KR20160131797A - 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치에 관한 것으로, 웨이퍼 척 외부에 승강척을 구성하여 웨이퍼와 마스크가 완전한 접촉을 이루어졌을 때 상승시켜 완전한 진공챔버가 이루어질 수 있도록 함으로써 웨이퍼의 유동을 방지할 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명은 웨이퍼를 상하와 전후 및 θ축으로 이송시킬 수 있도록 하는 이송수단, 이송수단의 최상단에 설치되는 레벨 플레이트, 레벨 플레이트의 상부 중심에 설치되어지되 상부면에는 반구 형태의 베어링 지지홈이 형성된 종바리, 종바리의 베어링 지지홈 상에 지지되는 반구 형태의 에어베어링 및 에어베어링의 상부측에 설치되어 진공 흡착을 통해 웨이퍼를 고정시키는 웨이퍼 척이 구비된 노광장치에 있어서, 웨이퍼가 적재 고정되는 웨이퍼 척 중심부 상의 원형으로 이루어진 웨이퍼 척면 외주면 상에 링 타입으로 승강 가능하게 결합되어지되 상부면에는 원주 형태로 오링 삽입홈이 형성된 승강척; 승강척의 오링 삽입홈 상에 안착 결합되어지되 웨이퍼 척에 적재된 웨이퍼와 마스크의 얼라인 후 완전한 접촉이 이루어진 경우 승강척의 상승에 의해 마스크 하부면과 승강척이 이루는 내부에 진공챔버가 형성되도록 하는 버큠 컨택용 오링; 및 웨이퍼 척의 하부면 가장자리 상에 설치되어 승강척을 승강시키는 다수의 에어실린더를 포함한 구성으로 이루어진다.

Description

마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치{For contact mask aligner vacuum chamber device}
본 발명은 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 척면 외주면 상에 링타입의 승강척 상부면 상에 실리콘 재질의 버큠 컨택용 오링을 구성하여 웨이퍼와 마스크의 컨택시 마스크와 승강척 및 웨이퍼 척면이 이루는 공간을 진공챔버로 형성할 수 있도록 한 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 최근에는 인터넷의 보급과 확산으로 컴퓨터의 수요가 폭발적으로 증가하고 있음은 물론, 셀룰라폰이나 PCS폰과 같은 이동통신단말기가 전국적으로 보급되면서 이에 사용되는 반도체 칩이 점점 소형화 및 대용량화가 가속화되고 있음은 주지하는 바와 같다.
따라서, 전술한 바와 관련되어 반도체 칩의 소형화와 대용량화 및 고속화를 지지해 온 리소그래피(Lithography) 기술에 대한 관심이 높아지고 있으며, 특히 광원으로 마스크 상의 회로패턴을 작업편(웨이퍼)에 투영시켜 회로패턴을 형성함으로서 회로패턴의 해상도와 반도체 소자의 생산성을 향상시킬 수 있는 반도체 제조용 노광장치가 반도체 소자나 LCD 등 미크론 사이즈의 가공이 필요한 각종 전기부품의 제작 공정에서 필수적으로 사용되고 있다.
한편, 전술한 바와 같은 반도체의 제조에 있어 노광공정이란 유리나 수정 재질 등의 광학적으로 투명한 기판에 크롬 등의 금속을 증착·에칭하여 회로패턴을 형성한 마스크를 사용하고, 이러한 마스크를 통하여 자외선을 작업기판에 조사하여 작업기판 상에 도포되어 있는 포토레지스트에 마스크의 패턴을 전사하는 것이다.
전술한 바와 같은 노광공정에서 노광방식에는 마스크의 상을 투영렌즈로 작업기판 상에 결상시키는 투영 노광방식(Projection Exposure), 마스크와 작업기판을 밀착시킨 상태에서 평행 광을 조사하는 밀착 노광방식(Contact Exposure), 마스크와 작업기판 사이에 약간의 간격을 형성한 상태에서 평행 광을 조사하는 근접 노광방식(Proximity Exposure)으로 구분되어진다.
그리고, 전술한 노광공정은 반도체 소자의 제작에 있어서 미세 회로의 구성에 따라 수회 반복되며, 작업기판에 마스크의 패턴을 반복 노광할 경우 미리 형성된 패턴에 대하여 다음에 노광하는 패턴을 정확하게 정렬하는 것이 중요하다.
한편, 종래 기술에 따른 노광장치의 방식은 웨이퍼와 마스크의 접촉(Contact)시 웨이퍼를 잡아주는 진공압이 표면과 완전한 접촉이 되지 않아 진공이 누설되는 문제가 있다. 이 상태에서 웨이퍼 척에 설치된 실리콘 패드의 형상이 위쪽을 향하고 있는 상태를 유지하기 때문에 접촉 전에 이미 진공 챔버가 형성되면서 웨이퍼 척이 위쪽으로 진공압에 의한 힘을 받게 된다. 따라서, 이를 해소하기 위해서는 질소가스를 퍼지(Purge) 시켜서 상쇄하여야 하는 문제가 있다.
전술한 바와 같이 퍼지(Purge) 가스로 인해 실리콘 패드가 불균일하게 마스크의 표면과 잦은 접촉과 분리가 일어나며 소리를 발생시키는 문제가 있게 된다. 이로 인한 와류의 발생으로 웨이퍼까지도 웨이퍼 척의 접촉면에서 움직임이 발생하여 마스크와 웨이퍼의 얼라인 상태에 영향을 끼쳐 성능에 문제를 일으키는 문제가 발생하게 된다.
1. 한국공개특허 제2011-0066270호(2011.06.17.자 공개) 2. 한국공개특허 제2011-0050168호(2011.05.13.자 공개) 3. 한국공개특허 제2005-0020922호(2005.03.04.자 공개)
본 발명은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 웨이퍼 척 외부에 승강척을 구성하여 웨이퍼와 마스크가 완전한 접촉을 이루어졌을 때 상승시켜 완전한 진공챔버가 이루어질 수 있도록 함으로써 웨이퍼의 유동을 방지할 수 있도록 한 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명에 따른 기술의 다른 목적은 웨이퍼 척 외부에 승강척을 구성하여 웨이퍼와 마스크가 완전한 접촉을 이루어졌을 때 상승시켜 완전한 진공챔버의 형성을 통해 웨이퍼의 유동을 방지함으로써 마스크와 웨이퍼의 얼라인 상태를 유지하여 성능에 문제를 일으키지 않도록 함에 그 목적이 있다.
아울러, 본 발명에 따른 기술의 또 다른 목적은 웨이퍼 척 외부에 승강척을 구성하되 상하강의 스트로크(Stroke)를 충분히 길게 하여 모재에 큰 두께 변화가 있더라도 문제없이 사용 가능하도록 함에 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위해 구성되는 본 발명은 다음과 같다. 즉, 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치는 웨이퍼를 상하와 전후 및 θ축으로 이송시킬 수 있도록 하는 이송수단, 이송수단의 최상단에 설치되는 레벨 플레이트, 레벨 플레이트의 상부 중심에 설치되어지되 상부면에는 반구 형태의 베어링 지지홈이 형성된 종바리, 종바리의 베어링 지지홈 상에 지지되는 반구 형태의 에어베어링 및 에어베어링의 상부측에 설치되어 진공 흡착을 통해 웨이퍼를 고정시키는 웨이퍼 척이 구비된 노광장치에 있어서, 웨이퍼가 적재 고정되는 웨이퍼 척 중심부 상의 원형으로 이루어진 웨이퍼 척면 외주면 상에 링 타입으로 승강 가능하게 결합되어지되 상부면에는 원주 형태로 오링 삽입홈이 형성된 승강척; 승강척의 오링 삽입홈 상에 안착 결합되어지되 웨이퍼 척에 적재된 웨이퍼와 마스크의 얼라인 후 완전한 접촉이 이루어진 경우 승강척의 상승에 의해 마스크 하부면과 승강척이 이루는 내부에 진공챔버가 형성되도록 하는 버큠 컨택용 오링; 및 웨이퍼 척의 하부면 가장자리 상에 설치되어 승강척을 승강시키는 다수의 에어실린더를 포함한 구성으로 이루어진다.
전술한 바와 같은 본 발명에 따른 구성에서 승강척의 상승은 마스크와 웨이퍼의 얼라인이 이루어진 상태에서 완전한 접촉이 이루어진 후에 승강척의 상승이 이루어져 상기 마스크 하부면과 승강척이 이루는 내부에 진공챔버가 형성되도록 하는 구성으로 이루어질 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 구성에서 버큠 컨택용 오링의 재질은 실리콘 재질로 이루어지되 중실의 오링으로 이루어질 수 있다.
아울러, 본 발명에 따른 구성에서 승강척의 내주면에는 하나 이상의 실링홈이 더 형성되어지되 실링홈에는 승강척의 내주면과 웨이퍼 척면의 외주면 사이로 진공의 누수가 발생되지 않도록 하는 진공용 실링이 더 구성될 수 있다.
본 발명의 기술에 따르면 웨이퍼 척 외부에 승강척을 구성하여 웨이퍼와 마스크가 완전한 접촉을 이루어졌을 때 상승시켜 완전한 진공챔버가 이루어질 수 있도록 함으로써 웨이퍼의 유동을 방지할 수가 있다.
또한, 본 발명에 따른 기술은 웨이퍼 척 외부에 승강척을 구성하여 웨이퍼와 마스크가 완전한 접촉을 이루어졌을 때 상승시켜 완전한 진공챔버의 형성을 통해 웨이퍼의 유동을 방지함으로써 마스크와 웨이퍼의 얼라인 상태를 유지하여 성능에 문제를 일으키지 않도록 하는 효과가 발현된다.
아울러, 본 발명에 따른 기술은 웨이퍼 척 외부에 승강척을 구성하되 상하강의 스트로크(Stroke)를 충분히 길게 하여 모재에 큰 두께 변화가 있더라도 문제없이 사용 가능하도록 할 수가 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 노광시스템 전체를 보인 사시 구성도.
도 2 는 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 정면 사시 구성도.
도 3 은 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 정면도.
도 4 는 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 배면 사시 구성도.
도 5 는 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 배면도.
도 6 은 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치를 보인 사시 구성도.
도 7 은 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 단면 구성도.
도 8a 내지 도 8c 는 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치의 상승 상태를 보인 단면 구성도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치의 양호한 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 노광시스템 전체를 보인 사시 구성도, 도 2 는 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 정면 사시 구성도, 도 3 은 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 정면도, 도 4 는 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 배면 사시 구성도, 도 5 는 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 배면도, 도 6 은 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치를 보인 사시 구성도, 도 7 은 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치가 적용된 마스크 얼라이너를 보인 단면 구성도, 도 8a 내지 도 8c 는 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치의 상승 상태를 보인 단면 구성도이다.
도 1 내지 도 8 에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치(200)가 적용된 노광시스템(100)의 구성 역시 종래 기술에서와 같이 정반(110)의 상부측에 설치되어 웨이퍼(10)를 상하와 전후 및 θ축으로 이송시킬 수 있도록 하는 이송수단(120a, 120b, 120c), 이송수단(120a, 120b, 120c)의 최상단에 설치되는 레벨링 플레이트(130), 레벨링 플레이트(130)의 상부 중심에 설치되어지되 상부면에는 반구홈 형태의 베어링 지지홈(142)이 형성된 종바리(140), 종바리(140)의 베어링 지지홈(142) 상에 지지되는 반구 형태의 에어베어링(150), 에어베어링(150)의 상부측에 설치되어 진공 흡착을 통해 웨이퍼(10)를 고정시키는 웨이퍼 척(160), 지지프레임(170)을 통해 웨이퍼 척(160)의 상부측으로 위치되어 마스크(20)를 고정시키는 마스크 척(180) 및 마스크(20)와 웨이퍼(10)를 밀착시킨 상태에서 평행광을 조사하여 마스크(20)의 패턴을 노광하는 광조사장치(190)의 구성으로 이루어지는 것은 마찬가지이다.
다만, 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치(200)는 웨이퍼 척(160) 상에 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 얼라인 상태에서 상승되어 마스크(20)의 하부면 상에 접촉되도록 함으로써 웨이퍼 척(160)과 마스크(20) 사이의 내부 공간에 완전한 진공이 형성되도록 함으로써 웨이퍼(10)의 유동을 방지할 수 있도록 한다는 점에서 종래의 기술과 다르다 할 수 있다.
다시 말해서, 본 발명에 따른 기술은 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 얼라인이 이루어진 상태에서 상기 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 표면을 완전하게 접촉시킨 후 승강척(210)을 상승시켜 버큠 컨택용 오링(220)을 마스크(20)의 하부면에 밀착되도록 함으로써 웨이퍼 척(160)과 승강척(210) 및 마스크(20) 하부에 의해 이루어지는 공간이 진공챔퍼로 형성되도록 한다.
한편, 전술한 바와 같이 승강척(210)의 상승에 의해 웨이퍼 척(160)과 승강척(210) 및 마스크(20) 하부에 의해 이루어지는 공간을 진공챔퍼로 형성하는 경우에는 웨이퍼 척(160)의 웨이퍼 척면(162)에는 승강척(210)의 상승에 의해 웨이퍼 척(160)과 승강척(210) 및 마스크(20) 하부에 의해 이루어지는 공간을 진공으로 형성하기 위해 형성된 버큠홀을 통해 진공챔버 내부의 공기를 연속적으로 흡입함으로써 진공챔버 내부가 진공이 되도록 한다.
전술한 바와 같이 승강척(210)의 상승에 의해 웨이퍼 척(160)과 승강척(210) 및 마스크(20) 하부에 의해 이루어지는 공간을 완전한 진공챔버와 진공으로 형성함으로써 진공의 누설을 방지하여 웨이퍼(10)의 유동을 방지할 수가 있게 된다. 이에 따라, 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 얼라인 상태를 완전하게 유지시킬 수 있도록 함으로써 웨이퍼(10)의 노광 품질을 보장할 수 있도록 한다.
본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치(200)의 구성을 살펴보면 도 1 내지 도 8 에 도시된 바와 같이 웨이퍼가 적재 고정되는 웨이퍼 척(160) 중심부 상의 원형으로 이루어진 웨이퍼 척면(162) 외주면 상에 링 타입으로 승강 가능하게 결합되어지되 상부면에는 원주 형태로 오링 삽입홈(212)이 형성된 승강척(210), 승강척(210)의 오링 삽입홈(212) 상에 안착 결합되어지되 웨이퍼 척(160)에 적재된 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 얼라인 후 완전한 접촉이 이루어진 경우 승강척(210)의 상승에 의해 마스크(20) 하부면과 승강척(210)이 이루는 내부에 진공챔버가 형성되도록 하는 버큠 컨택용 오링(220) 및 웨이퍼 척(160)의 하부면 가장자리 상에 설치되어 승강척(210)을 승강시키는 다수의 에어실린더(230)를 포함한 구성으로 이루어진다.
전술한 바와 같이 구성된 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치(200)를 구성하는 승강척(210)은 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 얼라인시에는 하강된 상태로 승강척(210)의 오링 삽입홈(212)에 안착 결합된 버큠 컨택용 오링(220)의 상단 높이가 웨이퍼 척(160)의 웨이퍼 척면(160)에 탑재 고정된 웨이퍼(10)의 상부면 높이에 비에 하부에 위치되도록 구성된다.
반면, 전술한 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 얼라인이 이루어진 상태에서 웨이퍼(10) 표면에 마스크(20) 상에 형성된 패턴을 노광시키기 위해 작용은 먼저, 웨이퍼 척(160)을 상승시켜 웨이퍼(10)와 마스크(20)를 완전하게 접촉시킨 상태에서 에어실린더(230)를 통해 승강척(210)을 상승시켜 버큠 컨액용 오링(220)의 상부면이 마스크(20)의 하부면에 밀착되도록 함으로써 웨이퍼 척(160)과 승강척(210) 및 마스크(20) 하부에 의해 이루어지는 공간이 폐쇄되도록 한다.
전술한 바와 같이 승강척(210)을 상승시켜 버큠 컨액용 오링(220)의 상부면이 마스크(20)의 하부면에 밀착되도록 함으로써 웨이퍼 척(160)과 승강척(210) 및 마스크(20) 하부에 의해 이루어지는 공간이 폐쇄되도록 한 다음에는 웨이퍼 척면(162)의 버큠홀을 통해 웨이퍼 척(160)과 승강척(210) 및 마스크(20) 하부에 의해 이루어지는 공간의 공기를 연속적으로 흡입함으로써 진공 상태의 진공챔버로 형성되도록 한다.
따라서, 전술한 바와 같이 웨이퍼 척면(162)의 버큠홀을 통해 웨이퍼 척(160)과 승강척(210) 및 마스크(20) 하부에 의해 이루어지는 공간의 공기를 연속적으로 흡입함으로써 진공챔버를 형성하게 되면 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 접촉은 보다 견고하게 이루어져 웨이퍼(10)의 유동이 방지된다.
전술한 바와 같은 본 발명에 따른 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치(200)를 구성하는 각각의 구성요소를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 먼저, 본 발명을 구성하는 승강척(210)은 후술하는 에어실린더(230)를 통해 승강되어 웨이퍼 척(160)과 승강척(210) 및 마스크(20) 하부에 의해 이루어지는 공간을 형성하거나 해제하기 위한 것으로, 이러한 승강척(210)은 도 1 내지 도 8 에 도시된 바와 같이 웨이퍼(10)가 적재 고정되는 웨이퍼 척(160) 중심부 상의 원형으로 이루어진 웨이퍼 척면(162) 외주면 상에 링 타입으로 승강 가능하게 결합되어지되 상부면에는 원주 형태로 오링 삽입홈(212)이 형성된 구성으로 이루어진다.
한편, 전술한 바와 같이 구성된 승강척(210)의 내주면과 웨이퍼 척면(162)의 외주면 사이에는 진공의 누수가 발생되지 않도록 밀폐시키기 위한 진공용 실링(240)이 구성된다. 이때, 진공용 실링(240)은 승강척(210)의 내주면 상에 형성된 하나 이상의 실링홈(214) 상에 삽입 안착되어 승강척(210)의 내주면과 웨이퍼 척면(162)의 외주면 사이로 진공의 누수가 발생되지 않도록 한다.
전술한 바와 같이 구성된 승강척(210)의 승강 스트로크는 웨이퍼(10)의 큰 두께 변화가 있더라도 문제없이 상용 가능하도록 길게 하는 것이 보다 양호하다 할 것이다. 즉, 두께가 두꺼운 웨이퍼(10)에 노광시키는 경우 두꺼운 웨이퍼(10)로 인하여 승강척(210)을 상승시켰을 때 버큠 컨택용 오링(220)의 상부면이 마스크(20)의 하부면 상에 접촉되지 않게 되는 일이 없도록 하기 위함이다.
다음으로, 본 발명을 구성하는 버큠 컨택용 오링(220)은 승강척(210)의 상승시 마스크(20) 하부면과의 탄성 접촉을 통해 마스크(20) 하부면과 승강척(210) 상부면 사이의 진공이 이루어질 수 있도록 하는 것으로, 이러한 버큠 컨택용 오링(220)은 도 1 내지 도 8 에 도시된 바와 같이 승강척(210)의 오링 삽입홈(212) 상에 안착 결합되어지되 웨이퍼 척(160)에 적재된 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 얼라인 후 완전한 접촉이 이루어진 경우 승강척(210)의 상승에 의해 마스크(20) 하부면과 승강척(210)이 이루는 내부에 진공이 형성되도록 하는 기능을 한다.
전술한 바와 같이 구성되는 버큠 컨택용 오링(220)은 실리콘 재질로 이루어지되 중실의 오링으로 이루어지기 때문에 재질적인 특성에 의해 승강척의 상승시 마스크(20) 하부면과의 탄성 접촉을 통해 마스크(20) 하부면과 승강척(210) 상부면 사이의 진공이 이루어질 수 있도록 하여 마스크(20) 하부면과 승강척(210) 상부면 사이로 진공의 누수가 발생되지 않도록 한다.
다음으로, 본 발명을 구성하는 에어실린더(230)는 승강척(210)을 승강시키는 것으로, 이러한 에어실린더(230)는 도 1 내지 도 8 에 도시된 바와 같이 웨이퍼 척(160)의 하부면 가장자리 상에 설치되어 승강척(210)을 승강시키는 다수의 구성으로 이루어진다.
전술한 바와 같은 에어실린더(230)는 웨이퍼 척(160)의 하부면 가장자리 상에 다수가 등간격으로 설치되어 에어의 공급시 피스톤을 통해 승강척(210)을 상승시키게 된다. 이때, 승강척(210)의 규일인 승강을 위해 에어실린더(230)는 적어도 3개 이상이 등간격으로 설치되는 것이 바람직하다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 기술은 웨이퍼 척(160) 외부에 승강척(210)을 구성하여 웨이퍼(10)와 마스크(20)의 완전한 접촉을 이루어졌을 때 상승시켜 완전한 진공챔버가 이루어질 수 있도록 함으로써 웨이퍼(10)의 유동을 방지할 수 있음은 물론, 마스크와 웨이퍼의 얼라인 상태를 유지하여 노광품질을 향상시킬 수 있도록 하는 효과가 있다.
본 발명은 전술한 실시 예에 국한되지 않고 본 발명의 기술사상이 허용하는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수가 있다.
10. 웨이퍼
20. 마스크
100. 노광시스템
110. 정반
120. 이송수단
130. 레벨링 플레이트
140. 종바리
142. 베어링 지지홈
150. 에어베어링
160. 웨이퍼 척
170. 지지프레임
180. 마스크 척
190. 광조사장치
200. 실 장치
210. 승강척
212. 오링 삽입홈
214. 실링홈
220. 버큠 컨택용 오링
230. 에어실린더
240. 진공용 실링

Claims (4)

  1. 웨이퍼를 상하와 전후 및 θ축으로 이송시킬 수 있도록 하는 이송수단, 상기 이송수단의 최상단에 설치되는 레벨 플레이트, 상기 레벨 플레이트의 상부 중심에 설치되어지되 상부면에는 반구 형태의 베어링 지지홈이 형성된 종바리, 상기 종바리의 베어링 지지홈 상에 지지되는 반구 형태의 에어베어링 및 상기 에어베어링의 상부측에 설치되어 진공 흡착을 통해 웨이퍼를 고정시키는 웨이퍼 척이 구비된 노광장치에 있어서,
    상기 웨이퍼가 적재 고정되는 상기 웨이퍼 척 중심부 상의 원형으로 이루어진 웨이퍼 척면 외주면 상에 링 타입으로 승강 가능하게 결합되어지되 상부면에는 원주 형태로 오링 삽입홈이 형성된 승강척;
    상기 승강척의 오링 삽입홈 상에 안착 결합되어지되 상기 웨이퍼 척에 적재된 상기 웨이퍼와 상기 마스크의 얼라인 후 완전한 접촉이 이루어진 경우 상기 승강척의 상승에 의해 상기 마스크 하부면과 상기 승강척이 이루는 내부에 진공챔버가 형성되도록 하는 버큠 컨택용 오링; 및
    상기 웨이퍼 척의 하부면 가장자리 상에 설치되어 상기 승강척을 승강시키는 다수의 에어실린더를 포함한 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 승강척의 상승은 상기 마스크와 웨이퍼의 얼라인이 이루어진 상태에서 완전한 접촉이 이루어진 후에 상기 승강척의 상승이 이루어져 상기 상기 마스크 하부면과 상기 승강척이 이루는 내부에 진공챔버가 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 버큠 컨택용 오링의 재질은 실리콘 재질로 이루어지되 중실의 오링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 승강척의 내주면에는 하나 이상의 실링홈이 더 형성되어지되 상기 실링홈에는 상기 승강척의 내주면과 상기 웨이퍼 척면의 외주면 사이로 진공의 누수가 발생되지 않도록 하는 진공용 실링이 더 구성된 것을 특징으로 하는 하는 마스크 얼라이너 버큠 컨택용 실 장치.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050020922A (ko) 2003-08-21 2005-03-04 이곤철 백-사이드 마스크 정렬이 가능한 노광장치
US20110050168A1 (en) 2009-08-27 2011-03-03 Electronics And Telecommunications Research Institute Charge control method for vehicle and device thereof
US20110066270A1 (en) 2009-09-17 2011-03-17 Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation Rapid Thermal Annealing Method for a Semiconductor Device

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