KR20150142229A - Light emitting device, and lighting system - Google Patents
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Abstract
Description
실시예는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템에 관한 것이다.Embodiments relate to a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system.
발광소자(Light Emitting Device)는 전기에너지가 빛에너지로 변환되는 특성의 p-n 접합 다이오드를 주기율표상에서 Ⅲ족과 Ⅴ족의 원소가 화합하여 생성될 수 있다. LED는 화합물 반도체의 조성비를 조절함으로써 다양한 색상구현이 가능하다. A light emitting device can be produced by combining p-n junction diodes having the characteristic that electric energy is converted into light energy by elements of Group III and Group V on the periodic table. LEDs can be implemented in various colors by controlling the composition ratio of compound semiconductors.
발광소자는 순방향전압 인가 시 n층의 전자와 p층의 정공(hole)이 결합하여 전도대(Conduction band)와 가전대(Valance band)의 에너지 갭에 해당하는 만큼의 에너지를 발산하는데, 이 에너지는 주로 열이나 빛의 형태로 방출되며, 빛의 형태로 발산되면 발광소자가 되는 것이다.When a forward voltage is applied to a light emitting device, the electrons in the n-layer and the holes in the p-layer are coupled to emit energy corresponding to the energy gap between the conduction band and the valance band. It emits mainly in the form of heat or light, and emits in the form of light.
예를 들어, 질화물 반도체는 높은 열적 안정성과 폭넓은 밴드갭 에너지에 의해 광소자 및 고출력 전자소자 개발 분야에서 큰 관심을 받고 있다. 특히, 질화물 반도체를 이용한 청색(Blue) 발광소자, 녹색(Green) 발광소자, 자외선(UV) 발광소자 등은 상용화되어 널리 사용되고 있다.For example, nitride semiconductors have received great interest in the development of optical devices and high power electronic devices due to their high thermal stability and wide bandgap energy. Particularly, blue light emitting devices, green light emitting devices, ultraviolet (UV) light emitting devices, and the like using nitride semiconductors have been commercialized and widely used.
발광소자는 전극의 위치에 따라 수평형 타입(Lateral Type)과 수직형 타입(Vertical type)으로 구분할 수 있다.The light emitting device can be classified into a lateral type and a vertical type depending on the position of the electrode.
종래기술에 의한 발광소자는 활성층이 InGaN/GaN 양자우물과 양자벽이 주기적으로 반복 적층되어 있는 다중양자우물 구조를 갖는데, InGaN와 GaN는 격자상수가 서로 다르므로 격자부정합에 의해서 응력이 발생하고 이에 따라서 내부에 전기장이 발생한다. The conventional light emitting device has a multiple quantum well structure in which an active layer is periodically repeatedly stacked with InGaN / GaN quantum wells and quantum wells. Since InGaN and GaN have different lattice constants, stress is generated by lattice mismatching Therefore, an electric field is generated inside.
이에 따라 주입되는 전자가 전기장의 영향으로 활성층에서 발광에 효과적으로 참여하지 못하고 활성층을 지나서 정공주입층으로 누설되는 문제가 있다. 이러한 전류누설현상은 주입전류가 증가하면서 더욱 심해진다.As a result, the injected electrons can not effectively participate in the emission of light in the active layer due to the influence of the electric field, and leak into the hole injection layer through the active layer. This current leakage phenomenon becomes more serious as the injection current increases.
따라서, 고전류에서 작동하는 고출력 소자에서 전자의 누설에 따른 발광효율 저하문제가 있으며, 이러한 문제는 InGaN 양자우물의 In 조성이 많은 장파장 발광층에서 특히 심한 효율저하 문제를 야기한다. Therefore, there is a problem of lowering the luminous efficiency due to leakage of electrons in a high-output device operating at a high current. Such a problem causes a serious problem of efficiency deterioration particularly in a long wavelength light emitting layer having a large In composition of the InGaN quantum well.
실시예는 고 주입전류하에서도 고효율을 제공할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공하고자 한다.Embodiments provide a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system capable of providing high efficiency even under a high injection current.
실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층(112); 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상측에 배치되는 제1 질화물 활성층(111); 상기 제1 도전형 반도체층(112) 아래에 배치되는 제2 질화물 활성층(114); 상기 제2 질화물 활성층(114) 아래에 배치되는 제2 도전형 반도체층(116): 상기 제1 도전형 반도체층(112)에 전기적으로 연결되는 제1 전극(140); 및 상기 제2 도전형 반도체층(116)에 전극적으로 연결되는 제2 전극(130);을 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment includes a first
실시예에 따른 조명시스템은 상기 발광소자를 구비하는 발광모듈을 포함할 수 있다.An illumination system according to an embodiment may include a light emitting module having the light emitting element.
실시예는 주입전류 증가에 따라 발광양자효율 저하가 없는 제1 발광층을 구비하여 제2 발광층의 녹색 광원을 여기 시킴으로써 고 주입전류하에서도 고효율을 제공할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.Embodiments provide a light emitting device capable of providing a high efficiency even under a high injection current by exciting a green light source of a second light emitting layer by providing a first light emitting layer having no decrease in light emitting quantum efficiency according to an increase in injection current, Device package and illumination system.
도 1은 제1 실시예에 따른 발광소자의 단면도.
도 2와 도 3은 제1 실시예에 따른 발광소자의 부분 확대도.
도 4는 실시예에 따른 발광소자와 종래기술의 내부 양자효율 예시도.
도 5는 제2 실시예에 따른 발광소자의 단면도.
도 6은 제3 실시예에 따른 발광소자의 단면도.
도 7 내지 도 13은 실시예에 따른 발광소자의 제조방법 공정 단면도.
도 14는 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면도.
도 15는 실시예에 따른 조명 장치의 사시도.1 is a sectional view of a light emitting device according to a first embodiment;
2 and 3 are partial enlarged views of a light emitting device according to the first embodiment.
4 is a diagram illustrating an example of the internal quantum efficiency of the light emitting device according to the embodiment and the related art.
5 is a sectional view of a light emitting device according to a second embodiment;
6 is a cross-sectional view of a light emitting device according to a third embodiment;
7 to 13 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment.
14 is a sectional view of a light emitting device package according to an embodiment.
15 is a perspective view of a lighting apparatus according to an embodiment.
실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on/over)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on/over)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, each layer (film), region, pattern or structure is referred to as being "on" or "under" the substrate, each layer (film) Quot; on "and" under "are intended to include both" directly "or" indirectly " do. Also, the criteria for top, bottom, or bottom of each layer will be described with reference to the drawings.
(실시예)(Example)
도 1은 제1 실시예에 따른 발광소자(100)의 단면도이며, 도 2a와 도 2b는 제1 실시예에 따른 발광소자의 A부분 및 B 부분 확대도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a
실시예에 따른 발광소자(100)는 제1 도전형 반도체층(112)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상측에 배치되는 제1 질화물 활성층(111)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112) 아래에 배치되는 제2 질화물 활성층(114)과, 상기 제2 질화물 활성층(114) 아래에 배치되는 제2 도전형 반도체층(116)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112)에 전기적으로 연결되는 제1 전극(140)과, 상기 제2 도전형 반도체층(116)에 전극적으로 연결되는 제2 전극(130);을 포함할 수 있다.The
상기 제1 전극(140)은 상기 제2 도전형 반도체층(116)을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 접할 수 있다.The
실시예는 상기 제2 도전형 반도체층(116) 하측에 배치되는 오믹층(122)과 반사층(124)을 포함하고, 상기 제1 전극(140)은 상기 제2 도전형 반도체층(116), 상기 오믹층(122) 및 상기 반사층(124)을 관통하는 제1 관통 전극(142a) 및 하부 전극(144)을 포함할 수 있다.The exemplary embodiment of the present invention includes an
실시예는 상기 제1 관통 전극(142a)을 감싸는 제1 절연층(152)을 포함할 수 있다.The embodiment may include a first
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 전자주입층으로서 n-GaN 기반으로 구성된 질화물반도체 박막일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The first
상기 제2 도전형 반도체층(116)은 정공주입층으로서 p-GaN 기반의 질화물반도체 박막일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second
실시예에서 상기 제2 질화물 활성층(114)은 자외선을 발광할 수 있다.In an embodiment, the second nitride
예를 들어, 도 2a와 같이 상기 제2 질화물 활성층(114)은 제2 양자벽(114B)과 제2 양자우물(114W)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 질화물 활성층(114)은 약 380~420nm near UV를 방출할 수 있는 발광층으로 InGaN 양자우물과 AlGaN 양자벽을 기반으로 구성된 다중양자우물구조 질화물반도체 박막층일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.For example, as shown in FIG. 2A, the second nitride
다음으로, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 상기 제2 질화물 활성층(114)에서 발광되는 자외선에 의해 여기되어 가시광선을 발광할 수 있다.Next, the first
예를 들어, 도 2b와 같이 상기 제1 질화물 활성층(111)은 제1 양자벽(111B)과 제1 양자우물(111W)을 포함할 수 있다.For example, as shown in FIG. 2B, the first
예를 들어, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 약 500~540nm 영역의 녹색 빛을 방출할 수 있는 발광층으로 InGaN 양자우물과 GaN 양자벽을 기반으로 구성된 다중양자우물구조 질화물반도체 박막층일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.For example, the first nitride
상기 제2 전극(130)은 p-금속전극으로서, 반사막() 위에 위치하고, 제1 전극(140)과 전기적으로 분리될 있다.The
상기 제1 전극(140)은 n-금속전극으로서 제2 도전형 반도체층(116)과 제2 질화물 활성층(114)을 관통하여 제1 도전형 반도체층(112)까지 식각 등을 통하여 적어도 하나 이상의 구멍을 형성한 후 구멍의 측면에 제1 절연층(152)을 구비하고, 구멍 속에 금속을 구비하여, 해당 금속이 식각으로 노출된 제1 도전형 반도체층(112)과 n-Ohmic contact 을 할 수 있도록 구성될 수 있다.The
도 5는 제2 실시예에 따른 발광소자(102)의 단면도이다.5 is a sectional view of the
상기 제1 전극(140)에서 관통 전극은 복수로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(140)은 제1 관통 전극(142a)과 제2 관통 전극()을 구비할 수 있으며, 상기 반사층(124)과는 제2 절연층(154)으로 분리될 수 있고, 개개의 구멍을 채우는 n-금속전극은 하부 전극(154)에 의해 서로 연결되도록 형성될 수 있다.A plurality of through electrodes may be formed in the
절연층의 물질은 실리콘 산화물 혹은 실리콘 질화물등을 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The material of the insulating layer may include, but is not limited to, silicon oxide or silicon nitride.
실시예에 따른 발광소자()는 전자주입층인 제1 도전형 반도체층(112)에서 전자를 주입하고, 정공주입층인 제2 도전형 반도체층(116)에서 정공을 주입하여 제2 질화물 활성층(114)의 제2 양자우물(114W)에서 자외선 빛을 방출한다. In the light emitting device according to the embodiment, electrons are injected from the first conductivity
방출되는 빛은 제2 양자우물(114W)에 의해서 양자역학적으로 결정되는 에너지 크기를 갖으며, 파장 영역이 약 380~420nm에 해당할 수 있으며, 파장은 인듐조성 및 우물두께를 제어하여 조절될 수 있다. 제2 양자우물(114W)에서 In 조성이 작을수록 단파장 빛을 방출한다.The emitted light has an energy magnitude quantitatively determined by the second
방출되는 자외선은 제1 도전형 반도체층(112)을 투과하여 제1 질화물 활성층(111) 내의 제1 양자우물(111W)을 여기 시켜서 가시광선을 방출하게 한다. 예를 들어, 상기 제1 양자우물(111W)에서 발광되는 빛은 녹색 빛, 파란색 빛 등일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제1 양자우물(111W)의 In 조성은 제2 양자우물(114W)의 인듐 조성보다 더 많을 수 있다.The emitted ultraviolet rays are transmitted through the first conductivity
이하, 도 1 및 도 4를 참조하여 실시예에 따른 발광소자의 작동원리 및 효과를 좀 더 상술하기로 한다.Hereinafter, the operation principle and effects of the light emitting device according to the embodiment will be described in more detail with reference to FIGS. 1 and 4. FIG.
도 4는 실시예에 따른 발광소자의 주입전류에 따른 내부발광양자효율(E)을 보여주고 있다. 예를 들어, 실시예의 제2 질화물 활성층(114)에서 약 405nm 자외선 발광하는 경우의 예일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.FIG. 4 shows the internal light emitting quantum efficiency E according to the injection current of the light emitting device according to the embodiment. For example, the second nitride
종래 질화물반도체 발광소자, 특히 녹색을 발광하는 발광소자는 In 조성이 20~30% 정도로 많은 인듐을 포함하는 InGaN 양자우물과 GaN 양자벽으로 구성되는 다중양자우물구조 발광층을 구비한다. 이러한 발광층은 InGaN와 GaN 사이에 큰 격자불일치로 큰 응력이 발생하고 이로 말미암아 내부 응력장이 형성되어서 결과적으로 주입전류 증가시 주입되는 전자는 내부응력장에 의해서 발광층을 벗어나서 정공주입층으로 누설되므로써 심한 효율저하를 갖는다(도 4의 R 참조).Conventionally, a nitride semiconductor light emitting device, particularly a light emitting device emitting green light, comprises an InGaN quantum well containing indium in an amount of about 20 to 30% of In and a multiple quantum well structure light emitting layer composed of GaN quantum wall. This luminescent layer generates a large stress due to a large lattice mismatch between InGaN and GaN, thereby forming an internal stress field. As a result, electrons injected when the injection current is increased are leaked from the light emitting layer to the hole injection layer by an internal stress field, (See R in Fig. 4).
이러한 발광효율저하 현상은 발광층내 인듐조성이 작아질수록 격자불일치 응력이 작아지므로 개선된다. 따라서, 실시예의 제2 질화물 활성층(114)에서의 제2 양자우물(114W)과 같이 양자우물의 인듐조성이 1~5% 정도의 소량의 인듐을 구비하는 자외선 질화물반도체 발광소자의 경우, 발광층 내에 격자불일치에 따른 응력이 작다. 따라서, 주입전류에 따른 발광효율저하가 매우 작다(도4의 E 참조).Such a phenomenon of lowering the luminous efficiency is improved as the lattice mismatch stress becomes smaller as the indium composition in the light emitting layer becomes smaller. Therefore, in the case of an ultraviolet nitride semiconductor light emitting device having a small amount of indium with an indium composition of about 1 to 5% in quantum wells like the second quantum well 114W in the second nitride
실시예에 의하면, 이러한 종래 녹색질화물반도체 발광소자가 갖는 문제를 해결하고자 자외선 발광층인 제2 질화물 활성층(114)을 구비하고, 가시광선, 예를 들어 녹색 발광층인 제1 질화물 활성층(111)을 구비한다. 제2 질화물 활성층(114)은 전기를 공급받아 빛을 방출시키고, 제1 질화물 활성층(111)은 자외선 빛을 공급하여 가시광선을 방출하는 원리를 갖는다.According to the embodiment, in order to solve the problems of the conventional green nitride semiconductor light emitting device, the second nitride
제2 질화물 활성층(114)으로부터 방출되는 자외선은 제1 질화물 활성층(111) 내 다수의 제1 양자우물(111W)에서 효과적으로 전자들을 여기 시키고, 여기된 전자들은 제1양자 우물(111W) 내에서 다시 정공들과 결합하여 양자역학적으로 녹색 빛을 방출할 수 있다.Ultraviolet rays emitted from the second nitride
자외선 빛 에너지는 제1 질화물 활성층(111) 내 제1 양자벽(111B)의 에너지 밴드갭의 크기보다 작고, 제1 양자우물(111W)의 에너지 밴드갭의 크기보다 크므로, 제1 양자우물(111W) 내에서만 효과적으로 전자들을 여기시키고 제1 양자벽(111B)에서는 전자들을 여기시키지 못한다. Since the ultraviolet light energy is smaller than the energy band gap of the first
또한, 여기된 전자들의 에너지는 제1 양자벽(111B)을 넘지못하고 제1 양자우물(111W)내에 양자역학적으로 효과적으로 구속되므로써 제1 질화물 활성층(111)내 격자불일치에 의해 형성된 내부 전기장에 의한 전자의 누설현상이 없어서 우수한 발광효율을 구현할 수 있다.The energy of the excited electrons does not exceed the first
따라서, 실시예에 의하면 제2 질화물 활성층(114)인 자외선 발광층은 주입전류 증가시 발광효율저하가 없는 장점을 갖고, 이러한 자외선 발광층으로부터 제공되는 자외선 빛에 의해서 여기되는 가시광선 발광층, 예를 들어 녹색 발광층인 제1 질화물 활성층(111)은 제1 양자우물(111W)에 전자들이 효과적으로 구속됨으로써 전자의 누설현상이 없으므로 우수한 발광효율을 제공하게 된다.Therefore, according to the embodiment, the ultraviolet light emitting layer, which is the second nitride
결과적으로, 실시예에 의하면 고주입전류에서도 발광효율저하가 없는 우수한 녹색질화물반도체 발광소자를 제공할 수 있다.As a result, according to the embodiment, it is possible to provide an excellent green nitride semiconductor light emitting device which does not have a reduction in luminous efficiency even at a high injection current.
도 6은 제3 실시예에 따른 발광소자(103)의 단면도이며, 제3 실시예는 제1 실시예 또는 제2 실시예의 기술적인 특징을 채용할 수 있다.6 is a sectional view of the
제3 실시예서 제1 전극(140)은 상기 제1 질화물 활성층(111)과 상기 제1 도전형 반도체층(112)을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 접할 수 있다.Third Embodiment The
예를 들어, 제1 전극(140)은 상기 제1 질화물 활성층(111)과 상기 제1 도전형 반도체층(112)을 관통하는 제3 관통전극(142c)과 상기 제3 관통전극(142c)의 측면을 감싸는 제2 절연층(152b)을 포함할 수 있다.For example, the
제3 실시예의 경우 제2 전극(130)은 오믹층(122) 또는 반사층(124)과 같은 수평폭을 구비할 수 있다.In the case of the third embodiment, the
이상에서 설명하지 않은 도면번호나 구성들은 이하 제조방법에서 설명하기로 한다.Reference numerals and structures not described above will be described in the following manufacturing method.
이하, 도 7 내지 도 13을 참조하여 실시예에 따른 발광소자의 제조방법을 설명하면서, 이건발명의 기술적 특징을 기술하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 7 to 13, and technical features of the present invention will be described.
우선, 도 7과 같이 기판(105) 상에 제1 질화물 활성층(111)을 형성할 수 있다.First, the first nitride
상기 기판(105)은 절연성 기판 또는 도전성 기판으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(105)은 사파이어 기판(Al2O3), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge 중 적어도 하나로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 기판(105) 위에는 버퍼층(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 버퍼층은 상기 제1 질화물 활성층(111)과 기판(105)의 격자 부정합을 완화시켜 줄 수 있으며, 버퍼층의 재료는 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.A buffer layer (not shown) may be formed on the
도 8과 같이, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 제1 양자벽(111B)과 제1 양자우물(111W)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 8, the first
상기 제1 질화물 활성층(111)은 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The first nitride
상기 제1 질화물 활성층(111)의 제1 양자우물(111W)/제1 양자벽(111B)은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. The first quantum well 111W and the first
예를 들어, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 약 500~540nm 영역의 녹색 빛을 방출할 수 있는 발광층으로 InGaN 양자우물과 GaN 양자벽을 기반으로 구성된 다중양자우물구조 질화물반도체 박막층일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.For example, the first nitride
다음으로, 도 9와 같이, 상기 제1 질화물 활성층(111) 상에 제1 도전형 반도체층(112), 제2 질화물 활성층(114)이 형성될 수 있다.Next, as shown in FIG. 9, the first
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(112)이 n형 반도체층인 경우, 상기 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 n형 GaN층을 형성할 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n 형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The n-type GaN layer may be formed on the first
실시예에서 상기 제2 질화물 활성층(114)은 자외선을 발광할 수 있다.In an embodiment, the second nitride
예를 들어, 도 10과 같이 상기 제2 질화물 활성층(114)은 제2 양자벽(114B)과 제2 양자우물(114W)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 질화물 활성층(114)은 약 380~420nm near UV를 방출할 수 있는 발광층으로 InGaN 양자우물과 AlGaN 양자벽을 기반으로 구성된 다중양자우물구조 질화물반도체 박막층일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.For example, as shown in FIG. 10, the second nitride
다음으로, 도 11과 같이, 상기 제2 질화물 활성층(114) 상에 제2 도전형 반도체층(116)이 형성된다. Next, as shown in FIG. 11, the second
상기 제2 도전형 반도체층(116)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다.The second
예를 들어, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(116)이 p형 반도체층인 경우, 상기 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.For example, the second
상기 제2 도전형 반도체층(116)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 마그네슘(Mg)과 같은 p 형 불순물을 포함하는 비세틸 사이클로 펜타디에닐 마그네슘(EtCp2Mg){Mg(C2H5C5H4)2}가 주입되어 p형 GaN층이 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second conductive
실시예에서 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 n형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 p형 반도체층으로 구현할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 또한 상기 제2 도전형 반도체층(116) 위에는 상기 제2 도전형과 반대의 극성을 갖는 반도체 예컨대 n형 반도체층(미도시)을 형성할 수 있다. 이에 따라 발광구조물(110)은 n-p 접합 구조, p-n 접합 구조, n-p-n 접합 구조, p-n-p 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다.In an embodiment, the first
다음으로, 제2 도전형 반도체층(116) 상에 오믹층(122) 및 반사층(124)이 형성될 수 있다.Next, the
상기 오믹층(122)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며, 이러한 재료에 한정되는 않는다.The
상기 반사층(124)은 반사성이 우수하고, 전기적인 접촉이 우수한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 합금으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 반사층(124)은 상기 금속 또는 합금과 IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO 등의 투광성 전도성 물질을 이용하여 다층으로 형성할 수 있으며, 예를 들어, IZO/Ni, AZO/Ag, IZO/Ag/Ni, AZO/Ag/Ni 등으로 적층할 수 있다.The
다음으로, 12와 같이, 상기 제1 질화물 활성층(111)이 노출되도록 상기 기판(105)을 제거할 수 있다. 상기 기판(105)을 제거하는 방법은 고출력의 레이저를 이용하여 기판을 분리하거나 화학적 식각 방법을 사용할 수 있다. 또한, 상기 기판(105)은 물리적으로 갈아냄으로써 제거할 수도 있다. Next, the
예를 들어, 레이저 리프트 오프 방법은 상온에서 소정의 에너지를 가해주게 되면 상기 기판(105)과 발광구조물의 계면에서 에너지가 흡수되어 발광구조물의 접합표면이 열분해 되어 기판(105)과 발광구조물을 분리할 수 있다.For example, in the laser lift-off method, energy is absorbed at the interface between the
이후, 노출되는 언도프트 반도체층은 제거될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Thereafter, the exposed undoped semiconductor layer may be removed, but is not limited thereto.
다음으로, 상기 반사층(124), 오믹층(122), 제2 도전형 반도체층(116), 제2 질화물 활성층(114)을 관통하는 트렌치(T)를 형성하고, 트렌치(T)의 측면에 제1 절연층(152)을 형성할 수 있다.Next, a trench T penetrating through the
다음으로, 도 13과 같이, 상기 트렌치(T)를 메우는 제1 관통 전극(142a)을 형성하고, 상기 제1 관통 전극(142a) 상에 하부 전극(144)을 형성하여 제1 전극(140)을 형성할 수 있다.13, a first
상기 반사층(124) 상에는 제2 전극(130)이 형성될 수 있다.A
실시예에 의하면, 이러한 종래 녹색질화물반도체 발광소자가 갖는 문제를 해결하고자 자외선 발광층인 제2 질화물 활성층(114)을 구비하고, 가시광선, 예를 들어 녹색 발광층인 제1 질화물 활성층(111)을 구비한다. 제2 질화물 활성층(114)은 전기를 공급받아 빛을 방출시키고, 제1 질화물 활성층(111)은 자외선 빛을 공급하여 가시광선을 방출하는 원리를 갖는다.According to the embodiment, in order to solve the problems of the conventional green nitride semiconductor light emitting device, the second nitride
제2 질화물 활성층(114)으로부터 방출되는 자외선은 제1 질화물 활성층(111) 내 다수의 제1 양자우물(111W)에서 효과적으로 전자들을 여기 시키고, 여기된 전자들은 제1양자우물(111W) 내에서 다시 정공들과 결합하여 양자역학적으로 녹색 빛을 방출할 수 있다.Ultraviolet rays emitted from the second nitride
자외선 빛 에너지는 제1 질화물 활성층(111) 내 제1 양자벽(111B)의 에너지 밴드갭의 크기보다 작고, 제1 양자우물(111W)의 에너지 밴드갭의 크기보다 크므로, 제1 양자우물(111W) 내에서만 효과적으로 전자들을 여기시키고 제1 양자벽(111B)에서는 전자들을 여기시키지 못한다. Since the ultraviolet light energy is smaller than the energy band gap of the first
또한, 여기된 전자들의 에너지는 제1 양자벽(111B)을 넘지못하고 제1 양자우물(111W)내에 양자역학적으로 효과적으로 구속되므로써 제1 질화물 활성층(111)내 격자불일치에 의해 형성된 내부 전기장에 의한 전자의 누설현상이 없어서 우수한 발광효율을 구현할 수 있다.The energy of the excited electrons does not exceed the first
따라서, 실시예에 의하면 제2 질화물 활성층(114)인 자외선 발광층은 주입전류 증가시 발광효율저하가 없는 장점을 갖고, 이러한 자외선 발광층으로부터 제공되는 자외선 빛에 의해서 여기되는 가시광선 발광층, 예를 들어 녹색 발광층인 제1 질화물 활성층(111)은 제1 양자우물(111W)에 전자들이 효과적으로 구속됨으로써 전자의 누설현상이 없으므로 우수한 발광효율을 제공하게 된다.Therefore, according to the embodiment, the ultraviolet light emitting layer, which is the second nitride
결과적으로, 실시예에 의하면 고주입전류에서도 발광효율저하가 없는 우수한 녹색질화물반도체 발광소자를 제공할 수 있다.As a result, according to the embodiment, it is possible to provide an excellent green nitride semiconductor light emitting device which does not have a reduction in luminous efficiency even at a high injection current.
실시예는 주입전류 증가에 따라 발광양자효율 저하가 없는 제1 발광층을 구비하여 제2 발광층의 녹색 광원을 여기 시킴으로써 고 주입전류하에서도 고효율을 제공할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.Embodiments provide a light emitting device capable of providing a high efficiency even under a high injection current by exciting a green light source of a second light emitting layer by providing a first light emitting layer having no decrease in light emitting quantum efficiency according to an increase in injection current, Device package and illumination system.
도 14는 실시예에 따른 발광소자가 적용된 발광소자 패키지(200)를 나타낸 도면이다.14 is a view illustrating a light emitting
도 14를 참조하면, 실시 예에 따른 발광소자 패키지는 몸체(205)와, 상기 몸체(205)에 배치된 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)과, 상기 몸체(205)에 제공되어 상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)과 전기적으로 연결되는 발광소자(100)와, 상기 발광소자(100)를 포위하는 몰딩부재(240)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 14, a light emitting device package according to an embodiment includes a
상기 몸체(205)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 상기 발광소자(100)의 주위에 경사면이 형성될 수 있다.The
상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광소자(100)에 전원을 제공한다. 또한, 상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)은 상기 발광소자(100)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광소자(100)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.The first
상기 발광소자(100)는 상기 몸체(205) 위에 배치되거나 상기 제1 리드전극(213) 또는 제2 리드전극(214) 위에 배치될 수 있다.The
상기 발광소자(100)는 상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)과 와이어 방식, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다.The
실시예에서 발광소자(100)는 제2 리드전극(214)에 실장되고, 제1 리드전극(213)과 와이어(230)에 의해 연결될 수 있으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.The
상기 몰딩부재(240)는 상기 발광소자(100)를 포위하여 상기 발광소자(100)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부재(240)에는 형광체(미도시)가 포함되어 상기 발광소자(100)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The
실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지는 복수 개가 기판 위에 어레이될 수 있으며, 상기 발광소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 렌즈, 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광소자 패키지, 기판, 광학 부재는 라이트 유닛으로 기능할 수 있다. 상기 라이트 유닛은 탑뷰 또는 사이드 뷰 타입으로 구현되어, 휴대 단말기 및 노트북 컴퓨터 등의 표시 장치에 제공되거나, 조명장치 및 지시 장치 등에 다양하게 적용될 수 있다. 또 다른 실시 예는 상술한 실시 예들에 기재된 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함하는 조명 장치로 구현될 수 있다. 예를 들어, 조명 장치는 램프, 가로등, 전광판, 전조등을 포함할 수 있다.A plurality of light emitting devices or light emitting device packages according to the embodiments may be arrayed on a substrate, and a lens, a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, etc., which are optical members, may be disposed on the light path of the light emitting device package. Such a light emitting device package, a substrate, and an optical member can function as a light unit. The light unit may be implemented as a top view or a side view type and may be provided in a display device such as a portable terminal and a notebook computer, or may be variously applied to a lighting device and a pointing device. Still another embodiment may be embodied as a lighting device including the light emitting device or the light emitting device package described in the above embodiments. For example, the lighting device may include a lamp, a streetlight, an electric signboard, and a headlight.
도 15는 실시예에 따른 조명장치의 분해 사시도이다. 15 is an exploded perspective view of a lighting apparatus according to an embodiment.
도 15를 참조하면, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(2100), 광원 모듈(2200), 방열체(2400), 전원 제공부(2600), 내부 케이스(2700), 소켓(2800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 부재(2300)와 홀더(2500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)은 실시 예에 따른 발광소자 패키지를 포함할 수 있다.15, the lighting apparatus according to the embodiment includes a
예컨대, 상기 커버(2100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상을 가지며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상으로 제공될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기 시킬 수 있다. 상기 커버(2100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.For example, the
상기 커버(2100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(2100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(2100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다.The inner surface of the
상기 커버(2100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(2100)는 외부에서 상기 광원 모듈(2200)이 보이도록 투명할 수 있고, 불투명할 수 있다. 상기 커버(2100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The
상기 광원 모듈(2200)은 상기 방열체(2400)의 일 면에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열은 상기 방열체(2400)로 전도된다. 상기 광원 모듈(2200)은 광원부(2210), 연결 플레이트(2230), 커넥터(2250)를 포함할 수 있다.The
상기 부재(2300)는 상기 방열체(2400)의 상면 위에 배치되고, 복수의 광원부(2210)들과 커넥터(2250)이 삽입되는 가이드홈(2310)들을 갖는다. 상기 가이드홈(2310)은 상기 광원부(2210)의 기판 및 커넥터(2250)와 대응된다.The
상기 부재(2300)의 표면은 빛 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 예를 들면, 상기 부재(2300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 상기 부재(2300)는 상기 커버(2100)의 내면에 반사되어 상기 광원 모듈(2200)측 방향으로 되돌아오는 빛을 다시 상기 커버(2100) 방향으로 반사한다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.The surface of the
상기 부재(2300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)의 연결 플레이트(2230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 방열체(2400)와 상기 연결 플레이트(2230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 상기 부재(2300)는 절연 물질로 구성되어 상기 연결 플레이트(2230)와 상기 방열체(2400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 상기 방열체(2400)는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열과 상기 전원 제공부(2600)로부터의 열을 전달받아 방열한다.The
상기 홀더(2500)는 내부 케이스(2700)의 절연부(2710)의 수납홈(2719)을 막는다. 따라서, 상기 내부 케이스(2700)의 상기 절연부(2710)에 수납되는 상기 전원 제공부(2600)는 밀폐된다. 상기 홀더(2500)는 가이드 돌출부(2510)를 갖는다. 상기 가이드 돌출부(2510)는 상기 전원 제공부(2600)의 돌출부(2610)가 관통하는 홀을 갖는다.The
상기 전원 제공부(2600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 상기 광원 모듈(2200)로 제공한다. 상기 전원 제공부(2600)는 상기 내부 케이스(2700)의 수납홈(2719)에 수납되고, 상기 홀더(2500)에 의해 상기 내부 케이스(2700)의 내부에 밀폐된다.The
상기 전원 제공부(2600)는 돌출부(2610), 가이드부(2630), 베이스(2650), 연장부(2670)를 포함할 수 있다.The
상기 가이드부(2630)는 상기 베이스(2650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 가이드부(2630)는 상기 홀더(2500)에 삽입될 수 있다. 상기 베이스(2650)의 일 면 위에 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원 모듈(2200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원 모듈(2200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 연장부(2670)는 상기 베이스(2650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750) 내부에 삽입되고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받는다. 예컨대, 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750)의 폭과 같거나 작게 제공될 수 있다. 상기 연장부(2670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결되고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(2800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The
상기 내부 케이스(2700)는 내부에 상기 전원 제공부(2600)와 함께 몰딩부를 포함할 수 있다. 몰딩부는 몰딩 액체가 굳어진 부분으로서, 상기 전원 제공부(2600)가 상기 내부 케이스(2700) 내부에 고정될 수 있도록 한다.The
이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects and the like illustrated in the embodiments can be combined and modified by other persons skilled in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents of such combinations and modifications should be construed as being included in the scope of the embodiments.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It can be seen that the modification and application of branches are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.
제1 도전형 반도체층(112);
제1 질화물 활성층(111);
제2 질화물 활성층(114);
제2 도전형 반도체층(116):
제1 전극(140); 제2 전극(130);A first
A first nitride
A second nitride
The second conductivity type semiconductor layer 116:
A
Claims (8)
상기 제1 도전형 반도체층 상측에 배치되는 제1 질화물 활성층;
상기 제1 도전형 반도체층 아래에 배치되는 제2 질화물 활성층;
상기 제2 질화물 활성층 아래에 배치되는 제2 도전형 반도체층:
상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되는 제1 전극; 및
상기 제2 도전형 반도체층에 전극적으로 연결되는 제2 전극;을 포함하는 발광소자.A first conductive semiconductor layer;
A first nitride active layer disposed on the first conductive semiconductor layer;
A second nitride active layer disposed under the first conductive semiconductor layer;
A second conductive semiconductor layer disposed under the second nitride active layer;
A first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer; And
And a second electrode that is electromagnetically coupled to the second conductive type semiconductor layer.
상기 제2 질화물 활성층은
자외선을 발광하는 발광소자.The method according to claim 1,
The second nitride active layer
A light emitting element that emits ultraviolet rays.
상기 제1 질화물 활성층은 상기 제2 질화물 활성층에서 발광되는 자외선에 의해 여기되어 가시광선을 발광하는 발광소자.3. The method of claim 2,
And the first nitride active layer is excited by ultraviolet light emitted from the second nitride active layer to emit visible light.
상기 제1 질화물 활성층은
상기 제2 질화물 활성층에서 발광되는 자외선에 의해 여기되어 녹색빛을 발광하는 발광소자.The method of claim 3,
The first nitride active layer
And the second active layer is excited by ultraviolet rays emitted from the second nitride active layer to emit green light.
상기 제1 전극은
상기 제2 도전형 반도체층을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층과 접하는 발광소자.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The first electrode
And a second conductive semiconductor layer formed on the first conductive semiconductor layer.
상기 제2 도전형 반도체층 하측에 배치되는 오믹층과 반사층을 더 포함하고,
상기 제1 전극은
상기 제2 도전형 반도체층, 상기 오믹층 및 상기 반사층을 관통하는 제1 관통 전극을 포함하고,
상기 제1 관통 전극을 감싸는 제1 절연층을 포함하는 발광소자.6. The method of claim 5,
Further comprising an ohmic layer and a reflective layer disposed below the second conductive type semiconductor layer,
The first electrode
And a first penetrating electrode penetrating the second conductivity type semiconductor layer, the ohmic layer, and the reflective layer,
And a first insulating layer surrounding the first penetrating electrode.
상기 제1 전극은
상기 제1 질화물 활성층과 상기 제1 도전형 반도체층을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층과 접하는 발광소자.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The first electrode
And the first conductive semiconductor layer is in contact with the first nitride active layer and the first conductive semiconductor layer.
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