KR20160103506A - Pellicle container - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 디바이스, IC 패키지, 프린트 기판, 액정 디스플레이 또는 유기 EL 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 펠리클의 수납 용기이고, 적어도 하나의 변 길이가 500mm를 초과하는 대형의 펠리클에 바람직한 펠리클 수납 용기에 관한 것이다.The present invention is a storage container for a pellicle used as a dust film when a semiconductor device, an IC package, a printed substrate, a liquid crystal display, an organic EL display or the like is manufactured, and is suitable for a large pellicle having at least one side length exceeding 500 mm To a pellicle storage container.
LSI, 초LSI 등의 반도체 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 유리판에 자외광을 조사하여 패턴을 제작하지만, 이 때에 사용하는 포토마스크에 먼지가 부착되어 있으면, 이 먼지가 자외광을 차단하거나 반사하기 때문에 전사한 패턴의 변형, 단락 등이 발생하여 품질이 손상된다는 문제가 있다.In the production of semiconductors or liquid crystal displays such as LSI, super LSI, etc., patterns are produced by irradiating ultraviolet light to a semiconductor wafer or a glass plate for liquid crystal. When dust is attached to the photomask used at this time, There is a problem that the transferred pattern is deformed or short-circuited and the quality is impaired.
이 때문에, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것은 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에, 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞추어 두면, 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계가 된다.For this reason, these operations are usually performed in a clean room, but it is difficult to always keep the photomask clean. Thus, the pellicle is attached to the surface of the photomask as a dust film, followed by exposure. In this case, since the foreign object is not directly adhered to the surface of the photomask but attached to the pellicle, when the focal point is set on the pattern of the photomask at the time of lithography, the foreign matter on the pellicle becomes irrelevant to the transfer.
이 펠리클은 일반적으로 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을 알루미늄, 스테인레스강, 엔지니어링 플라스틱 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 접착하여 구성된다. 또한, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부덴 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지, 실리콘 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 설치되어 있다.This pellicle is generally constituted by adhering a transparent pellicle film made of nitrocellulose, cellulose acetate or fluorocarbon resin to the top surface of a pellicle frame made of aluminum, stainless steel, engineering plastic or the like. Further, at the lower end of the pellicle frame, a release layer (separator) for the purpose of protecting the pressure-sensitive adhesive layer and a pressure-sensitive adhesive layer made of polybutene resin, polyvinyl acetate resin, acrylic resin, have.
한편, 이러한 펠리클, 특히 변 길이가 500mm를 초과하도록 대형의 펠리클을 수납하기 위한 펠리클 수납 용기는 펠리클을 적재하는 펠리클 수납 용기 본체와 그 둘레가장자리부에서 감합하여 밀봉되는 뚜껑의 부재로 구성되어 있다. 그리고, 이들 부재는 두께 2∼8mm 정도의 수지판을 진공 성형 또는 압공 성형함으로써 제작되고 있지만, 이 제법은 대형의 것도 일체 성형할 수 있기 때문에 내부에 발진원이 적을 뿐만 아니라, 생산성이 높고 저비용으로 제조할 수 있다는 이점이 있다.On the other hand, a pellicle storage container for storing such a pellicle, in particular, a large pellicle having a side length exceeding 500 mm, is composed of a main body of a pellicle storage container for storing the pellicle and a member of a lid which is sealed by fitting at the peripheral edge portion thereof. These members are manufactured by vacuum molding or pressure molding of a resin plate having a thickness of about 2 to 8 mm. However, since this molding method can integrally mold large-sized molds, not only the number of oscillation sources is small, but also productivity is high and low cost There is an advantage that it can be manufactured.
펠리클 수납 용기 본체는 부착된 이물의 시인성 향상을 위해서 흑색이 좋다고 되어 있고, 또한 뚜껑은 내부에 수납한 펠리클을 시인할 수 있도록 투명 또는 유색 반투명이 좋다고 되어 있다(특허문헌 1 참조). 그리고, 이러한 관점에서 대부분의 경우, 수납 용기 본체는 흑색의 ABS 수지가, 또한 뚜껑은 투명 또는 반투명의 ABS 수지 또는 PMMA 수지가 사용되고 있다.The pellicle storage container main body is said to have good black color for improving the visibility of foreign objects attached thereto, and the lid is said to be transparent or colored translucent so that the pellicle stored therein can be visually recognized (see Patent Document 1). From this point of view, in most cases, black ABS resin is used for the container main body, and transparent or semitransparent ABS resin or PMMA resin is used for the lid.
이러한 수지는 가연성이기 때문에, 변 길이가 500mm를 초과하는 대형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기에서는 가연물로서의 용적이나 중량도 상당히 큰 것으로 된다. 예를 들면 800x920mm 마스크용의 펠리클 수납 용기에서는 그 중량이 10kg/개이고, 1220x1400mm 마스크용의 펠리클 수납 용기에서는 그 중량이 25kg/개 정도가 되기 때문에, 이들 펠리클 수납 용기를 1개소에 대량으로 보관한 경우에는 그 안전성이 문제가 된다.Since such a resin is flammable, the volume and weight of the pellicle as a flammable material becomes considerably large in a pellicle storage container storing a large pellicle having a side length exceeding 500 mm. For example, in a pellicle storage container for a 800x920 mm mask, the weight is 10 kg / pellet, and the weight of a pellicle storage container for a 1220 x 1400 mm mask is about 25 kg / pellet. Its safety becomes a problem.
그래서, 이 대책으로서 소재를 난연성의 재료인, 예를 들면 금속이나 난연성 수지로 변경하는 것이라고 생각된다. 그러나, 금속의 경우에는 뚜껑에 알루미늄 합금 등의 경량 재료를 사용했다고 해도, 손에 의한 개폐에는 너무 무겁기 때문에 작업상 큰 부담이 걸린다는 문제가 있다. 그 때문에, 하측 부분의 펠리클 수납 용기 본체에 거의 한정되게 된다. 한편, 난연성의 수지 재료의 경우에는 그 재료로서 PAN, PVC 등을 들 수 있지만, 이들 재료에서는 입수할 수 있는 판재의 사이즈에 제약이 많고, 또한 가열 성형에 적합하지 않는 그레이드가 많기 때문에 사용하기 어렵다는 문제가 있다.Therefore, it is considered that the countermeasure is to change the material to a flame retardant material, for example, a metal or a flame retardant resin. However, in the case of metal, even if a lightweight material such as an aluminum alloy is used for the lid, it is too heavy for opening and closing by hand, which causes a problem in that a large burden is imposed on the operation. Therefore, it is almost limited to the pellicle storage container main body in the lower portion. On the other hand, in the case of the flame-retardant resin material, PAN, PVC, and the like can be used as the material thereof. However, since the size of the plate material available in these materials is large, there is a problem.
이러한 관점에서, 난연성을 확보하기 위해서는 대형의 펠리클 수납 용기의 소재로서 실적이 있는 PMMA, ABS로 한 재질에 난연제를 첨가하는 방책이 가장 안성맞춤이라고 되어 있다. 그리고, 첨가되는 난연제로서는 브롬계 화합물, 인계 화합물, 안티몬 화합물, 금속 수산화물 등의 다른 실리콘계 화합물 등을 들 수 있지만, 그 중에서도 PMMA, ABS의 수지에 브롬계 화합물이 잘 사용되고 있는 것이 실정이다.From this point of view, in order to secure the flame retardancy, it is said that a measure of adding a flame retardant to a material made of PMMA or ABS, which has a proven track record as a material for a large pellet storage container, is considered to be the most suitable. Examples of the flame retardant to be added include brominated compounds, phosphorous compounds, antimony compounds, and other silicon compounds such as metal hydroxides. Of these, brominated compounds are well used in PMMA and ABS resins.
그러나, 펠리클 수납 용기의 소재로서 난연제를 첨가한 수지를 사용하는 경우, 태양광, 특히 자외선이 존재하는 환경 중에서 펠리클 수납 용기를 보관하면, 자외선에 의해 난연제가 분해하고 열화하여 수납 용기 내부에 수납된 펠리클에 오염이 발생되는데, 원재료 수지의 열화도 촉진되어 펠리클 수납 용기의 외관이 악화된다는 문제가 있었다.However, when a resin added with a flame retardant is used as the material of the pellicle storage container, when the pellicle storage container is stored in the sunlight, particularly in an environment where ultraviolet rays are present, the flame retardant decomposes and deteriorates due to ultraviolet rays, The pellicle is contaminated, deterioration of the raw material resin is promoted, and the appearance of the pellicle storage container is deteriorated.
그래서, 본 발명은 상기 문제를 감안하여 이루어진 것이고, 그 목적은 펠리클 수납 용기의 소재로서 난연제가 첨가된 수지를 이용해도 자외선에 의한 난연제 및 수지의 열화가 없고, 수납된 펠리클이 장기간에 걸쳐서 청정하게 유지되는 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a pellicle container which is free from deterioration of a flame retardant agent and a resin by ultraviolet rays even when a resin added with a flame retardant agent is used as a material of the pellicle storage container, And the pellicle storage container.
본 발명은 적어도 하나의 변 길이가 500mm를 초과하는 펠리클을 수납하기 위한 펠리클 수납 용기이고, 펠리클을 적재하는 펠리클 수납 용기 본체와, 그 둘레가장자리부에서 감합하여 밀폐되는 뚜껑으로 구성되고, 적어도 뚜껑은 진공 성형 또는 압공 성형된 수지제이고, 이 수지 재료는 난연제 및 흑색화재를 함유하여 불투명하고 또한 흑색인 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a pellicle storage container for storing a pellicle having at least one side length exceeding 500 mm, the pellicle storage container comprising a pellicle storage container main body for storing a pellicle and a lid which is hermetically sealed by its peripheral edge portion, Characterized in that the resin material is a resin which is vacuum-molded or pressure-molded, the resin material being opaque and black, containing a flame retardant and a black fire.
또한, 본 발명에서는 흑색화재는 수지 재료의 중량비로 0.5%∼3% 함유하고, 난연제는 수지 재료의 중량비로 5%∼25% 함유하는 것이 바람직하다. 그리고, 이 난연제는 브롬계 화합물인 것이 바람직하고, 수지 재료는 ABS 수지인 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, it is preferable that the black fire is contained by 0.5% to 3% by weight of the resin material, and the flame retardant is contained by 5% to 25% by weight of the resin material. The flame retardant is preferably a bromine-based compound, and the resin material is preferably ABS resin.
(발명의 효과)(Effects of the Invention)
본 발명에 의하면, 펠리클 수납 용기의 소재 중에 첨가된 난연제가 자외선에 의해 열화하는 것을 최소한으로 억제할 수 있기 때문에, 수납된 펠리클의 청정도를 장기간에 걸쳐서 유지할 수 있다는 효과가 있다.According to the present invention, the deterioration of the flame retardant added to the pellicle storage container by the ultraviolet rays can be suppressed to the minimum, so that the cleanliness of the stored pellicle can be maintained for a long period of time.
도 1은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 개요를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 개요를 나타내는 도 1의 AA 단면도이다.
도 3은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 개요를 나타내는 도 1의 BB 단면도이다.
도 4는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 뚜껑을 제외한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 사시도이다.1 is a plan view showing the outline of a pellicle storage container of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along the line AA of Fig. 1 showing the outline of the pellicle storage container of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along the line BB of Fig. 1 showing the outline of the pellicle storage container of the present invention.
4 is a plan view of the pellicle storage container of the present invention except for the lid.
5 is a perspective view of the pellicle storage container of the present invention.
이하, 본 발명의 일 실시형태를 도면에 의거하여 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.
본 발명의 펠리클 수납 용기(10)는 적어도 하나의 변 길이가 500mm를 초과하는 펠리클을 수납하기 위한 것이고, 펠리클 수납 용기 본체(11), 뚜껑(12)으로 구성되어 있다. 펠리클 수납 용기 본체(11)는 펠리클(20)을 적재하는 것이고, 뚜껑(12)은 펠리클 수납 용기(11)에 가장자리부에서 감합하여 밀폐됨으로써 펠리클(20)을 외부의 진애로부터 보호하는 것이다. 또한, 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 적재된 펠리클(20)은 프레임 측면에 설치되어진 비관통의 구멍(도시하지 않음)에 삽입한 핀(13)과, 그 핀을 지지하는 핀 지지 수단(14)으로 이루어지는 고정 수단에 의해 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 고정되어 있다.The
펠리클 수납 용기 본체(11) 및 뚜껑(12)이 두께 2∼8mm의 난연제를 함유한 수지판을 진공 성형 또는 압공 성형하여 제작되면, 품질, 비용이나 난연성의 점에서 바람직하다. 또한, 도전 물질의 첨가나 표면에의 코팅에 의해 대전 방지 성능을 부여하는 것도 이물 부착 저감의 관점에서 바람직하다.The pellicle storage container
본 발명의 펠리클 수납 용기(10)에서는, 적어도 뚜껑(12)은 그 소재의 수지 중에 난연제가 첨가되어 있음과 아울러, 불투명 또한 흑색이다. 일반적인 뚜껑은 투명 또는 반투명의 수지 소재로 구성되어 있지만, 뚜껑(12)을 불투명 또한 흑색 로 함으로써 수지 소재 내부로의 자외선의 침입을 방지할 수 있기 때문이다. 그 때문에, 펠리클 수납 용기(10)를 구성하는 수지, 특히 그 표면 근방의 수지에 있어서는 함유되어 있는 난연제의 열화가 방지되기 때문에, 난연제의 열화에 기인한 가스 상 물질의 발생이 억제되어 펠리클 수납 용기 내부나 수납된 펠리클이 오염되는 경우는 없다.In the pellicle containing container (10) of the present invention, at least the lid (12) is made of a flame retardant in addition to being opaque and black. The general lid is made of a transparent or translucent resin material, but the
본 발명에서는 수지 재료를 불투명 또한 흑색으로 하기 위해서, 카본블랙 등의 흑색화재를 수지 재료의 중량비로 0.5%∼3% 함유하는 것이 바람직하다. 0.5% 미만에서는 흑색의 정도가 얇고 불충분하고, 또한 3%를 초과하여 첨가해도 그 효과에 차이가 발생하지 않기 때문이다. 흑색화재로서는 카본블랙 이외에, 이산화티탄, 사삼산화철 등을 들 수 있다.In the present invention, in order to make the resin material opaque and black, it is preferable that black fire such as carbon black is contained in a proportion of 0.5% to 3% by weight of the resin material. If the content is less than 0.5%, the degree of blackness is small and insufficient, and if the content is more than 3%, no difference in the effect occurs. Examples of the black fire include titanium dioxide, iron oxide black, and the like in addition to carbon black.
펠리클 수납 용기(10)에 사용되는 소재의 수지로서는 다양한 것을 들 수 있지만, 특히 ABS 수지가 바람직하다. 왜냐하면, 그 강성이나 성형성 등의 밸런스가 좋을 뿐만 아니라, 자외선의 흡수가 크기 때문에 반대로 소재 내부로 투과하는 자외선이 더욱 적어지고, 함유하는 난연제의 열화도 억제되기 때문이다. 또한, 흑색으로 함으로써, ABS 수지 자체의 열화인 황변, 퇴색이라고 한 외관상의 열화도 방지되기 때문에 더욱 바람직하다.As the resin of the material used for the
한편, 펠리클 수납 용기에 일반적으로 사용되고 있는 아크릴 수지(PMMA)의 경우에는 난연제의 첨가에 의해 난연화하는 것은 가능하지만, 수지 자체의 자외선 투과율이 높기 때문에 내부에 함유한 난연제의 열화가 촉진되기 쉽다는 부적합이 있다. 또한, 수지 소재 자체를 난연성의 수지 재료로 하면 처음부터 난연제를 첨가할 필요는 없지만, 예를 들면 염화비닐 수지(PVC)의 경우에는 대형 재료의 입수가 곤란한 것 이외에, 폐기 처리하기 어렵다는 문제가 있다. 또한, 폴리카보네이트 수지(PC)의 경우에는 성형 온도가 매우 높고, 대형품의 진공 성형 또는 압공 성형에 의한 제조가 곤란하다는 문제가 있어 이것을 채용하는 것은 용이하지 않다.On the other hand, in the case of acrylic resin (PMMA) generally used in a pellet storage container, it is possible to carry out flame retardation by adding a flame retardant, but since the ultraviolet transmittance of the resin itself is high, deterioration of the flame retardant contained therein is apt to be promoted There is a nonconformity. When the resin material itself is made of a flame retardant resin material, it is not necessary to add a flame retardant agent from the beginning, but in the case of vinyl chloride resin (PVC), for example, it is difficult to obtain a large amount of material, . Further, in the case of the polycarbonate resin (PC), there is a problem that the molding temperature is very high and it is difficult to manufacture by vacuum forming or pressure molding of a large article, and it is not easy to adopt this.
수지에 첨가되는 난연제의 종류에 대해서는 유기계 난연제로서 테트라브로모 비스페놀A(TBBA), 데카브로모디페닐에테르(DBDE), 헥사브로모시클로도데칸(HBCD) 등의 브롬계 화합물이나 인계 화합물, 염소계 화합물 등을 들 수 있다. 또한, 무기계 난연제로서는 수산화알루미늄이나 수산화마그네슘의 수화물, 삼산화안티몬 등의 안티몬계, 붕소 화합물 등을 들 수 있다. 논할로겐의 유기계로서는 시아누르산 멜라민 이외에, 실리콘계 화합물 등도 개발되고 있다.Examples of the flame retardant to be added to the resin include brominated compounds such as tetrabromobisphenol A (TBBA), decabromodiphenyl ether (DBDE), and hexabromocyclododecane (HBCD), phosphorous compounds such as chlorinated compounds And the like. Examples of the inorganic flame retardant include aluminum hydroxide, hydrate of magnesium hydroxide, and antimony-based and boron compounds such as antimony trioxide. As a non-halogen organic system, in addition to cyanuric acid melamine, a silicone compound is also being developed.
본 발명에 사용하는 난연제는 상기에서 열거한 것을 단독으로, 또는 수종류를 병용한 형으로 수지 재료의 중량비로 5%∼25% 정도 첨가하여 사용하는 것이 바람직하다. 난연제의 양이 5% 미만이면 난연성의 효과가 충분하게 발휘되지 않고, 또한 25%를 초과하면 수지 소재의 물성에의 영향이 너무 커서 바람직하지 않기 때문이다.The flame retardant to be used in the present invention is preferably used in an amount of 5% to 25% by weight of the resin material, either alone or in combination of several types listed above. If the amount of the flame retardant is less than 5%, the effect of the flame retardancy is not sufficiently exhibited. If the amount exceeds 25%, the effect of the resin material on the physical properties is too great.
또한, 최근에서는 난연제 중에 환경상의 문제로부터 규제 물질로 되어 있는 것도 있기 때문에, 그 점도 고려하여 선택하는 것이 바람직하다. 또한, 목표로 하는 난연성의 정도로서는 펠리클 수납 용기의 보관 장소에 있어서의 요구 수준에 따라 설정하면 좋지만, 적어도 UL94 규격으로 V-1을 달성하는 것이 바람직하다.In recent years, some of the flame retardants are regulated substances due to environmental problems. In addition, the degree of the desired flame retardancy may be set in accordance with the required level in the storage place of the pellicle storage container, but it is preferable to achieve V-1 at least in the UL94 standard.
본 발명에서는 상기와 같은 다양한 난연제를 적용할 수 있지만, 특히 브롬계 화합물을 함유하는 것이 바람직하다. 브롬계 화합물은 난연화 효과가 높고, 또한 다른 난연제와 조합시킨 경우에도 그 효과가 높기 때문이다. 특히, 브롬계 화합물과 삼산화안티몬의 조합은 난연화 효과가 높아 바람직하다.In the present invention, various flame retardants as described above can be applied, but it is particularly preferable to contain a bromine-based compound. This is because the bromine-based compound has a high effect of improving the flame retardancy and has a high effect even when it is combined with another flame retardant. In particular, the combination of the bromine-based compound and antimony trioxide is preferred because of its high flame retarding effect.
또한, 브롬계 화합물은 자외선에 대하여 열화하기 쉽다는 결점이 있지만, 수지 재질을 불투명 또한 흑색으로 함으로써 열화하는 영역을 표면에만 고정시킬 수 있기 때문에, 브롬계 화합물의 열화를 실질적으로 방지할 수 있다. 바람직한 브롬계 화합물의 예로서는 난연 성능 및 환경 규제상의 이유에서, 테트라브로모비스페놀A(TBBPA), TBBA 올리고머(에폭시계, 카보네이트계), 브롬화 폴리스티렌(BPS) 등을 들 수 있다. 이들 함유량은 난연성의 확보와 수지 물성 유지의 관점에서 5∼25%의 범위로 하는 것이 바람직하다.Further, the bromine-based compound has the drawback that it is easily deteriorated by ultraviolet rays, but the deterioration of the bromine-based compound can be substantially prevented since the region where the resin material becomes opaque and black and deteriorates can be fixed only on the surface. Examples of preferred bromine-based compounds include tetrabromobisphenol A (TBBPA), TBBA oligomer (epoxy-based, carbonate-based), and brominated polystyrene (BPS) for reasons of flame retardancy and environmental regulations. These contents are preferably in the range of 5 to 25% from the viewpoint of ensuring the flame retardancy and maintaining the resin properties.
본 발명의 펠리클 수납 용기 본체(11) 및 뚜껑(12)에는 필요에 따라서, 리브 등의 보강 구조를 설치할 수 있고, 금속 또는 수지제의 보강 수단, 취급을 위한 핸들이나 뚜껑을 고정하는 버클 등을 설치하는 것도 좋다.A reinforcing structure such as a rib can be provided on the pellicle storage container
또한, 펠리클 변 길이가 1500mm를 초과하는 매우 대형의 펠리클 수납 용기에 강성이 특히 요구되는 경우나, 보다 난연성을 향상시키고 싶은 경우에는 뚜껑(12)만을 상기 수지로 제작하고, 펠리클 수납 용기 본체(11)를 금속으로 제작한 구성이 특히 바람직하다. 무엇보다, 펠리클 수납 용기 본체(11)를 금속으로 제작한 경우에는 모두 수지로 제작했을 경우와 비교하여 중량의 점에서 불리하게 되지만, 뚜껑(12)과 같이 손에 의해 개폐하는 등의 취급이 불필요하기 때문에 실질적인 지장은 없다.Further, when rigidity is particularly required for a very large pellicle storage container having a pellicle side length exceeding 1,500 mm, or when it is desired to further improve flame retardancy, only the
금속을 사용하는 경우에는 알루미늄 합금, 마그네슘 합금 등의 경량 재료 외에, 철강, 스테인레스강 등의 고강성 재료를 사용할 수 있다. 그 경우, 성형 가공은 박판을 절곡 가공, 프레스 성형, 용접 등으로 하여 조형하거나 또는 주조를 이용해도 좋다. 그 표면에는 방청, 발진 방지를 위해서 도장을 실시하는 것이 바람직하고, 특히 대전 방지 성능을 부여할 뿐만 아니라, 부착 이물의 시인 성향상 때문에 흑색으로 되어 있는 것이 바람직하다.When a metal is used, a highly rigid material such as steel or stainless steel may be used in addition to a lightweight material such as an aluminum alloy or a magnesium alloy. In this case, the forming may be performed by bending a thin plate, molding it by press molding, welding, or casting it. It is preferable that the surface is coated for prevention of rusting and oscillation. In particular, it is preferable that not only antistatic performance is given but also black because of improvement of visibility of adhering foreign matter.
본 발명의 펠리클 수납 용기(10)에서는 펠리클 수납 용기 본체(11)에 펠리클(20)을 고정하기 위한 고정 수단으로서, 공지의 다양한 방법을 적용할 수 있다. 도 4에 나타낸 실시예에서는 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 핀 지지 수단(14)을 설치하고, 그것에 지지된 핀(13)을 펠리클 프레임 측면에 설치한 비관통의 구멍(도시하지 않음)에 삽입함으로써 펠리클(20)을 고정하고 있지만, 기타 공지의 방법이어도 좋다.In the
또한, 도 4에 나타낸 실시예에서는 펠리클 프레임(21)의 하면에 마스크 점착층(22)이 설치되고, 그 아래에는 마스크 점착층(22)을 보호하는 세퍼레이터(23)가 부착되어 있지만, 마스크 점착층(22)이 펠리클 수납 용기 본체(11)에 접촉하지 않도록 펠리클 프레임(21)을 지지하는 수단 등을 별도로 설치하여 세퍼레이터를 생략한 구성으로 하는 것도 좋다.4, the
실시예Example
이하, 본 발명의 실시예에 대해서 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
실시예에서는, 우선 두께 5mm의 ABS 수지판을 이용하여 펠리클 수납 용기 본체(11)와 뚜껑(12)을 진공 성형으로 제조했다. 이 펠리클 수납 용기(10)의 외부 치수는 940×1060×높이 90mm이었다.In the embodiment, the pellicle storage container
이 실시예에서 사용한 ABS 수지판은 브롬계 난연제(상품명; FLAMECUT, Tosoh Corporation 제작) 20wt%와, 삼산화안티몬(상품명; PATOX0, Nihon Seiko Co., Ltd. 제작) 2wt%과, 카본블랙(상품명; SUNBLACK, Asahi Carbon Co., Ltd. 제작) 1wt%를 혼입하여 압출 성형으로 제조한 불투명하고 흑색인 것이었다.The ABS resin plate used in this example was a mixture of 20 wt% of a brominated flame retardant (trade name: FLAMECUT, manufactured by Tosoh Corporation), 2 wt% of antimony trioxide (trade name: PATOX0, manufactured by Nihon Seiko Co., Ltd.) SUNBLACK, manufactured by Asahi Carbon Co., Ltd.), and the mixture was opaque and black.
이어서, 이 펠리클 수납 용기 본체(11)와 뚜껑(12)에는 진공 성형 후에, 주위를 NC 루터로 절삭 가공하여 마무리 처리를 실시했다. 또한, 이 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에는 핀 지지 수단(14)을 외면으로부터 볼트 고정(도시하지 않음)으로 부착했다.Subsequently, the pellicle storage container
한편, 이 펠리클 수납 용기(10)에 수납하는 펠리클(20)을 이하의 수단으로 제작했다. 즉, 펠리클 프레임(21)은 A5052 알루미늄 합금을 기계 절삭으로 가공한 것으로, 외부 치수 756×940mm, 내부 치수 740×928mm, 높이 5.8mm로 하고 표면에는 흑색 알루마이트 처리를 실시했다. 또한, 각 장변 중앙 부근에는 직경 1.5mm의 공기구멍을 4개소(도시하지 않음), 각 변의 모서리부 부근에 직경 2.5mm의 비관통의 지그구멍(도시하지 않음)을 설치했다.On the other hand, the
이어서, 이 펠리클 프레임(21)의 하면에는 마스크 점착층(22)으로서 실리콘 점착제(상품명; KR-3700, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)를 두께 1.3mm로 형성하고, 그 표면에는 이형제를 도포한 PET 필름으로 이루어지는 세퍼레이터(23)를 부착했다. 또한 펠리클 프레임(21) 측면의 공기구명은 PTFE 다공질막제의 필터를 아크릴 점착제로 부착시켰다(도시하지 않음). 또한, 펠리클 프레임(21)의 상면에는 펠리클막 접착층(24)으로서 실리콘 점착제(상품명; KR-3700, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)를 도포하고, 그 상에 불소 수지(상품명; CYTOP, Asahi Glass Co., Ltd.)로 이루어지는 두께 약 4.5㎛의 펠리클막(25)을 장설(張設)했다.Then, a silicon pressure-sensitive adhesive (trade name: KR-3700, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was formed as a
이렇게 제작한 펠리클(20)을 이물 검사상, 핀(13)과 핀 지지 수단(14)으로 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 고정하고 뚜껑(12)으로 밀폐했다. 그 후에, 감합부 주위를 PVC제 점착테이프로 밀봉하고, 두께 0.1의 대전방지 PE제 포장 자루에 수납했다. 또한, 펠리클(20)의 수납시에 펠리클 수납 용기(10)를 Class 10의 클린룸 내에서 계면활성제와 순수로 잘 세정 처리하고 건조했다.The
최후에, 이렇게 펠리클(20)를 수납한 펠리클 수납 용기(10)를 실온 22∼28℃, 습도 30∼55%의 범위에서 공기 조절된 실내로 반송하여 1년간 정치 보관했다. 또한, 이 펠리클 수납 용기(10)를 적재한 곳은 1년 내내 유리창 너머로 태양광이 들어오는 환경이었다.Finally, the
그리고, 1년 후에 이 펠리클 수납 용기(10)에 수납되어 있었던 펠리클(20)을 Class 10의 클린룸 내에서 꺼내어 외관, 이물 검사를 행한 바, 펠리클(20)에 부착 이물이나 손상은 전혀 보여지지 않고, 청정한 그대로의 상태가 유지되고 있었다. 또한, 펠리클 수납 용기(10) 자체에도 눈에띠는 외관상의 변화는 보여지지 않았다.After one year, the
비교예Comparative Example
<비교예 1>≪ Comparative Example 1 &
비교예 1에서는, 우선 실시예와 완전히 마찬가지로 펠리클 수납 용기를 제조했지만, 펠리클 수납 용기 뚜껑의 재질이 상기 실시예의 것과 달랐다. 즉, 뚜껑에 사용한 판재는 ABS 수지를 압출하여 성형한 것이고, 그 재질은 브롬계 난연제(상품명; FLAMECUT, Tosoh Corporation 제작) 20wt%와, 삼산화안티몬(상품명; PATOX, Nihon Seiko Co., Ltd. 제작) 2wt%를 함유한 것이지만, 흑색화하기 위한 카본블랙을 혼입하지 않아 외관은 약간 흰색을 띤 투명이 되었다.In Comparative Example 1, a pellet storage container was manufactured in the same manner as in the first embodiment, but the material of the pellet storage container lid was different from that of the above-described embodiment. 20 wt% of a brominated flame retardant (trade name: FLAMECUT, manufactured by Tosoh Corporation), antimony trioxide (trade name: PATOX, manufactured by Nihon Seiko Co., Ltd.) ), But carbon black for blackening was not incorporated, and the appearance became slightly whitish transparent.
이어서, 이 펠리클 수납 용기를 Class 10의 클린룸 내에서 계면활성제와 순수로 잘 세정, 건조한 후 실시예와 동일한 수단의 펠리클을 이물 검사 후에 수납했다. 그리고, 실시예와 완전히 동일한 환경에서 1년간 정치 보관했다.Then, this pellicle storage container was thoroughly cleaned with a surfactant and pure water in a clean room of
그리고, 1년 후에 Class 10의 클린룸에서 이 펠리클 수납 용기로부터 펠리클을 취출하여 외관, 이물 검사를 행한 바, 수납한 펠리클의 막면에는 큰 이물의 부착은 보여지지 않았지만, φ0.5∼3㎛ 정도의 이물이 다수 부착되어 있었다. 또한, 곳에 따라서는 이 부착 이물의 밀집도가 높고, 흐리거나 오염처럼 보이는 부분도 있었으므로, 이것은 통상 사용이 불가능한 레벨이었다. 또한, 펠리클 수납 용기의 뚜껑은 약간 황색을 띤 백색 불투명으로 되어 있어, 상품으로서 사용할 수 있는 외관은 아니었다.One year later, the pellicle was taken out from the pellicle storage container in a clean room of
<비교예 2>≪ Comparative Example 2 &
비교예 2에서도, 실시예 및 비교예 1과 완전히 동일한 방법으로 펠리클 수납 용기를 제조했지만, 펠리클 수납 용기의 뚜껑의 재질이 상기 실시예 및 비교예 1의 것과 달랐다. 즉, 뚜껑에 사용한 판재는 ABS 수지를 압출하여 성형한 것이고, 그 재질은 브롬계 난연제로 교체하여 무기계 난연제의 수산화마그네슘을 35wt% 첨가한 것으로, 흑색화하기 위한 카본블랙을 혼입하지 않아 외관은 백색 불투명한 것으로 되어 있었다.In Comparative Example 2, the pellet storage container was manufactured in exactly the same manner as in the Example and Comparative Example 1, but the material of the lid of the pellet storage container was different from that of the above-described Example and Comparative Example 1. [ That is, the plate material used for the lid is formed by extruding ABS resin, and the material thereof is replaced with a bromine-based flame retardant, and magnesium hydroxide of the inorganic flame retardant is added in an amount of 35 wt%. Carbon black for blackening is not added, It was supposed to be opaque.
이어서, 이 펠리클 수납 용기를 Class 10의 클린룸 내에서 계면활성제와 순수로 잘 세정, 건조한 후 실시예나 비교예 1과 동일한 수단의 펠리클을 이물 검사 후에 수납했다. 그리고, 실시예나 비교예 1과 완전히 동일한 환경에서 1년간 정치 보관했다.Then, this pellicle storage container was thoroughly cleaned with a surfactant and pure water in a clean room of
그리고, 1년 후에 Class 10의 클린룸에서 이 펠리클 수납 용기로부터 펠리클을 취출하여 외관, 이물 검사를 행한 바, 수납되어 있었던 펠리클에는 이물의 부착 없이 사용 가능한 상태가 유지되어 있었지만, 펠리클 수납 용기의 뚜껑이 백색 불투명했기 때문에 외면이 여기저기 황변한 상태가 되어 있어, 상품으로서 사용할 수 있는 외관은 아니었다.One year later, the pellicle was taken out from the pellicle storage container in a clean room of
10: 펠리클 수납 용기 11: 펠리클 수납 용기 본체
12: 뚜껑 13: 핀
14: 핀 지지 수단 20: 펠리클
21: 펠리클 프레임 22: 마스크 점착층
23: 세퍼레이터 24: 펠리클막 접착층
25: 펠리클막10: Pellicle storage container 11: Pellicle storage container main body
12: lid 13: pin
14: pin support means 20: pellicle
21: Pellicle frame 22: mask adhesive layer
23: Separator 24: Pellicle film adhesive layer
25: Pellicle membrane
Claims (5)
상기 펠리클을 적재하는 펠리클 수납 용기 본체와, 그 둘레가장자리부에 감합하여 밀폐되는 뚜껑으로 구성되고, 적어도 상기 뚜껑은 진공 성형 또는 압공 성형된 수지 재료로 제조되고, 상기 수지 재료는 난연제 및 흑색화재를 함유하여 불투명하고 또한 흑색인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.A pellicle storage container for storing a pellicle having at least one side length exceeding 500 mm,
Wherein the lid is made of a resin material which is vacuum-molded or pressure-molded, and the resin material is made of a flame-retardant agent and a black fire. The pellicle-containing container body comprises a pellicle- And is opaque and black.
상기 흑색화재는 수지 재료의 중량비로 0.5%∼3% 함유되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.The method according to claim 1,
Wherein the black fire is contained in an amount of 0.5% to 3% by weight of the resin material.
상기 난연제는 수지 재료의 중량비로 5%∼25% 함유되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the flame retardant is contained in an amount of 5 to 25% by weight of the resin material.
상기 난연제는 브롬계 화합물인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the flame retardant is a bromine-based compound.
상기 수지 재료는 ABS 수지인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the resin material is an ABS resin.
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