KR20160046989A - 스크러버 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 내부가 중공인 박스 형상이며, 내부의 상부에 가열 영역을 구비하며, 내부의 하부에 폐가스 유입홀과 폐가스 배출홀을 구비하는 가열 하우징과, 상하로 관통되는 다수의 유입 통로를 구비하며, 상기 가열 하우징의 내부에서 상기 가열 영역과 상기 폐가스 유입홀 사이에 위치하는 유입 유닛과 상하로 관통되는 다수의 배출 통로를 구비하며, 상기 가열 하우징의 내부에서 상기 가열 영역과 상기 폐가스 배출홀 사이에 위치하는 배출 유닛 및 상기 가열 영역의 내부로 유입되는 상기 폐가스를 가열하는 가열 유닛을 구비하는 가열부를 포함하는 스크러버 시스템을 개시한다.

Description

스크러버 시스템{Scrubber System}
본 발명은 전자 산업 공정에서 발생되는 폐가스 처리에 사용되는 가열 방식의 스크러버 시스템에 관한 것이다.
반도체, 평판 표시 장치, 태양 전지 또는 엘이디와 같은 전자 산업 제품의 제조공정 중에 발생하는 폐가스는 유해 가스인 휘발성 유기 화합물(VOC) 및 과불화 화합물(PFC's)을 포함하고 있다. 특히, 화학 증착 공정등에 사용되는 가스인 NF3는 PFCs등과 더불어 지구 온난화를 촉진하는 가스이며 매우 유독성이 강한 독성가스이다.
NF3 및 PFC 가스는 히팅 방식, 플라즈마 방식 또는 연소 방식과 같은 가열 방식 또는 화학적 흡착 방식의 스크러버 시스템에 의해 처리되고 있다. 상기 가열 방식은 NF3가스의 처리를 위해 가장 일반적으로 사용되는 방식이다.
종래의 가열 방식에 사용되는 스크러버 시스템은 가열 챔버가 고온으로 유지되는 상태에서 폐가스가 단순히 통과되도록 형성되어 에너지 효율 및 처리 효율이 낮아 문제가 된다. 또한, 최근에는 반도체 또는 평판 표시 장치의 대형화로 인한 공정 가스의 사용량 증가에 따라 폐가스의 배출량도 증가하고 있어 고효율의 폐가스 처리용 스크러버 시스템이 요구된다.
본 발명은 전자 산업 공정에서 발생되는 폐가스를 효율적으로 처리할 수 있는 가열 방식의 스크러버 시스템을 제공한다.
본 발명의 스크러버 시스템은 내부가 중공인 박스 형상이며, 내부의 상부에 가열 영역을 구비하며, 내부의 하부에 폐가스 유입홀과 폐가스 배출홀을 구비하는 가열 하우징과, 상하로 관통되는 다수의 유입 통로를 구비하며, 상기 가열 하우징의 내부에서 상기 가열 영역과 상기 폐가스 유입홀 사이에 위치하는 유입 유닛과, 상하로 관통되는 다수의 배출 통로를 구비하며, 상기 가열 하우징의 내부에서 상기 가열 영역과 상기 폐가스 배출홀 사이에 위치하는 배출 유닛 및 상기 가열 영역의 내부로 유입되는 상기 폐가스를 가열하는 가열 유닛을 구비하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가열부는 상기 폐가스 유입홀에 결합되는 폐가스 유입관과, 상기 폐가스 배출홀에 결합되는 폐가스 배출관 및 판상으로 형성되며, 상기 유입 유닛과 상기 배출 유닛의 사이에서 상기 가열 영역으로 연장되는 분리 격벽을 더 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 스크러버 시스템은 상기 가열부의 폐가스 배출관과 연결되어 가열된 상기 폐가스가 유입되는 수조 탱크 및 하부가 개방되며, 상기 수조 탱크의 타측 상부에 결합되어 상기 수조 탱크로부터 상승하는 상기 폐가스에 물을 분사하는 수처리부를 더 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 유입 유닛과 배출 유닛은 스테인레스 스틸, 인바 합금, 알루미나(Al2O3), Al2TiO5, SiC 또는 Si3N4로 형성될 수 있다.
또한, 상기 유입 유닛과 배출 유닛은 상기 유입 유닛의 타측면과 배출 유닛의 일측면이 접촉되어 일체로 형성될 수 있다.
또한, 상기 유입 유닛은 소정 높이를 갖는 복수 개의 단위 유입 블록이 적층되어 형성되며, 상기 배출 유닛은 소정 높이를 갖는 복수 개의 단위 배출 블록이 적층되어 형성될 수 있다. 이때, 상기 단위 유입 블록은 제 1 유입 격벽과 제 2 유입 격벽이 교차하여 형성되는 격자 형상으로 결합되며, 상기 유입 통로가 격자 형상으로 배치되며, 상기 단위 배출 블록은 제 1 배출 격벽과 제 2 배출 격벽이 교차하여 형성되는 격자 형상으로 결합되며, 상기 배출 통로가 격자 형상으로 배치되도록 형성될 수 있다. 또한, 상기 제 1 유입 격벽은 하면에서 상측 방향으로 형성되는 제 1 유입 체결 홈을 포함하고, 제 2 유입 격벽은 상면에서 하측 방향으로 형성되는 제 2 유입 체결 홈을 포함하며, 상기 제 1 유입 격벽과 제 2 유입 격벽은 수직으로 교차되는 상태에서 상기 제 1 유입 체결 홈에 상기 제 2 유입 체결 홈이 삽입되면서 결합되며, 상기 제 1 배출 격벽은 하면에서 상측 방향으로 형성되는 제 1 배출 체결 홈을 포함하고, 제 2 배출 격벽은 상면에서 하측 방향으로 형성되는 제 2 배출 체결 홈을 포함하며, 상기 제 1 배출 격벽과 제 2 배출 격벽은 수직으로 교차되는 상태에서 상기 제 1 배출 체결 홈에 상기 제 2 배출 체결 홈이 삽입되면서 결합되도록 형성될 수 있다. 또한, 상기 제 2 유입 격벽은 상기 제 1 유입 격벽의 상부로 돌출되도록 결합되며, 상기 제 2 유입 격벽은 상기 제 1 유입 격벽에 대하여 상부로 돌출되어 유입 안착 영역이 형성되고 하부에 유입 안착 홈이 형성되며, 상기 제 2 배출 격벽은 상기 제 1 배출 격벽의 상부로 돌출되도록 결합되며, 상기 제 2 배출 격벽은 상기 제 1 배출 격벽에 대하여 상부로 돌출되어 배출 안착 영역이 형성되고 하부에 배출 안착 홈이 형성될 수 있다. 또한, 상기 가열 유닛은 발열 히터, 플라즈마 토치 또는 버너를 포함하여 형성될 수 있다. 이때, 상기 발열 히터는 복수 개가 상기 가열 영역의 내부로 연장되도록 형성될 수 있다. 또한, 상기 가열 유닛은 상기 가열 영역을 500 ~ 1,400℃의 온도로 가열하도록 형성될 수 있다.
본 발명의 스크러버 시스템은 가열되어 배출되는 폐가스의 열을 회수하여 처리를 위하여 유입되는 폐가스를 미리 예열함으로써 폐가스의 처리 효율과 에너지 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 사시도이다.
도 2는 도 1의 가열부의 수직 단면도이다.
도 3은 도 2의 A-A에 대한 수직 단면도이다.
도 4는 본 발명의 가열부를 구성하는 단위 유입 블록 및 단위 배출 블록의 결합 관계를 도 2의 방향에서 나타내는 확대도이다.
도 5는 도 4의 단위 유입 블록 및 단위 배출 블록의 결합 관계를 도 3의 방향에서 나타내는 확대도이다.
도 6은 도 4의 단위 유입 블록을 구성하는 제 1 유입 격벽과 제 2 유입 격벽의 결합 관계를 나타내는 확대도이다.
도 7은 도 1의 수조 탱크의 부분 수직 단면도이다.
도 8은 도 1의 수처리부의 수직 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템에 대하여 설명한다.
먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 구조에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 사시도이다. 도 2는 도 1의 가열부의 수직 단면도이다. 도 3은 도 2의 A-A에 대한 수직 단면도이다. 도 4는 본 발명의 가열부를 구성하는 단위 유입 블록 및 단위 배출 블록의 결합 관계를 도 2의 방향에서 나타내는 확대도이다. 도 5는 도 4의 단위 유입 블록 및 단위 배출 블록의 결합 관계를 도 3의 방향에서 나타내는 확대도이다. 도 6은 도 4의 단위 유입 블록을 구성하는 제 1 유입 격벽과 제 2 유입 격벽의 결합 관계를 나타내는 확대도이다. 도 7은 도 1의 수조 탱크의 부분 수직 단면도이다. 도 8은 도 1의 수처리부의 확대 수직 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템은, 도 1 내지 도 8을 참조하면, 가열부(100)와 수조 탱크(200) 및 수처리부(300)를 포함하여 형성된다. 상기 스크러버 시스템은 이하에서 설명하는 수조 탱크(200) 및 수처리부(300)의 구성 외에도 반도체 공정에 사용되는 일반적인 스크러버 시스템의 수조 탱크 및 수처리부가 가열부(100)와 결합되어 형성될 수 있다.
상기 스크러버 시스템은 가열부(100)에서 폐가스를 가열시키기 전에 배출되는 폐가스의 열을 이용하여 예열함으로써 폐가스의 처리 효율을 증가시킨다. 상기 스크러버 시스템은 폐가스에 포함되어 있는 NF3와 같은 성분을 가열 및 분해시키며, 가열, 산화 또는 열분해되는 과정에서 발생되는 SiO2와 같은 반응 부산물 입자와 HF와 같은 수용성 유해 가스를 물과 접촉시켜 포집한다.
상기 가열부(100)는 가열 하우징(110)과 유입 유닛(120)과 배출 유닛(130) 및 가열 유닛(140)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 가열부(100)는 분리 격벽(150)과 폐가스 유입관(160) 및 폐가스 배출관(170)을 더 포함하여 형성될 수 있다. 또한, 상기 가열부(100)는 외부 하우징(180)을 더 포함하여 형성될 수 있다.
상기 가열부(100)는 가열 유닛(140)에서 발생되는 열을 이용하여 폐가스를 가열하여 분해한다.
상기 가열 하우징(110)은 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 육면체 형상 또는 원통 형상으로 형성될 수 있다. 상기 가열 하우징(110)은 가열부(100)의 몸체를 이루게 된다. 상기 가열 하우징(110)은 하부에 폐가스 유입홀(112)과 폐가스 배출홀(114)을 구비하여 형성된다. 또한, 가열 하우징(110)은 히터홀(115) 및 히터홈(116)을 더 포함하여 형성될 수 있다.상기 가열 하우징(110)은 내부에 유입 유닛(120)과 배출 유닛(130) 및 가열 유닛(140)이 수용되는 공간을 제공한다. 보다 구체적으로는, 상기 가열 하우징(110)은 내부의 하측에 유입 유닛(120)과 배출 유닛(130)이 배치되도록 형성된다. 또한, 상기 가열 하우징(110)은 내부의 상측에 가열 유닛(140)이 위치하여 폐가스의 가열 및 분해가 진행되는 가열 영역(a)을 형성한다. 이때, 상기 가열 영역(a)은 폐가스가 가열 및 분해되는데 필요한 시간 동안 체류할 수 있도록 처리해야 하는 폐가스의 양과 폐가스의 흐름 속도를 고려하여 충분한 체적을 가지도록 형성된다.
상기 폐가스 유입홀(112)은 가열 하우징(110)의 하면의 일측에서 유입 유닛(120)의 하부에 형성된다. 상기 폐가스 유입홀(112)에는 폐가스 유입관(160)이 결합되며, 연소 또는 분해될 폐가스가 유입 유닛(120)으로 유입되는 통로를 형성한다. 한편, 상기 폐가스 유입홀(112)은 가열 하우징(110)의 일측면에 형성될 수 있다.
상기 폐가스 배출홀(114)은 가열 하우징(110)의 하면의 타측에서 배출 유닛(130)의 하부에 형성된다. 상기 폐가스 배출홀(114)에는 폐가스 배출관(170)이 결합되며, 연소 또는 분해된 폐가스가 수조 탱크(200)로 배출되는 통로를 형성한다. 한편, 상기 폐가스 배출홀(114)은 가열 하우징(110)의 타측면에 형성될 수 있다.
상기 유입 유닛(120)은 상하 방향으로 관통되는 다수의 유입 통로(120a)가 구비되는 블록 형상으로 형성된다. 상기 유입 유닛(120)은 가열 하우징(110)의 내부의 일측에서 가열 영역(a)과 폐가스 유입홀(112) 사이에 위치한다. 상기 유입 유닛(120)은 수평 단면 형상이 가열 하우징(110)의 수평 단면 형상의 절반에 대응되는 형상으로 형성된다. 또한, 상기 유입 유닛(120)은 가열 하우징(110)의 내부의 상측에 가열 영역(a)이 형성되도록 가열 하우징(110)의 높이보다 작은 높이로 형성된다. 상기 유입 유닛(120)은 열전도성과 내부식성이 있는 금속 재질 또는 세라믹 재질로 형성되며, 스테인레스 스틸, 인바(Invar) 합금, 알루미나(Al2O3), Al2TiO5, SiC, Si3N4와 같은 재질로 형성된다.
상기 유입 유닛(120)은 소정 높이를 갖는 단위 유입 블록(121)이 적층되어 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 유입 유닛(120)은 도 2에서 보는 바와 같이 18개의 단위 유입 블록(121)이 적층되어 형성될 수 있다. 상기 유입 유닛(120)은 고열에 노출되며 부식성이 있는 폐가스가 유입 통로(120a)를 흐르게 되어 변형과 부식이 진행되므로, 주기적인 보수 또는 교체가 요구된다. 상기 단위 유입 블록(121)은 유입 유닛(120)의 전체에 비하여 상대적으로 무게가 가벼우므로 이동이 용이하며 보수 또는 교체가 용이하다. 또한, 상기 단위 유입 블록(121)은 문제가 있는 단위 유입 블록(121)만을 교체하게 되므로 교체 또는 유지 비용이 절감될 수 있다.
상기 단위 유입 블록(121)은 제 1 유입 격벽(122)과 제 2 유입 격벽(123)이 교차하여 격자 형상으로 형성되며, 상하로 관통되는 유입 통로(120a)가 격자 형상으로 배치되도록 형성된다. 상기 제 1 유입 격벽(122)과 제 2 유입 격벽(123)은 단위 유입 블록(121)의 높이에 대응되는 높이와 단위 유입 블록(121)의 폭 또는 길이에 대응되는 길이로 형성된다. 또한, 상기 제 1 유입 격벽(122)과 제 2 유입 격벽(123)은 소정 두께로 형성된다. 상기 제 1 유입 격벽(122)과 제 2 유입 격벽(123)은 평면을 기준으로 소정 각도로 교차되도록 형성되며, 바람직하게는 서로 수직으로 교차되도록 형성된다. 이를 위하여, 도 7을 참조하면, 상기 제 1 유입 격벽(122)은 하면에서 상측 방향으로 형성되는 제 1 유입 체결 홈(122a)을 포함하고, 제 2 유입 격벽(123)은 상면에서 하측 방향으로 형성되는 제 2 유입 체결 홈(123a)을 포함하여 형성될 수 있다. 도 6은 제 1 유입 체결 홈(122a)과 제 2 유입 체결 홈(123a)의 형상을 명확하게 도시하고자, 제 2 유입 격벽(123)이 제 1 유입 격벽(122)에 대하여 90도로 회전된 상태를 도시하였다. 상기 제 1 유입 격벽(122)과 제 2 유입 격벽(123)이 수직으로 교차되는 상태에서 제 1 유입 체결 홈(122a)에 제 2 유입 체결 홈(123a)이 삽입되면서 제 1 유입 격벽(122)과 제 2 유입 격벽(123)이 결합된다. 한편, 상기 제 1 유입 격벽(122)은 전체가 하나의 판상으로 형성되고, 제 2 유입 격벽(123)이 소정 길이를 갖는 단위 판상으로 형성되어 제 1 유입 격벽(122) 사이에 위치하도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 유입 격벽(122)과 제 2 유입 격벽(123)은 서로 결합될 때 어느 하나의 유입 격벽이 다른 하나의 유입 격벽에 비하여 상부로 돌출되도록 결합된다. 예를 들면, 도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 유입 격벽(123)이 제 1 유입 격벽(122)의 상부로 돌출되도록 결합된다. 따라서, 상기 제 2 유입 격벽(123)은 제 1 유입 격벽(122)에 대하여 상부로 돌출되어 형성되는 유입 안착 영역(123b)과 하부에 형성되는 유입 안착 홈(123c)이 형성된다. 여기서, 상기 유입 안착 영역(123b)은 제 2 유입 격벽(123)이 제 1 유입 격벽(122)에 대하여 상대적으로 상부가 돌출되도록 결합되어 제 1 유입 격벽(122)에 대하여 상대적으로 형성되는 영역이다. 또한, 상기 유입 안착 홈(123c)는 제 2 유입 격벽(123)이 제 1 유입 격벽(122)에 대하여 상대적으로 상부가 돌출되도록 결합되면서 제 1 유입 격벽(122)에 대하여 상대적으로 하부에 형성되는 홈이다. 따라서, 상기 단위 유입 블록(121)은 상하로 적층되어 결합될 때, 제 1 유입 격벽(122)과 제 2 유입 격벽(123)이 일정한 위치에서 서로 결합되며, 유입 통로(120a)가 상하 방향으로 일정한 형상을 유지하도록 형성된다.
상기 유입 유닛(120)은 가열 하우징(110)의 폐가스 유입홀(112)을 통하여 유입되는 폐가스가 유입 통로(120a)를 통하여 가열 영역(a)으로 흘러가도록 한다. 또한, 상기 유입 유닛(120)은 배출 유닛(130)으로부터 전도되는 열을 이용하여 폐가스가 유입 통로(120a)를 흐르는 동안 가열하여 예열된 상태에서 가열 영역(a)으로 흘러 가도록 한다.
한편, 상기 유입 유닛(120)은 유입되는 폐가스의 예열 온도를 측정하기 위한 다수의 유입 열전대(125)가 유입 통로(120a)에 위치하도록 형성될 수 있다. 상기 유입 열전대(125)는 유입 통로(120a)의 온도와 폐가스의 예열 온도를 측정하여 스크러버 시스템의 적정한 작동에 필요한 정보를 제공한다.
상기 배출 유닛(130)은 상하 방향으로 관통되는 다수의 배출 통로(130a)가 형성되는 블록 형상으로 형성된다. 상기 배출 유닛(130)은 가열 하우징(110)의 타측에서 가열 영역(a)과 폐가스 배출홀(114) 사이에 위치하도록 형성된다. 또한, 상기 배출 유닛(130)은 수평 단면 형상이 가열 하우징(110)의 수평 단면 형상의 절반에 대응되는 형상으로 형성된다. 상기 배출 유닛(130)은 가열 하우징(110)의 내부에서 배치되는 위치를 제외하고는 유입 유닛(120)과 동일 또는 유사하게 형성된다. 또한, 상기 배출 유닛(130)은 유입 유닛(120)과 일체로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 배출 유닛(130)에 대하여 이하에서 필요한 부분을 제외하고 동일 유사한 구성에 대하여는 구체적인 설명을 생략한다.
상기 배출 유닛(130)은 소정 높이를 갖는 단위 배출 블록(131)이 적층되어 형성될 수 있다. 상기 단위 배출 블록(131)은 제 1 배출 격벽(132)과 제 2 배출 격벽(133)이 교차하여 격자 형상으로 형성되며, 상하로 관통되는 배출 통로(130a)가 형성될 수 있다. 도 6을 참조하면, 상기 제 1 배출 격벽(132)은 하면에서 상측 방향으로 형성되는 제 1 배출 체결 홈(132a)을 포함하고, 제 2 배출 격벽(133)은 상면에서 하측 방향으로 형성되는 제 2 배출 체결 홈(133a)을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 제 1 배출 격벽(132)과 제 2 배출 격벽(133)이 수직으로 교차되는 상태에서 제 1 배출 체결 홈(132a)에 제 2 배출 체결 홈(133a)이 삽입되면서 제 1 배출 격벽(132)과 제 2 배출 격벽(133)이 결합된다.
또한, 상기 제 1 배출 격벽(132)과 제 2 배출 격벽(133)은 서로 결합될 때 어느 하나의 배출 격벽이 다른 하나의 배출 격벽에 비하여 상부로 돌출되도록 결합된다. 예를 들면, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 배출 격벽(133)이 제 1 배출 격벽(132)의 상부로 돌출되도록 결합된다. 따라서, 상기 제 2 배출 격벽(133)은 제 1 배출 격벽(132)에 대하여 상부로 돌출되어 배출 안착 영역(133b)과 하부에 형성되는 배출 안착 홈(133c)이 형성된다. 따라서, 상기 단위 유입 블록(121)은 상하로 적층되어 결합될 때, 제 1 배출 격벽(132)과 제 2 배출 격벽(133)이 일정한 위치에서 서로 결합되며, 유입 통로(120a)가 상하 방향으로 일정한 형상을 유지하도록 형성된다.
상기 배출 유닛(130)은 가열 영역(a)에서 연소 처리된 폐가스를 배출 통로(130a)를 통하여 폐가스 배출홀(114)로 흘러가도록 한다. 또한, 상기 배출 유닛(130)은 배출 통로(130a)를 흐르는 폐가스의 열에 의하여 가열되면서 축적되는 열을 유입 유닛(120)으로 전달하여 유입 유닛(120)이 가열되도록 한다.
한편, 상기 배출 유닛(130)은 배출되는 폐가스의 가열 온도를 측정하기 위한 다수의 배출 열전대(135)가 배출 통로(130a)에 위치하도록 형성될 수 있다. 상기 배출 열전대(125)는 배출 통로(130a)의 온도와 폐가스의 배출 온도를 측정하여 스크러버 시스템의 적정한 작동에 필요한 정보를 제공한다.
상기 가열 유닛(140)은 가열 영역(a)의 내부로 유입되는 폐가스를 가열하여 연소 또는 분해시킨다. 상기 가열 유닛(140)은 막대 형상으로 이루어지는 복수 개의 발열 히터(141)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 가열 유닛(140)은 가열 영역(a)의 온도를 측정하기 위한 다수의 가열 열전대(142)를 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 가열 유닛(140)은 발열 히터(141) 대신에 폐가스를 처리하는 스크러버 시스템에 사용되는 플라즈마 토치(미도시) 또는 버너(미도시)를 포함하여 형성될 수 있다. 상기 플라즈마 토치 또는 버너는 플라즈마 또는 화염을 이용하여 폐가스를 가열하여 분해한다. 상기 플라즈마 토치 또는 버너는 가열 하우징(110)의 측부 또는 상부에 설치되어 가열 영역(a)에 플라즈마 또는 화염을 형성하여 폐가스를 가열한다. 상기 플라즈마 토치 또는 버너는 폐가스를 처리하는 스크러버 시스템에서 일반적으로 사용되는 구성이므로 여기서 구체적인 설명을 생략한다. 한편, 상기 가열 유닛이 플라즈마 토치 또는 버너로 형성되는 경우에, 가열 하우징(110)은 발열 히터(141)를 고정하는데 필요로 하는 히터홀(115)과 히터홈(116)과 같은 구성들을 포함하지 않을 수 있다.
상기 발열 히터(141)는 방열 히터(Radiant Heater) 또는 열선이 권취되어 형성되는 열선 히터로 형성될 수 있다. 한편, 상기 발열 히터(141)는 구체적으로 도시하지는 않았지만, 가열 하우징(110)의 외부로 노출되는 전단에 별도의 전기 단자(미도시)가 연결되어 발열에 필요한 전기 에너지를 공급받는다. 또한, 상기 발열 히터(141)는 가열 하우징(110)의 전면과 후면에서 전단과 후단에 각각 전기 단자가 연결되어 전기를 공급받도록 형성될 수 있다. 상기 발열 히터(141)는 복수 개가 가열 하우징(110)의 가열 영역(a)으로 연장되며, 매트릭스 형상을 이루도록 서로 소정 간격으로 이격 배치되어 형성된다. 상기 발열 히터(141)는 처리해야 하는 폐가스의 양과 가열 영역(a)의 부피 및 가열하는 온도에 따라 적정한 개수로 형성된다. 또한, 상기 발열 히터(141)는 바람직하게는 가열 하우징(110)의 전면(또는 후면)에서 후면(또는 전면)으로 연장되도록 형성된다. 이때, 상기 발열 히터(141)는 가열 하우징(110)의 전면에 형성되는 히터홀(115)을 통하여 가열 영역(a)으로 연장되며, 후면의 내측에 형성되는 히터홈(116)에 의하여 단부가 지지된다. 따라서, 상기 발열 히터(141)는 가열 영역(a)에서 폐가스의 흐름 방향에 대하여 수직을 이루도록 배치되며, 폐가스가 원활하게 흘러가면서 표면에 효율적으로 접촉되어 가열되도록 한다.
상기 가열 유닛(140)은 가열 영역(a)을 500 ~ 1,400℃의 온도로 가열하며 유입되는 폐가스를 가열시킨다. 상기 가열 영역(a)의 온도가 너무 낮으면 폐가스의 가열이 충분하게 진행되지 않아 폐가스의 처리가 불완전하게 된다. 예를 들면, 상기 NF3 가스는 500℃보다 낮은 온도에서는 분해 및 제거 효율(Destruction and Removal of Efficiency)이 충분하지 않다. 또한, 상기 가열 영역(a)의 온도가 너무 높으면 불필요하게 에너지 사용량이 증가되는 문제가 있다.
또한, 상기 가열 유닛(140)은 가열 하우징(110)의 내부에서 별도의 차단벽없이 유입 유닛(120)과 배출 유닛(130)과 하나의 공간에 위치하므로, 유입 유닛(120)과 배출 유닛(130)도 가열한다. 따라서, 상기 유입 유닛(120)은 유입 통로(120a)를 흐르는 폐가스를 소정 온도로 예열할 수 있다.
상기 가열 열전대(142)는 가열 영역(a)이 적정한 온도를 유지하는데 필요한 가열 영역의 온도를 측정하여 제공한다.
상기 분리 격벽(150)은 판상으로 형성되며, 유입 유닛(120)과 배출 유닛(130) 사이의 상면에서 발열 히터(141) 사이의 영역으로 연장되도록 소정 높이로 형성된다. 또한, 상기 분리 격벽(150)은 가열 하우징(110)의 후면과 전면 사이의 거리에 대응되는 폭으로 형성된다. 상기 분리 격벽(150)은 유입 유닛(120)과 배출 유닛(130) 사이의 상면에서 소정 높이까지의 영역을 두 영역으로 분리시킨다. 따라서, 상기 분리 격벽(150)은 가열된 폐가스가 유입 유닛(120) 방향으로 흘러가는 것을 차단한다. 또한, 상기 분리 격벽(150)은 유입 통로(120a)를 통하여 유입되는 폐가스가 가열 영역(a)의 일측에서 타측으로 발열 히터(141)와 접촉하면서 흐르도록 통로를 형성한다. 상기 유입 유닛(120)은 폐가스가 유입되는 압력이 있으므로 가열된 폐가스가 유입 유닛(120)의 상부로 흘러가더라도 유입 통로(120a)로 유입되지 않지만, 유입 통로(120a)를 통하여 유입되는 폐가스의 원활한 흐름이 방해되는 것을 감소시킨다. 있다.
상기 폐가스 유입관(160)은 상부가 개방되고 하부가 밀폐된 통 형상으로 형성된다. 상기 페가스 유입홀(160)은 폐가스 유입홀(112)의 평면 형상에 대응되는 평면 형상을 가지며, 폐가스 유입홀(112)에 결합된다. 상기 폐가스 유입관(160)은 측면에 폐가스 공급홀(161)이 형성되며, 폐가스 공급관(162)이 결합된다. 상기 폐가스 공급관(162)은 제조 공정 라인의 배기 라인(미도시)에 연결되어 배기 라인을 흐르는 폐가스를 폐가스 공급홀을 통하여 폐가스 유입관(160)으로 공급한다. 한편, 상기 폐가스 유입관(160)이 직접 제조 공정 라인의 배기 라인에 연결되도록 형성될 수 있다.
상기 폐가스 공급관(162)은 제조 공정 라인의 배기 라인에 연결되어 배기 라인을 흐르는 폐가스를 폐가스 공급홀(161)을 통하여 폐가스 유입관(160)으로 공급한다. 한편, 상기 폐가스 유입관(160)이 직접 제조 공정 라인의 배기 라인에 연결되도록 형성될 수 있다.
상기 폐가스 배출관(170) 상부와 하부가 개방된 통 형상으로 형성된다. 상기 폐가스 배출관(170)은 폐가스 배출홀(114)의 평면 형상에 대응되는 평면 형상을 가지며, 상부가 폐가스 배출홀(114)에 결합된다. 또한, 상기 폐가스 배출관(170)은 하부가 수조 탱크(200)에 결합된다. 상기 폐가스 배출관(170)은 배출 유닛(130)을 통과한 연소 또는 분해된 폐가스가 수조 탱크(200)로 흘러가도록 한다.
상기 외부 하우징(180)은 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 가열 하우징(110)의 외부를 감싸도록 형성된다. 특히, 상기 외부 하우징(180)은 내면이 가열 하우징(110)의 외면과 이격되도록 감싼다. 상기 가열 하우징(110)은 가열 영역(a)에 위치하는 가열 유닛(140)에 의하여 가열되면서 온도가 상승된다. 따라서, 상기 외부 하우징(180)은 가열 하우징(110)의 외면이 외부로 노출되는 것을 차단한다.
상기 외부 하우징(180)은 외부 히터홀(181)을 구비하여 형성된다. 상기 외부 히터홀(181)은 가열 하우징(110)의 히터홀(115)에 대응되는 위치에 형성된다. 상기 외부 히터홀(181)은 가열 유닛(140)이 외부 하우징(180)의 외부로 인출되는 경로를 제공한다.
한편, 미설명 부호인 190은 가열 유닛(140)에 전기를 공급하는 단자(미도시)를 보호하기 위한 커버이다.
상기 수조 탱크(200)는 수조 하우징(210)과 수조 유도관(220)을 포함하여 형성된다. 한편, 상기 수조 탱크(200)는 구체적으로 도시하지는 않았지만, 수조 탱크(200)의 물을 펌핑하여 수처리부(300)로 공급하는 공급 펌프(241) 및 공급 펌프(241)와 수처리부(300)을 연결하여 물을 공급하는 연결 배관(242)을 공급하는 물 공급 모듈(240)이 더 형성될 수 있다. 상기 물 공급 모듈(240)은 스크러버 시스템에서 일반적인 구성이므로 구체적인 설명을 이하에서 생략한다.
상기 수조 탱크(200)는 가열부(100)의 하부에 위치하며, 상부의 가열부(100)로부터 유입되는 폐가스가 물에 접촉되도록 하여 폐가스에 포함되어 있는 반응 부산물 입자를 포집하고 수용성 유해 가스를 제거한다. 또한, 상기 수조 탱크(200)는 반응 부산물 입자와 수용성 유해 가스가 제거된 폐가스가 수처리부(300)로 흘러가도록 한다. 또한, 상기 수조 탱크(200)는 가열부(100)에서 폐가스가 가열되면서 발생하는 반응 부산물 입자가 낙하되도록 하여 폐가스와 분리되도록 한다. 또한, 상기 수조 탱크(200)는 수처리부(300)의 내부로 분사되는 물을 공급하며, 수처리부(300)로부터 분사된 물을 회수한 후에 필터링하여 수처리부(300)의 내부로 다시 분사될 수 있도록 공급한다.
상기 수조 하우징(210)은 내부가 중공인 박스 형상으로 형성되며, 상부 일측에 형성되는 수조 유입홀(211)과 상부 타측에 형성되는 수조 배출홀(213)이 형성된다. 상기 수조 하우징(210)은 수처리부(300)에서 사용되는 물을 저장한다. 상기 수조 유입홀(211)에는 가열부(100)의 폐가스 배출관(170)이 연결된다. 상기 수조 유입홀(211)에는 가열부(100)의 폐가스 배출관(170)과 결합되는 수조 유입관(212)이 더 결합될 수 있다. 또한, 상기 수조 배출홀9213)에는 수처리부(300)가 연결된다. 상기 수조 배출홀(213)에는 수처리부(300)와 연결되는 수조 배출관(214)이 더 결합될 수 있다. 상기 수조 탱크(200)는 내부에 일정 수위로 물이 채워지며, 수조 유입홀(211)을 통하여 유입되는 폐가스에 포함되어 있는 반응 부산물 입자, 수용성 가스 성분을 포집한다. 또한, 상기 수조 탱크(200)는 수조 배출홀(213)을 통하여 폐가스가 배출되어 수처리부(300)로 흘러가도록 한다.
한편, 상기 수조 하우징(210)는 가열부(100)가 일측 상부에 장착되며, 연소 또는 분해된 폐가스가 유입되는 다양한 구조로 형성될 수 있다.
상기 수조 유도관(220)은 상부에서 하부로 개방된 통 형상이며 수조 유입홀(211)과 수조 배출홀(213)가 내부에 위치하도록 수조 하우징(210)의 상면에 결합되어 형성된다. 상기 수조 유도관(220)은 하단이 수조 하우징(210)의 물 수위(W)보다 낮게 되도록 형성된다. 따라서, 상기 수조 유입홀(211)로 유입된 폐가스는 수조 유도관(220)과 수조 하우징(210) 상부와 물에 의하여 형성되는 공간을 흘러 가면서 물과 직접 접촉된다. 상기 수조 유도관(220)은 수조 유입홀(211)로부터 유입되는 폐가스가 직접 물에 접촉되도록 유도하여 폐가스에 포함되어 있는 반응 부산물 입자 또는 수용성 유해 가스가 보다 효과적으로 물에 포집되도록 한다. 또한, 상기 수조 유도관(220)은 폐가스가 수조 하우징(210)의 내부에서 다른 영역으로 흐르지 않도록 한다.
상기 수처리부(300)는 제1 분사 유닛(310) 및 제 2 분사 유닛(320)을 포함하여 형성된다. 상기 수처리부(300)는 하부가 개방되어 수조 탱크(200)의 타측 상부에 형성되는 수조 배출홀(213)에 결합되며, 수조 탱크(200)로부터 유입되는 폐가스에 물을 분사하여 폐가스에 포함되어 있는 반응 부산물 입자 또는 수용성 유해 가스 성분을 추가적으로 포집하여 수조 탱크(200)로 유입되도록 한다.
한편, 상기 수처리부(300)는 하부가 개방되며, 수조 탱크(200)의 타측 상부에 결합되어 수조 탱크(200)로부터 상승하는 폐가스에 물을 분사하는 다양한 구조로 형성될 수 있다.
상기 제 1 분사 유닛(310)은 제 1 하우징(311)과 제 1 공급관(312)과 제 1 분사 노즐(313) 및 제 1 포집층(314)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 제 1 분사 유닛(310)은 제 1 지지판(315)를 더 포함하여 형성될 수 있다. 상기 제 1 분사 유닛(310)은 폐가스가 수조 탱크(200)로부터 상승하여 제 1 하우징(311)의 내부로 유입되도록 한다. 또한, 상기 제 1 분사 유닛(310)은 제 1 분사 노즐(313)이 하방으로 물을 분사하여 폐가스에 포함되어 있는 미세한 반응 부산물 입자 또는 수용성 유해 가스 성분을 추가로 제거한다.
상기 제 1 하우징(311)은 내부가 중공인 원통 형상으로 형성되며. 상부와 하부가 개방되어 형성된다. 상기 제 1 하우징(311)은 하부의 직경이 점진적으로 작아지도록 형성되며, 하부가 수조 탱크(200)의 타측 상부에 형성되는 수조 배출홀(213)에 결합된다.
상기 제 1 공급관(312)은 제 1 하우징(311)의 상부에서 제 1 하우징(311)의 내부로 연장되어 형성되며, 외부로부터 물을 공급받는다. 상기 제 1 공급관(312)은 제 1 하우징(311)의 내부 직경에 따라 Y자 형상과 같이 여러 갈래로 분기되어 형성될 수 있다.
상기 제 1 분사 노즐(313)은 제 1 공급관(312)에 결합되며, 제 1 공급관(312)으로 공급되는 물이 하부 방향으로 분사한다. 상기 제 1 분사 노즐(313)은 스크러버 시스템에 사용되는 다양한 분사 노즐로 형성될 수 있다.
상기 제 1 포집층(314)은 일반적인 반도체 폐가스 처리 스크러버 시스템에 사용되는 폴링(pall ring)이 소정 높이로 적층되어 형성된다. 상기 제 1 포집층(314)은 표면적이 증가되어 분사되는 물이 표면을 따라 하부로 흐르도록 한다. 따라서, 상기 제 1 포집층(314)은 물이 폐가스와 접촉하는 시간을 증가시키게 되며, 물이 폐가스와 접촉하여 폐가스의 미세한 반응 부산물 입자 또는 수용성 유해 가스가 제거되도록 한다. 한편, 상기 제 1 포집층(314)은 텔러렛(tellerette)와 같이 표면적이 증가된 충전물로 형성될 수 있다.
상기 제 1 지지판(315)은 제 1 하우징(311)의 내부 직경에 대응되는 직경을 갖는 원판 형상으로 형성되며, 폐가스가 흐르는 다수 개의 지지 관통홀(315a)이 형성된다. 상기 제 1 지지판(315)은 제 1 하우징(311)의 하부에 위치한다. 상기 제 1 지지판(315)은 상부에 위치하는 제 1 포집층(314)을 지지한다.
상기 제 2 분사 유닛(320)은 제 2 하우징(321)과 제 2 분사관(322)과 제 2 포집층(324) 및 제 2 트랩판(326)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 제 2 분사 유닛은 제 2 지지판(325)를 더 포함하여 형성될 수 있다. 한편, 제 2 분사 유닛(320)은 상부에 별도의 상부 캡(327)과 상부 배기관(328)이 더 형성될 수 있다. 상기 상부 캡(327)과 상부 배기관(328)는 일반적인 구성이므로 구체적인 설명을 이하에서 생략한다.
상기 제 2 분사 유닛(320)은 제 1 분사 유닛(310)의 상부에 장착된다. 또한, 상기 제 2 분사 유닛(320)은 제 2 트랩판(326)과 제 2 포집층(324)의 표면으로 물이 흐르도록 하여 제 1 분사 유닛(310)을 통과하여 상승하는 폐가스에 물을 분사하여 폐가스에 포함되어 있는 반응 부산물 입자와 수용성 유해 가스를 추가적으로 포집한다.
상기 제 2 하우징(321)은 내부가 중공인 원통형상으로 형성되며. 상부와 하부가 개방되어 형성된다. 상기 제 2 하우징(321)은 하부가 제 1 분사 유닛(310)의 제 1 하우징(311)의 상부에 결합된다. 한편, 상기 제 2 하우징(321)은 제 1 하우징(311)보다 높은 높이로 형성될 수 있으며, 설치와 분해가 용이하도록 상부와 하부로 분리되는 2개의 하우징으로 형성될 수 있다.
상기 제 2 분사관(322)은 하부에 길이 방향으로 소정 간격으로 형성되는 미세 홀(미도시)을 포함하여 형성된다. 상기 제 2 분사관(322)은 제 2 하우징(321)의 상부에서 제 2 하우징(321)의 내부로 연장되어 형성된다. 상기 제 2 분사관(322)은 제 2 하우징(321)의 내부 직경에 따라 Y자 형상과 같이 여러 갈래로 분기되어 형성될 수 있다. 상기 제 2 분사관(322)은 외부로부터 물을 공급받아 미세 홀을 통하여 하부로 분사한다.
상기 제 2 포집층(324)은 제 1 포집층(314)와 동일하게 폴링(pall ring)이 소정 높이로 적층되어 형성된다. 다만, 상기 제 2 포집층(324)은 제 1 포집층(314)에 비하여 높은 높이로 형성된다. 따라서, 상기 제 2 포집층(324)은 물과 폐가스가 접촉할 수 있는 시간을 더욱 증대시켜 폐가스 내에 포함되어 있는 반응 부산물 입자와 수용성 유해 가스의 포집 효율을 증가시킨다. 한편, 상기 제 2 포집층(324)은 텔러렛(tellerette)와 같이 표면적이 증가된 충전물로 형성될 수 있다.
상기 제 2 지지판(325)은 제 2 하우징(321)의 내부 직경에 대응되는 직경을 갖는 원판 형상으로 형성되며, 폐가스가 흐르는 다수 개의 지지 관통홀(325a)이 형성된다. 상기 제 2 지지판(325)은 제 2 하우징(321)의 하부에 위치한다. 상기 제 2 지지판(325)은 상부에 위치하는 제 2 포집층(324)을 지지한다.
상기 제 2 트랩판(326)은 제 2 하우징(321)의 내부 직경에 대응되는 직경을 가지는 원판으로 형성되며, 다수 개의 트랩 홀(326a)이 형성된다. 상기 제 2 트랩판(326)은 적어도 1 개가 제 2 분사관(322)의 하부에 소정 간격을 두고 수직 방향으로 서로 이격되어 배치된다. 이때, 상기 제 2 트랩판(326)은 수직 방향으로 배치되는 별도의 제 2 이격바(326b)에 의하여 이격되어 지지될 수 있다. 또한, 상기 제 2 트랩판(326)은 수직 방향을 기준으로 지그재그 형상이 되도록 경사지게 배치된다.
상기 제 2 트랩판(326)은 제 2 포집층(324)으로부터 상승되는 폐가스가 트랩 홀(326a)을 통과하면서 지그재그로 상승하도록 한다. 또한, 상기 제 3 트랩판(326)은 제 2 분사관(322)으로부터 분사되는 물이 표면을 따라 하부로 흐르도록 한다. 따라서, 상기 제 2 트랩판(326)은 물이 폐가스와 접촉하는 시간을 증가시킨다.
다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버 시스템의 작용에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 가열 유닛(140)의 발열 히터(141)는 공급되는 전기에 의하여 발열되면서 가열 하우징(110)의 상부에 위치하는 가열 영역(a)을 900℃ 이상의 온도로 유지시킨다. 이때, 상기 가열 영역(a)에 설치되는 가열 열전대(142)를 이용하여 가열 영역(a)의 온도를 체크할 수 있다. 다음으로, 상기 가열 하우징(110)의 하부에 형성되는 폐가스 유입홀(112)을 통하여 유입되는 폐가스는 유입 유닛(120)의 유입 통로(120a)를 통하여 가열 영역(a)으로 흐르게 된다. 이때, 상기 유입 유닛(120)은 발열 히터(141)에 의하여 발생되는 열에 의하여 소정 온도로 가열된 상태이므로. 유입 통로(120a)를 흐르는 폐가스도 소정 온도로 예열된다. 상기 폐가스는 가열 영역(a)으로 유입된 후에 가열 및 가열되면서 분해된다. 상기 폐가스는 연소 또는 분해된 후에 배출 유닛(130)의 배출 통로(130a)를 통하여 흐르게 된다. 이때, 상기 배출 유닛(130)은 폐가스의 열에 의하여 가열되며, 일측에서 접촉하며 상대적으로 온도가 낮은 유입 유닛(120)으로 열을 전도한다. 따라서, 상기 배출 유닛(130)과 함께 유입 유닛(120)도 함께 가열된다. 상기 유입 유닛(120)은 유입 통로(120a)를 통하여 흐르는 폐가스를 소정 온도로 예열한다. 상기 유입 통로(120a)를 흐르면서 예열된 폐가스는 가열 영역(a)에서 보다 효율적으로 연소 또는 분해될 수 있다. 상기 폐가스는 배출 통로(130a)의 하부로 흘러서 가열 하우징(110)의 폐가스 배출홀(114)을 통하여 수조 탱크(200)로 유입된다. 이때, 상기 수조 탱크(200)는 폐가스가 물과 접촉되도록 하여 폐가스의 연소 또는 분해에 따라 발생되는 반응 부산물 입자 또는 수용성 유해 가스를 포집한다. 상기 폐가스는 수조 탱크(200)를 통과하여 수처리부(300)로 유입된다. 상기 수처리부(300)는 유입되는 폐가스에 물을 분사하여 폐가스에 포함되어 있는 반응 부산물 입자 또는 수용성 유해 가스를 추가로 포집한다. 상기 폐가스는 수처리부(300)를 통과하여 반도체 공정 라인의 배기 라인으로 배출된다.
100: 가열부
110: 가열 하우징 120: 유입 유닛
130: 배출 유닛 140: 가열 유닛
150: 분리 격벽 160: 폐가스 유입관
170: 폐가스 배출관 180: 외부 하우징
200: 수조 탱크
210: 수조 하우징 220: 수조 유도관
240: 물 공급 모듈
300: 수처리부
310: 제 1 분사 유닛 320: 제 2 분사 유닛

Claims (12)

  1. 내부가 중공인 박스 형상이며, 내부의 상부에 가열 영역을 구비하며, 내부의 하부에 폐가스 유입홀과 폐가스 배출홀을 구비하는 가열 하우징과,
    상하로 관통되는 다수의 유입 통로를 구비하며, 상기 가열 하우징의 내부에서 상기 가열 영역과 상기 폐가스 유입홀 사이에 위치하는 유입 유닛과,
    상하로 관통되는 다수의 배출 통로를 구비하며, 상기 가열 하우징의 내부에서 상기 가열 영역과 상기 폐가스 배출홀 사이에 위치하는 배출 유닛 및
    상기 가열 영역의 내부로 유입되는 상기 폐가스를 가열하는 가열 유닛을 구비하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가열부는
    상기 폐가스 유입홀에 결합되는 폐가스 유입관과,
    상기 폐가스 배출홀에 결합되는 폐가스 배출관 및
    판상으로 형성되며, 상기 유입 유닛과 상기 배출 유닛의 사이에서 상기 가열 영역으로 연장되는 분리 격벽을 더 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 스크러버 시스템은
    상기 가열부의 폐가스 배출관과 연결되어 가열된 상기 폐가스가 유입되는 수조 탱크 및
    하부가 개방되며, 상기 수조 탱크의 타측 상부에 결합되어 상기 수조 탱크로부터 상승하는 상기 폐가스에 물을 분사하는 수처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 유입 유닛과 배출 유닛은 스테인레스 스틸, 인바 합금, 알루미나(Al2O3), Al2TiO5, SiC 또는 Si3N4로 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유입 유닛과 배출 유닛은 상기 유입 유닛의 타측면과 배출 유닛의 일측면이 접촉되어 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 유입 유닛은 소정 높이를 갖는 복수 개의 단위 유입 블록이 적층되어 형성되며,
    상기 배출 유닛은 소정 높이를 갖는 복수 개의 단위 배출 블록이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 단위 유입 블록은 제 1 유입 격벽과 제 2 유입 격벽이 교차하여 형성되는 격자 형상으로 결합되며, 상기 유입 통로가 격자 형상으로 배치되며,
    상기 단위 배출 블록은 제 1 배출 격벽과 제 2 배출 격벽이 교차하여 형성되는 격자 형상으로 결합되며, 상기 배출 통로가 격자 형상으로 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 유입 격벽은 하면에서 상측 방향으로 형성되는 제 1 유입 체결 홈을 포함하고, 제 2 유입 격벽은 상면에서 하측 방향으로 형성되는 제 2 유입 체결 홈을 포함하며, 상기 제 1 유입 격벽과 제 2 유입 격벽은 수직으로 교차되는 상태에서 상기 제 1 유입 체결 홈에 상기 제 2 유입 체결 홈이 삽입되면서 결합되며,
    상기 제 1 배출 격벽은 하면에서 상측 방향으로 형성되는 제 1 배출 체결 홈을 포함하고, 제 2 배출 격벽은 상면에서 하측 방향으로 형성되는 제 2 배출 체결 홈을 포함하며, 상기 제 1 배출 격벽과 제 2 배출 격벽은 수직으로 교차되는 상태에서 상기 제 1 배출 체결 홈에 상기 제 2 배출 체결 홈이 삽입되면서 결합되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 2 유입 격벽은 상기 제 1 유입 격벽의 상부로 돌출되도록 결합되며, 상기 제 2 유입 격벽은 상기 제 1 유입 격벽에 대하여 상부로 돌출되어 유입 안착 영역이 형성되고 하부에 유입 안착 홈이 형성되며,
    상기 제 2 배출 격벽은 상기 제 1 배출 격벽의 상부로 돌출되도록 결합되며, 상기 제 2 배출 격벽은 상기 제 1 배출 격벽에 대하여 상부로 돌출되어 배출 안착 영역이 형성되고 하부에 배출 안착 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 가열 유닛은 발열 히터, 플라즈마 토치 또는 버너를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 발열 히터는 복수 개가 상기 가열 영역의 내부로 연장되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 가열 유닛은 상기 가열 영역을 500 ~ 1,400℃의 온도로 가열하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템.
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