KR20160107405A - 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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KR20160107405A
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Abstract

본 발명의 일 실시예는 증착 공정 시 클램퍼(clamper)에 의해 운반되는 기판이 안착 및 탈착되는 마스크 프레임 조립체에 있어서, 증착 물질을 통과시키는 패턴홀이 형성되는 마스크와, 제1 방향을 따라 마주보도록 배치되어 마스크의 양단을 지지하도록 형성되며, 클램퍼의 출입을 허용하는 클램핑홈과, 클램핑홈에 인접하도록 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 지지홈을 구비하는 제1 지지부와, 제1 방향을 가로지르는 방향인 제2 방향을 따라 마주보도록 배치되어 제1 지지부에 연결되는 제2 지지부를 구비하는 프레임을 포함하는 마스크 프레임 조립체를 개시한다.

Description

마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법{Mask frame assembly for thin layer deposition, manufacturing method of the same and manufacturing method of display device there used}
본 발명의 실시예들은 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시부를 포함한다. 최근, 표시부를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
상기와 같은 표시부를 형성하기 위하여는 다양한 방법을 통하여 각 층을 형성할 수 있다. 이때, 각 층을 형성하는 방법은 증착 방법, 포토마스크 공정 등일 수 있다.
상기와 같은 증착 방법 중 증착물질을 기화시킨 후 분사함으로써 증착하는 공정의 경우 일반적으로 증착원은 하부에 배치되고, 증착원 상에는 마스크가 배치되며, 마스크 상에는 기판이 배치되어 마스크를 통과한 증착물질이 기판에 증착되도록 할 수 있다.
이때, 마스크와 기판 사이의 위치는 기판에 증착되는 증착물질의 패턴의 정밀도를 좌우할 수 있다. 특히 상기와 같은 증착물질의 패턴은 표시부의 해상도 내지 성능에 상당히 중요한 문제이고, 제품의 품질을 좌우할 수 있다. 따라서 상기와 같은 증착물질 패턴의 정밀도를 높이기 위하여 다양한 장치 및 방법들이 적용되고 있다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 실시예들의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 실시예들의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
본 발명의 실시예들은 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 증착 공정 시 클램퍼(clamper)에 의해 운반되는 기판이 안착 및 탈착되는 마스크 프레임 조립체에 있어서, 증착 물질을 통과시키는 패턴홀이 형성되는 마스크와, 제1 방향을 따라 마주보도록 배치되어 마스크의 양단을 지지하도록 형성되며, 클램퍼의 출입을 허용하는 클램핑홈과, 클램핑홈에 인접하도록 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 지지홈을 구비하는 제1 지지부와, 제1 방향을 가로지르는 방향인 제2 방향을 따라 마주보도록 배치되어 제1 지지부에 연결되는 제2 지지부를 구비하는 프레임을 포함하는 마스크 프레임 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 마스크는 마스크의 상기 양단을 관통하도록 형성되는 하나 이상의 제1 용접공을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 하나 이상의 제1 용접공에 위치하여 마스크와 제1 지지부를 결합하는 제1 용접부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 클램핑홈은 제1 지지부를 관통하도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 클램핑홈은 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 지지홈은 제2 방향을 따라 연장되도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제2 방향을 따라 연장되도록 형성되며, 지지홈에 수용되어 클램핑홈을 가로지르도록 설치되는 지지스틱을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 지지스틱은 지지스틱의 양단을 관통하도록 형성되는 하나 이상의 제2 용접공을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 하나 이상의 제2 용접공에 위치하여 지지스틱과 제1 지지부 및 제2 지지부 중의 적어도 하나를 결합하는 제2 용접부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 지지부는 지지홈보다 내측에 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 절삭홈을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 마스크는 절삭홈의 외측면보다 내측에 설치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 증착 물질을 통과시키는 패턴홀이 형성되는 마스크를 준비하는 단계와, 제1 방향을 따라 마주보도록 배치되어 마스크의 양단을 지지하도록 형성되며, 클램퍼의 출입을 허용하는 클램핑홈과, 클램핑홈에 인접하도록 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 지지홈을 구비하는 제1 지지부와 제1 방향을 가로지르는 방향인 제2 방향을 따라 마주보도록 배치되어 제1 지지부에 연결되는 제2 지지부를 구비하는 프레임을 준비하는 단계와, 제2 방향을 따라 연장되도록 형성되는 지지스틱을 준비하여 클램핑홈을 가로지르도록 지지홈에 설치하는 단계와, 마스크의 양단을 제1 방향으로 인장하여 마스크의 양단의 일부분이 지지스틱에 위치하도록 정렬하는 단계와, 마스크와 프레임을 결합하는 단계와, 마스크의 절삭부를 제거하는 단계를 포함하는 마스크 프레임 조립체 제조 방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 마스크를 준비하는 단계 및 마스크와 상기 프레임을 결합하는 단계 중의 어느 한 단계는, 마스크의 양단을 관통하는 하나 이상의 제1 용접공을 마스크에 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 마스크와 프레임을 결합하는 단계는 하나 이상의 제1 용접공에 마스크와 프레임을 결합하는 제1 용접부를 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 프레임을 준비하는 단계는 클램핑홈이 소정의 깊이를 갖도록 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 프레임을 준비하는 단계는 클램핑홈이 제1 지지부를 관통하도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 프레임을 준비하는 단계는 지지홈을 제2 방향을 따라 연장되도록 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 지지스틱을 지지홈에 설치하는 단계는 지지스틱의 양단을 관통하는 하나 이상의 제2 용접공을 지지스틱에 형성하는 단계와, 하나 이상의 제2 용접공에 지지스틱과 프레임을 결합하는 제2 용접부를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 프레임을 준비하는 단계는 지지홈보다 내측에 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 절삭홈을 제1 지지부에 형성하는 단계를 포함하고, 마스크의 상기 절삭부를 제거한 이후 마스크의 양단은 절삭홈의 외측면보다 내측에 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는 기판 상에 서로 대향된 제1 전극과 제2 전극 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 구비된 유기막을 포함하는 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 유기막 또는 제2 전극은, 증착 물질을 통과시키는 패턴홀이 형성되는 마스크와, 제1 방향을 따라 마주보도록 배치되어 마스크의 양단을 지지하도록 형성되며, 기판을 운반하는 클램퍼의 출입을 허용하는 클램핑홈과, 클램핑홈에 인접하도록 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 지지홈을 구비하는 제1 지지부와, 제1 방향을 가로지르는 방향인 제2 방향을 따라 마주보도록 배치되어 제1 지지부에 연결되는 제2 지지부를 포함하는 마스크 프레임 조립체를 이용하여 증착하는 표시 장치의 제조 방법을 개시한다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
상기와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제조 시 마스크와 프레임의 밀착력을 향상시킬 수 있는 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법을 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 마스크 프레임 조립체의 일부를 도시하는 분해 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 지지스틱의 변형예를 도시하는 분해 평면도이다.
도 4는 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 과정 중 인장기에 의해 마스크가 인장된 모습을 도시하는 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체의 제조 과정 중 일부 마스크들의 절삭부를 제거한 모습을 도시하는 평면도이다.
도 6은 도 5의 A 부분을 확대하여 도시하는 부분 확대도이다.
도 7은 도 6의 I-I'를 따라 취한 단면도이다.
도 8은 도 6의 II-II'를 따라 취한 단면도이다.
도 9는 도 6의 III-III'를 따라 취한 단면도이다.
도 10은 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체를 이용하여 제조되는 표시 장치를 도시하는 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시하는 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 마스크 프레임 조립체의 일부를 도시하는 분해 평면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 지지스틱의 변형예를 도시하는 분해 평면도이다.
도 1을 참조하면, 마스크 프레임 조립체(100)는 마스크(110)와, 프레임(120)과, 지지스틱(130)을 포함한다.
마스크(110)는 증착 물질을 통과시키는 복수개의 패턴홀(111)이 형성된다. 이러한 패턴홀(111)은 복수개의 도트(dot) 모양으로 형성될 수 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 즉, 도 1에 도시된 패턴홀(111)의 개수나 배치 및 형상에는 특별한 제한이 없다. 예를 들어, 패턴홀(111)은 일 방향으로 연장되어 형성되는 스트라이프(stripe) 모양으로 형성되어, 마스크(110)의 제1 방향(x축)이나 제2 방향(y축)을 따라 여러 개가 배치될 수도 있다.
또한, 마스크(110)는 양단을 관통하도록 형성되는 하나 이상의 제1 용접공(112)을 포함할 수 있다. 제1 용접공(112)은 복수개의 패턴홀(111)이 정의하는 증착 영역(DA)을 제외한 마스크(110)의 비증착 영역(NDA)에 형성될 수 있으며, 제1 용접공(112)에는 마스크(110)와 프레임(120)을 서로 연결하는 제1 용접부(140)가 형성될 수 있다.
이러한 제1 용접부(140)는 마스크(110)와 프레임(120)을 용접하기 위해 제1 용접공(112)이 형성되지 않은 상태의 마스크(110)를 레이저로 용융하여 형성될 수 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 즉, 제1 용접부(140)는 마스크(110)와 프레임(120)을 서로 연결할 수 있는 구조라면 어떠한 재료, 형태로도 형성이 가능하다. 예를 들어, 제1 용접공(112)이 형성된 마스크(110)와 프레임(120)을 정렬한 후, 전기 도금(electro-forming)이나 무전해 도금(electroless plating)을 수행하여 제1 용접부(140)를 형성할 수도 있다. 여기서, 전기 도금과 무전해 도금에 관해서는 그 공법과 주의사항 등이 널리 알려진 기술이므로 자세한 설명은 생략하도록 한다.
한편, 마스크(110)는 도면에 도시된 바와 같이 스틱(stick)형태로 프레임(120)에 복수개가 고정될 수 있는 분할 마스크로 제조될 수 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 즉, 마스크(110)는 원장 형태로 하나의 큰 부재로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 스틱 형태의 분할 마스크로 형성되는 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
다음으로, 프레임(120)은 제1 방향(x축 방향)을 따라 서로 마주보도록 배치되어 마스크(110)의 양단을 지지하도록 형성되는 제1 지지부(121)와, 제1 방향(x축 방향)을 가로지르는 방향인 제2 방향(y축 방향)을 따라 서로 마주보도록 배치되어 제1 지지부(121)의 양단에 연결되는 제2 지지부(122)를 구비한다.
프레임(120)은 증착 공정 시 마스크(110)를 안정적으로 고정 및 지지할 수 있도록 강성(rigidity)을 갖는 금속 또는 합성 수지 등으로 제조될 수 있다. 또한, 프레임(120)을 구성하는 제1 지지부(121)와 제2 지지부(122)는 도면에 도시된 바와 같이 각각 한 쌍으로 구성되어 프레임(120)의 중앙에 사각 형상의 개구부(120e)를 형성할 수 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 개구부(120e)는 증착 물질의 증착 패턴에 따라, 또는 표시 장치의 형태에 따라 변형될 수 있다. 예를 들어, 개구부(120e)는 원형, 타원형 및 다각형 중 어느 하나의 형태로 형성될 수 있다.
제1 지지부(121)에는 증착 공정 시 기판을 운반하는 클램퍼(clamper)(미도시)의 출입을 허용하는 클램핑홈(123)과, 클램핑홈(123)에 인접하도록 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 지지홈(124)과, 지지홈(124)보다 내측에 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 절삭홈(125)이 형성될 수 있다.
클램핑홈(123)에 대해 설명하기에 앞서 간단하게 증착 공정 시 마스크 프레임 조립체(100)에 안착 및 탈착되는 기판의 이동에 대해 설명하기로 한다.
증착 공정 시에는 마스크(110)의 표면과 기판이 접한 상태에서 증착 공정이 수행된다. 이를 위해, 기판을 마스크(110)의 표면까지 운반하여 기판을 마스크(110)의 표면에 안착 및 탈착하는 클램퍼가 구비될 수 있다. 클램퍼는 기판의 가장자리를 고정시켜, 기판을 마스크(110)의 표면방향으로 승강함으로써 구동될 수 있다. 이때 기판의 크기는 프레임(120)의 개구부(120e)에 실질적으로 대응되므로, 기판을 마스크(110)에 안착시키기 위해서는 클램퍼가 마스크(110) 보다 낮은 위치까지 이동하여야 한다. 따라서, 마스크(110)를 지지하는 프레임(120)에 도면에 도시된 바와 같이 클램핑홈(123)을 형성하면, 기판을 운반하는 클램퍼가 마스크(110)와 프레임(120)과 접촉하지 않고도, 더 나아가 마스크(110)와 프레임(120)의 파손을 방지하며 마스크(110)에 대한 기판의 안착 및 탈착을 수행할 수 있다.
이러한 클램핑홈(123)은 도면에 도시된 바와 같이 제1 지지부(121)를 관통하도록 형성될 수 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 즉, 클램핑홈(123)은 클램퍼가 기판을 마스크(110)의 표면에 안착시킬 수 있는 위치에 도달한 경우에도 마스크(110)와 제1 지지부(121)에 접촉하지 않을 수 있는 소정의 깊이를 갖도록 형성될 수도 있다.
다음으로, 지지홈(124)은 도 2에 도시된 바와 같이 제1 지지부(121)의 전체 영역에 걸쳐 제2 방향(y축 방향)으로 연장되도록 형성될 수 있으며, 또한 도 3에 도시된 지지홈(224)의 변형예와 같이 각각의 클램핑홈(123)에 인접한 위치에서 제2 방향을 따라 서로 이격되도록 형성될 수도 있다.
여기서, 도 2에 도시된 바와 같은 형상을 갖는 지지홈(124)이 제1 지지부(121)에 형성된 경우에는, 각각의 클램핑홈(123)을 가로지르는 제2 방향으로 연장 형성되는 단일품의 지지스틱(130)이 지지홈(124)에 설치될 수 있다.
이때, 지지스틱(130)의 양단에는 지지스틱(130)을 관통하는 하나 이상의 제2 용접공(131)이 형성될 수 있다. 도2 를 참조하면, 제2 용접공(131)은 제2 지지부(122)에 위치할 수 있는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않으며 제2 용접공(131)은 제1 지지부(121)나 제1 지지부(121)와 제2 지지부(122)의 경계면에 위치할 수도 있다. 이러한 제2 용접공(131)에는 지지스틱(130)과 제1 지지부(121) 및 제2 지지부(122) 중 적어도 하나를 결합하는 제2 용접부(150)가 형성될 수 있다.
여기서, 제2 용접부(150)는 전술한 제1 용접부(140)와 같이 제2 용접공(131)이 형성되지 않은 상태의 지지스틱(130)의 양단에 레이저를 조사하여 용융시킴으로써 형성될 수 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 즉, 제2 용접부(150) 또한 지지홈(124)과 지지스틱(130)을 서로 연결할 수 있는 구조라면 어떠한 재료, 형태로도 형성이 가능하다. 예를 들어, 제2 용접공(131)이 형성된 지지스틱(130)을 지지홈(124)에 배치시킨 후, 전기 도금이나 무전해 도금을 수행하여 제2 용접부(150)를 형성할 수도 있다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같은 형상을 갖는 지지홈(224)이 제1 지지부(221)에 형성된 경우에는, 각각의 클램핑홈(123)을 가로지르는 복수개의 지지스틱(230a, 230b, 230c, 230d)들이 지지홈(224)에 설치될 수 있다.
이때에도, 각각의 지지스틱(230a, 230b, 230c, 230d)들의 양단에는 지지스틱(230a, 230b, 230c, 230d)들을 관통하는 하나 이상의 제2 용접공(231)들이 형성될 수 있다. 또한, 이러한 제2 용접공(231)들에는 지지스틱(230)과 제1 지지부(221) 및 제2 지지부(222) 중 적어도 하나를 결합하는 제2 용접부(250)가 형성될 수 있다. 여기서, 이러한 제2 용접공(231)들 및 제2 용접부(250)는 전술한 도 2의 제1 용접공(131) 및 제1 용접부(150)와 실질적으로 동일하므로 더 자세한 설명은 생략하도록 한다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 도 2에 나타난 지지홈(124)과 지지홈(124)에 설치되는 지지스틱(130)의 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
한편, 절삭홈(125)은 지지홈(124)보다 내측에 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되며, 이때 제1 지지부(121)에 결합되는 마스크(110)의 단부는 절삭홈(125) 보다 내측에 설치될 수 있다. 이는, 후술할 마스크 프레임 조립체(100)의 제조 공정에서 마스크(110)와 프레임(120)의 결합 이후 마스크(110)의 절삭부(110e)(도 4 참조)의 제거 공정이 절삭홈(125)에서 이루어지기 때문으로, 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
또한, 도 2 및 도 3에 도시된 지지스틱(130, 230)과 제2 용접부(150. 250)는 후술할 마스크 프레임 조립체(100)의 제조 공정에서 지지홈(124, 224)으로부터 제거될 수 있다. 이에 대해서는 이하 도 4 내지 도 8를 참조하여 더 자세하게 후술하기로 한다.
도 4는 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 과정 중 인장기에 의해 마스크가 인장된 모습을 도시하는 단면도이고, 도 5는 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 과정 중 일부 마스크들의 절삭부를 제거한 모습을 도시하는 평면도이고, 도 6은 도 5의 A 부분을 확대하여 도시하는 부분 확대도이며, 도 7은 도 6의 I-I'를 따라 취한 단면도이고, 도 8은 도 6의 II-II'를 따라 취한 단면도이며, 도 9는 도 6의 III-III'를 따라 취한 단면도이다.
먼저, 도 4를 참조하면, 마스크(110)는 프레임(120)에 결합되기 이전에 그 양단이 인장기(50)에 의해 인장(F)되어 프레임(120)의 제1 지지부(121)에 정렬된다. 이때, 마스크(110)의 양단은 제1 지지부(121)의 제1 높이(H1)보다 낮은 제2 높이(H2)에 위치할 수 있으며, 이는 마스크(110)와 프레임(120)의 용접 공정 시 마스크(110)와 프레임(120)의 밀착력을 향상시키기 위함이다.
하지만, 마스크(110)의 양단이 프레임(120)의 제1 높이(H1)보다 낮은 제2 높이(H2)에 위치함으로 인해, 클램핑홈(123) 상에 위치하는 마스크(110)의 일부분은 제1 지지부(121)의 높이(H1)보다 더 낮은 위치로 만곡될 수 있다. 이렇게 클램핑홈(123) 상에 위치하는 마스크(110)의 일부분이 제1 지지부(121)의 하면(-z 방향)으로 만곡되면, 이후 마스크(110)와 제1 지지부(121)의 용접 공정 시 마스크(110)가 제1 지지부(121)로부터 소정 간격 들뜨는 현상이 발생할 수 있다.
이렇게 마스크(110)의 일부분이 제1 지지부(121)로부터 들뜨게 되면, 클램핑홈(123)에 인접한 위치에 형성되는 제1 용접부(140)에 용접 불량이 발생하며, 이는 이후 마스크 프레임 조립체(100)를 이용한 증착 공정 시 마스크(110)와 기판의 밀착성을 저하시켜 증착 물질이 기판 상의 원하지 않았던 영역, 즉 데드 영역(dead zone)에 증착되어 이는 결국 디스플레이 불량으로 이어지게 된다.
이러한 현상은 쉐도우 현상(shadow effect)이라고 일컬어지며, 고해상도 표시 장치를 제작하기 위해서는 이러한 쉐도우 현상을 최대한 절감시키는 것이 바람직하다. 이를 위해, 본 발명의 실시예들에 관한 마스크 프레임 조립체(100)는 클램핑홈(123) 상에 위치함으로 인해 제1 지지부(121)에 의해 지지되지 못하는 마스크(110)의 일부분을 지지할 수 있는 지지스틱(130)을 구비함으로써, 마스크(110)와 프레임(120)의 용접 공정 시 마스크(110)와 프레임(120)의 밀착성을 향상시킴으로써 이후 증착 공정에서 마스크(110)와 기판의 밀착력 또한 개선할 수 있다.
다음으로, 도 5 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 프레임 조립체(100)의 제조 공정을 자세하게 설명하기로 한다.
먼저, 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 프레임 조립체(100)의 제조 방법은 마스크(110)와 프레임(120)을 준비하는 단계와, 지지홈(124)에 지지스틱(130)을 설치하는 단계와, 마스크(110)의 양단을 제1 방향(x축 방향)으로 인장하여 마스크(110)의 양단의 일부분이 지지스틱(130)에 위치하도록 정렬하는 단계와, 마스크(110)와 프레임(120)을 결합하는 단계와, 지지스틱(130)의 외측에 위치하는 마스크(110)의 절삭부(110e)를 제거하는 단계를 포함한다.
도 5는 이러한 마스크 프레임 조립체(100)의 제조 방법에서, 도 4에 도시된 바와 같이 인장기(50)를 이용하여 마스크(110)를 제1 방향으로 인장(F)한 이후, 제1 용접부(140)를 통해 마스크(110)와 제1 지지부(121)를 결합시킨 모습을 나타낸다. 여기서, 마스크(110), 프레임(120), 지지스틱(130), 제1 용접부(140) 및 제2 용접부(150)의 구성과 결합관계는 도 1 내지 도 4에서 자세하게 설명하였으므로 여기서는 더 자세한 설명은 약술 또는 생략하기로 한다.
도 5 내지 도 8을 참조하면, 마스크(110)와 제1 지지부(121)를 결합하는 제1 용접부(140)는 제1 지지부(121)에 마련된 절삭홈(125)의 내측, 즉 마스크(110)에 형성되는 패턴홀(111)을 방하는 방향에 위치할 수 있다.
도면에는 마스크(110)의 양단에 각각 두개의 제1 용접부(140)가 형성된 것으로 도시되나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 즉, 제1 용접부(140)의 개수나 배치 위치는 마스크(110)와 제1 지지부(121)를 단단하게 고정하여 마스크(110)와 프레임(120) 간의 밀착력을 향상시킬 수 있다면 그 어떠한 구조로 형성되어도 무방하다. 예를들어, 제1 용접부(140)는 패턴홀(111)에 인접하는 위치에 적어도 하나가, 절삭홈(125)에 인접하는 위치에 적어도 하나가 형성되어 제1 지지부(121) 상에서 마스크(110)의 양단 전면이 밀착되도록 형성될 수도 있다.
도 7은 클램핑홈(123) 상에 마스크(110)의 일부분이 배치되는 모습을 도시하는데, 전술한 바와 같이 지지홈(124)에 설치된 지지스틱(130)이 마스크(110)가 제1 지지부(121)의 하면 방향으로 처지지 않도록 지지하는 모습을 도시한다. 또한, 도 8은 제1 지지부(121)에 의해 지지되는 마스크(110)의 다른 부분을 도시하는데, 도 7에 도시된 바와 같이 마스크(110)가 지지스틱(130)에 의해 지지될 수 있음을 나타낸다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이 지지스틱(130)이 클램핑홈(123)에 인접한 위치에 복수개가 소정 간격 이격되도록 설치되는 경우에는, 마스크(110)의 양단의 일부분이 지지스틱(130)에 의해 지지되지 않을 수도 있다. 하지만 도 4에 도시된 바와 같이, 마스크(110)의 인장 시 마스크(110)의 양단의 일부분이 지지스틱(130)에 의해 지지되지 않더라도, 제1 지지부(121)에 의해 마스크(110)의 양단이 안정적으로 지지될 수 있어 마스크(110) 및 제1 지지부(121)의 용접 공정 시 마스크(110)의 처짐을 방지할 수 있다.
도 9는 마스크(110)가 프레임(120)에 결합된 이후 마스크(110)의 절삭부(110e)(도 7 및 도 8 참조)가 제거된 모습을 도시한다. 여기서, 절삭부(110e)의 절삭 경계면, 즉 마스크(110)의 최외곽 가장자리는 절삭홈(125)의 외측면보다 내측에 배치될 수 있다. 이는, 절삭부(110e)의 절삭 공정이 절삭홈(125)에서 수행되기 때문으로, 절삭부(110e)를 제거하는 방법에는 기계적인 연마(polishing) 공정이나 레이저 절단 공정 등 공중에서 일반적으로 이용되는 절단 방법이 이용될 수 있다.
상기 절삭부(110e)의 제거 공정이 완료되면, 도 1에 도시된 바와 같은 마스크 프레임 조립체(100)를 제조할 수 있다. 그리고 추가적으로, 절삭부(110e)의 제거가 완료된 이후 지지스틱(130)은 지지홈(124)으로부터 제거될 수 있으며, 이때 전술한 바와 같이 지지스틱(130)과 지지홈(124)을 연결하는 제2 용접부(150) 또한 함께 제거될 수도 있다.
도 10은 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체를 이용하여 제조되는 표시 장치를 도시하는 도면이다.
도 10을 참조하면, 표시 장치(300)에는 기판(311)이 마련되어 있다. 기판(311)은 유연성을 가지는 절연성 소재를 포함한다. 예컨대, 상기 기판(311)은 글래스 기판일 수 있다. 또한, 기판(311)은 폴리이미드(Polyimide, PI)나, 폴리 카보네이트(Polycarbonate, PC)나, 폴리 에테르 설폰(Polyethersulphone, PES)이나, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate, PET)나, 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylenenaphthalate, PEN)나, 폴리아릴레이트(Polyarylate, PAR)나, 유리섬유 강화플라스틱(Fiber glass reinforced plastic, FRP) 등의 고분자 소재로 이루어질 수 있다. 기판(311)은 투명하거나, 반투명하거나, 불투명할 수 있다.
기판(311) 상에는 배리어막(312)이 형성될 수 있다. 배리어막(312)은 기판(311)의 상부면을 전체적으로 커버하도록 형성될 수 있다. 배리어막(312)은 무기막이나, 유기막을 포함할 수 있다. 배리어막(312)은 단일막으로 형성되거나, 다층막으로 적층될 수 있다. 예를 들면, 배리어막(312)은 실리콘 옥사이드(SiOx), 실리콘 나이트라이드(SiNx), 실리콘 옥시나이트라이드(SiON), 알루미늄 옥사이드(AlO), 알루미늄나이트라이드(AlON) 등의 무기물이나, 아크릴, 폴리이미드, 폴리에스테르 등의 유기물 중에서 선택된 적어도 하나로 이루어질 수 있다.
배리어막(312)은 산소와 수분을 차단하는 역할을 수행하고, 기판(311)을 통한 수분이나 불순물의 확산을 방지하고, 기판(311)의 상부에 평탄한 면을 제공한다. 배리어막(312) 상에는 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)가 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 트랜지스터는 탑 게이트(Top gate) 방식의 박막 트랜지스터를 예시하나, 바텀 게이트(Botton gate) 방식 등 다른 구조의 박막 트랜지스터가 구비될 수 있음은 물론이다.
배리어막(312) 상에는 반도체 활성층(313)이 형성될 수 있다. 반도체 활성층(313)에는 N형이나, P형 불순물 이온을 도핑하는 것에 의하여 소스 영역(314)과, 드레인 영역(315)이 형성될 수 있다. 소스 영역(314)과, 드레인 영역(315) 사이의 영역은 불순물이 도핑되지 않는 채널 영역(316)이다.
반도체 활성층(313)은 폴리 실리콘으로 형성될 경우에는 아몰퍼스 실리콘을 형성하고, 이를 결정화시키는 것에 의하여 폴리 실리콘으로 변화시킬 수 있다. 또한, 반도체 활성층(313)은 산화물 반도체로 형성될 수 있다. 예컨대, 산화물 반도체는 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn), 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 하프늄(Hf)과 같은 4, 12, 13, 14족 금속 원소 및 이들의 조합에서 선택된 물질의 산화물을 포함할 수 있다.
반도체 활성층(313) 상에는 게이트 절연막(317)이 증착될 수 있다. 게이트 절연막(317)은 실리콘 산화물이나, 실리콘 질화물이나, 금속 산화물과 같은 무기막을 포함한다. 게이트 절연막(317)은 단일층이나, 다중층의 구조일 수 있다.
게이트 절연막(317) 상의 소정 영역에는 게이트 전극(318)이 형성될 수 있다. 게이트 전극(318)은 Au, Ag, Cu, Ni, Pt, Pd, Al, Mo, Cr 등의 단일막이나, 다층막을 포함하거나, Al:Nd, Mo:W 와 같은 합금을 포함할 수 있다.
게이트 전극(318) 상에는 층간 절연막(319)이 형성될 수 있다. 층간 절연막(319)은 실리콘 산화물이나, 실리콘 질화물 등과 같은 절연성 소재로 형성될 수 있다. 또한, 상기 층간 절연막(319)은 절연성 유기막으로 형성될 수 있다.
층간 절연막(319) 상에는 소스 전극(320)과, 드레인 전극(321)이 형성될 수 있다. 구체적으로, 게이트 절연막(317) 및 층간 절연막(319)에는 이들의 일부를 제거하는 것에 의하여 콘택 홀이 형성되고, 콘택 홀을 통하여 소스 영역(314)에 대하여 소스 전극(320)이 전기적으로 연결되고, 드레인 영역(315)에 대하여 드레인 전극(321)이 전기적으로 연결될 수 있다.
소스 전극(320)과, 드레인 전극(321) 상에는 패시베이션막(322)이 형성될 수 있다. 패시베이션막(322)은 실리콘 산화물이나, 실리콘 질화물과 같은 무기막이나, 또는, 유기막으로 형성될 수 있다.
패시베이션막(322) 상에는 평탄화막(323)이 형성될 수 있다. 평탄화막(323)은 아크릴(acryl), 폴리이미드(polyimide), BCB(Benzocyclobutene) 등의 유기막을 포함한다.
박막 트랜지스터의 상부에는 유기 발광 소자(OLED)가 형성될 수 있다. 유기 발광 소자(OLED)는 제1 전극(325)과, 제2 전극(327)과, 제1 전극(325)과 제2 전극(327) 사이에 개재되는 중간층(326)을 포함한다.
제1 전극(325)은 콘택 홀을 통하여 소스 전극(320)이나 드레인 전극(321)중 어느 한 전극에 전기적으로 연결되어 있다. 제1 전극(325)은 픽셀 전극에 대응된다.
제1 전극(325)은 애노우드로 기능하는 것으로서, 다양한 도전성 소재로 형성될 수 있다. 제1 전극(325)은 투명 전극이나, 반사형 전극으로 형성될 수 있다.
이를테면, 제1 전극(325)이 투명 전극으로 사용시, 제1 전극(325)은 ITO, IZO, ZnO, In2O3 등을 포함한다. 제1 전극(325)이 반사형 전극으로 사용시, 제1 전극(325)은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 및 이들의 화합물 등으로 반사막을 형성하고, 이후, 상기 반사막의 상부에 ITO, IZO, ZnO, In2O3 등을 형성할 수 있다.
평탄화막(323) 상에는 유기 발광 소자의 제1 전극(325)의 가장자리를 덮도록 픽셀 정의막(Pixel define layer, PDL, 324)이 형성될 수 있다. 픽셀 정의막(324)은 제1 전극(325)의 가장자리를 둘러싸는 것에 의하여 각 서브 픽셀의 발광 영역을 정의한다.
픽셀 정의막(324)은 유기물이나, 무기물로 형성하게 된다. 이를테면, 상기 픽셀 정의막(324)은 폴리이미드, 폴리아마이드, 벤조사이클로부텐, 아크릴 수지, 페놀 수지 등과 같은 유기물이나, SiNx와 같은 무기물로 형성할 수 있다. 픽셀 정의막(324)은 단일막으로 형성되거나, 다중막으로 형성할 수 있다.
제1 전극(325) 상에는 픽셀 정의막(324)의 일부를 에칭하는 것에 의하여 노출된 영역에 중간층(326)이 형성될 수 있다. 중간층(326)은 증착 공정에 의하여 형성시킬 수 있다.
중간층(326)은 저분자 유기물이나, 고분자 유기물로 이루어질 수 있다. 중간층(326)은 유기 발광층(Emissive layer, EML)을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(326)은 유기 발광층을 구비하고, 그 외에, 정공 주입층(Hole injection layer, HIL), 정공 수송층(Hole transport layer, HTL), 전자 수송층(Electron transport layer, ETL), 전자 주입층(Electron injection layer, EIL) 중 적어도 어느 하나를 더 구비할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는 이에 한정되지 않고, 중간층(326)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층을 더 구비할 수 있다.
중간층(326) 상에는 제2 전극(327)을 형성할 수 있다. 제2 전극(327)은 커먼 전극에 대응된다. 제2 전극(327)은 제1 전극(325)과 마찬가지로 투명 전극이나, 반사형 전극으로 형성할 수 있다.
제1 전극(325)은 투명 전극이나, 반사형 전극으로 형성시에 각 서브 픽셀의 개구와 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 반면에, 제2 전극(327)은 투명 전극이나, 반사형 전극을 디스플레이부 상에 전면 증착할 수 있다. 대안으로는, 제2 전극(327)은 전면 증착 대신에 특정한 패턴으로 형성될 수 있음은 물론이다. 제1 전극(325)과, 제2 전극(327)은 위치가 서로 반대로 하여 적층될 수 있음은 물론이다.
한편, 제1 전극(325)과, 제2 전극(327)은 중간층(326)에 의하여 서로 절연되어 있다. 제1 전극(325) 및 제2 전극(327)에 전압이 인가되면, 중간층(326)에서 가시광이 발광하여 사용자가 인식할 수 있는 화상이 구현된다.
유기 발광 소자의 상부에는 밀봉부(340, Encapsulation)가 형성될 수 있다. 상기 밀봉부(340)는 외부의 수분이나 산소 등으로부터 중간층(326) 및 다른 박막을 보호하기 위하여 형성되는 것이다.
밀봉부(340)는 유기막이나, 무기막이 각각 적어도 한 층 적층된 구조일 수 있다. 예컨대, 밀봉부(340)는 에폭시, 폴리이미드, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌, 폴리아크릴레이트 등과 같은 적어도 하나의 유기막(341, 342)과, 실리콘 옥사이드(SiO2), 실리콘 나이트 라이드(SiNx), 알루미늄 옥사이드(Al2O3), 티타늄 옥사이드(TiO2), 지르코늄 옥사이드(ZrOx), 징크 옥사이드(ZnO) 등과 같은 적어도 하나의 무기막(343, 344, 345)이 적층된 구조일 수 있다.
밀봉부(340)는 유기막(341, 342)이 적어도 1층이고, 무기막(343, 344, 345)이 적어도 2층의 구조를 가질 수 있다. 밀봉부(340)중 외부로 노출된 최상층(345)은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기막으로 형성시킬 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 마스크 프레임 조립체 123: 클램핑홈
110: 마스크 124, 224: 지지홈
110e: 절삭부 125: 절삭홈
111: 패턴홀 130, 230: 지지스틱
112 : 제1 용접공 131, 231: 제2 용접공
120: 프레임 140: 제1 용접부
121: 제1 지지부 150, 250: 제2 용접부
122: 제2 지지부

Claims (20)

  1. 증착 공정 시 클램퍼(clamper)에 의해 운반되는 기판이 안착 및 탈착되는 마스크 프레임 조립체에 있어서,
    증착 물질을 통과시키는 패턴홀이 형성되는 마스크;
    제1 방향을 따라 마주보도록 배치되어 상기 마스크의 양단을 지지하도록 형성되며, 상기 클램퍼의 출입을 허용하는 클램핑홈과, 상기 클램핑홈에 인접하도록 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 지지홈을 구비하는 제1 지지부와, 상기 제1 방향을 가로지르는 방향인 제2 방향을 따라 마주보도록 배치되어 상기 제1 지지부에 연결되는 제2 지지부를 구비하는 프레임;을 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 마스크는,
    상기 마스크의 상기 양단을 관통하도록 형성되는 하나 이상의 제1 용접공을 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 제1 용접공에 위치하여 상기 마스크와 상기 제1 지지부를 결합하는 제1 용접부를 더 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 클램핑홈은 상기 제1 지지부를 관통하도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 클램핑홈은 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 지지홈은 상기 제2 방향을 따라 연장되도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 방향을 따라 연장되도록 형성되며, 상기 지지홈에 수용되어 상기 클램핑홈을 가로지르도록 설치되는 지지스틱을 더 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 지지스틱은,
    상기 지지스틱의 양단을 관통하도록 형성되는 하나 이상의 제2 용접공을 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 제2 용접공에 위치하여 상기 지지스틱과 상기 제1 지지부 및 상기 제2 지지부 중의 적어도 하나를 결합하는 제2 용접부를 더 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 지지부는,
    상기 지지홈보다 내측에 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 절삭홈을 더 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 마스크는 상기 절삭홈의 외측면보다 내측에 설치되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  12. 증착 물질을 통과시키는 패턴홀이 형성되는 마스크를 준비하는 단계;
    제1 방향을 따라 마주보도록 배치되어 상기 마스크의 양단을 지지하도록 형성되며, 클램퍼의 출입을 허용하는 클램핑홈과, 상기 클램핑홈에 인접하도록 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 지지홈을 구비하는 제1 지지부와 상기 제1 방향을 가로지르는 방향인 제2 방향을 따라 마주보도록 배치되어 상기 제1 지지부에 연결되는 제2 지지부를 구비하는 프레임을 준비하는 단계;
    상기 제2 방향을 따라 연장되도록 형성되는 지지스틱을 준비하여 상기 클램핑홈을 가로지르도록 상기 지지홈에 설치하는 단계;
    상기 마스크의 상기 양단을 상기 제1 방향으로 인장하여 상기 마스크의 상기 양단의 일부분이 상기 지지스틱에 위치하도록 정렬하는 단계;
    상기 마스크와 상기 프레임을 결합하는 단계;
    상기 마스크의 절삭부를 제거하는 단계;를 포함하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 마스크를 준비하는 단계 및 상기 마스크와 상기 프레임을 결합하는 단계 중의 어느 한 단계는,
    상기 마스크의 상기 양단을 관통하는 하나 이상의 제1 용접공을 상기 마스크에 형성하는 단계를 포함하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 마스크와 상기 프레임을 결합하는 단계는,
    상기 하나 이상의 제1 용접공에 상기 마스크와 상기 프레임을 결합하는 제1 용접부를 형성하는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  15. 제12 항에 있어서,
    상기 프레임을 준비하는 단계는,
    상기 클램핑홈이 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  16. 제12 항에 있어서,
    상기 프레임을 준비하는 단계는,
    상기 클램핑홈이 상기 제1 지지부를 관통하도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  17. 제12 항에 있어서,
    상기 프레임을 준비하는 단계는,
    상기 지지홈을 상기 제2 방향을 따라 연장되도록 형성하는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  18. 제12 항에 있어서,
    상기 지지스틱을 상기 지지홈에 설치하는 단계는,
    상기 지지스틱의 양단을 관통하는 하나 이상의 제2 용접공을 상기 지지스틱에 형성하는 단계와,
    상기 하나 이상의 제2 용접공에 상기 지지스틱과 상기 프레임을 결합하는 제2 용접부를 형성하는 단계를 포함하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  19. 제12 항에 있어서,
    상기 프레임을 준비하는 단계는,
    상기 지지홈보다 내측에 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 절삭홈을 상기 제1 지지부에 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 마스크의 상기 절삭부를 제거한 이후 상기 마스크의 상기 양단은 상기 절삭홈의 외측면보다 내측에 배치되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  20. 기판 상에 서로 대향된 제1 전극과 제2 전극 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 구비된 유기막을 포함하는 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
    상기 유기막 또는 상기 제2 전극은,
    증착 물질을 통과시키는 패턴홀이 형성되는 마스크와, 제1 방향을 따라 마주보도록 배치되어 상기 마스크의 양단을 지지하도록 형성되며, 상기 기판을 운반하는 클램퍼의 출입을 허용하는 클램핑홈과, 상기 클램핑홈에 인접하도록 배치되어 소정의 깊이를 갖도록 형성되는 지지홈을 구비하는 제1 지지부와, 상기 제1 방향을 가로지르는 방향인 제2 방향을 따라 마주보도록 배치되어 상기 제1 지지부에 연결되는 제2 지지부를 포함하는 마스크 프레임 조립체를 이용하여 증착하는, 표시 장치의 제조 방법.
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