KR20160028633A

KR20160028633A - Hybrid Collector

Info

Publication number: KR20160028633A
Application number: KR1020140117300A
Authority: KR
Inventors: 윤홍범
Original assignee: (주)와이에이치비
Priority date: 2014-09-03
Filing date: 2014-09-03
Publication date: 2016-03-14
Also published as: KR101612880B1

Abstract

The present invention relates to a hybrid dust collector. The hybrid dust collector according to the present invention comprises: a cabinet which has a space portion therein and includes first and second partitions which divide the space portion into first, second and third space portions from a lower portion of the space portion; a first dust collecting unit which includes a filter unit which is installed in the first space portion and filters out foreign matters included in air introduced into the first space portion, a spray unit which is installed in the second space portion on an upper part of the first space portion, and sprays high-pressure air toward the filter unit to remove the foreign matters remaining on the filter unit, a collecting unit which is arranged on a lower part of the the filter unit and collects the foreign matter which is detached from the filter unit by the spray unit to drop down, and an air blowing unit which is installed in the third space portion above the second space portion and provides a suction force for guiding air outside the space portion into the space portion; and a second dust collecting unit which is installed on an upper part of the cabinet and includes a discharge electrode for charging the foreign matters included in the air passing through the third space portion, and a dust collecting electrode which collects the charged foreign matters. According to the present invention, since dust collecting power is uniformly distributed, dust collecting efficiency can be improved.

Description

Hybrid Collector

본 발명은 융합집진기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 필터를 이용한 일반적인 더스트 집진기와 방전극 및 집진극을 이용한 전기 집진기를 결합한 형태의 융합집진기에 관한 것이다.The present invention relates to a fusion dust collector, and more particularly, to a fusion dust collector in which a general dust dust collector using a filter, an electric dust collector using a discharge electrode and a dust collector are combined.

일반적으로 반도체 소자 제조용 재료로서 광범위하게 사용되고 있는 웨이퍼(wafer)는 단결정 실리콘 박판을 지칭한다. 이러한 웨이퍼의 제조공정은 다결정의 용융실리콘을 초크랄스키법(Czochralski method)에 의해 단결정 실리콘 잉곳(ingot)으로 성장시키는 성장공정, 성장된 단결정 실리콘 잉곳을 웨이퍼 형태로 자르는 절단공정, 웨이퍼의 두께를 균일화하여 평면화하는 래핑(lapping)공정, 웨이퍼의 데미지를 제거 또는 완화하는 에칭(etching)공정, 웨이퍼 표면을 경면화하는 연마(Polishing)공정, 그리고, 완료된 웨이퍼를 세정하는 세정공정 등으로 이루어진다. 또한, 이렇게 제조된 웨이퍼는 소정 금속막이 증착된 후 패터닝되는 증착공정 등을 거침으로써, 반도체로 제조된다. In general, a wafer widely used as a material for manufacturing semiconductor devices refers to a single crystal silicon thin plate. Such a wafer manufacturing process includes a growth process of growing polycrystalline molten silicon into a single crystal silicon ingot by the Czochralski method, a cutting process of cutting the grown single crystal silicon ingot into a wafer shape, A lapping process for homogenizing and flattening the wafer, an etching process for removing or alleviating damage to the wafer, a polishing process for mirror-polishing the wafer surface, and a cleaning process for cleaning the completed wafer. In addition, the wafer thus manufactured is made of a semiconductor by depositing a predetermined metal film and then performing a deposition process such as patterning.

상기와 같은 제조공정들을 통해 제조되는 반도체는 그 제조공정 중의 먼지, 분진 또는 파티클(Particle)과 같은 이물질에 민감하게 반응한다. 즉, 상기와 같은 소정의 제조공정이 진행되는 반도체 제조설비의 내의 이물질로 인해 제조되는 반도체의 품질이 저하되는 것이다. 따라서, 상기 반도체 제조설비의 경우, 내부의 이물질을 제거하기 위한 집진장치를 구비한다. Semiconductors manufactured through such manufacturing processes are susceptible to foreign substances such as dust, dust or particles in the manufacturing process. That is, the quality of the semiconductor produced due to the foreign substances in the semiconductor manufacturing facility in which the predetermined manufacturing process is performed is degraded. Therefore, in the case of the semiconductor manufacturing facility, a dust collecting device for removing foreign matters is provided.

반도체 제조설비에 채용되는 종래의 일반적인 집진장치는 이물질이 유입되는 유입구를 구비하는 집진몸체, 이 집진 몸체로 집진력을 제공하는 집진펌프를 포함한다. 여기서, 상기 집진 몸체의 일 측에는 상기 반도체 제조설비의 내부를 향해 개방됨으로써 이물질이 유입되는 유입구와, 유입구와 마주하는 타 측에 마련되어 이물질을 필터링하는 필터부재를 구비한다. 또한, 그 상측에는 상기 집진펌프와 연결되어 집진 몸체의 내부에 흡입기류를 제공하기 위한 연결구가 형성된다.A conventional general dust collecting apparatus employed in a semiconductor manufacturing facility includes a dust collecting body having an inlet through which foreign matter flows, and a dust collecting pump for collecting dust with the dust collecting body. One side of the dust collecting body is provided with an inlet through which the foreign matter is introduced by opening toward the inside of the semiconductor manufacturing facility and a filter member provided on the other side facing the inlet so as to filter foreign matter. Further, on the upper side thereof, a connection port for connecting the dust-collecting pump to the dust-collecting body to provide a suction air stream is formed.

그러나, 이상과 같은 구성을 가지는 종래의 집진장치는 상기 집진펌프의 집진력 전달이 상기 집진 몸체의 내측 테두리에서 원활하지 못하다. 그로 인해, 상기 집진 펌프의 집진력이 상기 집진 몸체의 중앙에 치중되고 이에 비해 내면에서는 상대적으로 낮으며, 이러한 집진력의 편차는 상기 집진 몸체의 내부로 유입된 이물질이 집진력이 높은 부분 또는 영역에서만 남아있게 되므로 집진효율이 저하되는 문제가 있다.However, in the conventional dust collecting apparatus having the above-described structure, the dust collecting power of the dust collecting pump is not smooth at the inner edge of the dust collecting body. Therefore, the collecting force of the dust-collecting pump is concentrated at the center of the dust-collecting body, and relatively low at the inner surface. The deviation of the collecting force is caused by the foreign matter introduced into the dust- There is a problem that the dust collecting efficiency is lowered.

KRKR 10-2010-010479610-2010-0104796 AA KRKR 10-2013-006368810-2013-0063688 AA KRKR 10-2014-000544110-2014-0005441 AA KRKR 10-2014-004744110-2014-0047441 AA

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 집진력을 비교적 균일하게 분포시킴으로써 집진효율을 높일 수 있는 융합집진기를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a fusion dust collector capable of increasing dust collection efficiency by relatively uniformly distributing collecting power.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 융합집진기는 내부에 공간부가 형성되고, 상기 공간부를 하부로부터 제1공간부와 제2공간부와 제3공간부로 각각 구획하는 제1격벽과 제2격벽을 구비하는 캐비닛과; 상기 제1공간부에 설치되어 상기 제1공간부로 유입되는 공기에 포함된 이물질을 필터링하는 필터부와, 상기 제1공간부 상측의 상기 제2공간부에 설치되어 상기 필터부를 향하여 고압의 공기를 분사하여 상기 필터부에 잔재하는 이물질을 제거하는 분사부와, 상기 필터부의 하부에 배치되어 상기 분사부에 의해 상기 필터부로부터 이탈되어 낙하하는 이물질을 수거하는 수거부와, 상기 제2공간부 상측의 상기 제3공간부에 설치되어 상기 공간부 외부의 공기를 상기 공간부 내부로 유입시키도록 흡입력을 제공하는 송풍부를 포함하는 제1집진유닛과; 상기 캐비닛의 상부에 설치되며, 상기 제3공간부를 통과하는 공기에 포함된 이물질을 대전시키는 방전극과 대전된 이물질을 포집하는 집진극을 포함하는 제2집진유닛;을 구비하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a fusion dust collector comprising: a first partition having a space formed therein and partitioning the space into a first space, a second space, and a third space; A cabinet having two partition walls; A filter unit installed in the first space unit to filter foreign substances contained in the air introduced into the first space unit, a high pressure air supply unit installed in the second space unit above the first space unit, A filter unit disposed at a lower portion of the filter unit to collect foreign matter falling off the filter unit and separated from the filter unit; A first dust collecting unit installed in the third space part and providing a suction force to introduce air outside the space part into the space part; And a second dust collecting unit installed at an upper portion of the cabinet and including a discharge electrode for charging a foreign substance contained in air passing through the third space portion and a dust collecting electrode for collecting charged foreign substances.

상기 캐비닛의 일 측 하부에는 외부 공기를 상기 제1공간부로 유입시킬 수 있도록 개방된 유입구가 형성되고, 상기 제1집진유닛은 상기 유입구를 통해 상기 제1공간부로 유입되는 공기가 상기 필터부의 일 측으로만 편중되는 것을 방지하도록 상기 제1공간부의 내측을 따라 설치된 분배덕트를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.The first dust collecting unit may be configured such that the air introduced into the first space through the inlet is directed to one side of the filter unit, And a distribution duct installed along the inner side of the first space to prevent the second space from being biased.

상기 송풍부는 상기 제3공간부로 유입되는 공기가 상기 제3공간부의 일 측으로만 편중되는 것을 방지하도록 상기 제2공간부로부터 이동하는 공기를 상기 제3공간부 전역으로 분산되게 배출시키는 분산덕트를 포함하는 것을 특징으로 한다.The air blowing unit may include a dispersing duct for dispersing air moving from the second space part to the third space part so as to disperse all over the third space part to prevent the air introduced into the third space part from being biased to only one side of the third space part .

상기 캐비닛의 일 면에는 상기 제1공간부와 대응하는 위치에 제1개구부가 형성되고, 상기 제1개구부에는 상기 제1공간부를 개폐할 수 있도록 제1개폐도어가 설치되며, 상기 제1집진유닛은 상기 필터부를 상기 제1격벽에 대하여 지지 및 상기 제1개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 제1격벽에 설치되는 제1출입지지부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.A first opening portion is formed at a position corresponding to the first space portion on one side of the cabinet and a first opening and closing door is provided in the first opening portion to open and close the first space portion, The first partition and the second partition may further include a first access support portion provided on the first partition so as to support the filter portion with respect to the first partition and to allow the filter portion to go in and out through the first opening.

상기 캐비닛의 일 면에는 상기 제3공간부와 대응하는 위치에 제3개구부가 형성되고, 상기 제3개구부에는 상기 제3공간부를 개폐할 수 있도록 제3개폐도어가 설치되며, 상기 제1집진유닛은 상기 송풍부를 상기 제2격벽에 대하여 지지 및 상기 제3개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 제2격벽에 설치되는 제2출입지지부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.A third opening portion is formed at a position corresponding to the third space portion on one side of the cabinet and a third opening and closing door is provided in the third opening portion to open and close the third space portion, And a second access support part provided on the second partition so as to support the ventilation part with respect to the second partition and to allow the ventilation part to enter and exit through the third opening part.

본 발명에 따른 융합집진기에 의하면, 분배덕트 및 분산덕트를 통해 집진력을 비교적 균일하게 분포시킴으로써 집진효율을 높일 수 있으면서, 1차로는 카트리지 필터를 통해 먼지를 제거하고 2차로는 전기집진부를 통해 먼지뿐만 아니라 유해한 가스나 연기를 제거할 수 있는 장점이 있다.According to the fusion dust collector of the present invention, the dust collecting efficiency can be increased by distributing the dust collecting force relatively uniformly through the distribution duct and the dispersing duct, while dust is removed through the cartridge filter in the first stage, In addition, it has the advantage of removing harmful gas or smoke.

도 1은 본 발명에 따른 융합집진기를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 융합집진기의 제1집진유닛을 나타낸 부분발췌사시도.
도 3은 도 1에 도시된 융합집진기의 송풍부를 나타낸 부분발췌사시도.
도 4는 도 1에 도시된 융합집진기의 제2출입지지부를 나타낸 발췌사시도.
도 5는 도 1에 도시된 본 발명에 따른 융합집진기의 단면도.
도 6은 도 1에 도시된 본 발명에 따른 융합집진기의 단면도.
도 7은 도 4에 도시된 제2출입지지부의 다른 실시 예를 나타낸 단면도.
도 8은 도 7에 도시된 제2출입지지부를 나타낸 단면도.1 is a perspective view showing a fusion dust collector according to the present invention;
FIG. 2 is a partial perspective view showing a first dust collecting unit of the fusion dust collector shown in FIG. 1. FIG.
3 is a partially cutaway perspective view showing a blowing section of the fusion dust collector shown in Fig.
Fig. 4 is an exploded perspective view showing a second access support portion of the fusion dust collector shown in Fig. 1; Fig.
5 is a cross-sectional view of the fused dust collector according to the present invention shown in Fig.
FIG. 6 is a cross-sectional view of the fusion dust collector according to the present invention shown in FIG. 1; FIG.
7 is a cross-sectional view showing another embodiment of the second access support shown in Fig.
8 is a cross-sectional view of the second access support shown in Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 융합집진기에 대하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a fusion dust collector according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 6에는 본 발명에 따른 융합집진기(1)가 도시되어 있다. 도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 다른 융합집진기(1)는 캐비닛(100)과; 제1집진유닛(200)과; 제2집진유닛(300);을 구비한다.1 to 6 show a fusion dust collector 1 according to the present invention. 1 to 6, a fusion dust collector 1 according to the present invention includes a cabinet 100; A first dust collecting unit (200); And a second dust collecting unit (300).

상기 캐비닛(100)은 직사각 형상으로 내부에 공간부가 형성되고, 상기 공간부를 하부로부터 제1공간부(110)와, 제2공간부(130)와, 제3공간부(150)로 각각 구획하는 제1격벽(120)과, 제2격벽(140)이 설치되어 있다. 상기 공간부는 제1격벽(120)과 제2격벽(140)에 의해 하부에서 상방으로 제1공간부(110), 제2공간부(130), 제3공간부(150) 순으로 배치되어 있다.The cabinet 100 is formed in a rectangular shape with a space formed therein and divides the space into a first space 110, a second space 130, and a third space 150 from the bottom A first barrier rib 120 and a second barrier rib 140 are provided. The first space part 110, the second space part 130, and the third space part 150 are arranged in this order from the bottom by the first partition 120 and the second partition 140 in this order .

상기 제1격벽(120)에는 제1공간부(110)로 유입된 공기가 필터부(210) 즉, 카트리지 필터(211)를 통과하여 제2공간부(130)로 흘러들어갈 수 있도록 제1통과구멍이 형성되어 있고, 상기 제2격벽(140)에는 제2공간부(130)로부터 제3공간부(150)로 공기가 통과할 수 있도록 중앙에 제2공기통과구멍이 형성되어 있다.The first partition 120 is formed with a first passage 130 for allowing the air introduced into the first space 110 to pass through the filter 210 and the cartridge filter 211 and into the second space 130, And a second air passage hole is formed at the center of the second partition wall 140 so that air can pass from the second space portion 130 to the third space portion 150.

상기 캐비닛(100)의 전면에는 제1공간부(110)에 대응되는 위치에는 제1개구부가 형성되어 있고, 제2공간부(130)에 대응되는 위치에는 제2개구부가 형성되어 있으며, 제3공간부(150)와 대응되는 위치에는 제3개구부가 형성되어 있다. 그리고, 상기 캐비닛(100)의 측면 하부에는 외부 공기를 상기 제1공간부(110)로 유입시킬 수 있도록 개방된 유입구가 형성되어 있고, 후면은 폐쇄되어 있으며, 상면은 후술하는 제2집진유닛(300)으로 공기를 보낼 수 있도록 부분적으로 개방되어 있다.A first opening is formed in a position corresponding to the first space 110 in the front surface of the cabinet 100. A second opening is formed in a position corresponding to the second space 130, A third opening is formed at a position corresponding to the space 150. The cabinet 100 has a lower side surface formed with an inlet opened to allow external air to flow into the first space 110, a rear surface closed, and an upper surface of the second dust-collecting unit 300 so as to allow air to pass through.

상기 캐비닛(100)의 전면에 형성된 제1개구부, 제2개구부, 제3개구부에는 각각 제1공간부(110), 제2공간부(130), 제3공간부(150)를 개별적으로 개폐시킬 수 있도록 캐비닛(100)에 회전가능하게 결합된 제1개폐도어(101), 제2개폐도어(102), 제3개폐도어(103)가 설치되어 있다. 상기 제3개폐도어(103)에는 후술하는 제3공간부(150)에 설치되는 송풍부(240)를 작동시키기 위한 스위치가 설치되어 있다. 그리고, 캐비닛(100)의 하부에는 이동이 가능하도록 캐스터가 장착되어 있다.The first space portion 110, the second space portion 130 and the third space portion 150 are individually opened and closed in the first opening portion, the second opening portion and the third opening portion formed on the front surface of the cabinet 100, A second opening / closing door 102, and a third opening / closing door 103, which are rotatably coupled to the cabinet 100 so as to be rotatable. The third opening and closing door 103 is provided with a switch for operating the blowing unit 240 installed in the third space 150, which will be described later. A cabinet 100 is mounted on the lower portion of the cabinet 100 so as to be movable.

상기 제1집진유닛(200)은 필터부(210)와, 분사부(220)와, 수거부(230)와, 송풍부(240), 분배덕트(250), 제1출입지지부(260)를 구비한다.The first dust collecting unit 200 includes a filter unit 210, a jetting unit 220, a rejection unit 230, a blowing unit 240, a distribution duct 250, and a first access support unit 260 Respectively.

상기 필터부(210)는 상기 제1공간부(110)에 설치되어 상기 유입구를 통해 상기 제1공간부(110)로 유입되는 공기에 포함된 이물질을 필터링하는 것으로서, 다수의 카트리지 필터(211)와 상기 카트리지 필터(211)를 지지하는 지지플레이트(212)를 포함한다. 상기 지지플레이트(212)에는 카트리지 필터(211)가 설치되는 위치와 대응되는 위치에 카트리지 필터(211)를 통과한 공기가 제2공간으로 흘러들어갈 수 있도록 카트리지의 개수와 대응되는 개수의 제2통과구멍이 형성되어 있다. 상기 지지플레이트(212)는 고정볼트(213)를 통해 제1격벽(120)의 저면에 밀착고정된다.The filter unit 210 is provided in the first space unit 110 and filters foreign substances contained in the air flowing into the first space unit 110 through the inlet. The filter unit 210 includes a plurality of cartridge filters 211, And a support plate 212 for supporting the cartridge filter 211. The support plate 212 is provided with a number of second passages (not shown) corresponding to the number of the cartridges 211 so that air passing through the cartridge filter 211 can flow into the second space, Holes are formed. The support plate 212 is tightly fixed to the bottom surface of the first partition 120 through the fixing bolts 213.

상기 분사부(220)는 상기 제1공간부(110) 상측의 상기 제2공간부(130)에 설치되어 상기 필터부(210)를 향하여 고압의 공기를 분사하여 상기 필터부(210)에 잔재하는 이물질을 제거하는 것으로서, 후술하는 송풍부(240)의 가동이 중지된 상태에서 카트리지 필터(211)의 내측 공간을 향하여 강한 압축공기를 분사하도록 되어 있다. 상기 분사부(220)는 카트리지 필터(211)의 개수와 대응되는 개수의 분사노즐(221) 구비하며, 각각의 분사노즐(221)은 카트리지 필터(211)의 중앙에 위치하도록 배치 및 하방으로 소정길이 연장되어 있다.The jetting unit 220 is installed in the second space 130 on the upper side of the first space unit 110 and injects high pressure air toward the filter unit 210, And is configured to inject strong compressed air toward the inner space of the cartridge filter 211 in a state in which the operation of the air supply portion 240, which will be described later, is stopped. The jetting unit 220 is provided with a number of jetting nozzles 221 corresponding to the number of the cartridge filters 211 and each jetting nozzle 221 is disposed so as to be positioned at the center of the cartridge filter 211, The length is extended.

상기 수거부(230)는 상기 필터부(210)의 하부에 배치되어 상기 분사부(220)에 의해 상기 필터부(210)로부터 이탈되어 낙하하는 이물질을 수거하는 것으로서, 캐비닛(100)의 하부에 서랍식으로 인출가능하게 설치되며, 이물질을 수용하기 위한 수용공간을 갖는 수거함(231)을 구비한다.The rejection unit 230 is disposed below the filter unit 210 and collects foreign substances dropped from the filter unit 210 by the jetting unit 220, And a collecting box (231) installed to be drawable in a drawer type and having a receiving space for accommodating foreign substances.

상기 제1출입지지부(260)는 상기 필터부(210)를 상기 제1격벽(120)에 대하여 지지 및 상기 제1개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 제1격벽(120)에 설치되는 것으로서, 상기 제1격벽(120)의 저면에 카트리지 필터(211)들이 설치된 지지플레이트(212)의 좌우폭에 대응하는 간격으로 이격되게 설치된 제1가이드(261)와, 상기 제1가이드(261)를 따라 이동할 수 있도록 상기 지지플레이트(212)의 양측 단부에 하방으로 절곡 형성된 걸림부(262)를 포함한다.The first and second support members 260 are installed in the first partition 120 so as to support the filter unit 210 with respect to the first partition 120 and allow the filter unit 210 to pass through the first opening, A first guide 261 spaced apart from the bottom of the first partition 120 by a distance corresponding to the width of the support plate 212 provided with the cartridge filters 211, And an engaging part 262 bent downward at both side ends of the support plate 212.

상기 제1가이드(261)는 상기 필터부(210)를 인출시킬 때, 하방으로 경사지게 인출시킬 수 있도록 캐비닛(100)의 내부로부터 캐비닛(100) 전면을 향하여 경사지게 형성되어 있다.The first guide 261 is inclined from the inside of the cabinet 100 toward the front of the cabinet 100 so that the first guide 261 can be inclined downward when the filter unit 210 is drawn out.

상기 송풍부(240)는 상기 제2공간부(130) 상측의 상기 제3공간부(150)에 설치되어 상기 공간부 외부의 공기를 상기 공간부 내부로 유입시키도록 흡입력을 제공하는 것으로서, 구동모터(241)와, 송풍팬(242)과, 분산덕트(243) 및 제2출입지지부(270)를 포함한다.The air supply unit 240 is installed in the third space 150 on the upper side of the second space 130 to provide a suction force to introduce air outside the space into the space, A motor 241, a blowing fan 242, a dispersing duct 243, and a second loading /

상기 분산덕트(243)는 상기 제2공간부(130)로부터 상기 제3공간부(150)로 유입되는 공기가 상기 제3공간부(150)의 일 측으로만 편중되어 상부로 빠져나가는 것을 방지하도록 상기 제2공간부(130)로부터 이동하는 공기를 상기 제3공간부(150) 전역으로 분산되게 배출시키는 것으로서, 상기 제2격벽(140)에 형성된 제2통과구멍 주변에 하단이 안착되는 안착플레이트(244)와, 상기 안착플레이트(244)의 상방으로 연장되고 내부에 상기 송풍팬(242)을 회전가능하게 장착할 수 있도록 중공부가 형성된 측벽부(245)와, 상기 측벽부(245)의 상부를 폐쇄하며 상기 송풍팬(242)을 회전구동시키기 위한 구동모터(241)가 고정 설치되는 상판(246)을 구비한다.The air flowing into the third space 150 from the second space 130 can be prevented from escaping to the upper side of the third space 150 by the dispersing duct 243 And a lower end of the second space 140 is formed with a lower end seated around the second through hole formed in the second space 140, A side wall portion 245 extending upward from the seating plate 244 and having a hollow portion for rotatably mounting the blowing fan 242 therein, And a top plate 246 to which a driving motor 241 for rotating and driving the blowing fan 242 is fixed.

상기 측벽부(245)는 구동모터(241)에 의해 회전되는 송풍팬(242)에 의해 제2공간부(130)로부터 제3공간부(150)로 흡입되는 공기가 제3공간부(150)에 전역으로 퍼져나갈 수 있도록 서로 다른 네 방향에 각각 배출구가 형성되어 있다. 그리고, 상기 측벽부(245)는 소정의 길이와 폭을 가지며 길이방향을 따라 원호 형상으로 굴곡지게 형성된 다수의 분할플레이트들을 세워 형성하며, 상기 송풍팬(242)을 중심으로 나선 구조를 이루도록 배치되어 있다.The air sucked from the second space 130 to the third space 150 by the air blowing fan 242 rotated by the driving motor 241 is transmitted to the third space 150 through the side wall 245, Respectively, so that they can be spread over the whole area. The side wall part 245 has a predetermined length and width and is formed by forming a plurality of partitioning plates bent in an arc shape along the longitudinal direction and is arranged to form a spiral structure around the blowing fan 242 have.

상기 제2출입지지부(270)는 상기 송풍부(240)를 상기 제2격벽(140)에 대하여 지지 및 상기 제3개구부를 통해 출입시킬 수 있도록 상기 송풍부(240)와 상기 제2격벽(140)에 설치되는 것으로서, 제2격벽(140) 상에 캐비닛(100)의 전면으로부터 후면을 향하여 연장되고 상기 안착플레이트(244)의 좌우 폭 방향 양측에 각각 상기 안착플레이트(244)와 인접하도록 배치된 제2가이드(274)와, 일 측이 상기 안착플레이트(244)의 가장자리에 고정되고 타 측은 상기 안착플레이트(244)와 멀어지게 연장되어 상기 제2가이드(274)의 상방에 위치하는 고정브라켓(271)과, 상기 고정브라켓(271)에 나사결합되어 상하로 이동가능하게 된 높이조절용 로드(272)와, 상기 높이조절용 로드(272)의 하단을 일부를 회전가능하게 수용하는 수용부(273)와, 상기 수용부(273)의 하부에 결합되어 상기 제2가이드(274)에 구름접촉되면서 상기 제2가이드(274)를 따라 왕복 이동하는 바퀴부(275)를 포함한다.The second loading and unloading support part 270 supports the air inflow part 240 and the second partition wall 140 so that the air inflow part 240 can be supported by the second partition wall 140, And is disposed on the second partition wall 140 so as to be adjacent to the seating plate 244 on both sides in the left and right width direction of the seating plate 244 extending from the front face to the rear face of the cabinet 100 A second guide 274 and a fixing bracket 244 which is fixed to the edge of the seating plate 244 at one side and extends away from the seating plate 244 at a position above the second guide 274 A height adjustment rod 272 which is screwed to the fixing bracket 271 so as to be vertically movable and a receiving portion 273 which rotatably receives the lower end of the height adjusting rod 272, And a second coupling portion (273) coupled to a lower portion of the accommodating portion (273) As the rolling contact (274) comprises a wheel portion (275) that reciprocates along the second guide (274).

상기 분배덕트(250)는 상기 유입구를 통해 상기 제1공간부(110)로 유입되는 공기가 상기 필터부(210)의 일 측으로만 편중되는 것을 방지하도록 상기 제1공간부(110)의 내측을 따라 설치되어 있다.The distribution duct 250 is disposed inside the first space part 110 so as to prevent the air flowing into the first space part 110 from being biased to only one side of the filter part 210 through the inlet. It is installed according to.

상기 분배덕트(250)는 제1공간부(110)로 유입되는 공기가 유입구와 인접한 위치에 배치된 카트리지 필터(211)를 통해서만 제2공간으로 유입되는 것을 방지하도록 유입구를 통해 제1공간부(110)로 유입되는 공기가 제1공간부(110)의 가장자리 영역을 따라 이동할 수 있도록 안내한다.The distribution duct 250 is connected to the first space part 110 through an inlet to prevent the air introduced into the first space part 110 from flowing into the second space only through the cartridge filter 211 disposed at a position adjacent to the inlet. 110 to move along the edge region of the first space portion 110. [

상기 분배덕트(250)는 상단부와 하단부가 캐비닛(100)의 내주면에 밀착고정되고, 상단부와 하단부 사이에는 공기가 이동할 수 있는 공기통로를 형성하도록 캐비닛(100)의 내주면과 이격되게 융기된 중앙부(255)를 가진다. The distributing duct 250 is fixed to the inner circumferential surface of the cabinet 100 by an upper end portion and a lower end portion of the distributing duct 250. A center portion 255).

상기 분배덕트(250)의 길이방향 양측 단부는 각각 폐쇄되어 있으며, 상기 중앙부(255)에는 공기통로를 따라 이동하는 공기가 제1공간부(110)의 중앙 측을 향하도록 즉, 카트리지 필터(211)를 향하여 이동할 수 있도록 관통된 배출구멍(256)들이 길이방향을 따라 소정간격 이격되게 형성되어 있다.In the center portion 255, the air flowing along the air passage is directed toward the center of the first space portion 110, that is, the cartridge filter 211 The discharge holes 256 are formed to be spaced along the longitudinal direction by a predetermined distance.

상기 제2집진유닛(300)은 상기 캐비닛(100)의 상부에 설치되며, 상기 제3공간부(150)를 통과하는 공기에 포함된 이물질을 대전시키는 방전극과 대전된 이물질을 포집하는 집진극을 구비하는 전기집진부(320)를 포함한다.The second dust collecting unit 300 is installed at an upper portion of the cabinet 100 and includes a discharge electrode for charging foreign substances contained in the air passing through the third space 150 and a dust collecting electrode for collecting charged foreign substances And an electric dust collecting unit 320 provided therein.

상기 전기집진부(320)는 캐비닛(100)의 상부에 결합된 케이스(310) 내부에 설치되어 있으며, 상기 케이스(310)는 하부로부터 전치필터(321)를 장착하기 위한 제1장착공간과, 제1장착공간의 상측에 이온화장치(322)를 장착하기 위한 제2장착공간과, 제2장착공간의 상측에 상기 전기집진부(320)를 장착하기 위한 제3장착공간이 순차적으로 형성되어 있다. 상기 제1장착공간 내지 제3장착공간들은 서로 연통되게 형성되어 있어 제3공간부(150)로부터 유입되는 공기가 제1장착공간을 경유하여 제2장착공간 및 제3장착공간으로 이동할 수 있게 되어 있다.The electric dust collecting unit 320 is installed in a case 310 coupled to an upper portion of the cabinet 100. The case 310 includes a first mounting space for mounting the front filter 321 from below, A second mounting space for mounting the ionizer 322 on the upper side of the first mounting space and a third mounting space for mounting the electric dust collector 320 on the upper side of the second mounting space are sequentially formed. The first mounting space to the third mounting space are formed so as to communicate with each other, so that the air introduced from the third space 150 can be moved to the second mounting space and the third mounting space via the first mounting space have.

상기 케이스(310)의 전면에는 제1장착공간 내지 제2장착공간을 모두 개폐할 수 있도록 도어부가 형성되어 있다. 본 실시 예에서 상기 케이스(310)는 캐니빗과 일체로 형성한 구조를 적용하였으나, 이와 다르게 캐비닛(100)으로부터 분리 내지는 결합시킬 수 있도록 캐비닛(100)과 독립적으로 구성할 수도 있다.A door is formed on the front surface of the case 310 to open and close both the first mounting space and the second mounting space. In the present embodiment, the case 310 is formed integrally with the cannibis. However, the case 310 may be formed independently from the cabinet 100 so as to be separated from or coupled to the cabinet 100.

상기 전치필터(321)는 상기 전기집진부(320)의 하방에 설치되어 비교적 입자가 큰 먼지나 에어로졸을 포집하는 것으로서, 제1장착공간에 입출가능하게 설치되어 있다. 상기 전치필터(321)는 상하를 관통하는 다수의 관통구멍들이 전 영역에 형성되되, 가장자리로부터 내측 중앙을 향하여 점진적으로 직경이 작아지도록 형성된 지지판(321a)과, 지지판(321a)의 일 면에 결합되는 망 형상의 메시부(321b)를 포함한다. The prefilter 321 is provided below the electric dust collection unit 320 to collect relatively large particles or aerosols, and is installed in the first installation space so as to be able to flow in and out. The front filter 321 includes a support plate 321a formed to have a plurality of through holes passing through the top and bottom in the entire area and having a diameter gradually reduced from an edge toward an inner center of the support plate 321a, Like mesh portion 321b.

상기 이온화장치(322)는 공기중의 입자를 중성화시켜 정전기를 방지하는 것으로서 전치필터(321)를 통과하여 전기집진부(320)로 흘러들어가는 공기 중의 입자들을 중성화시키며, 제2장착공간에 출입가능하게 설치되어 있으며, The ionizer 322 serves to neutralize particles in the air to prevent static electricity. The ionizer 322 neutralizes particles in the air flowing into the electric dust collector 320 through the pre-filter 321, In addition,

상기 전기집진부(320)는 제3장착공간에 출입가능하게 설치되어 있으며, 방전극과 집진극을 구비하여 방전극을 통해서는 코로나 방전을 통해 공기 중의 입자를 대전시키고 집진극을 통해서는 대전된 입자를 포집하는 통상적인 전기집진기의 구조를 적용하므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.The electric dust collecting unit 320 is installed in the third mounting space so as to be able to move in and out of the third mounting space. The electric dust collecting unit 320 includes a discharge electrode and a dust collecting electrode. The electric dust collecting unit 320 charges particles in the air through a corona discharge, The structure of the conventional electrostatic precipitator is applied, so that a detailed description thereof will be omitted.

한편, 도 7 및 도 8에는 도 4에서 설명한 제2출입지지부의 다른 실시 예가 도시되어 있다.On the other hand, Figs. 7 and 8 show another embodiment of the second access support portion shown in Fig.

도 7 및 도 8을 참조하면, 본 실시 예에 따른 제2출입지지부(280)는 안착플레이트(244)의 가장자리 측에 형성된 관통구멍(244A)에 설치되어 상기 안착플레이트(244)를 제2격벽(140)에 대하여 밀착 또는 상방으로 들어올림으로써 제2격벽(140)을 따라 이동시킬 수 있게 지지하는 것으로서, 관통구멍(244A)의 상측에 설치되어 관통구멍(244A)을 폐쇄하며 중앙에 중공이 형성된 원판부(281)와, 상기 원판부(281)의 중앙에 결합되는 너트부재(283)와, 상기 너트부재(283)에 나사체결되는 로드(285) 및 상기 로드(285)를 회전시키도록 상기 로드(285)의 상단에 결합되는 노브(287)와, 상기 로드(285)의 하단에 결합되는 볼캐스터(289)를 포함하여 구성되어 있다.7 and 8, the second access support part 280 according to the present embodiment is installed in the through hole 244A formed on the edge side of the seating plate 244, (Not shown in the drawings) which is provided on the upper side of the through hole 244A so as to close the through hole 244A, A nut 283 coupled to the center of the disk 281 and a rod 285 screwed to the nut 283 and a rod 285 for rotating the rod 285 A knob 287 coupled to the upper end of the rod 285 and a ball caster 289 coupled to the lower end of the rod 285.

본 실시 예에 따른 제2출입지지부(280)는 도 4에 도시된 제2출입지지부(270)와 다르게 제2가이드(274)를 생략한 구조이며, 볼캐스터(289)를 이용하여 안착플레이트(244)를 쉽게 이동시킬 수 있도록 되어 있다.4, a second guide 274 is omitted, and a ball caster 289 is used to engage the seat plate 282 with the use of the ball caster 289. [ 244 can be easily moved.

상기 제2출입지지부(280)는 작업자가 노브(287)를 잡고 볼캐스터(289)가 제2격벽(140)의 상면으로부터 이격되게 로드(285)를 상승시키는 경우 안착플레이트(244)가 제2격벽(140) 상에 밀착되면서 이동 불가능하게 되고, 볼캐스터(289)를 제2격벽(140)의 상면에 닿도록 로드(285)를 하강시키는 경우 안착플레이트(244)가 볼캐스터(289)에 의해 제2격벽(140)과 이격되면서 볼캐스터(289)에 의해 슬라이딩 이동가능한 상태가 되는 것이다.The second access support portion 280 is positioned so that when the operator holds the knob 287 and the ball caster 289 lifts the rod 285 away from the upper surface of the second partition wall 140, When the rod 285 is lowered so that the ball caster 289 contacts the upper surface of the second partition wall 140, the seating plate 244 is brought into contact with the ball caster 289 And is slidably movable by the ball caster 289 while being spaced apart from the second bank 140.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 융합집진기는 도면에 도시된 일 예를 참조하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. I will understand that.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호의 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Therefore, the scope of the true technical protection of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

100 : 캐비닛
110 : 제1공간부
120 : 제1격벽
130 : 제2공간부
140 : 제2격벽
150 : 제3공간부
200 : 제1집진유닛
210 : 필터부
220 : 분사부
230 : 수거부
240 : 송풍부
2550 : 분배덕트
260 : 제1출입지지부
300 : 제2집진유닛
310 : 케이스
320 : 전기집진부
321 : 전치필터100: Cabinet
110: first space part
120: first partition
130: second space part
140: second partition
150: third space part
200: first dust collecting unit
210:
220:
230: Rejection
240:
2550: Distribution duct
260: first access support
300: second dust collecting unit
310: Case
320: electric dust collector
321: Prefix filter

Claims

A cabinet having a first partition and a second partition, each of which has a space formed therein and partitioning the space into a first space, a second space, and a third space;
A filter unit installed in the first space unit to filter foreign substances contained in the air introduced into the first space unit, a high pressure air supply unit installed in the second space unit above the first space unit, A filter unit disposed at a lower portion of the filter unit to collect foreign matter falling off the filter unit and separated from the filter unit; A first dust collecting unit installed in the third space part and providing a suction force to introduce air outside the space part into the space part;
And a second dust collecting unit installed at an upper portion of the cabinet and including a discharge electrode for charging a foreign substance contained in air passing through the third space portion and a dust collecting electrode for collecting charged foreign substances, .

The method according to claim 1,
An inlet opening is formed in a lower side of the cabinet for allowing outside air to flow into the first space portion,
Wherein the first dust collecting unit further comprises a distribution duct installed along the inner side of the first space part to prevent the air introduced into the first space part through the inlet port from being biased to only one side of the filter part. Dust Collector.

The method according to claim 1,
The air blowing unit may include a dispersing duct for dispersing air moving from the second space part to the third space part so as to disperse all over the third space part to prevent the air introduced into the third space part from being biased to only one side of the third space part And the fusing dust collector.

The method according to claim 1,
A first opening portion is formed on a surface of the cabinet at a position corresponding to the first space portion and a first opening and closing door is provided in the first opening portion to open and close the first space portion,
Wherein the first dust collecting unit further comprises a first input / output supporting part provided on the first partition so as to support the filter part with respect to the first partition and to allow the filter part to go in and out through the first opening part.

The method according to claim 1,
A third opening portion is formed at a position corresponding to the third space portion on one side of the cabinet and a third opening and closing door is provided in the third opening portion to open and close the third space portion,
Wherein the first dust collecting unit further comprises a second exit and support portion provided on the second partition so as to support the air blowing portion with respect to the second partition and allow the air to pass through the third opening.