KR20150114098A - Linear Evaporator with Detachable Heater - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a linear evaporation source having a detachable heater, which comprises: a crucible for accommodating a deposition material; a nozzle formed in a longitudinal direction on an upper end of the crucible to eject the deposition material in the crucible; a housing formed to cover a side surface and a lower surface of the crucible; a gate formed at one side of the housing, and opened/closed to allow the crucible to be slid; a first heater which is formed to be corresponded to an outer wall of the nozzle and an upper end surface of the crucible, positioned at an upper part of the housing to be vertically moved, and detached from the nozzle; a second heater formed in an upper part of an inner side surface of the housing to heat an upper side surface of the crucible; and a third heater formed in a lower part of the inner side surface of the housing to heat a lower side surface of the crucible. According to the present invention, the present invention includes, in the housing, the first heater detached from the nozzle of the crucible, and the second and third heaters which are corresponded to the upper and lower side surfaces of the crucible, so the crucible can be easily separated from the housing to fill the crucible with the deposition material, thereby reducing a maintenance time. Also, the first heater for heating the nozzle of the crucible, and the second and third heaters for respectively heating the upper and lower parts of the crucible are equipped, so the uniformity of temperatures of the deposition material can be improved when the deposition material filled in the lower crucible is evaporated in the upper crucible to be ejected through the crucible nozzle.

Description

히터가 탈착되는 선형증발원{Linear Evaporator with Detachable Heater}[0001] The present invention relates to a linear evaporator with a detachable heater,

본 발명은 히터가 탈착되는 선형증발원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증착물질이 담기는 도가니와 도가니를 가열하는 히터가 쉽게 분리될 수 있고, 도가니 내 증착물질의 온도를 균일하게 유지시켜줄 수 있는 히터가 탈착되는 선형증발원에 관한 것이다.The present invention relates to a linear evaporation source to which a heater is desorbed and more particularly to a heater capable of easily separating a crucible in which a deposition material is contained and a heater for heating the crucible, To a linear evaporation source.

일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 박막증착 공정은 유기물질을 증발시키고, 증발된 유기물질을 기판에 증착시키게 된다. 이러한 증착 공정은 글래스 등의 기판을 진공챔버 내에 배치하고, 유기물질이 담긴 증발원을 기판에 대향하도록 배치한다. 이후, 유기물질이 담긴 증발원을 가열하여 증발되는 유기물질의 기체나 액체 상태를 기판에 증착시키면서 유기 박막을 형성하게 된다.In general, an organic light emitting diode (OLED) thin film deposition process evaporates organic materials and deposits evaporated organic materials on a substrate. In this deposition process, a substrate such as a glass substrate is placed in a vacuum chamber, and an evaporation source containing an organic substance is disposed so as to face the substrate. Thereafter, the evaporation source containing the organic material is heated to form an organic thin film by evaporating a gas or a liquid state of the evaporated organic material on the substrate.

그러나, 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 대면적 박막이 균일하게 형성되도록 점증발원 대신 선형증발원이 사용되며, 이러한 선형증발원은 유기물질이 대면적의 기판에 고르게 분사되도록 도가니의 상부에 다수의 노즐을 동일한 구경 및 동일한 간격으로 형성하여 구성된다.In recent years, however, as the substrate becomes larger, a linear evaporation source is used instead of an increasing source to uniformly form a large-area thin film, and this linear evaporation source is provided with a plurality of nozzles Are formed with the same diameter and the same interval.

그리고, 도가니 내의 유기물질이 도가니와 노즐에 감긴 가열수단에 의해 가열되는데 도가니 하부에서 가열된 유기물질이 증발하면서 도가니 상부의 노즐에서 분사될 때 유기물질의 온도가 차이가 생겨 유기물질이 머징(merging)되거나 노즐에 유기물질이 클로깅(clogging)되는 문제점이 있었다.The organic material in the crucible is heated by the heating means wound around the crucible and the nozzle. When the organic material heated at the lower part of the crucible evaporates while being injected from the nozzle at the top of the crucible, the temperature of the organic material differs, Or the organic material is clogged in the nozzle.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 한국공개특허 제10-2013-0142580호에서 개시하고 있는 '고온 증발원 및 그 제조방법'은 물질을 공급하는 물질 공급부와, 상기 물질 공급부로부터 공급받은 물질을 용융시키는 용융부와, 상기 용융부에서 용융된 물질을 증발부로 이송하는 물질이동통로와, 상기 물질이동통로를 통해 유입된 용융된 물질을 증발시켜 증발물을 분사하는 증발부를 포함하고, 상기 용융부와 증발부는 별개의 도가니로 구성되어 물질을 용융시키는 용융부와 물질을 증발시키는 증발부가 별개의 도가니와 별개의 히터를 사용함으로써, 물질 잔량에 따른 증착율 변화 및 물질 공급에 따른 증발부의 온도 감소영향을 완화시키는 효과가 있다.In order to solve the above problems, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2013-0142580 discloses a 'high-temperature evaporation source and a manufacturing method thereof', which includes a material supplier for supplying a material, A molten material transfer passage for transferring the molten material from the molten material transfer unit to the evaporation unit and an evaporation unit for discharging the molten material introduced through the material transfer path to discharge the evaporation material, A melting furnace which is composed of a separate crucible and uses a heater separate from the crucible for evaporating the material and the evaporation portion for evaporating the material, thereby reducing the influence of the evaporation rate change depending on the remaining amount of material and the temperature decrease of the evaporation portion due to the supply of the material .

하지만 각각의 도가니에 별개의 히터가 장착되어 있는 일체형으로 형성되어 도가니에 물질을 공급하기 위해서는 고온의 히터를 식히고 도가니를 빼내야 하기 때문에 유지관리하는데 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.However, since each crucible is integrally formed with a separate heater, in order to supply the material to the crucible, a high temperature heater must be cooled and the crucible must be taken out.

또한, 도가니에서 히터를 분리하고 도가니를 교체해야 하므로 교체작업이 번거로운 문제점이 있어서 본 발명을 제안하게 되었다.In addition, since the heater is separated from the crucible and the crucible needs to be replaced, the replacement work is troublesome and the present invention has been proposed.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 도가니의 노즐에 탈착되는 제1히터부와, 도가니의 상부와 하부 측면에 대응되는 제2히터부와 제3히터부를 하우징에 구비하여 하우징으로부터 도가니를 쉽게 분리할 수 있는 히터가 탈착되는 선형증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems as described above, and it is an object of the present invention to provide a honeycomb structure having a first heater part detachably attached to a nozzle of a crucible and a second heater part and a third heater part corresponding to upper and lower sides of the crucible, And a heater that can easily separate the crucible from the crucible can be detached from the crucible.

또한, 도가니의 노즐을 가열하는 제1히터부와 도가니의 상부와 하부를 각각 가열시키는 제2히터부와 제3히터부를 구비하여 도가니 내 증착물질의 온도를 균일하게 유지시켜줄 수 있는 히터가 탈착되는 선형증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.The first heater portion for heating the nozzle of the crucible, the second heater portion for heating the upper and lower portions of the crucible respectively, and the third heater portion are provided, and a heater capable of uniformly maintaining the temperature of the evaporation material in the crucible is desorbed The object of the present invention is to provide a linear evaporation source.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 증착물질이 담기는 도가니와, 상기 도가니 내의 증착물질이 분사되도록 상기 도가니 상단에 길이방향으로 형성되는 노즐과, 상기 도가니 측면과 하면을 감싸도록 형성되는 하우징과, 상기 하우징의 일측에 형성되어 상기 도가니가 슬라이딩되어 이동하도록 개폐되는 게이트와, 상기 노즐의 외벽과 상기 도가니 상단면에 대응되도록 형성되어 상기 하우징 상부에 위치하여 상하로 이동하고, 상기 노즐에 탈착되는 제1히터부와, 상기 하우징 내측면의 상부에 형성되어 상기 도가니의 상부 측면을 가열시키는 제2히터부와, 상기 하우징 내측면의 하부에 상기 도가니의 하부 측면을 가열시키는 제3히터부를 포함하는 히터가 탈착되는 선형증발원을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a crucible including a crucible containing a deposition material, a nozzle longitudinally formed at an upper end of the crucible to inject a deposition material therein, A gate formed on one side of the housing and opened and closed to allow the crucible to slide and move; an upper wall formed to correspond to the outer wall of the nozzle and the upper end of the crucible, A second heater portion formed on an upper portion of the inner side surface of the housing to heat the upper side surface of the crucible and a third heater portion for heating the lower side surface of the crucible at a lower portion of the inner surface of the housing, Thereby providing a linear evaporation source from which the containing heater is desorbed.

본 발명에서, 상기 도가니는 상기 증착물질이 피딩되는 충진부와, 상기 충진부 내의 증착물질이 균일하게 증발되는 증발부로 구성될 수 있다.In the present invention, the crucible may be constituted of a filling part to which the evaporation material is fed, and an evaporation part in which the evaporation material in the filling part is uniformly evaporated.

또한, 상기 노즐은 양 측방으로 갈수록 간격이 서로 인접하도록 형성될 수 있다.In addition, the nozzles may be formed such that the gaps are adjacent to each other toward both sides.

그리고, 상기 하우징의 상단 일측에는 상기 제1히터부의 하단과 결합하여 실린더 구동하는 이동축이 형성될 수 있다.In addition, a moving shaft coupled with a lower end of the first heater unit and driven by a cylinder may be formed at an upper end of the housing.

아울러, 상기 하우징의 양측면에는 상기 도가니의 측면을 가열하는 가열수단이 더 형성될 수 있다.In addition, heating means for heating the side surfaces of the crucible may be further formed on both sides of the housing.

한편, 상기 게이트는 힌지 고정되어 형성될 수 있다.Meanwhile, the gate may be formed by hinging.

본 발명에서, 상기 제1히터부는 상기 하우징의 상단에 탈착되는 플레이트와, 상기 노즐과 상기 도가니의 상단면에 맞닿는 탈착부와, 상기 탈착부에 형성되는 열선과, 상기 열선을 고정시켜 주는 고정수단으로 구성되는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, the first heater unit may include a plate that is detachably attached to the upper end of the housing, a detachable unit that contacts the upper surface of the nozzle and the crucible, a heat line formed on the detachable unit, .

또한, 상기 노즐의 내경 크기를 조절하도록 교체가능한 노즐캡이 상기 노즐과 탈착부의 상부를 덮도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a replaceable nozzle cap is formed to cover the upper portion of the nozzle and the desorption portion to adjust the inner diameter of the nozzle.

아울러, 상기 제2히터부와 제3히터부는 열선으로 구비될 수 있다.In addition, the second heater unit and the third heater unit may be provided as heat lines.

한편, 상기 하우징과 제1히터부가 탈착되도록 분리 또는 고정시켜주는 탈착수단이 형성될 수 있다.Meanwhile, a detachment means for separating or fixing the housing and the first heater may be formed.

상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 도가니의 노즐에 탈착되는 제1히터부와, 도가니의 상부와 하부 측면에 대응되는 제2히터부와 제3히터부를 하우징에 구비하여 도가니에 증착물질을 충진하기 위해 하우징으로부터 도가니를 쉽게 분리할 수 있어 유지관리 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, the housing includes a first heater unit detachably attached to a nozzle of a crucible, a second heater unit corresponding to upper and lower sides of the crucible, and a third heater unit, The crucible can be easily separated from the weir housing and the maintenance time can be reduced.

또한, 도가니의 노즐을 가열하는 제1히터부와 도가니의 상부와 하부를 각각 가열시키는 제2히터부와 제3히터부를 구비하여 도가니 하부에 충진된 증착물질이 도가니 상부에서 증발되어 도가니 노즐을 통해 분사될 때 증착물질 온도의 균일성을 높일 수 있는 효과가 있다.Further, the first heater portion for heating the nozzle of the crucible, the second heater portion for heating the upper and lower portions of the crucible, and the third heater portion, respectively, so that the evaporation material filled in the lower portion of the crucible is evaporated at the crucible upper portion, There is an effect that the uniformity of the temperature of the deposition material can be increased when sprayed.

도 1은 본 발명의 히터가 탈착되는 선형증발원을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 요부를 나타내는 히터와 도가니가 조립된 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1히터부와 도가니가 분리된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2히터부와 제3히터부로부터 도가니를 분리하기 위해 사이드 게이트가 오픈된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 히터로부터 도가니가 분리되는 상태를 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view showing a linear evaporation source to which a heater of the present invention is desorbed.
Fig. 2 is a cross-sectional view of a heater and a crucible assembled into a crucible of the present invention. Fig.
3 is a cross-sectional view showing a state in which a first heater portion and a crucible are separated from each other according to the present invention.
4 is a cross-sectional view showing a state in which a side gate is opened to separate a crucible from a second heater part and a third heater part of the present invention.
5 is a cross-sectional view showing a state in which the crucible is separated from the heater of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 히터가 탈착되는 선형증발원을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a linear evaporation source to which the heater of the present invention is detached will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 히터가 탈착되는 선형증발원을 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 요부를 나타내는 히터와 도가니가 조립된 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1히터부와 도가니가 분리된 상태를 나타내는 단면도이며, 도 4는 본 발명의 제2히터부와 제3히터부로부터 도가니를 분리하기 위해 사이드 게이트가 오픈된 상태를 나타내는 단면도이고, 도 5는 본 발명의 히터로부터 도가니가 분리되는 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a linear evaporation source to which a heater of the present invention is desorbed, FIG. 2 is a cross-sectional view of a heater and a crucible assembled into a crucible of the present invention, FIG. 3 is a cross- 4 is a cross-sectional view showing a state in which a side gate is opened to separate a crucible from a second heater portion and a third heater portion of the present invention, and Fig. 5 is a cross-sectional view showing a state in which a crucible is separated Fig.

본 발명은 증착물질이 담기는 도가니와 도가니를 가열하는 히터가 쉽게 분리될 수 있고, 도가니 내 증착물질의 온도를 균일하게 유지시켜줄 수 있는 히터가 탈착되는 선형증발원에 관한 것으로, 본 발명의 히터가 탈착되는 선형증발원(10)은 증착물질이 담기는 도가니(100)와, 상기 도가니(100) 내의 증착물질이 분사되도록 상기 도가니(100) 상단에 길이방향으로 형성되는 노즐(120)과, 상기 도가니(100) 측면과 하면을 감싸도록 형성되는 하우징(200)과, 상기 하우징(200)의 일측에 형성되어 상기 도가니(100)가 슬라이딩되어 이동하도록 개폐되는 게이트(220)와, 상기 노즐(120)의 외벽과 상기 도가니(100) 상단면에 대응되도록 형성되어 상기 하우징(200) 상부에 위치하여 상하로 이동하고, 상기 노즐(120)에 탈착되는 제1히터부(300)와, 상기 하우징(200) 내측면의 상부에 형성되어 상기 도가니(100)의 상부 측면을 가열시키는 제2히터부(400)와, 상기 하우징(200) 내측면의 하부에 상기 도가니(100)의 하부 측면을 가열시키는 제3히터부(500)를 포함하여 구성된다.The present invention relates to a linear evaporation source in which a crucible containing a deposition material and a heater for heating the crucible can be easily separated and a heater capable of uniformly maintaining the temperature of the evaporation material in the crucible is detached, The linear evaporation source 10 to be desorbed includes a crucible 100 in which a deposition material is contained, a nozzle 120 formed in the longitudinal direction at an upper end of the crucible 100 to inject a deposition material in the crucible 100, A gate 220 formed at one side of the housing 200 to open and close the crucible 100 so that the crucible 100 slides and move; A first heater unit 300 formed to correspond to an outer wall of the crucible 100 and an upper end surface of the crucible 100 and being positioned above the housing 200 and moving up and down to be detached from the nozzle 120, ) On the upper side of the inner side A third heater unit 500 for heating the lower side of the crucible 100 at a lower portion of the inner side of the housing 200, .

도 1을 참조하면, 다수의 노즐(120)이 일렬로 형성되는 상기 도가니(100)가 상기 하우징(200) 내에 위치하게 된다. 그리고 상기 하우징(200) 내측면에는 상기 도가니(100)의 측면을 가열시키는 히터가 장착된다. 또한, 상기 하우징(200)의 상단에 탈착이 가능한 상기 제1히터부(300)가 상기 도가니(100)의 상단면과 상기 노즐(120)을 가열시켜준다. 여기서, 상기 제1히터부(300)에는 상기 노즐(120)이 관통하는 홀(322)이 형성된다.Referring to FIG. 1, the crucible 100, in which a plurality of nozzles 120 are formed in a row, is positioned within the housing 200. A heater for heating the side surface of the crucible 100 is mounted on the inner side surface of the housing 200. In addition, the first heater unit 300, which is detachable to the upper end of the housing 200, heats the upper surface of the crucible 100 and the nozzle 120. Here, a hole 322 through which the nozzle 120 penetrates is formed in the first heater unit 300.

본 발명의 실시예에서 상기 제1히터부(300)가 상기 하우징(200)에 탈착될 때 상기 하우징(200)과 제1히터부(300)를 분리 또는 고정시켜주는 탈착수단(280)이 상기 제1히터부(300)와 상기 하우징(200)의 일측면과 타측면에 형성된다.The detachment means 280 separating or fixing the housing 200 and the first heater unit 300 when the first heater unit 300 is detached from the housing 200, And is formed on one side surface and the other side surface of the first heater unit 300 and the housing 200.

그리고, 상기 제1히터부(300)와 상기 하우징(200)이 결합되었을 때 상기 하우징(200) 내부의 열이 외부로 방출되지 않도록 상기 제1히터부(300) 가장자리와 상기 하우징(200) 상단면을 밀폐시키는 밀폐수단이 더 형성될 수 있는데, 본 발명의 실시예에서는 상기 제1히터부(300)의 길이방향으로 상단면 가장자리에 상기 제1히터부(300)를 관통하여 상기 하우징(200)의 상단면을 결합하는 결합핀(324)으로 구비된다.When the first heater unit 300 and the housing 200 are coupled to each other, the edge of the first heater unit 300 and the upper end of the housing 200 are heated so that the heat inside the housing 200 is not released to the outside, In the embodiment of the present invention, the first heater part 300 is passed through the first heater part 300 to the edge of the upper surface in the longitudinal direction of the first heater part 300, As shown in FIG.

도 2에 도시한 바와 같이, 상기 도가니(100)는 상기 증착물질이 피딩되는 충진부(140)와, 상기 충진부(140) 내의 증착물질이 균일하게 증발되는 증발부(160)로 구성된다.2, the crucible 100 includes a filling part 140 to which the evaporation material is supplied and an evaporation part 160 to uniformly evaporate the evaporation material in the filling part 140. As shown in FIG.

여기서, 상기 충진부(140)는 상기 증착물질을 투입할 수 있도록 하부를 분리하거나 상기 충진부(140)에는 상기 증착물질이 피딩되는 공급부(도시되지 않음)가 형성될 수 있다. 또한, 상기 충진부(140)가 가열되면 상기 증착물질은 증발되어 상기 증발부(160)로 이동하게 되는데 상기 충진부(140)와 상기 증발부(160) 경계면에는 증발되는 상기 증착물질이 상기 노즐(120)로 균일하게 증발될 수 있도록 중앙으로 갈수록 높이가 낮아지는 판이 형성되는 것이 바람직하다.Here, the filling part 140 separates the lower part so that the deposition material can be input, or a supplying part (not shown) in which the deposition material is fed to the filling part 140 may be formed. When the filling unit 140 is heated, the evaporation material evaporates and moves to the evaporation unit 160. At the interface between the filling unit 140 and the evaporation unit 160, the evaporation material evaporates, It is preferable that a plate having a height lowered toward the center is formed so as to be uniformly evaporated by the plate 120.

그리고, 상기 도가니(100)가 길이방향으로 길게 형성되어 상기 증착물질이 증발될 때 상기 증착물질이 상기 도가니(100)의 가장자리로 갈수록 증발되는 상기 증착물질의 양이 적어진다. 따라서, 상기 도가니(100)의 가장자리와 상기 도가니(100) 중앙에서 증발되는 상기 증착물질 양의 균일성을 고려하여 상기 노즐(120)은 양 측방으로 갈수록 간격이 서로 인접하도록 형성된다.When the evaporation material is evaporated, the amount of the evaporation material evaporated from the evaporation material toward the edge of the crucible 100 is reduced as the crucible 100 is elongated in the longitudinal direction. Therefore, in consideration of the uniformity of the amount of evaporation material evaporated at the edge of the crucible 100 and the center of the crucible 100, the nozzles 120 are formed to be adjacent to each other as they are laterally spaced.

상기 제1히터부(300)는 상기 하우징(200)의 상단에 탈착되는 플레이트(320)와, 상기 노즐(120)과 상기 도가니(100)의 상단면에 맞닿는 탈착부(340)와, 상기 탈착부(340)에 형성되는 열선(360)과, 상기 열선(360)을 고정시켜 주는 고정수단(380)으로 구성된다.The first heater unit 300 includes a plate 320 to be detached from the upper end of the housing 200, a detachable portion 340 to be in contact with the upper surface of the nozzle 120 and the crucible 100, And a fixing unit 380 for fixing the heating wire 360. The fixing unit 380 includes a fixing unit 380 for fixing the heating wire 360,

또한, 상기 플레이트(320)에는 상기 노즐(120)의 외경보다 큰 원형의 상기 홀(322)이 상기 노즐(120)에 대응하여 형성되어 상기 플레이트(320)가 상기 하우징(200)의 상단에 놓였을 때 상기 노즐(120)이 상기 홀(322)을 관통하게 된다.The hole 320 is formed in the plate 320 so as to correspond to the nozzle 120 so that the plate 320 is placed on the upper end of the housing 200 The nozzle 120 penetrates through the hole 322. [0064]

그리고, 상기 플레이트(320)의 하부에는 상기 노즐(120)의 외측 하부와 상기 도가니(100)의 상단면에 맞닿도록 상기 탈착부(340)가 형성되는데 상기 탈착부(340)의 하부에는 상기 열선(360)이 감긴다. 이때 상기 열선(360)이 상기 탈착부(340)의 위쪽으로 밀려 이동하지 않도록 상기 고정수단(380)이 형성된다.A lower portion of the plate 320 is formed with the detachable portion 340 so as to be in contact with the outer lower portion of the nozzle 120 and the upper surface of the crucible 100. In the lower portion of the detachable portion 340, (360) is wound. At this time, the fixing unit 380 is formed to prevent the heat ray 360 from being pushed upward by the detachable unit 340.

본 발명의 실시예에서 상기 고정수단(380)은 볼트로 구비되어 상기 탈착부(340)의 측면에 삽입된다. 하지만, 상기 열선(360)을 고정시켜 줄 수 있는 구조라면 어떠한 형태로 구비되어도 무방하다.In the embodiment of the present invention, the fixing means 380 is bolted and inserted into the side surface of the detachable portion 340. However, it may be provided in any form as long as it can fix the heat ray 360.

아울러, 상기 탈착부(340)는 상기 열선(360)의 열이 상기 탈착부(340)를 통해 상기 도가니(100)와 상기 도가니(100)의 노즐(120)에 전달되도록 열전도율이 높은 Ti나 SUS 등의 재질로 형성되는 것이 바람직하다.The heat dissipation unit 340 may be made of Ti or SUS having a high thermal conductivity so that the heat of the heat ray 360 is transmitted to the crucible 100 and the nozzle 120 of the crucible 100 through the desorption unit 340. [ And the like.

또한, 상기 노즐(120)이 양 측방으로 갈수록 간격이 서로 인접하도록 형성되므로 상기 탈착부(340)도 상기 노즐(120)에 대응되도록 형성되고, 상기 탈착부(340)는 상기 노즐(120) 사이에 끼워질 수 있도록 상기 탈착부(340)와 상기 노즐(120) 간에 간격이 형성되면서 상기 열선(360)의 열이 손실되지 않고 상기 탈착부(340)를 통해 상기 노즐(120)에 전달될 수 있도록 상기 노즐(120)과 상기 탈착부(340)의 면이 최대한 가깝게 형성되는 것이 바람직하다.The detachable portion 340 is formed to correspond to the nozzle 120 and the detachable portion 340 is formed between the nozzle 120 and the nozzle 120. [ The heat of the heat ray 360 is not lost and can be transmitted to the nozzle 120 through the detachable portion 340 while the gap between the detachable portion 340 and the nozzle 120 is formed so as to be fitted to the nozzle 120. [ The surface of the nozzle 120 and the surface of the detachable part 340 may be formed as close as possible to each other.

또한, 상기 하우징(200)의 양측면에는 상기 도가니(100)의 측면을 가열하는 가열수단(240)이 더 형성되는데 상기 하우징(200)의 양쪽 내측면에 삽입되어 상기 도가니(100)의 측면에 닿을 정도의 길이로 형성된다.Heating means 240 for heating the side surfaces of the crucible 100 is further formed on both sides of the housing 200. The heating means 240 is inserted into the inner side surfaces of the housing 200 to contact the side surface of the crucible 100 As shown in FIG.

아울러, 상기 노즐(120)의 내경 크기를 조절하도록 교체가능한 노즐캡(122)이 상기 노즐(120)과 탈착부(340)의 상부를 덮도록 형성된다. 상기 노즐캡(122)은 상기 노즐(120)에서 분사되는 상기 증착물질의 양에 따라 직경이 다르게 형성되는 상기 노즐캡(122)을 교체하여 설치할 수 있다.In addition, a replaceable nozzle cap 122 is formed to cover the upper portion of the nozzle 120 and the detachable portion 340 to adjust the inner diameter of the nozzle 120. The nozzle cap 122 may be installed by replacing the nozzle cap 122 having a different diameter according to the amount of the evaporation material sprayed from the nozzle 120.

여기서, 상기 노즐캡(122)은 상기 노즐(120)의 내경을 조절하는 기능을 하면서 상기 탈착부(340)가 상기 노즐(120)에 끼워졌을 때 상기 탈착부(340)와 상기 노즐(120)의 상단면을 고정시켜 상기 도가니(100)와 상기 제1히터부(300)를 체결시켜 준다.The nozzle cap 122 functions to adjust the inner diameter of the nozzle 120 so that when the detachable part 340 is fitted in the nozzle 120, the detachable part 340 and the nozzle 120, Thereby fixing the crucible 100 and the first heater unit 300 together.

도 3에 도시한 바와 같이, 상기 도가니(100)에 상기 증착물질을 피딩하거나 상기 도가니(100)를 교체하기 위해 상기 도가니(100)를 상기 하우징(200)으로부터 빼내기 위해 상기 제1히터부(300)를 상부로 이동시켜 상기 도가니(100)로부터 분리가 가능하다.3, the first heater unit 300 (not shown) may be used to feed the evaporation material to the crucible 100 or to remove the crucible 100 from the housing 200 to replace the crucible 100, Can be moved upward and separated from the crucible 100.

이때, 상기 하우징(200)의 상단 일측에는 상기 제1히터부(300)의 하단과 결합하여 실린더 구동하는 이동축(260)이 형성되어 상기 제1히터부(300)를 일정 높이까지 이동시키고 고정시키게 된다.At this time, a moving shaft 260 is coupled to the lower end of the first heater unit 300 to drive the cylinder, and the first heater unit 300 is moved to a fixed height and fixed .

도 4를 참조하면, 상기 제1히터부(300)를 상부로 이동시킨 상태에서 상기 도가니(100)를 상기 하우징(200)의 외부로 빼내기 위해 상기 하우징(200)의 일측에 상기 게이트(220)가 형성되고, 상기 게이트(220)는 상기 하우징(200)의 측면에 힌지 고정되어 개폐된다.4, the gate 220 is attached to one side of the housing 200 to pull the crucible 100 out of the housing 200 while the first heater 300 is moved upward. And the gate 220 is hinged to the side surface of the housing 200 to be opened and closed.

상기 게이트(220)가 개방되면 상기 도가니(100)를 상기 하우징(200)으로부터 빼내어 상기 도가니(100)를 히터로부터 쉽게 분리할 수 있게 된다.When the gate 220 is opened, the crucible 100 is pulled out of the housing 200 and the crucible 100 can be easily separated from the heater.

도 5를 참조하면, 상기 제2히터부(400)와 제3히터부(500)는 열선(420, 520)으로 구비된다. 여기서, 상기 제2히터부(400)와 제3히터부(500)는 상기 도가니(100)의 충진부(140)와 증발부(160)를 각각 가열시켜주는데 상기 증발부(160)의 온도가 더 높게 설정되어야 하므로 상기 제2히터부(400)의 열선(420)이 상기 제3히터부(500)의 열선(520)보다 간격이 좁게 설치되는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 5, the second heater unit 400 and the third heater unit 500 are provided as heat lines 420 and 520, respectively. The second heater unit 400 and the third heater unit 500 respectively heat the filling unit 140 and the evaporator unit 160 of the crucible 100. The temperature of the evaporator unit 160 It is preferable that the heat ray 420 of the second heater unit 400 is installed to be narrower than the heat ray 520 of the third heater unit 500. [

아울러, 상기 열선(420, 520)은 열선고정바(440, 540)에 의해 상기 하우징(200) 내부 측면에 각각 고정되어 설치된다.The heat lines 420 and 520 are fixed to inner side surfaces of the housing 200 by heat ray fixing bars 440 and 540, respectively.

이와 같이, 열선이 따로 구비되어 상기 도가니(100)의 높이마다 온도를 다르게 설정하여 상기 증착물질이 상기 도가니(100)의 상부에서 증발할 때에도 온도가 낮아지지 않게 온도의 균일성을 유지하면서 상기 노즐(120)로 상기 증착물질이 분사될 수 있다.In this way, by providing a separate heating line, the temperature of the crucible 100 is set differently so that even when the evaporation material evaporates at the top of the crucible 100, the uniformity of the temperature is maintained, The deposition material may be injected into the deposition chamber 120.

종래에는 도가니와 가열수단이 일체형으로 형성되어 도가니에 상기 증착물질을 충진하거나 상기 도가니를 교체하기 위해 가열수단을 도가니로부터 분리해야하므로 많은 시간이 소요되고 번거로운 문제점이 있었다. 하지만 본 발명은 상기 제1히터부(300)와, 상기 제2히터부(400)와 상기 제3히터부(500)가 장착되는 상기 하우징(200)이 상기 도가니(100)와 쉽게 분리가 가능하므로 도가니에 증착물질을 충진하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있게 된다.Conventionally, the crucible and the heating means are integrally formed, and the heating means is separated from the crucible in order to fill the crucible with the evaporation material or to replace the crucible. However, according to the present invention, the housing 200 in which the first heater unit 300, the second heater unit 400, and the third heater unit 500 are mounted can be easily separated from the crucible 100 The time required for filling the evaporation material in the crucible can be shortened.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation in the embodiment in which said invention is directed. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the scope of the appended claims.

10 : 선형증발원 100 : 도가니
120 : 노즐 122 : 노즐캡
140 : 충진부 160 : 증발부
200 : 하우징 220 : 게이트
240 : 가열수단 260 : 이동축
280 : 탈착수단 300 : 제1히터부
320 : 플레이트 322 : 홀
324 : 결합핀 340 : 탈착부
360, 420, 520 : 열선 380 : 고정수단
400 : 제2히터부 440, 540 : 열선고정바
500 : 제3히터부10: linear evaporation source 100: crucible
120: nozzle 122: nozzle cap
140: filling part 160: evaporating part
200: housing 220: gate
240: heating means 260: moving shaft
280: Desorption device 300: First heater part
320: plate 322: hole
324: coupling pin 340:
360, 420, 520: heat wire 380: fixing means
400: second heater part 440, 540: hot wire fixing bar
500: third heater section

Claims (10)

증착물질이 담기는 도가니;
상기 도가니 내의 증착물질이 분사되도록 상기 도가니 상단에 길이방향으로 형성되는 노즐;
상기 도가니 측면과 하면을 감싸도록 형성되는 하우징;
상기 하우징의 일측에 형성되어 상기 도가니가 슬라이딩되어 이동하도록 개폐되는 게이트;
상기 노즐의 외벽과 상기 도가니 상단면에 대응되도록 형성되어 상기 하우징 상부에 위치하여 상하로 이동하고, 상기 노즐에 탈착되는 제1히터부;
상기 하우징 내측면의 상부에 형성되어 상기 도가니의 상부 측면을 가열시키는 제2히터부;
상기 하우징 내측면의 하부에 상기 도가니의 하부 측면을 가열시키는 제3히터부;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The crucible containing the deposition material;
A nozzle formed in the crucible at an upper end thereof in the longitudinal direction so as to inject the evaporation material in the crucible;
A housing formed to surround side surfaces of the crucible;
A gate formed on one side of the housing to open and close the crucible so that the crucible slides and moves;
A first heater part formed to correspond to an outer wall of the nozzle and a top end surface of the crucible, being located above the housing and moving up and down, and being detached from the nozzle;
A second heater formed on an upper surface of the housing to heat an upper surface of the crucible;
A third heater unit for heating a lower side surface of the crucible at a lower portion of a side surface of the housing;
Wherein the heater is detachably attached to the linear evaporation source. 청구항 1에 있어서,
상기 도가니는
상기 증착물질이 피딩되는 충진부와,
상기 충진부 내의 증착물질이 균일하게 증발되는 증발부로 구성되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The method according to claim 1,
The crucible
A filling portion through which the deposition material is fed,
And a vaporizing portion in which the evaporation material in the filling portion is uniformly evaporated. 청구항 1에 있어서,
상기 노즐은 양 측방으로 갈수록 간격이 서로 인접하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The method according to claim 1,
Wherein the nozzles are formed so that the gaps are adjacent to each other as they are laterally spaced from each other. 청구항 1에 있어서,
상기 하우징의 상단 일측에는 상기 제1히터부의 하단과 결합하여 실린더 구동하는 이동축이 형성되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The method according to claim 1,
And a moving shaft connected to a lower end of the first heater unit and driven by a cylinder is formed at an upper end of the housing. 청구항 1에 있어서,
상기 하우징의 양측면에는 상기 도가니의 측면을 가열하는 가열수단이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The method according to claim 1,
Wherein a heating means for heating a side surface of the crucible is further formed on both sides of the housing. 청구항 1에 있어서,
상기 게이트는 힌지 고정되어 형성되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The method according to claim 1,
Wherein the gate is formed by being hingedly fixed. 청구항 1에 있어서,
상기 제1히터부는
상기 하우징의 상단에 탈착되는 플레이트와,
상기 노즐과 상기 도가니의 상단면에 맞닿는 탈착부와,
상기 탈착부에 형성되는 열선과,
상기 열선을 고정시켜 주는 고정수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The method according to claim 1,
The first heater portion
A plate detachably attached to the upper end of the housing,
A desiccating portion which abuts against the upper surface of the nozzle and the crucible,
A heat wire formed on the detachable portion,
And a fixing means for fixing the heat ray. 청구항 7에 있어서,
상기 노즐의 내경 크기를 조절하도록 교체가능한 노즐캡이 상기 노즐과 탈착부의 상부를 덮도록 형성되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The method of claim 7,
And a replaceable nozzle cap is formed to cover an upper portion of the nozzle and the detachable portion to adjust an inner diameter of the nozzle. 청구항 1에 있어서,
상기 제2히터부와 제3히터부는 열선으로 구비되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The method according to claim 1,
Wherein the second heater portion and the third heater portion are provided as heat lines. 청구항 1에 있어서,
상기 하우징과 제1히터부가 탈착되도록 분리 또는 고정시켜주는 탈착수단이 형성되는 것을 특징으로 하는 히터가 탈착되는 선형증발원.The method according to claim 1,
And a detachment means for detaching or fixing the housing and the first heater so as to be detachable is formed.
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