KR20160126211A - 관성 센서 - Google Patents

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KR20160126211A
KR20160126211A KR1020150057011A KR20150057011A KR20160126211A KR 20160126211 A KR20160126211 A KR 20160126211A KR 1020150057011 A KR1020150057011 A KR 1020150057011A KR 20150057011 A KR20150057011 A KR 20150057011A KR 20160126211 A KR20160126211 A KR 20160126211A
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KR
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inertial sensor
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KR1020150057011A
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김태윤
이성준
임창현
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명의 관성 센서는 제1부분이 제2부분에 대한 상대적인 거동이 가능하도록 구성되는 몸체 부재; 상기 몸체 부재에 형성되고, 상기 제1부분과 마주하는 영역에 홈이 형성되는 덮개 부재; 및 상기 제2부분에 배치되고, 상기 홈의 적어도 일 부분을 덮도록 연장되는 완충 부재;를 포함한다.

Description

관성 센서{Inertial Sensor}
본 발명은 휴대용 단말기에 장착되는 관성 센서에 관한 것이다.
관성 센서는 기기의 움직임을 감지하도록 구성된다. 예를 들어, 소형 관성 센서는 이동단말기의 움직임을 통해 이동단말기의 보조기능을 수행하기 위해 탑재된다.
이동단말기는 사용자가 항상 휴대하고 다니므로, 외부로부터 충격을 받기 쉽다. 일 예로, 이동단말기는 사용자의 부주의에 의해 지면으로 떨어지거나 또는 사용자의 휴대 중 물건 등과 충돌하면서 쉽게 충격을 받을 수 있다. 이러한 이유로, 이동단말기에 탑재되는 관성 센서는 충격에 의해 파손되기 쉬운 문제점이 있다.
따라서, 외부 충격에 강하면서도 작동 신뢰성을 유지할 수 있는 소형 관성 센서의 개발이 요청된다.
참고로, 본 발명과 관련된 선행기술로는 특허문헌 1 내지 4가 있다.
KR 2012-0067103 A KR 2013-0067327 A US 2004-0231422 A1 US 2004-0261529 A1
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 개발된 것으로서, 외부 충격에 강한 관선 센서를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 관성 센서는 외부 충격에 의한 질량 부재의 파손을 최소화할 수 있도록 질량 부재의 급격한 움직임을 경감시킬 수 있는 구조를 갖는다.
본 발명은 외부 충격에 의한 충격 에너지를 감소시킬 수 있으므로, 관선 센서의 내구성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 관성 센서의 분리 사시도이고,
도 2는 도 1에 도시된 관성 센서의 결합 사시도이고,
도 3은 도 2에 도시된 관성 센서의 A-A 단면도이고,
도 4는 도 2에 도시된 관성 센서의 B-B 단면도이고,
도 5는 외부 충격에 의한 관성 센서의 작동 상태를 나타낸 A-A 단면도이고,
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 관성 센서의 분리 사시도이고,
도 7은 도 6에 도시된 관성 센서의 결합 사시도이고,
도 8은 도 7에 도시된 관성 센서의 C-C 단면도이고,
도 9는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 관성 센서의 분리 사시도이고,
도 10은 도 9에 도시된 관성 센서의 결합 사시도이고,
도 11은 도 10에 도시된 관성 센서의 D-D 단면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.
아울러, 명세서 전체에서, 어떤 구성이 다른 구성과 '연결'되어 있다 함은 이들 구성들이 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 구성을 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함하는 것을 의미한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 관성 센서를 설명한다.
관성 센서(10)는 몸체 부재(100)를 포함한다. 몸체 부재(100)는 몸체의 일 부분이 외부 충격에 의한 거동이 가능한 구조를 갖는다. 일 예로, 몸체 부재(100)의 제1부분(110)은 제2부분(120)에 대한 상대적인 움직임이 가능할 수 있다.
이하에서 몸체 부재(100)의 거동 가능한 구조를 설명한다.
몸체 부재(100)는 육면체 형태일 수 있다. 예를 들어, 몸체 부재(100)는 정사각의 단면 형상을 갖는 육면체 형태일 수 있다. 몸체 부재(100)는 제1부분(110)과 제2부분(120)으로 구획될 수 있다. 일 예로, 몸체 부재(100)의 중앙 부분은 제1부분(110)이고, 제1부분(110)을 둘러싸는 가장자리는 제2부분(120)일 수 있다. 제1부분(110)은 소정의 질량을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1부분(110)은 외부로부터 전달되는 힘에 의해 소정크기의 가속도 운동을 할 수 있는 질량을 가질 수 있다. 제2부분(120)은 제1부분(110)보다 큰 질량을 가질 수 있다. 일 예로, 제2부분(120)은 제1부분(110)의 가속도 운동에 의해서도 미동하지 않도록 충분한 크기의 질량을 가질 수 있다.
제1부분(110)과 제2부분(120)은 복수의 홈(102)에 의해 분리될 수 있다. 일 예로, 제1부분(110)과 제2부분(120)은 제1부분(110)의 가장자리를 따라 형성되는 홈(102)에 의해 서로 독립적인 거동을 갖도록 분리될 수 있다.
제1부분(110)과 제2부분(120)은 하나 이상의 축에 의해 연결될 수 있다. 일 예로, 제1부분(110)과 제2부분(120)은 2쌍의 연결축(132, 134)에 의해 연결될 수 있다. 한 쌍의 제1연결축(132)은 제1방향(도 1 기준으로 X축 방향)으로 연장되고, 다른 한 쌍의 제2연결축(134)은 제2방향(도 1 기준으로 Y축 방향)으로 연장된다. 참고로, 제1연결축(132)과 제2연결축(134)은 서로 직교하는 방향으로 형성될 수 있다.
이와 같이 구성된 몸체 부재(110)는 제1부분(110)이 복수의 연결축(132, 134)을 기준으로 서로 다른 방향으로 회전할 수 있다. 일 예로, 제1부분(110)은 제1연결축(132)을 기준으로 Y-Z 평면상에서 회전할 수 있다. 다른 예로, 제1부분(110)은 제2연결축(134)을 기준으로 X-Z 평면상에서 회전할 수 있다.
관성 센서(10)는 제1부분(110)의 회전방향, 회전크기, 회전각속도 등을 측정하기 위한 구성을 포함한다. 예를 들어, 관성 센서(10)는 다수의 압전 부재(400)를 포함한다. 압전 부재(400)는 제1부분(110)의 서로 다른 거동을 감지하도록 구성된다. 일 예로, 일부 압전 부재(400)는 제1연결축(132)에 배치되고, 일부 압전 부재(400)는 제2연결축(1340에 배치될 수 있다.
참고로, 첨부된 도 1에서는 제1연결축(132)에 1쌍의 압전 부재(400)가 배치되고, 제2연결축(134)에 2쌍의 압전 부재(400)가 배치된 것으로 도시되어 있으나, 압전 부재(400)의 배치형태가 도 1에 도시된 형태로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1연결축(132)에 2쌍의 압전 부재(400)가 배치되고, 제2연결축(134)에 1쌍 이상의 압전 부재(400)가 배치될 수 있다.
아울러, 도 1에서는 압전 부재(400)가 각각의 연결축(132, 134)과 평행하게 배치되는 것으로 도시되어 있으나, 압전 부재(400)가 연결축(132, 134)과 반드시 평행하게 배치되어야 하는 것은 아니다. 일 예로, 적어도 1쌍 이상의 압전 부재(400)는 제1연결축(132) 및 제2연결축(134)에 대해 소정의 각도를 형성하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 관성 센서(10)의 측정효율을 증대시킬 수 있다.
다음에서는 몸체 부재(100)와 결합하는 다른 구성요소들을 설명한다.
관성 센서(10)는 덮개 부재(200)와 완충 부재(300)를 포함한다. 일 예로, 몸체 부재(100)의 제1면(도 1 기준으로 상면)과 제2면(도 1 기준으로 하면)에는 덮개 부재(200)와 완충 부재(300)가 각각 배치될 수 있다. 덮개 부재(200)는 몸체 부재(100)의 제1면과 제2면을 보호하고, 완충 부재(300)는 제1부분(110)을 보호할 수 있다.
덮개 부재(200)는 몸체 부재(100)의 상면 및 하면에 각각 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1덮개 부재(210)는 몸체 부재(100)의 상면에 배치되고, 제2덮개 부재(220)는 몸체 부재(100)의 하면에 배치될 수 있다. 그러나 덮개 부재(200)가 몸체 부재(100)의 상면 및 하면에 모두 배치되어야 하는 것은 아니다. 일 예로, 몸체 부재(100)의 상면 또는 하면이 기판 등에 의해 보호되는 경우에는, 제1덮개 부재(210) 및 제2덮개 부재(220) 중 어느 하나를 생략할 수 있다.
덮개 부재(200)는 몸체 부재(100)의 단면과 대체로 동일한 단면 형상을 갖도록 구성될 수 있다. 일 예로, 덮개 부재(200)는 몸체 부재(100)와 동일한 크기를 갖는 정 사각의 단면 형상을 가질 수 있다. 덮개 부재(200)에는 홈(202)이 형성될 수 있다. 일 예로, 몸체 부재(100)와 마주하는 덮개 부재(200: 210, 220)의 일 면에는 각각 홈(202)이 형성될 수 있다. 홈(202)은 제1부분(110)을 수용할 수 있는 크기를 가질 수 있다. 일 예로, 홈(202)은 제1부분(110)의 단면을 완전히 수용할 수 있는 크기 및 형상을 가질 수 있다. 홈(202)은 덮개 부재(200)와 몸체 부재(100) 사이에 공간을 형성할 수 있다. 일 예로, 덮개 부재(200)의 일 면과 몸체 부재(100)의 제1부분(110)은 상기 홈(202)에 의해 상호 접촉하지 않을 수 있다.
완충 부재(300)는 몸체 부재(100)와 덮개 부재(200) 사이에 배치될 수 있다. 일 예로, 제1완충 부재(310)는 몸체 부재(100)의 상면과 제1덮개 부재(210) 사이에 배치되고, 제2완충 부재(320)는 몸체 부재(100)의 하면과 제2덮개 부재(220) 사이에 배치된다.
완충 부재(300)에는 구멍(312, 322)이 형성된다. 일 예로, 제1완충 부재(310)에는 제1구멍(312)이 형성되고, 제2완충 부재(320)에는 제2구멍(322)이 형성된다. 구멍(312, 322)은 몸체 부재(100)의 제1부분(110)과 부분적으로 중첩되는 크기를 갖도록 형성된다. 일 예로, 몸체 부재(100)의 상면과 하면에 각각 배치되는 완충 부재(300)는 제1부분(110)의 적어도 일 부분을 가릴 수 있다. 참고로, 본 실시 예에서 완충 부재(300)는 제1부분(110)의 모서리 부분을 덮도록 형성되어 있다.
위와 같이 구성된 관성 센서(10)는 덮개 부재(200)의 홈(202)을 통해 제1부분(110)의 자유로운 거동을 확보할 수 있다. 일 예로, 몸체 부재(100)와 덮개 부재(200) 사이에는 전술한 바와 같이 홈(202)에 의해 공간이 형성되므로, 제1부분(110)의 자유로운 거동이 가능하다.
또한, 관성 센서(10)는 완충 부재(300)를 통해 제1부분(110)과 덮개 부재(200) 간의 충돌을 방지할 수 있다. 일 예로, 완충 부재(300)는 몸체 부재(100)와 덮개 부재(200) 사이에 배치되어 제1부분(110)의 급격한 거동을 차단할 수 있다.
따라서, 본 실시 예에 따른 관성 센서(10)는 외부 충격에 의해 몸체 부재(100)의 제1부분(110)이 파손되는 현상을 경감시킬 수 있으며, 이를 통해 관성 센서(10)의 작동 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 2를 참조하여 일 실시 예에 따른 관성 센서의 결합 형태를 설명한다.
관성 센서(10)는 소형 단말기에 장착이 용이한 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 몸체 부재(100), 덮개 부재(200), 완충 부재(300)의 적층구조로 이루어진 관성 센서(10)는 도 2에 도시된 바와 같이 대체로 높이가 낮은 육면체 형태를 가질 수 있다.
관성 센서(10)는 외부 충격에 의해 가속도 운동을 수행하는 부분과 가속도 운동을 수행하지 않는 부분으로 구별될 수 있다. 예를 들어, 관성 센서(10)는 몸체 부재(100)의 연결축(132, 134)을 가로지르는 부분에서는 가속도 운동이 이루어지지 않는다. 이와 달리, 관성 센서(10)는 몸체 부재(100)의 제1부분(110)을 가로지르는 부분에서는 가속도 운동이 이루어진다.
다음에서는 위와 같은 관성 센서(10)의 단면 형태를 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.
먼저, 도 3을 참조하여 관성 센서의 A-A 단면 형태를 설명한다.
관성 센서(10)는 연결축(132, 134)을 가로지르는 부분에서 가속도 운동이 이루어지지 않도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 몸체 부재(100)의 제2부분(120)은 완충 부재(310, 320)의 사이에 고정되고, 몸체 부재(100)의 연결축(132, 134)은 제2부분(120)과 연결되어 자유로운 운동이 제한된다. 다만, 연결축(132, 134)은 제1부분(110)의 가속도 운동에 의해 휨 변형되거나 뒤틀림 변형될 수 있다. 여기서, 연결축(132, 134)의 변형 크기는 제1부분(110)의 가속도 운동 크기 및 방향에 따라 달라질 수 있다.
도 4를 참조하여 관성 센서의 B-B 단면 형태를 설명한다.
관성 센서(10)는 제1부분(110)을 가로지르는 부분에서 가속도 운동이 이루어지도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 몸체 부재(100)의 제1부분(110)은 제2부분(120)과 독립되어 자유로운 운동이 가능하다.
제1부분(110)과 완충 부재(120) 사이에는 소정크기의 제1간격(G1)이 형성될 수 있다. 상기 제1간격(G1)은 제1부분(110)의 자유로운 가속도 운동을 위한 최소 크기일 수 있다. 따라서, 제1부분(110)의 자유도를 향상시키기 위해서는 상기 제1간격(G1)을 확대하는 것이 유리할 수 있다. 다만, 관성 센서(10)의 박형화를 위해 상기 제1간격(G1)을 최소화하는 것도 바람직하다.
완충 부재(120)와 덮개 부재(200) 사이에는 소정크기의 제2간격(G2)이 형성될 수 있다. 상기 제2간격(G2)은 제1부분(110)의 급격한 운동을 감소시키는데 필요한 최소 크기일 수 있다. 따라서, 제1부분(110)의 급격한 운동을 효과적으로 감소시키기 위해서는 상기 제2간격(G2)을 확대하는 것이 유리할 수 있다. 다만, 관성 센서(10)의 박형화를 위해 상기 제2간격(G2)을 최소화하는 것도 바람직하다.
도 5를 참조하여 일 실시 예에 따른 관성 센서의 작동 상태를 설명한다. 참고로, 도 5는 도 2에 도시된 관성 센서의 A-A 단면도이다.
관성 센서(10)는 질량을 갖는 제1부분(110)의 회전운동을 통해 가속도를 측정하도록 구성된다. 예를 들어, 몸체 부재(100)의 제1부분(110)은 외부로부터 전달되는 힘에 의해 도 5에 도시된 바와 같이 일 방향으로 회전할 수 있다.
정상상태에서, 몸체 부재(100)의 제1부분(110)은 제1각도범위에서 회전할 수 있다. 일 예로, 제1부분(110)은 완충 부재(310. 320)와 접촉하지 않는 각도 범위에서 회전할 수 있다. 다른 예로, 제1부분(110)은 완충 부재(310, 320)와 접촉하나 완충 부재(310, 320)를 변형시키지 않는 범위에서 회전할 수 있다. 따라서, 정상상태에서, 제1부분(110)은 덮개 부재(210, 220)와 충돌하여 파손되지 않는다.
이와 달리 비정상상태(예를 들어, 외부로부터 큰 충격이 가해지는 경우)에서, 몸체 부재(100)의 제1부분(110)은 제1각도범위를 벗어난 크기로 회전할 수 있다. 일 예로, 제1부분(110)은 상당한 힘으로 완충 부재(310, 320)와 충돌할 정도로 회전할 수 있다. 그러나 이 경우에도 제1부분(110)은 덮개 부재(210, 220)와 충돌하여 파손되지 않는다. 일 예로, 제1부분(110)의 과도한 회전에 따른 충격에너지는 완충 부재(310, 320)를 변형시키면서 1차적으로 감소되고, 완충 부재(310, 320)의 단부가 덮개 부재(210, 220)와 접촉되면서 2차적으로 감소된다(이 경우에도 제1부분(110)과 덮개 부재(210, 220)는 직접적으로 충돌하지 않는다). 따라서, 본 실시 에에 따른 관성 센서(10)는 외부로부터 과도한 충격을 받아도 안정적인 성능을 발휘할 수 있다.
다음에서는 다른 실시 예에 따른 관성 센서를 설명한다. 참고로, 이하의 설명에서 전술된 실시 예와 동일한 구성요소는 전술된 실시 예와 동일한 도면부호를 사용하고, 이들 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 6을 참조하여 다른 실시 예에 따른 관성 센서를 설명한다.
본 실시 예에 따른 관성 센서(10)는 몸체 부재(100)의 형상에 있어서 구별될 수 있다. 일 예로, 몸체 부재(100)의 제1부분(110)에는 낮은 턱(112)이 형성될 수 있다. 이러한 낮은 턱(112)은 제1부분(110)과 완충 부재(310, 320) 사이를 이격시키는데 유리할 수 있다.
또한, 본 실시 예에 따른 관성 센서(10)는 덮개 부재(210, 220)의 형상에 있어서 구별될 수 있다. 일 예로, 덮개 부재(210, 220)에는 제1부분(110)의 단면 형상과 대체로 대응하는 형상의 홈(212)이 형성될 수 있다.
또한, 본 실시 예에 따른 관성 센서(10)는 완충 부재(310, 320)의 형상에 있어서 구별될 수 있다. 일 예로, 완충 부재(310, 320)에는 제1부분(110)의 단면 형상과 대체로 유사하나 소정의 각도로 어긋난 형태의 구멍(312)이 형성될 수 있다. 이러한 형태의 완충 부재(310, 320)는 제1부분(110)의 모서리 부분과 덮개 부재(210, 220) 간의 충돌을 차단하는데 유리할 수 있다.
도 7을 참조하여 다른 실시 예에 따른 관성 센서의 결합 형태를 설명한다.
관성 센서(10)의 결합 형태는 전술된 실시 예와 대체로 동일 또는 유사할 수 있다. 예를 들어, 관성 센서(10)는 몸체 부재(100)를 중심으로 완충 부재(310, 320)와 덮개 부재(210, 220)가 순차적으로 적층된 구조를 갖는다.
도 8을 참조하여 다른 실시 예에 따른 관성 센서의 C-C 단면 형태를 설명한다.
본 실시 예에 따른 관성 센서(10)는 도 8에 도시된 바와 같이 제1부분(110)에 낮은 턱(112)이 형성되어 있으므로, 제1부분(110)과 완충 부재(310, 320) 사이에 제1간격(G1)이 자연스럽게 형성될 수 있다. 따라서, 본 실시 예에 따른 관성 센서(10)는 박형화에 유리할 수 있다.
다음에서는 또 다른 실시 예에 따른 관성 센서를 설명한다. 참고로, 이하의 설명에서 전술된 실시 예와 동일한 구성요소는 전술된 실시 예와 동일한 도면부호를 사용하고, 이들 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 9를 참조하여 또 다른 실시 예에 따른 관성 센서를 설명한다.
본 실시 예에 따른 관성 센서(10)는 간격 유지 부재(500)의 구성에 있어서 구별된다. 예를 들어, 덮개 부재(200)와 완충 부재(300) 사이에는 제1간격 유지 부재(510)가 배치되고, 몸체 부재(100)와 완충 부재(300) 사이에는 제2완충 부재(520)가 배치된다. 제1간격 유지 부재(510)는 덮개 부재(200)와 완충 부재(300) 사이에 공간을 형성하고, 제2간격 유지 부재(520)는 완충 부재(300)와 몸체 부재(100) 사이에 공간을 형성한다.
간격 유지 부재(510, 520)에는 각각 구멍(512, 522)이 형성된다. 상기 구멍(512, 522)은 대체로 동일한 크기로 형성될 수 있다. 이와 마찬가지로 완충 부재(300)에는 구멍(302)이 형성될 수 있다. 다만, 상기 구멍(302)은 간격 유지 부재(510, 520)의 구멍(512, 522)과 다른 크기로 형성될 수 있다. 일 예로, 완충 부재(300)의 구멍(302)은 간격 유지 부재(510, 520)의 구멍(512, 522)보다 작은 크기를 갖도록 형성되거나 또는 간격 유지 부재(510, 520)의 구멍(512, 522)을 부분적으로 덮도록 형성될 수 있다.
도 10을 참조하여 또 다른 실시 예에 따른 관성 센서의 결합 형태를 설명한다.
관성 센서(10)의 결합 형태는 전술된 실시 예와 대체로 동일 또는 유사할 수 있다. 예를 들어, 관성 센서(10)는 몸체 부재(100)의 일면에 제2간격 유지 부재(520), 완충 부재(300), 제1간격 유지 부재(510), 덮개 부재(200)가 순차적으로 적층된 구조를 갖는다.
도 11을 참조하여 또 다른 실시 예에 따른 관성 센서의 D-D 단면 형태를 설명한다.
본 실시 예에 따른 관성 센서(10)는 기판(20)에 탑재되도록 구성될 수 있다. 일 예로, 몸체 부재(100)의 상부에는 제2간격 유지 부재(520), 완충 부재(300), 제1간격 유지 부재(510), 덮개 부재(200)가 순차적으로 배치되고, 몸체 부재(100)의 하부에는 기판(20)이 배치될 수 있다. 이러한 구조는 관성 센서(10)를 주기판에 직접 탑재하는 경우에 유리할 수 있다.
본 실시 예에 따른 관성 센서(10)는 몸체 부재(100)의 형상에 있어서 구별된다. 예를 들어, 몸체 부재(100)에서 제1부분(110)의 제1높이(h1)는 제2부분(120)의 제2높이(h2)보다 작을 수 있다. 이에 따라 제1부분(110)과 기판(20) 사이에 제3간격(G3)이 형성될 수 있다. 이러한 제3간격(G3)은 몸체 부재(100)의 제1부분(110)이 기판(20)과 충돌하는 현상을 차단할 수 있다.
본 발명은 이상에서 설명되는 실시 예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다. 예를 들어, 전술된 실시형태에 기재된 다양한 특징사항은 그와 반대되는 설명이 명시적으로 기재되지 않는 한 다른 실시형태에 결합하여 적용될 수 있다.
10 관성 센서
100 몸체 부재
110 제1부분
112 (낮은) 턱
120 제2부분
132, 134 연결축
200 덮개 부재
210 제1덮개 부재
220 제2덮개 부재
202 홈
300 완충 부재
400 압전 부재
500 간격 유지 부재
510 제1간격 유지 부재
520 제2간격 유지 부재

Claims (12)

  1. 제1부분이 제2부분에 대한 상대적인 거동이 가능하도록 구성되는 몸체 부재;
    상기 몸체 부재에 형성되고, 상기 제1부분과 마주하는 영역에 홈이 형성되는 덮개 부재; 및
    상기 제2부분에 배치되고, 상기 홈의 적어도 일 부분을 덮도록 연장되는 완충 부재;
    를 포함하는 관성 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 홈은 상기 제1부분의 단면과 동일한 형상인 관성 센서.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 몸체 부재와 상기 완충 부재 사이에 배치되어, 상기 제1부분과 상기 완충 부재를 비접촉상태로 유지시키는 간격 유지 부재를 포함하는 관성 센서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1부분은 서로 다른 방향을 갖는 2개 이상의 연결축에 의해 상기 제2부분과 연결되도록 구성되는 관성 센서.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1부분의 거동을 전기신호로 변환하도록 구성되는 하나 이상의 압전 부재를 포함하는 관성 센서.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1부분의 높이는 상기 제2부분의 높이보다 작게 구성되는 관성 센서.
  7. 제1부분이 제2부분에 대한 상대적인 거동이 가능하도록 구성되는 몸체 부재;
    상기 몸체 부재에 형성되고, 상기 제1부분을 덮도록 형성되는 덮개 부재;
    상기 몸체 부재와 상기 덮개 부재 사이에 배치되고, 제1구멍이 형성되는 제1간격 유지 부재 및 제2간격 유지 부재; 및
    상기 제1간격 유지 부재 및 상기 제2간격 유지 부재 사이에 배치되고, 제2구멍이 형성되는 완충 부재;
    를 포함하는 관성 센서.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1부분의 가장자리에는 낮은 턱이 형성되는 관성 센서.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 덮개 부재에는 하나 이상의 홈이 형성되는 관성 센서.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제1부분은 서로 다른 방향을 갖는 2개 이상의 연결축에 의해 상기 제2부분과 연결되도록 구성되는 관성 센서.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제1부분의 거동을 전기신호로 변환하도록 구성되는 하나 이상의 압전 부재를 포함하는 관성 센서.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 제2구멍은 상기 제1구멍과 다른 크기 또는 다른 형상을 갖도록 형성되는 관성 센서.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20040231422A1 (en) 2002-05-13 2004-11-25 Wacoh Corporation Acceleration sensor and manufacturing method for the same
US20040261529A1 (en) 2003-06-25 2004-12-30 Matsushita Electric Works, Ltd. Semiconductor acceleration sensor and method of manufacturing the same
KR20120067103A (ko) 2010-12-15 2012-06-25 삼성전기주식회사 관성센서
KR20130067327A (ko) 2011-10-28 2013-06-24 삼성전기주식회사 관성센서

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040231422A1 (en) 2002-05-13 2004-11-25 Wacoh Corporation Acceleration sensor and manufacturing method for the same
US20040261529A1 (en) 2003-06-25 2004-12-30 Matsushita Electric Works, Ltd. Semiconductor acceleration sensor and method of manufacturing the same
KR20120067103A (ko) 2010-12-15 2012-06-25 삼성전기주식회사 관성센서
KR20130067327A (ko) 2011-10-28 2013-06-24 삼성전기주식회사 관성센서

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