KR20170004826A - Copper foil with carrier, copper-clad laminate and printed wiring board - Google Patents

Copper foil with carrier, copper-clad laminate and printed wiring board Download PDF

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Abstract

The present invention provides a copper foil with a carrier capable of suppressing an increase in the peel strength of the carrier foil even when a high temperature and long thermal history is applied and having stabilized peel strength. To solve this problem, the present invention provides a copper foil with a carrier comprising a carrier foil, a release layer and an ultra-thin copper foil in this order. The release layer is composed of 5-carboxybenzotriazole (5CBTA) and/or 4-carboxybenzotriazole (4CBTA). A 5CBTA/4CBTA ratio, which is a ratio of the adhesion amount of 5-carboxybenzotriazole to the adhesion amount of 4-carboxybenzotriazole in the release layer, is 3.0 or more.

Description

캐리어 부착 동박, 동장 적층판 및 프린트 배선판{COPPER FOIL WITH CARRIER, COPPER-CLAD LAMINATE AND PRINTED WIRING BOARD}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a copper-clad laminate, a copper clad laminate, a copper clad laminate,

본 발명은, 캐리어 부착 동박, 동장(銅張) 적층판 및 프린트 배선판에 관한 것이다.The present invention relates to a copper foil with a carrier, a copper clad laminate, and a printed wiring board.

프린트 배선판 제조를 위한 재료로서, 캐리어 부착 동박이 널리 사용되고 있다. 캐리어 부착 동박은, 유리-에폭시 기재, 페놀 기재, 폴리이미드 등의 절연 수지 기재와 열간 프레스 성형으로 장합(張合)되어 동장 적층판이 되고, 프린트 배선판의 제조에 사용되고 있다.As a material for producing a printed wiring board, a copper foil with a carrier is widely used. The copper foil with a carrier is bonded to an insulating resin base material such as a glass-epoxy base material, a phenol base material, or a polyimide to form a copper-clad laminate by hot press forming and is used in the production of a printed wiring board.

캐리어 부착 동박은, 캐리어박, 박리층 및 극박(極薄) 동박을 이 순서대로 구비한 구성을 전형적으로 갖는다. 이 박리층으로서, 특허문헌 1(일본국 특개평11-317574호 공보)에는, 질소 함유 화합물 등의 유기 화합물을 포함하는 유기 박리층이 제안되어 있으며, (1) 박리층의 형성이 용이하다, (2) 극박 동박 및 지지체 금속층(이하, 캐리어) 간의 박리 강도(A)가 균일하며, 기재에의 적층 후에 있어서의 극박 동박의 박리 강도(B)와 비교하여 낮은 값을 나타낸다, (3) 무기 재료를 사용하고 있지 않기 때문에, 극박 동박의 표면에 잔존하는 무기 재료를 제거하기 위한 기계적인 연마 공정 및 산세(酸洗) 공정을 필요로 하지 않고, 그 때문에, 배선 패턴의 형성이 가공 공정수를 삭감함으로써 간단해진다, (4) 박리 강도(A)는, 작지만, 복합 동박의 취급 시에 캐리어로부터 극박 동박이 분리하는 것을 방지하기 위해서는 충분하다, (5) 복합 동박은, 기재에의 적층 후에 충분한 박리 강도(B)를 갖고, 극박 동박이 프린트 배선 기판에의 가공 시에 기재로부터 박리하는 경우는 없다, (6) 캐리어는, 고온에서의 적층 후에 있어서도, 극박 동박으로부터 분리할 수 있다, (7) 캐리어에 잔존하는 박리층을 제거하는 것이 용이하기 때문에, 캐리어를 재이용하는 것이 용이하다는 다양한 이점이 있는 것이 개시되어 있다.The carrier-attached copper foil typically has a structure in which a carrier foil, a release layer, and an ultra-thin copper foil are provided in this order. As the release layer, an organic release layer containing an organic compound such as a nitrogen-containing compound is proposed in JP-A-11-317574. (1) A release layer is easily formed. (2) the peeling strength (A) between the ultra-thin copper foil and the support metal layer (hereinafter, carrier) is uniform and exhibits a low value compared to the peeling strength (B) of the ultra-thin copper foil after lamination to the substrate; (3) It is not necessary to use a mechanical polishing process and a pickling process to remove the inorganic material remaining on the surface of the ultra-thin copper foil. Therefore, the formation of the wiring pattern can reduce the number of processing steps (4) The peel strength (A) is small, but it is sufficient to prevent the ultra-thin copper foil from separating from the carrier during handling of the composite copper foil. (5) The composite copper foil is sufficient Exfoliation (6) The carrier can be separated from the ultra-thin copper foil even after lamination at a high temperature. (7) Since it is easy to remove the peeling layer remaining on the carrier, there are various advantages that it is easy to reuse the carrier.

또한, 특허문헌 2(일본국 특개2003-328178호 공보)에는, 유기제를 50ppm∼2000ppm 함유하는 산세 용액을 사용하여, 캐리어박의 표면을 산세 용해하면서, 동시에 유기제를 흡착시킴에 의해 산세 흡착 유기 피막을 유기 박리층으로서 형성하는 것을 포함하는, 캐리어 부착 동박의 제조 방법이 개시되어 있다.In Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-328178), a pickling solution containing 50 ppm to 2000 ppm of an organic agent is used to pick up and dissolve the surface of a carrier foil, and at the same time, A method for producing a copper foil with a carrier, which comprises forming an organic coating film as an organic peeling layer.

특허문헌 1 및 2 중 어느 하나에 있어서도, 유기 박리층 형성을 위한 유기제로서, 카르복시벤조트리아졸(CBTA)의 사용이 개시되어 있다. 카르복시벤조트리아졸(CBTA)에 관한 것으로서, 5-카르복시벤조트리아졸(5CBTA)과 4-카르복시벤조트리아졸(4CBTA)의 2개의 화학 구조가 존재하는 것이 알려져 있지만, 특허문헌 1 및 2에는 5CBTA 및 4CBTA에 관한 기재는 일체 되어 있지 않다.In either of Patent Documents 1 and 2, the use of carboxybenzotriazole (CBTA) as an organic agent for forming an organic peeling layer is disclosed. Carboxybenzotriazole (CBTA) is known to have two chemical structures of 5-carboxybenzotriazole (5CBTA) and 4-carboxybenzotriazole (4CBTA), but Patent Documents 1 and 2 disclose that 5CBTA and The description regarding 4CBTA is not integrated.

그런데, 최근, 프린트 배선판의 실장 밀도를 올려서 소형화하기 위해서, 프린트 배선판의 다층화가 널리 행해지도록 되어 오고 있다. 이러한 다층 프린트 배선판은, 휴대용 전자 기기의 대부분에서, 경량화나 소형화를 목적으로 하여 이용되고 있다. 그리고, 이 다층 프린트 배선판에는, 층간 절연층의 추가적인 두께의 저감 및 배선판으로서의 한층 더 경량화가 요구되고 있다. 그래서, 최근의 다층 프린트 배선판의 제조 방법에는, 소위 코어 기판을 사용하지 않고, 절연 수지층과 도체층이 교호로 적층되는 코어리스 빌드업법을 사용한 제조 방법이 채용되고 있다.In recent years, in order to increase the mounting density of the printed wiring board and make it compact, multilayered printed wiring boards have been widely used. Such a multilayer printed wiring board has been used for the purpose of weight reduction and miniaturization in most of portable electronic apparatuses. In addition, the multilayer printed wiring board is required to further reduce the thickness of the interlayer insulating layer and to further reduce the weight thereof as a wiring board. Thus, in recent multilayer printed wiring board manufacturing methods, a manufacturing method using a coreless build-up method in which an insulating resin layer and a conductor layer are alternately stacked is employed without using a so-called core substrate.

일본국 특개평11-317574호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-317574 일본국 특개2003-328178호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-328178

그런데, 코어리스 빌드업법 등에서의 복수회의 적층에 의해 복수회의 고온 또한 장시간의 열이력을 부여하면 캐리어박 및 극박 동박 간의 박리 강도가 대폭 상승할 수 있다는 문제가 있었다. 이 때문에, 고온 또한 장시간의 열이력을 부여해도 캐리어박 및 극박 동박 간의 박리 강도가 상승하기 어려운, 즉 박리 강도가 안정화한 캐리어 부착 동박이 요구된다.However, there has been a problem in that the peeling strength between the carrier foil and the ultra-thin copper foil can be significantly increased if a plurality of high-temperature and long-time thermal history is applied by multiple lamination in the coreless build-up method or the like. Therefore, there is a demand for a copper foil with a carrier in which the peeling strength between the carrier foil and the ultra-thin copper foil is unlikely to increase, that is, the peel strength is stabilized even when a high temperature or a long thermal history is applied.

본 발명자들은, 이번, 캐리어 부착 동박의 박리층에 있어서, 5-카르복시벤조트리아졸의 부착량의 4-카르복시벤조트리아졸의 부착량에 대한 비인, 5CBTA/4CBTA비를 3.0 이상으로 함에 의해, 고온 또한 장시간의 열이력을 부여해도 캐리어박의 박리 강도의 상승을 억제할 수 있다, 즉 박리 강도가 안정화한다는 지견을 얻었다.The inventors of the present invention found that the 5CBTA / 4CBTA ratio, which is the ratio of the adhesion amount of 5-carboxybenzotriazole to the adhesion amount of 4-carboxybenzotriazole, in the release layer of the copper foil with a carrier is 3.0 or more, The increase of the peel strength of the carrier foil can be suppressed, that is, the peel strength is stabilized.

따라서, 본 발명의 목적은, 고온 또한 장시간의 열이력을 부여해도 캐리어박의 박리 강도의 상승을 억제할 수 있는, 즉 박리 강도가 안정화한 캐리어 부착 동박을 제공하는 것에 있다.Therefore, an object of the present invention is to provide a copper foil with a carrier which can suppress an increase in the peel strength of the carrier foil even when a high temperature or a long thermal history is applied, that is, the peel strength is stabilized.

본 발명의 일 태양에 의하면, 캐리어박, 박리층 및 극박 동박을 이 순서대로 구비한 캐리어 부착 동박으로서,According to one aspect of the present invention, there is provided a carrier-coated copper foil having a carrier foil, a release layer and an ultra-

상기 박리층이, 5-카르복시벤조트리아졸(5CBTA) 및/또는 4-카르복시벤조트리아졸(4CBTA)을 포함하여 이루어지고, 상기 박리층에 있어서의 5-카르복시벤조트리아졸의 부착량의 4-카르복시벤조트리아졸의 부착량에 대한 비인, 5CBTA/4CBTA비가 3.0 이상이 되는, 캐리어 부착 동박이 제공된다.Wherein the release layer comprises 5-carboxybenzotriazole (5CBTA) and / or 4-carboxybenzotriazole (4CBTA), wherein the adhesion amount of 5-carboxybenzotriazole in the release layer is 4-carboxy And a 5CBTA / 4CBTA ratio of not less than 3.0, which is a ratio to the adhesion amount of benzotriazole, is provided.

본 발명의 다른 일 태양에 의하면, 상기 태양의 캐리어 부착 동박을 사용하여 얻어진 동장 적층판이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a copper clad laminate obtained by using the above-described copper foil with a carrier.

본 발명의 다른 일 태양에 의하면, 상기 태양의 캐리어 부착 동박을 사용하여 얻어진 프린트 배선판이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a printed wiring board obtained using the above-described copper foil with a carrier.

캐리어carrier 부착 동박 Attached copper foil

본 발명의 캐리어 부착 동박은, 캐리어박, 박리층 및 극박 동박을 이 순서대로 구비한 것이다. 박리층은, 5-카르복시벤조트리아졸(이하, 5CBTA라고 함) 및/또는 4-카르복시벤조트리아졸(이하, 4CBTA라고 함)을 포함하여 이루어진다. 4CBTA 및 5CBTA의 화학 구조식은 이하와 같다.The carrier-applied copper foil of the present invention comprises a carrier foil, a release layer and an ultra-thin copper foil in this order. The release layer comprises 5-carboxybenzotriazole (hereinafter referred to as 5CBTA) and / or 4-carboxybenzotriazole (hereinafter referred to as 4CBTA). The chemical structures of 4CBTA and 5CBTA are as follows.

Figure pat00001
Figure pat00001

본 발명의 캐리어 부착 동박은, 박리층에 있어서의 5CBTA의 부착량의 4CBTA의 부착량에 대한 비인, 5CBTA/4CBTA비가 3.0 이상이다. 따라서, 5CBTA는 필수 성분인 한편, 4CBTA는 임의 성분이라고 할 수 있다. 어쨌든, 캐리어 부착 동박은, 본 발명 특유의 박리층을 채용하는 것 이외에는, 공지의 층 구성이 채용 가능하다.The copper foil with a carrier of the present invention has a 5CBTA / 4CBTA ratio of 3.0 or more, which is the ratio of the adhesion amount of 5CBTA to the adhesion amount of 4CBTA in the release layer. Thus, 5CBTA is an essential component, while 4CBTA is an optional component. In any case, the carrier-bonded copper foil may employ a known layer structure other than the one employing the release layer peculiar to the present invention.

이와 같이, 본 발명의 캐리어 부착 동박의 박리층에 있어서는, 5CBTA/4CBTA비를 3.0 이상으로 함에 의해, 예상 외에도, 고온 또한 장시간의 열이력을 부여해도 캐리어박의 박리 강도의 상승을 억제할 수 있다, 즉 박리 강도를 안정화시킬 수 있다. 이 점, 상술과 같이 종래부터 CBTA는 유기 박리층에 사용되어 왔지만, 5CBTA/4CBTA비를 3.0 이상으로 한 것은 아직 알려져 있지 않다. 그러한 것도, 출원인이 아는 한, 시판되어 있는 CBTA 혼합물은, 5CBTA 및 4CBTA를, 약 6:4의 비율(5CBTA:4CBTA비)로 함유하는 것이며, 그 혼합물의 5CBTA/4CBTA비는 약 1.5 에 지나지 않는다. 이러한 낮은 5CBTA/4CBTA비의 CBTA 혼합물을 사용한 박리층에서는, 코어리스 빌드업법 등에서의 복수회의 적층에 의해 복수회의 고온 또한 장시간의 열이력을 부여하면 캐리어박 및 극박 동박 간의 박리 강도가 대폭 상승할 수 있다는 문제가 있었다. 이에 반해, 본 발명자의 이번의 지견에 의하면, 캐리어 부착 동박의 박리층에 있어서, 5CBTA/4CBTA비를 3.0 이상으로 함에 의해, 상기 문제를 예상 외로도 해소할 수 있다. 따라서, 본 발명의 캐리어 부착 동박은, 복수회의 적층에 의해 고온 또한 장시간의 열이력이 복수회 주어지는 코어리스 빌드업법 등의 프린트 배선판의 적층 프로세스에 있어서, 상태(常態)(고온 또한 장시간의 열이력이 주어지기 전)에서의 박리 강도에 대한 박리 강도의 상승률이 낮은, 즉 안정한 박리 강도(예를 들면 10∼20gf/㎝)를 발휘할 수 있다. 따라서, 본 발명의 캐리어 부착 동박은, 코어리스 빌드업법 등의 프린트 배선판의 적층 프로세스에 매우 유용하다고 할 수 있다.As described above, by setting the 5CBTA / 4CBTA ratio to 3.0 or more in the release layer of the copper foil with a carrier of the present invention, it is possible to suppress the rise of the peel strength of the carrier foil even if a thermal history of high temperature and long time is given , That is, the peel strength can be stabilized. In this regard, as described above, CBTA has been conventionally used in the organic release layer, but it is not yet known that the 5CBTA / 4CBTA ratio is set to 3.0 or more. As such, as far as the applicants know, commercially available CBTA mixtures contain 5CBTA and 4CBTA in a ratio of about 6: 4 (5CBTA: 4CBTA ratio), and the 5CBTA / 4CBTA ratio of the mixture is only about 1.5 . In the peeling layer using such a CBTA mixture having a low 5CBTA / 4CBTA ratio, when a plurality of high-temperature and long-time heat histories are applied by multiple lamination in the coreless build-up method or the like, peeling strength between the carrier foil and the ultra- . On the other hand, according to the present inventor's findings, the above problem can be solved unexpectedly by setting the 5CBTA / 4CBTA ratio to 3.0 or more in the release layer of the copper foil with a carrier. Therefore, the copper foil with a carrier of the present invention can be used in a lamination process of a printed wiring board such as a coreless build-up method in which thermal history of high temperature and long time is given plural times by stacking a plurality of times, (For example, 10 to 20 gf / cm) when the peel strength is high, i.e., before the peel strength is lowered. Therefore, the copper foil with a carrier of the present invention is very useful for a lamination process of a printed wiring board such as a coreless build-up method.

박리층은, 캐리어박 및 극박 동박 간의 박리 강도를 약하게 하여, 당해 강도의 안정성을 담보하고, 또한 고온에서의 프레스 성형 시에 캐리어박과 동박의 사이에서 일어날 수 있는 상호 확산을 억제하는 기능을 갖는 층이다. 박리층은, 캐리어박의 한쪽의 면에 형성되는 것이 일반적이지만, 양면에 형성되어도 된다. 박리층은 유기 박리층이며, 5CBTA 및 소망에 의해 4CBTA를 포함한다. 박리층은, 5CBTA 및 4CBTA 이외에, 유기 박리층의 성분으로서 알려진 다른 성분을 함유하고 있어도 된다.The release layer has a function of suppressing the peeling strength between the carrier foil and the ultra-thin copper foil to ensure the stability of the strength and to suppress the mutual diffusion which may occur between the carrier foil and the copper foil at the time of press molding at high temperature Layer. The release layer is generally formed on one side of the carrier foil, but it may be formed on both sides. The release layer is an organic release layer, and includes 5CBTA and, optionally, 4CBTA. The release layer may contain, in addition to 5CBTA and 4CBTA, other components known as components of the organic release layer.

박리층에 있어서의 5CBTA/4CBTA비는 3.0 이상이며, 바람직하게는 3.5∼30이다. 이러한 범위 내이면, 안정한 박리 강도를 한층 더 발휘하기 쉬워진다. 또, 박리층은 5CBTA를 단독으로 포함하는(4CBTA를 포함하지 않음) 것이어도 된다.The 5CBTA / 4CBTA ratio in the release layer is 3.0 or more, preferably 3.5 to 30. Within this range, stable peel strength can be further exerted. In addition, the release layer may be composed of only 5CBTA (not including 4CBTA).

박리층은, 5CBTA 및 존재하는 경우에는 4CBTA를 합계로 3㎎/㎡ 이상의 부착량으로 포함하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 5㎎/㎡ 이상, 더 바람직하게는 8㎎/㎡ 이상이다. 부착량의 상한값은 특히 한정되지 않지만, 캐리어 부착 동박의 핸들링성의 향상 및 박리 강도의 추가적인 안정화를 위해, 박리층은, 5CBTA 및 존재하는 경우에는 4CBTA를 합계로 80㎎/㎡ 이하의 부착량으로 포함하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 50㎎/㎡ 이하, 더 바람직하게는 30㎎/㎡ 이하이다.The release layer preferably contains 5CBTA and, if present, 4CBTA in an amount of 3 mg / m 2 or more in total, more preferably 5 mg / m 2 or more, and further preferably 8 mg / m 2 or more. Although the upper limit value of the adhesion amount is not particularly limited, in order to improve the handling property of the copper foil with a carrier and further stabilize the peel strength, it is preferable that the release layer contains 5CBTA and 4CBTA when present in an adhesion amount of 80 mg / More preferably not more than 50 mg / m 2, still more preferably not more than 30 mg / m 2.

박리층의 형성은 캐리어박의 적어도 한쪽의 표면에, 5CBTA 및 소망에 의해 4CBTA를 포함하는 CBTA 용액을 접촉시키고, CBTA 성분을 캐리어박의 표면에 고정되는 것 등에 의해 행할 수 있다. CBTA 용액은, 5CBTA를 50∼6000ppm, 4CBTA를 0∼3000ppm 함유하고, 5CBTA/4CBTA의 농도비가 2 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는, 5CBTA를 300∼800ppm, 4CBTA를 0∼150ppm 함유하고, 5CBTA/4CBTA의 농도비가 2∼8이다. CBTA 용액의 액온은 20∼60℃의 범위인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 30∼40℃이다. CBTA 용액에서의 처리 시간은 5∼120초의 범위인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 30∼60초이다. 캐리어박의 CBTA 용액에의 접촉은, CBTA 용액에의 침지, CBTA 용액의 분무, CBTA 용액의 유하 내지 적하 등에 의해 행하면 된다. 또한, CBTA의 캐리어박 표면에의 고정은, CBTA 용액의 흡착이나 건조, CBTA 용액 중의 CBTA 성분의 전착 등에 의해 행하면 된다. 예를 들면, 캐리어박으로서 동박을 사용하는 경우에는, 박리층의 형성은, 캐리어박을 산세 처리하면서 CBTA 성분을 동시에 흡착시켜서 행하는 것이 바람직하고, 그 경우, CBTA 용액은, 황산 농도 50∼250g/L 및 구리 농도 2∼20g/L인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 황산 농도 100∼200g/L 및 구리 농도 5∼15g/L이다. 이와 같이 함으로써 캐리어박의 표면을 산세 용해시키면서, 용출한 금속 이온과 CBTA 성분으로 금속 착체를 형성시키고, 그것을 캐리어박 상에 침전 흡착시킬 수 있다. 그 결과, 침전 흡착하는 CBTA 성분의 흡착 조직이 미세해지고, 또한, 단순히 CBTA 성분을 분산시킨 수용액과 접촉하여 침전 흡착시키는 경우에 비하여, CBTA 성분을 균일하게 흡착시킬 수 있다.The release layer can be formed by bringing a CBTA solution containing 4CBTA into contact with at least one surface of the carrier foil by 5CBTA and optionally fixing the CBTA component to the surface of the carrier foil. It is preferable that the CBTA solution contains 50 to 6000 ppm of 5CBTA and 0 to 3000 ppm of 4CBTA and that the concentration ratio of 5CBTA / 4CBTA is 2 or more, more preferably 5CBTA to 300 to 800ppm and 4CBTA to 0 to 150ppm, / 4CBTA has a concentration ratio of 2 to 8. The liquid temperature of the CBTA solution is preferably in the range of 20 to 60 캜, more preferably 30 to 40 캜. The treatment time in the CBTA solution is preferably in the range of 5 to 120 seconds, more preferably 30 to 60 seconds. The contact of the carrier foil with the CBTA solution may be carried out by immersion in the CBTA solution, spraying of the CBTA solution, or dropping or dropping of the CBTA solution. The fixing of the CBTA to the surface of the carrier foil may be performed by adsorption or drying of the CBTA solution, electrodeposition of the CBTA component in the CBTA solution, and the like. For example, in the case of using a copper foil as the carrier foil, it is preferable that the separation layer is formed by simultaneously adsorbing the CBTA component while pickling the carrier foil. In that case, the CBTA solution preferably has a sulfuric acid concentration of 50 to 250 g / L and a copper concentration of 2 to 20 g / L, more preferably a sulfuric acid concentration of 100 to 200 g / L and a copper concentration of 5 to 15 g / L. By doing so, a metal complex can be formed from the eluted metal ions and the CBTA component while allowing the surface of the carrier foil to be pickled and dissolved, and it can be precipitated and adsorbed on the carrier foil. As a result, the adsorbent structure of the CBTA component to be precipitated and adsorbed becomes finer, and the CBTA component can be uniformly adsorbed as compared with the case where the adsorbent is contacted with the aqueous solution in which the CBTA component is dispersed and precipitated and adsorbed.

캐리어박은, 극박 동박을 지지하여 그 핸들링성을 향상시키기 위한 박이다. 캐리어박의 예로서는, 알루미늄박, 동박, 스테인레스(SUS)박, 표면을 메탈코팅한 수지 필름 등을 들 수 있고, 바람직하게는 동박이다. 동박은 압연 동박 및 전해 동박 중 어느 것이어도 된다. 캐리어박의 두께는 전형적으로는 250㎛ 이하이며, 바람직하게는 9㎛∼200㎛이다.The carrier foil is a foil for supporting the ultra-thin copper foil and improving its handling property. Examples of the carrier foil include an aluminum foil, a copper foil, a stainless steel (SUS) foil, a resin film having a metal coating on its surface, and the like. The copper foil may be either a rolled copper foil or an electrolytic copper foil. The thickness of the carrier foil is typically 250 탆 or less, preferably 9 탆 to 200 탆.

극박 동박은, 캐리어 부착 극박 동박에 채용되는 공지의 구성이면 되며 특히 한정되지 않는다. 예를 들면, 극박 동박은, 무전해 구리 도금법 및 전해 구리 도금법 등의 습식 성막법, 스퍼터링 및 화학 증착 등의 건식 성막법, 또는 그들의 조합에 의해 형성한 것이면 된다. 극박 동박의 바람직한 두께는 0.1∼7.0㎛이며, 보다 바람직하게는 0.5∼5.0㎛, 더 바람직하게는 1.0∼3.0㎛이다.The ultra-thin copper foil is not particularly limited as long as it has a known construction adopted for the ultra-thin copper foil with a carrier. For example, the ultra-thin copper foil may be formed by a wet film formation method such as an electroless copper plating method and an electrolytic copper plating method, a dry film formation method such as sputtering and chemical vapor deposition, or a combination thereof. The thickness of the ultra-thin copper foil is preferably from 0.1 to 7.0 탆, more preferably from 0.5 to 5.0 탆, and still more preferably from 1.0 to 3.0 탆.

극박 동박의 박리층과 반대 측의 면은 조화면인 것이 바람직하다. 즉, 극박 동박의 한쪽의 면에는 조화 처리가 이루어져 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 함으로써 동장 적층판이나 프린트 배선판 제조 시에 있어서의 수지층과의 밀착성을 향상할 수 있다. 이 조화 처리는, 극박 동박 상에 미세 구리 알맹이를 석출 부착시키는 번트 도금(burnt plating) 공정과, 이 미세 구리 알맹이의 탈락을 방지하기 위한 씰 도금(seal plating) 공정을 포함하는 적어도 2종류의 도금 공정을 거치는 공지의 도금 방법에 따라 행해지는 것이 바람직하다.It is preferable that the surface of the ultra-thin copper foil on the opposite side of the release layer is coarsened. That is, it is preferable that the one surface of the ultra-thin copper foil is subjected to a roughening treatment. By doing so, it is possible to improve the adhesion with the resin layer at the time of producing the copper clad laminate or the printed wiring board. This roughening treatment includes at least two plating processes including a burnt plating process for depositing and depositing fine copper particles on the ultra thin copper foil and a seal plating process for preventing the fine copper particles from coming off It is preferable that the plating is carried out according to a known plating method.

박리층과 캐리어박 및/또는 극박 동박의 사이에 다른 기능층을 마련해도 된다. 그러한 다른 기능층의 예로서는 보조 금속층을 들 수 있다. 보조 금속층은 니켈 및/또는 코발트로 이루어지는 것이 바람직하다. 이러한 보조 금속층을 캐리어박의 표면 측 및/또는 극박 동박의 표면 측에 형성함으로써, 고온 또는 장시간의 열간 프레스 성형 시에 캐리어박과 극박 동박의 사이에서 일어날 수 있는 상호 확산을 억제하고, 캐리어박의 박리 강도의 안정성을 담보할 수 있다. 보조 금속층의 두께는, 0.001∼3㎛로 하는 것이 바람직하다.Another functional layer may be provided between the peeling layer and the carrier foil and / or the ultra-thin copper foil. An example of such another functional layer is an auxiliary metal layer. The auxiliary metal layer is preferably made of nickel and / or cobalt. By forming such an auxiliary metal layer on the surface side of the carrier foil and / or on the surface side of the ultra-thin copper foil, mutual diffusion that may occur between the carrier foil and the ultra-thin copper foil during hot- The stability of the peel strength can be secured. The thickness of the auxiliary metal layer is preferably 0.001 to 3 mu m.

소망에 의해, 극박 동박에는 방청 처리가 실시되어 있어도 된다. 방청 처리는, 아연을 사용한 도금 처리를 포함하는 것이 바람직하다. 아연을 사용한 도금 처리는, 아연 도금 처리 및 아연 합금 도금 처리 중 어느 것이어도 되며, 아연 합금 도금 처리는 아연-니켈 합금 처리가 특히 바람직하다. 아연-니켈 합금 처리는 적어도 Ni 및 Zn을 포함하는 도금 처리이면 되며, Sn, Cr, Co 등의 다른 원소를 더 포함하고 있어도 된다. 아연-니켈 합금 도금에 있어서의 Ni/Zn 부착 비율은, 질량비로, 1.2∼10이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2∼7, 더 바람직하게는 2.7∼4이다. 또한, 방청 처리는 크로메이트 처리를 더 포함하는 것이 바람직하다. 이 크로메이트 처리는 아연을 사용한 도금 처리 후에, 아연을 포함하는 도금의 표면에 행해지는 것이 보다 바람직하다. 이와 같이 함으로써 방청성을 더 향상시킬 수 있다. 특히 바람직한 방청 처리는, 아연-니켈 합금 도금 처리와 그 후의 크로메이트 처리와의 조합이다.Depending on the desire, the ultra thin copper foil may be subjected to anti-corrosive treatment. The rust-preventive treatment preferably includes a plating treatment using zinc. The plating process using zinc may be either a zinc plating process or a zinc alloy plating process, and the zinc alloy plating process is particularly preferably a zinc-nickel alloy process. The zinc-nickel alloy treatment may be a plating treatment containing at least Ni and Zn, and may further include other elements such as Sn, Cr, and Co. The ratio of Ni / Zn in the zinc-nickel alloy plating is preferably 1.2 to 10, more preferably 2 to 7, and still more preferably 2.7 to 4 in mass ratio. It is preferable that the anti-rust treatment further includes a chromate treatment. It is more preferable that the chromate treatment is performed on the surface of the plating containing zinc after the plating treatment with zinc. By doing so, the anti-rust property can be further improved. A particularly preferable rust-preventive treatment is a combination of a zinc-nickel alloy plating treatment and a subsequent chromate treatment.

소망에 의해, 극박 동박의 표면에는 실란 커플링제 처리가 실시되어, 실란 커플링제층이 형성되어 있어도 된다. 이에 따라 내습성, 내약품성 및 접착제 등과의 밀착성 등을 향상할 수 있다. 실란 커플링제층은, 실란 커플링제를 적의 희석하여 도포하고, 건조시킴에 의해 형성할 수 있다. 실란 커플링제의 예로서는, 4-글리시딜부틸트리메톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란 등의 에폭시 관능성 실란 커플링제, 또는 γ-아미노프로필트리메톡시실란, N-β(아미노에틸)γ-아미노프로필트리메톡시실란, N-3-(4-(3-아미노프로폭시)부톡시)프로필-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-페닐-γ-아미노프로필트리메톡시실란 등의 아미노 관능성 실란 커플링제, 또는 γ-메르캅토프로필트리메톡시실란 등의 메르캅토 관능성 실란 커플링제 또는 비닐트리메톡시실란, 비닐페닐트리메톡시실란 등의 올레핀 관능성 실란 커플링제, 또는 γ-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란 등의 아크릴 관능성 실란 커플링제, 또는 이미다졸실란 등의 이미다졸 관능성 실란 커플링제, 또는 트리아진실란 등의 트리아진 관능성 실란 커플링제 등을 들 수 있다.Optionally, the surface of the ultra-thin copper foil may be treated with a silane coupling agent to form a silane coupling agent layer. As a result, it is possible to improve the moisture resistance, chemical resistance, adhesion with the adhesive, and the like. The silane coupling agent layer can be formed by applying a silane coupling agent with dilution and drying. Examples of the silane coupling agent include epoxy functional silane coupling agents such as 4-glycidylbutyltrimethoxysilane and? -Glycidoxypropyltrimethoxysilane, or? -Aminopropyltrimethoxysilane, N-? ( Aminopropyltrimethoxysilane, N-3- (4- (3-aminopropoxy) butoxy) propyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N-phenyl- An amino functional silane coupling agent such as silane coupling agent, an amino functional silane coupling agent such as silane coupling agent, an amino functional silane coupling agent such as silane coupling agent, or a silane coupling agent such as a mercapto functional silane coupling agent such as γ-mercaptopropyltrimethoxysilane or an olefin functional silane coupling agent such as vinyltrimethoxysilane or vinylphenyltrimethoxysilane Or an acryl functional silane coupling agent such as γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, or an imidazole functional silane coupling agent such as imidazole silane, or a triazine functional silane coupling agent such as triazinilane .

동장 Tie 적층판Laminates

본 발명의 캐리어 부착 동박은 프린트 배선판용 동장 적층판의 제작에 사용되는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 바람직한 태양에 의하면, 상기 캐리어 부착 동박을 사용하여 얻어진 동장 적층판이 제공된다. 이 동장 적층판은, 본 발명의 캐리어 부착 동박과, 이 캐리어 부착 동박의 극박 동박에 밀착하여 마련되는 수지층을 구비하여 이루어진다. 캐리어 부착 동박은 수지층의 편면에 마련되어도 되며, 양면에 마련되어도 된다. 수지층은, 수지, 바람직하게는 절연성 수지를 포함하여 이루어진다. 수지층은 프리프레그 및/또는 수지 시트인 것이 바람직하다. 프리프레그란, 합성 수지판, 유리판, 유리 직포, 유리 부직포, 종이 등의 기재에 합성 수지를 함침시킨 복합 재료의 총칭이다. 절연성 수지의 바람직한 예로서는, 에폭시 수지, 시아네이트 수지, 비스말레이미드트리아진 수지(BT 수지), 폴리페닐렌에테르 수지, 페놀 수지 등을 들 수 있다. 또한, 수지 시트를 구성하는 절연성 수지의 예로서는, 에폭시 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지 등의 절연 수지를 들 수 있다. 또한, 수지층에는 절연성을 향상시키는 등의 관점에서 실리카, 알루미나 등의 각종 무기 입자로 이루어지는 필러 입자 등이 함유되어 있어도 된다. 수지층의 두께는 특히 한정되지 않지만, 1∼1000㎛가 바람직하고, 보다 바람직하게는 2∼400㎛이며, 더 바람직하게는 3∼200㎛이다. 수지층은 복수의 층으로 구성되어 있어도 된다. 프리프레그 및/또는 수지 시트 등의 수지층은 미리 동박 표면에 도포되는 프라이머 수지층을 거쳐서 캐리어 부착 극박 동박에 마련되어 있어도 된다.The carrier-coated copper foil of the present invention is preferably used for producing a copper-clad laminate for printed wiring boards. That is, according to a preferred embodiment of the present invention, there is provided a copper clad laminate obtained by using the copper foil with a carrier. This copper-clad laminate comprises the copper foil with a carrier of the present invention and a resin layer provided in close contact with the ultra-thin copper foil of the copper foil with a carrier. The carrier-attached copper foil may be provided on one side of the resin layer or on both sides. The resin layer comprises a resin, preferably an insulating resin. The resin layer is preferably a prepreg and / or a resin sheet. The prepreg is a generic name of a composite material obtained by impregnating a base material such as a synthetic resin plate, a glass plate, a glass woven fabric, a glass nonwoven fabric, or paper with a synthetic resin. Preferable examples of the insulating resin include an epoxy resin, a cyanate resin, a bismaleimide triazine resin (BT resin), a polyphenylene ether resin, and a phenol resin. Examples of the insulating resin constituting the resin sheet include insulating resins such as epoxy resin, polyimide resin and polyester resin. Further, the resin layer may contain filler particles composed of various inorganic particles such as silica and alumina from the viewpoint of improving the insulating property and the like. The thickness of the resin layer is not particularly limited, but is preferably 1 to 1000 占 퐉, more preferably 2 to 400 占 퐉, and still more preferably 3 to 200 占 퐉. The resin layer may be composed of a plurality of layers. A resin layer such as a prepreg and / or a resin sheet may be provided in the ultra-thin copper foil with a carrier through a primer resin layer previously coated on the surface of the copper foil.

프린트 print 배선판Wiring board

본 발명의 캐리어 부착 동박은 프린트 배선판의 제작에 사용되는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 바람직한 태양에 의하면, 상기 캐리어 부착 동박을 사용하여 얻어진 프린트 배선판이 제공된다. 본 태양에 의한 프린트 배선판은, 수지층과, 구리층이 이 순서대로 적층된 층구성을 포함하여 이루어진다. 또한, 수지층에 대해서는 동장 적층판에 관하여 상술한 바와 같다. 어쨌든, 프린트 배선판은 공지의 층구성이 채용 가능하다. 프린트 배선판에 관한 구체예로서는, 프리프레그의 편면 또는 양면에 본 발명의 극박 동박을 접착시켜 경화한 적층체로 한 후 회로 형성한 편면 또는 양면 프린트 배선판이나, 이들을 다층화한 다층 프린트 배선판 등을 들 수 있다. 또한, 다른 구체예로서는, 수지 필름 상에 본 발명의 극박 동박을 형성하여 회로를 형성하는 플렉서블 프린트 배선판, COF, TAB 테이프 등도 들 수 있다. 또 다른 구체예로서는, 본 발명의 극박 동박에 상술의 수지층을 도포한 수지 부착 동박(RCC)을 형성하고, 수지층을 절연 접착재층으로서 상술의 프린트 배선판에 적층한 후, 극박 동박을 배선층의 전부 또는 일부로서 모디파이드·세미 애더티브(MSAP)법, 서브 트랙티브법 등의 방법으로 회로를 형성한 빌드업 배선판이나, 극박 동박을 제거하여 세미 애더티브(SAP)법으로 회로를 형성한 빌드업 배선판, 반도체 집적 회로 상에 수지 부착 동박의 적층과 회로 형성을 교호로 반복하는 다이렉트·빌드업·온·웨이퍼 등을 들 수 있다. 본 발명의 캐리어 부착 동박은, 소위 코어 기판을 사용하지 않고, 절연 수지층과 도체층이 교호로 적층되는 코어리스 빌드업법을 사용한 제조 방법에도 바람직하게 사용할 수 있다.The copper foil with a carrier of the present invention is preferably used in the production of a printed wiring board. That is, according to a preferred embodiment of the present invention, there is provided a printed wiring board obtained using the copper foil with a carrier. The printed wiring board according to the present embodiment comprises a layer structure in which a resin layer and a copper layer are laminated in this order. The resin layer is as described above for the copper clad laminate. In any case, a known layer structure can be employed for the printed wiring board. As specific examples of the printed wiring board, a single-sided or double-sided printed wiring board formed by forming a laminate obtained by adhering the ultra-thin copper foil of the present invention to one side or both sides of a prepreg and curing it, or a multilayered printed wiring board obtained by multilayering these can be given. As another specific example, a flexible printed wiring board, a COF, a TAB tape, or the like which forms a circuit by forming the ultra-thin copper foil of the present invention on a resin film can be used. As another specific example, the resin-coated copper foil (RCC) coated with the resin layer described above is formed on the ultra-thin copper foil of the present invention, the resin layer is laminated on the above-mentioned printed wiring board as an insulating adhesive layer, Or a buildup circuit in which a circuit is formed by a method such as a modified semiaddition (MSAP) method or a subtractive method, or a build-up circuit in which a circuit is formed by a semiadaptive (SAP) method by removing an ultra- A direct build-up-on-wafer in which a lamination of a resin-coated copper foil and a circuit formation are alternately repeated on a wiring board and a semiconductor integrated circuit. The copper foil with a carrier of the present invention can be preferably used for a manufacturing method using a coreless build-up method in which an insulating resin layer and a conductor layer are alternately laminated without using a so-called core substrate.

[실시예][Example]

본 발명을 이하의 예에 의해 더 구체적으로 설명한다.The present invention will be described more specifically with reference to the following examples.

예1∼9Examples 1-9

캐리어 부착 동박의 제작 및 평가를 이하와 같이 하여 행했다.The manufacture and evaluation of the copper foil with a carrier were carried out as follows.

(1) 캐리어박의 준비(1) Preparation of carrier foil

캐리어박으로서, 18㎛ 두께의 조화 처리 및 방청 처리를 행하고 있지 않은 전해 동박(미쓰이긴조쿠고교 가부시키가이샤제, Class-Ⅲ)을 준비했다.As the carrier foil, an electrolytic copper foil (Class-III made by Mitsugi Chemical Industries Co., Ltd.) not subjected to coarsening treatment and anti-rust treatment with a thickness of 18 탆 was prepared.

(2) 박리층의 형성(2) Formation of release layer

산세 처리된 캐리어박의 전극면 측을, 하기 표 1에 나타내는 농도의 5CBTA 및/또는 4CBTA를 포함하는, 황산 농도 150g/L 및 구리 농도 10g/L의 CBTA 수용액에, 액온 30℃(예1∼4, 7 및 8) 또는 40℃(예5, 6 및 9)에서 30초간 침지하여, CBTA 성분을 캐리어박의 전극면에 흡착시켰다. 이와 같이 하여, 캐리어박의 전극면의 표면에 CBTA층을 유기 박리층으로서 형성했다. 또, 예7은 특허문헌 2(일본국 특개2003-328178호 공보)에 개시되는 실시예3에 상당하는 조성이다.The electrode surface side of the pickled carrier foil was immersed in a CBTA aqueous solution having a sulfuric acid concentration of 150 g / L and a copper concentration of 10 g / L, containing 5CBTA and / or 4CBTA, 4, 7, and 8) or 40 ° C (Examples 5, 6, and 9) for 30 seconds to adsorb the CBTA component to the electrode surface of the carrier foil. Thus, a CBTA layer was formed as an organic release layer on the surface of the electrode surface of the carrier foil. Example 7 is a composition corresponding to Example 3 disclosed in Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-328178).

[표 1][Table 1]

Figure pat00002
Figure pat00002

(3) 보조 금속층의 형성(3) Formation of auxiliary metal layer

유기 박리층이 형성된 캐리어박을, 황산니켈을 사용하여 제작된 니켈 농도 20g/L의 용액에 침지하여, 액온 45℃, pH3, 전류 밀도 5A/d㎡의 조건에서, 두께 0.001㎛ 상당의 부착량의 니켈을 유기 박리층 상에 부착시켰다. 이와 같이 하여 유기 박리층 상에 니켈층을 보조 금속층으로서 형성했다.The carrier foil having the organic release layer formed thereon was immersed in a solution having a nickel concentration of 20 g / L prepared using nickel sulfate to prepare a carrier foil having an adhesion amount equivalent to 0.001 占 퐉 in thickness at a liquid temperature of 45 占 폚, a pH of 3 and a current density of 5 A / Nickel was adhered onto the organic release layer. Thus, a nickel layer was formed as an auxiliary metal layer on the organic peeling layer.

(4) 극박 동박의 형성(4) Formation of ultra-thin copper foil

보조 금속층이 형성된 캐리어박을, 이하에 나타내는 조성의 구리 용액에 침지하여, 용액 온도 45℃, 전류 밀도 5∼30A/d㎡로 전해하고, 두께 3㎛의 극박 동박을 보조 금속층 상에 형성했다.The carrier foil having the auxiliary metal layer formed thereon was immersed in a copper solution having the composition shown below and electrolyzed at a solution temperature of 45 캜 and a current density of 5 to 30 A / dm 2 to form an ultra-thin copper foil having a thickness of 3 탆 on the auxiliary metal layer.

<용액의 조성>&Lt; Composition of Solution >

-구리 농도 : 65g/L- Copper concentration: 65 g / L

-황산 농도 : 150g/L- sulfuric acid concentration: 150 g / L

(5) 조화 처리(5) Harmonization processing

이와 같이 하여 형성된 극박 동박의 표면에 조화 처리를 행했다. 이 조화 처리는, 극박 동박 상에 미세 구리 알맹이를 석출 부착시키는 번트 도금 공정과, 이 미세 구리 알맹이의 탈락을 방지하기 위한 씰 도금 공정으로 구성된다. 번트 도금 공정에서는, 구리 18g/L 및 황산 100g/L을 포함하는 산성 황산구리 용액을 사용하여, 액온 25℃, 전류 밀도 10A/d㎡로 조화 처리를 행했다. 그 후의 씰 도금 공정에서는, 구리 65g/L 및 황산 150g/L을 포함하는 구리 용액을 사용하여, 액온 45℃, 전류 밀도 15A/d㎡의 평활 도금 조건에서 전착을 행했다.The surface of the ultra-thin copper foil thus formed was subjected to a roughening treatment. This roughening treatment is composed of a bunt plating step for depositing and depositing fine copper particles on the ultra-thin copper foil and a seal plating step for preventing the fine copper particles from coming off. In the copper plating step, an acidic copper sulfate solution containing 18 g / L of copper and 100 g / L of sulfuric acid was used to conduct coarsening treatment at a liquid temperature of 25 DEG C and a current density of 10 A / dm2. In the subsequent seal plating step, electrodeposition was carried out under a smooth plating condition at a liquid temperature of 45 DEG C and a current density of 15 A / dm &lt; 2 &gt; using a copper solution containing 65 g / L of copper and 150 g / L of sulfuric acid.

(6) 방청 처리(6) Rust treatment

조화 처리 후의 캐리어 부착 동박의 양면에, 무기 방청 처리 및 크로메이트 처리로 이루어지는 방청 처리를 행했다. 우선, 무기 방청 처리로서, 피로인산욕을 사용하여, 피로인산칼륨 농도 80g/L, 아연 농도 0.2g/L, 니켈 농도 2g/L, 액온 40℃, 전류 밀도 0.5A/d㎡로 아연-니켈 합금 방청 처리를 행했다. 이어서, 크로메이트 처리로서, 아연-니켈 합금 방청 처리 상에, 또한 크로메이트층을 형성했다. 이 크로메이트 처리는, 크롬산 농도가 1g/L, pH11, 용액 온도 25℃, 전류 밀도 1A/d㎡로 행했다.Both sides of the copper foil with a carrier after the roughening treatment were subjected to anti-rust treatment comprising an inorganic anti-rust treatment and a chromate treatment. First, as the inorganic anticorrosive treatment, a pyrophosphoric acid bath was used, and a zinc pyrophosphate solution containing zinc pyrophosphate at a concentration of 80 g / L of potassium pyrophosphate, a zinc concentration of 0.2 g / L, a nickel concentration of 2 g / L, a liquid temperature of 40 DEG C, and a current density of 0.5 A / Alloy rust prevention treatment was performed. Then, as a chromate treatment, a chromate layer was further formed on the zinc-nickel alloy rust-preventive treatment. The chromate treatment was carried out at a chromic acid concentration of 1 g / L, a pH of 11, a solution temperature of 25 캜, and a current density of 1 A / dm 2.

(7) 실란 커플링제 처리(7) Treatment with silane coupling agent

상기 방청 처리가 실시된 동박을 수세하고, 그 후 즉시 실란 커플링제 처리를 행하여, 조화 처리면의 방청 처리층 상에 실란 커플링제를 흡착시켰다. 이 실란 커플링제 처리는, 순수를 용매로 하고, 3-아미노프로필트리메톡시실란 농도가 3g/L의 용액을 사용하여, 이 용액을 샤워링으로 조화 처리면에 블로우하여 흡착 처리함에 의해 행했다. 실란 커플링제의 흡착 후, 최종적으로 전열기에 의해 수분을 기산시켜, 캐리어 부착 동박을 얻었다.The copper foil subjected to the rust-preventive treatment was washed with water and then immediately subjected to a silane coupling agent treatment to adsorb a silane coupling agent on the rust-inhibited layer on the roughened surface. This silane coupling agent treatment was carried out by using a solution of pure water as a solvent and a 3-aminopropyltrimethoxysilane concentration of 3 g / L and blowing the solution on the roughened surface with a shower to perform adsorption treatment. After the adsorption of the silane coupling agent, moisture was finally produced by an electric heater to obtain a copper foil with a carrier.

(8) 캐리어 부착 동박의 평가(8) Evaluation of copper foil with carrier

얻어진 캐리어 부착 동박에 대해서, 이하의 평가를 행했다.The obtained copper foil with a carrier was subjected to the following evaluations.

<박리층의 분석><Analysis of release layer>

캐리어 부착 동박으로부터 캐리어박을 박리했다. 박리된 캐리어박 및 극박 동박을, 1㏖/L의 염산에 40℃에서 60분간 침지하여, CBTA를 추출했다. 그 때, 캐리어박 및 극박 동박의 박리층과 반대 측의 면을 마스킹함으로써, 박리층과 접하고 있는 면만 CBTA의 추출에 부착되도록 했다. 이와 같이 하여 얻어진 CBTA 함유 추출물을 고속 액체 크로마토그래피(가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼제, HPLC LC10 시리즈)로 분석하여, 5CBTA 및 4CBTA의 각 농도를 측정하여, 5CBTA의 부착량(㎎/㎡), 4CBTA의 부착량(㎎/㎡), CBTA의 합계 부착량(㎎/㎡) 및 5CBTA/4CBTA비를 산출했다. 결과는 표 2에 나타낸 바와 같다.The carrier foil was peeled from the copper foil with a carrier. The peeled carrier foil and the ultra-thin copper foil were immersed in 1 mol / L hydrochloric acid at 40 DEG C for 60 minutes to extract CBTA. At that time, by masking the surface opposite to the peeling layer of the carrier foil and the ultra-thin copper foil, only the surface in contact with the peeling layer was attached to the extraction of CBTA. The CBTA-containing extract thus obtained was analyzed by high performance liquid chromatography (HPLC LC10 series, Shimadzu Seisakusho Co., Ltd.), and the concentrations of 5CBTA and 4CBTA were measured to determine the amount of adhesion of 5CBTA (mg / (Mg / m 2), the total amount of adhesion of CBTA (mg / m 2) and the ratio of 5CBTA / 4CBTA were calculated. The results are shown in Table 2.

<박리 강도의 측정><Measurement of Peel Strength>

우선, 캐리어 부착 동박에 있어서의 상태의 박리 강도의 측정을 이하와 같이 행했다. 캐리어 부착 동박의 극박 동박 측에 양면 테이프를 붙이고, 그것을 기판에 첩부하고 고정하여, 측정 샘플을 얻었다. 이 측정 샘플에 대하여, JIS C 6481-1996에 준거하여, 캐리어박을 박리했을 때의 상태의 박리 강도 RS0(gf/㎝)를 측정했다. 이 때, 측정 폭은 50㎜로 하고, 측정 길이는 20㎜로 했다.First, the peeling strength in the state of the copper foil with a carrier was measured as follows. A double-faced tape was affixed to the ultra-thin copper foil side of the copper foil with a carrier, and the double-side tape was affixed to the substrate and fixed to obtain a measurement sample. The peel strength RS 0 (gf / cm) in the state of peeling the carrier foil was measured for this measurement sample in accordance with JIS C 6481-1996. At this time, the measurement width was 50 mm and the measurement length was 20 mm.

이어서, 1회 또는 2회의 열간 프레스 후의 박리 강도의 측정을 이하와 같이 행했다. 수지 기재로서, 두께 100㎛의 프리프레그(미쓰비시가스가가쿠 가부시키가이샤제, GHPL830NX-A)를 준비했다. 이 수지 기재에 캐리어 부착 동박을 그 극박 동박 측이 수지 기재와 당접(當接)하도록 적층하여, 압력 2.5㎫ 및 온도 230℃에서 60분간의 열간 프레스 성형을 1회 또는 2회 행하여, 열간 프레스 후의 동장 적층판 샘플을 얻었다. 동장 적층판 샘플에 대하여, JIS C 6481-1996에 준거하여, 수지 기재면에 적층된 극박 동박으로부터 캐리어박을 박리하여 박리 강도 RS1(열간 프레스 1회 후) 및 박리 강도 RS2(열간 프레스 2회 후)(gf/㎝)를 측정했다. 이 때, 측정 폭은 50㎜로 하고, 측정 길이는 20㎜로 했다. 열간 프레스 전의 상태의 박리 강도 RS0에 대한, 열간 프레스 2회 후의 박리 강도 RS2의 비((RS2-RS0)/RS0)에 100을 곱하여 박리 강도 상승률(%)을 산출했다. 결과는 표 2에 나타낸 바와 같다.Then, the peel strength after one or two hot pressing was measured as follows. As a resin substrate, a prepreg having a thickness of 100 占 퐉 (GHPL830NX-A, manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) was prepared. The copper foil with a carrier was laminated on the resin base material so that the extremely thin copper foil side was in contact with the resin base material. The hot press forming was performed once or twice for 60 minutes at a pressure of 2.5 MPa and at a temperature of 230 占 폚, A copper clad laminate sample was obtained. For the copper-clad laminate sample, the carrier foil was peeled off from the ultra-thin copper foil laminated on the resin substrate surface according to JIS C 6481-1996, and the peel strength RS 1 (after one hot press) and the peel strength RS 2 (Gf / cm) was measured. At this time, the measurement width was 50 mm and the measurement length was 20 mm. (%) Of the peel strength was calculated by multiplying the ratio (RS 2 -RS 0 ) / RS 0 ) of the peel strength RS 2 to the peel strength RS 0 of the state before the hot pressing and the peel strength RS 2 of the hot press 2 times. The results are shown in Table 2.

[표 2][Table 2]

Figure pat00003
Figure pat00003

*은 비교예를 나타낸다.* Represents a comparative example.

Claims (7)

캐리어박, 박리층 및 극박(極薄) 동박을 이 순서대로 구비한 캐리어 부착 동박으로서,
상기 박리층이, 5-카르복시벤조트리아졸(5CBTA) 및/또는 4-카르복시벤조트리아졸(4CBTA)을 포함하여 이루어지고, 상기 박리층에 있어서의 5-카르복시벤조트리아졸의 부착량의 4-카르복시벤조트리아졸의 부착량에 대한 비인, 5CBTA/4CBTA비가 3.0 이상인 캐리어 부착 동박.
A copper foil, a carrier foil, a release layer, and an ultra-thin copper foil in this order,
Wherein the release layer comprises 5-carboxybenzotriazole (5CBTA) and / or 4-carboxybenzotriazole (4CBTA), wherein the adhesion amount of 5-carboxybenzotriazole in the release layer is 4-carboxy Carbonaceous copper foil with a 5CBTA / 4CBTA ratio of 3.0 or more, which is a ratio to the amount of benzotriazole deposited.
제1항에 있어서,
상기 5CBTA/4CBTA비가 3.5∼30인 캐리어 부착 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the 5CBTA / 4CBTA ratio is 3.5 to 30.
제1항에 있어서,
상기 박리층이, 5-카르복시벤조트리아졸(5CBTA) 및 존재하는 경우에는 4-카르복시벤조트리아졸(4CBTA)을 합계로 3㎎/㎡ 이상의 부착량으로 포함하는 캐리어 부착 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the release layer comprises 5-carboxybenzotriazole (5CBTA) and, if present, 4-carboxybenzotriazole (4CBTA) in an amount of adhesion of not less than 3 mg / m 2 in total.
제1항에 있어서,
상기 박리층이, 5-카르복시벤조트리아졸(5CBTA) 및 존재하는 경우에는 4-카르복시벤조트리아졸(4CBTA)을 합계로 80㎎/㎡ 이하의 부착량으로 포함하는 캐리어 부착 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the release layer comprises 5-carboxybenzotriazole (5CBTA) and, if present, 4-carboxybenzotriazole (4CBTA) in an adhesion amount of 80 mg / m 2 or less in total.
제1항에 있어서,
상기 박리층과 상기 캐리어박 및/또는 상기 극박 동박의 사이에, 보조 금속층을 더 구비한 캐리어 부착 동박.
The method according to claim 1,
Further comprising an auxiliary metal layer between the peeling layer and the carrier foil and / or the ultra-thin copper foil.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 캐리어 부착 동박을 구비한 동장(銅張) 적층판.A copper-clad laminate comprising the copper foil with a carrier according to any one of claims 1 to 5. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 캐리어 부착 동박을 사용하여 프린트 배선판을 제조하는 프린트 배선판의 제조 방법.A method for producing a printed wiring board using the copper foil with a carrier according to any one of claims 1 to 5.
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Free format text: TRIAL NUMBER: 2016101007190; TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20161223

Effective date: 20170425

J2X1 Appeal (before the patent court)

Free format text: TRIAL NUMBER: 2017201004327; APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL

J302 Written judgement (patent court)

Free format text: TRIAL NUMBER: 2017201004327; JUDGMENT (PATENT COURT) FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20170622

Effective date: 20180705