KR20150142229A - Light emitting device, and lighting system - Google Patents

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Abstract

An embodiment relates to a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package and a lighting system. A light emitting device according to an embodiment may include a first conductivity type semiconductor layer; a first nitride active layer arranged on the upper side of the conductivity type semiconductor layer; a second nitride active layer arranged under the first conductivity type semiconductor layer; a second conductivity type semiconductor layer arranged on the second nitride active layer; a first electrode which is electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer; and a second electrode which is electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer.

Description

발광소자 및 조명시스템{LIGHT EMITTING DEVICE, AND LIGHTING SYSTEM}[0001] LIGHT EMITTING DEVICE, AND LIGHTING SYSTEM [0002]

실시예는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템에 관한 것이다.Embodiments relate to a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system.

발광소자(Light Emitting Device)는 전기에너지가 빛에너지로 변환되는 특성의 p-n 접합 다이오드를 주기율표상에서 Ⅲ족과 Ⅴ족의 원소가 화합하여 생성될 수 있다. LED는 화합물 반도체의 조성비를 조절함으로써 다양한 색상구현이 가능하다. A light emitting device can be produced by combining p-n junction diodes having the characteristic that electric energy is converted into light energy by elements of Group III and Group V on the periodic table. LEDs can be implemented in various colors by controlling the composition ratio of compound semiconductors.

발광소자는 순방향전압 인가 시 n층의 전자와 p층의 정공(hole)이 결합하여 전도대(Conduction band)와 가전대(Valance band)의 에너지 갭에 해당하는 만큼의 에너지를 발산하는데, 이 에너지는 주로 열이나 빛의 형태로 방출되며, 빛의 형태로 발산되면 발광소자가 되는 것이다.When a forward voltage is applied to a light emitting device, the electrons in the n-layer and the holes in the p-layer are coupled to emit energy corresponding to the energy gap between the conduction band and the valance band. It emits mainly in the form of heat or light, and emits in the form of light.

예를 들어, 질화물 반도체는 높은 열적 안정성과 폭넓은 밴드갭 에너지에 의해 광소자 및 고출력 전자소자 개발 분야에서 큰 관심을 받고 있다. 특히, 질화물 반도체를 이용한 청색(Blue) 발광소자, 녹색(Green) 발광소자, 자외선(UV) 발광소자 등은 상용화되어 널리 사용되고 있다.For example, nitride semiconductors have received great interest in the development of optical devices and high power electronic devices due to their high thermal stability and wide bandgap energy. Particularly, blue light emitting devices, green light emitting devices, ultraviolet (UV) light emitting devices, and the like using nitride semiconductors have been commercialized and widely used.

발광소자는 전극의 위치에 따라 수평형 타입(Lateral Type)과 수직형 타입(Vertical type)으로 구분할 수 있다.The light emitting device can be classified into a lateral type and a vertical type depending on the position of the electrode.

종래기술에 의한 발광소자는 활성층이 InGaN/GaN 양자우물과 양자벽이 주기적으로 반복 적층되어 있는 다중양자우물 구조를 갖는데, InGaN와 GaN는 격자상수가 서로 다르므로 격자부정합에 의해서 응력이 발생하고 이에 따라서 내부에 전기장이 발생한다. The conventional light emitting device has a multiple quantum well structure in which an active layer is periodically repeatedly stacked with InGaN / GaN quantum wells and quantum wells. Since InGaN and GaN have different lattice constants, stress is generated by lattice mismatching Therefore, an electric field is generated inside.

이에 따라 주입되는 전자가 전기장의 영향으로 활성층에서 발광에 효과적으로 참여하지 못하고 활성층을 지나서 정공주입층으로 누설되는 문제가 있다. 이러한 전류누설현상은 주입전류가 증가하면서 더욱 심해진다.As a result, the injected electrons can not effectively participate in the emission of light in the active layer due to the influence of the electric field, and leak into the hole injection layer through the active layer. This current leakage phenomenon becomes more serious as the injection current increases.

따라서, 고전류에서 작동하는 고출력 소자에서 전자의 누설에 따른 발광효율 저하문제가 있으며, 이러한 문제는 InGaN 양자우물의 In 조성이 많은 장파장 발광층에서 특히 심한 효율저하 문제를 야기한다. Therefore, there is a problem of lowering the luminous efficiency due to leakage of electrons in a high-output device operating at a high current. Such a problem causes a serious problem of efficiency deterioration particularly in a long wavelength light emitting layer having a large In composition of the InGaN quantum well.

실시예는 고 주입전류하에서도 고효율을 제공할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공하고자 한다.Embodiments provide a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system capable of providing high efficiency even under a high injection current.

실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층(112); 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상측에 배치되는 제1 질화물 활성층(111); 상기 제1 도전형 반도체층(112) 아래에 배치되는 제2 질화물 활성층(114); 상기 제2 질화물 활성층(114) 아래에 배치되는 제2 도전형 반도체층(116): 상기 제1 도전형 반도체층(112)에 전기적으로 연결되는 제1 전극(140); 및 상기 제2 도전형 반도체층(116)에 전극적으로 연결되는 제2 전극(130);을 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment includes a first conductive semiconductor layer 112; A first nitride active layer 111 disposed on the first conductive semiconductor layer 112; A second nitride active layer 114 disposed under the first conductive semiconductor layer 112; A second conductive semiconductor layer 116 disposed under the second nitride active layer 114; a first electrode 140 electrically connected to the first conductive semiconductor layer 112; And a second electrode 130 that is electrically connected to the second conductive semiconductor layer 116.

실시예에 따른 조명시스템은 상기 발광소자를 구비하는 발광모듈을 포함할 수 있다.An illumination system according to an embodiment may include a light emitting module having the light emitting element.

실시예는 주입전류 증가에 따라 발광양자효율 저하가 없는 제1 발광층을 구비하여 제2 발광층의 녹색 광원을 여기 시킴으로써 고 주입전류하에서도 고효율을 제공할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.Embodiments provide a light emitting device capable of providing a high efficiency even under a high injection current by exciting a green light source of a second light emitting layer by providing a first light emitting layer having no decrease in light emitting quantum efficiency according to an increase in injection current, Device package and illumination system.

도 1은 제1 실시예에 따른 발광소자의 단면도.
도 2와 도 3은 제1 실시예에 따른 발광소자의 부분 확대도.
도 4는 실시예에 따른 발광소자와 종래기술의 내부 양자효율 예시도.
도 5는 제2 실시예에 따른 발광소자의 단면도.
도 6은 제3 실시예에 따른 발광소자의 단면도.
도 7 내지 도 13은 실시예에 따른 발광소자의 제조방법 공정 단면도.
도 14는 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면도.
도 15는 실시예에 따른 조명 장치의 사시도.
1 is a sectional view of a light emitting device according to a first embodiment;
2 and 3 are partial enlarged views of a light emitting device according to the first embodiment.
4 is a diagram illustrating an example of the internal quantum efficiency of the light emitting device according to the embodiment and the related art.
5 is a sectional view of a light emitting device according to a second embodiment;
6 is a cross-sectional view of a light emitting device according to a third embodiment;
7 to 13 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment.
14 is a sectional view of a light emitting device package according to an embodiment.
15 is a perspective view of a lighting apparatus according to an embodiment.

실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on/over)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on/over)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, each layer (film), region, pattern or structure is referred to as being "on" or "under" the substrate, each layer (film) Quot; on "and" under "are intended to include both" directly "or" indirectly " do. Also, the criteria for top, bottom, or bottom of each layer will be described with reference to the drawings.

(실시예)(Example)

도 1은 제1 실시예에 따른 발광소자(100)의 단면도이며, 도 2a와 도 2b는 제1 실시예에 따른 발광소자의 A부분 및 B 부분 확대도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a light emitting device 100 according to a first embodiment, and FIGS. 2A and 2B are enlarged views of an A portion and a B portion of a light emitting device according to the first embodiment.

실시예에 따른 발광소자(100)는 제1 도전형 반도체층(112)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상측에 배치되는 제1 질화물 활성층(111)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112) 아래에 배치되는 제2 질화물 활성층(114)과, 상기 제2 질화물 활성층(114) 아래에 배치되는 제2 도전형 반도체층(116)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112)에 전기적으로 연결되는 제1 전극(140)과, 상기 제2 도전형 반도체층(116)에 전극적으로 연결되는 제2 전극(130);을 포함할 수 있다.The light emitting device 100 according to the embodiment includes a first conductive semiconductor layer 112, a first nitride active layer 111 disposed on the first conductive semiconductor layer 112, A second conductive semiconductor layer 116 disposed under the second nitride active layer 114 and a second conductive semiconductor layer 116 disposed under the second conductive semiconductor layer 112. The second conductive semiconductor layer 112 is disposed under the second conductive semiconductor layer 112, A first electrode 140 electrically connected to the second conductive semiconductor layer 116 and a second electrode 130 electrically connected to the second conductive semiconductor layer 116.

상기 제1 전극(140)은 상기 제2 도전형 반도체층(116)을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 접할 수 있다.The first electrode 140 may be in contact with the first conductive semiconductor layer 112 through the second conductive semiconductor layer 116.

실시예는 상기 제2 도전형 반도체층(116) 하측에 배치되는 오믹층(122)과 반사층(124)을 포함하고, 상기 제1 전극(140)은 상기 제2 도전형 반도체층(116), 상기 오믹층(122) 및 상기 반사층(124)을 관통하는 제1 관통 전극(142a) 및 하부 전극(144)을 포함할 수 있다.The exemplary embodiment of the present invention includes an ohmic layer 122 and a reflective layer 124 disposed below the second conductive semiconductor layer 116. The first electrode 140 may be formed on the second conductive semiconductor layer 116, And a first penetrating electrode 142a and a lower electrode 144 passing through the ohmic layer 122 and the reflective layer 124. [

실시예는 상기 제1 관통 전극(142a)을 감싸는 제1 절연층(152)을 포함할 수 있다.The embodiment may include a first insulating layer 152 surrounding the first penetrating electrode 142a.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 전자주입층으로서 n-GaN 기반으로 구성된 질화물반도체 박막일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The first conductive semiconductor layer 112 may be an n-GaN-based nitride semiconductor thin film as an electron injecting layer, but the present invention is not limited thereto.

상기 제2 도전형 반도체층(116)은 정공주입층으로서 p-GaN 기반의 질화물반도체 박막일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second conductive semiconductor layer 116 may be a p-GaN-based nitride semiconductor thin film as a hole injection layer, but the present invention is not limited thereto.

실시예에서 상기 제2 질화물 활성층(114)은 자외선을 발광할 수 있다.In an embodiment, the second nitride active layer 114 may emit ultraviolet light.

예를 들어, 도 2a와 같이 상기 제2 질화물 활성층(114)은 제2 양자벽(114B)과 제2 양자우물(114W)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 질화물 활성층(114)은 약 380~420nm near UV를 방출할 수 있는 발광층으로 InGaN 양자우물과 AlGaN 양자벽을 기반으로 구성된 다중양자우물구조 질화물반도체 박막층일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.For example, as shown in FIG. 2A, the second nitride active layer 114 may include a second quantum wall 114B and a second quantum well 114W. For example, the second nitride active layer 114 may be a multi-quantum well structure nitride semiconductor thin film layer based on an InGaN quantum well and an AlGaN quantum well as a light emitting layer capable of emitting near UV at about 380 to 420 nm, It is not.

다음으로, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 상기 제2 질화물 활성층(114)에서 발광되는 자외선에 의해 여기되어 가시광선을 발광할 수 있다.Next, the first active layer 111 may be excited by ultraviolet rays emitted from the second active layer 114 to emit visible light.

예를 들어, 도 2b와 같이 상기 제1 질화물 활성층(111)은 제1 양자벽(111B)과 제1 양자우물(111W)을 포함할 수 있다.For example, as shown in FIG. 2B, the first active layer 111 may include a first quantum wall 111B and a first quantum well 111W.

예를 들어, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 약 500~540nm 영역의 녹색 빛을 방출할 수 있는 발광층으로 InGaN 양자우물과 GaN 양자벽을 기반으로 구성된 다중양자우물구조 질화물반도체 박막층일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.For example, the first nitride active layer 111 may be a light emitting layer capable of emitting green light of about 500 to 540 nm, and may be a multiple quantum well structure nitride semiconductor thin film layer formed on the basis of an InGaN quantum well and a GaN quantum wall. But is not limited thereto.

상기 제2 전극(130)은 p-금속전극으로서, 반사막() 위에 위치하고, 제1 전극(140)과 전기적으로 분리될 있다.The second electrode 130 is a p-metal electrode. The second electrode 130 is disposed on the reflective layer 130 and electrically separated from the first electrode 140.

상기 제1 전극(140)은 n-금속전극으로서 제2 도전형 반도체층(116)과 제2 질화물 활성층(114)을 관통하여 제1 도전형 반도체층(112)까지 식각 등을 통하여 적어도 하나 이상의 구멍을 형성한 후 구멍의 측면에 제1 절연층(152)을 구비하고, 구멍 속에 금속을 구비하여, 해당 금속이 식각으로 노출된 제1 도전형 반도체층(112)과 n-Ohmic contact 을 할 수 있도록 구성될 수 있다.The first electrode 140 may be an n-metal electrode that penetrates the second conductive semiconductor layer 116 and the second nitride active layer 114 to etch the first conductive semiconductor layer 112, After the hole is formed, a first insulating layer 152 is provided on the side surface of the hole, and a metal is provided in the hole to make an n-Ohmic contact with the first conductive type semiconductor layer 112 in which the metal is exposed by etching Or < / RTI >

도 5는 제2 실시예에 따른 발광소자(102)의 단면도이다.5 is a sectional view of the light emitting device 102 according to the second embodiment.

상기 제1 전극(140)에서 관통 전극은 복수로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(140)은 제1 관통 전극(142a)과 제2 관통 전극()을 구비할 수 있으며, 상기 반사층(124)과는 제2 절연층(154)으로 분리될 수 있고, 개개의 구멍을 채우는 n-금속전극은 하부 전극(154)에 의해 서로 연결되도록 형성될 수 있다.A plurality of through electrodes may be formed in the first electrode 140. For example, the first electrode 140 may include a first penetrating electrode 142a and a second penetrating electrode, and may be separated from the reflective layer 124 by a second insulating layer 154 And the n-metal electrodes filling the individual holes can be formed to be connected to each other by the lower electrode 154.

절연층의 물질은 실리콘 산화물 혹은 실리콘 질화물등을 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The material of the insulating layer may include, but is not limited to, silicon oxide or silicon nitride.

실시예에 따른 발광소자()는 전자주입층인 제1 도전형 반도체층(112)에서 전자를 주입하고, 정공주입층인 제2 도전형 반도체층(116)에서 정공을 주입하여 제2 질화물 활성층(114)의 제2 양자우물(114W)에서 자외선 빛을 방출한다. In the light emitting device according to the embodiment, electrons are injected from the first conductivity type semiconductor layer 112 which is an electron injection layer, holes are injected from the second conductivity type semiconductor layer 116 which is a hole injection layer, And emits ultraviolet light from the second quantum well 114W of the second quantum well 114. [

방출되는 빛은 제2 양자우물(114W)에 의해서 양자역학적으로 결정되는 에너지 크기를 갖으며, 파장 영역이 약 380~420nm에 해당할 수 있으며, 파장은 인듐조성 및 우물두께를 제어하여 조절될 수 있다. 제2 양자우물(114W)에서 In 조성이 작을수록 단파장 빛을 방출한다.The emitted light has an energy magnitude quantitatively determined by the second quantum well 114W, a wavelength range of about 380 to 420 nm, and the wavelength can be controlled by controlling the indium composition and the well thickness have. The smaller the In composition in the second quantum well 114W, the shorter wavelength light is emitted.

방출되는 자외선은 제1 도전형 반도체층(112)을 투과하여 제1 질화물 활성층(111) 내의 제1 양자우물(111W)을 여기 시켜서 가시광선을 방출하게 한다. 예를 들어, 상기 제1 양자우물(111W)에서 발광되는 빛은 녹색 빛, 파란색 빛 등일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제1 양자우물(111W)의 In 조성은 제2 양자우물(114W)의 인듐 조성보다 더 많을 수 있다.The emitted ultraviolet rays are transmitted through the first conductivity type semiconductor layer 112 to excite the first quantum well 111W in the first nitride active layer 111 to emit visible light. For example, light emitted from the first quantum well 111W may be green light, blue light, or the like, but is not limited thereto. The In composition of the first quantum well 111W may be greater than the indium composition of the second quantum well 114W.

이하, 도 1 및 도 4를 참조하여 실시예에 따른 발광소자의 작동원리 및 효과를 좀 더 상술하기로 한다.Hereinafter, the operation principle and effects of the light emitting device according to the embodiment will be described in more detail with reference to FIGS. 1 and 4. FIG.

도 4는 실시예에 따른 발광소자의 주입전류에 따른 내부발광양자효율(E)을 보여주고 있다. 예를 들어, 실시예의 제2 질화물 활성층(114)에서 약 405nm 자외선 발광하는 경우의 예일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.FIG. 4 shows the internal light emitting quantum efficiency E according to the injection current of the light emitting device according to the embodiment. For example, the second nitride active layer 114 may be an example of ultraviolet light emission of about 405 nm, but the present invention is not limited thereto.

종래 질화물반도체 발광소자, 특히 녹색을 발광하는 발광소자는 In 조성이 20~30% 정도로 많은 인듐을 포함하는 InGaN 양자우물과 GaN 양자벽으로 구성되는 다중양자우물구조 발광층을 구비한다. 이러한 발광층은 InGaN와 GaN 사이에 큰 격자불일치로 큰 응력이 발생하고 이로 말미암아 내부 응력장이 형성되어서 결과적으로 주입전류 증가시 주입되는 전자는 내부응력장에 의해서 발광층을 벗어나서 정공주입층으로 누설되므로써 심한 효율저하를 갖는다(도 4의 R 참조).Conventionally, a nitride semiconductor light emitting device, particularly a light emitting device emitting green light, comprises an InGaN quantum well containing indium in an amount of about 20 to 30% of In and a multiple quantum well structure light emitting layer composed of GaN quantum wall. This luminescent layer generates a large stress due to a large lattice mismatch between InGaN and GaN, thereby forming an internal stress field. As a result, electrons injected when the injection current is increased are leaked from the light emitting layer to the hole injection layer by an internal stress field, (See R in Fig. 4).

이러한 발광효율저하 현상은 발광층내 인듐조성이 작아질수록 격자불일치 응력이 작아지므로 개선된다. 따라서, 실시예의 제2 질화물 활성층(114)에서의 제2 양자우물(114W)과 같이 양자우물의 인듐조성이 1~5% 정도의 소량의 인듐을 구비하는 자외선 질화물반도체 발광소자의 경우, 발광층 내에 격자불일치에 따른 응력이 작다. 따라서, 주입전류에 따른 발광효율저하가 매우 작다(도4의 E 참조).Such a phenomenon of lowering the luminous efficiency is improved as the lattice mismatch stress becomes smaller as the indium composition in the light emitting layer becomes smaller. Therefore, in the case of an ultraviolet nitride semiconductor light emitting device having a small amount of indium with an indium composition of about 1 to 5% in quantum wells like the second quantum well 114W in the second nitride active layer 114 of the embodiment, The stress due to lattice mismatch is small. Therefore, the decrease in the luminous efficiency due to the injection current is very small (see E in Fig. 4).

실시예에 의하면, 이러한 종래 녹색질화물반도체 발광소자가 갖는 문제를 해결하고자 자외선 발광층인 제2 질화물 활성층(114)을 구비하고, 가시광선, 예를 들어 녹색 발광층인 제1 질화물 활성층(111)을 구비한다. 제2 질화물 활성층(114)은 전기를 공급받아 빛을 방출시키고, 제1 질화물 활성층(111)은 자외선 빛을 공급하여 가시광선을 방출하는 원리를 갖는다.According to the embodiment, in order to solve the problems of the conventional green nitride semiconductor light emitting device, the second nitride active layer 114, which is an ultraviolet light emitting layer, is provided and a first nitride active layer 111, which is a green light emitting layer, do. The second nitride active layer 114 is supplied with electricity to emit light, and the first nitride active layer 111 has a principle of emitting ultraviolet light to emit visible light.

제2 질화물 활성층(114)으로부터 방출되는 자외선은 제1 질화물 활성층(111) 내 다수의 제1 양자우물(111W)에서 효과적으로 전자들을 여기 시키고, 여기된 전자들은 제1양자 우물(111W) 내에서 다시 정공들과 결합하여 양자역학적으로 녹색 빛을 방출할 수 있다.Ultraviolet rays emitted from the second nitride active layer 114 effectively excites electrons from the first quantum wells 111W in the first nitride active layer 111 and excited electrons are recombined in the first quantum well 111W Coupled with holes, it can emit green light quantitatively.

자외선 빛 에너지는 제1 질화물 활성층(111) 내 제1 양자벽(111B)의 에너지 밴드갭의 크기보다 작고, 제1 양자우물(111W)의 에너지 밴드갭의 크기보다 크므로, 제1 양자우물(111W) 내에서만 효과적으로 전자들을 여기시키고 제1 양자벽(111B)에서는 전자들을 여기시키지 못한다. Since the ultraviolet light energy is smaller than the energy band gap of the first quantum well 111B in the first nitride active layer 111 and larger than the energy band gap of the first quantum well 111W, 111W) and excites electrons in the first quantum wall 111B.

또한, 여기된 전자들의 에너지는 제1 양자벽(111B)을 넘지못하고 제1 양자우물(111W)내에 양자역학적으로 효과적으로 구속되므로써 제1 질화물 활성층(111)내 격자불일치에 의해 형성된 내부 전기장에 의한 전자의 누설현상이 없어서 우수한 발광효율을 구현할 수 있다.The energy of the excited electrons does not exceed the first quantum wall 111B and is confined in the first quantum well 111W quantitatively and effectively so that the electrons generated by the internal electric field formed by the lattice mismatch in the first nitride active layer 111 There is no leakage phenomenon of the light emitting layer, and excellent light emitting efficiency can be realized.

따라서, 실시예에 의하면 제2 질화물 활성층(114)인 자외선 발광층은 주입전류 증가시 발광효율저하가 없는 장점을 갖고, 이러한 자외선 발광층으로부터 제공되는 자외선 빛에 의해서 여기되는 가시광선 발광층, 예를 들어 녹색 발광층인 제1 질화물 활성층(111)은 제1 양자우물(111W)에 전자들이 효과적으로 구속됨으로써 전자의 누설현상이 없으므로 우수한 발광효율을 제공하게 된다.Therefore, according to the embodiment, the ultraviolet light emitting layer, which is the second nitride active layer 114, has an advantage that there is no decrease in luminous efficiency when the injection current is increased, and a visible light emitting layer excited by the ultraviolet light provided from the ultraviolet light emitting layer, The first nitride active layer 111, which is a light emitting layer, has excellent luminous efficiency because electrons are effectively restrained by the first quantum well 111W, thereby preventing leakage of electrons.

결과적으로, 실시예에 의하면 고주입전류에서도 발광효율저하가 없는 우수한 녹색질화물반도체 발광소자를 제공할 수 있다.As a result, according to the embodiment, it is possible to provide an excellent green nitride semiconductor light emitting device which does not have a reduction in luminous efficiency even at a high injection current.

도 6은 제3 실시예에 따른 발광소자(103)의 단면도이며, 제3 실시예는 제1 실시예 또는 제2 실시예의 기술적인 특징을 채용할 수 있다.6 is a sectional view of the light emitting device 103 according to the third embodiment, and the third embodiment can adopt the technical features of the first embodiment or the second embodiment.

제3 실시예서 제1 전극(140)은 상기 제1 질화물 활성층(111)과 상기 제1 도전형 반도체층(112)을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 접할 수 있다.Third Embodiment The first electrode 140 may be in contact with the first conductive type semiconductor layer 112 through the first active layer 111 and the first conductive type semiconductor layer 112.

예를 들어, 제1 전극(140)은 상기 제1 질화물 활성층(111)과 상기 제1 도전형 반도체층(112)을 관통하는 제3 관통전극(142c)과 상기 제3 관통전극(142c)의 측면을 감싸는 제2 절연층(152b)을 포함할 수 있다.For example, the first electrode 140 may include a third penetrating electrode 142c passing through the first nitride active layer 111 and the first conductive semiconductor layer 112, and a third penetrating electrode 142c passing through the first penetrating electrode 142c. And a second insulating layer 152b surrounding the side surface.

제3 실시예의 경우 제2 전극(130)은 오믹층(122) 또는 반사층(124)과 같은 수평폭을 구비할 수 있다.In the case of the third embodiment, the second electrode 130 may have the same horizontal width as the ohmic layer 122 or the reflective layer 124.

이상에서 설명하지 않은 도면번호나 구성들은 이하 제조방법에서 설명하기로 한다.Reference numerals and structures not described above will be described in the following manufacturing method.

이하, 도 7 내지 도 13을 참조하여 실시예에 따른 발광소자의 제조방법을 설명하면서, 이건발명의 기술적 특징을 기술하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 7 to 13, and technical features of the present invention will be described.

우선, 도 7과 같이 기판(105) 상에 제1 질화물 활성층(111)을 형성할 수 있다.First, the first nitride active layer 111 can be formed on the substrate 105 as shown in FIG.

상기 기판(105)은 절연성 기판 또는 도전성 기판으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(105)은 사파이어 기판(Al2O3), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge 중 적어도 하나로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The substrate 105 may be formed of an insulating substrate or a conductive substrate. For example, the substrate 105 may be formed of at least one of a sapphire substrate (Al 2 O 3 ), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP and Ge.

상기 기판(105) 위에는 버퍼층(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 버퍼층은 상기 제1 질화물 활성층(111)과 기판(105)의 격자 부정합을 완화시켜 줄 수 있으며, 버퍼층의 재료는 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.A buffer layer (not shown) may be formed on the substrate 105. The buffer layer may mitigate the lattice mismatch between the first nitride active layer 111 and the substrate 105. The material of the buffer layer may be a group III-V compound semiconductor such as GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN , And AlInN.

도 8과 같이, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 제1 양자벽(111B)과 제1 양자우물(111W)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 8, the first active layer 111 may include a first quantum wall 111B and a first quantum well 111W.

상기 제1 질화물 활성층(111)은 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The first nitride active layer 111 may be formed of at least one of a multi quantum well (MQW) structure, a quantum-wire structure, and a quantum dot structure. For example, the first nitride active layer 111 is formed by implanting trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) But is not limited thereto.

상기 제1 질화물 활성층(111)의 제1 양자우물(111W)/제1 양자벽(111B)은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. The first quantum well 111W and the first quantum wall 111B of the first active layer 111 are formed of InGaN / InGaN / InGaN, GaN / AlGaN, InAlGaN / GaN, GaAs (InGaAs) InGaP) / AlGaP, but the present invention is not limited thereto.

예를 들어, 상기 제1 질화물 활성층(111)은 약 500~540nm 영역의 녹색 빛을 방출할 수 있는 발광층으로 InGaN 양자우물과 GaN 양자벽을 기반으로 구성된 다중양자우물구조 질화물반도체 박막층일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.For example, the first nitride active layer 111 may be a light emitting layer capable of emitting green light of about 500 to 540 nm, and may be a multiple quantum well structure nitride semiconductor thin film layer formed on the basis of an InGaN quantum well and a GaN quantum wall. But is not limited thereto.

다음으로, 도 9와 같이, 상기 제1 질화물 활성층(111) 상에 제1 도전형 반도체층(112), 제2 질화물 활성층(114)이 형성될 수 있다.Next, as shown in FIG. 9, the first conductive semiconductor layer 112 and the second nitride active layer 114 may be formed on the first nitride active layer 111.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(112)이 n형 반도체층인 경우, 상기 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductive semiconductor layer 112 may be formed of a semiconductor compound. Group 3-Group 5, Group 2-Group 6, and the like, and the first conductive type dopant may be doped. When the first conductive semiconductor layer 112 is an n-type semiconductor layer, the first conductive dopant may include Si, Ge, Sn, Se, and Te as an n-type dopant.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 112 may include a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + . For example, the first conductive semiconductor layer 112 may be formed of one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, .

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 n형 GaN층을 형성할 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n 형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The n-type GaN layer may be formed on the first conductive semiconductor layer 112 using a chemical vapor deposition (CVD) method, molecular beam epitaxy (MBE), sputtering, or vapor phase epitaxy (HVPE) . The first conductive semiconductor layer 112 may be formed by depositing a silane containing an n-type impurity such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ) Gas (SiH 4 ) may be implanted and formed.

실시예에서 상기 제2 질화물 활성층(114)은 자외선을 발광할 수 있다.In an embodiment, the second nitride active layer 114 may emit ultraviolet light.

예를 들어, 도 10과 같이 상기 제2 질화물 활성층(114)은 제2 양자벽(114B)과 제2 양자우물(114W)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 질화물 활성층(114)은 약 380~420nm near UV를 방출할 수 있는 발광층으로 InGaN 양자우물과 AlGaN 양자벽을 기반으로 구성된 다중양자우물구조 질화물반도체 박막층일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.For example, as shown in FIG. 10, the second nitride active layer 114 may include a second quantum wall 114B and a second quantum well 114W. For example, the second nitride active layer 114 may be a multi-quantum well structure nitride semiconductor thin film layer based on an InGaN quantum well and an AlGaN quantum well as a light emitting layer capable of emitting near UV at about 380 to 420 nm, It is not.

다음으로, 도 11과 같이, 상기 제2 질화물 활성층(114) 상에 제2 도전형 반도체층(116)이 형성된다. Next, as shown in FIG. 11, the second conductive semiconductor layer 116 is formed on the second nitride active layer 114.

상기 제2 도전형 반도체층(116)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다.The second conductive semiconductor layer 116 may be formed of a semiconductor compound. 3-group-5, group-2-group-6, and the like, and the second conductivity type dopant may be doped.

예를 들어, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(116)이 p형 반도체층인 경우, 상기 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.For example, the second conductive semiconductor layer 116 may have a composition formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + And the like. When the second conductive semiconductor layer 116 is a p-type semiconductor layer, the second conductive dopant may include Mg, Zn, Ca, Sr, and Ba as p-type dopants.

상기 제2 도전형 반도체층(116)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 마그네슘(Mg)과 같은 p 형 불순물을 포함하는 비세틸 사이클로 펜타디에닐 마그네슘(EtCp2Mg){Mg(C2H5C5H4)2}가 주입되어 p형 GaN층이 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second conductive type semiconductor layer 116 is Bisei that the chamber comprises a p-type impurity such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3), nitrogen gas (N 2), and magnesium (Mg) butyl bicyclo The p-type GaN layer may be formed by implanting pentadienyl magnesium (EtCp 2 Mg) {Mg (C 2 H 5 C 5 H 4 ) 2 }, but the present invention is not limited thereto.

실시예에서 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 n형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 p형 반도체층으로 구현할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 또한 상기 제2 도전형 반도체층(116) 위에는 상기 제2 도전형과 반대의 극성을 갖는 반도체 예컨대 n형 반도체층(미도시)을 형성할 수 있다. 이에 따라 발광구조물(110)은 n-p 접합 구조, p-n 접합 구조, n-p-n 접합 구조, p-n-p 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다.In an embodiment, the first conductive semiconductor layer 112 may be an n-type semiconductor layer, and the second conductive semiconductor layer 116 may be a p-type semiconductor layer. Also, on the second conductive semiconductor layer 116, a semiconductor (e.g., an n-type semiconductor) (not shown) having a polarity opposite to that of the second conductive type may be formed. Accordingly, the light emitting structure 110 may have any one of an n-p junction structure, a p-n junction structure, an n-p-n junction structure, and a p-n-p junction structure.

다음으로, 제2 도전형 반도체층(116) 상에 오믹층(122) 및 반사층(124)이 형성될 수 있다.Next, the ohmic layer 122 and the reflective layer 124 may be formed on the second conductive semiconductor layer 116.

상기 오믹층(122)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며, 이러한 재료에 한정되는 않는다.The ohmic layer 122 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide ZnO, ZnO, IrOx, AlGaO, AlGaO, AZO, ATO, GZO, IZO, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf, NiO, RuOx / ITO, Ni / IrOx / And it is not limited to such a material.

상기 반사층(124)은 반사성이 우수하고, 전기적인 접촉이 우수한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 합금으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 반사층(124)은 상기 금속 또는 합금과 IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO 등의 투광성 전도성 물질을 이용하여 다층으로 형성할 수 있으며, 예를 들어, IZO/Ni, AZO/Ag, IZO/Ag/Ni, AZO/Ag/Ni 등으로 적층할 수 있다.The reflective layer 124 may be formed of a material excellent in reflectivity and excellent in electrical contact. For example, it may be formed of a metal or an alloy containing at least one of Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au and Hf. The reflective layer 124 may be formed of a multilayer structure using a metal or an alloy and a light transmitting conductive material such as IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, or ATO. For example, IZO / Ni, AZO / Ag, IZO / Ag / Ni, AZO / Ag / Ni, or the like.

다음으로, 12와 같이, 상기 제1 질화물 활성층(111)이 노출되도록 상기 기판(105)을 제거할 수 있다. 상기 기판(105)을 제거하는 방법은 고출력의 레이저를 이용하여 기판을 분리하거나 화학적 식각 방법을 사용할 수 있다. 또한, 상기 기판(105)은 물리적으로 갈아냄으로써 제거할 수도 있다. Next, the substrate 105 may be removed such that the first nitride active layer 111 is exposed, as shown in FIG. The substrate 105 may be removed using a high-power laser, or a chemical etching method may be used. In addition, the substrate 105 may be removed by physically grinding.

예를 들어, 레이저 리프트 오프 방법은 상온에서 소정의 에너지를 가해주게 되면 상기 기판(105)과 발광구조물의 계면에서 에너지가 흡수되어 발광구조물의 접합표면이 열분해 되어 기판(105)과 발광구조물을 분리할 수 있다.For example, in the laser lift-off method, energy is absorbed at the interface between the substrate 105 and the light emitting structure when a predetermined energy is applied at room temperature, and the bonding surface of the light emitting structure is thermally decomposed to separate the substrate 105 from the light emitting structure can do.

이후, 노출되는 언도프트 반도체층은 제거될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Thereafter, the exposed undoped semiconductor layer may be removed, but is not limited thereto.

다음으로, 상기 반사층(124), 오믹층(122), 제2 도전형 반도체층(116), 제2 질화물 활성층(114)을 관통하는 트렌치(T)를 형성하고, 트렌치(T)의 측면에 제1 절연층(152)을 형성할 수 있다.Next, a trench T penetrating through the reflective layer 124, the ohmic layer 122, the second conductivity type semiconductor layer 116, and the second nitride active layer 114 is formed, and the trench T is formed on the side surface of the trench T The first insulating layer 152 can be formed.

다음으로, 도 13과 같이, 상기 트렌치(T)를 메우는 제1 관통 전극(142a)을 형성하고, 상기 제1 관통 전극(142a) 상에 하부 전극(144)을 형성하여 제1 전극(140)을 형성할 수 있다.13, a first penetrating electrode 142a filling the trench T is formed, and a lower electrode 144 is formed on the first penetrating electrode 142a to form a first electrode 140, Can be formed.

상기 반사층(124) 상에는 제2 전극(130)이 형성될 수 있다.A second electrode 130 may be formed on the reflective layer 124.

실시예에 의하면, 이러한 종래 녹색질화물반도체 발광소자가 갖는 문제를 해결하고자 자외선 발광층인 제2 질화물 활성층(114)을 구비하고, 가시광선, 예를 들어 녹색 발광층인 제1 질화물 활성층(111)을 구비한다. 제2 질화물 활성층(114)은 전기를 공급받아 빛을 방출시키고, 제1 질화물 활성층(111)은 자외선 빛을 공급하여 가시광선을 방출하는 원리를 갖는다.According to the embodiment, in order to solve the problems of the conventional green nitride semiconductor light emitting device, the second nitride active layer 114, which is an ultraviolet light emitting layer, is provided and a first nitride active layer 111, which is a green light emitting layer, do. The second nitride active layer 114 is supplied with electricity to emit light, and the first nitride active layer 111 has a principle of emitting ultraviolet light to emit visible light.

제2 질화물 활성층(114)으로부터 방출되는 자외선은 제1 질화물 활성층(111) 내 다수의 제1 양자우물(111W)에서 효과적으로 전자들을 여기 시키고, 여기된 전자들은 제1양자우물(111W) 내에서 다시 정공들과 결합하여 양자역학적으로 녹색 빛을 방출할 수 있다.Ultraviolet rays emitted from the second nitride active layer 114 effectively excites electrons from the first quantum wells 111W in the first nitride active layer 111 and excited electrons are recombined in the first quantum well 111W Coupled with holes, it can emit green light quantitatively.

자외선 빛 에너지는 제1 질화물 활성층(111) 내 제1 양자벽(111B)의 에너지 밴드갭의 크기보다 작고, 제1 양자우물(111W)의 에너지 밴드갭의 크기보다 크므로, 제1 양자우물(111W) 내에서만 효과적으로 전자들을 여기시키고 제1 양자벽(111B)에서는 전자들을 여기시키지 못한다. Since the ultraviolet light energy is smaller than the energy band gap of the first quantum well 111B in the first nitride active layer 111 and larger than the energy band gap of the first quantum well 111W, 111W) and excites electrons in the first quantum wall 111B.

또한, 여기된 전자들의 에너지는 제1 양자벽(111B)을 넘지못하고 제1 양자우물(111W)내에 양자역학적으로 효과적으로 구속되므로써 제1 질화물 활성층(111)내 격자불일치에 의해 형성된 내부 전기장에 의한 전자의 누설현상이 없어서 우수한 발광효율을 구현할 수 있다.The energy of the excited electrons does not exceed the first quantum wall 111B and is confined in the first quantum well 111W quantitatively and effectively so that the electrons generated by the internal electric field formed by the lattice mismatch in the first nitride active layer 111 There is no leakage phenomenon of the light emitting layer, and excellent light emitting efficiency can be realized.

따라서, 실시예에 의하면 제2 질화물 활성층(114)인 자외선 발광층은 주입전류 증가시 발광효율저하가 없는 장점을 갖고, 이러한 자외선 발광층으로부터 제공되는 자외선 빛에 의해서 여기되는 가시광선 발광층, 예를 들어 녹색 발광층인 제1 질화물 활성층(111)은 제1 양자우물(111W)에 전자들이 효과적으로 구속됨으로써 전자의 누설현상이 없으므로 우수한 발광효율을 제공하게 된다.Therefore, according to the embodiment, the ultraviolet light emitting layer, which is the second nitride active layer 114, has an advantage that there is no decrease in luminous efficiency when the injection current is increased, and a visible light emitting layer excited by the ultraviolet light provided from the ultraviolet light emitting layer, The first nitride active layer 111, which is a light emitting layer, has excellent luminous efficiency because electrons are effectively restrained by the first quantum well 111W, thereby preventing leakage of electrons.

결과적으로, 실시예에 의하면 고주입전류에서도 발광효율저하가 없는 우수한 녹색질화물반도체 발광소자를 제공할 수 있다.As a result, according to the embodiment, it is possible to provide an excellent green nitride semiconductor light emitting device which does not have a reduction in luminous efficiency even at a high injection current.

실시예는 주입전류 증가에 따라 발광양자효율 저하가 없는 제1 발광층을 구비하여 제2 발광층의 녹색 광원을 여기 시킴으로써 고 주입전류하에서도 고효율을 제공할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.Embodiments provide a light emitting device capable of providing a high efficiency even under a high injection current by exciting a green light source of a second light emitting layer by providing a first light emitting layer having no decrease in light emitting quantum efficiency according to an increase in injection current, Device package and illumination system.

도 14는 실시예에 따른 발광소자가 적용된 발광소자 패키지(200)를 나타낸 도면이다.14 is a view illustrating a light emitting device package 200 to which a light emitting device according to an embodiment is applied.

도 14를 참조하면, 실시 예에 따른 발광소자 패키지는 몸체(205)와, 상기 몸체(205)에 배치된 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)과, 상기 몸체(205)에 제공되어 상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)과 전기적으로 연결되는 발광소자(100)와, 상기 발광소자(100)를 포위하는 몰딩부재(240)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 14, a light emitting device package according to an embodiment includes a body 205, first and second lead electrodes 213 and 214 disposed on the body 205, And a molding member 240 surrounding the light emitting device 100. The light emitting device 100 may include a light emitting device 100 that is provided on the first lead electrode 213 and the second lead electrode 214 and is electrically connected to the first lead electrode 213 and the second lead electrode 214, .

상기 몸체(205)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 상기 발광소자(100)의 주위에 경사면이 형성될 수 있다.The body 205 may be formed of a silicon material, a synthetic resin material, or a metal material, and an inclined surface may be formed around the light emitting device 100.

상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광소자(100)에 전원을 제공한다. 또한, 상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)은 상기 발광소자(100)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광소자(100)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.The first lead electrode 213 and the second lead electrode 214 are electrically isolated from each other and provide power to the light emitting device 100. [ The first lead electrode 213 and the second lead electrode 214 may increase the light efficiency by reflecting the light generated from the light emitting device 100. The heat generated from the light emitting device 100 To the outside.

상기 발광소자(100)는 상기 몸체(205) 위에 배치되거나 상기 제1 리드전극(213) 또는 제2 리드전극(214) 위에 배치될 수 있다.The light emitting device 100 may be disposed on the body 205 or may be disposed on the first lead electrode 213 or the second lead electrode 214.

상기 발광소자(100)는 상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)과 와이어 방식, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다.The light emitting device 100 may be electrically connected to the first lead electrode 213 and the second lead electrode 214 by a wire, flip chip, or die bonding method.

실시예에서 발광소자(100)는 제2 리드전극(214)에 실장되고, 제1 리드전극(213)과 와이어(230)에 의해 연결될 수 있으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.The light emitting device 100 may be mounted on the second lead electrode 214 and connected to the first lead electrode 213 by the wire 230. However, the embodiment is not limited thereto.

상기 몰딩부재(240)는 상기 발광소자(100)를 포위하여 상기 발광소자(100)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부재(240)에는 형광체(미도시)가 포함되어 상기 발광소자(100)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The molding member 240 surrounds the light emitting device 100 to protect the light emitting device 100. In addition, the molding member 240 may include a phosphor (not shown) to change the wavelength of light emitted from the light emitting device 100.

실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지는 복수 개가 기판 위에 어레이될 수 있으며, 상기 발광소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 렌즈, 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광소자 패키지, 기판, 광학 부재는 라이트 유닛으로 기능할 수 있다. 상기 라이트 유닛은 탑뷰 또는 사이드 뷰 타입으로 구현되어, 휴대 단말기 및 노트북 컴퓨터 등의 표시 장치에 제공되거나, 조명장치 및 지시 장치 등에 다양하게 적용될 수 있다. 또 다른 실시 예는 상술한 실시 예들에 기재된 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함하는 조명 장치로 구현될 수 있다. 예를 들어, 조명 장치는 램프, 가로등, 전광판, 전조등을 포함할 수 있다.A plurality of light emitting devices or light emitting device packages according to the embodiments may be arrayed on a substrate, and a lens, a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, etc., which are optical members, may be disposed on the light path of the light emitting device package. Such a light emitting device package, a substrate, and an optical member can function as a light unit. The light unit may be implemented as a top view or a side view type and may be provided in a display device such as a portable terminal and a notebook computer, or may be variously applied to a lighting device and a pointing device. Still another embodiment may be embodied as a lighting device including the light emitting device or the light emitting device package described in the above embodiments. For example, the lighting device may include a lamp, a streetlight, an electric signboard, and a headlight.

도 15는 실시예에 따른 조명장치의 분해 사시도이다. 15 is an exploded perspective view of a lighting apparatus according to an embodiment.

도 15를 참조하면, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(2100), 광원 모듈(2200), 방열체(2400), 전원 제공부(2600), 내부 케이스(2700), 소켓(2800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 부재(2300)와 홀더(2500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)은 실시 예에 따른 발광소자 패키지를 포함할 수 있다.15, the lighting apparatus according to the embodiment includes a cover 2100, a light source module 2200, a heat discharger 2400, a power supply unit 2600, an inner case 2700, and a socket 2800 . Further, the illumination device according to the embodiment may further include at least one of the member 2300 and the holder 2500. The light source module 2200 may include a light emitting device package according to an embodiment.

예컨대, 상기 커버(2100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상을 가지며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상으로 제공될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기 시킬 수 있다. 상기 커버(2100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.For example, the cover 2100 may have a shape of a bulb or a hemisphere, and may be provided in a shape in which the hollow is hollow and a part is opened. The cover 2100 may be optically coupled to the light source module 2200. For example, the cover 2100 may diffuse, scatter, or excite light provided from the light source module 2200. The cover 2100 may be a kind of optical member. The cover 2100 may be coupled to the heat discharging body 2400. The cover 2100 may have an engaging portion that engages with the heat discharging body 2400.

상기 커버(2100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(2100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(2100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다.The inner surface of the cover 2100 may be coated with a milky white paint. Milky white paints may contain a diffusing agent to diffuse light. The surface roughness of the inner surface of the cover 2100 may be larger than the surface roughness of the outer surface of the cover 2100. This is for sufficiently diffusing and diffusing the light from the light source module 2200 and emitting it to the outside.

상기 커버(2100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(2100)는 외부에서 상기 광원 모듈(2200)이 보이도록 투명할 수 있고, 불투명할 수 있다. 상기 커버(2100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The cover 2100 may be made of glass, plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), or the like. Here, polycarbonate is excellent in light resistance, heat resistance and strength. The cover 2100 may be transparent so that the light source module 2200 is visible from the outside, and may be opaque. The cover 2100 may be formed by blow molding.

상기 광원 모듈(2200)은 상기 방열체(2400)의 일 면에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열은 상기 방열체(2400)로 전도된다. 상기 광원 모듈(2200)은 광원부(2210), 연결 플레이트(2230), 커넥터(2250)를 포함할 수 있다.The light source module 2200 may be disposed on one side of the heat discharging body 2400. Accordingly, heat from the light source module 2200 is conducted to the heat discharger 2400. The light source module 2200 may include a light source unit 2210, a connection plate 2230, and a connector 2250.

상기 부재(2300)는 상기 방열체(2400)의 상면 위에 배치되고, 복수의 광원부(2210)들과 커넥터(2250)이 삽입되는 가이드홈(2310)들을 갖는다. 상기 가이드홈(2310)은 상기 광원부(2210)의 기판 및 커넥터(2250)와 대응된다.The member 2300 is disposed on the upper surface of the heat discharging body 2400 and has guide grooves 2310 through which the plurality of light source portions 2210 and the connector 2250 are inserted. The guide groove 2310 corresponds to the substrate of the light source unit 2210 and the connector 2250.

상기 부재(2300)의 표면은 빛 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 예를 들면, 상기 부재(2300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 상기 부재(2300)는 상기 커버(2100)의 내면에 반사되어 상기 광원 모듈(2200)측 방향으로 되돌아오는 빛을 다시 상기 커버(2100) 방향으로 반사한다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.The surface of the member 2300 may be coated or coated with a light reflecting material. For example, the surface of the member 2300 may be coated or coated with a white paint. The member 2300 reflects the light reflected by the inner surface of the cover 2100 toward the cover 2100 in the direction toward the light source module 2200. Therefore, the light efficiency of the illumination device according to the embodiment can be improved.

상기 부재(2300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)의 연결 플레이트(2230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 방열체(2400)와 상기 연결 플레이트(2230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 상기 부재(2300)는 절연 물질로 구성되어 상기 연결 플레이트(2230)와 상기 방열체(2400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 상기 방열체(2400)는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열과 상기 전원 제공부(2600)로부터의 열을 전달받아 방열한다.The member 2300 may be made of an insulating material, for example. The connection plate 2230 of the light source module 2200 may include an electrically conductive material. Therefore, electrical contact can be made between the heat discharging body 2400 and the connecting plate 2230. The member 2300 may be formed of an insulating material to prevent an electrical short circuit between the connection plate 2230 and the heat discharging body 2400. The heat discharger 2400 receives heat from the light source module 2200 and heat from the power supply unit 2600 to dissipate heat.

상기 홀더(2500)는 내부 케이스(2700)의 절연부(2710)의 수납홈(2719)을 막는다. 따라서, 상기 내부 케이스(2700)의 상기 절연부(2710)에 수납되는 상기 전원 제공부(2600)는 밀폐된다. 상기 홀더(2500)는 가이드 돌출부(2510)를 갖는다. 상기 가이드 돌출부(2510)는 상기 전원 제공부(2600)의 돌출부(2610)가 관통하는 홀을 갖는다.The holder 2500 blocks the receiving groove 2719 of the insulating portion 2710 of the inner case 2700. Therefore, the power supply unit 2600 housed in the insulating portion 2710 of the inner case 2700 is sealed. The holder 2500 has a guide protrusion 2510. The guide protrusion 2510 has a hole through which the protrusion 2610 of the power supply unit 2600 passes.

상기 전원 제공부(2600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 상기 광원 모듈(2200)로 제공한다. 상기 전원 제공부(2600)는 상기 내부 케이스(2700)의 수납홈(2719)에 수납되고, 상기 홀더(2500)에 의해 상기 내부 케이스(2700)의 내부에 밀폐된다.The power supply unit 2600 processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides the electrical signal to the light source module 2200. The power supply unit 2600 is housed in the receiving groove 2719 of the inner case 2700 and is sealed inside the inner case 2700 by the holder 2500.

상기 전원 제공부(2600)는 돌출부(2610), 가이드부(2630), 베이스(2650), 연장부(2670)를 포함할 수 있다.The power supply unit 2600 may include a protrusion 2610, a guide 2630, a base 2650, and an extension 2670.

상기 가이드부(2630)는 상기 베이스(2650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 가이드부(2630)는 상기 홀더(2500)에 삽입될 수 있다. 상기 베이스(2650)의 일 면 위에 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원 모듈(2200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원 모듈(2200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The guide portion 2630 has a shape protruding outward from one side of the base 2650. The guide portion 2630 may be inserted into the holder 2500. A plurality of components may be disposed on one side of the base 2650. The plurality of components include, for example, a DC converter for converting AC power supplied from an external power source into DC power, a driving chip for controlling driving of the light source module 2200, an ESD (ElectroStatic discharge) protective device, and the like, but the present invention is not limited thereto.

상기 연장부(2670)는 상기 베이스(2650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750) 내부에 삽입되고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받는다. 예컨대, 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750)의 폭과 같거나 작게 제공될 수 있다. 상기 연장부(2670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결되고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(2800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The extension portion 2670 has a shape protruding outward from the other side of the base 2650. The extension portion 2670 is inserted into the connection portion 2750 of the inner case 2700 and receives an external electrical signal. For example, the extension portion 2670 may be provided to be equal to or smaller than the width of the connection portion 2750 of the inner case 2700. One end of each of the positive wire and the negative wire is electrically connected to the extension portion 2670 and the other end of the positive wire and the negative wire are electrically connected to the socket 2800 .

상기 내부 케이스(2700)는 내부에 상기 전원 제공부(2600)와 함께 몰딩부를 포함할 수 있다. 몰딩부는 몰딩 액체가 굳어진 부분으로서, 상기 전원 제공부(2600)가 상기 내부 케이스(2700) 내부에 고정될 수 있도록 한다.The inner case 2700 may include a molding part together with the power supply part 2600. The molding part is a hardened portion of the molding liquid so that the power supply unit 2600 can be fixed inside the inner case 2700.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects and the like illustrated in the embodiments can be combined and modified by other persons skilled in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents of such combinations and modifications should be construed as being included in the scope of the embodiments.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It can be seen that the modification and application of branches are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

제1 도전형 반도체층(112);
제1 질화물 활성층(111);
제2 질화물 활성층(114);
제2 도전형 반도체층(116):
제1 전극(140); 제2 전극(130);
A first conductive semiconductor layer 112;
A first nitride active layer 111;
A second nitride active layer 114;
The second conductivity type semiconductor layer 116:
A first electrode 140; A second electrode 130;

Claims (8)

제1 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층 상측에 배치되는 제1 질화물 활성층;
상기 제1 도전형 반도체층 아래에 배치되는 제2 질화물 활성층;
상기 제2 질화물 활성층 아래에 배치되는 제2 도전형 반도체층:
상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되는 제1 전극; 및
상기 제2 도전형 반도체층에 전극적으로 연결되는 제2 전극;을 포함하는 발광소자.
A first conductive semiconductor layer;
A first nitride active layer disposed on the first conductive semiconductor layer;
A second nitride active layer disposed under the first conductive semiconductor layer;
A second conductive semiconductor layer disposed under the second nitride active layer;
A first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer; And
And a second electrode that is electromagnetically coupled to the second conductive type semiconductor layer.
제1 항에 있어서,
상기 제2 질화물 활성층은
자외선을 발광하는 발광소자.
The method according to claim 1,
The second nitride active layer
A light emitting element that emits ultraviolet rays.
제2 항에 있어서,
상기 제1 질화물 활성층은 상기 제2 질화물 활성층에서 발광되는 자외선에 의해 여기되어 가시광선을 발광하는 발광소자.
3. The method of claim 2,
And the first nitride active layer is excited by ultraviolet light emitted from the second nitride active layer to emit visible light.
제3 항에 있어서,
상기 제1 질화물 활성층은
상기 제2 질화물 활성층에서 발광되는 자외선에 의해 여기되어 녹색빛을 발광하는 발광소자.
The method of claim 3,
The first nitride active layer
And the second active layer is excited by ultraviolet rays emitted from the second nitride active layer to emit green light.
제1 항 내지 제4 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 제1 전극은
상기 제2 도전형 반도체층을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층과 접하는 발광소자.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The first electrode
And a second conductive semiconductor layer formed on the first conductive semiconductor layer.
제5 항에 있어서,
상기 제2 도전형 반도체층 하측에 배치되는 오믹층과 반사층을 더 포함하고,
상기 제1 전극은
상기 제2 도전형 반도체층, 상기 오믹층 및 상기 반사층을 관통하는 제1 관통 전극을 포함하고,
상기 제1 관통 전극을 감싸는 제1 절연층을 포함하는 발광소자.
6. The method of claim 5,
Further comprising an ohmic layer and a reflective layer disposed below the second conductive type semiconductor layer,
The first electrode
And a first penetrating electrode penetrating the second conductivity type semiconductor layer, the ohmic layer, and the reflective layer,
And a first insulating layer surrounding the first penetrating electrode.
제1 항 내지 제4 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 제1 전극은
상기 제1 질화물 활성층과 상기 제1 도전형 반도체층을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층과 접하는 발광소자.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The first electrode
And the first conductive semiconductor layer is in contact with the first nitride active layer and the first conductive semiconductor layer.
제1 항 내지 제 4항 중 어느 하나의 항에 기재된 발광소자를 구비하는 발광유닛을 포함하는 조명시스템.An illumination system comprising a light emitting unit comprising the light emitting element according to any one of claims 1 to 4.
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