KR20160026124A - 중량물 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 디스플레이 제조공정 중에 증착기에서 소스공급장치와 같은 중량물을 이동시키기 위한 중량물 이송장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 중량물 이송장치는, 베이스; 상기 베이스의 중앙부에 설치되는 장착 플레이트; 상기 장착플레이트 상에 설치되며, 상기 장착플레이트에 그 일측이 연결되는 구동용 아암; 및 상기 구동용 아암과 인접하여 평행하게 설치되며, 그 일측이 장착플레이트와 피봇가능하게 연결되는 종동용 아암; 을 포함하며, 상기 구동용 아암의 타측 상부에는 그 일측이 구동용 아암과 피봇가능하게 연결되는 제1 링크가 구비되고, 상기 종동용 아암의 타측 상부에는 그 일측이 종동용 아암과 피봇가능하게 연결되는 제2 링크가 구비되며, 상기 제1 링크 및 제2 링크는 서로 평행하게 설치되어 구성되며, 상기 제1 링크 및 제2 링크의 일측 상부에는 제1 링크 및 제2 링크를 서로 연결시키는 조인트 링크가 설치되고, 제1 링크 및 제2 링크의 타측 상부에는 제1 링크 및 제2 링크를 서로 연결시키는 이송판이 설치되며, 이송판은 이송플레이트의 상판과 결합된다

Description

중량물 이송장치{TRANSFER EQUIPMENT FOR HEAVY OBJECT}

본 발명은, 중량물 이송장치에 관한 것으로, 특히 디스플레이 제조공정 중에 증착기에서 소스공급장치와 같은 중량물을 이동시키기 위한 중량물 이송장치에 관한 것이다.

최근에는 정보처리 기기에서 처리된 결과를 사용자가 용이하게 인식할 수있도록 기기와 사용자 사이의 인터페이스 역할을 하는 디스플레이 장치의 개발이 지속적으로 이루어지고 있다. 특히 LCD, LED 및 OLED와 같은 디스플레이 장치에서 유리기판 등과 같은 기판은 여러 공정을 거치면서 제조된다.

이러한 공정 중에 증착공정은 유리기판 상에 증착재료를 분사하여 증착시키는데, 화학기상증착법이 널리 쓰이는 대표적인 증착방법이다. 이러한 화학기상증착법은 제조공정에서 기체상태의 반응물(화학물질)을 운반가스와 혼합시켜 챔버 내부로 유입하여 열적 활성화시킨 후 화학반응을 일으켜 기판 위에 고체 상태로 증착시켜 증착층을 형성시키는 것으로, 디스플레이 제조공정 중에 진공챔버의 일정부분에 유리기판을 설치하고, 진공챔버 내에 노즐이 구비된 소스공급장치를 설치하여 상기 노즐을 통해 증착재료인 소스물질을 유리기판 상에 분사하여 증착시킨다.

이러한 증착재료인 소스물질을 유리기판 상에 분사하여 증착시키기 위해서는 소스공급장치를 유리기판 하부에 설치하고, 상기 소스공급장치를 이동시키면서 소스물질을 유리기판 상에 분사하여 증착시키는데, 종래의 소스공급장치 이동방식은 도 1에 도시된 바와 같이 진공챔버(1) 내에서 랙&피니언(2)을 사용하는 구동방식으로 이송플레이트(5) 상에 설치된 소스공급장치(4)를 이동시키거나, 볼스크류(3) 구동방식을 채택하여 소스공급장치(4)를 이동시켰다. 그러나 이러한 방식은 유리기판 상에 소스물질을 분사하는 작업시, 유리기판 상에 증착되지 않은 잔여 물질이 볼스크류 또는 랙&피니언의 결합부위에 고착되는데, 이러한 고착물로 인해 랙&피니언 및 볼스크류의 작동불량이 발생함으로써 소스공급장치가 원할하게 이동하지 못하여, 공정의 효율을 저하시키는 문제가 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, 디스플레이 제조공정 중에 증착기에서 소스공급장치와 같은 중량물을 이동시키기 위한 중량물 이송장치를 제공하는데 있다.

상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 중량물 이송장치는, 베이스(10); 상기 베이스의 중앙부에 설치되는 장착 플레이트(28); 상기 장착플레이트(28) 상에 설치되며, 상기 장착플레이트에 그 일측이 연결되는 구동용 아암(22); 및 상기 구동용 아암(22)과 인접하여 평행하게 설치되며, 그 일측이 장착플레이트(28)와 피봇가능하게 연결되는 종동용 아암(23); 을 포함하며, 상기 구동용 아암(22)의 타측 상부에는 그 일측이 구동용 아암과 피봇가능하게 연결되는 제1 링크(24)가 구비되고, 상기 종동용 아암(23)의 타측 상부에는 그 일측이 종동용 아암과 피봇가능하게 연결되는 제2 링크(25)가 구비되며, 상기 제1 링크(24) 및 제2 링크(25)는 서로 평행하게 설치되어 구성되는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 구동용 아암(22)은, 장착 플레이트(28)와 구동축(21)으로 연결되어, 장착 플레이트(28)에 대해 피봇하며, 상기 제1 링크(24) 및 제2 링크(25)는 구동축 방향으로 연장되고, 상기 제1 링크(24) 및 제2 링크(25)의 일측 상부에는 상기 제1 링크 및 제2 링크를 서로 연결시키는 조인트 링크(26)가 설치되고, 제1 링크 및 제2 링크의 타측 상부에는 제1 링크 및 제2 링크를 서로 연결시키는 이송판(27)이 설치되며, 이송판은 이송플레이트(12)의 상판과 결합된다. 또한 상기 베이스(10)의 길이방향 양측에는 리니어 모션 가이드(LM가이드)(11)가 설치되며, 상기 리니어 모션 가이드에 이송플레이트(12)의 상판으로부터 하부로 연장되는 측판이 연결된다.

이상에서 설명한 것과 같은 특징을 갖는 본 발명의 중량물 이송장치는, 유리기판 상에 소스물질을 분사한 후의 잔여 물질이나 오염물질이 이송장치에 고착되어도 이송장치에는 작동불량이 발생하지 않으며, 이송장치의 구조를 개선함으로써 공정의 효율성이 증대되고, 생산성이 향상될 수 있다.

도 1은 종래 방식의 이송장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 이송장치 및 이송플레이트가 결합된 전체 사시도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 이송장치의 이송작동부 및 이송작동부의 작동을 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 이송작동부의 연속적인 작동 평면도이다.

본 발명은, 중량물 이송장치, 특히 디스플레이 제조공정 중에 증착기에서 진공챔버 내에 설치되는 소스공급장치와 같은 중량물을 이동시키기 위한 이송장치에 관한 것이다.

도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 이송장치의 바람직한 실시예를 설명한다.

본 발명에 따른 중량물 이송장치(20)는, 베이스(10); 상기 베이스의 중앙부에 설치되는 장착 플레이트(28); 상기 장착 플레이트(28) 상에 설치되며, 상기 장착 플레이트에 그 일측이 연결되는 구동용 아암(22); 및 상기 구동용 아암(22)과 인접하여 평행하게 설치되며, 그 일측이 장착 플레이트(28)와 피봇가능하게 연결되는 종동용 아암(23); 을 포함하며, 상기 구동용 아암(22)의 타측 상부에는 그 일측이 상기 구동용 아암(22)과 피봇가능하게 연결되는 제1 링크(24)가 구비되고, 상기 종동용 아암(23)의 타측 상부에는 그 일측이 상기 종동용 아암(23)과 피봇가능하게 연결되는 제2 링크(25)가 구비되며, 상기 제1 링크(24) 및 제2 링크(25)는 서로 평행하게 설치된다.

상기 구동용 아암(22)과 종동용 아암(23)은 일정간격 이격되어 장착 플레이트(28) 상에 설치되는데, 구동용 아암(22)의 내부에는 모터 및 감속기 등과 같은 구동원이 설치되고, 종동용 아암(23)의 내부에는 소스공급장치(30)를 가동시키고, 소스물질을 소스공급장치(30)로 이송시키기 위한 전원케이블 및 증착재료 이송라인(미도시 됨) 등이 설치된다. 그리고 상기 구동용 아암(22)은 장착 플레이트(28)에 구동축(21)으로 연결는데, 구동원의 작동으로 구동축(21)이 피봇(회전)하고, 이와 연결된 구동용 아암(22)이 장착 플레이트(28)에 대해 피봇한다. 상기 장착 플레이트(28)는 베이스(10)에 대해 탈부착 가능하게 나사결합으로 연결하는 것이 바람직한데. 이와같은 나사결합은 이송장치의 유지보수를 용이하게 한다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 구동용 아암(22)이 장착 플레이트(28)에 대해 시계방향으로 회전하게 도시되어 있는데, 이러한 회전방향은 이송장치를 설치하는 위치에 따라 변경될 수도 있다.

상기 제1 링크(24) 및 제2 링크(25)는, 각각 구동용 아암(22) 및 종동용 아암(23)의 상부, 즉, 구동축(21)과 대향하는 구동용 아암의 상부에 구비되어 피봇축을 통해 상기 구동용 아암(22) 및 종동용 아암(23)과 연결되어, 구동축(21) 방향으로 연장되게 구성된다.

그리고, 상기 제1 링크(24) 및 제2 링크(25)의 일측 상부에는 제1 링크 및 제2 링크(24,25)를 서로 연결시키는 조인트 링크(26)가 설치되는데, 상기 조인트 링크(26)의 일측은 피봇축(도면부호 미도시)으로 제1 링크(24) 및 구동용 아암(22)과 연결되며, 조인트 링크(26)의 타측은 피봇축으로 제2 링크(25) 및 종동용 아암(23)과 연결되게 구성된다. 상기의 연결구성은 상부로부터 조인트 링크(26), 링크(24,25) 및 아암(22,23)의 순으로 배치되는 것이다.

상기 제1 링크(24) 및 제2 링크(25)의 타측 상부에는 제1 링크 및 제2 링크를 서로 연결시키는 이송판(27)이 설치되는데, 상기 이송판(27)은 조인트 링크(26)와 대향하는 측에 설치되며, 제1 링크(24) 및 제2 링크(25)에 대해 피봇축으로 피봇가능하게 연결된다. 또한 이송판(27)은 이송플레이트(12)의 상판과 조립 및 분해 가능하게 나사결합되는데, 이와같은 나사결합은 이송판 및 이송플레이트의 유지보수를 용이하게 한다. 바람직하게는, 이송판(27)은 후술될 이송플레이트(12)의 상판 하면에 결합된다. 상기 이송판(27)과 조인트 링크(26)에 의해 제1 및 제2 링크(24,25)가 서로 연결됨으로써, 제1 링크 및 제2 링크가 피봇시에 서로 일정간격을 유지하면서 함께 피봇될 수 있다. 이송판(27)의 일측에는, 상세하게는 제2 링크(25)와의 연결부위에는 소스공급장치(30)와 연결될 전원케이블 및 증착재료 이송라인을 위한 개구(도면부호 미도시)가 구성되어 있으며, 이 개구를 통해 종동용 아암(23)을 통한 전원케이블 및 증착재료 이송라인이 소스공급장치(30)에 연결된다.

상기 이송플레이트(12)는 상판 및 2개의 측판으로 구성되는데, 상기 측판은 상판의 양단으로부터 하부로 연장되게 구성되며, 상기 측판의 하부 끝단은 베이스(10)의 길이방향 양측에 설치되는 리니어 모션 가이드(LM가이드)(11)에 연결된다. 여기에서 상기 이송플레이트(12)의 상부에 소스공급장치(30)가 결합되어 위치되는데, 상기 소스공급장치의 실질적인 하중은 이송플레이트(12) 및 리니어 모션 가이드(11)에 의해 지탱되는 것이다.

이와같이 구성된 이송장치는, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 구동용 아암(22) 내부의 구동원의 작동으로 구동축(21)이 장착 플레이트(28)에 대해 회전(시계 방향)하고, 이때 상기 구동축(21)과 연결된 구동용 아암(22)도 회전하게 된다. 구동용 아암(22)이 회전(시계 방향)하게 되면, 상기 구동용 아암(22)의 상부에 그 일측이 피봇가능하게 피봇축으로 구동용 아암과 연결·설치된 제1 링크(24) 및, 상기 제1 링크(24)와 평행하게 설치되어, 조인트 링크(26)로 상기 제1 링크(24)의 일측과 연결되는 제2 링크(25)가 함께 피봇축을 중심으로 피봇(반시계 방향)된다. 동시에 제2 링크(25)와 피봇축으로 연결된 종동용 아암(23)도 구동용 아암(22)과 동일한 방향으로 회전한다. 이때 제1 및 제 2링크(24,25)의 타측에 설치되어, 제1 및 제2 링크를 서로 연결시키는 이송판(27)은 수평으로 이동하게 되는데, 상기 이송판(27)의 수평이동으로 인해, 이송판(27)과 결합된 이송플레이트(12)도 리니어 모션 가이드(11) 상에서 이송판(27)과 동일방향으로 수평이동을 하게된다. 이와같이 이송플레이트(12)가 수평으로 이동하면, 상기 이송플레이트(12)의 상부에 설치된 소스공급장치(30)도 수평으로 이동하면서 증착재료인 소스물질을 유리기판 상에 분사하는 증착작업이 진행된다.

그리고, 소스공급장치(30)를 최초 이동 방향과 반대로 수평이동시키면서 증착작업을 진행하고자할 때는, 상기 구동축(21)을 처음 방향과 반대(반시계 방향)로 회전시키면 구동용 아암(22)도 반대(반시계 방향)로 회전하고, 상기 제1 링크(24) 및 제2 링크(25)도 함께 반대(시계 방향)로 피봇하며, 동시에 종동용 아암(23)도 구동용 아암(22)과 동일한 방향으로 회전한다. 이때 상기 이송판(27)은 처음 이동방향과 반대로 수평이동함으로서, 이송플레이트(12)도 처음방향과 반대로 수평이동하게 된다. 이와같이 구동축의 회전방향을 조정하여, 이송판(27) 및 이송플레이트(12)를 수평으로 왕복이동시키면서 증착작업을 진행할 수 있다.

일반적으로 증착작업시, 상기 이송장치는 진공챔버 내에 설치되는데, 이때 상기 구동원이 설치된 구동용 아암(22) 및 각종 케이블 및 소스물질 이송라인 등이 설치된 종동용 아암(23)의 내부는 대기상태가 유지되어야 하므로, 피봇축 및 구동축과의 연결부위 등은 씨일링 처리하여 밀봉하고, 소스공급장치의 내부 또한 대기상태가 유지되어야 하므로 장치들의 연결부위 등도 씨일링 처리하여 밀봉하는 것이 바람직하다. 추가로, 본 발명에 따른 이송장치는 비교적 큰 중량의 소스공급장치의 이동을 위해 사용되나, 일반적인 중량물을 이동시키기 위해 사용될 수도 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 게시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이런 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

10.베이스 11.리니어 모션 가이드
12.이송플레이트
20.이송장치 21.구동축
22.구동용 아암 23.종동용 아암
24.제1 링크 25.제2 링크
26.조인트 링크 27.이송판
28.장착 플레이트 30.소스공급장치

Claims (8)

1. 중량물 이송장치에 있어서,
   베이스;
   상기 베이스의 중앙부에 설치되는 장착 플레이트;
   상기 장착 플레이트 상에 설치되며, 상기 장착플레이트에 그 일측이 연결되는 구동용 아암; 및
   상기 구동용 아암과 인접하여 평행하게 설치되며, 그 일측이 장착플레이트와 피봇가능하게 연결되는 종동용 아암; 을 포함하며,
   상기 구동용 아암의 타측 상부에는 그 일측이 구동용 아암과 피봇가능하게 연결되는 제1 링크가 구비되고, 상기 종동용 아암의 타측 상부에는 그 일측이 종동용 아암과 피봇가능하게 연결되는 제2 링크가 구비되며, 상기 제1 링크 및 제2 링크는 서로 평행한 것을 특징으로 하는 중량물 이송장치.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 구동용 아암은, 장착 플레이트와 구동축으로 연결되어, 장착 플레이트에 대해 피봇하는 것을 특징으로 하는 중량물 이송장치.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 제1 링크 및 제2 링크는 구동축 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 중량물 이송장치.
   
4. 제 3항에 있어서,
   상기 제1 링크 및 제2 링크의 일측 상부에는 제1 링크 및 제2 링크를 서로 연결시키는 조인트 링크가 설치되는 것을 특징으로 하는 중량물 이송장치.
   
5. 제 4항에 있어서,
   상기 제1 링크 및 제2 링크의 타측 상부에는 제1 링크 및 제2 링크를 서로 연결시키는 이송판이 설치되며, 이송판은 이송플레이트의 상판과 결합되는 것을 특징으로 하는 중량물 이송장치.
   
6. 제 5항에 있어서,
   상기 베이스의 길이방향 양측에는 리니어 모션 가이드(LM가이드)가 설치되며, 상기 리니어 모션 가이드에 이송플레이트의 상판으로부터 하부로 연장되는 측판이 연결되는 것을 특징으로 하는 중량물 이송장치.
   
7. 제 4항에 있어서.
   상기 제1 링크, 제2 링크 및 조인트 링크는 피봇축을 통해 각각 구동용 아암과 종동용 아암에 연결되는 것을 특징으로 하는 중량물 이송장치.
   
8. 제 1항에 있어서,
   상기 종동용 아암은 장착플레이트에 피봇축으로 연결되는 것을 특징으로 하는 중량물 이송장치.
   
   
   
   
   
   
   

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