KR20160002352A - Thin film transistor of display device - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a thin film transistor of a display device, which can decrease screen failure by reducing leakage of current due to a hump. The thin film transistor of a display device according to an embodiment of the present invention comprises an active layer and a gate electrode by having a gate insulating film disposed therebetween. The gate electrode is disposed so that the gate electrode is divided into multiple wires to be overlapped with the active layer. The active layer comprises one or multiple channel regions disposed between a source electrode and a drain electrode; a dummy region whose length is elongated at an edge part of the channel region; and multiple link regions which are formed between the multiple channel regions to connect the multiple channel regions as one pattern. The multiple link regions are disposed to be overlapped with a part corresponding to a space between the multiple wires.

Description

디스플레이 장치의 박막트랜지스터{THIN FILM TRANSISTOR OF DISPLAY DEVICE}[0001] THIN FILM TRANSISTOR OF DISPLAY DEVICE [0002]

본 발명은 박막트랜지스터에 관한 것으로, 특히 험프(hump)로 인한 누설전류를 감소시켜 화면 불량을 감소시킬 수 있는 디스플레이 장치의 박막트랜지스터에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film transistor, and more particularly, to a thin film transistor of a display device capable of reducing a leakage current due to a hump to reduce a screen defect.

유기발광 다이오드(OLED)는 두 개의 전극(애노드 전극, 캐소드 전극) 사이에 유기발광층이 형성되어 있다. 두 개의 전극으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 유기발광층 내로 주입시켜 전자와 정공의 결합에 따른 여기자(exciton)를 생성한다. 그리고, 생성된 여기자가 여기 상태(excited state)로부터 기저 상태(ground state)로 떨어질 때 광이 발생하는 원리를 이용한 소자이다.In the organic light emitting diode (OLED), an organic light emitting layer is formed between two electrodes (an anode electrode and a cathode electrode). Electrons and holes are injected from the two electrodes into the organic light emitting layer to generate an exciton resulting from the combination of electrons and holes. Further, it is a device using the principle that light is generated when the generated excitons fall from the excited state to the ground state.

유기발광 디스플레이 장치는 복수의 픽셀이 매트릭스 형태로 배열된다. 유기발광 디스플레이 장치의 각 픽셀은 입력되는 데이터 전류(Ioled)에 의해 발광하는 유기발광 다이오드(OLED)와, 상기 유기발광 다이오드(OLED)를 구동시키기 위한 픽셀 회로(PC)를 포함한다. 또한, 상기 유기발광 다이오드(OLED)와 픽셀 회로(PC)에 구동 전원 및 신호를 공급하기 위한 복수의 라인들이 형성되어 있다.In the organic light emitting display device, a plurality of pixels are arranged in a matrix form. Each pixel of the organic light emitting display device includes an organic light emitting diode (OLED) emitting light by an input data current Ioled, and a pixel circuit (PC) for driving the organic light emitting diode (OLED). In addition, a plurality of lines for supplying driving power and signals to the organic light emitting diode (OLED) and the pixel circuit (PC) are formed.

상기 복수의 픽셀에 유기발광 다이오드(OLED) 및 픽셀 회로를 구성하고, 입력된 영상 신호에 따라서 각 픽셀의 유기발광 다이오드(OLED)를 발광시켜 화면을 표시한다.An organic light emitting diode (OLED) and a pixel circuit are constituted by the plurality of pixels, and the organic light emitting diode (OLED) of each pixel is emitted according to an input image signal to display a screen.

여기서, 픽셀 회로(PC)는 스캔 TFT, 센싱 TFT, 드라이빙 TFT 및 스토리지 커패시터(Cst) 를 포함한다. 그리고, 복수의 라인들은 데이터 라인(DL), 게이트 라인(GL), 구동전원 라인(PL), 센스신호 라인(SL), 기준전원 라인(RL)을 포함한다.Here, the pixel circuit PC includes a scan TFT, a sensing TFT, a driving TFT, and a storage capacitor Cst. The plurality of lines include a data line DL, a gate line GL, a driving power supply line PL, a sense signal line SL, and a reference power supply line RL.

도 1은 유기발광 디스플레이 장치의 픽셀에 스캔 신호를 공급하는 게이트 드라이버를 도시한 것으로, 하나의 스캔 회로를 나타내고 있다.1 shows a gate driver for supplying a scan signal to pixels of an organic light emitting display device, and shows one scan circuit.

도 1을 참조하면, 게이트 드라이버의 스캔 회로는 스캔 신호를 생성하고, 게이트 라인을 통해 픽셀 회로의 스캔 TFT에 스캔 신호를 공급한다.Referring to FIG. 1, a scan circuit of a gate driver generates a scan signal and supplies a scan signal to a scan TFT of a pixel circuit through a gate line.

여기서, 버퍼 TFT들 중에서 풀업(full-up) TFT는 고전압(게이트 하이 전압)을 게이트 라인으로 출력하고, 풀다운 TFT(T1)는 저전압(게이트 로우 전압)을 게이트 라인으로 출력한다. 그리고, 스위칭 TFT(T2)는 Q노드에 충전된 전압을 저전압(예를 들면, 그라운드 또는 VGL)으로 소거시키는 리셋 TFT이다.Here, among the buffer TFTs, the full-up TFT outputs a high voltage (gate high voltage) to the gate line, and the pull-down TFT T1 outputs a low voltage (gate low voltage) to the gate line. The switching TFT T2 is a reset TFT for erasing the voltage charged in the Q node to a low voltage (for example, ground or VGL).

스위칭 TFT(T2)의 문턱전압(Vth)이 낮아지면 오프전류(Ioff)가 증가하게 되고, 이에 따라 Q노드의 전압이 하강하여 출력전압(Vgout)이 낮아지게 된다. 또한, 풀다운 TFT(T1)의 문턱전압(Vth)이 낮아지면 오프전류(Ioff)가 증가하게 되고, 이에 따라 VGH 레벨로 출력되어야 하는 출력전압(Vgout)이 낮아지게 된다. 여기서, 출력전압(Vgout)은 풀업 TFT가 턴온될 때 출력되는 고전압을 의미한다.When the threshold voltage Vth of the switching TFT T2 is lowered, the off current Ioff is increased, so that the voltage of the Q node is lowered and the output voltage Vgout is lowered. In addition, when the threshold voltage Vth of the pull-down TFT (T1) is lowered, the off current (Ioff) is increased and accordingly the output voltage (Vgout) to be outputted to the VGH level is lowered. Here, the output voltage Vgout means a high voltage outputted when the pull-up TFT is turned on.

즉, 풀업 TFT가 턴온될 때 출력 전압(Vout)이 VGH 레벨로 출력되어야 하지만 풀다운 TFT(T1) 및 스위칭 TFT(T2)의 오프전류(Ioff)에 의해서 출력 전압(Vout)이 정상 전압보다 낮아지게 된다. 이와 같이, 스캔 회로의 출력전압(Vgout)이 낮아지면 픽셀 회로의 스위칭 TFT가 정상적으로 턴-온되지 않게 되어 화면 불량이 발생한다.That is, when the pull-up TFT is turned on, the output voltage Vout must be output to the VGH level, but the output voltage Vout becomes lower than the normal voltage due to the off current Ioff of the pull-down TFT T1 and the switching TFT T2 do. As described above, when the output voltage Vgout of the scan circuit is lowered, the switching TFT of the pixel circuit is not normally turned on and a screen failure occurs.

도 2A는 스캔 회로에 구성된 풀다운 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이고, 도 2B는 스캔 회로에 구성된 리셋 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이고, 도 2C는 픽셀 회로에 구성된 드라이빙 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다. 도 3은 도 2A 및 도 2B에 도시된 A1-A2 선에 따른 풀다운 TFT 및 리셋 TFT 단면과, 풀다운 TFT 및 리셋 TFT에서 험프가 발생되는 문제점을 나타내는 도면이다. 풀다운 TFT 및 리셋 TFT는 코플라너 탑 게이트 타입으로 형성되어 있다. 풀다운 TFT 및 리셋 TFT 단면과 드라이빙 TFT의 단면이 유사함으로 드라이빙 TFT의 단면은 도시하지 않았다.2A is a diagram showing a plan layout of a pull-down TFT configured in a scan circuit, FIG. 2B is a diagram showing a plan layout of a reset TFT configured in a scan circuit, and FIG. 2C is a diagram showing a plan layout of a driving TFT configured in a pixel circuit . FIG. 3 is a view showing a pull-down TFT and a reset TFT cross-section along a line A1-A2 shown in FIG. 2A and FIG. 2B, and a problem that a hump is generated in a pull-down TFT and a reset TFT. The pull-down TFT and the reset TFT are formed in a coplanar top gate type. The cross section of the pull-down TFT and the reset TFT is similar to that of the driving TFT, so that the cross section of the driving TFT is not shown.

도 2(A)에 도시된 바와 같이, 풀다운 TFT(T1)는 다른 TFT들에 비해 큰 면적으로 형성되며, 게이트 전극(2)이 2배선 구조로 형성되고, 액티브층(1)이 게이트 전극(2)과 중첩되어 멀티 채널이 형성된다. 액티브층(1)의 채널 영역은 소스 전극(3) 및 드레인 전극(4)과 컨택된다.2 (A), the pull-down TFT T1 is formed to have a larger area than other TFTs, the gate electrode 2 is formed in a two-wire structure, and the active layer 1 is formed in the gate electrode 2) to form a multi-channel. The channel region of the active layer 1 is in contact with the source electrode 3 and the drain electrode 4.

도 2(B)에 도시된 바와 같이, 스위칭 TFT(T2)는 상기 풀다운 TFT(T1)보다는 작은 면적으로 형성되며, 멀티 채널을 형성하기 위해서 게이트 전극(2)이 2중 배선 구조로 형성되어 있다. 액티브층(1)이 하나의 패턴으로 형성되어 소스 전극(3) 및 드레인 전극(4)과 컨택된다.As shown in Fig. 2B, the switching TFT T2 is formed in a smaller area than the pull-down TFT (T1), and the gate electrode 2 is formed in a double wiring structure in order to form multi-channel . The active layer 1 is formed in one pattern and is contacted with the source electrode 3 and the drain electrode 4. [

도 2(C)에 도시된 바와 같이, 픽셀 회로의 드라이빙 TFT는 게이트 전극(2)이 단일 배선 구조로 형성되어 있고, 액티브층(1)이 하나의 패턴으로 형성되어 소스 전극(3) 및 드레인 전극(4)과 컨택된다. As shown in Fig. 2 (C), the driving TFT of the pixel circuit has the gate electrode 2 formed in a single wiring structure, the active layer 1 formed in one pattern, and the source electrode 3 and the drain And is then brought into contact with the electrode 4.

도 3에 도시된 바와 같이, 액티브층(1)과 게이트 전극(2) 사이에는 게이트 절연층(5)이 형성되어 있다. 액티브층(1)의 좌측 및 우측 엣지 부분이 테이퍼 형태가 됨으로 인해 기생 TFT가 형성된다. 즉, 액티브층(1)의 좌측 및 우측 엣지 부분의 테이퍼 형태가 게이트 전극(2)가 중첩되어 기생 TFT가 형성된다.As shown in FIG. 3, a gate insulating layer 5 is formed between the active layer 1 and the gate electrode 2. Parasitic TFTs are formed because the left and right edge portions of the active layer 1 are tapered. That is, the tapered shapes of the left and right edge portions of the active layer 1 overlap with the gate electrodes 2 to form parasitic TFTs.

도 3에서 드라이빙 TFT의 단면이 도시되지 않았지만, 풀다운 TFT(T1) 및 스위칭 TFT(T2)와 동일 또는 유사하게 드라이빙 TFT도 액티브층(1)의 좌측 및 우측 엣지 부분이 테이퍼 형태가 됨으로 인해 기생 TFT가 형성될 수 있다.Although the cross section of the driving TFT is not shown in Fig. 3, since the left and right edge portions of the active layer 1 are tapered in the same or similar manner as the pull down TFT (T1) and the switching TFT (T2) Can be formed.

게이트 전극(2)과 액티브층(1)이 중첩되는 영역에 채널이 형성된다. 여기서, 채널 부분의 문턱전압(Vth2)보다 액티브층(1)의 좌측 및 우측 엣지 부분에 형성된 기생 TFT에 의한 문턱전압(Vth1, Vth3)이 낮게 형성된다. 이와 같이, 기생 TFT에 의해서 문턱전압(Vth1, Vth3)이 낮아지면 액티브층(1)의 좌측 및 우측 엣지 부분에 강전계가 형성된다.A channel is formed in a region where the gate electrode 2 and the active layer 1 overlap. Here, the threshold voltages Vth1 and Vth3 of the parasitic TFT formed in the left and right edge portions of the active layer 1 are formed to be lower than the threshold voltage Vth2 of the channel portion. As described above, when the threshold voltages Vth1 and Vth3 are lowered by the parasitic TFTs, a strong electric field is formed in the left and right edge portions of the active layer 1.

게이트 전압 변화에 따른 드레인 전류의 변화를 도시한 트랜스퍼 커브 특성에 도시된 바와 같이, 0[V]~3[V] 구간에서 전류가 선형적으로 증가해야 하지만 액티브층의 엣지 영역에 강한 전계가 형성되어 전류가 비선형으로 변화되는 험프(hump)가 발생된다. 이와 같이, 험프가 발생하면 TFT의 온(on), 오프(off) 시간 지연이 길어져 스위칭 특성이 저하된다.It is necessary to linearly increase the current in the interval of 0 [V] to 3 [V] as shown in the transfer curve characteristic showing the change of the drain current according to the gate voltage change, but a strong electric field is formed in the edge region of the active layer A hump is generated in which the current is changed in a non-linear manner. As described above, when the hump is generated, the on and off time delays of the TFT become longer and the switching characteristics are lowered.

이와 같이, 액티브층(1)의 좌측 및 우측 엣지 부분의 기생 TFT에 따른 험프로 인해 누설전류(또는 오프전류) 발생되어 스캔 회로의 출력전압(Vgout)이 낮아지는 문제점이 있다. 또한, 픽셀 회로의 스위칭 TFT가 정상적으로 동작(턴온 및 턴오프)하지 않게 되어 화면 불량이 발생하는 문제점이 있다.As described above, there is a problem that a leakage current (or an off current) is generated due to the hump along the parasitic TFTs of the left and right edge portions of the active layer 1, and the output voltage Vgout of the scan circuit is lowered. Further, there is a problem that the switching TFT of the pixel circuit does not normally operate (turn on and turn off), resulting in screen failure.

본 발명은 앞에서 설명한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 험프로 인한 누설전류를 감소시킬 수 있는 TFT를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is a technical object to provide a TFT capable of reducing leakage current due to a hump.

본 발명은 앞에서 설명한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 TFT의 험프로 인한 스캔 회로의 출력전압(Vgout)의 하강을 방지함으로써, 디스플레이 장치의 화면 불량을 방지하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to prevent a display failure of a display device by preventing a fall of an output voltage Vgout of a scan circuit due to a hump of a TFT constituted in a scan circuit of a gate driver do.

본 발명은 앞에서 설명한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 픽셀 회로에 구성된 드라이빙 TFT의 험프로 인한 누설전류(또는 오프전류)를 방지하여 디스플레이 장치의 화면 불량을 방지하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is a technical object to prevent a leakage current (or an off current) due to a hump of a driving TFT constituted in a pixel circuit, thereby preventing a display failure of the display device.

위에서 언급된 본 발명의 기술적 과제 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Other features and advantages of the invention will be set forth in the description which follows, or may be learned by those skilled in the art from the description and the claims.

본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 장치의 박막트랜지스터는 게이트 절연막을 사이에 두고 배치된 액티브층 및 게이트 전극을 포함한다. 상기 게이트 전극은 복수의 배선으로 분기되어 상기 액티브층과 중첩되도록 배치되어 있다. 상기 액티브층은 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이에 배치된 하나 또는 복수의 채널 영역과, 상기 채널 영역의 엣지 부분에서 길이가 신장된 더미 영역; 및 상기 복수의 채널 영역의 사이에 형성되어 상기 복수의 채널 영역을 하나의 패턴으로 연결하는 복수의 링크 영역;을 포함하고, 상기 복수의 배선 사이의 공간과 대응되는 부분에 중첩되도록 상기 복수의 링크 영역이 배치되어 있다.A thin film transistor of a display device according to an embodiment of the present invention includes an active layer and a gate electrode disposed with a gate insulating film therebetween. The gate electrode is branched to a plurality of wirings and arranged so as to overlap with the active layer. Wherein the active layer has one or a plurality of channel regions disposed between the source electrode and the drain electrode, a dummy region having a length elongated at an edge portion of the channel region, And a plurality of link regions formed between the plurality of channel regions and connecting the plurality of channel regions in one pattern, wherein the plurality of link regions overlap each other in a portion corresponding to a space between the plurality of lines, Area.

본 발명의 실시 예에 따른 박막트랜지스터는 험프의 발생을 방지하여 누설전류를 감소시킬 수 있다.The thin film transistor according to the embodiment of the present invention can prevent the occurrence of the hump and reduce the leakage current.

본 발명은 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 TFT의 액티브층 패턴을 변경함으로써 험프의 발생을 방지하고, 이를 통해 스캔 회로의 출력전압(Vgout)의 하강을 방지하여 디스플레이 장치의 화면 불량을 방지할 수 있다.The present invention prevents the occurrence of a hump by changing the active layer pattern of the TFT configured in the scan circuit of the gate driver, thereby preventing the fall of the output voltage (Vgout) of the scan circuit, thereby preventing a display failure of the display device .

본 발명은 픽셀 회로에 구성된 드라이빙 TFT의 액티브층 패턴을 변경함으로써 험프로 인한 누설전류(또는 오프전류)의 발생을 방지하고, 이를 통해 디스플레이 장치의 화면 불량을 방지할 수 있다.The present invention prevents generation of a leakage current (or an off current) due to a hump by changing the active layer pattern of the driving TFT formed in the pixel circuit, thereby preventing a display failure of the display device.

위에서 언급된 본 발명의 특징 및 효과들 이외에도 본 발명의 실시 예들을 통해 본 발명의 또 다른 특징 및 효과들이 새롭게 파악될 수도 있을 것이다.Other features and effects of the present invention may be newly understood through the embodiments of the present invention in addition to the features and effects of the present invention mentioned above.

도 1은 유기발광 디스플레이 장치의 픽셀에 스캔 신호를 공급하는 게이트 드라이버를 도시한 것으로, 하나의 스캔 회로를 나타내고 있다.
도 2A는 스캔 회로에 구성된 풀다운 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 2B는 스캔 회로에 구성된 리셋 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 2C는 픽셀 회로에 구성된 드라이빙 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2A 및 도 2B에 도시된 A1-A2 선에 따른 풀다운 TFT 및 리셋 TFT의 단면과, 풀다운 TFT 및 리셋 TFT에서 험프가 발생되는 문제점을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 TFT가 적용된 유기발광 디스플레이 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 유기발광 디스플레이 장치에 배치된 복수의 픽셀들 중에서 하나의 픽셀을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 버퍼 TFT들 중에서 풀다운 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 버퍼 TFT들 중에서 풀다운 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 8a는 도 6에 도시된 B1-B2선 및 C1-C2선에 따른 풀다운 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.
도 8b는 도 7에 도시된 B1-B2선 및 D1-D2선에 따른 풀다운 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 스위칭 TFT 또는 픽셀 회로에 구성된 스위칭 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 스위칭 TFT 또는 픽셀 회로에 구성된 스위칭 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 11a는 도 9에 도시된 E1-E2선에 따른 스캔 회로에 구성된 스위칭 TFT 또는 픽셀 회로에 구성된 스위칭 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.
도 11b는 도 10에 도시된 F11-F2선에 따른 스캔 회로에 구성된 스위칭 TFT 또는 픽셀 회로에 구성된 스위칭 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 제1 내지 제4 실시 예에 따른 TFT의 액티브층의 패턴 변경을 통한 TFT의 출력 특성의 향상 및 험프가 개선된 효과를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 픽셀 회로에 구성된 드라이빙 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 14는 도 13에 도시된 G1-G2선에 따른 드라이빙 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.
도 15는 스캔 회로의 풀다운 TFT 또는 스캔 회로의 스위칭 TFT(리셋 TFT) 또는 픽셀 회로의 스위칭 TFT가 싱글 게이트(탑 게이트) 구조로 형성된 것과, 액티브층에 형성된 채널을 나타내는 도면이다.
도 16는 본 발명의 제5 실시 예에 따른 드라이빙 TFT의 액티브층의 패턴 변경을 통한 드라이빙 TFT의 출력 특성의 향상 및 험프가 개선된 효과를 나타내는 도면이다.
도 17은 본 발명의 제6 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 버퍼 TFT들 중에서 풀다운 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 18a는 도 17에 도시된 풀다운 TFT의 평면 레이아웃 중에서 게이트 전극을 나타내는 도면이다.
도 18b는 도 17에 도시된 풀다운 TFT의 평면 레이아웃 중에서 액티브 층을 나타내는 도면이다.
도 18c는 도 17에 도시된 풀다운 TFT의 평면 레이아웃 중에서 소스 전극 및 드레인 전극을 나타내는 도면이다.
도 19a는 도 17에 도시된 I1-I2 선에 따른 단면을 나타내는 도면이다.
도 19b는 도 17에 도시된 I3-I4 선에 따른 단면을 나타내는 도면이다.
도 20은 본 발명의 제7 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 스캔 회로의 풀다운 TFT가 더블 게이트 구조로 형성된 것과, 액티브층에 형성된 복수의 채널을 나타내는 평면이다.
도 21a는 도 20에 도시된 J1-J2 선에 따른 스캔 회로의 풀다운 TFT 의 단면도이다.
도 21b는 도 20에 도시된 J3-J4 선에 따른 스캔 회로의 풀다운 TFT 의 단면도이다.
도 22는 본 발명의 제7 실시 예에 따른 풀다운 TFT의 액티브층의 패턴 변경을 통한 풀다운 TFT의 출력 특성의 향상 및 험프가 개선된 효과를 나타내는 도면이다.
1 shows a gate driver for supplying a scan signal to pixels of an organic light emitting display device, and shows one scan circuit.
2A is a diagram showing a plane layout of a pull-down TFT configured in a scan circuit.
2B is a diagram showing a plane layout of the reset TFT configured in the scan circuit.
2C is a diagram showing a plane layout of a driving TFT configured in a pixel circuit.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a pull-down TFT and a reset TFT according to the line A1-A2 shown in FIG. 2A and FIG. 2B, and a problem in which a hump is generated in a pull-down TFT and a reset TFT.
4 is a view schematically showing an organic light emitting display device to which a TFT according to an embodiment of the present invention is applied.
5 is a view showing one pixel among a plurality of pixels arranged in an organic light emitting display device.
6 shows a planar layout of a TFT according to the first embodiment of the present invention, and is a diagram showing a plane layout of a pull-down TFT among buffer TFTs configured in a scan circuit of a gate driver.
Fig. 7 shows a planar layout of a TFT according to a second embodiment of the present invention, and is a view showing a plane layout of a pull-down TFT among buffer TFTs configured in a scan circuit of a gate driver.
8A is a cross-sectional view of a pull-down TFT along lines B1-B2 and line C1-C2 shown in FIG.
8B is a cross-sectional view of the pull-down TFT along lines B1-B2 and line D1-D2 shown in FIG.
Fig. 9 shows a planar layout of a TFT according to a third embodiment of the present invention, which is a diagram showing a planar layout of a switching TFT constituted in a switching TFT or a pixel circuit constituted in a scanning circuit of a gate driver.
Fig. 10 shows a planar layout of a TFT according to a fourth embodiment of the present invention, which is a diagram showing a planar layout of a switching TFT constituted in a switching TFT or a pixel circuit constituted in a scanning circuit of a gate driver.
11A is a cross-sectional view of a switching TFT or a switching TFT configured in a pixel circuit configured in a scan circuit according to the E1-E2 line shown in FIG.
11B is a cross-sectional view of a switching TFT configured in a scan circuit according to the line F11-F2 shown in FIG. 10 or a switching TFT configured in a pixel circuit.
12 is a view showing an improvement of the output characteristics of the TFT and an effect of improving the hump by changing the pattern of the active layer of the TFT according to the first to fourth embodiments of the present invention.
Fig. 13 shows a planar layout of a TFT according to a fifth embodiment of the present invention, and is a diagram showing a planar layout of a driving TFT configured in a pixel circuit.
14 is a cross-sectional view of a driving TFT taken along a line G1-G2 shown in Fig.
15 is a diagram showing a channel formed in the active layer and a switching TFT (reset TFT) of a scan circuit or a switching TFT of a pixel circuit in a pull-down TFT or a scan circuit of a scan circuit formed in a single gate (top gate) structure.
FIG. 16 is a diagram showing an effect of improving the output characteristics of the driving TFT and improving the hump by changing the pattern of the active layer of the driving TFT according to the fifth embodiment of the present invention.
FIG. 17 shows a planar layout of a TFT according to a sixth embodiment of the present invention, and is a diagram showing a plane layout of a pull-down TFT among buffer TFTs configured in a scan circuit of a gate driver.
18A is a view showing a gate electrode in the plan layout of the pull-down TFT shown in FIG.
18B is a view showing the active layer among the plane layout of the pull-down TFT shown in FIG.
18C is a view showing a source electrode and a drain electrode in the plane layout of the pull-down TFT shown in FIG.
Fig. 19A is a view showing a cross section along a line I1-I2 shown in Fig. 17;
Fig. 19B is a cross-sectional view taken along the line I3-I4 shown in Fig. 17;
20 shows a planar layout of a TFT according to a seventh embodiment of the present invention, in which a pull-down TFT of a scan circuit is formed in a double gate structure and a plane showing a plurality of channels formed in the active layer.
21A is a cross-sectional view of a pull-down TFT of a scan circuit according to J1-J2 line shown in FIG.
21B is a cross-sectional view of a pull-down TFT of a scan circuit according to J3-J4 line shown in FIG.
FIG. 22 is a diagram showing an improvement of the output characteristics of the pull-down TFT and an improvement of the hump by changing the pattern of the active layer of the pull-down TFT according to the seventh embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 디스플레이 장치의 박막트랜지스터에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a thin film transistor of a display device of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to a person skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims.

본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.The shapes, sizes, ratios, angles, numbers, and the like disclosed in the drawings for describing the embodiments of the present invention are illustrative, and thus the present invention is not limited thereto. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail. In the case where the word 'includes', 'having', 'done', etc. are used in this specification, other parts can be added unless '~ only' is used. Unless the context clearly dictates otherwise, including the plural unless the context clearly dictates otherwise.

구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting the constituent elements, it is construed to include the error range even if there is no separate description.

본 발명의 실시 예들을 설명함에 있어서 어떤 구조물(전극, 라인, 배선 레이어, 컨택)이 다른 구조물 "상부에, 상에, 하부에 또는 아래에" 형성된다고 기재된 경우, 이러한 기재는 이 구조물들이 서로 접촉되어 있는 경우는 물론이고 이들 구조물들 사이에 제3의 구조물이 개재되어 있는 경우까지 포함하는 것으로 해석되어야 한다.In describing embodiments of the present invention, when it is described that a structure (electrode, line, wiring layer, contact) is formed "over, on, under, or under" another structure, But also to the case where a third structure is interposed between these structures.

시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.In the case of a description of a temporal relationship, for example, if the temporal relationship is described by 'after', 'after', 'after', 'before', etc., May not be continuous unless they are not used.

제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.The first, second, etc. are used to describe various components, but these components are not limited by these terms. These terms are used only to distinguish one component from another. Therefore, the first component mentioned below may be the second component within the technical spirit of the present invention.

본 발명의 여러 실시 예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시 예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.It is to be understood that each of the features of the various embodiments of the present invention may be combined or combined with each other, partially or wholly, technically various interlocking and driving, and that the embodiments may be practiced independently of each other, It is possible.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 TFT가 적용된 유기발광 디스플레이 장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 5는 유기발광 디스플레이 장치에 배치된 복수의 픽셀들 중에서 하나의 픽셀을 나타내는 도면이다.FIG. 4 is a view schematically showing an organic light emitting display device to which a TFT according to an embodiment of the present invention is applied, and FIG. 5 is a view showing one pixel among a plurality of pixels arranged in the organic light emitting display device.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 TFT가 적용된 유기발광 디스플레이 장치는 디스플레이 패널 및 상기 디스플레이 패널을 구동시키기 위한 구동 회로부를 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 4 and 5, an organic light emitting display device to which a TFT according to an exemplary embodiment of the present invention is applied includes a display panel and a driving circuit for driving the display panel.

구동 회로부는 데이터 드라이버, 게이트 드라이버, 타이밍 컨트롤러 및 메모리를 포함하여 구성된다.The driving circuit portion includes a data driver, a gate driver, a timing controller, and a memory.

타이밍 컨트롤러는 타이밍 동기 신호(TSS)에 기초하여 데이터 드라이버와 게이트 드라이버를 드라이빙 모드로 동작시켜 입력된 영상을 표시한다. 또한, 타이밍 컨트롤러는 타이밍 동기 신호(TSS)에 기초하여 데이터 드라이버와 게이트 드라이버를 센싱 모드로 동작시켜 각 픽셀의 드라이빙 TFT(DT)의 문턱전압/이동도의 센싱이 이루어지도록 한다.The timing controller operates the data driver and the gate driver in the driving mode based on the timing synchronization signal (TSS) to display the input image. The timing controller operates the data driver and the gate driver in the sensing mode based on the timing synchronization signal TSS so that the threshold voltage / mobility sensing of the driving TFT DT of each pixel is performed.

게이트 드라이버는 타이밍 컨트롤러로부터 공급되는 게이트 제어 신호(GCS)에 따라 스캔 신호(scan, 게이트 구동 신호) 및 센스 신호(sense)를 생성한다. 스캔 신호를 게이트 라인(GL)으로 출력하고, 생성된 센스 신호를 센스 신호 라인(SL)으로 출력한다. 예로서, 게이트 드라이버는 게이트 제어 신호(GCS)에 기초하여, 1 수평 기간마다 게이트 온 전압 레벨의 스캔 신호(scan, 게이트 구동 신호)를 생성한다. 게이트 드라이버는 생성된 스캔 신호(scan)를 복수의 게이트 라인(GL)에 순차적으로 공급한다.The gate driver generates a scan signal (scan) and a sense signal (sense) in accordance with a gate control signal (GCS) supplied from the timing controller. Outputs the scan signal to the gate line GL, and outputs the generated sense signal to the sense signal line SL. For example, the gate driver generates a scan signal (scan drive signal) of a gate-on voltage level every one horizontal period based on the gate control signal GCS. The gate driver sequentially supplies the generated scan signal (scan) to the plurality of gate lines GL.

이러한, 게이트 드라이버는 GIP(gate in panel) 방식으로 디스플레이 패널의 기판 상에 형성될 수 있다. GIP 방식의 게이트 드라이버는 기판 상의 비 표시 영역에 형성된다. 디스플레이 패널의 좌측 또는 우측의 비 표시 영역에 GIP 방식으로 게이트 드라이버가 형성될 수 있다. 또한, 디스플레이 패널의 좌측 및 우측의 비표시 영역에 GIP 방식으로 게이트 드라이버가 형성될 수도 있다.Such a gate driver may be formed on a substrate of a display panel in a GIP (gate in panel) manner. A GIP type gate driver is formed in a non-display region on the substrate. A gate driver may be formed in the non-display area on the left or right side of the display panel by the GIP method. A gate driver may be formed in the non-display area on the left and right sides of the display panel by the GIP method.

스캔 신호(scan, 게이트 구동 신호)는 각 픽셀(P)의 데이터 충전 기간 동안에 게이트 온 전압 레벨을 갖는다. 한편, 스캔 신호(scan)는 각 픽셀(P)의 발광 기간 동안 게이트 오프 전압 레벨을 갖는다. 이러한, 게이트 드라이버는 스캔 신호(scan)를 순차적으로 출력하는 쉬프트 레지스터일 수 있다. 또한, 게이트 드라이버는 복수의 구동 전원 라인(PL1 내지 PLm) 각각에 연결되고, 구동 전원(VDD)을 복수의 구동 전원 라인(PL1 내지 PLm)에 공급한다. 게이트 드라이버에서 구동 전원(VDD)이 출력되는 경우, 디스플레이 패널 내에서 복수의 구동 전원 라인(PL1 내지 PLm)이 가로 방향으로 배치될 수 있다. 도 4에서는 디스플레이 패널 내에서 복수의 구동 전원 라인(PL1 내지 PLm)이 가로 방향으로 배치된 것을 일 예로 도시하고 있다.The scan signal (scan, gate drive signal) has a gate-on voltage level during the data charging period of each pixel P. On the other hand, the scan signal (scan) has a gate-off voltage level during the light emission period of each pixel P. The gate driver may be a shift register that sequentially outputs a scan signal (scan). The gate driver is connected to each of the plurality of driving power supply lines PL1 to PLm and supplies the driving power supply voltage VDD to the plurality of driving power supply lines PL1 to PLm. When the gate driver outputs the driving power supply voltage VDD, the plurality of driving power supply lines PL1 to PLm may be arranged in the horizontal direction within the display panel. 4, a plurality of driving power lines PL1 to PLm are arranged in the horizontal direction within the display panel.

데이터 드라이버는 입력되는 영상 데이터를 데이터 전압(Vdata)으로 변환하여 데이터 라인(DL)에 공급한다. 이때, 초기 보상 데이터 및 실시간 보상 데이터가 반영되어 메모리에 저장된 보상 데이터가 반영된 영상 데이터에 따른 데이터 전압(Vdata)이 생성된다.The data driver converts the input image data into a data voltage (Vdata) and supplies the data voltage to the data line DL. At this time, the initial compensation data and the real-time compensation data are reflected and a data voltage (Vdata) according to the image data reflecting the compensation data stored in the memory is generated.

위에서는 게이트 드라이버에서 구동 전원(VDD)이 출력되는 것으로 설명했으나 이에 한정되지 않고, 데이터 드라이버에서 구동 전원(VDD)이 출력될 수 있다. 이 경우, 데이터 드라이버는 복수의 구동 전원 라인(PL1 내지 PLm) 각각에 연결되고, 구동 전원(VDD)을 복수의 구동 전원 라인(PL1 내지 PLm)에 공할 수 있다. 데이터 드라이버에서 구동 전원(VDD)이 출력되는 경우, 디스플레이 패널 내에서 복수의 구동 전원 라인(PL1 내지 PLm)이 세로 방향으로 배치될 수 있다.In the above description, the gate driver outputs the driving power supply voltage VDD. However, the present invention is not limited to this, and the driving power supply voltage VDD may be output from the data driver. In this case, the data driver is connected to each of the plurality of driving power supply lines PL1 to PLm, and the driving power supply line VDD can be supplied to the plurality of driving power supply lines PL1 to PLm. When the driving power VDD is outputted from the data driver, the plurality of driving power lines PL1 to PLm may be arranged in the vertical direction within the display panel.

디스플레이 패널에는 복수의 게이트 라인(GL), 복수의 센싱 신호 라인(SL), 복수의 데이터 라인(DL), 복수의 구동 전원 라인(PL) 및 복수의 기준 전압 라인(RL)이 배치되어 있다. 이러한 라인들(GL, SL, DL, PL, RL)에 의해 복수의 픽셀(P)이 정의된다. 복수의 픽셀(P)은 유기발광 다이오드(OLED)와, 상기 유기발광 다이오드(OLED)를 발광시키기 위한 픽셀 회로(PC)를 포함한다.The display panel includes a plurality of gate lines GL, a plurality of sensing signal lines SL, a plurality of data lines DL, a plurality of driving power supply lines PL, and a plurality of reference voltage lines RL. A plurality of pixels P are defined by these lines GL, SL, DL, PL, and RL. The plurality of pixels P include an organic light emitting diode (OLED) and a pixel circuit (PC) for causing the organic light emitting diode (OLED) to emit light.

복수의 픽셀(P) 각각은 적색 픽셀, 녹색 픽셀, 청색 픽셀, 또는 백색 픽셀 중 어느 하나가 될 수 있다. 영상을 표시하는 하나의 단위 픽셀이 4색으로 구성되는 경우, 적색 픽셀(red sub-pixel), 녹색 픽셀(green sub-pixel), 청색 픽셀(blue sub-pixel) 및 백색 픽셀(white sub-pixel)로 하나의 단위 픽셀이 구성될 수 있다.Each of the plurality of pixels P may be either a red pixel, a green pixel, a blue pixel, or a white pixel. When one unit pixel for displaying an image is composed of four colors, a red sub-pixel, a green sub-pixel, a blue sub-pixel, and a white sub-pixel ) Can be constituted by one unit pixel.

복수의 게이트 라인(GL)과 복수의 센싱 신호 라인(SL)은 디스플레이 패널 내에서 제1 방향(예로서, 수평 방향)으로 나란히 형성될 수 있다. 이때, 게이트 라인(GL)에는 게이트 드라이버로부터 스캔 신호(게이트 구동 신호)가 인가된다. 그리고, 센싱 신호 라인(SL)에는 게이트 드라이버로부터 센싱 신호(sense)가 인가된다.The plurality of gate lines GL and the plurality of sensing signal lines SL may be formed in parallel in the first direction (e.g., the horizontal direction) in the display panel. At this time, a scan signal (gate drive signal) is applied from the gate driver to the gate line GL. A sensing signal sense is applied to the sensing signal line SL from the gate driver.

복수의 구동 전원 라인(PL)은 게이트 라인(GL)과 나란하게 형성될 수 있다. 구동 전원 라인(PL)을 통해 고전압 구동 전원(VDD)을 픽셀(P)에 공급한다.A plurality of driving power supply lines PL may be formed in parallel with the gate lines GL. Voltage driving power supply VDD to the pixel P through the driving power supply line PL.

복수의 데이터 라인(DL)은 복수의 게이트 라인(GL) 및 복수의 센싱 신호 라인(SL)과 교차하도록 제2 방향(예로서, 수직 방향)으로 형성될 수 있다. 이때, 데이터 라인(DL)에는 데이터 드라이버로부터 데이터 전압(Vdata)이 공급된다. 데이터 전압(Vdata)은 해당 픽셀(P)의 드라이빙 TFT(DT)의 문턱전압(Vth)의 쉬프트에 대응되는 보상 전압이 부가된 전압 레벨을 갖는다The plurality of data lines DL may be formed in a second direction (e.g., vertical direction) so as to intersect the plurality of gate lines GL and the plurality of sensing signal lines SL. At this time, the data voltage (Vdata) is supplied from the data driver to the data line DL. The data voltage Vdata has a voltage level to which a compensation voltage corresponding to the shift of the threshold voltage Vth of the driving TFT DT of the pixel P is added

복수의 기준 전압 라인(RL)은 복수의 데이터 라인(DL) 각각과 나란하게 형성된다. 이러한, 기준 전압 라인(RL)에는 데이터 드라이버로부터 기준 전압 또는 센싱 프리차징 전압이 선택적으로 공급될 수 있다.A plurality of reference voltage lines RL are formed in parallel with each of the plurality of data lines DL. The reference voltage line RL may be selectively supplied with a reference voltage or a sensing precharging voltage from the data driver.

도 5에 도시된 바와 같이, 각 픽셀(P)의 픽셀 회로(PC)는 제1 스위칭 TFT(ST1), 제2 스위칭 TFT(ST2), 드라이빙 TFT(DT), 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함하여 구성된다. 여기서, 픽셀 회로에 구성된 TFT들(ST1, ST2, DT) 및 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 TFT들은 액티브층이 LTPS(Low-Temperature Poly Silicon)로 형성된 N타입 또는 P타입으로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 아몰포스 실리콘(a-Si) TFT, 폴리 실리콘(poly-Si) TFT, 산화물(Oxide) TFT, 유기(Organic) TFT 등이 픽셀 회로의 TFT들 및 스캔 회로의 TFT들로 적용될 수도 있다.5, the pixel circuit PC of each pixel P includes a first switching TFT ST1, a second switching TFT ST2, a driving TFT DT, and a storage capacitor Cst . Here, the TFTs constituted in the TFTs ST1, ST2 and DT constituted in the pixel circuit and the scan circuit of the gate driver can be formed in N type or P type in which the active layer is formed of LTPS (Low-Temperature Poly Silicon). However, the present invention is not limited to this, and the TFTs of the pixel circuit and the TFTs of the scan circuit such as an amorphous silicon (a-Si) TFT, a poly-Si TFT, an Oxide TFT, .

제1 스위칭 TFT(ST1)는 게이트 라인(GL)에 공급되는 게이트 온 전압 레벨의 스캔 신호에 따라 턴온(turn-on)된다. 제1 스위칭 TFT(ST1)가 턴온되면 데이터 라인(DL)에 공급되는 데이터 전압(Vdata)이 드라이빙 TFT(DT)의 게이트 전극에 공급된다.The first switching TFT ST1 is turned on according to the scan signal of the gate-on voltage level supplied to the gate line GL. When the first switching TFT ST1 is turned on, the data voltage Vdata supplied to the data line DL is supplied to the gate electrode of the driving TFT DT.

제2 스위칭 TFT(ST2)는 센싱 신호 라인(SL)에 공급되는 게이트 온 전압 레벨의 센싱 신호(sense)에 따라 턴온(turn-on)된다. 제2 스위칭 TFT(ST2)가 턴온되면 기준 전압 라인(RL)에 공급되는 디스플레이 기준 전압 또는 센싱 프리차징 전압이 드라이빙 TFT(DT)와 OLED 사이의 노드에 공급된다.The second switching TFT ST2 is turned on according to the sensing signal sense of the gate-on voltage level supplied to the sensing signal line SL. When the second switching TFT ST2 is turned on, a display reference voltage or a sensing precharging voltage supplied to the reference voltage line RL is supplied to the node between the driving TFT DT and the OLED.

드라이빙 TFT(DT)는 발광 기간마다 커패시터(Cst)에 충전된 전압에 의해 턴온 됨으로써 제1 구동 전원(VDD)으로부터 유기발광 다이오드(OLED)로 흐르는 전류 량을 제어한다.The driving TFT DT controls the amount of current flowing from the first driving power supply VDD to the organic light emitting diode OLED by being turned on by the voltage charged in the capacitor Cst every emission period.

유기발광 다이오드(OLED)는 상기 픽셀 회로(PC)의 드라이빙 TFT(DT)로부터 공급되는 데이터 전류(Ioled)에 의해 발광하여 데이터 전류(Ioled)에 대응되는 휘도를 가지는 단색 광을 방출한다.The organic light emitting diode OLED emits light with a data current Ioled supplied from the driving TFT DT of the pixel circuit PC to emit monochromatic light having a luminance corresponding to the data current Ioled.

도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 버퍼 TFT들 중에서 풀다운 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다. 또한, 도 8a는 도 6에 도시된 B1-B2선 및 C1-C2선에 따른 풀다운 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.6 shows a planar layout of a TFT according to the first embodiment of the present invention, and is a diagram showing a plane layout of a pull-down TFT among buffer TFTs configured in a scan circuit of a gate driver. 8A is a cross-sectional view of a pull-down TFT along lines B1-B2 and line C1-C2 shown in FIG. 6. FIG.

도 6 및 도 8a를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 TFT(100)는 스캔 회로의 버퍼 TFT들(풀업 TFT 및 풀다운 TFT)에 적용될 수 있다. 이하, 설명에서는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 TFT(100)가 스캔 회로의 버퍼 TFT들 중에서 풀다운 TFT(도 1의 T1)에 적용된 것을 일 예로 설명하기로 한다.Referring to Figs. 6 and 8A, the TFT 100 according to the first embodiment of the present invention can be applied to buffer TFTs (pull-up TFT and pull-down TFT) of a scan circuit. Hereinafter, one example in which the TFT 100 according to the first embodiment of the present invention is applied to a pull-down TFT (T1 in FIG. 1) among the buffer TFTs of the scan circuit will be described.

스캔 회로의 풀다운 TFT는 고전압 및 장시간 구동에 의한 열화를 견딜 수 있도록 일반적인 스위칭 TFT들에 비해 큰 면적으로 형성된다. 본 발명의 제1 실시 예에 따른 TFT(100)는 멀티 채널을 형성하기 위해서 게이트 전극(120)이 2배선 구조로 형성되고, 복수의 채널이 형성되도록 액티브층(110)이 패터닝되어 있다.The pull-down TFT of the scan circuit is formed in a large area compared with general switching TFTs to withstand the deterioration due to high voltage and long driving. In the TFT 100 according to the first embodiment of the present invention, the gate electrode 120 is formed in a two-wire structure in order to form multi-channels, and the active layer 110 is patterned so that a plurality of channels are formed.

본 발명의 제1 실시 예에 따른 TFT(100)는 탑 게이트 구조로 형성된다. 기판 상에 액티브층(110)이 형성되고, 액티브층(110)의 상부에 게이트 절연막(150)이 형성된다. 그리고, 게이트 절연막(150) 상부에 게이트 전극(120)이 형성된다.The TFT 100 according to the first embodiment of the present invention is formed in a top gate structure. An active layer 110 is formed on a substrate, and a gate insulating layer 150 is formed on the active layer 110. A gate electrode 120 is formed on the gate insulating layer 150.

게이트 전극(120)은 게이트 라인에서 2개의 배선으로 분기되어 일 방향으로 길게 형성되어 있다. 평면 상에서 게이트 전극(120)의 하측에 소스 전극(130)이 배치되고, 게이트 전극(120)의 상측에 드레인 전극(140)이 배치되어 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 평면 상에서 게이트 전극(120)의 하측에 드레인 전극(140)이 배치되고, 게이트 전극(120)의 상측에 소스 전극(130)이 배치될 수도 있다.The gate electrode 120 is branched from the gate line to two wirings and is formed long in one direction. The source electrode 130 is disposed on the lower side of the gate electrode 120 on the plane and the drain electrode 140 is disposed on the upper side of the gate electrode 120. However, the present invention is not limited to this, and the drain electrode 140 may be disposed on the lower side of the gate electrode 120 in a plan view, and the source electrode 130 may be disposed on the upper side of the gate electrode 120.

게이트 전극(120)과 중첩되도록 액티브층(110)이 형성되어 있고, 액티브층(110)의 채널 영역은 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)과 컨택된다. 게이트 전극(120)과 액티브층(110)은 전체가 중첩되는 것은 아니며, 게이트 전극(120)과 액티브층(110)은 일부분이 중첩되도록 배치된다.  The active layer 110 is formed so as to overlap with the gate electrode 120 and the channel region of the active layer 110 is in contact with the source electrode 130 and the drain electrode 140. The gate electrode 120 and the active layer 110 do not overlap each other, and the gate electrode 120 and the active layer 110 are partially overlapped.

여기서, 액티브층(110)의 양쪽 끝단에 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)이 배치된다. 컨택홀에 형성되는 컨택 메탈을 통해서 소스 전극(130)이 데이터 라인과 접속되고, 드레인 전극(140)이 OLED의 애노드 전극(또는 신호 라인)과 접속된다.Here, the source electrode 130 and the drain electrode 140 are disposed at both ends of the active layer 110. The source electrode 130 is connected to the data line through the contact metal formed in the contact hole and the drain electrode 140 is connected to the anode electrode (or signal line) of the OLED.

액티브층(110)은 복수의 채널 영역(112), 채널 영역(112)의 좌측 및 우측 엣지 부분에 형성된 더미 영역(114) 및 복수의 채널 영역(112) 사이에 배치된 복수의 링크 영역(116)을 포함한다.The active layer 110 includes a plurality of channel regions 112, a dummy region 114 formed in the left and right edge portions of the channel region 112, and a plurality of link regions 116 ).

여기서, 액티브층(110)은 LTPS(Low-Temperature Poly Silicon)로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 액티브층(110)은 아몰포스 실리콘(a-Si), 폴리 실리콘(poly-Si), 산화물(Oxide) 또는 유기물(Organic)로 형성될 수도 있다.Here, the active layer 110 may be formed of LTPS (Low-Temperature Poly Silicon). However, the present invention is not limited thereto, and the active layer 110 may be formed of amorphous silicon (a-Si), polysilicon (poly-Si), oxide, or organic material.

복수의 채널 영역(112)은 멀티 채널을 형성하기 위해서 게이트 전극(120)과 중첩되고, 소스 전극(130)과 드레인 전극(140) 사이에 채널 영역이 배치된다.A plurality of channel regions 112 are overlapped with the gate electrode 120 to form a multi-channel region, and a channel region is disposed between the source electrode 130 and the drain electrode 140.

복수의 링크 영역(116)은 복수의 채널 영역(112)들의 사이마다 배치되어 복수의 채널 영역(112)을 연결한다. 즉, 복수의 링크 영역(116)에 의해서 복수의 채널 영역(112)이 하나의 패턴으로 연결된다.A plurality of link regions 116 are disposed between the plurality of channel regions 112 to connect the plurality of channel regions 112. That is, the plurality of channel regions 112 are connected by a plurality of link regions 116 in one pattern.

복수의 링크 영역(116) 각각은 슬릿(slit)을 포함하고, 상기 슬릿이 게이트 전극(120)의 2배선 사이의 공간과 대응되는 부분에 중첩되도록 배치된다.Each of the plurality of link regions 116 includes a slit, and the slit is disposed so as to overlap the portion corresponding to the space between the two wirings of the gate electrode 120.

액티브층(110)을 형성할 때 전도성 투명물질(예로서, ITO) 층을 패터닝하여 복수의 채널 영역(112)과 복수의 링크 영역(116)을 형성하다. 따라서, 복수의 채널 영역(112)과 복수의 링크 영역(116)은 동일 물질로 형성된다.When forming the active layer 110, a plurality of channel regions 112 and a plurality of link regions 116 are formed by patterning a conductive transparent material (e.g., ITO) layer. Therefore, the plurality of channel regions 112 and the plurality of link regions 116 are formed of the same material.

여기서, 게이트 전극(120)의 2배선 각각의 세로 방향의 폭보다 복수의 링크 영역(116) 각각의 폭이 작게 형성되어 있다.Here, the width of each of the plurality of link regions 116 is formed smaller than the width of each of the two wirings of the gate electrode 120 in the longitudinal direction.

더미 영역(114)은 채널 영역(112)의 좌측 및 우측 엣지 부분에서 시작되어 게이트 전극(120)의 끝단을 넘어 외곽까지 배치되어 있다. 즉, 더미 영역(114)은 채널 영역(112)의 좌측 및 우측 엣지 부분에서 돌출되어, 채널 영역(112)의 좌측 및 우측 외곽까지 형성된다. 이로서, 액티브층(110)의 좌측 및 우측의 엣지 부분은 게이트 전극(120)과 중첩되지 않는다.The dummy region 114 extends from the left and right edge portions of the channel region 112 to beyond the end of the gate electrode 120 to the outside. That is, the dummy region 114 protrudes from the left and right edge portions of the channel region 112 and is formed to the left and right outlines of the channel region 112. As a result, the left and right edge portions of the active layer 110 are not overlapped with the gate electrode 120.

여기서, 더미 영역(114)의 끝단이 게이트 전극(120)의 외곽에 위치하게 되는데, 더미 영역(114)의 끝단은 게이트 전극(120)의 엣지에서 소정 거리만큼 떨어진 곳에 위치한다. 즉, 더미 영역(114)의 끝단은 게이트 전극(120)의 엣지가 일정 간격을 두고 배치된다.The end of the dummy region 114 is positioned at a predetermined distance from the edge of the gate electrode 120. The end of the dummy region 114 is located outside the gate electrode 120. That is, the edge of the gate electrode 120 is arranged at a predetermined distance from the end of the dummy region 114.

예로서, 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 10~30%에 해당하는 길이(W2)만큼 더미 영역(114)이 게이트 전극(120)의 외곽으로 돌출된다. 즉, 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 10~30%에 해당하는 길이만큼(W2)의 간격을 두고 게이트 전극(120)의 엣지로부터 더미 영역(114)의 끝단이 위치하게 된다.For example, the dummy region 114 protrudes to the outer periphery of the gate electrode 120 by a length W2 corresponding to 10 to 30% of the width W1 of the gate electrode 120. That is, the end of the dummy region 114 is located from the edge of the gate electrode 120 with an interval of W2 as long as 10 to 30% of the width W1 of the gate electrode 120.

다른 예로서, 게이트 전극(120)과 액티브층(110)이 중첩된 부분의 폭(W1)의 10~30%에 해당하는 길이(W2)만큼 더미 영역(114)이 게이트 전극(120)의 외곽으로 돌출된다. 즉, 게이트 전극(120)과 액티브층(110)이 중첩된 부분의 폭(W1)의 10~30%에 해당하는 길이만큼(W2)의 간격을 두고 게이트 전극(120)의 엣지로부터 더미 영역(114)의 끝단이 위치하게 된다.As another example, the dummy region 114 may be formed in the outer periphery of the gate electrode 120 by a length W2 corresponding to 10 to 30% of the width W1 of the portion where the gate electrode 120 and the active layer 110 are overlapped. . That is, the gate electrode 120 and the active layer 110 are separated from the edge of the gate electrode 120 by an interval of W2 corresponding to 10 to 30% of the width W1 of the overlapping portion, 114 are positioned.

여기서, 더미 영역(114)이 돌출되는 길이는 게이트 전극(120)과 액티브층(110)의 오버랩 마진을 고려하여 설정한 것이다. 따라서, 더미 영역(114)이 돌출되는 길이의 수치가 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 10~30%만큼 또는 게이트 전극(120)과 액티브층(110)이 중첩된 부분의 폭(W1)의 10~30%에 해당하는 길이만큼(W2)으로 반드시 한정되는 것은 아니다.The length of the protrusion of the dummy region 114 is set in consideration of the overlap margin between the gate electrode 120 and the active layer 110. The width of the portion where the gate electrode 120 and the active layer 110 are overlapped with each other is equal to or greater than the width W1 of the width W1 of the gate electrode 120, (W2), which is a length corresponding to 10 to 30% of the total length (W2).

더미 영역(114)이 돌출되는 길이를 너무 작게 설정(예를 들면, 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 10% 미만 또는 게이트 전극(120)과 액티브층(110)이 중첩된 부분의 폭(W1)의 10% 미만) 설정하면, 더미 영역(114)이 게이트 전극(120)의 외곽으로 돌출되지 않을 수 있다. 즉, 더미 영역(114)이 정상적으로 형성되지 않을 수 있다.The protruding length of the dummy region 114 is set to be too small (for example, less than 10% of the width W1 of the gate electrode 120 or the width of the overlapping portion of the gate electrode 120 and the active layer 110) (Less than 10% of the width W1), the dummy region 114 may not protrude to the outer periphery of the gate electrode 120. That is, the dummy region 114 may not be normally formed.

반면, 더미 영역(114)이 돌출되는 길이를 너무 크게 설정(예를 들면, 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 30%를 초과 또는 게이트 전극(120)과 액티브층(110)이 중첩된 부분의 폭(W1)의 30%를 초과) 설정하면, 더미 영역(114)이 크기의 증가로 인해 TFT의 전체 크기가 증가하게 된다. 따라서, 제한된 공간 내에 모든 TFT를 설계할 수 없는 문제점, 즉, 설계 공간의 부족을 방생시킬 수 있다.On the other hand, if the protruding length of the dummy region 114 is set too large (for example, more than 30% of the width W1 of the gate electrode 120 or the gate electrode 120 is overlapped with the active layer 110) (More than 30% of the width W1 of the portion), the total size of the TFT is increased due to the increase of the size of the dummy region 114. [ Therefore, it is possible to eliminate the problem that all the TFTs can not be designed in the limited space, that is, the lack of the design space.

따라서, 본 출원의 발명자들은 TFT의 설계 및 제조 마진을 고려하여, 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 최대 30%에 해당하는 길이(W2)만큼 더미 영역(114)이 게이트 전극(120)의 외곽으로 돌출되도록 설정하였다. 또한, 본 출원의 발명자들은 TFT의 설계 및 제조 마진을 고려하여, 게이트 전극(120)과 액티브층(110)이 중첩된 부분의 폭(W1)의 최대 30%에 해당하는 길이(W2)만큼 더미 영역(114)이 게이트 전극(120)의 외곽으로 돌출되도록 설정하였다.Therefore, in consideration of the design and manufacturing margin of the TFT, the inventors of the present application have found that the dummy region 114 is formed in the gate electrode 120 by a length W2 corresponding to at most 30% of the width W1 of the gate electrode 120, As shown in Fig. The inventors of the present application have found that by considering the design and fabrication margin of the TFTs, the inventors of the present application found that, by considering the design and manufacturing margin of the TFT, the dummy gate electrode 120 and the active layer 110 are stacked, The region 114 is set so as to protrude to the outer periphery of the gate electrode 120.

도 8a 도시된 바와 같이, 액티브층(110)의 좌측 및 우측의 끝부분의 상부에는 게이트 절연막(150)이 형성되어 있다. 그러나, 액티브층(110)의 좌측 및 우측의 끝부분(더미 영역(114)의 끝단)의 상부에는 게이트 전극(120)은 존재하지 않는다. 따라서, 액티브층(110)의 엣지 부분과 게이트 전극(120)이 중첩되지 않기 때문에, 종래 기술에서 액티브층의 엣지 부분과 게이트 전극의 중첩으로 인한 기생 TFT가 형성되지 않게 된다. 만약, 기생 TFT가 형성되더라도 매우 작게 형성된다.As shown in FIG. 8A, a gate insulating layer 150 is formed on the left and right ends of the active layer 110. However, the gate electrode 120 does not exist above the left and right end portions of the active layer 110 (end portions of the dummy region 114). Therefore, since the edge portion of the active layer 110 and the gate electrode 120 are not overlapped, parasitic TFTs due to superposition of the gate electrode and the edge portion of the active layer are not formed in the conventional art. Even if a parasitic TFT is formed, it is formed very small.

이를 통해, 스캔 회로의 버퍼 TFT에서 기생 TFT가 형성되어 발생하던 험프를 방지 또는 개선하여 스캔 회로의 버퍼 TFT의 출력 특성을 향상시킬 수 있다. 스캔 회로의 버퍼 TFT의 출력 특성이 향상되면 디스플레이 장치 화면 불량을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.Thus, it is possible to prevent or improve the hump caused by the formation of the parasitic TFT in the buffer TFT of the scan circuit, thereby improving the output characteristics of the buffer TFT of the scan circuit. If the output characteristics of the buffer TFT of the scan circuit are improved, display quality can be improved by preventing display device screen failure.

도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 버퍼 TFT들 중에서 풀다운 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다. 도 8B는 도 7에 도시된 B1-B2선 및 D1-D2선에 따른 풀다운 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.Fig. 7 shows a planar layout of a TFT according to a second embodiment of the present invention, and is a view showing a plane layout of a pull-down TFT among buffer TFTs configured in a scan circuit of a gate driver. Fig. 8B is a view showing a section of a pull-down TFT along lines B1-B2 and line D1-D2 shown in Fig. 7;

도 7 및 도 8b를 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 TFT(100)는 멀티 채널을 형성하기 위해서 게이트 전극(120)이 2배선 구조로 형성되고, 복수의 채널이 형성되도록 액티브층(110)이 패터닝되어 있다.7 and 8B, the TFT 100 according to the second embodiment of the present invention has a structure in which the gate electrode 120 is formed in a two-wire structure in order to form multi-channels, (110) is patterned.

게이트 전극(120)이 게이트 라인에서 2개의 배선으로 분기되어 일 방향으로 길게 형성되어 있다. 평면 상에서 게이트 전극(120)의 하측에 소스 전극(130)이 배치되고, 상측에 드레인 전극(140)이 배치되어 있다. 게이트 전극(120)과 중첩되도록 액티브층(110)이 배치되어 있고, 액티브층(110)은 소스 전극(130) 및 드레인 전극(140)과 컨택된다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 평면 상에서 게이트 전극(120)의 하측에 드레인 전극(140)이 배치되고, 게이트 전극(120)의 상측에 소스 전극(130)이 배치될 수도 있다.The gate electrode 120 is branched from the gate line to two wirings and is formed long in one direction. The source electrode 130 is disposed on the lower side of the gate electrode 120 on the plane and the drain electrode 140 is disposed on the upper side. The active layer 110 is disposed so as to overlap with the gate electrode 120 and the active layer 110 is contacted with the source electrode 130 and the drain electrode 140. However, the present invention is not limited to this, and the drain electrode 140 may be disposed on the lower side of the gate electrode 120 in a plan view, and the source electrode 130 may be disposed on the upper side of the gate electrode 120.

액티브층(110)의 복수의 채널 영역(112)은 멀티 채널을 형성하기 위해서 게이트 전극(120)과 중첩되고, 소스 전극(130)과 드레인 전극(140) 사이에 복수의 채널 영역(112)이 배치된다. 게이트 전극(120)과 액티브층(110)은 전체가 중첩되는 것은 아니며, 게이트 전극(120)과 액티브층(110)은 일부분이 중첩되도록 배치된다.A plurality of channel regions 112 of the active layer 110 are overlapped with the gate electrode 120 to form a plurality of channels and a plurality of channel regions 112 are formed between the source electrode 130 and the drain electrode 140 . The gate electrode 120 and the active layer 110 do not overlap each other, and the gate electrode 120 and the active layer 110 are partially overlapped.

액티브층(110)의 복수의 링크 영역(116)은 채널 영역들(112)의 사이마다 형성되어 복수의 채널 영역(112)을 연결한다. 즉, 복수의 링크 영역(116)에 의해서 복수의 채널 영역(112)이 하나의 패턴으로 연결된다. 이때, 게이트 전극(120)의 2배선 각각의 세로 방향의 폭보다 복수의 링크 영역(116) 각각의 폭이 크게 형성되어 있다.A plurality of link regions 116 of the active layer 110 are formed between the channel regions 112 to connect the plurality of channel regions 112. That is, the plurality of channel regions 112 are connected by a plurality of link regions 116 in one pattern. At this time, the width of each of the plurality of link regions 116 is formed to be larger than the width of each of the two wirings of the gate electrode 120 in the longitudinal direction.

복수의 링크 영역(116) 각각은 슬릿(slit)을 포함하고, 상기 슬릿이 게이트 전극(120)의 2배선 사이의 공간과 대응되는 부분에 중첩되도록 배치된다.Each of the plurality of link regions 116 includes a slit, and the slit is disposed so as to overlap the portion corresponding to the space between the two wirings of the gate electrode 120.

액티브층(110)의 더미 영역(114)은 채널 영역(112)의 좌측 및 우측 엣지 부분에서 시작되어 게이트 전극(120)의 끝단을 넘어 외곽까지 형성된다. 즉, 더미 영역(114)은 채널 영역(112)의 좌측 및 우측 엣지 부분에서 돌출되어, 채널 영역(112)의 좌측 및 우측 외곽에 더미 영역(114)의 끝단이 배치된다. 이로서, 액티브층(110)의 좌측 및 우측의 엣지 부분(더미 영역(114))이 게이트 전극(120)과 중첩되지 않는다.The dummy region 114 of the active layer 110 starts from the left and right edge portions of the channel region 112 and extends beyond the end of the gate electrode 120 to the outside. That is, the dummy region 114 protrudes from the left and right edge portions of the channel region 112, and the end of the dummy region 114 is disposed on the left and right outer edges of the channel region 112. Thus, the left and right edge portions (dummy region 114) of the active layer 110 are not overlapped with the gate electrode 120.

여기서, 더미 영역(114)의 끝단이 게이트 전극(120)의 외곽에 위치하게 되는데, 더미 영역(114)의 끝단은 게이트 전극(120)의 엣지에서 소정 거리만큼 떨어진 곳에 위치한다.The end of the dummy region 114 is positioned at a predetermined distance from the edge of the gate electrode 120. The end of the dummy region 114 is located outside the gate electrode 120.

예로서, 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 10~30%에 해당하는 길이(W2)만큼 더미 영역(114)이 게이트 전극(120)의 외곽으로 돌출된다. 즉, 게이트 전극(120)의 엣지로부터 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 10~30%에 해당하는 길이만큼(W2)의 간격을 두고 더미 영역(114)의 끝단이 위치하게 된다.For example, the dummy region 114 protrudes to the outer periphery of the gate electrode 120 by a length W2 corresponding to 10 to 30% of the width W1 of the gate electrode 120. That is, the end of the dummy region 114 is located at an interval of W2 as long as 10 to 30% of the width W1 of the gate electrode 120 from the edge of the gate electrode 120.

다른 예로서, 게이트 전극(120)과 액티브층(110)이 중첩된 부분의 폭(W1)의 10~30%에 해당하는 길이(W2)만큼 더미 영역(114)이 게이트 전극(120)의 외곽으로 돌출된다. 즉, 게이트 전극(120)의 엣지로부터 게이트 전극(120)과 액티브층(110)이 중첩된 부분의 폭(W1)의 10~30%에 해당하는 길이만큼(W2)의 간격을 두고 더미 영역(114)의 끝단이 위치하게 된다.As another example, the dummy region 114 may be formed in the outer periphery of the gate electrode 120 by a length W2 corresponding to 10 to 30% of the width W1 of the portion where the gate electrode 120 and the active layer 110 are overlapped. . That is, a distance of W2 from the edge of the gate electrode 120 corresponding to 10 to 30% of the width W1 of the portion where the gate electrode 120 and the active layer 110 are overlapped, 114 are positioned.

여기서, 채널 영역(112)에서 돌출되는 더미 영역(114)의 길이가 반드시 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 10~30%로 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 출원의 발명자들은 스캔 회로를 구성하는 풀다운 TFT의 설계 및 제조 공정 마진을 고려하여, 게이트 전극(120)의 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 더미 영역(114)이 게이트 전극(120)의 외곽으로 돌출되도록 설정하였다.The length of the dummy region 114 protruding from the channel region 112 is not limited to 10 to 30% of the width W1 of the gate electrode 120. However, the inventors of the present application have considered that the dummy region 114 has a length corresponding to 30% of the width of the gate electrode 120 in consideration of the design and manufacturing process margin of the pull-down TFT constituting the scan circuit, As shown in Fig.

또한, 채널 영역(112)에서 돌출되는 더미 영역(114)의 길이가 반드시 게이트 전극(120)과 액티브층(110)이 중첩된 부분의 폭(W1)의 10~30%로 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 출원의 발명자들은 스캔 회로를 구성하는 풀다운 TFT의 설계 및 제조 공정 마진을 고려하여, 게이트 전극(120)의 폭(W1)의 최대 30%에 해당하는 길이(W2)만큼 더미 영역(114)이 게이트 전극(120)의 외곽으로 돌출되도록 설정하였다.The length of the dummy region 114 protruding from the channel region 112 is not limited to 10 to 30% of the width W1 of the portion where the gate electrode 120 and the active layer 110 overlap. However, the inventors of the present application have found that, considering the design and fabrication process margin of the pull-down TFT constituting the scan circuit, the dummy region 114 (W2) is formed by a length W2 corresponding to at most 30% of the width W1 of the gate electrode 120 Is protruded to the outer periphery of the gate electrode 120.

도 8B에 도시된 바와 같이, 액티브층(110)의 좌측 및 우측의 끝부분의 상부에는 게이트 절연막(150)이 형성되어 있다. 그러나, 액티브층(110)의 좌측 및 우측의 끝부분(더미 영역(114)의 끝단)의 상부에는 게이트 전극(120)은 존재하지 않는다. 따라서, 액티브층(110)의 엣지 부분과 게이트 전극(120)이 중첩되지 않기 때문에, 종래 기술에서 액티브층의 엣지 부분과 게이트 전극의 중첩으로 인한 기생 TFT가 형성되지 않게 된다. 만약, 기생 TFT가 형성되더라도 매우 작게 형성된다.As shown in FIG. 8B, a gate insulating layer 150 is formed on the left and right ends of the active layer 110. However, the gate electrode 120 does not exist above the left and right end portions of the active layer 110 (end portions of the dummy region 114). Therefore, since the edge portion of the active layer 110 and the gate electrode 120 are not overlapped, parasitic TFTs due to superposition of the gate electrode and the edge portion of the active layer are not formed in the conventional art. Even if a parasitic TFT is formed, it is formed very small.

이를 통해, 스캔 회로의 버퍼 TFT에서 기생 TFT가 형성되어 발생하던 험프를 방지 또는 개선하여 스캔 회로의 버퍼 TFT의 출력 특성을 향상시킬 수 있다. 스캔 회로의 버퍼 TFT의 출력 특성이 향상되면 디스플레이 장치 화면 불량을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.Thus, it is possible to prevent or improve the hump caused by the formation of the parasitic TFT in the buffer TFT of the scan circuit, thereby improving the output characteristics of the buffer TFT of the scan circuit. If the output characteristics of the buffer TFT of the scan circuit are improved, display quality can be improved by preventing display device screen failure.

상술한 구성을 포함하는 본 발명의 제1 및 제2 실시 예에 따른 TFT는 액티브층(110)의 좌측 및 우측 끝단에서 기생 TFT가 생성되는 것을 방지 또는 최소화 시킬 수 있다. 여기서, 게이트 전극(120)의 외곽까지 액티브층(110)의 엣지 부분이 연장되도록 액티브층(110)의 패턴을 변경 즉, 더미 영역(114)을 배치하여, 기생 TFT가 생성될 수 있는 영역을 제거하거나 또는 최소화 시켰다.The TFTs according to the first and second embodiments of the present invention including the above-described configuration can prevent or minimize the generation of parasitic TFTs at the left and right ends of the active layer 110. [ Here, the pattern of the active layer 110 is changed so that the edge portion of the active layer 110 is extended to the outer edge of the gate electrode 120, that is, the dummy region 114 is arranged, Removed or minimized.

액티브층(110)의 좌측 및 우측의 엣지 부분(더미 영역(114))으로부터 대각선 방향에 게이트 전극(120)의 엣지 부분이 위치할 수 있다. 그러나, 게이트 절연막(150)을 사이에 두고 액티브층(110)의 좌측 및 우측의 엣지 부분(더미 영역(114))과 게이트 전극(120) 간의 거리가 멀게 배치된다. 따라서, 기생 TFT가 생성되더라고 매우 작게 형성되어 기생 TFT에 의한 험프 발생을 방지 또는 감소시킬 있다.The edge portions of the gate electrode 120 may be positioned in the diagonal direction from the left and right edge portions (dummy region 114) of the active layer 110. However, distances between the left and right edge portions (dummy region 114) of the active layer 110 and the gate electrode 120 are set to be distant from each other with the gate insulating film 150 therebetween. Therefore, even if a parasitic TFT is generated, it is formed so as to be very small to prevent or reduce the occurrence of a hump by the parasitic TFT.

액티브층(110)의 좌측 및 우측의 엣지 부분이 게이트 전극(120)과 중첩되지 않기 때문에, 기생 TFT의 문턱전압(Vth1, Vth3)이 액티브층(110)의 채널 영역(112)의 문턱전압(Vth2)보다 큰 값을 가지게 된다.The threshold voltages Vth1 and Vth3 of the parasitic TFT do not overlap with the threshold voltage Vth1 of the channel region 112 of the active layer 110 because the left and right edge portions of the active layer 110 do not overlap the gate electrode 120 Vth2).

이와 같이, 액티브층(110)의 좌측 및 우측의 엣지 부분의 기생 TFT가 작게 형성되고, 기생 TFT의 문턱전압(Vth1, Vth3)이 큰 값을 가지므로 액티브층(110)의 좌측 및 우측의 엣지 부분에서 발생되었던 험프가 개선되고, 액티브층의 엣지 영역에 강한 전계가 형성되지 않게 된다.Since the parasitic TFTs on the left and right edge portions of the active layer 110 are formed small and the threshold voltages Vth1 and Vth3 of the parasitic TFTs are large, The hump generated in the portion is improved, and a strong electric field is not formed in the edge region of the active layer.

본 발명의 제1 및 제2 실시 예에 따른 TFT를 게이트 드라이버의 스캔 회로의 버퍼 TFT들, 구체적으로 풀다운 TFT에 적용하면, 스캔 회로에서의 누설전류(또는 오프전류)의 발생이 방지되거나 또는 누설전류(또는 오프전류)가 감소시킬 수 있다. 이를 통해, 스캔 회로의 Q노드 및 QB 노드의 출력이 정상적으로 이루어지도록 함으로써, 디스플레이 장치의 화면 불량을 방지할 수 있다.By applying the TFTs according to the first and second embodiments of the present invention to the buffer TFTs of the scan circuit of the gate driver, specifically, the pull-down TFT, it is possible to prevent the occurrence of leakage current (or off current) The current (or the OFF current) can be reduced. Thus, the output of the Q node and the QB node of the scan circuit can be normally performed, thereby preventing a display failure of the display device.

도 9는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 스위칭 TFT 또는 픽셀 회로에 구성된 스위칭 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다. 도 11a는 도 9에 도시된 E1-E2선에 따른 스캔 회로에 구성된 스위칭 TFT 또는 픽셀 회로에 구성된 스위칭 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.Fig. 9 shows a planar layout of a TFT according to a third embodiment of the present invention, which is a diagram showing a planar layout of a switching TFT constituted in a switching TFT or a pixel circuit constituted in a scanning circuit of a gate driver. 11A is a cross-sectional view of a switching TFT or a switching TFT configured in a pixel circuit configured in a scan circuit according to the E1-E2 line shown in FIG.

도 9 및 도 11a를 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 TFT(200)는 스캔 회로의 스위칭 TFT(도 1의 T2(리셋 TFT에))에 적용될 수 있다. 스캔 회로의 스위칭 TFT는 입력 신호에 빠르게 동작해야 함으로 버퍼 TFT보다 작은 면적으로 형성된다. 또한, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 TFT(200)는 픽셀 회로의 스위칭 TFT에 적용될 수 있다. 픽셀 회로의 스위칭 TFT는 입력 신호에 빠르게 동작해야 함으로 드라이빙 TFT보다 작은 면적으로 형성된다.Referring to Figs. 9 and 11A, the TFT 200 according to the third embodiment of the present invention can be applied to the switching TFT (to T2 in Fig. 1 (to the reset TFT)) of the scan circuit. The switching TFT of the scan circuit must be operated at a high speed with respect to the input signal, so that it is formed with an area smaller than that of the buffer TFT. Further, the TFT 200 according to the third embodiment of the present invention can be applied to the switching TFT of the pixel circuit. The switching TFT of the pixel circuit must be operated at a high speed with respect to the input signal, so that it is formed with an area smaller than that of the driving TFT.

본 발명의 제3 실시 예에 따른 TFT(200)는 멀티 채널을 형성하기 위해서 게이트 전극(220)이 2 배선 구조로 배치되고, 복수의 채널이 형성되도록 액티브층(210)이 패터닝되어 있다.In the TFT 200 according to the third embodiment of the present invention, the active layer 210 is patterned so that the gate electrodes 220 are arranged in a two-wire structure to form a plurality of channels in order to form multi-channels.

게이트 전극(220)이 게이트 라인에서 2개의 배선으로 분기되어 일 방향으로 길게 형성되어 있다. 평면 상에서 게이트 전극(220)의 하측에 소스 전극(230)이 배치되고, 상측에 드레인 전극(240)이 배치되어 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 평면 상에서 게이트 전극(220)의 하측에 드레인 전극(240)이 배치되고, 게이트 전극(220)의 상측에 소스 전극(230)이 배치될 수도 있다.The gate electrode 220 is branched from the gate line into two wirings and is formed long in one direction. The source electrode 230 is disposed on the lower side of the gate electrode 220 on the plane and the drain electrode 240 is disposed on the upper side. However, the present invention is not limited thereto, and the drain electrode 240 may be disposed on the lower side of the gate electrode 220 in a plan view, and the source electrode 230 may be disposed on the upper side of the gate electrode 220.

게이트 전극(220)과 중첩되도록 액티브층(210)이 형성되어 있고, 액티브층(210)은 소스 전극(230) 및 드레인 전극(240)과 컨택된다. 소스 전극(130)과 드레인 전극(140) 사이에 채널 영역이 배치된다. 게이트 전극(120)과 액티브층(110)은 전체가 중첩되는 것은 아니며, 게이트 전극(120)과 액티브층(110)은 일부분이 중첩되도록 배치된다. The active layer 210 is formed so as to overlap with the gate electrode 220 and the active layer 210 is contacted with the source electrode 230 and the drain electrode 240. A channel region is disposed between the source electrode 130 and the drain electrode 140. The gate electrode 120 and the active layer 110 do not overlap each other, and the gate electrode 120 and the active layer 110 are partially overlapped.

도 11a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 TFT(200)는 탑 게이트 구조로 형성되므로, 기판 상에 액티브층(210)이 형성되고, 액티브층(210)의 상부에 게이트 절연막(250)이 형성된다. 게이트 절연막(250) 상부에 게이트 전극(220)이 형성된다.11A, since the TFT 200 according to the third embodiment of the present invention is formed in a top gate structure, the active layer 210 is formed on the substrate, and the gate 200 is formed on the active layer 210, An insulating film 250 is formed. A gate electrode 220 is formed on the gate insulating layer 250.

액티브층(210)은 채널 영역(212) 및 채널 영역(212)의 우측 엣지 부분에 배치된 더미 영역(214)을 포함한다. 도 9 및 도 11A에서는 더미 영역(214)이 채널 영역(212)의 우측 엣지 부분에 배치된 것으로 도시하고 있으나 이는 일 예를 나타낸 것이다. 본 발명의 다른 실시 예로서, 채널 영역(212)의 좌측 엣지 부분에 더미 영역(214)이 배치될 수도 있다.The active layer 210 includes a channel region 212 and a dummy region 214 disposed at the right edge portion of the channel region 212. 9 and 11A show that the dummy region 214 is disposed at the right edge portion of the channel region 212, this is an example. As another embodiment of the present invention, the dummy region 214 may be disposed at the left edge portion of the channel region 212. [

여기서, 액티브층(210)은 LTPS(Low-Temperature Poly Silicon)로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 액티브층(210)은 아몰포스 실리콘(a-Si), 폴리 실리콘(poly-Si), 산화물(Oxide) 또는 유기물(Organic)로 형성될 수도 있다.Here, the active layer 210 may be formed of LTPS (Low-Temperature Poly Silicon). However, the present invention is not limited thereto, and the active layer 210 may be formed of amorphous silicon (a-Si), polysilicon (poly-Si), oxide, or organic material.

멀티 채널을 형성하기 위해서 채널 영역(212)은 게이트 전극(220)과 중첩되고 소스 전극(230)과 드레인 전극(240) 사이에 형성된다. 게이트 전극(220)이 2배선 형태로 배치되어 있고 액티브층(210)이 게이트 전극(220)이 2배선과 중첩되도록 배치되어 있어, 채널 영역(212)에서 멀티 채널이 형성된다.A channel region 212 is formed between the source electrode 230 and the drain electrode 240 to overlap the gate electrode 220 to form a multi-channel. The gate electrode 220 is arranged in the form of two wirings and the active layer 210 is arranged in such a way that the gate electrode 220 overlaps the two wirings so that a multi-channel is formed in the channel region 212.

더미 영역(214)은 채널 영역(212)의 우측 엣지 부분에서 시작되어 게이트 전극(220)의 끝단 외곽까지 배치된다. 즉, 더미 영역(214)은 채널 영역(212)의 일측 엣지(우측 엣지) 부분에서 돌출되어, 채널 영역(212)의 일측 외곽(우측 외곽)에 더미 영역(214)의 끝단이 형성된다. 이로서, 액티브층(210)의 우측의 엣지 부분이 게이트 전극(220)과 중첩되지 않는다.The dummy region 214 starts from the right edge portion of the channel region 212 and is disposed to the outer edge of the gate electrode 220. That is, the dummy region 214 protrudes from one edge (right edge) portion of the channel region 212, and an end of the dummy region 214 is formed at one side outer side (right outer side) of the channel region 212. Thus, the edge portion on the right side of the active layer 210 is not overlapped with the gate electrode 220.

여기서, 더미 영역(214)의 끝단이 게이트 전극(220)의 외곽에 위치하게 된다. 따라서, 더미 영역(214)의 끝단은 게이트 전극(220)의 엣지에서 소정 거리만큼 간격을 두고 위치한다.Here, the end of the dummy region 214 is located at the outer edge of the gate electrode 220. Thus, the end of the dummy region 214 is spaced apart from the edge of the gate electrode 220 by a predetermined distance.

예로서, 게이트 전극(220)과 액티브층(210)이 중첩된 부분의 폭(W3)의 10~30%에 해당하는 길이(W4)만큼 더미 영역(214)이 게이트 전극(220)의 외곽으로 돌출된다. 즉, 게이트 전극(220)의 엣지로부터 게이트 전극(220)과 액티브층(210)이 중첩된 부분의 폭(W3)의 10~30%에 해당하는 길이만큼(W4)의 간격을 두고 더미 영역(214)의 끝단이 위치하게 된다.For example, the dummy region 214 may extend to the outer periphery of the gate electrode 220 by a length W4 corresponding to 10 to 30% of the width W3 of the portion where the gate electrode 220 and the active layer 210 are overlapped. Respectively. That is to say, the distance from the edge of the gate electrode 220 to the width W4 of the portion corresponding to 10 to 30% of the width W3 of the portion where the gate electrode 220 and the active layer 210 are overlapped, 214 are positioned at the ends of the first and second plates.

여기서, 채널 영역(212)에서 돌출되는 더미 영역(214)의 길이가 반드시 게이트 전극(220)과 액티브층(210)이 중첩된 부분의 폭(W3)의 10~30%로 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 출원의 발명자들은 스캔 회로를 구성하는 스위칭 TFT의 설계 및 제조 공정 마진을 고려하여, 게이트 전극(220)과 액티브층(210)이 중첩된 부분의 폭(W3)의 최대 30%에 해당하는 길이(W4)만큼 더미 영역(214)이 게이트 전극(220)의 외곽으로 돌출되도록 설정하였다.The length of the dummy region 214 protruding from the channel region 212 is not limited to 10 to 30% of the width W3 of the portion where the gate electrode 220 and the active layer 210 are overlapped. However, the inventors of the present application have considered that the width W3 of the portion where the gate electrode 220 and the active layer 210 are overlapped with each other is at most 30% in consideration of the designing and manufacturing process margin of the switching TFT constituting the scan circuit The dummy region 214 is protruded to the outer periphery of the gate electrode 220 by a length W4 of the gate electrode 220. [

액티브층(210)의 우측의 끝부분의 상부에는 게이트 절연막(250)이 형성되어 있다. 그러나, 액티브층(210)의 우측의 끝부분의 상부에는 게이트 전극(220)은 존재하지 않는다. 따라서, 종래 기술에서 액티브층의 엣지 부분과 게이트 전극이 중첩됨으로 인해 형성되던 기생 TFT가 본 발명에서는 형성되지 않는다. 만약, 기생 TFT가 형성되더라도 매우 작게 형성될 수 있다.A gate insulating layer 250 is formed on the upper portion of the right end of the active layer 210. However, the gate electrode 220 is not present above the right end of the active layer 210. Therefore, the parasitic TFT formed by overlapping the gate electrode and the edge portion of the active layer in the prior art is not formed in the present invention. Even if a parasitic TFT is formed, it can be formed very small.

도 10은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 스위칭 TFT 또는 픽셀 회로에 구성된 스위칭 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다. 도 11B는 도 10에 도시된 F11-F2선에 따른 스캔 회로에 구성된 스위칭 TFT 또는 픽셀 회로에 구성된 스위칭 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.Fig. 10 shows a planar layout of a TFT according to a fourth embodiment of the present invention, which is a diagram showing a planar layout of a switching TFT constituted in a switching TFT or a pixel circuit constituted in a scanning circuit of a gate driver. 11B is a cross-sectional view of a switching TFT configured in a scanning circuit according to the line F11-F2 shown in Fig. 10 or a switching TFT configured in a pixel circuit.

도 10 및 도 11B를 참조하면, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 TFT(300)는 멀티 채널을 형성하기 위해서 게이트 전극(320)이 2배선 구조로 배치되어 있다. 또한, 복수의 채널이 형성되도록 액티브층(310)이 패터닝되어 있다.10 and 11B, in the TFT 300 according to the fourth embodiment of the present invention, the gate electrodes 320 are arranged in a two-wire structure in order to form multi-channels. In addition, the active layer 310 is patterned to form a plurality of channels.

게이트 전극(320)이 게이트 라인에서 2개의 배선으로 분기되어 일 방향으로 길게 형성되어 있다. 평면 상에서 게이트 전극(302)의 하측에 소스 전극(330)이 배치되고, 상측에 드레인 전극(340)이 배치되어 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 평면 상에서 게이트 전극(302)의 하측에 드레인 전극(330)이 배치되고, 상측에 소스 전극(340)이 배치될 수도 있다.The gate electrode 320 is branched from the gate line to two wirings and is formed long in one direction. The source electrode 330 is disposed on the lower side of the gate electrode 302 on the plane and the drain electrode 340 is disposed on the upper side. However, the present invention is not limited to this, and the drain electrode 330 may be disposed on the lower side of the gate electrode 302 on the plane, and the source electrode 340 may be disposed on the upper side.

게이트 전극(320)과 중첩되도록 액티브층(310)이 형성되어 있고, 액티브층(310)의 채널 영역은 소스 전극(330) 및 드레인 전극(340)과 컨택된다. 멀티 채널을 형성하기 위해서 액티브층(310)과 게이트 전극(320)의 2배선과 중첩되고, 소스 전극(330)과 드레인 전극(340) 사이에 채널 영역이 배치된다. 게이트 전극(320)과 액티브층(310)은 전체가 중첩되는 것은 아니며, 게이트 전극(320)과 액티브층(310)은 일부분이 중첩되도록 배치된다.  The active layer 310 is formed so as to overlap with the gate electrode 320 and the channel region of the active layer 310 is in contact with the source electrode 330 and the drain electrode 340. A channel region is disposed between the source electrode 330 and the drain electrode 340, overlapping the two wirings of the active layer 310 and the gate electrode 320 to form a multi-channel. The gate electrode 320 and the active layer 310 do not overlap each other and the gate electrode 320 and the active layer 310 are partially overlapped.

액티브층(310)의 더미 영역(314)은 채널 영역(312)의 좌측 및 우측 엣지 부분에서 시작되어 게이트 전극(320)의 끝단 외곽까지 배치된다. 즉, 더미 영역(314)은 채널 영역(312)의 좌측 및 우측 엣지 부분에서 돌출되어, 채널 영역(312)의 좌측 및 우측 외곽에 더미 영역(314)의 끝단이 형성된다. 이로서, 액티브층(310)의 좌측 및 우측의 엣지 부분이 게이트 전극(320)과 중첩되지 않는다.The dummy region 314 of the active layer 310 starts from the left and right edge portions of the channel region 312 and is disposed to the outer edge of the gate electrode 320. That is, the dummy region 314 protrudes from the left and right edge portions of the channel region 312, and the ends of the dummy region 314 are formed on the left and right outer edges of the channel region 312. As a result, the left and right edge portions of the active layer 310 are not overlapped with the gate electrode 320.

여기서, 더미 영역(314)의 끝단이 게이트 전극(320)의 외곽에 위치하면, 더미 영역(314)의 끝단은 게이트 전극(320)의 좌측 및 우측 엣지에서 소정 거리만큼 떨어진 곳에 위치한다.When the end of the dummy region 314 is located at the outer edge of the gate electrode 320, the end of the dummy region 314 is located a predetermined distance away from the left and right edges of the gate electrode 320.

예로서, 게이트 전극(320)과 액티브층(310)이 중첩된 부분의 폭(W5)의 10~30%에 해당하는 길이(W6)만큼 더미 영역(314)이 게이트 전극(320)의 외곽으로 돌출된다. 즉, 게이트 전극(320)의 엣지로부터 게이트 전극(320)과 액티브층(310)이 중첩된 부분의 폭(W5)의 10~30%에 해당하는 길이만큼(W6)의 간격을 두고 더미 영역(314)의 끝단이 위치하게 된다.For example, the dummy region 314 may extend to the outer periphery of the gate electrode 320 by a length W6 corresponding to 10 to 30% of the width W5 of the portion where the gate electrode 320 and the active layer 310 are overlapped. Respectively. That is to say, the gate electrode 320 and the active layer 310 are overlapped with each other by a distance W6 equal to 10 to 30% of the width W5 of the portion overlapping the gate electrode 320 and the active layer 310 from the edge of the gate electrode 320, 314 are positioned.

여기서, 채널 영역(312)에서 돌출되는 더미 영역(314)의 길이가 반드시 게이트 전극(320)과 액티브층(310)이 중첩된 부분의 폭(W5)의 10~30%로 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 출원의 발명자들은 스캔 회로를 구성하는 스위칭 TFT 또는 픽셀 회로를 구성하는 스위칭 TFT의 설계 및 제조 공정 마진을 고려하여, 게이트 전극(320)과 액티브층(310)이 중첩된 부분의 폭(W5)의 최대 30%에 해당하는 길이(W6)만큼 더미 영역(314)이 게이트 전극(320)의 외곽으로 돌출되도록 설정하였다.The length of the dummy region 314 protruding from the channel region 312 is not limited to 10 to 30% of the width W5 of the portion where the gate electrode 320 and the active layer 310 are overlapped. However, the inventors of the present application have found that the width of a portion where the gate electrode 320 and the active layer 310 are overlapped with each other (for example, The dummy region 314 is set to protrude to the outer periphery of the gate electrode 320 by a length W6 corresponding to at most 30%

상술한 구성을 포함하는 본 발명의 제3 및 제4 실시 예에 따른 TFT는 액티브층(210)의 좌측 및 우측 끝단에서 기생 TFT가 생성되는 것을 방지 또는 기생 TFT의 크기를 줄일 수 있다. 여기서, 게이트 전극(320)의 외곽까지 액티브층(310)의 엣지 부분이 연장되도록 액티브층(310)의 패턴을 변경하여, 기생 TFT가 생성될 수 있는 영역을 제거하거나 또는 최소화 시켰다.The TFTs according to the third and fourth embodiments of the present invention including the above-described configuration can prevent generation of parasitic TFTs at the left and right ends of the active layer 210 or reduce the size of the parasitic TFTs. Here, the pattern of the active layer 310 is changed so that the edge portion of the active layer 310 extends to the outer edge of the gate electrode 320, thereby eliminating or minimizing the area where the parasitic TFT can be generated.

액티브층(310)의 좌측 및 우측의 엣지 부분(더미 영역(314))으로부터 대각선 방향에 게이트 전극(320)의 엣지 부분이 위치할 수 있다. 그러나, 게이트 절연막(350)을 사이에 두고 액티브층(310)의 좌측 및 우측의 엣지 부분(더미 영역(314))과 게이트 전극(320) 간의 거리가 멀게 배치된다. 따라서, 기생 TFT가 생성되더라고 매우 작게 형성되어 기생 TFT에 의한 험프 발생을 방지 또는 감소시킬 있다.The edge portion of the gate electrode 320 may be positioned in the diagonal direction from the left and right edge portions (dummy region 314) of the active layer 310. However, the distance between the left and right edge portions (the dummy region 314) of the active layer 310 and the gate electrode 320 is set to be large with the gate insulating film 350 therebetween. Therefore, even if a parasitic TFT is generated, it is formed so as to be very small to prevent or reduce the occurrence of a hump by the parasitic TFT.

액티브층(310)의 좌측 및 우측의 엣지 부분이 게이트 전극(320)과 중첩되지 않기 때문에, 기생 TFT의 문턱전압(Vth1, Vth3)이 액티브층(310)의 채널 영역(312)의 문턱전압(Vth2)보다 큰 값을 가지게 된다.The threshold voltages Vth1 and Vth3 of the parasitic TFT do not overlap with the threshold voltage of the channel region 312 of the active layer 310 because the left and right edge portions of the active layer 310 do not overlap with the gate electrode 320 Vth2).

이와 같이, 액티브층(310)의 좌측 및 우측의 엣지 부분의 기생 TFT가 작게 형성되고, 기생 TFT의 문턱전압(Vth1, Vth3)이 큰 값을 가지므로 액티브층(310)의 좌측 및 우측의 엣지 부분에서 발생되었던 험프의 발생이 방지 또는 개선되고, 액티브층의 엣지 영역에 강한 전계가 형성되지 않게 된다.Since the parasitic TFTs on the left and right edge portions of the active layer 310 are formed small and the threshold voltages Vth1 and Vth3 of the parasitic TFTs have large values, The occurrence of the hump that has occurred in the portion of the active layer is prevented or improved, and a strong electric field is not formed in the edge region of the active layer.

본 발명의 제3 및 제4 실시 예에 따른 TFT를 게이트 드라이버의 스캔 회로의 스위칭 TFT에 적용하면, 상기 스위칭 TFT의 누설전류(또는 오프전류)가 감소되어 스캔 회로의 Q노드 및 QB 노드의 출력이 정상적으로 이루어지게 된다. 이를 통해, 디스플레이 장치에서 화면 이상 불량을 방지할 수 있다.When the TFTs according to the third and fourth embodiments of the present invention are applied to the switching TFT of the scan circuit of the gate driver, the leakage current (or off current) of the switching TFT is reduced and the output of the Q- Is normally performed. As a result, it is possible to prevent a display abnormality in the display device.

또한, 본 발명의 제3 및 제4 실시 예에 따른 TFT를 도 5에 도시된 픽셀 회로의 스위칭 TFT에 적용하면, 상기 픽셀 회로의 스위칭 TFT의 누설전류(또는 오프전류)가 감소되어 픽셀 회로가 비정상으로 구동되는 것을 방지할 수 있다. 이를 통해, OLED가 오프 기간에 드라이빙 TFT(DT)에 데이터 전압이 공급되어 화면 이상 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Further, when the TFT according to the third and fourth embodiments of the present invention is applied to the switching TFT of the pixel circuit shown in Fig. 5, the leakage current (or off current) of the switching TFT of the pixel circuit is reduced, It is possible to prevent the motor from being driven abnormally. Thus, it is possible to prevent the data voltage from being supplied to the driving TFT DT during the OFF period of the OLED, thereby causing the display abnormal defect to occur.

도 12는 본 발명의 제1 내지 제4 실시 예에 따른 TFT의 액티브층의 패턴 변경을 통한 TFT의 출력 특성의 향상 및 험프가 개선된 효과를 나타내는 도면이다. 도 12에 도시된 TFT의 출력 특성은 Vds=0.1V 및 Vds=10V의 조건에서 측정한 결과 값이다. 여기서, 여기서, Vth[V], mobility[cm2/Vs]는 Vds=0.1V 조건에서 측정한 결과 값이고, Vfb[V], S-factor[V/dec], Ion[uA], Ioff[pA]는 Vds=10V 조건에서 측정한 결과 값이다.12 is a view showing an improvement of the output characteristics of the TFT and an effect of improving the hump by changing the pattern of the active layer of the TFT according to the first to fourth embodiments of the present invention. The output characteristics of the TFT shown in Fig. 12 are measured values under the conditions of Vds = 0.1 V and Vds = 10 V. Here, Vth [V] and mobility [cm 2 / Vs] are measured values under the condition of Vds = 0.1 V, and Vfb [V], S-factor [V / dec], Ion [uA] pA] is the result of measurement under the condition of Vds = 10V.

도 12를 참조하면, 본 발명의 제1 및 제2 실시 예에 따른 TFT를 스캔 회로의 풀다운 TFT(도 1의 T1)에 적용하고, 본 발명의 제3 및 제 4 실시 예에 따른 TFT를 스캔 회로의 스위칭 TFT(도 1의 T2) 및 픽셀 회로의 스위칭 TFT(도 5의 ST1, ST2)에 적용할 수 있다. 이러한 경우, TFT의 문턱전압(Vth) 및 플랫밴드 전압(Vfb)을 높일 수 있다. 또한, 온-전류(Ion)를 향상시킬 수 있다. 또한, TFT의 액티브층의 엣지 부분에서의 강전계 발생으로 인한 험프를 개선하여 누설전류를 감소시킬 수 있어, 디스플레이 장치의 화면 불량을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.12, the TFT according to the first and second embodiments of the present invention is applied to a pull-down TFT (T1 in FIG. 1) of a scan circuit, and the TFT according to the third and fourth embodiments of the present invention is scanned (T2 in Fig. 1) of the circuit and the switching TFT (ST1, ST2 in Fig. 5) of the pixel circuit. In this case, the threshold voltage (Vth) and the flat band voltage (Vfb) of the TFT can be increased. In addition, the on-current Ion can be improved. Further, it is possible to improve the hump due to the generation of strong electric field at the edge portion of the active layer of the TFT, thereby reducing the leakage current, thereby preventing display defects of the display device, thereby improving display quality.

도 13은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 픽셀 회로에 구성된 드라이빙 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다. 또한, 도 14는 도 13에 도시된 G1-G2선에 따른 드라이빙 TFT의 단면을 나타내는 도면이다.Fig. 13 shows a planar layout of a TFT according to a fifth embodiment of the present invention, and is a diagram showing a planar layout of a driving TFT configured in a pixel circuit. 14 is a cross-sectional view of the driving TFT along the line G1-G2 shown in Fig.

도 13 및 도 14를 참조하면, 본 발명의 제5 실시 예에 따른 TFT(400)는 픽셀 회로의 드라이빙 TFT(도 5의 DT)에 적용될 수 있다.Referring to Figs. 13 and 14, the TFT 400 according to the fifth embodiment of the present invention can be applied to a driving TFT (DT in Fig. 5) of a pixel circuit.

TFT(400)의 게이트 전극(420)은 게이트 라인에서 분기되어 형성되어 있다. 평면 상에서 게이트 전극(420)의 하측에 소스 전극(430)이 형성되고, 상측에 드레인 전극(440)이 형성되어 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 평면 상에서 게이트 전극(420)의 하측에 드레인 전극(440)이 형성되고, 상측에 소스 전극(430)이 형성될 수도 있다. 게이트 전극(420)과 중첩되도록 액티브층(410)이 형성되어 있다.The gate electrode 420 of the TFT 400 is formed by branching from the gate line. A source electrode 430 is formed on the lower side of the gate electrode 420 on the plane, and a drain electrode 440 is formed on the upper side. However, the present invention is not limited to this, and the drain electrode 440 may be formed on the lower side of the gate electrode 420 on the plane, and the source electrode 430 may be formed on the upper side. An active layer 410 is formed so as to overlap with the gate electrode 420.

본 발명의 제5 실시 예에 따른 TFT(400)는 탑 게이트 구조를 가진다. 기판 상에 액티브층(410)이 배치되고, 액티브층(410)의 상부에 게이트 절연막(450)이 배치된다. 그리고, 게이트 절연막(450) 상부에 게이트 전극(420)이 배치된다.The TFT 400 according to the fifth embodiment of the present invention has a top gate structure. An active layer 410 is disposed on the substrate, and a gate insulating layer 450 is disposed on the active layer 410. A gate electrode 420 is disposed on the gate insulating film 450.

액티브층(410)은 채널 영역(412) 및 채널 영역(412)의 엣지 부분에 배치된 더미 영역(414)을 포함한다. 여기서, 액티브층(410)은 LTPS(Low-Temperature Poly Silicon)로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 액티브층(410)은 아몰포스 실리콘(a-Si), 폴리 실리콘(poly-Si), 산화물(Oxide) 또는 유기물(Organic)로 형성될 수도 있다.The active layer 410 includes a channel region 412 and a dummy region 414 disposed at an edge portion of the channel region 412. Here, the active layer 410 may be formed of LTPS (Low-Temperature Poly Silicon). However, the present invention is not limited thereto, and the active layer 410 may be formed of amorphous silicon (a-Si), polysilicon (poly-Si), oxide, or organic material.

액티브층(410) 중에서 게이트 전극(420)과 중첩된 부분이 채널 영역(412)이 된다. 즉, 채널 영역(412)은 게이트 전극(420)과 중첩되어 있다. 채널 영역(412)은 소스 전극(430)과 드레인 전극(440) 사이에 배치된다.A portion of the active layer 410 overlapping with the gate electrode 420 becomes a channel region 412. That is, the channel region 412 overlaps the gate electrode 420. A channel region 412 is disposed between the source electrode 430 and the drain electrode 440.

액티브(410)의 더미 영역(414)은 채널 영역(412)의 우측 엣지 부분에서 시작되어 게이트 전극(420)의 외곽까지 배치된다. 즉, 더미 영역(414)은 채널 영역(412)의 일측 엣지(우측 엣지) 부분에서 돌출되어, 채널 영역(412)의 일측 외곽(우측 외곽)에 더미 영역(414)의 끝단이 배치된다. 이로서, 액티브층(410)의 우측의 엣지 부분이 게이트 전극(420)과 중첩되지 않는다.The dummy region 414 of the active region 410 starts from the right edge portion of the channel region 412 and is disposed to the outer edge of the gate electrode 420. That is, the dummy region 414 protrudes from one edge (right edge) portion of the channel region 412, and the end of the dummy region 414 is disposed on one side outer side (right outer side) of the channel region 412. Thus, the edge portion on the right side of the active layer 410 is not overlapped with the gate electrode 420.

그러나, 이에 한정되지 않고, 더미 영역(414)은 채널 영역(412)의 좌측 엣지 부분에서 돌출되어, 채널 영역(412)의 좌측 외곽에 더미 영역(414)의 끝단이 배치될 수 있다. 이러한 경우, 액티브층(410)의 좌측의 엣지 부분이 게이트 전극(420)과 중첩되지 않게 된다.The dummy region 414 may protrude from the left edge portion of the channel region 412 and the end of the dummy region 414 may be disposed on the left outside of the channel region 412. [ In this case, the left edge portion of the active layer 410 is not overlapped with the gate electrode 420.

여기서, 더미 영역(414)의 끝단이 게이트 전극(420)의 좌측 또는 우측 엣지 부분의 외곽에 위치함으로, 더미 영역(414)의 끝단은 게이트 전극(420)의 좌측 또는 우측 엣지 부분에서 소정 거리만큼 떨어진 곳에 위치한다.Since the end of the dummy region 414 is located outside the left or right edge portion of the gate electrode 420, the end of the dummy region 414 is spaced a predetermined distance from the left or right edge portion of the gate electrode 420 Away.

예로서, 게이트 전극(420)과 액티브층(410)이 중첩된 부분의 폭(W7)의 50~100%에 해당하는 길이(W8)만큼 더미 영역(414)이 게이트 전극(420)의 끝단을 넘어 외곽으로 돌출된다. 즉, 게이트 전극(320)의 끝단에서 게이트 전극(420)과 액티브층(410)이 중첩된 부분의 폭(W7)의 50~100%에 해당하는 길이만큼(W8)의 간격을 두고 더미 영역(414)의 끝단이 배치된다.For example, the dummy region 414 may have a length W8 corresponding to 50 to 100% of the width W7 of the overlapping portion of the gate electrode 420 and the active layer 410, And protrudes beyond the outer surface. That is, at the end of the gate electrode 320, a distance of W8 corresponding to 50 to 100% of the width W7 of the overlapping portion of the gate electrode 420 and the active layer 410, 414 are disposed.

여기서, 채널 영역(412)에서 돌출되는 더미 영역(414)의 길이가 반드시 게이트 전극(420)과 액티브층(410)이 중첩된 부분의 폭(W7)의 50~100%로 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 출원의 발명자들은 픽셀 회로를 구성하는 드라이빙 TFT의 설계 및 제조 공정 마진을 고려하여, 게이트 전극(420)과 액티브층(410)이 중첩된 부분의 폭(W7)의 최대 100%에 해당하는 길이(W8)만큼 더미 영역(414)이 게이트 전극(420)의 외곽으로 돌출되도록 설정하였다.The length of the dummy region 414 protruding from the channel region 412 is not limited to 50 to 100% of the width W7 of the portion where the gate electrode 420 and the active layer 410 are overlapped. However, the inventors of the present application have found that, considering the designing and manufacturing process margin of the driving TFT constituting the pixel circuit, the width W7 of the portion where the gate electrode 420 and the active layer 410 overlap The dummy region 414 is set to protrude to the outer periphery of the gate electrode 420 by the length W8 of the gate electrode 420. [

액티브층(410)의 우측 끝부분의 상부에는 게이트 절연막(450)이 형성되어 있다. 그러나, 액티브층(410)의 우측 끝부분의 상부에는 게이트 전극(420)은 존재하지 않는다. 따라서, 액티브층(410)의 엣지 부분과 게이트 전극(420)이 중첩되지 않기 때문에, 종래 기술에서 액티브층의 엣지 부분과 게이트 전극의 중첩으로 인한 기생 TFT가 형성되지 않게 된다. 만약, 기생 TFT가 형성되더라도 매우 작게 형성된다.A gate insulating layer 450 is formed on the upper portion of the right end of the active layer 410. However, the gate electrode 420 does not exist above the right end portion of the active layer 410. Therefore, since the edge portion of the active layer 410 and the gate electrode 420 are not overlapped, the parasitic TFT due to overlapping of the edge portion of the active layer and the gate electrode is not formed in the prior art. Even if a parasitic TFT is formed, it is formed very small.

상술한 구성을 포함하는 본 발명의 제5 실시 예에 따른 TFT는 액티브층(410)의 일측 끝단에서 기생 TFT가 생성되는 것을 방지 또는 최소화 시킬 수 있다. 즉, 게이트 전극(420)의 일측 외곽까지 액티브층(410)의 엣지 부분이 연장되도록 액티브층(410)의 패턴을 변경하여, 기생 TFT가 생성될 수 있는 영역을 제거하거나 또는 최소화 시켰다.The TFT according to the fifth embodiment of the present invention including the above-described structure can prevent or minimize generation of parasitic TFTs at one end of the active layer 410. [ That is, the pattern of the active layer 410 is changed so that the edge portion of the active layer 410 extends to one side of the gate electrode 420, thereby eliminating or minimizing the region where the parasitic TFT can be generated.

액티브층(410)의 일측의 엣지 부분으로부터 대각선 방향에 게이트 전극(420)의 엣지 부분이 위치할 수 있다. 그러나, 게이트 절연막(450)을 사이에 두고 액티브층(410)과 게이트 전극(420) 사이의 간격이 멀어 기생 TFT가 작게 형성된다.An edge portion of the gate electrode 420 may be positioned in a diagonal direction from an edge portion of one side of the active layer 410. However, since the interval between the active layer 410 and the gate electrode 420 is long with the gate insulating film 450 therebetween, the parasitic TFT is formed small.

액티브층(410)의 일측의 엣지 부분이 게이트 전극(420)과 중첩되지 않기 때문에, 기생 TFT의 문턱전압(Vth1)이 액티브층(410)의 채널 영역(412)의 문턱전압(Vth2)보다 큰 값을 가지게 된다.The threshold voltage Vth1 of the parasitic TFT is larger than the threshold voltage Vth2 of the channel region 412 of the active layer 410 because the edge portion of one side of the active layer 410 does not overlap with the gate electrode 420 .

이와 같이, 액티브층(410)의 일측 엣지 부분의 기생 TFT가 작게 형성되고, 기생 TFT의 문턱전압(Vth1)이 큰 값을 가지므로 액티브층(410)의 좌측 및 우측의 엣지 부분에서 발생되었던 험프가 개선된다. 또한, 액티브층(410)의 엣지 영역에 강한 전계가 형성되지 않게 된다.Since the parasitic TFT at one edge portion of the active layer 410 is small and the threshold voltage Vth1 of the parasitic TFT has a large value as described above, Is improved. In addition, a strong electric field is not formed in the edge region of the active layer 410.

본 발명의 제5 실시 예에 따른 TFT를 픽셀 회로의 드라이빙 TFT(도 5의 DT)에 적용하면, 픽셀 회로의 드라이빙 TFT에서 기생 TFT가 형성되어 발생하던 험프를 방지 또는 개선하여 드라이빙 TFT의 출력 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 드라이빙 TFT의 누설전류(또는 오프전류)가 감소되어 OLED가 오프(off)되는 기간에 약 발광으로 인한 화면 이상 불량을 방지하고, 디스플레이 장치의 표시 품질을 향상시킬 수 있다.By applying the TFT according to the fifth embodiment of the present invention to the driving TFT (DT in Fig. 5) of the pixel circuit, it is possible to prevent or improve the hump caused by the formation of the parasitic TFT in the driving TFT of the pixel circuit, Can be improved. In addition, the leakage current (or off current) of the driving TFT is reduced, thereby preventing defective display due to light emission during the period in which the OLED is off, and improving the display quality of the display device.

도 15 스캔 회로의 풀다운 TFT 또는 스캔 회로의 스위칭 TFT(리셋 TFT) 또는 픽셀 회로의 스위칭 TFT가 싱글 게이트(탑 게이트) 구조로 형성된 것과, 액티브층에 형성된 채널을 나타내는 도면이다. 도 15에서 디스플레이 장치의 기판은 도시하지 않았다.15 is a view showing a channel formed in the active layer and a switching TFT (reset TFT) of a scan circuit or a switching TFT of a pixel circuit in a pull-down TFT or a scan circuit of FIG. 15 in a single gate (top gate) structure. The substrate of the display device is not shown in Fig.

도 15를 참조하면, 본 발명의 제1 내지 제5 실시 예에 따른 TFT를 하나의 게이트 전극이 액티브층 위에 배치된 탑 게이트 구조로 형성할 수 있다. 구체적으로, 절연막(insulator) 상에 액티브층(110)이 배치되고, 액티브층(110)의 상부에 게이트 절연막(150)이 배치된다. 그리고, 게이트 절연막(150) 상부에 게이트 전극(120)이 배치된다. 이때, 액티브층(110)의 상부에 게이트 전극(120)이 중첩되도록 배치되어 있어, 액티브층(110)의 상면에 채널(170)이 형성된다.Referring to FIG. 15, the TFTs according to the first to fifth embodiments of the present invention can be formed into a top gate structure in which one gate electrode is disposed on the active layer. Specifically, an active layer 110 is disposed on an insulator, and a gate insulating layer 150 is disposed on the active layer 110. A gate electrode 120 is disposed on the gate insulating layer 150. At this time, the gate electrode 120 is arranged to overlap the active layer 110, and the channel 170 is formed on the upper surface of the active layer 110.

본 발명의 제1 내지 제4 실시 예에서 설명한 스캔 회로의 풀다운 TFT, 스캔 회로의 스위칭 TFT 및 픽셀 회로의 스위칭 TFT를 하나의 게이트 전극이 액티브층 위에 배치된 탑 게이트 구조로 형성할 수 있다. 이러한 경우, 도 12에 도시된 바와 같이, 스캔 회로의 풀다운 TFT, 스캔 회로의 스위칭 TFT 및 픽셀 회로의 스위칭 TFT의 문턱전압(Vth) 및 플랫밴드 전압(Vfb)을 높일 수 있다. 또한, 온-전류(Ion)를 향상시킬 수 있다. 또한, TFT의 액티브층의 엣지 부분에서의 강전계 발생으로 인한 험프를 개선하여 누설전류를 감소시킬 수 있어, 디스플레이 장치의 화면 불량을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.The pull-down TFT of the scan circuit, the switching TFT of the scan circuit, and the switching TFT of the pixel circuit described in the first to fourth embodiments of the present invention can be formed by a top gate structure in which one gate electrode is disposed on the active layer. In this case, as shown in Fig. 12, the threshold voltage (Vth) and the flat band voltage (Vfb) of the pull-down TFT of the scan circuit, the switching TFT of the scan circuit, and the switching TFT of the pixel circuit can be increased. In addition, the on-current Ion can be improved. Further, it is possible to improve the hump due to the generation of strong electric field at the edge portion of the active layer of the TFT, thereby reducing the leakage current, thereby preventing display defects of the display device, thereby improving display quality.

이어서, 본 발명의 제5 실시 예에서 설명한 픽셀 회로의 드라이빙 TFT를 하나의 게이트 전극이 액티브층 위에 배치된 탑 게이트 구조로 형성할 수 있다.Then, the driving TFT of the pixel circuit described in the fifth embodiment of the present invention can be formed into a top gate structure in which one gate electrode is disposed on the active layer.

도 16은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 드라이빙 TFT의 액티브층의 패턴 변경을 통한 드라이빙 TFT의 출력 특성의 향상 및 험프가 개선된 효과를 나타내는 도면이다. 도 16에 도시된 TFT의 출력 특성은 Vds=0.1V 및 Vds=10V의 조건에서 측정한 결과 값이다. 여기서, 여기서, Vth[V], mobility[cm2/Vs]는 Vds=0.1V 조건에서 측정한 결과 값이고, Vfb[V], S-factor[V/dec], Ion[uA], Ioff[pA]는 Vds=10V 조건에서 측정한 결과 값이다.16 is a diagram showing an improvement in the output characteristics of the driving TFT and an effect in which the hump is improved by changing the pattern of the active layer of the driving TFT according to the fifth embodiment of the present invention. The output characteristics of the TFT shown in Fig. 16 are measured values under the conditions of Vds = 0.1 V and Vds = 10 V. Here, Vth [V] and mobility [cm 2 / Vs] are measured values under the condition of Vds = 0.1 V, and Vfb [V], S-factor [V / dec], Ion [uA] pA] is the result of measurement under the condition of Vds = 10V.

도 16을 참조하면, 본 발명의 제5 실시 예에 따른 TFT를 픽셀 회로의 드라이빙 TFT(도 5의 DT)에 적용하면, TFT의 문턱전압(Vth) 및 플랫밴드 전압(Vfb)을 높이고, 온-전류(Ion)를 향상시킬 수 있다. 이를 통해, TFT의 액티브층(410)의 엣지 부분에서의 강전계 발생으로 인한 험프를 개선하여 누설전류를 감소시킬 수 있고, 디스플레이 장치의 화면 불량을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.Referring to Fig. 16, when the TFT according to the fifth embodiment of the present invention is applied to a driving TFT (DT in Fig. 5) of a pixel circuit, the threshold voltage Vth and the flat band voltage Vfb of the TFT are increased, - It is possible to improve the current (Ion). Thus, it is possible to improve the hump due to the generation of the strong electric field at the edge portion of the active layer 410 of the TFT, thereby reducing the leakage current and preventing display defects of the display device, thereby improving the display quality.

도 17은 본 발명의 제6 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 게이트 드라이버의 스캔 회로에 구성된 버퍼 TFT들 중에서 풀다운 TFT의 평면 레이아웃을 나타내는 도면이다.FIG. 17 shows a planar layout of a TFT according to a sixth embodiment of the present invention, and is a diagram showing a plane layout of a pull-down TFT among buffer TFTs configured in a scan circuit of a gate driver.

도 18a는 도 17에 도시된 풀다운 TFT의 평면 레이아웃 중에서 게이트 전극을 나타내는 도면이고, 도 18b는 도 17에 도시된 풀다운 TFT의 평면 레이아웃 중에서 액티브 층을 나타내는 도면이고, 도 18c는 도 17에 도시된 풀다운 TFT의 평면 레이아웃 중에서 소스 전극 및 드레인 전극을 나타내는 도면이다. 도 19a는 도 17에 도시된 I1-I2 선에 따른 단면을 나타내는 도면이고, 도 19b는 도 17에 도시된 I3-I4 선에 따른 단면을 나타내는 도면이다.FIG. 18A is a view showing a gate electrode in the plan layout of the pull-down TFT shown in FIG. 17, FIG. 18B is a view showing an active layer in the plan layout of the pull-down TFT shown in FIG. 17, And the source electrode and the drain electrode in the plane layout of the pull-down TFT. Fig. 19A is a cross-sectional view taken along line I1-I2 shown in Fig. 17, and Fig. 19B is a cross-sectional view taken along line I3-I4 shown in Fig.

도 17 내지 도 19b를 참조하면, 본 발명의 제6 실시 예에 따른 TFT(500)는 스캔 회로의 버퍼 TFT들(풀업 TFT 및 풀다운 TFT)에 적용될 수 있다. 이하, 설명에서는 본 발명의 제6 실시 예에 따른 TFT(100)가 스캔 회로의 버퍼 TFT들 중에서 풀다운 TFT(도 1의 T1)에 적용된 것을 일 예로 설명하기로 한다.17 to 19B, the TFT 500 according to the sixth embodiment of the present invention can be applied to buffer TFTs (pull-up TFT and pull-down TFT) of a scan circuit. In the following description, it is assumed that the TFT 100 according to the sixth embodiment of the present invention is applied to a pull-down TFT (T1 in FIG. 1) among the buffer TFTs of the scan circuit.

스캔 회로의 풀다운 TFT는 고전압 및 장시간 구동에 의한 열화를 견딜 수 있도록 일반적인 스위칭 TFT들에 비해 큰 면적으로 형성된다. 본 발명의 제6 실시 예에 따른 TFT(500)는 멀티 채널을 형성하기 위해서 게이트 전극(520)이 2배선(520a, 520b) 구조로 형성되어 있다.The pull-down TFT of the scan circuit is formed in a large area compared with general switching TFTs to withstand the deterioration due to high voltage and long driving. In the TFT 500 according to the sixth embodiment of the present invention, the gate electrode 520 is formed in the structure of two wirings 520a and 520b to form multi-channel.

게이트 전극(520)의 제1 배선(520a)과 제2 배선(520b)은 전기적으로 연결되어 있으며, 게이트 전극(520)의 제1 배선(520a) 및 제2 배선(520b)과 중첩되도록 액티브층(510)이 배치되어 멀티 채널이 형성된다. The first wiring 520a and the second wiring 520b of the gate electrode 520 are electrically connected to each other and are electrically connected to the first wiring 520a and the second wiring 520b of the gate electrode 520, (510) are disposed to form multi-channels.

본 발명의 제6 실시 예에 따른 TFT(500)는 탑 게이트 구조로 형성된다. 절연막 상에 액티브층(510)이 형성되고, 액티브층(510)의 상부에 게이트 절연막(550)이 형성된다. 그리고, 게이트 절연막(550) 상부에 게이트 전극(520)이 형성된다.The TFT 500 according to the sixth embodiment of the present invention is formed in a top gate structure. An active layer 510 is formed on the insulating layer and a gate insulating layer 550 is formed on the active layer 510. A gate electrode 520 is formed on the gate insulating film 550.

게이트 전극(520)은 게이트 라인에서 2개의 배선(520a, 520b)으로 분기되어 일 방향으로 길게 형성되어 있다. 평면 상에서 게이트 전극(520)의 하측에 소스 전극(530)이 배치되고, 게이트 전극(520)의 상측에 드레인 전극(540)이 배치되어 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 평면 상에서 게이트 전극(520)의 하측에 드레인 전극(540)이 배치되고, 게이트 전극(520)의 상측에 소스 전극(530)이 배치될 수도 있다.The gate electrode 520 is branched into two wirings 520a and 520b in the gate line and is formed long in one direction. A source electrode 530 is disposed on the lower side of the gate electrode 520 on the plane and a drain electrode 540 is disposed on the upper side of the gate electrode 520. However, the present invention is not limited to this, and the drain electrode 540 may be disposed on the lower side of the gate electrode 520 on the planar surface, and the source electrode 530 may be disposed on the upper side of the gate electrode 520.

게이트 전극(520)과 중첩되도록 액티브층(510)이 형성되어 있고, 액티브층(510)의 채널 영역(512)은 소스 전극(530) 및 드레인 전극(540)과 컨택된다. 게이트 전극(520)과 액티브층(510)은 전체가 중첩되는 것은 아니며, 게이트 전극(520)과 액티브층(510)은 일부분이 중첩되도록 배치된다.The active layer 510 is formed so as to overlap with the gate electrode 520 and the channel region 512 of the active layer 510 is in contact with the source electrode 530 and the drain electrode 540. The gate electrode 520 and the active layer 510 do not overlap each other and the gate electrode 520 and the active layer 510 are partially overlapped.

여기서, 액티브층(510)의 양쪽 끝단에 소스 전극(530) 및 드레인 전극(540)이 배치된다. 컨택홀에 형성되는 컨택 메탈을 통해서 소스 전극(530)이 데이터 라인과 접속되고, 드레인 전극(540)이 OLED의 애노드 전극(또는 신호 라인)과 접속된다.Here, the source electrode 530 and the drain electrode 540 are disposed at both ends of the active layer 510. The source electrode 530 is connected to the data line through the contact metal formed in the contact hole and the drain electrode 540 is connected to the anode electrode (or signal line) of the OLED.

액티브층(510)은 복수의 채널 영역(512), 채널 영역(512)의 좌측 및 우측 엣지 부분에 형성된 더미 영역(514) 및 복수의 채널 영역(512) 사이에 배치된 복수의 링크 영역(516)을 포함한다.The active layer 510 includes a plurality of channel regions 512, a dummy region 514 formed in the left and right edge portions of the channel region 512, and a plurality of link regions 516 ).

여기서, 액티브층(510)은 LTPS(Low-Temperature Poly Silicon)로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 액티브층(110)은 아몰포스 실리콘(a-Si), 폴리 실리콘(poly-Si), 산화물(Oxide) 또는 유기물(Organic)로 형성될 수도 있다.Here, the active layer 510 may be formed of LTPS (Low-Temperature Poly Silicon). However, the present invention is not limited thereto, and the active layer 110 may be formed of amorphous silicon (a-Si), polysilicon (poly-Si), oxide, or organic material.

복수의 채널 영역(512)은 멀티 채널을 형성하기 위해서 게이트 전극(520)과 중첩되고, 소스 전극(530)과 드레인 전극(540) 사이에 채널 영역(512)이 배치된다.A plurality of channel regions 512 are overlapped with the gate electrode 520 to form a multichannel and a channel region 512 is disposed between the source electrode 530 and the drain electrode 540.

복수의 링크 영역(516)은 복수의 채널 영역(512)들의 사이마다 배치되어 복수의 채널 영역(512)을 연결한다. 즉, 복수의 링크 영역(516)에 의해서 복수의 채널 영역(512)이 하나의 패턴으로 연결된다.A plurality of link regions 516 are disposed between the plurality of channel regions 512 to connect the plurality of channel regions 512. That is, the plurality of channel regions 512 are connected by a plurality of link regions 516 in one pattern.

액티브층(510)을 형성할 때 전도성 투명물질(예로서, ITO) 층을 패터닝하여 복수의 채널 영역(512)과 복수의 링크 영역(516)을 형성하다. 따라서, 복수의 채널 영역(512)과 복수의 링크 영역(516)은 동일 물질로 형성된다.  When forming the active layer 510, a plurality of channel regions 512 and a plurality of link regions 516 are formed by patterning a conductive transparent material (e.g., ITO) layer. Therefore, the plurality of channel regions 512 and the plurality of link regions 516 are formed of the same material.

예로서, 게이트 전극(520)의 2배선(520a, 520b) 각각의 세로 방향의 폭보다 복수의 링크 영역(516) 각각의 세로 폭이 크게 형성되어 있다. 다른 예로서, 게이트 전극(520)의 폭보다 복수의 링크 영역(516) 각각의 폭이 작에 형성되어 있으나, 게이트 전극(520)의 제1 배선(520a)의 세로 폭과 제2 배선(520b)의 세로 폭을 합한 것보다 복수의 링크 영역(516) 각각의 세로 폭이 더 크다.As an example, the vertical width of each of the plurality of link regions 516 is formed larger than the width of each of the two wirings 520a and 520b of the gate electrode 520 in the vertical direction. As another example, the width of each of the plurality of link regions 516 is formed smaller than the width of the gate electrode 520, but the vertical width of the first wiring 520a of the gate electrode 520 and the vertical width of the second wiring 520b Of the plurality of link regions 516 is larger than the sum of the vertical widths of the link regions 516.

도 6 및 도 7에 도시된 제1 실시 예 및 제2 실시 예에서는 게이트 전극의 2배선 사이의 빈 공간과 대응되는 부분에 링크 영역이 형성되어 있지 않았다. 반면, 도 17에 도시된 제6 실시 예에서는 게이트 전극(520)의 2배선(520a, 520b) 사이의 빈 공간과 대응되는 부분에도 링크 영역(516)이 형성되어 있다.  In the first and second embodiments shown in Figs. 6 and 7, the link region is not formed at the portion corresponding to the empty space between the two wirings of the gate electrode. On the other hand, in the sixth embodiment shown in FIG. 17, a link region 516 is also formed in a portion corresponding to the empty space between the two wirings 520a and 520b of the gate electrode 520. [

디스플레이 장치가 QHD(Quad High Definition)의 해상도 또는 그 이상의 해상도(예를 들어, 4K 해상도 또는 8K 해상도)를 가지는 경우, 픽셀 회로의 TFT 및 스캔 회로의 버퍼 TFT의 채널 길이(channel length)가 감소하게 된다. 예로서, 게이트 전극(520)의 2배선(520a, 520b) 각각의 세로 폭이 3um 이하인 경우에는 도 17에 도시된 바와 같이, 게이트 전극(520)의 2배선(520a, 520b) 사이의 빈 공간과 대응되는 부분에도 링크 영역(516)을 형성한다. 이를 통해서, 고해상도(QHD, 4K, 8K) 디스플레이 장치에도 TFT의 험프를 개선하는 채널 영역(512), 더미 영역(514) 및 링크 영역(516)을 적용할 수 있다.When the display device has a resolution of QHD (Quad High Definition) or higher (for example, 4K resolution or 8K resolution), the channel length of the TFT of the pixel circuit and the buffer TFT of the scan circuit decreases do. For example, when the vertical width of each of the two wirings 520a and 520b of the gate electrode 520 is 3um or less, an empty space between the two wirings 520a and 520b of the gate electrode 520, as shown in Fig. 17, The link region 516 is formed. In this way, a channel region 512, a dummy region 514, and a link region 516 for improving the hump of the TFT can also be applied to a high-resolution (QHD, 4K, 8K) display device.

특히, 게이트 전극(520)의 2배선(520a, 520b) 각각의 세로 폭이 1um 이하 경우에는 도 17에 도시된 것처럼 게이트 전극(520)의 2배선(520a, 520b) 사이의 빈 공간과 대응되는 부분에도 링크 영역(516)을 형성하여 복수의 채널 영역(512)을 연결할 수 있다. 이를 통해서, 고해상도 디스플레이 장치에도 TFT의 험프를 개선하는 채널 영역(512), 더미 영역(514) 및 링크 영역(516)을 적용할 수 있다.Particularly, when the vertical width of each of the two wirings 520a and 520b of the gate electrode 520 is 1um or less, the width of the two wirings 520a and 520b of the gate electrode 520 corresponding to the vacant space between the two wirings 520a and 520b of the gate electrode 520 A plurality of channel regions 512 may be formed by forming a link region 516 in a portion. As a result, a channel region 512, a dummy region 514, and a link region 516 for improving the hump of the TFT can also be applied to the high-resolution display device.

더미 영역(514)은 채널 영역(512)의 좌측 및 우측 엣지 부분에 배치되어 있다. 즉, 더미 영역(514)은 채널 영역(512)의 좌측 및 우측 엣지 부분에서 돌출되어 있다. 예로서, 채널 영역(512) 하나의 가로 폭의 10~30%에 해당하는 길이만큼 더미 영역(514)이 돌출된다. 여기서, 채널 영역(512)에서 돌출되는 더미 영역(514)의 길이가 반드시 채널 영역(512) 하나의 가로 폭의 10~30%로 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 출원의 발명자들은 스캔 회로를 구성하는 풀다운 TFT의 설계 및 제조 공정 마진을 고려하여, 채널 영역(512) 하나의 가로 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 더미 영역(514)이 돌출되도록 설정하였다.The dummy region 514 is disposed at the left and right edge portions of the channel region 512. That is, the dummy region 514 protrudes from the left and right edge portions of the channel region 512. For example, the dummy area 514 is protruded by a length corresponding to 10 to 30% of the width of one channel region 512. Here, the length of the dummy region 514 protruding from the channel region 512 is not necessarily limited to 10 to 30% of the width of one channel region 512. However, the inventors of the present application have considered that the dummy region 514 is protruded by a length corresponding to at most 30% of the width of one channel region 512 in consideration of the design and manufacturing process margin of the pull-down TFT constituting the scan circuit Respectively.

다른 예로서, 게이트 전극(520)의 폭의 10~30%에 해당하는 길이만큼 더미 영역(514)이 돌출될 수도 있다. 여기서, 채널 영역(512)에서 돌출되는 더미 영역(514)의 길이가 반드시 게이트 전극(520)의 폭의 10~30%로 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 출원의 발명자들은 스캔 회로를 구성하는 풀다운 TFT의 설계 및 제조 공정 마진을 고려하여, 게이트 전극(520)의 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 더미 영역(514)이 돌출되도록 설정하였다.As another example, the dummy region 514 may protrude by a length corresponding to 10 to 30% of the width of the gate electrode 520. The length of the dummy region 514 protruding from the channel region 512 is not limited to 10 to 30% of the width of the gate electrode 520. However, the inventors of the present application set the dummy region 514 to protrude by a length corresponding to at most 30% of the width of the gate electrode 520 in consideration of the design and manufacturing process margin of the pull-down TFT constituting the scan circuit .

또 다른 예로서, 게이트 전극(520)과 액티브층(510)이 중첩된 부분의 폭의 10~30%에 해당하는 길이만큼 더미 영역(514)이 돌출될 수도 있다. 여기서, 채널 영역(512)에서 돌출되는 더미 영역(514)의 길이가 반드시 게이트 전극(520)과 액티브층(510)이 중첩된 부분의 폭의 10~30%로 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 출원의 발명자들은 스캔 회로를 구성하는 풀다운 TFT의 설계 및 제조 공정 마진을 고려하여, 게이트 전극(520)과 액티브층(510)이 중첩된 부분의 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 더미 영역(514)이 돌출되도록 설정하였다.As another example, the dummy region 514 may protrude by a length corresponding to 10 to 30% of the width of the overlapping portion of the gate electrode 520 and the active layer 510. The length of the dummy region 514 protruding from the channel region 512 is not limited to 10 to 30% of the width of the portion where the gate electrode 520 and the active layer 510 are overlapped. However, the inventors of the present application have found that, considering the design and manufacturing process margin of the pull-down TFT constituting the scan circuit, the gate electrode 520 and the active layer 510 have a length corresponding to at most 30% So that the dummy area 514 is projected.

또 다른 예로서, 스캔 회로를 구성하는 풀다운 TFT 및 스위칭 TFT 이외에, 픽셀 회로의 드라이빙 TFT의 경우에는 게이트 전극(520)과 액티브층(510)이 중첩된 부분의 폭의 50~100%에 해당하는 길이만큼 더미 영역(514)이 돌출될 수도 있다. 여기서, 채널 영역(512)에서 돌출되는 더미 영역(514)의 길이가 반드시 게이트 전극(520)과 액티브층(510)이 중첩된 부분의 폭의 50~100%로 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 출원의 발명자들은 픽셀 회로를 구성하는 드라이빙 TFT의 설계 및 제조 공정 마진을 고려하여, 게이트 전극(520)과 액티브층(510)이 중첩된 부분의 폭의 최대 100%에 해당하는 길이만큼 더미 영역(514)이 돌출되도록 설정하였다.As another example, in addition to the pull-down TFT and the switching TFT constituting the scan circuit, in the case of the driving TFT of the pixel circuit, 50 to 100% of the width of the overlapping portion of the gate electrode 520 and the active layer 510 The dummy area 514 may be protruded by a length. The length of the dummy region 514 protruding from the channel region 512 is not limited to 50 to 100% of the width of the overlapping portion of the gate electrode 520 and the active layer 510. However, the inventors of the present application have found that, considering the designing and manufacturing process margins of the driving TFTs constituting the pixel circuit, the inventors of the present application have found that the length of the portion overlapping the gate electrode 520 and the active layer 510 is 100% So that the dummy area 514 is projected.

상술한 구성을 포함하는 본 발명의 제6 실시 예에 따른 TFT(500)는 액티브층(510)의 좌측 및 우측 끝단에서 기생 TFT가 생성되는 것을 방지 또는 최소화 시킬 수 있다. 기생 TFT가 형성되더라도 더미 영역(514)에 위치하게 됨으로, 스캔 회로의 버퍼 TFT에서 기생 TFT가 형성되어 발생하던 험프를 방지 또는 개선하여 스캔 회로의 버퍼 TFT의 출력 특성을 향상시킬 수 있다. 스캔 회로의 버퍼 TFT의 출력 특성이 향상되면 디스플레이 장치 화면 불량을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.The TFT 500 according to the sixth embodiment of the present invention including the above-described structure can prevent or minimize generation of parasitic TFTs at the left and right ends of the active layer 510. [ Even if a parasitic TFT is formed, the parasitic TFT is formed in the buffer TFT of the scan circuit so as to prevent or improve the hump, so that the output characteristics of the buffer TFT of the scan circuit can be improved. If the output characteristics of the buffer TFT of the scan circuit are improved, display quality can be improved by preventing display device screen failure.

본 발명의 제6 실시 예에 따른 TFT(500)를 게이트 드라이버의 스캔 회로의 버퍼 TFT들, 구체적으로 풀다운 TFT에 적용하면, 스캔 회로에서의 누설전류(또는 오프전류)의 발생이 방지되거나 또는 누설전류(또는 오프전류)가 감소시킬 수 있다. 이를 통해, 스캔 회로의 Q노드 및 QB 노드의 출력이 정상적으로 이루어지도록 함으로써, 디스플레이 장치의 화면 불량을 방지할 수 있다.The application of the TFT 500 according to the sixth embodiment of the present invention to the buffer TFTs of the scan circuit of the gate driver, specifically, the pull-down TFT prevents generation of leakage current (or off current) in the scan circuit, The current (or the OFF current) can be reduced. Thus, the output of the Q node and the QB node of the scan circuit can be normally performed, thereby preventing a display failure of the display device.

도 20은 본 발명의 제7 실시 예에 따른 TFT의 평면 레이아웃을 도시한 것으로, 스캔 회로의 풀다운 TFT가 더블 게이트 구조로 형성된 것과, 액티브층에 형성된 복수의 채널을 나타내는 평면이다. 도 21a는 도 20에 도시된 J1-J2 선에 따른 스캔 회로의 풀다운 TFT 의 단면도이다. 도 21b는 도 20에 도시된 J3-J4 선에 따른 스캔 회로의 풀다운 TFT 의 단면도이다.20 shows a planar layout of a TFT according to a seventh embodiment of the present invention, in which a pull-down TFT of a scan circuit is formed in a double gate structure and a plane showing a plurality of channels formed in the active layer. 21A is a cross-sectional view of a pull-down TFT of a scan circuit according to J1-J2 line shown in FIG. 21B is a cross-sectional view of a pull-down TFT of a scan circuit according to J3-J4 line shown in FIG.

도 20 내지 도 21b를 참조하면, 액티브층(570)의 하부 및 상부에 게이트 전극(560, 580)이 배치된 더블 게이트 구조로 풀다운 TFT(500)를 형성할 수 있다. 여기서, 스캔 회로의 풀다운 TFT(500)는 고전압 및 장시간 구동에 의한 열화를 견딜 수 있도록 일반적인 스위칭 TFT들에 비해 큰 면적으로 형성된다.Referring to FIGS. 20 to 21B, a pull-down TFT 500 may be formed with a double gate structure in which gate electrodes 560 and 580 are disposed under and over the active layer 570. Here, the pull-down TFT 500 of the scan circuit is formed to have a larger area than general switching TFTs so as to withstand the deterioration due to high voltage and long driving.

구체적으로, 절연막(insulator) 상에 액티브층(570)이 배치되고, 액티브층(570)의 상부에 게이트 절연막(550)이 배치된다. 게이트 절연막(550) 상부에 상부 게이트 전극(560, 제1 게이트 전극)이 배치된다. 그리고, 절연막의 하부에 하부 게이트 전극(580, 제2 게이트 전극)이 배치된다. 도면에 도시되지 않았지만, 상부 게이트 전극(560)과 하부 게이트 전극(580)은 컨택을 통해서 서로 전기적으로 연결되어 있다.Specifically, an active layer 570 is disposed on an insulator, and a gate insulating film 550 is disposed on the active layer 570. An upper gate electrode 560 (first gate electrode) is disposed on the gate insulating film 550. A lower gate electrode 580 (second gate electrode) is disposed under the insulating film. Although not shown in the drawing, the upper gate electrode 560 and the lower gate electrode 580 are electrically connected to each other through a contact.

상부 게이트 전극(560)이 2배선(560a, 560b) 구조로 형성되어 있다. 상부 게이트 전극(560)의 제1 배선(560a)과 제2 배선(560b)은 전기적으로 연결되어 있으며, 상부 게이트 전극(560)의 제1 배선(560a) 및 제2 배선(560b)과 중첩되도록 액티브층(570)이 배치되어 멀티 채널이 형성된다.And the upper gate electrode 560 is formed in a structure of two wirings 560a and 560b. The first wiring 560a and the second wiring 560b of the upper gate electrode 560 are electrically connected to each other so as to overlap the first wiring 560a and the second wiring 560b of the upper gate electrode 560. [ An active layer 570 is disposed to form multi-channels.

또한, 하부 게이트 전극(580)이 2배선(580a, 580b) 구조로 형성되어 있다. 하부 게이트 전극(580)의 제1 배선(580a)과 제2 배선(580b)은 전기적으로 연결되어 있으며, 하부 게이트 전극(580)의 제1 배선(580a) 및 제2 배선(580b)과 중첩되도록 액티브층(570)이 배치되어 멀티 채널이 형성된다.Further, the lower gate electrode 580 is formed in a structure of two wirings 580a and 580b. The first and second wirings 580a and 580b of the lower gate electrode 580 are electrically connected to each other and overlap the first and second wirings 580a and 580b of the lower gate electrode 580. [ An active layer 570 is disposed to form multi-channels.

상부 게이트 전극(560)과 하부 게이트 전극(580)은 동일한 형상으로 형성되어 액티브층(570)을 사이에 두고 배치될 수 있다. 이러한 경우, 상부 게이트 전극(560)의 엣지에서부터 더미 영역(574)의 끝단까지의 간격과 하부 게이트 전극(580)의 엣지에서부터 더미 영역(574)의 끝단까지의 간격이 동일할 수 있다.The upper gate electrode 560 and the lower gate electrode 580 may be formed in the same shape and disposed with the active layer 570 therebetween. In this case, the distance from the edge of the upper gate electrode 560 to the end of the dummy region 574 and the distance from the edge of the lower gate electrode 580 to the end of the dummy region 574 may be the same.

그러나, 이에 한정되지 않고, 상부 게이트 전극(560)과 하부 게이트 전극(580)은 서로 다른 형상으로 형성될 수 있다. 이러한 경우, 더미 영역(574)의 끝단과 상부 게이트 전극(560)의 끝단은 제1 간격을 두고 이격되고, 더미 영역(574)의 끝단과 하부 게이트 전극(580)의 끝단은 제2 간격을 두고 이격될 수 있다. 즉, 상부 게이트 전극(560)의 끝단에서 더미 영역(574)의 끝단까지의 간격과 하부 게이트 전극(580)의 끝단에서 더미 영역(574)의 끝단까지의 간격이 서로 다를 수 있다.However, the present invention is not limited thereto, and the upper gate electrode 560 and the lower gate electrode 580 may be formed in different shapes. In this case, the end of the dummy region 574 and the end of the upper gate electrode 560 are spaced apart from each other by a first distance, and the end of the dummy region 574 and the end of the lower gate electrode 580 are spaced apart from each other by a second distance Can be spaced apart. That is, the distance from the end of the upper gate electrode 560 to the end of the dummy region 574 may be different from the distance from the end of the lower gate electrode 580 to the end of the dummy region 574.

액티브층(570)은 복수의 채널 영역(572), 상기 복수의 채널 영역(572) 사이에 배치된 복수의 링크 영역(576)을 포함한다.The active layer 570 includes a plurality of channel regions 572 and a plurality of link regions 576 disposed between the plurality of channel regions 572.

여기서, 액티브층(570)은 LTPS(Low-Temperature Poly Silicon)로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 액티브층(570)은 아몰포스 실리콘(a-Si), 폴리 실리콘(poly-Si), 산화물(Oxide) 또는 유기물(Organic)로 형성될 수도 있다. 상부 게이트 전극(560)과 하부 게이트 전극(580) 사이에 복수의 채널 영역(572)이 배치된다.Here, the active layer 570 may be formed of LTPS (Low-Temperature Poly Silicon). However, the present invention is not limited thereto, and the active layer 570 may be formed of amorphous silicon (a-Si), polysilicon (poly-Si), oxide, or organic material. A plurality of channel regions 572 are disposed between the upper gate electrode 560 and the lower gate electrode 580.

복수의 링크 영역(576)은 복수의 채널 영역(572)들의 사이마다 배치되어 복수의 채널 영역(572)을 연결한다. 즉, 복수의 링크 영역(576)에 의해서 복수의 채널 영역(572)이 하나의 패턴으로 연결된다. 액티브층(570)을 형성할 때 전도성 투명물질(예로서, ITO) 층을 패터닝하여 복수의 채널 영역(572), 복수의 더미 영역(574) 및 복수의 링크 영역(176)을 형성하다. 따라서, 복수의 채널 영역(572), 복수의 더미 영역(574) 및 복수의 링크 영역(576)은 동일 물질로 형성된다.A plurality of link regions 576 are disposed between the plurality of channel regions 572 to connect the plurality of channel regions 572. That is, the plurality of channel regions 572 are connected by a plurality of link regions 576 in one pattern. A plurality of channel regions 572, a plurality of dummy regions 574 and a plurality of link regions 176 are formed by patterning a layer of a conductive transparent material (e.g., ITO) when forming the active layer 570. Therefore, the plurality of channel regions 572, the plurality of dummy regions 574, and the plurality of link regions 576 are formed of the same material.

액티브층(570)의 상부에 상부 게이트 전극(560)이 중첩되도록 배치되어 있어, 액티브층(570)의 상면에 제1 채널(570a)이 형성된다. 그리고, 액티브층(570)의 하부에 하부 게이트 전극(580)이 중첩되도록 배치되어 있어, 액티브층(570)의 하면에 제2 채널(570b)이 형성된다. 즉, 스캔 회로의 풀다운 TFT를 더블 게이트 구조로 형성하면, 액티브층(570)의 하면 및 상면 각각에 채널이 형성됨으로 액티브층(570)이 복수의 채널(570a, 570b)을 가질 수 있다.A top gate electrode 560 is disposed on top of the active layer 570 so that a first channel 570a is formed on the top surface of the active layer 570. A lower gate electrode 580 is disposed on the lower portion of the active layer 570 so that the second channel 570b is formed on the lower surface of the active layer 570. That is, if the pull-down TFT of the scan circuit is formed in the double gate structure, the active layer 570 can have a plurality of channels 570a and 570b since channels are formed on the lower and upper surfaces of the active layer 570, respectively.

그러나, 이에 한정되지 않고, 스캔 회로의 스위칭 TFT(리셋 TFT), 픽셀 회로의 스위칭 TFT 및 픽셀 회로의 드라이빙 TFT에도 더블 게이트 구조를 적용할 수 있다. 이를 통해, 스캔 회로의 스위칭 TFT(리셋 TFT), 픽셀 회로의 스위칭 TFT 및 픽셀 회로의 드라이빙 TFT에서도 액티브층의 하면 및 상면에 각각 채널을 형성할 수 있다.However, the present invention is not limited to this, and a double gate structure can be applied to a switching TFT (reset TFT) of a scan circuit, a switching TFT of a pixel circuit, and a driving TFT of a pixel circuit. This makes it possible to form channels on the lower and upper surfaces of the active layer in the switching TFT (reset TFT) of the scan circuit, the switching TFT of the pixel circuit, and the driving TFT of the pixel circuit.

싱글 게이트 구조의 TFT와 대비할 때 더블 게이트 구조의 TFT는 채널의 개수가 2배, 즉, 채널의 폭이 2배가 됨으로 TFT의 출력 특성을 향상시킬 수 있다.In comparison with a TFT having a single gate structure, the number of channels of the double-gate TFT is doubled, that is, the channel width is doubled, so that the output characteristics of the TFT can be improved.

도 22은 본 발명의 제7 실시 예에 따른 풀다운 TFT의 액티브층의 패턴 변경을 통한 풀다운 TFT의 출력 특성의 향상 및 험프가 개선된 효과를 나타내는 도면이다. 도 22에 도시된 TFT의 출력 특성은 Vds=0.1V 및 Vds=10V의 조건에서 측정한 결과 값이다. 여기서, Vth[V], mobility[cm2/Vs]는 Vds=0.1V 조건에서 측정한 결과 값이고, Vfb[V], S-factor[V/dec], Ion[uA], Ioff[pA]는 Vds=10V 조건에서 측정한 결과 값이다.22 is a diagram showing an improvement in the output characteristics of the pull-down TFT and an improvement in the hump by changing the pattern of the active layer of the pull-down TFT according to the seventh embodiment of the present invention. The output characteristics of the TFT shown in Fig. 22 are measured values under the conditions of Vds = 0.1 V and Vds = 10 V. [ Here, Vth [V] and mobility [cm 2 / Vs] are measured values under the condition of Vds = 0.1 V, and Vfb [V], S-factor [V / dec], Ion [uA], Ioff [pA] Is a result of measurement under the condition of Vds = 10V.

도 22를 참조하면, 스캔 회로의 풀다운 TFT의 험프의 발생을 방지 또는 개선할 수 있다. 구체적으로, TFT의 문턱전압(Vth) 및 플랫밴드 전압(Vfb)을 높일 수 있다. 또한, 온-전류(Ion)를 향상시킬 수 있다.Referring to FIG. 22, it is possible to prevent or improve the occurrence of a hump in the pull-down TFT of the scan circuit. Specifically, the threshold voltage (Vth) and the flat band voltage (Vfb) of the TFT can be increased. In addition, the on-current Ion can be improved.

도 22에서 TFT의 출력 특성 커브가 도시되어 있다. 출력 특성 커브는 크게 저전류 출력 특성을 나타내는 ①영역과 고전류 출력 특성을 나타내는 ②영역으로 구성되어 있다. TFT에 험프가 발생하면 ①영역에서 출력 특성 커브(a)가 저전압 쪽으로 쉬프트(왼쪽으로 쉬프트)하게 된다. 그리고, ②영역에서 출력 특성 커브(b)가 고전압 쪽으로 쉬프트(오른쪽으로 쉬프트)하게 된다.The output characteristic curve of the TFT is shown in Fig. The output characteristic curve is largely composed of the area (1) indicating low current output characteristics and the area (2) indicating high current output characteristics. When the hump occurs in the TFT, the output characteristic curve (a) shifts to the low voltage side (shifts to the left) in the region (1). In the region (2), the output characteristic curve (b) shifts to the high voltage side (shifts to the right).

스캔 회로의 풀다운 TFT, 스캔 회로의 스위칭 TFT(리셋 TFT), 픽셀 회로의 스위칭 TFT 및 픽셀 회로의 드라이빙 TFT에서 액티브층의 패턴을 변경함으로써, TFT에서 험프가 발생되지 않도록 하였다.By changing the pattern of the active layer in the pull-down TFT of the scan circuit, the switching TFT (reset TFT) of the scan circuit, the switching TFT of the pixel circuit, and the driving TFT of the pixel circuit, the hump was not generated in the TFT.

①영역에서 저전압 쪽으로 쉬프트(왼쪽으로 쉬프트)되었던 출력 특성 커브(a)가 정상 전압의 위치로 쉬프트(오른쪽으로 쉬프트)된 것을 확인할 수 있다. 또한, ②영역에서 고전압 쪽으로 쉬프트(오른쪽으로 쉬프트)되었던 출력 특성 커브(b)가 정상 전압의 위치로 쉬프트(왼쪽으로 쉬프트)된 것을 확인할 수 있다. 이를 통해, 스캔 회로의 풀다운 TFT의 출력이 정상적으로 이루어지도록 함으로써, 디스플레이 장치의 표시 품질을 향상시킬 수 있다.It can be seen that the output characteristic curve (a) which has been shifted (shifted to the left) from the region to the low voltage side is shifted to the position of the normal voltage (shifted to the right). In addition, it can be seen that the output characteristic curve (b) which has been shifted (shifted to the right) toward the high voltage in the region (2) is shifted (shifted to the left) to the position of the normal voltage. By doing so, the output of the pull-down TFT of the scan circuit is made normally so that the display quality of the display device can be improved.

앞에서 설명한 본 발명의 실시 예들에 따른 디스플레이 장치의 박막트랜지스터의 상기 더미 영역은 상기 채널 영역의 일측 또는 양측 엣지 부분에서 돌출되어 상기 게이트 전극의 외곽에 배치되어 있다.The dummy region of the thin film transistor of the display device according to the embodiments of the present invention protrudes from one side or both edge portions of the channel region and is disposed at the outer periphery of the gate electrode.

또한, 상기 더미 영역의 끝단과 상기 게이트 전극이 중첩되지 않는다.Further, the end of the dummy region and the gate electrode do not overlap.

또한, 상기 더미 영역은 상기 채널 영역의 일측 또는 양측 엣지 부분에서 돌출된다.Further, the dummy region protrudes from one or both edge portions of the channel region.

또한, 상기 게이트 전극 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 상기 더미 영역이 돌출된다.Also, the dummy region protrudes by a length corresponding to at most 30% of the width of the gate electrode.

또한, 상기 게이트 전극과 상기 액티브층이 중첩된 부분의 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 상기 더미 영역이 돌출된다.Also, the dummy region is protruded by a length corresponding to at most 30% of the width of a portion where the gate electrode and the active layer overlap each other.

또한, 상기 게이트 전극과 상기 액티브층이 중첩된 부분의 폭의 최대 100%에 해당하는 길이만큼 상기 더미 영역이 돌출된다.In addition, the dummy region is protruded by a length corresponding to at most 100% of the width of a portion where the gate electrode and the active layer overlap each other.

또한, 채널 영역 하나의 가로 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 상기 더미 영역이 돌출된다.In addition, the dummy region protrudes by a length corresponding to at most 30% of the width of one channel region.

또한, 상기 더미 영역의 제1 문턱전압이 상기 채널 영역의 제2 문턱전압보다 높게 형성된다.Also, a first threshold voltage of the dummy region is formed to be higher than a second threshold voltage of the channel region.

또한, 상기 복수의 배선 각각의 세로 폭보다 상기 상기 복수의 링크 영역 각각의 세로 폭이 크다.Further, the vertical width of each of the plurality of link regions is larger than the vertical width of each of the plurality of wiring lines.

또한, 상기 복수의 배선의 세로 폭을 합한 것보다 상기 상기 복수의 링크 영역 각각의 세로 폭이 크다.Further, the vertical width of each of the plurality of link regions is larger than the sum of the vertical widths of the plurality of wirings.

본 발명이 속하는 기술분야의 당 업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

100, 200, 300, 400, 500: 박막트랜지스터(TFT)
110, 210, 310, 410, 510: 액티브층
112, 212, 312, 412, 512: 채널 영역
114, 214, 314, 414, 514: 더미 영역
116, 516: 링크 영역
120, 220, 320, 420, 520: 게이트 전극
520a: 게이트 전극의 제1 배선
520b: 게이트 전극의 제2 배선
130, 230, 330, 430, 530: 소스 전극
140, 240, 340, 440, 540: 드레인 전극
150, 250, 350, 450, 550: 게이트 절연막
560: 상부 게이트 전극
560a: 상부 게이트 전극의 제1 배선
560b: 상부 게이트 전극의 제2 배선
570: 액티브층
570a: 제1 채널
570b: 제2 채널
580: 하부 게이트 전극
580a: 하부 게이트 전극의 제1 배선
580b: 하부 게이트 전극의 제2 배선
Vth1, Vth3: 액티브층의 엣지 영역의 문턱전압
Vth2: 액티브층의 채널 영역의 문턱전압
100, 200, 300, 400, 500: Thin film transistor (TFT)
110, 210, 310, 410, 510: active layer
112, 212, 312, 412, 512: channel region
114, 214, 314, 414, 514:
116, 516: Link area
120, 220, 320, 420, 520: gate electrode
520a: first wiring of the gate electrode
520b: second wiring of the gate electrode
130, 230, 330, 430, 530: source electrode
140, 240, 340, 440, 540: drain electrode
150, 250, 350, 450, 550: gate insulating film
560: upper gate electrode
560a: first wiring of the upper gate electrode
560b: second wiring of the upper gate electrode
570: active layer
570a: first channel
570b: the second channel
580: lower gate electrode
580a: first wiring of the bottom gate electrode
580b: second wiring of the bottom gate electrode
Vth1, Vth3: threshold voltage of the edge region of the active layer
Vth2: Threshold voltage of the channel region of the active layer

Claims (9)

기판 상에 배치된 액티브층;
복수의 배선으로 분기되어 상기 액티브층과 중첩되도록 배치된 게이트 전극;
상기 액티브층과 상기 게이트 전극 사이에 배치된 게이트 절연막; 및
상기 액티브층의 양단에 배치된 소스 전극과 드레인 전극을 포함하여 구성되고,
상기 액티브층은 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이에 배치된 하나 또는 복수의 채널 영역; 상기 채널 영역의 엣지 부분에서 길이가 신장된 더미 영역; 및 상기 복수의 채널 영역의 사이에 형성되어 상기 복수의 채널 영역을 하나의 패턴으로 연결하는 복수의 링크 영역;을 포함하고,
상기 복수의 배선 사이의 공간과 대응되는 부분에 중첩되도록 상기 복수의 링크 영역이 배치된 디스플레이 장치의 박막트랜지스터.
An active layer disposed on the substrate;
A gate electrode branched to a plurality of wirings and arranged to overlap the active layer;
A gate insulating film disposed between the active layer and the gate electrode; And
And a source electrode and a drain electrode disposed at both ends of the active layer,
The active layer includes one or more channel regions disposed between the source electrode and the drain electrode; A dummy region having a length elongated at an edge portion of the channel region; And a plurality of link regions formed between the plurality of channel regions and connecting the plurality of channel regions in one pattern,
Wherein the plurality of link regions are disposed so as to overlap a portion corresponding to a space between the plurality of wirings.
제1 항에 있어서,
상기 더미 영역은 상기 채널 영역의 일측 또는 양측 엣지 부분에서 돌출된 디스플레이 장치의 박막트랜지스터.
The method according to claim 1,
Wherein the dummy region protrudes from one or both edge portions of the channel region.
제2 항에 있어서,
상기 게이트 전극 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 상기 더미 영역이 돌출된 디스플레이 장치의 박막트랜지스터.
3. The method of claim 2,
Wherein the dummy region protrudes by a length corresponding to at most 30% of the width of the gate electrode.
제2 항에 있어서,
상기 게이트 전극과 상기 액티브층이 중첩된 부분의 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 상기 더미 영역이 돌출된 디스플레이 장치의 박막트랜지스터.
3. The method of claim 2,
Wherein the dummy region protrudes by a length corresponding to at most 30% of a width of a portion where the gate electrode and the active layer overlap each other.
제2 항에 있어서,
상기 게이트 전극과 상기 액티브층이 중첩된 부분의 폭의 최대 100%에 해당하는 길이만큼 상기 더미 영역이 돌출된 디스플레이 장치의 박막트랜지스터.
3. The method of claim 2,
Wherein the dummy region is protruded by a length corresponding to at most 100% of a width of a portion where the gate electrode and the active layer overlap each other.
제2 항에 있어서,
채널 영역 하나의 가로 폭의 최대 30%에 해당하는 길이만큼 상기 더미 영역이 돌출된 디스플레이 장치의 박막트랜지스터.
3. The method of claim 2,
Wherein the dummy region protrudes by a length corresponding to at most 30% of a width of one channel region.
제1 항에 있어서,
상기 더미 영역의 제1 문턱전압이 상기 채널 영역의 제2 문턱전압보다 높게 형성된 디스플레이 장치의 박막트랜지스터.
The method according to claim 1,
Wherein a first threshold voltage of the dummy region is higher than a second threshold voltage of the channel region.
제1 항에 있어서,
상기 복수의 배선 각각의 세로 폭보다 상기 복수의 링크 영역 각각의 세로 폭이 큰 디스플레이 장치의 박막트랜지스터.
The method according to claim 1,
Wherein the vertical width of each of the plurality of link regions is larger than the vertical width of each of the plurality of wiring lines.
제1 항에 있어서,
상기 복수의 배선의 세로 폭을 합한 것보다 상기 복수의 링크 영역 각각의 세로 폭이 큰 디스플레이 장치의 박막트랜지스터.
The method according to claim 1,
Wherein a vertical width of each of the plurality of link regions is larger than a sum of vertical widths of the plurality of wirings.
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