KR20160001202A - 분리막 세정시스템 및 이를 이용한 분리막 세정방법 - Google Patents

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KR20160001202A
KR20160001202A KR1020140079206A KR20140079206A KR20160001202A KR 20160001202 A KR20160001202 A KR 20160001202A KR 1020140079206 A KR1020140079206 A KR 1020140079206A KR 20140079206 A KR20140079206 A KR 20140079206A KR 20160001202 A KR20160001202 A KR 20160001202A
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롯데케미칼 주식회사
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Abstract

본 발명의 분리막 세정시스템은 분리막 모듈이 설치된 막여과조; 상기 막여과조와 연결된 이젝터; 상기 이젝터와 연결된 에어컴프레서; 및 상기 막여과조로부터 생산된 처리수를 저장하여 역세 또는 약품 세정시 처리수를 배출하는 처리수조를 포함하고, 상기 이젝터의 가동에 의하여 분리막 세정이 이루어질 수 있다. 본 발명의 분리막 세정시스템 및 이를 이용한 분리막 세정방법은 이젝터 및 에어컴프레서를 이용하여 종래 역세 펌프를 이용한 분리막 세정방법 대비 동등 수준의 세정 막과를 가지며 전력소모량을 현저히 줄일 수 있고, 약품세정액을 이젝터로 순환시켜 약품의 막세공 접촉을 증대시키고, 약품 세정효율성을 높일 수 있으며, 약품 사용량을 최소화시킬 수 있다.

Description

분리막 세정시스템 및 이를 이용한 분리막 세정방법{CLEANING SYSTEM OF SEPARATION MEMBRANE AND METHOD USING THE SAME}
본 발명은 분리막 세정시스템 및 이를 이용한 분리막 세정방법에 관한 것이다.
수처리용 막여과 공정 운영시 수중 오염물에 의해 발생하는 막오염(membrane fouling)은 여과 효율을 떨어뜨려 생산량을 줄이거나 동일한 생산을 위해 더 많은 에너지를 소모하도록 한다. 그리하여, 역세척, 폭기 등 물리적 세정방법과 화학약품에 의한 화학적 세정방법을 활용하여 막오염을 지연, 완화, 제거한다. 화학 약품에 의한 세정(청정)은 고온의 화학용액을 사용하여 행해지기도 한다. 여과 모듈이 여과될 유출액(원수)에 직접 침지되는 침지형이 아니라 하우징에 맞추어지고 여과루프(filteration loop)를 장착하고 있는 가압형 막모듈을 가진 설비에서, 막의 약품 세정은 설비에서 막을 꺼내지 않고 수행될 수 있다. 이러한 유형의 약품 세정은, 소위 인-플레이스 청정(in-place cleaning)이라고 부르며, 재순환루프안에서 약품용액을 순환하도록 간단히 구성될 수 있다. 그러나, 침지형 막을 가진 유형의 여과 설비는 하우징 또는 재순환루프 어느 것과도 결합될 수 없다.
침지형 막을 갖는 이러한 여과설비를 약품 세정하는 방법 중 하나로는 소위 엑스-시투(ex-situ) 약품 세정을 들 수 있다. 상기 엑스-시투(ex-situ) 약품 세정은 약품 세정 탱크 내에서 여과모듈을 차례로 꺼내고, 특별히 준비된 설비에서 약품 세정하는 방식으로 간단히 구성될 수 있으나 자동화가 어렵다는 단점이 있다. 다른 예로서 처리조 탱크에 존재하는 유출액을 약품 용액으로 대체하고, 막의 구멍을 통해 청정용액을 통과시켜 침치형 막을 갖는 여과설비를 약품 세정하는 기술이 존재하나, 이 방법은 사실상 많은 양의 약품이 요구된다는 점에서 경제성이 낮다는 문제가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이젝터 및 에어컴프레서를 이용하여 종래 역세 펌프를 이용한 분리막 세정방법 대비 동등 수준의 세정 효과를 확보할 수 있는 동시에 전력소모량을 현저히 줄일 수 있는 분리막 세정시스템 및 이를 이용한 분리막 세정방법을 제공하기 위함이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 약품세정액을 이젝터를 가동하여 순환시킴으로서 약품의 막세공 접촉을 증가하여 세정효율성을 개선할 수 있는 분리막 세정시스템 및 이를 이용한 분리막 세정방법을 제공하기 위함이다.
본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.
본 발명의 하나의 관점은 분리막 세정시스템에 관한 것으로, 상기 분리막 세정시스템은 분리막 모듈이 설치된 막여과조; 상기 막여과조와 연결된 이젝터; 상기 이젝터와 연결된 에어컴프레서; 및 상기 막여과조로부터 생산된 처리수를 저장하여 역세 또는 약품 세정시 처리수를 배출하는 처리수조를 포함하고, 상기 이젝터의 가동에 의하여 분리막 세정이 이루어질 수 있다.
상기 분리막 세정시스템은 상기 막여과조와 상기 이젝터를 연결하는 제1 배관; 상기 이젝터와 상기 에어컴프레서를 연결하는 제2 배관; 및 상기 이젝터로부터 연장되고 약품세정액을 상기 막여과조로 인라인 투입하는 제3 배관을 포함할 수 있다.
상기 이젝터 및 상기 에어컴프레서의 가동에 의하여 제1 배관 내에 음압이 형성될 수 있다.
상기 제1 배관상에 에어벤트(air vent)가 더 형성될 수 있다.
상기 제1 배관과 상기 제2 배관을 연통시키는 브릿지 배관이 더 형성될 수 있다.
상기 제1 배관과 상기 제3 배관을 연통시키는 브릿지 배관이 더 형성될 수 있다.
상기 배관상 하나 이상의 개폐 밸브가 구비되어 제어수단에 의해 개폐가 제어될 수 있다.
상기 분리막 세정은 피처리수가 여과되는 방향과 동일한 정세 또는 이와 반대 방향인 역세일 수 있다.
본 발명의 다른 관점은 이젝터 및 에어컴프레서를 이용하여 분리막을 세정하는 것을 특징으로 하는 분리막 세정방법에 관한 것이다.
상기 분리막 세정방법은 분리막 모듈이 구비된 막여과조 내 약품세정액을 준비하는 단계; 이젝터 및 에어컴프레서를 가동하여 상기 약품세정액을 분리막 내부로 유입시키는 정세 단계; 및 상기 분리막 내부로 유입된 약품세정액을 막여과조로 인라인 투입하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 분리막 내부로 유입된 약품세정액을 다시 상기 분리막 외부로 배출시키는 역세 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 정세 단계와 상기 역세 단계 사이에는 이젝터 및 에어컴프레서 가동을 중지하여 약품세정액이 분리막 내에 소킹(soaking)되는 휴지 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 분리막 세정시스템 및 이를 이용한 분리막 세정방법은 이젝터 및 에어컴프레서를 이용하여 종래 역세 펌프를 이용한 분리막 세정방법 대비 동등 수준의 세정 효과를 가지며 전력소모량을 현저히 줄일 수 있고, 약품세정액을 이젝터로 순환시켜 약품의 막세공 접촉을 증대시키고, 약품 세정효율성을 높일 수 있으며, 약품 사용량을 최소화시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 구체예에 따른 분리막 세정시스템을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 구체예에 따른 분리막 세정시스템 및 세정방법을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 3은 본 발명의 다른 구체예에 따른 분리막 세정시스템 및 세정방법을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 구체예에 따른 분리막 세정시스템 및 세정방법을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 구체예에 따른 분리막 세정시스템 및 세정방법을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 출원의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 본 출원에 개시된 기술은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 출원의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면에서 각 장치의 구성요소를 명확하게 표현하기 위하여 상기 구성요소의 폭이나 두께 등의 크기를 다소 확대하여 나타내었다. 또한, 설명의 편의를 위하여 구성요소의 일부만을 도시하기도 하였으나, 당업자라면 구성요소의 나머지 부분에 대하여도 용이하게 파악할 수 있을 것이다. 전체적으로 도면 설명시 관찰자 시점에서 설명하였고, 일 요소가 다른 요소 위 또는 아래에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 이는 상기 일 요소가 다른 요소 위 또는 아래에 바로 위치하거나 또는 그들 요소들 사이에 추가적인 요소가 개재될 수 있다는 의미를 모두 포함한다. 또한, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 출원의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원의 사상을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다. 그리고, 복수의 도면들 상에서 동일 부호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭한다. 본 발명에서 '상단 또는 상부' 및 '하단 또는 하부'는 설명을 용이하게 하기 위해 도면상 기준으로 한 것이며, 절대적인 것은 아니다.
분리막 세정시스템
도 1은 본 발명의 일 구체예에 따른 분리막 세정시스템을 개략적으로 나타낸 것이다. 도 1을 참고하면, 본 발명의 일 구체예에 따른 분리막 세정시스템은 분리막 모듈(110)이 설치된 막여과조(100); 막여과조(100)와 연결된 이젝터(300); 이젝터(300)와 연결된 에어컴프레서(400); 및 막여과조(100)로부터 생산된 처리수를 저장하여 역세 또는 약품 세정시 처리수를 배출하는 처리수조(300)를 포함할 수 있다.
상기 분리막 모듈(110)은 침지식 분리막 모듈일 수 있으며, 모듈의 상단 및 하단 중 하나 이상에는 막 여과된 생산수를 포집하는 헤더가 형성될 수 있다.
이젝터(Ejector)(300)는 분리막 세정시스템 내 유체에 포함된 기포(bubble)을 제거하기 위한 장치이다. 이젝터(300)와 연결된 에어컴프레서(air compressor)(400)는 분리막 세정시스템 내의 밸브 개폐를 위하여 구비된 장치이다.
도 1 을 다시 참고하면, 막여과조(100) 내 분리막 모듈(110)의 헤더에서 연장된 제1 배관(L1)은 ⓐ지점에서 처리수조(200)로 생산수를 이송시키는 제4 배관(L4)이 분기된다. 제1 배관(L1)에는 이젝터(300) 및 에어컴프레서(400) 가동에 의하여 배출된 압축 공기의 흐름에 의하여 음압(minus pressure)이 형성될 수 있으며, 이로 인하여 막여과조(100) 내에 준비된 약품세정액이 분리막을 통과하며 약품세정이 이루어질 수 있다.
제4 배관(L4)상에는 생산수 펌프(P1)가 설치될 수 있다. 처리수조(200)는 제5 배관(L5)을 통해 처리수를 배출하여 역세 또는 약품 세정에 적용하고, 이를 위하여 상기 제5 배관(L5)은 제4 배관(L4)에 합류될 수 있다.
에어컴프레서(400)는 제2 배관(L2)에 의하여 이젝터(300)와 연결되며, 에어컴프레서(400) 및 이젝터(300) 가동시 막여과조(100)로부터 흡입된 약품세정액을 막여과조(100)로 재투입시키는 제3 배관(L3)이 형성될 수 있다. 제3 배관(L3)을 통하여 분리막을 통과한 약품세정액은 막여과조(100)로 인라인 투입될 수 있다. 상기 인라인 투입에 의하여 약품세정액이 순환하게 되어 약품의 막세공 접촉을 증대시키고, 약품 세정효율성을 높일 수 있으며, 약품 사용량을 최소화시킬 수 있다.
본 발명에서 상기 제1 내지 제5 배관 중 하나 이상의 배관에는 개폐밸브가 1개 이상 구비되어 제어수단에 의해 개폐가 제어될 수 있다.
또한, 분리막 모듈(110) 하부에는 약품 세정시 기체를 산기시켜 세정효율을 물리적으로 높일 수 있는 에어레이터(미도시)가 구비될 수 있다.
이젝터를 가동하여 약품 세정을 실시하기 전, 막여과조 내에 약품세정액이 준비되어야 한다. 도 1을 참고하면, 우선 막여과조(100)에 저장된 피처리수를 외부로 배출한 후, 밸브 V4 및 V5를 개방하고, 생산수펌프(P1)를 가동한다. 이하, 별도 언급이 없는 한 개방된 밸브 이외의 밸브는 폐쇄된 것으로 간주한다. 처리수조(200)의 처리수는 제5 배관(L5) 및 제4 배관(L4)순으로 이송되며 별도 구비된 약품저장조(미도시)로부터 공급된 약품 또는 막여과조로 직접 투입된 약품과 혼입되어 약품세정액이 준비될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 구체예에 따른 약품세정시스템 및 이를 이용한 세정방법을 개략적으로 나타낸 것이다. 도 2 (a)를 참고하면 밸브 V1, V2 및 V3를 개방하고 이젝터(300)를 가동한다. 본 발명에서 이젝터(300)를 가동한다 함은 에어컴프레서(400)를 작동시켜 제2 배관(L2)을 경유하여 제3 배관(L3)으로 압축공기를 분출시킴으로써 제1 배관(L1) 내에 음압이 형성되는 것을 의미한다.
따라서, 이젝터(300)를 가동하면 제1 배관(L1) 내에 음압이 형성되고 막여과조(100) 내의 약품세정액이 분리막(110) 외부(OUT)에서 내부(IN)로 통과하며 분리막(110)에 축적된 오염물질 등을 제거하는 분리막 세정이 이루어질 수 있다. 분리막을 통과한 약품세정액은 제1 배관(L1) 및 제3 배관(L3)을 거쳐 다시 막여과조 내로 인라인 투입될 수 있다. 도 2 (b)는 이젝터(300) 가동을 멈춘 후 약품세정액의 이동이 없는 휴지 단계를 나타낸 것이다. 상기와 같이 휴지단계(soaking 단계)를 거치게 되면 분리막(110) 내부(lumen)에 남아있는 약품으로 인해 약품세정이 되어 세정효율을 보다 향상시킬 수 있다. 위와 같은 이젝터 가동시간과 휴지시간의 비(ratio)는 1:1 내지 1:100,000로 수행할 수 있다. 상기 범위에서 우수한 약품세정효율을 달성할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 구체예에 따른 약품세정시스템 및 이를 이용한 세정방법을 개략적으로 나타낸 것이다. 도 3의 세정시스템은 제1 배관(L1)상 대기 중에 노출된 에어벤트(air vent)로서 제6 배관(L6)이 더 형성된 것을 제외하고는 도 1의 세정시스템과 동일한 구조를 갖는다.
도 3 (a)를 참고하면, 밸브 V1, V2 및 V3를 개방하고 이젝터(300)를 가동한다. 이젝터(300)를 가동하면 제1 배관(L1) 내에 음압이 형성되고 막여과조(100) 내의 약품세정액이 분리막(110) 외부(OUT)에서 내부(IN)로 통과하며 분리막 외부의 오염물질 제거 등의 세정이 이루어진다. 분리막(110)을 통과한 약품세정액은 제1 배관(L1) 및 제3 배관(L3)을 거쳐 다시 막여과조 내로 인라인 투입될 수 있다. 도 3 (b)를 참고하면, 이젝터 가동을 멈춘 후 밸브 V6를 개방하여 대기압에 노출시켜 에어벤트(air vent)보다 낮은 위치의 제1 배관(L1) 내에 잔류하고 있는 약품세정액을 자유낙하시킴으로써 분리막(110) 내부(IN)에서 외부(OUT)로 약품세정액이 통과하며 분리막에 축적된 오염물질 등을 제거하는 분리막 세정(역세)이 이루어질 수 있다. 상기에서 이젝터 가동시간과 에어벤트를 포함한 휴지시간의 비는 1 : 1 내지 1 : 100,000로 수행할 수 있다. 상기와 같이 에어벤트를 이용하여 약품세정시 우수한 약품세정효과를 확보함과 동시에 전력소비를 저감시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 구체예에 따른 약품세정시스템 및 이를 이용한 세정방법을 개략적으로 나타낸 것이다. 도 4의 세정시스템은 제1 배관(L1)과 제2 배관(L2)을 연결하는 브릿지 배관으로서 제6 배관(L6)이 더 형성된 것을 제외하고는 도 1의 세정시스템과 동일한 구조를 갖는다.
도 4 (a)를 참고하면, 밸브 V1, V2 및 V3를 개방하고 이젝터(300)를 가동한다. 이젝터(300)를 가동하면 제1 배관(L1) 내에 음압이 형성되고 막여과조(100) 내의 약품세정액이 분리막(110) 외부(OUT)에서 내부(IN)로 통과하며 분리막(110)에 축적된 오염물질 등을 제거하는 분리막 세정(정세)이 이루어질 수 있다. 분리막(110)을 통과한 약품세정액은 제1 배관(L1) 및 제3 배관(L3)을 거쳐 다시 막여과조(100) 내로 인라인 투입될 수 있다. 도 4 (b)는 에어컴프레서(400)를 가동하되 밸브 V2를 닫고 밸브 V6을 개방하여 제6 배관(L6)을 통하여 압축 공기를 배출시킴으로써 분리막(110) 내부(IN)에서 외부(OUT)로 약품세정액이 통과하며 분리막에 축적된 오염물질 등을 제거하는 분리막 세정(역세)이 이루어질 수 있다. 상기와 같이 제6 배관(L6)이 구비된 경우에는 보다 용이하게 정세와 역세를 반복 실시함으로서 효율적인 약품세정을 실시할 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 구체예에 따른 약품세정시스템 및 이를 이용한 세정방법을 개략적으로 나타낸 것이다. 도 5의 세정시스템은 제1 배관(L1)과 제3 배관(L3)을 연결하는 브릿지 배관으로서 제6 배관(L6)이 더 형성된 것을 제외하고는 도 1의 세정시스템과 동일한 구조를 갖는다.
도 5 (a)를 참고하면, 밸브 V1, V2 및 V3를 개방하고 이젝터(300)를 가동한다. 이젝터(300)를 가동하면 제1 배관(L1) 내에 음압이 형성되고 막여과조(100) 내의 약품세정액이 분리막(110) 외부(OUT)에서 내부(IN)로 통과하며 분리막(110)에 축적된 오염물질 등을 제거하는 분리막 세정(정세)이 이루어질 수 있다. 분리막(110)을 통과한 약품세정액은 제1 배관(L1)을 거쳐 제3 배관(L3)을 거쳐 다시 막여과조(100) 내로 인라인 투입된다. 도 5 (b)는 에어컴프레서(400)를 가동하되 밸브 V3를 닫고 밸브 V6을 개방하여 막여과조(100)로부터 흡입된 약품세정액이 제3 배관(L3), 제6 배관(L6), 및 제1 배관(L1) 순으로 경유하여 분리막(110) 내부(IN)에서 외부(OUT)로 분리막 세정(역세)이 이루어질 수 있다.
분리막 세정방법
본 발명의 분리막 세정방법은 이젝터 및 에어컴프레서를 이용하여 분리막을 세정할 수 있다. 상기 세정은 정세 또는 역세일 수 있다.
본 발명의 일 구체예에 따른 분리막 세정방법은 분리막 모듈이 구비된 막여과조 내 약품세정액을 준비하는 단계; 이젝터 및 에어컴프레서를 가동하여 상기 약품세정액을 분리막 내부로 유입시키는 정세 단계; 및 상기 분리막 내부로 유입된 약품세정액을 막여과조로 인라인 투입하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 구체예로서, 상기 정세 단계 이후에 상기 분리막을 통과한 약품세정액을 다시 상기 분리막 외부로 배출시키는 역세 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 역세 단계는 예로서, 도 3의 분리막 세정시스템과 같이 분리막 모듈(110)과 이젝터(300)를 연결하는 제1 배관(L1) 상에 에어벤트를 형성하여 역세를 진행할 수 있다. 다른 예로는, 도 4의 분리막 세정시스템과 같이 에어컴프레서(400)를 가동하되 배출되는 압축 공기가 제1 배관(L1)상으로 유입되도록 브릿지 배관(L6)을 구축하여 분리막 내부로 유입된 약품세정액을 다시 분리막 외부로 배출시켜 역세를 진행할 수 있다. 또 다른 예로는, 도 5의 분리막 세정시스템과 같이 에어컴프레서(400)를 가동하되 배출되는 압축 공기가 제1 배관(L1)상으로 유입되도록 제1 배관(L1)과 제3 배관(L3)을 연통시키는 브릿지 배관(L6)을 구축하여 역세를 진행할 수 있다.
본 발명의 또 다른 구체예에 따른 분리막 세정방법은 상기 정세 단계와 역세 단계 사이에는 이젝터 및 에어컴프레서 가동을 중지하여 약품세정액이 분리막 내에 소킹(soaking)되는 휴지 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims (13)

  1. 분리막 모듈이 설치된 막여과조;
    상기 막여과조와 연결된 이젝터;
    상기 이젝터와 연결된 에어컴프레서; 및
    상기 막여과조로부터 생산된 처리수를 저장하여 역세 또는 약품 세정시 처리수를 배출하는 처리수조를 포함하고,
    상기 이젝터의 가동에 의하여 분리막 세정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 분리막 세정시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 막여과조와 상기 이젝터를 연결하는 제1 배관;
    상기 이젝터와 상기 에어컴프레서를 연결하는 제2 배관; 및
    상기 이젝터로부터 연장되고 약품세정액을 상기 막여과조로 인라인 투입하는 제3 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 분리막 세정시스템.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 이젝터 및 상기 에어컴프레서의 가동에 의하여 제1 배관 내에 음압이 형성되는 것을 특징으로 하는 분리막 세정시스템.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 배관상에 에어벤트(air vent)가 더 형성된 것을 특징으로 하는 분리막 세정시스템.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 배관과 상기 제2 배관을 연통시키는 브릿지 배관이 더 형성된 것을 특징으로하는 분리막 세정시스템.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제1 배관과 상기 제3 배관을 연통시키는 브릿지 배관이 더 형성된 것을 특징으로 하는 분리막 세정시스템.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 배관상 하나 이상의 개폐 밸브가 구비되어 제어수단에 의해 개폐가 제어되는 것을 특징으로 하는 분리막 세정시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 분리막 세정은 역세 또는 정세인 것을 특징으로 하는 분리막 세정시스템.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 분리막 세정시스템을 이용한 분리막 세정방법.
  10. 이젝터 및 에어컴프레서를 이용하여 분리막을 세정하는 것을 특징으로 하는 분리막 세정방법.
  11. 제10항에 있어서,
    분리막 모듈이 구비된 막여과조 내 약품세정액을 준비하는 단계;
    이젝터 및 에어컴프레서를 가동하여 상기 약품세정액을 분리막 내부로 유입시키는 정세 단계; 및
    상기 분리막 내부로 유입된 약품세정액을 막여과조로 인라인 투입하는 단계를 포함하는 분리막 세정방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 분리막 내부로 유입된 약품세정액을 다시 상기 분리막 외부로 배출시키는 역세 단계를 더 포함하는 분리막 세정방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 정세 단계와 상기 역세 단계 사이에는 이젝터 및 에어컴프레서 가동을 중지하여 약품세정액이 분리막 내에 소킹(soaking)되는 휴지 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분리막 세정방법.
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