KR20160077913A - Method and appartus for transfering minute film - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method and a device for transferring a microfilm. The method for transferring a microfilm, which is formed on one surface of a first release sheet, to a second release sheet according to an embodiment of the present invention comprises the steps of: arranging the first release sheet on a first chuck part; supplying water onto one surface of the first release sheet so that the microfilm can be submerged; moving a second chuck part above the microfilm to come into contact with the surface of the water; changing the state of the water into ice by lowering the temperature of the second chuck part; separating the microfilm from the first release sheet by moving the second chuck part together with the ice; arranging the second release sheet on a third chuck part; placing the ice on one surface of the second release sheet by moving the second chuck part; changing the state of the ice into water by raising the temperature of the second chuck part; separating the second chuck part from the water and the microfilm by moving the second chuck part; and evaporating the water by raising the temperature of the third chuck part.

Description

미세 필름 전사 방법 및 장치 {METHOD AND APPARTUS FOR TRANSFERING MINUTE FILM }[0001] METHOD AND APPARATUS FOR TRANSFERING MINUTE FILM [0002]

본 발명의 실시 형태는 미세 필름 전사 방법 및 장치에 관한 것이다. 좀 더 상세하게는 이형 시트에 형성된 미세 필름을 다른 이형 시트에 전사하는 방법 및 장치에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to a method and apparatus for transferring a microfilm. And more particularly, to a method and apparatus for transferring a fine film formed on a release sheet to another release sheet.

도 1은 종래의 미세 필름 전사 방법들을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 1 is a view for explaining conventional microfilm transfer methods.

도 1을 참조하면, 종래의 미세 필름 전사 방법에는, 제1 종래 방법(Conventional method 1), 제2 종래 방법(Conventional method 2) 및 제3 종래 방법(Conventional method 3)이 있다.Referring to FIG. 1, there are a conventional method 1, a conventional method 2, and a conventional method 3 in a conventional method for transferring a microfilm.

제1 종래 방법은, 구멍을 이용한 진공 방법이다. 이러한 진공 방법은, 구멍의 피치(Pitch)가 거칠기 때문에, 필름의 변형이 크다. 따라서, 수 마이크로 수 나노의 미세 필름에는 적합하지 않은 방법이다. 다공질 타입의 구멍은 피치(Pitch)를 좁게할 수 있지만, 미세 필름의 흡착력이 약해지고, 미세 필름을 흡착하는 흡입력도 약해지는 문제가 있다.The first conventional method is a vacuum method using a hole. In this vacuum method, since the pitch of the holes is rough, the deformation of the film is large. Therefore, this method is unsuitable for the microfilm of several microns to several nanometers. The holes of the porous type can narrow the pitch, but the attraction force of the fine film is weakened, and the suction force for attracting the fine film is also weakened.

제2 종래 방법은, 정전기력을 이용한 방법이다. 이러한 방법은, 미세 필름이 유기물인 경우에 정전기력에 의한 효과를 얻을 수 없다. 또한, 미세 필름이 제대로 이형 시트에 흡착되지 않고 미끌어져 원하는 부분이 아닌 다른 부분에 미세 필름이 장착되는 문제가 있다.The second conventional method is a method using an electrostatic force. In this method, when the fine film is an organic matter, the effect of the electrostatic force can not be obtained. Further, there is a problem that the microfilm is not adsorbed properly on the release sheet but slipped, and the microfilm is mounted on a portion other than the desired portion.

제3 종래 방법은, 미세 필름이 형성된 제1 이형 시트에서 제2 이형 시트로 미세 필름을 전사하는 과정에서, 중간 전사 시트를 사용하는 방법이다. 이러한 방법은, 왼쪽 그림들과 같이 중간 전사 시트의 접착력이 제1 이형 시트에서 미세 필름을 떼어내기 위한 힘보다 약한 경우 중간 전사 시트가 미세 필름을 제1 이형 시트에서 떼어내지 못하는 문제가 있고, 오른쪽 그림들과 같이 중간 전사 시트의 접착력이 너무 강하면 제1 이형 시트에서 미세 필름을 떼어낼 수 있지만, 제2 이형 시트에 전사시키기 어려운 문제가 있다.The third conventional method is a method of using an intermediate transfer sheet in the process of transferring the microfilm from the first release sheet on which the microfilm is formed to the second release sheet. This method has a problem that when the adhesive force of the intermediate transfer sheet is weaker than the force for peeling off the microfilm from the first release sheet as shown in the left figures, the intermediate transfer sheet can not detach the microfilm from the first release sheet, If the adhesive force of the intermediate transfer sheet is too strong as shown in the drawings, the microfilm can be removed from the first release sheet, but it is difficult to transfer the microfilm to the second release sheet.

본 발명의 실시 형태는, 마이크로 또는 나노 단위의 미세 필름을 이형 시트에 전사할 수 있는 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.An embodiment of the present invention provides a microfilm transfer method and apparatus capable of transferring micro or nano-unit microfilm to a release sheet.

또한, 본 발명의 실시 형태는, 미세 필름과 이형 시트의 접착 강도가 높은 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.Further, an embodiment of the present invention provides a method and apparatus for transferring a microfilm with high adhesion strength between a microfilm and a release sheet.

또한, 본 발명의 실시 형태는, 미세 필름을 이형 시트에 전사하는 과정에서 별도의 전사 시트가 불필요한 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.The embodiment of the present invention also provides a method and apparatus for transferring a microfilm in which a separate transfer sheet is unnecessary in the process of transferring the microfilm to the release sheet.

또한, 미세 필름이 전사될 이형 시트의 접착력에 변화를 주지 않는 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.The present invention also provides a method and apparatus for transferring a microfilm which does not change the adhesive force of the release sheet to which the microfilm is to be transferred.

또한, 공정 비용이 절감되고, 환경 오염을 일으키기 않는 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.Also provided is a method and apparatus for transferring a microfilm that reduces the process cost and does not cause environmental pollution.

본 발명의 실시 형태는, 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 방법으로서, 상기 제1 이형 시트를 제1 척부에 배치하는 단계; 상기 미세 필름이 잠기도록 상기 제1 이형 시트의 일 면 상에 물을 공급하는 단계; 제2 척부를 상기 물의 표면과 접촉되도록 상기 미세 필름 위로 이동시키는 단계; 상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 상기 얼음과 함께 이동시켜 상기 미세 필름을 상기 제1 이형 시트로부터 분리하는 단계; 상기 제2 이형 시트를 제3 척부에 배치하는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 얼음을 상기 제2 이형 시트의 일 면에 위치시키는 단계; 상기 제2 척부의 온도를 높여 상기 얼음을 상기 물로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 제2 척부를 상기 물과 상기 미세 필름으로부터 분리시키는 단계; 및 상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계;를 포함한다.An embodiment of the present invention is a method of transferring a fine film formed on one surface of a first release sheet to a second release sheet, the method comprising: disposing the first release sheet on a first chuck; Supplying water on one side of the first release sheet so that the microfilm is immersed; Moving the second chuck portion over the microfilm to be in contact with the surface of the water; Lowering the temperature of the second chuck to change the state of the water into ice; Separating the microfilm from the first release sheet by moving the second chuck together with the ice; Disposing the second release sheet on a third chuck; Moving the second chuck to place the ice on one side of the second release sheet; Increasing the temperature of the second chuck to change the state of the ice into the water; Separating the second chuck portion from the water and the microfilm by moving the second chuck portion; And raising the temperature of the third chuck to evaporate the water.

본 발명의 실시 형태는, 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 제1 미세 필름과 제2 미세 필름 중 상기 제1 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 방법으로서, 상기 제1 이형 시트를 제1 척부에 배치하는 단계; 상기 제1 및 제2 미세 필름이 잠기도록 상기 제1 이형 시트의 일 면 상에 물을 공급하는 단계; 제2 척부를 상기 물의 표면과 접촉되도록 상기 미세 필름 위로 이동시키는 단계; 상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 상기 얼음과 함께 이동시켜 상기 제1 및 제2 미세 필름을 상기 제1 이형 시트로부터 분리하는 단계; 상기 제2 이형 시트를 제3 척부에 배치하는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 얼음을 상기 제2 이형 시트의 일 면에 위치시키는 단계; 상기 제2 척부 중에서 상기 제1 미세 필름 상에 배치된 제1 부분의 온도를 높여 상기 얼음 중에서 상기 제1 미세 필름을 포함하는 제1 부분을 상기 물로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 제2 척부를 상기 물과 상기 제1 미세 필름으로부터 분리시키는 단계; 및 상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계;를 포함한다.A second aspect of the present invention is a method for transferring a first microfilm from a first microfilm and a second microfilm to a second release sheet formed on one surface of a first release sheet, Placing on a chuck; Supplying water on one side of the first release sheet so that the first and second microfilm are immersed; Moving the second chuck portion over the microfilm to be in contact with the surface of the water; Lowering the temperature of the second chuck to change the state of the water into ice; Separating the first and second microfilm from the first release sheet by moving the second chuck together with the ice; Disposing the second release sheet on a third chuck; Moving the second chuck to place the ice on one side of the second release sheet; Changing a state of the first portion including the first microfilm to the water in the ice by raising the temperature of the first portion disposed on the first microfilm in the second chuck portion; Separating the second chuck portion from the water and the first microfilm by moving the second chuck portion; And raising the temperature of the third chuck to evaporate the water.

본 발명의 실시 형태는, 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 장치로서, 상기 제1 이형 시트와 상기 제2 이형 시트가 배치되는 제1 척부 및 상기 제1 척부의 온도를 변화시키는 제1 온도 조절부를 포함하는 제1 가동부; 상기 제1 척부 위에서 이동하는 제2 척부 및 상기 제2 척부의 온도를 변화시키는 제2 온도 조절부를 포함하는 제2 가동부; 상기 제1 척부 위로 물을 공급하는 공급부; 및 상기 제2 척부의 이동을 제어하고, 상기 공급부의 물 공급을 제어하고, 상기 제1 온도 조절부와 상기 제2 온도 조절부의 온도를 제어하는 제어부;를 포함한다.An embodiment of the present invention is an apparatus for transferring a microfilm formed on one surface of a first release sheet to a second release sheet, the apparatus comprising: a first chuck portion in which the first release sheet and the second release sheet are arranged; A first moving part including a first temperature adjusting part for changing a temperature of the chuck part; A second movable part including a second chuck moving on the first chuck and a second temperature adjuster changing the temperature of the second chuck; A supply part for supplying water onto the first chuck; And a control unit for controlling the movement of the second chuck unit, controlling the supply of water to the supply unit, and controlling the temperatures of the first temperature control unit and the second temperature control unit.

본 발명의 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법 및 장치를 사용하면, 마이크로 또는 나노 단위의 미세 필름을 이형 시트에 전사할 수 있는 이점이 있다.The use of the method and apparatus for transferring a microfilm according to the embodiment of the present invention has the advantage that a microfine film in micro or nano unit can be transferred onto a release sheet.

또한, 미세 필름과 이형 시트의 접착 강도가 높은 이점이 있다.In addition, there is an advantage that the adhesion strength between the fine film and the release sheet is high.

또한, 미세 필름을 이형 시트에 전사하는 과정에서 별도의 전사 시트가 불필요한 이점이 있다.Further, there is an advantage that a separate transfer sheet is unnecessary in the process of transferring the fine film to the release sheet.

또한, 미세 필름이 전사될 이형 시트의 접착력에 변화를 주지 않는 이점이 있다.Further, there is an advantage that the adhesive force of the release sheet to which the fine film is to be transferred is not changed.

또한, 공정 비용이 절감되고, 환경 오염을 일으키기 않는 이점이 있다.In addition, there is an advantage that the process cost is reduced and environmental pollution is not caused.

도 1은 종래의 미세 필름 전사 방법들을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 내지 도 11은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 순차적으로 설명하기 위한 도면들이다.
도 12 내지 도 21은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 순차적으로 설명하기 위한 도면들이다.
도 22는 도 2 내지 도 11에 도시된 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 수행할 수 있는 미세 필름 전사 장치의 단면도이다.FIG. 1 is a view for explaining conventional microfilm transfer methods.
FIGS. 2 to 11 are views for sequentially illustrating the method of transferring a microfilm according to the first embodiment of the present invention.
FIGS. 12 to 21 are views for sequentially illustrating a method of transferring a microfilm according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 22 is a cross-sectional view of a microfilm transferring apparatus capable of carrying out the microfilm transferring method according to the first embodiment shown in FIGS. 2 to 11. FIG.

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size.

본 발명에 따른 실시 형태의 설명에 있어서, 어느 한 element가 다른 element의 “상(위) 또는 하(아래)(on or under)”에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두 개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)(on or under)”으로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiments according to the present invention, in the case where an element is described as being formed on "on or under" another element, the upper (upper) or lower (lower) (On or under) all include that the two elements are in direct contact with each other or that one or more other elements are indirectly formed between the two elements. Also, when expressed as "on or under", it may include not only an upward direction but also a downward direction with respect to one element.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법 및 장치를 설명한다.Hereinafter, a method and apparatus for transferring a microfilm according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

<미세 필름 전사 방법의 제1 실시 형태>&Lt; First Embodiment of Microfilm Transfer Method >

도 2 내지 도 11은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 순차적으로 설명하기 위한 도면들이다.FIGS. 2 to 11 are views for sequentially illustrating the method of transferring a microfilm according to the first embodiment of the present invention.

제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법은, 결과적으로, 도 2에 도시된 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a)에 형성되어 있는 미세 필름(15)을 도 11에 도시된 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 전사하는 방법에 관한 것이다. 여기서, 미세 필름(15)은 LED에 부착되는 용도로 사용될 수도 있고, 조명에 부착되는 용도로도 사용될 수 있다. 미세 필름(15)을 구성하는 물질은, 레진(resin), 형광체 및 필러(filler)을 포함할 수 있다. 레진은 실리콘과 같은 물질일 수 있고, 필러는 실리카와 같은 물질일 수 있다.The method of transferring a microfilm according to the first embodiment can result in that the microfilm 15 formed on one surface 10a of the first release sheet 10 shown in Fig. To a first surface (20a) of the release sheet (20). Here, the microfilm 15 may be used for attaching to an LED, or for attaching to an illumination. The material constituting the fine film 15 may include a resin, a fluorescent material, and a filler. The resin may be a material such as silicon, and the filler may be a material such as silica.

이하에서 도 2 내지 도 11을 참조하여 각 과정을 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, each process will be described in detail with reference to FIG. 2 to FIG.

도 2를 참조하면, 미세 필름(15)이 형성된 제1 이형 시트(10)를 제1 가동부(100)의 제1 척(chuck)부(110)에 배치시킨다. 여기서, 제1 척부(110)는 제1 이형 시트(10)가 놓여지고, 제1 이형 시트(10)를 고정시키기 위한 선반이다.Referring to FIG. 2, a first release sheet 10 on which a fine film 15 is formed is disposed on a first chuck portion 110 of a first movable portion 100. Here, the first chuck 110 is a shelf for holding the first release sheet 10 and fixing the first release sheet 10 thereon.

여기서, 제1 가동부(100)는 제1 척부(110), 제1 온도 조절부(130) 및 베이스(150)를 포함할 수 있다. 제1 온도 조절부(130)는 제1 척부(110)의 온도를 가변시키기 위한 것으로서, 열전 소자(펠티어 소자) 또는 세라믹 히터일 수 있다. 베이스(150)는 제1 온도 조절부(130)를 장착시키기 위한 것일 수 있다.Here, the first movable part 100 may include a first chuck 110, a first temperature controller 130, and a base 150. The first temperature regulating unit 130 may be a thermoelectric element (Peltier element) or a ceramic heater for varying the temperature of the first chuck 110. The base 150 may be for mounting the first temperature regulator 130.

도 3을 참조하면, 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a) 상에 물(W)을 공급한다. 물(W)은 제1 이형 시트(10)의 미세 필름(15)이 잠기도록 공급한다. 여기서, 미세 필름(15)이 잠기도록 공급한다는 의미는, 물(W)의 표면이 미세 필름(15)의 상면과 동일 평면에 배치되거나 미세 필름(15)의 상면보다 더 높이 배치시키는 것을 의미할 수 있다.Referring to Fig. 3, water W is supplied onto one surface 10a of the first release sheet 10. The water W is supplied so that the microfilm 15 of the first release sheet 10 is locked. Means that the surface of the water W is disposed on the same plane as the upper surface of the microfilm 15 or higher than the upper surface of the microfilm 15 .

도 4를 참조하면, 제2 가동부(200)의 제2 척부(210)를 물(W)의 표면과 접촉되도록 미세 필름(15) 위로 이동시킨다.Referring to FIG. 4, the second chuck 210 of the second movable part 200 is moved on the microfilm 15 in contact with the surface of the water W. Referring to FIG.

여기서, 제2 가동부(200)는 제2 척부(210)와 제2 온도 조절부(230)를 포함할 수 있다. 제2 온도 조절부(230)는 제2 척부(210)의 온도를 가변시키기 위한 것으로, 열전 소자(펠티어 소자) 또는 세라믹 히터일 수 있다.Here, the second movable part 200 may include a second chuck part 210 and a second temperature controller 230. The second temperature regulating unit 230 may be a thermoelectric element (Peltier element) or a ceramic heater for varying the temperature of the second chuck 210.

도 5를 참조하면, 제2 척부(210)의 온도를 낮춰 물(W)을 얼음(I)으로 상태 변화시킨다. 여기서, 제2 척부(210)의 온도를 낮추기 위해 제2 온도 조절부(230)의 온도를 0도(℃)보다 낮은 온도로 설정할 수 있다. 예를 들어, 영하 15도(℃) 이하로 설정할 수 있다. 이는 물(W)과 제2 온도 조절부(230) 사이에 제2 척부(210)가 중간 매개체로서 존재하기 때문에, 물(W)의 어는점인 0도(℃)보다 더 낮은 온도를 설정하는 것이다. 또한, 여기서, 얼음(I)은 완전한 얼음일 수도 있고, 얼음과 약간의 물이 공존하는 상태일 수도 있다. Referring to FIG. 5, the temperature of the second chuck 210 is lowered to change the state of the water W to ice (I). Here, in order to lower the temperature of the second chuck 210, the temperature of the second temperature controller 230 may be set to a temperature lower than 0 ° C. For example, it can be set to minus 15 degrees (C) or less. This is because the second chuck 210 is present as an intermediate medium between the water W and the second temperature controller 230 so that the temperature is set to be lower than the freezing point of 0 ° C. . Here, the ice (I) may be completely ice, or ice and some water may coexist.

도 6을 참조하면, 제2 척부(210)를 얼음(I)과 함께 이동시켜 미세 필름(15)을 제1 이형 시트(10)로부터 분리한다. 제2 온도 조절부(230)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 0도 이하로 떨어진 상태이기 때문에, 얼음(I)은 제1 이형 시트(10)보다 온도가 더 낮은 제2 척부(210)에 더 잘 들러붙게 된다. 따라서, 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200)를 제1 가동부(100) 위로 이동시키면, 얼음(I)이 제2 척부(210)를 따라 이동되고, 이에 의해, 얼음(I) 내부에 배치된 미세 필름(15)이 제1 이형 시트(10)로부터 분리된다. 여기서, 제2 온도 조절부(230)는 얼음(I)이 그 상태를 그대로 유지되도록 저온의 상태를 유지한다.Referring to FIG. 6, the second chuck portion 210 is moved together with the ice I to separate the fine film 15 from the first release sheet 10. The temperature of the second chuck portion 210 is lowered to 0 degree or less by the second temperature regulating portion 230 so that the ice I is transferred to the second chuck portion 210 whose temperature is lower than that of the first release sheet 10 ). &Lt; / RTI &gt; Therefore, when the second movable part 200 including the second chuck part 210 is moved on the first movable part 100, the ice I is moved along the second chuck part 210, The microfilm 15 disposed inside the first release sheet 10 is separated from the first release sheet 10. Here, the second temperature regulator 230 maintains the low temperature state so that the ice (I) remains unchanged.

도 7을 참조하면, 미세 필름(15)을 전사시키고자 하는 피대상물인, 제2 이형 시트(20)를 제3 가동부(300)의 제3 척부(310)에 배치시킨다. 이 경우 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200)는 제3 가동부(300) 위로 이동하거나 제1 가동부(300)의 위치가 다른 위치로 이동됨과 동시에 제3 가동부(300)가 제1 가동부(100)의 위치로 이동할 수 있다.Referring to Fig. 7, the second release sheet 20, which is an object to which the fine film 15 is to be transferred, is disposed on the third chuck portion 310 of the third movable portion 300. In this case, the second movable part 200 including the second chuck 210 moves over the third movable part 300 or the first movable part 300 is moved to another position, and the third movable part 300 moves 1 movable part 100 of the first embodiment.

도 7 내지 도 11에서, 제3 가동부(300)가 도 2에 도시된 제1 가동부(100)와는 다른 구성으로 도시되어 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 제3 가동부(300)는 도 2에 도시된 제1 가동부(100)일 수 있다. 제3 가동부(300)가 제1 가동부(100)인 경우, 미세 필름(15)이 분리된 제1 이형 시트(10)를 제1 척부(110)에서 제거하고 제2 이형 시트(20)를 제1 척부(110)에 배치시킬 수 있다.In Figs. 7 to 11, the third movable part 300 is shown as being different from the first movable part 100 shown in Fig. 2, but the present invention is not limited thereto. For example, the third movable part 300 may be the first movable part 100 shown in FIG. When the third movable part 300 is the first movable part 100, the first release sheet 10 from which the fine film 15 has been separated is removed from the first chuck part 110 and the second release sheet 20 is removed And can be disposed on the single-chuck 110.

도 8을 참조하면, 제2 가동부(200)의 제2 척부(210)를 이동시켜 얼음(I)을 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 위치시킨다. 이러한 과정에 의해, 얼음(I) 내부에 배치된 미세 필름(15)이 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 위치하게 된다.8, the second chuck portion 210 of the second movable part 200 is moved to place the ice I on one surface 20a of the second release sheet 20. As shown in FIG. By this process, the microfilm 15 disposed inside the ice (I) is positioned on one surface 20a of the second release sheet 20.

도 9를 참조하면, 제2 가동부(200)의 제2 척부(210)의 온도를 높여 얼음(I)을 물(W)로 상태 변화시킨다. 여기서, 제2 척부(210)의 온도를 높이기 위해 제2 온도 조절부(230)의 온도를 0도(℃)보다 더 높은 온도로 설정할 수 있다. 예를 들어, 영상 50도(℃) 이상으로 설정할 수 있다. 이는 얼음(I)과 제2 온도 조절부(230) 사이에 제2 척부(210)가 중간 매개체로서 존재하기 때문에, 얼음(I)의 녹는점인 0도(℃)보다 더 높은 온도를 설정하는 것이다. 여기서, 물(W)은 약간의 얼음도 포함할 수 있다. 즉, 물(W)에는 얼음과 물이 공존할 수 있다. Referring to FIG. 9, the temperature of the second chuck 210 of the second movable part 200 is increased to change the state of ice (I) to water W. Here, in order to increase the temperature of the second chuck 210, the temperature of the second temperature controller 230 may be set to a temperature higher than 0 ° C. For example, the image can be set to 50 degrees (° C) or more. This is because the second chuck 210 is present as an intermediate medium between the ice I and the second temperature controller 230 so that the temperature is set to be higher than 0 ° C which is the melting point of the ice I will be. Here, the water W may include some ice. That is, water (W) can coexist with ice and water.

도 10을 참조하면, 제2 가동부(200)의 제2 척부(210)를 이동시켜 제2 척부(210)를 물(W)과 미세 필름(15)으로부터 분리시킨다. 제2 온도 조절부(230)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 상온보다 더 높은 상태이기 때문에, 물(W)은 제2 척부(210)보다 온도가 더 낮은 제2 이형 시트(20)에 더 잘 들러붙게 된다. 따라서, 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200)를 제3 가동부(300) 위로 이동시키면, 물(W)과 물(W) 내부에 배치된 미세 필름(15)는 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 남아 있게 된다.10, the second chuck portion 210 of the second movable portion 200 is moved to separate the second chuck portion 210 from the water W and the microfilm 15. Since the temperature of the second chuck 210 is higher than the normal temperature by the second temperature controller 230, the water W is supplied to the second release sheet 20, which is lower in temperature than the second chuck 210, The more it sticks to. Therefore, when the second movable part 200 including the second chuck part 210 is moved over the third movable part 300, the microfilm 15 disposed inside the water W and the water W is moved to the second release mold And remains on one surface 20a of the sheet 20. [

도 11을 참조하면, 제3 가동부(300)의 제3 척부(310)의 온도를 높여 도 10에 도시된 물(W)을 증발시킨다. 여기서, 제3 척부(310)의 온도를 높이기 위해 제3 온도 조절부(330)의 온도를 영상 60도(℃) 이상으로 설정할 수 있다. 물(W)이 증발되기 때문에, 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에는 미세 필름(15)이 배치된다.Referring to FIG. 11, the temperature of the third chuck 310 of the third movable part 300 is raised to evaporate the water W shown in FIG. Here, in order to raise the temperature of the third chuck 310, the temperature of the third temperature controller 330 may be set to be higher than the image temperature of 60 degrees Celsius. Since the water W is evaporated, the microfilm 15 is disposed on one surface 20a of the second release sheet 20.

이와 같이, 도 2 내지 도 11에 의하면, 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a)에 형성된 미세 필름(15)을 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 전사시킬 수 있다. 이러한 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 다음의 유리한 효과들을 가질 수 있다.2 to 11, the fine film 15 formed on one surface 10a of the first release sheet 10 can be transferred to one surface 20a of the second release sheet 20 . Using the microfilm transfer method according to this first embodiment can have the following advantageous effects.

제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제1 이형 시트의 수 마이크로 또는 나노 단위의 미세 필름을 설계자가 원하는 제2 이형 시트에 용이하게 전사시킬 수 있다. 점도가 물을 사용하기 때문에, 미세 필름 사이사이의 미세 공간으로도 물이 쉽게 침투할 수 있어 물이 얼음으로 변환되는 과정에서 미세 필름의 측면도 냉동시킬 수 있다. 따라서, 미세 필름을 제1 이형 시트에서 정확하고 완벽하게 분리시킬 수 있는 이점이 있다.By using the microfilm transfer method according to the first embodiment, it is possible to easily transfer a microfilm of several micro or nano units of the first release sheet to a second release sheet desired by the designer. Since water is used as the viscosity, the water can easily penetrate into the minute space between the microfilms, and the side of the microfilm can be frozen in the course of the water being converted into ice. Therefore, there is an advantage that the fine film can be accurately and completely separated from the first release sheet.

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제2 이형 시트에 미세 필름이 전사되는 과정에서, 제2 이형 시트의 표면이 물의 박막으로 덮인 후에 미세 필름과 접촉되므로 강도가 높은 이점이 있다.Further, when the microfilm transfer method according to the first embodiment is used, since the surface of the second release sheet is covered with the thin film of water and then contacted with the microfilm in the process of transferring the microfilm to the second release sheet, .

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제1 이형 시트에서 미세 필름을 떼어내어 제2 이형 시트에 전사시키는 과정에서 별도의 이형 시트가 필요없는 이점이 있다. Further, when the microfilm transfer method according to the first embodiment is used, there is an advantage that a separate release sheet is not required in the process of removing the microfilm from the first release sheet and transferring the same to the second release sheet.

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제2 이형 시트의 접착력에 영향을 미치지 않는 이점이 있다.In addition, when the microfilm transfer method according to the first embodiment is used, there is an advantage that the adhesion of the second release sheet is not affected.

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 물을 사용하기 때문에, 공정 비용이 절감되고, 폐액의 처리가 간편하며, 환경 오염을 일으키지 않는 이점이 있다.Further, when the microfilm transfer method according to the first embodiment is used, since water is used, there is an advantage that the process cost is reduced, the treatment of the waste liquid is easy, and environmental pollution is not caused.

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제2 이형 시트에 저분자 실록산과 같은 물질이 전혀 생기지 않기 때문에, 제2 이형 시트를 사용하는 장치나 장비에 접점 불량이 발생하지 않는 이점이 있다.
Further, when the microfilm transferring method according to the first embodiment is used, since no material such as low molecular siloxane is generated in the second release sheet, the advantage that the contact failure does not occur in the apparatus or equipment using the second release sheet .

< 미세 필름 전사 방법의 제2 실시 형태>&Lt; Second Embodiment of Microfilm Transfer Method >

도 12 내지 도 21은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 순차적으로 설명하기 위한 도면들이다.FIGS. 12 to 21 are views for sequentially illustrating a method of transferring a microfilm according to a second embodiment of the present invention.

제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법은, 결과적으로, 도 12에 도시된 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a)에 형성되어 있는 복수의 미세 필름들(15a, 15b, 15c) 중 제1 미세 필름(15a)을 도 21에 도시된 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 전사하는 방법에 관한 것이다. 이하에서 도 12 내지 도 21을 참조하여 각 과정을 상세히 설명하도록 한다.As a result, in the method of transferring a microfilm according to the second embodiment, among the plurality of microfilms 15a, 15b and 15c formed on one surface 10a of the first release sheet 10 shown in Fig. 12 And transferring the first microfilm 15a to one surface 20a of the second release sheet 20 shown in Fig. Hereinafter, each process will be described in detail with reference to FIGS. 12 to 21. FIG.

도 12를 참조하면, 복수의 미세 필름들(15a, 15b, 15c)이 형성된 제1 이형 시트(10)를 제1 가동부(100)의 제1 척부(110)에 배치시킨다. 여기서, 제1 척부(110)는 제1 이형 시트(10)가 놓여지고, 제1 이형 시트(10)를 고정시키기 위한 선반이다.12, a first release sheet 10 having a plurality of fine films 15a, 15b, and 15c is disposed on a first chuck 110 of a first movable unit 100. Referring to FIG. Here, the first chuck 110 is a shelf for holding the first release sheet 10 and fixing the first release sheet 10 thereon.

여기서, 제1 가동부(100)는 제1 척부(110), 제1 온도 조절부(130) 및 베이스(150)를 포함할 수 있다. 제1 온도 조절부(130)는 제1 척부(110)의 온도를 가변시키기 위한 것으로서, 열전 소자(펠티어 소자) 또는 세라믹 히터일 수 있다. 베이스(150)는 제1 온도 조절부(130)를 장착시키기 위한 것일 수 있다.Here, the first movable part 100 may include a first chuck 110, a first temperature controller 130, and a base 150. The first temperature regulating unit 130 may be a thermoelectric element (Peltier element) or a ceramic heater for varying the temperature of the first chuck 110. The base 150 may be for mounting the first temperature regulator 130.

도 13을 참조하면, 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a) 상에 물(W)을 공급한다. 물(W)은 제1 이형 시트(10)의 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 잠기도록 공급한다. 여기서, 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 잠기도록 공급한다는 의미는, 물(W)의 표면이 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)의 상면과 동일 평면에 배치되거나 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)의 상면보다 더 높이 배치시키는 것을 의미할 수 있다.Referring to Fig. 13, water W is supplied onto one surface 10a of the first release sheet 10. The water W is supplied so that the first to third microfilms 15a, 15b and 15c of the first release sheet 10 are locked. Here, the provision of the first to third microfilms 15a, 15b and 15c to be locked means that the surface of the water W is flush with the upper surface of the first to third microfilms 15a, 15b and 15c Or higher than the upper surfaces of the first to third microfilms 15a, 15b and 15c.

도 14를 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210)를 물(W)의 표면과 접촉되도록 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c) 위로 이동시킨다.14, the second chuck portion 210 of the second movable portion 200 'is moved over the first to third microfilms 15a, 15b, and 15c to be in contact with the surface of the water W.

여기서, 제2 가동부(200’)는 제2 척부(210)와 제2 온도 조절부(230’)를 포함할 수 있다. 제2 온도 조절부(230’)는 제2 척부(210)의 온도를 가변시키기 위한 것으로, 열전 소자(펠티어 소자) 또는 세라믹 히터일 수 있다. 제2 온도 조절부(230’)는 도 2 내지 도 11에 도시된 제2 온도 조절부(230)와 구성상의 차이가 있다. 구체적으로, 제2 온도 조절부(230’)는 복수의 부분들(231’, 232’, 233’)을 포함한다. 제1 내지 제3 부분들(231’, 232’, 233’)은 서로 독립적으로 동작할 수 있다. 예를 들어, 모두 같은 온도로도 가변될 수 있고, 서로 다른 온도로도 가변될 수 있다. Here, the second movable part 200 'may include a second chuck part 210 and a second temperature controller 230'. The second temperature control unit 230 'may be a thermoelectric element (Peltier element) or a ceramic heater for varying the temperature of the second chuck 210. The second temperature controller 230 'differs in configuration from the second temperature controller 230 shown in FIG. 2 to FIG. Specifically, the second temperature regulator 230 'includes a plurality of portions 231', 232 ', and 233'. The first to third portions 231 ', 232', 233 'may operate independently of each other. For example, all of them can be changed to the same temperature, and they can be changed to different temperatures.

도 15를 참조하면, 제2 척부(210)의 온도를 낮춰 물(W)을 얼음(I)으로 상태 변화시킨다. 여기서, 제2 척부(210)의 온도를 낮추기 위해 제2 온도 조절부(230’)의 제1 내지 제3 부분들(231’, 232’, 233’)의 온도를 0도(℃) 보다 낮은 온도로 설정할 수 있다. 예를들어, 영하 15도(℃) 이하로 설정할 수 있다. 이는 물(W)과 제2 온도 조절부(230’) 사이에 제2 척부(210)가 중간 매개체로서 존재하기 때문에, 물(W)의 어는점인 0도(℃)보다 더 낮은 온도를 설정하는 것이다. 또한, 여기서, 얼음(I)은 완전한 얼음일 수도 있고, 얼음과 약간의 물이 공존하는 상태일 수도 있다.Referring to FIG. 15, the temperature of the second chuck part 210 is lowered to change the state of the water W to ice (I). Here, in order to lower the temperature of the second chuck 210, the temperature of the first to third portions 231 ', 232', 233 'of the second temperature controller 230' is lower than 0 ° C Temperature can be set. For example, it can be set to minus 15 degrees (C) or less. This is because the second chuck portion 210 exists as an intermediate medium between the water W and the second temperature regulating portion 230 'so that the temperature is set to be lower than the freezing point of 0 ° C (° C) of the water W will be. Here, the ice (I) may be completely ice, or ice and some water may coexist.

도 16을 참조하면, 제2 척부(210)를 얼음(I)과 함께 이동시켜 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)을 제1 이형 시트(10)로부터 분리한다. 제2 온도 조절부(230’)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 0도 이하로 떨어진 상태이기 때문에, 얼음(I)은 제1 이형 시트(10)보다 온도가 더 낮은 제2 척부(210)에 더 잘 들러붙게 된다. 따라서, 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200’)를 제1 가동부(100) 위로 이동시키면, 얼음(I)이 제2 척부(210)를 따라 이동되고, 이에 의해, 얼음(I) 내부에 배치된 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 제1 이형 시트(10)로부터 분리된다. 여기서, 제2 온도 조절부(230’)는 얼음(I)이 그 상태를 그대로 유지되도록 저온의 상태를 유지한다.16, the second chuck portion 210 is moved together with the ice I to separate the first to third microfilms 15a, 15b, and 15c from the first deformable sheet 10. The temperature of the second chuck portion 210 is lowered to 0 degree or less by the second temperature regulating portion 230 'so that the ice I is separated from the second chuck portion 210). &Lt; / RTI &gt; Accordingly, when the second movable part 200 'including the second chuck part 210 is moved over the first movable part 100, the ice I is moved along the second chuck part 210, The first to third microfilms 15a, 15b, and 15c disposed inside the first release sheet 10 are separated from the first release sheet 10. Here, the second temperature regulator 230 'maintains the low temperature state so that the ice (I) is maintained as it is.

도 17을 참조하면, 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c) 중 제1 미세 필름(15a)을 전사시키고자 하는 피대상물인, 제2 이형 시트(20)를 제3 가동부(300)의 제3 척부(310)에 배치시킨다. 이 경우 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200’)는 제3 가동부(300) 위로 이동하거나 제1 가동부(300)의 위치가 다른 위치로 이동됨과 동시에 제3 가동부(300)가 제1 가동부(100)의 위치로 이동할 수 있다.17, the second release sheet 20, which is an object to be transferred from the first to third microfilms 15a, 15b and 15c to the first microfilm 15a, In the third chuck 310 of FIG. In this case, the second movable part 200 'including the second chuck 210 moves on the third movable part 300 or the first movable part 300 moves to a different position, and the third movable part 300' And can move to the position of the first movable part 100.

도 17 내지 도 21에서, 제3 가동부(300)가 도 12에 도시된 제1 가동부(100)와는 다른 구성으로 도시되어 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 제3 가동부(300)는 도 12에 도시된 제1 가동부(100)일 수 있다. 제3 가동부(300)가 제1 가동부(100)인 경우, 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 분리된 제1 이형 시트(10)를 제1 척부(110)에서 제거하고 제2 이형 시트(20)를 제1 척부(110)에 배치시킬 수 있다.17 to 21, the third movable part 300 is illustrated as being different from the first movable part 100 shown in FIG. 12, but the present invention is not limited thereto. For example, the third movable part 300 may be the first movable part 100 shown in FIG. When the third movable part 300 is the first movable part 100, the first release sheet 10 from which the first to third microfilms 15a, 15b and 15c are separated is removed from the first chuck part 110 The second release sheet 20 can be disposed on the first chuck 110. [

도 18을 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210)를 이동시켜 얼음(I)을 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 위치시킨다. 이러한 과정에 의해, 얼음(I) 내부에 배치된 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 위치하게 된다.Referring to FIG. 18, the second chuck 210 of the second movable part 200 'is moved to place the ice I on one surface 20a of the second release sheet 20. By this process, the first to third microfilms 15a, 15b, and 15c disposed in the ice I are positioned on one surface 20a of the second release sheet 20.

도 19를 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210) 중에서 제1 미세 필름(15a) 상에 배치된 제1 부분(212)의 온도를 높여 얼음(I) 중에서 제1 미세 필름(15a)을 포함하는 제1 부분을 물(W1)로 상태 변화시킨다. 여기서, 제2 척부(210)의 제1 부분(212)의 온도를 높이기 위해 제2 온도 조절부(230’)의 제1 부분(231’)의 온도를 0도(℃)보다 더 높은 온도로 설정할 수 있다. 예를 들어, 영상 50도(℃) 이상으로 설정할 수 있다. 이는 얼음과 제2 온도 조절부(230’) 사이에 제2 척부(210)가 중간 매개체로서 존재하기 때문에, 얼음의 녹는점인 0도(℃)보다 더 높은 온도를 설정하는 것이다. 제2 온도 조절부(230’)의 제2 내지 제3 부분(232’, 233’)은 제2 내지 제3 미세 필름(15b, 15b)을 포함하는 얼음(I2, I3)을 그대로 유지시킨다. 따라서, 제1 미세 필름(15a)는 물(W1) 내부에 배치되고, 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)는 얼음(I2, I3) 내부에 배치된다. 여기서, 물(W1)은 약간의 얼음도 포함할 수 있다. 즉, 물(W1)에는 얼음과 물이 공존할 수 있다.19, the temperature of the first portion 212 disposed on the first fine film 15a in the second chuck portion 210 of the second movable portion 200 ' And the first portion including the film 15a is changed into water W1. Here, in order to raise the temperature of the first portion 212 of the second chuck 210, the temperature of the first portion 231 'of the second temperature controller 230' is set to a temperature higher than 0 ° C Can be set. For example, the image can be set to 50 degrees (° C) or more. This is because the second chuck 210 exists as an intermediate medium between the ice and the second temperature regulating part 230 ', so that the temperature is set to be higher than the melting point of ice (0 ° C). The second to third portions 232 'and 233' of the second temperature regulating portion 230 'keep the ice I2 and I3 including the second to third microfilms 15b and 15b intact. Thus, the first fine film 15a is disposed inside the water W1, and the second and third fine films 15b and 15c are disposed inside the ice I2 and I3. Here, the water W1 may also contain some ice. That is, water (W1) can coexist with ice.

도 20을 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210)를 이동시켜 제2 척부(210)를 물(W1)과 제1 미세 필름(15a)으로부터 분리시킨다. 제2 온도 조절부(230’)의 제1 부분(231’)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 상온보다 더 높은 상태이기 때문에, 물(W1)은 제2 척부(210)보다 온도가 더 낮은 제2 이형 시트(20)에 더 잘 들러붙게 된다. 따라서, 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200’)를 제3 가동부(300) 위로 이동시키면, 물(W1)과 물(W1) 내부에 배치된 제1 미세 필름(15a)는 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 남아 있게 된다.Referring to FIG. 20, the second chuck 210 of the second movable part 200 'is moved to separate the second chuck 210 from the water W1 and the first microfilm 15a. Since the temperature of the second chuck portion 210 is higher than the room temperature by the first portion 231 'of the second temperature regulating portion 230', the water W1 is lower in temperature than the second chuck portion 210 So that the second release sheet 20 is better adhered to. Therefore, when the second movable part 200 'including the second chuck part 210 is moved over the third movable part 300, the first microfilm 15a disposed inside the water W1 and the water W1 And remains on one surface 20a of the second release sheet 20.

도 21을 참조하면, 제3 가동부(300)의 제3 척부(310)의 온도를 높여 도 20에 도시된 물(W1)을 증발시킨다. 여기서, 제3 척부(310)의 온도를 높이기 위해 제3 온도 조절부(330)의 온도를 영상 60도(℃) 이상으로 설정할 수 있다. 물(W1)이 증발되기 때문에, 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에는 제1 미세 필름(15a)이 배치된다.Referring to FIG. 21, the temperature of the third chuck 310 of the third movable part 300 is raised to evaporate the water W1 shown in FIG. Here, in order to raise the temperature of the third chuck 310, the temperature of the third temperature controller 330 may be set to be higher than the image temperature of 60 degrees Celsius. The first fine film 15a is disposed on one surface 20a of the second release sheet 20 because the water W1 is evaporated.

한편, 도 20를 다시 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210)에 남아있는 제2 미세 필름(15b)와 제3 미세 필름(15c)은 제2 이형 시트(20)와 다른 제3 이형 시트에 도 18 내지 도 21에 도시된 과정을 통해 전사시킬 수 있다.20, the second microfilm 15b and the third microfilm 15c remaining on the second chuck 210 of the second movable part 200 'are separated from the second release sheet 20 And can be transferred to another third release sheet through the process shown in Figs. 18 to 21. Fig.

도 12 내지 도 21에 도시된 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법은, 도 2 내지 도 11에 도시된 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법이 갖는 유리한 효과를 갖는 것과 함께 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법보다 더 유리한 효과가 있다. 그것은, 제1 이형 필름에 형성된 복수의 미세 필름들 중 일부는 제2 이형 시트에 전사시키고, 나머지 일부는 제3 이형 시트에 전사시킬 수 있다. 따라서, 다양한 형상의 미세 필름을 갖는 이형 시트들을 한 번에 제작할 수 있는 이점이 있다.The microfilm transfer method according to the second embodiment shown in Figs. 12 to 21 is advantageous in that the microfilm transfer method according to the first embodiment shown in Figs. 2 to 11 has an advantageous effect, There is more advantageous effect than the method of transferring the microfilm according to the present invention. It is possible that some of the plurality of microfilms formed on the first release film are transferred to the second release sheet and the remaining part is transferred to the third release sheet. Therefore, there is an advantage that the release sheets having various shapes of the microfilm can be produced at one time.

한편, 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법의 도 19에 도시된 과정에서, 제2 온도 조절부(230’)의 제1 부분(231’)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 상온보다 더 높은 상태가 되면, 얼음에서 제1 미세 필름(15a)을 포함하는 제1 부분이 물(W1)로 상태가 변화됨과 동시에, 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)을 포함하는 얼음(I2, I3)도 물로 변화될 수 있다. 이러한 상태에서 도 20에 도시된 과정을 수행하면, 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)이 도 20과 도시된 것과는 달리 제2 이형 시트(20)에 남겨질 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위한 상세 과정을 이하에서 설명하도록 한다.19 of the method for transferring a microfilm according to the second embodiment, when the temperature of the second chuck 210 is lowered to the room temperature (lower temperature) by the first portion 231 'of the second temperature controller 230' The first portion including the first microfilm 15a is changed to the water W1 and the second portion including the second and the third microfilms 15b and 15c is changed to the water W1, (I2, I3) can also be changed to water. 20, the second and third fine films 15b and 15c may be left on the second release sheet 20, unlike the one shown in Fig. A detailed procedure for solving such a problem will be described below.

도 19에 도시된 과정에서, 제2 온도 조절부(230’)의 제1 부분(231’)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 상온보다 더 높은 상태가 된 후, 얼음에서 제1 미세 필름(15a)를 포함하는 제1 부분이 물(W1)로 변화할 때, 물(W1)은 얼음일 때보다 그 체적이 더 커지기 때문에, 물(W1)의 일부가 제2 이형 시트(20)와 제2 미세 필름(15b)을 포함하는 얼음(I2) 사이 및 제2 이형 시트(20)와 제3 미세 필름(15c)을 포함하는 얼음(I3) 사이로 침투한다. 따라서, 물(W1)의 일부에 의해 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)을 포함하는 얼음(I2, I3)은 제2 이형 시트(20)와 분리된다. 여기서, 물(W1)은 약간의 얼음도 포함할 수 있다. 즉, 물(W1)에는 얼음과 물이 공존할 수 있다.19, after the temperature of the second chuck portion 210 becomes higher than the normal temperature by the first portion 231 'of the second temperature regulating portion 230', the first minute portion 231 ' Since the volume of the water W1 is larger than that of ice when the first portion including the film 15a is changed to the water W1, And between the ice 12 containing the second microfilm 15b and the ice 13 containing the second release sheet 20 and the third microfilm 15c. Therefore, the ice (I2, I3) containing the second and third fine films 15b, 15c is separated from the second release sheet 20 by a part of the water W1. Here, the water W1 may also contain some ice. That is, water (W1) can coexist with ice.

물(W1)의 일부에 의해 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)을 포함하는 얼음(I2, I3)이 제2 이형 시트(20)와 분리되면, 도 20에 도시된 바와 같이, 제2 척부(210)를 위로 올려 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)을 포함하는 얼음(I2, I3)을 제2 이형 시트(20)에서 떨어뜨린다. 여기서, 제2 척부(210)를 너무 많이 올리면, 제1 미세 필름(15a)를 포함하는 물(W1)이 얼음(I2, I3)을 따라 이동할 수 있기 때문에, 얼음(I2, I3)이 제2 이형 시트(20)에서 떨어질만큼만 제2 척부(210)를 조금만 올린 후, 제3 온도 조절부(330)를 0도 이하로 냉각시켜 물(W1)을 다시 얼음으로 상태를 변경시킨다. 그런 후 얼음(I2, I3)이 붙어있는 제2 척부(210)를 완전히 위로 올리면, 얼음(I2, I3)을 제2 이형 시트(20)에서 완전히 떼어낸다. 마지막으로, 도 21에 도시된 바와 같이, 제3 온도 조절부(330)의 온도를 영상 60도(℃) 이상으로 설정하여 제1 미세 필름(15a)를 포함하는 얼음을 물로 변화시키고 나서 이 물을 증발시켜 제2 이형 시트(20)에 제1 미세 필름(15a)을 전사시킨다.When ice (I2, I3) containing the second and third fine films 15b, 15c is separated from the second release sheet 20 by a part of the water W1, as shown in Fig. 20, The two chips 210 are lifted up and the ice sheets I2 and I3 including the second and third fine films 15b and 15c are dropped from the second release sheet 20. [ Since the water W1 including the first microfilm 15a can move along the ice I2 and I3 when the second chuck 210 is raised too much, The second chuck portion 210 is slightly raised only so as to fall off the release sheet 20 and then the third temperature regulating portion 330 is cooled to 0 degree or less to change the state of the water W1 to ice again. Then, the second chuck portion 210 attached with the ice (I2, I3) is fully raised to completely remove the ice (I2, I3) from the second release sheet (20). 21, the temperature of the third temperature regulating part 330 is set to be higher than the image temperature of 60 ° C to change the ice containing the first fine film 15a into water, And the first microfilm 15a is transferred to the second release sheet 20. Then,

한편, 상술한 방법 이외에, 도 14의 물(W)을 도 15의 얼음(I)으로 변화시킬 때, 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)을 덮는 물(W)을 전체적으로 한 번에 얼리는 것이 아니라, 여러 부분으로 나눠서 얼릴 수 있다. 즉, 제1 미세 필름(15a)을 포함하는 소정의 물만 제1 얼음으로 얼리고, 제2 미세 필름(15b)을 포함하는 소정의 물만 제2 얼음으로 얼리며, 제3 미세 필름(15b)을 포함하는 소정의 물만 제3 얼음으로 얼릴 수 있다. 여기서, 제1 내지 제3 얼음 각각은 인접하는 다른 얼음과 서로 붙지않도록 하면, 앞서 상술한 문제를 해결할 수 있다.
14, the water W covering the first to third microfilms 15a, 15b, and 15c is entirely divided into ice (I) You can freeze it by dividing it into several parts. That is, only predetermined water containing the first microfilm 15a is frozen with the first ice, only predetermined water containing the second microfilm 15b is frozen with the second ice, and the third microfilm 15b is included Only the predetermined water can be frozen with the third ice. Here, the above-mentioned problems can be solved by preventing each of the first to third ice from sticking to other adjacent ice.

<미세 필름 전사 장치의 실시 형태>&Lt; Embodiment of Microfilm Transfer Apparatus >

도 22는 도 2 내지 도 11에 도시된 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 수행할 수 있는 미세 필름 전사 장치의 단면도이다.FIG. 22 is a cross-sectional view of a microfilm transferring apparatus capable of carrying out the microfilm transferring method according to the first embodiment shown in FIGS. 2 to 11. FIG.

도 22를 참조하면, 본 발명의 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 장치는, 제1 가동부(100), 제2 가동부(200), 공급부(700) 및 제어부(900)를 포함할 수 있다.22, a microfilm transfer apparatus according to an embodiment of the present invention may include a first movable unit 100, a second movable unit 200, a supply unit 700, and a control unit 900.

제1 가동부(100)는 제1 척부(110), 제1 온도 조절부(130) 및 베이스(150)를 포함할 수 있다.The first movable part 100 may include a first chuck 110, a first temperature controller 130, and a base 150.

베이스(150) 상에 제1 온도 조절부(130)가 배치되고, 제1 온도 조절부(130) 상에 제1 척부(110)가 배치된다.The first temperature controller 130 is disposed on the base 150 and the first chuck 110 is disposed on the first temperature controller 130.

베이스(150)는 제2 가동부(200)의 몸체부(250)와 결합하고, 상기 몸체부(250)와 함께 내부에 제1 이형 필름(10)과 제2 이형 필름(미도시)을 수납하는 공간을 제공할 수 있다.The base 150 is coupled with the body portion 250 of the second movable part 200 and houses the first release film 10 and the second release film (not shown) together with the body part 250 Space can be provided.

제1 온도 조절부(130)는 제어부(900)에 의해 소정 온도로 가변할 수 있다. 예를 들어, 제1 온도 조절부(130)는 제어부(900)의 명령에 따라 저온으로 냉각될 수도 있고, 고온으로도 가열될 수도 있다. 제1 온도 조절부(130)는 열전 소자나 세라믹 히터일 수 있다.The first temperature controller 130 can be varied to a predetermined temperature by the controller 900. For example, the first temperature regulator 130 may be cooled to a low temperature according to a command from the controller 900, or may be heated to a high temperature. The first temperature regulating unit 130 may be a thermoelectric element or a ceramic heater.

제1 척부(110)는 제1 온도 조절부(130)의 온도에 의해 자신의 온도가 변화된다. 제1 척부(110)에는 제1 이형 시트(10)가 배치되고, 미세 필름(15)이 전사될 제2 이형 시트(미도시)가 배치될 수 있다.The temperature of the first chuck 110 is changed by the temperature of the first temperature controller 130. A first release sheet 10 is disposed on the first chuck 110 and a second release sheet (not shown) on which the microfilm 15 is to be transferred.

제2 가동부(200)는 제2 척부(210), 제2 온도 조절부(230) 및 몸체부(250)를 포함할 수 있다.The second movable part 200 may include a second chuck part 210, a second temperature regulating part 230, and a body part 250.

제2 척부(210)는 제1 이형 시트(10)의 미세 필름(15)을 제1 이형 시트(10)로부터 분리하고, 제2 이형 시트(미도시)에 미세 필름(15)을 전사시킨다.The second chuck 210 separates the microfilm 15 of the first release sheet 10 from the first release sheet 10 and transfers the microfilm 15 to the second release sheet (not shown).

제2 온도 조절부(230)는 제어부(900)에 의해 소정 온도로 가변할 수 있다. 예를 들어, 제2 온도 조절부(230)는 제어부(900)의 명령에 따라 저온으로 냉각될 수도 있고, 고온으로도 가열될 수도 있다. 제2 온도 조절부(230)는 열전 소자나 세라믹 히터일 수 있다.The second temperature regulator 230 can be varied to a predetermined temperature by the control unit 900. For example, the second temperature regulating unit 230 may be cooled to a low temperature according to a command from the controller 900, or may be heated to a high temperature. The second temperature regulating unit 230 may be a thermoelectric element or a ceramic heater.

제2 척부(210)의 일 면(211)은 미세 홈을 포함할 수 있다. 미세 홈이 일 면(211)에 형성되면, 제2 척부(210)가 미세 필름(15)을 갖는 얼음을 제2 이형 시트(미도시)에 전사할 때, 얼음이 물이 된 후에는 물과의 접촉 면적이 감소되기 때문에, 미세 필름이 제2 이형 시트에 전사되는 출시성을 높일 수 있다.One surface 211 of the second chuck 210 may include a fine groove. When the fine grooves are formed on the first surface 211, when the second chuck 210 transfers the ice having the fine film 15 to the second release sheet (not shown), after the ice becomes water, The release property of transferring the fine film onto the second release sheet can be enhanced.

몸체부(250)에는 제1 척부(210)와 제2 온도 조절부(230)가 장착되며, 제어부(900)의 제어에 따라 제1 척부(210)를 이동시킬 수 있다.The first chuck 210 and the second chuck 230 are mounted on the body 250 and the first chuck 210 can be moved under the control of the controller 900. [

공급부(700)는 제어부(900)의 명령에 따라 제1 척부(210) 위로 물을 공급한다.The supply unit 700 supplies water onto the first chuck 210 according to a command from the controller 900.

제어부(900)는 몸체부(250)의 이동을 제어하여 제2 척부(210)의 이동을 제어하고, 공급부(700)의 물 공급을 제어하며, 제1 온도 조절부(130)와 제2 온도 조절부(230)의 온도를 제어할 수 있다.The controller 900 controls the movement of the body 250 to control the movement of the second chuck 210 and the supply of water to the feeder 700. The controller 900 controls the supply of water to the first temperature controller 130, The temperature of the regulating unit 230 can be controlled.

도 22에 도시된 미세 필름 전사 장치는, 도 12 내지 도 21에 도시된 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법도 수행할 수 있다. 구체적으로, 제2 온도 조절부(230)를 도 14에 도시된 제2 온도 조절부(230’), 즉 복수의 온도 조절부들로 대체하면 가능하다.The microfilm transferring apparatus shown in Fig. 22 can also carry out the microfilm transferring method according to the second embodiment shown in Figs. 12 to 21. Specifically, it is possible to replace the second temperature regulating unit 230 with the second temperature regulating unit 230 'shown in FIG. 14, that is, a plurality of temperature regulating units.

이상에서 실시 형태를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 형태에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

10: 제1 이형 시트
15: 미세 필름
20: 제2 이형 시트10: First release sheet
15: Microfilm
20: second release sheet

Claims (10)

제1 이형 시트의 일 면에 형성된 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 방법에 있어서,
상기 제1 이형 시트를 제1 척부에 배치하는 단계;
상기 미세 필름이 잠기도록 상기 제1 이형 시트의 일 면 상에 물을 공급하는 단계;
제2 척부를 상기 물의 표면과 접촉되도록 상기 미세 필름 위로 이동시키는 단계;
상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계;
상기 제2 척부를 상기 얼음과 함께 이동시켜 상기 미세 필름을 상기 제1 이형 시트로부터 분리하는 단계;
상기 제2 이형 시트를 제3 척부에 배치하는 단계;
상기 제2 척부를 이동시켜 상기 얼음을 상기 제2 이형 시트의 일 면에 위치시키는 단계;
상기 제2 척부의 온도를 높여 상기 얼음을 상기 물로 상태 변화시키는 단계;
상기 제2 척부를 이동시켜 상기 제2 척부를 상기 물과 상기 미세 필름으로부터 분리시키는 단계; 및
상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계;
를 포함하는 미세 필름 전사 방법.A method for transferring a fine film formed on one surface of a first release sheet to a second release sheet,
Disposing the first release sheet on a first chuck;
Supplying water on one side of the first release sheet so that the microfilm is immersed;
Moving the second chuck portion over the microfilm to be in contact with the surface of the water;
Lowering the temperature of the second chuck to change the state of the water into ice;
Separating the microfilm from the first release sheet by moving the second chuck together with the ice;
Disposing the second release sheet on a third chuck;
Moving the second chuck to place the ice on one side of the second release sheet;
Increasing the temperature of the second chuck to change the state of the ice into the water;
Separating the second chuck portion from the water and the microfilm by moving the second chuck portion; And
Increasing the temperature of the third chuck to evaporate the water;
&Lt; / RTI &gt; 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 제1 미세 필름과 제2 미세 필름 중 상기 제1 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 방법에 있어서,
상기 제1 이형 시트를 제1 척부에 배치하는 단계;
상기 제1 및 제2 미세 필름이 잠기도록 상기 제1 이형 시트의 일 면 상에 물을 공급하는 단계;
제2 척부를 상기 물의 표면과 접촉되도록 상기 미세 필름 위로 이동시키는 단계;
상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계;
상기 제2 척부를 상기 얼음과 함께 이동시켜 상기 제1 및 제2 미세 필름을 상기 제1 이형 시트로부터 분리하는 단계;
상기 제2 이형 시트를 제3 척부에 배치하는 단계;
상기 제2 척부를 이동시켜 상기 얼음을 상기 제2 이형 시트의 일 면에 위치시키는 단계;
상기 제2 척부 중에서 상기 제1 미세 필름 상에 배치된 제1 부분의 온도를 높여 상기 얼음 중에서 상기 제1 미세 필름을 포함하는 제1 부분을 상기 물로 상태 변화시키는 단계;
상기 제2 척부를 이동시켜 상기 제2 척부를 상기 물과 상기 제1 미세 필름으로부터 분리시키는 단계; 및
상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계;
를 포함하는 미세 필름 전사 방법.A method for transferring a first microfilm and a second microfilm from a first side of a first release sheet to a second release sheet,
Disposing the first release sheet on a first chuck;
Supplying water on one side of the first release sheet so that the first and second microfilm are immersed;
Moving the second chuck portion over the microfilm to be in contact with the surface of the water;
Lowering the temperature of the second chuck to change the state of the water into ice;
Separating the first and second microfilm from the first release sheet by moving the second chuck together with the ice;
Disposing the second release sheet on a third chuck;
Moving the second chuck to place the ice on one side of the second release sheet;
Changing a state of the first portion including the first microfilm to the water in the ice by raising the temperature of the first portion disposed on the first microfilm in the second chuck portion;
Separating the second chuck portion from the water and the first microfilm by moving the second chuck portion; And
Increasing the temperature of the third chuck to evaporate the water;
&Lt; / RTI &gt; 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계에서, 상기 제2 척부의 온도를 낮추기 위한 온도 조절부의 온도는 영하 15도 이하인, 미세 필름 전사 방법.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the temperature of the temperature adjusting unit for lowering the temperature of the second chuck unit is lower than or equal to -15 degrees Celsius in the step of changing the state of the water to ice by lowering the temperature of the second chuck unit. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계에서, 상기 제3 척부의 온도를 위한 온도 조절부의 온도는 영상 60도 이상인, 미세 필름 전사 방법.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the temperature of the temperature adjusting part for the temperature of the third chuck part is higher than the image of 60 degrees in the step of raising the temperature of the third chuck part and evaporating the water. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 척부의 온도를 높여 상기 얼음을 상기 물로 상태 변화시키는 단계에서, 상기 제2 척부의 온도를 높이기 위한 온도 조절부의 온도는 영상 50도 이상인, 미세 필름 전사 방법.The method according to claim 1,
Wherein the temperature of the temperature adjusting unit for increasing the temperature of the second chuck unit is at least 50 degrees in the step of raising the temperature of the second chuck unit to change the state of the ice into the water. 제 2 항에 있어서,
상기 제2 척부 중에서 상기 제1 미세 필름 상에 배치된 제1 부분의 온도를 높여 상기 얼음 중에서 상기 제1 미세 필름을 포함하는 제1 부분을 상기 물로 상태 변화시키는 단계에서, 상기 제2 척부의 제1 부분의 온도를 높이기 위한 온도 조절부의 온도는 영상 50도 이상인, 미세 필름 전사 방법.3. The method of claim 2,
In the step of raising the temperature of the first part disposed on the first microfilm in the second chuck to change the state of the first part including the first microfilm to the water in the ice, Wherein the temperature of the temperature regulating part for increasing the temperature of the first part is at least 50 degrees. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제3 척부는 상기 제1 척부인, 미세 필름 전사 방법.3. The method according to claim 1 or 2,
And the third chuck is the first chuck. 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 장치에 있어서,
상기 제1 이형 시트와 상기 제2 이형 시트가 배치되는 제1 척부 및 상기 제1 척부의 온도를 변화시키는 제1 온도 조절부를 포함하는 제1 가동부;
상기 제1 척부 위에서 이동하는 제2 척부 및 상기 제2 척부의 온도를 변화시키는 제2 온도 조절부를 포함하는 제2 가동부;
상기 제1 척부 위로 물을 공급하는 공급부; 및
상기 제2 척부의 이동을 제어하고, 상기 공급부의 물 공급을 제어하고, 상기 제1 온도 조절부와 상기 제2 온도 조절부의 온도를 제어하는 제어부;
를 포함하는, 미세 필름 전사 장치.An apparatus for transferring a fine film formed on one surface of a first release sheet to a second release sheet,
A first movable part including a first chuck on which the first release sheet and the second release sheet are disposed and a first temperature controller for changing a temperature of the first chuck;
A second movable part including a second chuck moving on the first chuck and a second temperature adjuster changing the temperature of the second chuck;
A supply part for supplying water onto the first chuck; And
A control unit for controlling the movement of the second chuck unit, controlling the supply of water to the supply unit, and controlling the temperatures of the first temperature control unit and the second temperature control unit;
And a transfer unit for transferring the microfilm. 제 8 항에 있어서,
상기 제2 온도 조절부는, 복수의 온도 조절부들을 포함하고,
상기 제어부는, 상기 복수의 온도 조절부들의 온도를 각각 독립적으로 제어하는, 미세 필름 전사 장치.9. The method of claim 8,
The second temperature controller may include a plurality of temperature controllers,
Wherein the control unit independently controls the temperatures of the plurality of temperature control units. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
상기 제2 척부의 일 면은 미세 홈을 포함하는, 미세 필름 전사 장치.10. The method according to claim 8 or 9,
And one surface of the second chuck portion includes a fine groove.
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