KR20160030735A - 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치 - Google Patents

정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20160030735A
KR20160030735A KR1020140120288A KR20140120288A KR20160030735A KR 20160030735 A KR20160030735 A KR 20160030735A KR 1020140120288 A KR1020140120288 A KR 1020140120288A KR 20140120288 A KR20140120288 A KR 20140120288A KR 20160030735 A KR20160030735 A KR 20160030735A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
resin
roller
substrate
transferring
static electricity
Prior art date
Application number
KR1020140120288A
Other languages
English (en)
Inventor
김생철
Original Assignee
김생철
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김생철 filed Critical 김생철
Priority to KR1020140120288A priority Critical patent/KR20160030735A/ko
Publication of KR20160030735A publication Critical patent/KR20160030735A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/11—Roller frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors 
    • B65G39/10—Arrangements of rollers
    • B65G39/12—Arrangements of rollers mounted on framework
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명에서 전기 전도성 수지 복합체로 성형 되어 글라스 기판상의 정전기를 제거할 수 있는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치를 개시한다.
본 발명에 따른 정전기를 방지하기 위한 기판 이송용 롤러 장치는, 내주면에 걸림홈이 축방향으로 형성된 이송롤러, 상기 이송롤러에 끼움 결합되는 제1 부재, 상기 제1 부재에 끼움 결합되는 제2 부재를 포함하는 이송롤러 어셈블리로써, 탄소 나노 튜브(CNT)와 규소 산화물이 결합된 탄소 나노입자를 열경화성 고분자 수지 내부에 분산시킨 전기 전도성 수지 복합체로 성형하고, 상기 이송롤러 어셈블리와 결합하는 금속 재질의 샤프트를 접지시키는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명은 탄소나노튜브(CNT)를 규소 산화물과 결합시킨 입자를 사용하여 플라스틱 열가소성 수지와 혼합하여 기판 이송용 롤러 장치를 성형하여, 플라스틱 재질의 롤러 어셈블리와 금속재질의 롤러 샤프트 간 전기적 접속을 유지함으로써, 롤러의 외주면을 따라 이송하는 글라스 기판상의 정전기를 제거하여 생산 제품의 안정성을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치{FEEDING ROLLER FOR TRANSPORTED SUBSTRATE HAVING A FUNCTION OF PREVENTING STATIC ELECTRICITY}
본 발명은 기판 이송용 롤러 어셈블리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 글라스 기판을 이송하는 기판 이송장치로 장착되어 글라스 기판의 이송과 더불어, 글라스 기판상에서 발생하는 정전기를 제거함으로써, 기판 이송의 안정성을 확보할 수 있는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치에 관한 것이다.
일반적으로 잘 알려진 바와 같이, LCD(liquid crystal display) 기판은 증착, 확산, 패터닝 및 열처리 공정 등을 거치면서 제작되고 있으며, 이러한 각 공정들로 피가공물을 이동시키기 위해 기판처리장치가 사용되고 있다.
상기 기판처리장치는 LCD용 기판 즉, 유리기판을 지지 및 이송시키기 위한 수단으로 이송장치(conveyor)가 주로 사용되고 있다. 상기 이송장치는 피가공물을 점 접촉으로 지지하면서 이송시키기 위한 다수의 롤러와, 이 롤러를 등 간격으로 다수 결합한 회전축을 다수 배열하고 이 회전축들을 동시에 회전할 수 있도록 기어방식, 체인방식, 자석방식 등으로 동력을 전달하도록 구성된다.
이러한 기판이송장치는 반도체 웨이퍼 또는 FPD(Flat Panel Display) 기판 등을 각 공정챔버별로 이송시키거나 당해 공정 챔버 내에 설치되는 각 장치에 순차적으로 이송시키는 장치이고, 상기 기판이송용 롤러는 기판이송장치의 기판이송 축에 결합하여 기판의 저면 또는 양면을 지지하여 기판을 이송하는 구성부품이다.
반도체제조장치의 기판 이송장치는, 여러 공정을 거쳐 기판을 순차적으로 이송시키게 되는데, 기판을 이송하는 샤프트 양측에 가이드 롤러가 고정되어 샤프트의 회전에 따라 상부에 위치한 기판을 이송시킬 수 있도록 하고 있다.
즉 LCD, PDP, DSP, FED 등의 기판 이송장치는 샤프트의 양단부에 결합하고 외주연이 만곡 형성된 베어링이 끼워지고 지지대에서 소정각도로 회전토록 구성하는 이송지지부와, 상기 샤프트의 회전에 따라 이송되는 기판의 측면을 지지토록 가이드베어링이 가이드 축을 회전축으로 구비하는 가이드 롤러로 구성되어, 기판이 수평 또는 소정각도로 기울어져 이송되는 동시에 가이드 롤러를 따라 이송하는 기판 표면에는 세정액이 분사되도록 이송장치가 구성된다.
상기 롤러를 회전축에 결합시키기 위한 구성은 첨부된 도 1을 참조하여 살펴보면, 회전축(10)의 둘레면에 배치되는 롤러(11)와, 이 롤러(11)의 내경에 접하면서 상기 회전축(10)의 둘레면 사이에 배치되는 제1 체결관(12)과, 이 제2 체결관(12)의 내경과 상기 회전축(10)의 둘레면에 접하도록 끼움 결합되어 상기 롤러(11)가 회전축(10)에 고정되도록 하는 제2 체결관(13)을 포함하여 이루어진다.
그리고 이들 제1 체결관(12) 및 제2 체결관(13)은 상호 결합되는 내경에 회전 방지 돌출부(121) 및 회전방지 걸림홈(131)이 마련되어 상기 롤러(11)를 회전축(10)에 견고하게 고정하도록 구성된다.
상기 롤러(11)를 회전축(10)에 고정시키는 방법으로는 먼저, 각 부품을 준비하는 단계와, 준비된 부품 중 롤러(11)의 내경에 제1 체결관(12)을 끼우는 단계와, 상기 롤러(11)와 제1 체결관(12)이 결합된 상태에서 회전축(10)에 제1 체결관(12)을 끼워넣는 단계와, 상기 회전축(10)에 제2 체결관(13)을 끼워넣으면서 제2 체결관(13)의 걸림홈(131)과 상기 제1 체결관(12)의 돌출봉(121)이 일치하도록 결합시키면서 정해진 고정 위치로 배치하는 가조립단계와, 상기 제1 체결관(12)과 제2 체결관(13)의 양단을 미도시된 플라이어와 같은 압착 공구를 이용하여 인위적인 힘으로 압착 결합하여 롤러(11)를 회전축(10)에 고정하는 압착단계로 이루어진다.
상기 회전축(10)에 롤러(11)를 고정시키는 제1 체결관(12) 및 제2 체결관(13)은 이미 다양한 결합 구조로 개량되어 널리 사용되고 있으나, 이들 제1 체결관(12) 및 제2 체결관(13)의 결합 구조는 회전축(10)과의 전도성이 결여되어 있어, 기판 이송 과정에서의 정전기를 방전시키기 위한 전기적 접촉이 불가능한 구조이다. 즉, 기판 이송과정에서 발생하는 정전기는 기판의 회로를 훼손시키게 되는데, 롤러(11)와 회전축(10) 간의 전기적 접속 구조가 결여되어 기판상에서의 정전기를 제거할 수 있는 대응책 마련이 시급한 실정이다.
대한민국 등록특허 10-1246346, 등록일자 2013년 03월 15일, 발명의 명칭 '기판 이송용 롤러 조립장치 및 이 롤러의 조립방법'
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 기판 이송을 위한 롤러와 샤프트 간의 전기적 전도성을 부여하고, 샤프트에 전기적으로 그라운드 접속을 유도함으로써, 글라스 기판의 이송 과정에서 발생하는 정전기를 용이하게 제거하여 제품의 완성도 및 시스템의 안정성을 확보할 수 있는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 탄소나노튜브(CNT)를 규소 산화물과 결합시킨 입자를 사용하여 플라스틱 열가소성 수지와 혼합하여 기판 이송용 롤러 장치를 성형하여, 플라스틱 재질의 롤러 어셈블리와 금속재질의 롤러 샤프트 간 전기적 접속을 유지함으로써, 롤러의 외주면을 따라 이송하는 글라스 기판상의 정전기를 제거하여 생산 제품의 안정성을 증대시킬 수 있는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 관점에 따른 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치는, 정전기를 방지하기 위한 기판 이송용 롤러 장치에 있어서, 내주면에 걸림홈이 축방향으로 형성된 이송롤러, 상기 이송롤러에 끼움 결합되는 제1 부재, 상기 제1 부재에 끼움 결합되는 제2 부재를 포함하는 이송롤러 어셈블리로써, 탄소 나노 튜브(CNT)와 규소 산화물이 결합된 탄소 나노입자를 열경화성 고분자 수지 내부에 분산시킨 전기 전도성 수지 복합체로 성형하고, 상기 이송롤러 어셈블리와 결합하는 금속 재질의 샤프트를 접지시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 상기 이송롤러는, 내주면에 회전축과 동일한 방향으로 하나 이상의 걸림홈이 제공되고; 상기 제1 부재는 밀착부의 외주면에 상기 걸림홈에 끼워지는 걸림돌기가 회전축 방향으로 제공되며; 상기 제1 부재는 내주면에 원주 방향으로 걸림턱을 구비하고; 상기 제2 부재는 쐐기부에 상기 걸림턱에 끼워져 회전축 방향으로 분리되지 않고 결합 상태를 유지할 수 있는 걸림 돌출부가 하나 이상 제공되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 상기 탄소 나노입자는, 전기 전도성 수지 복합체 100 중량부에 대하여 25 중량부 내지 30 중량부가 포함되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제시하는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치는, 기판 이송을 위한 롤러와 샤프트 간의 전기적 전도성을 부여하고, 샤프트에 전기적으로 그라운드 접속을 유도함으로써, 글라스 기판의 이송 과정에서 발생하는 정전기를 용이하게 제거하여 제품의 완성도 및 시스템의 안정성을 확보할 수 있는 효과를 제공한다. 또한, 본 발명에서는 탄소나노튜브(CNT)를 규소 산화물과 결합시킨 입자를 사용하여 플라스틱 열가소성 수지와 혼합하여 기판 이송용 롤러 장치를 성형하여, 플라스틱 재질의 롤러 어셈블리와 금속재질의 롤러 샤프트 간 전기적 접속을 유지함으로써, 롤러의 외주면을 따라 이송하는 글라스 기판상의 정전기를 제거하여 생산 제품의 안정성을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 기판 이송장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 이송 롤러 어셈블리를 나타낸 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 이송 롤러의 조립 상태로서, 샤프트의 전기적 접속 상태를 도시하고 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명에서 제시하는 기판 이송장치의 롤러는 전도성 재질로 구성된다. 물론, 금속재질로 이루어져 전기 전도도를 형성하는 것은 글라스 기판의 스크래치를 유발하기 때문에 금속재질의 롤러는 사용될 수 없다. 따라서, 본 발명에서는 플라스틱 재질의 롤러 구조로서 전기 전도가 가능하게 된다. 이는 글라스 기판상에서 발생하는 정전기를 외부로 배출하기 위한 것으로, 기판 이송장치를 구성하는 롤러는 글라스 기판과 물리적으로 접촉과 더불어 전기적으로 접속되며, 상기 롤러를 지지하는 금속 재질의 샤프트와 전기적으로 연결된다. 여기서, 샤프트는 어스 상태로 접지되며, 글라스 기판상에서 발생하는 정전기가 롤러를 통해 샤프트로 접지되는 구조이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 롤러 구조를 나타낸 분해 사시도이다.
도시된 바와 같이, 이송롤러 어셈블리(211)는 내주면에 걸림홈(222)이 축방향으로 형성된 이송롤러(221), 상기 이송롤러(221)에 끼움 결합되는 제1 부재(241), 그리고 상기 제1 부재에 끼움 결합되는 제2 부재(261)를 도시하고 있다.
상기 이송롤러(221)는 내주면에 회전축과 동일한 방향으로 하나 이상의 걸림홈(222)이 제공된다. 그리고 상기 제1 부재(241)는 밀착부(245)의 외주면에 상기 걸림홈(222)에 끼워지는 걸림돌기(246)가 회전축 방향으로 제공된다. 또한, 상기 제1 부재(241)는, 내주면에 원주 방향으로 걸림턱(248)이 제공된다.
상기 제2 부재(261)는 쐐기부(265)에 상기 걸림턱(248)에 끼워져 회전축 방향으로 분리되지 않고 결합 상태를 유지할 수 있는 걸림 돌출부(266)가 하나 이상 제공될 수 있다. 상기 걸림 돌출부(266)는 안정적인 결합을 위하여 2개 이상으로 이루어지는 것이 더욱 바람직하다.
이와 같이 구성되는 실시 예는 회전축에 상기 이송롤러(221)를 삽입하고, 제1 부재(241)가 상기 이송롤러(221)의 내주면에 끼워지도록 배치한다. 이때 상기 이송롤러(221)에 제공된 걸림홈(222)에 제1 부재(241)의 걸림돌기(246)가 끼워져 회전방향으로 서로 미끄럼이 발생하지 않도록 결합하는 것이다.
계속해서 상기 제1 부재(241)의 내주면측으로 제2 부재(261)를 밀어 넣는다. 이때 상기 제2 부재(261)에 제공된 걸림 돌출부(266)가 상기 제1 부재(241)의 내주면에 제공된 걸림턱(248)에 끼워지면서 축방향으로 이탈이 방지되는 것이다. 이러한 본 발명은 이송롤러(221)와 상기 제1 부재(241)가 회전 방향으로 슬립이 발생하는 것을 방지하고, 제2 부재(261)가 제1 부재(241)에 삽입될 때 방향성을 갖지 않아도 되므로 조립이 편리한 이점이 있다.
한편, 본 발명에서 제시하는 롤러 어셈블리(211)는 플라스틱 재질의 전기 전도성을 갖도록 설계되며, 이를 위해 탄소 나노 튜브(CNT)와 규소 산화물이 결합된 탄소 나노입자를 플라스틱 고분자 수지 내부에 분산되도록 한다.
이와 같은 전기 전도성 수지 복합체는 탄소 나노 튜브를 규소 산화물과 결합시킨 탄소 나노입자를 사용함으로써 고분자 수지 내에 탄소 나노 튜브를 다량으로 분산시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 탄소 나노입자는 전기 전도성 수지 복합체 100 중량부에 대하여 30 중량부까지(이하), 바람직하게는 25 중량부까지 포함될 수 있다. 실제적으로는 이를 초과하는 함량도 가능하나, 30 중량부를 초과하게 되면 수지 복합체가 성형이나 경화가 효과적으로 수행되지 않을 수 있다.
본 발명의 전기 전도성 수지 복합체는 탄소 나노 튜브를 다량으로 포함하는 것이 특징이므로, 그 하한에는 특별한 제한이 없다. 예를 들면 전기 전도성 수지 복합체 100 중량부에 대하여 0.5 중량부까지 포함될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 규소 산화물은 그 자체로 열전도성을 가지고 있는데, 본 발명에 따라 탄소 나노 튜브와 결합하게 되는 경우, 그 복합체의 전기 전도성과 더불어 열전도성이 현저하게 상승하게 된다. 본 발명의 전기 전도성 수지 복합체에 있어서, 사용가능한 고분자 수지는 특별한 제한이 없다.
통상적인 열경화성 수지, 열가소성 수지 또는 이들의 혼합물을 사용할 수 있다. 열경화성 수지로는 에폭시 수지, 페놀 수지, 멜라민 수지 등을 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있으며, 열가소성 수지로는 폴리에틸렌 수지(PE), 폴리프로필렌 수지(PP), 폴리 스티렌 수지(PS), 폴리염화비닐 수지(PVC), 폴리아미드 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지(PET), 아크릴 수지 등을 포함하여 불소수지(弗素樹脂) 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.
상기 불소수지는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 생폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE), 폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리플루오린화비닐(PVF) 등을 포함한다.
상기 탄소 나노 튜브(CNT)는 통상의 아크(arc) 방전법, 레이저 증착법, 플라즈마 화학기상 증착법, 기상 합성법, 열분해 법 등과 같은 방법으로 제조된 후 열처리된 것일 수 있다. 위 합성법에 의해 제조된 생성물에는 합성된 탄소 나노 튜브와 함께 비정질 탄소 또는 결정성 흑연 입자와 같은 탄소 불순물과 촉매 전이금속 입자 등이 존재한다. 예컨대, 아크 방전법으로 제조되는 경우 생성물 100중량% 중에 탄소 나노 튜브 15-30중량%, 탄소 불순물 45-70중량% 및 촉매 전이금속 입자 5-25중량%가 포함된다.
구체적으로, 위 합성법에 의해 제조된 생성물을 시트 또는 평균 직경 2-5㎜인 과립 형상으로 만든 후 진행방향(수평 기준)에 대하여 아래쪽으로 1-5° 각도로 경사진 회전성 반응기에 투입하고, 회전성 반응기를 350-500℃로 가열하면서 산화성 가스를 위 투입된 생성물 1g에 대하여 200-500㏄/분의 속도로 공급하여 60-150분 동안 열처리한다.
이때, 경사진 회전성 반응기가 5-20rpm의 속도로 회전함으로써 생성물이 분산되면서 접촉 표면적이 최대화되는 동시에 자동적으로 진행방향으로 이동하여 산화성 가스와의 접촉 표면적이 최대화되고 국부적인 산화가 방지된 상태로 열처리된다. 이 방법에 의하면, 투입된 생성물의 무게가 60-85% 감소되어 고순도의 탄소 나노 튜브가 수득 된다.
탄소 나노 튜브는 총 100중량% 중에 탄소 불순물이 40중량% 이하, 바람직하게는 25중량% 이하로 포함된 것이 분산성과 안정성뿐만 아니라 수지 복합체의 전기 전도성 확보에 있어서 좋다. 탄소 나노 튜브는 단일벽 탄소 나노 튜브, 이중벽 탄소 나노 튜브 또는 다중벽 탄소 나노 튜브일 수 있으며, 이들은 단독 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다.
이와 같이 구성된 롤러 어셈블리(211)는 탄소 나노 튜브와 규소 산화물이 혼합된 전기 전도성 수지 복합제로 이루어져, 글라스 기판상에서 발생하는 정전기를 접지시키게 된다. 도 3은 전기 전도성 수지 복합제로 성형된 이송 롤러 어셈블리(211)가 샤프트(301)와의 조립 상태를 나타낸다.
상기 샤프트(301)는 금속 재질로 이루어지며, 전기적으로 접지 상태를 유지한다. 따라서, 전기 전도도를 갖는 이송 롤러 어셈블리(211)는 전기적으로 상기 샤프트(301)와 접속되며, 글라스 기판상에서 발생하는 정전기를 이송롤러(221) 및 샤프트(301)를 통해 접지되어 글라스 기판상의 정전기를 용이하게 제거할 수 있게 된다.
211 : 이송 롤러 어셈블리 221 : 이송 롤러
222 : 걸림홈 241 : 제1 부재
246 : 걸림 돌기 248 : 걸림턱
261 : 제2 부재 265 : 쐐기부
266 : 걸림 돌출부

Claims (6)

  1. 정전기를 방지하기 위한 기판 이송용 롤러 장치에 있어서,
    내주면에 걸림홈(222)이 축방향으로 형성된 이송롤러(221), 상기 이송롤러(221)에 끼움 결합되는 제1 부재(241), 상기 제1 부재에 끼움 결합되는 제2 부재(261)를 포함하는 이송롤러 어셈블리(211)로써, 탄소 나노 튜브(CNT)와 규소 산화물이 결합된 탄소 나노입자를 열경화성 고분자 수지 내부에 분산시킨 전기 전도성 수지 복합체로 성형하고, 상기 이송롤러 어셈블리(211)와 결합하는 금속 재질의 샤프트(301)를 접지시키는 것을 특징으로 하는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송롤러(221)는 내주면에 회전축과 동일한 방향으로 하나 이상의 걸림홈(222)이 제공되고;
    상기 제1 부재(241)는 밀착부(245)의 외주면에 상기 걸림홈(222)에 끼워지는 걸림돌기(246)가 회전축 방향으로 제공되며;
    상기 제1 부재(241)는 내주면에 원주 방향으로 걸림턱(248)을 구비하고;
    상기 제2 부재(261)는 쐐기부(265)에 상기 걸림턱(248)에 끼워져 회전축 방향으로 분리되지 않고 결합 상태를 유지할 수 있는 걸림 돌출부(266)가 하나 이상 제공되는 것을 특징으로 하는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄소 나노입자는 전기 전도성 수지 복합체 100 중량부에 대하여 25 중량부 내지 30 중량부가 포함되는 것을 특징으로 하는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 열경화성 수지는 에폭시 수지, 페놀 수지, 멜라민 수지를 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합되거나, 열가소성 수지와 혼합되는 것을 특징으로 하는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 열가소성 수지는 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리 스티렌 수지, 폴리염화비닐 수지, 폴리아미드 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 아크릴 수지, 불소수지(弗素樹脂) 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합되며;
    상기 불소수지는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 생폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE), 폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리플루오린화비닐(PVF) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄소 나노 튜브(CNT)는 아크(arc) 방전법, 레이저 증착법, 플라즈마 화학기상 증착법, 기상 합성법, 열분해 법 중 어느 하나의 방법으로 제조되며;
    상기 방법에 의한 생성물 100중량% 중 탄소 나노 튜브 15-30중량%, 탄소 불순물 45-70중량% 및 촉매 전이금속 입자 5-25중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치.
KR1020140120288A 2014-09-11 2014-09-11 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치 KR20160030735A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140120288A KR20160030735A (ko) 2014-09-11 2014-09-11 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140120288A KR20160030735A (ko) 2014-09-11 2014-09-11 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160030735A true KR20160030735A (ko) 2016-03-21

Family

ID=55650895

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140120288A KR20160030735A (ko) 2014-09-11 2014-09-11 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160030735A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190040688A (ko) * 2017-10-11 2019-04-19 김성웅 정전기 제거가 가능한 포장지 제조장치
CN110104370A (zh) * 2019-06-18 2019-08-09 深圳市利器精工科技有限公司 无尘传输装置和精密器件生产设备
KR102184193B1 (ko) * 2019-05-30 2020-11-30 주식회사 왕성 이송 롤러 및 그 제조방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190040688A (ko) * 2017-10-11 2019-04-19 김성웅 정전기 제거가 가능한 포장지 제조장치
KR102184193B1 (ko) * 2019-05-30 2020-11-30 주식회사 왕성 이송 롤러 및 그 제조방법
CN110104370A (zh) * 2019-06-18 2019-08-09 深圳市利器精工科技有限公司 无尘传输装置和精密器件生产设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160030735A (ko) 정전기 방지 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 장치
CN102782832B (zh) 接地的卡盘
Zhang et al. Toward Highly Sensitive Polymer Photodetectors by Molecular Engineering.
Suk et al. Enhancement of the electrical properties of graphene grown by chemical vapor deposition via controlling the effects of polymer residue
Han et al. Versatile p‐type chemical doping to achieve ideal flexible graphene electrodes
US20190201864A1 (en) Particles comprising stacked graphene layers
TWI557168B (zh) 奈米管及精細碾磨碳纖維聚合體複合組成物及其製造方法
JP5242128B2 (ja) 半導電性樹脂組成物
Pötschke et al. A novel strategy to incorporate carbon nanotubes into thermoplastic matrices
Chen et al. Noncovalent engineering of carbon nanotube surfaces by rigid, functional conjugated polymers
US20140264999A1 (en) Substrate carriers and articles formed from compositions comprising carbon nanotubes
CN101730917A (zh) 透明导电性薄膜和其制造方法
Jeong et al. Flexible field emission from thermally welded chemically doped graphene thin films
CN105934407A (zh) 处理粒子
JP2016108524A (ja) 導電性樹脂組成物、導電性マスターバッチ、成形体およびその製造方法
Lee et al. Inverse transfer method using polymers with various functional groups for controllable graphene doping
Guan et al. Computational dissection of 2D SiC7 monolayer: A direct band gap semiconductor and high power conversion efficiency
Yakovenko et al. Development of carbon nanotube–polymer composites with oriented distribution of MWCNTs induced by electric field
JP5275882B2 (ja) 複合材料
Barbero et al. Nano-engineering of SWNT networks for enhanced charge transport at ultralow nanotube loading.
JP5165983B2 (ja) 搬送装置用ローラ部材および搬送装置
KR200454516Y1 (ko) 이송장치의 롤러
TWI635032B (zh) 平坦基材之輸送裝置
Harano et al. Formation of a polycrystalline film of donor material on PEDOT: PSS buffer induced by crystal nucleation
JP2009184764A (ja) 搬送システム

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination