KR20160016587A - 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시 형태의 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법은, 광을 집광하는 마이크로 렌즈 및 상기 마이크로 렌즈에 의해 집광되는 상기 광을 수광하는 수광부를 포함하는 화소가 소정의 간격으로 복수개 배열된 고체 촬상 장치를 갖는 현미 촬영 장치의 상기 마이크로 렌즈 위에 관찰 대상을 배치하고, 상기 마이크로 렌즈 위에 배치된 상기 관찰 대상을 상기 고체 촬상 장치에 의해 촬영하는 방법이다.

Description

현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법{OBSERVATION METHOD USING MICROSCOPE PHOTOGRAPHING DEVICE}
본 출원은, 2014년 7월 31일에 출원된 일본 특허 출원 제2014-156706호의 우선권 이익을 향수하고, 그 일본 특허 출원의 전체 내용은 본 출원에 있어서 원용된다.
본 실시 형태는, 일반적으로 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 광학 현미경을 사용한 관찰 대상의 관찰은, 이하와 같이 행하여진다. 먼저, 적재부에 관찰 대상을 적재한다. 계속해서, 관찰 대상을 조명하고, 관찰 대상에서 반사된 광을, 대물 렌즈, 접안 렌즈 및 기타 렌즈를 포함하는 관찰 광학계에 의해 집광하고, 이들 관찰 광학계를 각각 조정함으로써 원하는 위치에 원하는 배율로 결상시킨다. 이렇게 결상한 상을 접안 렌즈로 관찰함으로써, 관찰 대상을 관찰할 수 있다.
이와 같이, 광학 현미경을 사용한 관찰 방법에 있어서는, 관찰 대상을 관찰할 때, 관찰 대상에서 반사된 광을 원하는 위치에 원하는 배율로 결상시키기 위해서, 관찰 광학계를 개별적으로 조절할 필요가 있다. 또한, 광학 현미경의 시야는 일정하기 때문에, 관찰 대상을 확대할수록, 관찰 대상의 일부분밖에는 한번에 관찰할 수 없다. 관찰 대상의 전체를 관찰하기 위해서는, 예를 들어 관찰 대상을 이동시키는 등, 관찰 대상 위를 주사할 필요가 있다.
이와 같이, 일반적으로 광학 현미경을 사용하여 관찰 대상을 관찰하기 위해서는 번잡한 조작이 필요하다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 관찰 대상을 용이하게 관찰하는 것이 가능한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 제공하는 것이다.
일 실시 형태의 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법은, 광을 집광하는 마이크로 렌즈 및 상기 마이크로 렌즈에 의해 집광되는 상기 광을 수광하는 수광부를 포함하는 화소가 소정의 간격으로 복수개 배열된 고체 촬상 장치를 갖는 현미 촬영 장치의 상기 마이크로 렌즈 위에 관찰 대상을 배치하고,
상기 마이크로 렌즈 위에 배치된 상기 관찰 대상을 상기 고체 촬상 장치에 의해 촬영하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성의 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법에 의하면, 관찰 대상을 용이하게 관찰하는 것이 가능하다.
도 1은 실시예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법에 있어서 사용되는 현미 촬영 장치를 도시하는 단면도.
도 2는 도 1에 도시하는 현미 촬영 장치의 일부를 확대하여 도시하는 도면.
도 3은 도 1에 도시하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 시스템을 모식적으로 도시하는 전기 블록도.
도 4a는 현미 촬영 장치의 적재부 위에 관찰 대상이 배치된 모습을 도시하는 상면도.
도 4b는 도 4a의 부분 단면도.
도 5는 실시예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법에 있어서 사용되는 현미 촬영 장치의 변형예를 도시하는 단면도.
도 6a는 변형예에 관한 현미 촬영 장치의 마이크로 렌즈 위에 관찰 대상이 배치된 모습을 도시하는 상면도.
도 6b는 도 6a의 부분 단면도.
도 7은 제1 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면.
도 8은 제1 응용예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면.
도 9는 제2 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면.
도 10은 제2 응용예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면.
도 11은 제3 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면.
도 12는 제3 응용예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면.
도 13은 제4 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면.
도 14는 제4 응용예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면.
일 실시 형태의 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법은, 광을 집광하는 마이크로 렌즈 및 상기 마이크로 렌즈에 의해 집광되는 상기 광을 수광하는 수광부를 포함하는 화소가 소정의 간격으로 복수개 배열된 고체 촬상 장치를 갖는 현미 촬영 장치의 상기 마이크로 렌즈 위에 관찰 대상을 배치하고, 상기 마이크로 렌즈 위에 배치된 상기 관찰 대상을 상기 고체 촬상 장치에 의해 촬영하는 방법이다.
이하에, 실시예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 실시예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법에 있어서 사용되는 현미 촬영 장치를 도시하는 단면도이다. 도 1에 도시하는 현미 촬영 장치(10)는 고체 촬상 장치(11)와, 촬영 대상을 배치할 수 있는 적재부(12)를 구비한다.
고체 촬상 장치(11)는 복수의 화소(14)가 소정의 간격으로 배열됨으로써 구성되는 센서부를 갖는다. 각 화소(14)는 광을 집광하는 마이크로 렌즈(13) 및, 마이크로 렌즈(13)에 의해 집광되는 광을 수광하는 수광부를 포함하고 있다. 이하에, 이 고체 촬상 장치(11)에 대하여 구체적으로 설명한다.
도 1에 도시하는 고체 촬상 장치(11)에 있어서, 예를 들어 실리콘 등을 포함하는 반도체 기판(15)에는, 복수의 불순물층인 복수의 포토 다이오드층(16)이 배열 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 예를 들어 포토 다이오드층(16)이 수광부가 되지만, 수광부는, 입사되는 광을 수광하여 광전 변환할 수 있으면 되고, 반드시 포토 다이오드층(16)일 필요는 없다.
또한, 복수의 포토 다이오드층(16)이 형성된 반도체 기판(15)의 표면 위에는 중간층(17)이 형성되어 있다. 중간층(17)의 표면 위에는 복수의 마이크로 렌즈(13)가, 배열된 복수의 포토 다이오드층(16)의 위치에 대응하여 배열 형성되어 있다.
또한, 중간층(17)은, 예를 들어 컬러 필터층 등과 같은 파장 선택층, 중간층의 표면 위를 평탄하게 하기 위한 평탄화층 등이다.
이 고체 촬상 장치(11)의 표면 위 중 적어도 센서부 위에는, 촬영 대상을 배치할 수 있는 적재부(12)가 설치되어 있다. 적재부(12)는, 예를 들어 유리 등과 같은, 소정의 파장 대역의 광(예를 들어 가시광)을 투과시키는 투광성을 갖고, 또한 고체 촬상 장치(11)의 마이크로 렌즈(13)와 굴절률이 상이한 수지를 포함한다. 적재부(12)의 형상은 판상이어도 되고, 마이크로 렌즈(13) 위에 매립되는 액상 또는 고체상이어도 된다.
이러한 적재부(12)는 복수의 마이크로 렌즈(13) 위에 복수의 마이크로 렌즈(13)에 접촉하도록 배치되어 있고, 소정의 두께를 갖는다. 또한, 적재부(12)의 두께에 대해서는 후술한다.
이러한 현미 촬영 장치(10)는 광원(18) 아래에 배치된 상태에서 적재부(12)의 표면 위 또는 내부에 관찰 대상을 배치하고, 이렇게 배치된 관찰 대상을 고체 촬상 장치(11)에 있어서 촬영함으로써, 관찰 대상을 관찰할 수 있다. 또한, 광원(18)은 예를 들어 현미 촬영 장치(10)가 배치되는 방의 형광등 등의 조명 기기여도 되고, 관찰 대상을 보다 상세하게 촬영하기 위하여 설치된 촬영 전용 광원이어도 된다.
도 2는 이상에 설명한 현미 촬영 장치(10)의 일부를 확대하여 도시하는 도면이다. 이하에, 도 2를 참조하여, 상술한 현미 촬영 장치(10)에 대해서, 보다 상세하게 설명한다. 이 현미 촬영 장치(10)는 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터 소정의 거리 L 이내에 배치되는 관찰 대상을 촬영할 수 있다. 여기서, 소정의 거리 L이란, 고체 촬상 장치(11)의 마이크로 렌즈(13)의 시야각 θ 및 고체 촬상 장치(11)에 배열되는 화소(14)의 간격 P에 의해 결정되는 거리이다. 이하에, 소정의 거리 L에 대하여 설명한다.
현미 촬영 장치(10)에 의해 관찰 대상을 정상적으로 촬영할 수 있는 조건은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 관찰 대상의 촬영면의 거리를 S, 화소(14)의 간격을 P라고 하여, 이하와 같이 표현된다.
2×S≤P…(식 1)
촬영면의 거리 S가 상기 식 1을 만족하지 않는 경우에도, 현미 촬영 장치(10)는 관찰 대상을 촬영하는 것이 가능하다. 그러나, 촬영면의 거리 S가 상기 식 1을 만족하지 않는 경우, 관찰 대상의 일부는 도면 중의 사선 영역 R에 존재한다. 사선 영역 R에 관찰 대상이 존재하면, 그 관찰 대상에서 반사되는 광은, 원래 수광되는 화소(141)에 있어서 수광되는 것 외에, 당해 화소(141)에 인접하는 다른 화소(142)에 있어서도 수광된다. 따라서, 현미 촬영 장치(10)는 관찰 대상을 정상적으로 촬영할 수는 없고, 소위 초점이 흐려진 상태에서 촬영한다.
여기서, 관찰 대상의 촬영면의 거리 S는, 마이크로 렌즈(13)의 시야각을 θ, 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터 관찰 대상까지의 거리를 L이라고 하여, 이하와 같이 표현된다.
tanθ=S/L…(식 2)
이상의 식 1 및 식 2로부터, 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터 관찰 대상까지의 거리 L은, 이하와 같이 표현된다.
L≤P/(2×tanθ)…(식 3)
식 3으로부터, 본 실시예에 관한 현미 촬영 장치(10)는 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이, P/(2×tanθ) 이내에 배치되는 관찰 대상을 정상적으로 촬영할 수 있다.
예를 들어, 화소(14)의 간격 P=1.76㎛(S=0.88㎛), θ=10deg일 경우, L≤5㎛가 된다. 따라서, 현미 촬영 장치(10)는 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이 5㎛ 이내에 배치된 관찰 대상을 정상적으로 촬영할 수 있다. 마찬가지로, 화소(14)의 간격 P=3.52㎛(S=1.76㎛), θ=10deg인 경우, L≤10㎛가 된다. 따라서, 현미 촬영 장치(10)는 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이 10㎛ 이내에 배치된 관찰 대상을 정상적으로 촬영할 수 있다. 화소(14)의 간격 P=17.64㎛(S=8.82㎛), θ=10deg인 경우, L≤50㎛가 된다. 따라서, 현미 촬영 장치(10)는 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이 50㎛ 이내에 배치된 관찰 대상을 정상적으로 촬영할 수 있다.
또한, 이상에 설명한 바와 같이 본 실시예에 관한 관측 방법에 사용되는 현미 촬영 장치(10)는 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이, P/(2×tanθ) 이내에 배치되는 관찰 대상을 정상적으로 촬영할 수 있다. 따라서, 적재부(12)의 표면 위에 배치된 관찰 대상을 정상적으로 관찰할 경우, 적재부(12)의 두께는, 적어도 P/(2×tanθ) 이내일 필요가 있다. 또한, 적재부(12)의 내부에 관찰 대상이 있는 경우에는, 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이, P/(2×tanθ) 이내에 배치되는 관찰 대상을 정상적으로 촬영할 수 있다.
도 3은 이상에 설명한 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 시스템을 모식적으로 도시하는 전기 블록도이다. 도 3에 도시하는 관찰 시스템은, 현미 촬영 장치(10), 신호 처리 회로인 로직 회로부(19) 및 표시부(20)를 포함한다.
로직 회로부(19)는 현미 촬영 장치(10)에 의해 얻어진 전압 신호(raw data)에 대하여 색 보정(화이트 밸런스, 컬러 매트릭스), 노이즈 보정(노이즈 리덕션, 흠집 보정), 화질 보정(에지 강조, 감마 보정) 등의 소정의 신호 처리를 실시하고, 신호 처리된 전압 신호를 화상 신호로서 출력한다. 본 실시예에서는, 현미 촬영 장치(10)에, 상을 결상하기 위한 렌즈나 확대 축소를 목적으로 하는 렌즈 등의 관찰 광학계를 포함하지 않기 때문에, 로직 회로부(19)에는, 이러한 렌즈 수차의 보정이나 쉐이딩 보정하기 위한 보정 회로는 포함되어 있지 않다.
이러한 로직 회로부(19)는, 예를 들어 화소(14)가 배열된 영역인 센서부(22)(도 4) 주위의 반도체 기판(15)에 설치함으로써 고체 촬상 장치(11)에 내장시켜도 되고, 고체 촬상 장치(11)와는 별도 기판에 설치된, 고체 촬상 장치(11)와는 별도의 부품이어도 된다.
이어서, 표시부(20)는, 예를 들어 디스플레이 장치이며, 로직 회로부(19)로부터 출력되는 화상 신호에 기초하여 관찰 대상의 화상을 형성하고, 표시한다. 표시부(20)는 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)에 배치된 관찰 대상의 전체를 한번에 표시할 수 있다.
이러한 관찰 시스템은 표시부(20)에, 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)에 배치된 관찰 대상의 전체를 한번에 표시할 수 있다. 따라서, 관찰 대상의 전체를 동시에 실시간으로 관찰할 수 있다.
계속해서, 이상에 설명한 현미 촬영 장치(10)를 사용한 실시예에 관한 관찰 방법에 대하여 설명한다. 먼저, 원하는 광원(18) 아래에 배치된 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)의 표면 위에, 도 4a 및 도 4b에 도시하는 바와 같이, 관찰 대상(21a)을 포함하는 액체(21b)를 배치한다. 본 실시예에서는, 예를 들어 화소(14)의 간격 P가 1㎛, 마이크로 렌즈(13)의 시야각 θ가 10deg, 고체 촬상 장치(11)의 센서부(22) 내에 1000개×1000개의 화소(14)가 형성된 10M 센서를 갖는 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)의 표면 위에, 400㎛의 관찰 대상(21a)을 포함하는 액체(21b)를 배치한다. 또한, 도 4a에 있어서는, 센서부(22) 내에 배치되는 화소(14)의 수에 대해서는 생략하였다. 또한, 도 4a에 도시하는 센서부(22)는, 센서부(22) 주위의 반도체 기판(15)에 설치된 로직 회로(19)에 전기적으로 접속되어 있고, 센서부(22) 및 로직 회로(19)를 포함하는 고체 촬상 장치(11)가 와이어(23)에 의해, 실장 기판(24)에 전기적으로 접속되어 있다.
또한, 상기 현미 촬영 장치(10)의 경우, 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이 2.84㎛(=1/(2×tan10)) 이내에 배치된 관찰 대상(21a)을 정상적으로 촬영할 수 있는 것이며, 적재부(12)의 두께는 2.84㎛로 되어 있다.
이러한 적재부(12)의 표면 위에 관찰 대상(21a)이 배치되면, 관찰 대상(21a)은 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이 소정의 거리 P/(2×tanθ) 이내가 되도록 배치되기 때문에, 현미 촬영 장치(10)는 관찰 대상(21a)을 정상적으로 촬영할 수 있다. 고체 촬상 장치(11)는 배치된 관찰 대상(21a)을 촬영하고, 로직 회로부(19)는 촬영에 의해 얻어진 전압 신호(raw date)에 대하여 원하는 신호 처리를 실시한다. 그 후, 로직 회로부(19)는 신호 처리된 전압 신호를 화상 신호로서 출력한다. 또한, 「원하는 신호 처리」는, 전압 신호에 대한 색 보정 처리, 노이즈 보정 처리 및 화질 보정 처리를 포함하고, 렌즈 수차의 보정 처리 및 쉐이딩 보정 처리를 포함하지 않는다. 이하의 설명에 있어서도, 「원하는 신호 처리」라고 칭했을 경우, 상기와 마찬가지의 신호 처리를 의미한다.
마지막으로, 표시부(20)는 로직 회로부(19)로부터 출력되는 화상 신호에 기초하여 관찰 대상(21a)의 화상을 형성하고, 표시한다.
또한, 본 실시예에 있어서의 현미 촬영 장치(10) 및 이 장치를 사용한 관찰 시스템에 있어서, 표시되는 관찰 대상(21a)의 배율 M은, 관찰 대상(21a)의 사이즈와 화소(14)의 간격 P에 의해 M=관찰 대상(21a)의 사이즈/화소(14)의 간격 P로 결정된다. 상술한 바와 같이 관찰 대상(21a)의 사이즈가 400㎛, 화소(14)의 간격 P가 1㎛일 때, 표시되는 관찰 대상(21a)의 배율 M은 400이 된다.
이상에 설명한 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법에 의하면, 종래의 광학 현미경을 사용한 관찰 대상의 관찰 방법과 같이, 관찰 광학계의 조정 및 관찰 대상 위의 주사와 같은 번잡한 조작을 필요로 하지 않고, 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)에 관찰 대상(21a)을 배치하기만 하면, 관찰 대상의 전체를 한번에 용이하게 관찰할 수 있다.
<변형예>
도 5는 실시예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법에 있어서 사용되는 현미 촬영 장치의 변형예를 도시하는 단면도이다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10')는, 촬영 대상을 배치할 수 있는 적재부(12)를 구비하지 않아도 된다. 적재부(12)를 구비하지 않는 현미 촬영 장치(10')여도, 현미 촬영 장치(10)와 마찬가지로, 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터 소정의 거리 L 이내에 배치되는 관찰 대상을 정상적으로 촬영할 수 있다.
현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법은, 도 6a 및 도 6b에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10')의 복수의 마이크로 렌즈(13) 위에 관찰 대상(21a)을 포함하는 액체(21b)를 배치하는 것 이외에는, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법과 마찬가지이다. 따라서, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법의 상세한 설명은 생략한다.
이상에 설명한 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법이어도, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법과 마찬가지로, 관찰 대상의 전체를 한번에 용이하게 관찰할 수 있다.
또한, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법에 의하면, 마이크로 렌즈(13) 위에 직접 관찰 대상(21a)을 포함하는 액체(21b)를 배치하기 때문에, 현미 촬영 장치(10')의 마이크로 렌즈(13)로부터 더 먼 곳에 존재하는 관찰 대상(21a)을 관찰할 수 있다.
이상에 설명한 현미 촬영 장치(10, 10')를 사용한 관찰 방법은, 여러 분야에 있어서 응용할 수 있다. 이하에 그 응용예에 대하여 설명한다.
<제1 응용예>
도 7은 제1 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 7에 도시하는 관찰 방법은, 실시예에 관한 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법을 바이오 분야에 응용한 예이다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10) 및 이것을 사용한 관찰 시스템에 의하면, 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12) 위에 암 세포(101)를 포함하는 액체(102)를 적하함으로써, 암 세포(101)를 관찰할 수 있다. 이하에 그 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 예를 들어 화소(14)의 간격 P가 1㎛, 마이크로 렌즈(13)의 시야각 θ가 10deg, 고체 촬상 장치(11)의 센서부(22) 내에 1000개×1000개의 화소(14)가 형성된 10M 센서를 갖는 현미 촬영 장치(10)를, 원하는 광원(18) 아래에 배치하고, 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)의 표면 위에, 도 7에 도시하는 바와 같이, 절연 시트(103)를 배치한다. 이 절연 시트(103)는, 이후에 적재부(12)의 표면 위에 적하되는 액체(102)가 센서부(22) 위의 적재부(12)의 주위에 설치된 복수개의 와이어(23)(도 4)를 쇼트시키는 것을 억제하기 위하여 배치된다.
이 현미 촬영 장치(10)의 경우, 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이 2.84㎛ 이내에 배치된 관찰 대상을 촬영할 수 있다. 따라서, 절연 시트(103)의 두께를 고려하여, 적재부(12)의 두께는 2.84㎛보다 얇게 되어 있다.
이어서, 관찰 대상인 암 세포(101)를 포함하는 액체(102)를, 예를 들어 스포이트 등의 적하 장치(104)를 사용하여 적재부(12) 위에 적하함으로써, 암 세포(101)를 포함하는 액체(102)를, 절연 시트(103)를 개재하여 적재부(12) 위에 적재한다.
이어서, 적재부(12)에 암 세포(101)를 포함하는 액체(102)가 적재되면, 고체 촬상 장치(11)는 적재된 암 세포(101)를 포함하는 액체(102)를 촬영하고, 로직 회로부(19)(도 3)는 촬영에 의해 얻어진 전압 신호(raw date)에 대하여 원하는 신호 처리를 실시한다. 그 후, 신호 처리된 전압 신호를 화상 신호로서 출력한다.
마지막으로, 표시부(20)(도 3)는 로직 회로부(19)(도 3)로부터 출력되는 화상 신호에 기초하여 암 세포(101)를 포함하는 액체(102)의 화상을 형성하고, 도 7에 도시하는 바와 같이 표시한다.
이와 같이 하여, 암 세포(101)를 관찰할 수 있다.
<제1 응용예의 변형예>
도 8은 제1 응용예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 8에 도시하는 관찰 방법은, 실시예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법을 바이오 분야에 응용한 예이다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10') 및 이것을 사용한 관찰 시스템에 의하면, 현미 촬영 장치(10')의 마이크로 렌즈(13) 위에 암 세포(101)를 포함하는 액체(102)를 적하함으로써, 암 세포(101)를 관찰할 수 있다. 또한, 이 방법의 상세 내용은, 제1 응용예에 관한 관찰 방법과 마찬가지이다. 따라서, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법의 상세한 설명은 생략한다.
현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법이어도, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법인, 제1 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법과 마찬가지로, 암 세포(101)를 관찰할 수 있다.
또한, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법에 의하면, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법과 비교하여, 현미 촬영 장치(10')의 마이크로 렌즈(13)로부터 더 먼 곳에 존재하는 암 세포(101)를 관찰할 수 있다.
<제2 응용예>
도 9는 제2 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 9에 도시하는 관찰 방법에 있어서도, 본 실시예에 관한 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법을 바이오 분야에 응용하고 있다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10) 및 이것을 사용한 관찰 시스템에 있어서는, 적재부(12)의 표면 위에, 검사 용기(203)를 사용하여 검출 대상인 항체에 반응하는 약품을 미리 배치한다. 또한, 광원으로서 UV(자외선) 광원(201)을 사용한다. 항체와 약품이 반응하는 것에 의한 형광 발광을 관찰함으로써, 항체의 유무를 관찰할 수 있다. 이하에, 이 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 예를 들어 화소(14)의 간격 P가 1㎛, 마이크로 렌즈(13)의 시야각 θ가 10deg, 고체 촬상 장치(11)의 센서부(22) 내에 1000개×1000개의 화소(14)가 형성된 10M 센서를 갖는 현미 촬영 장치(10)를 UV 광원(201) 아래에 배치한다. 또한, 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)의 표면 위에, 도 9에 도시하는 바와 같이, 복수의 오목부(202)를 갖는 검사 용기(203)를 배치한다. 검사 용기(203)의 오목부(202)의 수는 센서부(22)의 상방에 10개×10개 정도이고, 각 오목부(202) 내에는, 검출 대상이 되는 항체와 반응하여, UV 광의 조사에 의해 형광 발광하는 약품이 미리 도포되어 있다.
이 현미 촬영 장치(10)의 경우, 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이 2.84㎛ 이내에 배치된 관찰 대상을 촬영할 수 있다. 따라서, 적재부(12)의 두께 및 오목부(202) 이외의 검사 용기(203)의 두께의 합계가, 2.84㎛ 이내가 되도록 형성되어 있다. 따라서, 검사 용기(203)의 각 오목부(202)는, 검사 용기(203)의 표면으로부터 두께 방향으로 P/(2×tanθ)보다 짧은 범위 내에 있어서 연장되어 있다. 즉, 각 오목부(202)의 깊이 D는 P/(2×tanθ)보다 짧게 되어 있다.
이어서, 관찰 대상인 항체를 포함하는 액체(204)를, 예를 들어 스포이트 등의 적하 장치(205)를 사용하여 검사 용기(203)의 각 오목부(202) 내에 적하함으로써, 항체를 포함하는 액체(204)를 적재부(12) 위에 적재한다.
이어서, 적재부(12)에 항체를 포함하는 액체(204)가 적재되면, 액체(204)에 항체가 포함되어 있는 경우에는 그 항체와 오목부(202) 내에 도포된 약품이 반응한다. 또한, 상방으로부터 UV 광이 조사된다. 따라서, 항체가 포함되는 오목부(202) 내는 형광 발광(206)한다. 고체 촬상 장치(11)는 이 형광 발광(206)을 촬영하고, 로직 회로부(19)(도 3)는 촬영에 의해 얻어진 전압 신호(raw date)에 대하여 원하는 신호 처리를 실시한다. 그 후, 신호 처리된 전압 신호를 화상 신호로서 출력한다.
마지막으로, 표시부(20)(도 3)는 로직 회로부(19)(도 3)로부터 출력되는 화상 신호에 기초하여 형광 발광(206)의 화상을 형성하고, 도 9에 도시하는 바와 같이 표시한다.
이와 같이 하여, 항체의 유무를 관찰할 수 있다.
<제2 응용예의 변형예>
도 10은 제2 응용예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 10에 도시하는 관찰 방법에 있어서도, 실시예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법을 바이오 분야에 응용하고 있다. 도 10에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10') 및 이것을 사용한 관찰 시스템에 있어서는, 현미 촬영 장치(10')의 마이크로 렌즈(13) 위에 검사 용기(203)를 사용하여 검출 대상인 항체에 반응하는 약품을 미리 배치한다. 또한, 광원으로서 UV(자외선) 광원(201)을 사용한다. 항체와 약품이 반응하는 것에 의한 형광 발광을 관찰함으로써, 항체의 유무를 관찰할 수 있다. 검사 용기(203)의 각 오목부(202)는 검사 용기(203)의 표면으로부터 두께 방향으로 P/(2×tanθ)보다 짧은 범위 내에 있어서 연장된다. 즉, 각 오목부(202)의 깊이 D'는, P/(2×tanθ)보다 짧게 되어 있다. 그러나, 적재부(12)가 존재하지 않기 때문에, 현미 촬영 장치(10) 위에 배치되는 검사 용기(203)의 각 오목부(202)의 깊이 D와 비교하여, 각 오목부(202)의 깊이 D'를 깊게 할 수 있다. 또한, 이 방법의 상세 내용은, 제2 응용예에 관한 관찰 방법과 마찬가지이다. 따라서, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법의 상세한 설명은 생략한다.
현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법이어도, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법인, 제2 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법과 마찬가지로, 항체의 유무를 관찰할 수 있다.
또한, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법에 의하면, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법과 비교하여, 현미 촬영 장치(10') 위에 배치되는 검사 용기(203)의 각 오목부(202)의 깊이 D'를 깊게 할 수 있다. 따라서, 한번에 보다 많은 액체(204)를 검사할 수 있어, 검사 횟수를 저감할 수 있다.
<제3 응용예>
도 11은 제3 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 11에 도시하는 관찰 방법에 있어서는, 실시예에 관한 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법을 환경 분야에 응용하고 있다. 도 11에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10) 및 이것을 사용한 관찰 시스템에 있어서, 소위 PM2.5 등의 미소 입자상 물질(301)을 통과시킬 수 있는 통로(302) 및, 이 통로(302)의 입구 및 출구에 미소 입자상 물질(301)을 투과시키는 필터(303)가, 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12) 위에 통로(302)의 내부에 적재부(12)의 표면이 노출되도록 설치되어 있다. 통로(302) 내로 미소 입자상 물질(301)을 통과시킴으로써, 미소 입자상 물질(301)을 관찰할 수 있다. 이하에, 이 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 예를 들어 화소(14)의 간격 P가 1㎛, 마이크로 렌즈(13)의 시야각 θ가 10deg, 고체 촬상 장치(11)의 센서부(22) 내에 1000개×1000개의 화소(14)가 형성된 10M 센서를 갖는 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)의 표면 위에, 도 11에 도시하는 바와 같이, 미소 입자상 물질(301)을 통과시키는 통로(302)를, 통로(302) 내에 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)의 표면이 노출되도록 배치한다. 또한, 이 통로(302)의 입구 및 출구에, 미소 입자상 물질(301)을 투과시키는 필터(303)를 설치한다. 그리고, 이러한 현미 촬영 장치(10)를 원하는 광원(18) 아래에 배치한다.
이 현미 촬영 장치(10)의 경우, 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이 2.84㎛ 이내에 배치된 관찰 대상을 촬영할 수 있다. 따라서, 적재부(12)의 두께 및 통로(302)의 직경 RA의 합계가 2.84㎛ 이내가 되도록 형성되어 있다. 따라서, 통로(302)의 직경 RA는 P/(2×tanθ)보다 작게 되어 있다.
이어서, 미소 입자상 물질(301)을 포함하는 기체(304)를 통로(302) 내에, 필터(303)를 통하여 흘림으로써, 미소 입자상 물질(301)을 적재부(12) 위에 적재한다.
이어서, 고체 촬상 장치(11)에 적재부(12) 위의 관측 영역(305)을 계속 촬영하게 하면, 적재부(12) 위에 미소 입자상 물질(301)이 도착했을 경우, 고체 촬상 장치(11)는 미소 입자상 물질(301)을 촬영하고, 로직 회로부(19)(도 3)는 촬영에 의해 얻어진 전압 신호(raw date)에 대하여 원하는 신호 처리를 실시한다. 그 후, 신호 처리된 전압 신호를 화상 신호로서 출력한다.
마지막으로, 표시부(20)(도 3)는 로직 회로부(19)(도 3)로부터 출력되는 화상 신호에 기초하여 미소 입자상 물질(301)의 화상을 형성하고, 도 11에 도시하는 바와 같이 표시한다.
이와 같이 하여, 미소 입자상 물질(301)을 관찰할 수 있다.
<제3 응용예의 변형예>
도 12는 제3 응용예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 12에 도시하는 관찰 방법에 있어서는, 실시예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법을 환경 분야에 응용하고 있다. 도 12에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10') 및 이것을 사용한 관찰 시스템에 있어서는, 미소 입자상 물질(301)을 통과시킬 수 있는 통로(302)가 현미 촬영 장치(10')의 마이크로 렌즈(13) 위에, 마이크로 렌즈(13)가 통로(302)의 내부에 노출되도록 설치되어 있다. 통로(302)의 직경 RA'는 P/(2×tanθ)보다 작게 되어 있다. 그러나, 적재부(12)가 존재하지 않기 때문에, 현미 촬영 장치(10) 위의 통로(302)의 직경 RA와 비교하여, 통로(302)의 직경 RA'를 확대할 수 있다. 통로(302) 내로 미소 입자상 물질(301)을 통과시킴으로써, 미소 입자상 물질(301)을 관찰할 수 있다. 또한, 이 방법의 상세 내용은, 제3 응용예에 관한 관찰 방법과 마찬가지이다. 따라서, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법의 상세한 설명은 생략한다.
현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법이어도, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법인, 제3 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법과 마찬가지로, 미소 입자상 물질(301)을 관찰할 수 있다.
또한, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법에 의하면, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법과 비교하여, 현미 촬영 장치(10') 위에 설치되는 통로(302)의 직경 RA'를 확대할 수 있다. 따라서, 한번에 보다 많은 기체(304)를 검사할 수 있어, 검사 시간을 단축할 수 있다.
<제4 응용예>
도 13은 제4 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 13에 도시하는 관찰 방법에 있어서도, 실시예에 관한 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법을 환경 분야에 응용하고 있다. 도 13에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10) 및 이것을 사용한 관찰 시스템에 의하면, 미리 미생물, 조(藻) 등의 오염 물질(401)을 포함하는 물(402)을 흘리는 유로(403)를 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12) 위에 유로(403)의 내부에 적재부(12)의 표면이 노출되도록 설치한다. 유로(403) 내로 오염 물질(401)을 포함하는 물(402)을 통과시킴으로써, 오염 물질(401)을 관찰할 수 있다. 이하에, 이 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 예를 들어 화소(14)의 간격 P가 1㎛, 마이크로 렌즈(13)의 시야각 θ가 10deg, 고체 촬상 장치(11)의 센서부(22) 내에 1000개×1000개의 화소(14)가 형성된 10M 센서를 갖는 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)의 표면 위에, 도 8에 도시하는 바와 같이, 오염 물질(401)을 포함하는 물(402)을 흘리는 유로(403)를, 유로(403) 내에 현미 촬영 장치(10)의 적재부(12)의 표면이 노출되도록 배치한다. 그리고, 이러한 현미 촬영 장치(10)를 원하는 광원(18) 아래에 배치한다.
이 현미 촬영 장치(10)의 경우, 마이크로 렌즈(13)의 정점으로부터의 거리 L이 2.84㎛ 이내에 배치된 관찰 대상을 촬영할 수 있다. 따라서, 적재부(12)의 두께 및 유로(403)의 직경 RL의 합계가 2.84㎛ 이내가 되도록 형성되어 있다. 따라서, 유로(403)의 직경 RL은 P/(2×tanθ)보다 작게 되어 있다.
이어서, 오염 물질(401)을 포함하는 물(402)을 유로(403) 내에 흘림으로써, 오염 물질(401)을 적재부(12) 위에 적재한다.
이어서, 고체 촬상 장치(11)에 적재부(12) 위의 관측 영역(404)을 계속 촬영하게 하면, 적재부(12) 위에 오염 물질(401)이 도착했을 경우, 고체 촬상 장치(11)는 적재된 오염 물질(401)을 촬영하고, 로직 회로부(19)(도 3)는 촬영에 의해 얻어진 전압 신호(raw date)에 대하여 원하는 신호 처리를 실시한다. 그 후, 신호 처리된 전압 신호를 화상 신호로서 출력한다.
마지막으로, 표시부(20)(도 3)는 로직 회로부(19)(도 3)로부터 출력되는 화상 신호에 기초하여 오염 물질(401)의 화상을 형성하고, 도 14에 도시하는 바와 같이 표시한다.
이와 같이 하여, 오염 물질(401)을 관찰할 수 있다.
<제4 응용예의 변형예>
도 14는 제4 응용예의 변형예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 14에 도시하는 관찰 방법에 있어서도, 실시예에 관한 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법을 환경 분야에 응용하고 있다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 현미 촬영 장치(10') 및 이것을 사용한 관찰 시스템에 의하면, 오염 물질(401)을 포함하는 물(402)을 흘리는 유로(403)를 현미 촬영 장치(10)의 마이크로 렌즈(13) 위에, 유로(403)의 내부에 마이크로 렌즈(13)가 노출되도록 설치한다. 유로(403)의 직경 RL'는 P/(2×tanθ)보다 작게 되어 있다. 그러나, 적재부(12)가 존재하지 않기 때문에, 현미 촬영 장치(10) 위의 유로(403)의 직경 RL과 비교하여, 유로(403)의 직경 RL'를 확대할 수 있다. 유로(403) 내로 오염 물질(401)을 포함하는 물(402)을 통과시킴으로써, 오염 물질(401)을 관찰할 수 있다. 또한, 이 방법의 상세 내용은, 제4 응용예에 관한 관찰 방법과 마찬가지이다. 따라서, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법의 상세한 설명은 생략한다.
현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법이어도, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법인 제4 응용예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법과 마찬가지로, 오염 물질(401)을 관찰할 수 있다.
또한, 현미 촬영 장치(10')를 사용한 관찰 방법에 의하면, 현미 촬영 장치(10)를 사용한 관찰 방법과 비교하여, 현미 촬영 장치(10') 위에 설치되는 유로(403)의 직경 RL'를 확대할 수 있다. 따라서, 한번에 보다 많은 물(402)을 검사할 수 있어, 검사 시간을 단축할 수 있다.
본 발명의 몇 가지 실시 형태를 설명했지만, 이들 실시 형태는, 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 이들 신규의 실시 형태는, 기타 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함됨과 함께, 특허 청구 범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함된다.
예를 들어, 상기 실시예, 각 응용예 및 이들의 변형예에 있어서, 고체 촬상 장치(11)는 표면 조사형이어도 되고, 이면 조사형이어도 된다.
또한, 상기 응용예에 있어서는, 실시예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법을, 바이오 분야 및 환경 분야에 응용한 예를 나타냈지만, 실시예에 관한 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법이 응용되는 분야에 대해서도 한정되지 않는다. 예를 들어 0.2㎚보다 큰 관찰 대상(광학 현미경으로 관찰할 수 있는 크기의 관찰 대상)을 관찰하고 싶은 경우에, 본 실시예를 적용할 수 있다. 고체 촬상 장치의 화소 간격, 마이크로 렌즈 설계 및 광원 등을 적절히 개량함으로써, 0.2㎚보다 작은 관찰 대상(전자 현미경으로 관찰할 수 있는 크기의 관찰 대상)을 관찰할 수도 있고, 그러한 매우 미소한 관찰 대상을 관찰하는 경우에도, 본 실시예를 응용할 수 있다.

Claims (20)

  1. 광을 집광하는 마이크로 렌즈 및 상기 마이크로 렌즈에 의해 집광되는 상기 광을 수광하는 수광부를 포함하는 화소가 소정의 간격으로 복수개 배열된 고체 촬상 장치를 갖는 현미 촬영 장치의 상기 마이크로 렌즈 위에 관찰 대상을 배치하고,
    상기 마이크로 렌즈 위에 배치된 상기 관찰 대상을 상기 고체 촬상 장치에 의해 촬영하는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 화소의 간격을 P, 상기 마이크로 렌즈의 시야각을 θ라고 했을 때, 상기 관찰 대상을, 상기 마이크로 렌즈로부터의 거리가 P/(2×tanθ) 이내가 되도록, 상기 마이크로 렌즈 위에 배치하는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 고체 촬상 장치가 상기 관찰 대상을 촬영함으로써 전압 신호를 취득하고,
    상기 전압 신호에 대하여 색 보정 처리, 노이즈 보정 처리 및 화질 보정 처리를 포함하고, 렌즈 수차의 보정 처리 및 쉐이딩 보정 처리는 포함하지 않는 원하는 신호 처리를 실행함으로써, 화상 신호를 취득하고,
    상기 화상 신호에 기초하여, 상기 관찰 대상의 화상을 표시하는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 현미 촬영 장치는, 상기 마이크로 렌즈 위에 표면으로부터 두께 방향으로 연장되도록 형성된 복수의 오목부를 갖는 검사 용기를 갖고,
    상기 관찰 대상은, 각각의 상기 오목부 내에 배치됨으로써, 상기 마이크로 렌즈 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 고체 촬상 장치의 상기 화소의 간격을 P, 상기 마이크로 렌즈의 시야각을 θ라고 했을 때, 상기 복수의 오목부는 각각 상기 검사 용기의 표면으로부터 두께 방향으로 P/(2×tanθ)보다 짧은 범위 내에 있어서 연장되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 현미 촬영 장치는, 상기 마이크로 렌즈의 표면 위에 설치된, 상기 마이크로 렌즈를 내부에 노출시키는 통로와,
    상기 통로의 입구에 설치된, 상기 관찰 대상을 투과시키는 필터를 갖고,
    상기 관찰 대상은, 상기 필터를 통하여 상기 통로에 흐름으로써, 상기 마이크로 렌즈 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 고체 촬상 장치의 상기 화소의 간격을 P, 상기 마이크로 렌즈의 시야각을 θ라고 했을 때, 상기 통로는 P/(2×tanθ)보다 작은 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 현미 촬영 장치는, 상기 마이크로 렌즈 위에 상기 마이크로 렌즈를 내부에 노출시키는 유로를 갖고,
    상기 관찰 대상은, 상기 유로에 흐름으로써, 상기 마이크로 렌즈 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 고체 촬상 장치의 상기 화소의 간격을 P, 상기 마이크로 렌즈의 시야각을 θ라고 했을 때, 상기 유로는 P/(2×tanθ)보다 작은 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 현미 촬영 장치는, 상기 고체 촬상 장치의 상기 마이크로 렌즈 위에 설치된 적재부를 갖고,
    상기 관찰 대상은 상기 적재부에 배치되는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 화소의 간격을 P, 상기 마이크로 렌즈의 시야각을 θ라고 했을 때, 상기 관찰 대상을, 상기 마이크로 렌즈로부터의 거리가 P/(2×tanθ) 이내가 되도록 상기 적재부에 배치하는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 고체 촬상 장치가 상기 관찰 대상을 촬영함으로써 전압 신호를 취득하고,
    상기 전압 신호에 대하여 색 보정 처리, 노이즈 보정 처리 및 화질 보정 처리를 포함하고, 렌즈 수차의 보정 처리 및 쉐이딩 보정 처리는 포함하지 않는 원하는 신호 처리를 실행함으로써, 화상 신호를 취득하고,
    상기 화상 신호에 기초하여, 상기 관찰 대상의 화상을 표시하는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 현미 촬영 장치의 상기 적재부의 표면 위에 절연 시트를 배치하고,
    상기 관찰 대상은, 상기 절연 시트 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 화소의 간격을 P, 상기 마이크로 렌즈의 시야각을 θ라고 했을 때, 상기 관찰 대상은 P/(2×tanθ)보다 얇은 상기 적재부의 표면 위의 상기 절연 시트 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 현미 촬영 장치는, 상기 적재부의 표면 위에, 표면으로부터 두께 방향으로 연장되도록 형성된 복수의 오목부를 갖는 검사 용기를 갖고,
    상기 관찰 대상은, 각각의 상기 오목부 내에 배치됨으로써, 상기 적재부 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 고체 촬상 장치의 상기 화소의 간격을 P, 상기 마이크로 렌즈의 시야각을 θ라고 했을 때, 상기 복수의 오목부는 각각 상기 검사 용기의 표면으로부터 두께 방향으로 P/(2×tanθ)보다 짧은 범위 내에 있어서 연장되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 현미 촬영 장치는, 상기 적재부의 표면 위에 설치된, 상기 적재부의 표면을 내부에 노출시키는 통로와,
    상기 통로의 입구에 설치된, 상기 관찰 대상을 투과시키는 필터를 갖고,
    상기 관찰 대상은, 상기 필터를 통하여 상기 통로에 흐름으로써, 상기 적재부 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 고체 촬상 장치의 상기 화소의 간격을 P, 상기 마이크로 렌즈의 시야각을 θ라고 했을 때, 상기 통로는 P/(2×tanθ)보다 작은 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  19. 제10항에 있어서,
    상기 현미 촬영 장치는, 상기 적재부의 표면 위에, 상기 적재부의 표면을 내부에 노출시키는 유로를 갖고,
    상기 관찰 대상은, 상기 유로에 흐름으로써, 상기 적재부 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 고체 촬상 장치의 상기 화소의 간격을 P, 상기 마이크로 렌즈의 시야각을 θ라고 했을 때, 상기 유로는 P/(2×tanθ)보다 작은 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 현미 촬영 장치를 사용한 관찰 방법.
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