KR20160036002A - 삼축 dc-ac 연결 시스템 - Google Patents

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웨인 씨. 괴케
그레고리 소볼류스키
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케이슬리 인스트러먼츠 인코포레이티드
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Abstract

본 발명의 실시예는 전기적 테스트를 테스트 대상 디바이스(DUT)에 연결하기 위한 개선된 2-케이블 연결 시스템을 제공한다. 일 실시예에서, 동일-길이 삼축 케이블의 단일 쌍은 각각 원하는 특성 임피던스를 가진다. 각각의 케이블은 중심 커넥터, 중간 도체, 및 외부 도체를 가진다. 각각의 케이블의 근단부는 테스트 기기에 연결되고, 원단부는 DUT에 위치된다. 원단부에서, 중심 도체는 DUT에 연결되고, 중간 도체는 풀로팅되도록 허용되며, 외부 도체는 서로 연결된다. 각각의 케이블의 근단부는 수행될 테스트에 적합한 연결을 사용하여 디바이스에 연결된다. 이것은 테스트 기기가 DUT로의 연결을 변경하지 않고서 상이한 타입의 테스트를 수행할 수 있게 한다.

Description

삼축 DC-AC 연결 시스템{TRIAXIAL DC-AC CONNECTION SYSTEM}
개시된 기술의 실시예들은 일반적으로 전기 테스트 기기에, 특히, 전기적 테스트 기기와 테스트 대상 디바이스(devices under test; DUTs) 사이의 상호연결시스템에 관한 것이다.
웨이퍼 상의 반도체 디바이스에, 그리고 이것의 최종 제품을 포함하는 디바이스의 수명에서의 나중 시점에서 여러 범위에서 다수의 테스트를 수행하는 것은 공통적인 일이 되었다. 공통 테스트의 예는 전류-전압(IV), 커패시턴스-전압(CV), 일반적 무선 주파수(RF), 및 벡터 네트워크 분석(VNA) 테스트이다. 몇몇 타입의 테스팅, 예컨대 CV, RF, 및 VNA 테스팅은 테스트 기기와 DUT 사이에 제어 임피던스를 가지는 것으로부터 혜택을 받는다. 그러나, 다른 타입의 테스트, 예컨대 IV 테스트는 이러한 제어 임피던스를 요구하지 않는다. 이것은 양자 모두의 타입의 테스트가 수행될 필요가 있는 경우에는 문제가 될 수 있다.
IV 테스팅에서, 두 개의 쌍의 삼축 케이블(각각의 케이블은 외부, 중간 및 중심 커넥터를 가짐)을 테스트 기기와 DUT에 있는 두 개의 핀 사이에서 사용하는 것이 공통적이다. DUT(원)단부에서, 제 1 쌍의 케이블의 중심 도체는 하나의 핀에 연결되고, 제 2 쌍의 케이블의 중심 도체는 제 2 핀에 연결된다. 각각의 쌍의 두 개의 중간 도체도 역시 통상적으로 원단부에 함께 연결된다. 동작 시에, 중간 도체에는 통상적으로 개별적인 중심 도체 상의 전압에 대응하는 가드 전압이 공급된다. 삼축 케이블의 외부 도체는 보호 접지에 통상적으로 연결되는데, 이는 중간 및 중심 도체 전압이 높은 포텐셜에 있을 수도 있기 때문이다.
CV 테스팅 시에, 테스트 기기와 DUT에서의 두 개의 핀 사이에 두 개의 쌍의 2-도체 동축 케이블을 사용하는 것이 공통적이다. 원단부에서, 제 1 쌍의 케이블의 중심 도체는 하나의 핀에 연결되고, 제 2 쌍의 케이블의 중심 도체는 제 2 핀에 연결된다. 케이블의 외부 도체는 기기 접지에 통상적으로 연결된다.
AC 테스트, 예컨대 RF 및 VNA 테스트는 기기와 DUT 사이에 송신 라인을 통상적으로 요구한다. 종래의 시스템은 삼축 케이블의 중심 도체와 중간 도체 사이의 공간을 이러한 테스트를 위한 송신 라인으로서 사용한다. 이러한 송신 라인을 구축하기 위하여, 사용자는 DUT에서 중간 도체들을 서로 단락시켜야 한다. 그러면 이러한 단락은 DC 테스트, 예컨대 IV 테스팅이 수행될 수 있기 이전에 제거되어야 한다. 사용자가, 특히 상당량의 AC 및 DC 테스팅 모두를 수행하는 경우에 DUT에서의 연결을 변경하는 것은 불편하다(완전히 부담스럽지는 않다고 하더라도). 추가적으로, 많은 유사한 연결 시스템은 DUT에서의 매우 제한된 공간으로 수렴하게 될 수도 있고, DUT 연결을 변경하는 것을 더 어렵게 하고 시간이 오래 걸리게 할 수 있다.
이전의 4-케이블 연결 시스템은 단일 DUT 연결이 다수의 테스트를 위하여 사용되게 하기 위하여 고안되었다. 하지만 2-케이블 시스템이 몇 가지 상황들에서 더 바람직함에도 불구하고 2-케이블 연결 시스템에 대해서는 유사한 시스템이 개발되지 않았다. 4-케이블 시스템은 케이블 저항이 측정에 영향을 줄 경우에만 필요하다. 케이블 저항이 측정에 최소의 영향만을 주는 경우-예를 들어, 고전압 테스팅을 하는 경우- 2-케이블 연결 시스템이 더 바람직할 수도 있다. 2-케이블 연결 시스템은 4-케이블 시스템보다 통상적으로 비용이 적게 들고 공간을 적게 차지하는데, 이것은 DUT에 제한된 공간만이 있는 경우에는 특히 중요할 수 있다.
미국 특허 번호 제 7,388,366 호는 다수의 테스트를 수행하기 위하여 DUT에서 단일 연결을 사용할 수 있는 4-케이블 연결 시스템을 기술한다. 이 특허에 기술된 바와 같이, 4-케이블 시스템은 2-케이블 테스트를 수행하기 위해서도 역시 사용될 수 있다. 하지만, 이러한 솔루션은 모든 4 개의 케이블이 사용되도록 요구하고, 이러한 점이 2-케이블 연결 시스템의 장점을 없앤다. 추가적으로, 많은 기기는 원천적으로 4-케이블 연결을 지원하지 않는다. 어댑터가 4-케이블 연결 시스템이 이러한 기기와 함께 사용되도록 할 것이지만, 비용 및 복잡성이 증가되는 희생이 따른다. 어댑터는 또한 기기와 DUT 사이의 연결을 더 길게 만들고, 이것이 더 높은 주파수에서의 성능을 열화시킨다.
2-케이블 연결 시스템에 대한 하나의 솔루션은 DUT에서의 연결을 변경하는 스위칭 디바이스를 사용하는 것이다. 이것은 기기가 스위칭 디바이스에 연결할 경우 단일 케이블 구성을 사용하도록 한다. 하지만 스위칭 디바이스 자체가 연결 시스템에 비용 및 복잡성을 부가하는 요인이 된다. 매뉴얼 스위칭 디바이스는 사용자가 각각의 세트의 DUT 연결 사이에서 스위칭하도록 요구하는데, 이것은 테스트들 사이의 시간을 추가한다. 자동화된 스위칭 디바이스는 DUT 연결을 자동적으로 변경하기 위하여 프로세서를 사용할 수도 있다. 하지만 이것은 복잡성 및 비용이 더 발생되게 하고, 프로세서에 대한 전력원을 요구한다.
따라서, 테스트 기기와 테스트 대상 디바이스(DUTs) 사이의 개선된 2-케이블 상호연결 시스템에 대한 필요성이 존재한다.
도 1 은 IV 측정을 수행하기 위한 개시된 기술의 특정 양태들에 따르는 2-케이블 비-켈빈 연결 시스템의 예시적인 실시예를 묘사한다.
도 2 는 CV 측정을 수행하기 위한 개시된 기술의 특정 양태들에 따르는 2-케이블 연결 시스템의 예시적인 실시예를 묘사한다.
도 3 은 테스팅을 수행하기 위한 개시된 기술의 특정 양태들에 따르는 2-케이블 연결 시스템의 예시적인 실시예를 묘사한다.
개시된 기술의 실시예는 일반적으로 테스트 기기와 테스트 대상 디바이스(DUT) 사이에 단일 쌍의 삼축 케이블을 포함하는 상호연결 시스템에 직결된다. 삼축 케이블은 저전류 IV 측정(DC 테스트)을 지원할 수도 있다. AC 테스팅(예를 들어, CV 또는 VNA 테스팅)을 위하여, 중간 도체가 -적어도 더 높은 주파수에서는- 플로팅하도록 허용되어, 송신 라인이 중심 도체와 외부 도체(쉴드) 사이에 구축될 수도 있게 할 수도 있다. 중간 도체는 케이블 길이의 1/4보다 훨씬 더 긴 파장을 가지는 신호에 대하여 플로팅하도록 허용될 필요가 있다. 그렇지 않으면, 테스트 신호 파장이 케이블의 길이의 1/4에 근접함에 따라 측정치가 왜곡될 것이다. 통상적으로, 중간 도체는 케이블 길이보다 10 또는 20 배의 인자만큼 더 긴 파장에 대하여 플로팅하도록 허용된다. 각각의 케이스에서의 정확한 인자는 원하는 측정 정밀도에 기초하는데, 인자가 높을수록(즉, 중간 도체가 더 긴 파장에 대하여 플로팅하도록 허용함) 정밀도가 향상된다.
테스트 기기를 DUT에 연결하기 위한 개시된 기술의 실시예에 따르는 연결 시스템은 제 1 및 제 2 삼축 케이블을 포함하는데, 이들 각각은 원하는 특성 임피던스를 가지고, 케이블의 근단부는 테스트 기기에 위치되고 케이블의 원단부는 DUT에 위치된다.
도 1 은 IV 측정을 수행하기 위한 개시된 기술의 특정 양태들에 따르는 2-케이블 비-켈빈 연결 시스템(105)의 예시적인 실시예를 묘사한다. 제 1 삼축 케이블(110) 및 제 2 삼축 케이블(120)은 DUT(130)를 DUT에 IV 테스트를 수행하도록 구성되는 테스트 기기(100)에 연결한다. 각각의 삼축 케이블은 중심 도체(110c, 120c), 중간 도체(110b, 120b), 및 외부 도체(110a, 120a)를 가진다. 케이블의 원단부는 DUT(130)에 근접하게 위치되고 근단부는 테스트 기기(100)에 위치된다. 케이블은 각각 특성 임피던스를 가질 수도 있다. 예를 들어, 50 옴을 가질 수도 있다. 이것은 케이블을 적합하게 동작하기 위하여 정합된 임피던스를 요구하는 기기에 부착시킬 경우에 중요할 수도 있다. 일 실시예에서, 케이블(110 및 120)은 동등한 길이를 가진다.
도 1 에 도시되는 실시예에서, 외부 도체(110a 및 120a)는 케이블의 원단부에서(즉, DUT(130)에 인접한 단부에서) 서로 연결된다. 중간 도체(110b 및 120b)는 원단부에서 아무 것에도 연결되지 않으며 자유롭게 플로팅한다. 중심 커넥터(110c 및 120c)는 케이블의 원단부에서 DUT(130)에 연결된다.
근단부에서(기기(100) 근처), 케이블은 IV 테스트를 위하여 적합한 방식으로 연결된다. 이러한 예에서, 외부 도체(110a 및 120a)는 접지에 연결된다. 중심 커넥터(110c 및 120c)는 Force 단자에 연결되는 반면에 중간 도체(110b 및 120b)는 기기 상의 개별적인 Guard 단자에 연결된다. 도 2 및 도 3 에 도시된 바와 같이, 동일한 연결 시스템(105)이 DUT(130)로의 연결을 변경시키지 않고 다른 타입의 테스트를 수행하기 위하여 사용될 수 있다.
도 2 는 CV 측정(AC 테스트의 한 타입)을 수행하도록 구성되는 개시된 기술의 특정 양태들에 따르는 2-케이블 연결 시스템의 예시적인 제 2 실시예를 묘사한다. 이러한 예에서, 도 1 사용된 것과 동일한 연결 시스템(105)이 사용되고, DUT(130)로의 동일한 연결을 보유한다. 하지만, 각각의 중간 도체(110b 및 120b)의 근단부는 플로팅하여(적어도 더 높은 주파수에서), 송신 라인이 각각의 중심 도체(110c, 120c) 및 이것의 개별적인 외부 도체(110a, 120a) 사이에 구축되도록 허용된다. 도 1 내지 도 3 은 각각의 타입의 테스트를 수행하는 기기들 사이의 몇몇 가능한 차이점을 예시하기 위하여 기기(100, 200, 및 300) 내의 예시적인 회로부를 도시한다는 점에 주의한다. 이러한 회로부는 각각의 기기 내의 모든 회로부, 또는 심지어 각각의 테스트를 수행하기 위하여 필요한 모든 회로부를 나타내도록 의도되는 것은 아니다. 더욱이, 몇 가지 실시예들에서 두 개 이상의 기기(100, 200, 및 300)가 단일 디바이스 내에 구현될 수도 있다.
도 3 은 VNA 테스팅(AC 테스팅의 한 타입)을 수행하도록 구성되는 개시된 기술의 특정 양태들에 따르는 2-케이블 연결 시스템의 예시적인 다른 실시예를 묘사한다. 연결 시스템(105) 및 DUT(130)로의 이것의 연결은 도 1 및 도 2 에서와 동일하게 유지된다. 그러나, 도 3 에 도시된 바와 같이, 외부 도체(110a 및 120a)는 기기(300) 내부의 내부 접지에 연결되고 독립적으로 접지되지 않는다.
종래의 시스템은 사용자가 CV 테스팅을 위하여 DUT에서 중간 도체를 단락하고 IV 테스팅을 위해서는 이것들을 단선시킬 것을 요구한다. 이에 반해, 개시된 기술의 구현예들은 바람직하게는 사용자가 케이블의 원단부에서의(예를 들어, DUT에서의) 연결을 변경하지 않고 상이한 타입의 테스팅(예를 들어, IV 테스팅 및 CV 테스팅) 사이에서 신속하고 용이하게 스위칭하도록 한다. 종래의 시스템은 IV 테스팅(도 1 에 도시된 바와 같음)으로부터 AC 테스팅(도 2 및 도 3 에 도시된 바와 같음)으로 스위칭하기 위한 수단을 제공하지 않았다.
도 2 및 도 3 에 도시된 바와 같이, 중간 도체는 일반적으로 케이블의 근단부 또는 원단부 중 하나에서 어느 것에도 연결되지 않는다. 이것은 중심과 외부 도체 사이에 송신 경로를 구축한다. 그러나, 몇몇 사용자는 중간 도체를 플로팅하도록 하는 것에 있어서 편하지 않을 수도 있다. 따라서, 다른 실시예들에서 중간 도체는 큰 임피던스를 통해서 전기 신호(예를 들어, 기기의 단자, 접지, 또는 몇몇 다른 신호)에 연결될 수도 있다. 이러한 임피던스는 케이블 내의 송신 경로와의 간섭을 회피하기 위하여 중심 도체와 중간 도체 사이의 케이블의 특성 임피던스보다 훨씬 더 커야 한다. 통상적으로, 임피던스는 상기 케이블의 특성 임피던스보다 적어도 열 배 더 크다. 이것은 케이블의 성능을 대략적으로는 10 퍼센트만큼 열화시킬 수도 있다. 더 양호한 성능이 소망되는 경우에는, 훨씬 더 큰 임피던스가 사용될 수도 있다. 예를 들어, 케이블의 특성 임피던스보다 100 배 더 큰 임피던스를 사용하면 케이블의 성능에 1% 영향만을 줄 수도 있다.
본 발명의 원리를 도시된 실시예를 참조하여 설명하고 예시하였기 때문에, 이러한 원리로부터 벗어나지 않으면서 도시된 실시예가 배치구성물 및 세부 사항에서 수정될 수도 있으며 임의의 원하는 방식으로 결합될 수도 있다는 것이 인식될 것이다. 비록 앞선 논의가 특정한 실시예에 초점을 맞췄지만, 다른 구성들도 고찰된다. 특히, "본 발명의 일 실시예에 따르는" 등과 같은 표현들이 본 명세서에서 사용되지만, 이러한 어구는 일반적으로 실시예 가능성을 가리키는 의미이며, 본 발명을 특정 실시예 구성으로 한정하려는 의도가 아니다. 본 명세서에서 사용될 때, 이러한 용어는 다른 실시예로 통합될 수 있는 동일한 또는 상이한 실시예를 참조할 수도 있다.
결과적으로, 본 명세서에서 설명되는 실시예에 대한 매우 다양한 치환을 고려할 때, 이러한 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용 및 첨부되는 자료는 오직 예시적이라는 의도일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하는 것으로 받아들여져서는 안 된다. 그러므로, 본 발명으로서 청구되는 것은 후속하는 청구항 및 이에 대한 균등물의 범위 및 기술적 사상 내에 속할 수도 있는 모든 그러한 변형들이다.

Claims (20)

  1. 테스트 대상 디바이스(DUT)에서의 연결을 변경시키지 않고 상기 DUT에 적어도 두 개의 상이한 타입의 테스트를 수행하도록 구성되는 시스템에 있어서, 제 1 타입의 테스트는 테스트 기기와 및 DUT 사이에 제어 임피던스를 가지는 것으로부터 혜택을 받고 제 2 타입의 테스트는 테스트 기기와 및 DUT 사이에 제어 임피던스를 가지는 것으로부터 혜택을 받지 않는, 시스템으로서,
    테스트 기기;
    테스트 대상 디바이스(DUT); 및
    상기 DUT에 근접하게 위치된 원단부(distal end) 및 상기 테스트 기기에 근접하게 위치된 근단부(proximal end)를 가지는 두 개 이상의 삼축 케이블로서, 각각의 케이블은 중심 도체, 중간 도체, 및 외부 도체를 가지는, 삼축 케이블을 포함하고,
    상기 중심 도체는 각각의 케이블의 원단부에서 상기 DUT에 연결되고, 각각의 케이블의 근단부에서 상기 테스트 기기에 연결되며;
    상기 외부 도체는 상기 케이블의 원단부 및 근단부 양자 모두에서 서로 연결되고;
    상기 외부 도체는 상기 케이블의 근단부에서 상기 테스트 기기와 공유되는 접지에 연결되며;
    상기 시스템은 상기 중간 도체가 상기 케이블의 근단부에서 서로 연결되지 않고 상기 테스트 기기에 연결되지 않는 경우에 상기 제 1 타입의 테스트를 수행하도록 구성되는, 테스트 수행 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 테스트 기기는 제 1 세트의 단자 및 상기 제 1 세트와 상이한 제 2 세트의 단자를 포함하고;
    상기 시스템은 상기 케이블이 상기 제 1 세트의 단자에 연결되는 경우 제 1 타입의 테스트를 수행하도록 더욱 구성되며;
    상기 시스템은 상기 케이블이 상기 제 2 세트의 단자에 연결되는 경우 제 2 타입의 테스트를 수행하도록 더욱 구성되는, 테스트 수행 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    하나 이상의 중간 도체는 상기 제어 임피던스보다 적어도 열 배 더 큰 임피던스를 통해서 전기 신호 또는 접지에 더욱 연결되는, 테스트 수행 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 접지는 상기 기기의 내부 접지인, 테스트 수행 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이블의 원단부에 있는 적어도 하나의 외부 도체 연결이 DUT 캐리어 상에서 이루어지는, 테스트 수행 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    각각의 케이블은 상기 중심 도체와 외부 도체 사이에 50 옴의 바람직한 특성 임피던스를 가지는, 테스트 수행 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 테스트 기기는 상기 케이블이 정합된 임피던스를 가지도록 요구하는, 테스트 수행 시스템.
  8. 테스트 대상 디바이스(DUT)에서의 연결을 변경시키지 않고 상기 DUT에 적어도 두 개의 상이한 타입의 테스트를 수행하도록 구성되는 시스템에 있어서, 테스트 기기와 및 DUT 사이에 제어 임피던스를 가지는 것으로부터 제 1 타입의 테스트는 혜택을 받고 제 2 타입의 테스트는 혜택을 받지 않는, 시스템으로서,
    제 1 타입의 테스트를 수행하기 위한 제 1 테스트 기기;
    제 2 타입의 테스트를 수행하기 위한 제 2 테스트 기기;
    테스트 대상 디바이스(DUT); 및
    상기 DUT에 근접하게 위치된 원단부 및 상기 테스트 기기 중 하나에 근접하게 위치된 근단부를 가지는 두 개 이상의 삼축 케이블로서, 각각의 케이블은 중심 도체, 중간 도체, 및 외부 도체를 가지는, 삼축 케이블을 포함하고,
    상기 중심 도체는 각각의 케이블의 원단부에서 상기 DUT에 연결되고;
    상기 외부 도체는 상기 케이블의 원단부 및 근단부 양자 모두에서 서로 연결되며;
    상기 외부 도체는 상기 케이블의 근단부에서 적어도 하나의 테스트 기기와 공유되는 접지에 연결되고;
    상기 시스템은;
    상기 중심 도체가 상기 케이블의 근단부에서 상기 제 1 테스트 기기에 연결되고;
    상기 중간 도체가 상기 케이블의 근단부에서 서로 연결되지 않으며;
    상기 중간 도체가 상기 제 1 또는 제 2 테스트 기기 어느 것에도 연결되지 않는 경우 제 1 타입의 테스트를 수행하도록 구성되고;
    상기 시스템은, 상기 중심 도체가 상기 케이블의 근단부에서 상기 제 2 테스트 기기에 연결되는 경우 제 2 타입의 테스트를 수행하도록 구성되는, 테스트 수행 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    하나 이상의 중간 도체는 상기 제어 임피던스보다 적어도 열 배 더 큰 임피던스를 통해서 전기 신호 또는 접지에 더욱 연결되는, 테스트 수행 시스템.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 접지는 상기 제 1 또는 제 2 기기의 내부 접지인, 테스트 수행 시스템.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 케이블의 원단부에 있는 적어도 하나의 외부 도체 연결이 DUT 캐리어 상에서 이루어지는, 테스트 수행 시스템.
  12. 제 8 항에 있어서,
    각각의 케이블은 상기 중심 도체와 외부 도체 사이에 50 옴의 바람직한 특성 임피던스를 가지는, 테스트 수행 시스템.
  13. 제 8 항에 있어서,
    적어도 하나의 테스트 기기는 상기 케이블이 정합된 임피던스를 가지도록 요구하는, 테스트 수행 시스템.
  14. 테스트 기기로써 테스트 대상 디바이스(DUT)에서의 연결을 변경시키지 않고 상기 DUT에 두 개 이상의 상이한 타입의 테스트를 수행하는 방법에 있어서, 상기 적어도 하나의 타입의 테스트는 상기 테스트 기기와 DUT 사이에 제어 임피던스를 가지는 것으로부터 혜택을 받는, 방법으로서,
    상기 DUT를 두 개 이상의 삼축 케이블에 연결하는 DUT 연결 단계로서, 각각의 케이블은 원단부 및 근단부를 가지고, 각각의 케이블은 중심 도체, 및 중간 도체, 및 외부 도체를 가지며, 상기 DUT 연결 단계는:
    상기 중심 도체를 상기 케이블의 원단부에서 상기 DUT에 연결하는 단계;
    상기 외부 도체를 서로 상기 케이블의 원단부에서 서로 연결하는 단계; 및
    상기 중간 도체를 상기 케이블의 원단부에서 연결되지 않은 상태로 놓아두는 단계를 포함하는, DUT 연결 단계;
    상기 케이블의 원단부에서의 연결을 변경시키지 않고 제 1 타입의 테스트를 수행하도록 상기 케이블의 근단부를 구성하는 제 1 타입 테스트 구성 단계로서, 상기 제 1 타입의 테스트는 상기 테스트 기기와 DUT 사이에 제어 임피던스를 가지는 것으로부터 혜택을 받고, 상기 제 1 타입 테스트 구성 단계는:
    상기 외부 도체를 상기 케이블의 근단부에서 서로 그리고 상기 테스트 기기와 공유되는 접지에 연결하는 단계;
    상기 중심 도체를 상기 케이블의 근단부에서 상기 테스트 기기에 연결하는 단계; 및
    상기 중간 도체를 서로로부터 그리고 상기 DUT로부터 연결되지 않은 상태로 놓아두는 단계를 포함하는, 제 1 타입 테스트 구성 단계; 및
    상기 케이블의 원단부에서의 연결을 변경시키지 않고 제 2 타입의 테스트를 수행하도록 상기 케이블의 근단부를 구성하는 제 2 타입 테스트 구성 단계로서, 상기 제 2 타입의 테스트는 상기 테스트 기기와 DUT 사이에 제어 임피던스를 가지는 것으로부터 혜택을 받지 않고, 상기 제 2 타입 테스트 구성 단계는:
    상기 중심 도체를 상기 케이블의 근단부에서 상기 테스트 기기에 연결하는 단계; 및
    상기 외부 도체를 상기 케이블의 근단부에서 서로 및 상기 테스트 기기와 공유되는 접지로 연결하는 단계를 포함하는, 제 2 타입 테스트 구성 단계를 포함하는, 테스트 수행 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 테스트 기기는 단일 테스트 기기를 포함하는, 테스트 수행 방법.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 테스트 기기는 제 1 타입의 테스트를 수행하기 위한 제 1 테스트 기기 및 제 2 타입의 테스트를 수행하기 위한 제 2 테스트 기기를 포함하고,
    상기 테스트 수행 방법은,
    제 1 또는 제 2 타입의 테스트를 수행하도록 상기 케이블의 근단부를 구성하는 경우 상기 케이블을 개별적인 제 1 또는 제 2 테스트 기기에 연결하는 단계를 더 포함하는, 테스트 수행 방법.
  17. 제 14 항에 있어서,
    상기 케이블의 중심 도체와 외부 도체 사이의 특성 임피던스 보다 적어도 열 배 더 큰 임피던스를 통해서 적어도 하나의 중간 도체를 전기 신호 또는 접지에 연결하는 단계를 더 포함하는, 테스트 수행 방법.
  18. 제 14 항에 있어서,
    상기 접지는 상기 테스트 기기의 내부 접지인, 테스트 수행 방법.
  19. 제 14 항에 있어서,
    상기 외부 도체를 서로 상기 케이블의 원단부에서 서로 연결하는 상기 단계는,
    DUT 캐리어를 통해서 적어도 하나의 연결을 형성하는 단계를 포함하는, 테스트 수행 방법.
  20. 제 14 항에 있어서,
    각각의 케이블은 상기 중심 도체와 외부 도체 사이에 50 옴의 바람직한 특성 임피던스를 가지는, 테스트 수행 방법.
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