KR20160016591A - 가요성 박막 구조의 표시 셀에 광학 기능 필름을 첩합하는 방법 - Google Patents

가요성 박막 구조의 표시 셀에 광학 기능 필름을 첩합하는 방법 Download PDF

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Abstract

진공 흡착 기능을 구비한 흡착판을 이용하는 일 없이, 수지 기재상에 형성된 가요성 박막 구조의 표시 셀을 유리 기판과 같은 내열성 기판과 함께 다음 공정에 이송할 수 있는, 가요성 박막 구조의 표시 셀의 취급 방법을 제공하는 것이다.
가요성 박막 구조의 광학 표시 셀에 광학 기능 필름을 첩합하는 방법을 제공한다. 이 방법은, 수지 기재와, 상기 수지 기재상에 형성된, 가요성 박막 구조로 표시면을 가지는 적어도 1개의 표시 셀로 이루어지는 셀 마더 보드가, 내열성 마더 기판상에 지지된 마더 보드 구조체를, 상기 표시 셀의 상기 표시면이 상향이 되는 상태로 전송방향으로 보내고, 이 과정에 있어서, 상기 전송방향으로 보내지는 마더 보드 구조체의 상기 표시 셀의 표시면에, 점착제층을 형성한다. 그 다음에, 표시 셀의 표시면에 점착제층이 형성된 마더 보드 구조체를 전송방향으로 보내면서, 상기 전송방향으로 늘어지는 장척 테이프 형상의 광학 기능 필름을 표시 셀의 표시면에 형성된 점착제층에 접촉시켜, 광학 기능 필름을 표시 셀에 접합하고, 상기 장척 테이프 형상의 광학 기능 필름에 의해 마더 보드 구조체를 상면에서 지지한 상태로, 상기 광학 기능 필름의 이동에 의해, 마더 보드 구조체를 상기 전송방향으로 보내, 장척 테이프 형상의 상기 광학 기능 필름에 의해 지지되어, 전송방향으로 보내지는 마더 보드 구조체로부터 내열성 마더 기판을 박리한다.

Description

가요성 박막 구조의 표시 셀에 광학 기능 필름을 첩합하는 방법{Method for laminating an Optically Functional Film to a Display Cell of a Flexible Thin Film Structure}
본 발명은, 가요성 박막 구조의 표시 셀에 광학 기능 필름을 첩합하는 기술 분야에 관한 것이다. 특히 본 발명은, 한정적인 의미는 아니지만, 유기 EL 표시 셀과 같은 가요성 박막 구조로 형성할 수 있는 표시 셀에 광학 기능 필름을 첩합하는 기술에 관한 것이다.
유기 EL 표시 셀은, 가요성 박막 구조로 형성할 수 있기 때문에, 상기 표시 셀을 사용하는 표시장치를 곡면으로 구성하거나, 표시장치 전체를 가요성으로 구성하여 롤 감기 또는 절곡 가능하게 하는 것도 가능하다. 그러나, 이런 종류의 표시 셀은, 가요성의 박막 구조이기 때문에, 표시장치를 제조하는 단계에서의 표시 셀의 취급은 용이하지 않다.
또, 스마트 폰 또는 태블릿 사이즈의 표시장치에 사용되는 비교적 작은 치수의 표시 셀은, 하나의 기판상에 다수의 셀을 형성함으로써 제조된다. 이러한 비교적 작은 화면 사이즈의 유기 EL 표시 셀을 공업적으로 제조하는 방법을 기재한 문헌으로서, 한국 특허 출원 공개 공보 10－1174834호(특허 문헌 1)가 있다. 이 특허 문헌 1에 기재된 방법에 의하면, 유리 기판 위에 폴리이미드 수지와 같은 수지의 막을 형성하여, 이 수지막에 의해 필름 형상 표시 셀 형성을 위한 기재로 한다. 그리고, 상기 기재상에, 종횡의 복수열로 배치된 다수의 표시 셀을 형성하고, 그 전면을 공정 필름에 의해 덮고, 그 다음에, 상기 표시 셀이 형성된 기재를 유리 기판으로부터 박리한다. 그 후, 공정 필름이 첩합된 상태로, 개개의 필름 형상 표시 셀을 분단하고, 개개의 필름 형상 표시 셀의 일변에 형성된 전기 접속용의 전기 단자를 구비하는 단자 부분이 노출이 되도록, 상기 단자 부분에 대응하는 개소에 있어서, 상기 공정 필름을 벗김으로써, 개개의 필름 형상 표시 셀을 형성한다.
이러한 유리 기판상에 형성된 표시 셀에 대해, 이후의 처리를 위해서 필요하게 되는 여러 가지의 필름을 첩합하는 공정에 있어서는, 일반적으로, 진공 흡인 기능을 구비한 가동의 지지대를 사용한다. 그리고, 유리 기판상의 수지 기재와 그 위에 형성된 복수의 표시 셀을, 유리 기판을 아래로 한 상태로 상기 지지대상에 흡착 보관 유지하고, 표시 셀의 표면에 필요에 따라서 보호 필름을 첩합한다. 그 다음에, 보호 필름을 첩합한 표시 셀을 유리 기판과 함께, 유리 기판 박리 위치까지 반송한다. 그 후, 상기 유리 기판 박리 위치에 있어서, 수지 기재상의 표시 셀의 상면을, 진공 흡착 기능을 구비한 흡착판에 의해 파지하고, 동시에, 가동 지지대의 진공 흡인을 해제하여 유리 기판을 가동 지지대로부터 떼어내어, 흡착판에 의해서 상방에서 지지하는 상태로 한다. 그리고, 유리 기판의 하측으로부터 레이저 조사를 행하는 등의 방법에 의해, 유리 기판을 수지 기재로부터 박리한다. 이 레이저 조사에 의한 방법은, 예를 들면 국제 공개 공보 WO2009／104371 A1(특허 문헌 2)에 기재되어 있다. 그 다음에, 수지 기재의 하면에 이면 보호 필름을 첩합하여 표시 패널을 형성한다.
또한, 이런 종류의 표시 패널에는, 표시면 측으로부터 입사한 외광이 표시 셀의 어느 것인가의 개소에서 반사되어 표시면으로부터 시인 측으로 돌아오는 것을 방지하든지, 적어도 경감하기 위해서, 편광자와 상기 편광자에 첩합된 1／4 파장 위상차 필름으로 이루어지는 광학 기능 필름을 표시면 측에 첩합하는 것이 바람직하다. 이 광학 기능 필름의 첩합시에도, 가요성 박막 구조의 표시 셀을 소정의 위치에 확실히 보관 유지하는 것이 필요하게 된다.
이러한 각 공정을 수행하기 위해서는, 진공 흡인 기능을 구비한 가동의 지지대와, 상기 지지대로부터, 유리 기판과, 그 위에 형성된 수지 기재 및 표시 셀을 수취하기 위해서, 진공 흡착 기능을 구비한 흡착판을 필요로 한다. 그 때문에, 장치 전체가 대규모로 고가가 된다.
한국 특허 출원 공개 공보 10－1174834호 국제 공개 공보 WO2009／104371A1 특개 2007－157501호 공보 특개 2013－63892호 공보 특개 2010－13250호 공보 특개 2013－35158호 공보 특원 2013－070787호 특원 2013－070789호 특허 제 5204200호 특허 제 5448264호
본 발명은, 진공 흡착 기능을 구비한 흡착판을 이용하는 일 없이, 수지 기재상에 형성된 가요성 박막 구조의 표시 셀을 유리 기판과 같은 내열성 기판과 함께 다음 공정에 이송할 수 있는, 가요성 박막 구조의 표시 셀의 취급 방법을 제공하는 것을 해결해야 할 과제로 한다.
본 발명은, 가요성 박막 구조의 광학 표시 셀에 광학 기능 필름을 첩합하는 방법을 제공하는 것이며, 이 방법은, 수지 기재와, 상기 수지 기재상에 형성된, 가요성 박막 구조로 표시면을 가지는 적어도 1개의 표시 셀로 이루어지는 셀 마더 보드(motherboard)가, 내열성 마더 기판상에 지지된 마더 보드 구조체를, 상기 표시 셀의 상기 표시면이 상향이 되는 상태로 전송방향으로 보내는 단계를 포함한다. 이 과정에 있어서, 상기 전송방향으로 보내지는 마더 보드 구조체의 상기 표시 셀의 표시면에, 점착제층을 형성한다.
또한, 표시 셀의 표시면에 점착제층이 형성된 마더 보드 구조체를 전송방향으로 보내면서, 상기 전송방향으로 늘어지는 장척 테이프 형상의 광학 기능 필름을 표시 셀의 표시면에 형성된 점착제층에 접촉시켜, 광학 기능 필름을 표시 셀에 접합하여, 상기 장척 테이프 형상의 광학 기능 필름에 의해 마더 보드 구조체를 상면에서 지지한 상태로, 상기 광학 기능 필름의 이동에 의해, 마더 보드 구조체를 상기 전송방향으로 보낸다. 그리고, 장척 테이프 형상의 상기 광학 기능 필름에 의해 지지되어, 전송방향으로 보내지는 마더 보드 구조체로부터 내열성 마더 기판을 박리한다.
표시 셀의 표시면은, 통상은, 2개의 단변과 2개의 장변을 가지는 직사각형 형상이며, 이 경우, 표시 셀은, 단변 및 장변 중 하나의 변을 따라서 전기 접속 단자를 가진 단자부가 형성된 구성으로 되고, 상기 셀 마더 보드는, 표시 셀의 상기 단자부가 전송방향에 대해 횡 방향이 되는 상태로 상기 전송방향으로 보내지도록 하는 것이 바람직하다. 또, 내열성 마더 기판이 박리된 셀 마더 보드를 전송방향으로 이동하는 광학 기능 필름의 이동에 의해 전송방향으로 보내면서, 상기 내열성 마더 기판이 박리된 셀 마더 보드의 하면에 보호 필름을 첩합할 수 있다.
셀 마더 보드는, 적어도 전송방향에 평행한 종 방향의 열로 배치된 복수의 표시 셀을 포함한 구성으로 할 수 있고, 이 경우, 복수의 표시 셀의 단자부는, 모두 전송방향에 대해 횡 방향이 되는 상태로 상기 전송방향으로 보내지는 것이 바람직하다. 이 경우에 있어서, 셀 마더 보드를 상기 광학 기능 필름과 함께 개개의 표시 셀마다 절단하는 절단 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 방법에 있어서는, 광학 기능 필름은 편광자를 적어도 포함하는 것인 것이 바람직하다. 이 경우에 있어서, 광학 기능 필름은, 편광자와, 1／4 파장 위상차 필름과의 적층체로 하고, 상기 적층체는, 상기 1／4 파장 위상차 필름이 표시 셀에 면하도록 표시면에 첩합되도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 표시 셀은, 유기 EL 표시 셀로 할 수 있다.
본 발명의 방법에 의하면, 유리 기판과 같은 내열성 마더 기판과 셀 마더 보드로 이루어지는 마더 보드 구조체를, 상기 내열성 마더 기판이 아래가 되는 상태로, 전송방향으로 보내면서, 상기 전송방향으로 보내지는 마더 보드 구조체의 상기 표시 셀의 표시면에, 점착제층을 형성하고, 그 점착제층에 장척 테이프 형상의 광학 기능 필름을 접촉시켜, 상기 광학 기능 필름을 표시 셀에 접합하고, 상기 장척 테이프 형상의 광학 기능 필름에 의해 상기 상면에서 상기 마더 보드 구조체를 지지하여 점착 테이프를 전송방향으로 이동시킴으로, 마더 보드 구조체를 상측에서 흡착 보관 유지하는 흡착 보관 유지판이 불필요하게 되고, 장치의 구성을 간략화하는 것이 가능하게 된다.
도 1은, 본 발명의 일실시 형태의 방법에 있어서 사용할 수 있는 광학 표시 셀의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 2는, 비교적 소형의 표시 화면을 가지는 유기 EL 표시 셀의 제조 공정의 일례를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 3은, 본 발명의 방법이 적용되는 셀 집합체 마더 보드의 일례를 나타내는 것이며, (a)는 평면도, (b)는 단면도이다.
도 4(a)(b)(c)(d)는, 표면 보호 필름 박리 동작의 각 단계를 나타내는 도이다.
도 5는, 광학 검사 장치의 구성을 나타내는 개략도로, (a)는 반사 검사 장치를, (b)는 점등 검사 장치를, 각각 나타낸다.
도 6은, 도 2에 나타내는 셀 집합체 마더 보드의 점등 검사를 위한 의사 단자 유니트를 나타내는 평면도이다.
도 7은, 도 6에 나타내는 의사 단자 유니트를 이용해 점등 검사를 행하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 8은, 점착제층 부여 기구의 전체를 나타내는 개략 측면도이다.
도 9(a)(b)(c)(d)(e)는, 본 발명의 일실시 형태에 의한, 셀 집합체 마더 보드에 있어서의 점착제 시트의 첩합 순서를 나타내는 개략도이다.
도 10은, 본 발명의 광학 기능 필름 첩합 방법을 실시하기 위한, 일실시 형태에 의한 광학 표시 패널 제조 장치의 개략도이다.
도 11은, 광학 기능 필름의 일례를 나타내는 확대 단면도이다.
도 12는, 본 발명의 광학 기능 필름 첩합 방법을 실시하기 위한, 다른 실시 형태에 의한 장치의 개략도이다.
도 13은, 표시 셀이 종 일렬로 배치된 실시 형태에 있어서의 점착제층 부여의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 14는, 큰 사이즈의 유연성 시트 구조의 표시 셀을 가지는 셀 마더 보드의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 15는, 도 14에 나타내는 예에 대한 점착제층 부여 동작을 나타내는 사시도이다.
도 1에, 본 발명에 의한 일실시 형태의 방법을 적용할 수 있는 광학 표시 셀(1)의 일례를 나타낸다. 이 광학 표시 셀(1)은 평면 형상이 단변(1a)과 장변(1b)을 가지는 장방형 형상이며, 한편의 단변(1a)을 따라서 소정 폭의 단자 부분(1c)이 형성되어 있다. 이 단자 부분(1c)에는, 전기 접속을 위한 다수의 전기 단자(2)가 배치되어 있다. 광학 표시 셀(1)의 단자 부분(1c)을 제외한 영역이 표시 영역(1d)이 된다. 이 표시 영역(1d)은, 횡 방향의 폭(W)과 종 방향의 길이(L)를 가진다. 본 발명의 방법을 실시하기 위해서는, 광학 표시 셀(1)은 유기 EL 표시 셀인 것이 바람직하지만, 가요성 박막 구조의 표시 셀이면, 본 발명의 방법을 적용할 수 있다. 광학 표시 셀(1)은, 휴대 전화 또는 스마트 폰, 혹은 태블릿 용도의 비교적 소형의 것으로부터, 텔레비젼 용도의 비교적 큰 것까지, 여러 가지의 화면 사이즈를 가지는 것으로 할 수 있다.
도 2는, 스마트 폰 혹은 태블릿 용도와 같은 비교적 소형의 표시 화면을 가지는 유기 EL 표시 셀의 제조 공정의 일례를 개략적으로 나타내는 사시도이다. 이 공정에 있어서는, 내열성 기판으로서 먼저 유리 기판(3)이 준비되고, 상기 유리 기판(3)상에, 내열성 수지 재료, 바람직하게는 폴리이미드 수지가 소정 두께로 도포되고, 건조되는 것에 의해서, 수지 기재(4)가 형성된다. 내열성 수지 재료로서는, 폴리이미드 수지 외, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN), 폴리카보네이트(PC) 등을 사용할 수 있다. 그 외에, 기재의 재료로서는, 특개 2007－157501호 공보(특허 문헌 3)에 기재되어 있는 가요성 세라믹 시트, 혹은, 특개 2013－63892호 공보(특허 문헌 4), 특개 2010－13250호 공보(특허 문헌 5), 특개 2013－35158호 공보(특허 문헌 6)에 기재되어 있는 것 같은 가요성의 유리를 사용할 수도 있다. 가요성 세라믹 시트 또는 가요성 유리를 기재로서 사용하는 경우에는, 유리 기판(3)을 사용할 필요는 없다.
이 수지 기재(4)상에, 복수의 유기 EL 표시 셀(1)이, 주지의 제조 방법에 의해, 종횡의 행렬 형상으로 배열된 상태로 형성되고, 수지 기재(4)와 표시 셀이 셀 집합체 마더 보드(B)를 형성한다. 수지 기재(4)상에 형성된 표시 셀이 1개인 경우에는, 이것을 셀 마더 보드라고 부른다. 그 후, 수지 기재(4)상에 형성된 유기 EL 표시 셀(1)을 덮도록, 표면 보호 필름(5)이 첩합된다. 여기에서는, 셀 집합체 마더 보드(B) 또는 셀 마더 보드가 유리 기판(3)과 같은 내열성 기판에 접합된 상태의 것을 마더 보드 구조체라고 부른다.
도 3(a)은, 표면 보호 필름(5)이 첩합되어 있지 않은, 셀 집합체 마더 보드(B)를 나타내는 평면도이며, 같은 도 (b)는, 도 4의 b－b선에 있어서의 단면도이지만, 표면 보호 필름(5)이 첩합된 셀 집합체 마더 보드(B)가 유리 기판(3)상에 배치된 상태를 나타낸다. 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 셀 집합체 마더 보드(B)에 있어서는, 복수의 광학 표시 셀(1)이, 단자 부분(1c)이 횡 방향으로 향해지는 상태로, 종 방향의 열 및 횡 방향의 행을 구성하도록, 행렬 배치된다. 셀 집합체 마더 보드(B)는, 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 단변(B－1)과 장변(B－2)을 가지는 직사각형 형상이며, 한편의 단변(B－1)의 양단 근방에 마더 보드(B)의 기준점이 되는 기준 표지(m)가, 인자, 각인 그 외의 적당한 수법에 의해 붙여져 있다. 이 기준 표지(m)는, 마더 보드(B)의 위치 결정을 행하는 경우에 기준으로서 참조된다. 광학 필름의 첩합 시에는, 셀 집합체 마더 보드(B)는, 도 3(a)에 화살표(A)로 나타내는 방향, 즉 종 방향으로 보내진다.
유리 기판(3)을 가지는 상태의 셀 집합체 마더 보드(B)는, 광학 표시 셀(1)의 결점 검사를 거친 후에, 유리 기판(3)을 박리하는 유리 기판 박리 위치로 보내진다. 이 유리 기판 박리 위치로의, 유리 기판(3)을 가지는 상태의 셀 집합체 마더 보드(B)의 이송 시에, 본 발명에 의한 광학 기능 필름의 첩합이 행해진다. 유리 기판(3)을 가지는 상태의 셀 집합체 마더 보드(B)를 광학 기능 필름 첩합 위치로 이송하기에 앞서, 셀 집합체 마더 보드(B)의 광학 검사가 행해진다. 이 광학 검사에 대비하여, 셀 집합체 마더 보드(B)로부터 표면 보호 필름(5)을 박리할 필요가 있다. 도 4에, 표면 보호 필름(5)을 박리하는 순서를 나타낸다.
도 4를 참조하면, 셀 집합체 마더 보드(B)는, 가이드(15) 및 지지 기구(13)에 지지된 흡인 보관 유지판(10)상에 진공 흡인력에 의해 보관 유지되고, 도 4(a)에 나타내는 위치에서 표면 보호 필름 박리 위치로 이송되어, 도 4(b)에 나타내는 위치에 있어서 승강기구에 의해 소정 높이까지 상승하게 된다. 이 소정 높이는, 셀 집합체 마더 보드(B)의 표면 보호 필름(5)의 상면이, 한 쌍의 가압 롤(16c)간에 위치하는 점착 테이프(16d)에 소정의 접촉압으로 접촉할 수 있는 높이이다.
승강기구에 의해 소정 높이까지 상승하게 된 셀 집합체 마더 보드(B)는, 그대로 박리용 점착 테이프 구동장치(16)의 하방의 위치로 보내진다. 여기서, 마더 보드(B)의 표면 보호 필름(5)의 상면이, 한 쌍의 가압 롤(16c)의 사이에 있어서 점착 테이프(16d)의 점착면에 가압 상태로 접촉한다. 점착 테이프(16d)의 표면 보호 필름(5)에 대한 접착력은, 표면 보호 필름(5)의 광학 표시 셀(1)에 대한 접착력보다 크며, 따라서, 표면 보호 필름(5)은, 점착 테이프(16d)에 부착하여, 수지 기재(4)상에 배치된 광학 표시 셀(1)로부터 박리된다. 박리된 표면 보호 필름(5)은, 권취 롤(16b)에 의해 점착 테이프(16d)와 함께 권취된다. 표면 보호 필름(5)이 박리된 마더 보드(B)는, 도 (d)에 나타내는 위치에 있어서 승강기구에 의해, 도 4(a)의 위치에 있어서의 이송시의 높이까지 하강하게 되고, 광학 검사 위치로 보내진다.
광학 검사는, 도 5(a)에 나타내는 표면 반사 검사와 도 5(b)에 나타내는 표시 셀(1)의 점등 검사의 2단계로 행해진다. 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 표면 반사 검사의 검사 장치로서, 광원(70)과 수광기(71)가 구비되고, 셀 집합체 마더 보드(B)는 흡인 보관 유지판(10)에 지지된 상태로, 반사 검사 장치의 아래로 이동하게 된다. 이 위치에서, 광원(70)으로부터의 빛이 피검체인 광학 표시 셀(1)의 표면에 쬐어지고, 광학 표시 셀(1)의 표면에서 반사하여 수광기(71)에 입사함으로써, 상기 광학 표시 셀(1)의 표면 결함이 검출된다.
도 5(b)는, 점등 검사의 개요를 나타내는 것으로, 광학 표시 셀(1)의 발광 상태를 검출하기 위한 검출기(72)가 복수개, 일렬로 늘어 놓여져 있다. 도 2에 나타내는 공정에 의해 제조된 셀 집합체 마더 보드(B)는, 복수의 광학 표시 셀(1)이 종횡의 행렬 형상으로 배열된 구성을 가지므로, 이 실시 형태에서는, 셀 집합체 마더 보드(B) 내의 모든 광학 표시 셀(1)이 동시에 여기되도록 하기 위한, 도 6에 나타내는 의사 단자 유니트(75)를 사용한다.
도 6을 참조하면, 의사 단자 유니트(75)는, 셀 집합체 마더 보드(B)의 직사각형 형상에 대응하는 직사각형 형상의 바깥 틀(75a)과, 복수개의 횡살(橫棧)(75b)과, 복수개의 종살(縱棧)(75c)을 구비하고 있어, 바깥 틀(75a) 내에, 셀 집합체 마더 보드(B) 내에 있어서의 광학 표시 셀(1)의 배열에 대응하도록 종횡으로 배열된 직사각형 형상의 창(75d)이 형성되어 있다. 각각의 창(75d)의 하나의 단변을 따라서, 각 광학 표시 셀(1)의 단자 부분에 설치된 단자(2)에 대응하는 위치에, 접속용 단자(76)가 배치되어 있다. 또, 의사 단자 유니트(75)에는, 셀 집합체 마더 보드(B) 내의 각 광학 표시 셀(1)의 단자(2)에 여기 전력을 공급하기 위한 전력 공급 단자(77)가 설치된다.
도 7에, 도 6에 나타내는 의사 단자 유니트(75)를 사용하는 상태를 나타낸다. 의사 단자 유니트(75)는, 바깥 틀(75a)이 셀 집합체 마더 보드(B)의 주연부와 겹쳐지도록, 상기 셀 집합체 마더 보드(B)상에 놓여진다. 이 상태로, 의사 단자 유니트(75)의 창(75d)은, 각각 셀 집합체 마더 보드(B) 내의 광학 표시 셀(1)에 겹쳐진다. 여기서, 의사 단자 유니트(75)에 여기 전력을 공급하면, 셀 집합체 마더 보드(B)의 광학 표시 셀(1)의 모두가, 동시에 여기 상태가 된다. 거기서, 검출기(72)에 의해 각 셀(1)의 작동 상태를 각 발광색에 대해 검사한다. 이 의사 단자 유니트(75)를 사용함으로써, 복수의 광학 표시 셀을 가지는 마더 보드에 있어서, 모든 셀을 일제히 여기 상태로서 검사를 행하는 것이 가능하게 된다.
광학 검사를 종료한 셀 집합체 마더 보드(B)는, 다음에, 점착제층 부여 기구(20)를 구비하는 점착제층 부여 위치로 보내진다. 도 8은, 점착제층 부여 기구(20)의 전체를 나타내는 개략 측면도이다.
점착제층 부여 기구(20)는, 장척의 점착제 테이프(21)를 롤 형상으로 감은 점착제 테이프 롤(22)을 구비한다. 점착제 테이프(21)는, 한 쌍의 구동 롤(23)에 의해 롤(22)로부터 일정한 속도로 조출된다. 본 실시 형태에 있어서는, 점착제 테이프(21)는, 테이프기재(21a)의 한쪽 편의 면에 점착제층(21b)이 형성된 구성이다.
도 8을 참조하면, 한 쌍의 구동 롤(23)에 의해 점착제 롤(22)로부터 조출된 점착제 테이프(21)는, 가이드 롤(24), 상하 방향으로 가동인 댄서 롤(25) 및 가이드 롤(26)과 가이드 롤(27)을 거쳐서 절입 형성 기구(28)에 보내진다. 절입 형성 기구(28)는, 절단칼날(29)과 송출용의 한 쌍의 구동 롤(30)로 이루어진다. 이 절입 형성 기구(28)는, 절입 형성 위치에 있어서 구동 롤(30)을 정지시켜, 점착제 테이프(21)의 전송을 정지시킨 상태로, 절단칼날(29)을 작동시켜, 테이프기재(21e)를 남기고 점착제층(21b) 만, 그 폭 방향으로 절입(28a)을 형성한다. 절입(28a)의 간격은, 마더 보드(B)상의 각 표시 셀(1)의 종 방향의 길이(L)에 대응하는 거리이다. 따라서, 광학 필름은, 절입(28a)에 의해 폭 방향으로 절단되어, 표시 셀의 횡 방향 폭(W)과 종 방법 길이(L)를 가지는 점착제 시트(21c)가 된다. 이와 같이 하여, 테이프기재(21a)상에는, 복수의 점착제 시트(21c)가 연속적으로 형성되고, 이들 점착제 시트(21c)는, 테이프기재(21a)에 지지되어 첩합 위치로 보내진다.
댄서 롤(25)은, 상향으로 탄성적으로 부세(付勢)되고 있으며, 연속적으로 점착제 테이프(21)를 전송방향으로 구동하는 한 쌍의 구동 롤(23)과, 절단 시에는 점착제 테이프(21)의 전송을 정지하고, 절단 종료 후에 소정 거리만큼 구동을 행하는 한 쌍의 구동 롤(30)과의 사이에 테이프 전송의 조정을 행하도록 작용하는 조정 롤이다. 즉, 구동 롤(30)의 정지 기간에 있어서는, 댄서 롤(25)은, 탄성력에 의해 구동 롤(23)의 전송 분을 흡수하도록 상방으로 이동하고, 구동 롤(30)의 작동이 개시되었을 때에, 상기 구동 롤(30)에 의해 점착제 테이프(21)에 더해지는 인장력에 의해, 탄성력에 저항하여 하방으로 이동하도록 동작한다.
절입(28a)에 의해 형성된 일련의 점착제 시트(21c)는, 테이프기재(21a)에 지지된 상태로, 가이드 롤(31) 및 가이드 롤(32)을 거치고, 댄서 롤(25)과 같은 구성의 댄서 롤(33)을 통하여, 가이드 롤(34, 35, 36, 37)에 의해 안내되어 첩합 위치로 보내진다.
첩합 위치에는, 첩합 롤(38)과 캐리어 필름 박리 기구(39)가 구비되어 있다. 첩합 롤(38)은, 상방의 인입 위치와 하방의 가압 위치와의 사이를 가동하게 배치되어 있으며, 테이프기재(21a)에 지지된 연속하는 점착제 시트(21c) 가운데, 선두의 점착제 시트(21c)의 선단이, 첩합 대상의 표시 셀(1)의 선단에 위치 정합한 상태가 되었을 때, 상방 위치로부터 하방의 가압 위치까지 하강하여, 점착제 시트(21c)를 마더 보드(B)상의 표시 셀(1)에 내리눌러서, 그 표시면에 점착제층을 부여한다.
테이프기재 박리 기구(39)는, 첩합 위치에 있어서, 테이프기재(21a)를 예각으로 되접어 꺽어서, 선두의 광학 필름 시트(21c)를 상기 테이프기재(21a)로부터 벗기도록 작용하는 박리 브레이드를 구비한다. 예각으로 되접어 꺾인 테이프기재(21a)를 인취(引取)하기 위해서 테이프기재 권취 롤(40)이 배치된다. 점착제 시트(21c)로부터 벗겨진 테이프기재(21a)는, 가이드 롤(41) 및 한 쌍의 권취용 구동 롤(42)을 거쳐서, 권취 롤(40)에 보내지고, 상기 권취 롤(40)에 권취된다.
구동 롤(30) 및 절단칼날(29)의 작동은, 도 8에는 나타내지 않은 제어장치에 의해 제어된다. 즉, 제어장치는, 마더 보드(B)상의 표시 셀(1)의 치수 및 위치에 관한 정보를 격납하고 있어, 표시 셀(1)의 종 방향 길이(L)의 정보에 근거해 제어장치가 구동 롤(30)의 구동과 절단칼날(29)의 작동을 제어하고, 표시 셀(1)의 종 방향 길이(L)에 대응하는 길이 방향 간격으로, 점착제 테이프(21)에 절입(28a)을 형성한다. 또, 첩합 위치의 상류 측에는, 점착제 시트(21c)의 선단을 검출하는 시트 위치 검출 장치(43)가 설치되어 있어, 첩합 위치로 보내지는 점착제 시트(21c)의 선단 위치에 대한 정보를 제어장치에 제공한다. 이 점착제 시트 선단 위치 정보는, 제어장치에 격납되고, 제어장치는, 이 점착제 시트 선단 위치 정보와, 흡인 보관 유지판(10)으로부터 취득한 마더 보드(B)의 위치 정보에 근거해, 구동 롤(30)과 권취용 구동 롤(42)의 작동을, 흡인 보관 유지판(10)의 움직임에 대응시켜 제어하고, 테이프기재(21a)로부터 벗겨진 점착제 시트(21c)의 선단이, 첩합 위치에 있는 마더 보드(B)상의 첩합이 행해지는 표시 셀(1)의 선단에 위치 정합하도록 조절한다. 위치 정합이 달성되면, 점착제 시트(21c)와 마더 보드(B)는, 동기한 속도로 보내진다. 첩합 롤(38)이 하방의 가압 위치로 하강하고, 점착제 시트(21c)를 표시 셀(1)의 표시면에 내리누른다. 이와 같이 하여, 표시 셀(1)로의 점착제층의 부여가 행해진다.
도 9는, 점착제 시트(21c)를, 마더 보드(B)상에 있어서 종횡의 행렬 형상으로 배열된 표시 셀(1)에 차례차례 첩합하는 순서의 일례를 나타내는 개략도이다. 이 도시 예에 있어서는, 첩합 기구(20)는, 전송방향에 대한 횡 방향 위치가 고정되어 있으며, 마더 보드(B)를 보관 유지하는 흡인 보관 유지판(10)은, 지지 기구(13)상에 횡 방향 이동이 가능하도록 취부((取付)되어 있다. 도 9(a)에 나타내는 바와 같이, 마더 보드(B)의 위치는, 최초로 좌단의 표시 셀 열의 선두의 표시 셀(1)이 첩합 위치로 위치 결정되도록 제어된다. 이 상태로, 도 8에 관련해 전술한 것처럼, 점착제 시트(21c)가 좌단 열 선두의 표시 셀(1)의 표시부(1d)에 첩합된다.
그 다음에, 흡인 보관 유지판(10)을 횡 방향으로 움직임으로써, 마더 보드(B)가 전송방향에 대해서 좌횡 방향으로, 표시 셀 열의 횡 방향 간격에 상당하는 거리만큼 변위하게 된다. 이 횡 변위에 의해, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 좌로부터 2번째의 열의 선두의 표시 셀(1)이 첩합 위치로 위치 결정된다. 그리고, 전술과 같은 동작에 의해, 이 표시 셀(1)의 표시부(1d)에 점착제 시트(21f)가 첩합된다. 그 후, 같은 조작에 의해 마더 보드(B)가 좌횡 방향으로 변위하게 되고, 점착제 시트(21c)의 첩합이 행해진다. 표시 셀(1)이 3열로 배치되어 있는 도시 예의 경우에는, 이것으로 선두의 표시 셀로의 점착제 시트(21c)의 첩합은 완료한다. 이 상태를 도 9(c)에 나타낸다.
다음에, 각 종렬에 있어서의 표시 셀(1)의 간격에 상당하는 거리만큼 흡인 보관 유지판(10)이 전송방향으로 구동되고, 우단의 열의 선두로부터 2번째의 표시 셀(1)이 첩합 위치로 위치 결정되고, 똑같이 하여, 도 9(d)에 나타내는 바와 같이, 이 셀(1)의 표시부(1d)에 점착제 시트(21c)가 첩합된다. 그 후, 도 9(e)에 나타내는 바와 같이, 마더 보드(B)가 전송방향으로 구동되고, 동일한 조작에 의해, 점착제 시트(21c)의 첩합을 한다.
도 10은, 본 발명의 광학 기능 필름 첩합 방법을 실시하기 위한, 일실시 형태에 의한 광학 표시 패널 제조 장치(80)의 개략도이다. 상술의 공정에 의해, 모든 표시 셀(1)에 대한 점착제 시트(21c)의 첩합이 완료하면, 마더 보드(B)는, 흡인 보관 유지판(10)상에 보관 유지된 상태로, 도 10에 나타내는 광학 표시 패널 제조 장치(80)에 보내진다.
이 장치(80)는, 테이프 조출 롤러(81)와, 복수의 안내 롤러(84a, 84b, 84c, 84d, 84e)를 구비한다. 테이프 조출 롤러(81)에는, 테이프 형상의 광학 기능 필름(83)의 롤(83a)이 취부된다. 광학 기능 필름(83)은, 도 11에 나타내는 바와 같이, 편광자(83b)의 양측에 TAC 필름과 같은 보호 필름(83c)이 첩합된 장척 웹 형상의 편광 필름과, 점착제층(83e)을 개재시켜 상기 편광 필름에 접합된 장척 웹 형상의 1／4 파장(λ) 위상차 필름(83d)으로 이루어지는 적층 구성이다. 편광자(83b)와 위상차 필름(83e)은, 상기 편광자(83b)의 흡수축과 위상차 필름(83e)의 지상축 또는 진상축이 45°±5°의 범위의 각도로 교차하도록 배치한다. 이 광학 기능 필름(83)은, 장척의 연속 웹 형상이지만, 그 폭은, 마더 보드(B)상에 복수열로 배치된 표시 셀 전체의 상면을 덮을 수 있는 횡 방향 폭을 가진다. 다른 태양에 있어서는, 광학 기능 필름(83)은, 도 11에 나타내는 구성에 있어서, 편광 필름과 1／4 파장 위상차 필름(83d)과의 사이에 1／2 위상차 필름을 개재시킨 것으로 할 수 있다. 이 경우의 1／위상차 필름의 지상축 또는 진상축은, 상기 편광자(83d)의 흡수축에 대해 15°±5°의 범위의 각도로 교차하도록 배치하고, 1／2 파장 위상차 필름의 지상축 또는 진상축과 1／4 파장 위상차 필름(83d)의 지상축 또는 진상축과는 60℃±5°의 각도로 교차하도록 배치한다.
대체적으로는, 각각의 광학 기능 필름이 마더 보드(B)상에 복수열로 배치된 표시 셀(1)의 각각의 횡 방향 폭(W)에 대응하는 폭을 가지도록 구성된 광학 기능 필름(83)의 롤(83a)을, 마더 보드(B)상의 표시 셀(1)의 종 방향의 열의 수에 상당하는 수만큼, 횡 방향에 병렬로 배치하고, 각각의 열의 표시 셀(1)의 표시면에 광학 기능 필름(83)을 동시에 첩합하도록 할 수도 있다.
본 실시 형태의 경우, 편광자(83b)의 흡수축은, 상기 편광자(83b)의 길이 방향에 평행으로 하여, 위상차 필름(83d)의 지상축이, 상기 위상차 필름(83d)의 길이 방향에 대해서 45°±5°의 범위의 각도만큼 경사 방향으로 향한 구성으로 한다. 이를 위해서는, 위상차 필름(83d)의 제조 단계에서, 이 필름을 경사 연신할 필요가 있다. 이 경사 연신에 관해서는, 특원 2013－070787호(특허 문헌 7), 특원 2013－070789호(특허 문헌 8)에 상세한 기재가 있어, 이들 문헌에 기재된 방법에 의해 연신된 위상차 필름을 사용할 수 있다. 또, 위상차 필름(83d)으로서, 위상차가 파장에 따라서 단파장 측일수록 작아지는 역분산 특성을 가진 필름을 사용할 수 있다. 역분산 특성을 가지는 위상차 필름은, 특허 제 5204200호(특허 문헌 9), 특허 제 5448264호(특허 문헌 10) 등에 기재가 있어, 본 실시 형태의 방법에 있어서는, 이들 특허 명세서에 기재된 역분산 특성의 위상차 필름을 사용할 수 있다.
광학 기능 필름(83)은, 롤(83a)로부터 조출되어, 점착제층(83c)이 하향이 되도록, 안내 롤러(84b, 84c, 84d, 84e)의 하측의 주행로를 따라서 수평 방향으로 통해진다. 광학 표시 셀(1)의 표시면에 점착제 시트(21c)가 첩합된 셀 집합체 마더 보드(B)는, 상기 마더 보드(B)에 접합되어 있는 유리 기판(3)과 함께, 흡인 보관 유지판(10)상에 보관 유지된 상태로, 수평 방향으로 늘어지는 캐리어 테이프(83)의 하방의 위치로 보내진다.
도 10에 나타내는 광학 표시 패널 제조 장치(80)는, 광학 기능 필름 첩합 위치(I)와, 유리 기판 박리 위치(II)와, 점착제층 부여 위치(III)와, 복합 필름 첩합 위치(IV)와, 광학 표시 셀 절단 위치(V)를 가진다. 광학 표시 셀(1)의 표시면에 점착제 시트(21c)가 첩합된 셀 집합체 마더 보드(B)와, 유리 기판(3)은, 광학 기능 필름 첩합 위치(I)에 도달하기 전에, 흡인 보관 유지판(10)의 지지 기구(13)에 설치한 높이 조절 기구를 이용하여 높이 조절된다. 조절되는 높이는, 셀 집합체 마더 보드(B)상의 광학 표시 셀(1)에 첩합된 점착제 시트(21c)가, 광학 기능 필름(83)의 위상차 필름(83d)에 소정의 접촉압으로 접촉하도록 한 높이이다. 높이 조절된 흡인 보관 유지판(10)상의 셀 집합체 마더 보드(B) 및 유리 기판(3)은, 도 10에 있어서 좌로부터 2번째의 안내 롤러(84b)의 아래로 이송된다. 여기서, 롤(83a)로부터 조출된 광학 기능 필름(83)은, 그 위상차 필름(83d)이 안내 롤러(84b)에 의해서 셀 집합체 마더 보드(B)상의 점착제 시트(21f)에 내리눌러진다. 이와 같이 하여, 광학 기능 필름(83)이 셀 집합체 마더 보드(B)에 접합된다.
이 과정에 있어서, 광학 기능 필름(83)은, 도 10에 화살표(A)로 나타내는 전송방향으로, 흡인 보관 유지판(10)과 동기한 속도로 구동된다. 셀 집합체 마더 보드(B)가 광학 기능 필름 첩합 위치(I)를 통과하는 동안에, 셀 집합체 마더 보드(B)상의 모든 표시 셀의 점착제 시트(21c)에 광학 기능 필름(83)이 접합된다. 셀 집합체 마더 보드(B)가 광학 기능 필름 첩합 위치(I)를 빠져나간 다음에, 흡인 보관 유지판(10)의 진공 흡인력이 해제되고, 셀 집합체 마더 보드(B)와 유리 기판(3)은, 광학 기능 필름(83)에 의해서만 지지받는 상태가 된다.
광학 기능 필름(83)에 지지된 셀 집합체 마더 보드(B)와 유리 기판은, 다음에 유리 기판 박리 위치(II)로 보내진다. 이 위치(II)에 있어서, 유리 기판(3)이, 레이저 조사 등의 공지의 방법에 의해, 수지 기재(4)로부터 벗겨진다. 레이저 조사에 의해 유리 기판을 수지 기재로부터 벗기는 기술은, 예를 들면, 국제 공개 공보 WO2009／104371호(특허 문헌 2)에 기재되어 있다. 유리 기판(3)이 벗겨진 셀 집합체 마더 보드(B)는, 점착제층 부여 위치(III)로 보내진다.
점착제층 부여 위치(III)에는, 광학 기능 필름(83)의 상측에 위치하는 안내 롤러(84c, 84d)의 하측에, 광학 기능 필름(83)과 상기 광학 기능 필름(83)에 의해 지지된 셀 집합체 마더 보드(B)를 끼워서 상기 안내 롤러(84c, 84d)에 대향 하도록, 롤러(85a, 85b)가 배치되어 있다. 또한, 점착제층 부여 위치(III)에는, 점착제 테이프 조출 롤러(87)가 설치되어, 상기 조출 롤러(87)상에, 점착제 테이프(86)의 롤(86a)이 지지되어 있다. 점착제 테이프(86)는, 점착제층(86b)과, 상기 점착제층(86b)의 한편의 측에 첩합된 제1의 박리 라이너(86c)와, 상기 점착제층(86b)의 다른 한편의 측에 첩합된 제2의 박리 라이너(86d)로 이루어진다. 롤(86a)로부터 조출된 점착제 테이프(86)는, 안내 롤러(88)를 거치고, 롤러(85a)와 캐리어 테이프(83)에 의해 지지된 셀 집합체 마더 보드(B)와의 사이로 보내진다.
이 과정에 있어서, 점착제 테이프(86)는, 롤(86a)로부터 조출된 후, 안내 롤러(88)에 도달하기 전에, 제1의 박리 라이너(86c)가 박리되고, 점착제층(86b)은 노출된 상태가 된다. 박리된 제1의 박리 라이너(86c)는, 권취 롤러(89a)에 의해 권취된다. 그 다음에, 점착제 테이프(86)는, 노출된 점착제층(86b)이 캐리어 테이프(83)에 지지된 셀 집합체 마더 보드(B)의 하면의 수지 기재(4)에 접하도록, 롤러(84c)와 롤러(85a)의 사이로 보내진다. 점착제층(86b)은, 롤러(84c, 85a)에 의해 셀 집합체 마더 보드(B)의 하면의 수지 기재(4)에 내리눌러져 상기 셀 집합체 마더 보드(B)에 접합된다. 이 상태로, 셀 집합체 마더 보드(B)와 점착제 테이프(86)는, 롤러(84d)와 롤러(85b)의 사이로 보내져, 여기서, 제2의 박리 라이너(86d)가 점착제층(86b)으로부터 박리된다. 박리된 제2의 박리 라이너(86d)는, 권취 롤러(89b)에 의해 권취된다.
점착제층(86b)이 하면에 부여된 셀 집합체 마더 보드(B)는, 광학 기능 필름(83)에 지지되어 복합 필름 첩합 위치(IV)로 보내진다. 이 위치(IV)에는, 복합 필름(90)의 롤(90a)이 배치되어 있어, 상기 롤(90a)로부터 조출된 복합 필름(90)은, 안내 롤러(84e)의 하측에 배치된 안내 롤러(91)에 의해, 안내 롤러(84e)의 하방 위치에 도달한 셀 집합체 마더 보드(B)의 하면에 부여된 점착제층(86b)에 내리눌러진다. 이와 같이 하여, 복합 필름이 셀 집합체 마더 보드(B)에 첩합된다. 그 후는, 셀 집합체 마더 보드(B)는, 상면에 첩합된 광학 기능 필름(83)과, 하면에 첩합된 복합 필름(90)에 의해 지지되게 된다. 광학 기능 필름(83)과 복합 필름(90)과 셀 집합체 마더 보드(B)로 이루어지는 적층체를 전송방향으로 구동하기 위해서, 한 쌍의 구동 롤러(91a, 91b)를 설치할 수 있다. 본 발명의 이 실시 형태에 있어서는, 복합 필름(90)은, 차광 필름의 층과 내충격성과 방열성을 가지는 필름의 층으로 이루어지는 적층체로서 구성된다. 그러나, 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서는, 이 복합 필름을 바꿔서, 통상의 이면 보호 필름을 이용해도 좋다.
상면에 광학 기능 필름(83)이 첩합되고, 하면에 복합 필름(90)이 첩합된 셀 집합체 마더 보드(B)는, 광학 표시 셀 절단 위치(V)로 보내진다. 이 절단 위치(V)에는, 복합 필름(90)을 받는 합성 수지제의 지지 벨트(92)와 절단칼날(93)이 구비되어, 셀 집합체 마더 보드(B)를 절단하여 개개의 광학 표시 셀(1)을 떼어낸다. 이 경우에 있어서, 셀 집합체 마더 보드(B)의 상면에 첩합된 광학 기능 필름(83)은, 각각의 표시 셀(1)의 표시면(1d)의 치수에 맞추어 절단된다. 상술한 절단을 위한 기구 및 동작은 주지이며, 여기에서는 상세한 설명은 생략한다.
도 12에, 본 발명의 광학 기능 필름 첩합 방법을 실시하기 위한 , 다른 실시 형태에 의한 장치를 나타낸다. 이 장치는, 도 10에 나타내는 장치(80)와 대비하여, 기본적인 구성 및 동작이 같음으로, 대응하는 부분은 동일한 부호로 나타내고, 상세한 설명은 생략한다. 도 12에 나타내는 장치가 도 10에 나타내는 장치(80)와 다른 점은, 롤러(84c)와 롤러(85a)의 사이로 통해져 하면에 점착제층(86b)이 부여된 셀 집합체 마더 보드(B)가, 광학 기능 필름(83) 및 제2의 박리 라이너(86d)와 함께, 적층체의 형태로 롤(100)에 권취되는 것이다. 롤(100)에 권취된 적층체는, 다른 공정에 있어서, 롤(100)로부터 조출하여, 복합 필름 첩합 위치(IV) 및 광학 표시 셀 절단 위치(V)에 있어서의 처리를 행할 수 있다.
본 발명의 방법은, 마더 보드(B)상에 종 1열로 배치된 표시 셀(1)에도 적용할 수 있다. 그 일례를 도 13에 나타낸다. 이 경우에 있어서, 표시 셀(1)은, 단자 부분(1c)이 열의 방향에 대해서 횡 방향이 되도록, 마더 보드(B)상에 배치된다. 표시 셀(1)의 표시면(1)으로의 점착제층 부여는, 도 8에 관련해 설명한 동작과 같은 동작에 의해, 열의 선두로부터 순서대로, 미리 절단한 점착제 시트(21c)를, 표시 셀(1)의 표시부(1d)에 첩합함으로써 행할 수 있다.
본 발명의 방법은 또, 비교적 큰 사이즈의 유연성 시트 구조의 표시 셀에도 적용할 수 있다. 그 예를 도 14 및 도 15에 나타낸다. 표시 셀이 유기 EL 셀인 경우에는, 셀 자체를 얇은 두께의 유연성 시트 구조로 할 수 있다. 도 14를 참조하면, 유연성 시트 구조의 광학 표시 셀(101)은, 단변(101a)과 장변(101b)을 가지는 직사각형 형상으로, 단변(101a)을 따라서 위치하는 단자 부분(101c)과, 종 방향의 길이(L)와 횡 방향의 폭(W)을 가지는 표시부(101d)를 가진다. 이 표시 셀(101)은, 제조 단계에서, 폴리이미드와 같은 내열 수지 재료로 이루어지는 기재(102)상에 형성된다. 제조 공정은, 도 3에 대해 설명한 공정과 같고, 유리 기판(3)상에 수지 기재(102)가 필름 형상으로 형성되고, 그 위에, 예를 들면 유기 EL 표시 셀과 같은 광학 표시 셀(101)이 형성된다. 도 3의 경우와 다른 점은, 본 실시 형태에 있어서는, 기재(102)상에 하나의 표시 셀이 형성되는 것이다. 도 3에 관련해 기술한 공정에 있어서와 같이, 기재(102)상에 광학 표시 셀(101)이 형성된 후, 상기 표시 셀(101)의 표시면(101d)에 점착제 시트(21c)가 첩합된다. 본 실시 형태에 있어서는, 이를 위해, 도 8에 나타내는 첩합 기구(20)와 같은 기구를 채용할 수 있다. 이 경우, 테이프 형상의 점착제의 롤(22)로부터 조출된 광학 필름(21)은, 도 16에 나타내는 표시 셀(101)의 폭(W)에 대응하는 폭을 가진다. 도 15에, 첩합부의 구성을 개략적으로 나타낸다. 첩합부에 있어서의 작용은, 도 8에 대해 전술한 것과 같고, 대응하는 부분은 동일한 부호로 나타낸다.
이상, 본 발명을 특정의 실시 형태에 대해 도시하고, 설명했지만, 본 발명은, 도시의 실시 형태로 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 범위는, 특허 청구의 범위의 청구항에 의해서만 정해지는 것이다.
I···광학 기능 필름 첩합 위치
II···유리 기판 박리 위치
III···점착제층 부여 위치
IV···복합 필름 첩합 위치
V···광학 표시 셀 절단 위치
W···횡 방향의 폭
L···종 방향의 길이
B···셀 집합체 마더 보드
1···광학 표시 셀
1a···단변
1b···장변
1c···단자 부분
1d···표시부분
3···유리 기판
4···기재
5···표면 보호 필름
10···흡인 보관 유지판
20···점착제층 부여 기구
21···점착제 테이프
21f···점착제 시트
22···점착제 테이프의 롤
28···절입 형성 기구
28a···절입
29···절단칼날
83···광학 기능 필름
83a···광학 기능 필름의 롤
83b···편광자
83d···1／4 파장 위상차 필름
86···점착제 테이프
90···복합 필름

Claims (9)

  1. 수지 기재와, 상기 수지 기재상에 형성된, 가요성 박막 구조로 표시면을 가지는 적어도 1개의 표시 셀로 이루어지는 셀 마더 보드(Motherboard)가, 내열성 마더 기판상에 지지된 마더 보드 구조체를, 상기 표시 셀의 상기 표시면이 상향이 되는 상태로 전송방향으로 보내는 단계와,
    상기 전송방향으로 보내지는 상기 마더 보드 구조체의 상기 표시 셀의 상기 표시면에, 점착제층을 형성하는 단계와,
    상기 표시 셀의 상기 표시면에 점착제층이 형성된 상기 마더 보드 구조체를 상기 전송방향으로 보내면서, 상기 전송방향으로 늘어지는 장척 테이프 형상의 광학 기능 필름을 상기 표시 셀의 상기 표시면에 형성된 점착제층에 접촉시켜, 상기 광학 기능 필름을 상기 표시 셀에 접합하여, 상기 장척 테이프 형상의 광학 기능 필름에 의해 상기 마더 보드 구조체를 상면에서 지지한 상태로, 상기 광학 기능 필름의 이동에 의해, 상기 마더 보드 구조체를 상기 전송방향으로 보내는 단계와,
    상기 장척 테이프 형상의 광학 기능 필름에 의해 지지되어, 상기 전송방향으로 보내지는 상기 마더 보드 구조체로부터 상기 내열성 마더 기판을 박리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 가요성 박막 구조의 표시 셀에 광학 기능 필름을 첩합하는 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 표시 셀의 상기 표시면은, 2개의 단변과 2개의 장변을 가지는 직사각형 형상이며, 상기 표시 셀은, 상기 단변 및 장변 중 하나의 변을 따라서 전기 접속 단자를 가진 단자 부분이 형성된 구성이며, 상기 셀 마더 보드는, 상기 표시 셀의 상기 단자 부분이 상기 전송방향에 대해 횡 방향이 되는 상태로 상기 전송방향으로 보내지는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 내열성 마더 기판이 박리된 상기 셀 마더 보드를, 상기 전송방향으로 이동하는 상기 광학 기능 필름의 이동에 의해 상기 전송방향으로 보내면서, 상기 내열성 마더 기판이 박리된 상기 셀 마더 보드의 하면에 보호 필름을 첩합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 셀 마더 보드는, 적어도 상기 전송방향에 평행한 종 방향의 열로 배치된 복수의 표시 셀을 포함하고 있고, 상기 복수의 표시 셀의 상기 단자부는, 모두 상기 전송방향에 대해 횡 방향이 되는 상태로 상기 전송방향으로 보내지는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 셀 마더 보드를 상기 광학 기능 필름과 함께 개개의 표시 셀마다 절단하는 절단 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광학 기능 필름은 편광자를 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 광학 기능 필름은, 편광자와, 1／4 파장 위상차 필름과의 적층체로 이루어지는 반사 방지 필름이며, 상기 적층체는, 상기 1／4 파장 위상차 필름이 상기 표시 셀에 면하도록 상기 표시면에 첩합되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 광학 기능 필름은, 편광자와, 1／파장 위상차 필름과, 1／4 파장 위상차 필름이 이 순서로 적층된 적층체로 이루어지는 반사 방지 필름이며, 상기 적층체는, 상기 1／4 파장 위상차 필름이 상기 표시 셀에 면하도록 상기 표시면에 첩합되는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 표시 셀은, 유기 EL 표시 셀인 것을 특징으로 하는 방법.
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10804407B2 (en) 2016-05-12 2020-10-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Laser processing apparatus and stack processing apparatus
TWI567008B (zh) * 2016-06-15 2017-01-21 All Ring Tech Co Ltd Assembly of the components of the transfer device
TWI567011B (zh) * 2016-06-15 2017-01-21 All Ring Tech Co Ltd Method and device for conveying the components of the bonding process
KR102544982B1 (ko) 2016-09-02 2023-06-20 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
JP6739390B2 (ja) * 2017-03-30 2020-08-12 富士フイルム株式会社 有機ｅｌ画像表示装置の製造方法
US11245153B2 (en) 2017-05-18 2022-02-08 Thyssenkrupp Ag Battery housing
KR102609560B1 (ko) * 2017-09-08 2023-12-04 삼성전자주식회사 반도체 제조 장치
WO2019064367A1 (ja) * 2017-09-27 2019-04-04 シャープ株式会社 表示デバイスの製造方法、表示デバイスの製造装置
JP6862330B2 (ja) 2017-10-25 2021-04-21 パナソニック液晶ディスプレイ株式会社 液晶表示装置
WO2019082354A1 (ja) * 2017-10-26 2019-05-02 堺ディスプレイプロダクト株式会社 フレキシブルｏｌｅｄデバイスの製造方法および製造装置
JP6650965B2 (ja) * 2018-06-13 2020-02-19 堺ディスプレイプロダクト株式会社 フレキシブルｏｌｅｄデバイスの製造方法および製造装置
TWI822379B (zh) * 2022-10-06 2023-11-11 萬潤科技股份有限公司 貼合方法及設備

Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS524200B2 (ko) 1973-08-16 1977-02-02
JPH06312837A (ja) * 1993-04-30 1994-11-08 Ii M Techno:Kk 搬送装置
JP2007157501A (ja) 2005-12-05 2007-06-21 Kanazawa Inst Of Technology Ｅｌ素子
WO2009104371A1 (ja) 2008-02-20 2009-08-27 シャープ株式会社 フレキシブル半導体基板の製造方法
JP2010013250A (ja) 2008-07-04 2010-01-21 Asyst Technologies Japan Inc 搬送システム及びコンピュータプログラム
WO2010090087A1 (ja) * 2009-02-03 2010-08-12 コニカミノルタホールディングス株式会社 有機エレクトロニクス素子及びその製造方法
KR101174834B1 (ko) 2012-04-05 2012-08-17 주식회사 다보씨앤엠 공정필름을 이용한 필름형 디스플레이 기판의 제조방법 및 이에 사용되는 필름형 디스플레이 기판 제조용 공정필름
JP2013035158A (ja) 2011-08-04 2013-02-21 Dainippon Printing Co Ltd ガラスフィルム積層体、ガラスフィルム積層体ロール、カラーフィルタ用画素付ガラスフィルム積層体およびガラスフィルム積層体の製造方法
JP2013063892A (ja) 2011-09-02 2013-04-11 Nippon Electric Glass Co Ltd 高屈折率ガラス
JP2013070789A (ja) 2011-09-27 2013-04-22 Terumo Corp シリンジ用プランジャー、シリンジおよびプレフィルドシリンジ
JP2013070787A (ja) 2011-09-27 2013-04-22 Equos Research Co Ltd 歩行支援装置
KR20130112875A (ko) * 2010-08-27 2013-10-14 닛토덴코 가부시키가이샤 광학 기능 필름 연속 롤 및 그것을 사용한 액정 표시 소자의 제조 방법, 및 광학 기능 필름 접합 장치
KR20130113438A (ko) * 2010-08-27 2013-10-15 닛토덴코 가부시키가이샤 광학 기능 필름 연속 롤 및 그것을 사용한 액정 표시 소자의 제조 방법, 및 광학 기능 필름 접합 장치
JP2014021498A (ja) * 2012-07-13 2014-02-03 Samsung Display Co Ltd 表示パネルの製造方法
JP2014037059A (ja) * 2012-08-10 2014-02-27 Nitto Denko Corp 光学表示パネルの製造方法および光学表示パネルの製造システム
JP5448264B2 (ja) 2009-11-19 2014-03-19 三菱化学株式会社 ポリカーボネート樹脂フィルム並びに透明フィルム
JP2014095832A (ja) * 2012-11-09 2014-05-22 Nitto Denko Corp 光学表示パネルの連続製造方法および光学表示パネルの連続製造システム
JP2014116116A (ja) * 2012-12-06 2014-06-26 Hitachi Ltd 有機ｅｌ封止装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4975500B2 (ja) * 2007-03-28 2012-07-11 富士フイルム株式会社 感光性積層体製造装置及び製造方法
JP4669087B1 (ja) * 2009-05-15 2011-04-13 日東電工株式会社 光学表示装置の製造システム及び製造方法
KR101267529B1 (ko) * 2010-10-30 2013-05-24 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블한 유기전계 발광소자 제조 방법
JP6037551B2 (ja) * 2012-09-13 2016-12-07 住友化学株式会社 光学部材貼合体の製造装置
JP6269674B2 (ja) * 2013-07-24 2018-01-31 コニカミノルタ株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、及び、製造装置
JP6213254B2 (ja) * 2014-01-20 2017-10-18 コニカミノルタ株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法

Patent Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS524200B2 (ko) 1973-08-16 1977-02-02
JPH06312837A (ja) * 1993-04-30 1994-11-08 Ii M Techno:Kk 搬送装置
JP2007157501A (ja) 2005-12-05 2007-06-21 Kanazawa Inst Of Technology Ｅｌ素子
WO2009104371A1 (ja) 2008-02-20 2009-08-27 シャープ株式会社 フレキシブル半導体基板の製造方法
JP2010013250A (ja) 2008-07-04 2010-01-21 Asyst Technologies Japan Inc 搬送システム及びコンピュータプログラム
WO2010090087A1 (ja) * 2009-02-03 2010-08-12 コニカミノルタホールディングス株式会社 有機エレクトロニクス素子及びその製造方法
JP5448264B2 (ja) 2009-11-19 2014-03-19 三菱化学株式会社 ポリカーボネート樹脂フィルム並びに透明フィルム
KR20130113438A (ko) * 2010-08-27 2013-10-15 닛토덴코 가부시키가이샤 광학 기능 필름 연속 롤 및 그것을 사용한 액정 표시 소자의 제조 방법, 및 광학 기능 필름 접합 장치
KR20130112875A (ko) * 2010-08-27 2013-10-14 닛토덴코 가부시키가이샤 광학 기능 필름 연속 롤 및 그것을 사용한 액정 표시 소자의 제조 방법, 및 광학 기능 필름 접합 장치
JP2013035158A (ja) 2011-08-04 2013-02-21 Dainippon Printing Co Ltd ガラスフィルム積層体、ガラスフィルム積層体ロール、カラーフィルタ用画素付ガラスフィルム積層体およびガラスフィルム積層体の製造方法
JP2013063892A (ja) 2011-09-02 2013-04-11 Nippon Electric Glass Co Ltd 高屈折率ガラス
JP2013070789A (ja) 2011-09-27 2013-04-22 Terumo Corp シリンジ用プランジャー、シリンジおよびプレフィルドシリンジ
JP2013070787A (ja) 2011-09-27 2013-04-22 Equos Research Co Ltd 歩行支援装置
KR101174834B1 (ko) 2012-04-05 2012-08-17 주식회사 다보씨앤엠 공정필름을 이용한 필름형 디스플레이 기판의 제조방법 및 이에 사용되는 필름형 디스플레이 기판 제조용 공정필름
JP2014021498A (ja) * 2012-07-13 2014-02-03 Samsung Display Co Ltd 表示パネルの製造方法
JP2014037059A (ja) * 2012-08-10 2014-02-27 Nitto Denko Corp 光学表示パネルの製造方法および光学表示パネルの製造システム
JP2014095832A (ja) * 2012-11-09 2014-05-22 Nitto Denko Corp 光学表示パネルの連続製造方法および光学表示パネルの連続製造システム
JP2014116116A (ja) * 2012-12-06 2014-06-26 Hitachi Ltd 有機ｅｌ封止装置

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Publication number Publication date
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