KR102265275B1 - Method and appartus for transfering minute film - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시 형태는 미세 필름 전사 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시 형태는, 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 방법으로서, 상기 제1 이형 시트를 제1 척부에 배치하는 단계; 상기 미세 필름이 잠기도록 상기 제1 이형 시트의 일 면 상에 물을 공급하는 단계; 제2 척부를 상기 물의 표면과 접촉되도록 상기 미세 필름 위로 이동시키는 단계; 상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 상기 얼음과 함께 이동시켜 상기 미세 필름을 상기 제1 이형 시트로부터 분리하는 단계; 상기 제2 이형 시트를 제3 척부에 배치하는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 얼음을 상기 제2 이형 시트의 일 면에 위치시키는 단계; 상기 제2 척부의 온도를 높여 상기 얼음을 상기 물로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 제2 척부를 상기 물과 상기 미세 필름으로부터 분리시키는 단계; 및 상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계;를 포함한다.An embodiment of the present invention relates to a method and apparatus for transferring a fine film.
An embodiment of the present invention provides a method of transferring a fine film formed on one surface of a first release sheet to a second release sheet, the method comprising: disposing the first release sheet on a first chuck unit; supplying water on one surface of the first release sheet to submerge the fine film; moving the second chuck part onto the microfilm so as to be in contact with the surface of the water; changing the state of the water into ice by lowering the temperature of the second chuck; separating the microfilm from the first release sheet by moving the second chuck unit together with the ice; disposing the second release sheet on a third chuck unit; positioning the ice on one surface of the second release sheet by moving the second chuck unit; changing the state of the ice into the water by increasing the temperature of the second chuck; separating the second chuck part from the water and the fine film by moving the second chuck part; and evaporating the water by increasing the temperature of the third chuck unit.

Description

미세 필름 전사 방법 및 장치 {METHOD AND APPARTUS FOR TRANSFERING MINUTE FILM }Fine film transfer method and apparatus {METHOD AND APPARTUS FOR TRANSFERING MINUTE FILM }

본 발명의 실시 형태는 미세 필름 전사 방법 및 장치에 관한 것이다. 좀 더 상세하게는 이형 시트에 형성된 미세 필름을 다른 이형 시트에 전사하는 방법 및 장치에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to a method and apparatus for transferring a fine film. More particularly, it relates to a method and apparatus for transferring a fine film formed on a release sheet to another release sheet.

도 1은 종래의 미세 필름 전사 방법들을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining the conventional fine film transfer methods.

도 1을 참조하면, 종래의 미세 필름 전사 방법에는, 제1 종래 방법(Conventional method 1), 제2 종래 방법(Conventional method 2) 및 제3 종래 방법(Conventional method 3)이 있다.Referring to FIG. 1 , a conventional method for transferring a fine film includes a first conventional method (Conventional method 1), a second conventional method (Conventional method 2), and a third conventional method (Conventional method 3).

제1 종래 방법은, 구멍을 이용한 진공 방법이다. 이러한 진공 방법은, 구멍의 피치(Pitch)가 거칠기 때문에, 필름의 변형이 크다. 따라서, 수 마이크로 수 나노의 미세 필름에는 적합하지 않은 방법이다. 다공질 타입의 구멍은 피치(Pitch)를 좁게할 수 있지만, 미세 필름의 흡착력이 약해지고, 미세 필름을 흡착하는 흡입력도 약해지는 문제가 있다.The first conventional method is a vacuum method using holes. In this vacuum method, since the pitch of the holes is rough, the deformation of the film is large. Therefore, the method is not suitable for microfilms of several micros and nanometers. Although the porous type hole can narrow the pitch, there is a problem that the suction power of the microfilm is weakened and the suction power of the microfilm is also weakened.

제2 종래 방법은, 정전기력을 이용한 방법이다. 이러한 방법은, 미세 필름이 유기물인 경우에 정전기력에 의한 효과를 얻을 수 없다. 또한, 미세 필름이 제대로 이형 시트에 흡착되지 않고 미끌어져 원하는 부분이 아닌 다른 부분에 미세 필름이 장착되는 문제가 있다.The second conventional method is a method using electrostatic force. In this method, when the fine film is an organic material, the effect of electrostatic force cannot be obtained. In addition, there is a problem in that the fine film is not properly adsorbed to the release sheet and slides, so that the fine film is mounted on a part other than a desired part.

제3 종래 방법은, 미세 필름이 형성된 제1 이형 시트에서 제2 이형 시트로 미세 필름을 전사하는 과정에서, 중간 전사 시트를 사용하는 방법이다. 이러한 방법은, 왼쪽 그림들과 같이 중간 전사 시트의 접착력이 제1 이형 시트에서 미세 필름을 떼어내기 위한 힘보다 약한 경우 중간 전사 시트가 미세 필름을 제1 이형 시트에서 떼어내지 못하는 문제가 있고, 오른쪽 그림들과 같이 중간 전사 시트의 접착력이 너무 강하면 제1 이형 시트에서 미세 필름을 떼어낼 수 있지만, 제2 이형 시트에 전사시키기 어려운 문제가 있다.The third conventional method is a method of using an intermediate transfer sheet in the process of transferring the fine film from the first release sheet on which the fine film is formed to the second release sheet. In this method, as shown in the figures on the left, when the adhesive force of the intermediate transfer sheet is weaker than the force for peeling the fine film from the first release sheet, there is a problem that the intermediate transfer sheet cannot peel the fine film from the first release sheet, and the right As shown in the drawings, if the adhesive force of the intermediate transfer sheet is too strong, the fine film may be peeled off from the first release sheet, but there is a problem in that it is difficult to transfer to the second release sheet.

본 발명의 실시 형태는, 마이크로 또는 나노 단위의 미세 필름을 이형 시트에 전사할 수 있는 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.An embodiment of the present invention provides a microfilm transfer method and apparatus capable of transferring micro- or nano-scale microfilms to a release sheet.

또한, 본 발명의 실시 형태는, 미세 필름과 이형 시트의 접착 강도가 높은 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.Further, an embodiment of the present invention provides a method and apparatus for transferring a fine film having high adhesive strength between the fine film and the release sheet.

또한, 본 발명의 실시 형태는, 미세 필름을 이형 시트에 전사하는 과정에서 별도의 전사 시트가 불필요한 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.Further, an embodiment of the present invention provides a method and apparatus for transferring a fine film that does not require a separate transfer sheet in the process of transferring the fine film to the release sheet.

또한, 미세 필름이 전사될 이형 시트의 접착력에 변화를 주지 않는 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.Also provided is a method and apparatus for transferring a fine film that does not change the adhesive force of a release sheet to which the fine film is transferred.

또한, 공정 비용이 절감되고, 환경 오염을 일으키기 않는 미세 필름 전사 방법 및 장치를 제공한다.In addition, there is provided a method and apparatus for transferring a fine film, which reduces process cost and does not cause environmental pollution.

본 발명의 실시 형태는, 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 방법으로서, 상기 제1 이형 시트를 제1 척부에 배치하는 단계; 상기 미세 필름이 잠기도록 상기 제1 이형 시트의 일 면 상에 물을 공급하는 단계; 제2 척부를 상기 물의 표면과 접촉되도록 상기 미세 필름 위로 이동시키는 단계; 상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 상기 얼음과 함께 이동시켜 상기 미세 필름을 상기 제1 이형 시트로부터 분리하는 단계; 상기 제2 이형 시트를 제3 척부에 배치하는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 얼음을 상기 제2 이형 시트의 일 면에 위치시키는 단계; 상기 제2 척부의 온도를 높여 상기 얼음을 상기 물로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 제2 척부를 상기 물과 상기 미세 필름으로부터 분리시키는 단계; 및 상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계;를 포함한다.An embodiment of the present invention provides a method of transferring a fine film formed on one surface of a first release sheet to a second release sheet, the method comprising: disposing the first release sheet on a first chuck unit; supplying water on one surface of the first release sheet to submerge the fine film; moving the second chuck part onto the microfilm so as to be in contact with the surface of the water; changing the state of the water into ice by lowering the temperature of the second chuck; separating the microfilm from the first release sheet by moving the second chuck unit together with the ice; disposing the second release sheet on a third chuck unit; positioning the ice on one surface of the second release sheet by moving the second chuck unit; changing the state of the ice into the water by increasing the temperature of the second chuck; separating the second chuck part from the water and the fine film by moving the second chuck part; and evaporating the water by increasing the temperature of the third chuck unit.

본 발명의 실시 형태는, 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 제1 미세 필름과 제2 미세 필름 중 상기 제1 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 방법으로서, 상기 제1 이형 시트를 제1 척부에 배치하는 단계; 상기 제1 및 제2 미세 필름이 잠기도록 상기 제1 이형 시트의 일 면 상에 물을 공급하는 단계; 제2 척부를 상기 물의 표면과 접촉되도록 상기 미세 필름 위로 이동시키는 단계; 상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 상기 얼음과 함께 이동시켜 상기 제1 및 제2 미세 필름을 상기 제1 이형 시트로부터 분리하는 단계; 상기 제2 이형 시트를 제3 척부에 배치하는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 얼음을 상기 제2 이형 시트의 일 면에 위치시키는 단계; 상기 제2 척부 중에서 상기 제1 미세 필름 상에 배치된 제1 부분의 온도를 높여 상기 얼음 중에서 상기 제1 미세 필름을 포함하는 제1 부분을 상기 물로 상태 변화시키는 단계; 상기 제2 척부를 이동시켜 상기 제2 척부를 상기 물과 상기 제1 미세 필름으로부터 분리시키는 단계; 및 상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계;를 포함한다.An embodiment of the present invention provides a method of transferring the first microfilm among the first microfilm and the second microfilm formed on one surface of the first release sheet to a second release sheet, wherein the first release sheet is applied to the first release sheet. placing on the chuck; supplying water on one surface of the first release sheet to submerge the first and second fine films; moving the second chuck part onto the microfilm so as to be in contact with the surface of the water; changing the state of the water into ice by lowering the temperature of the second chuck; separating the first and second fine films from the first release sheet by moving the second chuck unit together with the ice; disposing the second release sheet on a third chuck unit; positioning the ice on one surface of the second release sheet by moving the second chuck unit; changing a state of a first portion including the first microfilm in the ice with the water by increasing a temperature of a first portion disposed on the first microfilm in the second chuck portion; separating the second chuck part from the water and the first fine film by moving the second chuck part; and evaporating the water by increasing the temperature of the third chuck unit.

본 발명의 실시 형태는, 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 장치로서, 상기 제1 이형 시트와 상기 제2 이형 시트가 배치되는 제1 척부 및 상기 제1 척부의 온도를 변화시키는 제1 온도 조절부를 포함하는 제1 가동부; 상기 제1 척부 위에서 이동하는 제2 척부 및 상기 제2 척부의 온도를 변화시키는 제2 온도 조절부를 포함하는 제2 가동부; 상기 제1 척부 위로 물을 공급하는 공급부; 및 상기 제2 척부의 이동을 제어하고, 상기 공급부의 물 공급을 제어하고, 상기 제1 온도 조절부와 상기 제2 온도 조절부의 온도를 제어하는 제어부;를 포함한다.An embodiment of the present invention provides an apparatus for transferring a fine film formed on one surface of a first release sheet to a second release sheet, wherein the first chuck unit and the first release sheet are disposed on the first release sheet and the second release sheet a first movable part including a first temperature control part for changing the temperature of the chuck part; a second movable part including a second chuck part moving on the first chuck part and a second temperature control part changing a temperature of the second chuck part; a supply unit for supplying water to the first chuck unit; and a control unit configured to control movement of the second chuck unit, control water supply to the supply unit, and control temperatures of the first temperature control unit and the second temperature control unit.

본 발명의 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법 및 장치를 사용하면, 마이크로 또는 나노 단위의 미세 필름을 이형 시트에 전사할 수 있는 이점이 있다.When the method and apparatus for transferring a microfilm according to an embodiment of the present invention are used, there is an advantage in that micro- or nano-scale microfilms can be transferred to a release sheet.

또한, 미세 필름과 이형 시트의 접착 강도가 높은 이점이 있다.In addition, there is an advantage of high adhesive strength between the fine film and the release sheet.

또한, 미세 필름을 이형 시트에 전사하는 과정에서 별도의 전사 시트가 불필요한 이점이 있다.In addition, there is an advantage that a separate transfer sheet is unnecessary in the process of transferring the fine film to the release sheet.

또한, 미세 필름이 전사될 이형 시트의 접착력에 변화를 주지 않는 이점이 있다.In addition, there is an advantage that the microfilm does not change the adhesive force of the release sheet to be transferred.

또한, 공정 비용이 절감되고, 환경 오염을 일으키기 않는 이점이 있다.In addition, there are advantages in that the process cost is reduced and environmental pollution is not caused.

도 1은 종래의 미세 필름 전사 방법들을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 내지 도 11은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 순차적으로 설명하기 위한 도면들이다.
도 12 내지 도 21은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 순차적으로 설명하기 위한 도면들이다.
도 22는 도 2 내지 도 11에 도시된 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 수행할 수 있는 미세 필름 전사 장치의 단면도이다.1 is a view for explaining the conventional fine film transfer methods.
2 to 11 are views for sequentially explaining a method of transferring a fine film according to the first embodiment of the present invention.
12 to 21 are views for sequentially explaining a method of transferring a fine film according to a second embodiment of the present invention.
22 is a cross-sectional view of a fine film transfer apparatus capable of performing the fine film transfer method according to the first embodiment shown in FIGS. 2 to 11 .

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.In the drawings, the thickness or size of each layer is exaggerated, omitted, or schematically illustrated for convenience and clarity of description. In addition, the size of each component does not fully reflect the actual size.

본 발명에 따른 실시 형태의 설명에 있어서, 어느 한 element가 다른 element의 “상(위) 또는 하(아래)(on or under)”에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두 개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)(on or under)”으로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment according to the present invention, in the case where one element is described as being formed "on or under" of another element, above (above) or below (on or under) includes both elements in which two elements are in direct contact with each other or one or more other elements are disposed between the two elements indirectly. In addition, when expressed as “up (up) or down (on or under)”, the meaning of not only the upward direction but also the downward direction based on one element may be included.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법 및 장치를 설명한다.Hereinafter, a method and apparatus for transferring a fine film according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

<미세 필름 전사 방법의 제1 실시 형태><First embodiment of fine film transfer method>

도 2 내지 도 11은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 순차적으로 설명하기 위한 도면들이다.2 to 11 are views for sequentially explaining a method of transferring a fine film according to the first embodiment of the present invention.

제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법은, 결과적으로, 도 2에 도시된 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a)에 형성되어 있는 미세 필름(15)을 도 11에 도시된 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 전사하는 방법에 관한 것이다. 여기서, 미세 필름(15)은 LED에 부착되는 용도로 사용될 수도 있고, 조명에 부착되는 용도로도 사용될 수 있다. 미세 필름(15)을 구성하는 물질은, 레진(resin), 형광체 및 필러(filler)을 포함할 수 있다. 레진은 실리콘과 같은 물질일 수 있고, 필러는 실리카와 같은 물질일 수 있다.As a result, the fine film transfer method according to the first embodiment transfers the fine film 15 formed on one surface 10a of the first release sheet 10 shown in FIG. 2 to the second shown in FIG. 11 . It relates to a method of transferring to one surface (20a) of the release sheet (20). Here, the fine film 15 may be used to be attached to the LED, or may be used to be attached to the lighting. The material constituting the fine film 15 may include a resin, a phosphor, and a filler. The resin may be a material such as silicon, and the filler may be a material such as silica.

이하에서 도 2 내지 도 11을 참조하여 각 과정을 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, each process will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 11 .

도 2를 참조하면, 미세 필름(15)이 형성된 제1 이형 시트(10)를 제1 가동부(100)의 제1 척(chuck)부(110)에 배치시킨다. 여기서, 제1 척부(110)는 제1 이형 시트(10)가 놓여지고, 제1 이형 시트(10)를 고정시키기 위한 선반이다.Referring to FIG. 2 , the first release sheet 10 on which the fine film 15 is formed is disposed on the first chuck unit 110 of the first movable unit 100 . Here, the first chuck unit 110 is a shelf on which the first release sheet 10 is placed and for fixing the first release sheet 10 .

여기서, 제1 가동부(100)는 제1 척부(110), 제1 온도 조절부(130) 및 베이스(150)를 포함할 수 있다. 제1 온도 조절부(130)는 제1 척부(110)의 온도를 가변시키기 위한 것으로서, 열전 소자(펠티어 소자) 또는 세라믹 히터일 수 있다. 베이스(150)는 제1 온도 조절부(130)를 장착시키기 위한 것일 수 있다.Here, the first movable unit 100 may include a first chuck unit 110 , a first temperature control unit 130 , and a base 150 . The first temperature control unit 130 is for changing the temperature of the first chuck unit 110 , and may be a thermoelectric element (Peltier element) or a ceramic heater. The base 150 may be for mounting the first temperature control unit 130 .

도 3을 참조하면, 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a) 상에 물(W)을 공급한다. 물(W)은 제1 이형 시트(10)의 미세 필름(15)이 잠기도록 공급한다. 여기서, 미세 필름(15)이 잠기도록 공급한다는 의미는, 물(W)의 표면이 미세 필름(15)의 상면과 동일 평면에 배치되거나 미세 필름(15)의 상면보다 더 높이 배치시키는 것을 의미할 수 있다.Referring to FIG. 3 , water W is supplied on one surface 10a of the first release sheet 10 . Water (W) is supplied to submerge the fine film 15 of the first release sheet 10 . Here, the meaning of supplying the microfilm 15 to be submerged means that the surface of the water W is disposed on the same plane as the top surface of the microfilm 15 or disposed higher than the top surface of the microfilm 15. can

도 4를 참조하면, 제2 가동부(200)의 제2 척부(210)를 물(W)의 표면과 접촉되도록 미세 필름(15) 위로 이동시킨다.Referring to FIG. 4 , the second chuck part 210 of the second movable part 200 is moved over the fine film 15 so as to be in contact with the surface of the water (W).

여기서, 제2 가동부(200)는 제2 척부(210)와 제2 온도 조절부(230)를 포함할 수 있다. 제2 온도 조절부(230)는 제2 척부(210)의 온도를 가변시키기 위한 것으로, 열전 소자(펠티어 소자) 또는 세라믹 히터일 수 있다.Here, the second movable part 200 may include a second chuck part 210 and a second temperature control part 230 . The second temperature controller 230 is for changing the temperature of the second chuck part 210 , and may be a thermoelectric element (Peltier element) or a ceramic heater.

도 5를 참조하면, 제2 척부(210)의 온도를 낮춰 물(W)을 얼음(I)으로 상태 변화시킨다. 여기서, 제2 척부(210)의 온도를 낮추기 위해 제2 온도 조절부(230)의 온도를 0도(℃)보다 낮은 온도로 설정할 수 있다. 예를 들어, 영하 15도(℃) 이하로 설정할 수 있다. 이는 물(W)과 제2 온도 조절부(230) 사이에 제2 척부(210)가 중간 매개체로서 존재하기 때문에, 물(W)의 어는점인 0도(℃)보다 더 낮은 온도를 설정하는 것이다. 또한, 여기서, 얼음(I)은 완전한 얼음일 수도 있고, 얼음과 약간의 물이 공존하는 상태일 수도 있다. Referring to FIG. 5 , the temperature of the second chuck unit 210 is lowered to change the state of water (W) into ice (I). Here, in order to lower the temperature of the second chuck unit 210 , the temperature of the second temperature control unit 230 may be set to a temperature lower than 0 degrees (°C). For example, it can be set to below minus 15 degrees (℃). This is to set a temperature lower than 0 degrees (°C), which is the freezing point of water (W), because the second chuck part 210 exists as an intermediate medium between the water W and the second temperature controller 230 . . Also, here, the ice I may be complete ice or a state in which ice and some water coexist.

도 6을 참조하면, 제2 척부(210)를 얼음(I)과 함께 이동시켜 미세 필름(15)을 제1 이형 시트(10)로부터 분리한다. 제2 온도 조절부(230)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 0도 이하로 떨어진 상태이기 때문에, 얼음(I)은 제1 이형 시트(10)보다 온도가 더 낮은 제2 척부(210)에 더 잘 들러붙게 된다. 따라서, 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200)를 제1 가동부(100) 위로 이동시키면, 얼음(I)이 제2 척부(210)를 따라 이동되고, 이에 의해, 얼음(I) 내부에 배치된 미세 필름(15)이 제1 이형 시트(10)로부터 분리된다. 여기서, 제2 온도 조절부(230)는 얼음(I)이 그 상태를 그대로 유지되도록 저온의 상태를 유지한다.Referring to FIG. 6 , the second chuck unit 210 is moved together with the ice I to separate the fine film 15 from the first release sheet 10 . Since the temperature of the second chuck part 210 has dropped to 0 degrees or less by the second temperature controller 230 , the ice I has a lower temperature than the second chuck part 210 , which is lower than that of the first release sheet 10 . ) is better adhered to. Accordingly, when the second movable part 200 including the second chuck part 210 is moved over the first movable part 100 , the ice I moves along the second chuck part 210 , and thereby, the ice I ) The fine film 15 disposed therein is separated from the first release sheet 10 . Here, the second temperature controller 230 maintains a low temperature state so that the ice I maintains its state.

도 7을 참조하면, 미세 필름(15)을 전사시키고자 하는 피대상물인, 제2 이형 시트(20)를 제3 가동부(300)의 제3 척부(310)에 배치시킨다. 이 경우 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200)는 제3 가동부(300) 위로 이동하거나 제1 가동부(300)의 위치가 다른 위치로 이동됨과 동시에 제3 가동부(300)가 제1 가동부(100)의 위치로 이동할 수 있다.Referring to FIG. 7 , the second release sheet 20 , which is an object to which the fine film 15 is to be transferred, is disposed on the third chuck part 310 of the third movable part 300 . In this case, the second movable part 200 including the second chuck part 210 moves above the third movable part 300 or the position of the first movable part 300 is moved to another position, and at the same time, the third movable part 300 moves to a second position. 1 It can move to the position of the movable part 100 .

도 7 내지 도 11에서, 제3 가동부(300)가 도 2에 도시된 제1 가동부(100)와는 다른 구성으로 도시되어 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 제3 가동부(300)는 도 2에 도시된 제1 가동부(100)일 수 있다. 제3 가동부(300)가 제1 가동부(100)인 경우, 미세 필름(15)이 분리된 제1 이형 시트(10)를 제1 척부(110)에서 제거하고 제2 이형 시트(20)를 제1 척부(110)에 배치시킬 수 있다.7 to 11 , the third movable part 300 is illustrated in a configuration different from that of the first movable part 100 illustrated in FIG. 2 , but is not limited thereto. For example, the third movable part 300 may be the first movable part 100 illustrated in FIG. 2 . When the third movable part 300 is the first movable part 100 , the first release sheet 10 from which the fine film 15 is separated is removed from the first chuck part 110 , and the second release sheet 20 is removed. One chuck unit 110 may be disposed.

도 8을 참조하면, 제2 가동부(200)의 제2 척부(210)를 이동시켜 얼음(I)을 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 위치시킨다. 이러한 과정에 의해, 얼음(I) 내부에 배치된 미세 필름(15)이 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 위치하게 된다.Referring to FIG. 8 , the ice I is positioned on one surface 20a of the second release sheet 20 by moving the second chuck part 210 of the second movable part 200 . By this process, the microfilm 15 disposed inside the ice I is positioned on one surface 20a of the second release sheet 20 .

도 9를 참조하면, 제2 가동부(200)의 제2 척부(210)의 온도를 높여 얼음(I)을 물(W)로 상태 변화시킨다. 여기서, 제2 척부(210)의 온도를 높이기 위해 제2 온도 조절부(230)의 온도를 0도(℃)보다 더 높은 온도로 설정할 수 있다. 예를 들어, 영상 50도(℃) 이상으로 설정할 수 있다. 이는 얼음(I)과 제2 온도 조절부(230) 사이에 제2 척부(210)가 중간 매개체로서 존재하기 때문에, 얼음(I)의 녹는점인 0도(℃)보다 더 높은 온도를 설정하는 것이다. 여기서, 물(W)은 약간의 얼음도 포함할 수 있다. 즉, 물(W)에는 얼음과 물이 공존할 수 있다. Referring to FIG. 9 , the temperature of the second chuck part 210 of the second movable part 200 is increased to change the state of ice (I) into water (W). Here, in order to increase the temperature of the second chuck unit 210 , the temperature of the second temperature control unit 230 may be set to a temperature higher than 0 degrees (°C). For example, the image may be set to 50 degrees (°C) or higher. This is because the second chuck unit 210 exists as an intermediate medium between the ice I and the second temperature control unit 230, so setting a temperature higher than 0 degrees (℃), which is the melting point of the ice I, is used. will be. Here, the water W may also include some ice. That is, ice and water may coexist in the water W.

도 10을 참조하면, 제2 가동부(200)의 제2 척부(210)를 이동시켜 제2 척부(210)를 물(W)과 미세 필름(15)으로부터 분리시킨다. 제2 온도 조절부(230)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 상온보다 더 높은 상태이기 때문에, 물(W)은 제2 척부(210)보다 온도가 더 낮은 제2 이형 시트(20)에 더 잘 들러붙게 된다. 따라서, 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200)를 제3 가동부(300) 위로 이동시키면, 물(W)과 물(W) 내부에 배치된 미세 필름(15)는 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 남아 있게 된다.Referring to FIG. 10 , the second chuck part 210 of the second movable part 200 is moved to separate the second chuck part 210 from the water W and the fine film 15 . Since the temperature of the second chuck unit 210 is higher than room temperature by the second temperature control unit 230 , the water W has a lower temperature than the second release sheet 20 of the second chuck unit 210 . better adhere to Accordingly, when the second movable part 200 including the second chuck part 210 is moved over the third movable part 300 , the water W and the fine film 15 disposed inside the water W are released by the second release. It remains on one surface 20a of the sheet 20 .

도 11을 참조하면, 제3 가동부(300)의 제3 척부(310)의 온도를 높여 도 10에 도시된 물(W)을 증발시킨다. 여기서, 제3 척부(310)의 온도를 높이기 위해 제3 온도 조절부(330)의 온도를 영상 60도(℃) 이상으로 설정할 수 있다. 물(W)이 증발되기 때문에, 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에는 미세 필름(15)이 배치된다.Referring to FIG. 11 , the water W shown in FIG. 10 is evaporated by increasing the temperature of the third chuck part 310 of the third movable part 300 . Here, in order to increase the temperature of the third chuck unit 310 , the temperature of the third temperature control unit 330 may be set to 60 degrees (°C) or higher. Since the water W is evaporated, the fine film 15 is disposed on one surface 20a of the second release sheet 20 .

이와 같이, 도 2 내지 도 11에 의하면, 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a)에 형성된 미세 필름(15)을 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 전사시킬 수 있다. 이러한 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 다음의 유리한 효과들을 가질 수 있다.As described above, according to FIGS. 2 to 11 , the microfilm 15 formed on one surface 10a of the first release sheet 10 may be transferred to one surface 20a of the second release sheet 20 . . Use of this fine film transfer method according to the first embodiment can have the following advantageous effects.

제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제1 이형 시트의 수 마이크로 또는 나노 단위의 미세 필름을 설계자가 원하는 제2 이형 시트에 용이하게 전사시킬 수 있다. 점도가 물을 사용하기 때문에, 미세 필름 사이사이의 미세 공간으로도 물이 쉽게 침투할 수 있어 물이 얼음으로 변환되는 과정에서 미세 필름의 측면도 냉동시킬 수 있다. 따라서, 미세 필름을 제1 이형 시트에서 정확하고 완벽하게 분리시킬 수 있는 이점이 있다.Using the microfilm transfer method according to the first embodiment, the microfilm or nanoscale microfilm of the first release sheet can be easily transferred to the second release sheet desired by a designer. Because the viscosity uses water, water can easily penetrate into the microcavity between the microfilms, and the side of the microfilm can also be frozen in the process of water being converted into ice. Accordingly, there is an advantage in that the fine film can be accurately and completely separated from the first release sheet.

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제2 이형 시트에 미세 필름이 전사되는 과정에서, 제2 이형 시트의 표면이 물의 박막으로 덮인 후에 미세 필름과 접촉되므로 강도가 높은 이점이 있다.In addition, when the fine film transfer method according to the first embodiment is used, in the process of transferring the fine film to the second release sheet, the surface of the second release sheet is covered with a thin film of water and then comes into contact with the fine film, so the advantage of high strength There is this.

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제1 이형 시트에서 미세 필름을 떼어내어 제2 이형 시트에 전사시키는 과정에서 별도의 이형 시트가 필요없는 이점이 있다. In addition, when the fine film transfer method according to the first embodiment is used, there is an advantage that a separate release sheet is not required in the process of removing the fine film from the first release sheet and transferring it to the second release sheet.

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제2 이형 시트의 접착력에 영향을 미치지 않는 이점이 있다.In addition, when the fine film transfer method according to the first embodiment is used, there is an advantage that the adhesive strength of the second release sheet is not affected.

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 물을 사용하기 때문에, 공정 비용이 절감되고, 폐액의 처리가 간편하며, 환경 오염을 일으키지 않는 이점이 있다.In addition, when the fine film transfer method according to the first embodiment is used, since water is used, the process cost is reduced, the waste liquid is simple, and environmental pollution is not caused.

또한, 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 사용하면, 제2 이형 시트에 저분자 실록산과 같은 물질이 전혀 생기지 않기 때문에, 제2 이형 시트를 사용하는 장치나 장비에 접점 불량이 발생하지 않는 이점이 있다.
In addition, when the fine film transfer method according to the first embodiment is used, since no substances such as low molecular weight siloxane are generated in the second release sheet, contact failure does not occur in devices or equipment using the second release sheet. There is this.

< 미세 필름 전사 방법의 제2 실시 형태><Second embodiment of fine film transfer method>

도 12 내지 도 21은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 순차적으로 설명하기 위한 도면들이다.12 to 21 are views for sequentially explaining a method of transferring a fine film according to a second embodiment of the present invention.

제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법은, 결과적으로, 도 12에 도시된 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a)에 형성되어 있는 복수의 미세 필름들(15a, 15b, 15c) 중 제1 미세 필름(15a)을 도 21에 도시된 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 전사하는 방법에 관한 것이다. 이하에서 도 12 내지 도 21을 참조하여 각 과정을 상세히 설명하도록 한다.The fine film transfer method according to the second embodiment is, as a result, among the plurality of fine films 15a , 15b , 15c formed on one surface 10a of the first release sheet 10 shown in FIG. 12 . It relates to a method of transferring the first fine film 15a to one surface 20a of the second release sheet 20 shown in FIG. 21 . Hereinafter, each process will be described in detail with reference to FIGS. 12 to 21 .

도 12를 참조하면, 복수의 미세 필름들(15a, 15b, 15c)이 형성된 제1 이형 시트(10)를 제1 가동부(100)의 제1 척부(110)에 배치시킨다. 여기서, 제1 척부(110)는 제1 이형 시트(10)가 놓여지고, 제1 이형 시트(10)를 고정시키기 위한 선반이다.Referring to FIG. 12 , the first release sheet 10 on which the plurality of fine films 15a , 15b , and 15c are formed is disposed on the first chuck part 110 of the first movable part 100 . Here, the first chuck unit 110 is a shelf on which the first release sheet 10 is placed and for fixing the first release sheet 10 .

여기서, 제1 가동부(100)는 제1 척부(110), 제1 온도 조절부(130) 및 베이스(150)를 포함할 수 있다. 제1 온도 조절부(130)는 제1 척부(110)의 온도를 가변시키기 위한 것으로서, 열전 소자(펠티어 소자) 또는 세라믹 히터일 수 있다. 베이스(150)는 제1 온도 조절부(130)를 장착시키기 위한 것일 수 있다.Here, the first movable unit 100 may include a first chuck unit 110 , a first temperature control unit 130 , and a base 150 . The first temperature control unit 130 is for changing the temperature of the first chuck unit 110 , and may be a thermoelectric element (Peltier element) or a ceramic heater. The base 150 may be for mounting the first temperature control unit 130 .

도 13을 참조하면, 제1 이형 시트(10)의 일 면(10a) 상에 물(W)을 공급한다. 물(W)은 제1 이형 시트(10)의 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 잠기도록 공급한다. 여기서, 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 잠기도록 공급한다는 의미는, 물(W)의 표면이 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)의 상면과 동일 평면에 배치되거나 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)의 상면보다 더 높이 배치시키는 것을 의미할 수 있다.Referring to FIG. 13 , water W is supplied on one surface 10a of the first release sheet 10 . Water (W) is supplied to submerge the first to third fine films (15a, 15b, 15c) of the first release sheet (10). Here, the first to third microfilms 15a, 15b, and 15c are supplied to be submerged, meaning that the surface of the water W is the same as the upper surface of the first to third microfilms 15a, 15b, and 15c. It may mean to be disposed on or to be disposed higher than the upper surface of the first to third fine films 15a, 15b, and 15c.

도 14를 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210)를 물(W)의 표면과 접촉되도록 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c) 위로 이동시킨다.Referring to FIG. 14 , the second chuck part 210 of the second movable part 200 ′ is moved over the first to third fine films 15a , 15b and 15c so as to be in contact with the surface of the water W .

여기서, 제2 가동부(200’)는 제2 척부(210)와 제2 온도 조절부(230’)를 포함할 수 있다. 제2 온도 조절부(230’)는 제2 척부(210)의 온도를 가변시키기 위한 것으로, 열전 소자(펠티어 소자) 또는 세라믹 히터일 수 있다. 제2 온도 조절부(230’)는 도 2 내지 도 11에 도시된 제2 온도 조절부(230)와 구성상의 차이가 있다. 구체적으로, 제2 온도 조절부(230’)는 복수의 부분들(231’, 232’, 233’)을 포함한다. 제1 내지 제3 부분들(231’, 232’, 233’)은 서로 독립적으로 동작할 수 있다. 예를 들어, 모두 같은 온도로도 가변될 수 있고, 서로 다른 온도로도 가변될 수 있다. Here, the second movable unit 200 ′ may include a second chuck unit 210 and a second temperature control unit 230 ′. The second temperature control unit 230 ′ is for changing the temperature of the second chuck unit 210 , and may be a thermoelectric element (Peltier element) or a ceramic heater. The second temperature control unit 230 ′ is different in configuration from the second temperature control unit 230 illustrated in FIGS. 2 to 11 . Specifically, the second temperature controller 230 ′ includes a plurality of parts 231 ′, 232 ′, and 233 ′. The first to third portions 231 ′, 232 ′, and 233 ′ may operate independently of each other. For example, all of them may be changed at the same temperature, or they may be changed at different temperatures.

도 15를 참조하면, 제2 척부(210)의 온도를 낮춰 물(W)을 얼음(I)으로 상태 변화시킨다. 여기서, 제2 척부(210)의 온도를 낮추기 위해 제2 온도 조절부(230’)의 제1 내지 제3 부분들(231’, 232’, 233’)의 온도를 0도(℃) 보다 낮은 온도로 설정할 수 있다. 예를들어, 영하 15도(℃) 이하로 설정할 수 있다. 이는 물(W)과 제2 온도 조절부(230’) 사이에 제2 척부(210)가 중간 매개체로서 존재하기 때문에, 물(W)의 어는점인 0도(℃)보다 더 낮은 온도를 설정하는 것이다. 또한, 여기서, 얼음(I)은 완전한 얼음일 수도 있고, 얼음과 약간의 물이 공존하는 상태일 수도 있다.Referring to FIG. 15 , the temperature of the second chuck unit 210 is lowered to change the state of water (W) into ice (I). Here, in order to lower the temperature of the second chuck unit 210 , the temperature of the first to third parts 231 ′, 232 ′, and 233 ′ of the second temperature control unit 230 ′ is lower than 0 degrees (°C). The temperature can be set. For example, it can be set to below minus 15 degrees (℃). This is because the second chuck 210 exists as an intermediate medium between the water W and the second temperature control unit 230', setting a temperature lower than 0 degrees (℃), the freezing point of the water (W). will be. Also, here, the ice I may be complete ice or a state in which ice and some water coexist.

도 16을 참조하면, 제2 척부(210)를 얼음(I)과 함께 이동시켜 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)을 제1 이형 시트(10)로부터 분리한다. 제2 온도 조절부(230’)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 0도 이하로 떨어진 상태이기 때문에, 얼음(I)은 제1 이형 시트(10)보다 온도가 더 낮은 제2 척부(210)에 더 잘 들러붙게 된다. 따라서, 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200’)를 제1 가동부(100) 위로 이동시키면, 얼음(I)이 제2 척부(210)를 따라 이동되고, 이에 의해, 얼음(I) 내부에 배치된 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 제1 이형 시트(10)로부터 분리된다. 여기서, 제2 온도 조절부(230’)는 얼음(I)이 그 상태를 그대로 유지되도록 저온의 상태를 유지한다.Referring to FIG. 16 , the first to third fine films 15a , 15b , and 15c are separated from the first release sheet 10 by moving the second chuck unit 210 together with the ice I. Since the temperature of the second chuck part 210 is in a state where the temperature of the second chuck part 210 has dropped to 0 degrees or less by the second temperature control part 230 ′, the ice I is stored in the second chuck part ( 210) is better attached. Accordingly, when the second movable part 200 ′ including the second chuck part 210 is moved over the first movable part 100 , the ice I moves along the second chuck part 210 , and thereby, the ice ( I) The first to third fine films 15a , 15b , and 15c disposed therein are separated from the first release sheet 10 . Here, the second temperature controller 230 ′ maintains a low temperature state such that the ice I maintains its state.

도 17을 참조하면, 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c) 중 제1 미세 필름(15a)을 전사시키고자 하는 피대상물인, 제2 이형 시트(20)를 제3 가동부(300)의 제3 척부(310)에 배치시킨다. 이 경우 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200’)는 제3 가동부(300) 위로 이동하거나 제1 가동부(300)의 위치가 다른 위치로 이동됨과 동시에 제3 가동부(300)가 제1 가동부(100)의 위치로 이동할 수 있다.Referring to FIG. 17 , the second release sheet 20 , which is an object to which the first fine film 15a of the first to third fine films 15a , 15b , and 15c is to be transferred, is applied to the third movable part 300 . ) of the third chuck part 310 . In this case, the second movable part 200 ′ including the second chuck part 210 moves above the third movable part 300 or the position of the first movable part 300 is moved to another position and at the same time the third movable part 300 is moved. It can move to the position of the first movable part 100 .

도 17 내지 도 21에서, 제3 가동부(300)가 도 12에 도시된 제1 가동부(100)와는 다른 구성으로 도시되어 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 제3 가동부(300)는 도 12에 도시된 제1 가동부(100)일 수 있다. 제3 가동부(300)가 제1 가동부(100)인 경우, 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 분리된 제1 이형 시트(10)를 제1 척부(110)에서 제거하고 제2 이형 시트(20)를 제1 척부(110)에 배치시킬 수 있다.17 to 21 , the third movable part 300 is illustrated in a configuration different from that of the first movable part 100 illustrated in FIG. 12 , but is not limited thereto. For example, the third movable part 300 may be the first movable part 100 illustrated in FIG. 12 . When the third movable part 300 is the first movable part 100 , the first release sheet 10 from which the first to third fine films 15a , 15b and 15c are separated is removed from the first chuck part 110 , The second release sheet 20 may be disposed on the first chuck unit 110 .

도 18을 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210)를 이동시켜 얼음(I)을 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 위치시킨다. 이러한 과정에 의해, 얼음(I) 내부에 배치된 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)이 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 위치하게 된다.Referring to FIG. 18 , the second chuck part 210 of the second movable part 200 ′ is moved to position the ice I on one surface 20a of the second release sheet 20 . By this process, the first to third fine films 15a , 15b , and 15c disposed inside the ice I are positioned on one surface 20a of the second release sheet 20 .

도 19를 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210) 중에서 제1 미세 필름(15a) 상에 배치된 제1 부분(212)의 온도를 높여 얼음(I) 중에서 제1 미세 필름(15a)을 포함하는 제1 부분을 물(W1)로 상태 변화시킨다. 여기서, 제2 척부(210)의 제1 부분(212)의 온도를 높이기 위해 제2 온도 조절부(230’)의 제1 부분(231’)의 온도를 0도(℃)보다 더 높은 온도로 설정할 수 있다. 예를 들어, 영상 50도(℃) 이상으로 설정할 수 있다. 이는 얼음과 제2 온도 조절부(230’) 사이에 제2 척부(210)가 중간 매개체로서 존재하기 때문에, 얼음의 녹는점인 0도(℃)보다 더 높은 온도를 설정하는 것이다. 제2 온도 조절부(230’)의 제2 내지 제3 부분(232’, 233’)은 제2 내지 제3 미세 필름(15b, 15b)을 포함하는 얼음(I2, I3)을 그대로 유지시킨다. 따라서, 제1 미세 필름(15a)는 물(W1) 내부에 배치되고, 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)는 얼음(I2, I3) 내부에 배치된다. 여기서, 물(W1)은 약간의 얼음도 포함할 수 있다. 즉, 물(W1)에는 얼음과 물이 공존할 수 있다.Referring to FIG. 19 , the temperature of the first part 212 disposed on the first fine film 15a among the second chuck parts 210 of the second movable part 200 ′ is increased to increase the temperature of the first fine particles in the ice I. The state of the first portion including the film 15a is changed to water W1. Here, in order to increase the temperature of the first part 212 of the second chuck part 210 , the temperature of the first part 231 ′ of the second temperature controller 230 ′ is set to a temperature higher than 0 degrees (°C). can be set. For example, the image may be set to 50 degrees (°C) or higher. This is to set a temperature higher than 0 degrees (°C), which is the melting point of ice, because the second chuck part 210 exists as an intermediate medium between the ice and the second temperature controller 230'. The second to third portions 232 ′ and 233 ′ of the second temperature controller 230 ′ maintain the ice I2 and I3 including the second to third fine films 15b and 15b as they are. Accordingly, the first micro-film 15a is disposed inside the water W1, and the second and third micro-films 15b and 15c are disposed inside the ice I2 and I3. Here, the water W1 may also include some ice. That is, ice and water may coexist in the water W1 .

도 20을 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210)를 이동시켜 제2 척부(210)를 물(W1)과 제1 미세 필름(15a)으로부터 분리시킨다. 제2 온도 조절부(230’)의 제1 부분(231’)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 상온보다 더 높은 상태이기 때문에, 물(W1)은 제2 척부(210)보다 온도가 더 낮은 제2 이형 시트(20)에 더 잘 들러붙게 된다. 따라서, 제2 척부(210)를 포함하는 제2 가동부(200’)를 제3 가동부(300) 위로 이동시키면, 물(W1)과 물(W1) 내부에 배치된 제1 미세 필름(15a)는 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에 남아 있게 된다.Referring to FIG. 20 , the second chuck part 210 of the second movable part 200' is moved to separate the second chuck part 210 from the water W1 and the first fine film 15a. Since the temperature of the second chuck part 210 is higher than the room temperature by the first part 231' of the second temperature controller 230', the water W1 has a higher temperature than that of the second chuck part 210. It adheres better to the lower second release sheet 20 . Accordingly, when the second movable part 200 ′ including the second chuck part 210 is moved over the third movable part 300 , the water W1 and the first fine film 15a disposed inside the water W1 are It remains on one surface 20a of the second release sheet 20 .

도 21을 참조하면, 제3 가동부(300)의 제3 척부(310)의 온도를 높여 도 20에 도시된 물(W1)을 증발시킨다. 여기서, 제3 척부(310)의 온도를 높이기 위해 제3 온도 조절부(330)의 온도를 영상 60도(℃) 이상으로 설정할 수 있다. 물(W1)이 증발되기 때문에, 제2 이형 시트(20)의 일 면(20a)에는 제1 미세 필름(15a)이 배치된다.Referring to FIG. 21 , the temperature of the third chuck part 310 of the third movable part 300 is increased to evaporate the water W1 shown in FIG. 20 . Here, in order to increase the temperature of the third chuck unit 310 , the temperature of the third temperature control unit 330 may be set to 60 degrees (°C) or higher. Since the water W1 is evaporated, the first fine film 15a is disposed on one surface 20a of the second release sheet 20 .

한편, 도 20를 다시 참조하면, 제2 가동부(200’)의 제2 척부(210)에 남아있는 제2 미세 필름(15b)와 제3 미세 필름(15c)은 제2 이형 시트(20)와 다른 제3 이형 시트에 도 18 내지 도 21에 도시된 과정을 통해 전사시킬 수 있다.On the other hand, referring back to FIG. 20 , the second microfilm 15b and the third microfilm 15c remaining in the second chuck part 210 of the second movable part 200 ′ include the second release sheet 20 and It may be transferred to another third release sheet through the process shown in FIGS. 18 to 21 .

도 12 내지 도 21에 도시된 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법은, 도 2 내지 도 11에 도시된 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법이 갖는 유리한 효과를 갖는 것과 함께 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법보다 더 유리한 효과가 있다. 그것은, 제1 이형 필름에 형성된 복수의 미세 필름들 중 일부는 제2 이형 시트에 전사시키고, 나머지 일부는 제3 이형 시트에 전사시킬 수 있다. 따라서, 다양한 형상의 미세 필름을 갖는 이형 시트들을 한 번에 제작할 수 있는 이점이 있다.The fine film transfer method according to the second embodiment shown in Figs. 12 to 21 is the first embodiment together with advantageous effects that the fine film transfer method according to the first embodiment shown in Figs. 2 to 11 has. There is a more advantageous effect than the fine film transfer method according to the It may transfer some of the plurality of fine films formed on the first release film to the second release sheet, and transfer the remaining part to the third release sheet. Accordingly, there is an advantage in that release sheets having various shapes of fine films can be manufactured at once.

한편, 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법의 도 19에 도시된 과정에서, 제2 온도 조절부(230’)의 제1 부분(231’)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 상온보다 더 높은 상태가 되면, 얼음에서 제1 미세 필름(15a)을 포함하는 제1 부분이 물(W1)로 상태가 변화됨과 동시에, 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)을 포함하는 얼음(I2, I3)도 물로 변화될 수 있다. 이러한 상태에서 도 20에 도시된 과정을 수행하면, 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)이 도 20과 도시된 것과는 달리 제2 이형 시트(20)에 남겨질 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위한 상세 과정을 이하에서 설명하도록 한다.Meanwhile, in the process shown in FIG. 19 of the method for transferring a fine film according to the second embodiment, the temperature of the second chuck unit 210 is set to room temperature by the first portion 231 ′ of the second temperature control unit 230 ′. When the state is higher than that, the state of the first portion including the first micro-film 15a is changed from ice to water W1, and at the same time, the ice including the second and third micro-films 15b and 15c. (I2, I3) can also be converted into water. If the process shown in FIG. 20 is performed in this state, the second and third fine films 15b and 15c may be left on the second release sheet 20 unlike that shown in FIG. 20 . A detailed process for solving these problems will be described below.

도 19에 도시된 과정에서, 제2 온도 조절부(230’)의 제1 부분(231’)에 의해 제2 척부(210)의 온도가 상온보다 더 높은 상태가 된 후, 얼음에서 제1 미세 필름(15a)를 포함하는 제1 부분이 물(W1)로 변화할 때, 물(W1)은 얼음일 때보다 그 체적이 더 커지기 때문에, 물(W1)의 일부가 제2 이형 시트(20)와 제2 미세 필름(15b)을 포함하는 얼음(I2) 사이 및 제2 이형 시트(20)와 제3 미세 필름(15c)을 포함하는 얼음(I3) 사이로 침투한다. 따라서, 물(W1)의 일부에 의해 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)을 포함하는 얼음(I2, I3)은 제2 이형 시트(20)와 분리된다. 여기서, 물(W1)은 약간의 얼음도 포함할 수 있다. 즉, 물(W1)에는 얼음과 물이 공존할 수 있다.In the process shown in FIG. 19 , after the temperature of the second chuck part 210 is higher than the room temperature by the first part 231 ′ of the second temperature controller 230 ′, the first microscopic When the first portion including the film 15a is changed to water W1, since the volume of the water W1 becomes larger than when the water W1 is ice, a portion of the water W1 is transferred to the second release sheet 20. and the ice I2 including the second micro-film 15b and between the ice I3 including the second release sheet 20 and the third micro-film 15c. Accordingly, the ice I2 and I3 including the second and third fine films 15b and 15c are separated from the second release sheet 20 by a portion of the water W1 . Here, the water W1 may also include some ice. That is, ice and water may coexist in the water W1 .

물(W1)의 일부에 의해 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)을 포함하는 얼음(I2, I3)이 제2 이형 시트(20)와 분리되면, 도 20에 도시된 바와 같이, 제2 척부(210)를 위로 올려 제2 및 제3 미세 필름(15b, 15c)을 포함하는 얼음(I2, I3)을 제2 이형 시트(20)에서 떨어뜨린다. 여기서, 제2 척부(210)를 너무 많이 올리면, 제1 미세 필름(15a)를 포함하는 물(W1)이 얼음(I2, I3)을 따라 이동할 수 있기 때문에, 얼음(I2, I3)이 제2 이형 시트(20)에서 떨어질만큼만 제2 척부(210)를 조금만 올린 후, 제3 온도 조절부(330)를 0도 이하로 냉각시켜 물(W1)을 다시 얼음으로 상태를 변경시킨다. 그런 후 얼음(I2, I3)이 붙어있는 제2 척부(210)를 완전히 위로 올리면, 얼음(I2, I3)을 제2 이형 시트(20)에서 완전히 떼어낸다. 마지막으로, 도 21에 도시된 바와 같이, 제3 온도 조절부(330)의 온도를 영상 60도(℃) 이상으로 설정하여 제1 미세 필름(15a)를 포함하는 얼음을 물로 변화시키고 나서 이 물을 증발시켜 제2 이형 시트(20)에 제1 미세 필름(15a)을 전사시킨다.When the ice I2 and I3 including the second and third fine films 15b and 15c are separated from the second release sheet 20 by a portion of the water W1, as shown in FIG. 2 The chuck unit 210 is lifted up to drop the ice I2 and I3 including the second and third fine films 15b and 15c from the second release sheet 20 . Here, if the second chuck part 210 is raised too much, the water W1 including the first micro-film 15a may move along the ice I2 and I3 , so that the ice I2 and I3 move to the second After raising the second chuck part 210 only enough to be separated from the release sheet 20 , the third temperature controller 330 is cooled to 0 degrees or less to change the state of the water W1 back to ice. Then, when the second chuck part 210 to which the ice I2 and I3 are attached is completely lifted, the ice I2 and I3 are completely removed from the second release sheet 20 . Finally, as shown in FIG. 21 , the ice including the first micro-film 15a is changed to water by setting the temperature of the third temperature controller 330 to a temperature of 60 degrees (°C) or higher, and then this water is evaporated to transfer the first fine film 15a to the second release sheet 20 .

한편, 상술한 방법 이외에, 도 14의 물(W)을 도 15의 얼음(I)으로 변화시킬 때, 제1 내지 제3 미세 필름(15a, 15b, 15c)을 덮는 물(W)을 전체적으로 한 번에 얼리는 것이 아니라, 여러 부분으로 나눠서 얼릴 수 있다. 즉, 제1 미세 필름(15a)을 포함하는 소정의 물만 제1 얼음으로 얼리고, 제2 미세 필름(15b)을 포함하는 소정의 물만 제2 얼음으로 얼리며, 제3 미세 필름(15b)을 포함하는 소정의 물만 제3 얼음으로 얼릴 수 있다. 여기서, 제1 내지 제3 얼음 각각은 인접하는 다른 얼음과 서로 붙지않도록 하면, 앞서 상술한 문제를 해결할 수 있다.
On the other hand, in addition to the above method, when changing the water (W) of Figure 14 to the ice (I) of Figure 15, the water (W) covering the first to third fine films (15a, 15b, 15c) as a whole Instead of freezing it all at once, you can freeze it by dividing it into several parts. That is, only the predetermined water including the first micro-film 15a is frozen with the first ice, only the predetermined water including the second micro-film 15b is frozen with the second ice, and the third micro-film 15b is included. Only a predetermined amount of water can be frozen with the third ice. Here, if each of the first to third ice does not stick to each other, the above-described problem can be solved.

<미세 필름 전사 장치의 실시 형태><Embodiment of fine film transfer apparatus>

도 22는 도 2 내지 도 11에 도시된 제1 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법을 수행할 수 있는 미세 필름 전사 장치의 단면도이다.22 is a cross-sectional view of a fine film transfer apparatus capable of performing the fine film transfer method according to the first embodiment shown in FIGS. 2 to 11 .

도 22를 참조하면, 본 발명의 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 장치는, 제1 가동부(100), 제2 가동부(200), 공급부(700) 및 제어부(900)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 22 , the fine film transfer apparatus according to an embodiment of the present invention may include a first movable part 100 , a second movable part 200 , a supply part 700 , and a control part 900 .

제1 가동부(100)는 제1 척부(110), 제1 온도 조절부(130) 및 베이스(150)를 포함할 수 있다.The first movable unit 100 may include a first chuck unit 110 , a first temperature control unit 130 , and a base 150 .

베이스(150) 상에 제1 온도 조절부(130)가 배치되고, 제1 온도 조절부(130) 상에 제1 척부(110)가 배치된다.The first temperature control unit 130 is disposed on the base 150 , and the first chuck unit 110 is disposed on the first temperature control unit 130 .

베이스(150)는 제2 가동부(200)의 몸체부(250)와 결합하고, 상기 몸체부(250)와 함께 내부에 제1 이형 필름(10)과 제2 이형 필름(미도시)을 수납하는 공간을 제공할 수 있다.The base 150 is coupled to the body part 250 of the second movable part 200 and accommodates the first release film 10 and the second release film (not shown) therein together with the body part 250 . space can be provided.

제1 온도 조절부(130)는 제어부(900)에 의해 소정 온도로 가변할 수 있다. 예를 들어, 제1 온도 조절부(130)는 제어부(900)의 명령에 따라 저온으로 냉각될 수도 있고, 고온으로도 가열될 수도 있다. 제1 온도 조절부(130)는 열전 소자나 세라믹 히터일 수 있다.The first temperature control unit 130 may change to a predetermined temperature by the control unit 900 . For example, the first temperature control unit 130 may be cooled to a low temperature or heated to a high temperature according to a command of the control unit 900 . The first temperature controller 130 may be a thermoelectric element or a ceramic heater.

제1 척부(110)는 제1 온도 조절부(130)의 온도에 의해 자신의 온도가 변화된다. 제1 척부(110)에는 제1 이형 시트(10)가 배치되고, 미세 필름(15)이 전사될 제2 이형 시트(미도시)가 배치될 수 있다.The temperature of the first chuck unit 110 is changed by the temperature of the first temperature control unit 130 . A first release sheet 10 may be disposed on the first chuck unit 110 , and a second release sheet (not shown) to which the fine film 15 will be transferred may be disposed.

제2 가동부(200)는 제2 척부(210), 제2 온도 조절부(230) 및 몸체부(250)를 포함할 수 있다.The second movable part 200 may include a second chuck part 210 , a second temperature control part 230 , and a body part 250 .

제2 척부(210)는 제1 이형 시트(10)의 미세 필름(15)을 제1 이형 시트(10)로부터 분리하고, 제2 이형 시트(미도시)에 미세 필름(15)을 전사시킨다.The second chuck unit 210 separates the microfilm 15 of the first release sheet 10 from the first release sheet 10 and transfers the microfilm 15 to the second release sheet (not shown).

제2 온도 조절부(230)는 제어부(900)에 의해 소정 온도로 가변할 수 있다. 예를 들어, 제2 온도 조절부(230)는 제어부(900)의 명령에 따라 저온으로 냉각될 수도 있고, 고온으로도 가열될 수도 있다. 제2 온도 조절부(230)는 열전 소자나 세라믹 히터일 수 있다.The second temperature control unit 230 may change a predetermined temperature by the control unit 900 . For example, the second temperature control unit 230 may be cooled to a low temperature or heated to a high temperature according to a command of the control unit 900 . The second temperature controller 230 may be a thermoelectric element or a ceramic heater.

제2 척부(210)의 일 면(211)은 미세 홈을 포함할 수 있다. 미세 홈이 일 면(211)에 형성되면, 제2 척부(210)가 미세 필름(15)을 갖는 얼음을 제2 이형 시트(미도시)에 전사할 때, 얼음이 물이 된 후에는 물과의 접촉 면적이 감소되기 때문에, 미세 필름이 제2 이형 시트에 전사되는 출시성을 높일 수 있다.One surface 211 of the second chuck part 210 may include a microgroove. When the microgrooves are formed on one surface 211 , when the second chuck unit 210 transfers the ice having the microfilm 15 to the second release sheet (not shown), after the ice turns into water, the water and Since the contact area of the microfilm is reduced, it is possible to increase the releaseability of the fine film transferred to the second release sheet.

몸체부(250)에는 제1 척부(210)와 제2 온도 조절부(230)가 장착되며, 제어부(900)의 제어에 따라 제1 척부(210)를 이동시킬 수 있다.A first chuck part 210 and a second temperature control part 230 are mounted on the body part 250 , and the first chuck part 210 can be moved under the control of the controller 900 .

공급부(700)는 제어부(900)의 명령에 따라 제1 척부(210) 위로 물을 공급한다.The supply unit 700 supplies water to the first chuck unit 210 according to a command of the control unit 900 .

제어부(900)는 몸체부(250)의 이동을 제어하여 제2 척부(210)의 이동을 제어하고, 공급부(700)의 물 공급을 제어하며, 제1 온도 조절부(130)와 제2 온도 조절부(230)의 온도를 제어할 수 있다.The controller 900 controls the movement of the body part 250 to control the movement of the second chuck part 210 , controls the supply of water to the supply part 700 , and the first temperature controller 130 and the second temperature. The temperature of the controller 230 may be controlled.

도 22에 도시된 미세 필름 전사 장치는, 도 12 내지 도 21에 도시된 제2 실시 형태에 따른 미세 필름 전사 방법도 수행할 수 있다. 구체적으로, 제2 온도 조절부(230)를 도 14에 도시된 제2 온도 조절부(230’), 즉 복수의 온도 조절부들로 대체하면 가능하다.The fine film transfer apparatus shown in FIG. 22 may also perform the fine film transfer method according to the second embodiment shown in FIGS. 12 to 21 . Specifically, it is possible to replace the second temperature controller 230 with the second temperature controller 230 ′ shown in FIG. 14 , that is, a plurality of temperature controllers.

이상에서 실시 형태를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 형태에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In the above, the embodiment has been mainly described, but this is only an example and does not limit the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains are not exemplified above in the range that does not depart from the essential characteristics of this embodiment. It will be appreciated that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be implemented with modification. And differences related to such modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

10: 제1 이형 시트
15: 미세 필름
20: 제2 이형 시트10: first release sheet
15: fine film
20: second release sheet

Claims (10)

제1 이형 시트의 일 면에 형성된 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 방법에 있어서,
상기 제1 이형 시트를 제1 척부에 배치하는 단계;
상기 미세 필름이 잠기도록 상기 제1 이형 시트의 일 면 상에 물을 공급하는 단계;
제2 척부를 상기 물의 표면과 접촉되도록 상기 미세 필름 위로 이동시키는 단계;
상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계;
상기 제2 척부를 상기 얼음과 함께 이동시켜 상기 미세 필름을 상기 제1 이형 시트로부터 분리하는 단계;
상기 제2 이형 시트를 제3 척부에 배치하는 단계;
상기 제2 척부를 이동시켜 상기 얼음을 상기 제2 이형 시트의 일 면에 위치시키는 단계;
상기 제2 척부의 온도를 높여 상기 얼음을 상기 물로 상태 변화시키는 단계;
상기 제2 척부를 이동시켜 상기 제2 척부를 상기 물과 상기 미세 필름으로부터 분리시키는 단계; 및
상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계;
를 포함하는 미세 필름 전사 방법.In the method of transferring the fine film formed on one surface of the first release sheet to the second release sheet,
disposing the first release sheet on a first chuck unit;
supplying water on one surface of the first release sheet to submerge the fine film;
moving the second chuck part onto the microfilm so as to be in contact with the surface of the water;
changing the state of the water into ice by lowering the temperature of the second chuck;
separating the microfilm from the first release sheet by moving the second chuck unit together with the ice;
disposing the second release sheet on a third chuck unit;
positioning the ice on one surface of the second release sheet by moving the second chuck unit;
changing the state of the ice into the water by increasing the temperature of the second chuck;
separating the second chuck part from the water and the fine film by moving the second chuck part; and
evaporating the water by increasing the temperature of the third chuck;
A fine film transfer method comprising a. 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 제1 미세 필름과 제2 미세 필름 중 상기 제1 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 방법에 있어서,
상기 제1 이형 시트를 제1 척부에 배치하는 단계;
상기 제1 및 제2 미세 필름이 잠기도록 상기 제1 이형 시트의 일 면 상에 물을 공급하는 단계;
제2 척부를 상기 물의 표면과 접촉되도록 상기 미세 필름 위로 이동시키는 단계;
상기 제2 척부의 온도를 낮춰 상기 물을 얼음으로 상태 변화시키는 단계;
상기 제2 척부를 상기 얼음과 함께 이동시켜 상기 제1 및 제2 미세 필름을 상기 제1 이형 시트로부터 분리하는 단계;
상기 제2 이형 시트를 제3 척부에 배치하는 단계;
상기 제2 척부를 이동시켜 상기 얼음을 상기 제2 이형 시트의 일 면에 위치시키는 단계;
상기 제2 척부 중에서 상기 제1 미세 필름 상에 배치된 제1 부분의 온도를 높여 상기 얼음 중에서 상기 제1 미세 필름을 포함하는 제1 부분을 상기 물로 상태 변화시키는 단계;
상기 제2 척부를 이동시켜 상기 제2 척부를 상기 물과 상기 제1 미세 필름으로부터 분리시키는 단계; 및
상기 제3 척부의 온도를 높여 상기 물을 증발시키는 단계;
를 포함하는 미세 필름 전사 방법.In the method of transferring the first microfilm among the first microfilm and the second microfilm formed on one surface of the first release sheet to a second release sheet,
disposing the first release sheet on a first chuck unit;
supplying water on one surface of the first release sheet to submerge the first and second fine films;
moving the second chuck part onto the microfilm so as to be in contact with the surface of the water;
changing the state of the water into ice by lowering the temperature of the second chuck;
separating the first and second fine films from the first release sheet by moving the second chuck unit together with the ice;
disposing the second release sheet on a third chuck unit;
positioning the ice on one surface of the second release sheet by moving the second chuck unit;
changing a state of a first portion including the first microfilm in the ice with the water by increasing a temperature of a first portion disposed on the first microfilm in the second chuck portion;
separating the second chuck part from the water and the first fine film by moving the second chuck part; and
evaporating the water by increasing the temperature of the third chuck;
A fine film transfer method comprising a. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1 이형 시트의 일 면에 형성된 미세 필름을 제2 이형 시트에 전사하는 장치에 있어서,
상기 제1 이형 시트와 상기 제2 이형 시트가 배치되는 제1 척부 및 상기 제1 척부의 온도를 변화시키는 제1 온도 조절부를 포함하는 제1 가동부;
상기 제1 척부 위에서 이동하는 제2 척부 및 상기 제2 척부의 온도를 변화시키는 제2 온도 조절부를 포함하는 제2 가동부;
상기 제1 척부 위로 물을 공급하는 공급부; 및
상기 제2 척부의 이동을 제어하고, 상기 공급부의 물 공급을 제어하고, 상기 제1 온도 조절부와 상기 제2 온도 조절부의 온도를 제어하는 제어부;
를 포함하고,
상기 제2 온도 조절부는, 복수의 온도 조절부들을 포함하고,
상기 제어부는, 상기 복수의 온도 조절부들의 온도를 각각 독립적으로 제어하는, 미세 필름 전사 장치.In the device for transferring the fine film formed on one surface of the first release sheet to the second release sheet,
a first movable part including a first chuck part on which the first release sheet and the second release sheet are disposed, and a first temperature control part for changing a temperature of the first chuck part;
a second movable part including a second chuck part moving on the first chuck part and a second temperature control part changing a temperature of the second chuck part;
a supply unit for supplying water to the first chuck unit; and
a control unit for controlling movement of the second chuck unit, controlling water supply of the supply unit, and controlling temperatures of the first temperature control unit and the second temperature control unit;
including,
The second temperature control unit includes a plurality of temperature control units,
The control unit, the fine film transfer apparatus for independently controlling the temperatures of the plurality of temperature control units, respectively. 삭제delete 제 8 항에 있어서,
상기 제2 척부의 일 면은 미세 홈을 포함하는, 미세 필름 전사 장치.9. The method of claim 8,
One surface of the second chuck part includes a micro groove, a fine film transfer device.
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