KR20160003559A

KR20160003559A - Cvd- 또는 pvd-장비를 위해 고체 또는 액체의 출발 물질로부터 증기를 발생하기 위한 장치

Info

Publication number: KR20160003559A
Application number: KR1020150091082A
Authority: KR
Inventors: 마이클 롱; 비르기트 이름가르트 베카르트; 안드레아스 포퀴
Original assignee: 아익스트론 에스이
Priority date: 2014-07-01
Filing date: 2015-06-26
Publication date: 2016-01-11
Also published as: US20160007410A1; CN105274476B; EP2963147A3; US9942946B2; DE102014109196A1; JP6777381B2; TWI662147B; CN105274476A; EP2963147B1; TW201610213A; EP2963147A2; JP2016014187A

Abstract

본 발명은, 운반 기체의 유동 방향으로 연속적으로 배치된 2개 이상의, 각각 열전달 온도로 가열 가능하고 열전달 표면들을 갖는 열전달 몸체를 구비하고, 에어로졸 입자를 상기 열전달 표면들에 접촉시킴으로써 에어로졸을 증발시키기 위해, 상기 에어로졸을 열전달 몸체들 중 하나의 열전달 몸체로 공급하는 공급 관(4)을 구비하는 CVD- 또는 PVD-장비용 증기를 발생하기 위한 장치와 관련이 있다. 상기 열전달 몸체들 중 하나 이상의 열전달 몸체는 내부에 공급 관(4)이 삽입된 개구를 포함하고, 이때 상기 공급 관(4)은 에어로졸 공급용 제1 유동 채널(23) 및 운반 기체 공급용 제2 유동 채널(24)을 포함하며, 이때 기체 통과 개구들(29, 30)이 제공되어 있고, 상기 기체 통과 개구들을 통해 운반 기체가 상기 제2 유동 채널(24)로부터 상기 제1 유동 채널(23)로 유동할 수 있으며, 이때 특히 상기 제2 유동 채널(24)은 공급 관의 입구(4') 영역에서 폐쇄되어 있다.

Description

CVD- 또는 PVD-장비를 위해 고체 또는 액체의 출발 물질로부터 증기를 발생하기 위한 장치 {DEVICE TO GENERATE A VAPOR FROM A SOLID OR LIQUID STARTING MATERIAL FOR A CVD- OR PVD-APPARATUS}

본 발명은, 운반 기체(carrier gas)의 유동 방향으로 연속적으로 배치된 2개 이상의, 각각 열전달 온도로 가열 가능하고 열전달 표면들을 갖는 열전달 몸체를 구비하고, 에어로졸 입자를 상기 열전달 표면들에 접촉시킴으로써 에어로졸을 증발시키기 위해, 상기 에어로졸을 상기 열전달 몸체들 중 하나의 열전달 몸체로 공급하는 공급 관(feeding pipe)을 구비하는 CVD- 또는 PVD-장비용 증기를 발생하기 위한 장치와 관련이 있다.

그 밖에 본 발명은, 열전달 온도로 가열 가능하고 열전달 표면들을 갖는 하나 이상의 열전달 몸체를 구비하고, 에어로졸 입자를 상기 열전달 표면들에 접촉시킴으로써 에어로졸을 증발시키기 위해, 상기 에어로졸을 열전달 몸체로 공급하는 공급 관을 구비하는 CVD- 또는 PVD-장비용 증기를 발생하기 위한 장치와 관련이 있다.

독일 특허 출원서 DE 10 2011 051 260 A1호는 증기 발생 장치를 기술한다. 상기 장치의 경우, 하우징 내에 각각 상이한 횡단면을 갖는 다수의 열전달 몸체가 유동 방향으로 연속적으로 배치되어 있다. 하우징 전면을 통해 에어로졸 공급용 공급 관이 상류측(upstream) 열전달 몸체를 관통하여 내부로 돌출하고 상기 장치의 중앙 공동(cavity)으로 통한다.

국제 특허 출원서 WO 2012/175128 A1호에 기술된 장치의 경우, 하우징 내에 CVD- 또는 PVD-장비, 에어로졸의 유동 방향으로 연속적으로 배치된 2개의 열전달 몸체를 구비하는 증발 장치가 삽입되어 있다. 상기 2개의 열전달 몸체는 전류가 흐르면서 가열되는 전기 전도성 고상 발포체(solid foam)들로 형성된다. 공급 라인에 의해 에어로졸은 상기 증발기로 제공된다. 에어로졸 입자들이 열전달 몸체들의 열전달 표면에 접촉함으로써, 결과적으로 상기 입자들은 증발된다. 국제 특허 출원서 WO 2012/175124 A1호, WO 2010/175126 A1호 및 독일 특허 출원서 DE 10 2011 051 261 A1호에는 유사한 장치들이 기술된다.

미국 특허 출원서 US 4,769,296 및 US 4,885,211에는 유기 출발 물질들로부터 발광 다이오드(OLED)를 제조하는 공정이 공지되어 있다. 이와 같은 OLED를 제조하기 위해 고체 또는 액체의 출발 물질들이 기체 형태로 제공되어야 한다. 이와 같은 변환은 증발기에 의해 이루어진다. 기체화된 출발 물질은 증기로서 CVD- 또는 PVD-반응기의 공정 챔버 내로 안내되고, 그곳에서 상기 증기는 기판상에 응축한다.

미국 특허 출원서 US 2,447,789 및 유럽 특허 출원서 EP 0 982 411 또한 저압 범위에서의 층 증착법을 기술한다.

OLED를 증착하기 위해 사용되는 출발 물질들은 단지 최고 증발 온도에만 노출되어야 하는데, 그 이유는 상기 출발 물질들이 이미 비교적 낮은 온도에서 분해되기 때문이다. 이와 같은 화학적 분해 온도는 전혀 도달되지 않거나 매우 짧은 시간 동안에만 도달되어야 한다.

본 발명의 과제는 유사한 종류의 증발기를 공정 기술적으로 개선하는 것이다.

상기 과제는 청구범위에 제시된 본 발명에 의해 해결된다.

본 발명의 제1 관점에 따르면 우선적으로 그리고 실질적으로, 열전달 몸체들 중 하나의 열전달 몸체가 내부에 공급 관이 삽입된 개구를 포함한다. 상기 공급 관은 입구를 구비하고, 에어로졸 입자들이 열전달 표면들에 접촉함으로써 증발되도록 상기 입구를 통해서는 에어로졸이 하우징 내로 공급될 수 있다. 운반 기체가 증발된 에어로졸과 혼합되기 전에 우선 예비 가열 몸체에서 예열 되도록, 상기 공급 관의 입구는 하우징 내에서 운반 기체 공급 라인의 입구의 하류측(downstream)에 배치되어 있다. 때문에 상기 공급 라인의 입구는 운반 기체가 관류하는 예비 가열 몸체의 상류측 영역의 하류측에 놓인다. 이와 같은 설계로 인해 공급 관이 운반 기체의 유동 방향과 반대 방향으로 열전달 몸체의 개구 내로 삽입되는 것도 가능하다. 이 경우, 공급 라인의 입구는 열전달 몸체의 상류측 영역에 위치하거나 또는 개구를 포함하는 열전달 몸체와 이와 같은 열전달 몸체의 맞은 편 상류측에 배치된 열전달 몸체 사이의 중간 공간에 위치한다. 이때 본 발명에 따르면 바람직하게, 상기 개구는 상류측 열전달 몸체에 할당되어 있고 공급 관의 입구는 유동 방향으로 하류측 열전달 몸체 앞에 배치되어 있거나 또는 내부에 배치되어 있다. 그러나 바람직하게 하나 또는 다수의 공급 관이 2개의 열전달 몸체 사이의 간극으로 통함으로써, 결과적으로 하나 이상의 공급 관의 입구로부터 배출되는 에어로졸은 최대한 큰 표면적에 걸쳐서 하류측 열전달 몸체 내로 유입될 수 있다. 유동 방향으로 제1의 그리고 그에 따라 상류측의 열전달 몸체는 운반 기체를 위한 예비 가열 몸체일 수 있다. 이와 같은 제1 열전달 몸체는 개구를 포함할 수 있고, 상기 개구를 통해서는 에어로졸 공급용 공급 라인이 관통하여 맞물린다. 상기 공급 라인은 하류측 열전달 몸체로 통하거나 또는 상기 하류측 열전달 몸체의 바로 상류측에 있는 간극으로 통한다. 이와 같은 설계로 인해 유동 방향으로 상류측의 열전달 몸체를 통해 단지 예열 되는 운반 기체만이 관류하는 상황이 보장된다. 이에 반해, 하류측 열전달 몸체로는 운반 기체에 대해 추가로 에어로졸도 공급됨으로써, 결과적으로 에어로졸 입자들은 열전달 몸체의 열전달 표면들에 접촉할 수 있다. 그곳에서 상기 입자들에 증발열이 전달되어, 결과적으로 고체 또는 액체의 에어로졸 입자들이 기체 형태로 제공된다. 특히, 캐스케이드(cascade) 방식으로 각각 증발 기능을 수행하는 다수의 열전달 몸체가 연속적으로 배치되어 있다. 상기 유형의 배치 상태의 경우, 증발 몸체의 기능을 갖는 하류측 열전달 몸체도 하나 또는 다수의 개구를 포함하고, 이와 같은 열전달 몸체들을 기준으로 하류측 간극으로 통하거나 또는 하류측 열전달 몸체로 통하는 공급 라인이 상기 개구들을 관통하여 연장되어 있다. 이와 같은 설계로 인해 상류측 증발 몸체에서 제1 에어로졸이 증발되고, 하류측 증발 몸체에서는 제2 에어로졸이 증발된다. 상기 2개의 에어로졸은 상이한 증발 온도에서 증발될 수 있다. 바람직하게 낮은 증발 온도를 갖는 에어로졸이 상류측 증발 몸체로 공급되고, 높은 증발 온도를 갖는 에어로졸은 하류측 증발 몸체로 공급된다. 이 경우, 상기 하류측 증발 몸체는 상류측 증발 몸체의 열전달 온도보다 더 높은 열전달 온도를 갖는다.

따라서 3개 이상의 열전달 몸체가 유동 방향으로 연속적으로 배치될 수 있고, 이때 유동 방향으로 제1 열전달 몸체는 오로지 운반 기체의 가열에 이용되고, 다수의 하류측 열전달 몸체는 각각 에어로졸의 가열 및 에어로졸의 증발에 사용된다. 상류측 증발 몸체에서 증발된 에어로졸은 증기로서 하류측 증발 몸체를 통과하고, 상기 하류측 증발 몸체로는 공급 라인을 통해 또 다른 에어로졸이 공급된다. 상기 증발 몸체들은 바람직하게 국제 특허 출원서 WO 2012/175128 A1호에 기술되는 것과 같은 재료로 제조된다. 이때 인치(inch)당 400 내지 100 공극의 공극률을 갖는 오픈-셀(open-cell) 고상 발포체가 고려된다. 증발 몸체는 전기 전도성을 가짐으로써, 결과적으로 상기 증발 몸체는 전류가 흐르면서 자신의 증발 온도로 가열될 수 있다. 상기 목적을 위해, 바람직하게 직사각형의 수평 단면을 갖는 증발 몸체의 서로 마주보는 에지들에는 전기 접촉부들이 제공되어 있고, 상기 전기 접촉부들을 통해 전류가 상기 증발 몸체로 유입될 수 있다. 공급 관들은 전기 절연된 재료 또는 금속으로 이루어질 수 있다. 공급 관들이 금속으로 이루어져 있는 경우에 한해서, 상기 공급 관들은 개구들의 영역에서 전기 절연 슬리브(sleeve)에 의해 둘러싸여 있다. 열전달 몸체들은 하우징 내에 위치하고, 상기 열전달 몸체들 중 하나 이상의 열전달 몸체는 증발 몸체를 형성한다. 상기 열전달 몸체들은 전체 하우징 횡단면에 걸쳐서 연장됨으로써, 결과적으로 상류측에서 하우징 내부로 공급된 운반 기체는 연속적으로 배치된 전체 열전달 몸체를 관류해야 한다. 에어로졸 또는 에어로졸로부터 발생한 증기는 적어도 유동 방향으로 마지막의 열전달 몸체를 관류한다. 상기 마지막 열전달 몸체의 증기 배출면은 기체 유입면일 수 있으며, 상기 기체 유입면을 통해서는 운반 기체 및 운반 기체에 의해 운반된 증발된 에어로졸들이 공정 챔버 내로 유입된다. 따라서 CVD- 또는 PVD-반응기의 공정 챔버는 유동 방향으로 마지막 열전달 몸체의 유동 방향으로 바로 아래쪽에 위치한다. 이와 같은 열전달 몸체의 기체 배출면을 통해 대체로 균일한 기체 유동이 공정 챔버 내로 유입된다. 공정 챔버의 바닥부에는 기판이 위치하고, 상기 기판상에서 증기가 응축된다. 상기 기판을 지지하는 서셉터는 바람직하게 냉각 장치에 의해 냉각된다.

본 발명의 제2 관점은 유동 방향으로 제1 열전달 몸체 앞에 배치되어 있는 역류 차단 밸브(non-return valve)와 관련된다. 그에 따라 상기 역류 차단 밸브는 운반 기체 공급 라인과 제1 열전달 몸체 사이에 위치한다. 상기 역류 차단 밸브는 바람직하게 2개의 플레이트형 몸체로 이루어져 있고, 상기 플레이트형 몸체들은 증발기의 하우징의 전체 횡단면에 걸쳐서 연장된다. 상기 2개의 플레이트는 개구들을 구비하고, 상기 개구들을 통해 운반 기체가 관류할 수 있다. 상기 2개의 플레이트의 개구들은 서로에 대해 변위(offset) 되어 놓임으로써, 결과적으로 운반 기체는 우선 상류측 역류 차단 플레이트의 개구들을 통과하고, 그런 다음에 후속하여 제2 역류 차단 플레이트의 개구들을 통해 관류하기 위해 중간 공간에서 편향된다.

그 밖에 본 발명은 공급 관을 개선하는 것과 관련이 있다. 본 발명에 따른 공급 관은 이러한 공급 관의 입구로부터 배출되는 기체 유동을 확산시킴으로써, 결과적으로 상기 기체 유동이 최대한 큰 표면적에 걸쳐서 열전달 몸체로 유입될 수 있도록 하는 수단을 구비한다. 본 발명에 따라 개선된 공급 관은 바람직하게 2개의 열전달 몸체 사이의 중간 공간으로 통한다. 그러나 상기 공급 관은 일 열전달 몸체의 상류측에서 하우징의 용적 섹션으로 통할 수도 있다. 상기 공급 관은 바람직하게 2개의 유동 채널을 구비하고, 이때 제1 유동 채널은 에어로졸을 관류시키기 위해 제공되었고, 제2 유동 채널은 운반 기체를 통과 개구들을 통해 상기 제1 유동 채널로 공급하기 위해 제공되었다. 상기 통과 개구를 통해 제1 유동 채널로 통하는 운반 기체에 의해서 상기 제1 유동 채널 내부의 유동이 영향을 받는다. 상기 제1 유동 채널은 바람직하게 제2 유동 채널의 횡단면보다 더 큰 횡단면을 갖는다. 하나 또는 다수의 기체 통과 개구를 관류하는 운반 기체 유동들에 의해 제1 유동 채널 내부에서 난류(turbulent flow)가 발생할 수 있다. 상기 목적을 위해 특히 제1 유동 채널의 연장 방향에 대해 또는 에어로졸의 유동 방향에 대해 예각을 형성하며 상기 제1 유동 채널로 통하는 기체 통과 개구들이 제공되어 있다. 특히 유동 방향으로 제1 기체 통과 개구들 다음에 배치되어 있고, 특히 바람직하게는 공급 관의 입구 영역에 배치되어 있는 제2 기체 통과 개구들이 제공될 수 있다. 이와 같은 제2 기체 통과 개구들에 의해서는 와류(swirl)가 발생한다. 상기 제2 기체 통과 개구들은 제1 유동 채널의 연장 방향에 대해, 즉 에어로졸의 유동 방향에 대해 단지 예각으로만 상기 제1 유동 채널로 통하지 않는다. 오히려 상기 제2 기체 통과 개구들은 유동 채널의 횡단 평면을 기준으로 비스듬하게 정렬되기도 함으로써, 결과적으로 상기 제2 기체 통과 개구들은 시계방향으로 또는 반시계방향으로 회전하는 운반 기체 유동을 제1 유동 채널로 공급하게 된다. 그럼으로써 와류가 발생한다. 상기 와류와 결부된 원심력은 공급 라인의 입구로부터 배출되는 기체 유동의 확산을 야기한다. 또한, 본 발명의 일 개선예에서는 2개의 유동 채널이 서로 맞물려 연결된 2개의 관으로 이루어짐으로써, 결과적으로 상기 유동 채널들이 서로에 대해 동축으로 배치되어 있고, 이때 내측 유동 채널을 에어로졸이 관류한다. 제1 유동 채널을 형성하는 관의 입구에는 확장부가 제공되어 있음으로써, 결과적으로 제1 유동 채널의 횡단면은 입구측에서 유동 방향으로 공급 관의 단부까지 점점 확대된다. 이와 같은 상황도 입구로부터 배출되는 기체 유동의 확산을 야기한다. 다수의 제1 및 제2 기체 통과 개구들이 유동 방향으로 연속적으로 배치되어 있다. 공급 관은 중앙 유동 채널을 구비하고, 상기 중앙 유동 채널을 에어로졸이 관류한다. 이와 같은 유동 채널은 벽부에 의해 둘러싸여 있다. 이와 같은 벽부는 바람직하게 냉각되었다. 상기 목적을 위해 유동 채널 벽부의 냉각 수단이 제공되어 있다. 이때 냉각 수단으로는 저온의 냉각제가 공급되는 유동 채널이 고려될 수 있다. 상기 냉각제로는 전술된 개구를 통해 방사상 외부의 유동 채널로부터 방사상 내부의 유동 채널로 유입되는 운반 기체가 고려될 수 있다. 그러나 열을 소산(dissipate)시키기 위해 에어로졸이 관류하는 유동 채널의 벽부를 냉각 칼라(cooling collar)로 둘러싸는 것도 가능한데, 이때 상기 냉각 칼라는 예컨대 액체 냉각(liquid-cooled)되었거나 다른 조치에 의해 제공되었다. 그럼으로써 한편으로, 공급 관 내부에서 에어로졸의 증발 및 경우에 따른 재응축이 발생하지 않는다. AlQ3는 진공 조건하에서 고체 상태에서 직접 기체 형태의 상태로 변형된다. 예컨대 NPD와 같은 다른 유기 재료들은 증발 전에 용융한다. 때문에 다른 한편으로는 유동 채널 벽부가 에어로졸 입자의 용융점 아래 온도로 유지된다. 그럼으로써 공급 관 내부에서 에어로졸 입자의 용융이 방지된다.

본 발명의 실시예들은 다음에서 첨부된 도면들을 참조하여 설명된다.

도 1은 증발 장치가 CVD-반응기의 상류측에 배치되어 있는 본 발명의 제1 실시예의 종단면도이고;
도 2는 유동 방향으로 마지막 열전달 몸체(3)의 기체 배출면이 동시에 공정 챔버(5)의 기체 유입면인 본 발명의 제2 실시예에 대한 도면이며;
도 3은 도 4의 선 Ⅲ-Ⅲ에 따라 절단한 본 발명의 제3 실시예의 종단면도이고;
도 4는 도 3의 선 Ⅳ-Ⅳ에 따라 절단한 단면도이며;
도 5는 도 3의 선 Ⅴ-Ⅴ에 따라 절단한 단면도이고;
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 대한 도면이며;
도 7은 본 발명의 제5 실시예에 대한 도면이고;
도 8은 본 발명의 제6 실시예에 대한 도면이며;
도 9는 본 발명에 따른 공급 관의 사시도이고;
도 10은 도 9에 도시된 공급 관을 절단한 종단면도이며;
도 11은 도 10의 선 XI-XI에 따라 절단한 단면도이고 그리고
도 12는 도 10의 선 XII-XII에 따라 절단한 단면도이다.

도면들에서 단지 개략적으로만 도시된 장치들은 냉각된 서셉터(13) 상에서 공정 챔버(15)에 인접해 놓인 기판(14)상에 OLED-층들을 증착하기 위해 이용된다. 상기 공정 챔버(15) 내로 증발된 에어로졸로부터 발생된 공정 기체가 공급된다. 이와 같은 상황은 운반 기체 공급 라인(11)을 통해 증발기의 하우징(12) 내로 공급되는 운반 기체에 의해 이루어진다. 상기 증발기 내에는 다수의 열전달 몸체(1, 2, 3)가 위치한다. 상기 열전달 몸체들(1, 2, 3)은 증발기 하우징(12)의 전체 횡단면에 걸쳐서 연장되고 유동 방향으로 연속적으로 배치되어 있다. 이와 같은 배치 상태는 운반 기체 공급 개구(11)를 통해 유입된 운반 기체(이 경우 불활성 기체, H₂, N₂또는 희가스가 고려됨)가 전체 열전달 몸체(1, 2, 3)를 유동 방향으로 관류하도록 한다.

유동 방향으로 최상부에 배치된 열전달 몸체(1)는 실시예들에서 운반 기체를 예열하기 위한 예비 가열 몸체를 형성한다. 그러나 운반 기체의 예열이 증발기 하우징(12) 외부에서 이루어짐으로써, 결과적으로 상기 증발기 하우징(12) 내부에서 운반 기체의 유동 방향으로 가장 상류에 배치된 열전달 몸체는 에어로졸들 중 하나의 에어로졸에 대한 증발 몸체가 되는 것도 가능하다.

유동 방향으로 연속적으로 배치된 2개의 증발 몸체(2, 3)가 제공되어 있고, 상기 증발 몸체들은 전체 실시예에서 예비 가열 몸체(1)의 하류측에 놓인다. 공급 관들(4, 5)을 통해 상기 증발 몸체들(2, 3)로 서로 상이한 에어로졸들이 공급된다. 이와 같은 에어로졸의 공급은 공급 라인(4)을 통해, 저온 증발 온도를 갖는 제1 에어로졸이 상류측 증발 몸체(2)에서 증발되고, 더 높은 증발 온도를 갖는 제2 에어로졸이 상기 제1 증발 몸체(2)의 하류측에 배치되어 있는 제2 증발 몸체(3)로 공급되는 방식으로 이루어진다.

상기 예비 가열 몸체(1) 및 이와 같은 예비 가열 몸체의 맞은 편 하류측에 배치된 상기 2개의 증발 몸체(2, 3)는 각각 열전달 몸체에 의해 형성된다. 상기 열전달 몸체들(1, 2, 3)은 고상 발포체로 이루어진다. 상기 고상 발포체는 오픈-셀들을 갖고, 공극률은 인치 당 100 내지 400의 범위에 있다.

본 발명에 따르면 에어로졸의 공급은 열전달 몸체들(1,2 3)의 개구들(6, 7, 8)을 관통하여 돌출하거나 열전달 몸체들(2, 3)의 개구들(6, 8) 내로 삽입되어 있는 관형 공급 라인들(4, 5)을 통해 이루어진다. 상기 개구들은 바람직하게 운반 기체의 유동 방향으로 연장되고, 이때 공급 관들은 유동 방향으로 삽입되어 있거나 또는 유동 방향의 반대 방향으로 개구(6, 7, 8) 내로 삽입되어 있다.

도 1에 도시된 실시예의 경우, 단 하나의 증발 몸체(2)만이 제공되어 있다. 이와 같은 증발 몸체는 운반 기체용 예비 가열 몸체(1)와 함께 증발 장치의 하우징(12) 내에 위치한다. 상기 예비 가열 몸체(1), 즉 상류측 열전달 몸체(1)는 하류측 열전달 몸체(2), 즉 증발 몸체로부터 유동 방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 따라서 2개의 열전달 몸체(1, 2) 사이에서 간극(9)이 형성된다. 이와 같은 간극(9)으로 공급 관들(4)의 입구들(4')이 통하고, 상기 공급 관들은 운반 기체(11)의 유동 방향으로 연장되는 열전달 몸체(1)의 개구들(6)을 관통하여 내부로 맞물린다. 상기 개구들(6)의 내경은 공급 관들(4)의 외경에 상응함으로써, 결과적으로 상기 공급 관들(4)은 개구(6) 내벽에 접촉하며 인접한다.

상기 공급 관들(4)을 통해서 에어로졸이 간극(9)으로 공급된다. 상기 에어로졸은 예비 가열 몸체(1)를 관류하며 가열된 운반 기체와 함께 제2 열전달 몸체(2)로 운반된다. 그곳에서 에어로졸 입자들은 열전달 몸체(2)의 열전달 표면들에 접촉한다. 상기 에어로졸 입자들에는 증발열이 전달됨으로써, 결과적으로 열전달 몸체(2)의 기체 배출면으로부터 증발된 에어로졸이 운반 기체와 함께 배출된다. 상기 열전달은 전류에 의해 이루어진다. 기체 배출구(22)를 통해 증기 및 운반 기체는 증발기(12)로부터 외부로 나와서 CVD-반응기(17)의 기체 유입 부재(16) 내로 이른다. 상기 기체 유입 부재(16)의 기체 배출구들을 통해 운반 기체 및 증발된 에어로졸은 공정 챔버(15)로 유입된다. 공급 관들(4)은 금속으로 이루어져 있고 절연 슬리브(28)에 의해 열전달 몸체(1)에 대하여 절연되어 있다.

도 2에 도시된 제2 실시예의 경우, 열전달 몸체(2) 아래에 추가의 열전달 몸체(3)가 배치되어 있다. 열전달 몸체(2)와 열전달 몸체(3) 사이에는 제2 간극(10)이 형성된다. 제2 에어로졸을 간극(10)으로 공급하기 위한 공급 관들(5)이 상기 간극(10)으로 통한다. 상기 공급 관들(5)은 열전달 몸체(1)의 개구들(7) 및 열전달 몸체(2)의 개구들(8) 내에 삽입되어 있다. 따라서 상기 제2 에어로졸은 공급 관(5)을 통해 상기 2개의 열전달 몸체(1 및 2)를 관류한다.

상기 열전달 몸체들(2, 3)은 동일한 열전달 온도로 작동될 수도 있다. 그러나 바람직하게 하류측 열전달 몸체(3)는 상류측 열전달 몸체(2) 또는 예비 가열 몸체(1)보다 더 높은 열전달 온도를 갖는다. 그럼으로써 열전달 몸체(3)에서 제2 에어로졸을 증발시킬 수 있으며, 이때 상기 제2 에어로졸은 공급 관들(4)을 통해 중간 공간(9) 및 열전달 몸체(2)로 공급되는 제1 에어로졸보다 더 높은 증발 온도를 갖는다.

제1 실시예와는 다르게, 본 실시예에서는 유동 방향으로 마지막 열전달 몸체(3)의 기체 배출면(3')이 공급면을 형성하는데, 상기 공급면을 통해 증발된 에어로졸이 운반 기체와 함께 공정 챔버(15)로 유입된다.

도 3에 도시된 실시예의 경우, 유동 방향으로 연속적으로 배치된 3개의 열전달 몸체(1, 2, 3)는 서로 접촉하며 인접함으로써, 결과적으로 유동 방향으로 연속하는 열전달 몸체들(1, 2, 3) 사이에 간극이 전혀 없다. 이와 같은 실시예의 경우, 공급 관(4)의 입구(4')는 제1 증발 몸체(2)의 상류측 섹션 내에 위치한다. 제2 공급 관(5)은 제1 공급 관(4)과 마찬가지로 유동 방향으로 제1 열전달 몸체(1)의 개구 및 추가로 유동 방향으로 제2 열전달 몸체(2)의 개구(8)를 관통함으로써, 결과적으로 공급 관(5)의 입구(5')는 제3 열전달 몸체(3)의 상류측 섹션으로 통한다. 본 실시예에서도 서로 상이한 온도로 서로 상이한 열전달 몸체(2, 3)에서 서로 상이한 2개의 에어로졸이 증발된다.

증발 에너지의 전달은 전류 공급에 의해 이루어진다. 상기 목적을 위해, 열전달 몸체들(1, 2, 3)은 전기 접촉면들(20, 21)을 포함한다. 본 실시예에서는 열전달 몸체들이 직사각형의 수평 단면을 가짐으로써, 결과적으로 전기 접촉면들(20, 21)은 열전달 몸체(1, 2, 3)의 서로 마주보는 에지 벽부들에 할당된다.

도 6에 도시된 제4 실시예는 추가로 2개의 플레이트형 역류 차단 플레이트(18, 19)로 형성된 역류 차단 밸브를 보여준다. 상기 2개의 역류 차단 플레이트(18, 19)는 유동 방향으로 운반 기체 공급용 공급 개구(11)와 유동 방향으로 제1의 열전달 몸체(1) 사이에 위치한다. 상기 역류 차단 플레이트들(18, 19)은 공급 관들(4, 5)에 의해 관통된다. 상기 목적을 위해 역류 차단 플레이트들은 상응하는 개구들을 갖는다. 주요하게 상기 역류 차단 플레이트들(18, 19)에는 역류 차단 플레이트(18)의 개구들(18') 및 역류 차단 플레이트(19)의 개구들(19')이 존재한다. 상기 개구들(18' 또는 19')은 유동 방향으로 서로에 대해 변위 되어 놓임으로써, 결과적으로 운반 기체 공급 라인(11)으로부터 하우징(12) 내로 유입되는 운반 기체는 우선 상류측 역류 차단 플레이트(18)의 개구들(18')을 관류하고, 그런 다음에는 후속하여 하류측 역류 차단 플레이트(19)의 개구들(19')을 통해 배출되기 위해, 상기 2개의 역류 차단 플레이트(18, 19) 사이의 간극에서 편향된다. 이러한 역류 차단 플레이트의 배치 상태는 열전달 몸체들의 상류측 표면으로부터 배출되는 발생된 에어로졸의 증기가 증발 하우징(12)의 상부 영역으로 유입될 수 있는 상황을 방지한다.

도 7에 도시된 제5 실시예의 경우, 에어로졸의 공급이 운반 기체의 유동 방향으로 열전달 몸체(1, 2) 내로 삽입된 공급 관들(4, 5)을 통해 이루어지는 것이 아니라, 오히려 운반 기체의 유동 방향과 반대 방향으로 열전달 몸체들(2, 3)의 개구(6, 7, 8) 내로 삽입된 공급 관들(4, 5)을 통해 이루어진다. 본 실시예에서 공급 관들(4, 5)은 말하자면 아래쪽에서부터 안내된다. 따라서, 제1 에어로졸을 예비 가열 몸체(1)와 제1 증발 몸체(2) 사이의 중간 공간(9)으로 통하도록 관류시키는 공급 관(4)은 2개의 증발 몸체(2, 3)의 개구들(7, 6)을 관통한다. 모든 실시예들과 마찬가지로 본 실시예에서도 공급 관들(4, 5)의 외벽 또는 상기 공급 관들(4, 5)을 둘러싸는 절연 슬리브(28)의 외벽은 각각의 열전달 몸체(1, 2, 3)의 각각의 개구(6, 7, 8)의 내벽에 접촉하며 인접한다.

입구(5')가 증발 몸체(2)와 증발 몸체(3) 사이의 제2 중간 공간(10)에 배치되어 있는 공급 관(5)은 오로지 유동 방향으로 하류측의 증발 몸체(3)의 개구(8)만을 관통한다.

도 8에 도시된 제6 실시예는 3개의 열전달 몸체(1, 2, 3)가 도 3에 도시된 제3 실시예에서와 유사하게 운반 기체의 유동 방향으로 직접 연속적으로 배치되어 있는 증발 장치(12)를 보여준다. 이와 같은 실시예는 추가로 전술된 역류 차단 플레이트의 배치 상태(18, 19)를 갖는다.

본 실시예에서 공급 관(4)의 입구(4')는 예비 가열 몸체(1) 아래에 배치된 제1 증발 몸체(2)로 통하는데, 말하자면 상기 제1 증발 몸체의 상부 가장자리 에지 바로 아래로 통한다. 공급 관(5)의 입구(5')는 제2 증발 몸체(3)의 상부 가장자리 바로 아래에 위치한다. 본 실시예에서 상기 공급 관(5)은 증발 몸체(3)의 개구(8) 내에 삽입되어 있다. 상기 공급 관(4)은 증발 몸체(2)의 개구(6) 내에 삽입되어 있고 증발 몸체(3)의 개구(7)를 관통한다.

도 9 내지 도 12는 본 발명에 따라 형성된 공급 관(4)을 보여준다. 공급 관(4)은 동심으로 서로 맞물려 연결된 2개의 관(33, 34)으로 이루어져 있고, 이때 내부 관(33)의 상부 가장자리 및 하부 가장자리는 외부 관(34)의 상부 가장자리 및 하부 가장자리와 기밀 방식으로 연결되어 있다. 내부 관(33)의 관 개구는 제1 유동 채널(23)을 형성하고, 상기 유동 채널을 통해서는 축 방향 공급 개구(25)를 통해 상기 제1 유동 채널(23)로 공급되는 에어로졸이 관류할 수 있다. 상기 내부 관(33)은 공급 관(4)의 입구(4') 영역에서 방사상 외부로 확장되어 있다. 외부 관(34)의 입구측 단부 섹션은 절연 재료로 이루어진 슬리브(28)에 의해 둘러싸여 있다. 상기 관들(33, 34) 자체는 금속, 특히 특수강으로 제조되었다.

상기 외부 관(34)은 총 4개의 방사형 공급 개구(26)를 구비하고, 상기 공급 개구들을 통해 운반 기체가 내부 관(33)과 외부 관(34) 사이에 위치하는 유동 채널(24) 내로 공급될 수 있다. 상기 유동 채널(24)은 제1 기체 통과 개구들(29) 및 제2 기체 통과 개구들(30)을 통해 제1의 내부 유동 채널(23)과 연결되어 있다. 상기 유형으로 형성된 기체 통과 개구들(29, 30)은 작은 직경의 홀(hole)들에 의해 형성됨으로써, 결과적으로 그곳에서 빠른 유속을 갖는 기체 유동이 관류할 수 있게 된다. 상기 제1 기체 통과 개구들(29)은 기울기를 가짐으로써, 그곳에서 배출되는 "기체 분사물"은 유동 방향(S)에 대해 비스듬하게 유동 채널(23) 내로 유입된다. 상기 기체 통과 개구들(29)은 유동 방향(S)으로만 기울기를 갖는 것이 아니라, 접선 방향으로도 기울기를 가짐으로써, 결과적으로 상기 기체 통과 개구들로부터 배출되는 기체 유동은 와류를 형성할 수도 있다. 즉, 상기 제1 기체 통과 개구들(29)은 제1 유동 채널(23) 내부에서 난류를 발생시킨다. 상기 제1 기체 통과 개구들(29)은 제2 기체 통과 개구들(30)의 상류측에 배치되어 있다. 둘레 방향으로 그리고 공급 관(4)의 연장 방향으로 다수의 제1 기체 통과 개구(29)가 제공되어 있다. 공급 관의 내부 온도가 에어로졸의 증발 또는 고체 에어로졸 입자들의 용융을 야기하는 온도를 초과하지 않도록 하기 위해, 유동 채널(24)을 통해서는 유동 채널(23)의 벽부를 냉각하는 기체 유동이 관류할 수 있다. 그 밖에도 경우에 따라 이루어지는 재응축 또는 용융이 상기 공급 관에 의해 방지될 수 있다.

상기 제2 기체 통과 개구들(30)은 입구(4') 근처에 위치한다. 본 경우에도 다수의 제2 기체 통과 개구(30)가 둘레 방향으로 그리고 공급 관(4)의 연장 방향으로 배치되어 있다. 기체 통과 개구들(30)을 형성하는 홀들은 내부 관(33)에 대해 접선 방향 각을 형성함으로써, 결과적으로 상기 제2 기체 통과 개구들(30)로부터 배출되는 "기체 분사물"은 유동 방향(S)으로 흐르는 에어로졸 유동에 와류를 발생한다. 이와 같은 상황은 결과적으로 확장부(27)와 결합하여 입구(4')로부터 배출되는 기체 유동의 확산을 야기한다. 그 밖에, 상기 제2 기체 통과 개구들(30)을 형성하는 홀들은 공급 관(4)의 연장 방향을 기준으로 기울기를 가질 수도 있다.

상기 확장부(27)는 외부 관(34)의 하부 가장자리 에지까지 연장되고, 그에 따라 유동 채널(24)의 입구측 폐쇄부를 형성한다. 입구 영역에서 발생된 와류의 결과, 입구를 벗어나는 에어로졸 유동은 공급 관(4)의 연장 방향에 대해 횡 방향으로 정렬된 이동 부분을 갖게 되고, 그 결과 입구(4')로부터 공급 관(4)의 연장 방향으로 정렬된 기체 유동이 배출되는 경우보다 에어로졸이 더 균일하게 간극(9, 10)으로 분산된다.

도면 부호(31)는 공급 관(4)이 도면에는 도시되지 않은 하우징 내로 조여질 수 있도록 하는 나선 섹션(threaded section)을 나타낸다. 스크루 드라이버(screw driver)가 맞물리기 위해서는 서로 마주보는 2개의 평면 형태의 스크루 드라이버 맞물림 프로파일(32)이 제공되어 있다.

전술된 실시예들은 본 출원서에 의해 전체적으로 정리된 발명 내용들을 설명하는데 이용되고, 상기 발명 내용들은 적어도 다음의 특징 조합들에 의해 선행 기술을 각각 독립적으로 개선한다:

열전달 몸체들(1, 2, 3) 중 하나 이상의 열전달 몸체가 내부에 공급 관(4, 5)이 삽입된 개구(6, 7, 8)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

상기 공급 관(4, 5)이 열전달 몸체(1, 2, 3)의 개구(6, 7, 8)를 관통하고 2개의 서로 인접한 열전달 몸체(1, 2; 2, 3) 사이의 간극(9, 10)으로 통하거나 또는 또 다른 열전달 몸체(2, 3)로 통하는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

상기 개구(6, 7)가 상류측 열전달 몸체(1, 2)에 할당되어 있고 공급 관(4, 5)의 입구(4', 5')는 유동 방향으로 하류측 열전달 몸체(2, 3) 앞에 배치되어 있거나 또는 하류측 열전달 몸체(2, 3) 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

유동 방향으로 제1의 상류측 열전달 몸체(1)가 운반 기체 공급 라인(11)을 통해 하우징(12) 내로 공급될 수 있는 운반 기체를 위한 예비 가열 몸체이고, 상기 하우징(12) 내에서 열전달 몸체들(1, 2, 3)이 유동 방향으로 연속적으로 배치되어 있음으로써, 상기 운반 기체가 전체 열전달 몸체들(1, 2, 3)을 관류하게 되는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

상기 열전달 몸체들(1, 2, 3)이 인치 당 500 내지 100 공극의 공극률을 갖는 오픈-셀 고상 발포체로 이루어져 있고, 이때 특히 상기 고상 발포체의 표면에서 모든 개방면의 비율이 90%보다 큰 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

열전달 몸체는 전기 전도성을 갖고 상기 열전달 몸체(1, 2, 3)를 열전달 온도로 가열하기 위해 전류를 흘려보내기 위한 전기 접촉부들(20, 21)을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

유동 방향으로 연속적으로 배치된 열전달 몸체들(1, 2, 3)은 서로 상이한 온도로 가열 가능하고, 이때 하류측 열전달 몸체(2, 3)의 열전달 온도는 상류측 열전달 몸체(1, 2)의 열전달 온도보다 높은 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

공급 관은 유동 방향(S)으로 상기 공급 관(4)을 관류하는 에어로졸 유동이 확산되면서 입구(4')로부터 배출될 수 있도록 하는 수단(29, 30, 27)을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

상기 공급 관(4)은 에어로졸 공급용 제1 유동 채널(23) 및 운반 기체 공급용 제2 유동 채널(24)을 포함하고, 이때 기체 통과 개구들(29, 30)이 제공되어 있으며, 상기 기체 통과 개구들을 통해 운반 기체가 상기 제2 유동 채널(24)로부터 상기 제1 유동 채널(23)로 유동할 수 있고, 이때 특히 상기 제2 유동 채널(24)은 공급 관의 입구(4') 영역에서 폐쇄되어 있는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

제1 기체 통과 개구들(29)을 관류하는 운반 기체 유동이 제1 유동 채널(23)에서 난류를 발생하도록 상기 제1 기체 통과 개구들(29)이 에어로졸의 유동 방향(S)에 대해 각을 형성하며 상기 제1 유동 채널(23)로 통하고, 이때 특히 상기 제2 유동 채널(24)이 상기 제1 유동 채널(23)을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

제2 기체 통과 개구들(30)을 관류하는 운반 기체 유동이 입구(4') 영역에서 유동 방향(S)으로 정렬된 축을 중심으로 와류를 발생하도록 상기 제2 기체 통과 개구들(30)이 에어로졸의 유동 방향(S)에 대해 각을 형성하며 상기 제1 유동 채널(23) 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

상기 제1 유동 채널(23)을 형성하는 관(33)이 입구(4') 영역에서 특히 회전 대칭적인 확장부(27)를 갖는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

상기 개구(6, 7, 8) 내에 삽입된 공급 관(4, 5)의 섹션이 절연 슬리브(28)에 의해 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

에어로졸이 관류하는 유동 채널(23)의 벽부를 냉각시키기 위한 수단이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

상기 수단은 냉각을 위해 유동 채널(23)을 포함하고, 상기 유동 채널을 냉각제가 관류할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

유동 방향으로 열전달 몸체(1) 앞에 역류 차단 밸브(18, 19)가 배치되어 있고, 상기 역류 차단 밸브(18, 19)는 특히 전체 유동 횡단면에 걸쳐서 연장되는 긴밀하게 이웃한 2개의 플레이트에 의해 형성되어 있으며, 상기 플레이트들은 개구들(18', 19')을 갖고, 이때 서로 상이한 플레이트들의 상기 개구들(18', 19')은 유동 방향에 대해 횡 방향으로 서로에 대해 변위 되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치를 설명한다.

공개된 모든 특징들은 (그 자체로, 그러나 서로 조합된 상태로도) 발명에 있어서 중요하다. 따라서, 우선권 서류들의 특징들을 본 출원서의 청구범위 내에 함께 수용하기 위해서라도 본 출원서의 공개 내용에는 관련된/첨부된 상기 우선권 서류들(예비 출원서의 사본)의 공개 내용도 전체적으로 포함된다. 특히 종속 청구항들을 기초로 부분 출원을 실시하기 위해 상기 종속 청구항들은 자체 특징들로 선행 기술의 독립적이고 진보적인 개선예들을 특징짓는다.

1, 2, 3 열전달 몸체
3' 하부면
4 공급 관
4' 입구
5 공급 관
5' 입구
6, 7, 8 개구
9, 10 간극
11 운반 기체 공급 라인
12 하우징
13 서셉터
14 기판
15 공정 챔버
16 기체 유입 부재
17 CVD-반응기
18 역류 차단 플레이트
18' 개구
19 역류 차단 플레이트
19' 개구
20, 21 전기 접촉부
22 기체 배출구
23, 24 유동 채널
25, 26 공급 개구
27 확장부
28 절연 슬리브
29, 30 기체 통과 개구
31 나선 섹션
32 스크루 드라이버 맞물림 프로파일
33 내부 관
34 외부 관

Claims

하우징(12) 내에서 운반 기체(carrier gas)의 유동 방향으로 연속적으로 배치된 2개 이상의, 각각 열전달 온도로 가열 가능하고 열전달 표면들을 갖는 열전달 몸체들(1, 2, 3)을 구비하고, 에어로졸 입자들을 상기 열전달 표면들에 접촉시킴으로써 에어로졸을 증발시키기 위해, 상기 에어로졸을 상기 열전달 몸체들(2, 3) 중 하나의 열전달 몸체로 공급하는 공급 관(feeding pipe)(4, 5)을 구비하는 CVD- 또는 PVD-장비용 증기를 발생하기 위한 장치로서,
이때 상기 열전달 몸체들(1, 2, 3) 중 하나 이상의 열전달 몸체는 내부에 공급 관(4, 5)이 삽입된 개구(6, 7, 8)를 포함하는 장치에 있어서,
상기 열전달 몸체들(1, 2, 3)은 서로 상이한 온도로 가열 가능하고, 이때 유동 방향으로 제1의 상류측(upstream) 열전달 몸체(1)는 운반 기체 공급 라인(11)을 통해 제1 열전달 몸체의 상류측에서 하우징(12) 내로 공급될 수 있는 운반 기체를 위한 예비 가열 몸체이고, 상기 하우징(12) 내에서 열전달 몸체들(1, 2, 3)이 유동 방향으로 연속적으로 배치되어 있음으로써, 상기 운반 기체가 전체 열전달 몸체들(1, 2, 3)을 관류하게 되고, 상기 공급 관(4, 5)이 열전달 몸체(1, 2, 3)의 개구(6, 7, 8)를 관통하고 제1과 제2 열전달 몸체(1, 2; 2, 3) 사이의 간극(9, 10)으로 통하거나 또는 공급 관(4, 5)의 입구(4', 5')가 열전달 몸체(2, 3) 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항에 있어서,
상기 개구(6, 7)가 상류측 열전달 몸체(1, 2)에 할당되어 있고 공급 관(4, 5)의 입구(4', 5')는 유동 방향으로 하류측(downstream) 열전달 몸체(2, 3) 앞에 배치되어 있거나 또는 하류측 열전달 몸체(2, 3) 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 열전달 몸체들(1, 2, 3)이 인치(inch) 당 500 내지 100 공극의 공극률을 갖는 오픈-셀 고상 발포체(open-cell solid foam)로 이루어져 있고, 이때 특히 상기 고상 발포체의 표면에서 모든 개방면의 비율이 90%보다 큰 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 열전달 몸체(1, 2, 3)들은 전기 전도성을 갖고 상기 열전달 몸체(1, 2, 3)를 열전달 온도로 가열하기 위해 전류를 흘려보내기 위한 전기 접촉부들(20, 21)을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
하류측 열전달 몸체(2, 3)의 열전달 온도가 상류측 열전달 몸체(1, 2)의 열전달 온도보다 높도록 상기 열전달 몸체들(1, 2, 3)이 가열 가능한 것을 특징으로 하는 장치.
열전달 온도로 가열 가능하고 열전달 표면들을 갖는 하나 이상의 열전달 몸체(1, 2, 3)를 구비하고, 에어로졸 입자를 상기 열전달 표면들에 접촉시킴으로써 에어로졸을 증발시키기 위해, 상기 에어로졸을 열전달 몸체로 공급하는 공급 관(4)을 구비하는 CVD- 또는 PVD-장비용 증기를 발생하기 위한 장치로서,
공급 관은, 유동 방향(S)으로 상기 공급 관(4)을 관류하는 에어로졸 유동이 확산되면서 입구(4')로부터 배출될 수 있도록 하는 수단(29, 30; 27)을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공급 관(4)은 에어로졸 공급용 제1 유동 채널(23) 및 운반 기체 공급용 제2 유동 채널(24)을 포함하고, 이때 기체 통과 개구들(29, 30)이 제공되어 있으며, 상기 기체 통과 개구들을 통해 운반 기체가 상기 제2 유동 채널(24)로부터 상기 제1 유동 채널(23)로 유동할 수 있고, 이때 특히 상기 제2 유동 채널(24)은 공급 관의 입구(4') 영역에서 폐쇄되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
제1 기체 통과 개구들(29)을 관류하는 운반 기체 유동이 제1 유동 채널(23)에서 난류(turbulent flow)를 발생하도록 상기 제1 기체 통과 개구들(29)이 에어로졸의 유동 방향(S)에 대해 각을 형성하며 상기 제1 유동 채널(23)로 통하고, 이때 특히 상기 제2 유동 채널(24)이 상기 제1 유동 채널(23)을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서,
제2 기체 통과 개구들(30)을 관류하는 운반 기체 유동이 입구(4') 영역에서 유동 방향(S)으로 정렬된 축을 중심으로 와류(swirl)를 발생하도록 상기 제2 기체 통과 개구들(30)이 에어로졸의 유동 방향(S)에 대해 각을 형성하며 상기 제1 유동 채널(23) 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 유동 채널(23)을 형성하는 관(33)이 입구(4') 영역에서 특히 회전 대칭적인 확장부(27)를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 개구(6, 7, 8) 내에 삽입된 공급 관(4, 5)의 섹션이 절연 슬리브(sleeve)(28)에 의해 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 있어서,
에어로졸이 관류하는 유동 채널(23)의 벽부를 냉각시키기 위한 수단이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제12 항에 있어서,
상기 수단은 냉각을 위해 유동 채널(23)을 포함하고, 상기 유동 채널을 냉각제가 관류할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
열전달 온도로 가열 가능한 하나 이상의 열전달 몸체(1, 2, 3)를 구비하는 CVD- 또는 PVD-장비용 증기를 발생하기 위한 장치로서,
상기 열전달 몸체는 내부에 에어로졸 유입용 공급 관(4, 5)이 삽입된 개구(6, 7, 8)를 포함하고, 이때 열전달 몸체(1)의 상류측에는 운반 기체 공급용 운반 기체 공급 라인(11)이 제공되어 있는 CVD- 또는 PVD-장비용 증기를 발생하기 위한 장치에 있어서,
유동 방향으로 상기 열전달 몸체(1) 앞에 역류 차단 밸브(non-return valve)(18, 19)가 배치되어 있고, 상기 역류 차단 밸브(18, 19)는 특히 전체 유동 횡단면에 걸쳐서 연장되는 긴밀하게 이웃한 2개의 플레이트에 의해 형성되어 있으며, 상기 플레이트들은 개구들(18', 19')을 갖고, 이때 서로 상이한 플레이트들의 상기 개구들(18', 19')은 유동 방향에 대해 횡 방향으로 서로에 대해 변위(offset) 되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제1 항 내지 제14 항 중 어느 한 항의 특징부의 특징들 중 하나 또는 다수의 특징을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.