따라 밀착 설치되어 기체에 포함된 이물질을 걸러내는 집진필터; 아치형상으로 형성되고, 상기 유입구와 대응되는 상기 하우징 내주면에 설치되어 상기 유입구를 통해 유입되는 기체를 상기 하우징 내부 둘레방향으로 확산하는 확산판; 및 상기 하우징 상면에 밀착 설치되어 상기 하우징의 개방된 상방을 밀폐하는 뚜껑;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 진공펌프용 화학물질 포집장치에 있어서, 상기 집진필터는, 상면 및 하면에 상기 하우징 바닥면 및 상기 뚜껑의 저면에 밀착되어 상기 하우징 내의 기체가 상기 집진필터의 상, 하단 부분을 통해 상기 유로로 유입되는 것을 차단하는 밀폐패킹을 부착하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 진공펌프용 화학물질 포집장치에 있어서, 상기 뚜껑은, 상기 하우징 내부 공간을 육안으로 확인할 수 있는 투명한 아크릴재질로 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 하우징 내로 공급되는 기체가 확산판에 의해 고르게 확산되어 활성탄 및 집진필터의 특정부분에 불순물 또는 이물질이 적층되는 것이 방지되고, 불순물 또는 이물질의 적층 방지로 활성탄 및 집진필터의 성능이 장기간 유지되며, 활성탄에서 1차로 불순물을 제거하되, 집진필터를 통해 2차로 이물질을 제거하여 정화기능이 향상되고, 장기간 사용으로 인해 유지보수 비용 절감과 동시에 제품의 신뢰성이 향상되는 장점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 진공펌프용 화학물질 포집장치를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1의 측 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 진공펌프용 화학물질 포집장치를 통해 기체가 유동되는 상태를 나타낸 측 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 진공펌프용 화학물질 포집장치를 통해 기체가 유동되는 상태를 나타낸 평면도.

이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 하우징(100)은 상방이 개방된 중공형상으로 외면에 유입구(101)가 형성되고, 저면에 상기 유입구(101)와 직교되게 형성된 배출구(102)가 형성된다.

상기 하우징(100)은 개방된 상방을 통해 상기 활성탄(200) 및 상기 집진필터(300)를 내부에 수용한다.

상기 하우징(100)은 원통체 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 하우징(100)은 기계장치(미도시)와 진공펌프(미도시)사이에 설치된다.

상기 유입구(101)는 기계장치(미도시)와 연결되고, 진공펌프(미도시)에 의해 상기 기계장치(미도시) 내의 기체를 상기 하우징(100) 내부로 강제 흡입한다.

상기 배출구(102)는 진공펌프(미도시)와 연결되고, 상기 하우징(100)내에서 정화된 기체를 토출한다.

활성탄(200)은 상기 하우징(100) 내부 둘레를 따라 형성되어 상기 유입구(101)를 통해 유입되는 기체에 포함된 불순물을 포집한다.

상기 활성탄(200)은 그 중앙부가 관통형성되어 그 내주면을 따라 상기 집진필터(300)를 밀착한다.

상기 활성탄(200)은 상기 집진필터(300)의 두께보다 상대적으로 더 두껍게 형성되는 것이 바람직하다.

집진필터(300)는 중앙부에 수직방향으로 관통 형성되어 상기 배출구(102)와 연통된 유로(301)가 형성되어 있고, 상기 활성탄(200) 내주면을 따라 밀착 설치되어 기체에 포함된 이물질을 걸러낸다.

상기 집진필터(300)는 망사형 구조로 형성되어 상기 활성탄(200)에서 불순물이 걸러진 기체에 포함된 이물질을 걸러낸다.

상기 집진필터(300)는 멤브레인 필터인 것이 바람직하다.

상기 유로(301)는 이물질이 걸러진 기체가 하방으로 이동되어 상기 하우징의 배출구를 통해 토출되도록 안내한다.

상기 집진필터(300)는 상면 및 하면에 상기 하우징(100) 바닥면 및 상기 뚜껑(500)의 저면에 밀착되어 상기 하우징(100) 내의 기체가 상기 집진필터(300)의 상, 하단 부분을 통해 상기 유로(301)로 유입되는 것을 차단하는 밀폐패킹(302)을 부착한다.

상기 밀폐패킹(302)은 오링 형상인 것이 바람직하다.

확산판(400)은 아치형상으로 형성되고, 상기 유입구(101)와 대응되는 상기 하우징(100) 내주면에 설치되어 상기 유입구(101)를 통해 유입되는 기체를 상기 하우징(100) 내부 둘레방향으로 확산한다.

상기 확산판(400)은 상기 하우징(100)의 내주면에서 정해진 거리 이격된다.

상기 확산판(400)은 금속 재질로 제작되는 것이 바람직하고, 사용자의 선택에 따라 그 재질은 다양하게 변경될 수 있다.

뚜껑(500)은 상기 하우징(100) 상면에 밀착 설치되어 상기 하우징(100)의 개방된 상방을 밀폐한다.

상기 뚜껑(500)은 상기 하우징(100) 내부 공간을 육안으로 확인할 수 있는 투명한 아크릴재질로 형성된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 진공펌프용 화학물질 포집장치는 다음과 같이 사용된다.

먼저, 하우징(100)의 유입구(101)와 대응되는 내주면에 확산판(400)을 설치하고, 상기 하우징(100)의 상방을 통해 활성탄(200)을 삽입하며, 이 활성탄(200) 내주면으로 집진필터(300)를 삽입 결합한다.

이때, 상기 집진필터(300)의 상, 하단에는 밀폐패킹(302)이 부착되어 있고, 하단에 부착된 상기 밀폐패킹(302)이 상기 하우징(100) 바닥면에 밀착된다.

또한, 상기 집진필터(300)는 그 중앙부에 형성된 유로(301)가 상기 하우징(100)의 배출구(102)와 연통된다.

그리고, 상기 하우징(100)의 개방된 상부를 뚜껑(500)으로 마감하되, 이 뚜껑(500) 상면 테두리에 상기 뚜껑(500)을 관통하여 상기 하우징(100) 상면에 체결되는 체결부재(B)를 체결함으로써, 상기 하우징(100) 상면에 뚜껑(500)이 견고하게 고정된다.

이후, 도 3 내지 도 4를 참조하면, 상기 하우징(100)의 유입구(101)를 기계장치(예컨대, 콜드트랩등)와 연결하고, 상기 배출구(102)를 진공펌프(미도시)와 연결하여, 상기 진공펌프(미도시)를 작동시키게 되면, 상기 진공펌프(미도시)의 흡입압에 의해 상기 유입구(101)를 통해 기계장치 내의 기체가 강제흡입된다.

그러면, 상기 유입구(101)를 통해 상기 하우징(100)내로 공급된 기체가 상기 확산판(400)에 충돌되고, 이 기체가 아치형상의 상기 확산판(400)에 의해 상기 하우징(100) 내부 둘레방향을 따라 확산된 후, 상기 진공펌프(미도시)의 흡입압에 의해 상기 유로(301)방향으로 강제 이동된다.

이때, 상기 확산판(400)에 의해 확산된 기체는 상기 활성탄(200)을 통과하면서 그 내부에 포함된 불순물이 제거되고, 또한, 상기 집진필터(300)를 통과하면서 그 내부에 포함된 이물질이 제거된 후 상기 유로(301)에 도달하게 된다.

특히, 투명한 상기 뚜껑(500)을 통해 상기 하우징(100) 내부를 확인하여, 상기 활성탄(200) 및 집진필터(300)에 불순물 및 이물질이 정해진 량 이상 포집된 경우에는, 상기 뚜껑(500)을 분리하여 상기 하우징(100) 내에 설치된 상기 활성탄(200) 및 상기 집진필터(300)를 교체 할 수 있다.

이후, 상기 유로(301)에 도달한 기체는 상기 유로(301)에 안내되어 하방으로 이동되되, 상기 배출구(102)를 통해 상기 하우징(100)외부로 토출되어 상기 진공펌프(미도시)로 유입되는 것이다.

즉, 상기 유입구(101)를 통해 상기 하우징(100) 내로 유입된 불순물 및 이물질이 포함된 기체는, 상기 하우징(100) 내에서 정화된 후 상기 배출구(102)를 통해 진공펌프(미도시)로 유입되어, 진공펌프(미도시)의 오일이 오염되거나 혹은 불순물, 이물질이 진공펌프 내에 들러붙어 오염유발및 진공펌프가 손상되는 것이 방지되는 것이다.

상기와 같이 하우징 내에 활성탄(200) 및 집진필터(300)를 설치하여 기체에 포함된 불순물 및 이물질을 걸러내는 구조는, 하우징(100) 내로 공급되는 기체가 확산판(400)에 의해 고르게 확산되어 활성탄(200) 및 집진필터(300)의 특정부분에 불순물 또는 이물질이 적층되는 것이 방지되고, 불순물 또는 이물질의 적층 방지로 활성탄(200) 및 집진필터(300)의 성능이 장기간 유지되며, 활성탄(200)에서 1차로 불순물을 제거하되, 집진필터(300)를 통해 2차로 이물질을 제거하여 정화기능이 향상되고, 장기간 사용으로 인해 유지보수 비용 절감과 동시에 제품의 신뢰성이 향상되는 장점이 있다.

100 : 하우징 101 : 유입구
102 : 배출구 200 : 활성탄
300 : 집진필터 301 : 유로
302 : 밀폐패킹 400 : 확산판
500 : 뚜껑

Claims (3)

1. 상방이 개방된 중공형상으로 외면에 유입구(101)가 형성되고, 저면에 상기 유입구(101)와 직교되게 형성된 배출구(102)가 형성된 하우징(100)과;
   상기 하우징(100) 내부 둘레를 따라 형성되어 상기 유입구(101)를 통해 유입되는 기체에 포함된 불순물을 포집하는 활성탄(200);
   중앙부에 수직방향으로 관통 형성되어 상기 배출구(102)와 연통된 유로(301)가 형성되어 있고, 상기 활성탄(200) 내주면을 따라 밀착 설치되어 기체에 포함된 이물질을 걸러내는 집진필터(300);
   아치형상으로 형성되고, 상기 유입구(101)와 대응되는 상기 하우징(100) 내주면에 설치되어 상기 유입구(101)를 통해 유입되는 기체를 상기 하우징(100) 내부 둘레방향으로 확산하는 확산판(400); 및
   상기 하우징(100) 상면에 밀착 설치되어 상기 하우징(100)의 개방된 상방을 밀폐하는 뚜껑(500);
   으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 화학물질 포집장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 집진필터(300)는,
   상면 및 하면에 상기 하우징(100) 바닥면 및 상기 뚜껑(500)의 저면에 밀착되어 상기 하우징(100) 내의 기체가 상기 집진필터(300)의 상, 하단 부분을 통해 상기 유로(301)로 유입되는 것을 차단하는 밀폐패킹(302)을 부착하고 있는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 화학물질 포집장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 뚜껑(500)은,
   상기 하우징(100) 내부 공간을 육안으로 확인할 수 있는 투명한 아크릴재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 화학물질 포집장치.

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