JP2013077768A - 直接描画露光装置用半導体レーザモジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザ11と、筒部の内径は半導体レーザ11の位置調整のためにLD外径より大きく形成されているLD固定ホルダ12と、調整スペース部の内径は半導体レーザの位置調整のためにLD台座外径より大きく形成され、LD調整ピンを差し込む複数の貫通孔が設けられているLD固定キャップ13と、レーザ光を平行光にする非球面レンズ21と、非球面レンズ21を中心線を合わせて挟むためのテーパー部および円筒スリーブ部を有する非球面レンズ固定スリーブ22と、LD固定ホルダ12の開口部に差し込まれるための円筒管部を有し、円筒管部の内側には非球面レンズ固定スリーブ22を保持するための嵌め合い部を有する非球面レンズホルダ23とからなる半導体レーザモジュール。
【選択図】図1
Description
2 半導体レーザアレイユニット
10 LD調整部
11 半導体レーザ(LD)
12 LD固定ホルダ
13 LD固定キャップ
20 レンズ調整部
21 非球面レンズ(コリメータレンズ)
22 非球面レンズ固定スリーブ
23 非球面レンズホルダ
30 レンズホルダ固定リング
40 調整治具
50 LDベーススタンド
Claims (3)
- 半導体レーザと、該半導体レーザを差し込むための筒部および開口部を有し、該筒部の内径は前記半導体レーザの位置調整のためにLD外径より大きく形成されているLD固定ホルダと、前記LD固定ホルダの筒部を差し込むためのキャップ部および調整スペース部を有し、該調整スペース部の内径は前記半導体レーザの位置調整のためにLD台座外径より大きく形成され、該LD台座を押して移動させるためのLD調整ピンを差し込む複数の貫通孔が設けられているLD固定キャップと、
前記半導体レーザから出射されたレーザ光を平行光にする非球面レンズと、前記非球面レンズを中心線を合わせて挟むためのテーパー部および円筒スリーブ部を有する非球面レンズ固定スリーブと、前記LD固定ホルダの開口部に差し込まれるための円筒管部を有し、該円筒管部の内側には前記非球面レンズ固定スリーブを保持するための嵌め合い部を有する非球面レンズホルダと
からなることを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 前記非球面レンズホルダを差し込むためのリング部を有するレンズホルダ固定リングを備えている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザモジュール。 - 請求項1に記載の複数の前記半導体レーザモジュール
からなることを特徴とする半導体レーザアレイユニット。
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