KR20160092528A - Pusher apparatus for electrical test - Google Patents

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KR20160092528A KR1020150006105A KR20150006105A KR20160092528A KR 20160092528 A KR20160092528 A KR 20160092528A KR 1020150006105 A KR1020150006105 A KR 1020150006105A KR 20150006105 A KR20150006105 A KR 20150006105A KR 20160092528 A KR20160092528 A KR 20160092528A
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Abstract

The present invention relates to a pusher apparatus for an electrical test. More specifically, in the pusher apparatus for the electrical test to pressurize a device under test required to be tested toward the test apparatus, the present invention relates to the pusher apparatus for the electrical test, which includes: a pusher body having a storage space inside; and a pressurizing means which is accommodated in the storage space of the pusher body, and pressurizes the device under test by having a lower part to contact an upper plane of the device under test. The pressurizing means has multiple pressurizing parts which are separably connected to each other, and a lower plane of each pressurizing part can contact the upper plane of the device under test in collaboration with each other. The pusher apparatus can variously pressurize the device under test in various sizes only by simple assembling.

Description

검사용 푸셔장치{Pusher apparatus for electrical test}Pusher apparatus for electrical test "

본 발명은 검사용 푸셔장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 다양한 크기의 피검사 디바이스를 가압하기에 용이한 검사용 푸셔장치에 대한 것이다. The present invention relates to a pusher apparatus for inspection, and more particularly to a pusher apparatus for inspection which is easy to pressurize inspection apparatuses of various sizes.

반도체 검사 장치는 반도체 패키지와 같은 피검사 디바이스를 검사장치의 위치에 순차 반송 가압하고, 소정의 시험 프로그램을 따라서 피검사 디바이스의 각각에 대하여 전기적 검사을 실시하며, 검사결과에 따라 소정의 위치로 반송한 후에 양불여부에 따라서 불량품과 양품을 서로 분류한다. 이러한 반도체 검사 장치의 일련의 동작에서는 검사장치측으로 이동되어온 피검사 디바이스를 푸셔장치가 검사장치 측으로 가압하게 된다.The semiconductor inspection apparatus sequentially conducts and pressurizes the device to be inspected such as a semiconductor package to the position of the inspection apparatus, performs electrical inspection for each of the devices to be inspected according to a predetermined test program, and conveys it to a predetermined position Thereafter, the defective product and the good product are classified according to whether or not the product is defective. In the series of operations of the semiconductor inspection apparatus, the pushing device pushes the device to be inspected moved to the inspection device side toward the inspection device side.

이러한 푸셔장치의 종래기술로서는, 대한민국 공개특허 제10-2009-0075941호에 개시되어 있다. 구체적으로 종래기술의 푸셔장치를 도 1을 참조하여 설명하면, 테스트 회로가 형성된 테스트 기판(10)과 반도체 패키지(2)사이를 전기적으로 연결하는 소켓(40)이 인서트 블록(17)의 하부에 형성되어 있다. 또한, 인서트 블록(17)의 인서트 홀(16) 내에 삽입된 반도체 패키지(2)가 푸셔(30)에 의해 가압되도록 형성되어 있다. 여기서, 반도체 패키지(2)는 소켓(40)의 중심에 형성된 복수개의 소켓 터미널(44)에 의해 테스트 회로와 전기적으로 연결된다. 소켓(40)의 둘레에는 상기 소켓(40)을 보호하는 소켓 가이드(41)가 형성되어 있다. The prior art of such a pusher device is disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0075941. 1, a socket 40 for electrically connecting a test substrate 10 on which a test circuit is formed and the semiconductor package 2 is formed on the lower portion of the insert block 17 Respectively. Further, the semiconductor package 2 inserted in the insert hole 16 of the insert block 17 is formed to be pressed by the pusher 30. Here, the semiconductor package 2 is electrically connected to the test circuit by a plurality of socket terminals 44 formed at the center of the socket 40. A socket guide (41) for protecting the socket (40) is formed around the socket (40).

소켓 가이드(41)의 양측 가장자리에서 인서트 블록(17)을 통해 관통되는 푸셔(30)의 가이드 핀(32)이 삽입되는 가이드 부쉬(411)가 형성되어 있다. 따라서, 테스트 회로 상에 지지되는 소켓(40)의 주변 상부에 인서트 블록(17)이 위치되고, 상기 인서트 블록(17)의 인서트 홀(16) 내에 반도체 패키지(2)가 삽입될 수 있다. 또한, 인서트 블록(17) 상부의 푸셔(30)가 하강되면서 반도체 패키지(2)가 가압되고, 상기 푸셔(30), 상기 인서트 블록(17), 및 소켓(40)이 정렬될 수 있다. Guide bushes 411 are formed in which the guide pins 32 of the pusher 30 penetrating through the insert block 17 are inserted from both side edges of the socket guide 41. Thus, the insert block 17 is located on the upper periphery of the socket 40 supported on the test circuit, and the semiconductor package 2 can be inserted into the insert hole 16 of the insert block 17. [ The pusher 30 on the insert block 17 is lowered and the semiconductor package 2 is pressed and the pusher 30, the insert block 17 and the socket 40 can be aligned.

이때, 푸셔(30)는 반도체 패키지(2)가 인서트 블록(17) 내에 삽입되면 반도체 패키지(2)를 일정 레벨로 하강시켜야 한다. 왜냐하면, 푸셔(30)가 일정 레벨 이하로 하강될 경우, 소켓 터미널(44)에 반도체 패키지(2)의 터미널이 접촉되는 면적이 줄어들어 전기적 특성 테스트의 신뢰성을 떨어뜨리기 때문이다. 또한, 푸셔(30)가 일정레벨 이상으로 하강될 경우, 소정의 탄성을 갖도록 형성된 소켓 터미널(44)을 손상시킬 수 있기 때문이다. 예컨대, 푸셔(30)는 상기 반도체 패키지(2)를 약 0.25mm 내지 약 0.30mm 하강시킬 수 있다. At this time, the pusher 30 has to lower the semiconductor package 2 to a certain level when the semiconductor package 2 is inserted into the insert block 17. This is because, when the pusher 30 is lowered to a certain level or less, the contact area of the terminal of the semiconductor package 2 with the socket terminal 44 is reduced, thereby decreasing the reliability of the electrical characteristic test. Further, when the pusher 30 is lowered to a certain level or higher, the socket terminal 44 formed to have a predetermined elasticity can be damaged. For example, the pusher 30 may lower the semiconductor package 2 by about 0.25 mm to about 0.30 mm.

또한, 또 다른 종래기술에 따른 푸셔장치는 도 2 및 도 3에 개시되어 있으며, 이때 푸셔장치의 회전 푸셔 블록(100)은 복수개의 팁 중심을 지나는 회전축(102)을 중심으로 회전될 수 있다. 회전축(102)은 상부 하우징(94)에 근접하는 하부 하우징(92) 내에 형성된 고정 구멍(95)과 회전 구멍(96) 내에서 회전되도록 형성되어 있다. 이때, 회전축(102)은 하부 하우징(92)과 상부 하우징(94)사이에 형성된 회전지지부(104)에 지지되도록 형성되어 있다. 예컨대, 회전 지지부(104)는 상부 하우징(94)의 내부에서 소정의 탄성을 갖는 스프링(108)에 의해 하부 하우징(92)에 밀착되어 있다. 이때, 복수개의 스프링(108)은 회전축(102)에 대향되는 회전 지지부(104)의 반대편을 지지하면서 일정 수준의 탄성을 갖도록 제작되어 있다. 복수개의 스프링(108)은 회전 푸셔 블록(100)이 반도체 패키지(52)를 과도하게 압착시킬 경우, 소켓(60)의 소켓 터미널(62)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. Another pusher device according to the prior art is illustrated in FIGS. 2 and 3, wherein the rotary pusher block 100 of the pusher device can be rotated about a rotation axis 102 passing through a plurality of tip centers. The rotary shaft 102 is formed to rotate within the fixing hole 95 and the rotary hole 96 formed in the lower housing 92 close to the upper housing 94. The rotary shaft 102 is formed to be supported by a rotary support 104 formed between the lower housing 92 and the upper housing 94. For example, the rotation support portion 104 is in close contact with the lower housing 92 by a spring 108 having a predetermined elasticity inside the upper housing 94. [ At this time, the plurality of springs 108 are manufactured to have a certain level of elasticity while supporting the opposite side of the rotation support portion 104 opposed to the rotation shaft 102. The plurality of springs 108 can prevent the socket terminal 62 of the socket 60 from being damaged when the rotary pusher block 100 compresses the semiconductor package 52 excessively.

이러한 도 2 및 도 3의 푸셔장치는, 다양한 종류의 두께를 갖는 반도체 패키지(52)를 압착시키는 멀티 레벨의 푸셔(80)를 이용하여 종래의 단품 반도체 패키지(52)의 전기적 테스트의 한계를 극복하고, 다양한 종류의 반도체 패키지(52)에 적용되는 전기적 테스트를 수행할 수 있게 된다.The pusher device of FIGS. 2 and 3 overcomes the limitation of electrical testing of the conventional single package semiconductor package 52 by using the multi-level pusher 80 for pressing the semiconductor package 52 having various thicknesses And to perform electrical tests applied to various kinds of semiconductor packages 52. FIG.

그러나, 종래기술의 푸셔장치는 다양한 두께를 갖는 반도체 패지지를 가압하는 것이 용이하다는 장점이 있으나, 다양한 수평면적을 가지는 반도체 패키지를 가압하는 것이 용이하지 않다는 단점이 있다. 즉, 단자수가 적은 비교적 소형의 반도체 패키지를 가압하기 위한 푸셔와, 단자수가 많은 비교적 크기가 큰 반도체 패키지를 가압하기 위한 푸셔를 서로 별도로 마련해야 하는 불편함이 있다는 단점이 있게 된다.However, the pusher device of the prior art has an advantage that it is easy to press the semiconductor ladder having various thicknesses, but it has a disadvantage that it is not easy to press the semiconductor package having various horizontal areas. That is, there is a disadvantage that it is necessary to separately provide the pusher for pressing the relatively small semiconductor package having a small number of terminals and the pusher for pressing the semiconductor package having a relatively large number of terminals.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 다양한 크기의 피검사 디바이스를 간편한 조립만으로 다양하게 가압할 수 있는 검사용 푸셔장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a testing pusher device capable of variously pressing test devices of various sizes by simply assembling them.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 푸셔장치는, 검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a pusher apparatus for inspecting a device to be inspected,

내부에 소정의 수용공간을 가지는 푸셔몸체와, 상기 푸셔몸체의 수용공간 내에 수용되며 하단이 피검사 디바이스의 상면에 접촉하여 상기 피검사 디바이스를 가압하는 가압수단을 포함하되,And a pressing means which is accommodated in the accommodating space of the pusher body and whose lower end is in contact with the upper surface of the device to be inspected and presses the device to be inspected,

상기 가압수단은, 복수개의 가압부가 서로 분리가능하게 결합되어 있으며, 각각의 가압부 하면이 협동하여 상기 피검사 디바이스의 상면에 접촉가능할 수 있다.The pressurizing means may be configured such that a plurality of pressurizing portions are detachably coupled to each other, and the lower surfaces of the pressurizing portions can cooperate with the upper surface of the device under test.

상기 검사용 푸셔장치에서, 상기 복수의 가압부는, 하면이 중앙에 위치하고 있는 제1가압부와, 상기 제1가압부의 둘레를 감싸고 있으며 상기 제1가압부에 대하여 분리가능하게 결합되어 있는 제2가압부를 포함할 수 있다.In the pusher apparatus for inspection, the plurality of pressing portions include a first pressing portion located at the center of the lower surface, a second pressing portion surrounding the periphery of the first pressing portion and detachably engaged with the first pressing portion, Section.

상기 검사용 푸셔장치에서, 상기 제2가압부의 둘레를 감싸고 있으며 상기 제2가압부에 대하여 분리가능하게 결합되어 있는 제3가압부를 더 포함할 수 있다.The testing pusher apparatus may further include a third pressing unit surrounding the second pressing unit and detachably coupled to the second pressing unit.

상기 검사용 푸셔장치에서, 상기 제1가압부는,In the pusher apparatus for inspection, the first pressing portion

상기 푸셔몸체에 결합되는 제1가압판과,A first pressure plate coupled to the pusher body,

상기 제1가압판의 하면 중앙에서 하측으로 돌출되어 하단이 피검사 디바이스의 상면에 접촉하는 제1가압봉을 포함하고,And a first pressing bar protruding downward from a center of a lower surface of the first pressing plate, the lower end of the first pressing bar contacting the upper surface of the device to be inspected,

상기 제2가압부는, 상기 제1가압판에 분리가능하게 결합되는 제2결합돌기가 마련되는 제2가압판과, 상기 제2가압판으로부터 하측으로 연장되며 상기 제1가압봉을 내부에 수용하는 제2통형부재를 포함할 수 있다.Wherein the second pressing portion includes a second pressing plate having a second coupling protrusion detachably coupled to the first pressing plate and a second tubular portion extending downward from the second pressing plate, Member.

상기 검사용 푸셔장치에서, 상기 제1가압판에는, 상기 제1가압봉으로부터 소정간격 이격되며 원주방향을 따라서 연장되는 제1슬롯이 마련되되, 상기 제1슬롯의 일단에는 상기 제1슬롯의 폭보다 큰 지름을 가지며 상기 제1슬롯과 연결되는 제1진입공이 마련되어 있으며, In the pusher device for inspection, the first pressure plate is provided with a first slot spaced apart from the first pressure bar by a predetermined distance and extending in the circumferential direction, wherein one end of the first slot has a width A first entrance hole having a large diameter and connected to the first slot is provided,

상기 제2결합돌기는, 상기 제1진입공과 대응되는 외경을 가지는 상부 제2돌기와, 상기 상부 제2돌기의 하측에 마련되며 상기 상부 제2돌기보다 작은 외경을 가지되 상기 제1슬롯의 폭과 대응되는 폭을 가지는 하부 제2돌기를 포함할 수 있다.Wherein the second engaging projection has an upper second projection having an outer diameter corresponding to the first entry hole and a second projection having an outer diameter smaller than that of the upper second projection, And a lower second projection having a corresponding width.

상기 검사용 푸셔장치에서,In the pusher apparatus for inspection,

상기 제1가압판의 두께는, 상기 하부 제2돌기의 높이보다 작거나 같을 수 있다.The thickness of the first pressure plate may be less than or equal to the height of the lower second projection.

상기 검사용 푸셔장치에서, In the pusher apparatus for inspection,

상기 제1가압판의 상측에는 상기 제1가압판과 소정간격 이격되어 배치되는 커버부재가 마련되어 있으며, 상기 커버부재와 상기 제1가압판의 사이에는 제2결합돌기를 탄성가압하기 위한 탄성부재가 배치될 수 있다.An elastic member for elastically pressing the second coupling protrusion may be disposed between the cover member and the first pressure plate, and an elastic member for elastically pressing the second coupling protrusion may be disposed on the first pressure plate, have.

상기 검사용 푸셔장치에서,In the pusher apparatus for inspection,

상기 탄성부재는 고무판을 포함할 수 있다.The elastic member may include a rubber plate.

상기 검사용 푸셔장치에서,In the pusher apparatus for inspection,

상기 탄성부재는, 양단이 상기 고무판과 상기 제1가압판 사이에 배치되어 상기 제1가압판을 탄성지지하는 스프링을 포함할 수 있다.The elastic member may include a spring whose both ends are disposed between the rubber plate and the first pressure plate to elastically support the first pressure plate.

상기 검사용 푸셔장치에서,In the pusher apparatus for inspection,

상기 제2가압부는, 제2가압판과, 상기 제2가압판으로부터 하측으로 연장되는 제2통형부재를 포함하고,Wherein the second pressing portion includes a second pressure plate and a second tubular member extending downward from the second pressure plate,

상기 제3가압부는, 상기 제2가압판의 둘레를 감싸는 제3가압판과, 상기 제3가압판으로부터 하측으로 연장되는 제3통형부재를 포함하되,The third pressurizing portion includes a third pressurizing plate surrounding the periphery of the second pressurizing plate and a third tubular member extending downward from the third pressurizing plate,

상기 제3가압판에는 상기 제2가압판에 대하여 분리가능하게 결합되는 제3결합수단이 마련될 수 있다.The third pressing plate may be provided with third engaging means detachably coupled to the second pressing plate.

상기 검사용 푸셔장치에서, 상기 제3결합수단은,In the pusher apparatus for inspection,

상기 제3가압판의 외측면으로부터 상기 제2가압판을 향하여 관통하는 제3구멍 내부에 삽입되며, 일부가 상기 제3구멍으로부터 돌출되어 상기 제2가압판과 접촉되는 볼부재와,A ball member inserted into a third hole penetrating from the outer side surface of the third pressure plate toward the second pressure plate, a part of which protrudes from the third hole and is in contact with the second pressure plate,

상기 제3구멍 내에 삽입되며 상기 볼부재를 상기 제2가압판을 향하여 탄성바이어스시키는 지지스프링을 포함할 수 있다.And a support spring inserted in the third hole and elastically biasing the ball member toward the second pressure plate.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 푸셔장치는, 검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a pusher apparatus for inspecting a device to be inspected,

내부에 소정의 수용공간을 가지는 푸셔몸체와, 상기 푸셔몸체의 수용공간 내에 수용되며 하단이 피검사 디바이스의 상면에 접촉하여 상기 피검사 디바이스를 가압하는 가압수단을 포함하되,And a pressing means which is accommodated in the accommodating space of the pusher body and whose lower end is in contact with the upper surface of the device to be inspected and presses the device to be inspected,

상기 가압수단은, 하면이 중앙에 배치되는 제1가압부와, 상기 제1가압부의 둘레를 감싸도록 상기 제1가압부의 주변에 배치되는 제2가압부를 포함하고,Wherein the pressing means includes a first pressing portion having a lower surface disposed at the center and a second pressing portion disposed around the first pressing portion so as to surround the circumference of the first pressing portion,

상기 제1가압부의 하면 및 상기 제2가압부의 하면은 협동하여 상기 피검사 디바이스의 상면을 가압하고, The lower surface of the first pressing portion and the lower surface of the second pressing portion cooperate to press the upper surface of the device under test,

상기 제2가압부는 상기 제1가압부에 대하여 분리가능하게 결합된다.And the second pressing portion is detachably coupled to the first pressing portion.

상기 검사용 푸셔장치에서, 상기 제1가압부의 하면은 원형 또는 다각형상을 가지고 있고,In the pusher apparatus for inspection, the lower surface of the first pressing portion has a circular or polygonal shape,

상기 제2가압부의 하면은 상기 제1가압부 하면의 가장자리형상과 대응되는 구멍이 내부에 형성되는 폐곡선 형상을 가질 수 있다.The lower surface of the second pressing portion may have a closed curve shape in which a hole corresponding to the edge shape of the lower surface of the first pressing portion is formed.

상기 검사용 푸셔장치에서, 상기 가압수단은, 상기 제2가압부의 둘레를 감싸도록 배치되는 제3가압부를 더 포함하고,In the pusher apparatus for inspection, the pressing means may further comprise a third pressing portion arranged to surround the periphery of the second pressing portion,

상기 제3가압부의 하면은 상기 제2가압부 하면의 가장자리형상과 대응되는 구멍이 내부에 형성되는 폐곡선 형상을 가질 수 있다.The lower surface of the third pressing portion may have a closed curve shape in which a hole corresponding to the edge shape of the lower surface of the second pressing portion is formed.

본 발명에 따른 검사용 푸셔장치는, 푸셔몸체 내에 삽입되어 피검사 디바이스를 가압하는 가압수단이 서로 분리가능한 복수의 가압부로 이루어져 있어서 피검사 디바이스의 크기가 가변되어도 피검사 디바이스의 크기에 맞게 가압부를 적절하게 선택하여 조립하면 다양한 크기의 피검사 디바이스를 가압할 수 있어서 전체적인 검사비용이 절감되는 장점이 있다.The pusher device for inspection according to the present invention is constituted by a plurality of pushing portions inserted into the pusher body to press the inspected device from each other so that the pushing device can be adjusted to the size of the device to be inspected It is possible to pressurize devices to be inspected in various sizes, thereby reducing the overall inspection cost.

도 1은 종래기술의 일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치를 도시한 도면.
도 2는 종래기술의 또 다른 실시예에 따른 검사용 푸셔장치를 도시한 도면.
도 3은 도 2의 검사용 푸셔장치의 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치는 분리도.
도 5는 도 4의 결합도.
도 6 내지 9는 도 4의 검사용 푸셔장치의 일 구성의 분리 및 결합도.
도 10 및 도 11은 도 9의 검사용 푸셔장치의 일 구성의 결합모습을 나타내는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 shows a pusher device for inspection according to an embodiment of the prior art; Fig.
2 shows a pusher device for inspection according to another embodiment of the prior art.
3 is a perspective view of the inspection pusher device of Fig. 2;
4 is an exploded view of a pusher device for inspection according to an embodiment of the present invention;
5 is a view of the coupling of Fig.
Figs. 6 to 9 are exploded and combined views of one configuration of the inspection pusher device of Fig. 4; Fig.
Figs. 10 and 11 are views showing an assembled state of one configuration of the inspection pusher apparatus of Fig. 9; Fig.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an inspection pusher apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치(100)는, 푸셔몸체(110), 가압수단(120)을 포함하여 구성된다.The inspection pusher apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a pusher body 110 and a pressurizing unit 120.

상기 푸셔몸체(110)는, 내부에 소정의 수용공간(111)을 가지는 것으로서, 대략 원통형상으로 이루어지되 금속소재로 이루어진다. 상기 푸셔몸체(110)의 수용공간(111) 내에는 가압수단(120) 및 통부재(180)가 삽입되어 있게 된다. 상기 통부재(180)는 수용공간(111)의 상측에 배치되고 상기 가압수단(120)은 상기 수용공간(111)의 하측에 배치된다. 이때 통부재(180)의 하면은 가압수단(120)의 상측에 위치하게 된다. 또한, 상기 푸셔몸체(110)의 상단에는 수용공간(111)의 상단을 적어도 일부분 폐쇄하는 푸셔커버(181)가 배치되고, 상기 푸셔몸체(110)의 양측에는 걸림수단(182)이 마련되어 있게 된다.The pusher body 110 has a predetermined receiving space 111 therein and is formed in a substantially cylindrical shape, and is made of a metal material. The pressing means 120 and the cylinder member 180 are inserted into the receiving space 111 of the pusher body 110. The cylindrical member 180 is disposed on the upper side of the accommodation space 111 and the pressing means 120 is disposed on the lower side of the accommodation space 111. [ At this time, the lower surface of the cylinder member 180 is positioned above the pressing means 120. A pusher cover 181 for closing at least a portion of the upper end of the accommodating space 111 is disposed at an upper end of the pusher body 110 and an engaging means 182 is provided at both sides of the pusher body 110 .

또한, 상기 푸셔커버(181)의 상측에는 플랜지(184)를 통하여 푸셔몸체(110)에 고정결합되는 손잡이수단(183)이 마련되어 있게 된다.The pusher cover 181 has a handle 183 fixed to the pusher body 110 through a flange 184.

상기 가압수단(120)은, 복수개의 가압부가 서로 분리가능하게 결합되어 있으며, 각각의 가압부 하면이 협동하여 상기 피검사 디바이스(190)의 상면에 접촉가능한 것이다.The pressing means 120 is capable of contacting the upper surface of the device 190 to be inspected in cooperation with the lower surfaces of the pressing portions.

이러한 가압수단(120)은, 제1가압부(130), 제2가압부(140), 제3가압부(150), 커버부재(160) 및 탄성부재(170)를 포함한다.The pressing unit 120 includes a first pressing unit 130, a second pressing unit 140, a third pressing unit 150, a cover member 160, and an elastic member 170.

상기 제1가압부(130)는, 제1가압판(131), 제1가압봉(132)을 포함한다.The first pressing portion 130 includes a first pressing plate 131 and a first pressing bar 132.

상기 제1가압판(131)은, 상기 푸셔몸체(110) 측에 결합되는 것으로서 구체적으로는 커버부재(160)를 통하여 상기 푸셔몸체(110) 측에 결합되는 것이다. 이러한 제1가압판(131)에는, 상면에는 상기 커버부재(160)에 분리가능하게 결합되는 끼움돌기(1311)가 마련되어 있으며 상기 가압판의 중앙부위에는 오목하게 파여진 오목홈(1312)이 마련되고 상기 오목홈(1312)의 저면에는 제1슬롯(1313)과 제1진입공(1314)이 마련되어 있게 된다.The first pressing plate 131 is coupled to the pusher body 110 side and specifically to the pusher body 110 side through a cover member 160. The first pressing plate 131 is provided with a fitting protrusion 1311 detachably coupled to the cover member 160 on the upper surface thereof. The concave groove 1312 is formed on the central portion of the pressing plate, A first slot 1313 and a first entry hole 1314 are formed in the bottom surface of the groove 1312.

상기 제1슬롯(1313)은 중앙에 위치한 제1가압봉(132)으로부터 소정간격 이격되며 원주방향을 따라서 연장되는 것이다. 상기 제1진입공(1314)은 상기 제1슬롯(1313)의 일단에 위치하며 상기 제1슬롯(1313)의 폭보다 다소 큰 지름을 가지는 것이다. 즉, 제1진입공(1314)은 제1슬롯(1313)의 일단에 다소 큰 지름을 가지도록 형성되어 그 제1진입공(1314)으로부터 원주방향을 따라서 연장되는 제1슬롯(1313)이 연장되어 있게 된다. 이러한 오목홈(1312)의 저면의 두께는 제1슬롯(1313)에 끼워지는 하부 제2돌기(1413)보다 작거나 같을 수 있게 된다.The first slot 1313 is spaced apart from the first pressing bar 132 located at the center and extends along the circumferential direction. The first entry hole 1314 is located at one end of the first slot 1313 and has a diameter slightly larger than the width of the first slot 1313. That is, the first entry hole 1314 is formed to have a somewhat larger diameter at one end of the first slot 1313, and a first slot 1313 extending along the circumferential direction from the first entry hole 1314 is extended . The thickness of the bottom surface of the concave groove 1312 can be smaller than or equal to the lower second projection 1413 fitted in the first slot 1313.

상기 제1가압봉(132)은, 상기 제1가압판(131)의 하면 중앙에서 하측으로 돌출되어 하단이 피검사 디바이스(190)의 상면에 접촉하는 것이다. 이러한 제1가압봉(132)은 대략 사각기둥형태로 이루어지며, SM 45C 와 같이 벤딩이 잘 발생되지 않는 소재를 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 제1가압봉(132)의 하면은 가압수단(120)의 중앙에 배치되며 그 하면이 피검사 디바이스(190)의 상면에 접촉하여 가압하게 된다.The first presser bar 132 protrudes downward from the center of the lower surface of the first presser plate 131 and the lower end of the first presser bar 132 contacts the upper surface of the device 190 to be inspected. The first pressing bar 132 is formed in a substantially rectangular column shape, and it is preferable to use a material such as SM 45C that does not bend well. The lower surface of the first presser bar 132 is disposed at the center of the pressing means 120 and the lower surface thereof is in contact with the upper surface of the device 190 to be inspected.

상기 제2가압부(140)는, 상기 제1가압부(130)의 둘레를 감싸고 있으며 상기 제1가압부(130)에 대하여 분리가능하게 결합되어 있는 것이다. The second pressing portion 140 surrounds the first pressing portion 130 and is detachably coupled to the first pressing portion 130.

이러한 제2가압부(140)는, 제2가압판(141)과 제2통형부재(142)를 포함한다.The second pressing portion 140 includes a second pressure plate 141 and a second cylindrical member 142.

상기 제2가압판(141)은, 상기 제1가압판(131)에 분리가능하게 결합되는 제2결합돌기(1411)가 마련되는 것이다. 이러한 제2가압판(141)의 중앙에는 구멍이 형성되어 있게 되며 그 구멍에 제1가압봉(132)이 삽입될 수 있다.The second pressure plate 141 is provided with a second coupling protrusion 1411 detachably coupled to the first pressure plate 131. A hole is formed at the center of the second pressure plate 141, and the first pressure bar 132 may be inserted into the hole.

상기 제2결합돌기(1411)는, 제1가압판(131)의 제1진입공(1314)과 대응되는 외경을 가지는 상부 제2돌기(1412)와, 상기 상부 제2돌기(1412)의 하측에 마련되며 상기 상부 제2돌기(1412)보다 작은 외경을 가지되 상기 제1슬롯(1313)의 폭과 대응되는 폭을 가지는 하부 제2돌기(1413)를 포함한다.The second engaging projection 1411 includes an upper second projection 1412 having an outer diameter corresponding to the first entry hole 1314 of the first pressing plate 131 and a lower second projection 1412 having an outer diameter corresponding to the lower end of the upper second projection 1412 And a lower second protrusion 1413 having an outer diameter smaller than that of the upper second protrusion 1412 and having a width corresponding to the width of the first slot 1313.

상기 상부 제2돌기(1412)가 제1진입공(1314)을 통하여 삽입된 후에 상기 제2결합돌기(1411)가 상기 제1가압판(131)에 대하여 상대회전하게 되면, 하부 제2돌기(1413)가 상기 제1슬롯(1313) 내에 삽입된 상태에서 상기 제1슬롯(1313)을 통하여 슬라이드 이동한다. 이때 상부 제2돌기(1412)는 제1슬롯(1313)의 폭이 상기 상부 제2돌기(1412)에 비하여 작기 때문에 하측으로 빠지지 않고 제1가압판(131)에 끼워져 결합되는 것이다. When the second engaging projection 1411 is rotated relative to the first pressing plate 131 after the upper second projection 1412 is inserted through the first entry hole 1314, the lower second projection 1413 Is slid through the first slot 1313 in a state where the first slot 1313 is inserted into the first slot 1313. At this time, since the width of the first slot 1313 is smaller than that of the upper second protrusion 1412, the upper second protrusion 1412 is inserted into the first pressure plate 131 without being lowered.

상기 제2통형부재(142)는, 상기 제2가압판(141)의 중앙에 형성된 구멍의 둘레로부터 하측으로 연장되는 것으로서 대략 통형상을 가진다. 구체적으로는 사각통형상을 가지며 그 내부에는 상기 제1가압봉(132)이 삽입되어 있게 된다.The second tubular member 142 extends downward from the periphery of the hole formed at the center of the second pressure plate 141 and has a substantially cylindrical shape. Specifically, the first pressing bar 132 has a rectangular tube shape and the first pressing bar 132 is inserted therein.

이러한 제2통형부재(142)의 하면은 상기 제1가압봉(132)의 하면과 협동하에 피검사 디바이스(190)의 상면에 접촉하여 상기 피검사 디바이스(190)를 하측으로 가압할 수 있게 된다.The lower surface of the second cylindrical member 142 is in contact with the upper surface of the device 190 to be inspected in cooperation with the lower surface of the first pressure bar 132 to press the device under test 190 downward .

상기 제3가압부(150)는, 제3가압판(151)과, 제3통형부재(152) 및 제3결합수단(153)을 포함한다.The third pressing portion 150 includes a third pressing plate 151, a third tubular member 152, and a third engaging means 153.

상기 제3가압판(151)은, 상기 제2가압판(141)의 측면 둘레를 감싸는 것으로서, 대략 중앙이 개구된 판형태를 가지게 된다. 이러한 제3가압판(151)에는, 후술하는 제3결합수단(153)이 끼워져 삽입되는 제3구멍(1511)이 마련된다. 구체적으로 상기 제3구멍(1511)은 제3가압판(151)의 외측면으로부터 내측면을 향하여 관통하는 구멍이다.The third pressure plate 151 surrounds the side surface of the second pressure plate 141 and has a plate shape having an approximately center opening. The third pressing plate 151 is provided with a third hole 1511 through which the third engaging means 153 described later is inserted. Specifically, the third hole 1511 is a hole penetrating from the outer side surface of the third pressure plate 151 toward the inner side surface.

상기 제3통형부재(152)는, 제3가압판(151)으로부터 하측으로 연장되는 것으로서 구체적으로는 제3가압판(151)의 중앙의 개구 둘레로부터 하측을 연장되며 대략 사각통형으로 이루어진다. 이러한 제3통형부재(152)의 내부에는 제2통형부재(142)가 끼워져 삽입된다. 상기 제3통형부재(152)의 하면이 상기 제2통형부재(142)의 하면과 협동하에 피검사 디바이스(190)의 상면에 접촉하여 상기 피검사 디바이스(190)를 하측으로 가압할 수 있다.The third tubular member 152 extends downward from the third pressure plate 151 and specifically extends downward from the center opening of the third pressure plate 151 and is formed into a substantially square cylinder. The second cylindrical member 142 is inserted and inserted into the inside of the third cylindrical member 152. The lower surface of the third cylindrical member 152 contacts the upper surface of the device 190 to be inspected in cooperation with the lower surface of the second tubular member 142 to press the device 190 to be inspected downward.

상기 제3결합수단(153)은, 상기 제3가압판(151)을 상기 제2가압판(141)에 대하여 분리가능하게 결합하는 것이다. 이러한 제3결합수단(153)은, 상기 제3가압판(151)의 제3구멍(1511) 내부에 삽입되며 일부가 상기 제3구멍(1511)으로부터 돌출되어 제2가압판(141)의 측면에 접촉하는 볼부재(1531)와, 상기 볼부재(1531)를 상기 제2가압판(141)을 향하여 탄성바이어스시키는 지지스프링(1532)으로 이루어진다. 이때 상기 지지스프링(1532)은 제3구멍(1511)내에 삽입된 상태에서 일단은 막음수단(1533)과 접촉하고 타단은 상기 볼부재(1531)에 접촉하게 된다.The third engaging means 153 is for releasably coupling the third presser plate 151 to the second presser plate 141. The third engaging means 153 is inserted into the third hole 1511 of the third pressing plate 151 and partly protrudes from the third hole 1511 to contact the side surface of the second pressing plate 141 And a support spring 1532 for elastically biasing the ball member 1531 toward the second pressure plate 141. As shown in Fig. At this time, in a state where the support spring 1532 is inserted in the third hole 1511, one end is in contact with the blocking means 1533 and the other end is in contact with the ball member 1531.

상기 제3결합수단(153)은, 탄성력에 의하여 위치를 유지하는 볼부재(1531)가 상기 제2가압판(141)의 측면에 접촉하면서 상기 제2가압판(141)에 대하여 제3가압판(151)의 위치를 유지하는 것으로서, 제3가압판(151)의 4면의 각 중앙에 설치되어 있는 것이 좋다.The third engaging means 153 is configured such that the ball member 1531 holding the position by the elastic force contacts the side surface of the second pressure plate 141 while the third pressure plate 151 is pressed against the second pressure plate 141, And may be provided at the center of each of the four sides of the third pressure plate 151. [

상기 커버부재(160)는, 푸셔몸체(110)에 고정설치된 상태에서 상기 제1가압판(131)을 끼워지지하는 것이다. 이러한 커버부재(160)는, 상기 제1가압판(131)의 상측에 배치되어 상기 제1가압판(131)과 소정간격 이격되어 배치된다. The cover member 160 supports the first pressure plate 131 while being fixed to the pusher body 110. The cover member 160 is disposed on the upper side of the first pressure plate 131 and is spaced apart from the first pressure plate 131 by a predetermined distance.

상기 탄성부재(170)는, 상기 커버부재(160)와 상기 제1가압판(131)의 사이에 배치되어 상기 제2결합돌기(1411)를 탄성가압하기 위한 것이다. 즉, 제1가압판(131)의 제1슬롯(1313) 내에 결합된 제2결합돌기(1411)를 탄성가압하여 상기 결합돌기가 위치를 유지하게 하는 것이다. 이러한 탄성부재(170)는, 고무판(171)과, 스프링(172)을 포함한다.The elastic member 170 is disposed between the cover member 160 and the first pressure plate 131 so as to elastically press the second engagement protrusion 1411. That is, the second engaging protrusion 1411 coupled to the first slot 1313 of the first pressure plate 131 is elastically pressed to keep the engaging protrusion in position. The elastic member 170 includes a rubber plate 171 and a spring 172.

상기 고무판(171)은 그 하면이 상기 제2결합돌기(1411)와 접촉하여 상기 제2결합돌기(1411)를 하측으로 가압하기 위한 것이며, 상기 스프링(172)은 상기 고무판(171)의 상면과 상기 커버부재(160)의 하면 사이에 배치되어 상기 고무판(171)을 탄성적으로 지지하기 위한 것이다. The lower surface of the rubber plate 171 contacts the second engagement protrusions 1411 to press the second engagement protrusions 1411 downward and the spring 172 presses the upper surface of the rubber plate 171 And is disposed between the lower surface of the cover member 160 and elastically supports the rubber plate 171.

상기 제1진입공(1314) 내에 삽입된 제2결합돌기(1411)를 상측으로 가압한 후에 상기 제2결합돌기(1411)가 충분하게 삽입되면 제2결합돌기(1411)를 제1슬릿을 따라서 이동하게 된다. 이때 제2결합돌기(1411)는 탄성력에 의하여 가압된 상태에서 슬라이드 이동하는데, 이후 제2결합돌기(1411)의 위치가 고정된 후에는 상기 탄성부재(170)에 의하여 멈춘 위치가 유지될 수 있게 된다.When the second engaging projection 1411 inserted into the first engaging hole 1314 is pressed upward and then the second engaging projection 1411 is inserted sufficiently, the second engaging projection 1411 is moved along the first slit 1411 . At this time, the second engaging projection 1411 slides while being pressed by the resilient force, and after the position of the second engaging projection 1411 is fixed, the position stopped by the elastic member 170 can be maintained do.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치(100)는 다음과 같은 작용효과를 가진다.The inspection pusher apparatus 100 according to an embodiment of the present invention has the following operational effects.

먼저 비교적 큰 크기의 피검사 디바이스(190)의 가압을 위해서는 제1가압부(130), 제2가압부(140) 및 제3가압부(150)를 결합한 상태에서 각각의 제1가압부(130), 제2가압부(140) 및 제3가압부(150)의 하면이 피검사 디바이스(190)의 상면에 접촉하게 한 후에, 상기 피검사 디바이스(190)를 검사장치(200)측으로 가압하여 피검사 디자이스(190)의 단자(191)을 검사장치(200)의 패드(201)과 접촉하게 된다. The first pushing unit 130, the second pushing unit 140, and the third pushing unit 150 are coupled to the first pushing unit 130 After the lower surfaces of the first pressing portion 140, the second pressing portion 140 and the third pressing portion 150 are brought into contact with the upper surface of the device under test 190, the device 190 to be inspected is pressed toward the testing device 200 The terminal 191 of the inspection target design 190 is brought into contact with the pad 201 of the inspection apparatus 200.

한편, 보다 작은 평면을 가지는 피검사 디바이스(190)를 가압하기 위해서는 제3가압부(150)를 제2가압부(140)에 대하여 제거한 후에 제1가압부(130) 및 제2가압부(140)를 결합한 상태에서 상기 제1 및 제2가압부(140)에 의하여 피검사 디바이스(190)를 가압하게 된다.In order to press the inspection target device 190 having a smaller plane, the third pressing portion 150 is removed from the second pressing portion 140 and then the first pressing portion 130 and the second pressing portion 140 The first and second pressing portions 140 press the device 190 to be inspected.

또한, 가장 작은 평면을 가지는 피검사 디바이스(190)를 가압하기 위해서는 제2가압부(140)를 제1가압부(130)에 대하여 분리한 상태에서 제1가압부(130)만을 푸셔몸체(110)에 남겨둔 상태에서 소정의 검사를 수행하게 된다.In order to press the inspected device 190 having the smallest plane, the second pressing portion 140 is separated from the first pressing portion 130 and only the first pressing portion 130 is pressed against the pusher body 110 The predetermined inspection is performed.

즉, 본 발명에서는 피검사 디바이스(190)의 크기에 따라서 제1가압부(130)만을 남겨둔 상태에서 전기적 검사를 수행하는 것도 가능하며, 제1가압부(130)와 제2가압부(140)를 서로 결합하여 보다 큰 면적으로 가압을 수행하는 것도 가능하고, 제1가압부(130), 제2가압부(140) 및 제3가압부(150)를 결합하여 가장 큰 면적으로 가압을 수행하는 것이 가능하다.That is, in the present invention, it is also possible to perform an electrical inspection in a state in which only the first pressing portion 130 is left according to the size of the device 190 to be inspected, and the first pressing portion 130 and the second pressing portion 140, The first pressing portion 130, the second pressing portion 140, and the third pressing portion 150 are combined to perform pressing with the largest area It is possible.

이때, 제2가압부(140)와 제3가압부(150)의 결합방식으로는, 도 6 및 도 7에 개시된 바와 같이 제3결합수단(153)에 의하여 분리가능하게 결합하게 된다. 구체적으로는, 제3가압판(151)의 제3구멍(1511) 내에 삽입되어 있으면서, 지지스프링(1532)에 의하여 지지되는 볼부재(1531)가 상기 제2가압판(141)의 측면에 면접촉하는 것에 의하여 상기 제2가압부(140)와 제3가압부(150) 간의 결합을 수행하게 된다. At this time, the second pressing portion 140 and the third pressing portion 150 are coupled to each other in a detachable manner by the third coupling means 153 as shown in Figs. 6 and 7. Concretely, the ball member 1531 supported by the support spring 1532 while being inserted into the third hole 1511 of the third pressure plate 151 is in surface contact with the side surface of the second pressure plate 141 The second pressing portion 140 and the third pressing portion 150 are engaged with each other.

또한, 제1가압부(130)와 제2가압부(140) 간의 결합방식으로는 도 8 내지 도 11에 개시되어 있다. 구체적으로는, 제1가압부(130)와 제2가압부(140)를 결합하기 위해서는, 제2결합돌기(1411)를 제1진입공(1314)을 통하여 삽입한 후에 제1슬롯(1313)을 따라서 제2결합돌기(1411)를 회전시켜서 상기 제2결합돌기(1411)가 상기 제1슬롯(1313) 내에 유지되도록 한다. 구체적으로는, 상부 제2돌기(1412)를 제1진입공(1314)을 통하여 삽입하고, 탄성부재(170)를 충분히 가압한 후에 상기 상부 제2돌기(1412)를 제1가압판(131)에 대하여 상대회전시키면, 하부 제2돌기(1413)가 제1슬롯(1313)에 끼워진 상태에서 슬라이드 이동하게 된다. 이때 상기 상부 제2돌기(1412)는 제1슬롯(1313)의 주변에 걸린 상태에서 슬라이드 이동하게 된다. 이후에 상부 제2돌기(1412)가 충분하게 회전된 후에는 상기 상부 제2돌기(1412)가 제1슬롯(1313)의 주변에 걸려서 이탈되는 것이 방지된다. 특히, 이때 상부 제2돌기(1412)는 탄성부재(170)에 의하여 제1가압판(131) 측으로 가압되어 있기 때문에 이탈이 더욱 방지될 수 있다.The manner of coupling between the first pressing portion 130 and the second pressing portion 140 is shown in Figs. 8 to 11. Fig. More specifically, to engage the first pressing portion 130 and the second pressing portion 140, the second engaging protrusion 1411 is inserted through the first entry hole 1314 and then inserted into the first slot 1313, So that the second engaging projection 1411 is held in the first slot 1313 by rotating the second engaging projection 1411. [ Specifically, after the upper second projection 1412 is inserted through the first entry hole 1314 and the elastic member 170 is sufficiently pressed, the upper second projection 1412 is pressed against the first pressure plate 131 The lower second protrusion 1413 slides while being inserted in the first slot 1313. [ At this time, the upper second protrusion 1412 slides while being caught around the first slot 1313. After the upper second protrusion 1412 is sufficiently rotated, the upper second protrusion 1412 is prevented from being caught by the periphery of the first slot 1313 and released. Particularly, at this time, since the upper second protrusion 1412 is pressed toward the first pressure plate 131 by the elastic member 170, the release can be further prevented.

한편, 제1가압부(130)로부터 제2가압부(140)를 분리해내기 위해서는, 제2가압부(140)를 상측으로 밀어올린 후에 상기 제2가압부(140)를 회전시키게 된다. 즉, 제2가압부(140)를 회전시키면 제2결합돌기(1411)가 회전하게 되는데, 제2결합돌기(1411)의 상부 제2돌기(1412)가 제1진입공(1314) 위치에 놓이게 되면, 상기 상부 제2돌기(1412)는 하측으로 빠지게 되면서, 제2가압부(140)가 제1가압부(130)로부터 분리될 수 있다.Meanwhile, in order to separate the second pressing portion 140 from the first pressing portion 130, the second pressing portion 140 is rotated after the second pressing portion 140 is pushed upward. That is, when the second pressing portion 140 is rotated, the second coupling protrusion 1411 rotates. When the upper second protrusion 1412 of the second coupling protrusion 1411 is positioned at the first entry hole 1314 The second upper protrusion 1412 may be lowered and the second pressing unit 140 may be separated from the first pressing unit 130.

즉, 본원발명은, 검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서, 내부에 소정의 수용공간을 가지는 푸셔몸체와, 상기 푸셔몸체의 수용공간 내에 수용되며 하단이 피검사 디바이스의 상면에 접촉하여 상기 피검사 디바이스를 가압하는 가압수단을 포함하되, 상기 가압수단은,That is, according to the present invention, there is provided a testing pusher apparatus for pushing a device to be inspected to be inspected toward an inspection apparatus side, comprising: a pusher body having a predetermined accommodation space therein; And a pressing means for contacting the upper surface of the device to be inspected to press the device to be inspected,

하면이 중앙에 배치되는 제1가압부와, 상기 제1가압부의 둘레를 감싸도록 상기 제1가압부의 주변에 배치되는 제2가압부를 포함하고, 상기 제1가압부의 하면 및 상기 제2가압부의 하면은 협동하여 상기 피검사 디바이스의 상면을 가압하고, 상기 제2가압부는 상기 제1가압부에 대하여 분리가능하게 결합되는데, 이때 상기 제1가압부의 하면은 원형 또는 다각형상을 가지고 있고, 상기 제2가압부의 하면은 상기 제1가압부 하면의 가장자리형상과 대응되는 구멍이 내부에 형성되는 폐곡선 형상을 가지고 있게 된다. And a second pressing portion disposed on the periphery of the first pressing portion so as to surround the periphery of the first pressing portion, wherein the lower surface of the first pressing portion and the lower surface of the second pressing portion And the second pressing portion is detachably coupled to the first pressing portion, wherein a lower surface of the first pressing portion has a circular or polygonal shape, and the second pressing portion is detachably coupled to the second pressing portion, The lower surface of the pressing portion has a closed curve shape in which a hole corresponding to the edge shape of the lower surface of the first pressing portion is formed.

또한, 본원발명의 가압수단은, 상기 제2가압부의 둘레를 감싸도록 배치되는 제3가압부을 더 포함할 수 있는데, 상기 제3가압부의 하면은 상기 제2가압부 하면의 가장자리형상과 대응되는 구멍이 내부에 형성되는 폐곡선 형상을 가질 수 있다.Further, the pressing means of the present invention may further include a third pressing portion that is disposed so as to surround the periphery of the second pressing portion, wherein a lower surface of the third pressing portion has a hole corresponding to the edge shape of the lower surface of the second pressing portion, And may have a closed curve shape formed therein.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 검사용 푸셔장치는, 푸셔몸체 내에 삽입되어 피검사 디바이스를 가압하는 가압수단이 서로 분리가능한 복수의 가압부로 이루어져 있어서 피검사 디바이스의 크기가 가변되어도 피검사 디바이스의 크기에 맞게 가압부를 적절하게 선택하여 조립하면 다양한 크기의 피검사 디바이스를 가압할 수 있어서 전체적인 검사비용이 절감되는 장점이 있다.As described above, the pusher device for inspection according to the present invention is constituted by a plurality of pressing portions inserted into the pusher body to press the inspected device from each other, so that even when the size of the device to be inspected is variable, It is possible to press the devices to be inspected in various sizes, thereby reducing the overall inspection cost.

이러한 본 발명의 검사용 푸셔장치는, 3개의 가압부가 서로 결합되어 가압수단을 구성하는 것으로 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 2개의 가압부만으로 이루어지는 것도 가능하며, 4개 이상의 가압부가 협동하여 가압수단을 구성하는 것이 가능함은 물론이다.The pushing device for inspection according to the present invention is exemplified by the three pushing portions being coupled to each other to constitute the pushing means. However, the present invention is not limited to this, and it is also possible to have only two pushing portions, Of course.

또한, 제1가압부와, 제2가압부, 제3가압부의 결합수단을 몇가지 예를 들어 설명하고 있으나, 다양한 착탈식 결합수단이 사용될 수 있음은 물론이다.It should be noted that although the first pressing portion, the second pressing portion, and the third pressing portion are described by way of example, various detachable coupling means can be used.

이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명의 접속용 커넥터를 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

100...검사용 푸셔장치 110...푸셔몸체
111...수용공간 120...가압수단
130...제1가압부 131...제1가압판
1311...끼움돌기 1312...오목홈
1313...제1슬롯 1314...제1진입공
132...제1가압봉 140...제2가압부
141...제2가압판 1411...제2결합돌기100 ... pusher device for inspection 110 ... pusher body
111 ... accommodating space 120 ... pressurizing means
130 ... first pressing portion 131 ... first pressing plate
1311 ... insertion protrusion 1312 ... concave groove
1313 ... first slot 1314 ... first entry hole
132 ... first pressing rod 140 ... second pressing portion
141 ... second pressure plate 1411 ... second coupling projection

Claims (14)

검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,
내부에 소정의 수용공간을 가지는 푸셔몸체와,
상기 푸셔몸체의 수용공간 내에 수용되며 하단이 피검사 디바이스의 상면에 접촉하여 상기 피검사 디바이스를 가압하는 가압수단을 포함하되,
상기 가압수단은,
복수개의 가압부가 서로 분리가능하게 결합되어 있으며, 각각의 가압부 하면이 협동하여 상기 피검사 디바이스의 상면에 접촉가능한 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.1. A testing pusher device for pressing a device to be inspected requiring inspection to an inspection device side,
A pusher body having a predetermined accommodation space therein,
And a pressing means which is received in the receiving space of the pusher body and whose lower end is in contact with the upper surface of the device to be inspected to press the device to be inspected,
Wherein the pressing means comprises:
Wherein the plurality of pressing portions are detachably coupled to each other, and the pressing surfaces of the pressing portions are brought into contact with the upper surface of the device to be inspected in cooperation with each other. 제1항에 있어서,
상기 복수의 가압부는,
하면이 중앙에 위치하고 있는 제1가압부와,
상기 제1가압부의 둘레를 감싸고 있으며 상기 제1가압부에 대하여 분리가능하게 결합되어 있는 제2가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of pressing portions comprise:
A first pressing portion located at the center of the lower surface,
And a second pressurizing portion surrounding the first pressurizing portion and being detachably coupled to the first pressurizing portion. 제2항에 있어서,
상기 제2가압부의 둘레를 감싸고 있으며 상기 제2가압부에 대하여 분리가능하게 결합되어 있는 제3가압부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.3. The method of claim 2,
Further comprising a third pressurizing portion which surrounds the second pressurizing portion and is detachably coupled to the second pressurizing portion. 제2항에 있어서,
상기 제1가압부는,
상기 푸셔몸체에 결합되는 제1가압판과,
상기 제1가압판의 하면 중앙에서 하측으로 돌출되어 하단이 피검사 디바이스의 상면에 접촉하는 제1가압봉을 포함하고,
상기 제2가압부는,
상기 제1가압판에 분리가능하게 결합되는 제2결합돌기가 마련되는 제2가압판과,
상기 제2가압판으로부터 하측으로 연장되며 상기 제1가압봉을 내부에 수용하는 제2통형부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.3. The method of claim 2,
Wherein the first pressing portion comprises:
A first pressure plate coupled to the pusher body,
And a first pressing bar protruding downward from a center of a lower surface of the first pressing plate, the lower end of the first pressing bar contacting the upper surface of the device to be inspected,
Wherein the second pressing portion comprises:
A second pressure plate having a second coupling protrusion detachably coupled to the first pressure plate,
And a second tubular member extending downward from the second pressure plate and receiving the first pressure bar therein. 제4항에 있어서,
상기 제1가압판에는, 상기 제1가압봉으로부터 소정간격 이격되며 원주방향을 따라서 연장되는 제1슬롯이 마련되되, 상기 제1슬롯의 일단에는 상기 제1슬롯의 폭보다 큰 지름을 가지며 상기 제1슬롯과 연결되는 제1진입공이 마련되어 있으며,
상기 제2결합돌기는,
상기 제1진입공과 대응되는 외경을 가지는 상부 제2돌기와,
상기 상부 제2돌기의 하측에 마련되며 상기 상부 제2돌기보다 작은 외경을 가지되 상기 제1슬롯의 폭과 대응되는 폭을 가지는 하부 제2돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.5. The method of claim 4,
The first pressing plate is provided with a first slot spaced apart from the first pressing bar by a predetermined distance and extending along a circumferential direction, and a first slot having a diameter larger than the width of the first slot, A first entry hole connected to the slot,
And the second engaging projection
An upper second projection having an outer diameter corresponding to the first entry hole,
And a lower second protrusion provided below the upper second protrusion and having a smaller outer diameter than the upper second protrusion and having a width corresponding to the width of the first slot. 제5항에 있어서,
상기 제1가압판의 두께는, 상기 하부 제2돌기의 높이보다 작거나 같은 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.6. The method of claim 5,
Wherein the thickness of the first pressure plate is smaller than or equal to the height of the lower second projection. 제5항에 있어서,
상기 제1가압판의 상측에는 상기 제1가압판과 소정간격 이격되어 배치되는 커버부재가 마련되어 있으며, 상기 커버부재와 상기 제1가압판의 사이에는 제2결합돌기를 탄성가압하기 위한 탄성부재가 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.6. The method of claim 5,
An elastic member for elastically pressing the second coupling protrusion is disposed between the cover member and the first pressure plate, and an elastic member for elastically pressing the second coupling protrusion is disposed above the first pressing plate, Characterized in that the pusher device for inspection. 제7항에 있어서,
상기 탄성부재는 고무판을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.8. The method of claim 7,
Wherein the elastic member comprises a rubber plate. 제8항에 있어서,
상기 탄성부재는, 양단이 상기 고무판과 상기 제1가압판 사이에 배치되어 상기 제1가압판을 탄성지지하는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.9. The method of claim 8,
Wherein the elastic member includes a spring whose both ends are disposed between the rubber plate and the first pressure plate to elastically support the first pressure plate. 제3항에 있어서,
상기 제2가압부는,
제2가압판과, 상기 제2가압판으로부터 하측으로 연장되는 제2통형부재를 포함하고,
상기 제3가압부는,
상기 제2가압판의 둘레를 감싸는 제3가압판과, 상기 제3가압판으로부터 하측으로 연장되는 제3통형부재를 포함하되,
상기 제3가압판에는 상기 제2가압판에 대하여 분리가능하게 결합되는 제3결합수단이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.The method of claim 3,
Wherein the second pressing portion comprises:
A second pressure plate, and a second tubular member extending downward from the second pressure plate,
Wherein the third pressing portion comprises:
A third pressure plate surrounding the periphery of the second pressure plate, and a third tubular member extending downward from the third pressure plate,
Wherein the third pressure plate is provided with a third coupling means detachably coupled to the second pressure plate. 제10항에 있어서,
상기 제3결합수단은,
상기 제3가압판의 외측면으로부터 상기 제2가압판을 향하여 관통하는 제3구멍 내부에 삽입되며, 일부가 상기 제3구멍으로부터 돌출되어 상기 제2가압판과 접촉되는 볼부재와,
상기 제3구멍 내에 삽입되며 상기 볼부재를 상기 제2가압판을 향하여 탄성바이어스시키는 지지스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.11. The method of claim 10,
The third coupling means comprises:
A ball member inserted into a third hole penetrating from the outer side surface of the third pressure plate toward the second pressure plate, a part of which protrudes from the third hole and is in contact with the second pressure plate,
And a support spring inserted in the third hole and elastically biasing the ball member toward the second pressure plate. 검사가 요구되는 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,
내부에 소정의 수용공간을 가지는 푸셔몸체와,
상기 푸셔몸체의 수용공간 내에 수용되며 하단이 피검사 디바이스의 상면에 접촉하여 상기 피검사 디바이스를 가압하는 가압수단을 포함하되,
상기 가압수단은,
하면이 중앙에 배치되는 제1가압부와,
상기 제1가압부의 둘레를 감싸도록 상기 제1가압부의 주변에 배치되는 제2가압부를 포함하고,
상기 제1가압부의 하면 및 상기 제2가압부의 하면은 협동하여 상기 피검사 디바이스의 상면을 가압하고,
상기 제2가압부는 상기 제1가압부에 대하여 분리가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치1. A testing pusher device for pressing a device to be inspected requiring inspection to an inspection device side,
A pusher body having a predetermined accommodation space therein,
And a pressing means which is received in the receiving space of the pusher body and whose lower end is in contact with the upper surface of the device to be inspected to press the device to be inspected,
Wherein the pressing means comprises:
A first pressing portion disposed in the center of the lower surface,
And a second pressing portion disposed around the first pressing portion so as to surround the periphery of the first pressing portion,
The lower surface of the first pressing portion and the lower surface of the second pressing portion cooperate to press the upper surface of the device under test,
Characterized in that the second pushing portion is releasably coupled to the first pushing portion 제12항에 있어서,
상기 제1가압부의 하면은 원형 또는 다각형상을 가지고 있고,
상기 제2가압부의 하면은 상기 제1가압부 하면의 가장자리형상과 대응되는 구멍이 내부에 형성되는 폐곡선 형상을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.13. The method of claim 12,
The lower surface of the first pressing portion has a circular or polygonal shape,
Wherein the lower surface of the second pressing portion has a closed curve shape in which a hole corresponding to the edge shape of the lower surface of the first pressing portion is formed. 제12항에 있어서,
상기 가압수단은, 상기 제2가압부의 둘레를 감싸도록 배치되는 제3가압부를 더 포함하고,
상기 제3가압부의 하면은 상기 제2가압부 하면의 가장자리형상과 대응되는 구멍이 내부에 형성되는 폐곡선 형상을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.13. The method of claim 12,
The pressing means further includes a third pressing portion arranged to surround the periphery of the second pressing portion,
Wherein the lower surface of the third pressing portion has a closed curve shape in which a hole corresponding to the edge shape of the lower surface of the second pressing portion is formed.
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