KR20160096997A - Organic Light Emitting Diode Display Device And Method Of Fabricating The Same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기발광다이오드 표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적 고해상도의 상부발광방식 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED) display device, and more particularly to a top emission organic light emitting diode display device having a large area and a high resolution, and a method of manufacturing the same.
평판표시장치(flat panel display: FPD) 중 하나인 유기발광다이오드(organic light emitting diode: OLED) 표시장치는, 자체 발광형이기 때문에 액정표시장치(liquid crystal display: LCD)에 비해 시야각, 대조비 등이 우수하며 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량박형이 가능하고, 소비전력 측면에서도 유리하다. An organic light emitting diode (OLED) display device, which is one of a flat panel display (FPD), has a viewing angle and a contrast ratio compared with a liquid crystal display (LCD) Since it is excellent and it does not need a backlight, it can be lightweight and thin, and is also advantageous in terms of power consumption.
그리고, 직류 저전압 구동이 가능하고 응답속도가 빠르며 전부 고체이기 때문에 외부충격에 강하고 사용온도범위도 넓으며 특히 제조비용 측면에서도 저렴한 장점을 가지고 있다. Also, because it can be driven by DC low voltage, has a fast response speed, and is solid, it is resistant to external impact, has a wide temperature range, and is especially advantageous in terms of manufacturing cost.
또한, 유기발광다이오드 표시장치의 제조공정은 증착(deposition) 및 인캡슐레이션(encapsulation)이 전부라고 할 수 있기 때문에, 제조공정이 매우 단순하다.
In addition, since the manufacturing process of the organic light emitting diode display device is all of deposition and encapsulation, the manufacturing process is very simple.
이러한 유기발광다이오드 표시장치는, 발광다이오드로부터 출사된 빛의 투과방향에 따라 상부발광방식(top emission type)과 하부발광방식(bottom emission type)으로 구분할 수 있는데, 하부발광방식은 개구율이 저하되는 단점이 있어서 최근에는 상부발광방식이 주로 이용되고 있다.Such an organic light emitting diode display device can be divided into a top emission type and a bottom emission type according to a transmission direction of light emitted from the light emitting diode. Recently, the top emission type is mainly used.
상부발광방식 유기발광다이오드 표시장치에서는 발광층의 빛이 상부로 출사되므로, 개구율의 감소 없이 발광층 하부에 다수의 박막트랜지스터 및 다수의 커패시터와 같은 구동소자들을 자유롭게 배치할 수 있는 장점이 있다.
In the organic light emitting diode (OLED) display device of the top emission type, the light emitted from the light emitting layer is emitted to the top. Therefore, there is an advantage that a plurality of thin film transistors and a plurality of capacitors can be freely arranged below the light emitting layer without decreasing the aperture ratio.
도 1은 종래의 상부발광방식 유기발광다이오드 표시장치를 도시한 단면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a conventional top emission organic light emitting diode display.
도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 상부발광방식 유기발광다이오드 표시장치(10)는, 제1기판(20)과, 제1기판(20) 상부에 형성되는 박막트랜지스터(T) 및 발광다이오드(ED)와, 박막트랜지스터(T) 및 발광다이오드(ED) 상부에서 제1기판(20)에 합착되는 제2기판(60)을 포함하는데, 박막트랜지스터(T)는 게이트전극(22), 반도체층(26), 소스전극(30) 및 드레인전극(32)을 포함하고, 발광다이오드(ED)는 제1전극(38), 발광층(42), 제2전극(44)을 포함한다. 1, a conventional top emission type organic light
구체적으로, 제1기판(20) 상부에는 게이트전극(22)이 형성되고, 게이트전극(22) 상부에는 게이트절연층(24)이 형성되고, 게이트절연층(24) 상부의 게이트전극(22)에 대응되는 위치에는 반도체층(26)이 형성된다. A
반도체층(26) 상부에는 식각 방지층(etch stopper)(28)이 형성되고, 식각 방지층(28) 상부에는 서로 이격되고 반도체층(26)의 양단에 각각 접촉하는 소스전극(30) 및 드레인전극(32)이 형성된다.An
소스전극(30) 및 드레인전극(32) 상부에는 보호층(34)이 형성되는데, 보호층(34)은 소스전극(30)을 노출하는 소스콘택홀(36)을 포함한다. A
보호층(34) 상부의 화소영역에는 제1전극(38)이 형성되는데, 제1전극(38)은 보호층(34)의 소스콘택홀(36)을 통하여 소스전극(30)에 연결된다.The
제1전극(38) 상부에는 제1전극(38)의 가장자리부를 덮는 뱅크층(40)이 형성되는데, 뱅크층(40)은 제1전극(38)의 중앙부를 노출하는 개구부를 포함한다. A
뱅크층(40) 상부에는 발광층(42)이 형성되는데, 발광층(42)은 뱅크층(40)의 개구부를 통하여 제1전극(38)의 중앙부와 접촉한다.A
발광층(42) 상부의 제1기판(20) 전면에는 제2전극(44)이 형성된다. A
제2기판(60)은 씰패턴 등을 이용하여 제2전극(44) 상부에서 제1기판(20)에 합착되며, 발광다이오드(ED)를 보호하는 역할을 한다.
The
이러한 상부발광방식 유기발광다이오드 표시장치(10)에서는, 발광층(42)의 빛이 상부의 제2기판(60)을 통하여 출사되므로, 발광층(42) 하부에 다수의 박막트랜지스터 및 다수의 커패시터와 같은 구동소자들을 배치하더라도 개구율이 감소하지 않으며, 이에 따라 특히 대면적 고해상도의 표시장치에 적용이 용이하다.
Since the light emitted from the
발광층(42) 상부의 제2전극(44)은 발광층(42)의 빛을 통과시킬 수 있도록 투명하게 형성되어야 하는데, 제2전극(44) 형성 시 하부의 발광층(42)이 손상되지 않아야 하므로, 스퍼터링(sputtering) 방법 대신 증발(evaporation) 방법으로 제2전극(44)을 형성하여야 한다.The
그러나, 인듐-틴-옥사이드(indium tin oxide: ITO)와 같은 투명도전성 물질은 증발 방법으로 형성하기 어려운 문제가 있다.However, a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) has a problem that it is difficult to be formed by an evaporation method.
이에 따라, 증발 방법을 통하여 마그네슘:은(Mg:Ag) 합금과 같은 금속물질을 얇은 두께로 성막하여 투명한 제2전극(44)을 형성하는 구조가 개발되고 있으나, 금속물질의 제2전극(44)을 투명하게 하기 위하여 두께가 감소하므로, 제2전극(44)의 저항이 증가하고, 그 결과 금속물질의 제2전극(44)은 대면적 표시장치에 적용하기 어려운 문제가 있다.
Accordingly, a structure has been developed in which a transparent
본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 제시된 것으로, 레이저(laser)를 이용하여 발광층에 콘택부를 형성하고 콘택부를 통하여 발광다이오드의 상부 전극을 하부 보조전극에 연결함으로써, 상부 전극의 높은 저항이 보완되고 대면적 고해상도에 용이하게 적용할 수 있는 상부발광방식 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve such a problem, and a high resistance of an upper electrode is complemented by forming a contact portion in a light emitting layer using a laser and connecting an upper electrode of the light emitting diode to a lower auxiliary electrode through a contact portion An organic light emitting diode (OLED) display device and a method of manufacturing the same, which can be easily applied to a large-area high-resolution display.
그리고, 본 발명은, 도전물질층 및 연결패턴을 이용하여 발광다이오드의 상부 전극을 상부 보조전극에 연결함으로써, 상부 전극의 높은 저항이 더욱 보완되고 대면적 고해상도에 더욱 용이하게 적용할 수 있는 상부발광방식 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 다른 목적이 있다.
The upper electrode of the light emitting diode is connected to the upper auxiliary electrode by using the conductive material layer and the connection pattern to further improve the high resistance of the upper electrode, Type organic light emitting diode display device and a method of manufacturing the same.
위와 같은 과제의 해결을 위해, 본 발명은, 제1기판과; 상기 제1기판 상부에 형성되고, 서로 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트배선, 데이터배선 및 파워배선과; 상기 화소영역에 형성되는 적어도 하나의 박막트랜지스터와; 상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상부에 형성되는 보호층과; 상기 보호층 상부의 상기 화소영역의 경계부에 형성되는 제1보조전극과; 상기 보호층 상부의 상기 화소영역에 형성되고, 상기 제1보조전극에 연결되는 발광다이오드와; 상기 제1기판에 합착되는 제2기판을 포함하는 유기발광다이오드 표시장치를 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a liquid crystal display comprising: a first substrate; A gate wiring, a data wiring, and a power wiring formed on the first substrate and defining a pixel region intersecting with each other; At least one thin film transistor formed in the pixel region; A protective layer formed on the at least one thin film transistor; A first auxiliary electrode formed on a boundary portion of the pixel region above the protective layer; A light emitting diode formed in the pixel region above the protective layer and connected to the first auxiliary electrode; And a second substrate bonded to the first substrate.
그리고, 상기 발광다이오드는, 상기 보호층 상부의 화소영역에 순차적으로 형성되는 반사판 및 제1전극과, 상기 제1전극 상부에 형성되는 발광층과, 상기 발광층 상부에 형성되는 제2전극을 포함할 수 있다.The light emitting diode may include a reflective plate and a first electrode sequentially formed in a pixel region above the protective layer, a light emitting layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the light emitting layer have.
또한, 상기 유기발광다이오드 표시장치는 상기 제1전극의 가장자리부를 덮는 뱅크층을 더 포함하고, 상기 뱅크층은, 상기 제1전극의 중앙부를 노출하는 제1개구부와, 상기 제1보조전극을 노출하는 제2개구부를 포함할 수 있다.The organic light emitting diode display device may further include a bank layer covering an edge portion of the first electrode, wherein the bank layer includes: a first opening exposing a center portion of the first electrode; As shown in FIG.
그리고, 상기 발광층은, 상기 제2개구부에 대응되어 상기 제1보조전극을 노출하는 콘택부를 포함하고, 상기 제2전극은 상기 콘택부 및 상기 제2개구부를 통하여 상기 제1보조전극에 연결될 수 있다.The light emitting layer may include a contact portion corresponding to the second opening and exposing the first auxiliary electrode, and the second electrode may be connected to the first auxiliary electrode through the contact portion and the second opening portion .
또한, 상기 유기발광다이오드 표시장치는, 상기 제2전극 상부에 형성되고, 상기 제2개구부 및 상기 콘택부에 대응되는 도전물질층과; 상기 제2전극 상부에 형성되고, 상기 도전물질층을 노출하는 캐핑층과; 상기 제2기판 하부에 형성되고, 상기 제2개구부 및 상기 콘택부에 대응되는 연결패턴과; 상기 연결패턴 하부에 형성되고 상기 도전물질층에 연결되는 제2보조전극을 더 포함할 수 있다.The organic light emitting diode display device may further include a conductive material layer formed on the second electrode and corresponding to the second opening and the contact portion; A capping layer formed on the second electrode, the capping layer exposing the conductive material layer; A connection pattern formed under the second substrate and corresponding to the second opening and the contact portion; And a second auxiliary electrode formed under the connection pattern and connected to the conductive material layer.
그리고, 상기 제1 및 제2보조전극은 각각 상기 화소영역의 경계부에 대응되는 메쉬 형태로 형성될 수 있다.The first and second auxiliary electrodes may be formed in a mesh shape corresponding to a boundary portion of the pixel region.
한편, 본 발명은, 제1기판 상부에 서로 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트배선, 데이터배선 및 파워배선을 형성하는 단계와; 상기 화소영역에 적어도 하나의 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상부에 보호층을 형성하는 단계와; 상기 보호층 상부의 상기 화소영역에 반사판을 형성하고, 상기 보호층 상부의 상기 화소영역의 경계부에 제1보조전극을 형성하는 단계와; 상기 반사판 상부에 제1전극을 형성하는 단계와; 상기 제1전극 상부에 상기 제1전극의 중앙부를 노출하는 제1개구부와 상기 제1보조전극을 노출하는 제2개구부를 포함하는 뱅크층을 형성하는 단계와; 상기 뱅크층 상부에 상기 제2개구부에 대응되어 상기 제1보조전극을 노출하는 콘택부를 포함하는 발광층을 형성하는 단계와; 상기 발광층 상부에 상기 콘택부 및 상기 제2개구부를 통하여 상기 제1보조전극에 연결되는 제2전극을 형성하는 단계와; 상기 제1기판에 제2기판을 합착하는 단계를 포함하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: forming a gate wiring, a data wiring, and a power wiring crossing each other on a first substrate to define a pixel region; Forming at least one thin film transistor in the pixel region; Forming a protective layer over the at least one thin film transistor; Forming a reflective plate in the pixel region above the protective layer and forming a first auxiliary electrode in a boundary portion of the pixel region on the protective layer; Forming a first electrode on the reflection plate; Forming a bank layer on the first electrode, the bank layer including a first opening exposing a center portion of the first electrode and a second opening exposing the first auxiliary electrode; Forming a light emitting layer on the bank layer and including a contact portion corresponding to the second opening and exposing the first auxiliary electrode; Forming a second electrode on the light emitting layer, the second electrode being connected to the first auxiliary electrode through the contact portion and the second opening; And attaching the second substrate to the first substrate. The present invention also provides a method of manufacturing an organic light emitting diode display device.
그리고, 상기 발광층을 형성하는 단계는, 상기 발광층이 형성된 상기 제1기판 상부에 더미기판을 밀착하는 단계와; 상기 더미기판을 통하여 상기 발광층에 레이저를 조사하여 상기 제2개구부에 대응되는 상기 발광층을 부분적으로 제거하여 상기 제1보조전극을 노출하는 콘택부를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.The forming of the light emitting layer may include: a step of bringing a dummy substrate into close contact with an upper portion of the first substrate on which the light emitting layer is formed; And irradiating a laser beam to the light emitting layer through the dummy substrate to partially remove the light emitting layer corresponding to the second opening to form a contact portion exposing the first auxiliary electrode.
또한, 상기 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법은, 상기 제2전극 상부에 상기 제2개구부 및 상기 콘택부에 대응되는 도전물질층을 형성하는 단계와; 상기 제2전극 상부에 상기 도전물질층을 노출하는 캐핑층을 형성하는 단계와; 상기 제2기판 하부에 상기 제2개구부 및 상기 콘택부에 대응되는 연결패턴을 형성하는 단계와; 상기 연결패턴 하부에 제2보조전극을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting diode display, comprising: forming a conductive layer corresponding to the second opening and the contact portion on the second electrode; Forming a capping layer on the second electrode to expose the conductive material layer; Forming a connection pattern corresponding to the second opening and the contact portion in the lower portion of the second substrate; And forming a second auxiliary electrode under the connection pattern.
그리고, 상기 도전물질층 및 상기 캐핑층은 잉크젯 방법으로 형성될 수 있다.
The conductive material layer and the capping layer may be formed by an ink jet method.
본 발명은, 레이저(laser)를 이용하여 발광층에 콘택부를 형성하고 콘택부를 통하여 발광다이오드의 상부 전극을 하부 보조전극에 연결함으로써, 상부 전극의 높은 저항이 보완되고 상부발광방식 발광다이오드 표시장치를 대면적 고해상도에 용이하게 적용할 수 있는 효과를 갖는다. In the present invention, a contact portion is formed in a light emitting layer using a laser, and an upper electrode of a light emitting diode is connected to a lower auxiliary electrode through a contact portion, thereby enhancing the high resistance of the upper electrode, It has an effect that it can be easily applied to an area high resolution.
그리고, 본 발명은 도전물질층 이용하여 발광다이오드의 상부 전극을 상부 보조전극에 연결함으로써, 상부 전극의 높은 저항이 더욱 보완되고 상부발광방식 유기발광다이오드 표시장치를 대면적 고해상도에 더욱 용이하게 적용할 수 있는 효과를 갖는다.
In addition, the present invention uses the conductive material layer to connect the upper electrode of the light emitting diode to the upper auxiliary electrode, so that the high resistance of the upper electrode is further complemented and the upper light emitting type organic light emitting diode display device is more easily applied to a large area high resolution .
도 1은 종래의 상부발광방식 유기발광다이오드 표시장치를 도시한 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제1기판의 평면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 단면도.
도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법을 도시한 도면.1 is a cross-sectional view illustrating a conventional top emission type organic light emitting diode display device.
2 is a plan view of a first substrate of an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention.
4A to 4H illustrate a method of manufacturing an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법을 설명한다.Hereinafter, an organic light emitting diode display device and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제1기판의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 단면도로서 도 2의 절단선 III-III에 대응되는 단면도이다. FIG. 2 is a plan view of a first substrate of an OLED display according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention, Fig.
도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치(110)는, 제1기판(120)과, 제1기판(120) 상부에 형성되는 스위칭 박막트랜지스터(Ts), 구동 박막트랜지스터(Td) 및 발광다이오드(ED)와, 발광다이오드(ED) 상부에서 제1기판(120)에 합착되는 제2기판(170)을 포함한다.2 and 3, the organic light emitting
구체적으로, 제1기판(120) 상부에는 서로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트배선(122), 데이터배선(136) 및 파워배선(138)이 형성되고, 화소영역(P)에는 스위칭 박막트랜지스터(Ts), 구동 박막트랜지스터(Td) 및 발광다이오드(ED)가 형성된다.Specifically, a
스위칭 박막트랜지스터(Ts)는 게이트배선(122) 및 데이터배선(136)과 연결되고, 구동 박막트랜지스터(Td)는 스위칭 박막트랜지스터(Ts) 및 파워배선(138)에 연결되며, 발광다이오드(ED)는 구동 박막트랜지스터(Td)에 연결된다. The switching thin film transistor Ts is connected to the
스위칭 박막트랜지스터(Ts) 및 구동 박막트랜지스터(Td)는 동일한 구조를 갖는데, 구동 박막트랜지스터(Td)는 게이트전극(124), 반도체층(128), 소스전극(132) 및 드레인전극(134)을 포함한다.The switching thin film transistor Ts and the driving thin film transistor Td have the same structure. The driving thin film transistor Td includes a
즉, 제1기판(120) 상부에는 게이트전극(124)이 형성되고, 게이트전극(124) 상부에는 게이트절연층(126)이 형성되고, 게이트절연층(126) 상부의 게이트전극(124)에 대응되는 위치에는 반도체층(128)이 형성된다. That is, a
반도체층(128) 상부에는 식각 방지층(etch stopper)(130)이 형성되고, 식각 방지층(130) 상부에는 서로 이격되고 반도체층(128)의 양단에 각각 접촉하는 소스전극(132) 및 드레인전극(134)이 형성된다.An
여기서, 게이트배선(122) 및 게이트전극(124)은 동일층, 동일물질로 제1기판(120) 상부에 형성되고, 데이터배선(136) 및 파워배선(138)은 소스전극(132) 및 드레인전극(134)과 동일층, 동일물질로 게이트절연층(126) 상부에 형성된다. Here, the
스위칭 박막트랜지스터(Ts) 및 구동 박막트랜지스터(Td) 상부에는 보호층(140)이 형성되는데, 보호층(140)은 소스전극(132)을 노출하는 소스콘택홀(142)을 포함한다.A
그리고, 보호층(140) 상부의 화소영역(P)에는 반사판(144) 및 제1전극(발광다이오드(ED)의 하부전극)(148)이 순차적으로 형성되고, 보호층(140) 상부의 화소영역(P)의 경계부에는 제1보조전극(하부 보조전극)(146)이 형성되는데, 반사판(144)은 소스콘택홀(142)을 통하여 소스전극(132)에 연결된다. A
반사판(144) 및 제1보조전극(146)은 상대적으로 높은 반사율을 갖는 금속물질로 이루어지고, 동일층으로 형성될 수 있는데, 제1보조전극(146)은 인접 화소영역(P)의 경계부에 메쉬(mesh) 형태로 형성될 수 있다.The first
제1전극(148)은 인듐 틴 옥사이드(indium tin oxide) 또는 인듐 징크 틴 옥사이드(indium tin oxide)와 같은 투명도전성 물질로 이루어지고, 상대적으로 높은 일함수를 갖는 발광다이오드(ED)의 양극(anode)일 수 있다.The
도 3에서는 제1보조전극(146)이 반사판(144)과 동일층, 동일물질로 이루어진 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 제1보조전극(146)이 반사판(144) 및 제1전극(148)과 동일층, 동일물질로 이루어지도록 할 수도 있다. 3, the first
제1전극(148) 상부에는 제1전극(148)의 가장자리부를 덮는 뱅크층(150)이 형성되는데, 뱅크층(150)은 제1전극(148)의 중앙부를 노출하는 제1개구부(152)와 제1보조전극(146)을 노출하는 제2개구부(154)를 포함한다. A
예를 들어, 제1개구부(152)는 제1전극(148)의 중앙부에 대응되는 크기를 가지며 각 화소영역(P)에 형성되고, 제2개구부(154)는 대응되는 크기를 가지며 인접 화소영역(P)의 경계부에 형성될 수 있다. For example, the
도 2에서는 제2개구부(154)가 인접 화소영역(P)의 경계부의 게이트배선(122), 데이터배선(136) 및 파워배선(138)의 교차지점 상부에 형성되는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 제2개구부(154)가 인접 화소영역(P)의 경계부의 게이트배선(122), 데이터배선(136) 또는 파워배선(138) 상부에 형성될 수도 있으며, 제2개구부(154)의 개수 및 크기는 다양하게 변경 가능하다.2, the
뱅크층(150) 상부에는 발광층(156)이 형성되는데, 발광층(156)은 뱅크층(150)의 제1개구부(152)를 통하여 제1전극(148)의 중앙부에 연결된다. 그리고, 발광층(156)은 제2개구부(154)에 대응되어 하부의 제1보조전극(146)을 노출하는 콘택부(158)를 갖는다.A
발광층(156) 상부의 제1기판(120) 전면에는 제2전극(발광다이오드(ED)의 상부전극)(160)이 형성되는데, 제2전극(160)은 발광층(156)의 콘택부(158) 및 뱅크층(150)의 제2개구부(154)를 통하여 하부의 제1보조전극(146)에 연결된다.A
제2전극(160)은 마그네슘:은(Mg:Ag) 합금과 같은 금속물질로 이루어질 수 있는데, 발광층(156)의 빛을 통과시킬 수 있도록 얇은 두께로 형성될 수 있으며, 상대적으로 낮은 일함수를 갖는 발광다이오드(ED)의 음극(cathode)일 수 있다.The
제2개구부(154) 및 콘택부(158)에 대응되는 제2전극(160) 상부에는 도전물질층(162)이 형성되는데, 도전물질층(162)은 실버 페이스트(silver paste) 또는 도전성 유기물로 이루어질 수 있다.A
제2전극(160) 상부의 제1기판(120) 전면에는 캐핑층(capping layer)(164)이 형성되는데, 캐핑층(164)은 도전물질층(162)을 노출한다. A
그리고, 제2기판(170) 하부에는 제1기판(120)의 게이트배선(122), 데이터배선(136) 및 파워배선(138)에 대응되는 블랙매트릭스(172)가 형성되고, 블랙매트릭스(172) 하부에는 제1기판(120)의 제2개구부(154) 및 콘택부(158)에 대응되는 돌출된 연결패턴(174)이 형성된다. A
블랙매트릭스(172)는 불투명한 유기물질 또는 금속물질로 이루어질 수 있다.The
연결패턴(174) 및 블랙매트릭스(172) 하부에는 블랙매트릭스(172)에 대응되는 제2보조전극(상부 보조전극)(176)이 형성되는데, 제2보조전극(176)은 인접 화소영역(P)의 경계부에 대응되는 메쉬(mesh) 형태로 형성될 수 있으며, 연결패턴(174) 하부의 제2보조전극(176)은 제1기판(120)의 도전물질층(162)에 연결된다. A second auxiliary electrode (upper auxiliary electrode) 176 corresponding to the
제2보조전극(176)은 금속물질로 이루어질 수 있다.
The second
이상과 같은, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치(110)에서, 발광다이오드(ED)의 제2전극(160)이 제2개구부(154) 및 콘택부(158)를 통하여 제1보조전극(146)에 연결되므로, 얇은 두께의 제2전극(160)의 높은 저항을 제1보조전극(146)으로 보상하여 제2전극(160)에 인가되는 전압을 균일하게 유지할 수 있다. In the organic light emitting
그리고, 발광다이오드(ED)의 제2전극(160)이 도전물질층(162)을 통하여 제2보조전극(176)에 연결되므로, 얇은 두께의 제2전극(160)의 높은 저항을 제2보조전극(176)으로 더욱 보상하여 제2전극(160)에 인가되는 전압을 더욱 균일하게 유지할 수 있다.Since the
따라서, 대면적 고해상도 표시장치에 더욱 용이하게 적용할 수 있다.
Therefore, it can be more easily applied to a large-area high-resolution display device.
이러한 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법을 도면을 참조하여 설명한다.A manufacturing method of such an organic light emitting diode display device will be described with reference to the drawings.
도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법을 도시한 도면으로, 도 2의 절단선 IV-IV에 대응되는 도면이며, 도 2 및 도 3을 함께 참조하여 설명한다.4A to 4H illustrate a method of manufacturing an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention, which corresponds to the cutting line IV-IV in FIG. 2, and FIG. 2 and FIG. 3 together Explain.
도 4a에 도시한 바와 같이, 제1기판(120) 상부에 게이트배선(122)을 형성하고, 게이트배선(122) 상부에 게이트절연층(126)을 형성하고, 상부에 데이터배선(136) 및 파워배선(138)을 형성한다.4A, a
여기서, 제1기판(120) 상부의 화소영역(P)에는 스위칭 박막트랜지스터(Ts) 및 구동 박막트랜지스터(Td)를 형성한다.A switching thin film transistor Ts and a driving thin film transistor Td are formed in the pixel region P above the
이후, 스위칭 박막트랜지스터(Ts), 구동 박막트랜지스터(Td), 데이터배선(136) 및 파워배선(138) 상부에 보호층(140)을 형성한다.Then, a
이후, 보호층(140) 상부의 화소영역(P)에는 반사판(144) 및 제1전극(148)을 형성하고, 보호층(140) 상부의 화소영역(P)의 경계부에는 제1보조전극(146)을 형성한다.A
반사판(144) 및 제1보조전극(146)은 상대적으로 높은 반사율을 갖는 금속물질로 이루어지고, 동일층으로 형성될 수 있는데, 제1보조전극(146)은 인접 화소영역(P)의 경계부에 메쉬(mesh) 형태로 형성될 수 있다.The first
제1전극(148)은 인듐 틴 옥사이드(indium tin oxide) 또는 인듐 징크 틴 옥사이드(indium tin oxide)와 같은 투명도전성 물질로 이루어지고, 상대적으로 높은 일함수를 갖는 발광다이오드(ED)의 양극(anode)일 수 있다.The
반사판(144), 제1보조전극(146) 및 제1전극(148)은, 금속물질의 증착, 노광, 식각과 투명도전성 물질의 증착, 노광, 식각으로 이루어지는 2개의 마스크공정을 통하여 형성하거나, 금속물질 및 투명도전성 물질의 연속증착, 노광, 식각, 애싱(ashing), 식각으로 이루어지는 반투과 마스크를 이용한 1개의 마스크공정을 통하여 형성할 수 있다.The
이후, 제1보조전극(146) 및 제1전극(148) 상부에 뱅크층(150)을 형성하는데, 뱅크층(150)은 제1전극(148)의 중앙부를 노출하는 제1개구부(152)와 제1보조전극(146)을 노출하는 제2개구부(154)를 포함한다.A
예를 들어, 제1개구부(152)는 제1전극(148)의 중앙부에 대응되는 크기를 가지며 각 화소영역(P)에 형성되고, 제2개구부(154)는 대응되는 크기를 가지며 인접 화소영역(P)의 경계부에 형성될 수 있다.For example, the
도 4b에 도시한 바와 같이, 뱅크층(150) 상부에 발광층(156)을 형성한다. 발광층(156)은 정공주입층(hole injection layer: HIL), 정공수송층(hole transport layer: HTL), 발광물질층(emission material layer: EML), 전자수송층(electron transport layer: ETL), 전자주입층(electron injection layer: EIL) 등으로 이루어질 수 있는데, 발광물질층(EML)은 섀도우마스크(shadow mask)를 이용하여 각 화소영역(P)에 적, 녹, 청 발광물질층(EML)이 선택적으로 형성되는 반면, 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL)은 섀도우마스크의 이용 없이 제1기판(120) 전면에 형성된다. The
따라서, 발광층(156)의 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL) 등의 공통층은 화소영역(P)의 뱅크층(150)의 제1개구부(152)를 통하여 노출되는 제1전극(148) 상부뿐만 아니라, 인접 화소영역(P)의 경계부의 뱅크층(150) 상부에도 형성되며, 인접 화소영역(P)의 경계부의 뱅크층(150)의 제2개구부(154)를 통하여 노출되는 제1보조전극(146) 상부에도 형성된다. Therefore, the common layer of the hole injection layer (HIL), the hole transport layer (HTL), the electron transport layer (ETL), and the electron injection layer (EIL) Not only on the
도 4c에 도시한 바와 같이, 발광층(156)이 형성된 제1기판(120)에 더미기판(157)을 밀착하고, 더미기판(157)을 통하여 제2개구부(154)에 대응되는 발광층(156)에 레이저를 조사하여 제2개구부(154)에 대응되는 발광층(156)을 부분적으로 증발시켜 제거한다. The
여기서, 레이저는, 더미기판(157)을 통과하고 발광층(156)이 흡수할 수 있는 파장과, 발광층(156)을 증발시킬 수 있는 에너지를 가질 수 있다.Here, the laser may have a wavelength that can pass through the
더미기판(157)은 발광층(156)이 형성된 제1기판(120)과 거의 접촉할 정도로 밀착 정렬될 수 있으며, 레이저 조사에 의하여 증발된 발광층(156)의 유기물질이 더미기판(157)에 흡착되도록 하여 증발된 유기물질에 의한 오염을 방지할 수 있다. The
증발된 유기물질에 의한 오염이 문제가 되지 않는 다른 실시예에서는 더미기판(157) 없이 발광층(156)에 직접 레이저를 조사할 수도 있다.In another embodiment in which the contamination by the evaporated organic material is not a problem, the
도 4d에 도시한 바와 같이, 레이저 조사에 의하여 발광층(156)에 뱅크층(150)의 제2개구부(154)에 대응되는 콘택부(158)을 형성하는데, 하부의 제1보조전극(146)은 뱅크층(150)의 제2개구부(154) 및 발광층(156)의 콘택부(158)를 통하여 노출된다.The
도 4e에 도시한 바와 같이, 발광층(156) 상부의 제1기판(120) 전면에 제2전극(160)을 형성하는데, 제2전극(160)은 발광층(156)의 콘택부(158) 및 뱅크층(150)의 제2개구부(154)를 통하여 하부의 제1보조전극(146)에 연결된다.A
제2전극(160)은 마그네슘:은(Mg:Ag) 합금과 같은 금속물질을 이용하여 증발(evaporation) 방법으로 형성할 수 있는데, 발광층(156)의 빛을 통과시킬 수 있도록 얇은 두께로 형성할 수 있으며, 상대적으로 낮은 일함수를 갖는 발광다이오드(ED)의 음극(cathode)일 수 있다.The
도 4f에 도시한 바와 같이, 제2개구부(154) 및 콘택부(158)에 대응되는 제2전극(160) 상부에 도전물질층(162)을 형성하는데, 도전물질층(162)은 실버 페이스트(silver paste) 또는 도전성 유기물을 이용하여 잉크젯(inkjet) 방법으로 형성할 수 있다.A
도 4g에 도시한 바와 같이, 제2전극(160) 상부의 제1기판(120) 전면에 도전물질층(162)을 노출하는 캐핑층(capping layer)(164)을 형성하는데, 캐핑층(164)은 절연물질을 이용하여 잉크젯 방법으로 형성할 수 있다. 4G, a
여기서, 제2개구부(154) 및 콘택부(158)에 대응되는 제2전극(160) 상부에 도전물질층(162)을 형성한 후 화소영역(P)에 대응되는 제2전극(160) 상부에 캐핑층(164)을 형성하는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 화소영역(P)에 대응되는 제2전극(160) 상부에 캐핑층(164)을 형성한 후 제2개구부(154) 및 콘택부(158)에 대응되는 제2전극(160) 상부에 도전물질층(162)을 형성할 수도 있다.A
도 4h에 도시한 바와 같이, 씰패턴(seal pattern(미도시)을 이용하여 하부에 블랙매트릭스(172), 연결패턴(174) 및 제2보조전극(176)이 순차적으로 형성된 제2기판(170)을 도전물질층(162) 및 캐핑층(164)이 형성된 제1기판(120)과 합착하여 유기발광다이오드 표시장치(110)를 완성한다. A
블랙매트릭스(172)는 불투명한 유기물질 또는 금속물질로 이루어질 수 있으며, 제2보조전극(176)은 금속물질로 이루어질 수 있다. The
여기서, 블랙매트릭스(172) 및 제2보조전극(176)은 인접 화소영역(P)의 경계부에 대응되는 메쉬 형태로 형성할 수 있으며, 연결패턴(174)은 뱅크층(150)의 제2개구부(154) 및 발광층(156)의 콘택부(158)에 대응되도록 형성할 수 있다. The
그리고, 합착에 의하여 제2기판(170)의 연결패턴(174) 하부에 돌출된 제2보조전극(176)이 제1기판(120)의 도전물질층(162)에 연결되며, 그 결과 발광다이오드(ED)의 제2전극(160)이 도전물질층(162)을 통하여 제2보조전극(176)에 연결된다.
A second
이상과 같이, 이상과 같은, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치(110)에서, 레이저를 이용하여 발광층(156)에 콘택부(158)를 형성하고 발광다이오드(ED)의 제2전극(160)이 콘택부(158)를 통하여 제1보조전극(146)에 연결되도록 함으로써, 얇은 두께의 제2전극(160)의 높은 저항을 제1보조전극(146)으로 보상하여 제2전극(160)에 인가되는 전압을 균일하게 유지할 수 있다. As described above, in the organic light emitting
그리고, 잉크젯 방법으로 제2전극(160) 상부에 도전물질층(162)을 형성하고 발광다이오드(ED)의 제2전극(160)이 도전물질층(162)을 통하여 제2보조전극(176)에 연결되도록 함으로써, 얇은 두께의 제2전극(160)의 높은 저항을 제2보조전극(176)으로 더욱 보상하여 제2전극(160)에 인가되는 전압을 더욱 균일하게 유지할 수 있다.A
따라서, 대면적 고해상도 표시장치에 더욱 용이하게 적용할 수 있다.
Therefore, it can be more easily applied to a large-area high-resolution display device.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It can be understood that
110: 유기발광다이오드 표시장치
120: 제1기판
170: 제2기판
144: 반사판
146: 제1보조전극
148: 제1전극
156: 발광층
160: 제2전극
176: 제2보조전극110: organic light emitting diode display device 120: first substrate
170: second substrate 144: reflector
146: first auxiliary electrode 148: first electrode
156: light emitting layer 160: second electrode
176: Second auxiliary electrode
Claims (10)
상기 제1기판 상부에 형성되고, 서로 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트배선, 데이터배선 및 파워배선과;
상기 화소영역에 형성되는 적어도 하나의 박막트랜지스터와;
상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상부에 형성되는 보호층과;
상기 보호층 상부의 상기 화소영역의 경계부에 형성되는 제1보조전극과;
상기 보호층 상부의 상기 화소영역에 형성되고, 상기 제1보조전극에 연결되는 발광다이오드와;
상기 제1기판에 합착되는 제2기판
을 포함하는 유기발광다이오드 표시장치.
A first substrate;
A gate wiring, a data wiring, and a power wiring which are formed on the first substrate and define pixel regions intersecting with each other;
At least one thin film transistor formed in the pixel region;
A protective layer formed on the at least one thin film transistor;
A first auxiliary electrode formed on a boundary portion of the pixel region above the protective layer;
A light emitting diode formed in the pixel region above the protective layer and connected to the first auxiliary electrode;
A second substrate bonded to the first substrate,
And an organic light emitting diode (OLED) display device.
상기 발광다이오드는, 상기 보호층 상부의 화소영역에 순차적으로 형성되는 반사판 및 제1전극과, 상기 제1전극 상부에 형성되는 발광층과, 상기 발광층 상부에 형성되는 제2전극을 포함하는 유기발광다이오드 표시장치.
The method according to claim 1,
The light emitting diode includes an organic light emitting diode including a reflective plate and a first electrode sequentially formed in a pixel region above the protective layer, a light emitting layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the light emitting layer, Display device.
상기 제1전극의 가장자리부를 덮는 뱅크층을 더 포함하고,
상기 뱅크층은, 상기 제1전극의 중앙부를 노출하는 제1개구부와, 상기 제1보조전극을 노출하는 제2개구부를 포함하는 유기발광다이오드 표시장치.
3. The method of claim 2,
And a bank layer covering an edge portion of the first electrode,
Wherein the bank layer includes a first opening exposing a center portion of the first electrode and a second opening exposing the first auxiliary electrode.
상기 발광층은, 상기 제2개구부에 대응되어 상기 제1보조전극을 노출하는 콘택부를 포함하고,
상기 제2전극은 상기 콘택부 및 상기 제2개구부를 통하여 상기 제1보조전극에 연결되는 유기발광다이오드 표시장치.
The method of claim 3,
Wherein the light emitting layer includes a contact portion corresponding to the second opening and exposing the first auxiliary electrode,
And the second electrode is connected to the first auxiliary electrode through the contact portion and the second opening.
상기 제2전극 상부에 형성되고, 상기 제2개구부 및 상기 콘택부에 대응되는 도전물질층과;
상기 제2전극 상부에 형성되고, 상기 도전물질층을 노출하는 캐핑층과;
상기 제2기판 하부에 형성되고, 상기 제2개구부 및 상기 콘택부에 대응되는 연결패턴과;
상기 연결패턴 하부에 형성되고 상기 도전물질층에 연결되는 제2보조전극
을 더 포함하는 유기발광다이오드 표시장치.
5. The method of claim 4,
A conductive material layer formed on the second electrode and corresponding to the second opening and the contact portion;
A capping layer formed on the second electrode, the capping layer exposing the conductive material layer;
A connection pattern formed under the second substrate and corresponding to the second opening and the contact portion;
A second auxiliary electrode formed at the lower portion of the connection pattern and connected to the conductive material layer,
And an organic light emitting diode (OLED) display device.
상기 제1 및 제2보조전극은 각각 상기 화소영역의 경계부에 대응되는 메쉬 형태로 형성되는 유기발광다이오드 표시장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the first and second auxiliary electrodes are formed in a mesh shape corresponding to a boundary portion of the pixel region, respectively.
상기 화소영역에 적어도 하나의 박막트랜지스터를 형성하는 단계와;
상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상부에 보호층을 형성하는 단계와;
상기 보호층 상부의 상기 화소영역에 반사판을 형성하고, 상기 보호층 상부의 상기 화소영역의 경계부에 제1보조전극을 형성하는 단계와;
상기 반사판 상부에 제1전극을 형성하는 단계와;
상기 제1전극 상부에 상기 제1전극의 중앙부를 노출하는 제1개구부와 상기 제1보조전극을 노출하는 제2개구부를 포함하는 뱅크층을 형성하는 단계와;
상기 뱅크층 상부에 상기 제2개구부에 대응되어 상기 제1보조전극을 노출하는 콘택부를 포함하는 발광층을 형성하는 단계와;
상기 발광층 상부에 상기 콘택부 및 상기 제2개구부를 통하여 상기 제1보조전극에 연결되는 제2전극을 형성하는 단계와;
상기 제1기판에 제2기판을 합착하는 단계
를 포함하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법.
Forming gate wirings, data wirings, and power wirings crossing each other on the first substrate to define pixel regions;
Forming at least one thin film transistor in the pixel region;
Forming a protective layer over the at least one thin film transistor;
Forming a reflective plate in the pixel region above the protective layer and forming a first auxiliary electrode in a boundary portion of the pixel region on the protective layer;
Forming a first electrode on the reflection plate;
Forming a bank layer on the first electrode, the bank layer including a first opening exposing a center portion of the first electrode and a second opening exposing the first auxiliary electrode;
Forming a light emitting layer on the bank layer and including a contact portion corresponding to the second opening and exposing the first auxiliary electrode;
Forming a second electrode on the light emitting layer, the second electrode being connected to the first auxiliary electrode through the contact portion and the second opening;
Attaching a second substrate to the first substrate
Wherein the organic light emitting diode display device comprises:
상기 발광층을 형성하는 단계는,
상기 발광층이 형성된 상기 제1기판 상부에 더미기판을 밀착하는 단계와;
상기 더미기판을 통하여 상기 발광층에 레이저를 조사하여 상기 제2개구부에 대응되는 상기 발광층을 부분적으로 제거하여 상기 제1보조전극을 노출하는 콘택부를 형성하는 단계
를 포함하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법.
8. The method of claim 7,
The forming of the light emitting layer may include:
Bonding a dummy substrate to an upper portion of the first substrate on which the light emitting layer is formed;
Forming a contact portion for exposing the first auxiliary electrode by partially removing the light emitting layer corresponding to the second opening by irradiating a laser beam onto the light emitting layer through the dummy substrate
Wherein the organic light emitting diode display device comprises:
상기 제2전극 상부에 상기 제2개구부 및 상기 콘택부에 대응되는 도전물질층을 형성하는 단계와;
상기 제2전극 상부에 상기 도전물질층을 노출하는 캐핑층을 형성하는 단계와;
상기 제2기판 하부에 상기 제2개구부 및 상기 콘택부에 대응되는 연결패턴을 형성하는 단계와;
상기 연결패턴 하부에 제2보조전극을 형성하는 단계
를 더 포함하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법.
8. The method of claim 7,
Forming a conductive material layer corresponding to the second opening and the contact portion on the second electrode;
Forming a capping layer on the second electrode to expose the conductive material layer;
Forming a connection pattern corresponding to the second opening and the contact portion in the lower portion of the second substrate;
Forming a second auxiliary electrode below the connection pattern;
Wherein the organic light emitting diode display device further comprises:
상기 도전물질층 및 상기 캐핑층은 잉크젯 방법으로 형성되는 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법. 10. The method of claim 9,
Wherein the conductive material layer and the capping layer are formed by an ink-jet method.
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2015
- 2015-02-06 KR KR1020150018765A patent/KR20160096997A/en active IP Right Grant
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