KR20160054465A

KR20160054465A - Industrial robot

Info

Publication number: KR20160054465A
Application number: KR1020167003877A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 야자와; 요시히사 마스자와
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2013-09-13
Filing date: 2014-09-12
Publication date: 2016-05-16
Also published as: TWI551411B; CN105555487A; CN105555487B; TW201521975A; JP2015054379A; JP6273114B2; KR102192699B1; WO2015037702A1

Abstract

관절부에 감속기가 배치되어 있는 산업용 로봇에 있어서, 저비용이면서 또한 용이하게 오버홀을 행할 수 있는 산업용 로봇을 제공한다. 이 산업용 로봇은, 핸드(4)가 회동 가능하게 연결되는 선단측 아암부(21)와, 선단측 아암부(21)가 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부(20)를 구비하고 있다. 선단측 아암부(21)와 제1 아암부(20)를 연결하는 제1 관절부(22)는 입력축과, 이 입력축에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 출력축과, 입력축 및 출력축을 회전 가능하게 지지하는 케이스 본체를 갖는 감속기(37)를 구비하고, 핸드(4)와 선단측 아암부(21)를 연결하는 제2 관절부(23)는 입력축과, 이 입력축에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 출력축과, 입력축 및 출력축을 회전 가능하게 지지하는 케이스 본체를 갖는 감속기(38)를 구비하고 있다. 감속기(37)의 케이스 본체 및 감속기(38)의 케이스 본체는 선단측 아암부(21)측에 고정되어 있다.An industrial robot in which a speed reducer is disposed in a joint part is provided with an industrial robot capable of overhauling at low cost and easily. The industrial robot has a front end arm portion 21 to which the hand 4 is rotatably connected and a first arm portion 20 to which the distal end arm portion 21 is rotatably connected. The first joint portion 22 connecting the front end side arm portion 21 and the first arm portion 20 includes an input shaft, an output shaft that decelerates and outputs the power input to the input shaft, and an input shaft And a second joint part (23) for connecting the hand (4) and the front end side arm part (21) are provided with an input shaft and a reduction gear And a speed reducer 38 having a case body rotatably supporting the input shaft and the output shaft. The case body of the speed reducer 37 and the case body of the speed reducer 38 are fixed to the front end side arm portion 21 side.

Description

INDUSTRIAL ROBOT

본 발명은, 핸드와, 복수의 아암부에 의해 구성되는 아암을 구비하는 산업용 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an industrial robot including a hand and an arm constituted by a plurality of arm portions.

종래, 진공 중에서 유리 기판 등을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판 등이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 아암은 서로 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와 제2 아암부에 의해 구성되어 있다. 핸드는 제2 아암부의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 아암부의 기단부측은 제1 아암부의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 제1 아암부의 기단부측은 본체부에 회동 가능하게 연결되어 있다.Background Art Conventionally, an industrial robot for transporting a glass substrate or the like in vacuum is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot disclosed in Patent Document 1 has a hand on which a glass substrate or the like is mounted, an arm rotatably connected to the tip of the hand, and a body portion to which the proximal end side of the arm is rotatably connected. The arm is constituted by a first arm portion and a second arm portion which are rotatably connected to each other. The hand is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion. The proximal end side of the second arm portion is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion, and the proximal end side of the first arm portion is rotatably connected to the main body portion.

일본 특허 공개 제2008-6535호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2008-6535

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에 있어서, 핸드와 제2 아암부를 연결하는 관절부나 제2 아암부와 제1 아암부를 연결하는 관절부의 강성을 확보하기 위해서는, 관절부에 감속기가 배치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇 등의 산업용 로봇에서는, 정기적으로 오버홀이 행하여진다. 그로 인해, 저비용이면서 또한 용이하게 오버홀을 행할 수 있는 산업용 로봇이 시장에서 요구되고 있다.In the industrial robot described in Patent Document 1, it is preferable that a decelerator is disposed at the joint part to secure the rigidity of the joint part connecting the hand and the second arm part or the joint part connecting the second arm part and the first arm part. In an industrial robot such as an industrial robot described in Patent Document 1, overhauls are periodically performed. Therefore, there is a demand in the market for an industrial robot that can perform overhauls at low cost and with ease.

따라서, 본 발명의 과제는 관절부에 감속기가 배치되어 있는 산업용 로봇에 있어서, 저비용이면서 또한 용이하게 오버홀을 행할 수 있는 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an industrial robot in which an overhole can be performed easily at low cost in an industrial robot in which a speed reducer is disposed in a joint portion.

상기한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇은, 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 선단측 아암부 및 선단측 아암부의 기단부측이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부를 갖는 아암과, 선단측 아암부와 제1 아암부를 회동 가능하게 연결하는 제1 관절부와, 핸드와 선단측 아암부를 회동 가능하게 연결하는 제2 관절부를 구비하고, 제1 관절부는 동력이 입력되는 제1 입력축과, 제1 입력축에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 제1 출력축과, 제1 입력축 및 제1 출력축을 회전 가능하게 지지하는 제1 케이스 본체를 갖는 제1 감속기를 구비하고, 제2 관절부는 동력이 입력되는 제2 입력축과, 제2 입력축에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 제2 출력축과, 제2 입력축 및 제2 출력축을 회전 가능하게 지지하는 제2 케이스 본체를 갖는 제2 감속기를 구비하고, 제1 케이스 본체 및 제2 케이스 본체는 선단측 아암부측에 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-described problems, the industrial robot of the present invention is characterized in that an industrial robot is provided with a hand, a front end side arm portion rotatably connected to a distal end side of the hand, and a proximal end side arm portion A first joint part for rotatably connecting the first arm part and the first arm part; and a second joint part for rotatably connecting the hand and the tip end arm part, And a first reducer having a first input shaft and a first case body for rotatably supporting a first input shaft and a first output shaft, The second joint body includes a second input shaft to which power is input, a second output shaft that decelerates the power input to the second input shaft, and a second case body that rotatably supports the second input shaft and the second output shaft. Claim, the first case body and the second case body having a second reduction gear having is characterized in that fixed to the side of the tip side arm.

본 발명의 산업용 로봇에서는, 제1 관절부의 적어도 일부를 구성하는 제1 감속기의 제1 케이스 본체가 선단측 아암부측에 고정되어 있고, 제1 감속기를 구성하는 제1 입력축, 제1 출력축 및 베어링 등의 부재가 선단측 아암부에 보유 지지되어 있다. 또한, 본 발명에서는, 제2 관절부의 적어도 일부를 구성하는 제2 감속기의 제2 케이스 본체가 선단측 아암부측에 고정되어 있고, 제2 감속기를 구성하는 제2 입력축, 제2 출력축 및 베어링 등의 부재가 선단측 아암부에 보유 지지되어 있다. 그로 인해, 본 발명에서는, 산업용 로봇의 오버홀을 행할 때, 제1 감속기 및 제2 감속기를 선단측 아암부와 일체로 교환하는 것이 가능해진다. 즉, 산업용 로봇의 오버홀을 행할 때, 제1 아암부보다도 아암의 선단측에 배치되는 선단측 아암부를 교환함으로써, 제1 아암부를 교환하지 않아도, 제1 감속기 및 제2 감속기를 교환하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 관절부에 감속기가 배치되어 있는 산업용 로봇에 있어서, 저비용이면서 또한 용이하게 오버홀을 행하는 것이 가능해진다.In the industrial robot of the present invention, the first case body of the first reducer constituting at least a part of the first joint is fixed to the tip side arm portion side, and the first input shaft, the first output shaft, and the bearing And the like are held and supported by the tip side arm portions. In the present invention, the second case body of the second reducer constituting at least a part of the second joint portion is fixed to the tip side arm portion side, and the second input shaft, the second output shaft and the bearing Is held by the tip side arm portion. Therefore, in the present invention, when the industrial robot is overhauled, it is possible to exchange the first reducer and the second reducer integrally with the tip side arm portion. In other words, when the industrial robot is overhauled, it is possible to replace the first reducer and the second reducer without replacing the first arm by replacing the tip arm on the tip side of the arm than the first arm . Therefore, according to the present invention, in an industrial robot in which a speed reducer is disposed in a joint portion, it is possible to perform overhauls at low cost and with ease.

본 발명에 있어서, 제1 감속기 및 제2 감속기는, 예를 들어 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다.In the present invention, the first reducer and the second reducer are, for example, hollow reducers in which a through hole is formed at the center in the radial direction.

본 발명에 있어서, 핸드, 선단측 아암부 및 제1 아암부는 진공 중에 배치되고, 선단측 아암부 및 제1 아암부는 중공 형상으로 형성됨과 함께, 선단측 아암부의 내부 및 제1 아암부의 내부는 대기압으로 되어 있으며, 제1 관절부는 선단측 아암부와 제1 아암부의 연결 부분으로부터 진공 중으로의 공기 유출을 방지하는 제1 자성 유체 시일을 구비하고, 제2 관절부는 핸드와 선단측 아암부의 연결 부분으로부터 진공 중으로의 공기 유출을 방지하는 제2 자성 유체 시일을 구비하고, 제1 자성 유체 시일은, 그 외주측 부분을 구성함과 함께 제1 케이스 본체가 고정되는 제1 시일 케이스 본체와, 제1 시일 케이스 본체의 내주측에 회전 가능하게 보유 지지됨과 함께 제1 출력축이 고정되는 제1 내주측 부재와, 베어링과 영구 자석과 자성 유체를 갖고 직경 방향에 있어서 제1 시일 케이스 본체와 제1 내주측 부재의 사이에 배치되는 제1 베어링 시일부를 구비하고, 제2 자성 유체 시일은, 그 외주측 부분을 구성함과 함께 제2 케이스 본체가 고정되는 제2 시일 케이스 본체와, 제2 시일 케이스 본체의 내주측에 회전 가능하게 보유 지지됨과 함께 제2 출력축이 고정되는 제2 내주측 부재와, 베어링과 영구 자석과 자성 유체를 갖고 직경 방향에 있어서 제2 시일 케이스 본체와 제2 내주측 부재의 사이에 배치되는 제2 베어링 시일부를 구비하고, 제1 케이스 본체는 제1 시일 케이스 본체를 통하여 선단측 아암부에 고정되고, 제2 케이스 본체는 제2 시일 케이스 본체를 통하여 선단측 아암부에 고정되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the hand, the front end side arm portion and the first arm portion are arranged in vacuum, the front end side arm portion and the first arm portion are formed in a hollow shape, and the inside of the front end side arm portion and the inside of the first arm portion are formed at atmospheric pressure And the first joint part includes a first magnetic fluid seal for preventing air from flowing out from the connection part between the tip end side arm part and the first arm part to the vacuum, and the second joint part is provided from the connection part between the hand and the tip side arm part And a second magnetic fluid seal for preventing air from flowing out into a vacuum, wherein the first magnetic fluid seal has a first seal case body constituting an outer peripheral portion thereof and fixed to the first case body, A first inner peripheral side member rotatably held on an inner peripheral side of the case body and fixed with a first output shaft, and a second inner peripheral side member having a bearing, a permanent magnet, And a first bearing seal portion that is disposed between the first seal case main body and the first inner peripheral side member, and the second magnetic fluid seal has a second seal portion that constitutes an outer peripheral side portion thereof, A second inner circumferential member rotatably held on an inner circumferential side of the second seal case body and fixed with a second output shaft, and a second seal member having a bearing, a permanent magnet and a magnetic fluid, And a second bearing seal portion disposed between the case main body and the second inner peripheral side member, wherein the first case main body is fixed to the front end side arm portion through the first seal case main body, And is fixed to the tip-end arm portion through the body.

이와 같이 구성하면, 제1 자성 유체 시일을 구성하는 제1 내주측 부재 및 제1 베어링 시일부 등의 부재가 선단측 아암부에 보유 지지됨과 함께, 제2 자성 유체 시일을 구성하는 제2 내주측 부재 및 제2 베어링 시일부 등의 부재가 선단측 아암부에 보유 지지되므로, 산업용 로봇의 오버홀을 행할 때, 제1 감속기 및 제2 감속기에 추가하여, 제1 자성 유체 시일 및 제2 자성 유체 시일을 선단측 아암부와 일체로 교환하는 것이 가능해진다. 즉, 산업용 로봇의 오버홀을 행할 때, 제1 아암부보다도 아암의 선단측에 배치되는 선단측 아암부를 교환함으로써, 제1 아암부를 교환하지 않아도, 제1 감속기 및 제2 감속기에 추가하여, 제1 자성 유체 시일 및 제2 자성 유체 시일을 교환하는 것이 가능해진다. 따라서, 관절부가 자성 유체 시일을 구비하고 있는 경우에도, 저비용이면서 또한 용이하게 오버홀을 행하는 것이 가능해진다.With such a configuration, members such as the first inner peripheral side member and the first bearing seal portion constituting the first magnetic fluid seal are held by the tip side arm portions, and the second inner peripheral side member Member and the second bearing seal portion are held by the tip side arm portion. Therefore, when the industrial robot is overhauled, in addition to the first reducer and the second reducer, the first magnetic fluid seal and the second magnetic fluid seal Side arm portion can be exchanged integrally with the distal-side arm portion. That is, when the industrial robot is overhauled, the front arm portion disposed at the distal end side of the arm is replaced with the first arm portion, so that, in addition to the first reducer and the second reducer, It becomes possible to replace the magnetic fluid seal and the second magnetic fluid seal. Therefore, even when the joint portion is provided with the magnetic fluid seal, the overhole can be performed at low cost with ease.

본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 예를 들어 2개의 핸드와, 2개의 선단측 아암부와, 2개의 제1 아암부와, 2개의 제1 아암부의 기단부측이 고정되는 아암 지지부와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하는 아암 지지부의 회동이 가능해지도록 아암 지지부가 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 이 경우에는, 산업용 로봇의 오버홀을 행할 때, 아암 지지부에 고정되는 2개의 제1 아암부를 교환하지 않아도, 제1 감속기 및 제2 감속기를 교환하는 것이 가능해진다.In the present invention, the industrial robot includes, for example, two hands, two front end arm portions, two first arm portions, an arm support portion to which the base end sides of the two first arm portions are fixed, And the arm support portion is connected to the arm support portion so that the arm support portion can be rotated in the axial direction of the rotation. In this case, when the industrial robot is overhauled, it is possible to replace the first reducer and the second reducer without replacing the two first arm portions fixed to the arm support portion.

여기서, 본 출원 발명자의 검토에 의하면, 진공 챔버 내에서, 고온의 반송 대상물을 핸드에 탑재해서 반송하면, 반송 대상물로부터의 복사열 및 진공 챔버의 벽면으로부터의 복사열의 영향에 의해, 아암의 상면측 부분의 온도가 아암의 하면측 부분의 온도보다도 높아진다. 또한, 고온의 반송 대상물을 반송할 때, 아암의 상면측 부분의 온도가 아암의 하면측 부분의 온도보다도 높아지면, 아암의 상면측 부분의 열 변형량이 하면측 부분의 열 변형량보다도 커지기 때문에, 아암의 선단측이 내려가도록 아암이 열 변형되어, 핸드에 의한 반송 대상물의 적절한 반송을 할 수 없게 될 우려가 있다.According to the study of the inventor of the present application, when a high-temperature conveyance object is carried on a hand and carried in a vacuum chamber, due to radiation heat from the conveyance object and radiant heat from the wall surface of the vacuum chamber, Is higher than the temperature of the lower side portion of the arm. When the temperature of the upper surface side portion of the arm becomes higher than the temperature of the lower surface side portion of the arm, the amount of thermal deformation of the upper surface side portion of the arm becomes larger than the thermal deformation amount of the lower surface side portion when the high temperature transport object is transported, The arm is thermally deformed so that the leading end side of the arm is lowered, so that there is a fear that the carrying object can not be conveyed properly by the hand.

그로 인해, 본 발명에 있어서, 핸드, 선단측 아암부 및 제1 아암부는 진공 중에 배치되고, 선단측 아암부 및 제1 아암부는 중공 형상으로 형성됨과 함께, 선단측 아암부의 내부 및 제1 아암부의 내부는 대기압으로 되어 있으며, 선단측 아암부 및 제1 아암부의 내부의 상면에는 방열용 핀이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 고온의 반송 대상물을 반송할 때, 아암의 상면측 부분을 냉각해서 아암의 상면측 부분의 온도 상승을 억제하는 것이 가능해지며, 아암의 상면측 부분의 온도를 아암의 하면측 부분의 온도에 근접시키는 것이 가능해진다. 따라서, 아암의 상면측 부분의 열 변형량을 하면측 부분의 열 변형량에 근접시키는 것이 가능해지며, 선단측이 내려가는 아암의 열 변형을 억제하는 것이 가능해진다. 그 결과, 고온의 반송 대상물을 반송하는 경우에도, 핸드에 의해 반송 대상물을 적절하게 반송하는 것이 가능해진다.Therefore, in the present invention, the hand, the distal-side arm portion and the first arm portion are disposed in vacuum, the distal-side arm portion and the first arm portion are formed in a hollow shape, and the inside of the distal- It is preferable that the inside is at atmospheric pressure, and the heat-radiating fin is formed on the upper surface of the inside of the front arm portion and the first arm portion. With this configuration, it is possible to cool the upper surface side portion of the arm to suppress the temperature rise of the upper surface side portion of the arm when carrying the object to be carried at a high temperature, and to lower the temperature of the upper surface side portion of the arm to the lower surface side portion It is possible to make it close to the temperature. Therefore, the amount of thermal deformation of the upper surface side portion of the arm can be brought close to the amount of thermal deformation of the lower surface side portion, and it is possible to suppress the thermal deformation of the arm whose tip side is descending. As a result, even in the case of conveying a high-temperature conveying object, it is possible to convey the conveying object appropriately by hand.

또한, 상기한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇은, 핸드와, 제1 아암부, 제2 아암부 및 제3 아암부를 갖고 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 제2 아암부와 제1 아암부를 회동 가능하게 연결하는 제1 관절부와, 제3 아암부와 제2 아암부를 회동 가능하게 연결하는 제2 관절부를 구비하고, 제3 아암부의 기단부측은 제2 아암부의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 제2 아암부의 기단부측은 제1 아암부의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 제1 관절부는 동력이 입력되는 제1 입력축과, 제1 입력축에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 제1 출력축과, 제1 입력축 및 제1 출력축을 회전 가능하게 지지하는 제1 케이스 본체를 갖는 제1 감속기를 구비하고, 제2 관절부는 동력이 입력되는 제2 입력축과, 제2 입력축에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 제2 출력축과, 제2 입력축 및 제2 출력축을 회전 가능하게 지지하는 제2 케이스 본체를 갖는 제2 감속기를 구비하고, 제1 케이스 본체 및 제2 케이스 본체는 제2 아암부측에 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an industrial robot including a hand, an arm having a first arm portion, a second arm portion, and a third arm portion and having a hand rotatably connected to the distal end side, And a second joint part for pivotably connecting the third arm part and the second arm part, wherein the proximal end side of the third arm part is connected to the distal end side of the second arm part The first arm portion is rotatably connected to the proximal end side of the first arm portion and the first joint portion has a first input shaft to which power is input and a second input shaft to which the power input to the first input shaft is decelerated And a first reducer having a first input shaft and a first case body rotatably supporting the first input shaft and the first output shaft, the second joint portion has a second input shaft to which power is input, and a second input shaft Decelerate the power And a second reducer having a second output shaft for rotatably supporting the second input shaft and the second output shaft, wherein the first case body and the second case body are provided on the second arm portion side And is fixed.

본 발명의 산업용 로봇에서는 제1 관절부의 적어도 일부를 구성하는 제1 감속기의 제1 케이스 본체가 제2 아암부측에 고정되어 있고, 제1 감속기를 구성하는 제1 입력축, 제1 출력축 및 베어링 등의 부재가 제2 아암부에 보유 지지되어 있다. 또한, 본 발명에서는, 제2 관절부의 적어도 일부를 구성하는 제2 감속기의 제2 케이스 본체가 제2 아암부측에 고정되어 있고, 제2 감속기를 구성하는 제2 입력축, 제2 출력축 및 베어링 등의 부재가 제2 아암부에 보유 지지되어 있다. 그로 인해, 본 발명에서는, 산업용 로봇의 오버홀을 행할 때, 제1 감속기 및 제2 감속기를 제2 아암부와 일체로 교환하는 것이 가능해진다. 즉, 산업용 로봇의 오버홀을 행할 때, 제1 아암부보다도 아암의 선단측에 배치되는 제2 아암부를 교환함으로써, 제1 아암부를 교환하지 않아도, 제1 감속기 및 제2 감속기를 교환하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 관절부에 감속기가 배치되어 있는 산업용 로봇에 있어서, 저비용이면서 또한 용이하게 오버홀을 행하는 것이 가능해진다.In the industrial robot of the present invention, the first case body of the first reduction gear unit constituting at least a part of the first joint part is fixed to the second arm side, and the first input shaft, the first output shaft and the bearing Is held by the second arm portion. Further, in the present invention, the second case body of the second reducer constituting at least a part of the second joint portion is fixed to the second arm portion side, and the second input shaft, the second output shaft, and the bearing Is held by the second arm portion. Therefore, in the present invention, when the industrial robot is overhauled, it becomes possible to replace the first reducer and the second reducer with the second arm integrally. In other words, when the industrial robot is overhauled, the first reducer and the second reducer can be exchanged without replacing the first arm by replacing the second arm provided at the tip of the arm with respect to the first arm . Therefore, according to the present invention, in an industrial robot in which a speed reducer is disposed in a joint portion, it is possible to perform overhauls at low cost and with ease.

이상과 같이, 본 발명에서는, 관절부에 감속기가 배치되어 있는 산업용 로봇의 오버홀을 저비용이면서 또한 용이하게 행하는 것이 가능해진다.Industrial Applicability As described above, according to the present invention, it is possible to overhaul the industrial robot in which the speed reducer is disposed in the joint portion at low cost and with ease.

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는, 도 1에 도시한 아암의 기단부측 부분 및 아암 지지부의 단면도이다.
도 3은, 도 1에 도시한 아암의 단면도이다.
도 4는, 도 1에 도시한 아암의 단면도이다.
도 5는, 도 3의 E부의 확대도이다.
도 6은, 도 3의 F부의 확대도이다.
도 7은, 도 6의 K부의 확대도이다.
도 8은, 도 6의 L부의 확대도이다.
도 9는 (A)는, 도 5에 도시한 덮개 부재의 단면도이며, (B)는 (A)의 G-G 방향으로부터 덮개 부재를 도시한 도면이다.
도 10은, 도 4의 H부의 확대도이다.
도 11은, 도 4의 J부의 확대도이다.
도 12는, 도 11의 M부의 확대도이다.
도 13은, 도 11의 N부의 확대도이다.
도 14는, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 평면도이다.
도 15는, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional view of the arm-side portion and the arm-supporting portion of the arm shown in Fig.
3 is a cross-sectional view of the arm shown in Fig.
4 is a cross-sectional view of the arm shown in Fig.
5 is an enlarged view of part E of Fig.
Fig. 6 is an enlarged view of part F in Fig. 3;
7 is an enlarged view of a portion K in Fig.
8 is an enlarged view of the portion L in Fig.
Fig. 9A is a cross-sectional view of the lid member shown in Fig. 5, and Fig. 9B is a view showing the lid member from the GG direction of Fig.
10 is an enlarged view of a portion H in Fig.
11 is an enlarged view of a portion J in Fig.
Fig. 12 is an enlarged view of part M in Fig.
13 is an enlarged view of part N in Fig.
14 is a plan view of an industrial robot according to another embodiment of the present invention.
Fig. 15 is a view of an industrial robot according to another embodiment of the present invention, wherein (A) is a plan view and (B) is a side view.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 개략 구성)(Rough configuration of industrial robot)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시한 아암(6, 7)의 기단부측 부분 및 아암 지지부(8)의 단면도이다. 도 3은, 도 1에 도시한 아암(6)의 단면도이다. 도 4는, 도 1에 도시한 아암(7)의 단면도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a cross-sectional view of the base end side portion of the arms 6 and 7 and the arm supporting portion 8 shown in Fig. 3 is a sectional view of the arm 6 shown in Fig. 4 is a cross-sectional view of the arm 7 shown in Fig.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 예를 들어 반송 대상물인 유기 EL(유기 일렉트로 루미네센스) 디스플레이용의 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 반송하기 위한 로봇이다. 이 로봇(1)은, 도시를 생략하는 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 내장되어서 사용되고, 고온의 기판(2)을 반송한다.The industrial robot 1 of the present embodiment (hereinafter referred to as a robot 1) includes a glass substrate 2 for an organic EL (Organic Electroluminescence) display to be transported (2) "). The robot 1 is embedded in a manufacturing system of an organic EL display (not shown), and transports the substrate 2 at a high temperature.

도 1에 도시한 바와 같이, 로봇(1)은 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드(4, 5)와, 핸드(4)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(6)과, 핸드(5)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(7)과, 아암(6, 7)의 기단부측이 고정되는 아암 지지부(8)와, 아암 지지부(8)가 회동 가능하게 연결되는 본체부(9)를 구비하고 있다. 핸드(4, 5), 아암(6, 7) 및 아암 지지부(8)는 본체부(9)의 상측에 배치되어 있다.1, the robot 1 includes two hands 4, 5 on which a substrate 2 is mounted, an arm 6 rotatably connected to the tip side of the hand 4, An arm support portion 8 to which the proximal end side of the arms 6 and 7 is fixed and an arm support portion 8 to which the arm support portion 8 is rotatably connected, (9). The hands 4 and 5, the arms 6 and 7, and the arm support 8 are disposed on the upper side of the main body 9.

핸드(4, 5), 아암(6, 7), 아암 지지부(8) 및 본체부(9)의 상단부측은, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템을 구성하는 진공 챔버의 내부에 배치되어 있다. 즉, 핸드(4, 5), 아암(6, 7), 아암 지지부(8) 및 본체부(9)의 상단부측은, 진공 영역(VR) 중(진공 중)에 배치되고, 본체부(9)의 상단부측을 제외한 부분은, 대기 영역(AR) 중(대기 중)에 배치되어 있고(도 2 참조), 로봇(1)은 핸드(4, 5)에 탑재된 기판(2)을 진공 중에서 반송한다.The upper ends of the hands 4 and 5, the arms 6 and 7, the arm supporter 8 and the main body 9 are disposed inside a vacuum chamber constituting the manufacturing system of the organic EL display. That is, the upper ends of the hands 4 and 5, the arms 6 and 7, the arm supporting portion 8 and the main body portion 9 are arranged in the vacuum region VR (in vacuum) 2), the robot 1 moves the substrate 2 mounted on the hands 4, 5 in a vacuum state (see Fig. 2) do.

핸드(4, 5)는 아암(6, 7)에 연결되는 기부(11)와, 기판(2)이 탑재되는 2개의 포크부(12)를 구비하고 있다. 포크부(12)는, 직선형으로 형성되어 있다. 또한, 2개의 포크부(12)는 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행으로 배치되어 있다.The hands 4 and 5 are provided with a base 11 connected to the arms 6 and 7 and two forks 12 on which the substrate 2 is mounted. The fork portion 12 is formed in a straight line. Further, the two forks 12 are arranged in parallel with a predetermined gap therebetween.

본체부(9)는 중공 형상으로 형성되는 케이스 본체(13)와, 아암 지지부(8)의 하면에 고정되는 중공 형상의 회전축(14)을 구비하고 있다. 회전축(14)은 상하 방향을 축 방향으로 하는 가늘고 긴 원통형으로 형성되어 있다. 회전축(14)의 상단부는 아암 지지부(8)의 하면에 고정되어 있고, 아암 지지부(8)는 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하는 회동이 가능하게 되어 있다. 회전축(14)의 상단부측 부분은, 케이스 본체(13)의 상단부면보다도 상측으로 돌출되고, 회전축(14)의, 상단부측 부분을 제외한 부분은, 케이스 본체(13)의 내부에 수용되어 있다.The main body 9 includes a case body 13 formed in a hollow shape and a hollow rotary shaft 14 fixed to a lower surface of the arm supporting portion 8. The rotary shaft 14 is formed into an elongated cylindrical shape having a vertical direction as an axial direction. The upper end of the rotary shaft 14 is fixed to the lower surface of the arm supporting portion 8 and the arm supporting portion 8 is capable of pivoting the upper and lower directions in the axial direction of rotation. The upper end side portion of the rotary shaft 14 protrudes upward from the upper end surface of the case body 13 and the portion of the rotary shaft 14 excluding the upper end side portion is accommodated in the case body 13.

케이스 본체(13)의 내부에는 케이스 본체(13)에 대하여 아암 지지부(8)를 회동시키기 위한 모터(도시 생략)가 배치되어 있다. 이 모터에는, 예를 들어 풀리, 벨트 및 감속기를 통하여 회전축(14)의 하단부측이 연결되어 있다. 또한, 케이스 본체(13)의 내부에는 회전축(14) 등을 승강시키는 승강 기구(도시 생략)가 배치되어 있다. 케이스 본체(13)의 상단부측 부분은 진공 영역(VR) 내에 배치되고, 케이스 본체(13)의, 상단부측 부분을 제외한 부분은 대기 영역(AR) 중에 배치되어 있다. 케이스 본체(13)의 내부는 대기압으로 되어 있으며, 회전축(14)의 외주측에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하기 위한 자성 유체 시일 및 벨로즈(도시 생략)가 배치되어 있다.A motor (not shown) for rotating the arm supporting portion 8 with respect to the case body 13 is disposed in the case body 13. The lower end side of the rotary shaft 14 is connected to the motor through, for example, a pulley, a belt, and a speed reducer. An elevating mechanism (not shown) for elevating the rotating shaft 14 or the like is disposed inside the case body 13. As shown in Fig. The upper end side portion of the case body 13 is disposed in the vacuum region VR and the portion of the case body 13 excluding the upper end side portion is disposed in the waiting region AR. A magnetic fluid seal and a bellows (not shown) are disposed on the outer circumferential side of the rotating shaft 14 to prevent air from flowing out to the vacuum region VR.

아암 지지부(8)는 중공 형상으로 형성되어 있고, 지지부 본체(15)와 3개의 덮개 부재(16)를 구비하고 있다. 덮개 부재(16)는 알루미늄 합금으로 형성되어 있다. 또한, 덮개 부재(16)는 원판형으로 형성되어 있다. 지지부 본체(15)는 알루미늄 합금으로 형성되어 있다. 또한, 지지부 본체(15)는 지지부 본체(15)의 상면을 구성하는 상면부(15a)와, 지지부 본체(15)의 하면을 구성함과 함께 상면부(15a)와 소정의 간극을 두고 대략 평행으로 대향 배치되는 하면부(15b)와, 상면부(15a)의 외주단부와 하면부(15b)의 외주단부를 연결하는 측면부(15c)로 구성되어 있다. 상면부(15a) 및 하면부(15b)는 가늘고 긴 대략 타원형의 평판형으로 형성되어 있고, 상하 방향으로 대향하고 있다. 측면부(15c)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 타원형이 되는 통형으로 형성되어 있다.The arm support portion 8 is formed in a hollow shape and includes a support body 15 and three lid members 16. The lid member 16 is formed of an aluminum alloy. Further, the lid member 16 is formed in a disk shape. The support body 15 is made of an aluminum alloy. The support body 15 has an upper surface portion 15a constituting the upper surface of the support body 15 and a lower surface of the support body 15 and is arranged substantially parallel to the upper surface portion 15a, And a side surface portion 15c connecting the outer peripheral end portion of the upper surface portion 15a and the outer peripheral end portion of the lower surface portion 15b. The upper surface portion 15a and the lower surface portion 15b are formed in an elongated, generally elliptical flat plate shape, and face each other in the vertical direction. The side surface portion 15c is formed into a tubular shape having a shape that is narrow and long and has a substantially elliptical shape when viewed from the top and bottom.

상면부(15a)에는 원형의 3개의 개구부(15d, 15e)가 상하 방향으로 관통하도록 형성되어 있다. 3개의 개구부(15d, 15e) 중 1개의 개구부(15d)는, 상면부(15a)의 중심에 형성되고, 나머지 2개의 개구부(15e)는 대략 타원형으로 형성되는 상면부(15a)의 길이 방향에 있어서 양단부측에 형성되어 있다. 하면부(15b)에도, 원형의 3개의 개구부(15f, 15g)가 상하 방향으로 관통하도록 형성되어 있다. 3개의 개구부(15f, 15g) 중 1개의 개구부(15f)는 하면부(15b)의 중심에 형성되고, 나머지 2개의 개구부(15g)는 대략 타원형으로 형성되는 하면부(15b)의 길이 방향에 있어서 양단부측에 형성되어 있다.Three circular openings 15d and 15e are formed in the upper surface portion 15a so as to pass through in the vertical direction. One of the three openings 15d and 15e is formed in the center of the upper face portion 15a and the other two openings 15e are formed in a substantially elliptical shape in the longitudinal direction of the upper face portion 15a And is formed on both end sides. Three circular openings 15f and 15g are also formed in the lower surface portion 15b so as to pass through in the vertical direction. One opening 15f of the three openings 15f and 15g is formed at the center of the bottom portion 15b and the other two openings 15g are formed in a substantially elliptical shape in the longitudinal direction of the bottom portion 15b And is formed on both end sides.

하면부(15b)의 하면에는 회전축(14)의 상단부가 고정되어 있다. 회전축(14)은 개구부(15f)를 둘러싸도록, 하면부(15b)의 하면에 고정되어 있고, 회전축(14)의 내주측과 아암 지지부(8)의 내부가 연결되어 있다. 즉, 아암 지지부(8)의 내부는 케이스 본체(13)의 내부에 연결되어 있으며, 아암 지지부(8)의 내부는 대기압으로 되어 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 개구부(15d)는 덮개 부재(16)에 의해 상측으로부터 폐색되고, 2개의 개구부(15g)는 덮개 부재(16)에 의해 하측으로부터 폐색되어 있다. 지지부 본체(15)와 덮개 부재(16) 사이에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 환형의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다.And the upper end of the rotary shaft 14 is fixed to the lower surface of the lower surface portion 15b. The rotating shaft 14 is fixed to the lower surface of the lower surface portion 15b so as to surround the opening 15f and the inner circumferential side of the rotating shaft 14 and the inside of the arm supporting portion 8 are connected. That is, the inside of the arm support portion 8 is connected to the inside of the case main body 13, and the inside of the arm support portion 8 is at atmospheric pressure. 2, the opening 15d is closed by the lid member 16 from above and the two openings 15g are closed from the lower side by the lid member 16. An annular sealing member (not shown) is disposed between the support body 15 and the lid member 16 to prevent air from flowing out to the vacuum region VR.

아암(6)은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부(20)와 제2 아암부(21)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있다. 제1 아암부(20) 및 제2 아암부(21)는 중공 형상으로 형성되어 있다. 즉, 아암(6)의 전체는 중공 형상으로 형성되어 있다. 제1 아암부(20)의 기단부측은, 아암 지지부(8)에 고정되어 있다. 제1 아암부(20)의 선단측에는 제2 아암부(21)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 아암부(21)의 선단측에는 핸드(4)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 본 형태의 제2 아암부(21)는 선단측 아암부이다.The arm 6 is constituted by two arm portions, a first arm portion 20 and a second arm portion 21, which are rotatably connected to each other. The first arm portion 20 and the second arm portion 21 are formed in a hollow shape. That is, the entire arm 6 is formed in a hollow shape. The proximal end side of the first arm portion 20 is fixed to the arm supporting portion 8. The proximal end side of the second arm portion 21 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 20. A hand 4 is rotatably connected to the distal end side of the second arm 21. The second arm portion 21 of this embodiment is a tip side arm portion.

제1 아암부(20)와 제2 아암부(21)의 연결부는 관절부(22)로 되어 있으며, 관절부(22)는 제1 아암부(20)와 제2 아암부(21)를 회동 가능하게 연결하고 있다. 아암(6)과 핸드(4)의 연결부[즉, 제2 아암부(21)와 핸드(4)의 연결부]는 관절부(23)로 되어 있으며, 관절부(23)는 제2 아암부(21)와 핸드(4)를 회동 가능하게 연결하고 있다. 제2 아암부(21)는 제1 아암부(20)보다도 상측에 배치되고, 핸드(4)는 제2 아암부(21)보다도 상측에 배치되어 있다. 본 형태의 관절부(22)는 제1 관절부이며, 관절부(23)는 제2 관절부이다.The joint portion of the first arm portion 20 and the second arm portion 21 is a joint portion 22 and the joint portion 22 is a joint portion between the first arm portion 20 and the second arm portion 21 It is connected. The connecting portion between the arm 6 and the hand 4 (that is, the connecting portion between the second arm portion 21 and the hand 4) is the joint portion 23 and the joint portion 23 is the joint portion between the second arm portion 21, And the hand 4 are rotatably connected. The second arm portion 21 is disposed on the upper side of the first arm portion 20 and the hand 4 is disposed on the upper side of the second arm portion 21. [ The joint portion 22 of this embodiment is the first joint portion, and the joint portion 23 is the second joint portion.

아암(7)은 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부(25)와 제2 아암부(26)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있다. 제1 아암부(25) 및 제2 아암부(26)는 중공 형상으로 형성되어 있다. 즉, 아암(7)의 전체는 중공 형상으로 형성되어 있다. 제1 아암부(25)의 기단부측은, 아암 지지부(8)에 고정되어 있다. 제1 아암부(25)의 선단측에는 제2 아암부(26)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 아암부(26)의 선단측에는 핸드(5)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 본 형태의 제2 아암부(26)는 선단측 아암부이다.The arm 7 is constituted by two arm portions, i.e., a first arm portion 25 and a second arm portion 26, which are rotatably connected to each other. The first arm portion 25 and the second arm portion 26 are formed in a hollow shape. That is, the entire arm 7 is formed in a hollow shape. The proximal end side of the first arm portion 25 is fixed to the arm supporting portion 8. The proximal end side of the second arm portion 26 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 25. A hand 5 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 26. The second arm portion 26 of this embodiment is a tip-end arm portion.

제1 아암부(25)와 제2 아암부(26)의 연결부는 관절부(27)로 되어 있으며, 관절부(27)는 제1 아암부(25)와 제2 아암부(26)를 회동 가능하게 연결하고 있다. 아암(7)과 핸드(5)의 연결부[즉, 제2 아암부(26)와 핸드(5)의 연결부]는 관절부(28)로 되어 있으며, 관절부(28)는 제2 아암부(26)와 핸드(5)를 회동 가능하게 연결하고 있다. 제2 아암부(26)는 제1 아암부(25)보다도 상측에 배치되어 있다. 핸드(5)는 제2 아암부(26)보다도 하측, 또한 제1 아암부(25)보다도 상측에 배치되어 있다. 본 형태의 관절부(27)는 제1 관절부이며, 관절부(28)는 제2 관절부이다.The connecting portion between the first arm portion 25 and the second arm portion 26 is a joint portion 27 and the joint portion 27 is formed to be rotatable between the first arm portion 25 and the second arm portion 26 It is connected. The connecting portion between the arm 7 and the hand 5 (that is, the connecting portion between the second arm portion 26 and the hand 5) is the joint portion 28, and the joint portion 28 is the joint portion between the second arm portion 26, And the hand 5 are rotatably connected. The second arm portion (26) is disposed above the first arm portion (25). The hand 5 is disposed below the second arm portion 26 and above the first arm portion 25. [ The joint portion 27 of this embodiment is the first joint portion, and the joint portion 28 is the second joint portion.

(아암의 구성, 아암의 내부 구성 및 관절부의 구성)(The configuration of the arm, the internal configuration of the arm, and the configuration of the joint)

도 5는, 도 3의 E부의 확대도이다. 도 6은, 도 3의 F부의 확대도이다. 도 7은, 도 6의 K부의 확대도이다. 도 8은, 도 6의 L부의 확대도이다. 도 9의 (A)는, 도 5에 도시한 덮개 부재(32)의 단면도이며, 도 9의 (B)는, 도 9의 (A)의 G-G 방향으로부터 덮개 부재(32)를 도시하는 도면이다. 도 10은, 도 4의 H부의 확대도이다. 도 11은, 도 4의 J부의 확대도이다. 도 12은, 도 11의 M부의 확대도이다. 도 13은, 도 11의 N부의 확대도이다.5 is an enlarged view of part E of Fig. Fig. 6 is an enlarged view of part F in Fig. 3; 7 is an enlarged view of a portion K in Fig. 8 is an enlarged view of the portion L in Fig. 9A is a sectional view of the lid member 32 shown in Fig. 5, and Fig. 9B is a view showing the lid member 32 from the GG direction of Fig. 9A . 10 is an enlarged view of a portion H in Fig. 11 is an enlarged view of a portion J in Fig. 12 is an enlarged view of the portion M in Fig. 13 is an enlarged view of part N in Fig.

제1 아암부(20)는 아암부 본체(31)와 3개의 덮개 부재(32)와 1개의 덮개 부재(33)를 구비하고 있다. 아암부 본체(31)는 알루미늄 합금으로 형성되어 있다. 또한, 아암부 본체(31)는 아암부 본체(31)의 상면을 구성하는 상면부(31a)와, 아암부 본체(31)의 하면을 구성함과 함께 상면부(31a)와 소정의 간극을 두고 대략 평행으로 대향 배치되는 하면부(31b)와, 상면부(31a)의 외주단부와 하면부(31b)의 외주단부를 연결하는 측면부(31c)로 구성되어 있다. 상면부(31a) 및 하면부(31b)는 가늘고 긴 대략 타원형의 평판형으로 형성되어 있고, 상하 방향으로 대향하고 있다. 상면부(31a)는 제1 아암부(20)의 상면의 일부를 구성하고, 하면부(31b)는 제1 아암부(20)의 하면의 일부를 구성하고 있다. 측면부(31c)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 타원형이 되는 통형으로 형성되어 있다.The first arm portion 20 includes an arm body 31, three lid members 32, and one lid member 33. The arm main body 31 is formed of an aluminum alloy. The arm main body 31 has an upper surface portion 31a constituting the upper surface of the arm main body 31 and a lower surface of the arm main body 31. The upper surface portion 31a has a predetermined gap And a side surface portion 31c connecting the outer peripheral edge portion of the upper surface portion 31a and the outer peripheral edge portion of the lower surface portion 31b. The upper surface portion 31a and the lower surface portion 31b are formed into a thin, long, elliptical flat plate-like shape, and are opposed to each other in the vertical direction. The upper surface portion 31a constitutes a part of the upper surface of the first arm portion 20 and the lower surface portion 31b constitutes a part of the lower surface of the first arm portion 20. [ The side surface portion 31c is formed into a tubular shape having a shape that is elongated and elongated when viewed from the top and bottom.

상면부(31a)에는, 원형의 4개의 개구부(31d, 31e)가 상하 방향으로 관통하도록 형성되어 있다. 4개의 개구부(31d, 31e)는, 대략 타원형으로 형성되는 상면부(31a)의 길이 방향에 있어서 소정의 간격으로 형성되어 있다. 본 형태에서는, 상면부(31a)의 가장 선단측에 개구부(31e)가 형성되고, 나머지 3개의 개구부(31d)가 개구부(31e)보다도, 상면부(31a)의 기단부측에 형성되어 있다. 하면부(31b)에도, 원형의 2개의 개구부(31f, 31g)가 상하 방향으로 관통하도록 형성되어 있다. 개구부(31f)는 하면부(31b)의 선단측에 형성되고, 개구부(31g)는 하면부(31b)의 기단부측에 형성되어 있다.In the upper surface portion 31a, four circular openings 31d and 31e are formed so as to penetrate in the vertical direction. The four openings 31d and 31e are formed at predetermined intervals in the longitudinal direction of the upper surface portion 31a formed in a substantially elliptical shape. In this embodiment, an opening 31e is formed on the uppermost end of the upper face portion 31a and the remaining three openings 31d are formed on the base end side of the upper face portion 31a, rather than the opening 31e. Two circular openings 31f and 31g are formed in the lower surface portion 31b so as to penetrate in the vertical direction. The opening 31f is formed at the tip end side of the lower surface portion 31b and the opening 31g is formed at the base end side of the lower surface portion 31b.

제2 아암부(21)는 아암부 본체(34)와 2개의 덮개 부재(32)와 2개의 덮개 부재(33)를 구비하고 있다. 아암부 본체(34)는 알루미늄 합금으로 형성되어 있다. 또한, 아암부 본체(34)는 아암부 본체(34)의 상면을 구성하는 상면부(34a)와, 아암부 본체(34)의 하면을 구성함과 함께 상면부(34a)와 소정의 간극을 두고 대략 평행으로 대향 배치되는 하면부(34b)와, 상면부(34a)의 외주단부와 하면부(34b)의 외주단부를 연결하는 측면부(34c)로 구성되어 있다. 상면부(34a) 및 하면부(34b)는 가늘고 긴 대략 타원형의 평판형으로 형성되어 있고, 상하 방향으로 대향하고 있다. 상면부(34a)는 제2 아암부(21)의 상면의 일부를 구성하고, 하면부(34b)는 제2 아암부(21)의 하면의 일부를 구성하고 있다. 측면부(34c)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 타원형이 되는 통형으로 형성되어 있다.The second arm portion 21 includes an arm body 34, two lid members 32, and two lid members 33. The arm main body 34 is formed of an aluminum alloy. The arm main body 34 constitutes the upper surface portion 34a constituting the upper surface of the arm main body 34 and the lower surface of the arm main body 34 and forms a predetermined gap with the upper surface portion 34a And a side surface portion 34c connecting the outer peripheral end portion of the upper surface portion 34a and the outer peripheral end portion of the lower surface portion 34b. The upper surface portion 34a and the lower surface portion 34b are formed in an elongated, generally elliptical flat plate shape, and are vertically opposed to each other. The upper surface portion 34a constitutes a part of the upper surface of the second arm portion 21 and the lower surface portion 34b constitutes a part of the lower surface of the second arm portion 21. [ The side surface portion 34c is formed into a tubular shape having a shape of an elongated oblong shape when viewed from above and below.

상면부(34a)에는 원형의 4개의 개구부(34d, 34e, 34f)가 상하 방향으로 관통하도록 형성되어 있다. 4개의 개구부(34d 내지 34f)는 대략 타원형으로 형성되는 상면부(34a)의 길이 방향에 있어서 소정의 간격으로 형성되어 있다. 본 형태에서는, 상면부(34a)의 가장 선단측에 개구부(34e)가 형성되고, 상면부(34a)의 가장 기단부측에 개구부(34f)가 형성되고, 나머지 2개의 개구부(34d)가 개구부(34e)와 개구부(34f) 사이에 형성되어 있다. 하면부(34b)에도, 원형의 2개의 개구부(34g, 34h)가 상하 방향으로 관통하도록 형성되어 있다. 개구부(34g)는 하면부(34b)의 선단측에 형성되고, 개구부(34h)는 하면부(34b)의 기단부측에 형성되어 있다.Four circular openings 34d, 34e, 34f are formed in the upper surface portion 34a so as to pass through in the vertical direction. The four openings 34d to 34f are formed at predetermined intervals in the longitudinal direction of the upper surface portion 34a which is formed into an approximately elliptical shape. In this embodiment, an opening 34e is formed at the tip end of the upper surface portion 34a, an opening 34f is formed at the proximal end side of the upper surface portion 34a, and the remaining two opening portions 34d are formed at the opening 34e and the opening 34f. Two circular openings 34g and 34h are formed in the lower surface portion 34b so as to penetrate in the vertical direction. The opening 34g is formed at the tip end side of the lower surface portion 34b and the opening 34h is formed at the base end side of the lower surface portion 34b.

상술한 바와 같이, 제1 아암부(20)의 기단부측은 아암 지지부(8)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 지지부 본체(15)의 상면부(15a)의 상면에 아암부 본체(31)의 하면부(31b)의 하면이 밀착된 상태에서, 제1 아암부(20)의 기단부측이 아암 지지부(8)에 고정되어 있다. 또한, 상하 방향으로부터 보았을 때, 상면부(15a)의 개구부(15e)의 중심과 하면부(31b)의 개구부(31g)의 중심이 대략 일치하도록, 제1 아암부(20)의 기단부측이 아암 지지부(8)에 고정되어 있다. 그로 인해, 제1 아암부(20)의 내부는 아암 지지부(8)의 내부에 연결되어 있으며, 제1 아암부(20)의 내부는 대기압으로 되어 있다. 또한, 지지부 본체(15)와 아암부 본체(31) 사이에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 환형의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다.As described above, the proximal end side of the first arm portion 20 is fixed to the arm supporting portion 8. Specifically, in the state in which the lower surface of the lower surface portion 31b of the arm body 31 is in close contact with the upper surface of the upper surface portion 15a of the support body 15, the proximal end side of the first arm portion 20, And is fixed to the support portion 8. The proximal end side of the first arm portion 20 is positioned on the side of the base end of the first arm portion 20 so that the center of the opening portion 15e of the upper surface portion 15a and the center of the opening portion 31g of the lower surface portion 31b are substantially aligned, And is fixed to the support portion 8. Therefore, the inside of the first arm portion 20 is connected to the inside of the arm supporting portion 8, and the inside of the first arm portion 20 is at atmospheric pressure. An annular seal member (not shown) is disposed between the support body 15 and the arm body 31 to prevent air from flowing into the vacuum region VR.

제1 아암부(20)의 기단부측 내부 및 아암 지지부(8)의 내부에는 제1 아암부(20)에 대하여 제2 아암부(21)를 회동시킴과 함께 제2 아암부(21)에 대하여 핸드(4)를 회동시키는 모터(35)가 배치되어 있다. 모터(35)의 상하 방향에 있어서 중심 부분은, 개구부(15e) 및 개구부(31g)에 배치되어 있고, 모터(35)의 상단부측은 제1 아암부(20)의 기단부측 내부에 배치되고, 모터(35)의 하단부측은 아암 지지부(8)의 내부에 배치되어 있다. 모터(35)의 출력축은 상측으로 돌출되어 있고, 이 출력축에는 풀리(36)가 고정되어 있다.The second arm portion 21 is rotated with respect to the first arm portion 20 and the second arm portion 21 is rotated with respect to the second arm portion 21 in the inside of the base end side of the first arm portion 20 and the inside of the arm supporting portion 8 And a motor 35 for rotating the hand 4 is disposed. The upper end side of the motor 35 is disposed inside the proximal end side of the first arm portion 20 and the motor 35 is disposed at the lower end side of the motor 35. The motor 35 is disposed in the opening 15e and the opening 31g, (35) is disposed inside the arm support portion (8). The output shaft of the motor 35 projects upward, and a pulley 36 is fixed to the output shaft.

관절부(22)는 모터(35)의 회전을 감속해서 제2 아암부(21)에 전달하는 감속기(37)를 구비하고 있다. 감속기(37)는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 그로 인해, 제2 아암부(21)의 내부는 제1 아암부(20)의 내부에 연결되어 있으며, 제2 아암부(21)의 내부는 대기압으로 되어 있다. 즉, 본 형태에서는, 아암(6)의 내부는 대기압으로 되어 있다. 감속기(37)는 모터(35)의 동력이 입력되는 입력축(58)과, 입력축(58)에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 출력축(59)과, 베어링을 통하여 입력축(58) 및 출력축(59)을 회전 가능하게 지지하는 케이스 본체(60)를 구비하고 있다. 본 형태의 감속기(37)는 제1 감속기이며, 입력축(58)은 제1 입력축이며, 출력축(59)은 제1 출력축이며, 케이스 본체(60)는 제1 케이스 본체이다.The joint portion 22 is provided with a speed reducer 37 that decelerates the rotation of the motor 35 and transfers the rotation to the second arm portion 21. [ The speed reducer (37) is a hollow speed reducer having a through hole at the center in the radial direction. Therefore, the inside of the second arm portion 21 is connected to the inside of the first arm portion 20, and the inside of the second arm portion 21 is at atmospheric pressure. That is, in this embodiment, the inside of the arm 6 is at atmospheric pressure. The decelerator 37 includes an input shaft 58 to which the power of the motor 35 is input, an output shaft 59 to decelerate the power input to the input shaft 58 and output the same, and an input shaft 58 and an output shaft 59 And a case body 60 for rotatably supporting the case body 60. The speed reducer 37 of this embodiment is a first speed reducer, the input shaft 58 is a first input shaft, the output shaft 59 is a first output shaft, and the case body 60 is a first case body.

관절부(23)는 모터(35)의 회전을 감속해서 핸드(4)에 전달하는 감속기(38)를 구비하고 있다. 감속기(38)는, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 이 감속기(38)는 모터(35)의 동력이 입력되는 입력축(61)과, 입력축(61)에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 출력축(62)과, 베어링을 통하여 입력축(61) 및 출력축(62)을 회전 가능하게 지지하는 케이스 본체(63)를 구비하고 있다. 본 형태의 감속기(38)는 제2 감속기이며, 입력축(61)은 제2 입력축이며, 출력축(62)은 제2 출력축이며, 케이스 본체(63)는 제2 케이스 본체이다.The joint part 23 is provided with a speed reducer 38 that transmits the rotation of the motor 35 to the hand 4 at a reduced speed. The speed reducer (38) is a hollow speed reducer having a through hole at the center in the radial direction. The speed reducer 38 includes an input shaft 61 to which the power of the motor 35 is input, an output shaft 62 to decelerate and output the power input to the input shaft 61, And a case main body 63 for rotatably supporting the main body 62. The speed reducer 38 of this embodiment is a second speed reducer, the input shaft 61 is a second input shaft, the output shaft 62 is a second output shaft, and the case body 63 is a second case body.

또한, 관절부(22)는 제1 아암부(20)와 제2 아암부(21)의 연결 부분으로부터 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 자성 유체 시일(39)을 구비하고 있다. 자성 유체 시일(39)은 그 외주측 부분을 구성하는 대략 원통형의 케이스 본체(40)와, 케이스 본체(40)의 내주측에 회전 가능하게 보유 지지되는 대략 원통형의 내주측 부재(41)를 구비하고 있다. 직경 방향에 있어서 케이스 본체(40)와 내주측 부재(41)의 사이에는 베어링, 영구 자석 및 자성 유체를 갖는 베어링 시일부(42)가 배치되어 있다. 본 형태의 자성 유체 시일(39)은 제1 자성 유체 시일이며, 케이스 본체(40)는 제1 시일 케이스 본체이며, 내주측 부재(41)는 제1 내주측 부재이며, 베어링 시일부(42)는 제1 베어링 시일부이다.The joint portion 22 is provided with a magnetic fluid seal 39 for preventing air from flowing out from the connection portion between the first arm portion 20 and the second arm portion 21 to the vacuum region VR. The magnetic fluid seal 39 has a substantially cylindrical case body 40 constituting an outer peripheral portion thereof and an approximately cylindrical inner peripheral member 41 rotatably held on the inner peripheral side of the case body 40 . A bearing seal portion 42 having a bearing, a permanent magnet and a magnetic fluid is disposed between the case body 40 and the inner peripheral side member 41 in the radial direction. The inner peripheral side member 41 is the first inner peripheral side member and the bearing seal portion 42 is the first inner peripheral side member. The magnetic fluid seal 39 of this embodiment is the first magnetic fluid seal, the case main body 40 is the first seal case main body, Is a first bearing seal portion.

마찬가지로, 관절부(23)는 제2 아암부(21)와 핸드(4)의 연결 부분으로부터 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 자성 유체 시일(43)을 구비하고 있다. 자성 유체 시일(43)은, 자성 유체 시일(39)과 마찬가지로 구성되어 있고, 케이스 본체(44)와 내주측 부재(45)와 베어링 시일부(46)를 구비하고 있다. 본 형태의 자성 유체 시일(43)은 제2 자성 유체 시일이며, 케이스 본체(44)는 제2 시일 케이스 본체이며, 내주측 부재(45)는 제2 내주측 부재이며, 베어링 시일부(46)는 제2 베어링 시일부이다.Similarly, the joint portion 23 is provided with a magnetic fluid seal 43 for preventing air from flowing out from the connection portion between the second arm 21 and the hand 4 to the vacuum region VR. The magnetic fluid seal 43 is constructed in the same manner as the magnetic fluid seal 39 and includes a case body 44, an inner peripheral member 45, and a bearing seal portion 46. The inner peripheral side member 45 is a second inner peripheral side member, and the bearing seal portion 46 is a second magnetic fluid seal. The case body 44 is a second seal case main body, Is a second bearing seal portion.

도 7에 도시한 바와 같이, 감속기(37)의 입력축(58)의 하단부측에는 풀리(49)가 고정되어 있다. 풀리(49)는 제1 아암부(20)의 선단측 내부에 배치되어 있다. 풀리(36)와 풀리(49)에는 벨트(50)가 걸쳐져 있고, 입력축(58)에는 풀리(36, 49) 및 벨트(50)를 통하여 모터(35)의 동력이 입력된다. 또한, 입력축(58)의 상단부측에는 풀리(51)가 고정되어 있다. 풀리(51)는 제2 아암부(21)의 기단부측 내부에 배치되어 있다. 제2 아암부(21)의 내부에는 풀리(52)가 회전 가능하게 설치되어 있다. 풀리(51)와 풀리(52)에는 벨트(53)가 걸쳐져 있다. 또한, 풀리(49)의 외경은 개구부(31e)의 내경보다도 작게 되어 있다.As shown in Fig. 7, a pulley 49 is fixed to the lower end side of the input shaft 58 of the speed reducer 37. As shown in Fig. The pulley 49 is disposed inside the tip end side of the first arm portion 20. A belt 50 is wound on the pulley 36 and the pulley 49 and the power of the motor 35 is input to the input shaft 58 through the pulleys 36 and 49 and the belt 50. A pulley 51 is fixed to the upper end side of the input shaft 58. The pulley 51 is disposed inside the proximal end side of the second arm portion 21. A pulley 52 is rotatably mounted in the second arm 21. A belt 53 is wound around the pulley 51 and the pulley 52. The outer diameter of the pulley 49 is smaller than the inner diameter of the opening 31e.

감속기(37)의 출력축(59)에는 제1 아암부(20)의 선단측이 고정되어 있다. 구체적으로는, 출력축(59)에는 자성 유체 시일(39)의 내주측 부재(41)를 통하여 제1 아암부(20)의 선단측이 고정되어 있다. 출력축(59)은 내주측 부재(41)의 내주측에 고정되어 있다. 내주측 부재(41)는, 그 외주면의 일부가 개구부(31e)의 내주면에 접촉함과 함께, 그 일부가 상면부(31a)의 상면에 접촉하도록, 제1 아암부(20)의 선단측에 고정되어 있다. 또한, 내주측 부재(41)는 도시를 생략하는 나사에 의해 제1 아암부(20)의 선단측에 고정되어 있다. 또한, 상면부(31a)와 내주측 부재(41) 사이에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 환형의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다.The front end side of the first arm portion 20 is fixed to the output shaft 59 of the speed reducer 37. Specifically, the leading end side of the first arm portion 20 is fixed to the output shaft 59 through the inner peripheral side member 41 of the magnetic fluid seal 39. [ The output shaft 59 is fixed to the inner peripheral side of the inner peripheral side member 41. The inner circumferential side member 41 is provided on the leading end side of the first arm portion 20 so that a part of the outer circumferential surface thereof contacts the inner circumferential surface of the opening portion 31e and a part thereof comes into contact with the upper surface of the upper surface portion 31a Is fixed. The inner peripheral side member 41 is fixed to the distal end side of the first arm portion 20 by a screw (not shown). An annular sealing member (not shown) is disposed between the upper surface portion 31a and the inner peripheral side member 41 to prevent air from flowing out to the vacuum region VR.

감속기(37)의 케이스 본체(60)에는 제2 아암부(21)의 기단부측이 고정되어 있다. 구체적으로는, 케이스 본체(60)에는 자성 유체 시일(39)의 케이스 본체(40)를 통하여 제2 아암부(21)의 기단부측이 고정되어 있다. 즉, 케이스 본체(60)는 제2 아암부(21)측에 고정되어 있다. 케이스 본체(60)는 케이스 본체(40)의 내주측에 고정되어 있다. 케이스 본체(40)는, 그 외주면의 일부가 개구부(34h)의 내주면에 접촉함과 함께, 그 일부가 하면부(34b)의 하면에 접촉하도록, 제2 아암부(21)의 기단부측에 고정되어 있다. 또한, 하면부(34b)와 케이스 본체(40) 사이에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 환형의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다.The proximal end side of the second arm portion 21 is fixed to the case body 60 of the speed reducer 37. Specifically, the proximal end side of the second arm portion 21 is fixed to the case body 60 through the case body 40 of the magnetic fluid seal 39. That is, the case body 60 is fixed to the second arm 21 side. The case body 60 is fixed to the inner peripheral side of the case body 40. The case body 40 is fixed to the proximal end side of the second arm portion 21 so that a part of the outer circumferential surface of the case body 40 contacts the inner circumferential surface of the opening 34h and a part thereof comes into contact with the lower surface of the lower surface portion 34b . An annular seal member (not shown) is disposed between the lower surface portion 34b and the case body 40 to prevent air from flowing into the vacuum region VR.

도 8에 도시한 바와 같이, 감속기(38)의 입력축(61)의 하단부측에는 풀리(56)가 고정되어 있다. 풀리(56)는 제2 아암부(21)의 선단측 내부에 배치되어 있다. 풀리(56)와 풀리(52)에는 벨트(57)가 걸쳐져 있다. 벨트(53)와 벨트(57)는, 상하 방향으로 어긋난 상태에서 풀리(52)에 결합되어 있으며, 벨트(57)는 벨트(53)보다도 하측에 배치되어 있다. 입력축(61)에는 풀리(36, 49, 51, 52, 56), 벨트(50, 53, 57) 및 입력축(58)을 통하여 모터(35)의 동력이 입력된다.As shown in Fig. 8, a pulley 56 is fixed to the lower end side of the input shaft 61 of the speed reducer 38. As shown in Fig. The pulley (56) is disposed inside the tip end side of the second arm portion (21). A belt 57 is wound around the pulley 56 and the pulley 52. The belt 53 and the belt 57 are coupled to the pulley 52 in a state of being displaced in the vertical direction and the belt 57 is disposed below the belt 53. The power of the motor 35 is input to the input shaft 61 through the pulleys 36, 49, 51, 52, 56, belts 50, 53, 57 and the input shaft 58.

감속기(38)의 출력축(62)에는 핸드(4)의 기부(11)가 고정되어 있다. 구체적으로는, 출력축(62)에는 자성 유체 시일(43)의 내주측 부재(45)를 통하여 핸드(4)의 기부(11)가 고정되어 있다. 출력축(62)은 내주측 부재(45)의 내주측에 고정되어 있다. 내주측 부재(45)는 핸드(4)의 기부(11)에 고정되어 있다. 또한, 내주측 부재(45)는 도시를 생략하는 나사에 의해 핸드(4)의 기부(11)에 고정되어 있다. 또한, 핸드(4)의 기부(11)와 내주측 부재(45) 사이에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 환형의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다.The base 11 of the hand 4 is fixed to the output shaft 62 of the speed reducer 38. Specifically, the base 11 of the hand 4 is fixed to the output shaft 62 through the inner peripheral side member 45 of the magnetic fluid seal 43. The output shaft 62 is fixed to the inner peripheral side of the inner peripheral side member 45. The inner peripheral side member 45 is fixed to the base 11 of the hand 4. The inner peripheral side member 45 is fixed to the base 11 of the hand 4 by a screw (not shown). An annular seal member (not shown) is disposed between the base 11 of the hand 4 and the inner peripheral side member 45 to prevent air from flowing into the vacuum region VR.

감속기(38)의 케이스 본체(63)에는 제2 아암부(21)의 선단측이 고정되어 있다. 구체적으로는, 케이스 본체(63)에는 자성 유체 시일(43)의 케이스 본체(44)를 통하여 제2 아암부(21)의 선단측이 고정되어 있다. 즉, 케이스 본체(63)는 제2 아암부(21)측에 고정되어 있다. 케이스 본체(63)는 케이스 본체(44)의 내주측에 고정되어 있다. 케이스 본체(44)는, 그 외주면의 일부가 개구부(34e)의 내주면에 접촉함과 함께, 그 일부가 상면부(34a)의 상면에 접촉하도록, 제2 아암부(21)의 선단측에 고정되어 있다. 또한, 상면부(34a)와 케이스 본체(44) 사이에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 환형의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다.The tip end side of the second arm portion 21 is fixed to the case body 63 of the speed reducer 38. Specifically, the tip end side of the second arm portion 21 is fixed to the case body 63 through the case body 44 of the magnetic fluid seal 43. That is, the case body 63 is fixed to the second arm 21 side. The case body 63 is fixed to the inner peripheral side of the case body 44. The case body 44 is fixed to the tip end side of the second arm portion 21 so that a part of the outer circumferential surface thereof contacts the inner circumferential surface of the opening portion 34e and a part thereof contacts the upper surface of the upper surface portion 34a . An annular sealing member (not shown) is disposed between the upper surface portion 34a and the case body 44 to prevent air from flowing out to the vacuum region VR.

덮개 부재(32, 33)는 알루미늄 합금으로 형성되어 있다. 또한, 덮개 부재(32, 33)는 원판형으로 형성되어 있다. 덮개 부재(33)의 양면은, 평면형으로 형성되어 있다. 한편, 덮개 부재(32)의 한쪽 면에는, 도 9에 도시한 바와 같이, 방열용 핀(32a)이 형성되어 있다. 본 형태에서는, 직경이 다른 원형의 복수의 핀(32a)이 덮개 부재(32)의 한쪽 면에 형성되어 있고, 복수의 핀(32a)은 동심 형상으로 배치되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 도 9의 (A)에 도시한 바와 같이, 덮개 부재(32)의 한쪽 면으로부터 다른 쪽 면을 향해서 오목해지는 원형의 복수의 오목부가 형성됨으로써, 복수의 핀(32a)이 형성되어 있다. 또한, 덮개 부재(32)의 한쪽 면으로부터 돌출된 볼록부에 의해, 복수의 핀(32a)이 구성되어도 된다.The cover members 32 and 33 are formed of an aluminum alloy. The lid members 32 and 33 are formed in a disc shape. Both surfaces of the lid member 33 are formed in a planar shape. On one side of the lid member 32, a heat-dissipating fin 32a is formed as shown in Fig. In this embodiment, a plurality of circular fins 32a having different diameters are formed on one surface of the lid member 32, and the plurality of fins 32a are arranged concentrically. 9A, a plurality of circular recesses are formed so as to be recessed from one surface of the lid member 32 to the other surface, so that the plurality of pins 32a Respectively. A plurality of fins 32a may be formed by convex portions protruding from one surface of the lid member 32. [

제1 아암부(20)의 개구부(31f)는 덮개 부재(33)에 의해 하측으로부터 폐색되어 있다. 제2 아암부(21)의 개구부(34f)는 덮개 부재(33)에 의해 상측으로부터 폐색되고, 제2 아암부(21)의 개구부(34g)는 덮개 부재(33)에 의해 하측으로부터 폐색되어 있다. 제1 아암부(20)의 개구부(31d) 및 제2 아암부(21)의 개구부(34d)는 덮개 부재(32)에 의해 상측으로부터 폐색되어 있다. 덮개 부재(32)는 핀(32a)이 형성된 면이 하측을 향하도록 고정되어 있다. 즉, 덮개 부재(32)의 하면에 핀(32a)이 형성되어 있고, 아암(6)의 내부 상면에는 방열용 핀(32a)이 형성되어 있다. 또한, 아암부 본체(31, 34)와 덮개 부재(32, 33) 사이에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 환형의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다.The opening 31f of the first arm portion 20 is closed from the lower side by the lid member 33. [ The opening 34f of the second arm 21 is closed from above by the lid member 33 and the opening 34g of the second arm 21 is closed from below by the lid 33 . The opening 31d of the first arm portion 20 and the opening 34d of the second arm portion 21 are closed from above by the lid member 32. [ The cover member 32 is fixed so that the surface on which the pin 32a is formed faces downward. That is, a pin 32a is formed on the lower surface of the lid member 32, and a heat dissipation fin 32a is formed on the upper surface of the arm 6. [ An annular seal member (not shown) is disposed between the arm main bodies 31 and 34 and the lid members 32 and 33 to prevent air from flowing out to the vacuum region VR.

제1 아암부(25)는, 도 10에 도시한 바와 같이, 제1 아암부(20)와 마찬가지로 구성되어 있고, 아암부 본체(31)와 3개의 덮개 부재(32)와 1개의 덮개 부재(33)를 구비하고 있다. 또한, 제2 아암부(26)는, 도 11에 도시한 바와 같이, 제2 아암부(21)와 마찬가지로 구성되어 있고, 아암부 본체(34)와 2개의 덮개 부재(32)와 2개의 덮개 부재(33)를 구비하고 있다. 따라서, 제1 아암부(25)의 구성 및 제2 아암부(26)의 구성의 상세한 설명은 생략한다.10, the first arm portion 25 is constructed in the same manner as the first arm portion 20 and includes an arm body 31, three lid members 32, and one lid member 33). 11, the second arm portion 26 is constructed in the same manner as the second arm portion 21. The second arm portion 26 includes an arm body 34, two lid members 32, And a member (33). Therefore, detailed description of the configuration of the first arm portion 25 and the configuration of the second arm portion 26 will be omitted.

제1 아암부(25)의 기단부측은, 제1 아암부(20)의 기단부측과 마찬가지로, 아암 지지부(8)의 지지부 본체(15)에 고정되어 있다. 제1 아암부(25)의 내부는 아암 지지부(8)의 내부에 연결되어 있으며, 제1 아암부(25)의 내부는 대기압으로 되어 있다. 제1 아암부(25)의 기단부측 내부 및 아암 지지부(8)의 내부에는, 제1 아암부(25)에 대하여 제2 아암부(26)를 회동시킴과 함께 제2 아암부(26)에 대하여 핸드(5)를 회동시키는 모터(65)가 배치되어 있다. 모터(65)는, 제1 아암부(20)의 기단부측 내부 및 아암 지지부(8)의 내부에 배치되는 모터(35)와 마찬가지로 배치되어 있다. 모터(65)의 출력축은 상측으로 돌출되어 있고, 이 출력축에는 풀리(66)가 고정되어 있다.The proximal end side of the first arm portion 25 is fixed to the support body 15 of the arm support portion 8 like the proximal end side of the first arm portion 20. The inside of the first arm portion 25 is connected to the inside of the arm supporting portion 8 and the inside of the first arm portion 25 is at atmospheric pressure. The second arm portion 26 is pivoted with respect to the first arm portion 25 and the second arm portion 26 is pivoted to the inside of the base end side of the first arm portion 25 and the inside of the arm supporting portion 8 A motor 65 for rotating the hand 5 is disposed. The motor 65 is arranged in the same manner as the motor 35 arranged inside the base end portion of the first arm portion 20 and inside the arm support portion 8. [ The output shaft of the motor 65 protrudes upward, and a pulley 66 is fixed to the output shaft.

관절부(27)는 모터(65)의 회전을 감속해서 제2 아암부(26)에 전달하는 감속기(67)를 구비하고 있다. 감속기(67)는 감속기(37)와 마찬가지로, 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 그로 인해, 제2 아암부(26)의 내부는 제1 아암부(25)의 내부에 연결되어 있으며, 제2 아암부(26)의 내부는 대기압으로 되어 있다. 즉, 본 형태에서는, 아암(7)의 내부는 대기압으로 되어 있다. 또한, 감속기(67)는 감속기(37)와 마찬가지로 구성되어 있고, 모터(65)의 동력이 입력되는 입력축(58)과, 입력축(58)에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 출력축(59)과, 베어링을 통하여 입력축(58) 및 출력축(59)을 회전 가능하게 지지하는 케이스 본체(60)를 구비하고 있다. 본 형태의 감속기(67)는 제1 감속기이다.The joint portion 27 is provided with a speed reducer 67 for reducing the rotation of the motor 65 and transmitting it to the second arm portion 26. [ The decelerator 67 is a hollow decelerator having a through hole formed at the center in the radial direction thereof, like the decelerator 37. Therefore, the inside of the second arm portion 26 is connected to the inside of the first arm portion 25, and the inside of the second arm portion 26 is at atmospheric pressure. That is, in this embodiment, the inside of the arm 7 is at atmospheric pressure. The speed reducer 67 is constructed similarly to the speed reducer 37 and includes an input shaft 58 to which the power of the motor 65 is input, an output shaft 59 to decelerate and output the power input to the input shaft 58, And a case body 60 for rotatably supporting the input shaft 58 and the output shaft 59 through a bearing. The speed reducer 67 of this embodiment is the first speed reducer.

관절부(28)는 모터(65)의 회전을 감속해서 핸드(5)에 전달하는 감속기(68)를 구비하고 있다. 감속기(68)는 감속기(38)와 마찬가지로 그 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 또한, 감속기(68)는 감속기(38)와 마찬가지로 구성되어 있고, 모터(65)의 동력이 입력되는 입력축(61)과, 입력축(61)에 입력되는 동력을 감속해서 출력하는 출력축(62)과, 베어링을 통하여 입력축(61) 및 출력축(62)을 회전 가능하게 지지하는 케이스 본체(63)를 구비하고 있다. 본 형태의 감속기(68)는 제2 감속기이다.The joint part 28 is provided with a speed reducer 68 which transmits the rotation of the motor 65 to the hand 5 at a reduced speed. The decelerator 68 is a hollow decelerator having a through hole at the center in the radial direction thereof, like the decelerator 38. The speed reducer 68 is configured similarly to the speed reducer 38 and includes an input shaft 61 to which the power of the motor 65 is input, an output shaft 62 to decelerate and output the power input to the input shaft 61, And a case body 63 for rotatably supporting the input shaft 61 and the output shaft 62 through bearings. The speed reducer 68 of this embodiment is the second speed reducer.

또한, 관절부(27)는 관절부(22)와 마찬가지로, 제1 아암부(25)와 제2 아암부(26)의 연결 부분으로부터 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 자성 유체 시일(39)을 구비하고 있다. 관절부(28)는 관절부(23)와 마찬가지로, 제2 아암부(26)와 핸드(5)의 연결 부분으로부터 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 자성 유체 시일(43)을 구비하고 있다.The joint portion 27 is provided with a magnetic fluid seal 39 for preventing air from flowing out from the connection portion of the first arm portion 25 and the second arm portion 26 to the vacuum region VR . The joint 28 has a magnetic fluid seal 43 for preventing air from flowing out from the connection portion between the second arm 26 and the hand 5 to the vacuum region VR similarly to the joint 23 .

도 11, 도 12에 도시한 바와 같이, 감속기(67)의 입력축(58)의 하단에는 원통형으로 형성되는 회전축(69)의 상단부가 고정되어 있다. 회전축(69)의 하단부측에는 풀리(70)가 고정되어 있다. 풀리(70)는 제1 아암부(25)의 선단측 내부에 배치되어 있다. 풀리(66)와 풀리(70)에는 벨트(71)가 걸쳐져 있으며, 입력축(58)에는 풀리(66, 70) 및 벨트(71)를 통하여 모터(65)의 동력이 입력된다. 또한, 감속기(67)의 입력축(58)의 상단부측에는 풀리(72)가 고정되어 있다. 풀리(72)는 제2 아암부(26)의 기단부측 내부에 배치되어 있다. 또한, 풀리(70)의 외경은, 개구부(31e)의 내경보다도 작게 되어 있다.11 and 12, at the lower end of the input shaft 58 of the speed reducer 67, the upper end of a rotary shaft 69 formed in a cylindrical shape is fixed. A pulley 70 is fixed to the lower end of the rotary shaft 69. The pulley (70) is disposed inside the tip end side of the first arm portion (25). A belt 71 is wound around the pulley 66 and the pulley 70 and the power of the motor 65 is input to the input shaft 58 through the pulleys 66 and 70 and the belt 71. A pulley 72 is fixed to the upper end side of the input shaft 58 of the speed reducer 67. The pulley 72 is disposed inside the proximal end side of the second arm portion 26. The outer diameter of the pulley 70 is smaller than the inner diameter of the opening 31e.

감속기(67)의 출력축(59)에는 제1 아암부(25)의 선단측이 고정되어 있다. 구체적으로는, 감속기(67)의 출력축(59)에는 자성 유체 시일(39)의 내주측 부재(41) 및 스페이서(73)를 통하여 제1 아암부(25)의 선단측이 고정되어 있다. 스페이서(73)는 대략 원통형으로 형성되어 있고, 회전축(69)의 외주측을 덮도록 배치되어 있다.The leading end side of the first arm portion 25 is fixed to the output shaft 59 of the speed reducer 67. Specifically, the distal end side of the first arm portion 25 is fixed to the output shaft 59 of the speed reducer 67 through the inner peripheral side member 41 of the magnetic fluid seal 39 and the spacer 73. The spacer 73 is formed in a substantially cylindrical shape and is disposed so as to cover the outer circumferential side of the rotary shaft 69.

감속기(67)의 출력축(59)은 내주측 부재(41)의 내주측에 고정되어 있다. 이 내주측 부재(41)는, 그 외주면의 일부가 스페이서(73)의 내주면에 접촉함과 함께, 그 일부가 스페이서(73)의 상단부면에 접촉하도록, 스페이서(73)의 상단부에 고정되어 있다. 스페이서(73)의 하단부는 상면부(31a)의 상면에 접촉하도록, 제1 아암부(25)의 선단측에 고정되어 있다. 또한, 스페이서(73)는 도시를 생략하는 나사에 의해 제1 아암부(25)의 선단측에 고정되어 있다. 스페이서(73)의 하단부측에는 베어링 보유 지지 부재(74)가 고정되어 있다. 베어링 보유 지지 부재(74)는, 그 외주면의 일부가 스페이서(73)의 내주면에 접촉함과 함께, 그 일부가 스페이서(73)의 하단부면에 접촉하도록, 스페이서(73)의 하단부측에 고정되어 있다. 또한, 베어링 보유 지지 부재(74)의 일부는 개구부(31e)의 내주측에 배치되어 있다. 베어링 보유 지지 부재(74)에는 회전축(69)을 회전 가능하게 지지하는 베어링(75)이 고정되어 있다. 또한, 내주측 부재(41)와 스페이서(73)의 상단부와의 사이 및, 상면부(31a)와 스페이서(73)의 하단부와의 사이에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 환형의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다.The output shaft 59 of the speed reducer 67 is fixed to the inner peripheral side of the inner peripheral side member 41. [ The inner peripheral side member 41 is fixed to the upper end of the spacer 73 such that a part of the outer peripheral surface of the inner peripheral side member 41 contacts the inner peripheral surface of the spacer 73 and a part thereof contacts the upper end surface of the spacer 73 . The lower end of the spacer 73 is fixed to the tip end side of the first arm portion 25 so as to be in contact with the upper surface of the upper surface portion 31a. Further, the spacer 73 is fixed to the tip end side of the first arm portion 25 by a screw (not shown). A bearing holding member 74 is fixed to the lower end side of the spacer 73. The bearing holding member 74 is fixed to the lower end side of the spacer 73 so that a part of the outer circumferential surface of the bearing holding member 74 contacts the inner circumferential surface of the spacer 73 and a part of the bearing holding member 74 comes into contact with the lower end surface of the spacer 73 have. A part of the bearing holding member 74 is disposed on the inner peripheral side of the opening 31e. A bearing 75 for rotatably supporting the rotary shaft 69 is fixed to the bearing holding member 74. An annular member (not shown) is provided between the inner peripheral side member 41 and the upper end of the spacer 73 and between the upper surface portion 31a and the lower end of the spacer 73 to prevent air from flowing out into the vacuum region VR A seal member (not shown) is disposed.

감속기(67)의 케이스 본체(60)에는 제2 아암부(26)의 기단부측이 고정되어 있다. 즉, 감속기(67)의 케이스 본체(60)는 제2 아암부(26)측에 고정되어 있다. 제2 아암부(26)의 기단부측은, 제2 아암부(21)의 기단부측이 감속기(37)의 케이스 본체(60)에 고정되는 것과 마찬가지로, 감속기(67)의 케이스 본체(60)에 고정되어 있다. 즉, 감속기(67)의 케이스 본체(60)에는 자성 유체 시일(39)의 케이스 본체(40)를 통하여 제2 아암부(26)의 기단부측이 고정되어 있다.The proximal end side of the second arm portion 26 is fixed to the case body 60 of the speed reducer 67. That is, the case body 60 of the speed reducer 67 is fixed to the second arm portion 26 side. The proximal end side of the second arm portion 26 is fixed to the case body 60 of the speed reducer 67 in the same manner that the proximal end side of the second arm portion 21 is fixed to the case body 60 of the speed reducer 37 . The proximal end side of the second arm portion 26 is fixed to the case body 60 of the speed reducer 67 through the case body 40 of the magnetic fluid seal 39. [

도 13에 도시한 바와 같이, 감속기(68)의 입력축(61)의 상단부측에는 풀리(76)가 고정되어 있다. 풀리(76)는 제2 아암부(26)의 선단측 내부에 배치되어 있다. 풀리(72)와 풀리(76)에는 벨트(77)가 걸쳐져 있으며, 입력축(61)에는 풀리(66, 70, 72, 76), 벨트(71, 77), 회전축(69) 및 입력축(58)을 통하여 모터(65)의 동력이 입력된다. 감속기(68)의 출력축(62)에는 핸드(5)의 기부(11)가 고정되어 있다. 핸드(5)의 기부(11)는 핸드(4)의 기부(11)가 감속기(38)의 출력축(62)에 고정되는 것과 마찬가지로, 감속기(68)의 출력축(62)에 고정되어 있다. 즉, 감속기(68)의 출력축(62)에는 자성 유체 시일(43)의 내주측 부재(45)를 통하여 핸드(5)의 기부(11)가 고정되어 있다. 또한, 내주측 부재(45)는 도시를 생략하는 나사에 의해 핸드(5)의 기부(11)에 고정되어 있다.As shown in Fig. 13, a pulley 76 is fixed to the upper end side of the input shaft 61 of the speed reducer 68. As shown in Fig. The pulley 76 is disposed inside the tip end side of the second arm portion 26. A belt 77 is wound on the pulley 72 and the pulley 76. Pulleys 66, 70, 72 and 76, belts 71 and 77, a rotary shaft 69 and an input shaft 58 are fixed to the input shaft 61, The power of the motor 65 is input. The base 11 of the hand 5 is fixed to the output shaft 62 of the speed reducer 68. The base 11 of the hand 5 is fixed to the output shaft 62 of the speed reducer 68 just as the base 11 of the hand 4 is fixed to the output shaft 62 of the speed reducer 38. [ The base 11 of the hand 5 is fixed to the output shaft 62 of the speed reducer 68 via the inner peripheral side member 45 of the magnetic fluid seal 43. [ The inner peripheral side member 45 is fixed to the base 11 of the hand 5 by a screw (not shown).

감속기(68)의 케이스 본체(63)에는 제2 아암부(26)의 선단측이 고정되어 있다. 구체적으로는, 감속기(68)의 케이스 본체(63)에는 자성 유체 시일(43)의 케이스 본체(44)를 통하여 제2 아암부(26)의 선단측이 고정되어 있다. 즉, 감속기(68)의 케이스 본체(63)는 제2 아암부(26)측에 고정되어 있다. 감속기(68)의 케이스 본체(63)는 케이스 본체(44)의 내주측에 고정되어 있다. 케이스 본체(44)는, 그 외주면의 일부가 개구부(34g)의 내주면에 접촉함과 함께, 그 일부가 하면부(34b)의 하면에 접촉하도록, 제2 아암부(26)의 선단측에 고정되어 있다. 또한, 하면부(34b)와 케이스 본체(44) 사이에는 진공 영역(VR)으로의 공기 유출을 방지하는 환형의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다.The tip end side of the second arm portion 26 is fixed to the case body 63 of the speed reducer 68. Specifically, the tip end side of the second arm portion 26 is fixed to the case body 63 of the speed reducer 68 through the case body 44 of the magnetic fluid seal 43. That is, the case body 63 of the speed reducer 68 is fixed to the second arm portion 26 side. The case body 63 of the speed reducer 68 is fixed to the inner circumferential side of the case body 44. The case body 44 is fixed to the tip end side of the second arm portion 26 so that a part of the outer circumferential surface thereof contacts the inner circumferential surface of the opening portion 34g and a part thereof comes into contact with the lower surface of the lower surface portion 34b . An annular seal member (not shown) is disposed between the lower surface portion 34b and the case body 44 to prevent air from flowing out to the vacuum region VR.

제1 아암부(25)의 개구부(31f)는, 덮개 부재(33)에 의해 하측으로부터 폐색되어 있다. 제2 아암부(26)의 개구부(34e, 34f)는 덮개 부재(33)에 의해 상측으로부터 폐색되어 있다. 제1 아암부(25)의 개구부(31d) 및 제2 아암부(26)의 개구부(34d)는 덮개 부재(32)에 의해 상측으로부터 폐색되어 있다. 덮개 부재(32)는 핀(32a)이 형성된 면이 하측을 향하도록 고정되어 있다. 즉, 덮개 부재(32)의 하면에 핀(32a)이 형성되어 있고, 아암(7)의 내부 상면에는 방열용 핀(32a)이 형성되어 있다.The opening 31f of the first arm portion 25 is closed from the lower side by the lid member 33. [ The opening portions 34e and 34f of the second arm portion 26 are closed from the upper side by the lid member 33. [ The opening 31d of the first arm portion 25 and the opening 34d of the second arm portion 26 are closed from above by the lid member 32. [ The cover member 32 is fixed so that the surface on which the pin 32a is formed faces downward. That is, a pin 32a is formed on the lower surface of the lid member 32, and a heat dissipating fin 32a is formed on the upper surface of the arm 7.

(냉각 기구의 구성, 온도 센서의 구성 및 커버 부재의 구성)(Configuration of the cooling mechanism, configuration of the temperature sensor, and configuration of the cover member)

상술한 바와 같이, 로봇(1)은 고온의 기판(2)을 반송한다. 그로 인해, 기판(2)으로부터의 복사열이나, 로봇(1)이 설치되는 진공 챔버의 벽면으로부터의 복사열 등에 의해, 아암(6, 7)의 온도가 상승한다. 본 형태의 로봇(1)은 온도가 상승하는 아암(6, 7)의 내부를 냉각하기 위한 냉각 기구를 구비하고 있다. 또한, 로봇(1)은 제1 아암부(20, 25) 및 제2 아암부(21, 26)의 내부 온도를 측정하기 위한 온도 센서(80)와, 아암(6, 7) 및 아암 지지부(8)로의 복사열의 전달을 억제하기 위한 커버 부재(81 내지 85)를 구비하고 있다.As described above, the robot 1 carries the substrate 2 of high temperature. The temperature of the arms 6 and 7 rises due to radiant heat from the substrate 2 and radiant heat from the wall surface of the vacuum chamber where the robot 1 is installed. The robot 1 of this embodiment is provided with a cooling mechanism for cooling the inside of the arms 6 and 7 whose temperature rises. The robot 1 further includes a temperature sensor 80 for measuring the internal temperatures of the first and second arm portions 20 and 25 and the second arm portions 21 and 26 and a temperature sensor 80 for measuring the internal temperatures of the arms 6 and 7 and the arm support portion 8 for preventing the transmission of radiant heat to the outside.

본 형태의 로봇(1)은, 아암(6, 7)의 내부를 냉각하기 위한 냉각 기구로서, 모터(35)를 냉각함과 함께 제1 아암부(20)의 내부에 냉각용 공기를 공급하기 위한 에어 배관(87)과, 제2 아암부(21)의 내부에 냉각용 공기를 공급하기 위한 에어 배관(88)과, 모터(65)를 냉각함과 함께 제1 아암부(25)의 내부에 냉각용 공기를 공급하기 위한 에어 배관(89)과, 제2 아암부(26)의 내부에 냉각용 공기를 공급하기 위한 에어 배관(90)과, 아암(6, 7)의 내부에 배치되는 복수의 팬(송풍기)(91)을 구비하고 있다.The robot 1 according to this embodiment is a cooling mechanism for cooling the inside of the arms 6 and 7 so as to cool the motor 35 and supply cooling air to the interior of the first arm 20 An air pipe 88 for supplying air for cooling to the inside of the second arm 21 and an air pipe 88 for cooling the inside of the first arm portion 25 An air pipe 90 for supplying air for cooling to the inside of the second arm 26 and an air pipe 90 for supplying cooling air to the inside of the arms 6 and 7 And a plurality of fans (blowers) 91 are provided.

에어 배관(87 내지 90)은, 예를 들어 알루미늄 합금이나 구리 합금 등의 금속에 의해 형성된 금속관이다. 에어 배관(87 내지 90)의 기단부는 본체부(9)의 케이스 본체(13)의 내부에 배치되는 전자기 밸브(도시 생략)에 접속되어 있다. 본 형태에서는, 에어 배관(87 내지 90)의 각각의 기단부가 접속되는 4개의 전자기 밸브가 케이스 본체(13)의 내부에 배치되어 있고, 에어 배관(87 내지 90)마다 냉각용 공기의 공급량의 조정을 행하는 것이 가능하게 되어 있다. 4개의 전자기 밸브는 케이스 본체(13)의 내부 또는 외부에 배치되는 압축 공기의 공급 장치(도시 생략)에 소정의 배관을 통하여 접속되어 있다.The air pipes 87 to 90 are metal pipes formed of metal such as aluminum alloy or copper alloy, for example. The base end portions of the air pipes 87 to 90 are connected to an electromagnetic valve (not shown) disposed inside the case body 13 of the main body portion 9. In this embodiment, four electromagnetic valves to which the base ends of the air pipes 87 to 90 are connected are disposed inside the case body 13, and the adjustment of the supply amount of the cooling air for each of the air pipes 87 to 90 Can be performed. The four electromagnetic valves are connected to a compressed air supply device (not shown) disposed inside or outside the case body 13 through a predetermined pipe.

에어 배관(87, 88)은 회전축(14)의 내주측 및 개구부(15f)를 통과하도록, 케이스 본체(13)의 내부로부터 아암(6)을 향해 깔려 있다. 에어 배관(87)의 선단측은, 모터(35)의 외주면에 권회되어 있다. 냉각용 공기의 공급구가 되는 에어 배관(87)의 선단은, 제1 아암부(20)의 기단부측 내부에 배치되어 있고, 에어 배관(87)으로부터 제1 아암부(20)의 기단부측 내부로 냉각용 공기가 공급된다. 에어 배관(88)은 개구부(15e, 31g) 및 감속기(37)의 축 중심에 형성되는 관통 구멍을 통과하도록, 제1 아암부(20) 및 제2 아암부(21)의 내부에 깔려 있다. 냉각용 공기의 공급구가 되는 에어 배관(88)의 선단은, 제2 아암부(21)의 선단측 내부에 배치되어 있고, 에어 배관(88)으로부터 제2 아암부(21)의 선단측 내부로 냉각용 공기가 공급된다.The air pipes 87 and 88 are laid from the inside of the case body 13 toward the arm 6 so as to pass through the inner circumferential side of the rotary shaft 14 and the opening 15f. The tip end side of the air pipe 87 is wound around the outer peripheral surface of the motor 35. The front end of the air pipe 87 serving as a supply port for the cooling air is disposed inside the base end side of the first arm portion 20 and is connected to the base end side of the first arm portion 20 from the air pipe 87 The air for cooling is supplied. The air piping 88 is laid inside the first arm portion 20 and the second arm portion 21 so as to pass through the through holes formed at the axes of the openings 15e and 31g and the reducer 37. [ The tip end of the air pipe 88 serving as a supply port for the cooling air is disposed inside the tip end side of the second arm portion 21 and extends from the air pipe 88 to the tip end side inside of the second arm portion 21 The air for cooling is supplied.

에어 배관(89, 90)은 회전축(14)의 내주측 및 개구부(15f)를 통과하도록, 케이스 본체(13)의 내부로부터 아암(7)을 향해 깔려 있다. 에어 배관(89)의 선단측은, 모터(65)의 외주면에 권회되어 있다. 냉각용 공기의 공급구가 되는 에어 배관(89)의 선단은, 제1 아암부(25)의 기단부측 내부에 배치되어 있고, 에어 배관(89)으로부터 제1 아암부(25)의 기단부측 내부로 냉각용 공기가 공급된다. 에어 배관(90)은 개구부(15e, 31g), 회전축(69)의 내주측 및 감속기(67)의 축 중심에 형성되는 관통 구멍을 통과하도록, 제1 아암부(25) 및 제2 아암부(26)의 내부에 깔려 있다. 냉각용 공기의 공급구가 되는 에어 배관(90)의 선단은, 제2 아암부(26)의 선단측 내부에 배치되어 있고, 에어 배관(90)으로부터 제2 아암부(26)의 선단측 내부로 냉각용 공기가 공급된다.The air pipes 89 and 90 are laid from the inside of the case body 13 toward the arm 7 so as to pass through the inner circumferential side of the rotary shaft 14 and the opening 15f. The tip end side of the air pipe 89 is wound around the outer peripheral surface of the motor 65. The front end of the air pipe 89 serving as a supply port for the cooling air is disposed inside the base end side of the first arm portion 25 and extends from the air pipe 89 to the base end side of the first arm portion 25 The air for cooling is supplied. The air piping 90 is connected to the first arm portion 25 and the second arm portion 25 so as to pass through the openings 15e and 31g, the inner circumferential side of the rotating shaft 69, 26). The tip end of the air pipe 90 serving as a supply port for the cooling air is disposed inside the tip end side of the second arm portion 26 and extends from the air piping 90 to the tip end side inside of the second arm portion 26 The air for cooling is supplied.

온도 센서(80)는 제1 아암부(20, 25) 및 제2 아암부(21, 26) 각각의 내부에 배치되어 있다. 제1 아암부(20)의 내부에 있어서, 온도 센서(80)는 모터(35)의 근방 및 관절부(22)의 근방에 배치되어 있다. 제2 아암부(21)의 내부에 있어서, 온도 센서(80)는 관절부(23)의 근방에 배치되어 있다. 제1 아암부(25)의 내부에 있어서, 온도 센서(80)는 모터(65)의 근방 및 관절부(27)의 근방에 배치되어 있다. 제2 아암부(26)의 내부에 있어서, 온도 센서(80)는 관절부(28)의 근방에 배치되어 있다.The temperature sensor 80 is disposed inside each of the first arm portions 20, 25 and the second arm portions 21, 26. The temperature sensor 80 is disposed in the vicinity of the motor 35 and in the vicinity of the joint 22 in the interior of the first arm 20. In the interior of the second arm 21, the temperature sensor 80 is disposed in the vicinity of the joint 23. The temperature sensor 80 is disposed in the vicinity of the motor 65 and in the vicinity of the joint portion 27 in the first arm portion 25. In the interior of the second arm portion 26, the temperature sensor 80 is disposed in the vicinity of the joint portion 28.

상술한 바와 같이, 본 형태에서는, 에어 배관(87 내지 90)마다 냉각용 공기의 공급량의 조정을 행하는 것이 가능하게 되어 있고, 제1 아암부(20, 25) 및 제2 아암부(21, 26)의 각각의 내부를 개별로 냉각하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 온도 센서(80)에서의 검출 결과에 기초하여, 제1 아암부(20, 25) 및 제2 아암부(21, 26)의 각각의 내부를 개별로 냉각하고 있다. 즉, 본 형태에서는, 온도 센서(80)에서의 검출 결과에 기초하여, 에어 배관(87 내지 90)의 각각으로부터 공급되는 냉각용 공기의 공급량을 조정함으로써, 제1 아암부(20, 25) 및 제2 아암부(21, 26)의 각각의 내부를 개별로 냉각하고 있다.As described above, in this embodiment, the supply amount of the cooling air can be adjusted for each of the air pipes 87 to 90, and the first arm portions 20, 25 and the second arm portions 21, 26 ) Can be individually cooled. In this embodiment, the inside of each of the first arm portions 20, 25 and the second arm portions 21, 26 is individually cooled based on the detection result of the temperature sensor 80. [ That is, in this embodiment, by adjusting the supply amount of the cooling air supplied from each of the air pipes 87 to 90 based on the detection result of the temperature sensor 80, the first and second arm portions 20 and 25 and And the inside of each of the second arm portions 21 and 26 is individually cooled.

팬(91)은 제1 아암부(20, 25) 및 제2 아암부(21, 26) 각각의 내부에 배치되어 있다. 또한, 팬(91)은 상측을 향해서 냉각용 공기를 보내도록 배치되어 있다. 본 형태의 팬(91)은 덮개 부재(32)의 하측에 배치되어 있고, 덮개 부재(32)에 형성되는 복수의 핀(32a)을 향해서 냉각용 공기를 보낸다. 또한, 팬(91)은, 예를 들어 온도 센서(80)에서의 검출 결과에 기초하여, 회전 또는 정지한다.The fan 91 is disposed inside the first arm portions 20 and 25 and the second arm portions 21 and 26, respectively. Further, the fan 91 is arranged so as to send cooling air toward the upper side. The fan 91 of this embodiment is disposed on the lower side of the lid member 32 and sends cooling air toward the plurality of fins 32a formed on the lid member 32. [ Further, the fan 91 rotates or stops based on the result of detection by the temperature sensor 80, for example.

커버 부재(81 내지 85)는, 지지부 본체(15), 아암부 본체(31, 34) 및 덮개 부재(16, 32, 33)보다도 열 전도율이 낮은 재료로 형성되어 있다. 또한, 커버 부재(81 내지 85)는, 복사열의 반사율이 높은 재료로 형성되어 있다. 예를 들어, 커버 부재(81 내지 85)는 얇은 스테인리스 강판으로 형성되어 있다. 커버 부재(81)는 제1 아암부(20)의, 아암 지지부(8)와 겹쳐 있는 부분을 제외한 부분의, 상면, 하면 및 측면의 대략 전체를 덮고 있다. 커버 부재(82)는 제2 아암부(21)의 상면, 하면 및 측면의 대략 전체를 덮고 있다. 커버 부재(83)는 제1 아암부(25)의, 아암 지지부(8)와 겹쳐 있는 부분을 제외한 부분의, 상면, 하면 및 측면의 대략 전체를 덮고 있다. 커버 부재(84)는 제2 아암부(26)의 상면, 하면 및 측면의 대략 전체를 덮고 있다. 커버 부재(85)는 제1 아암부(20, 25)의, 아암 지지부(8)와 겹쳐 있는 부분 및, 아암 지지부(8)의 상면, 하면 및 측면의 대략 전체를 덮고 있다.The cover members 81 to 85 are formed of a material having a thermal conductivity lower than that of the support body 15, the arm portions 31 and 34 and the cover members 16, 32 and 33. The cover members 81 to 85 are formed of a material having high reflectance of radiant heat. For example, the cover members 81 to 85 are formed of a thin stainless steel plate. The cover member 81 covers substantially the entire upper surface, lower surface and side surface of the portion of the first arm portion 20 excluding the portion overlapping with the arm supporting portion 8. The cover member 82 covers substantially the entire upper surface, lower surface, and side surfaces of the second arm portion 21. The cover member 83 covers substantially the entire upper surface, lower surface and side surface of the portion of the first arm portion 25 excluding the portion overlapping the arm supporting portion 8. The cover member 84 covers substantially the entire upper surface, lower surface, and side surfaces of the second arm portion 26. The cover member 85 covers a portion of the first arm portions 20 and 25 which overlaps the arm support portion 8 and a substantially entire portion of the upper surface, the lower surface and the side surfaces of the arm support portion 8.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 감속기(37)의 케이스 본체(60)가 자성 유체 시일(39)의 케이스 본체(40)를 통하여 제2 아암부(21)의 기단부측에 고정되어 있고, 감속기(37)를 구성하는 입력축(58), 출력축(59) 및 베어링 등의 부재와, 자성 유체 시일(39)을 구성하는 내주측 부재(41) 및 베어링 시일부(42) 등의 부재가 제2 아암부(21)에 보유 지지되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 감속기(38)의 케이스 본체(63)가 자성 유체 시일(43)의 케이스 본체(44)를 통하여 제2 아암부(21)의 선단측이 고정되어 있고, 감속기(38)를 구성하는 입력축(61), 출력축(62) 및 베어링 등의 부재와, 자성 유체 시일(43)을 구성하는 내주측 부재(45) 및 베어링 시일부(46) 등의 부재가 제2 아암부(21)에 보유 지지되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 내주측 부재(41)와 제1 아암부(20)를 고정하는 나사 및, 내주측 부재(45)와 핸드(4)의 기부(11)를 고정하는 나사를 제거함과 함께, 벨트(50)를 제거하면, 감속기(37, 38) 및 자성 유체 시일(39, 43)을 제2 아암부(21)와 일체로 제거하는 것이 가능해진다.As described above, in this embodiment, the case body 60 of the speed reducer 37 is fixed to the proximal end side of the second arm portion 21 through the case body 40 of the magnetic fluid seal 39, Members such as the input shaft 58, the output shaft 59 and the bearings and the like constituting the magnetic fluid seal 39 and the members such as the inner peripheral side member 41 and the bearing seal portion 42 constituting the magnetic fluid seal 39 constitute the second And is held by the arm portion 21. In this embodiment, the case body 63 of the speed reducer 38 is fixed to the distal end side of the second arm portion 21 through the case body 44 of the magnetic fluid seal 43, A member such as an input shaft 61, an output shaft 62 and bearings constituting the magnetic fluid seal 43 and a member such as an inner peripheral member 45 and a bearing seal portion 46 constituting the magnetic fluid seal 43 constitute a second arm portion 21). The screw for fixing the inner peripheral side member 41 and the first arm portion 20 and the screw for fixing the inner peripheral side member 45 and the base portion 11 of the hand 4 are removed It is possible to remove the reducers 37 and 38 and the magnetic fluid seals 39 and 43 integrally with the second arm portion 21 by removing the belt 50 together.

마찬가지로 본 형태에서는, 감속기(67)의 케이스 본체(60)가 자성 유체 시일(39)의 케이스 본체(40)를 통하여 제2 아암부(26)의 기단부측에 고정되어 있고, 감속기(67)를 구성하는 입력축(58), 출력축(59) 및 베어링 등의 부재와, 자성 유체 시일(39)을 구성하는 내주측 부재(41) 및 베어링 시일부(42) 등의 부재가 제2 아암부(26)에 보유 지지되어 있다. 또한, 감속기(67)의 입력축(58)의 하단에 회전축(69)이 고정됨과 함께, 베어링 보유 지지 부재(74) 및 베어링(75)을 보유 지지하는 스페이서(73)가 내주측 부재(41)에 고정되어 있고, 회전축(69), 스페이서(73), 베어링 보유 지지 부재(74) 및 베어링(75)이 제2 아암부(26)에 보유 지지되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 감속기(68)의 케이스 본체(63)가 자성 유체 시일(43)의 케이스 본체(44)를 통하여 제2 아암부(26)의 선단측이 고정되어 있고, 감속기(68)를 구성하는 입력축(61), 출력축(62) 및 베어링 등의 부재와, 자성 유체 시일(43)을 구성하는 내주측 부재(45) 및 베어링 시일부(46) 등의 부재가 제2 아암부(26)에 보유 지지되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 스페이서(73)와 제1 아암부(25)를 고정하는 나사 및, 내주측 부재(45)와 핸드(5)의 기부(11)를 고정하는 나사를 제거함과 함께, 벨트(71)를 제거하면, 감속기(67, 68), 자성 유체 시일(39, 43), 회전축(69), 스페이서(73), 베어링 보유 지지 부재(74) 및 베어링(75)을 제2 아암부(26)와 일체로 제거하는 것이 가능해진다.Similarly, in this embodiment, the case body 60 of the speed reducer 67 is fixed to the base end side of the second arm portion 26 through the case body 40 of the magnetic fluid seal 39, and the speed reducer 67 The member such as the input shaft 58, the output shaft 59 and the bearing and the member such as the inner peripheral member 41 and the bearing seal portion 42 constituting the magnetic fluid seal 39 constitute the second arm portion 26 As shown in Fig. The rotary shaft 69 is fixed to the lower end of the input shaft 58 of the speed reducer 67 and the spacer 73 holding the bearing holding member 74 and the bearing 75 is fixed to the inner peripheral side member 41, And the rotating shaft 69, the spacer 73, the bearing holding member 74, and the bearing 75 are held by the second arm portion 26. As shown in Fig. In this embodiment, the case body 63 of the speed reducer 68 is fixed to the distal end side of the second arm portion 26 through the case main body 44 of the magnetic fluid seal 43, A member such as an input shaft 61, an output shaft 62 and bearings constituting the magnetic fluid seal 43 and a member such as an inner peripheral member 45 and a bearing seal portion 46 constituting the magnetic fluid seal 43 constitute a second arm portion 26, respectively. The screw for fixing the spacer 73 and the first arm portion 25 and the screw for fixing the inner peripheral side member 45 and the base portion 11 of the hand 5 are removed, When the belt 71 is removed, the speed reducers 67 and 68, the magnetic fluid seals 39 and 43, the rotary shaft 69, the spacer 73, the bearing holding member 74, It can be removed integrally with the arm portion 26.

따라서, 본 형태에서는, 로봇(1)의 오버홀을 행할 때, 감속기(37, 38) 및 자성 유체 시일(39, 43)을 제2 아암부(21)와 일체로 교환하는 것이 가능해지고, 또한 감속기(67, 68), 자성 유체 시일(39, 43), 회전축(69), 스페이서(73), 베어링 보유 지지 부재(74) 및 베어링(75)을 제2 아암부(26)와 일체로 교환하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태에서는, 로봇(1)의 오버홀을 행할 때, 제1 아암부(20, 25)보다도 아암(6, 7)의 선단측에 배치되는 제2 아암부(21, 26)를 교환함으로써, 아암 지지부(8)에 고정되는 제1 아암부(20, 25)를 교환하지 않아도, 감속기(37, 38, 67, 68), 자성 유체 시일(39, 43), 스페이서(73), 베어링 보유 지지 부재(74) 및 베어링(75)을 교환하는 것이 가능해진다. 그 결과, 본 형태에서는, 저비용이면서 또한 용이하게 로봇(1)의 오버홀을 행하는 것이 가능해진다.Therefore, in the present embodiment, when the robot 1 is overhauled, the reducers 37 and 38 and the magnetic fluid seals 39 and 43 can be exchanged integrally with the second arm portion 21, The magnetic fluid seals 39 and 43, the rotating shaft 69, the spacer 73, the bearing holding member 74 and the bearing 75 are integrally exchanged with the second arm portion 26 Lt; / RTI > That is, in this embodiment, when the robot 1 is overhauled, the second arm portions 21, 26 disposed on the distal end side of the arms 6, 7 are exchanged with the first arm portions 20, 25 38, 67, and 68, the magnetic fluid seals 39 and 43, the spacer 73, and the bearing (not shown) without exchanging the first arm portions 20 and 25 fixed to the arm supporting portion 8 The support member 74 and the bearing 75 can be exchanged. As a result, in this embodiment, it is possible to overhaul the robot 1 with low cost and with ease.

본 형태에서는, 아암(6, 7)의 내부에 상측을 향해서 공기를 보내는 팬(91)이 배치되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 고온의 기판(2)을 반송할 때, 아암(6, 7)의 상면측 부분을 냉각해서 아암(6, 7)의 상면측 부분의 온도 상승을 억제하는 것이 가능해지며, 아암(6, 7)의 상면측 부분의 온도를 아암(6, 7)의 하면측 부분의 온도에 근접시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 아암(6, 7)의 상면측 부분의 열 변형량을 하면측 부분의 열 변형량에 근접시키는 것이 가능해지며, 선단측이 내려가는 아암(6, 7)의 열 변형을 억제하는 것이 가능해진다. 그 결과, 본 형태에서는, 고온의 기판(2)을 반송하는 경우에도, 핸드(4, 5)에 의해 기판(2)을 적절하게 반송하는 것이 가능해진다.In this embodiment, a fan 91 for blowing air upward is disposed inside the arms 6 and 7. Therefore, in this embodiment, when the high-temperature substrate 2 is transported, it is possible to cool the upper surface side portion of the arms 6 and 7 to suppress the temperature rise of the upper surface side portions of the arms 6 and 7 , It becomes possible to bring the temperature of the upper surface side portion of the arms 6, 7 close to the temperature of the lower side portion of the arms 6, 7. Therefore, in this embodiment, it is possible to bring the amount of thermal deformation of the upper side portion of the arms 6, 7 closer to the amount of thermal deformation of the lower side portion, and to suppress the thermal deformation of the arms 6, It becomes possible. As a result, in this embodiment, even when the substrate 2 with a high temperature is transported, it is possible to transport the substrate 2 appropriately by the hands 4, 5.

또한, 본 형태에서는, 아암(6, 7)의 내부 상면에, 방열용 핀(32a)이 형성되어 있고, 팬(91)은 핀(32a)을 향해서 냉각용 공기를 보낸다. 그로 인해, 본 형태에서는, 아암(6, 7)의 상면측 부분을 효과적으로 냉각하는 것이 가능해지며, 아암(6, 7)의 상면측 부분의 온도 상승을 효과적으로 억제하는 것이 가능해진다.In this embodiment, a heat dissipating fin 32a is formed on the inner upper surface of the arms 6 and 7, and the fan 91 sends cooling air toward the fin 32a. Therefore, in the present embodiment, the upper surface side portion of the arms 6 and 7 can be effectively cooled, and the temperature rise of the upper surface side portion of the arms 6 and 7 can be effectively suppressed.

(다른 실시 형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기도 하지만, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러 가지 변형 실시가 가능하다.Although the present invention has been described in connection with certain preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

상술한 형태에서는, 별체로 형성된 제1 아암부(20, 25)의 기단부측이 아암 지지부(8)에 고정되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 제1 아암부(20)와 제1 아암부(25)와 아암 지지부(8)가 일체로 형성되어도 된다. 또한, 도 14에 도시한 바와 같이, 제1 아암부(20)의 기단부측 및 제1 아암부(25)의 기단부측의 각각이 본체부(9)에 회동 가능하게 연결되어도 된다. 이 경우에는, 제1 아암부(20)의 내부에 모터(35)가 배치되고, 제1 아암부(25)의 내부에 모터(65)가 배치된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 2개의 아암(6, 7)을 구비하고 있지만, 로봇(1)은 도 15에 도시한 바와 같이, 1개의 아암(6)만을 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 제1 아암부(20)의 기단부측이 본체부(9)에 회동 가능하게 연결된다. 또한, 도 14, 도 15에서는 상술한 형태의 구성과 공통되는 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하였다.In the above-described embodiment, the proximal end side portions of the first arm portions 20, 25 formed separately are fixed to the arm supporting portion 8. In addition, for example, the first arm portion 20, the first arm portion 25, and the arm support portion 8 may be integrally formed. 14, the proximal end side of the first arm portion 20 and the proximal end side of the first arm portion 25 may be rotatably connected to the main body portion 9, as shown in Fig. In this case, the motor 35 is disposed inside the first arm portion 20, and the motor 65 is disposed inside the first arm portion 25. In the above-described embodiment, the robot 1 is provided with two arms 6 and 7. However, the robot 1 may be provided with only one arm 6 as shown in Fig. In this case, the proximal end side of the first arm portion 20 is rotatably connected to the main body portion 9. In Figs. 14 and 15, the same reference numerals are given to the components common to those of the above-described configurations.

상술한 형태에서는, 아암(6, 7)은 제1 아암부(20, 25)와 제2 아암부(21, 26)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있지만, 아암(6, 7)은 3개 이상의 아암부에 의해 구성되어도 된다. 예를 들어, 아암(6, 7)은 제1 아암부(20, 25)와 제2 아암부(21, 26)와 제3 아암부의 3개의 아암부에 의해 구성되어도 된다. 이 경우에는 제2 아암부(21, 26)의 선단측에 제3 아암부의 기단부측이 회동 가능하게 연결되고, 제3 아암부의 선단측에 핸드(4, 5)가 회동 가능하게 연결된다. 또한, 이 경우에는 제2 아암부(21, 26)와 제3 아암부를 회동 가능하게 연결하는 관절부는 관절부(23, 28)와 마찬가지로 감속기(38, 68)를 구비하고 있고, 감속기(38, 68)의 케이스 본체(63)는 자성 유체 시일(43)의 케이스 본체(44)를 통하여 제2 아암부(21, 26)에 고정되어 있다.In the above-described embodiment, the arms 6 and 7 are composed of the first arm portions 20 and 25 and the second arm portions 21 and 26, Or more arm portions. For example, the arms 6 and 7 may be composed of the first arm portions 20 and 25, the second arm portions 21 and 26, and the third arm portion. In this case, the proximal end side of the third arm portion is rotatably connected to the distal end side of the second arm portions 21, 26, and the hands 4, 5 are rotatably connected to the distal end side of the third arm portion. In this case, the joint portions for rotatably connecting the second arm portions 21 and 26 and the third arm portion are provided with speed reducers 38 and 68 in the same manner as the joint portions 23 and 28, Is fixed to the second arm portions 21 and 26 through the case main body 44 of the magnetic fluid seal 43. [

이 경우에도, 감속기(37, 38) 및 자성 유체 시일(39, 43)을 제2 아암부(21)와 일체로 교환하는 것이 가능해지고, 또한 감속기(67, 68), 자성 유체 시일(39, 43), 회전축(69), 스페이서(73), 베어링 보유 지지 부재(74) 및 베어링(75)을 제2 아암부(26)와 일체로 교환할 수 있게 되므로, 상술한 형태와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.The reduction gears 37 and 38 and the magnetic fluid seals 39 and 43 can be exchanged integrally with the second arm portion 21 and the reducers 67 and 68 and the magnetic fluid seals 39 and 43 can be integrally replaced, 43, the rotating shaft 69, the spacer 73, the bearing holding member 74, and the bearing 75 can be integrally exchanged with the second arm portion 26, the same effects as those of the above- Can be obtained.

상술한 형태에서는, 로봇(1)은 진공 중에서 기판(2)을 반송하는 로봇이지만, 본 발명이 적용되는 로봇은, 대기 중에서 기판(2)을 반송하는 로봇이라도 된다. 이 경우에는 자성 유체 시일(39, 43)이 불필요해진다. 또한, 이 경우에는, 예를 들어 감속기(37, 67)의 케이스 본체(60)가 직접 제2 아암부(21, 26)의 기단부측에 고정되고, 감속기(38, 68)의 케이스 본체(63)가 직접 제2 아암부(21, 26)의 선단측에 고정된다. 또한, 감속기(37)의 출력축(59)이 직접 제1 아암부(20)의 선단측에 고정되고, 감속기(67)의 출력축(59)이 직접 스페이서(73)에 고정되고, 감속기(38, 68)의 출력축(62)이 직접 핸드(4, 5)의 기부(11)에 고정된다.In the above-described aspect, the robot 1 is a robot that transports the substrate 2 in vacuum, but the robot to which the present invention is applied may be a robot that transports the substrate 2 in the atmosphere. In this case, the magnetic fluid seals 39 and 43 are unnecessary. In this case, for example, the case body 60 of the speed reducers 37 and 67 is directly fixed to the base end side of the second arm portions 21 and 26, and the case body 63 of the speed reducers 38 and 68 Are directly fixed to the distal end side of the second arm portions 21, 26. The output shaft 59 of the speed reducer 37 is directly fixed to the front end side of the first arm portion 20 and the output shaft 59 of the speed reducer 67 is directly fixed to the spacer 73, 68 are directly fixed to the base 11 of the hands 4, 5.

이 경우에도, 로봇의 오버홀을 행할 때, 감속기(37, 38)를 제2 아암부(21)와 일체로 교환하는 것이 가능해지고, 또한 감속기(67, 68), 회전축(69), 스페이서(73), 베어링 보유 지지 부재(74) 및 베어링(75)을 제2 아암부(26)와 일체로 교환하는 것이 가능해진다. 즉, 로봇(1)의 오버홀을 행할 때, 제1 아암부(20, 25)보다도 아암(6, 7)의 선단측에 배치되는 제2 아암부(21, 26)를 교환함으로써, 아암 지지부(8)에 고정되는 제1 아암부(20, 25)를 교환하지 않아도, 감속기(37, 38, 67, 68), 회전축(69), 스페이서(73), 베어링 보유 지지 부재(74) 및 베어링(75)을 교환하는 것이 가능해진다. 그로 인해, 저비용이면서 또한 용이하게 로봇의 오버홀을 행하는 것이 가능해진다.In this case also, when the robot is overhauled, it becomes possible to exchange the reducers 37, 38 integrally with the second arm portion 21, and the reduction gears 67, 68, the rotation shaft 69, , The bearing holding member 74 and the bearing 75 can be exchanged integrally with the second arm portion 26. [ That is, when the robot arm 1 is overhauled, the second arm portions 21, 26 disposed on the distal end side of the arms 6, 7 relative to the first arm portions 20, 38, 67, 68, the rotating shaft 69, the spacer 73, the bearing holding member 74, and the bearing (not shown) without changing the first arm portions 20, 75) can be exchanged. As a result, it is possible to overhaul the robot at low cost and with ease.

상술한 형태에서는, 감속기(67)의 입력축(58)의 하단에 회전축(69)이 고정되고, 회전축(69)의 하단부측에 풀리(70)가 고정되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 감속기(67)의 입력축(58)의 하단부측에 풀리(70)가 고정되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 감속기(67)의 출력축(59)에 자성 유체 시일(39)의 내주측 부재(41) 및 스페이서(73)를 통하여 제1 아암부(25)의 선단측이 고정되어 있지만, 감속기(67)의 출력축(59)에 자성 유체 시일(39)의 내주측 부재(41)를 통하여 제1 아암부(25)의 선단측이 고정되어도 된다. 즉, 관절부(27)에 있어서, 회전축(69), 스페이서(73), 베어링 보유 지지 부재(74) 및 베어링(75)이 배치되어 있지 않아도 된다.The rotary shaft 69 is fixed to the lower end of the input shaft 58 of the speed reducer 67 and the pulley 70 is fixed to the lower end side of the rotary shaft 69. [ In addition, for example, the pulley 70 may be fixed to the lower end side of the input shaft 58 of the speed reducer 67. [ The distal end side of the first arm portion 25 is fixed to the output shaft 59 of the speed reducer 67 through the inner peripheral side member 41 of the magnetic fluid seal 39 and the spacer 73 However, the tip end side of the first arm portion 25 may be fixed to the output shaft 59 of the speed reducer 67 through the inner peripheral side member 41 of the magnetic fluid seal 39. That is, the rotary shaft 69, the spacer 73, the bearing holding member 74, and the bearing 75 need not be disposed in the joint portion 27.

상술한 형태에서는, 로봇(1)은 1대의 모터(35)에 의해, 제1 아암부(20)에 대하여 제2 아암부(21)를 회동시키고, 또한 제2 아암부(21)에 대하여 핸드(4)를 회동시키고 있다. 이 밖에도 예를 들어, 제1 아암부(20)에 대하여 제2 아암부(21)를 회동시키는 모터와, 제2 아암부(21)에 대하여 핸드(4)를 회동시키는 모터가 개별로 설치되어도 된다. 마찬가지로, 상술한 형태에서는, 1대의 모터(65)에 의해, 제1 아암부(25)에 대하여 제2 아암부(26)를 회동시키고, 또한 제2 아암부(26)에 대하여 핸드(5)를 회동시키고 있지만, 제1 아암부(25)에 대하여 제2 아암부(26)를 회동시키는 모터와, 제2 아암부(26)에 대하여 핸드(5)를 회동시키는 모터가 개별로 설치되어도 된다.The robot 1 rotates the second arm 21 with respect to the first arm 20 and the second arm 21 with respect to the second arm 21 by one motor 35, (4) is rotated. In addition, for example, even if a motor that rotates the second arm 21 with respect to the first arm 20 and a motor that rotates the hand 4 with respect to the second arm 21 are separately provided do. Likewise, in the above-described embodiment, one motor 65 rotates the second arm portion 26 with respect to the first arm portion 25, and the second arm portion 26 rotates with respect to the second arm portion 26 with respect to the hand 5, A motor that rotates the second arm portion 26 with respect to the first arm portion 25 and a motor that rotates the hand 5 with respect to the second arm portion 26 may be separately provided .

상술한 형태에서는, 덮개 부재(32)에 핀(32a)이 형성되어 있지만, 상면부(31a, 34a)의 하면에 핀(32a)이 형성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 덮개 부재(32)에 핀(32a)이 형성되어 있지만, 덮개 부재(32)에 핀(32a)이 형성되지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유기 EL 디스플레이용의 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 액정 디스플레이용의 유리 기판이어도 되고, 반도체 웨이퍼 등이어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 반송 대상물을 반송하기 위한 로봇이지만, 본 발명이 적용되는 로봇은, 다른 용도로 사용되는 로봇이어도 된다.In the above-described embodiment, the lid member 32 is provided with the pin 32a, but the pin 32a may be formed on the lower surface of the upper surface portions 31a and 34a. In the above-described embodiment, the lid member 32 is provided with the pin 32a, but the lid member 32 may not be provided with the pin 32a. In the above-described embodiment, the object to be transported by the robot 1 is the substrate 2 for the organic EL display, but the object to be transported by the robot 1 may be a glass substrate for liquid crystal display, A semiconductor wafer or the like. In the above-described embodiment, the robot 1 is a robot for transporting the object to be transported, but the robot to which the present invention is applied may be a robot for other purposes.

1 : 로봇(산업용 로봇)
4, 5 : 핸드
6, 7 : 아암
8 : 아암 지지부
9 : 본체부
20, 25 : 제1 아암부
21, 26 : 제2 아암부(선단측 아암부)
22, 27 : 관절부(제1 관절부)
23, 28 : 관절부(제2 관절부)
32a : 핀
37, 67 : 감속기(제1 감속기)
38, 68 : 감속기(제2 감속기)
39 : 자성 유체 시일(제1 자성 유체 시일)
40 : 케이스 본체(제1 시일 케이스 본체)
41 : 내주측 부재(제1 내주측 부재)
42 : 베어링 시일부(제1 베어링 시일부)
43 : 자성 유체 시일(제2 자성 유체 시일)
44 : 케이스 본체(제2 시일 케이스 본체)
45 : 내주측 부재(제2 내주측 부재)
46 : 베어링 시일부(제2 베어링 시일부)
58 : 입력축(제1 입력축)
59 : 출력축(제1 출력축)
60 : 케이스 본체(제1 케이스 본체)
61 : 입력축(제2 입력축)
62 : 출력축(제2 출력축)
63 : 케이스 본체(제2 케이스 본체)1: Robot (industrial robot)
4, 5: Hand
6, 7: arm
8: arm support
9:
20, 25: first arm portion
21, 26: second arm portion (front end arm portion)
22, 27: joints (first joints)
23, 28: joint (second joint)
32a: pin
37, 67: Reduction gear (first reduction gear)
38, 68: Reducer (2nd Reducer)
39: magnetic fluid seal (first magnetic fluid seal)
40: Case body (first seal case body)
41: inner peripheral side member (first inner peripheral side member)
42: Bearing seal part (first bearing seal part)
43: Magnetic fluid seal (second magnetic fluid seal)
44: Case body (second seal case body)
45: inner peripheral side member (second inner peripheral side member)
46: Bearing seal part (second bearing seal part)
58: input shaft (first input shaft)
59: Output shaft (first output shaft)
60: Case body (first case body)
61: input shaft (second input shaft)
62: Output shaft (second output shaft)
63: Case body (second case body)

Claims

An arm having a first arm portion that is rotatably connected to a distal end side of the distal end side arm portion and a distal end side arm portion that is rotatably connected to the distal end side arm of the hand, A first joint part for rotatably connecting the first arm part and a second joint part for rotatably connecting the hand and the distal end arm part,
The first joint part includes a first input shaft to which power is input, a first output shaft that decelerates and outputs the power input to the first input shaft, and a second output shaft that rotatably supports the first input shaft and the first output shaft, And a first reduction gear unit having a case body,
The second joint part includes a second input shaft to which power is input, a second output shaft that decelerates and outputs the power input to the second input shaft, and a second output shaft that rotatably supports the second input shaft and the second output shaft, And a second reducer having a case body,
Wherein the first case body and the second case body are fixed to the tip side arm portion side.

The industrial robot according to claim 1, wherein the first reducer and the second reducer are hollow reducers having a through hole formed in the center in the radial direction.

3. The vacuum cleaner according to claim 1 or 2, wherein the hand, the front-end arm portion, and the first arm portion are disposed in vacuum,
Wherein the tip side arm portion and the first arm portion are formed in a hollow shape and the inside of the tip side arm portion and the inside of the first arm portion are at atmospheric pressure,
Wherein the first joint part includes a first magnetic fluid seal for preventing air from flowing out from a connection part between the tip end side arm part and the first arm part into vacuum,
Wherein the second joint part includes a second magnetic fluid seal for preventing air from flowing out from the connection part between the hand and the tip side arm part into the vacuum,
Wherein the first magnetic fluid seal comprises a first seal case body constituting an outer circumferential side portion and fixed to the first case body, and a second seal case body rotatably held on an inner circumferential side of the first seal case body, And a first bearing seal portion having a bearing, a permanent magnet, and a magnetic fluid and disposed between the first seal case body and the first inner peripheral side member in a radial direction, the first inner seal member having a first output shaft fixed thereto and,
Wherein the second magnetic fluid seal has a second seal case body which constitutes an outer peripheral portion thereof and in which the second case body is fixed and a second seal case body which is rotatably held on the inner circumferential side of the second seal case body, And a second bearing seal portion having a bearing, a permanent magnet, and a magnetic fluid and disposed between the second seal case main body and the second inner peripheral side member in the radial direction, the second inner peripheral side member having the second output shaft fixed thereto and,
The first case body is fixed to the tip side arm portion through the first seal case body and the second case body is fixed to the tip side arm portion through the second seal case body As an industrial robot.

[Claim 4] The apparatus according to claim 3, further comprising: an arm supporting portion to which two proximal ends of the hand, two of the distal-side arm portions, two of the first arm portions, and two of the first arm portions are fixed, And the arm support portion is connected to the arm support portion so that the arm support portion can be rotated in the axial direction of the arm support portion.

5. The apparatus according to claim 4, wherein the hand, the front-end arm portion, and the first arm portion are arranged in vacuum,
The front end side arm portion and the first arm portion are formed in a hollow shape and the inside of the front end side arm portion and the inside of the first arm portion are atmospheric pressure,
And a heat dissipation fin is formed on an inner upper surface of the front end side arm portion and the first arm portion.

The arm supporting apparatus according to claim 1 or 2, further comprising: an arm supporting portion to which two proximal ends of said hand, two said distal-side arm portions, two said first arm portions, and two said first arm portions are fixed, And a main body portion to which the arm supporting portion is connected so that the arm supporting portion can be rotated in an axial direction of the rotation.

7. The automatic transmission according to claim 6, wherein the hand, the front-end arm portion, and the first arm portion are disposed in vacuum,
The front end side arm portion and the first arm portion are formed in a hollow shape and the inside of the front end side arm portion and the inside of the first arm portion are atmospheric pressure,
And a heat dissipation fin is formed on an inner upper surface of the front end side arm portion and the first arm portion.

3. The vacuum cleaner according to claim 1 or 2, wherein the hand, the front-end arm portion, and the first arm portion are disposed in vacuum,
The front end side arm portion and the first arm portion are formed in a hollow shape and the inside of the front end side arm portion and the inside of the first arm portion are atmospheric pressure,
And a heat dissipation fin is formed on an inner upper surface of the front end side arm portion and the first arm portion.

An arm having a first arm portion, a second arm portion, and a third arm portion, the hand being rotatably connected to a distal end side of the hand, and a first arm portion rotatably connecting the second arm portion and the first arm portion, And a second joint part for rotatably connecting the third arm part and the second arm part,
The proximal end side of the third arm portion is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion,
The proximal end side of the second arm portion is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion,
The first joint part includes a first input shaft to which power is input, a first output shaft that decelerates and outputs the power input to the first input shaft, and a second output shaft that rotatably supports the first input shaft and the first output shaft, And a first reduction gear unit having a case body,
The second joint part includes a second input shaft to which power is input, a second output shaft that decelerates and outputs the power input to the second input shaft, and a second output shaft that rotatably supports the second input shaft and the second output shaft, And a second reducer having a case body,
Wherein the first case body and the second case body are fixed to the second arm portion side.