KR20150120181A - 광축 얼라이너를 포함한 led 광원 노광장치 - Google Patents

광축 얼라이너를 포함한 led 광원 노광장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치에 관한 것으로, 감광 물질이 도포된 피처리 기판이 안착되는 스테이지와, 일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성된 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 장착되어 상기 감광 물질을 노광하기 위한 광을 발생시키는 다수개의 LED 램프를 포함하는 광원부와, 상기 광원부로부터 발생된 광이 통과하도록 배치된 인터그레이터 렌즈와, 상기 인터그레이터 렌즈를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 상기 스테이지에 안착된 피처리 기판을 향해 반사하는 평행광 미러 및 상기 베이스 플레이트의 타측면에 장착된 각각의 광원부를 고정하며 회전 조작에 따라 광원부의 광축이 기울어지도록 조절하는 광축 얼라이너를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 광원 노광장치가 개시된다. 이에 따라서, 베이스 플레이트와 광원부의 경통이 광축 얼라이너에 의해 지지되어 필요에 따라 광축 얼라이너의 회전 노브를 조작하여 광원부의 광축을 기울여 LED 램프에서 조사되는 빛이 인터그레이터 렌즈로 정확하게 입사될 수 있도록 조절할 수 있어 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치의 성능을 향상시키게 된다.

Description

광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치{Exposure apparatus using LED having light axis aligner}
본 발명은 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 베이스 플레이트의 광축 홀을 중심으로 다수의 광축 얼라이너가 마련되고, 광축 얼라이너는 광원부를 지지하여 필요에 따라 광축 얼라이너를 조작하여 광원부의 광축을 조절할 수 있는 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치에 관한 것이다.
일반적으로, 컴퓨터 및 각종 전자 제품에 적용되는 반도체 소자나, 화상 표시 소자인 액정 표시 소자(LCD:Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(PDP: Plasma Display Panel), 전자 부품이 실장되는 회로기판(PCB) 등의 제조 과정 중에서 미세 패턴을 정밀하게 형성하기 위해 포토 리소그래피(photo-lithography) 방법을 널리 이용한다.
포토 리소그래피 방법은 피처리 기판 상에 감광 물질(photo-resist)을 균일하게 도포하여 감광 물질 막을 형성하는 단계와, 형성된 감광 물질 막을 선택적으로 노광용 광에 노출시켜 노출된 부분의 감광 물질의 성질을 변화시키는 단계와, 현상액 등을 이용하여 성질이 변화된 부분을 선택적으로 제거하여 목적하는 감광 물질 막 패턴을 형성하는 단계로 이루어지며, 이후 형성된 감광 물질 막 패턴을 이용하여 식각(etching) 공정 등을 통해 피처리 기판 상에 패턴을 형성시키게 된다.
포토 리소그래피 공정에 속하는 노광(exposure) 공정은 특정 패턴이 디자인된 레티클(reticle) 또는 마스크(mask)를 광원과 피처리 기판 사이에 위치시키고, 광원으로부터 피처리 기판을 향해 광을 조사시킴으로써 광이 레티클 또는 마스크 상의 패턴에 따라 피처리 기판을 선택적으로 노출시키는 방식으로 진행된다.
종래 노광 공정에 사용되는 일반적인 노광장치는 수은과 같은 방전 가스가 주입된 방전 램프에서 생성된 자외선 대역의 광을 이용하여 감광 물질을 노광하는 방식으로 구성된다.
이러한 방전 램프는 일반적으로 수명이 1,000 시간 내외로 짧아 교체에 따른 소모성 비용이 증가할 뿐만 아니라 교체시마다 장시간의 휴지 기간이 필요하다는 문제가 있었다. 특히, 휴지 기간에는 방전 램프에 대한 냉각시간, 교체 작업 시간 및 교체된 새로운 방전 램프의 위치 조정 등과 같은 세팅 시간 등이 필요하므로, 방전 램프의 교체시마다 생산에 상당한 차질이 발생하게 된다.
또한, 방전 램프는 온/오프하는 경우, 정상 상태로 작동하기까지의 시간이 상당히 오래 걸릴 뿐만 아니라 빈번한 온/오프 작동시 열적 스트레스로 인해 크랙이 발생될 수 있기 때문에, 일반적으로 항상 온 상태를 유지하며 사용되고 있다. 따라서, 불필요한 전력 낭비가 발생하게 되는 등의 문제가 있었다.
아울러, 이러한 방전 램프는 그 출사광이 모든 방향으로 방사되는 형태로 구성되므로, 이러한 출사광을 타원 미러를 통해 집광해야 하며, 광원의 효율이 떨어지는 등의 문제가 있었다.
이러한 방전 램프에 의한 노광 공정을 개선하기 위한 선행기술로 대한민국 특허등록 제10-1104367호의 "LED 광원 노광장치"가 있다. 선행기술의 LED 광원 노광장치는 피처리 기판이 안치되는 스테이지와, 베이스 플레이트에 장착되어 감광 물질을 노광하기 위한 광을 발생시키는 다수개의 LED 램프를 포함하는 광원부와, 광원부에서 조사되는 빛을 집광시키는 인터그레이터 렌즈와, 인터그레이터 렌즈를 통과한 빛을 평행광으로 변환시켜 스테이지에 안치된 피처리 기판을 향해 반사하는 평행광 미러로 구성된다.
이러한 선행기술은 LED 램프를 광원으로 이용하여 광원에 대한 교체 주기를 길게 유지할 수 있고 필요에 따라 온/오프할 수 있도록 함으로써, 불필요한 전력 낭비를 방지하고 에너지 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 다수개의 LED 램프를 오목한 곡면상에 배치하여 각 LED 램프로부터 발생된 광이 직접 인터그레이터 렌즈로 집중 입사되도록 함으로써, 기존 노광기에서 인터그레이터 렌즈 이후의 광학계를 활용할 수 있으며, 다수개의 LED 램프로부터 발생된 광을 반사판과 집광 렌즈를 통해 인터그레이터 렌즈로 집광시킴으로써, LED 램프로부터 발생된 광 중 노광 공정에 사용되지 못하는 불용광을 최소화하여 광 효율을 최대 한도로 높임과 동시에 노광 성능을 더욱 향상시킬 수 있다.
그러나, 선행기술에 따르면 베이스 플레이트에 LED 램프가 설치된 후에는 LED 램프에서 인터그레이터 렌즈를 향하는 광축을 조절할 수 없기 때문에 집광 효율이 저하되는 문제가 있다.
즉, LED 램프에서 조사되는 빛이 정확하게 인터그레이터 렌즈를 향해야 LED 광원 노광장치가 우수한 성능이 발휘되지만 베이스 플레이트에 LED 램프가 설치될 때 발생하는 조립 공차, 또는 LED 램프의 전방에 설치되는 집광 렌즈, 베이스 플레이트의 곡면 가공 오차 등의 이유로 LED 램프와 인터그레이터 렌즈 사이의 광축에 오차가 발생하게 되지만 선행기술에서는 상기와 같은 조립 오차 및 가공 오차에 따라 발생하는 광축을 보정할 수 없어 LED 광원 노광장치의 성능이 저하되는 문제가 있다.
KR, B, 10-1104367(2012.01.03)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, LED 램프에서 조사되는 빛이 인터그레이터 렌즈로 정확하게 입사될 수 있도록 LED 램프의 광축을 조절할 수 있는 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 감광 물질이 도포된 피처리 기판이 안착되는 스테이지와, 일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성된 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 장착되어 상기 감광 물질을 노광하기 위한 광을 발생시키는 다수개의 LED 램프를 포함하는 광원부와, 상기 광원부로부터 발생된 광이 통과하도록 배치된 인터그레이터 렌즈와, 상기 인터그레이터 렌즈를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 상기 스테이지에 안착된 피처리 기판을 향해 반사하는 평행광 미러 및 상기 베이스 플레이트의 타측면에 장착된 각각의 광원부를 고정하며 회전 조작에 따라 광원부의 광축이 기울어지도록 조절하는 광축 얼라이너를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 광원 노광장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 광원부는 상기 베이스 플레이트의 타측면에 장착되며 후방에 LED 램프가 설치되는 경통과 상기 경통의 내부에 장착되고 LED 램프의 광을 상기 인터그레이터 렌즈로 집광시키는 집광렌즈를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 광축 얼라이너는 상기 베이스 플레이트와 경통을 관통하며 베이스 플레이트의 일측면으로 회전 노브가 형성된 관통 로드와, 상기 관통 로드와 동일 축선을 갖고 나사산 결합되며 상기 경통의 후방으로 돌출되어 경통의 타측면을 지지하는 헤드가 형성된 서포터 및 상기 관통 로드에 개재되며 상기 베이스 플레이트와 경통 사이에 탄성 반발력을 제공하는 탄성 부재를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 베이스 플레이트의 타측면과 상기 경통의 일측면에 상기 탄성 부재가 안치되는 안치 홈이 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 경통의 타측면과 접촉하는 서포터의 헤드는 구의 형태를 갖는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 광축 얼라이너는 상기 베이스 플레이트에 형성된 광축 홀을 중심으로 원형 배열되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 광축 얼라이너는 회전 제어되는 구동모터와 연결되어 상기 구동모터의 작동에 따라 회전 노브 또는 서포터가 회전되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치에 의하면, 베이스 플레이트와 광원부의 경통이 광축 얼라이너에 의해 지지되어 필요에 따라 광축 얼라이너의 회전 노브를 조작하여 광원부의 광축을 기울여 LED 램프에서 조사되는 빛이 인터그레이터 렌즈로 정확하게 입사될 수 있도록 조절할 수 있어 LED 광원 노광장치의 성능을 향상시키게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치의 구성을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따른 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치 중 베이스 플레이트에 장착된 광원부를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치 중 베이스 플레이트를 전방에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 3의 A-A선 단면도이다.
도 5는 도 4의 B부 확대도이다.
도 6은 본 발명에 따른 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치 중 광축 얼라이너의 다른 실시예를 나타낸 확대도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치의 구성을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치는 감광 물질이 도포된 피처리 기판(P)이 안착되는 스테이지(100)와, 일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성된 베이스 플레이트(210)와, 베이스 플레이트(210)에 장착되어 감광 물질을 노광하기 위한 광을 발생시키는 다수개의 LED 램프(220)를 포함하는 광원부(200)와, 광원부(200)로부터 발생된 광이 통과하도록 배치된 인터그레이터 렌즈(300)와, 인터그레이터 렌즈(300)를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 스테이지(100)에 안치된 피처리 기판(P)을 향해 반사하는 평행광 미러(400) 및 베이스 플레이트(210)의 타측면에 장착된 각각의 광원부(200)를 고정하며 회전 조작에 따라 광원부(200)의 광축이 기울어지도록 조절하는 광축 얼라이너(250)로 구성된다.
부연하자면, 스테이지(100)는 노광 공정을 위한 피처리 기판(P)이 안치되도록 평판형으로 형성되며, 스테이지(100)에 안치되는 피처리 기판(P)은 상면에 감광 물질(P1)이 도포된 형태로 구성된다.
또한, 베이스 플레이트(210)는 일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성되며 광축 홀(211)이 형성된다. 이러한 베이스 플레이트(210)의 타측면에는 광축 홀(211)을 통해 LED 램프(220)에서 조사되는 빛이 인터그레이터 렌즈(300)로 입사되도록 광원부(200)가 장착된다.
이렇게, 베이스 플레이트(210)의 일측면이 오목한 곡면을 형성하게 되면 베이스 플레이트(210)의 타측면에 광원부(200)가 장착되었을 때 각각의 광원부(200) 광축이 일정 지점을 향하기 때문에 LED 램프(220)로부터 각각 발생된 빛에 대한 집중도를 더욱 향상시키게 된다.
한편, 베이스 플레이트(210)의 타측면에 장착되는 광원부(200)는 피처리 기판(P)의 감광 물질(P1)을 노광하기 위한 노광용 광을 발생시키는 다수개의 LED 램프(220)와 경통(230)과 집광렌즈(240)로 구성된다. 이를 도 2 내지 도 4에 의거하여 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 LED 광원 노광장치 중 베이스 플레이트에 장착된 광원부를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 LED 광원 노광장치 중 베이스 플레이트를 전방에서 바라본 도면이며, 도 4는 도 3의 A-A선 단면도이다.
도면을 참조하여 설명하면, LED 램프(220)는 일반적으로 LED 기판에 LED 칩이 실장되는 형태로 형성되며, 하나의 LED 기판에 다수개의 LED 칩(222)이 실장되는 형태로 구성될 수도 있으나 본 발명에서는 LED 램프(220)가 개별적인 작동이 될 수 있도록 하나의 LED 기판에 하나의 LED 칩이 실장되는 형태로 구성된다. 또한, LED 램프(220)는 자외선 영역의 광을 발생할 수 있는 UV LED 램프(220)가 사용될 수 있다.
이러한 LED 램프(220)는 집광 렌즈(240)가 장착된 경통(230)의 타측에 마련되고, 경통(230)의 일측은 베이스 플레이트(210)에 형성된 광축 홀(211)과 동일한 축선을 갖도록 베이스 플레이트(210)의 타측면에 장착된다. 이때, LED 램프(220)의 전방에는 LED 램프(220)로부터 조사되는 빛이 인터그레이터 렌즈(300)로 집광될 수 있도록 집광 렌즈(240)가 마련되며 집광 렌즈(240)는 경통(230)에 장착된다.
즉, LED 램프(220)는 종래 기술의 방전 램프와 달리 그 특성상 발생된 광이 상대적으로 일정 방향을 향하는 직진성을 가지므로, 다수개의 LED 램프(220)로부터 각각 발생된 광이 인터그레이터 렌즈(300)로 입사되도록 베이스 플레이트(210)에 형성된 광축 홀(211)마다 집광 렌즈(240)가 장착된 경통(230)이 마련된다.
이렇게, 베이스 플레이트(210)와 LED 램프(220) 사이에 경통(230)이 형성되면, LED 램프(220)로부터 발생하는 빛과 상관없는 경통(230)의 외부에서 발생하는 빛은 경통에 의해 차단되며 LED 램프(220)에서 조사되는 빛은 경통(230)에 장착된 집광 렌즈(240)를 통해 효율적으로 인터그레이터 렌즈(300)로 집중된다.
이러한 경통(230)은 중공된 관의 형상을 갖고 그 내주면에 LED 램프(220)에서 발생한 빛을 집광 렌즈(240)로 반사하는 반사판(미도시)이 배치될 수 있다. 이와 같은 경통(230)은 원통의 형상 뿐만 아니라 중공된 사각 또는 삼각 기둥과 같은 다각 기둥 형태로 이루어질 수 있다.
한편, 광원부(200)의 LED 램프(220)에서 조사되는 빛은 앞서 설명한 바와 같이 인터그레이터 렌즈(300)로 입사되는데, 인터그레이터 렌즈(300)는 렌즈가 다수개의 행과 열로 배치되는 플라이아이렌즈(Fly eye lens)로 구성될 수 있으며, 이러한 렌즈는 광 분포를 더욱 양호하게 하는 역할을 수행한다.
또한, 평행광 미러(400)는 인터그레이터 렌즈(300)를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 스테이지(100)를 향해 반사하도록 구성되는데, 도 1에 도시된 바와 같이 하나의 구면 미러로 구성될 수도 있으며, 이와 달리 다수개의 구면 미러 및 평면 미러 등으로 구성될 수도 있는 등 그 구성은 사용자의 필요에 따라 다양하게 변경 가능하다.
한편, 광원부(200)는 앞서 설명한 바와 같이 오목한 곡면을 갖는 베이스 플레이트(210)의 타측면에 장착되는데, 광원부(200)가 베이스 플레이트(210)에 안정적으로 고정되며, 필요에 따라 광원부(200)의 광축이 인터그레이터 렌즈(300)로 정확하게 조사될 수 있도록 광원부(200)와 베이스 플레이트(210)는 광축 얼라이너(250)에 의해 지지된다. 이를 도 5에 의거하여 설명한다.
도 5는 도 4의 B부 확대도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 광축 얼라이너(250)는 베이스 플레이트(210)의 타측면에 장착된 각각의 광원부(200)를 고정하며 회전 조작에 따라 광원부(200)의 광축이 기울어지도록 조절하여 광원부(200) 각각의 LED 램프(220)에서 조사되는 빛이 인터그레이터 렌즈(300)로 정확하게 조사될 수 있도록 조절하게 된다.
이러한 광축 얼라이너(250)는 베이스 플레이트(210)와 경통(230)을 관통하며 베이스 플레이트(210)의 일측면으로 회전 노브(251a)가 형성된 관통 로드(251)와, 관통 로드(251)와 동일 축선을 갖고 나사산 결합되며 상기 경통(230)의 후방으로 돌출되어 경통(230)의 타측면을 지지하는 헤드(252a)가 형성된 서포터(252) 및 관통 로드(251)에 개재되며 베이스 플레이트(210)와 경통(230) 사이에 탄성 반발력을 제공하는 탄성 부재(253)로 구성된다.
이에 따라서, 회전 노브(251a)가 사용자에 의해 회전되는 것에 따라 관통 로드(251)가 서포터(252)와 나사산 결합에 의해 직선 이동하여 베이스 플레이트(210)와 경통(230) 사이를 가깝게 하거나 또는 멀어지게 한다.
이와 같은 광축 얼라이너(250)는 베이스 플레이트(210)에 형성된 광축 홀(211)을 중심으로 원형으로 배열됨으로써, 광축을 변경할 필요가 있는 경우 광축 홀(211)을 중심으로 원형 배열된 광축 얼라이너(250) 중 광축을 조절하고자 하는 지점에 위치한 광축 얼라이너(250)의 회전 노브(251a)를 회전 조작하는 것에 따라 해당하는 관통 로드(251)와 서포터(252)의 길이가 짧아지거나 길어지면서 광원부(200)의 광축을 기울여 필요로 하는 각도를 얻을 수 있게 된다.
이렇게, 베이스 플레이트(210)의 광축 홀(211)을 중심으로 원형 배열되는 광축 얼라이너(250)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 광축 홀(211)을 중심으로 균등한 간격을 갖는 4개가 배열될 수도 있지만 경우에 따라서는 3개의 광축 얼라이너(250)가 균등한 간격을 갖고 광축 홀(211)을 중심으로 원형 배열될 수도 있을 것이다.
한편, 베이스 플레이트(210)의 타측면과 경통의 일측면에는 탄성 부재(253)가 안치되는 안치 홈(253a)이 형성된다. 이렇게 베이스 플레이트(210)의 타측면과 경통(230)의 일측면에 안치 홈(253a)이 형성되면 탄성 부재(253)가 압축되거나 팽창될 때 안치 홈(253a)에 안내되어 원활하게 작동될 수 있다.
또한, 경통(230)의 타측면과 접촉하는 서포터(252)의 헤드(252a)는 구의 형태를 갖도록 형성되며, 이러한 헤드(252a)와 접촉하는 경통(230)의 타측면에는 헤드(252a)와 부합하는 함몰부(231a)가 형성된다.
이렇게 서포터(252)의 헤드(252a)가 구의 형태를 갖고 경통(230)의 타측면에 형성된 함몰부(231a)에 위치하게 되면, 관통 로드(251)와 서포터(252)의 길이가 가까워지거나 멀어지는 것에 따라 경통(230)이 기울어지더라도 서포터(252)의 헤드(252a)가 함몰부(231a)의 표면과 안정적으로 밀착된 상태를 유지하여 광원부(200)를 안정적으로 지지할 수 있게 된다.
상기와 같은 본 발명에 따른 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치는 베이스 플레이트(210)와 광원부(200)의 경통(230)이 광축 얼라이너(250)에 의해 지지되어 필요에 따라 광축 얼라이너(250)의 회전 노브(251a)를 조작하여 광원부(200)의 광축을 기울여 LED 램프(220)에서 조사되는 빛이 인터그레이터 렌즈(300)로 정확하게 입사될 수 있도록 조절할 수 있어 LED 광원 노광장치의 성능을 향상시키게 된다.
한편, 본 발명은 앞서 설명한 실시예로 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.
예를 들어, 광축 얼라이너의 조작을 작업자에 의존하지 않고 구동모터에 의해 조작될 수도 있을 것이다. 이를 도 6에 의거하여 설명한다.
도 6은 본 발명에 따른 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치 중 광축 얼라이너의 다른 실시예를 나타낸 확대도이다. 도면을 참조하면, 광축 얼라이너(250)는 회전 제어되는 구동모터(260)와 연결되어 구동모터(260)의 작동에 따라 회전 노브(251a) 또는 서포터(252)가 회전되도록 구성된다.
이와 같이 구동모터(260)가 회전 노브(251a) 또는 서포터(252)와 연결되면 구동모터(260)의 작동에 따라 회전 노브(251a) 또는 서포터(252)가 회전하여 해당하는 지점의 베이스 플레이트(210)와 경통(230) 간의 거리를 조절할 수 있어 광원부(200)의 광축을 조절할 수 있다.
도 6에서는 구동모터(260)가 서포터(252)의 헤드(252a)와 연결된 것으로 도시하고 있지만 경우에 따라서는 관통 로드(251)의 회전 노브(251a)와 구동모터(260)가 연결되도록 함으로써, 구동모터(260)의 작동에 따라 관통 로드(251)가 회전하여 서포터(252)가 관통 로드(251)를 향해 직선 이동하여 광원부(200)의 광축을 수작업에 의하지 않고 구동모터를 제어하여 편리하게 조절할 수 있다.
100 : 스테이지 200 : 광원부
210 : 베이스 플레이트 211 : 광축 홀
220 : LED 램프 230 : 경통
231 : 함몰부 231a : 함몰부
240 : 집광렌즈 250 : 광축 얼라이너
251 : 관통 로드 251a : 회전 노브
252 : 서포터 252a : 헤드
253 : 탄성 부재 253a : 안치 홈
260 : 구동모터

Claims (7)

  1. 감광 물질이 도포된 피처리 기판이 안치되는 스테이지;
    일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성되며 광축 홀이 형성된 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트에 장착되어 상기 감광 물질을 노광하기 위한 광을 발생시키는 다수개의 LED 램프를 포함하는 광원부;
    상기 광원부로부터 발생된 광이 통과하도록 배치된 인터그레이터 렌즈;
    상기 인터그레이터 렌즈를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 상기 스테이지에 안착된 피처리 기판을 향해 반사하는 평행광 미러; 및
    상기 베이스 플레이트의 타측면에 장착된 각각의 광원부를 고정하며 회전 조작에 따라 광원부의 광축이 기울어지도록 조절하는 광축 얼라이너;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 광원부는
    상기 베이스 플레이트의 타측면에 장착되며 후방에 LED 램프가 설치되는 경통과 상기 경통의 내부에 장착되고 LED 램프의 광을 상기 인터그레이터 렌즈로 집광시키는 집광렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 광축 얼라이너는
    상기 베이스 플레이트와 경통을 관통하며 베이스 플레이트의 일측면으로 회전 노브가 형성된 관통 로드;
    상기 관통 로드와 동일 축선을 갖고 나사산 결합되며 상기 경통의 후방으로 돌출되어 경통의 타측면을 지지하는 헤드가 형성된 서포터; 및
    상기 관통 로드에 개재되며 상기 베이스 플레이트와 경통 사이에 탄성 반발력을 제공하는 탄성 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 베이스 플레이트의 타측면과 상기 경통의 일측면에 상기 탄성 부재가 안치되는 안치 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 경통의 타측면과 접촉하는 서포터의 헤드는 구의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 광축 얼라이너는
    상기 베이스 플레이트에 형성된 광축 홀을 중심으로 원형 배열되는 것을 특징으로 하는 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 광축 얼라이너는 회전 제어되는 구동모터와 연결되어 상기 구동모터의 작동에 따라 회전 노브 또는 서포터가 회전되는 것을 특징으로 하는 광축 얼라이너를 포함한 LED 광원 노광장치.
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