KR20160008717A - Liquid supply unit and apparatus for processing substrate having the same - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a liquid supply unit. The liquid supply unit comprises: a tank storing liquid; an inlet line through which the inside of the tank receives the liquid; a supply line which supplies the liquid to the outside of the tank; and a sheet which is located in the inside of the tank and in which a hole, which vertically penetrates, is formed.

Description

액 공급 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치{Liquid supply unit and apparatus for processing substrate having the same}[0001] LIQUID SUPPLY UNIT AND APPARATUS FOR PROCESSING SAME [0002]

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 구체적으로 액을 공급하는 액 공급 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a liquid supply unit for supplying a liquid and a substrate processing apparatus having the same.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하는 표시 패널(display panel)을 가진다. 기술의 급속한 발전에 따라 액정 디스플레이(LCD)와 같은 평판 표시 패널의 사용이 급격히 증대하고 있다.In recent years, information processing devices are rapidly evolving to have various functions and faster information processing speeds. Such an information processing apparatus has a display panel for displaying the activated information. With the rapid development of technology, the use of flat panel display panels such as liquid crystal displays (LCDs) is rapidly increasing.

이와 같은 평판 표시 패널을 제조하기 위해서는 포토 레지스트, 노광, 현상, 그리고 세정 등 다양한 공정들이 요구된다. 기판을 각 패턴이 형성된 셀로 나누어 절단한 후에는 절단면의 날카로움 및 거스러미를 제거하기 위하여 연마를 행하며, 연마시에 발생하는 기판의 입자나 연마입자 등의 오염물질을 제거하기 위한 세정작업을 행한다.In order to manufacture such a flat panel display panel, various processes such as photoresist, exposure, development, and cleaning are required. After the substrate is divided into cells each having a pattern formed thereon, the substrate is polished to remove the sharpness and roughness of the cut surface, and a cleaning operation is performed to remove contaminants such as particles and abrasive grains on the substrate.

세정공정은 각종 화학약품(약액) 등을 처리한 후 기판의 표면에 흡착된 오염물질을 제거하는 것이다. 그러나 약액이 탱크로 공급되면서 버블이 발생한다.. 따라서 탱크 내부에 발생되는 버블은 레벨센서의 접촉면에 부착되어 레벨센서의 오작동이 발생한다. 또한, 탱크 일측에 구성되는 유입펌프 및 공급펌프로 버블이 유입되어, 펌프의 수명이 짧아지고 오작동이 발생된다. The cleaning process removes contaminants adsorbed on the surface of the substrate after treating various chemicals (chemical solutions) and the like. However, the bubble is generated when the chemical liquid is supplied to the tank. Therefore, the bubble generated in the tank is attached to the contact surface of the level sensor, resulting in malfunction of the level sensor. Further, the bubbles flow into the inflow pump and the supply pump formed at one side of the tank, shortening the service life of the pump and causing a malfunction.

본 발명의 기술적 과제는 탱크 내부의 버블 발생을 방지하는 액 공급 유닛 및 기판 처리 장치를 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a liquid supply unit and a substrate processing apparatus for preventing the occurrence of bubbles in a tank.

본 발명은 액 공급 유닛을 제공한다. 액 공급 유닛은 액을 저장하는 탱크,The present invention provides a liquid supply unit. The liquid supply unit includes a tank for storing liquid,

상기 탱크의 내부로 상기 액을 공급받는 유입 라인, 상기 탱크의 외부로 상기 액을 공급하는 공급 라인 및 상기 탱크 내부에 위치하고 상하방향으로 관통되어있는 홀이 형성되는 시트를 포함한다.An inflow line for supplying the liquid to the inside of the tank, a supply line for supplying the liquid to the outside of the tank, and a sheet positioned inside the tank and passing through in a vertical direction.

일 예에 의하여, 상기 시트는 상기 액보다 비중이 작은 재질이다.According to one example, the sheet is a material having a specific gravity smaller than that of the liquid.

일 예에 의하여, 상기 시트는 수지계열 재질을 포함한다. 상기 수지 계열은 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 또는 불포화에스터을 포함한다.By way of example, the sheet comprises a resin-based material. The resin series includes polyethylene, polypropylene or unsaturated esters.

다른 예에 의하여, 상기 액은 순수이고, 상기 시트의 비중이 1이다.According to another example, the liquid is pure water and the specific gravity of the sheet is one.

일 예에 의하여, 상기 유입 라인은 상기 탱크의 상면에 결합되고, 상기 공급라인은 상기 탱크의 하면에 결합된다.By way of example, the inflow line is coupled to the upper surface of the tank, and the supply line is coupled to the lower surface of the tank.

일 예에 의하여, 상기 액이 공급됨에 따라 상기 시트의 상하 이동을 안내하는 가이드 봉을 더 포함한다.According to an example, the guide rod further guides the up and down movement of the sheet as the liquid is supplied.

일 예에 의하여, 상기 가이드 봉은 그 길이방향이 제 3 방향으로 제공되어 상기 탱크의 상면 및 하면에 고정된다.According to an example, the guide rod is provided in the third direction in its longitudinal direction and fixed to the upper and lower surfaces of the tank.

일 예에 의하여, 상기 가이드 봉은 상기 시트의 양 끝단에 복수 개가 형성된다.According to an example, a plurality of guide bars are formed at both ends of the sheet.

일 예에 의하여, 상기 시트에는 상기 가이드 봉이 삽입되는 가이드 홀이 형성된다.According to an example, a guide hole into which the guide rod is inserted is formed in the seat.

본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는 기판을 처리 하는 처리실 및 상기 처리실에 액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은, 액을 저장하는 탱크, 상기 탱크의 내부로 상기 액을 공급받는 유입 라인, 상기 탱크의 외부로 상기 액을 공급하는 공급 라인 및 상기 탱크 내부에 위치하고 상하방향으로 관통된 홀이 형성되는 시트를 포함한다.The present invention provides a substrate processing apparatus. The substrate processing apparatus includes a processing chamber for processing a substrate and a liquid supply unit for supplying a liquid to the processing chamber, wherein the liquid supply unit includes a tank for storing a liquid, an inflow line for receiving the liquid into the tank, A supply line for supplying the liquid to the outside of the tank, and a sheet positioned inside the tank and formed with holes penetrating in the vertical direction.

일 예에 의하여, 상기 시트는 상기 액보다 비중이 작은 재질이다.According to one example, the sheet is a material having a specific gravity smaller than that of the liquid.

일 예에 의하여, 상기 시트가 상기 액이 공급됨에 따라 상하로 이동할 수 있게 가이드 하는 가이드 봉을 더 포함한다.According to one example, the sheet further includes a guide rod for guiding the sheet to move up and down as the liquid is supplied.

일 예에 의하여, 상기 시트에는 상기 가이드 봉이 삽입되는 가이드 홀이 형성된다.According to an example, a guide hole into which the guide rod is inserted is formed in the seat.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 탱크 내부에 시트를 추가하여 버블 발생을 방지할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, it is possible to prevent the occurrence of bubbles by adding a sheet inside the tank.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 시트가 상하로 움직일 때 가이드 봉이 시트의 위치가 불안정해 지는 것을 방지할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to prevent the position of the guide rod from becoming unstable when the sheet moves up and down.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1의 반송 유닛의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 2의 액 공급 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 4는 도 3의 일 실시 예를 보여주는 사시도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a plan view showing an example of the transport unit of Fig. 1;
3 is a perspective view showing the liquid supply unit of Fig.
4 is a perspective view showing an embodiment of FIG.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will become apparent by reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치(1)를 보여주는 단면도이고, 도 2는 도 1의 반송 유닛(200)의 일 예를 보여주는 평면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view showing a substrate processing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing an example of the transfer unit 200 of FIG.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 처리실(100) 및 액 공급 유닛(600)을 포함한다. 처리실(100)은 공정 챔버(101) 및 반송 유닛(200)을 포함한다. 공정 챔버(101)는 기판(S)을 처리하기 위한 공간을 제공한다. 일 예로, 공정 챔버(101)는 에칭 챔버 및 세정 챔버 및 건조 챔버를 포함할 수 있다. 에칭 챔버, 세정 챔버 및 건조 챔버는 제 1 방향(12)을 따라 순차적으로 배열된다. 제 1 방향(12)은 기판(S)의 이동방향으로 정의한다. 에칭 챔버는 기판(S)에 케미컬을 공급하여 식각 공정을 진행한다. 에칭 챔버는 식각 가스를 배출하는 분사부재를 포함한다. 세정 챔버는 에칭 공정이 완료된 기판(S) 상에 순수를 공급하여 케미컬을 제거한다. 세정 챔버는 순수를 분사하는 분사부재를 포함한다. 건조 챔버는 기판(S)에 건조 가스를 분사하여 기판(S) 표면에 잔류하는 케미컬 또는 순수를 건조시킨다. 건조 챔버는 건조 가스를 배출하는 분사부재를 포함한다.Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 1 includes a process chamber 100 and a liquid supply unit 600. The process chamber 100 includes a process chamber 101 and a transfer unit 200. The process chamber 101 provides a space for processing the substrate S. [ In one example, the process chamber 101 may include an etch chamber and a cleaning chamber and a drying chamber. The etching chamber, the cleaning chamber, and the drying chamber are sequentially arranged along the first direction (12). The first direction 12 defines the direction of movement of the substrate S. The etching chamber supplies a chemical to the substrate S and proceeds the etching process. The etching chamber includes a jetting member for discharging the etching gas. The cleaning chamber removes the chemical by supplying pure water onto the substrate S having been subjected to the etching process. The cleaning chamber includes a jetting member for jetting pure water. The drying chamber blows dry gas onto the substrate (S) to dry the chemical or pure water remaining on the surface of the substrate (S). The drying chamber includes a jetting member for discharging the drying gas.

공정 챔버(101)에는 기판 유입구(110) 및 기판 유출구(120)가 제공된다. 공정 챔버(101)의 하면에는 기판(S)을 처리한 액을 배수하는 배수 라인(400)이 제공된다. The process chamber 101 is provided with a substrate inlet 110 and a substrate outlet 120. On the lower surface of the process chamber 101, a drain line 400 for draining the liquid processed by the substrate S is provided.

도 2를 참조하면, 반송 유닛(200)은 기판(S)을 챔버들 사이 또는 챔버 내에서 제 1 방향(12)으로 반송한다. 반송 유닛(200)은 복수의 샤프트들(220), 롤러들(240), 그리고 구동부(260)를 가진다. 복수의 샤프트들(220)은 제1방향(12)을 따라 배열된다. 각각의 샤프트(220)는 그 길이 방향이 제2방향(16)으로 제공된다. 제 2 방향(16)은 챔버 상부에서 본 경우 제 1 방향(12)과 수직한다. 샤프트들(220)은 서로 나란하게 배치된다. 샤프트들(220)은 각각의 챔버 내에서 기판 유입구(110)와 인접한 위치에서부터 기판 유출구(120)와 인접한 위치까지 제공된다. 각각의 샤프트(220)에는 그 길이방향을 따라 복수의 롤러들(240)이 고정 결합된다. 샤프트들(220)은 그 중심축을 기준으로 구동부(260)에 의해 회전된다. 구동부(260)는 풀리들(262), 벨트들(264), 그리고 모터(266)를 가진다. 풀리들(262)은 각각의 샤프트(220)의 양단에 각각 결합된다. 서로 인접하게 배치된 풀리들(262)은 벨트(264)에 의해 서로 연결된다. 풀리들(262) 중 어느 하나에는 이를 회전시키는 모터(266)가 결합된다. 상술한, 풀리(262), 벨트(264), 그리고 모터(266)의 조립체에 의해 샤프트들(220)과 롤러들(240)이 회전되고, 기판(S)은 그 하면이 롤러에 접촉된 상태로 샤프트들(220)을 따라 직선 이동된다. 각각의 샤프트(220)는 수평으로 배치되어 기판(S)은 수평 상태로 이송될 수 있다. Referring to Fig. 2, the transport unit 200 transports the substrate S in the first direction 12 between chambers or within the chamber. The transport unit 200 has a plurality of shafts 220, rollers 240, and a drive unit 260. A plurality of shafts (220) are arranged along the first direction (12). Each shaft 220 is provided with its longitudinal direction in a second direction 16. The second direction 16 is perpendicular to the first direction 12 when viewed from above the chamber. The shafts 220 are disposed side by side. Shafts 220 are provided in each chamber from a location adjacent the substrate inlet 110 to a location adjacent to the substrate outlet 120. A plurality of rollers 240 are fixedly coupled to the respective shafts 220 along the longitudinal direction thereof. The shafts 220 are rotated by the driving unit 260 about the center axis thereof. The drive portion 260 has pulleys 262, belts 264, and a motor 266. The pulleys 262 are coupled to both ends of the respective shafts 220, respectively. The pulleys 262 disposed adjacent to each other are connected to each other by a belt 264. [ One of the pulleys 262 is coupled to a motor 266 for rotating it. The shaft 220 and the rollers 240 are rotated by the assembly of the pulley 262, the belt 264 and the motor 266 described above and the substrate S is brought into contact with the roller As shown in FIG. Each shaft 220 is horizontally disposed and the substrate S can be transported in a horizontal state.

액 공급 유닛(600)은 액을 처리실(100)로 공급한다. 예를 들어, 액은 케미컬 또는 순수(DI water)일 수 있다. 액 공급 유닛(600)은 공급 라인(640)을 통해 처리실(100)로 액을 공급한다. 액 공급 유닛(600)은 유입 라인(660)을 통해 액을 공급받는다.
The liquid supply unit 600 supplies the liquid to the process chamber 100. For example, the liquid may be chemical or pure water (DI water). The liquid supply unit 600 supplies the liquid to the process chamber 100 through the supply line 640. The liquid supply unit 600 receives the liquid through the inflow line 660.

도 3은 도 1의 액 공급 유닛(600)을 보여주는 사시도이다.3 is a perspective view showing the liquid supply unit 600 of FIG.

도 3를 참조하면, 액 공급 유닛(600)은 탱크(610), 시트(620) 및 레벨 센서(680)를 포함한다. Referring to FIG. 3, the liquid supply unit 600 includes a tank 610, a sheet 620, and a level sensor 680.

탱크(610)는 액을 저장한다. 탱크(610)에는 유입 라인(660), 공급 라인(640) 및 열선(670)이 제공된다. 유입 라인(660)은 탱크(610)의 내부로 액을 공급한다. 유입 라인(660)은 탱크(610)의 상면에 결합된다. 유입 라인(660)은 탱크의 내부를 향해 연장될 수 있다. 유입 라인(660)을 통하여 액이 탱크(610) 내부로 낙하하게 된다. 공급 라인(640)은 탱크(610)에서 처리실(100)로 액을 공급한다. 공급 라인(640)은 처리실(100)의 분사 부재(300)로 액을 공급한다. 공급 라인(640)은 탱크(610)의 하면에 결합된다. 공급 라인(640)에는 펌프(미도시)가 제공된다. The tank 610 stores the liquid. The tank 610 is provided with an inlet line 660, a supply line 640 and a heat line 670. The inlet line 660 supplies the liquid into the interior of the tank 610. The inlet line 660 is coupled to the top surface of the tank 610. The inlet line 660 may extend toward the interior of the tank. The liquid is dropped into the tank 610 through the inflow line 660. The supply line 640 supplies the liquid from the tank 610 to the process chamber 100. The supply line 640 supplies the liquid to the jetting member 300 of the process chamber 100. The supply line 640 is coupled to the lower surface of the tank 610. The supply line 640 is provided with a pump (not shown).

탱크(610)내 하부에는 가열부재(670)가 제공된다. 예를 들어, 가열부재(670)는 열선 또는 램프를 포함한다. 가열부재(670)는 그 길이방향이 제 1 방향(12)으로 연장된다. 가열부재(670)는 복수개가 제공될 수 있다. 가열부재(670)는 공급하는 액의 온도를 조절한다. 가열부재(670)는 상부에서 바라볼 때 탱크(610) 전체 면적을 가열할 수 있게 제공된다.A heating member 670 is provided in the lower portion of the tank 610. For example, the heating member 670 includes a hot wire or a lamp. The heating member 670 extends in the first direction 12 in its longitudinal direction. A plurality of heating members 670 may be provided. The heating member 670 regulates the temperature of the supplied liquid. The heating member 670 is provided to heat the entire area of the tank 610 when viewed from above.

탱크(610)의 측면에는 창(650)이 제공된다. 창(650)을 통해 탱크(610) 내부의 액의 양을 체크할 수 있다.A window 650 is provided on the side of the tank 610. The amount of liquid in the tank 610 can be checked through the window 650.

시트(620)는 탱크(610) 내부에서 버블 발생을 방지한다. 유입 라인(660)에 의해 공급되는 액이 낙하하여 버블이 발생한다. 시트(620)는 탱크(610) 내부의 열선(670) 상부에 제공된다. 시트(620)에는 상하방향으로 관통되어있는 홀(628)이 반복되게 형성된다. 예를 들어, 홀(628)은 원형이고, 홀(628)은 일정한 크기 및 일정한 간격으로 형성된다. 시트(620)는 공급되는 액보다 비중이 작은 재질로 제공된다. 따라서, 시트(620)는 액 상에 부유한다. 예를 들어, 공급되는 액이 순수인 경우 시트 재질의 비중은 1보다 작다. 시트(620)는 수지계열 재질을 포함한다. 예를 들어, 수지 계열은 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 또는 불포화에스터을 포함할 수 있다. 시트(620)의 두께는 8mm 내지 12mm일 수 있다. 다만, 시트(620)의 두께는 제한되지 않고, 다른 두께로 제공될 수 있다. 공급된 액은 탱크(610)의 하부로부터 순차적으로 차오른다. 공급되는 액의 양에 따라 시트(620)는 탱크(610) 내에서 상하로 이동한다. 시트(620)의 위치로 탱크(610) 내부의 액의 수치를 감지할 수 있다. 유입라인으로부터 공급되는 액이 시트(620)의 홀(628)을 통과한다. 탱크(610)에 액이 차오르면서 버블이 발생할 수 있다. 이 때, 시트(620)가 액 상에 부유하고 있어 버블이 발생하지 않도록 막는다. 버블 발생의 방지를 통해 펌프(미도시)의 수명을 연장시키고 펌프(미도시)의 에러를 방지할 수 있다. The sheet 620 prevents bubbles from forming inside the tank 610. The liquid supplied by the inflow line 660 falls and bubbles are generated. The sheet 620 is provided on top of the heat ray 670 inside the tank 610. Holes 628 penetrating the sheet 620 in the up and down direction are formed repeatedly. For example, the holes 628 are circular, and the holes 628 are formed with a constant size and a constant spacing. The sheet 620 is provided with a material having a smaller specific gravity than the liquid to be supplied. Thus, the sheet 620 floats on the liquid. For example, when the supplied liquid is pure water, the specific gravity of the sheet material is less than one. Sheet 620 includes a resin-based material. For example, the resin series may comprise polyethylene, polypropylene or unsaturated esters. The thickness of the sheet 620 may be 8 mm to 12 mm. However, the thickness of the sheet 620 is not limited, and may be provided in different thicknesses. The supplied liquid sequentially flows from the lower portion of the tank 610. The sheet 620 moves up and down in the tank 610 according to the amount of the supplied liquid. The position of the sheet 620 may be used to sense the level of liquid in the tank 610. The liquid supplied from the inflow line passes through the holes 628 of the sheet 620. The liquid may flow into the tank 610 and bubbles may be generated. At this time, the sheet 620 is prevented from being bubbled due to floating on the liquid. By preventing bubbles from occurring, the life of the pump (not shown) can be extended and errors in the pump (not shown) can be prevented.

탱크(610) 내부에 가이드 봉(630)이 제공된다. 예를 들어, 가이드 봉(630)은 탱크(610)의 양 끝단에 한 개씩 제공될 수 있다. 가이드 봉(630)은 탱크(610)의 하면에 고정되며 제 3 방향(14)으로 연장되어 탱크(610) 상면에 고정된다. 제 3 방향(14)은 상부에서 볼 때 제 1 방향(12) 및 제 2 방향(16)에 수직한 방향이다. 가이드 봉(630)에 시트(620)가 결합된다. 시트(620)는 가이드 봉(630)을 따라 움직일 수 있다. 시트(620)에는 가이드 봉(630)이 통과하는 가이드 홀(625)이 제공된다. 가이드 봉(630)의 직경은 가이드 홀(625)의 직경보다 작다. 탱크(610) 내부에 액이 차면 시트(620)는 상하로 움직일 수 있다. 시트(620)는 공급된 액 상에 부유함으로 그 위치가 불안정할 수 있다. 가이드 봉(630)이 시트(620)의 양 끝단에 위치함으로써 시트(620)가 틀어지는 것을 방지하고 시트(620)의 위치를 안정화시킬 수 있다. 선택적으로, 가이드 봉(630)은 시트(620)의 양 끝단에 복수개가 위치할 수 있다. A guide rod 630 is provided inside the tank 610. For example, the guide rods 630 may be provided at both ends of the tank 610, respectively. The guide rod 630 is fixed to the lower surface of the tank 610 and extends in the third direction 14 to be fixed to the upper surface of the tank 610. The third direction 14 is a direction perpendicular to the first direction 12 and the second direction 16 when viewed from above. The sheet 620 is engaged with the guide rod 630. The sheet 620 can be moved along the guide rod 630. The sheet 620 is provided with a guide hole 625 through which the guide rod 630 passes. The diameter of the guide rod 630 is smaller than the diameter of the guide hole 625. When the liquid is filled in the tank 610, the sheet 620 can move up and down. The sheet 620 may float on the supplied liquid and its position may be unstable. The guide rods 630 are positioned at both ends of the sheet 620 to prevent the sheet 620 from turning and to stabilize the position of the sheet 620. [ Alternatively, a plurality of guide rods 630 may be positioned at both ends of the sheet 620.

레벨 센서(680)는 탱크(610) 내의 액의 양을 측정한다. 레벨 센서(680)는 탱크(610)의 외측면에 제공된다. 레벨 센서(680)는 제 3 방향(14)으로 제공된다. 예를 들어, 레벨 센서(680)는 복수 개가 제공될 수 있다. 레벨 센서(680)는 탱크(610) 내부의 액의 수치를 외부에서 감지한다. 시트(620)를 통해 버블을 방지하여 레벨 센서(680)의 에러를 줄일 수 있다.
The level sensor 680 measures the amount of liquid in the tank 610. The level sensor 680 is provided on the outer surface of the tank 610. The level sensor 680 is provided in the third direction 14. For example, a plurality of level sensors 680 may be provided. The level sensor 680 senses the liquid level inside the tank 610 from the outside. The bubble can be prevented through the sheet 620 to reduce the error of the level sensor 680. [

Claims (14)

액 공급 유닛에 있어서,
액을 저장하는 탱크;
상기 탱크의 내부로 상기 액을 공급받는 유입 라인;
상기 탱크의 외부로 상기 액을 공급하는 공급 라인; 및
상기 탱크 내부에 위치하고 상하방향으로 관통된 홀이 형성되는 시트를 포함하는 액 공급 유닛.In the liquid supply unit,
A tank for storing liquid;
An inflow line supplied with the liquid into the tank;
A supply line for supplying the liquid to the outside of the tank; And
And a sheet which is located inside the tank and in which a hole penetrating in the vertical direction is formed. 제 1 항에 있어서,
상기 시트는 상기 액보다 비중이 작은 재질인 액 공급 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the sheet has a specific gravity smaller than that of the liquid. 제 2 항에 있어서,
상기 시트는 수지계열 재질을 포함하는 액 공급 유닛.3. The method of claim 2,
Wherein the sheet comprises a resin-based material. 제 3 항에 있어서,
상기 수지 계열은 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 또는 불포화에스터을 포함하는 액 공급 유닛.The method of claim 3,
Wherein the resin series comprises polyethylene, polypropylene or an unsaturated ester. 제 1 항에 있어서,
상기 액은 순수이고, 상기 시트의 비중이 1인 액 공급 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the liquid is pure water, and the specific gravity of the sheet is one. 제 1 항에 있어서,
상기 유입 라인은 상기 탱크의 상면에 결합되고, 상기 공급라인은 상기 탱크의 하면에 결합되는 액 공급 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the inlet line is coupled to an upper surface of the tank, and the supply line is coupled to a lower surface of the tank. 제 1 항에 있어서,
상기 액이 공급됨에 따라 상기 시트의 상하 이동을 안내하는 가이드 봉을 더 포함하는 액 공급 유닛.The method according to claim 1,
And a guide rod for guiding upward and downward movement of the sheet as the liquid is supplied. 제 7 항에 있어서,
상기 가이드 봉은 그 길이방향이 제 3 방향으로 제공되어 상기 탱크의 상면 및 하면에 고정되는 액 공급 유닛.8. The method of claim 7,
Wherein the guide rod is fixed to the upper and lower surfaces of the tank by providing the guide rod in a third direction. 제 7 항에 있어서,
상기 가이드 봉은 상기 시트의 양 끝단에 복수 개가 형성되는 액 공급 유닛.8. The method of claim 7,
And a plurality of guide bars are formed at both ends of the sheet. 제 7 항에 있어서,
상기 시트에는 상기 가이드 봉이 삽입되는 가이드 홀이 형성되는 액 공급 유닛.8. The method of claim 7,
And a guide hole into which the guide rod is inserted is formed in the sheet. 기판 처리 장치에 있어서,
기판을 처리 하는 처리실; 및
상기 처리실에 액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함하되,
상기 액 공급 유닛은,
액을 저장하는 탱크;
상기 탱크의 내부로 상기 액을 공급받는 유입 라인;
상기 탱크의 외부로 상기 액을 공급하는 공급 라인; 및
상기 탱크 내부에 위치하고 상하방향으로 관통된 홀이 형성되는 시트를 포함하는 기판 처리 장치.In the substrate processing apparatus,
A processing chamber for processing the substrate; And
And a liquid supply unit for supplying a liquid to the processing chamber,
The liquid supply unit includes:
A tank for storing liquid;
An inflow line supplied with the liquid into the tank;
A supply line for supplying the liquid to the outside of the tank; And
And a sheet disposed in the tank and having a hole penetrating in a vertical direction. 제 11 항에 있어서,
상기 시트는 상기 액보다 비중이 작은 재질인 기판 처리 장치.12. The method of claim 11,
Wherein the sheet has a specific gravity smaller than that of the liquid. 제 11 항에 있어서,
상기 시트가 상기 액이 공급됨에 따라 상하로 이동할 수 있게 가이드 하는 가이드 봉을 더 포함하는 기판 처리 장치.12. The method of claim 11,
And a guide rod for guiding the sheet to move up and down as the liquid is supplied. 제 13 항에 있어서,
상기 시트에는 상기 가이드 봉이 삽입되는 가이드 홀이 형성되는 기판 처리 장치.

14. The method of claim 13,
And a guide hole into which the guide bar is inserted is formed in the sheet.

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