KR20150141226A - 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기판처리장치는, 내부에 피처리물을 처리공간이 형성되는 공정챔버와, 상기 공정챔버 상부에 설치되고, 상기 공정챔버의 상측방향을 따라 복수의 플레이트가 적층되며, 독립적으로 개폐가능하도록 이루어진 다단 도어를 포함하여, 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다.

Description

기판처리장치{Apparatus for Substrate treatment}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공정 챔버에 복층으로 이루어져 독립적으로 개폐가능한 도어가 구비되어 설비의 유지보수가 용이한 기판처리장치에 관한 것이다.
일반적으로 급속열처리 장치는 고속 열처리(Rapid Thermal Anealing), 고속 열세정(Rapid Thermal Cleaning), 고속 열화학 증착(Rapid Thermal Vap. or Deposition) 등의 기판의 열처리를 위한 장비이다.
이러한 급속열처리 장치는 한국등록특허공보 10-0807120에 개시된 바와 같이, 가열램프에서 방사되는 가열광을 석영 윈도우에 통과시켜 공정챔버 내의 기판에 열을 전달한다.
그런데, 종래의 급속열처리 장치를 분해하는 과정에서 파손이 발생할 수 있다. 예를 들어, 가열램프를 교체하거나 공정챔버를 청소하기 위해서는 급속열처리 장치를 분해해야 한다. 이때, 석영 윈도우가 깨지기 쉽기 때문에 분해작업을 진행할 때 파손될 수 있다. 석영 윈도우가 파손되면, 기판에 대한 열처리 작업을 수행할 수 없고 석영 윈도우 전체를 교체하기 때문에, 작업의 효율이 감소하고 수리비가 증가하는 문제가 생길 수 있다.
또한, 급속열처리 장치를 분해하면서 구성요소들을 체결해주는 체결볼트를 분실하여 장치를 다시 조립하지 못하는 문제가 발생할 수 있다.
한국등록특허공보 제10-0807120호
본 발명은 복층으로 이루어져 독립적으로 개폐가능한 도어가 구비되는 기판처리장치를 제공한다.
본 발명은 설비의 유지보수가 용이한 기판처리장치를 제공한다.
본 발명은, 내부에 피처리물을 처리공간이 형성되는 공정챔버와, 상기 공정챔버 상부에 설치되고, 상기 공정챔버의 상측방향을 따라 복수의 플레이트가 적층되며, 독립적으로 개폐가능하도록 이루어진 다단 도어를 포함한다.
상기 공정챔버 내부로 가열광을 통과시키는 윈도우와, 상기 윈도우를 통해 가열광을 방사하는 가열램프를 포함하고,
상기 다단 도어는, 내부에 상기 윈도우가 수납되는 공간이 형성되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트 상부에 배치되고 내부에 가열램프가 수납되는 공간이 형성되는 제2 플레이트를 포함한다.
상기 제2 플레이트는, 상기 가열램프가 관통하고 상기 가열광을 상기 처리공간으로 반사시키는 제1 서브플레이트와 상기 가열램프를 지지해주는 제2 서브플레이트를 포함하고, 상기 제1 서브플레이트와 상기 제2 서브플레이트는 독립적으로 개폐가능하하다.
상기 제1 서브플레이트 하부면의 상기 가열램프가 관통하는 부분이 오목하게 형성된다.
상기 제1 서브플레이트 하부면에는 반사층이 코팅된다.
상기 다단 도어에 온도를 측정하는 온도센서가 구비되고, 상기 온도센서의 측정값이 설정값 이상이면 이상 신호를 발생시킨다.
상기 다단 도어에 상기 제1 플레이트, 상기 제1 서브플레이트, 또는 상기 제2 서브플레이트의 개폐여부를 감지하는 감지센서가 구비된다.
상기 공정챔버와 상기 제1 플레이트를 관통하여 상기 공정챔버와 상기 제1 플레이트를 체결하는 제1 스프링볼트, 및 상기 제2 서브플레이트와 상기 제1 서브플레이트를 관통하여, 상기 제1 플레이트에 체결되는 제2 스프링볼트를 포함한다.
상기 제1 플레이트의 상기 제1 스프링볼트가 관통하는 부분과 상기 제2 서브플레이트의 상기 제2 스프링이 볼트가 관통하는 부분에 턱이 형성되고,
상기 제1 스프링볼트의 헤드와 상기 제1 플레이트의 턱 사이에 탄성력을 가지는 제1 스프링이 구비되며, 상기 제1 스프링볼트의 체결부가 상기 제1 플레이트의 턱에 걸리고,
상기 제2 스프링볼트의 헤드와 상기 제2 서브플레이트의 턱 사이에 탄성력을 가지는 제2 스프링이 구비되며, 상기 제2 스프링볼트의 체결부가 상기 제2 서브플레이트의 턱에 걸린다.
상기 제1 서브플레이트와 상기 제2 서브플레이트는 체결볼트로 연결된다.
상기 제1 플레이트에 공정가스를 분사하는 분사홀이 형성된다.
상기 다단 도어에 상기 가열램프를 냉각시키는 냉각가스가 유입되는 냉각공간이 형성된다.
상기 윈도우는 석영 윈도우를 포함하고, 상기 제1 플레이트는 상기 윈도우와 함께 이동한다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치는, 공정챔버 상부에 복층으로 이루어진 도어가 구비될 수 있다. 따라서, 분해작업시 설비가 파손되는 것을 억제하거나 방지할 수 있다.
도어는 석영 윈도우를 구비하는 플레이트와 가열램프를 구비하는 플레이트로 분리될 수 있다. 따라서, 공정챔버 내부 청소시 석영 윈도우를 별도로 분리하지 않고 석영 윈도우를 구비하는 도어를 개방시키기 때문에, 작업자가 직접 석영 윈도우를 만지지 않아 석영 윈도우가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 가열램프에 대한 교체작업시에도 가열램프를 구비하는 부분만 개방하여 교체작업을 진행하기 때문에 공정챔버 내부의 오염을 방지하고 진공을 유지할 수 있다. 이에, 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다.
또한, 복수의 플레이트를 체결해주는 체결볼트가 외부로 돌출되는 것을 방지하는 구조로 형성되어 볼트 분해시 볼트의 분실위험이 감소할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 다단 도어를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 제2 스프링볼트를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 다단 도어의 작동을 나타내는 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 발명을 상세하게 설명하기 위해 도면은 과장될 수 있고, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치를 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 다단 도어(200)를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 제2 스프링볼트(520)를 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 다단 도어(200)의 작동을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치는 내부에 피처리물을 처리공간이 형성되는 공정챔버(100)와, 상기 공정챔버(100) 상부에 설치되고, 상기 공정챔버(100)의 상측방향을 따라 복수의 플레이트가 적층되어 독립적으로 개폐가능하도록 이루어진 다단 도어(200)를 포함한다. 또한, 공정챔버(100) 내부로 가열광을 통과시키는 윈도우(300)와, 상기 윈도우(300)를 통해 가열광을 방사하는 가열램프(400)를 포함할 수 있다.
공정챔버(100)는 피처리물 즉, 기판의 열처리 공간인 내부공간을 가지는데, 열처리 공간 내부에 기판이 안착된다. 공정챔버(100)는 내부가 비어있는 사각형 통 형상으로 제작될 수 있다. 공정챔버(100)의 일측면 및 타측면 각각에는 기판의 출입을 위한 출입구(미도시)가 마련되며, 어느 하나의 출입구는 이송 모듈(미도시)과 연결될 수 있다. 또한, 공정챔버(100)의 상부가 개방될 수 있다. 따라서, 공정챔버(100) 내부를 청소할 때, 공정챔버(100) 상부의 개방된 부분을 통해 청소작업을 수행할 수 있다. 그러나 공정챔버(100)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
윈도우(300)는 공정챔버(100)의 개방된 부분에 배치되어 가열램프(400)와 후술될 제1 서브플레이트(221)에서 반사되는 가열광을 투과시켜 기판에 전달한다. 윈도우(300)는 다단 도어(200)와 공정챔버(100) 사이에서 공정챔버(100)의 기밀을 유지시켜 공정챔버(100) 내부가 진공이 유지되도록 할 수 있다. 따라서, 외부 환경 예를 들어, 압력, 가스, 오염물질 등으로부터 공정챔버(100)를 보호할 수 있다. 또한, 윈도우(300)는 가열램프(400)를 보호하고, 가열램프(400)에서 발생하는 열로 인해서 생기는 부산물이 공정챔버(100) 내부의 열처리 공간에 위치한 기판으로 떨어지는 것을 막아줄 수 있다. 이때, 윈도우(300)는 석영 윈도우일 수 있다. 그러나, 윈도우(300)의 재질은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
가열램프(400)는 윈도우(300) 상측에 복수개가 배치되어 공정챔버(100)를 향하여 가열광을 방사할 수 있다. 가열램프(400)가 배치되는 위치에 대해서는 후술되는 내용에서 상세히 설명하기로 한다.
도 2를 참조하면, 다단 도어(200)는, 내부에 상기 윈도우(300)가 수납되는 공간이 형성되는 제1 플레이트(210)와, 상기 제1 플레이트(210) 상부에 배치되고 내부에 가열램프(400)가 수납되는 공간이 형성되는 제2 플레이트(220)를 포함한다. 이때, 다단 도어(200) 내부에 냉각가스가 이동하는 냉각유로가 형성될 수 있다. 따라서, 가열램프(400)가 과열되어 녹거나 파손되기 전에 가열램프(400)를 냉각시켜 가열램프(400)가 파손되는 것을 방지할 수 있다.
제1 플레이트(210)는 상하부가 개방되고 내부에 윈도우(300)가 장착된다. 그리고, 제1 플레이트(210)는 공정챔버(100) 상부의 개방된 부분에 밀착되어 공정챔버(100) 내부를 개방하거나 밀폐시킬 수 있다. 즉, 제1 플레이트(210)는 공정챔버(100)의 개폐기 역할하여 회전 또는 이동하면서 공정챔버(100)를 개폐할 수 있다. 이에, 제1 플레이트(210)가 이동하면 윈도우(300)도 일체로 함께 이동하기 때문에, 파손되기 쉬운 윈도우(300)에 대한 별도의 해체작업 없이 공정챔버(100)의 내부를 개방할 수 있다. 또한, 제1 플레이트(210)에는 공정가스를 분사하는 분사홀(미도시)이 형성될 수 있다. 즉, 기판을 처리하기 위한 공정가스를 분사하기 위해, 공정챔버(100) 내부와 접촉하는 제1 플레이트(210) 하부에 분사홀이 형성될 수 있다. 그러나, 제1 플레이트(210)의 구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
이때, 제1 스프링볼트(510)가 공정챔버(100)와 제1 플레이트(210)를 관통하여, 공정챔버(100)와 제1 플레이트(210)를 체결할 수 있다. 제1 플레이트(210)의 제1 스프링볼트(510)가 관통하는 부분에 턱이 형성될 수 있다. 즉, 제1 플레이트(210)의 턱이 형성된 부분의 관통구 직경이 관통구의 다른 직경보다 좁아질 수 있다. 제1 스프링볼트(510)는 공정챔버(100)와 체결되는 체결부 및 제1 플레이트(210)의 턱과 제1 스프링볼트(510) 사이에 구비되는 제1 스프링을 포함한다. 제1 스프링은 탄성력을 가지고 있고 제1 스프링볼트(510)를 상측으로 이동시키려고 한다. 따라서, 제1 스프링볼트(510)의 체결부를 제1 스프링의 탄성력보다 강하게 공정챔버(100)에 체결하면 제1 스프링의 높이가 감소할 수 있다. 한편, 체결부를 공정챔버(100)에서 풀어주면 제1 스프링의 높이가 증가하면서 제1 스프링볼트(510)를 상측으로 이동시켜 공정챔버(100)와 제1 플레이트(210)를 분리할 수 있다. 그러나, 제1 스프링볼트(510)의 체결부가 제1 플레이트(210)의 턱에 걸려, 제1 스프링볼트(510)가 제1 플레이트(210) 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다. 이에, 제1 스프링볼트(510)를 풀어주더라도 제1 스프링볼트(510)의 분실위험이 감소할 수 있다.
제2 플레이트(220)는, 상기 가열램프(400)가 관통하고 상기 가열광을 상기 처리공간으로 반사시키는 제1 서브플레이트(221)와 상기 가열램프(400)가 관통되고 상기 가열램프(400)를 지지해주는 제2 서브플레이트(222)를 포함한다. 이때, 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)는 서로 분리가능할 수 있다.
제1 서브플레이트(221)는 제1 플레이트(210) 상부에 배치된다. 가열램프(400)가 제1 서브플레이트(221)를 관통하고, 제1 서브플레이트(221)의 가열램프(400)가 관통하는 부분이 오목하게 형성될 수 있다. 즉, 가열램프(400)의 가열광을 공정챔버(100)로 반사하기 위해 제1 서브플레이트(221)의 가열램프(400)가 관통하는 부분이 오목한 모양으로 형성될 수 있다. 이때, 제1 서브플레이트(221) 하부면에는 반사층이 코팅될 수 있다. 이러한 코팅층은 가열광에 대한 반사효율을 향상시켜 기판에 대한 열처리효율이 향상될 수 있다. 그러나, 제1 서브플레이트(221)의 구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
제2 서브플레이트(222)는 제1 서브플레이트(221) 상부에 배치된다. 가열램프(400)가 제2 서브플레이트(222)를 관통하고, 제2 서브플레이트(222)의 내부에는 냉각공간(222a)이 형성될 수 있다. 즉, 제2 서브플레이트(222)의 냉각공간(222a)으로 냉각가스를 공급하여 이를 관통하는 가열램프(400)를 직접으로 냉각시킬 수 있다. 냉각가스는 제1 서브플레이트(221) 하부로 공급되어 제1 서브플레이트(221)의 가열램프(400)가 관통하는 부분을 통해 제2 서브플레이트(222) 내부에 형성된 냉각공간(222a)으로 유입된다. 그리고 냉각가스는 냉각공간(222a) 내에서 복수의 가열램프(400)와 직접 접촉하여 가열램프(400)를 냉각시키고, 제2 서브플레이트(222)에 형성되는 배출구(미도시)를 통해 냉각공간(222a) 외부로 배출될 수 있다. 따라서, 하나의 공간에서 복수의 가열램프(400)를 냉각하기 때문에, 가열램프(400)를 냉각하기 위해 가열램프(400)마다 개별적으로 냉각가스가 이동하는 유로를 형성할 때보다 플레이트들의 가공이 용이해질 수 있다.
또한, 냉각가스가 가열램프(400)를 용이하게 냉각시켜 가열램프(400)가 과열되어 파손되거나 주위의 설비가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 냉각가스는 부도체이기 때문에, 도체 또는 반도체인 냉각수를 이용하여 가열램프(400) 등의 전기부품을 냉각할 때보다 쇼트의 위험이 감소할 수 있다. 이에, 설비의 수명이 향상될 수 있다. 그러나, 가열램프(400)를 냉각시키는 방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
도 3을 참조하면, 제2 스프링볼트(520)가 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)를 관통하여 제1 플레이트(210)에 체결될 수 있다. 제2 서브플레이트(222)의 제2 스프링볼트(520)가 관통하는 부분에 턱이 형성될 수 있다. 즉, 제2 서브플레이트(222)의 턱이 형성된 부분의 관통구 직경이 관통구의 다른 직경보다 좁아질 수 있다. 제2 스프링볼트(520)는 제1 플레이트(210)와 체결되는 체결부(521) 및 제2 서브플레이트(222)의 턱과 제2 스프링볼트(520) 사이에 구비되는 제2 스프링(522)을 포함한다. 체결부(521)에는 제1 플레이트(210)에 형성되는 홈의 깊이만큼 나사산이 형성되어 제1 서브플레이트(221)와는 체결되지 않고 관통할 수 있다. 이에, 제2 스프링볼트(520)를 풀어주면, 제2 스프링볼트(520)의 체결부(521)가 제1 플레이트(210)에서 분리되어 제1 서브플레이트(221) 내에서 상하로 이동할 수 있다. 제2 스프링(522)은 탄성력을 가지고 있고 제2 스프링볼트(520)를 상측으로 이동시키려고 한다. 따라서, 제2 스프링볼트(520)의 체결부(521)를 제2 스프링(522)의 탄성력보다 강하게 제1 플레이트(210)에 체결하면 제2 스프링(522)의 높이가 감소할 수 있다.
이때, 체결볼트(530)가 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)를 관통하여 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)에 체결될 수 있다. 따라서, 제2 스프링볼트(522)를 풀어주더라도 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)가 분리되지 않을 수 있다. 그리고, 체결볼트(530)를 풀어주거나 조여주면, 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)를 분리하거나 조립할 수 있다. 따라서, 제2 서브플레이트(222) 내부에 냉각공간(222a)을 가공한 후 제2 서브플레이트(222)와 제1 서브플레이트(221)를 조립할 수 있어 제2 서브플레이트(222) 내부에 냉각공간을 가공하기가 용이해질 수 있다. 즉, 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)가 일체로 제작되면, 플레이트 내부에 냉각공간을 가공하기가 어려워질 수 있다. 그러나, 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)의 연결방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
한편, 체결부(521)를 제1 플레이트(210)에서 풀어주면 제2 스프링(522)의 높이가 증가하면서 제2 스프링볼트(520)를 상측으로 이동시켜 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)를 제1 플레이트(210)에서 분리할 수 있다. 그러나, 제2 스프링볼트(520)의 체결부(521)가 제2 서브플레이트(522)의 턱에 걸려, 제2 스프링볼트(520)가 제2 서브플레이트(222) 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다. 이에, 제2 스프링볼트(520)를 풀어주더라도 제2 스프링볼트(520)의 분실위험이 감소할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고 다양한 방법으로 제1 플레이트(210), 제1 서브플레이트(221), 제2 서브플레이트(222)를 서로 체결하거나 분리할 수 있다.
또한, 제2 서브플레이트(222)는 힌지부(240)와 연결되어 개폐역할을 할 수 있다. 힌지부(240)의 일단은 공정챔버(100)에 고정되고, 타단은 제2 서브플레이트(222)와 회전가능하게 연결된다. 예를 들어, 제1 스프링볼트(510)를 풀고 제2 서브플레이트(222)가 힌지부(240)를 통해 이동하면, 이와 체결된 제1 서브플레이트(221)와 제1 플레이트(210)도 함께 이동하여 공정챔버(100)가 개방되거나 밀폐될 수 있다. 한편, 제2 스프링볼트(520)를 풀고 제2 서브플레이트(222)가 힌지부(240)를 통해 이동하면, 이와 체결된 제1 서브플레이트(221)도 함께 이동하고, 제1 플레이트(210)는 공정챔버(100) 내부를 계속 밀폐시켜줄 수 있다.
제2 서브플레이트(222)의 상부에 케이스(230)가 구비될 수 있다. 케이스(230)는 내부공간을 가지고 제2 서브플레이트(222)의 상부를 덮을 수 있다. 이에, 제2 서브플레이트(222) 상부로 돌출되는 가열램프(400) 등의 전기단자들을 덮어 외부로부터 보호해줄 수 있다.
제1 서브플레이트(221) 또는 제2 서브플레이트(222) 중 적어도 어느 한 부분에 온도센서(미도시)가 구비될 수 있다. 온도센서는 제1 서브플레이트(221) 또는 제2 서브플레이트(222)의 내부나 가열램프(400)의 온도를 측정한다.
다단 도어(200)에는 제1 플레이트(210), 제1 서브플레이트(221), 또는 제2 서브플레이트(222)의 개폐여부를 감지하는 감지센서(250)가 구비될 수 있다.
제어기(미도시)는 온도센서 또는 감지센서(250)와 연결되어 다단 도어(200)나 가열램프(400)의 작동을 제어할 수 있다. 온도센서에서 측정된 값이 제어기에 미리 설정된 값 이상이면 이상 신호를 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 제어기는 작업자가 다단 도어(200)를 개방하다가 화상 등의 부상을 당하는 것을 방지하기 위해 힌지부(250)의 작동을 제어하여 다단 도어(200)가 개방되는 것을 막을 수 있다. 또는, 가열램프(400)가 과열되어 파손되는 것을 방지하기 위해, 가열램프(400)가 일정온도 이상으로 뜨거워지면 가열램프(400)의 작동을 중단시켜 설비의 파손을 방지할 수 있다.
그리고, 제어기가 감지센서(250)로부터 제1 플레이트(210), 제1 서브플레이트(221), 또는 제2 서브플레이트(222)가 개방되었다는 신호를 받으면, 가열램프(400)가 작동하지 못하게 할 수 있다. 즉, 플레이트들(210,221,222)이 개방된 상태에서 기판처리작업을 수행하면, 주변 설비나 작업자의 안전에 위협이 되기 때문에, 가열램프(400)가 작동하지 못하게 하여 작업자 또는 설비의 사고를 방지할 수 있다.
하기에서는 다단 도어(200)의 개폐방법에 대해 설명하기로 한다.
가열램프(400)를 교체하는 경우, 다단 도어(200)의 가열램프(400)를 수납하는 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)만 개방할 수 있다. 따라서, 도 4a와 같이, 제2 스프링볼트(520)를 풀어줄 수 있다. 그러면, 제1 플레이트(210)에 체결되었던 제2 스프링볼트(520)가 제2 스프링에 의해 상승한다. 그런 다음, 제1 서브플레이트(221) 또는 제2 서브플레이트(222)를 들어올리면, 힌지부에 의해 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)가 함께 상측으로 회전하여, 제1 플레이트(210)를 이동시키지 않고 가열램프(400)를 교체할 수 있다. 따라서, 공정챔버(100)는 제1 플레이트(210)에 의해 밀폐된 상태를 유지하기 때문에, 내부의 오염을 방지하고 진공을 유지할 수 있다. 이에, 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다. 또한, 제2 스프링볼트(520)가 제1 서브플레이트(221)에 형성된 턱에 걸리기 때문에, 제2 스프링볼트(520)의 분실위험이 감소할 수 있다.
공정챔버(100) 내부를 청소하기 위해 다단 도어(200)를 개방하는 경우, 다단 도어(200) 전체를 개방할 수 있다. 따라서, 도 4b와 같이, 제1 스프링볼트(510)를 풀어줄 수 있다. 그러면, 공정챔버(100)에 체결되었던 제1 스프링볼트(510)가 제1 스프링에 의해 상승한다. 그런 다음, 다단 도어(200)를 들어올리면, 힌지부에 의해 다단 도어(200)가 상측으로 회전하여 공정챔버(100) 내부가 개방되어 청소작업을 수행할 수 있다. 이때, 윈도우(300)에 대한 별도의 해체작업을 수행하지 않아 해체작업을 하면서 윈도우(300)가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제1 스프링볼트(510)가 제1 플레이트(210)에 형성된 턱에 걸려 제1 스프링볼트(510)의 분실위험이 감소할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 아래에 기재될 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 공정챔버 200: 다단 도어
210: 제1 플레이트 220: 제2 플레이트
221: 제1 서브플레이트 222: 제2 서브플레이트
510: 제1 스프링볼트 520: 제2 스프링볼트

Claims (13)

  1. 내부에 피처리물을 처리공간이 형성되는 공정챔버와;
    상기 공정챔버 상부에 설치되고, 상기 공정챔버의 상측방향을 따라 복수의 플레이트가 적층되며, 독립적으로 개폐가능하도록 이루어진 다단 도어를; 포함하는 기판처리장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 공정챔버 내부로 가열광을 통과시키는 윈도우와, 상기 윈도우를 통해 가열광을 방사하는 가열램프를 포함하고,
    상기 다단 도어는, 내부에 상기 윈도우가 수납되는 공간이 형성되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트 상부에 배치되고 내부에 가열램프가 수납되는 공간이 형성되는 제2 플레이트를 포함하는 기판처리장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제2 플레이트는, 상기 가열램프가 관통하고 상기 가열광을 상기 처리공간으로 반사시키는 제1 서브플레이트와 상기 가열램프를 지지해주는 제2 서브플레이트를 포함하고, 상기 제1 서브플레이트와 상기 제2 서브플레이트는 독립적으로 개폐가능한 기판처리장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 서브플레이트 하부면의 상기 가열램프가 관통하는 부분이 오목하게 형성되는 기판처리장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 서브플레이트 하부면에는 반사층이 코팅되는 기판처리장치.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 다단 도어에 온도를 측정하는 온도센서가 구비되고, 상기 온도센서의 측정값이 설정값 이상이면 이상 신호를 발생시키는 기판처리장치.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 다단 도어에 상기 제1 플레이트, 상기 제1 서브플레이트, 또는 상기 제2 서브플레이트의 개폐여부를 감지하는 감지센서가 구비되는 기판처리장치.
  8. 청구항 3에 있어서,
    상기 공정챔버와 상기 제1 플레이트를 관통하여 상기 공정챔버와 상기 제1 플레이트를 체결하는 제1 스프링볼트, 및 상기 제2 서브플레이트와 상기 제1 서브플레이트를 관통하여, 상기 제1 플레이트에 체결되는 제2 스프링볼트를 포함하는 기판처리장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1 플레이트의 상기 제1 스프링볼트가 관통하는 부분과 상기 제2 서브플레이트의 상기 제2 스프링이 볼트가 관통하는 부분에 턱이 형성되고,
    상기 제1 스프링볼트의 헤드와 상기 제1 플레이트의 턱 사이에 탄성력을 가지는 제1 스프링이 구비되며, 상기 제1 스프링볼트의 체결부가 상기 제1 플레이트의 턱에 걸리고,
    상기 제2 스프링볼트의 헤드와 상기 제2 서브플레이트의 턱 사이에 탄성력을 가지는 제2 스프링이 구비되며, 상기 제2 스프링볼트의 체결부가 상기 제2 서브플레이트의 턱에 걸리는 기판처리장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제1 서브플레이트와 상기 제2 서브플레이트는 체결볼트로 연결되는 기판처리장치.
  11. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 플레이트에 공정가스를 분사하는 분사홀이 형성되는 기판처리장치.
  12. 청구항 2에 있어서,
    상기 다단 도어에 상기 가열램프를 냉각시키는 냉각가스가 유입되는 냉각공간이 형성되는 기판처리장치.
  13. 청구항 2에 있어서,
    상기 윈도우는 석영 윈도우를 포함하고, 상기 제1 플레이트는 상기 윈도우와 함께 이동하는 기판처리장치.
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