KR20160080375A - Air knife unit of slit nozzle type - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
Description
본 발명은 분사된 에어가 이송 중인 액절대상체의 표면에 부딪힌 후 곧바로 배기(排氣)되는 구조를 갖는 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛에 관한 기술이다.
The present invention relates to a slit-nozzle-type air knife unit having a structure in which ejected air is discharged immediately after colliding with the surface of a liquid absolute body during transportation.
이송되는 기판 등의 물품을 향해 건조공기를 분사시켜 표면을 건조하기 위한 에어나이프 유닛에 관한 기술로는,BACKGROUND ART As a technique relating to an air knife unit for drying a surface by blowing dry air toward an article such as a substrate to be transported,
대한민국특허공개 제10-2012-0015068호(2012.02.21.공개, 이하 '선행기술'이라고 함) 『에어 나이프 장치』가 제시되어 있는바,Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2012-0015068 (hereinafter referred to as "prior art") discloses an air knife device,
상기 선행기술은 상부 에어나이프와, 상부 에어나이프와 일정 유격 유지하여 이격되게 설치되며 기판의 하면으로 건조공기를 분사하여 건조시키는 하부 에어나이프와, 상부 에어나이프를 하부 에어나이프에 대한 위치를 조정하여 유격을 조정하기 위한 유격 조절부를 포함하고, 상부 및 하부 에어나이프 각각에는 유격을 통과하는 기판으로 건조공기를 분사하는 복수의 에어노즐이 기판의 이송방향으로 복수 열 형성되며, 복수 열의 에어노즐들은 상기 기판 이송방향에 대해 일정 각도의 사선 방향으로 배치되도록 형성된 기술이긴 하나,The prior art includes an upper air knife, a lower air knife which is spaced apart from the upper air knife and spaced apart from the upper air knife to spray dry air to the lower surface of the substrate to dry the upper air knife, And a plurality of air nozzles for spraying dry air to the substrate passing through the clearance are formed in a plurality of rows in the transport direction of the substrate, Although it is a technique formed to be arranged in a diagonal direction at a certain angle with respect to the substrate transfer direction,
분사된 에어가 상부 및 하부 에어나이프 유격 사이에서 이송되어지는 기판과 부딪힌 후 곧바로 배기되지 못하고 정체됨에 따라 와류가 발생하여 기판이 돌돌 말리거나 찢기고 표면 스크래치 등의 손상이 발생할 수 있다.
As the jetted air collides with the substrate to be transported between the upper and lower air knife apertures and is not exhausted immediately and is stagnated, a vortex is generated and the substrate may be curled or torn, and surface scratches may be damaged.
본 발명은 분사된 에어가 이송 중인 액절대상체의 표면에 부딪힌 후 곧바로 배기될 수 있는 에어슬로프를 마련하고, 아울러 에어슬릿노즐의 출구 측 진입 단부(端部) 측에 진입가이드를 돌출 형성시켜 진입하는 액절대상체가 에어슬릿노즐 출구 구멍을 자연스럽게 타고 넘어가도록 안내할 수 있도록 한 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛을 제공하는데 그 목적이 있다.
The present invention provides an air slope capable of being exhausted immediately after the sprayed air hits the surface of the absolute liquid body being conveyed, and further has an entrance guide protruding from the exit end side of the air slit nozzle, And a slit nozzle type air knife unit capable of guiding the absolute upper body of the liquid slurry nozzle to ride over the air slit nozzle exit hole naturally.
상기와 같은 해결 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛은,According to an aspect of the present invention, there is provided an air knife unit of a slit nozzle type,
좌우 일정 길이를 갖는 바디;A body having a predetermined length;
상기 바디에 이의 길이방향을 따라 길게 상하 관통 형성되는 에어슬릿노즐;An air slit nozzle formed vertically through the body in a longitudinal direction thereof;
상기 바디의 전단부(前端部)에 상기 바디의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 돌출 형성되어 사이사이에 액절대상체 이송용 롤러들이 배치되기 위한 프론트공간부를 갖는 다수의 프론트가이드; 및A plurality of front guides protruding from the front end of the body at predetermined intervals along the longitudinal direction of the body and having a front space portion in which the rollers for transporting the absolute liquid body are disposed; And
상기 바디의 후단부(後端部)에 상기 바디의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 돌출 형성되어 사이사이에 액절대상체 이송용 롤러들이 배치되기 위한 리어공간부를 갖는 다수의 리어가이드;A plurality of rear guides protruding from the rear end of the body at predetermined intervals along the longitudinal direction of the body and having rear space portions for arranging the liquid absolute body conveying rollers therebetween;
를 포함하여 이루어지되,
, ≪ / RTI >
상기 프론트공간부 또는 상기 리어공간부, 또는 이들 모두에는 상방으로 경사진 에어슬로프가 형성되어 있어, 상기 에어슬릿노즐을 통해 토출되어 액절대상체에 분사된 에어의 배출이 용이하게 이루어지는 것을 특징으로 한다.
The front space portion or the rear space portion or both of them are formed with air slopes upwardly inclined so that the air discharged through the air slit nozzle and ejected to the liquid absolute body can be easily discharged .
본 발명에 따른 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛은,In the air knife unit of the slit nozzle type according to the present invention,
이송 중인 액절대상체를 향해 분사된 에어가 건조 기능을 다한 후에 바로 외부로 배기될 수 있도록 함으로서, 제품 불량률 및 자재 손실률을 대폭 줄일 수 있는 가장 큰 효과가 있다.It is most effective to greatly reduce the product defect rate and the material loss rate by allowing the air injected toward the absolute upper body during transportation to be exhausted to the outside immediately after completion of the drying function.
또 에어슬릿노즐의 출구 측 진입 단부(端部) 측에 진입가이드를 돌출 형성시켜 진입하는 액절대상체가 에어슬릿노즐 출구 구멍을 자연스럽게 타고 넘어가도록 유도함으로서, 액절대상체가 에어슬릿노즐 출구에 걸리어 찢기거나 돌돌 말리는 등의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
In addition, an entrance guide is protruded from the exit end side of the air slit nozzle to induce the entering absolute liquid body to naturally ride over the air slit nozzle exit hole, so that the liquid absolute body passes through the air slit nozzle exit It is possible to prevent damage such as rear tearing, curling, and the like.
도 1은 본 발명에 따른 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛을 나타낸 입체 구성도,
도 2는 도 1의 에어나이프 유닛에 에어공급부재가 포함된 단면 구성도,
도 3은 도 2를 다른 방향에서 바라본 단면 구성도,
도 4는 본 발명에 따른 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛에 대한 사용 상태 구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a three-dimensional view showing a slit nozzle type air knife unit according to the present invention,
Fig. 2 is a cross-sectional view of the air knife unit of Fig. 1 including an air supply member,
Fig. 3 is a cross-sectional view of Fig. 2 taken in the other direction,
FIG. 4 is a view showing the use state of the air knife unit of the slit nozzle type according to the present invention. FIG.
이하 첨부된 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately It should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined. Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and are not intended to represent all of the technical ideas of the present invention. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may be present.
도 2를 기준으로 프론트가이드 측을 전부(前部) 또는 전방, 리어가이드 측을 후부(後部) 또는 후방이라 방향을 특정하기로 한다.
2, the front guide side is referred to as a front portion or the front side, and the rear guide side is referred to as a rear portion or backward direction.
이하에서 설명될 '액절대상체'라 함은 롤러(2)들에 의해 이송되어지는 대상물품을 의미하고, 특히 본 발명에서는 약품 및 수세수 처리 후 건조(이물질 등의 제거 포함)가 요구되는 박형이나 초박형 인쇄회로기판(PCB)을 의미한다.
Hereinafter, the term "liquid absolute body" refers to a target article to be conveyed by the
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛은,1 to 4, a slit nozzle type air knife unit according to the present invention includes:
크게 바디(10), 에어슬릿노즐(20), 프론트가이드(30) 및 리어가이드(40)로 이루어진다.A
각 구성에 대해 살펴보면,
Looking at each configuration,
바디(10)는The
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이,As shown in Figs. 1 to 3,
좌우 일정 길이를 갖는 판형 플레이트 형상을 갖는 구조로 이루어진다.And has a plate-like plate shape having a constant length in the left-right direction.
이때 상기한 '좌우 일정 길이'라 함은 상기 프론트 및 리어 가이드(30, 40) 사이사이에 배치된 롤러(2)들에 의해 이송되어지는 액절대상체(1)의 폭에 상응하거나 이보다 큰 길이를 의미한다.
Here, the 'left-right constant length' refers to a length corresponding to the width of the liquid
그리고 상기 바디(10)는 이의 상면에서 상기 에어슬릿노즐(20)이 형성된 영역에 하방으로 움푹 들어간 리세스(recess)(11)가 형성되고,The
또 상기 바디(10)는 이의 상면에는 상기 리세스(11) 상부 가장자리를 따라 확장된 안착공간부(12)가 형성된다.The
상기 안착공간부(12)에는 다수의 볼트공이 형성되고, 이 볼트공들은 후술할 에어공급부재(50)의 메인프레임(51)을 관통하는 볼트들이 체결된다.
A plurality of bolt holes are formed in the
에어슬릿노즐(20)은The
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이,As shown in Figs. 1 and 2,
외부 에어를 액절대상체(1) 측으로 분사하기 위한 것으로,For jetting external air to the liquid
상기 바디(10)에 이의 길이방향을 따라 길게 상하 관통 형성되는 긴 구멍 구조로 이루어진다.And has an elongated hole structure formed in the
이때 상기 에어슬릿노즐(20)은 이송되는 액절대상체(1)의 폭에 상응하거나 이보다 큰 폭을 갖는 것이 바람직하다.
At this time, the
프론트가이드(30)는The front guide (30)
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이,As shown in Figs. 1 and 2,
상기 바디(10)의 전단부(前端部)에 상기 바디(10)의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 전방으로 돌출 형성되어 사이사이에 액절대상체(1) 이송용 롤러(2)들이 배치되기 위한 프론트공간부(31)를 갖도록 다수개가 구비된다.
The front and rear ends of the
여기서 상기 프론트공간부(31)는 롤러(2) 일부가 수용되며 롤러(2)의 회전 동작에 간섭되지 않을 정도의 공간면적을 갖는 것이 바람직하다.
The
그리고 상기 프론트가이드(30)는 이의 상면에 하방으로 경사진 프론트경사부(32)가 형성되어 있어, 이송되어지는 액절대상체(1)의 진입 및 진출이 용이하게 이루어질 수 있도록 한다.
The
리어가이드(40)는The
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이,As shown in Figs. 1 and 2,
상기 바디(10)의 후단부(後端部)에 상기 바디(10)의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 후방으로 돌출 형성되어 사이사이에 액절대상체(1) 이송용 롤러(2)들이 배치되기 위한 리어공간부(41)를 갖도록 다수개가 구비된다.The rear end of the
이때 상기 프론트 및 리어 가이드(30, 40) 각각은 상부에서 바라보았을 때 서로 동일선상에 배치됨에 따라 상기 프론트 및 리어 공간부(31, 41) 또한 서로 동일선상에 배치되어 상호 대응된다.
At this time, since the front and
그리고 여기서 상기 리어공간부(41)는 상기 프론트공간부(31)와 마찬가지로, 롤러(2) 일부가 수용되며 롤러(2)의 회전 동작에 간섭되지 않을 정도의 공간면적을 갖는 것이 바람직하다.
The
그리고 상기 리어가이드(40)는 이의 상면에 하방으로 경사진 리어경사부(42)가 형성되어 있어, 이송되어지는 액절대상체(1)의 진입 및 진출이 용이하게 이루어질 수 있도록 한다.
The
한편, 본 발명의 가장 큰 특징으로서,On the other hand, as a most significant feature of the present invention,
도 1 및 도 2에서와 같이, 상기 프론트공간부(31) 또는 상기 리어공간부(41), 또는 이들 모두에는 상방으로 경사진 에어슬로프(S)가 형성되되, 본 발명에서는 상기 프론트 및 리어 공간부(31, 41) 모두에 형성됨으로서,As shown in FIGS. 1 and 2, an air slope S inclined upward is formed in the
상기 에어슬릿노즐(20)을 통해 토출되어 액절대상체(1)에 분사된 에어의 배출이 용이하게 이루어진다.The air ejected through the
다시 말해, 상기 에어슬릿노즐(20)을 통해 토출된 에어가 액절대상체(1)에 부딪힌 후 상방으로 방향이 전환되고, 이때 상기 에어슬로프(S)를 타고 에어슬로프(S)와 롤러(2) 사이 틈새로 배출된다.In other words, the air discharged through the
따라서 상기 바디(10)와 액절대상체(1) 사이의 유격 공간 내에서 분사된 에어에 의해 발생하는 와류 현상, 즉 에어 배출이 용이하게 이루어지지 않아 에어가 정체되면서 발생하는 현상을 최소화함으로서, 분사된 에어에 의해 액절대상체(1)의 찢김이나 표면 스크래치 발생률을 대폭 낮출 수 있고, 아울러 액절대상체(1)가 돌돌 말리거나 접히게 되는 것을 사전에 방지하여 제품 불량률을 대폭 낮출 수 있다.
Therefore, a swirling phenomenon caused by the air injected in the clearance space between the
한편, 본 발명에 따른 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛은 진입가이드(60)를 더 포함하는데,Meanwhile, the slit nozzle type air knife unit according to the present invention further includes an
상기 진입가이드(60)는The entry guide (60)
도 1, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이,As shown in Figures 1, 2 and 4,
롤러(2)들에 의해 이송되어지는 액절대상체(1)가 상기 에어슬릿노즐(20) 측으로 최초 진입 시 상기 에어슬릿노즐(20)의 출구에 걸리게 되는 것을 방지하기 위한 것으로,The liquid
상기 바디(10)의 하면에서 상기 에어슬릿노즐(20) 출구 측 전후 단부(端部) 중 전단부가 후단부 보다 더 돌출되게 상기 바디(10)의 길이방향을 따라 형성되는 블록 구조로 이루어진다.A front end of the front end of the air slit
이때 상기 진입가이드(60)는 상기 각 프론트가이드(30)의 프론트경사부(32)를 이루는 면과 연이어 형성됨에 따라 이송되어지는 액절대상체(1)가 상기 각 프론트가이드(30)를 지나 상기 진입가이드(60)를 자연스럽게 타고 넘어가 상기 에어슬릿노즐(20)에 간섭받지 않고 통과하게 된다.
At this time, the
한편, 본 발명에 따른 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛은 에어공급부재(50)를 더 포함하는데,On the other hand, the air knife unit of the slit nozzle type according to the present invention further includes an
상기 에어공급부재(50)는The air supply member (50)
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이,As shown in Figures 2 and 3,
상기 에어슬릿노즐(20)로 에어를 공급하기 위한 것으로,For supplying air to the air slit
상기 바디(10)의 상면에서 상기 리세스(11)를 덮는 형태로 상기 안착공간부(12)에 안착되게 장착되고 다수의 유통홀(511)에 의해서 상기 리세스(11)와 상호 연통되는 내부 메인통로(512)를 갖는 사각의 메인프레임(51),A plurality of flow holes 511 which are mounted on the upper surface of the
상기 메인프레임(51) 상면에 연결되어 상기 메인통로(512)와 상호 연통되는 내부 수직통로(521)를 갖는 둘 이상의 수직관(52), 그리고Two or more
상기 각 수직관(52) 상단을 상호 연결하고 상기 각 수직관(52)의 수직통로(521)와 상호 연통되는 수평통로(531)를 갖는 수평관(53)A
을 포함하여 이루어진다.
.
이때 도 3에서와 같이, 상기 메인프레임(51)의 각 유통홀(511)은 상기 각 수직관(52)의 수직통로(521)와 비(非)동일선 상에 배치된다.3, each of the flow holes 511 of the
상기 수평관(53) 단부(端部)에 연결된 에어공급장치로부터 공급되는 에어는 상기 수평통로(531)를 거쳐 수직통로(521)로 하강하고, 이후에 메인통로(512)에서 각 유통홀(511) 및 리세스(11)를 거쳐 상기 에어슬릿노즐(20) 측으로 공급되는데, 이때 상기 수직통로(521)를 타고 하강하는 에어가 메인통로(512) 내에서 좌우로 분기된 후 각 유통홀(511) 측으로 하강함에 따라 에어슬릿노즐(20)을 이루는 긴 구멍에서의 전반적인 에어 분사압 오차를 줄일 수 있어 균등한 에어 분사압을 제공할 수 있다.
The air supplied from the air supply device connected to the end of the
한편, 본 발명의 에어나이프 유닛은 단독으로 사용될 수도 있으나, 도 4에서와 같이 상하로 유격을 두고 배치되게 한 쌍이 구비되어 사용된다.On the other hand, the air knife unit of the present invention may be used alone, but is provided with a pair of upper and lower air knife units arranged as shown in FIG.
이때 상하 한 쌍의 에어나이프 유닛은 상호 마주보게 즉, 대향(對向)되는 구조를 이루는데, 상세하게는 전술한 본 발명의 에어나이프 유닛은 상부에 위치한 에어나이프 유닛에 대해 설명한 것이고, 하부에 위치한 에어나이프 유닛은 상부에 위치한 에어나이프 유닛과는 대향되는 구조를 갖거나, 또는 별도의 구성을 갖는 에어나이프 유닛으로 이루어질 수 있으며, 롤러(2)들에 의해 이송되어지는 액절대상체(1)는 상하 에어나이프 유닛 사이로 진입하게 된다.
At this time, the pair of upper and lower air knife units are opposed to each other. Specifically, the air knife unit of the present invention described above is an air knife unit positioned at the upper part, The air knife unit may be configured to face the air knife unit disposed at the upper side or may have an air knife unit having a different configuration. The liquid knife unit may be formed of a liquid
이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 "슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛"을 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
While the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it should be understood that various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims. Modifications are to be construed as falling within the scope of protection of the present invention.
10 : 바디
11 : 리세스
12 : 안착공간부
20 : 에어슬릿노즐
30 : 프론트가이드
31 : 프론트공간부
32 : 프론트경사부
40 : 리어가이드
41 : 리어공간부
42 : 리어경사부
50 : 에어공급부재
51 : 메인프레임
511 : 유통홀
512 : 메인통로
52 : 수직관
521 : 수직통로
53 : 수평관
531 : 수평통로
60 : 진입가이드
S : 에어슬로프10: Body
11: recess 12:
20: Air slit nozzle
30: Front guide
31: front space portion 32: front inclined portion
40: Rear guide
41: rear space portion 42: rear inclined portion
50: air supply member
51: main frame 511: distribution hole
512: main passage
52: Vertical tube 521: Vertical passage
53: Horizontal tube 531: Horizontal passage
60: Entry Guide
S: Air Slope
Claims (3)
상기 바디(10)에 이의 길이방향을 따라 길게 상하 관통 형성되는 에어슬릿노즐(20);
상기 바디(10)의 전단부(前端部)에 상기 바디(10)의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 돌출 형성되어 사이사이에 액절대상체(1) 이송용 롤러(2)들이 배치되기 위한 프론트공간부(31)를 갖는 다수의 프론트가이드(30); 및
상기 바디(10)의 후단부(後端部)에 상기 바디(10)의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 돌출 형성되어 사이사이에 액절대상체(1) 이송용 롤러(2)들이 배치되기 위한 리어공간부(41)를 갖는 다수의 리어가이드(40);
를 포함하여 이루어지되,
상기 프론트공간부(31) 또는 상기 리어공간부(41), 또는 이들 모두에는 상방으로 경사진 에어슬로프(S)가 형성되어 있어, 상기 에어슬릿노즐(20)을 통해 토출되어 액절대상체(1)에 분사된 에어의 배출이 용이하게 이루어지는 것을 특징으로 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛.
A body 10 having a predetermined length;
An air slit nozzle 20 formed in the body 10 so as to pass through the body 10 in the longitudinal direction;
A front end portion of the body 10 protruding from the body 10 at a predetermined interval along the longitudinal direction of the body 10 so as to be disposed between the front and rear ends of the body 10, A plurality of front guides (30) having a space portion (31); And
A plurality of rollers 2 for conveying the liquid absolute body 1 are disposed at a rear end portion of the body 10 at predetermined intervals along the longitudinal direction of the body 10, A plurality of rear guides (40) having a rear space portion (41);
, ≪ / RTI >
An air slope S inclined upward is formed in the front space portion 31 or the rear space portion 41 or both of them so that the liquid slurry S is discharged through the air slit nozzle 20, ) Of the air knife unit is easily discharged.
상기 바디(10)의 하면에서 상기 에어슬릿노즐(20) 출구 측 전후 단부(端部) 중 전단부가 후단부 보다 더 돌출되게 형성되는 진입가이드(60)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛.
The method according to claim 1,
Further comprising an inlet guide (60) formed at a lower surface of the body (10) such that the front end of the front end of the air slit nozzle (20) at the outlet side is more protruded than the rear end portion Air knife unit.
상기 바디(10)의 상면에서 상기 에어슬릿노즐(20)이 형성된 영역에 하방으로 움푹 들어간 리세스(recess)(11)가 형성되어 있고,
상기 바디(10)의 상면에서 상기 리세스(11)를 덮는 형태로 장착되고 다수의 유통홀(511)에 의해서 상기 리세스(11)와 상호 연통되는 내부 메인통로(512)를 갖는 메인프레임(51), 상기 메인프레임(51) 상면에 연결되어 상기 메인통로(512)와 상호 연통되는 수직통로(521)를 갖는 둘 이상의 수직관(52), 그리고 상기 각 수직관(52) 상단을 상호 연결하고 상기 각 수직관(52)의 수직통로(521)와 상호 연통되는 수평통로(531)를 갖는 수평관(53)으로 이루어져, 상기 에어슬릿노즐(20)로 에어를 공급하기 위한 에어공급부재(50)를 더 포함하되,
상기 메인프레임(51)의 각 유통홀(511)은 상기 각 수직관(52)의 수직통로(521)와 비(非)동일선 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛.3. The method according to claim 1 or 2,
A recess 11 depressed downward is formed in an area of the upper surface of the body 10 where the air slit nozzle 20 is formed,
A main frame 512 having an inner main passage 512 which is mounted on the upper surface of the body 10 so as to cover the recess 11 and which is in communication with the recess 11 by a plurality of flow holes 511, Two or more vertical pipes 52 connected to the upper surface of the main frame 51 and having vertical passages 521 communicating with the main passages 512, And a horizontal pipe 531 having a horizontal passage 531 communicating with the vertical passage 521 of each of the vertical pipes 52. The air supply member for supplying air to the air slit nozzle 20 50)
Wherein each of the flow holes (511) of the main frame (51) is disposed on a non-identical line with the vertical passage (521) of each of the vertical tubes (52).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140192053A KR101647310B1 (en) | 2014-12-29 | 2014-12-29 | Air knife unit of slit nozzle type |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160080375A true KR20160080375A (en) | 2016-07-08 |
KR101647310B1 KR101647310B1 (en) | 2016-08-10 |
Family
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020140192053A KR101647310B1 (en) | 2014-12-29 | 2014-12-29 | Air knife unit of slit nozzle type |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101647310B1 (en) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060106714A (en) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
JP2007335720A (en) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Toho Kasei Kk | Clean gas heating device, and substrate drying device |
KR20120015068A (en) * | 2010-08-11 | 2012-02-21 | (주) 에스엠씨 | An air knife apparatus for drying a substrate |
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- 2014-12-29 KR KR1020140192053A patent/KR101647310B1/en active IP Right Grant
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