KR20160119958A - 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 호스트에서 제공하는 정보와 기능들을 관련 장비에서 바로 활용함으로써 작업자의 작업 동선을 최소화하고, 작업성과 장비관리 효율을 극대화시킬 수 있으며, 반도제 공정 장비의 용이한 전산화 및 장비 데이터의 장기간 보존을 도모할 수 있는 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 투입자재 ID 획득을 위하여 컨트롤러 일체형으로 구성되고, 장비의 원격제어를 위한 라우터 일체형으로 구성되며, 관련 장비의 기능들을 활용할 수 있도록 관련 장비와 일체 형태로 구성되어 장비의 데이터를 장기간 저장가능하도록 구성되고, 장비와 상위 호스트와의 정보전송이 가능한 SECS/GEM 드라이버를 내장하도록 구성되며, 확장성을 고려하여 I/O포트 및 PCI 포트를 내장하도록 구성되고, 클린룸에 적용가능한 팬리스 방식으로 구성되는 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 제공된다.

Description

반도체공정 장비의 전산화용 단말장치{TERMINAL APPARATUS FOR COMPUTERZING FOR EQUIPMENT OF SEMI-CONDUCTOR PROCEDURE}

본 발명은 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 호스트에서 제공하는 정보와 기능들을 관련 장비에서 바로 활용함으로써 작업자의 작업 동선을 최소화하고, 작업성과 장비관리 효율을 극대화시킬 수 있으며, 반도제 공정 장비의 용이한 전산화 및 장비 데이터의 장기간 보존을 도모할 수 있는 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치에 관한 것이다.

일반적인 반도체공정장비는 다양한 공정 장비를 포함하고 있는데, 그 공정 단계별 필요한 장비들이 단독 또는 조합되어 구성되어 있다.

이러한 반도체공정장비를 구성하는 관련 장비의 일 예로는, 다수개의 웨이퍼가 실장되는 웨이퍼 운반장치와, 다관절로 이루어진 로봇 팔이 장착되어 있어서 웨이퍼 운반장치에 실장된 웨이퍼를 공급받아 웨이퍼 측정, 웨이퍼 클리닝 및 에칭 등의 반도체 작업공정을 수행하는 메인장비와, 상기 웨이퍼 운반장치가 정확한 위치에 안착 될 수 있도록 다수개의 위치지정 블록이 형성된 판 형상의 베이스 부재를 구비한 보조장비로 구성되어 있다.

이때, 일반적인 반도체공정장비는 작업자 또는 자동설비에 의해 다수개의 웨이퍼가 실장 된 웨이퍼 운반장치가 이동되어 상기 보조장비에 안착 되면, 도시치 않은 메인장비의 로봇 팔이 상기 웨이퍼운반장치에 실장 된 다수개의 웨이퍼를 순서대로 인출하여 웨이퍼 측정, 웨이퍼 클리닝 및 에칭 등의 반도체 작업공정을 수행하는 순서로 동작하였다.

그러나 상술한 종래의 반도체공정장비는 다수개의 반도체장비의 작업진행상황을 대기, 진행, 종료, 에러 등과 같이 단계별로 센싱하여 작업자가 한눈에 볼 수 있도록 디스플레이시켜 주는 기능이 전혀 없었기 때문에, 작업자가 일일이 다수개의 반도체공정장비의 작업진행상황을 육안으로 확인할 수밖에 없었고, 이로 인해 불편함과 동시에 작업능률이 떨어졌으며, 그뿐만 아니라 반도체공정장비의 작업에러상황을 신속정확하게 검출할 수 없어 그만큼 작업효율이 떨어지는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 반도체 공정의 장비에 전산관리를 적용하려면 장비 PC의 확장이 불가하여 전산화 및 장비 데이터를 장기간 보존 할 수 없는 문제점이 있었다.

특허문헌: 대한민국 등록특허공보 10-0780383호(2007.11.22)

따라서, 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 호스트에서 제공하는 정보와 기능들을 관련 장비에서 바로 활용함으로써 작업자의 작업 동선을 최소화하고, 작업성과 장비관리 효율을 극대화시킬 수 있으며, 반도제 공정 장비의 용이한 전산화 및 장비 데이터의 장기간 보존을 도모할 수 있는 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 본 발명의 목적들 및 다른 특징들을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 투입자재 ID 획득을 위하여 컨트롤러 일체형으로 구성되고, 장비의 원격제어를 위한 라우터 일체형으로 구성되며, 관련 장비의 기능들을 활용할 수 있도록 관련 장비와 일체 형태로 구성되어 장비의 데이터를 장기간 저장가능하도록 구성되고, 장비와 상위 호스트와의 정보전송이 가능한 SECS/GEM 드라이버를 내장하도록 구성되며, 확장성을 고려하여 I/O포트 및 PCI 포트를 내장하도록 구성되고, 클린룸에 적용가능한 팬리스 방식으로 구성되는 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 제공된다.

본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치는, 호스트에서 제공하는 정보와 기능들을 관련 장비에서 바로 활용함으로써 작업자의 작업 동선을 최소화하고, 작업성과 장비관리 효율을 극대화시킬 수 있으며, 반도제 공정 장비의 전산화를 용이하게 하며, 장비 데이터를 장기간 보존할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 반도체 공정 장비의 전산화를 위한 상위 호스트 정보를 전달, 투입자재의 ID를 획득하여 상위 호스트로의 전송, 장비 데이터의 장기간 보존이 가능하여 문제점 발생시 데이터를 분석하여 동일한 오류가 발생하지 않도록 방지할 수 있으며, 장비의 원격제어가 가능하여 생산능률향상에 효과가 있다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치의 시작품에 대한 외관 형태를 도시한 전후면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 통합 전산화 장비에 일체화되어 구성되는 예시를 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 적용되는 시스템의 개념도이다.
도 4는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 장비 PC와 연동되어 디스플레이되는 일 예시를 도시한 설명도이다.
도 5는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 다수 구성되어 운용 PC와 모니터링 제어설비와 연동되는 형태를 도시한 개념도이다.

본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다.

본 발명의 상세한 설명에 앞서, 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 명세서에 기재된 "...부", "...유닛", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치를 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치의 시작품에 대한 외관 형태를 도시한 전후면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 통합 전산화 장비에 일체화되어 구성되는 예시를 도시한 구성도이다. 도 3은 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 적용되는 시스템의 개념도이고, 도 4는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 장비 PC와 연동되어 디스플레이되는 일 예시를 도시한 설명도이며, 도 5는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 다수 구성되어 운용 PC와 모니터링 제어설비와 연동되는 형태를 도시한 개념도이다.

본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치는, 반도체 공정 장비의 전산화를 위하여 투입자재 ID획득을 위한 컨트롤러 및 원격제어를 위한 라우터 일체형, 상위 호스트 정보의 장비로의 전송, 장비의 데이터 저장하며 클린룸에 맞게 팬리스 형태의 단말장치를 제안하기 위한 것으로, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 투입자재 ID 획득을 위하여 컨트롤러 일체형으로 구성되고, 장비의 원격제어를 위한 라우터 일체형으로 구성된다.

또한, 본 발명은 관련 장비의 기능들을 바로 활용할 수 있도록 관련 장비와 일체 형태로 구성되어 장비의 데이터(예를 들면, 오류 데이터)를 장기간 저장가능하고, 장비와 상위 호스트와의 정보전송이 가능한 SECS/GEM 드라이버를 내장하도록 구성되며, 확장성을 고려하여 I/O포트 및 PCI 포트를 내장하도록 구성된다.

또한, 본 발명은 클린룸에 적용가능한 팬리스 방식으로 구성된다.

상기와 같은 본 발명에서 도 4에 도시된 바와 같이 RCS(원격제어)기능이 POI 단말기 내에 적용됨으로써, 원격제어기능을 활용하여 기운영 에서 장비의 순간정지 발생시 신속한 조치가 가능하고, 장비 내역 원격 확인이 가능하다.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치는, 정보와 기능들을 관련 장비에서 바로 활용함으로써 작업자의 작업 동선을 최소화하고, 작업성과 장비관리 효율을 극대화시킬 수 있으며, 반도제 공정 장비의 전산화를 용이하게 하며, 장비 데이터를 장기간 보존할 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명은 반도체 공정 장비의 전산화를 위한 상위 호스트 정보를 전달, 투입자재의 ID를 획득하여 상위 호스트로의 전송, 장비 데이터의 장기간 보존이 가능하여 문제점 발생시 데이터를 분석하여 동일한 오류가 발생하지 않도록 방지할 수 있으며, 장비의 원격제어가 가능하여 생산능률을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

본 명세서에서 설명되는 실시 예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (1)

1. 투입자재 ID 획득을 위하여 컨트롤러 일체형으로 구성되고, 장비의 원격제어를 위한 라우터 일체형으로 구성되며, 관련 장비의 기능들을 활용할 수 있도록 관련 장비와 일체 형태로 구성되어 장비의 데이터를 장기간 저장가능하도록 구성되고, 장비와 상위 호스트와의 정보전송이 가능한 SECS/GEM 드라이버를 내장하도록 구성되며, 확장성을 고려하여 I/O포트 및 PCI 포트를 내장하도록 구성되고, 클린룸에 적용가능한 팬리스 방식으로 구성되는
   반도체공정 장비의 전산화용 단말장치.

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