KR20160047031A - 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR20160047031A
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이형섭
채승연
윤주영
최충석
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 복수의 화소 영역을 포함하는 기판, 상기 기판 위에 형성된 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터 위에 형성된 제1 절연층, 상기 박막 트랜지스터와 연결되며 상기 제1 절연층 위에 형성된 화소 전극, 상기 화소 전극 위에 형성된 미세 공간을 채우고 있는 액정층, 상기 화소 전극과 상기 미세 공간에 의해 이격되어 형성된 공통 전극, 상기 공통 전극 위에 형성된 지붕층, 상기 미세 공간의 일부를 노출시키도록 상기 공통 전극 및 상기 지붕층에 형성된 주입구, 상기 지붕층의 상부에 형성되는 제3 절연층, 및 상기 주입구를 덮어 상기 미세 공간을 밀봉하며 상기 제3 절연층 위에 형성된 덮개막을 포함하고, 상기 제3 절연층의 상부면에 볼록한 형태의 엠보싱 패턴이 형성되어 있는 표시 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, 다양한 형태의 패턴이 형성되어 있는 절연층을 형성하여, 굴절율이 상이한 복수층을 통과할 수 있는 광의 임계각(critical angle)을 증가시키고 광 효율이 증가될 수 있는 장점이 있다.

Description

표시 장치 및 그 제조 방법{DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광 효율을 증가시키는 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
오늘날 널리 이용되는 컴퓨터 모니터, 텔레비전, 휴대폰 등에는 표시 장치가 필요하다. 표시 장치에는 음극선관 표시 장치, 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치 등이 있다.
액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 화소 전극과 공통 전극 등 전기장 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 들어 있는 액정층으로 이루어지며, 전기장 생성 전극에 전압을 인가하여 액정층에 전기장을 생성하고 이를 통하여 액정층의 액정 분자들의 배향을 결정하고 입사광의 편광을 제어함으로써 영상을 표시한다.
액정 표시 장치를 구성하는 두 장의 표시판은 박막 트랜지스터 표시판과 대향 표시판으로 이루어질 수 있다. 박막 트랜지스터 표시판에는 게이트 신호를 전송하는 게이트선과 데이터 신호를 전송하는 데이터선이 서로 교차하여 형성되고, 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극 등이 형성될 수 있다. 대향 표시판에는 차광 부재, 색필터, 공통 전극 등이 형성될 수 있다. 경우에 따라 차광 부재, 색필터, 공통 전극이 박막 트랜지스터 표시판에 형성될 수도 있다.
그러나, 종래의 액정 표시 장치에서는 두 장의 기판이 필수적으로 사용되고, 두 장의 기판 위에 각각의 구성 요소들을 형성함으로써, 표시 장치가 무겁고, 두꺼우며, 비용이 많이 들고, 공정 시간이 오래 걸리는 등의 문제점이 있었다.
또한, 굴절율이 상이한 복수층이 적층된 구조로서 백라이트로부터 출광되는 광 효율이 감소하는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 표시 장치에 다양한 형태의 패턴이 형성된 절연층을 포함함으로써, 광 효율을 증가시킬 수 있는 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예에 따르면, 복수의 화소 영역을 포함하는 기판, 상기 기판 위에 형성된 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터 위에 형성된 제1 절연층, 상기 박막 트랜지스터와 연결되며 상기 제1 절연층 위에 형성된 화소 전극, 상기 화소 전극 위에 형성된 미세 공간을 채우고 있는 액정층, 상기 화소 전극과 상기 미세 공간에 의해 이격되어 형성된 공통 전극, 상기 공통 전극 위에 형성된 지붕층, 상기 미세 공간의 일부를 노출시키도록 상기 공통 전극 및 상기 지붕층에 형성된 주입구, 상기 지붕층의 상부에 형성되는 제3 절연층, 및 상기 주입구를 덮어 상기 미세 공간을 밀봉하며 상기 제3 절연층 위에 형성된 덮개막을 포함하고, 상기 제3 절연층의 상부면에 볼록한 형태의 엠보싱 패턴이 형성되어 있는 표시 장치를 제공한다.
상기 제3 절연층은 무기막으로 형성될 수 있다.
상기 제3 절연층은 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx) 및 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 덮개막은 상기 제3 절연층보다 광의 굴절율이 더 작은 물질로 형성될 수 있다.
상기 제3 절연층에 형성된 상기 패턴의 단면은 반원형, 삼각형 및 사각형 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.
상기 제3 절연층 및 상기 덮개막 사이에 형성된 굴절율 완화층을 더 포함하고, 상기 굴절율 완화층의 상부면에 볼록한 형태의 엠보싱 패턴이 형성될 수 있다.
상기 굴절율 완화층의 굴절율은 상기 제3 절연막의 굴절율보다는 작고, 상기 덮개막의 굴절율보다는 클 수 있다.
상기 굴절율 완화층은 투명 도전성 산화물을 포함할 수 있다.
IZO(indium zinc oxide), ITO(indium tin oxide), AZO(aluminium doped zinc oxide) 또는 FTO(fluorine doped thin oxide)를 포함할 수 있다.
상기 굴절율 완화층에 형성된 상기 패턴의 단면은 반원형, 삼각형 및 사각형 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.
상기 패턴은 나노 와이어로 형성될 수 있다.
상기 공통 전극 및 상기 지붕층 사이에 형성된 제2 절연층, 및 상기 미세 공간 내부 및 상기 주입구 전면에 형성된 배향막을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 기판 위에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계, 상기 박막 트랜지스터 위에 제1 절연층을 형성하는 단계, 상기 제1 절연층 위에 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계, 상기 화소 전극 위에 희생층을 형성하는 단계, 상기 희생층 위에 공통 전극을 형성하는 단계, 상기 공통 전극 위에 유기 물질을 도포하고, 패터닝하여 지붕층을 형성하는 단계, 상기 공통 전극을 상기 지붕층을 마스크로 패터닝하여 상기 희생층을 노출시키는 단계, 상기 지붕층 위에 제3 절연층을 형성하는 단계, 상기 노출된 희생층을 제거하여 상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 미세 공간 및 주입구를 형성하는 단계, 상기 제3 절연층 상부면에 볼록한 형태의 엠보싱 패턴을 형성하는 단계, 상기 미세 공간으로 액정 물질을 주입하여 액정층을 형성하는 단계, 및 상기 제3 절연층 및 상기 주입구 위에 덮개막을 형성하여 상기 미세 공간을 밀봉하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
상기 굴절율 완화층에 패턴을 형성하는 단계는 상기 굴절율 완화층 표면에 나노 와이어를 성장시키는 공정으로 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 다양한 형태의 패턴이 형성되어 있는 절연층을 형성하여, 굴절율이 상이한 복수층을 통과할 수 있는 광의 임계각(critical angle)을 증가시키고 광 효율이 증가될 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 한 화소를 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 1의 III-III 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 4는 도 1의 IV-IV 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 5 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 순서에 따라 나타낸 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
먼저, 도 1을 참고하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 대해 개략적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 평면도이다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 유리 또는 플라스틱 등과 같은 재료로 만들어진 기판(110), 기판(110) 위에 형성되어 있는 지붕층(360)을 포함한다.
기판(110)은 복수의 화소 영역(PX)을 포함한다. 복수의 화소 영역(PX)은 복수의 화소 행과 복수의 화소열을 포함하는 매트릭스 형태로 배치되어 있다. 각 화소 영역(PX)은 제1 부화소 영역(PXa) 및 제2 부화소 영역(PXb)을 포함할 수 있다. 제1 부화소 영역(PXa) 및 제2 부화소 영역(PXb)은 상하로 배치될 수 있다.
제1 부화소 영역(PXa)과 제2 부화소 영역(PXb) 사이에는 화소 행 방향을 따라서 제1 골짜기(V1)가 위치하고 있고, 복수의 화소 열 사이에는 제2 골짜기(V2)가 위치하고 있다.
지붕층(360)은 화소 행 방향으로 형성되어 있다. 이 때, 제1 골짜기(V1)에서는 지붕층(360)이 제거되어 지붕층(360) 아래에 위치하는 구성 요소가 외부로 노출될 수 있도록 주입구(307)가 형성되어 있다.
각 지붕층(360)은 인접한 제2 골짜기(V2) 사이에서 기판(110)으로부터 떨어져 형성됨으로써, 미세 공간(305)이 형성된다. 또한, 각 지붕층(360)은 제2 골짜기(V2)에서는 기판(110)에 부착되도록 형성됨으로써, 미세 공간(305)의 양 측면을 덮도록 한다.
앞서 설명한 본 발명의 일 실시예에 의한 표시 장치의 구조는 예시에 불과하며, 다양한 변형이 가능하다. 예를 들면, 화소 영역(PX), 제1 골짜기(V1), 및 제2 골짜기(V2)의 배치 형태의 변경이 가능하고, 복수의 지붕층(360)은 제1 골짜기(V1)에서 서로 연결될 수도 있으며, 각 지붕층(360)의 일부는 제2 골짜기(V2)에서 기판(110)으로부터 떨어져 형성됨으로써 인접한 미세 공간(305)이 서로 연결될 수도 있다.
이제부터 도 2 내지 도 4에 도 1을 참고하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 한 화소에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 한 화소를 나타낸 평면도이고, 도 3은 도 1의 III-III 선을 따라 잘라 도시한 단면도이며, 도 4는 도 1의 IV-IV 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참고하면, 기판(110) 위에 복수의 게이트선(121), 복수의 감압 게이트선(123) 및 복수의 유지 전극선(131)을 포함하는 복수의 게이트 도전체가 형성되어 있다.
게이트선(121) 및 감압 게이트선(123)은 주로 가로 방향으로 뻗어 있으며 게이트 신호를 전달한다. 게이트 도전체는 게이트선(121)으로부터 위 아래로 돌출한 제1 게이트 전극(124h) 및 제2 게이트 전극(124l)을 더 포함하고, 감압 게이트선(123)으로부터 위로 돌출한 제3 게이트 전극(124c)을 더 포함한다. 제1 게이트 전극(124h) 및 제2 게이트 전극(124l)은 서로 연결되어 하나의 돌출부를 이룬다. 이 때, 제1, 제2, 및 제3 게이트 전극(124h, 124l, 124c)의 돌출 형태는 변경이 가능하다.
유지 전극선(131)도 주로 가로 방향으로 뻗어 있으며 공통 전압(Vcom) 등의 정해진 전압을 전달한다. 유지 전극선(131)은 위 아래로 돌출한 유지 전극(129), 게이트선(121)과 실질적으로 수직하게 아래로 뻗은 한 쌍의 세로부(134) 및 한 쌍의 세로부(134)의 끝을 서로 연결하는 가로부(127)를 포함한다. 가로부(127)는 아래로 확장된 용량 전극(137)을 포함한다.
게이트 도전체(121, 123, 124h, 124l, 124c, 131) 위에는 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(140)은 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx) 등과 같은 무기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 게이트 절연막(140)은 단일막 또는 다중막으로 이루어질 수 있다.
게이트 절연막(140) 위에는 제1 반도체(154h), 제2 반도체(154l), 및 제3 반도체(154c)가 형성되어 있다. 제1 반도체(154h)는 제1 게이트 전극(124h) 위에 위치할 수 있고, 제2 반도체(154l)는 제2 게이트 전극(124l) 위에 위치할 수 있으며, 제3 반도체(154c)는 제3 게이트 전극(124c) 위에 위치할 수 있다. 제1 반도체(154h)와 제2 반도체(154l)는 서로 연결될 수 있고, 제2 반도체(154l)와 제3 반도체(154c)도 서로 연결될 수 있다. 또한, 제1 반도체(154h)는 데이터선(171)의 아래까지 연장되어 형성될 수도 있다. 제1 내지 제3 반도체(154h, 154l, 154c)는 비정질 실리콘(amorphous silicon), 다결정 실리콘(polycrystalline silicon), 금속 산화물(metal oxide) 등으로 이루어질 수 있다.
제1 내지 제3 반도체(154h, 154l, 154c) 위에는 각각 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(도시하지 않음)가 더 형성될 수 있다. 저항성 접촉 부재는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어질 수 있다.
데이터선(171)은 데이터 신호를 전달하며 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121) 및 감압 게이트선(123)과 교차한다. 각 데이터선(171)은 제1 게이트 전극(124h) 및 제2 게이트 전극(124l)을 향하여 뻗으며 서로 연결되어 있는 제1 소스 전극(173h) 및 제2 소스 전극(173l)을 포함한다.
제1 드레인 전극(175h), 제2 드레인 전극(175l) 및 제3 드레인 전극(175c)은 넓은 한 쪽 끝 부분과 막대형인 다른 쪽 끝 부분을 포함한다. 제1 드레인 전극(175h) 및 제2 드레인 전극(175l)의 막대형 끝 부분은 제1 소스 전극(173h) 및 제2 소스 전극(173l)으로 일부 둘러싸여 있다. 제2 드레인 전극(175l)의 넓은 한 쪽 끝 부분은 다시 연장되어 'U'자 형태로 굽은 제3 소스 전극(173c)을 이룬다. 제3 드레인 전극(175c)의 넓은 끝 부분(177c)은 용량 전극(137)과 중첩하여 감압 축전기(Cstd)를 이루며, 막대형 끝 부분은 제3 소스 전극(173c)으로 일부 둘러싸여 있다.
제1 게이트 전극(124h), 제1 소스 전극(173h), 및 제1 드레인 전극(175h)은 제1 반도체(154h)와 함께 제1 박막 트랜지스터(Qh)를 형성하고, 제2 게이트 전극(124l), 제2 소스 전극(173l) 및 제2 드레인 전극(175l)은 제2 반도체(154l)와 함께 제2 박막 트랜지스터(Ql)를 형성하며, 제3 게이트 전극(124c), 제3 소스 전극(173c), 및 제3 드레인 전극(175c)은 제3 반도체(154c)와 함께 제3 박막 트랜지스터(Qc)를 형성한다.
제1 반도체(154h), 제2 반도체(154l), 및 제3 반도체(154c)는 서로 연결되어 선형으로 이루어질 수 있으며, 소스 전극(173h, 173l, 173c)과 드레인 전극(175h, 175l, 175c) 사이의 채널 영역을 제외하고는 데이터 도전체(171, 173h, 173l, 173c, 175h, 175l, 175c) 및 그 하부의 저항성 접촉 부재와 실질적으로 동일한 평면 모양을 가질 수 있다.
제1 반도체(154h)에는 제1 소스 전극(173h)과 제1 드레인 전극(175h) 사이에서 제1 소스 전극(173h) 및 제1 드레인 전극(175h)에 의해 가리지 않고 노출된 부분이 있고, 제2 반도체(154l)에는 제2 소스 전극(173l)과 제2 드레인 전극(175l) 사이에서 제2 소스 전극(173l) 및 제2 드레인 전극(175l)에 의해 가리지 않고 노출된 부분이 있으며, 제3 반도체(154c)에는 제3 소스 전극(173c)과 제3 드레인 전극(175c) 사이에서 제3 소스 전극(173c) 및 제3 드레인 전극(175c)에 의해 가리지 않고 노출된 부분이 있다.
데이터 도전체(171, 173h, 173l, 173c, 175h, 175l, 175c) 및 각 소스 전극(173h, 173l, 173c)과 각 드레인 전극(175h, 175l, 175c) 사이로 노출되어 있는 반도체(154h, 154l, 154c) 위에는 보호막(180)이 형성되어 있다. 보호막(180)은 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 단일막 또는 다중막으로 형성될 수 있다.
보호막(180) 위에는 각 화소 영역(PX) 내에 색필터(230)가 형성되어 있다. 각 색필터(230)는 적색, 녹색 및 청색의 삼원색 등 기본색(primary color) 중 하나를 표시할 수 있다. 색필터(230)는 적색, 녹색 및 청색의 삼원색에 한정되지 아니하고, 청록색(cyan), 자홍색(magenta), 옐로(yellow), 화이트 계열의 색 등을 표시할 수도 있다. 도시된 바와 달리 색필터(230)는 이웃하는 데이터선(171) 사이를 따라서 열 방향으로 길게 뻗을 수도 있다.
이웃하는 색필터(230) 사이의 영역에는 차광 부재(220)가 형성되어 있다. 차광 부재(220)는 화소 영역(PX)의 경계부와 박막 트랜지스터 위에 형성되어 빛샘을 방지할 수 있다. 색필터(230)는 각 제1 부화소 영역(PXa)와 제2 부화소 영역(PXb)에 형성되고, 제1 부화소 영역(PXa)과 제2 부화소 영역(PXb) 사이에는 차광 부재(220)가 형성될 수 있다.
차광 부재(220)는 게이트선(121) 및 감압 게이트선(123)을 따라 뻗어 위아래로 확장되어 있으며 제1 박막 트랜지스터(Qh), 제2 박막 트랜지스터(Ql) 및 제3 박막 트랜지스터(Qc) 등의 위치하는 영역을 덮는 가로 차광 부재(220a)와 데이터선(171)을 따라 뻗어 있는 세로 차광 부재(220b)를 포함한다. 즉, 가로 차광 부재(220a)는 제1 골짜기(V1)에 형성되고, 세로 차광 부재(220b)는 제2 골짜기(V2)에 형성될 수 있다. 색필터(230)와 차광 부재(220)는 일부 영역에서 서로 중첩될 수도 있다.
색필터(230) 및 차광 부재(220) 위에는 제1 절연층(240)이 더 형성될 수 있다. 제1 절연층(240)은 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 등과 같은 무기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 제1 절연층(240)은 유기 물질로 이루어진 색필터(230) 및 차광 부재(220)를 보호하는 역할을 하며, 필요에 따라 생략될 수도 있다.
제1 절연층(240), 차광 부재(220), 보호막(180)에는 제1 드레인 전극(175h)의 넓은 끝 부분과 제2 드레인 전극(175l)의 넓은 끝 부분을 각각 드러내는 복수의 제1 접촉 구멍(185h) 및 복수의 제2 접촉 구멍(185l)이 형성되어 있다.
제1 절연층(240) 위에는 화소 전극(191)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 인듐-주석 산화물(ITO, indium tin oxide), 인듐-아연 산화물(IZO, indium zinc oxide) 등과 같은 투명한 금속 물질로 이루어질 수 있다.
화소 전극(191)은 게이트선(121) 및 감압 게이트선(123)을 사이에 두고 서로 분리되어, 게이트선(121) 및 감압 게이트선(123)을 중심으로 화소 영역(PX)의 위와 아래에 배치되어 열 방향으로 이웃하는 제1 부화소 전극(191h)과 제2 부화소 전극(191l)을 포함한다. 즉, 제1 부화소 전극(191h)과 제2 부화소 전극(191l)은 제1 골짜기(V1)를 사이에 두고 분리되어 있으며, 제1 부화소 전극(191h)은 제1 부화소 영역(PXa)에 위치하고, 제2 부화소 전극(191l)은 제2 부화소 영역(PXb)에 위치한다.
제1 부화소 전극(191h) 및 제2 부화소 전극(191l)은 제1 접촉 구멍(185h) 및 제2 접촉 구멍(185l)을 통하여 각기 제1 드레인 전극(175h) 및 제2 드레인 전극(175l)과 연결되어 있다. 따라서, 제1 박막 트랜지스터(Qh) 및 제2 박막 트랜지스터(Ql)가 온 상태일 때 제1 드레인 전극(175h) 및 제2 드레인 전극(175l)으로부터 데이터 전압을 인가 받는다.
제1 부화소 전극(191h) 및 제2 부화소 전극(191l) 각각의 전체적인 모양은 사각형이며 제1 부화소 전극(191h) 및 제2 부화소 전극 각각은 가로 줄기부(193h, 193l), 가로 줄기부(193h, 193l)와 교차하는 세로 줄기부(192h, 192l)로 이루어진 십자형 줄기부를 포함한다. 또한, 제1 부화소 전극(191h) 및 제2 부화소 전극(191l)은 각각 복수의 미세 가지부(194h, 194l), 부화소 전극(191h, 191l)의 가장자리 변에서 아래 또는 위로 돌출될 돌출부(197h, 197l)를 포함한다.
화소 전극(191)은 가로 줄기부(193h, 193l)와 세로 줄기부(192h, 192l)에 의해 4개의 부영역으로 나뉘어진다. 미세 가지부(194h, 194l)는 가로 줄기부(193h, 193l) 및 세로 줄기부(192h, 192l)로부터 비스듬하게 뻗어 있으며 그 뻗는 방향은 게이트선(121) 또는 가로 줄기부(193h, 193l)와 대략 45도 또는 135도의 각을 이룰 수 있다. 또한 이웃하는 두 부영역의 미세 가지부(194h, 194l)가 뻗어 있는 방향은 서로 직교할 수 있다.
본 실시예에서 제1 부화소 전극(191h)은 외곽을 둘러싸는 외곽 줄기부를 더 포함하고, 제2 부화소 전극(191l)은 상단 및 하단에 위치하는 가로부 및 제1 부화소 전극(191h)의 좌우에 위치하는 좌우 세로부(198)를 더 포함한다. 좌우 세로부(198)는 데이터선(171)과 제1 부화소 전극(191h) 사이의 용량성 결합, 즉 커플링을 방지할 수 있다.
앞서 설명한 화소 영역의 배치 형태, 박막 트랜지스터의 구조 및 화소 전극의 형상은 하나의 예에 불과하며, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고 다양한 변형이 가능하다.
화소 전극(191) 위에는 화소 전극(191)으로부터 일정한 거리를 가지고 이격되도록 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)과 공통 전극(270) 사이에는 미세 공간(microcavity, 305)이 형성되어 있다. 즉, 미세 공간(305)은 화소 전극(191) 및 공통 전극(270)에 의해 둘러싸여 있다. 미세 공간(305)의 폭과 넓이는 표시 장치의 크기 및 해상도에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
공통 전극(270)은 인듐-주석 산화물(ITO, indium tin oxide), 인듐-아연 산화물(IZO, indium zinc oxide) 등과 같은 투명한 금속 물질로 이루어질 수 있다. 공통 전극(270)에는 일정한 전압이 인가될 수 있고, 화소 전극(191)과 공통 전극(270) 사이에 전계가 형성될 수 있다.
화소 전극(191) 위에는 제1 배향막(11)이 형성되어 있다. 제1 배향막(11)은 화소 전극(191)에 의해 덮여있지 않은 제1 절연층(240) 바로 위에 형성될 수 있다.
또한, 제1 절연층(240)이 필요에 따라 생략된 경우에는 화소 전극(191)에 의해 덮여 있지 않은 색필터(230) 및 차광 부재(220) 바로 위에 형성될 수도 있다.
제1 배향막(11)과 마주보도록 공통 전극(270) 아래에는 제2 배향막(21)이 형성되어 있다.
제1 배향막(11)과 제2 배향막(21)은 수직 배향막으로 이루어질 수 있고, 폴리 아믹산(polyamic acid), 폴리 실록산(polysiloxane), 폴리 이미드(polyimide) 등의 배향 물질로 이루어질 수 있다. 제1 및 제2 배향막(11, 21)은 화소 영역(PX)의 가장자리에서 서로 연결될 수 있다.
화소 전극(191)과 공통 전극(270) 사이에 위치한 미세 공간(305) 내에는 액정 분자(310)들로 이루어진 액정층이 형성되어 있다. 액정 분자(310)들은 음의 유전율 이방성을 가지며, 전계가 인가되지 않은 상태에서 기판(110)에 수직한 방향으로 서 있을 수 있다. 즉, 수직 배향이 이루어질 수 있다.
데이터 전압이 인가된 제1 부화소 전극(191h) 및 제2 부화소 전극(191l)은 공통 전극(270)과 함께 전기장을 생성함으로써 두 전극(191, 270) 사이의 미세 공간(305) 내에 위치한 액정 분자(310)의 방향을 결정한다. 이와 같이 결정된 액정 분자(310)의 방향에 따라 액정층을 통과하는 빛의 휘도가 달라진다.
공통 전극(270) 위에는 제2 절연층(350)이 더 형성될 수 있다. 제2 절연층(350)은 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 등과 같은 무기 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 필요에 따라 생략될 수도 있다.
제2 절연층(350) 위에는 지붕층(360)이 형성되어 있다. 지붕층(360)은 유기 물질로 이루어질 수 있다. 지붕층(360)의 아래에는 미세 공간(305)이 형성되어 있고, 지붕층(360)은 경화 공정에 의해 단단해져 미세 공간(305)의 형상을 유지할 수 있다. 즉, 지붕층(360)은 화소 전극(191)과 미세 공간(305)을 사이에 두고 이격되도록 형성되어 있다.
지붕층(360)은 화소 행을 따라 각 화소 영역(PX) 및 제2 골짜기(V2)에 형성되며, 제1 골짜기(V1)에는 형성되지 않는다. 즉, 지붕층(360)은 제1 부화소 영역(PXa)과 제2 부화소 영역(PXb) 사이에는 형성되지 않는다. 각 제1 부화소 영역(PXa)과 제2 부화소 영역(PXb)에서는 각 지붕층(360)의 아래에 미세 공간(305)이 형성되어 있다. 제2 골짜기(V2)에서는 지붕층(360)의 아래에 미세 공간(305)이 형성되지 않으며, 기판(110)에 부착되도록 형성되어 있다. 따라서, 제2 골짜기(V2)에 위치하는 지붕층(360)의 두께가 제1 부화소 영역(PXa) 및 제2 부화소 영역(PXb)에 위치하는 지붕층(360)의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다. 미세 공간(305)의 상부면 및 양측면은 지붕층(360)에 의해 덮여 있는 형태로 이루어지게 된다.
지붕층(360)은 제1 골짜기 영역(V1)에 위치하지 않는 바, 제1 골짜기 영역(V1)을 사이에 두고 이격된다. 이에 따라 제1 골짜기 영역(V1)과 인접한 영역의 지붕층(360)은 경사지며 기울어진 면을 가진다.
공통 전극(270), 제2 절연층(350) 및 지붕층(360)에는 미세 공간(305)의 일부를 노출시키는 주입구(307)가 형성되어 있다. 주입구(307)는 제1 부화소 영역(PXa)과 제2 부화소 영역(PXb)의 가장자리에 서로 마주보도록 형성될 수 있다. 즉, 주입구(307)는 제1 부화소 영역(PXa)의 하측 변, 제2 부화소 영역(PXb)의 상측변에 대응하여 미세 공간(305)의 측면을 노출시키도록 형성될 수 있다. 주입구(307)에 의해 미세 공간(305)이 노출되어 있으므로, 주입구(307)를 통해 미세 공간(305) 내부로 배향액 또는 액정 물질 등을 주입할 수 있다.
지붕층(360) 위에는 제3 절연층(370)이 형성되어 있다. 제3 절연층(370)은 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 등과 같은 무기 절연 물질로 이루어질 수 있다.
제3 절연층(370) 위에는 덮개막(390)이 형성될 수 있다. 덮개막(390)은 미세 공간(305)의 일부를 외부로 노출시키는 주입구(307)를 덮도록 형성된다. 즉, 덮개막(390)은 미세 공간(305)의 내부에 형성되어 있는 액정 분자(310)가 외부로 나오지 않도록 미세 공간(305)을 밀봉할 수 있다. 덮개막(390)은 액정 분자(310)와 접촉하게 되므로, 액정 분자(310)와 반응하지 않는 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. 예를 들면, 덮개막(390)은 페릴렌(parylene) 등으로 이루어질 수 있다.
덮개막(390)은 이중막, 삼중막 등과 같이 다중막으로 이루어질 수도 있다. 이중막은 서로 다른 물질로 이루어진 두 개의 층으로 이루어져 있다. 삼중막은 세 개의 층으로 이루어지고, 서로 인접하는 층의 물질이 서로 다르다. 예를 들면, 덮개막(390)은 유기 절연 물질로 이루어진 층과 무기 절연 물질로 이루어진 층을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 제3 절연층(370)에는 제3 절연층(370)의 상부면 방향으로 볼록한 패턴(371)이 형성되어 있다.
제3 절연층(370)과 이어서 설명할 제3 절연층(370) 위에 적층되는 덮개막(390) 은 굴절율이 상이하며, 굴절율이 상이한 복수의 층이 적층되어 있는 층상을 광이 투과할 경우, 광이 투과해 나갈 수 있는 각도의 범위가 발생할 수 있는데 이를 임계각(critical angle)이라 한다. 일반적으로 굴절율이 큰 층에서 굴절율이 작은 층으로 광이 투과해 들어갈 때 임계각이 작아지고, 복수의 층의 굴절율의 차이가 커질수록 이 임계각은 더 작아지게 되어 임계각을 초과하는 각도로 입사되는 빛은 복수의 층을 투과하지 못하게 되어 광 효율이 감소될 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 제3 절연층(370)에 형성될 수 있는 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 등과 같은 무기 절연 물질은 덮개막(390)으로 형성될 수 있는 페릴렌(parylene) 등과 같은 물질보다 굴절율이 더 크기 때문에 제3 절연층(370)을 투과하는 광이 투과할 수 있는 임계각이 발생한다. 또한, 제3 절연층(370)과 덮개막(390)의 굴절율 차이가 커질수록 임계각은 더욱 감소하게 되어 광 효율이 더욱 감소될 수 있다.
이에 제3 절연층(370)에 상부면으로 볼록한 형태의 패턴(371)을 형성함으로써, 제3 절연층(370)의 상부면 및 덮개막(390)의 하부면을 투과해나가는 광의 임계각을 증가시켜주어, 패턴(371)이 없는 평평한 형태의 제3 절연층(370)에 비해 광의 투과율을 높일 수 있고, 표시 장치 전체의 광 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제3 절연층(370)의 상부면에 형성되어 있는 볼록한 형태의 각각의 패턴(371)은 그 단면이 반원형으로서, 제3 절연층(370)의 상부면 전체로 보아 엠보싱 형태로 형성될 수 있다.
도시는 생략하였으나, 표시 장치의 상하부 면에는 편광판이 더 형성될 수 있다. 편광판은 제1 편광판 및 제2 편광판으로 이루어질 수 있다. 제1 편광판은 기판(110)의 하부면에 부착되고, 제2 편광판은 덮개막(390) 위에 부착될 수 있다.
다음으로, 도 5 내지 도 10을 참고하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 대해 설명하면 다음과 같다. 아울러, 도 1 내지 도 4를 함께 참조하여 설명한다.
도 5 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 순서에 따라 나타낸 단면도이다.
먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 유리 또는 플라스틱 등으로 이루어진 기판(110) 위에 일방향으로 뻗어있는 게이트선(121)과 감압 게이트선(123)을 형성하고, 게이트선(121)으로부터 돌츨되는 제1 게이트 전극(124h), 제2 게이트 전극(124l), 및 제3 게이트 전극(124c)을 형성한다.
또한, 게이트선(121), 감압 게이트선(123), 및 제1 내지 제3 게이트 전극(124h, 124l, 124c)와 이격되도록 유지 전극선(131)을 함께 형성할 수 있다.
이어, 게이트선(121), 감압 게이트선(123), 제1 내지 제3 게이트 전극(124h, 124l, 124c), 및 유지 전극선(131)을 포함한 기판(110) 위의 전면에 실리콘 산화물(SiOx) 또는 실리콘 질화물(SiNx)과 같은 무기 절연 물질을 이용하여 게이트 절연막(140)을 형성한다. 게이트 절연막(140)은 단일막 또는 다중막으로 형성할 수 있다.
이어, 게이트 절연막(140) 위에 비정질 실리콘(amorphous silicon), 다결정 실리콘(polycrystalline silicon), 금속 산화물(metal oxide) 등과 같은 반도체 물질을 증착한 후 이를 패터닝하여 제1 반도체(154h), 제2 반도체(154l), 및 제3 반도체(154c)를 형성한다. 제1 반도체(154h)는 제1 게이트 전극(124h) 위에 위치하도록 형성하고, 제2 반도체(154l)는 제2 게이트 전극(124l) 위에 위치하도록 형성하며, 제3 반도체(154c)는 제3 게이트 전극(124c) 위에 위치하도록 형성할 수 있다.
이어, 금속 물질을 증착한 후 이를 패터닝하여 타방향으로 뻗어있는 데이터선(171)을 형성한다. 금속 물질은 단일막 또는 다중막으로 이루어질 수 있다.
또한, 데이터선(171)으로부터 제1 게이트 전극(124h) 위로 돌출되는 제1 소스 전극(173h) 및 제1 소스 전극(173h)과 이격되는 제1 드레인 전극(175h)을 함께 형성한다. 또한, 제1 소스 전극(173h)과 연결되어 있는 제2 소스 전극(173l) 및 제2 소스 전극(173l)과 이격되는 제2 드레인 전극(175l)을 함께 형성한다. 또한, 제2 드레인 전극(175l)으로부터 연장되어 있는 제3 소스 전극(173c) 및 제3 소스 전극(173c)과 이격되는 제3 드레인 전극(175c)을 함께 형성한다.
반도체 물질과 금속 물질을 연속으로 증착한 후 이를 동시에 패터닝하여 제1 내지 제3 반도체(154h, 154l, 154c), 데이터선(171), 제1 내지 제3 소스 전극(173h, 173l, 173c), 및 제1 내지 제3 드레인 전극(175h, 175l, 175c)을 형성할 수도 있다. 이 때, 제1 반도체(154h)는 데이터선(171)의 아래까지 연장되어 형성된다.
제1, 제2, 제3 게이트 전극(124h, 124l, 124c), 제1, 제2, 제3 소스 전극(173h, 173l, 173c), 및 제1, 제2, 제3 드레인 전극(175h, 175l, 175c)은 제1, 제2, 제3 반도체(154h, 154l, 154c)와 함께 각각 제1, 제2, 제3 박막 트랜지스터(TFT, thin film transistor)(Qh, Ql, Qc)를 구성한다.
이어, 데이터선(171), 제1 내지 제3 소스 전극(173h, 173l, 173c), 제1 내지 제3 드레인 전극(175h, 175l, 175c), 및 각 소스 전극(173h, 173l, 173c)과 각 드레인 전극(175h, 175l, 175c) 사이로 노출되어 있는 반도체(154h, 154l, 154c) 위에 보호막(180)을 형성한다. 보호막(180)은 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 단일막 또는 다중막으로 형성될 수 있다.
이어, 보호막(180) 위의 각 화소 영역(PX) 내에 색필터(230)를 형성한다. 색필터(230)는 각 제1 부화소 영역(PXa)과 제2 부화소 영역(PXb)에 형성하고, 제1 골짜기(V1)에는 형성하지 않을 수 있다. 또한, 복수의 화소 영역(PX)의 열 방향을 따라 동일한 색의 색필터(230)를 형성할 수 있다. 세 가지 색의 색필터(230)를 형성하는 경우 제1 색의 색필터(230)를 먼저 형성한 후 마스크를 쉬프트시켜 제2 색의 색필터(230)를 형성할 수 있다. 이어, 제2 색의 색필터(230)를 형성한 후 마스크를 쉬프트시켜 제3 색의 색필터를 형성할 수 있다.
이어, 보호막(180) 위의 각 화소 영역(PX)의 경계부 및 박막 트랜지스터 위에 차광 부재(220)를 형성한다. 제1 부화소 영역(PXa)과 제2 부화소 영역(PXb)의 사이에 위치하는 제1 골짜기(V1)에도 차광 부재(220)를 형성할 수 있다.
이어, 색필터(230) 및 차광 부재(220) 위에 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 등과 같은 무기 절연 물질로 제1 절연층(240)을 형성한다.
앞서 설명한 실시예에서는 색필터(230)를 형성하고 차광 부재(220)를 형성한 후, 제1 절연층(240)을 형성하는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 필요에 따라 차광 부재(220)를 먼저 형성한 후 색필터(230)를 형성할 수 있고, 이와 다르게 색필터(230)를 형성하고 제1 절연층(240)을 형성한 후, 차광 부재(220)를 형성할 수도 있다.
이어, 보호막(180), 차광 부재(220), 및 제1 절연층(240)을 식각하여 제1 드레인 전극(175h)의 일부가 노출되도록 제1 접촉 구멍(185h)을 형성하고, 제2 드레인 전극(175l)의 일부가 노출되도록 제2 접촉 구멍(185l)을 형성한다.
이어, 제1 절연층(240) 위에 인듐-주석 산화물(ITO, indium tin oxide), 인듐-아연 산화물(IZO, indium zinc oxide) 등과 같은 투명한 금속 물질을 증착한 후 패터닝하여 제1 부화소 영역(PXa) 내에 제1 부화소 전극(191h)을 형성하고, 제2 부화소 영역(PXb) 내에 제2 부화소 전극(191l)을 형성한다. 제1 부화소 전극(191h)과 제2 부화소 전극(191l)은 제1 골짜기(V1)를 사이에 두고 분리되어 있다. 제1 부화소 전극(191h)은 제1 접촉 구멍(185h)을 통해 제1 드레인 전극(175h)과 연결되도록 형성하고, 제2 부화소 전극(191l)은 제2 접촉 구멍(185l)을 통해 제2 드레인 전극(175l)과 연결되도록 형성한다.
제1 부화소 전극(191h) 및 제2 부화소 전극(191l) 각각에 가로 줄기부(193h, 193l), 가루 줄기부(193h, 193l)와 교차하는 세로 줄기부(192h, 192l)를 형성한다. 또한, 가로 줄기부(193h, 193l) 및 세로 줄기부(192h, 192l)로부터 비스듬하게 뻗어있는 복수의 미세 가지부(194h, 194l)를 형성한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 화소 전극(191) 위에 감광성 유기 물질을 도포하고, 포토 공정을 통해 희생층(300)을 형성한다.
희생층(300)은 복수의 화소 열을 따라 연결되도록 형성된다. 즉, 희생층(300)은 각 화소 영역(PX)을 덮도록 형성되고, 제1 부화소 영역(PXa)과 제2 부화소 영역(PXb) 사이에 위치한 제1 골짜기(V1)를 덮도록 형성된다.
이어, 희생층(300) 위에 인듐-주석 산화물(ITO, indium tin oxide), 인듐-아연 산화물(IZO, indium zinc oxide) 등과 같은 투명한 금속 물질을 증착하여 공통 전극(270)을 형성한다.
이어, 공통 전극(270) 위에 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 등과 같은 무기 절연 물질로 제2 절연층(350)을 형성할 수 있다.
이어, 제2 절연층(350) 위에 유기 물질을 도포하고, 패터닝하여 지붕층(360)을 형성한다. 이 때, 제1 골짜기(V1)에 위치한 유기 물질이 제거되도록 패터닝할 수 있다. 이에 따라 지붕층(360)은 복수의 화소 행을 따라 연결되는 형태로 이루어지게 된다.
다음으로 도 7에 도시된 바와 같이, 지붕층(360)을 마스크로 이용하여 제2 절연층(350) 및 공통 전극(270)을 패터닝한다. 먼저, 지붕층(360)을 마스크로 이용하여 제2 절연층(350)을 건식 식각한 후 공통 전극(270)을 습식 식각한다.
다음으로 도 8에 도시된 바와 같이, 지붕층(360) 위에 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 등과 같은 무기 절연 물질로 제3 절연층(370)을 형성할 수 있다.
이어, 제3 절연층(370) 위에 포토 레지스트(500)를 도포하고, 포토 공정을 통해 포토 레지스트(500)를 패터닝한다. 이 때, 제1 골짜기(V1)에 위치한 포토 레지스트(500)를 제거할 수 있다. 패터닝된 포토 레지스트(500)를 마스크로 이용하여 제3 절연층(370)을 식각한다. 즉, 제1 골짜기(V1)에 위치한 제3 절연층(370)을 제거한다.
제3 절연층(370)은 지붕층(360)의 상부면 및 측면을 덮도록 형성하여 지붕층(360)을 보호하는 역할을 수행하도록 한다. 제3 절연층(370)의 패턴은 지붕층(360)의 패턴보다 더 바깥쪽에 위치할 수 있다.
제2 절연층(350)의 패턴은 제3 절연층(370)의 패턴과 동일하게 이루어질 수 있다. 이와 달리 제2 절연층(350)의 패턴이 지붕층(360)의 패턴보다 안쪽에 위치하도록 형성할 수도 있다. 이 때, 제3 절연층(370)이 제2 절연층(350)과 접촉하도록 형성하는 것이 바람직하다.
지붕층(360)을 패터닝하는 설비와 제3 절연층(370)을 패터닝하는 설비는 상이할 수 있으며, 이들 설비 간의 정렬 오류로 인해 제3 절연층(370)과 지붕층(360)의 패턴의 차이가 커질 수 있다. 이 때, 제3 절연층(370)의 패턴이 지붕층(360)의 패턴보다 바깥쪽에 위치하는 부분이 처지거나 부러질 수 있으나, 제3 절연층(370)은 도전성 부재가 아니므로 화소 전극(191)과의 단락 등의 문제가 발생하지 않는다.
도 9에 도시된 바와 같이, 희생층(300)이 노출된 기판(110) 위에 현상액 또는 스트리퍼 용액 등을 공급하여 희생층(300)을 전면 제거하거나, 애싱(ashing) 공정을 이용하여 희생층(300)을 전면 제거한다.
희생층(300)이 제거되면, 희생층(300)이 위치하였던 자리에 미세 공간(305)이 생긴다.
화소 전극(191)과 공통 전극(270)은 미세 공간(305)을 사이에 두고 서로 이격되고, 화소 전극(191)과 지붕층(360)은 미세 공간(305)을 사이에 두고 서로 이격된다. 공통 전극(270)과 지붕층(360)은 미세 공간(305)의 상부면과 양 측면을 덮도록 형성된다.
지붕층(360), 제2 절연층(350), 및 공통 전극(270)이 제거된 부분을 통해 미세 공간(305)은 외부로 노출되어 있으며, 이를 주입구(307)라 한다. 주입구(307)는 제1 골짜기(V1)를 따라 형성되어 있다. 예를 들면, 주입구(307)는 제1 부화소 영역(PXa)과 제2 부화소 영역(PXb)의 가장자리에 서로 마주보도록 형성될 수 있다. 즉, 주입구(307)는 제1 부화소 영역(PXa)의 하측 변, 제2 부화소 영역(PXb)의 상측변에 대응하여 미세 공간(305)의 측면을 노출시키도록 형성될 수 있다. 이와 상이하게, 주입구(307)가 제2 골짜기(V2)를 따라 형성되도록 할 수도 있다.
이어, 제3 절연층(370)의 상부 표면에 패턴(371)을 형성한다. 패턴(371)은 포토 공정을 통해 형성할 수 있으나, 패턴(371)을 형성할 수 있는 공정이라면 이에 한정되지 않는다.
본 발명의 일 실시예에서 패턴(371)은 단면이 반원형으로 형성할 수 있으며, 제3 절연층(370)의 상부면 전체로 보아 엠보싱 형태로 형성할 수 있다.
이어, 기판(110)에 열을 가하여 지붕층(360)을 경화시킨다. 지붕층(360)에 의해 미세 공간(305)의 형상이 유지되도록 하기 위함이다.
이어, 스핀 코팅 방식 또는 잉크젯 방식으로 배향 물질이 포함되어 있는 배향액을 기판(110) 위에 떨어뜨리면, 배향액이 주입구(307)를 통해 미세 공간(305) 내부로 주입된다. 배향액을 미세 공간(305)의 내부로 주입한 후 경화 공정을 진행하면 용액 성분은 증발하고, 배향 물질이 미세 공간(305) 내부의 벽면에 남게 된다.
따라서, 화소 전극(191) 위에 제1 배향막(11)을 형성하고, 공통 전극(270) 아래에 제2 배향막(21)을 형성할 수 있다. 제1 배향막(11)과 제2 배향막(21)은 미세 공간(305)을 사이에 두고 마주보도록 형성되고, 화소 영역(PX)의 가장자리에서는 서로 연결되도록 형성된다.
이 때, 제1 및 제2 배향막(11, 21)은 미세 공간(305)의 측면을 제외하고는 기판(110)에 대해 수직한 방향으로 배향이 이루어질 수 있다. 추가로 제1 및 제2 배향막(11, 21)에 UV를 조사하는 공정을 진행함으로써, 기판(110)에 대해 수평한 방향으로 배향이 이루어지도록 할 수 있다.
이어, 잉크젯 방식 또는 디스펜싱 방식으로 액정 분자(310)들로 이루어진 액정 물질을 기판(110) 위에 떨어뜨리면, 액정 물질이 주입구(307)를 통해 미세 공간(305) 내부로 주입된다. 이 때, 액정 물질을 홀수 번째 제1 골짜기(V1)를 따라 형성된 주입구(307)에는 떨어뜨리고, 짝수 번째 제1 골짜기(V1)를 따라 형성된 주입구(307)에는 떨어뜨리지 않을 수 있다. 이와 반대로, 액정 물질을 짝수 번째 제1 골짜기(V1)를 따라 형성된 주입구(307)에는 떨어뜨리고, 홀수 번째 제1 골짜기(V1)를 따라 형성된 주입구(307)에는 떨어뜨리지 않을 수 있다.
홀수 번째 제1 골짜기(V1)를 따라 형성된 주입구(307)에 액정 물질을 떨어뜨리면 모세관력(capillary force)에 의해 액정 물질이 주입구(307)를 통과하여 미세 공간(305) 내부로 들어가게 된다. 이 때, 짝수 번째 제1 골짜기(V1)를 따라 형성된 주입구(307)를 통해 미세 공간(305) 내부의 공기가 빠져나감으로써, 액정 물질이 미세 공간(305) 내부로 들어가게 된다.
또한, 액정 물질은 모든 주입구(307)에 떨어뜨릴 수도 있다. 즉, 액정 물질을 홀수 번째 제1 골짜기(V1)를 따라 형성된 주입구(307)와 짝수 번째 제1 골짜기(V1)를 따라 형성된 주입구(307)에 모두 떨어뜨릴 수도 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 제3 절연층(370) 위에 액정 분자(310)와 반응하지 않는 물질을 증착하여 덮개막(390)을 형성한다. 덮개막(390)은 미세 공간(305)이 외부로 노출되어 있는 주입구(307)를 덮도록 형성하여 미세 공간(305)을 밀봉한다.
제3 절연층(370)과 제3 절연층(370) 위에 적층되는 덮개막(390)은 굴절율이 서로 상이하며, 굴절율이 상이한 복수의 층이 적층되어 있는 층상을 광이 투과할 경우, 광이 투과해 나갈 수 있는 각도의 범위가 발생할 수 있는데 이를 임계각(critical angle)이라 한다. 일반적으로 굴절율이 큰 층에서 굴절율이 작은 층으로 광이 투과해 들어갈 때 임계각이 작아지고, 복수의 층의 굴절율의 차이가 커질수록 이 임계각은 더 작아지게 되어 임계각을 초과하는 각도로 입사되는 빛은 복수의 층을 투과하지 못하게 되어 광 효율이 감소될 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 제3 절연층(370)에 형성될 수 있는 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 등과 같은 무기 절연 물질은 덮개막(390)으로 형성될 수 있는 페릴렌(parylene) 등과 같은 물질보다 굴절율이 더 크기 때문에 제3 절연층(370)을 투과하는 광이 투과할 수 있는 임계각이 발생한다. 또한, 제3 절연층(370)과 덮개막(390)의 굴절율 차이가 커질수록 임계각은 더욱 감소하게 되어 광 효율이 더욱 감소될 수 있다.
이에 전술한 바와 같이, 제3 절연층(370)에 상부면으로 볼록한 형태의 패턴(371)을 형성함으로써, 제3 절연층(370)의 상부면 및 덮개막(390)의 하부면을 투과해나가는 광의 임계각을 증가시켜주어, 패턴(371)이 없는 평평한 형태의 제3 절연층(370)에 비해 광의 투과율을 높일 수 있고, 표시 장치 전체의 광효율을 향상시킬 수 있다.
이어, 도시는 생략하였으나, 표시 장치의 상하부 면에 편광판을 더 부착할 수 있다. 편광판은 제1 편광판과 제2 편광판으로 이루어질 수 있다. 기판(110)의 하부 면에 제1 편광판을 부착하고, 덮개막(390) 위에 제2 편광판을 부착할 수 있다.
다음으로, 도 11 내지 도 12를 참고하여, 본 발명의 다른 실시예 및 또 다른 실시예에 따른 표시 장치를 설명한다. 이하에서는 전술한 구성 요소는 생략하며, 전술한 구성 요소와 상이한 구성 요소에 대해서만 설명한다.
먼저, 도 11을 참고하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치는 제3 절연층(370)의 패턴(371)의 단면이 반원형이 아닌 삼각형으로 엠보싱 형태의 패턴(371)이 형성되어 있다.
또한, 도 12를 참고하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치는 제3 절연층(370)의 패턴(371)의 단면은 사각형으로 엠보싱 형태의 패턴(371)이 형성되어 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에서는 편의상 패턴(371)의 단면이 반원형, 삼각형, 또는 사각형인 경우를 예시로 들고 있으나, 이에 한정되지 않으며 사다리꼴, 평행사변형 형태 등 측벽을 가질 수 있는 패턴 구조라면 이에 한정되지 않는다.
그러면, 도 13 및 도 14를 참고하여, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치를 설명한다. 전술한 구성 요소는 생략하며, 전술한 구성 요소와 상이한 구성 요소에 대해서만 설명한다.
먼저, 도 13을 참고하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치는 엠보싱 형태의 패턴(371)이 형성되어 있는 제3 절연층(370)의 상부면과 덮개막(390)의 하부면 사이에 형성된 굴절율 완화층(372)을 더 포함할 수 있다.
굴절율 완화층(372)에도 제3 절연층(370)과 같은 형태의 반원형, 삼각형, 사각형으로 형성된 엠보싱 형태의 패턴(373)이 형성될 수 있다.
굴절율 완화층(372)은 굴절율이 굴절율 완화층(372)의 하부에 형성된 제3 절연층(370)의 굴절율보다는 작고, 굴절율 완화층(372)의 상부에 형성된 덮개막(390)의 굴절율보다는 큰 물질로 형성할 수 있다. 이러한 물질로는 투명 도전성 산화물(transparent conducting oxide)를 사용할 수 있고, IZO(indium zinc oxide), ITO(indium tin oxide), AZO(aluminium doped zinc oxide) 또는 FTO(fluorine doped thin oxide)가 사용될 수 있다.
이와 같이 제3 절연층(370)의 패턴(371)에 굴절율 완화층(372)에 형성된 패턴(373)으로서 2중으로 패턴(371, 373)이 형성될 경우 투과하는 광의 임계각을 증가시키는 효과가 더욱 증가될 수 있어 광 효율이 더욱 상승할 수 있다.
다음으로, 도 14를 참고하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치는 도 13에 도시한 실시예와 비교하여, 굴절율 완화층(372)의 패턴(373)이 나노 와이어(374)로 형성될 수 있다.
제3 절연층(370)에 사용되는 무기 절연 물질의 경우 일반적으로 나노 와이어를 성장시킬 수 없으나, 제3 절연층(370) 위에 투명 도전성 산화물로 굴절율 완화층(372)을 형성할 경우 투명 도전성 산화물로 이루어진 굴절율 완화층(372)의 상부 표면에서 나노 와이어(374)를 성장, 형성시킴으로써 굴절율 완화층(372) 상부면에 형성된 패턴(373)과 유사하게 광 효율을 향상시킬 수 있다.
이상과 같은 본 발명의 실시예에 따르면, 다양한 형태의 패턴이 형성되어 있는 절연층을 형성하여, 굴절율이 상이한 복수층을 통과할 수 있는 광의 임계각(critical angle)을 증가시키고 광 효율이 증가될 수 있는 장점이 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
11: 제1 배향막 21: 제2 배향막
110: 기판 390: 덮개막
121: 게이트선 123: 감압 게이트선
124h: 제1 게이트 전극 124l: 제2 게이트 전극
124c: 제3 게이트 전극 131: 유지 전극선
140: 게이트 절연막 154h: 제1 반도체
154l: 제2 반도체 154c: 제3 반도체
171: 데이터선 173h: 제1 소스 전극
173l: 제2 소스 전극 173c: 제3 소스 전극
175h: 제1 드레인 전극 175l: 제2 드레인 전극
175c: 제3 드레인 전극 180: 보호막
191: 화소 전극 191h: 제1 부화소 전극
191l: 제2 부화소 전극 220: 차광 부재
230: 색필터 240: 제1 절연층
270: 공통 전극 300: 희생층
305: 미세 공간 307: 주입구
310: 액정 분자 360: 지붕층
350: 제2 절연층 370: 제3 절연층
371, 373: 패턴 372: 굴절율 완화층
374: 나노 와이어

Claims (20)

  1. 복수의 화소 영역을 포함하는 기판,
    상기 기판 위에 형성된 박막 트랜지스터,
    상기 박막 트랜지스터 위에 형성된 제1 절연층,
    상기 박막 트랜지스터와 연결되며 상기 제1 절연층 위에 형성된 화소 전극,
    상기 화소 전극 위에 형성된 미세 공간을 채우고 있는 액정층,
    상기 화소 전극과 상기 미세 공간에 의해 이격되어 형성된 공통 전극,
    상기 공통 전극 위에 형성된 지붕층,
    상기 미세 공간의 일부를 노출시키도록 상기 공통 전극 및 상기 지붕층에 형성된 주입구,
    상기 지붕층의 상부에 형성되는 제3 절연층, 및
    상기 주입구를 덮어 상기 미세 공간을 밀봉하며 상기 제3 절연층 위에 형성된 덮개막을 포함하고,
    상기 제3 절연층의 상부면에 볼록한 형태의 엠보싱 패턴이 형성되어 있는 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 제3 절연층은 무기막으로 형성된 표시 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 제3 절연층은 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx) 및 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 중 어느 하나 이상을 포함하는 표시 장치.
  4. 제2항에서,
    상기 덮개막은 상기 제3 절연층보다 광의 굴절율이 더 작은 물질로 형성된 표시 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 제3 절연층에 형성된 상기 패턴의 단면은 반원형, 삼각형 및 사각형 중 어느 하나 이상으로 형성된 표시 장치.
  6. 제4항에서,
    상기 제3 절연층 및 상기 덮개막 사이에 형성된 굴절율 완화층을 더 포함하고,
    상기 굴절율 완화층의 상부면에 볼록한 형태의 엠보싱 패턴이 형성된 표시 장치.
  7. 제6항에서,
    상기 굴절율 완화층의 굴절율은 상기 제3 절연막의 굴절율보다는 작고, 상기 덮개막의 굴절율보다는 큰 표시 장치.
  8. 제7항에서,
    상기 굴절율 완화층은 투명 도전성 산화물을 포함하는 표시 장치.
  9. 제8항에서,
    IZO(indium zinc oxide), ITO(indium tin oxide), AZO(aluminium doped zinc oxide) 또는 FTO(fluorine doped thin oxide)를 포함하는 표시 장치.
  10. 제9항에서,
    상기 굴절율 완화층에 형성된 상기 패턴의 단면은 반원형, 삼각형 및 사각형 중 어느 하나 이상으로 형성된 표시 장치.
  11. 제9항에서,
    상기 패턴은 나노 와이어로 형성된 표시 장치.
  12. 제1항에서,
    상기 공통 전극 및 상기 지붕층 사이에 형성된 제2 절연층, 및
    상기 미세 공간 내부 및 상기 주입구 전면에 형성된 배향막을 더 포함하는 표시 장치.
  13. 기판 위에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계,
    상기 박막 트랜지스터 위에 제1 절연층을 형성하는 단계,
    상기 제1 절연층 위에 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계,
    상기 화소 전극 위에 희생층을 형성하는 단계,
    상기 희생층 위에 공통 전극을 형성하는 단계,
    상기 공통 전극 위에 유기 물질을 도포하고, 패터닝하여 지붕층을 형성하는 단계,
    상기 공통 전극을 상기 지붕층을 마스크로 패터닝하여 상기 희생층을 노출시키는 단계,
    상기 지붕층 위에 제3 절연층을 형성하는 단계,
    상기 노출된 희생층을 제거하여 상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 미세 공간 및 주입구를 형성하는 단계,
    상기 제3 절연층 상부면에 볼록한 형태의 엠보싱 패턴을 형성하는 단계,
    상기 미세 공간으로 액정 물질을 주입하여 액정층을 형성하는 단계, 및
    상기 제3 절연층 및 상기 주입구 위에 덮개막을 형성하여 상기 미세 공간을 밀봉하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제13항에서,
    상기 제3 절연층은 무기막으로 형성하고,
    상기 무기막은 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx) 및 실리콘 질화산화물(SiOxNy) 중 어느 하나 이상을 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제14항에서,
    상기 덮개막은 상기 제3 절연층보다 광의 굴절율이 더 작은 물질로 형성하며,
    상기 덮개막은 페릴렌(parylene)을 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제15항에서,
    상기 패턴의 단면은 반원형, 삼각형 및 사각형 중 어느 하나 이상으로 형성하는 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제15항에서,
    상기 제3 절연층에 상기 패턴을 형성하는 단계 이 후에,
    상기 제3 절연층 위체 굴절율 완화층을 형성하는 단계, 및
    상기 굴절율 완화층의 상부면에 볼록한 형태의 엠보싱 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제17항에서
    상기 굴절율 완화층은 굴절율이 상기 제3 절연막의 굴절율보다는 작고, 상기 덮개막의 굴절율보다는 큰 물질로 형성하며,
    상기 굴절율 완화층은 IZO(indium zinc oxide), ITO(indium tin oxide), AZO(aluminium doped zinc oxide) 또는 FTO(fluorine doped thin oxide)를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제18항에서,
    상기 굴절율 완화층에 패턴을 형성하는 단계는 상기 굴절율 완화층 표면에 나노 와이어를 성장시키는 공정으로 수행하는 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제13항에서,
    상기 지붕층의 형성 전에 상기 공통 전극 위에 제2 절연층을 형성하는 단계, 및
    상기 액정층을 형성하기 전에 상기 주입구를 통해 상기 미세 공간으로 배향 물질을 주입하여 상기 미세 공간 내부 및 상기 주입구 표면에 배향막을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
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