KR20160084914A - Heat releasing semiconductor package and method for manufacturing the same - Google Patents

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KR20160084914A
KR20160084914A KR1020150001230A KR20150001230A KR20160084914A KR 20160084914 A KR20160084914 A KR 20160084914A KR 1020150001230 A KR1020150001230 A KR 1020150001230A KR 20150001230 A KR20150001230 A KR 20150001230A KR 20160084914 A KR20160084914 A KR 20160084914A
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이재진
박희진
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매그나칩 반도체 유한회사
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Abstract

The present invention relates to a heat releasing semiconductor package and a method for manufacturing the same. The heat releasing semiconductor package includes a base part which includes a film, an electrode pattern formed on both upper parts of the film, and solder resist surrounding the electrode pattern in the upper part of the electrode pattern, and a heat releasing semiconductor part which includes a heat releasing tape which surrounds a semiconductor device, bumps formed in the lower part of the semiconductor device, and at least part of bumps and the lower part of the semiconductor device. Therefore, the heat releasing semiconductor package according to the present invention can maximize a heat releasing effect by using a heat releasing tape to surround part of the semiconductor device, and can secure the stability of a circuit.

Description

방열 반도체 소자 패키지 및 그 제조 방법 {HEAT RELEASING SEMICONDUCTOR PACKAGE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a heat dissipation semiconductor device package and a manufacturing method thereof. BACKGROUND OF THE INVENTION [0002]

본 발명은 방열 반도체 소자 패키징 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 간단한 제조 공정 및 저렴한 제조 비용을 통해 제조될 수 있는 반도체 소자 패키지 및 그 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat dissipation semiconductor device packaging technique, and more particularly, to a semiconductor device package and a manufacturing method thereof that can be manufactured through a simple manufacturing process and an inexpensive manufacturing cost.

일반적으로 노트북, TV 등과 같이 액정 표시 장치를 포함하는 장치는 고해상도의 디스플레이 구현을 위해 고집적화 트랜지스터를 사용하고 있다. 이러한 고집적화 트랜지스터는 구동시 고열을 발생시키므로 발생된 열을 저감시키기 위한 기술 적용을 필요로 한다.2. Description of the Related Art Generally, a device including a liquid crystal display device such as a notebook computer or a TV uses a highly integrated transistor for realizing a high resolution display. Such a highly integrated transistor generates a high temperature during driving and therefore requires application of a technique for reducing heat generated.

한국공개특허 제10-2000-0056801호는 반도체 패키지의 방열 구조에 관한 것으로, 방열소자를 패키지 내부에 설치하여 내부열을 외부로 방출시킬 수 있다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2000-0056801 relates to a heat dissipation structure of a semiconductor package, in which a heat dissipation element is installed inside a package to discharge internal heat to the outside.

한국등록특허 제10-1214292호는 방열 반도체소자 패키지, 그 제조방법 및 방열 반도체소자 패키지를 포함하는 디스플레이 장치에 관한 것으로, 방열수단을 부가하여 방열 효과를 향상시킬 수 있다. Korean Patent No. 10-1214292 relates to a heat dissipation semiconductor device package, a manufacturing method thereof, and a display device including the heat dissipation semiconductor device package, and the heat dissipation effect can be improved by adding a heat dissipation means.

이러한 종래 기술은 드라이브 IC의 발열을 저감시키기 위해 접착제와 방열도료가 혼합된 방열수단을 사용하여, 추가 공정 및 부자재 비용이 추가되는 단점이 있다. Such conventional technology has a disadvantage in that the heat dissipation means in which the adhesive and the heat dissipation paint are mixed to reduce the heat generation of the drive IC is used, and additional processing and subsidiary material costs are added.

한국공개특허 제10-2000-0056801호Korean Patent Publication No. 10-2000-0056801 한국등록특허 제10-1214292호Korean Patent No. 10-1214292

본 발명의 일 실시예는 간단한 제조 공정 및 저렴한 제조 비용을 통해 제조될 수 있는 반도체 소자 패키지 및 그 제조방법을 제공하고자 한다.One embodiment of the present invention seeks to provide a semiconductor device package and a method of manufacturing the same that can be manufactured through a simple manufacturing process and an inexpensive manufacturing cost.

본 발명의 일 실시예는 반도체 소자의 일부를 감싸도록 방열 테이프를 사용하여 방열 효과를 증가 시킬 수 있는 방열 반도체 소자 패키지 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide a heat dissipation semiconductor device package and a method of manufacturing the same that can increase a heat dissipation effect by using a heat dissipation tape to cover a part of a semiconductor device.

본 발명의 일 실시예는 반도체 소자의 일부를 감싸도록 방열 테이프를 사용하여 회로의 안정성을 보장할 수 있는 방열 반도체 소자 패키지 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.
An embodiment of the present invention is to provide a heat dissipation semiconductor device package and a method of manufacturing the same that can ensure the stability of a circuit by using a heat dissipation tape to enclose a part of a semiconductor device.

실시예들 중에서, 방열 반도체 소자 패키지는 필름, 상기 필름의 양 상부에 형성된 전극 패턴 및 상기 전극 패턴의 상부에 상기 전극 패턴을 감싸도록 형성된 솔더 레지스트를 포함하는 베이스부 및 반도체 소자, 상기 반도체 소자의 하부에 형성되는 복수의 범프들 및 반도체 소자의 하부 및 상기 복수의 범프들의 적어도 일부를 감싸도록 형성된 방열 테이프를 포함하는 방열 반도체부를 포함한다.The heat dissipation semiconductor device package includes a base portion and a semiconductor element including a film, an electrode pattern formed on upper portions of the film, and a solder resist formed on the electrode pattern so as to surround the electrode pattern, And a heat dissipation semiconductor portion including a plurality of bumps formed at a lower portion, a lower portion of the semiconductor element, and a heat radiation tape formed to enclose at least a part of the plurality of bumps.

일 실시예에서, 상기 방열 반도체 소자 패키지는 상기 베이스부 상에 상기 방열 반도체부가 수용될 수 있는 반도체 수용영역을 더 포함할 수 있다. In one embodiment, the heat-dissipating semiconductor device package may further include a semiconductor containing region on which the heat-dissipating semiconductor portion can be received.

상기 방열 테이프는 상기 복수의 범프들의 적어도 일부를 감싸도록 펀칭에 의해 홀을 형성할 수 있다. 또한, 상기 방열 테이프는 상기 전극 패턴과 직접 접촉되어 상기 전극 패턴을 전기적으로 절연시킬 수 있다.The heat dissipation tape may be formed by punching so as to surround at least a part of the plurality of bumps. In addition, the heat radiation tape may directly contact the electrode pattern to electrically isolate the electrode pattern.

일 실시예에서, 방열 반도체 소자 패키지는 상기 방열 반도체부 상에 상기 방열 반도체부와 상기 베이스부의 적어도 일부를 감싸는 방열 수지를 더 포함할 수 있다. In one embodiment, the heat dissipation semiconductor device package may further include the heat dissipation semiconductor portion on the heat dissipation semiconductor portion and a heat dissipation resin surrounding at least a part of the base portion.

상기 방열 수지는 실리콘(silicon), 에폭시(epoxy) 및 우레탄(urethane) 계열 중 적어도 하나와 알루미나를 포함할 수 있다. 상기 실리콘(silicon), 에폭시(epoxy) 및 우레탄(urethane) 계열 중 적어도 하나의 비율은 15% ~ 35%에 해당하고, 상기 알루미나의 비율은 65% ~ 85%에 해당할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 방열 수지는 디스팬싱(dispensing) 또는 스퀴지 프린팅(squeegee printing) 방식으로 도포될 수 있다.The heat dissipation resin may include alumina and at least one of silicon, epoxy, and urethane series. The ratio of at least one of silicon, epoxy and urethane series may be between 15% and 35%, and the ratio of alumina may be between 65% and 85%. In one embodiment, the heat dissipation resin may be applied by dispensing or squeegee printing.

실시예들 중에서, 방열 반도체 소자 패키지 제조방법은 반도체 소자 하부에 복수의 범프들을 형성하는 단계, 결합된 상기 반도체 소자 및 상기 복수의 범프들을 방열 테이프에 접착시켜 방열 반도체부를 형성하는 단계 및 필름, 전극 패턴 및 솔더 레지스트를 포함하는 베이스부를 형성하여 방열 반도체부의 하부와 접착시키는 단계를 포함한다.Among the embodiments, a method of manufacturing a heat dissipation semiconductor device package includes the steps of forming a plurality of bumps under a semiconductor element, bonding the coupled semiconductor device and the plurality of bumps to a heat dissipation tape to form a heat dissipation semiconductor portion, And forming a base portion including the pattern and the solder resist and adhering the base portion to the lower portion of the heat dissipation semiconductor portion.

일 실시예에서, 방열 반도체 소자 패키지 제조방법은 상기 방열 반도체부 상에 상기 반도체 소자와 상기 베이스부의 적어도 일부를 감싸도록 방열 수지를 채우는 단계를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the method of manufacturing a heat-dissipating semiconductor device package may further include filling the heat-dissipating semiconductor portion with the heat-dissipating resin to cover at least a part of the semiconductor element and the base portion.

일 실시예에서, 방열 반도체 소자 패키지 제조방법은 상기 방열 수지를 큐어링 하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 큐어링은 125℃ ~ 170℃ 온도 범위에서 수행될 수 있다.In one embodiment, the method of manufacturing a heat dissipation semiconductor device package may further include the step of curing the heat dissipation resin. The curing may be performed at a temperature range of 125 ° C to 170 ° C.

실시예들 중에서, 방열 반도체 패키지 제조방법은 반도체 소자 하부에 복수의 범프들을 형성하는 단계, 필름, 전극 패턴 및 솔더 레지스트를 포함하는 베이스부를 형성하는 단계 및 먼저 형성된 상기 베이스부와 방열 테이프 상부에 상기 반도체 소자 하부와 결합된 복수의 범프들을 접착시키는 단계를 포함한다.
Among the embodiments, a method of manufacturing a heat dissipation semiconductor package includes the steps of forming a plurality of bumps under a semiconductor element, forming a base portion including a film, an electrode pattern, and a solder resist, And bonding the plurality of bumps coupled with the bottom of the semiconductor element.

개시된 기술은 다음의 효과를 가질 수 있다. 다만, 특정 실시예가 다음의 효과를 전부 포함하여야 한다거나 다음의 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 개시된 기술의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.The disclosed technique may have the following effects. It is to be understood, however, that the scope of the disclosed technology is not to be construed as limited thereby, as it is not meant to imply that a particular embodiment should include all of the following effects or only the following effects.

본 발명의 일 실시예에 따른 방열 반도체 소자 패키지 및 그 제조 방법은 반도체 소자를 일부 감싸는 방열 테이프를 사용하여 방열 효과를 극대화 시킬 수 있다.The heat dissipation effect of the heat dissipation semiconductor device package and the method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention can be maximized by using a heat dissipation tape that partially surrounds the semiconductor device.

본 발명의 일 실시예에 따른 방열 반도체 소자 패키지 및 그 제조 방법은 반도체 소자를 일부 감싸는 방열 테이프를 사용하여 제조비용을 절감시킬 수 있다.The heat dissipation semiconductor device package and the manufacturing method thereof according to the embodiment of the present invention can reduce the manufacturing cost by using the heat dissipation tape that partially surrounds the semiconductor device.

본 발명의 일 실시예에 따른 방열 반도체 소자 패키지 및 그 제조 방법은 반도체 소자를 일부 감싸는 방열 테이프를 사용하여 회로의 안정성을 보장할 수 있다.
The heat dissipation semiconductor device package and the method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention can ensure the stability of the circuit by using the heat dissipation tape that partially surrounds the semiconductor device.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 방열 반도체 소자 패키지를 설명하는 측면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 방열 반도체 소자 패키지를 설명하는 측면도이다.
도 3은 도 1에 있는 방열 반도체 소자 패키지를 제조하는 과정을 설명하는 일실시예이다.
도 4는 도 1에 있는 방열 반도체 소자 패키지를 제조하는 과정을 설명하는 다른 일 실시예이다.
도 5는 도 1에 있는 방열 반도체 소자 패키지 제조하는 과정을 설명하는 순서도이다.
1 is a side view illustrating a heat-dissipating semiconductor device package according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view illustrating a heat dissipation semiconductor device package according to another embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a view illustrating a process of manufacturing the heat dissipation semiconductor device package shown in FIG.
FIG. 4 is another embodiment for explaining the process of manufacturing the heat dissipation semiconductor device package shown in FIG.
5 is a flow chart for explaining the process of manufacturing the heat dissipation semiconductor device package shown in Fig.

본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.The description of the present invention is merely an example for structural or functional explanation, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described in the text. That is, the embodiments are to be construed as being variously embodied and having various forms, so that the scope of the present invention should be understood to include equivalents capable of realizing technical ideas. Also, the purpose or effect of the present invention should not be construed as limiting the scope of the present invention, since it does not mean that a specific embodiment should include all or only such effect.

한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.Meanwhile, the meaning of the terms described in the present application should be understood as follows.

"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms "first "," second ", and the like are intended to distinguish one element from another, and the scope of the right should not be limited by these terms. For example, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

“및/또는”의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, “제1 항목, 제2 항목 및/또는 제3 항목”의 의미는 제1, 제2 또는 제3 항목뿐만 아니라 제1, 제2 또는 제3 항목들 중 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.It should be understood that the term " and / or " includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of " first item, second item and / or third item " may be presented from two or more of the first, second or third items as well as the first, second or third item It means a combination of all the items that can be.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" to another element, it may be directly connected to the other element, but there may be other elements in between. On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. On the other hand, other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다"또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the singular " include "or" have "are to be construed as including a stated feature, number, step, operation, component, It is to be understood that the combination is intended to specify that it does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
All terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs, unless otherwise defined. Commonly used predefined terms should be interpreted to be consistent with the meanings in the context of the related art and can not be interpreted as having ideal or overly formal meaning unless explicitly defined in the present application.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 방열 반도체 소자 패키지를 설명하는 측면도이다.1 is a side view illustrating a heat-dissipating semiconductor device package according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 방열 반도체 소자 패키지(100)는 베이스부(110) 및 방열 반도체부(120)을 포함한다. 베이스부(110)는 필름(111), 전극 패턴(112), 솔더 레지스트(Solder Resist, 113)을 포함하고, 방열 반도체부(120)는 방열 테이프(121), 복수의 범프들(Bump, 122) 및 반도체 소자(123)를 포함한다. Referring to FIG. 1, a heat dissipation semiconductor device package 100 includes a base 110 and a heat dissipation semiconductor part 120. The base unit 110 includes a film 111, an electrode pattern 112 and a solder resist 113. The heat dissipation semiconductor unit 120 includes a heat dissipation tape 121, a plurality of bumps 122 And a semiconductor element 123, as shown in FIG.

필름(111)은 반도체를 집적시키기 위한 베이스에 해당할 수 있고, 예를 들어, COF(Chip on Flexible Printed Circuit), TCP(Tape Carrier Package), COB(Chip on Board)에 사용되는 패키지 필름에 해당할 수 있다. 필름(111)의 일측은 패널 ACF(Anisotropic Conductive Film) 단자(미도시)와 연결되고, 타측은 영상 장치 보드(미도시)와 연결된다. 즉, 반도체 소자(123)와 패널 ACF(Anisotropic Conductive Film) 단자(미도시) 및 영상 장치 보드(미도시)는 필름(111) 상에서 전극 패턴(112)을 통하여 전기적으로 연결될 수 있다.The film 111 may correspond to a base for integrating a semiconductor and may be a package film used for a chip on flexible printed circuit (COF), a tape carrier package (TCP), or a chip on board (COB), for example. can do. One side of the film 111 is connected to a panel ACF (Anisotropic Conductive Film) terminal (not shown), and the other side is connected to a video device board (not shown). That is, the semiconductor device 123, the panel ACF (Anisotropic Conductive Film) terminal (not shown), and the imaging device board (not shown) may be electrically connected through the electrode pattern 112 on the film 111.

전극 패턴(112)은 반도체 소자(123)의 신호 선에 대응되게 필름(111) 상에 전도성 물질을 증착하여 형성될 수 있다. 따라서, 전도성 물질로 형성된 전극 패턴(112)은 복수의 범프들(122)을 통하여 반도체 소자(123)와 전기적으로 연결되어 반도체 소자(123)에 의한 신호의 전송을 지원한다. 일 실시예에서, 전극 패턴(112)은 더미 패턴을 포함할 수 있다. 여기에서, 더미 패턴은 전기적 신호선이 연결되지 않은 패턴에 해당하고, 이는 필요에 따라 전기적 신호선과 연결될 수 있다.The electrode pattern 112 may be formed by depositing a conductive material on the film 111 corresponding to the signal line of the semiconductor element 123. The electrode pattern 112 formed of a conductive material is electrically connected to the semiconductor element 123 through the plurality of bumps 122 to support the transmission of the signal by the semiconductor element 123. [ In one embodiment, the electrode pattern 112 may comprise a dummy pattern. Here, the dummy pattern corresponds to a pattern in which the electric signal line is not connected, and this can be connected to the electric signal line as required.

솔더 레지스트(Solder Resist, 113)는 증착된 전극 패턴(112) 중 일부를 제거하여 생성된 반도체 소자 수용 영역을 중심으로 전극 패턴(112) 상에 패터닝(Patterning)된다. 즉, 솔더 레지스트(113)는 전극 패턴(112) 상에 패터닝 되어 전도성 물질로 형성된 전극 패턴(112)을 보호하고, 반도체 소자(123)와 기타 부품들 사이를 전기적으로 절연시킬 수 있다. 여기에서, 전극 패턴(112)의 제거는 포토를 이용한 식각(Etching) 공정을 통하여 이루어 질 수 있다.The solder resist 113 is patterned on the electrode pattern 112 around the semiconductor element accommodating region generated by removing a part of the deposited electrode patterns 112. That is, the solder resist 113 is patterned on the electrode pattern 112 to protect the electrode pattern 112 formed of a conductive material, and electrically isolate the semiconductor element 123 from other parts. Here, the removal of the electrode pattern 112 may be performed through an etching process using a photo.

일 실시예에서, 솔더 레지스트(113)는 식각 공정에 의해 일부 제거되어 전극 패턴(112)의 일부를 노출 시킬 수 있다. 노출된 전극 패턴(112)은 방열 테이프(121)와 직접 접촉되어 방열 효과를 증가시킬 수 있고 전극 패턴(112)은 방열 테이프(121)에 의해 전기적으로 절연되는 효과를 가질 수 있다.In one embodiment, the solder resist 113 may be partially removed by an etching process to expose a portion of the electrode pattern 112. The exposed electrode pattern 112 may be in direct contact with the heat radiation tape 121 to increase the heat radiation effect and the electrode pattern 112 may have the effect of being electrically insulated by the heat radiation tape 121. [

방열 테이프(121)는 솔더 레지스트(113)를 감싸도록 필름(111) 상에 부착된다. 방열 테이프(121)는 열전도도가 높은 물질을 사용함으로써, 방열 효과를 극대화 시킬 수 있다. 방열 테이프(121)의 두께는 반도체 공정에 따라 다르게 형성될 수 있다.The heat dissipation tape 121 is attached on the film 111 so as to surround the solder resist 113. The heat radiation tape 121 can maximize the heat dissipation effect by using a material having high thermal conductivity. The thickness of the heat radiation tape 121 may be formed differently depending on the semiconductor process.

또한, 방열 테이프(121)는 절연성 물질을 포함하며, 전극 패턴(112) 상에 부착되어 노출된 전극 패턴(112)과 직접 접촉됨으로써 전극 패턴(112)을 전기적으로 절연시킬 수 있다.The heat dissipation tape 121 includes an insulating material and can be electrically insulated from the electrode pattern 112 by directly contacting the exposed electrode pattern 112 on the electrode pattern 112.

일 실시예에서, 방열 테이프(121)는 복수의 범프들(122)과 반도체 소자(123)을 절연시키지 않도록 미리 설정된 복수의 범프들(122)의 위치를 반영한 홀(미도시)을 포함할 수 있다.The heat dissipation tape 121 may include a hole (not shown) that reflects the position of a plurality of bumps 122 previously set so as not to insulate the plurality of bumps 122 from the semiconductor device 123 have.

복수의 범프들(Bump, 122)은 반도체 소자(123)과 직접적으로 연결되어 전극 패턴(112)을 전기적으로 연결시킬 수 있다.The plurality of bumps 122 may be directly connected to the semiconductor device 123 to electrically connect the electrode patterns 112.

복수의 범프들(122)의 상측은 반도체 소자(123)와 연결되고, 하측은 솔더 레지스트(113) 내부를 제거하여 전극 패턴(112)을 노출시키고 노출된 전극 패턴(112)에 본딩하여 연결될 수 있다.The upper side of the plurality of bumps 122 is connected to the semiconductor element 123 and the lower side of the solder resist 113 is removed to expose the electrode patterns 112 and bond them to the exposed electrode patterns 112 have.

복수의 범프들(122)은 필름(111) 상에 증착된 전극 패턴(112)마다 각각 형성되어, 반도체 소자(123)로부터의 신호들의 소실 없이 전극 패턴(112)과 전기적으로 연결 시킬 수 있다. 또한, 복수의 범프들(122)은 필요한 경우 더미 패턴 상에도 형성되어 반도체 소자(123)와 전기적으로 연결 시킬 수 있다.The plurality of bumps 122 may be formed for each electrode pattern 112 deposited on the film 111 and may be electrically connected to the electrode pattern 112 without loss of signals from the semiconductor device 123. The plurality of bumps 122 may also be formed on the dummy pattern and electrically connected to the semiconductor device 123 if necessary.

반도체 소자(123)는 복수의 범프들(122)과 결합되어 복수의 범프들(122)을 통해 전극 패턴(112)과 전기적으로 연결 될 수 있다. 반도체 소자(123)는 디스플레이 장치에 사용되는 게이트 드라이버(즉, 데이터 소스)에 해당할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
The semiconductor device 123 may be coupled with the plurality of bumps 122 to be electrically connected to the electrode pattern 112 through the plurality of bumps 122. The semiconductor device 123 may correspond to a gate driver (i.e., a data source) used in a display device, but is not limited thereto.

도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 방열 반도체 소자 패키지를 설명하는 측면도이다.2 is a side view illustrating a heat dissipation semiconductor device package according to another embodiment of the present invention.

방열 반도체 패키지(100)는 방열 수지(210)를 더 포함한다.The heat dissipation semiconductor package 100 further includes a heat dissipation resin 210.

방열 수지(210)는 방열 반도체부(120) 상부에 방열 반도체부(120) 와 베이스부(110)의 적어도 일부를 감싸도록 방열 수지(210)를 채울 수 있다. 즉, 방열 테이프(121) 상부 및 반도체 소자(123)를 감싸도록 채워져 방열 효과를 증대시킨다. 일 실시예에서, 방열 수지(210)는 실리콘(silicon) 계열, 에폭시(epoxy) 계열 및 우레탄(urethane) 계열 중 적어도 하나와 알루미나를 포함할 수 있다. 여기서, 알루미나는 절연성을 높이기 위한 충진제로 사용될 수 있다. 또한, 알루미나는 질화 알루미늄(Aluminum Nitride), 질화 붕소(Boron Nitride), 카본 나이트라이드(Carbon Nitride) 실리콘 카바이드(Silicon Carbide), 산화 마그네슘(Magnesium oxide) 및 그라핀(Graphene) 중 하나로 대체되어 사용될 수 있다. 일 실시예에서, 실리콘(silicon) 계열, 에폭시(epoxy) 계열 및 우레탄(urethane) 계열 중 적어도 하나의 비율은 15% ~ 35%에 해당하고, 알루미나의 비율은 65% ~ 85%에 해당할 수 있다. 방열 수지(210)는 디스팬싱(dispensing) 또는 스퀴지 프린팅(squeegee printing) 방식으로 도포된다. 여기에서, 디스팬싱(dispensing) 방식은 방열 수지(210)를 반도체 소자(160)의 하부에 노즐을 이용하여 방열 수지(210)를 분사시키는 방법이고, 스퀴지 프린팅(squeegee printing) 방식은 방열 수지(210)가 반도체 소자(123)의 하부로 흘러 들어갈 수 있도록 밀대 등을 이용하여 문지르는 방식이다.The heat dissipation resin 210 may fill the heat dissipation semiconductor part 120 and the heat dissipation resin 210 to cover at least a part of the base part 110 on the heat dissipation semiconductor part 120. That is, it is filled to cover the upper surface of the heat dissipation tape 121 and the semiconductor device 123, thereby increasing the heat radiation effect. In one embodiment, the heat dissipation resin 210 may include at least one of silicon, epoxy, and urethane series and alumina. Here, alumina can be used as a filler for increasing the insulating property. Also, alumina can be used by replacing one of Aluminum Nitride, Boron Nitride, Carbon Nitride Silicon Carbide, Magnesium Oxide and Graphene. have. In one embodiment, the proportion of at least one of the silicon, epoxy, and urethane series corresponds to 15% to 35%, and the ratio of alumina may correspond to 65% to 85% have. The heat dissipation resin 210 is applied by dispensing or squeegee printing. The dispensing method is a method of spraying the heat dissipation resin 210 using a nozzle on the lower side of the semiconductor element 160 of the heat dissipation resin 210. The squeegee printing method is a method of spraying the heat dissipation resin 210 210 to the bottom of the semiconductor device 123 by using a plunger or the like.

일정 점도의 방열 수지(210)가 사용되어 반도체 소자 패키지를 형성할 수 있다. 즉, 방열 수지(210)가 반도체 소자(123)의 하부로 흘러 적어도 반도체 소자(123)의 일부를 감싸도록 채울 수 있다. 일 실시예에서, 방열 수지(210)는 복수의 범프들(122)과 반도체 소자(123)가 결합된 후에 분사되어 반도체 소자(123) 전체를 감쌀 수 있다. 이 경우, 방열 수지(210)는 반도체 소자(123) 전체로부터 발생되는 열을 빠르게 제거할 수 있어 방열 효과를 증대시킬 수 있다.The heat dissipation resin 210 having a predetermined viscosity can be used to form the semiconductor device package. That is, the heat dissipation resin 210 may flow to the lower portion of the semiconductor element 123 and fill at least a part of the semiconductor element 123. In one embodiment, the heat dissipation resin 210 may be sprayed after the plurality of bumps 122 and the semiconductor element 123 are coupled to cover the entire semiconductor element 123. In this case, the heat dissipation resin 210 can rapidly remove the heat generated from the entire semiconductor device 123, thereby increasing the heat dissipation effect.

방열 수지(210)는 도포된 후에 큐어링(curing)이 수행된다. 여기서, 큐어링이란, 액상의 방열 수지를 경화시키는 공정에 해당할 수 있다. 큐어링은 프리-큐어(Pre-cure)와 포스트-큐어(Post- cure)로 구분될 수 있다. The heat dissipation resin 210 is cured after being applied. Here, the curing may correspond to the step of curing the liquid heat-dissipating resin. Curing can be divided into Pre-cure and Post-cure.

프리 큐어는 도포된 방열 수지(210)의 경화를 지원하는 단계로서, 방열 수지(210)의 접착력을 유지시키기 위한 공정이다. 또한, 포스트-큐어는 도포된 방열 수지(210)가 패키징 되기 적합하도록 굳히는 단계이다. 방열 수지(210)의 프리-큐어 와 포스트-큐어 공정은 상온, 오븐 또는 자외선 큐어링(UV Curing)에 의해 진행될 수 있다. The pre-cure is a step for supporting the curing of the applied heat dissipation resin 210, and is a process for maintaining the adhesive force of the heat dissipation resin 210. In addition, the post-cure is a step in which the applied heat dissipation resin 210 is hardened to be suitable for packaging. The pre-cure and post-cure processes of the heat dissipation resin 210 can be performed at room temperature, oven or ultraviolet curing.

일 실시예에서, 방열 수지(210)의 점도를 기준으로 프리-큐어와 포스트-큐어의 온도는 125℃ ~ 170℃가 가장 적합하며, 프리-큐어 시간은 5분 ~ 20분 포스트-큐어 시간은 1시간 ~ 2시간 30분이 가장 적합하다.
In one embodiment, the temperature of the pre-cure and the post-cure is most preferably 125 ° C to 170 ° C based on the viscosity of the heat radiation resin 210, and the pre-cure time is 5 minutes to 20 minutes. 1 hour to 2 hours and 30 minutes is the best.

도 3은 도 1에 있는 방열 반도체 소자 패키지를 제조하는 과정을 설명하는 일실시예이다.FIG. 3 is a view illustrating a process of manufacturing the heat dissipation semiconductor device package shown in FIG.

도 3(a)에서, 필름(111) 상에 전극 패턴(112)과 솔더 레지스트(113)가 순차적으로 형성되어 베이스부(110)가 형성되고, 반도체 수용 영역(310)은 순차적으로 형성된 솔더 레지스트(113)의 일부를 제거하여 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 솔더 레지스트(113)가 일부 제거되어 전극 패턴(112)이 노출 될 수 있다. 상기 노출된 전극 패턴(112)은 이후 공정에서 반도체부(120)의 복수의 범프들(122)과 접촉하기 위한 부분이다. 일 실시예에서, 방열 테이프(121)는 솔더 레지스트(113) 및 일부 노출된 전극 패턴(112)을 모두 감쌀 수 있는 사이즈로 형성될 수 있다.3 (a), an electrode pattern 112 and a solder resist 113 are sequentially formed on a film 111 to form a base portion 110. The semiconductor containing region 310 is formed by successively forming a solder resist (Not shown). In one embodiment, the solder resist 113 may be partially removed and the electrode pattern 112 exposed. The exposed electrode pattern 112 is a portion for contacting the plurality of bumps 122 of the semiconductor unit 120 in a subsequent process. In one embodiment, the heat radiation tape 121 may be formed in a size that can cover both the solder resist 113 and the partially exposed electrode patterns 112.

도 3(b)에서, 반도체 소자(123)는 그 하부에 복수의 범프들(122)을 연결시킨다. 여기에서, 복수의 범프들(122)이 형성되는 위치는 반도체 소자(123)의 신호들이 입, 출력되는 부분과 일치되게 형성되어 반도체 소자(12)와 복수의 범프들(122) 각각을 전기적으로 연결시킬 수 있다.3 (b), the semiconductor element 123 connects a plurality of bumps 122 to the lower portion thereof. The positions where the plurality of bumps 122 are formed are formed to coincide with the input and output portions of the signals of the semiconductor element 123 to electrically connect the semiconductor element 12 and the plurality of bumps 122 to each other Can be connected.

또한, 방열 테이프(121)는 펀칭에 의해 반도체 소자(123) 및 복수의 범프들(122)이 접촉되도록 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 방열 테이프(121)는 펀칭에 의해 복수의 범프들(122)과 반도체 소자(123)을 절연시키지 않도록 미리 설정된 복수의 범프들(122)의 위치 및 반도체 소자(123)의 위치를 반영한 홀(미도시)이 형성될 수 있다.The heat dissipation tape 121 may be formed such that the semiconductor device 123 and the plurality of bumps 122 are brought into contact with each other by punching. In one embodiment, the heat radiation tape 121 is formed by punching the positions of a plurality of bumps 122 previously set so as not to insulate the plurality of bumps 122 from the semiconductor element 123 and the position of the semiconductor element 123 (Not shown) may be formed.

펀칭된 방열 테이프(121) 상에 반도체 소자(123) 및 복수의 범프들(122)을 접착시켜 방열 반도체 부(120)를 형성한다.The semiconductor element 123 and the plurality of bumps 122 are bonded to the punched heat dissipation tape 121 to form the heat dissipation semiconductor part 120. [

도 3(c)에서, 각각 형성된 베이스부(110)와 방열 반도체부(120)가 결합되어 방열 반도체 소자 패키지(100)를 형성한다. 즉, 베이스부(110)에서 노출된 전극 패턴(112)과 방열 반도체부(120)의 복수의 범프들(122)이 본딩 장비의 열에 의해 서로 접착하게 된다.
In FIG. 3 (c), the base 110 and the heat dissipation semiconductor part 120 are combined to form the heat dissipation semiconductor device package 100. That is, the electrode patterns 112 exposed at the base 110 and the plurality of bumps 122 of the heat-dissipating semiconductor part 120 are bonded to each other by the heat of the bonding equipment.

도 4는 도 1에 있는 방열 반도체 소자 패키지를 제조하는 과정을 설명하는 다른 일 실시예이다.FIG. 4 is another embodiment for explaining the process of manufacturing the heat dissipation semiconductor device package shown in FIG.

도 4(a)에서, 필름(111) 상에 전극 패턴(112)과 솔더 레지스트(113)가 순차적으로 형성되어 베이스부(110)가 형성된다. 여기서, 반도체 수용 영역(310)은 순차적으로 형성된 솔더 레지스트(113)의 일부를 제거하여 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 솔더 레지스트(113)가 일부 제거되어 전극 패턴(112)이 노출 될 수 있다. 상기 노출된 전극 패턴(112)은 이후 공정에서 반도체부(120)의 복수의 범프들(122)과 접촉하기 위한 부분이다.일 실시예에서, 방열 테이프(121)는 솔더 레지스트(113) 및 일부 노출된 전극 패턴(112)을 모두 감쌀 수 있는 사이즈로 형성될 수 있다.4 (a), an electrode pattern 112 and a solder resist 113 are sequentially formed on a film 111 to form a base portion 110. Here, the semiconductor containing region 310 may be formed by removing a part of the solder resist 113 sequentially formed. In one embodiment, the solder resist 113 may be partially removed and the electrode pattern 112 exposed. The exposed electrode pattern 112 is a portion for contacting the plurality of bumps 122 of the semiconductor portion 120 in a subsequent process. In one embodiment, the heat radiation tape 121 is a solder resist 113, And may be formed in a size that can cover all of the exposed electrode patterns 112.

상기 베이부(110) 상부에 방열 테이프(121)가 접촉되도록 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 방열 테이프(121)는 펀칭에 의해 복수의 범프들(122)과 반도체 소자(123)을 절연시키지 않도록 미리 설정된 복수의 범프들(122)의 위치를 반영한 홀(미도시)이 형성될 수 있다.The heat dissipation tape 121 may be formed to contact the upper portion of the bay portion 110. In one embodiment, the heat dissipation tape 121 has holes (not shown) reflecting the positions of a plurality of predetermined bumps 122 so as not to insulate the plurality of bumps 122 and the semiconductor devices 123 by punching .

도 4(b)에서, 반도체 소자(123)는 그 하부에 복수의 범프들(122)을 연결시킨다. 여기에서, 복수의 범프들(122)이 형성되는 위치는 반도체 소자(123)의 신호들이 입, 출력되는 부분과 일치되게 형성되어 반도체 소자(12)와 복수의 범프들(122) 각각을 전기적으로 연결시킬 수 있다.4 (b), the semiconductor element 123 connects the plurality of bumps 122 to the lower portion thereof. The positions where the plurality of bumps 122 are formed are formed to coincide with the input and output portions of the signals of the semiconductor element 123 to electrically connect the semiconductor element 12 and the plurality of bumps 122 to each other Can be connected.

도 4(c)에서, 먼저 형성된 베이스부(110)와 방열 테이프(121) 상에 복수의 범프들(122)이 결합된 반도체 소자(123)이 결합되어 방열 반도체 소자 패키지(100)를 형성한다. 즉, 베이스부(110)에서 노출된 전극 패턴(112)과 방열 반도체부(120)의 복수의 범프들(122)이 본딩 장비의 열에 의해 서로 접착하게 된다.
4 (c), a semiconductor element 123 having a plurality of bumps 122 coupled to a base portion 110 and a heat dissipation tape 121 formed in advance is coupled to form a heat dissipation semiconductor device package 100 . That is, the electrode patterns 112 exposed at the base 110 and the plurality of bumps 122 of the heat-dissipating semiconductor part 120 are bonded to each other by the heat of the bonding equipment.

도 5는 도 1에 있는 방열 반도체 소자 패키지를 제조하는 과정을 설명하는 순서도이다.5 is a flowchart illustrating a process of manufacturing the heat dissipation semiconductor device package shown in FIG.

도 5를 참조하면, 반도체 소자(123) 하부에 복수의 범프들(122)을 연결한다(단계 S501). Referring to FIG. 5, a plurality of bumps 122 are connected to a lower portion of the semiconductor device 123 (step S501).

반도체 소자(123) 및 복수의 범프들(122)을 방열 테이프(121)에 접착시켜 방열 반도체부(120)를 형성한다(단계 S502). 여기에서, 방열 테이프(121)는 열전도도가 높은 물질로 구성되어 반도체 소자(123)로부터 발생되는 열을 제거할 수 있고, 방열 테이프(121)는 절연성 물질을 포함하여 외부로 노출된 전극 패턴(112)과 직접 접촉됨으로써 전극 패턴(112)을 전기적으로 절연 시킬 수 있다.The semiconductor device 123 and the plurality of bumps 122 are adhered to the heat dissipation tape 121 to form the heat dissipation semiconductor part 120 (step S502). The heat dissipation tape 121 is made of a material having high thermal conductivity and can remove heat generated from the semiconductor device 123. The heat dissipation tape 121 includes an insulating material, The electrode pattern 112 can be electrically isolated from the electrode pattern 112 directly.

필름(110)의 양 상부에 전극 패턴(112)이 형성되고, 전극 패턴(112)의 상부에 전극 패턴(112)을 감싸도록 솔더 레지스트(113)를 포함하는 베이스부(110)를 형성한다(단계 S503). 여기에서, 전극 패턴(120)의 제거는 포토를 이용한 식각(Etching) 공정을 통하여 이루어질 수 있다. 포토를 이용한 식각(Photo Etching) 공정은 평판형의 동박이나 산화 피막의 전면에 감광 수지를 칠한 다음 네거티브 도형의 마스크를 통해 자외선을 조사하여 감광하지 않은 부분의 수지를 약품으로 제거하는 공정을 의미한다. 여기서 구멍이 뚫린 부분의 바탕은 다른 약품으로 녹여 없앰으로써 패턴의 선택적으로 제거될 수 있다.An electrode pattern 112 is formed on both sides of the film 110 and a base 110 including a solder resist 113 is formed to cover the electrode pattern 112 on the electrode pattern 112 Step S503). Here, the removal of the electrode pattern 120 may be performed through an etching process using a photo. Photo Etching process refers to a process of applying a photosensitive resin to the entire surface of a flat-type copper foil or oxide film and then irradiating ultraviolet rays through a negative-shaped mask to remove the resin of the uninspected portion with a chemical . Here, the background of the perforated portion can be selectively removed by dissolving away with other chemicals.

솔더 레지스트(Solder Resist, 113)는 증착된 전극 패턴(112) 중 일부를 제거하여 생성된 반도체 소자 수용 영역(310)을 중심으로 전극 패턴(112) 상에 패터닝될 수 있다. 즉, 솔더 레지스트(113)는 전극 패턴(112) 상에 패터닝 되어 전도성 물질로 형성된 전극 패턴(112)을 보호하고, 반도체 소자(123)를 다른 부품들로부터 전기적으로 절연시킬 수 있다.The solder resist 113 may be patterned on the electrode pattern 112 around the semiconductor element accommodating region 310 generated by removing a part of the deposited electrode patterns 112. That is, the solder resist 113 is patterned on the electrode pattern 112 to protect the electrode pattern 112 formed of the conductive material and electrically isolate the semiconductor element 123 from other parts.

상기 베이스부(110)와 상기 방열 반도체부(120)의 하부와 접착시킨다 (단계 S504). 여기서 베이스부(110)의 노출된 전극 패턴(112) 상부와 방열 반도체부(120)의 복수의 범퍼들(122)과 본딩 장비의 열에 의해 서로 결합 된다.The base 110 and the bottom of the heat-dissipating semiconductor part 120 are bonded together (step S504). Here, the upper portion of the exposed electrode pattern 112 of the base portion 110 and the plurality of bumpers 122 of the heat dissipation semiconductor portion 120 are coupled to each other by the heat of the bonding equipment.

방열 반도체부(120) 상에 반도체 소자와 베이스부(110)의 적어도 일부를 감싸도록 방열 수지를 더 채울 수 있다(단계 S505). 여기에서, 방열 수지(210)는 실리콘(silicon), 에폭시(epoxy) 및 우레탄(urethane) 계열 중 적어도 하나와 알루미나를 포함할 수 있고, 실리콘(silicon), 에폭시(epoxy) 및 우레탄(urethane) 계열 중 적어도 하나의 비율은 15% ~ 35%에 해당하고, 상기 알루미나의 비율은 65% ~ 85%에 해당할 수 있다.The heat dissipation semiconductor part 120 may be further filled with a heat dissipation resin to cover at least a part of the semiconductor element and the base part 110 (step S505). The heat dissipation resin 210 may include at least one of silicon, epoxy and urethane and alumina. The heat dissipation resin 210 may include silicon, epoxy, and urethane At least one of them corresponds to 15% to 35%, and the ratio of the alumina may correspond to 65% to 85%.

방열 수지(210)는 큐어링 단계에 의해 방열 수지를 큐어링한다(단계 S506). 일 실시예에서, 큐어링은 125℃ ~ 170℃ 온도 범위에서 수행될 수 있다.
The heat dissipation resin 210 cures the heat dissipation resin by the curing step (step S506). In one embodiment, the curing may be performed at a temperature range of 125 캜 to 170 캜.

상기에서는 본 출원의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the following claims It can be understood that

100: 방열 반도체 소자 패키지
110 : 베이스부
111 : 필름 112 : 전극 패턴
113 : 솔더 레지스트(solder resist)
120 : 방열 반도체부
121 : 방열 테이프
122 : 복수의 범프(bump)들 123 : 반도체 소자
210 : 방열 수지
310 : 반도체 수용 영역
100: heat dissipation semiconductor device package
110: Base portion
111: Film 112: Electrode pattern
113: solder resist
120: heat dissipation semiconductor part
121: heat-radiating tape
122: a plurality of bumps 123: a semiconductor element
210: heat dissipation resin
310: Semiconductor receiving area

Claims (13)

필름, 상기 필름의 양 상부에 형성된 전극 패턴 및 상기 전극 패턴의 상부에 상기 전극 패턴을 감싸도록 형성된 솔더 레지스트를 포함하는 베이스부; 및
반도체 소자, 상기 반도체 소자의 하부에 형성되는 복수의 범프들 및 반도체 소자의 하부 및 상기 복수의 범프들의 적어도 일부를 감싸도록 형성된 방열 테이프를 포함하는 방열 반도체부를 포함하는 방열 반도체 소자 패키지.
A base, a film, an electrode pattern formed on upper portions of the film, and a solder resist formed on the electrode pattern to surround the electrode pattern. And
And a heat dissipation semiconductor portion including a semiconductor element, a plurality of bumps formed at a lower portion of the semiconductor element, a lower portion of the semiconductor element, and a heat radiation tape formed to surround at least a part of the plurality of bumps.
제1항에 있어서, 상기 베이스부 상에 상기 방열 반도체부가 수용될 수 있는 반도체 수용영역을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지.
The heat-dissipating semiconductor device package according to claim 1, further comprising a semiconductor accommodating region on which the heat-dissipating semiconductor portion can be housed.
제1항에 있어서, 상기 방열 테이프는
상기 복수의 범프들의 적어도 일부를 감싸도록 펀칭에 의해 홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지.
The heat sink according to claim 1, wherein the heat radiating tape
And a hole is formed by punching so as to surround at least a part of the plurality of bumps.
제1항에 있어서, 상기 방열 테이프는
상기 전극 패턴과 직접 접촉되어 상기 전극 패턴을 전기적으로 절연시키는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지.
The heat sink according to claim 1, wherein the heat radiating tape
Wherein the electrode pattern is in direct contact with the electrode pattern to electrically insulate the electrode pattern.
제1항에 있어서,
상기 방열 반도체부와 상기 베이스부의 일부를 감싸는 방열 수지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지.
The method according to claim 1,
And a heat dissipation resin surrounding the heat dissipation semiconductor part and a part of the base part.
제5항에 있어서, 상기 방열 수지는
실리콘(silicon), 에폭시(epoxy) 및 우레탄(urethane) 계열 중 적어도 하나와 알루미나를 포함하는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지.
The heat sink according to claim 5, wherein the heat dissipation resin
Wherein at least one of silicon, epoxy, and urethane series and alumina is contained.
제6항에 있어서, 상기 실리콘(silicon), 에폭시(epoxy) 및 우레탄(urethane) 계열 중 적어도 하나의 비율은
15% ~ 35%에 해당하고, 상기 알루미나의 비율은 65% ~ 85%에 해당하는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지.
The method of claim 6, wherein the ratio of at least one of the silicon, epoxy, and urethane series is
Wherein the amount of the alumina corresponds to 15% to 35%, and the ratio of the alumina corresponds to 65% to 85%.
제7항에 있어서, 상기 방열 수지는
디스팬싱(dispensing) 또는 스퀴지 프린팅(squeegee printing) 방식으로 도포되는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지.
The heat sink according to claim 7, wherein the heat dissipation resin
Wherein the heat dissipation layer is applied by dispensing or squeegee printing.
반도체 소자 하부에 복수의 범프들을 형성하는 단계;
결합된 상기 반도체 소자 및 상기 복수의 범프들을 방열 테이프에 접착시켜 방열 반도체부를 형성하는 단계; 및
필름, 전극 패턴 및 솔더 레지스트를 포함하는 베이스부를 형성하여 방열 반도체부의 하부와 접착시키는 단계를 포함하는 방열 반도체 패키지 제조 방법.
Forming a plurality of bumps under the semiconductor device;
Bonding the coupled semiconductor device and the plurality of bumps to the heat dissipation tape to form a heat dissipation semiconductor portion; And
Forming a base portion including a film, an electrode pattern, and a solder resist, and adhering the base portion to a lower portion of the heat dissipation semiconductor portion.
제9항에 있어서,
상기 방열 반도체부 상에 상기 반도체 소자와 상기 베이스부의 적어도 일부를 감싸도록 방열 수지를 채우는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지 제조방법.
10. The method of claim 9,
Further comprising the step of filling the heat dissipation semiconductor part with a heat dissipation resin so as to surround at least a part of the semiconductor element and the base part.
제10항에 있어서,
상기 방열 수지를 큐어링 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지 제조 방법.
11. The method of claim 10,
Further comprising the step of curing the heat-dissipating resin.
제11항에 있어서, 상기 큐어링은
125℃ ~ 170℃ 온도 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방열 반도체 소자 패키지 제조 방법.
12. The method of claim 11, wherein the curing comprises:
Lt; RTI ID = 0.0 > 125 C < / RTI > to < RTI ID = 0.0 > 170 C. < / RTI >
반도체 소자 하부에 복수의 범프들을 형성하는 단계;
필름, 전극 패턴 및 솔더 레지스트를 포함하는 베이스부를 형성하는 단계;
상기 베이스부 상부에 방열 테이프를 접착시키는 단계; 및
먼저 형성된 상기 베이스부와 방열 테이프 상부에 상기 반도체 소자 하부와 결합된 복수의 범프들을 접착시키는 단계를 포함하는 방열 반도체 패키지 제조 방법.
Forming a plurality of bumps under the semiconductor device;
Forming a base portion including a film, an electrode pattern, and a solder resist;
Bonding a heat radiation tape to an upper portion of the base portion; And
And bonding the plurality of bumps coupled to the lower portion of the semiconductor element to the upper portion of the base portion and the heat radiation tape.
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