KR20170003520A - 비선형 결정 또는 포화 가능한 흡수재를 2차원적으로 이동시키기 위한 이동 장치 및 이동 장치의 증분 스텝을 결정하기 위한 방법 - Google Patents

비선형 결정 또는 포화 가능한 흡수재를 2차원적으로 이동시키기 위한 이동 장치 및 이동 장치의 증분 스텝을 결정하기 위한 방법 Download PDF

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카르스텐 지오렉
디르크 뷔체
토마스 휠리만
에리히 슈프레처
빌리 니콜라우스
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트룸프 레이저 마킹 시스템스 아게
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Abstract

본 발명에 따라서, 비선형 결정(2) 또는 포화 가능한 흡수재를 2차원적으로 이동시키기 위한 이동 장치(1)는, 각각의 경우에 서로 직교 배치된 선형 이동 경로를 가지는 제1 압전 배치 유닛(3) 및 제2 압전 배치 유닛(4)으로서, 그러한 유닛은 각각 제1 단부 위치와 제2 단부 위치 사이에서 이동 경로를 따라서 스텝 방식으로 압전 구동부(7a, 9a)에 의해서 캐리어(7, 9)에 대해서 이동 가능한 운반체(8, 10)를 가지며, 상기 비선형 결정(2) 또는 포화 가능한 흡수재가 제1 압전 배치 유닛(3)의 운반체(8) 상에 체결될 수 있고, 제1 압전 배치 유닛(3)의 캐리어(7)가 제2 압전 배치 유닛(4)의 운반체(10) 상에 체결되는 것인 제1 압전 배치 유닛(3) 및 제2 압전 배치 유닛(4), 상기 운반체(8, 10)를 위한 정지부로서, 각각의 경우에 단부 위치를 형성하는 정지부(12, 13, 14, 15), 운반체 각각의 단부 위치에서 운반체(8, 10)를 검출하기 위한 단부 위치 검출부, 및 운반체(8, 10)의 이동 중에 커버(cover)되는 스텝을 계수하기 위한 계수 유닛(18, 19)을 포함한다.

Description

비선형 결정 또는 포화 가능한 흡수재를 2차원적으로 이동시키기 위한 이동 장치 및 이동 장치의 증분 스텝을 결정하기 위한 방법{DEVICE FOR MOVING A NONLINEAR CRYSTAL OR A SATURABLE ABSORBER IN TWO DIMENSIONS AND METHOD FOR DETERMINING THE INCREMENTAL STEP OF THE MOVING DEVICE}
본 발명은 비선형 결정 또는 포화 가능한 흡수재를 2차원적으로 이동시키기 위한 이동 장치 및 그러한 이동 장치의 증분 스텝(incremental step)을 결정하기 위한 방법에 관한 것이다.
광학적 요소를 배치하기 위해서, 특히 비선형 결정을 배치하기 위해서, US 6859335 B1으로부터 공지된 이동 장치 내에서 소위 스텝핑 모터가 이용된다. 그러한 스텝핑 모터는 동기식 모터이고, 그러한 동기식 모터에서, 스텝 방식으로(step-by-step) 회전하는 회전자는, 제어된 전자기장에 의해서 회전된다. 스텝핑 모터에 의해서 커버(cover)되는 스텝의 개수는 충분히 정확한 위치 결정을 위해서 스텝핑 모터 구동부 내에서 기본적으로 계수될 수 있다. 스텝핑 모터 구동부는, 가스를 방출할 수 있고 그에 따라 비선형 결정에 대한 손상에 기여할 수 있는, 많은 수의 기계적 구성요소 그리고 또한 전자적 구성요소를 전형적으로 포함한다는 단점을 갖는다.
또한, 위치 결정을 위해서, 홀 센서(Hall sensor)에 의해서 위치가 결정될 수 있는 이동 장치가 Uwe Jungnickel에 의한 "단일체 구조를 기초로 하는 복수의 자유도를 가지는 소형 배치 시스템[Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen(Miniaturized positioning systems having multiple degrees of freedom on the basis of monolithic structures)]"(Darmstadt Technical University의 교과 영역 18, 전기적 엔지니어링 및 정보 기술)라는 논문으로부터 공지되어 있다.
또한, 소형화된 배치 시스템 및/또는 소형화된 이동 장치가 공지되어 있으며, 그러한 시스템 및/또는 이동 장치의 조정 또는 이동 운동은 압전 유닛의 구동부 및/또는 압전 구동부를 기초로 한다. 압전 유닛은 일반적으로 이동 부분의 스텝식 구동을 유발하고, 증분 스텝이 비교적 강하게 변경될 수 있는데, 이는 그러한 것이 힘 의존적이기 때문이다[예를 들어, 시간의 경과로 초래되는 압전 요소의 열화(劣化; degradation)가 증분 스텝의 변화를 유도함]. 이는 위치 의존성을 유발한다(예를 들어, 수평적으로 설치된 이동 장치의 증분 스텝은 수직 설치 위치 또는 경사 설치 위치에 설치된 이동 장치의 증분 스텝으로부터 벗어남). 복잡하고, 고비용이며, 민감한 경로 측정 시스템을 이용하여, 정확한 위치를 모니터 또는 체크하는 것만이 가능하다. 동일한 단점 및/또는 동일한 문제가 포화 가능한 흡수재의 경우에도 기본적으로 존재한다.
본 발명은, 종래 기술의 단점을 극복하는, 도입부에서 언급된 바와 같은 이동 장치 및 그러한 이동 장치의 증분 스텝을 결정하기 위한 방법을 제공하는 목적을 기초로 한다. 특히, 압전 이동 장치 및 상응하는 방법이 제공되고, 이는, 복잡한 경로 측정 시스템이 없이, 비선형 결정 또는 포화 가능한 흡수재의 정확하고 신뢰 가능하며 또한 단순하고 신속한 배치 및/또는 정확한 증분 스텝의 결정을 가능하게 한다.
이러한 목적은 제1항의 특징을 가지는 이동 장치에 의해서 달성된다.
본 발명에 따른 이동 장치와 연계된 장점은, 본질적으로, 복잡한 위치 측정 시스템 없이도, 이동 장치에 의해서 단순하고 신속한 증분 스텝의 결정이 가능하다는 것이다. 이러한 목적을 위해서, 운반체의 이동 중에, 각각의 경우에 제1 단부 위치로부터 제2 단부 위치까지 커버(cover)되는 스텝이 계수 유닛에 의해서 계수될 수 있다. 이전에 공지된 이동 경로를 계수된 스텝의 개수로 나누는 것에 의해서, 증분 스텝이 나눗셈의 결과로서 결정될 수 있다. 이러한 방식으로, 압전 배치 유닛에 의해서 이동되는 운반체의, 기본적으로 힘 및 마모를 받고 그에 따라 또한 위치 의존적인 증분 스텝이, 예를 들어, 다른 기계 내로의 또는 동일한 기계의 다른 위치 내로의 이동 장치의 용례 관련 개장(application-related refitting) 이후에, 단순한 방식으로 결정될 수 있다. 만약 증분 스텝이 상응하는 적용예 상황에서 결정된다면, 각각의 경우에 커버되는 스텝을 계수하는 것에 의해서 운반체의 현재 위치가 계산될 수 있다. 증분 스텝의 결정은, 적용예에 따라서, 이동 장치에 의해서, 미리 결정된 주기로 규칙적으로 또는 필요에 따라 또한 개별적으로만 실행될 수 있다. 본 발명에 따른 이동 장치는, 이동 장치가 가스 방출의 위험을 피하도록 하기 위해, 전자적 구성요소를 가지는 복잡한 위치 측정 시스템을 가능한 한 배제한다. 또한, 운반체 및/또는 그러한 운반체 상에 체결된 결정의 작은 증분 스텝 및 그에 따른 매우 정확한 이동 능력은 압전 배치 유닛에 의해서 유리하게 달성될 수 있을 것이다.
각각의 경우에 운반체의 이동 중에 제1 단부 위치로부터 제2 단부 위치로 또는 그 반대로 커버되는 스텝을 계수하기 위해서 계수 유닛이 이용된다. 정지부는, 예를 들어, 압전 배치 유닛의 캐리어 상에 형성될 수 있다. 정지부는, 상응하는 단부 위치에서 이동 방향을 따른 운반체의 이동 운동을 정지시키는, 운반체에 대한 장애물을 나타낸다. 제1 압전 배치 유닛이 운반체를 포함하고, 그러한 운반체는 이동 경로를 따라서 제1 단부 위치로부터 제2 단부 위치까지 그리고 다시 역으로 스텝식 압전 구동부에 의해서 캐리어에 대해 이동 가능하다. 비선형 결정은, 예를 들어, LBO LiB3O5, BBO β-BaB2O4, 및 CLBO CsLiB6O10 유형의 결정일 수 있다. 그러나, 다른 비선형 결정이 또한 가능하다. 비선형 결정의 크기 및/또는 치수는 전형적으로 2 mm 내지 4 mm이다. 이동 장치의 증분 스텝은 기본적으로 레이저 스폿 크기에 의존할 수 있고 일반적으로 20 ㎛ 내지 100 ㎛이다. 예를 들어, 소위 SESAM이 포화 가능한 흡수재로서 이용될 수 있다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 따라서, 정지부와 접촉하기 위한 접촉 요소가 제1 압전 배치 유닛의 운반체 상에 형성된다. 2개의 단부 위치 내의 운반체 위치의 명확하고 규정된 점유가 접촉 요소에 의해서 가능해진다. 접촉 요소는, 정지부와의 접촉 시에 발생 가능한 마모에 대항하기 위해서 교체 가능한 것 또는 교환 가능한 것으로서 구현될 수 있다.
추가적인 바람직한 실시예에서, 이동 장치의 모든 정지부는 단일 피스(one-piece), 특히 단일체의, 정지부 요소를 형성한다. 이때, 하나의 정지부 요소가 각각의 단부 위치를 검출하기 위해서 모든 압전 배치 유닛(제1 배치 유닛, 제2 배치 유닛, 또는 추가적인 배치 유닛)에 대해서 이용될 수 있다. 이러한 방식으로, 이동 장치의 구성요소의 개수가 감소되고, 단일체 구성(monolithic construction)이 가능하다. 정지부 요소는 예를 들어 정지부 프레임으로서 형성된다.
이동 장치가 이동 경로 또는 이동 경로들로부터 증분 스텝 및 계수된 스텝의 수를 계산하기 위한 분석 유닛을 가지는 제어 유닛을 포함하는 실시예가 또한 바람직하다. 분석 유닛은, 각각의 경우에 개별적인 압전 배치 유닛의 정지부 상에 배치된, 계수 유닛 또는 계수 유닛들로 그리고 단부 위치 검출기로 또는 단부 위치 검출을 위한 전기 전압 유닛으로 신호를 전달하도록 연결될 수 있다. 또한, 개별적인 압전 배치 유닛의 이전에 알려진 이동 경로 또는 이동 경로들에 대한 값이 분석 유닛 내에 저장되거나 보관된다. 또한, 분석 유닛에서의 단부 위치 결정의 결과로서 이동 경로를 저장하는 것이 기본적으로 가능하다. 그에 따라, 분석 유닛이 단부 위치 검출기의 신호 및 계수 유닛의 신호를 획득할 수 있고, 각각의 증분 스텝의 결정을 실시할 수 있다. 또한, 단부 위치 검출기 각각은 규정된 스위칭 지점을 가지는 스위칭 요소로서 구성될 수 있다.
일 실시예에 따라서, 단부 위치 검출부는, 운반체와 정지부 사이에서 전기 전위를 축적하도록 구성된, 전기 전압 유닛을 갖는다. 그에 따라, 운반체가 각각의 단부 위치를 점유하고 동시에 상응하는 정지부와 접촉할 때, 회로가 폐쇄될 수 있고 이에 따라 검출 신호가 (예를 들어, 분석 유닛으로) 전송될 수 있다. 전기적 접촉부가 이러한 목적을 위해서 운반체측 그리고 또한 정지부측 양자 모두에 제공될 수 있다. 대안으로, 정지부 상에 배치된 단부 위치 검출기가 또한 운반체의 단부 위치의 검출을 위해서 제공될 수 있다. 이러한 것은, 힘 격발형(force-triggered) 스위칭 수단, 예를 들어 힘 센서를 포함할 수 있다.
전술한 목적은 제6항의 특징을 가지는, 전술한 바와 같은 이동 장치의 증분 스텝을 결정하기 위한 방법에 의해서 추가적으로 달성된다.
본 발명에 따른 방법에 의해서, 단순하고 신속하며 그리고 또한 정확한 증분 스텝의 결정[및/또는 해상도(resolution)의 결정]은 측정 시스템을 기초로 하는 운반체의 현재 위치의 복잡한 측정 없이 실시될 수 있다. 증분 스텝 결정에 이어서, 각각의 경우에 기지의 기준 위치(예를 들어, 단부 위치들 중 하나)로부터 커버되는 스텝을 계수하는 것에 의해서, 운반체의 현재 위치의 결정이 가능해진다. 증분 스텝의 결정은, 적용예에 따라서, 미리 결정된 주기로 규칙적으로 또는 필요에 따라 또한 개별적으로만 실행될 수 있다. 운반체는 일반적으로 이미 알고 있는 이동 경로를 따라서 선형적으로 각각 이동되고, 스텝식 이동은 압전 구동부에 의해서 실행된다. 각각의 경우에 운반체의 이동 중에 제1 단부 위치로부터 제2 단부 위치로(또는 그 반대로) 실행되는 스텝의 계수는 계수 유닛에 의해서 실시된다.
하나의 바람직한 변형된 방법에서, 운반체는, 스텝식 이동에 앞서서, 그 제1 단부 위치의 정지부에 각각 배치되고 후속하여 그 제2 단부 위치의 정지부까지 이동 경로를 따라서 이동된다. 2개의 단부 위치 내의 운반체 위치의 명확하고 규정된 점유가 정지부에 의해서 가능해진다. 제1 방향을 따라서 단부 위치로 이동된 운반체가 단부 위치에서 정지하게 되고, 제1 방향에 반대되는 방향을 따른 이동에 의해서 다시 단부 위치로부터 단지 제거되거나 멀리 이동될 수 있다.
추가적인 변형된 방법에서, 운반체의 단부 위치는 운반체와 정지부 사이에서 작용하는 전기 전압에 의해서 최종적으로 검출된다. 운반체 또는 운반체들의 단부 위치 배치의 점유에 관한 명백한 검출은 검출된 전압에 의해서 가능해진다. 전기적 전압에 의한 단부 위치 검출에 대한 대안으로, 운반체의 제1 단부 위치의 검출이 또한 제1 정지부 상에 제공된 제1 단부 위치 검출기에 의해서 실시될 수 있고, 운반체의 제2 단부 위치의 검출이 또한 정지부 상에 제공된 제2 단부 위치 검출기에 의해서 실시될 수 있다.
본 발명의 청구 대상의 추가적인 장점 및 유리한 실시예가 상세한 설명, 청구범위, 및 도면으로부터 초래된다. 이하에서 구체화되는 전술한 특징 및 특징들은 또한 단독으로 또는 복수의 임의의 조합으로 이용될 수 있다. 도시되고 설명된 실시예는 배타적인 목록으로서 이해되지 않으며, 오히려 본 발명의 설명에 대한 예시적인 특징을 갖는다. 도면은 매우 개략적인 형태로 본 발명에 따른 청구 대상을 도시하며, 실척도는 아니다.
도 1은 2차원적으로 결정을 이동시키기 위한 본 발명에 따른 장치를 사시도로 도시한다.
도 2는 이동 장치에 전기적으로 연결된, 제어 유닛의 개략적인 회로도를 도시한다.
도 3은 결정 홀더(crystal holder)와 함께 도 1의 이동 장치를 도시한다.
도 4는 좌측 단부 위치로 이동된 운반체와 함께 도 1의 이동 장치를 도시한다.
도 5는 우측 단부 위치로 이동된 운반체와 함께 도 1의 이동 장치를 도시한다.
도 6은 상부 단부 위치로 이동된 운반체와 함께 도 1의 이동 장치를 도시한다.
도 7은 하부 단부 위치로 이동된 운반체와 함께 도 1의 이동 장치를 도시한다.
도 1 및 도 2는, 서로에 대해서 직교 관계로 배치된, 선형 이동 경로들 또는 이동 방향들(5, 6)을 각각의 경우에 가지는 제1 압전 배치 유닛(3) 및 제2 압전 배치 유닛(4)을 가지는, 비선형 결정(2)을 위한 이동 장치(1)를 도시한다.
제1 압전 배치 유닛(3)은 제1 캐리어(7), 제1 압전 구동부(7a), 및 제1 운반체(8)를 포함하고, 제1 운반체(8)는 제1 압전 구동부(7a)에 의해서 제1 이동 경로를 따라 2개의 단부 위치 사이에서 제1 이동 방향(5)으로 스텝식으로 제1 캐리어(7)에 대해서 이동 가능하다. 제2 압전 배치 유닛(4)은 제2 캐리어(9), 제2 압전 구동부(9a), 및 제2 운반체(10)를 포함하고, 제2 운반체(10)는 제2 압전 구동부(9a)에 의해서 제2 이동 경로를 따라 2개의 단부 위치 사이에서 제2 이동 방향(6)으로 스텝식으로 제2 캐리어(9)에 대해서 이동 가능하다. 제2 캐리어(9)는 이동 장치(1)의 베이스 본체(11) 상에 체결된다.
제1 캐리어(7)가 제2 운반체(10) 상에 체결되고, 그에 따라 제1 운반체(8) 상에 배치된 결정(2)은 2개의 운반체(8, 10)의 이동 운동의 중첩을 통해서 2개의 이동 방향(5, 6)에 의해서 걸쳐진 2차원적인 평면 내에서 다양한 위치로 이동될 수 있다(도 4 내지 도 7에 도시되고 이하에서 설명되는 위치 및/또는 단부 위치 참조).
이동 장치(1)는, 각각의 압전 배치 유닛(3, 4)에 대해서, 단일체 프레임으로서 구성된 정지부 요소(16)를 함께 형성하는 정지부로서, 각각의 경우에 2개의 단부 위치 상에 배치된 정지부(12, 13, 14, 15)를 더 포함한다. 만약 제1 운반체(8) 상에 형성된 접촉 요소(17)가 정지부(12, 13, 14, 15) 중 하나와 접촉한다면, 이에 따라 회로가 전압 유닛(21)에 의해서 폐쇄될 수 있고, 이러한 방식으로, 단부 위치 검출 신호[제1 운반체(8)의 접촉 요소(17)가 정지부(12, 13, 14, 15) 중 하나에서 정지부 요소(16)와 접촉한다는 신호]가 생성될 수 있다. 전압 유닛(21)은 운반체(8)와 정지부(12, 13, 14, 15) 사이로 및/또는 접촉 요소(17)와 정지부(12, 13, 14, 15) 사이에 전기 전위를 인가한다. 정지부(12, 13, 14, 15) 중 하나와 제1 운반체(8)의 접촉 요소(17) 사이의 접촉의 경우에, 제1 운반체(8)가 각각의 경우에 이전에 이동되었던 이동 방향(5, 6)을 미리 안다는 점에서, 접촉한 것이 좌측 또는 우측의(또는 상부 또는 하부의) 정지부(12, 13, 14, 15)인지가 결정될 수 있다. 따라서, 단일 피스(one-piece)의 정지 요소(16)의 결과로서 그것이 동일한 검출 신호인지의 여부와 관계없이, 이러한 이동 방향(5, 6)으로 배치된 정지부(12, 13, 14, 15)만이 또한 검출된다. 정지부(12, 13, 14, 15)를 가지는 정지 요소(16) 및/또는 프레임이 베이스 본체(11) 상에 형성된다. 접촉 요소(17) 및 2개의 압전 배치 유닛(3, 4)이 도 1의 중간 위치에 도시되어 있다.
이동 장치(1)는 제1 운반체(8) 또는 제2 운반체(10) 각각의 이동 중에 각각의 경우에 커버되는 스텝을 계수하기 위한 제1 계수 유닛(18) 및 제2 계수 유닛(19)을 가지는 제어 유닛(22), 그리고 이동 경로 및 계수된 스텝의 개수로부터 증분 스텝을 계산하기 위한 분석 유닛(20)을 더 포함한다. 이동 장치(1)에 의해서, 복잡한 위치 측정 시스템 없이도, 개별적인 압전 배치 유닛(3, 4)의 증분 스텝의 단순하고 신속하며 또한 정확한 결정이 가능해진다. 계수 유닛(18, 19)이 제어 유닛(22) 내에 배치되고 구동 신호(23)의 분석을 통해서 운반체(8, 10)의 스텝을 계수한다.
도 3에서, 결정 홀더(24)가 이동 장치(1)의 운반체(8) 상에 체결되어 비선형(레이저) 결정을 유지한다. 비선형 결정(2)에 대한 대안으로, 포화 가능한 흡수재, 특히 SESAM이 또한 도 1 내지 도 7의 이동 장치(1) 내에서 운반체(8) 상에 배치될 수 있다.
각각의 증분 스텝을 결정하기 위한 방법이 도 4 내지 도 7을 참조하여 이하에서 더 구체적으로 설명될 것이다.
제1 운반체(8) 및/또는 제1 운반체(8)의 접촉 요소(17)가 도 4 내지 도 7에서 4개의 상이한 단부 위치에서 도시되어 있다. 제1 운반체(8)는 이에 따라 각각의 경우에 제1 캐리어(7)에 대해서 이동되고, 제2 운반체(10)는 이러한 경우에 제2 캐리어(9) 또는 베이스 본체(11)에 대해서 이동된다. 상세하게는, 도 4는 제1 운반체(8) 및/또는 그러한 제1 운반체 상에 형성된 접촉 요소(17)의 좌측 단부 위치를 도시하고, 도 5는 우측 단부 위치를 도시하며, 도 6은 상부 단부 위치를 도시하고, 도 7은 하부 단부 위치 또는 단부 위치 배치를 도시한다.
예를 들어, 제1의 상부 단부 위치(도 6)로부터 제2의 하부 단부 위치(도 7)로의 제1 운반체(8)의 스텝식 이동 중에, 제1 이동 방향(5)을 따른, 제1 운반체(8)의 증분 스텝을 결정하기 위해서, 커버되는 스텝이 계수되고, 후속하여 2개의 단부 위치의 거리에 의해서 경계지어지는, 이전에 알고 있는 이동 경로를 계수된 스텝의 개수로 나눔으로써 그러한 나눗셈의 결과로서 증분 스텝을 획득한다. 제2 운반체(10)가 상응하는 방식으로 이동될 수 있다는 것[제2 운반체(10)가 제1의 좌측 단부 위치(도 4)로부터 제2의 우측 단부 위치(도 5)로 이동하고 그리고 이러한 경우에 제2 운반체(10)의 증분 스텝을 결정하기 위해서 커버된 스텝을 계수함]이 명확하다. [예로서 제1 운반체(8)를 기초로 도시된] 각각의 경우에 요구되는 스텝을 계수하기 위해서 각각의 경우에 전체적인 제1 이동 경로 및 제2 이동 경로를 이동하기 위해서, 제1 운반체(8)는 스텝식 이동에 앞서서 상부 단부 위치(도 6)에 배치된 하나의 정지부(14)에 배치되고, 후속하여 제2의 하부 단부 위치에 배치된 다른 정지부(15)까지 선형 이동 경로를 따라서 완전히 이동된다. 이러한 경우에, 운반체(8) 및/또는 접촉 요소(17)의 2개의 단부 위치가 정지부(14, 15)에서 제공되는 단부 위치 검출기에 의해서 검출된다.
정지부 요소(16) 및/또는 프레임이 운반체(8, 10)의 이동 경로를 기본적으로 경계지을 수 있고, 이에 따라 압전 구동부(7a, 9a)가 그들의 각각의 단부 위치까지 연장되지 않고, 오히려 각각의 운반체(8, 10)의 정지는 정지부 요소(16)의 정지부(12, 13, 14, 15)에서 사전에 이미 이루어지게 된다. 비선형 결정(2)의 신뢰 가능한 배치는 이동 경로의 그러한 경계 결정(delimiting)에 의해서 보장될 수 있다.

Claims (8)

  1. 비선형 결정(2) 또는 포화 가능한 흡수재를 2차원적으로 이동시키기 위한 이동 장치(1)로서,
    각각의 경우에 서로 직교 배치된 선형 이동 경로를 가지는 제1 압전 배치 유닛(3) 및 제2 압전 배치 유닛(4)으로서, 상기 유닛은 각각 제1 단부 위치와 제2 단부 위치 사이에서 상기 이동 경로를 따라서 스텝 방식으로(step-by-step) 압전 구동부(7a, 9a)에 의해서 캐리어(7, 9)에 대해서 이동 가능한 운반체(8, 10)를 가지며, 상기 비선형 결정(2) 또는 포화 가능한 흡수재는 상기 제1 압전 배치 유닛(3)의 운반체(8) 상에 체결될 수 있고, 상기 제1 압전 배치 유닛(3)의 캐리어(7)가 상기 제2 압전 배치 유닛(4)의 운반체(10) 상에 체결되는 것인 제1 압전 배치 유닛(3) 및 제2 압전 배치 유닛(4),
    상기 운반체(8, 10)를 위한 정지부로서, 각각의 경우에 단부 위치를 형성하는 정지부(12, 13, 14, 15),
    운반체 각각의 단부 위치에서 운반체(8, 10)를 검출하기 위한 단부 위치 검출부, 및
    운반체(8, 10)의 이동 중에 커버(cover)되는 스텝을 계수하기 위한 계수 유닛(18, 19)
    을 포함하는 이동 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정지부(12, 13, 14, 15)와 접촉하기 위한 접촉 요소(17)가 적어도 상기 제1 압전 배치 유닛(3)의 운반체(8) 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 이동 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 정지부(12, 13, 14, 15)는 모두 단일 피스(one-piece)의, 특히 단일체(monolithic)의, 정지부 요소(16)를 형성하는 것을 특징으로 하는 이동 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동 장치(1)는 이동 경로 또는 이동 경로들로부터의 증분 스텝 그리고 계수된 스텝의 개수를 계산하기 위한 분석 유닛(20)을 가지는 제어 유닛(22)을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단부 위치 검출부는 전기 전압 유닛(21)을 가지는 것을 특징으로 하는 이동 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 이동 장치(1)의 증분 스텝을 결정하기 위한 방법으로서,
    - 제1 단부 위치로부터 제2 단부 위치로의 운반체(8, 10)의 스텝식 이동 중에, 커버되는 스텝이 계수되는 것, 그리고
    - 상기 이동 경로가 상기 계수된 스텝의 개수에 의해서 나누어지는 것
    을 포함하며, 나눗셈의 결과가 결정된 증분 스텝으로 간주되는 것인 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 운반체(8, 10)는, 스텝식 이동에 앞서서, 그 제1 단부 위치의 정지부(12, 14)에 각각 배치되고, 후속하여 그 제2 단부 위치의 정지부(13, 15)까지 이동 경로를 따라서 이동되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 운반체(8, 10)의 단부 위치는 상기 운반체(8, 10)와 상기 정지부(12, 13, 14, 15) 사이에서 작용하는 전기 전압에 의해서 검출되는 것을 특징으로 하는 방법.
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