KR20160095136A - 내접 톱니바퀴 펌프 - Google Patents

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KR20160095136A
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KR
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bearing portion
cover
slide bearing
drive shaft
resin
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KR1020167018265A
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Inventor
다쿠야 이시이
하지메 아사다
Original Assignee
에누티에누 가부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

기계가공 공정을 삭감하여 저비용으로 제조 가능하고, 또한, 내시징성이 안정적으로 높은 슬라이드 베어링부를 일체로 마련한 내접 톱니바퀴 펌프를 제공한다. 내접 톱니바퀴 펌프(1)는, 복수의 안쪽 톱니를 가지는 아우터 로터(2) 내에, 복수의 바깥 톱니를 가지는 이너 로터(3)가, 바깥 톱니가 안쪽 톱니에 맞물리고, 또한, 편심하는 상태로 회전 가능하게 수용되고, 안쪽 톱니와 바깥 톱니의 사이에, 액체를 흡입하는 흡입측 용적실과, 이 흡입측 용적실에 흡입한 액체를 토출하는 토출측 용적실이 형성되는 트로코이드(4)를 가지고, 이너 로터(3)에 고정된 구동 샤프트(9)와, 트로코이드(4)를 수용하는 오목부(5a)가 형성된 케이싱(5)과, 케이싱(5)의 오목부(5a)를 폐색하는 커버(6)를 가지고, 커버(6)에, 구동 샤프트(9)를 회전 가능하게 지지하는 슬라이드 베어링부(11)를 가지고, 슬라이드 베어링부(11)는, 커버(6)에 열가소성 수지 조성물을 직접 사출 성형하여 형성되어 있다.

Description

내접 톱니바퀴 펌프{INTERNALLY MESHING GEAR PUMP}
본 발명은, 오일이나 물, 약액 등의 액체를 압송(壓送)하는 내접 톱니바퀴 펌프(트로코이드 펌프)에 관한 것이다.
내접 톱니바퀴 펌프(트로코이드 펌프)는, 트로코이드 치형(齒形)을 가지는 아우터 로터 및 이너 로터가 케이싱 내에 밀폐된 상태로 수용되고, 구동 샤프트의 회전에 수반하여, 구동 샤프트와 고정된 이너 로터와 아우터 로터가 회전하고, 액체를 흡입하여 토출하도록 작용하는 펌프이다. 이런 종류의 펌프로서, 예를 들면, 특허문헌 1 ~ 3이 제안되고 있다.
도 11 및 도 12에 근거하여, 종래의 내접 톱니바퀴 펌프의 일례를 나타낸다. 도 11은 종래의 내접 톱니바퀴 펌프의 조립 사시도를, 도 12의 (a)는 도 11의 내접 톱니바퀴 펌프의 단면도를, 도 12의 (b)는 다른 형태의 내접 톱니바퀴 펌프의 단면도를 각각 나타낸다. 도 11에 나타내는 바와 같이, 이 펌프(21)는, 복수의 안쪽 톱니를 가지는 환상(環狀)의 아우터 로터(22) 내에, 복수의 바깥 톱니를 가지는 이너 로터(23)가 수용되어서 이루어지는 트로코이드(24)를 주체로 하고 있다. 이 트로코이드(24)는, 플랜지 부가 원기둥 형상의 케이싱(25)에 형성된 원형의 트로코이드 수용 오목부(25a)에 회전 가능하게 수용되어 있다. 케이싱(25)에는, 트로코이드 수용 오목부(25a)를 폐색하는 커버(26)가 고정되어 있다. 도 12의 (a)에 나타내는 바와 같이, 케이싱(25)과 커버(26)는, 기기 본체의 고정 플레이트(28)에 나사(30)로 체결 고정되어 있다. 케이싱(25)과 커버(26)의 이음면은, 기계가공면이며, 면 시일되어 있다.
트로코이드(24)는, 이너 로터(23)의 바깥 톱니가, 아우터 로터(22)의 안쪽 톱니에 맞물리고, 또한, 편심된 상태에서, 이너 로터(23)가 아우터 로터(22) 내에 회전 가능하게 수용되어 구성된다. 각 로터가 서로 접촉하는 파팅 포인트(parting point) 사이에, 트로코이드(24)의 회전 방향에 대응하여, 흡입측 및 토출측의 용적실이 형성된다. 이너 로터(23)의 축심에는, 도시되지 않은 모터 등의 구동원에 의해서 회전되는 구동 샤프트(31)(도 11에서는 생략)가 관통되어 고정되어 있다. 커버(26)에는 베어링(32)이 압입(壓入)되어 구동 샤프트(31)를 지지하고 있다. 구동 샤프트(31)가 회전하여 이너 로터(23)가 회전하면, 바깥 톱니가 아우터 로터(22)의 안쪽 톱니에 맞물리는 것으로 아우터 로터(22)가 동일 방향으로 따라 돌아가고, 이 회전에 의해서 용적이 증대되고, 부압이 되는 흡입측 용적실에 흡입구로부터 액체가 흡입된다. 이 흡입측 용적실은, 트로코이드(24)가 회전하는 것에 의해서 용적이 감소하여 내압(內壓)이 상승하는 토출측 용적실로 변경되고, 이것으로부터, 흡입된 액체가 토출구에 토출된다.
베어링(32)에는 구름 베어링, 메탈 부시(metal bush)(구리, 주석, 납 등의 합금)나 폴리테트라플루오로에틸렌(이하, PTFE라고 기재한다) 수지 랩(resin wrap) 부시 등의 슬라이드 베어링이 사용 가능하다. 그 중에서도, 염가의 슬라이드 베어링이 다수 사용되고 있다. 슬라이드 베어링을 커버(26)에 압입하는 것에 있어서, 커버(26)의 베어링 압입부(壓入部)는 압입 전에 기계가공으로 마무리하고 있다. 또한, 구동 샤프트(31)와의 클리어런스 관리를 위해서, 압입 후에 슬라이드 베어링의 내경(內徑)을 기계가공하고 있다.
흡입측 용적실에 연통되는 흡입구에는, 필요에 대응하여 케이싱(25)으로부터 연신된 액체흡입 노즐(27)이 마련되어 있다(도 12의 (b)). 상기 노즐(27)을 포함한, 흡입측 용적실까지의 흡입구 경로의 임의의 장소에, 흡입한 액체의 이물을 제거하기 위한 금속제나 수지제의 메쉬 필터(29)가 부착되어 있다. 메쉬 필터(29)는, 스포트 용접 고정이나, C링 등으로 물리 고정되어 있다. 또한, 메쉬 필터(29)나 액체흡입 노즐(27)은, 고무 패킹을 개재시켜서 시일성을 담보하면서 부착되어 있다.
일본 등록특허 제4215160호 일본 등록특허 제4726116호 일본 등록특허 제2611371호
여기서, 베어링(32)을 압입하는 커버(26)에는, 알루미늄 다이캐스트법 등에 의해서 성형된 알루미늄 또는 주철의 주조품, 혹은 소결 금속품이 이용된다. 베어링(32)은 사용중에 탈락되지 않도록, 압입시에 간섭 관리가 필요하다. 알루미늄 또는 주철의 주조품은 치수 정밀도가 낮기 때문에, 커버에 있어서의 압입부를 기계가공 없이 사용하는 것은 곤란하다.
가공을 생략하기 위해서 간섭을 크게 하면, 압입력이 증대되기 때문에 커버 또는 베어링이 변형되어, 기능 저하를 일으키는 경우가 있다. 또한, 압입시에 베어링이나 커버가 뜯겨서, 그 부스러기에 의해 슬라이딩부의 시징(seizing) 등의 문제를 일으키는 경우가 있다. 예를 들면, 부스러기가 스크롤형 컴프레서의 슬라이딩부(칩 시일, 스크롤 부재, 스러스트(thrust) 베어링, 래디얼 베어링)에 물려 들어갈 경우, 각 부재의 마모를 촉진시키고, 내구성의 저하, 소비 전력의 상승, 냉동 능력의 저하를 초래할 우려가 있다. 특히, 탄산 가스를 냉매로 하는 스크롤형 컴프레서에서는, 토출압으로서 압력 8 MPa 이상, 경우에 따라서는 10 MPa 이상이 되기 때문에, 미량의 부스러기(마모분(摩耗粉))이라도, 칩 시일이나 알루미늄 합금제의 스크롤 부재 등의 마모가 생기기 쉽다.
또한, 커버(26)가 소결 금속품이라도 치수 정밀도가 불충분하여 기계가공을 생략할 수 없다. 소결 금속은 무르기 때문에, 간섭을 크게 하면 커버가 균열될 우려가 있다. 이와 같이, 기계가공이 필요하기 때문에, 비용상승의 요인이 되고 있다.
베어링(32)은 압송(壓送)하는 오일이나 물, 약액 등의 액체의 윤활하에서 사용되는데, 사양 환경, 외부 요인(예를 들면, 압송하는 액체가 일시적으로 없어진 경우)에 따라서는 무윤활에 가까운 상태에서 사용이 되는 경우가 있다. 예를 들면, 에어컨 등의 컴프레서에서는 반년에서 1년간 전혀 운전되지 않는 상태에서의 재기동이, 매년 반복되는 케이스도 있다. 무윤활에 가까운 상태에서의 사용된 경우, 메탈 부시는 조기(早期)에 시징된다. PTFE 수지 랩 부시는, 백 플레이트(back plate)가 되는 강판 상에 구리주석합금 분말층을 형성하고, 그 위에 PTFE 수지층(두께 수십μm)을 형성한 구성이며, 최표층의 PTFE 수지층이 윤활성을 가지기 때문에, 조기에는 시징되지 않는다. 그러나, PTFE 수지 랩 부시는 내경(內徑) 기계가공되어 있기 때문에, 구리주석합금 분말층이 부분적으로 노출되어 있다. PTFE 수지 랩 부시의 구리주석합금 분말층 및 PTFE 수지층의 편차, 내경 가공시의 치수에 의해서, 구리주석합금 분말층의 노출 비율이 변경되어, 시징 특성에 편차가 생긴다. 또한, 압입 전의 베어링 압입부 가공, 압입 후의 슬라이드 베어링 내경 가공의 코어 어긋남에 의해서, 베어링 내에 극단적으로 노출 비율이 높은 곳이 발생하는 경우가 있다. PTFE 수지 랩 부시는 단일 재료는 아니기 때문에, 상기의 과제가 있다.
본 발명은 이러한 문제에 대처하기 위해서 이루어진 것이며, 기계가공 공정을 삭감하여 저비용으로 제조 가능하고, 또한, 내(耐)시징성이 안정적으로 높은 슬라이드 베어링부를 일체로 마련한 내접 톱니바퀴 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프는, 복수의 안쪽 톱니를 가지는 아우터 로터 내에, 복수의 바깥 톱니를 가지는 이너 로터가, 상기 바깥 톱니가 상기 안쪽 톱니에 맞물리고, 또한, 편심하는 상태로 회전 가능하게 수용되고, 상기 안쪽 톱니와 상기 바깥 톱니의 사이에, 액체를 흡입하는 흡입측 용적실과, 이 흡입측 용적실에 흡입한 액체를 토출하는 토출측 용적실이 형성되는 트로코이드를 가지는 내접 톱니바퀴 펌프로서, 상기 이너 로터에 고정된 구동 샤프트와, 상기 트로코이드를 수용하는 오목부가 형성된 케이싱과, 상기 케이싱의 상기 오목부를 폐색하는 커버를 가지고, 상기 커버 및 상기 케이싱으로부터 선택되는 적어도 한쪽의 부재에, 상기 구동 샤프트를 회전 가능하게 지지하는 슬라이드 베어링부를 가지고, 상기 슬라이드 베어링부는, 상기 부재에 열가소성 수지 조성물을 사출 성형하여 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 슬라이드 베어링부를 가지는 상기 부재에 있어서, 상기 슬라이드 베어링부를 형성하는 부위가 소결 금속체로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 슬라이드 베어링부가 래디얼 베어링부 및 스러스트 베어링부를 가지고, 상기 스러스트 베어링부가 상기 래디얼 베어링부의 내경측에 위치하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 스러스트 베어링부의 상기 구동 샤프트의 스러스트 지지면에, 상기 지지면의 상기 구동 샤프트의 관통구멍까지 연통된 윤활 홈을 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 열가소성 수지 조성물이, 폴리에테르에테르케톤(이하, PEEK라고 기재한다) 수지에, 탄소 섬유 및 PTFE 수지를 배합하여 이루어지는 조성물인 것을 특징으로 한다.
상기 내접 톱니바퀴 펌프가, 스크롤형 컴프레서의 슬라이딩부에 상기 액체를 공급하기 위한 펌프인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프는, 트로코이드를 수용하는 오목부가 형성된 케이싱, 및, 상기 케이싱의 오목부를 폐색하는 커버의 적어도 한쪽의 부재에, 구동 샤프트를 회전 가능하게 지지하는 슬라이드 베어링부를 가지고, 상기 슬라이드 베어링부가 상기 부재에 열가소성 수지 조성물을 사출 성형하여 형성되어 있으므로, 커버나 케이싱에 있어서의 베어링 형성부를 기계가공할 필요가 없고, 별체로 형성한 슬라이드 베어링을 압입하는 것보다도 저비용으로 제조 가능해진다. 또한, 슬라이드 베어링부가, 백 플레이트나 소결층 등을 가지지 않고, 열가소성 수지 조성물의 단일 재료로부터 구성되므로, 내시징성이 안정적으로 높아진다.
상기 슬라이드 베어링부를 가지는 부재에 있어서, 상기 슬라이드 베어링부를 형성하는 부위가 소결 금속체로 이루어지므로, 소결 금속 표면의 요철의 앵커 효과에 의해, 사출 성형한 수지 조성물과의 밀착력이 높아진다.
상기 슬라이드 베어링부가 래디얼 베어링부 및 스러스트 베어링부를 가지고, 스러스트 베어링부가 래디얼 베어링부의 내경측에 위치하므로, 상기 슬라이드 베어링부가 저토오크, 저마모가 된다. 또한, 슬라이드 베어링부는 사출 성형으로 형성하므로, 이러한 래디얼 하중과 스러스트 하중의 양방을 받는 형상의 베어링을 용이하게 형성할 수 있다.
상기 스러스트 베어링부의 구동 샤프트의 스러스트 지지면에, 상기 지지면의 구동 샤프트의 관통구멍까지 연통된 윤활 홈을 가지므로, 구동 샤프트와 베어링부와의 간극으로부터 상기 지지면에 오일 등을 도입하기 쉬워지고, 보다 저토오크, 저마모로 할 수 있다. 또한, 이 스러스트 베어링부가 래디얼 베어링부의 내경측에 위치하는 구성으로 상기 윤활 홈을 형성하므로, 외부에의 오일 등의 누설도 방지할 수 있다.
상기 열가소성 수지 조성물이, PEEK 수지에, 탄소 섬유 및 PTFE 수지를 배합하여 이루어지는 조성물이므로, 우수한 내열성, 내유(耐油)·내약품성, 내크리프(耐creep)성, 내하중성, 내마모성, 저마찰 특성을 가지고, 수명이 길며 내시징성이 우수한 베어링 일체의 펌프로 할 수 있다.
이상과 같은 사양에 의해, 본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프는, 에어컨용 스크롤형 컴프레서의 슬라이딩부에 액체를 공급하기 위한 펌프로서 적합하게 이용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프의 일례를 나타내는 조립 사시도이다.
도 2는 본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프의 일례를 나타내는 축방향 단면도이다.
도 3은 래디얼 베어링부를 형성한 커버의 일례를 나타내는 도이다.
도 4는 래디얼 베어링부와 스러스트 베어링부를 형성한 커버의 다른 예를 나타내는 도이다.
도 5는 스러스트 베어링부를 형성한 커버의 일례를 나타내는 도이다.
도 6은 스러스트 베어링부를 형성한 커버의 다른 예를 나타내는 도이다.
도 7은 윤활 홈을 형성한 슬라이드 베어링부를 가지는 커버의 예를 나타내는 도이다.
도 8은 도 7의 커버를 이용한 내접 톱니바퀴 펌프의 축방향 단면도이다.
도 9는 본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프의 다른 예를 나타내는 축방향 단면도이다.
도 10은 본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프의 다른 예를 나타내는 축방향 단면도이다.
도 11은 종래의 내접 톱니바퀴 펌프의 조립 사시도이다.
도 12의 (a)와 (b)는 종래의 내접 톱니바퀴 펌프의 축방향 단면도이다.
본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프의 일실시 형태를 도 1 및 도 2에 근거하여 설명한다. 도 1은 내접 톱니바퀴 펌프의 조립 사시도를, 도 2는 내접 톱니바퀴 펌프의 축방향 단면도를 각각 나타낸다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 내접 톱니바퀴 펌프(1)는, 환상의 아우터 로터(2) 내에 이너 로터(3)가 수용된 트로코이드(4)와, 이 트로코이드(4)를 회전 가능하게 수용하는 원형의 오목부(트로코이드 수용 오목부)(5a)가 형성된 케이싱(5)과, 케이싱(5)의 트로코이드 수용 오목부(5a)를 폐색하는 커버(6)를 가진다. 커버(6)는, 트로코이드 수용 오목부(5a)가 개구되는 케이싱(5)의 상면의 외형에 합치하는 형상이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 케이싱(5)과 커버(6)는, 고정 나사(8)에 의해, 기기 본체의 고정 플레이트(10)에 체결 고정되어 있다. 또한, 이너 로터(3)의 회전 중심과 동일 축으로 고정된 구동 샤프트(9)를 가지고 있다.
이너 로터(3)의 바깥 톱니는 아우터 로터(2)의 안쪽 톱니보다 1개 적고, 이너 로터(3)는, 상기 바깥 톱니가 상기 안쪽 톱니에 내접하여 맞물리는 편심된 상태로, 아우터 로터(2) 내에 수용되어 있다. 각 로터가 서로 접촉하는 파팅 포인트 사이에는, 트로코이드(4)의 회전 방향에 대응하여, 흡입측 및 토출측의 용적실이 형성된다. 케이싱(5)의 트로코이드 수용 오목부(5a)의 바닥면(5b)에는, 흡입측의 용적실에 연통하는 흡입구와, 토출측의 용적실에 연통하는 토출구가 형성되어 있다. 또한, 흡입측 용적실에 연통하는 흡입구와, 토출측 용적실에 연통하는 토출구는, 케이싱(5), 커버(6), 구동 샤프트(9)의 어느 하나에 형성되어 있으면 좋다.
이 내접 톱니바퀴 펌프(1)에서는, 구동 샤프트(9)에 의해서 트로코이드(4)가 회전하는 것으로써, 용적이 증대되어 부압이 되는 흡입측 용적실에, 흡입구로부터 액체가 흡입된다. 이 흡입측 용적실은, 트로코이드(4)가 회전하는 것에 의해서 용적이 감소하여 내압이 상승하는 토출측 용적실로 변경되고, 이 토출측 용적실로부터, 흡입된 액체가 토출구에 토출된다. 상기의 펌프 작용이, 트로코이드(4)의 회전에 의해서 연속적으로 행해져서, 액체가 연속적으로 압송된다. 또한, 흡입된 액체에 의해서 각 용적실의 밀폐성을 높일 수 있는 액체 시일 효과에 의해서, 각 용적실 사이에 생기는 차압(差壓)이 커지고, 큰 펌프 작용이 얻어진다.
이상이, 본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프의 기본적인 구성 및 작용이지만, 본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프는, 커버(6) 및/또는 케이싱(5)에 슬라이드 베어링부(11)가 열가소성 수지 조성물을 사출 성형(인서트 성형)하여 형성되어 있는 것을 주된 특징으로 한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 예에서는, 구동 샤프트(9)는, 커버(6)에 직접 사출 성형된 슬라이드 베어링부(11)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 슬라이드 베어링부(11)는, 구동 샤프트(9)에 의한 래디얼 하중을 받는 원통 형상의 래디얼 베어링부(11b)와, 스러스트 하중을 받는 원반(圓盤) 형상의 스러스트 베어링부(11a)의 양쪽 모두를 가지고 있다. 스러스트 베어링부(11a)는, 래디얼 베어링부(11b)의 단부 외경측에 날밑부 형상으로 마련되어 있다. 스러스트 베어링부(11a)는, 그 중앙부에 구동 샤프트(9)의 관통구멍을 가진다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 이 구동 샤프트(9)는, 본체부와 상기 본체부보다 소경(小徑)의 선단부를 가지는 단차 형상의 축이며, 상기 선단부가 이너 로터(3)에 고정된다. 슬라이드 베어링부(11)는, 스러스트 베어링부(11a)의 지지면에서 구동 샤프트(9)의 단차면을 지지하고, 래디얼 베어링부(11b)의 지지면에서 구동 샤프트(9)의 선단부 외경면을 지지하고 있다. 상기 도에서는, 스러스트 베어링부(11a)는, 구동 샤프트의 단차면 전체를 지지하는 형상이지만, 이것으로 한정되지 않고, 단차면의 일부를 지지하는 형상이라도 좋다.
도 3 ~ 도 6에 슬라이드 베어링부의 다른 예를 나타낸다. 도 3 ~ 도 6은 커버만을 나타내는 축방향 단면도이다. 도 3에 나타내는 커버(6)는, 구동 샤프트에 의한 래디얼 하중을 받는 원통 형상의 래디얼 베어링부(11b)만을 가지고, 스러스트 베어링부는 가지지 않는다. 구동 샤프트의 스러스트 하중을 지지할 필요가 없는 펌프나, 상기 베어링 이외의 부분에서 스러스트 하중을 받는 구조의 경우, 혹은 경하중(輕荷重)이며 커버재에서 직접 스러스트 하중을 받을 수 있는 경우, 이러한 형태의 슬라이드 베어링부로 할 수 있다.
도 4에 나타내는 커버(6)는, 구동 샤프트에 의한 래디얼 하중을 받는 원통 형상의 래디얼 베어링부(11b)와, 스러스트 하중을 받는 원반 형상의 스러스트 베어링부(11a)의 양쪽 모두를 가지고, 스러스트 베어링부(11a)가 래디얼 베어링부(11b)의 내경측에 위치하고 있다. 또한, 스러스트 베어링부(11a)는, 래디얼 베어링부(11b)의 하단부(트로코이드측)에 마련되어 있다.
도 5 및 도 6에 나타내는 커버(6)는, 구동 샤프트에 의한 스러스트 하중을 받는 원반 형상의 스러스트 베어링부(11a)만을 가지고, 래디얼 베어링부는 가지지 않는다. 구동 샤프트의 래디얼 하중을 지지할 필요가 없는 펌프나, 상기 베어링 이외의 부분에서 래디얼 하중을 받는 구조의 경우, 이러한 형태의 슬라이드 베어링부로 할 수 있다. 도 6에서는 스러스트 베어링부(11a)의 외측 전체 주위에 스러스트 베어링면으로부터 돌출된 돌출부(6b)를 가지고 있다. 돌출부(6b)를 마련하는 것으로, 스러스트 베어링면이 압송되는 오일 섬프(oil sump) 중에서 슬라이딩하기 때문에, 저마찰로, 오일 끊김시의 시징(seizing)성을 향상할 수 있다.
슬라이드 베어링부는 사출 성형으로 형성하기 때문에, 그 표면에 유체 동압(流體動壓) 홈, 윤활 홈, 요(凹) 또는 철(凸)의 딤플을 용이하게 형성할 수 있다. 사출 성형시의 금형 전사(轉寫)에서, 필요한 표면 형상, 모양을 형성하기 때문에, 자유도가 높은 제품 설계가 가능해진다. 위치에 의해서, 홈 등이 깊이, 폭을 용이하게 변경할 수 있다. 기계가공으로 동압 홈, 윤활 홈을 형성하는 것은, 생산성이 나쁘고, 코스트 업이 되어 현실적이지 않다. 유체 동압 홈, 윤활 홈, 요 또는 철의 딤플의 형상이나 위치는 특별히 한정되지 않는다. 오일, 물, 약액 등의 윤활하에 있어서는, 유체 동압 홈을 마련하는 것으로, 동압을 발생시켜서, 마찰 계수를 낮출 수 있다. 또한, 윤활 홈, 요 또는 철의 딤플은, 유체 윤활로 하고, 마찰 전단력을 경감하여, 저마찰, 저마모로 할 수 있다. 유체 동압 홈, 윤활 홈, 요 또는 철의 딤플은, 오일 섬프의 역할도 수행하므로, 오일 끊김시의 시징성을 향상할 수 있다.
도 7에 윤활 홈을 형성한 슬라이드 베어링부의 예를 나타낸다. 도 7은 커버만을 나타내는 평면도(상도(上圖)) 및 축방향 단면도(하도(下圖))이다. 도 7에 나타내는 커버(6)는, 도 4와 마찬가지의 형상이며, 구동 샤프트에 의한 래디얼 하중을 받는 원통 형상의 래디얼 베어링부(11b)와, 스러스트 하중을 받는 원반 형상의 스러스트 베어링부(11a)의 양쪽 모두를 가지고, 스러스트 베어링부(11a)가 래디얼 베어링부(11b)의 내경측에 위치하고 있다. 이 커버(6)에서는, 또한, 스러스트 베어링부(11a) 및 래디얼 베어링부(11b)의 표면(구동 샤프트 지지면)에 각각 윤활 홈(11c, 11d)이 형성되어 있다.
래디얼 베어링부(11b)의 윤활 홈(11d)은, 축방향으로 연장된 직선 형상의 오목부이며, 둘레방향에는 등간격(90˚간격)으로 4개 마련되어 있다. 윤활 홈(11d)은, 관통이 아니고, 스러스트 베어링부(11a)의 윤활 홈(11c)과 연속되지 않기 때문에, 오일 섬프의 역할도 수행한다. 또한, 스러스트 베어링부(11a)의 윤활 홈(11c)은, 커버(6)의 구동 샤프트의 관통구멍(6a)까지 연통되어 있다. 윤활 홈(11c)은, 각각이 L자 형상으로 형성되고, 관통구멍(6a)에 그 일단을 연통시키면서, 상기 관통구멍(6a)의 주위에 동심원 형상으로 복수개 배치되어 있다. 또한, 윤활 홈(11c)의 형상은, 상기 도면에 나타내는 것으로 한정되지 않는다. 트로코이드에서 오일 등을 압송할 때에, 구동 샤프트와 커버 관통구멍과의 간극으로부터 오일이 누설된다. 이 오일을 윤활 홈(11c)에 유지하여 스러스트 하중에 의한 마찰 토오크를 저감한다. 또한, 스러스트 베어링부(11a)의 표면에 오목 형상 딤플을 마련하여, 오일 섬프를 마련할 수도 있다.
도 8에, 도 7의 커버를 이용한 내접 톱니바퀴 펌프의 축방향 단면도를 나타낸다. 커버(6)의 구성 이외는, 도 2에 나타내는 것과 마찬가지의 구성이다. 이 내접 톱니바퀴 펌프(1)는, 스러스트 베어링부(11a)를 래디얼 베어링부(11b)의 내경측에 마련하고 있으므로, 회전 반경이 작고, 마찰 토오크가 작아진다. 또한, 상기 윤활 홈을 가지므로, 구동 샤프트(9)와 커버(6)의 관통구멍과의 간극으로부터, 누설되는 오일을 유효하게 이용할 수 있고, 윤활 상태가 우수하고, 슬라이드 베어링부가 시일 효과(베어링부 외부에의 누설 억제)도 가진다. 이 때문에, 내시징성이 안정적으로 높고, 보다 장수명이 된다.
도 9 및 도 10에 케이싱에 슬라이드 베어링부를 형성한 예를 나타낸다. 도 9 및 도 10은 내접 톱니바퀴 펌프의 축방향 단면도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 이 내접 톱니바퀴 펌프(1)는, 케이싱(5)에 슬라이드 베어링부(11)가 형성되어 있다. 케이싱(5)은, 구동 샤프트(9)에 의한 래디얼 하중을 받는 원통 형상의 래디얼 베어링부(11b)와, 스러스트 하중을 받는 원반 형상의 스러스트 베어링부(11a)의 양쪽 모두를 가지고, 스러스트 베어링부(11a)가 래디얼 베어링부(11b)의 내경측에 위치하고 있다. 이 경우도 도 3 ~ 도 7에 예시한 슬라이드 베어링부의 형태로 하는 것이 가능하고, 커버 측에 슬라이드 베어링부를 형성했을 경우와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 또한, 도 10에서는, 도 9와 마찬가지의 구성에 있어서, 케이싱(5)을 소결 부재(5c)와 수지 부재(5d)와의 복합품으로 하고, 소결 부재(5c)에 슬라이드 베어링부(11)를 형성하고 있다.
슬라이드 베어링부를 형성하는 열가소성 수지 조성물은, 사출 성형 가능한 합성 수지를 베이스 수지로 하는 것이다. 이 베이스 수지로서는, 예를 들면, 열가소성 폴리이미드(이하, PI라고 기재한다) 수지, 폴리에테르케톤 수지, PEEK 수지, 폴리페닐렌설파이드(이하, PPS라고 기재한다) 수지, 폴리아미드이미드(이하, PAI라고 기재한다) 수지, 폴리아미드 수지(이하, PA라고 기재한다) 등을 들 수 있다. 이들의 각 수지는 단독으로 사용해도 좋고, 2 종류 이상 혼합한 폴리머 알로이라도 좋다.
PPS 수지는, 벤젠환이 파라 포지션(para position)으로, 유황 결합에 의해서 연결된 폴리머 구조를 가지는 결정성의 열가소성 수지이다. PPS 수지는, 극히 높은 강성과 우수한 내열성, 치수 안정성, 내마모성, 슬라이딩 특성 등을 가진다. PPS 수지는, 그 분자 구조에 의해, 가교형, 반가교형, 직쇄형, 분기형 등등의 타입이 있는데, 본 발명에서 사용할 수 있는 PPS 수지의 시판품으로서는, 토소사(TOSOH CORPORATION)제 #160, B-063, DIC사(DIC CORPORATION)제 T4AG, LR-2G 등을 들 수 있다.
PEEK 수지는, 벤젠환이 파라 포지션에서, 카보닐기와 에테르 결합에 의해서 연결된 폴리머 구조를 가지는 결정성의 열가소성 수지이다. PEEK 수지는, 우수한 내열성, 내크리프성, 내하중성, 내마모성, 슬라이딩 특성 등에 더하여, 우수한 성형성을 가진다. 본 발명에서 사용할 수 있는 PEEK 수지의 시판품으로서는, 예를 들면, 빅트렉스사(VICTREX PLC)제 PEEK(90P, 150P, 380P, 450P 등), 솔베이 어드반스트 폴리머즈사(SOLVAY ADVANCED POLYMERS)제 키타스파이어(KT-820P, KT-880P 등), 다이셀 데그사사(DAICEL-DEGUSSA)제 VESTAKEEP(1000G, 2000G, 3000G, 4000G 등) 등을 들 수 있다.
본 발명에서 사용할 수 있는 PA수지로서는, 폴리아미드6(PA6) 수지, 폴리아미드6-6(PA66) 수지, 폴리아미드6-10(PA610) 수지, 폴리아미드6-12(PA612) 수지, 폴리아미드4-6(PA46) 수지, 폴리아미드9-T(PA9T) 수지, 변성 PA9T 수지, 폴리아미드6-T(PA6T) 수지, 변성 PA6T 수지, 폴리메타크시렌아디포아미드(폴리아미드MXD-6) 수지 등을 들 수 있다. 또한, 각 폴리아미드 수지에 있어서, 숫자는 아미드 결합 사이의 탄소수를 나타내고, T는 테레프탈산 잔기를 나타낸다.
본 발명에서 사용할 수 있는 열가소성 PI수지의 시판품으로서는, 미츠이카가쿠사(三井化學社)제 오람, PAI 수지의 시판품으로서는, 솔베이 스페셜티 폴리머즈사(SOLVAY SPECIALTY POLYMERS)제 토우론 등을 들 수 있다.
본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프의 슬라이드 베어링부에 사용하기 위해서는, 압송하는 오일이나 물, 약액 등의 액체에의 내성, 흡수·흡유에 의한 치수 변화가 작은 베이스 수지를 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 스크롤형 컴프레서에서는 150℃ 이상의 내열성 수지를 이용하는 것이 바람직하다. 이러한 내약품성, 내열성, 치수 안정성, 내마모성이 우수한 수지로서는, 상기의 수지 중에서도 PEEK 수지, PPS 수지가 바람직하다. 또한, 그 중에서도 성형체의 내크리프성, 내하중성, 내마모성 등이 우수한 것으로부터, PEEK 수지를 이용하는 것이 특히 바람직하다.
슬라이드 베어링부를 형성하는 열가소성 수지 조성물에는, 배합제를 배합하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 고강도화, 고탄성화, 고치수 정밀도화를 위해서 글래스 섬유, 탄소 섬유, 위스카, 마이카, 탈크 등의 보강제를, 내마모성의 부여나 사출 성형 수축의 이방성 제거를 위해서 미네랄, 탄산칼슘, 글래스 비드 등의 무기 충전제(분말, 입자 상태)를, 윤활성을 부여하기 위해서 흑연, PTFE 수지 등의 고체 윤활제를, 각각 배합할 수 있다.
고강도화, 고탄성화, 고치수 정밀도화, 내마모성의 부여에 유효한 글래스 섬유, 탄소 섬유, 또는 무기 충전제를 단독으로, 혹은, 적절하게 병용하는 것이 바람직하다. 특히, 탄소 섬유는 고강도화, 고탄성화, 고치수 정밀도화에 유용하고, 압송하는 오일이나 물, 약액 등의 윤활하에서의 마찰 마모 특성이 우수하다.
압송하는 오일이나 물, 약액 등의 윤활 상태가 나쁜 경우도 있기 때문에, 흑연, PTFE 수지 등의 고체 윤활제를 배합하는 것이 바람직하다. 특히, 에어컨 등의 컴프레서에 있어서 기간을 두고 재기동되는 경우와 같이, 슬라이딩면이 희박 윤활하가 되는 경우에서도, 저마찰화가 되어서 시징을 방지할 수 있는 PTFE 수지가 바람직하다.
본 발명에서는, PEEK 수지를 베이스 수지로 하고, 이것에 탄소 섬유와 PTFE 수지를 배합하여 이루어지는 열가소성 수지 조성물을 이용하는 것이 특히 바람직하다. 배합비는 탄소 섬유 5 ~ 30 체적%, PTFE 수지 1 ~ 30 체적%, 잔부가 PEEK 수지인 수지 조성물인 것이 바람직하다. 이 구성에 의해, 얻어지는 슬라이드 베어링부는, 내유성, 내약품성이 우수하고, 컴프레서 등의 120℃를 초과하는 고온 분위기에서 사용되어도 마찰 마모 특성이 우수하고, 희박 윤활하에서도 시징되기 어렵다.
탄소 섬유는, 원재료로부터 분류되는 피치계 또는 PAN계의 어느 것이라도 좋지만, 고탄성율을 가지는 PAN계 탄소 섬유가 바람직하다. 그 소성 온도는 특별히 한정하는 것은 아니지만, 2000℃ 또는 그 이상의 고온으로 소성되어서 흑연(그라파이트)화된 것보다도, 1000 ~ 1500℃ 정도로 소성된 탄화품(炭化品)인 것이, 고PV 아래에서도 상대재가 되는 금속제의 구동 샤프트를 마모 손상시키기 어렵기때문에 바람직하다. 탄소 섬유의 평균 섬유 길이는 20μm 이하, 바람직하게는 5 ~ 15μm이다. 상기의 범위를 초과하는 굵은 탄소 섬유에서는, 극압(極壓)이 발생하기 때문에, 내하중성의 향상 효과가 적고, 구동 샤프트의 마모 손상이 커지기 때문에 바람직하지 않다.
탄소 섬유는, 촙트 파이버(chopped fiber), 밀드 파이버(milled fiber)의 어느 것이라도 좋지만, 슬라이드 베어링부를 박육(薄肉) 성형하는 경우는, 섬유 길이가 1 mm 미만의 밀드 파이버가 바람직하다. 탄소 섬유의 평균 섬유 길이는 0.02 ~ 0.2 mm가 바람직하다. 0.02 mm 미만에서는 충분한 보강 효과가 얻어지지 않기 때문에, 내크리프성, 내마모성이 떨어진다. 0.2 mm를 초과하는 경우는 수지 두께에 대한 섬유 길이의 비율이 커지기 때문에, 박육 성형성이 떨어진다. 특히, 수지 두께 0.1 ~ 0.7 mm 정도의 박육으로 사출 성형하는 경우는, 섬유 길이가 0.2 mm를 초과하면 박육 성형성을 저해한다. 보다 박육 성형의 안정성을 높이기 위해서는, 평균 섬유 길이 0.02 ~ 0.2 mm가 바람직하다.
본 발명에서 사용할 수 있는 탄소 섬유의 시판품으로서는, 피치계로서 크레 하사(KUREHA CORPORATION)제 크레카밀드(M101S, M101F, M101T, M107S, M1007S, M201S, M207S), 오사카가스케미컬사(OSAKA GAS CHEMICALS CO., LTD.)제 도너카보·밀드(S241, S244, SG241, SG244)를 들 수 있고, PAN계로서 토호테낙스사(TOHO TENAX CO.,LTD.)제 테낙스 HTA-CMF0160-0H, CMF0070-0H 등을 들 수 있다.
PTFE 수지로서는, -(CF2-CF2)n- 으로 나타내는 일반의 PTFE 수지를 이용할 수 있고, 또한, 일반의 PTFE 수지에 퍼플루오로알킬에테르기(-CpF2p-O-)(p는 1-4의 정수) 혹은 폴리플루오로알킬기(H(CF2)q-)(q는 1-20의 정수) 등을 도입한 변성 PTFE 수지도 사용할 수 있다. 이들의 PTFE 수지 및 변성 PTFE 수지는, 일반적인 몰딩 파우더를 얻는 현탁 중합법, 파인 파우더를 얻는 유화 중합법의 어느 하나를 채용하여 얻어진 것이라도 좋다.
PTFE 수지 분말의 평균 입자 지름(레이저 해석법에 의한 측정치)은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 안정된 저마찰 특성, 내마모성으로부터 20μm 이하로 하는 것이 바람직하다. PTFE 수지 분말로서는, PTFE 수지를 그 융점 이상으로 가열 소성한 것을 사용할 수 있다. 또한, 가열 소성한 분말에, γ선 또는 전자선 등을 더 조사한 분말도 사용할 수 있다. 이들의 PTFE 수지 분말은, 가열 소성 등이 되어 있지 않은 PTFE 수지(몰딩 파우더, 파인 파우더)와 비교하여 내마모 특성이 우수하다.
본 발명에서 사용할 수 있는 PTFE 수지의 시판품으로서는, 키타무라사(KITAMURA LIMITED)제 KTL-610, KTL-350, KTL-450, KTL-8N, KTL-8F, KTL-400H, 미츠이·듀폰플로오로케미칼사(DU PONT-MITSUI FLUOROCHEMICALS CO., LTD.)제 테프론(등록상표)7-J, 아사히가라스사(ASAHI GLASS CO., LTD)제 풀온 G163, L169J, L170J, L173J, 다이킨고교사(DAIKIN INDUSTRIES, LTD.)제 폴리프레온 M-15, 르브론 L-5, 헥스트사(HOECHST AG)제 홀스타프레론 TF9205, TF9207 등을 들 수 있다.
또한, 이 발명의 효과를 저해하지 않는 정도로, 열가소성 수지 조성물에 대해서 주지의 첨가제를 배합해도 좋다. 이 첨가제로서는, 예를 들면, 질화 붕소 등의 마찰 특성 향상제, 탄소 분말, 산화철, 산화 티탄 등의 착색제, 흑연, 금속 산화물 분말 등의 열전도성 향상제를 들 수 있다.
이상의 제원(諸原) 재료를 혼합하여, 혼련하는 수단은, 특별히 한정하지 않고, 분말 원료를 헨셀 믹서, 볼 믹서, 리본 블랜더, 레디게(LODIGE) 믹서, 울트라 헨셀 믹서 등에서 건식 혼합하고, 또한 2축 압출기 등의 용융 압출기에서 용융 혼련하여, 성형용 펠릿(과립)을 얻을 수 있다. 또한, 충전재의 투입은, 2축 압출기 등에서 용융 혼련할 때에 사이드 피드를 채용해도 좋다. 이 성형용 펠릿을 이용하여, 슬라이드 베어링부를 형성하는 부재(커버 및/또는 케이싱)를 금형 내에 넣은 상태에서 사출 성형(인서트 성형)하여, 슬라이드 베어링부를 성형한다. 또한, 물성 개선을 위해서 성형 후에 어닐링처리 등을 실시해도 좋다.
사출 성형시의 게이트 방식(핀 게이트, 디스크 게이트 등), 게이트 위치는 특별히 한정되지 않지만, 탄소 섬유 등을 포함하는 경우는, 상기 탄소 섬유의 길이 방향이 슬라이드 베어링부의 회전 방향에 대해서 45 ~ 90도(바람직하게는 80 ~ 90도)로 교차하도록 배향할 수 있는 위치에 게이트를 마련하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 탄소 섬유 등의 양단의 엣지에 의한 구동 샤프트의 마모 손상을 경감할 수 있고, 마찰 계수의 안정화가 도모된다.
커버의 재질은, 용제(溶製) 금속, 소결 금속의 어느 것이라도 좋다. 용제 금속으로서는 소재의 기계가공시의 재료 로스가 적은 주철이나 다이캐스트가 바람직하고, 강도나 가격면으로부터 주철이 바람직하다. 용제 금속제의 커버에, 열가소성 수지 조성물을 직접 사출 성형하여 슬라이드 베어링부를 형성하는 경우, 수지와의 밀착성을 높이기 위해서, 기계가공으로 물리적인 요철의 빠짐 방지 등을 형성한다, 혹은 화학 표면 처리를 실시하는 것이 바람직하다. 화학 표면 처리로서는, (1) 산성 용액 처리, 알칼리성 용액 처리 혹은 다른 용액과의 혼합에 의해, 표면 접합면에 미세 요철 형상이 형성되는 처리, 또는, (2) 접합면에 수지층과 화학 반응하는 접합막이 형성되는 처리(토아덴카사(東亞電化社) TRI 처리 등)를 들 수 있다.
소결 금속으로서는, 강도나 가격면에서 철계(鐵系)가 바람직하다. 소결 금속의 표면에는 요철이 있고, 전처리가 없어도 수지와의 밀착성이 높아지므로, 용제 금속보다 바람직하다. 본 발명에서 사용하는 소결 금속으로서는, 상기 소결 금속의 밀도가 재질의 이론 밀도비 0.7 ~ 0.9인 것이 바람직하다. 재질의 이론 밀도비는, 재질의 이론 밀도(기공율(氣孔率) 0%의 경우의 밀도)를 1로 했을 때의 소결 금속 기재의 밀도의 비이다. 이론 밀도비 0.7 미만에서는 소결 금속의 강도가 낮아지고, 인서트 성형시의 사출 성형 압력에 의해 소결 금속이 균열되어 버릴 우려가 있다. 이론 밀도비 0.9를 초과하면, 요철이 작아지기 때문에, 표면적, 앵커 효과가 저하되고, 수지와의 밀착성이 낮아진다. 철을 주성분으로 하는 소결 금속은, 스팀 처리를 실시하는 것으로, 성형 또는 재압(再壓)(sizing) 공정시에 의도하지 않았음에도 소결 표면에 부착, 또는 내부에 침투한 유분, 부착물 등을 제거하는 효과가 있기 때문에, 수지와의 밀착성의 편차가 작고, 안정된다. 또한, 소결 금속 기재(基材)에 방청성도 부여할 수 있다.
케이싱의 재질은, 특별히 한정되지 않고, 커버와 동질재를 채용할 수 있다. 소재의 기계가공시의 재료 로스가 적고, 가공 비용이 저렴해기 때문에, 주철, 알루미늄 주물, 알루미늄 다이캐스트가 바람직하다. 또한, 수지 조성물의 사출 성형체로 해도 좋다.
커버 및 케이싱은, 금속체(예를 들면, 소결 금속체)와 수지 성형체와의 복합체로 해도 좋다. 이 경우, 슬라이드 베어링부를 형성하는 부위에 소결 금속체를 배치하는 것으로, 소결 금속 표면의 요철의 앵커 효과에 의해, 사출 성형한 수지 조성물과의 밀착력이 높아지고, 슬라이드 베어링부의 벗겨짐 등을 방지할 수 있다(도 10 참조).
아우터 로터 및 이너 로터의 재질은, 소결 금속이며, 철계, 구리철계, 구리계, 스테인리스계 등의 어느 하나라도 좋다. 가격면이나 내마모성으로부터 딱딱한 철계가 바람직하다. 또한, 약액 등을 압송하는 트로코이드 펌프에 있어서는, 방청 능력이 높은 스테인리스계 등을 채용하면 좋다.
열가소성 수지 조성물의 사출 성형으로 형성한 슬라이드 베어링부의 두께는 0.1 ~ 0.7 mm의 범위로 하는 것이 바람직하다. 스러스트 베어링부, 래디얼 베어링부 모두, 이 범위가 바람직하고, 양자는 두께가 일정해도, 차이가 나도 좋다. 또한, 사출 성형시에 두껍게 형성하고, 그 후에 기계가공으로 마감해도 좋다. 두께가 0.7 mm를 초과하면, 마찰에 의한 열이 마찰면으로부터 커버 등의 측으로 릴리프되기 어렵고, 마찰면 온도가 높아질 우려가 있다. 또한, 하중에 의한 변형량이 커짐과 함께, 마찰면에 있어서의 실질접촉 면적도 커지고, 마찰력, 마찰 발열이 높아져서, 시징성도 저하될 우려가 있다. 두께가 0.1 mm 미만에서는, 장기 사용시의 수명이 짧아질 우려가 있다.
본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프는, 슬라이드 베어링부가 커버 등에 직접 사출 성형된 열가소성 수지 조성물로 이루어지므로, 슬라이드 베어링부를 형성하는 부재의 내경부를 기계가공하는 일 없이 상기 베어링부를 형성할 수 있고, 경제적이다. 또한, 슬라이드 베어링부가 단일 재료로부터 구성되기 때문에, 베어링부의 내경 가공 후에도 사용중에 슬라이딩면의 재료가 변하지 않기 때문에, 안정된 시징 특성이 얻어진다. 또한, 마찰면에 윤활 홈, 유체 윤활 홈 등을 마련하는 것으로, 마찰 토오크, 베어링 마모를 저감할 수 있다.
본 발명의 내접 톱니바퀴 펌프는, 기계가공 공정을 삭감하여 저비용으로 제조 가능하고, 또한, 베어링 기능이 높기 때문에, 오일이나 물, 약액 등의 액체를 압송하는 베어링 일체의 내접 톱니바퀴 펌프(트로코이드 펌프)로서 이용할 수 있고, 특히, 대체 플론, 탄산 가스 등을 냉매로 하는 전기 급탕기, 룸 에어컨, 카 에어컨용의 스크롤형 컴프레서의 슬라이딩부에 액체를 공급하기 위한 펌프로서 적합하게 이용할 수 있다.
1: 내접 톱니바퀴 펌프
2: 아우터 로터
3: 이너 로터
4: 트로코이드
5: 케이싱
6: 커버
7: 금속제 필터
8: 고정 나사
9: 구동 샤프트
10: 기기 본체의 고정 플레이트
11: 슬라이드 베어링부

Claims (6)

  1. 복수의 안쪽 톱니를 가지는 아우터 로터 내에, 복수의 바깥 톱니를 가지는 이너 로터가, 상기 바깥 톱니가 상기 안쪽 톱니에 맞물리고, 또한, 편심하는 상태로 회전 가능하게 수용되고, 상기 안쪽 톱니와 상기 바깥 톱니의 사이에, 액체를 흡입하는 흡입측 용적실과, 이 흡입측 용적실에 흡입한 액체를 토출하는 토출측 용적실이 형성되는 트로코이드를 가지는 내접 톱니바퀴 펌프로서,
    상기 이너 로터에 고정된 구동 샤프트와, 상기 트로코이드를 수용하는 오목부가 형성된 케이싱과, 상기 케이싱의 상기 오목부를 폐색하는 커버를 가지고,
    상기 커버 및 상기 케이싱으로부터 선택되는 적어도 한쪽의 부재에, 상기 구동 샤프트를 회전 가능하게 지지하는 슬라이드 베어링부를 가지고, 상기 슬라이드 베어링부는, 상기 부재에 열가소성 수지 조성물을 사출 성형하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 내접 톱니바퀴 펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬라이드 베어링부를 가지는 상기 부재에 있어서, 상기 슬라이드 베어링부를 형성하는 부위가 소결 금속체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 내접 톱니바퀴 펌프.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬라이드 베어링부가 래디얼 베어링부 및 스러스트 베어링부를 가지고, 상기 스러스트 베어링부가 상기 래디얼 베어링부의 내경측에 위치하는 것을 특징으로 하는 내접 톱니바퀴 펌프.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 스러스트 베어링부의 상기 구동 샤프트의 스러스트 지지면에, 상기 지지면의 상기 구동 샤프트의 관통구멍까지 연통된 윤활 홈을 가지는 것을 특징으로 하는 내접 톱니바퀴 펌프.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 열가소성 수지 조성물이, 폴리에테르에테르케톤 수지에, 탄소 섬유 및 폴리테트라플루오로에틸렌 수지를 배합하여 이루어지는 조성물인 것을 특징으로 하는 내접 톱니바퀴 펌프.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 내접 톱니바퀴 펌프가, 스크롤형 컴프레서의 슬라이딩부에 상기 액체를 공급하기 위한 펌프인 것을 특징으로 하는 내접 톱니바퀴 펌프.
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