KR20160010709A

KR20160010709A - ? 와이퍼 제조 장치 및 그 제어 방법

Info

Publication number: KR20160010709A
Application number: KR1020140090363A
Authority: KR
Inventors: 안수응
Original assignee: 주식회사 서울세미텍
Priority date: 2014-07-17
Filing date: 2014-07-17
Publication date: 2016-01-28
Anticipated expiration: 2034-07-17
Also published as: KR101651178B1

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치는 다수의 와이퍼를 적재한 다수의 카트리지를 일측에 적층 구비한 카트리지부; 상기 카트리지부로부터 이격하여 구비되고, 상기 카트리지의 와이퍼를 적어도 한 장씩 이송하는 와이퍼 이송부; 타측에서 상기 와이퍼 이송부에 의해 이송된 와이퍼를 세정액으로 웨팅(wetting)하는 웨팅부; 상기 웨팅부에서 웨팅된 와이퍼를 적재하여 외부로 공급하는 공급 카트리지부; 및 상기 카트리지부, 와이퍼 이송부, 웨팅부 및 공급 카트리지부에 연결되어 동작을 제어하는 제어부;를 포함한다.

Description

? 와이퍼 제조 장치 및 그 제어 방법{Apparatus for manufacturing Wet Wiper and method for controlling the same}

본 발명은 ? 와이퍼 제조 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 특히 반도체 생산 공정 또는 반도체 제조 장비의 세정을 위해 와이퍼를 세정액으로 웨팅하여 공급하는 ? 와이퍼 제조 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 설비는 일정 기간 동안 공정을 수행한 후 반드시 클리닝(cleaning)을 포함한 유지보수 작업을 실시하도록 하고 있다.

즉, 장시간 동안 반도체 공정을 수행하다 보면 프로세스 챔버의 내부에는 자연히 많은 폴리머들이 벽면에 부착되고, 배기 라인에도 다수의 폴리머들이 부착된다.

이들 폴리머들은 공정 수행 중 자칫 웨이퍼 표면으로 떨어지면서 파티클 소스의 원인이 되기도 하고, 그로 인해 후속 공정에서 공정 오류를 유발시키는 원인이 되기도 한다.

따라서 프로세스 챔버에는 통상 강력한 진공압에 의해 파티클들을 강제 배출시킬 수 있도록 하는 터보 진공 펌프와 함께 진공압 배기 라인이 구비되도록 하고 있다.

하지만 강력한 진공압에 의해 배기를 시킨다 하더라도 프로세스 챔버의 내부에는 여전히 잔류 파티클들이 부유하면서 벽면에 부착된다.

이러한 잔류 파티클들이 벽면에 부착되면서 동시에 다양한 이물질들도 동시에 부착되어 폴리머를 이루게 된다.

이와 같은 폴리머들은 어느 정도의 시간이 지나면 공정 수행 중인 웨이퍼에 악영향을 미치게 되므로 정기적 또는 비정기적으로 설비를 클리닝하게 되는데 이를 PM(Preventive Maintenance)이라고 한다.

PM은 현재 공정을 수행한 웨이퍼의 매수 또는 일정 기간을 기준으로 하며, 이때에는 반도체 공정설비의 가동이 완전히 정지되도록 한 상태에서 실시하게 된다.

이러한 반도체 공정설비를 클리닝하는데 있어서, 종래에는 특허문헌 1에 기재된 바와 같이 알콜과 같은 세정액을 다수의 와이퍼에 분사하고, 다수의 와이퍼에 과도하게 흡수된 알콜을 제거하기 위해 압축기를 이용하여 다수의 와이퍼를 압착시키는 시스템 및 웨팅 방법을 수행해야 한다.

이에 따라, 종래의 와이퍼 웨팅 시스템과 웨팅 방법은 알콜과 같은 세정액의 낭비가 상당하고, 1개의 와이퍼에만 적당량의 세정액을 적시는 것이 불가능하다.

특허문헌 1: 공개특허공보 제 2009-0092947호

본 발명은 상기 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 적어도 하나의 와이퍼에 적당량의 세정액을 웨팅시켜 제공할 수 있는 ? 와이퍼 제조 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 ? 와이퍼 제조 장치를 이용하여 적어도 하나의 와이퍼에 적당량의 세정액을 웨팅시켜 제공하기 위한 제어 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치는 다수의 와이퍼를 적재한 다수의 카트리지를 일측에 적층 구비한 카트리지부; 상기 카트리지부로부터 이격하여 구비되고, 상기 카트리지의 와이퍼를 적어도 한 장씩 이송하는 와이퍼 이송부; 타측에서 상기 와이퍼 이송부에 의해 이송된 와이퍼를 세정액으로 웨팅(wetting)하는 웨팅부; 상기 웨팅부에서 웨팅된 와이퍼를 적재하여 외부로 공급하는 공급 카트리지부; 및 상기 카트리지부, 와이퍼 이송부, 웨팅부 및 공급 카트리지부에 연결되어 동작을 제어하는 제어부;를 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치는 상기 웨팅부에서 웨팅된 와이퍼를 상기 공급 카트리지부로 전달하는 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에서 상기 와이퍼 이송부는 상기 카트리지부로부터 이격하여 내부 양측면에 각각 구비된 이송라인; 상기 이송라인을 따라 이동하여 상기 카트리지에 적재된 와이퍼를 적어도 한 장씩 뽑아 이송하는 제 1 이송바; 및 상기 제 1 이송바에 대응하여 상기 이송라인에 이동가능하게 장착된 제 2 이송바;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에서 상기 와이퍼 이송부는 상기 제 2 이송바로부터 이격하여 하측에 봉 형태로 고정 장착된 거치대를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에서 상기 제 1 이송바는 일면에 구비된 적어도 두 개의 니들(Needle); 및 타면에 상기 니들의 돌출 높이를 조절하는 레버;를 포함하고, 상기 니들은 상향으로 5 ~ 20도 구부러진 형상으로 구비되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에서 상기 제 2 이송바는 일면에 상기 니들이 각각 수용되는 수용홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에서 상기 웨팅부는 세정액을 담은 저장부; 상기 저장부의 양측에 각각 일단이 연결된 두 개의 세정액 연결관; 상기 세정액 연결관의 타단에 각각 회동가능하게 연결 장착된 제 1 웨팅 롤러; 및 상기 제 1 웨팅 롤러에 맞물려 회동가능하게 장착된 제 2 웨팅 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에서 상기 세정액 연결관은 내부에 상기 제 1 웨팅 롤러의 내부에 구획된 다수의 내부 공간에 개별적으로 연결된 다수의 튜브관을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에서 상기 제 1 웨팅 롤러는 원통 형태로 구비되고, 내주면을 따라 내측에 돌출 형성된 다수의 격벽; 및 상기 격벽 사이에 장착되고 외주면을 따라 돌출된 다수의 세정액 공급 돌기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에서 상기 제 2 웨팅 롤러는 원통 형태로 구비되고, 상기 제 1 웨팅 롤러의 세정액 공급 돌기에 대응하여 외주면을 따라 돌출 형성된 돌기누름패턴을 다수 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법은 (A) 제어부가 와이퍼 이송부를 제어하여 카트리지부를 구성하는 다수의 카트리지 중 어느 하나의 카트리지에 적재된 와이퍼를 적어도 한 장씩 이송하는 단계; (B) 상기 이송된 와이퍼를 웨팅부에서 세정액으로 웨팅 처리하는 단계; (C) 상기 웨팅된 와이퍼를 공급 카트리지에 적재하는 단계; (D) 상기 제어부가 상기 공급 카트리지에 적재된 웨팅된 와이퍼의 양이 필요한 웨팅된 와이퍼의 개수인지를 판단하는 단계; 및 (E) 상기 웨팅된 와이퍼의 개수인지를 판단하는 단계의 결과에 따라, 상기 제어부는 상기 웨팅된 와이퍼를 적재한 상기 공급 카트리지를 외부로 배출하는 단계;를 포함한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법에서 상기 (A) 단계는 (A-1) 상기 제어부가 상기 다수의 카트리지에 각각 구비된 센서를 통해 상기 와이퍼의 적재 여부를 판단하는 단계; (A-2) 상기 제어부가 상기 다수의 카트리지 중 상기 와이퍼를 적재한 어느 하나의 카트리지를 상기 와이퍼 이송부의 하측으로 이동시키는 단계; (A-3) 상기 제어부가 상기 와이퍼 이송부의 제 1 이송바를 이송라인을 따라 이동시켜 상기 이동된 어느 하나의 카트리지의 상부에 위치시키는 단계; 및 (A-4) 상기 제어부가 상기 제 1 이송바에 구비된 적어도 두 개의 니들을 이용하여, 상기 이동된 어느 하나의 카트리지에 적재된 와이퍼를 적어도 한 장씩 뽑아 이송하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법은 상기 (B)단계에서 상기 웨팅부가 세정액을 담은 저장부; 상기 저장부의 양측에 각각 일단이 연결된 두 개의 세정액 연결관; 상기 세정액 연결관의 타단에 각각 회동가능하게 연결 장착된 제 1 웨팅 롤러; 및 상기 제 1 웨팅 롤러에 맞물려 회동가능하게 장착된 제 2 웨팅 롤러;를 포함하고, 상기 (B)단계는 (B-1) 상기 제어부가 상기 이송된 와이퍼를 상기 제 1 웨팅 롤러와 제 2 웨팅 롤러 사이에 삽입하는 단계; 및 (B-2) 상기 제 1 웨팅 롤러와 제 2 웨팅 롤러가 맞물려 회동함에 따라, 상기 제 1 웨팅 롤러로부터 유출되는 상기 세정액으로 상기 이송된 와이퍼를 웨팅하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법에서 상기 제 1 웨팅 롤러는 원통 형태로 구비되고, 내주면을 따라 내측에 돌출 형성된 다수의 격벽; 및 상기 격벽 사이에 장착되고 외주면을 따라 돌출된 다수의 세정액 공급 돌기;를 포함하고, 상기 제 1 웨팅 롤러와 제 2 웨팅 롤러가 맞물려 회동함에 따라 형성된 상기 격벽과 세정액 공급 돌기 사이의 통로를 통해 상기 세정액이 유출되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법에서 상기 제 2 웨팅 롤러는 원통 형태로 구비되고, 상기 제 1 웨팅 롤러의 세정액 공급 돌기에 대응하여 외주면을 따라 돌출 형성된 돌기누름패턴을 다수 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고, 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

본 발명의 실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치는 사용자의 선택에 따라 카트리지에 적재된 와이퍼를 필요한 양만큼 한 장씩 세정액의 낭비없이 적당량의 세정액으로 자동 웨팅시켜 사용자에게 공급할 수 있는 효과가 있다.

본 발명의 실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법은 카트리지에 적재된 와이퍼를 필요한 양만큼 한 장씩 집어내도록 제어하고, 세정액의 낭비없이 적당량의 세정액으로 자동 웨팅시켜, 웨팅된 와이퍼를 자동으로 사용자에게 공급할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 투시 사시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 와이퍼 이송부의 사시도.
도 3a는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 웨팅부를 구성하는 롤러의 사시도.
도 3b는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 웨팅부를 구성하는 롤러의 단축 단면도.
도 3c는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 웨팅부의 세정액 공급 롤러의 장축 단면도.
도 3d는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 웨팅부를 구성하는 롤러의 동작을 설명하기 위한 예시도.
도 3e는 도 3d의 "A" 부분의 확대도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도.
도 5a 내지 도 5g는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 공정 단면도.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 투시 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 와이퍼 이송부의 사시도이며, 도 3a는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 웨팅부를 구성하는 롤러의 사시도이며, 도 3b는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 웨팅부를 구성하는 롤러의 단축 단면도이며, 도 3c는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 웨팅부의 세정액 공급 롤러의 장축 단면도이며, 도 3d는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치에 구비된 웨팅부를 구성하는 롤러의 동작을 설명하기 위한 예시도이며, 도 3e는 도 3d의 "A" 부분의 확대도이다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치(100)는 다수의 와이퍼(200)를 적재한 다수의 카트리지(111,112...118)를 일측에 적층 구비한 카트리지부(110), 카트리지부(110)로부터 이격하여 상측에 구비되고 다수의 카트리지(111,112...118)에 적재된 와이퍼(200)를 적어도 한 장씩 이송하는 와이퍼 이송부(120), 와이퍼 이송부(120)로부터 이송된 와이퍼(200)를 세정액 공급롤러(133)에 의해 세정액으로 웨팅(wetting)하는 웨팅부, 웨팅부에서 웨팅된 와이퍼(200')를 공급 카트리지(150)로 전달하는 가이드부(140), 웨팅된 와이퍼(200')를 적재하여 외부로 공급하는 공급 카트리지(150), 및 카트리지부(110), 와이퍼 이송부(120), 웨팅부, 공급 카트리지(150) 등의 구성부에 연결되어 동작을 제어하는 제어부(160)를 포함한다.

카트리지부(110)는 ? 와이퍼 제조 장치(100)의 일측에 다수의 와이퍼(200)를 적재한 제 1 카트리지(111), 제 2 카트리지(112),...제 8 카트리지(118)를 적층 구비하고, 제어부(160)의 제어에 의해 예를 들어 제 1 카트리지(111)를 와이퍼 이송부(120)의 영역으로 배출할 수 있다. 물론, 제 1 카트리지(111) 내지 제 8 카트리지(118)는 각각 센서(도시하지 않음)를 내부에 구비하고, 제어부(160)가 센서를 통해 카트리지(111,112...118)에 와이퍼(200)를 적재한 상태를 검출하여, 와이퍼(200)를 적재한 카트리지를 선택하여 배출할 수 있다.

와이퍼 이송부(120)는 카트리지부(110)로부터 이격하여 ? 와이퍼 제조 장치(100)의 내부 양측면에 각각 구비된 이송라인(123), 이송라인(123)에 맞물려 이동가능하게 장착되고 다수의 카트리지(111,112...118)에 적재된 와이퍼(200)를 적어도 한 장씩 뽑아 이송하는 제 1 이송바(121), 제 1 이송바(121)에 대응하여 이송라인(123)에 맞물려 이동가능하게 장착된 제 2 이송바(122), 및 제 2 이송바(122)의 하측에 고정 장착된 거치대(125)를 포함한다.

구체적으로, 제 1 이송바(121)는 도 2에 도시된 바와 같이, 카트리지(111,112...118)에 적재된 와이퍼(200)를 적어도 한 장씩 집어내기 위해 일면 양측에 적어도 두 개의 니들(Needle: 121-1,121-2)을 구비하고, 이러한 니들(121-1,121-2)은 상향으로 약 5 ~ 20도 구부러진 형상으로 구비되며, 제 1 이송바(121)의 타면에 니들(121-1,121-2)의 돌출 높이를 조절할 수 있는 레버(도시하지 않음)를 구비할 수 있다. 여기서, 니들이 제 1 니들(121-1)과 제 2 니들(121-2)로 도시하지만 이에 한정되지 않고, 와이퍼의 두께와 장수에 따라 3 개 이상으로 구비될 수도 있다.

이때, 제 1 이송바(121)의 타면에 구비된 레버를 이용하여, 니들(121-1,121-2)의 돌출 높이는 와이퍼(200)의 두께에 따라 예컨대, 0.2 ~ 1.0 mm로 조절 가능해서 와이퍼(200)를 1장씩 집어낼 수 있다.

이러한 제 1 이송바(121)는 제어부(160)의 제어에 의해 이송라인(123)을 따라 수직 또는 수평으로 이동하고 니들(121-1,121-2)을 통해 카트리지(111,112...118)에 적재된 와이퍼(200)를 적어도 한 장씩 집어내어 이송할 수 있다.

제 2 이송바(122)는 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 이송바(121)에 대응하여 일면 양측에 제 1 니들(121-1)이 수용되는 제 1 수용홈(122-1) 및 제 2 니들(121-2)이 수용되는 제 2 수용홈(122-2)을 구비하고 이송라인(123)에 장착된다. 물론, 제 2 이송바(122)는 제 1 수용홈(122-1)과 제 2 수용홈(122-2)의 두 개의 수용홈을 갖는 것으로 도시하지만, 이에 한정되지 않고, 제 1 이송바(121)의 니들 개수에 따라 수용홈의 개수는 설정 구비될 수 있다.

거치대(125)는 제 2 이송바(122)의 하측에 고정 장착된 봉형 부재로서, 제 1 이송바(121)와 제 2 이송바(122)로부터 분리된 와이퍼(200)를 일시적으로 거치하는 부분이다. 거치대(125)에서 일시적으로 거치된 와이퍼(200)는 구김없이 정렬되어 웨팅부의 제 1 롤러(133)와 제 2 롤러(134) 사이에 자연스럽게 삽입될 수 있다.

웨팅부는 도 1에 도시된 바와 같이, 세정액을 담은 저장부(131), 저장부(131)의 양측에 각각 일단이 연결된 두 개의 세정액 연결관(132), 세정액 연결관(132)의 타단에 각각 회동가능하게 장착된 제 1 웨팅 롤러(133), 및 제 1 웨팅 롤러(133)에 맞물려 회동가능하게 장착된 제 2 웨팅 롤러(134)를 포함한다.

구체적으로, 저장부(131)는 금속 재질의 박스 형태로 형성되어 내부에 세정액을 수용하고 외부의 압력 펌프에 연결된 구조로 구비될 수 있다. 이렇게 저장부(131)가 외부의 압력 펌프에 연결되므로, 저장부(131)의 세정액은 일정한 압력으로 세정액 연결관(132)을 통해 제 1 웨팅 롤러(133)로 공급될 수 있다.

세정액 연결관(132)은 저장부(131)의 양측에 각각 일단이 연결되고 타단에 제 1 웨팅 롤러(133)의 양측이 각각 연결된다. 이러한 세정액 연결관(132)은 도 3c에 도시된 바와 같이 양측 내부에 각각 두 개의 튜브관을 구비하고, 각각의 튜브관은 제 1 웨팅 롤러(133)의 내부 공간(Ⅰ,Ⅱ,Ⅲ,Ⅳ)에 개별적으로 연결될 수 있다.

즉, 일측의 세정액 연결관(132) 내부에 구비된 제 1 튜브관(132-1)은 제 1 웨팅 롤러(133)의 제 1 내부 공간(Ⅰ)에 연결되고, 제 2 튜브관(132-2)은 제 1 웨팅 롤러(133)의 제 1 내부 공간(Ⅰ)을 거쳐 제 2 내부 공간(Ⅱ)에 연결되며, 타측의 세정액 연결관(132) 내부에 구비된 제 3 튜브관(132-3)은 제 1 웨팅 롤러(133)의 제 4 내부 공간(Ⅳ)에 연결되며, 타측의 세정액 연결관(132) 내부에 구비된 제 4 튜브관(132-4)은 제 1 웨팅 롤러(133)의 제 4 내부 공간(Ⅳ)을 거쳐 제 3 내부 공간(Ⅲ)에 연결될 수 있다. 물론, 세정액 연결관(132) 내부에 구비된 튜브관의 개수는 제 1 웨팅 롤러(133)의 내부 공간의 개수에 따라 변동될 수 있다.

이렇게 튜브관들(132-1,132-2,132-3,132-4)이 제 1 웨팅 롤러(133)의 내부 공간(Ⅰ,Ⅱ,Ⅲ,Ⅳ)에 개별적으로 연결되므로, 저장부(131)의 세정액이 동일한 압력으로 제 1 웨팅 롤러(133)의 내부에 구획된 각각의 공간(Ⅰ,Ⅱ,Ⅲ,Ⅳ)에 각각 공급될 수 있다.

제 1 웨팅 롤러(133)는 도 3a와 도 3b에 도시된 바와 같이 원통형으로 내주면을 따라 일정 간격으로 내측에 돌출 형성된 다수의 격벽(133-1), 및 격벽(133-1) 사이에 장착되고 외주면을 따라 돌출된 다수의 세정액 공급 돌기(133-2)를 구비할 수 있다.

제 2 웨팅 롤러(134)는 원통 형태로서, 제 1 웨팅 롤러(133)의 세정액 공급 돌기(133-2)에 대응하여 맞닿는 돌기누름패턴(134-2)이 외주면을 따라 돌출 형성되고, 이러한 돌기누름패턴(134-2)은 예컨대 링 형태로 각각 장축 방향으로 외부면을 따라 서로 이격하여 다수 구비될 수 있다.

제 1 웨팅 롤러(133)와 제 2 웨팅 롤러(134)는 사이에 와이퍼(200)가 삽입되는 경우, 도 3d에 도시된 바와 같이 제어부(160)의 제어에 의해 서로 맞닿아 제 1 웨팅 롤러(133)의 세정액 공급 돌기(133-2)와 제 2 웨팅 롤러(134)의 돌기누름패턴(134-2)이 중간에 개재된 와이퍼(200)를 압착한다.

이때, 도 3e에 도시된 바와 같이 세정액 공급 돌기(133-2)가 뒤로 후퇴하면서 격벽(133-1)과 세정액 공급 돌기(133-2) 사이의 통로를 통해 세정액이 유출되어 와이퍼(200)에 흡착하여 웨팅(wetting)된다.

이러한 제 1 웨팅 롤러(133)가 제 2 웨팅 롤러(134)와 맞물려 회동함에 따라, 세정액은 저장부(131)로부터 동일한 압력으로 유출되어 와이퍼(200) 전체에 균일한 양으로 흡착 웨팅될 수 있다.

이렇게 웨팅된 와이퍼(200')는 가이드부(140)에 의해 공급 카트리지(150)로 다수이송되어 적재되고, 공급 카트리지(150)가 다수의 웨팅된 와이퍼(200')를 적재한 상태로 외부로 반송되며, 이에 따라 사용자에게 다수의 웨팅된 와이퍼(200')를 공급할 수 있다.

제어부(160)는 이와 같이 구성된 ? 와이퍼 제조 장치(100)의 카트리지부(110), 와이퍼 이송부(120), 웨팅부, 공급 카트리지(150) 등의 구성부에 연결되어 전반적인 동작을 제어할 수 있다.

특히, 제어부(160)는 카트리지부(110)를 구성하는 다수의 카트리지(111,112...118)에 구비된 센서를 통해 와이퍼(200)의 적재 여부를 판단하여 위 또는 아래 방향으로부터 차례로 카트리지(111,112...118) 중 어느 하나의 카트리지를 와이퍼 이송부(120)에 근접하게 이동시키고, 이러한 카트리지에 대해 와이퍼 이송부(120)의 제 1 이송바(121)를 정확하게 제어하여 적재된 와이퍼(200)를 한 장씩 뽑아 이송하게 한다.

이후, 제어부(160)는 제 1 이송바(121)의 니들(121-1,121-2)을 이용하여 한 장씩 뽑아 이송된 와이퍼(200)를 웨팅부에서 웨팅시키고, 웨팅된 와이퍼(200')를 공급 카트리지(150)에 적재하여 외부로 배출하게 한다.

이와 같이 구성된 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치(100)는 사용자의 선택에 따라 카트리지(111,112...118)에 적재된 와이퍼(200)를 필요한 양만큼 한 장씩 세정액의 낭비없이 적당량의 세정액으로 자동 웨팅시켜 사용자에게 공급할 수 있다.

이하, 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법에 대해 도 4 및 도 5a 내지 도 5g를 참조하여 설명한다. 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 5a 내지 도 5g는 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.

본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치(100)의 제어 방법은 먼저 사용자가 세정액이 웨팅된 와이퍼(200')를 공급받기 위해 키패드 또는 버튼(101)을 누름에 따라, 제어부(160)는 와이퍼 이송부(120)를 이용하여 카트리지부(110)를 구성하는 다수의 카트리지(111,112...118)에 적재된 와이퍼(200)를 한 장씩 이송한다(S410).

구체적으로, 제어부(160)는 ? 와이퍼 제조 장치(100)의 외부 일측에 구비된 키패드 또는 버튼(101)을 통해 입력된 사용자의 명령에 따라, 도 5a에 도시된 바와 같이 카트리지부(110)를 구성하는 다수의 카트리지(111,112...118)에 구비된 센서를 통해 와이퍼(200)의 적재 여부를 판단하고, 위 또는 아래 방향으로부터 차례로 카트리지(111,112...118) 중 와이퍼(200)를 적재한 어느 하나의 카트리지(111)를 와이퍼 이송부(120)에 근접하게 이동시킬 수 있다.

이어서, 제어부(160)는 도 5b에 도시된 바와 같이 이송라인(123)을 따라 이송부(120)의 제 1 이송바(121)를 이동시켜 카트리지(111)의 상부에 정확하게 위치시키며, 니들(121-1,121-2)을 이용하여 카트리지(111)에 적재된 와이퍼(200)를 한 장씩 뽑아 이송하게 한다.

이후, 제어부(160)는 제 1 이송바(121)의 니들(121-1,121-2)을 이용하여 한 장씩 뽑아 이송된 와이퍼(200)를 웨팅부에서 세정액으로 웨팅 처리한다(S420).

즉, 도 5c에 도시된 바와 같이, 제어부(160)는 니들(121-1,121-2)에 와이퍼(200)를 끼운 상태의 제 1 이송바(121)를 이송라인(123)을 따라 이동시켜, 도 5d에 도시된 바와 같이 제 2 이송바(122)의 제 1 수용홈(122-1) 및 제 2 수용홈(122-2)에 제 1 이송바(121)의 니들(121-1,121-2)이 맞물려 수용하게 한다.

이어서, 도 5e에 도시된 바와 같이, 제어부(160)는 웨팅부의 제 1 웨팅 롤러(133)와 제 2 웨팅 롤러(134) 사이에 위치하는 와이퍼(200)를 저장부(131)의 세정액으로 웨팅하기 위해 제 1 웨팅 롤러(133)와 제 2 웨팅 롤러(134)를 서로 맞물려 회동하게 한다.

이때, 도 5f에 도시된 바와 같이, 제 2 이송바(122)는 이송라인(123)을 따라 우측으로 이동하여 제 1 이송바(121)로부터 분리되어, 와이퍼(200)의 상측 부분이 거치대(125)에 걸쳐지게 한다. 이렇게 거치대(125)에 와이퍼(200)의 상측 부분이 걸쳐짐에 따라, 와이퍼(200)는 구김없이 정렬되어 웨팅부의 제 1 롤러(133)와 제 2 롤러(134) 사이에 자연스럽게 삽입될 수 있다.

제 1 웨팅 롤러(133)와 제 2 웨팅 롤러(134)의 회동에 따라, 도 3e에서처럼 격벽(133-1)과 세정액 공급 돌기(133-2) 사이의 통로를 통해 세정액이 와이퍼(200)에 흡착하여 웨팅된다.

이러한 과정을 통해 웨팅된 와이퍼(200')는 도 5g에 도시된 바와 같이 가이드부(140)를 거쳐서 공급 카트리지(150)에 적재한다(S430).

이후, 제어부(160)는 공급 카트리지(150)에 적재된 웨팅된 와이퍼(200')의 양이 사용자가 키패드 또는 버튼(101)을 통해 입력한 웨팅된 와이퍼(200')의 개수인지를 판단한다(S440).

구체적으로, 제어부(160)는 공급 카트리지(150) 또는 공급 카트리지(150)에 근접하여 장착된 센서(도시하지 않음)를 통해 공급 카트리지(150)에 적재된 웨팅된 와이퍼(200')의 양에 관한 정보를 수신할 수 있고, 이러한 정보를 근거로 하여 사용자가 키패드 또는 버튼(101)을 통해 입력한 웨팅된 와이퍼(200')의 개수인지를 판단할 수 있다.

공급 카트리지(150)에 적재된 웨팅된 와이퍼(200')의 양이 사용자가 키패드 또는 버튼(101)을 통해 입력한 웨팅된 와이퍼(200')의 개수이면, 제어부(160)는 공급 카트리지(150)를 ? 와이퍼 제조 장치(100)의 외부로 배출하여 사용자에게 공급한다(S450).

여기서, 공급 카트리지(150)에 적재된 웨팅된 와이퍼(200')의 양이 사용자가 키패드 또는 버튼(101)을 통해 입력한 웨팅된 와이퍼(200')의 개수보다 부족하면, 제어부(160)는 전술한 와이퍼(200)의 웨팅 과정을 반복적으로 수행하여 공급 카트리지(150)에 웨팅된 와이퍼(200')를 적재하여 외부로 배출할 수 있다.

이와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 ? 와이퍼 제조 장치(100)의 제어 방법은 카트리지(111,112...118)에 적재된 와이퍼(200)를 필요한 양만큼 한 장씩 집어내도록 제어하고, 세정액의 낭비없이 적당량의 세정액으로 자동 웨팅시켜, 웨팅된 와이퍼(200')를 자동으로 사용자에게 공급할 수 있다.

본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 전술한 실시예들은 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다.

또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 다양한 실시가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

100: ? 와이퍼 제조장치 110: 카트리지부
120: 와이퍼 이송부 121: 제 1 이송바
121-1,121-2: 니들 122: 제 2 이송바
123: 이송라인 125: 거치대
131: 저장부 132: 세정액 연결관
133: 제 1 웨팅 롤러 133-1: 격벽
133-2: 세정액 공급돌기 134: 제 2 웨팅 롤러
134-2: 돌기누름패턴 140: 가이드부
150: 공급 카트리지 160: 제어부
200: 와이퍼 200': 웨팅된 와이퍼

Claims

다수의 와이퍼를 적재한 다수의 카트리지를 일측에 적층 구비한 카트리지부;
상기 카트리지부로부터 이격하여 구비되고, 상기 카트리지의 와이퍼를 적어도 한 장씩 이송하는 와이퍼 이송부;
타측에서 상기 와이퍼 이송부에 의해 이송된 와이퍼를 세정액으로 웨팅(wetting)하는 웨팅부;
상기 웨팅부에서 웨팅된 와이퍼를 적재하여 외부로 공급하는 공급 카트리지부; 및
상기 카트리지부, 와이퍼 이송부, 웨팅부 및 공급 카트리지부에 연결되어 동작을 제어하는 제어부;
를 포함하는 ? 와이퍼 제조 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 웨팅부에서 웨팅된 와이퍼를 상기 공급 카트리지부로 전달하는 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 와이퍼 이송부는
상기 카트리지부로부터 이격하여 내부 양측면에 각각 구비된 이송라인;
상기 이송라인을 따라 이동하여 상기 카트리지에 적재된 와이퍼를 적어도 한 장씩 뽑아 이송하는 제 1 이송바; 및
상기 제 1 이송바에 대응하여 상기 이송라인에 이동가능하게 장착된 제 2 이송바;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 와이퍼 이송부는
상기 제 2 이송바로부터 이격하여 하측에 봉 형태로 고정 장착된 거치대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 이송바는
일면에 구비된 적어도 두 개의 니들(Needle); 및
타면에 상기 니들의 돌출 높이를 조절하는 레버;
를 포함하고,
상기 니들은 상향으로 5 ~ 20도 구부러진 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 제 2 이송바는 일면에 상기 니들이 각각 수용되는 수용홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 웨팅부는
세정액을 담은 저장부;
상기 저장부의 양측에 각각 일단이 연결된 두 개의 세정액 연결관;
상기 세정액 연결관의 타단에 각각 회동가능하게 연결 장착된 제 1 웨팅 롤러; 및
상기 제 1 웨팅 롤러에 맞물려 회동가능하게 장착된 제 2 웨팅 롤러;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 세정액 연결관은 내부에 상기 제 1 웨팅 롤러의 내부에 구획된 다수의 내부 공간에 개별적으로 연결된 다수의 튜브관을 구비하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 제 1 웨팅 롤러는 원통 형태로 구비되고,
내주면을 따라 내측에 돌출 형성된 다수의 격벽; 및
상기 격벽 사이에 장착되고 외주면을 따라 돌출된 다수의 세정액 공급 돌기;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치.
제 9 항에 있어서,
상기 제 2 웨팅 롤러는 원통 형태로 구비되고,
상기 제 1 웨팅 롤러의 세정액 공급 돌기에 대응하여 외주면을 따라 돌출 형성된 돌기누름패턴을 다수 포함하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치.
(A) 제어부가 와이퍼 이송부를 제어하여 카트리지부를 구성하는 다수의 카트리지 중 어느 하나의 카트리지에 적재된 와이퍼를 적어도 한 장씩 이송하는 단계;
(B) 상기 이송된 와이퍼를 웨팅부에서 세정액으로 웨팅 처리하는 단계;
(C) 상기 웨팅된 와이퍼를 공급 카트리지에 적재하는 단계;
(D) 상기 제어부가 상기 공급 카트리지에 적재된 웨팅된 와이퍼의 양이 필요한 웨팅된 와이퍼의 개수인지를 판단하는 단계; 및
(E) 상기 웨팅된 와이퍼의 개수인지를 판단하는 단계의 결과에 따라, 상기 제어부는 상기 웨팅된 와이퍼를 적재한 상기 공급 카트리지를 외부로 배출하는 단계;
를 포함하는 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법.
제 11 항에 있어서,
상기 (A) 단계는
(A-1) 상기 제어부가 상기 다수의 카트리지에 각각 구비된 센서를 통해 상기 와이퍼의 적재 여부를 판단하는 단계;
(A-2) 상기 제어부가 상기 다수의 카트리지 중 상기 와이퍼를 적재한 어느 하나의 카트리지를 상기 와이퍼 이송부의 하측으로 이동시키는 단계;
(A-3) 상기 제어부가 상기 와이퍼 이송부의 제 1 이송바를 이송라인을 따라 이동시켜 상기 이동된 어느 하나의 카트리지의 상부에 위치시키는 단계; 및
(A-4) 상기 제어부가 상기 제 1 이송바에 구비된 적어도 두 개의 니들을 이용하여, 상기 이동된 어느 하나의 카트리지에 적재된 와이퍼를 적어도 한 장씩 뽑아 이송하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법.
제 11 항에 있어서,
상기 (B)단계에서 상기 웨팅부는
세정액을 담은 저장부;
상기 저장부의 양측에 각각 일단이 연결된 두 개의 세정액 연결관;
상기 세정액 연결관의 타단에 각각 회동가능하게 연결 장착된 제 1 웨팅 롤러; 및
상기 제 1 웨팅 롤러에 맞물려 회동가능하게 장착된 제 2 웨팅 롤러;
를 포함하고,
상기 (B)단계는
(B-1) 상기 제어부가 상기 이송된 와이퍼를 상기 제 1 웨팅 롤러와 제 2 웨팅 롤러 사이에 삽입하는 단계; 및
(B-2) 상기 제 1 웨팅 롤러와 제 2 웨팅 롤러가 맞물려 회동함에 따라, 상기 제 1 웨팅 롤러로부터 유출되는 상기 세정액으로 상기 이송된 와이퍼를 웨팅하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법.
제 13 항에 있어서,
상기 제 1 웨팅 롤러는 원통 형태로 구비되고, 내주면을 따라 내측에 돌출 형성된 다수의 격벽; 및 상기 격벽 사이에 장착되고 외주면을 따라 돌출된 다수의 세정액 공급 돌기;를 포함하고,
상기 제 1 웨팅 롤러와 제 2 웨팅 롤러가 맞물려 회동함에 따라 형성된 상기 격벽과 세정액 공급 돌기 사이의 통로를 통해 상기 세정액이 유출되는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법.
제 13 항에 있어서,
상기 제 2 웨팅 롤러는 원통 형태로 구비되고,
상기 제 1 웨팅 롤러의 세정액 공급 돌기에 대응하여 외주면을 따라 돌출 형성된 돌기누름패턴을 다수 포함하는 것을 특징으로 하는 ? 와이퍼 제조 장치의 제어 방법.