KR20160022196A - Jig system with playing torsion angle for uniform deposition of structural article - Google Patents

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Abstract

The present invention aims to solve a problem that a coating dead zone is formed when a matrix to be coated has a complex shape. To this end, the present invention provides a jig system which operates so as to allow a matrix to perform secondary torsional rotation for assigning a torsion angle, in addition to rotation and revolution, thereby minimizing a coating dead zone. Also, the present invention provides a jig system which allows matrices to perform a vertical movement at the same time, thereby eliminating a coating dead zone. In particular, the present invention allows a jig to be operated so that a matrix shaped to form a helix angle, such as a milling tool or a drilling tool, performs torsional rotation which is synchronized with the torsion angle of the matrix.

Description

구조물의 균일 증착을 위하여 비틀림각을 연출하는 지그시스템{JIG SYSTEM WITH PLAYING TORSION ANGLE FOR UNIFORM DEPOSITION OF STRUCTURAL ARTICLE}[0001] JIG SYSTEM WITH PLAYING TORSION ANGLE FOR UNIFORM DEPOSITION OF STRUCTURAL ARTICLE [0002]

본 발명은 코팅 장치에서 피코팅 물체를 고정하여 주는 지그에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는, 다양한 형상을 갖는 물품에 균일한 코팅을 하기 위하여 코팅 공정 중 물품이 코팅되는 방향에 변화를 주도록 구동되는 지그 시스템에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a jig for fixing an object to be coated in a coating apparatus, and more particularly to a jig which is driven to change a direction in which an article is coated in a coating process Jig system.

모재에 코팅을 함으로써 원하는 물성을 강화할 수 있어, 모재 선택의 폭을 넓힐 수 있다는 것은 경제적인 면에서 및/또는 가공의 난이도를 낮춘다는 점에서 모두 유익하다. 밀링 장비, 드릴공구와 같은 절삭 공구의 커터 부분의 내마모성과 윤활성 강화를 위해서도 그러한 물성을 갖는 물질을 코팅 처리할 수 있다. 또한, 다양한 물품의 제조를 위한 다양한 형상의 금형 내면에도 윤활성과 내구성을 구비한 물질을 코팅하는 것이 바람직하다. 기능성 코팅은 모재를 좀 더 저렴하고 가공성이 좋은 것으로 선택할 수 있게 하여준다. The desired physical properties can be enhanced by coating the base material, and the ability to broaden the base material selection is beneficial in terms of economy and / or lowering the difficulty of processing. Materials having such properties can also be coated for wear resistance and lubricity of the cutter parts of cutting tools such as milling equipment and drill tools. In addition, it is preferable to coat a material having lubricity and durability on inner surfaces of various shapes of molds for manufacturing various articles. Functional coatings make it possible to choose the base material to be cheaper and more processable.

문제는, 이와 같이 가공을 마친 물품에 코팅을 하는 것이 쉽지 않다는 점이다. 평면이 아닌 복잡한 형상에 균일한 두께로 코팅 막이 입혀져야 공구나 금형이 제기능을 할 수 있는데, 입체적인 부분에 대해 균일한 코팅을 형성하기는 것은 용이하지 않기 때문이다. The problem is that it is not easy to coat such finished products. It is not easy to form a uniform coating on the three-dimensional part because the coating film should be coated uniformly on the complex shape rather than on the flat surface so that the tool or the mold can function.

이른바 3차원 코팅을 하기 위해, 팩 세멘테이션법 등이 있지만, 물품별로 팩을 만들어 그 안에 물품을 넣고 열처리 등으로 코팅하여야 하기 때문에 양산성이 떨어진다. In order to form so-called three-dimensional coating, there is a pack cementation method. However, mass production is deteriorated because packs are made for each article and the article is put in the article and it is coated by heat treatment or the like.

코팅하고자 하는 입체 물품의 균일한 코팅을 위해 물품을 자전 및/또는 공전시키는 경우도 있다(대한민국 공개특허 제10-2013-0016574호 참조). 그러나 이러한 시도 역시 다양한 형상에 균일한 코팅을 형성하는 데에는 한계가 있다. The article may be rotated and / or revolved to uniformly coat the three-dimensional article to be coated (see Korean Patent Publication No. 10-2013-0016574). However, such attempts also have limitations in forming uniform coatings on various shapes.

따라서 본 발명의 목적은 입체 구조 물품에 대해 균일한 코팅을 입힐 수 있도록 구동되는 새로운 지그 시스템을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a new jig system that is driven to provide a uniform coating on a three-dimensional article.

상기 목적에 따라 본 발명은, 코팅하고자 하는 모재를 자전, 공전에 더하여 비틀림각을 부여하는 2차적인 비틀림 자전을 하도록 구동되어 코팅 사각지대를 최소화한 것을 특징으로 하는 지그 시스템을 제공한다. According to the above object, the present invention provides a jig system in which a base material to be coated is rotated and twisted by adding a twist angle to rotate, thereby minimizing a coating blind spot.

또한, 본 발명은 모재들로 하여금 상하운동도 병행되게 하여 코팅 사각지대를 없앤 지그 시스템을 제공한다. In addition, the present invention provides a jig system in which base materials are simultaneously moved up and down to remove coating blind spots.

특히, 본 발명은, 밀링 공구와 드릴 공구와 같이 헬릭스 각을 이루는 형상을 한 모재에 대해서 모재의 비틀림각도에 동기화된 비틀림 자전 운동을 하도록 지그를 구동하게 한다. Particularly, the present invention drives a jig to perform a torsional rotational motion synchronized with a twist angle of a base material with respect to a base material having a helix angle, such as a milling tool and a drill tool.

본 발명에 따르면, 모재를 고정한 지그의 자전, 공전, 2차적인 자전에 따라 다양한 형상의 모재에 대해 코팅층의 사각(死角)지대를 없애고 모재 구석구석 균일한 코팅을 입힐 수 있다. According to the present invention, it is possible to eliminate the dead zone of the coating layer and apply a uniform coating to the base material in various shapes of the base material according to the rotation, rotation, and secondary rotation of the jig fixing the base material.

또한, 본 발명의 지그 시스템은 양산성이 있으며, 특히, 헬릭스 각을 이루는 절삭공구의 커터 부분에 대해 지그의 2차적인 자전시 비틀림 각을 동기화함으로써 균일한 입체 코팅을 효율적으로 실시할 수 있다. In addition, the jig system of the present invention is mass-producible, and in particular, a uniform three-dimensional coating can be efficiently performed by synchronizing the twist angle during the secondary rotation of the jig with respect to the cutter portion of the cutting tool having the helix angle.

도 1은 일반적인 코팅용 지그의 개요도이다.
도 2는 일반적인 절삭공구의 커터 부분을 보여주는 사진이다.
도 3는 본 발명에 따른 코팅용 지그시스템의 동작을 설명하기 위한 개요도이다.
도 4는 본 발명의 지그시스템의 비틀림 각 연출을 설명하는 개요도이다.
도 5는 본 발명의 지그시스템의 구성을 설명하기 위한 지그와 모터연결부의 결합을 보여주는 단면구성도이다.
도 6은 본 발명의 지그시스템의 구동을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 지그시스템의 상하운동을 설명하기 위한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 지그시스템의 전체적인 레이아웃을 보여주는 단면도 모음이다. 1 is a schematic view of a general coating jig.
2 is a photograph showing a cutter portion of a general cutting tool.
3 is a schematic view for explaining the operation of the coating jig system according to the present invention.
4 is a schematic diagram for explaining the twist angle representation of the jig system of the present invention.
5 is a cross-sectional view showing the combination of a jig and a motor connection portion for explaining the configuration of the jig system of the present invention.
6 is a cross-sectional view for explaining driving of the jig system of the present invention.
7 is a cross-sectional view for explaining the vertical movement of the jig system of the present invention.
8 is a cross-sectional view illustrating the overall layout of the jig system of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1을 보면 일반적인 코팅시스템이 나와 있다. Figure 1 shows a typical coating system.

챔버에는 아르곤 가스와 같은 캐리어 가스를 주입하는 주입구(1)와 코팅막을 형성할 반응가스 주입구(2)가 있고, 모재(3)가 지그(100)에 고정되어 있다. 코팅 재료가 되는 고체 타깃(4)이 챔버 내에 설치될 수 있으며, 챔버 내부를 진공화하기 위해 진공펌프가 연결되는 배기구(5)가 있다. 도 1에 도시된 지그(100)는 두 개의 회전축을 구비하여 모재를 공전 및 자전시킬 수 있다. The chamber has an injection port 1 for injecting a carrier gas such as argon gas and a reactive gas injection port 2 for forming a coating film and the base material 3 is fixed to the jig 100. A solid target 4 to be a coating material can be installed in the chamber, and there is an exhaust port 5 to which a vacuum pump is connected to evacuate the inside of the chamber. The jig 100 shown in Fig. 1 is provided with two rotation shafts so that the base material can revolve and rotate.

도 2에는 엔드밀 공구와 드릴 공구가 도시되어 있고, 특히, 45°의 헬릭스 각도로 가공된 커터 부분이 도시되어 있다. 이러한 헬릭스 각도로 가공되었기 때문에 생긴 요철부분은 코팅 사각지대가 될 수 있다. 헬릭스 각도가 클수록 코팅사각지대도 확장된다. 모재의 자전과 공전이 어느 정도 사각지대를 줄여줄 수 있지만 헬릭스형의 커터 블레이드에는 타깃에서 날아오는 입자에 대해 수직을 이루지 않는부분이 있어 사각지대가 상기 운동으로 완전히 커버 되지 못한다. Figure 2 shows an end mill tool and a drill tool, in particular a cutter section machined to a helix angle of 45 [deg.]. The uneven portion formed due to this helix angle machining can become a coating blind spot. The larger the helix angle, the wider the coating blind spot. Although the rotation and rotation of the base material can reduce the blind spot to some extent, the helix type cutter blade has a portion not perpendicular to the particles coming from the target, so that the blind spot can not be completely covered by the movement.

즉, 챔버 내에 플라즈마를 생성하여 원자들과 이온들이 운동하는데, 직선운동을 하게 된다. 타깃이 챔버 벽면에 부착된 경우, 플라즈마에 의해 타깃으로부터 도출되는 원자와 이온들은 직진하여 코팅될 모재에 도달하게 되고, 모재가 정지되어 있으면 타깃과 평행을 이루어 마주보는 부문에만 코팅이 이루어진다. 따라서 모재를 자전/공전시켜줌으로써 코팅입자들에 노출이 되기 어려운 부분도 다른 부분과 함께 균일한 코팅이 이루어지게 한다. That is, plasma is generated in the chamber, atoms and ions move, and linear motion occurs. When the target is attached to the wall of the chamber, the atoms and ions derived from the target by the plasma are advanced straight to reach the base material to be coated. When the base material is stopped, the coating is performed only in the region facing parallel to the target. Therefore, by rotating the base material, it is possible to uniformly coat the portions where the coating particles are hardly exposed.

본 실시예에서는 도 2의 공구들과 같이 헬릭스 각도를 갖는 등 복잡한 입체 형상을 한 모재에 대해 사각지대를 없앤 균일코팅을 이루기 위해 도 3과 같이 지그의 운동을 좀 더 다양화시킨 지그 시스템을 구성하였다. In this embodiment, a jig system in which the motion of the jig is further diversified as shown in FIG. 3 is constructed to achieve a uniform coating in which a dead zone is removed from a base material having a complicated three-dimensional shape, such as a helix angle, Respectively.

도 3의 지그시스템은 자전, 공전 외에 비틀림 각도를 연출할 수 있게 하였다. 지그의 비틀림각도 연출은 모재에 형성된 형상에 맞추어 이루어질 수 있다. 특히, 헬릭스 각을 갖는 공구 모재의 경우, 헬릭스 각도만큼 기울여주는 비틀림각도 연출은 코팅 입자들에 노출된 부분에 대해 상대적으로 사각지대에 놓인 헬릭스 각을 이루는 부분을 코팅 입자에 정면으로 노출시켜 준다. The jig system shown in Fig. 3 makes it possible to produce a twist angle in addition to rotation and revolution. The torsional angle of the jig can be adjusted to the shape formed on the base material. Particularly, in the case of a tool base material having a helix angle, a torsional angle projection tilting by a helix angle exposes the portion of the helical angle placed on the blind spot relative to the portion exposed to the coating particles to the front surface of the coating particle.

도 3에서 지그시스템은 공전축과 자전축을 구비하며, 이들은 연결되어 있고, 자전 축에는 모재를 고정할 수 있는 홀더가 구비된다. 홀더에는 금형(3-1)과 같은 모재가 고정될 수도 있고, 자전축에 일정 간격을 두고 엔드밀이나 인서트와 같은 모재(3-2)들이 고정될 수도 있다. 경우에 따라 이들 모재는 한 종류들로만 채워 질수 있고 혼합되어 채워질 수도 있다. 3, the jig system includes a revolving shaft and an axis of rotation, which are connected to each other, and a rotating shaft is provided with a holder capable of fixing the base material. The base material such as the mold 3-1 may be fixed to the holder or the base material 3-2 such as an end mill or an insert may be fixed at a predetermined interval on the rotation axis. In some cases, these base materials may be filled in only one kind or mixed.

또한, 도 4와 같이 지그에 의한 자전축 상에서 비틀림 각도로 2차적인 자전을 하도록 구동함으로써 헬릭스 각을 갖는 공구 모재 전체에 대해 균일한 코팅이 이루어지게 한다. Further, as shown in FIG. 4, by driving the jig to make a secondary rotation at a torsion angle on a rotation axis, a uniform coating is achieved on the entire tool base material having a helix angle.

타깃으로부터 도출되는 코팅 입자들에 대해 모재가 좀 더 균일하게 노출되도록 지그 공전축은 상하운동도 주기적으로 겸하도록 할 수 있다. The jig pivotal axis can also serve as a periodic up and down movement so that the base material is more uniformly exposed to the coating particles derived from the target.

이와 같은, 지그 시스템은 모터에 의해 구동될 수 있고, 동력의 전달은 각종 기어를 적용하여 이루어질 수 있다. 챔버 저면에 배치되는 지그시스템은 도 5에서와 같이 모터와 연결된다. 모터는 챔버 외부에 배치되고, 모터의 구동력을 전달하는 수단(벨트, 기어 등)을 경유하여 모터 연결부에 연결되어 챔부 바닥면에 진공을 유지할 수 있게 조립된다. 지그는 챔버 바닥면에서 챔버 외부에 놓여있는 모터연결부와 결합 되며, 지그는 회전될 수 있는 원반(400)을 구비하고 원반의 중심축 하단에서 고정부재로 모터연결부와 조립되고, 상기 중심축 상단에 모재를 고정할 수 있는 홀(hole)을 구비한다. 상기 중심축 상단에서도 고정부재로 모재를 고정할 수 있다. 또한, 중심축 상단에서 벗어나 원반의 다른 지점에 추가적인 모재 홀더 부분을 다수 구비할 수 있다. Such a jig system can be driven by a motor, and the transmission of power can be achieved by applying various gears. The jig system disposed at the bottom of the chamber is connected to the motor as shown in Fig. The motor is disposed outside the chamber and is connected to the motor connection via means for transmitting the driving force of the motor (belt, gear, etc.) so as to be able to maintain a vacuum on the floor of the chamber. The jig is coupled to the motor connection portion lying outside the chamber on the bottom surface of the chamber. The jig has a rotatable disc (400) and is assembled with the motor connection portion by a fixing member at the lower central axis of the disc, And a hole through which the base material can be fixed. The base material can be fixed to the fixing member at the upper end of the central shaft. Further, it is possible to provide a plurality of additional base material holder portions at different points of the master sheet off the top of the central axis.

도 6은 본 발명에 따른 지그시스템에 의해 다수의 모재가 장착되어 자전, 비틀림자전 및 공전될 수 있는 구동수단들을 도시한다. 또한, 지그 원반에 다수의 자전축이 구비되어 있고, 상기 자전축 상에 다수의 모재(500)가 비틀림 자전을 할 수 있도록 장착되어 있는 것을 도시한다. Fig. 6 shows driving means in which a plurality of base materials are mounted by the jig system according to the present invention and can be rotated, twisted, and revolved. Further, it is shown that a large number of rotation axes are provided on the disk of the jig, and a plurality of base materials 500 are mounted on the rotation axis so as to be able to twist.

모터(200)는 챔버 외부에 배치되고, 회전시 구동력이 역시 챔버 외부에 있는 제1 스퍼기어(300)에 전달된다. 제1 스퍼기어(300)의 동력이 챔버 내부의 지그에 전달되도록 샤프트에 의해 지그 원반 회전축과 서로 연결되며 원반 단부에 장착된 제2 스퍼기어(310)가 있다. 제2 스퍼기어(310)의 중심축에는 자전축이 설치된다. 제2 스퍼 기어(310) 외에도 지그 원반의 단부에는 별개의 제3 스퍼기어(320)가 설치되며, 중심축에 자전축이 구비된다. 이러한 자전축을 보유한 스퍼기어는 지그 원반 단부에 대칭적으로 다수 구비될 수 있다. 본 실시예의 경우, 6개를 설치하였다. The motor 200 is disposed outside the chamber, and the driving force at the time of rotation is transmitted to the first spur gear 300, which is also outside the chamber. There is a second spur gear 310 which is connected to the jig disk rotation axis by a shaft so that the power of the first spur gear 300 is transmitted to the jig inside the chamber and which is mounted on the disk end. The second spur gear 310 has a central axis provided with a rotation axis. In addition to the second spur gear 310, a separate third spur gear 320 is provided at the end of the jig disc, and the axis of rotation is provided on the central axis. The spur gear having such a rotation axis can be provided symmetrically on the end of the jig disk. In the case of this embodiment, six are provided.

각각의 스퍼기어의 자전축 상에는 일정 간격을 두고 베벨기어(330)들이 배치된다. 베벨 기어(330)의 중심부를 지지하기 위해 가로방향으로 배치된 바(260)는 직립 스탠드(290)에 고정되어 지지한다. 상기 지지용 바는 베벨 기어(330)가 설치된 자전축에 대해 자전축이 회전 가능하게 되는 기어로 구성된다. The bevel gears 330 are arranged on the rotation axis of each spur gear at regular intervals. To support the center of the bevel gear 330, the bar 260 disposed in the transverse direction is fixedly supported on the upright stand 290. The support bar is composed of a gear whose rotation axis is rotatable with respect to a rotation axis in which the bevel gear 330 is installed.

먼저, 모재의 공전은 지그 원반을 모터(200)에 의해 회전시키는 것에 의한다. 모터(200)가 회전하면, 여기에 연결되어 있는 제1 스퍼기어(spur gear)(300)가 회전하고, 샤프트에 의해 그 회전력이 챔버 내부에 있는 제2 스퍼 기어(310)에 전달되어 제2 스퍼 기어(310)의 회전에 의해 지그 전체가 회전된다. 그에 따라 챔버 내에 모든 모재들은 타깃에 대해 공전하게 된다. First, revolving the base material is performed by rotating the jig original by the motor 200. [ When the motor 200 rotates, the first spur gear 300 connected thereto rotates, and the rotational force of the spur gear 300 is transmitted to the second spur gear 310 in the chamber by the shaft, The entire jig is rotated by the rotation of the spur gear 310. Whereby all of the base materials in the chamber are allowed to revolve relative to the target.

지그 전체가 회전함에 따라 제3 스퍼기어(320)는 별도의 구동 수단 없이 함께 구동하게 된다. 따라서 제2 스퍼기어(310)와 제3 스퍼기어(320)에 의해 모재들은 모두 자전하게 된다. As the entire jig is rotated, the third spur gear 320 is driven together without a separate driving means. Therefore, the base materials are rotated by the second spur gear 310 and the third spur gear 320, respectively.

상술한 바와 같이, 본 발명은 이러한 자전과 공전 외에 헬릭스 각을 갖고 형성된 모재(500)에 대해 균일한 코팅을 제공하기 위해 비틀림 자전이 되게 하였다. 비틀림 자전은 나선형 베벨기어(330)에 의한다. 모재(500)를 나선형 베벨기어(330) 중 이동하는 쪽의 기어부품에 고정하여 이루어질 수 있다. 비틀림각도는 베벨기어의 고정된 쪽 부품의 경사각에 의해 결정되며, 모재 헬릭스 각도와 일치시키는 것이 바람직하다. 베벨 기어에 의한 비틀림자전은 일종의 세차운동과도 같다. 이러한 운동은 헬릭스 형상에 의한 코팅 사각지대를 없애준다. As described above, the present invention causes torsional rotation in order to provide a uniform coating on the base material 500 formed with a helix angle in addition to such rotation and revolution. The torsional rotation is due to the helical bevel gear 330. The base material 500 may be fixed to the moving gear part of the spiral bevel gear 330. [ The twist angle is determined by the inclination angle of the fixed part of the bevel gear, and is preferably coincident with the helix angle of the base material. Torsional rotation by bevel gear is a kind of car wash movement. This movement eliminates the blind spot due to the helix shape.

이와 같은 베벨 기어는 금형과 같은 모재를 코팅할 경우에도 자전 축 상에 설치될 수 있다. Such a bevel gear can be installed on a rotating shaft even when a base material such as a mold is coated.

지그의 전체적인 회전 속도와 모재 각각의 회전속도는 스퍼 기어나 베벨 기어의 기어비를 조정하여 이루어진다. The overall rotational speed of the jig and the rotational speed of each of the base materials are adjusted by adjusting the gear ratio of the spur gear or the bevel gear.

다음은, 모재(500)들을 상하운동시키기 위한 구성과 동작에 대해 설명한다.Next, the structure and operation for moving the base materials 500 up and down will be described.

도 7을 보면, 상하운동(병진운동)을 시키기 위한 서보 모터(600)와 여기에 연결된 볼 스크류(610)가 도시되어 있다. 볼 스크류(610)는 지그 원반의 회전축에 연결되어 있다. Referring to FIG. 7, a servo motor 600 and a ball screw 610 connected thereto are shown for performing up and down movement (translational motion). The ball screw 610 is connected to the rotary shaft of the jig disc.

서버모터(600)가 동작하면 그 구동력으로 인해 볼 스크류(610)가 회전운동을 상하운동으로 전환하여 준다. 그에 따라 지그 원반 전체가 상하로 움직이게 된다. 이때, 원반 직경이 상당한 크기로 되어있어, 상하운동에 의해 좌우 평형이 달라지는 현상이 있을 수 있다. 즉, 어느 한쪽이 처지는 것을 막기 위해 가이드 바(630)를 두어 원반 배면을 지지하게 한다. 여기서 공전축(250)과 자전축(270)이 장착되어 있는 지그 원반 자체를 지지하게 할 수도 있지만, 공전축에 접속된 별도의 원반을 자전축이 장착된 원반 아래 별도의 보조원반(450)을 더 추가하여 상기 가이드 바(630)는 보조원반 배면을 지지하게 하는 것이 바람직하다. 여기서 가이드 바(630)가 보조 원반 배면을 지지하되, 보조원반의 공전이 가능하도록 기어 구조나 볼 조인트 구조를 이용하여 접합부를 구성한다. When the server motor 600 is operated, the ball screw 610 changes the rotational motion to the vertical motion due to the driving force. As a result, the entire disk of the jig moves up and down. At this time, since the diameter of the disk is considerably large, there is a phenomenon that the left-right equilibrium is changed by the up-and-down motion. In other words, a guide bar 630 is provided to support the back surface of the disc to prevent any one from sagging. Here, the original disk 250 itself and the jig original disk on which the rotation axis 270 is mounted may be supported. However, a separate disk connected to the idle shaft may be additionally provided with a separate auxiliary disk 450 below the disk on which the rotating shaft is mounted So that the guide bar 630 supports the auxiliary semifinished surface. Here, the guide bar 630 supports the back side of the auxiliary disk, and the joint is constructed using a gear structure or a ball joint structure so that the auxiliary disk half can be revolved.

가이드 바(630)는 방사 대칭이 되게 다수 설치할 수 있다. A plurality of guide bars 630 may be radially symmetric.

본 실시예에 따른 지그시스템의 전체적인 레이아웃을 도 8의 정단면도, 평단면도 및 측단면도로 나타내었다. The overall layout of the jig system according to the present embodiment is shown in the front sectional view, the flat sectional view and the side sectional view in Fig.

이와 같이 하여 복잡한 형상을 갖는 모재에 대해 코팅 사각지대를 없앨 수 있는 지그시스템을 구현할 수 있다. Thus, a jig system capable of eliminating a coating blind spot on a base material having a complicated shape can be realized.

한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.It should be noted that the embodiments of the present invention disclosed in the present specification and drawings are only illustrative of specific examples for the purpose of understanding and are not intended to limit the scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.

1, 2: (가스) 주입구
3, 500: 모재
4: 타깃
5: 배기구
100: 지그
200: 모터
250: 공전축
270: 자전축
290: 스탠드
300: 제1 스퍼기어
310: 제2 스퍼기어
320: 제3 스퍼기어
330: 베벨기어
400: 원반
450: 보조원반
500: 모재
600: 서보 모터1, 2: (gas) inlet
3, 500: Base material
4: Target
5: Exhaust
100: jig
200: motor
250: revolution axis
270:
290: Stand
300: first spur gear
310: second spur gear
320: third spur gear
330: Bevel gear
400: disc
450: Assistance class
500: base metal
600: Servo motor

Claims (6)

챔버 내에서 모재를 코팅하기 위해 모재를 고정하는 지그시스템으로서,
공전 축;
상기 공전축에 접속되어 공전되며 별도의 자전을 할 수 있는 하나 이상의 자전 축;
상기 자전 축 상에 장착되는, 비틀림 자전을 위한 하나 이상의 회전 부재;
상기 비틀림 자전을 위한 회전 부재에 모재를 고정하는 고정부재;및
공전, 자전 및 비틀림자전을 위한 구동수단;을 포함하여,
상기 모재를 코팅 공정 중 공전, 자전 및 비틀림 자전 되게 하는 것을 특징으로 하는 지그시스템. A jig system for fixing a base material for coating a base material in a chamber,
Revolution axis;
At least one rotating shaft connected to the revolving shaft and revolving and capable of rotating independently;
At least one rotating member mounted on said axis of rotation for torsional rotation;
A fixing member for fixing the base material to the rotary member for twisting rotation;
And driving means for rotating, revolving and twisting,
Wherein the base material is made to rotate, rotate, and twist during the coating process. 제1항에 있어서, 상기 지그시스템은, 상기 공전축을 상하운동시키기 위한 구동수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 지그시스템. The jig system according to claim 1, wherein the jig system further comprises driving means for moving the revolving shaft up and down. 제1항에 있어서, 공전과 자전을 위한 구동수단으로서,
모터;
상기 모터와 공전축 사이를 매개하는 제1 스퍼기어;및
상기 공전 축과 자전 축을 매개하는 샤프트에 접속되어 자전 축을 자전시키는 제2 스퍼기어;를 포함하고,
비틀림 자전 구동 수단으로서,
자전 축 상에 설치되는 베벨 기어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 지그시스템. The driving device according to claim 1,
motor;
A first spur gear interposed between the motor and the idle shaft;
And a second spur gear connected to the shaft that rotates the revolving shaft and the rotating shaft to rotate the rotating shaft,
As the torsional rotation driving means,
And a bevel gear installed on the rotation axis. 제1항에 있어서, 상기 지그시스템은 원반을 포함하여, 상기 공전 축과 자전 축은 원반의 중심과 반지름 방향으로 직진 된 곳에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 지그시스템. [2] The jig system according to claim 1, wherein the jig system includes a disc, wherein the revolving shaft and the rotating shaft are respectively installed in the center of the disc and straight in the radial direction. 제4항에 있어서, 상기 지그시스템은 상기 원반으로부터 아래쪽으로 공전축에 접속된 보조원반을 더 포함하고,
공전 축으로부터 반지름 방향으로 직진하여 서로 방사 대칭을 이루는 지점들에, 공전축의 상하운동에 의해 처짐 현상이 발생 될 수 있는 자전축의 처짐 방지를 위해 보조원반의 배면을 지지하되, 보조원반이 공전가능하게 지지하는 가이드 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 지그시스템. 5. The apparatus according to claim 4, wherein the jig system further comprises an auxiliary member half connected to the idle shaft from the disc,
The back surface of the auxiliary member half is supported so that the auxiliary member half can rotate so as to prevent the rotation axis from sagging which may cause sagging due to the upward and downward movement of the orbiting shaft at the points which are radially symmetric with each other, And a guide member for guiding the jig. 제3항에 있어서, 모재가 헬릭스 각을 구비한 경우, 상기 베벨 기어는 모재에 형성된 헬릭스 각도에 맞추어 모재가 동일한 각도로 기울어져 회전되도록 설계되는 것을 특징으로 하는 지그시스템.





4. The jig system according to claim 3, wherein when the base material has a helical angle, the bevel gear is designed to be rotated by inclining the base material at the same angle in accordance with the helix angle formed in the base material.





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