KR20150106664A - X-ray Inspection Apparatus Having Constitution of Stage Discharge - Google Patents

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KR20150106664A
KR20150106664A KR1020140029019A KR20140029019A KR20150106664A KR 20150106664 A KR20150106664 A KR 20150106664A KR 1020140029019 A KR1020140029019 A KR 1020140029019A KR 20140029019 A KR20140029019 A KR 20140029019A KR 20150106664 A KR20150106664 A KR 20150106664A
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김형철
장용한
최봉진
신기훈
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(주)자비스
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Abstract

The present invention relates to an X-ray examination apparatus with an ejectable-stage, and more specifically to an X-ray examination apparatus with an ejectable-stage, wherein a stage for mounting a target can move to the inside or outside of an examination room. The X-ray examination apparatus with an ejectable-stage comprises: an examination room (R) in which an X-ray tube and a detector are arranged; one or more input/output ports (P) formed on the walls of the examination room (R); a stage (12) arranged in such way that at least a part of the stage can move to the outside of the examination room (R) through the input/output ports (P); and a shutter unit (11) that can shut the input/output ports (P).

Description

스테이지 배출 구조의 엑스레이 검사 장치{X-ray Inspection Apparatus Having Constitution of Stage Discharge} [0001] X-ray Inspection Apparatus [0002] Having Constitution of Stage Discharge [0003]

본 발명은 스테이지 배출 구조의 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 검사 대상이 위치되는 스테이지가 검사실의 외부 및 내부로 이동이 가능한 구조를 가지는 스테이지 배출 구조의 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an x-ray inspection apparatus for a stage discharge structure, and more particularly, to an x-ray inspection apparatus for a stage discharge structure having a structure in which a stage on which an inspection object is placed can move to the outside and inside of the inspection room.

전자 방사선 형태의 짧은 파장을 가지는 엑스선은 물질에 대한 높은 투과도를 가지면서 밀도 및 구성 원자에 따라 투과율에 차이를 나타내는 전자기파에 해당된다. 엑스선 검사 장치는 엑스선의 이와 같은 물리적 특성을 이용한 장치로 식품을 비롯하여 배터리, 전자부품 내부의 백금 와이어 또는 리드 프레임의 구조, 인쇄 회로 기판의 동선의 이상 유무 및 납땜 불량 검사에 적용되고 있다. X-rays with short wavelengths in the form of electron beams correspond to electromagnetic waves that have high transmittance to the material and show differences in transmittance depending on the density and constituent atoms. The X-ray inspection system is a device that utilizes the physical characteristics of X-ray, and is applied to the structure of platinum wire or lead frame inside battery, electronic parts such as food, abnormality of copper wire on printed circuit board, and defective soldering.

엑스레이 검사 장치와 관련된 선행기술로 특허등록번호 제0983244호 ‘복합기능을 갖는 인라인 피시비 엑스레이 검사 장치’가 있다. 상기 선행기술은 인쇄회로기판을 입체적으로 검사할 수 있도록 하는 복합 기능을 가지는 인쇄회로기판의 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다.Prior art related to the x-ray inspection apparatus is Patent Registration No. 0983244, 'Inline CCD Inspection Device with Complex Function'. The prior art discloses an x-ray inspection apparatus for inspecting a printed circuit board having a composite function that allows a printed circuit board to be inspected in three dimensions.

엑스레이 검사 장치와 관련된 다른 선행기술로 특허공개번호 제2007-0004212호 ‘엑스레이 계측 장비’가 있다. 상기 선행기술은 엑스레이 발생 장치, 검사 대상물의 이동을 위한 다축 이동 장치, 상하 이중 구조의 정반 어셈블리, 엑스레이 빔의 검출을 위한 검출 장치 및 연산 처리 장치로 이루어지고 그리고 정반이 공기압에 의하여 간극이 유지되도록 하는 엑스레이 계측 장비에 대하여 개시한다. Another prior art related to x-ray inspection apparatus is Patent Publication No. 2007-0004212 " x-ray measuring instrument ". The prior art comprises a x-ray generator, a multi-axis movement device for movement of the object to be inspected, a top and bottom dual plate structure assembly, a detection device for detection of the x-ray beam and an arithmetic processing device, Ray measuring instrument.

선행기술은 비롯한 공지된 엑스레이 검사 장치에서 검사 대상은 예를 들어 컨베이어와 같은 이송 수단에 의하여 엑스레이 튜브 및 디텍터가 배치된 검사실의 내부로 이동될 수 있다. 검사가 완료되면 다시 이송수단에 의하여 검사실 외부로 배출이 될 수 있고 검사실은 적절한 차폐 수단에 의하여 차폐가 된다. 검사 대상에 따라 직접 검사 대상이 검사 스테이지에 위치될 수 있다. 검사 스테이지에서 검사가 완료되면 예를 들어 자동 이동 암과 같은 장치에 의하여 검사 대상이 검사실 외부로 배출될 수 있다. 이와 같은 구조는 별도의 차폐 수단이 만들어져야 하거나 검사 대상에 따라 도어의 개폐와 같은 부수적인 작동 과정이 수반되어야 한다. 별도의 차폐 수단의 형성 또는 도어의 개폐는 검사 효율을 저해시킬 수 있다. In the known x-ray examination apparatuses including the prior art, the subject to be examined can be moved to the inside of the examination room where the x-ray tube and the detector are arranged by means of a conveying means such as a conveyor. Once the inspection is completed, it can be discharged to the outside of the laboratory again by the transferring means and the examination room is shielded by the appropriate shielding means. Depending on the object to be inspected, the object to be directly inspected may be placed in the inspection stage. When the inspection is completed in the inspection stage, for example, the inspection object may be discharged outside the inspection room by a device such as an automatic moving arm. Such a structure must be accompanied by an additional operating procedure such as opening or closing of the door depending on the inspection object or a separate shielding means should be made. The formation of a separate shielding means or the opening and closing of the door may hinder the inspection efficiency.

본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. The present invention has been made to solve the problems of the prior art and has the following purpose.

선행문헌1: 한국 등록특허번호 제0983244호((주)자비스, 2010년09월24일 공개) 복합 기능을 갖는 인라인 피씨비 엑스레이 검사 장치Prior Art 1: Korean Patent No. 0983244 (published by Jarvis Co., Ltd. on September 24, 2010) In-line PC X-ray inspection apparatus having a complex function 선행문헌2: 한국 공개특허번호 제2007-0004212호(주식회사 쎄크, 2007년01월09일 공개) 엑스레이 계측 장비Prior Art 2: Korean Patent Application No. 2007-0004212 (published by Seck Co., Ltd., Jan. 9, 2007) X-ray measuring instrument

본 발명의 목적은 검사 스테이지가 검사실 내부와 외부 사이로 이동 가능하도록 설치되고 그리고 셔터에 의하여 검사실 내부가 외부로부터 밀폐가 되도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상될 수 있도록 하는 스테이지 배출 구조의 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide an x-ray examination apparatus of a stage discharge structure which is provided so that an inspection stage can be moved between an inside and an outside of a testing room and an inspection efficiency can be improved by allowing the inside of a testing room to be sealed from the outside by a shutter .

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 스테이지 배출 구조의 엑스레이 검사 장치는 엑스레이 튜브 및 디텍터가 배치된 검사실; 상기 검사실의 벽면에 형성된 적어도 하나의 출입 포트; 상기 출입 포트를 통하여 적어도 일부가 검사실의 외부로 이동 가능하도록 배치되는 스테이지; 및 상기 출입 포트의 차단이 가능한 셔터 유닛을 포함한다. According to a preferred embodiment of the present invention, the x-ray examination apparatus of the stage discharge structure comprises: an examination room in which an x-ray tube and a detector are disposed; At least one access port formed on a wall surface of the examination chamber; A stage disposed at least partially through the access port so as to be movable out of the examination room; And a shutter unit capable of blocking the access port.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 출입 포트는 슬릿 형상이 되고 그리고 상기 스테이지는 판 형상이 된다. According to another preferred embodiment of the present invention, the access port is slit-shaped and the stage is plate-shaped.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 검사실의 한쪽 면에 배치된 적어도 하나의 관찰 창을 더 포함한다. According to another preferred embodiment of the present invention, the apparatus further comprises at least one observation window disposed on one side of the examination room.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 스테이지의 이동을 위한 선형 가이드 및 선형 가이드가 고정되는 이동 프레임을 더 포함하고, 상기 이동 프레임은 상기 선형 가이드의 이동 방향과 서로 다른 적어도 하나의 방향을 따라 이동 가능하도록 배치된다. According to another preferred embodiment of the present invention, there is further provided a moving frame to which a linear guide and a linear guide for moving the stage are fixed, wherein the moving frame has at least one direction different from the moving direction of the linear guide As shown in Fig.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 셔터 유닛은 베이스 기판, 베이스 기판에 배치되는 유도 가이드 및 유도 가이드를 따라 상하 이동이 가능하도록 배치되는 셔터를 포함한다. According to another preferred embodiment of the present invention, the shutter unit includes a base substrate, an induction guide disposed on the base substrate, and a shutter arranged to be movable up and down along the induction guide.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 셔터 유닛은 구동 장치에 의하여 상하 슬라이딩이 가능하도록 배치되는 셔터를 포함한다. According to another preferred embodiment of the present invention, the shutter unit includes a shutter which is arranged to be able to slide up and down by a driving device.

본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 검사 스테이지가 외부로 배출되어 검사 대상을 내부로 이송시키고 그리고 검사가 완료되면 검사 스테이지에 의하여 검사 대상이 외부로 배출되도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 별도로 도어가 설치되지 않도록 하는 것에 의하여 구조가 간단해지도록 하면서 이와 동시에 장치의 설계가 효율적으로 되도록 한다는 장점을 가진다. The X-ray inspection apparatus according to the present invention has an advantage that the inspection efficiency is improved by discharging the inspection stage to the outside and transferring the inspection target to the inside and discharging the inspection target to the outside by the inspection stage when the inspection is completed . Further, the inspection apparatus according to the present invention has an advantage that the structure is simplified by not providing a separate door, and at the same time, the design of the apparatus is made efficient.

도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용될 수 있는 스테이지의 이동 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용될 수 있는 셔터 구조의 실시 예를 도시한 것이다. 1A and 1B show an embodiment of an X-ray examination apparatus according to the present invention.
2A and 2B illustrate an embodiment of a moving structure of a stage that can be applied to an X-ray examination apparatus according to the present invention.
3A and 3B illustrate an embodiment of a shutter structure that can be applied to the x-ray inspection apparatus according to the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so that they will not be described repeatedly unless necessary for an understanding of the invention, and the known components will be briefly described or omitted. However, It should not be understood as being excluded from the embodiment of Fig.

도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치(10)의 실시 예를 도시한 것이다.1A and 1B illustrate an embodiment of an X-ray examination apparatus 10 according to the present invention.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치(10)는 엑스레이 튜브 및 디텍터가 배치된 검사실(R); 상기 검사실(R)의 벽면에 형성된 적어도 하나의 출입 포트(P); 상기 출입 포트(P)를 통하여 적어도 일부가 검사실(R)의 외부로 이동 가능하도록 배치되는 스테이지(12); 및 상기 출입 포트(P)의 차단이 가능한 셔터 유닛(11)을 포함한다. Referring to FIGS. 1A and 1B, an X-ray examination apparatus 10 according to the present invention includes a test chamber R in which an X-ray tube and a detector are disposed; At least one access port (P) formed on a wall surface of the examination room (R); A stage (12) arranged so that at least a part thereof can be moved out of the examination room (R) through the entry / exit port (P); And a shutter unit (11) capable of blocking the access port (P).

본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치(10)는 불량 검사가 요구되는 임의의 제품 검사에 적용될 수 있고 예를 들어 전자 회로 기판, 인쇄 회로 기판, 전자 부품, 배터리 또는 식품과 같은 것의 불량 여부 검사에 적용될 수 있다. 검사 대상에 따라 스테이지(12)가 적절한 구조를 가질 수 있고 엑스레이 튜브 및 디텍터가 필요에 따라 이동 가능하도록 검사실(R) 내부에 배치될 수 있다. 본 발명은 검사 대상, 스테이지(12)의 구조, 엑스레이 튜브 또는 디텍터의 배치 구조에 의하여 제한되지 않는다. The X-ray inspection apparatus 10 according to the present invention can be applied to any product inspection requiring a defect inspection and can be applied to inspection of the defectiveness of, for example, an electronic circuit board, a printed circuit board, an electronic component, a battery, have. Depending on the object to be inspected, the stage 12 may have a suitable structure, and the x-ray tube and the detector may be disposed inside the examination room R so as to be movable as required. The present invention is not limited by the object to be inspected, the structure of the stage 12, the arrangement structure of the X-ray tube or the detector.

검사실(R)은 이 분야에 공지된 임의의 구조를 가질 수 있고 예를 들어 사각형 박스 형상이 될 수 있고 전체적으로 밀폐된 구조가 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 검사실(R) 내부에 엑스레이 튜브 및 디텍터가 배치될 수 있고 엑스레이 튜브 및 디텍터의 설치 위치는 예를 들어 스테이지(12)의 배치 위치에 따라 적절하게 선택될 수 있다. The test chamber R may have any structure known in the art and may, for example, be a rectangular box shape and may be of a totally enclosed structure, but is not limited thereto. An X-ray tube and a detector may be disposed inside the test chamber R, and an installation position of the X-ray tube and the detector may be appropriately selected depending on the position of the stage 12, for example.

검사실(R)의 한쪽 벽면 또는 전면에 스테이지(12)의 이동을 위한 출입 포트(P)가 설치될 수 있다. 출입 포트(P)는 예를 들어 벽면의 길이 방향을 따라 형성되는 슬릿 구조가 될 수 있지만 이에 제한되지 않고 스테이지(12)의 출입이 가능한 임의의 구조가 될 수 있다. 출입 포트(P)는 스테이지(12)의 출입에 적합한 크기로 형성될 수 있고 필요에 따라 출입 포트(P)의 앞쪽에 차폐 수단이 설치될 수 있지만 반드시 요구되는 것을 아니다. 예를 들어 차폐 수단은 검사 장치(10)가 사용되지 않는 경우 출입 포트(P)를 차단시키는 기능을 가질 수 있다. An access port P for moving the stage 12 may be provided on one wall or entire surface of the test chamber R. [ The inlet port P may be, for example, a slit structure formed along the longitudinal direction of the wall surface, but is not limited thereto and may be any structure capable of entering and exiting the stage 12. The inlet port P may be formed to have a size suitable for the entrance and exit of the stage 12, and a shielding means may be provided in front of the inlet port P as necessary, but is not necessarily required. For example, the shielding means may have a function of blocking the entrance port P when the inspection apparatus 10 is not used.

출입 포트(P)를 외부에 대하여 차단시키고 이로 인하여 검사 과정에서 엑스레이 튜브로부터 방출되는 엑스레이(X-ray)의 누설을 방지하기 위한 셔터 유닛(11)이 검사 장치(10)에 설치될 수 있다. 셔터 유닛(11)은 출입 포트(P)의 안쪽 또는 출입 포트(P)가 형성된 내부 벽면에 설치될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. The shutter unit 11 may be installed in the inspection apparatus 10 so as to block the entry / exit port P from the outside and thereby prevent the leakage of the X-ray emitted from the X-ray tube during the inspection process. The shutter unit 11 may be installed on the inner side of the entry / exit port P or the inner wall surface on which the entry / exit port P is formed, but is not limited thereto.

스테이지(12)는 출입 포트(P)을 따라 검사실(R)의 내부로부터 외부로 또는 내부로부터 외부로 이동 가능하도록 설치될 수 있다. 예를 들어 스테이지(12)는 사각 판 형상이 될 수 있고 내부로 이동이 된 이후 적절한 검사 프레임(F)에 고정될 수 있다. 스테이지(12)는 슬라이딩 방식으로 출입 포트(P)를 관통하는 방식으로 검사실(P)의 내외부로 이동될 수 있지만 이에 제한되지 않고 출입 포트(P)의 구조에 따라 다양한 방법으로 이동될 수 있다. The stage 12 can be installed so as to be movable from the inside to the outside or from the inside to the outside of the inside of the examination room R along the access port P. For example, the stage 12 may be in the form of a rectangular plate and may be secured to an appropriate inspection frame F after it has been moved into the interior. The stage 12 can be moved in various ways depending on the structure of the entrance port P without being limited to this, although the stage 12 can be moved in and out of the examination room P in a sliding manner through the access port P.

스테이지(12)에 검사 대상이 적재될 수 있고 그리고 모터와 같은 적절한 구동 수단에 의하여 검사 대상은 스테이지(12)와 함께 검사실(R) 내부로 이동될 수 있다. 검사실(R) 내부에서 검사 대상이 엑스레이 튜브 및 디텍터에 의하여 검사되고 그리고 엑스레이 이미지가 디스플레이 유닛(14)에 표시될 수 있다. 이후 검사가 완료되면 스테이지(12)가 출입 포트(P)를 통하여 배출될 수 있고 그리고 검사 대상이 스테이지(12)로부터 적절한 이동 수단에 의하여 예를 들어 매거진과 같은 장치로 이동될 수 있다. 검사 조건의 설정 또는 검사 과정에서 필요한 입력 사항은 입력 수단(15)에 의하여 입력될 수 있다. The object to be inspected can be loaded on the stage 12 and the object to be inspected can be moved into the inspection room R together with the stage 12 by appropriate driving means such as a motor. The object to be inspected can be inspected by the x-ray tube and detector inside the inspection room R and the x-ray image can be displayed on the display unit 14. [ After the inspection is completed, the stage 12 can be discharged through the entry / exit port P and the object to be inspected can be moved from the stage 12 to a device such as a magazine, for example, by appropriate means of movement. The input items necessary for the inspection condition setting or inspection process can be inputted by the input means 15.

출입 포트(P)가 슬릿 구조가 되는 경우 판 형상을 가지는 전자기판 또는 인쇄 회로 기판이 스테이지(12)에 적재되어 검사실(R) 내부로 이동될 수 있고 이후 배출될 수 있다. 만약 검사 대상이 부피를 가진다면 검사 대상의 이동이 가능한 이동 출입구가 출입 포트(P)에 형성될 수 있다. 이와 같은 출입 포트(P)의 설계 변경에 의하여 본 발명에 따른 검사 장치(10)는 임의의 제품 검사에 적용될 수 있다. When the entry / exit port P has a slit structure, an electronic board or a printed circuit board having a plate shape can be loaded on the stage 12 and can be moved into the test chamber R and then discharged. If the object to be inspected has a volume, a moving entrance capable of moving the object to be inspected can be formed in the entry / exit port (P). By such a design change of the port P, the inspection apparatus 10 according to the present invention can be applied to any product inspection.

출입 포트(P)가 형성된 벽면 또는 다른 적절한 벽면에 적어도 하나의 관찰 창(13)이 설치되어 검사 과정 또는 검사실(P) 내부에 설치된 장치의 작동 상태가 감시될 수 있다. 또한 위에서 설명된 디스플레이 유닛(14) 및 입력 수단(15)이 검사실(R) 외부의 적절한 위치에 배치될 수 있고 본 발명은 이와 같은 장치의 설치 여부 또는 설치 위치에 의하여 제한되지 않는다. At least one observation window 13 may be provided on a wall surface or another suitable wall surface on which the access port P is formed so that the inspection process or the operation state of the device installed inside the examination room P can be monitored. Furthermore, the display unit 14 and the input means 15 described above can be disposed at appropriate positions outside the examination room R, and the present invention is not limited by the installation or installation position of such a device.

위에서 설명된 실시 예에서 하나의 출입 포트(P)가 설치된 실시 예가 제시되었다. 그러나 출입 포트(P)의 수는 특별히 제한되지 않으며 서로 다른 벽면에 동일하거나 또는 서로 다른 구조를 가지는 출입 포트가 배치될 수 있다. 예를 들어 검사실(R)의 전면에 검사 대상의 유입을 위한 출입 포트(P)가 설치될 수 있고 그리고 다른 면에 검사가 완료된 검사 대상의 배출을 위한 출입 포트(P)가 설치될 수 있다. 이와 같이 다양한 방법으로 적어도 하나의 출입 포트(P)가 설치될 수 있고 본 발명은 출입 포트(P)의 개수 또는 배치 위치에 의하여 제한되지 않는다. An embodiment in which one access port P is installed in the above-described embodiment is shown. However, the number of the outgoing ports P is not particularly limited, and the outgoing ports having the same or different structures on different wall surfaces may be arranged. For example, an access port P for inserting an object to be inspected may be provided on the front surface of the test room R, and an access port P for inspecting the object to be inspected may be provided on the other surface. In this way, at least one access port P can be installed in various ways, and the present invention is not limited by the number of the access ports P or the arrangement position.

다른 한편으로 본 발명에 따른 검사 장치(10)에 검사 대상의 유입 또는 배출과 관련된 도어가 설치될 필요가 없다. 예를 들어 검사 장치(10)의 전면에 관찰 창(13)이 배치되고 별도로 도어가 설치되지 않는다. 다만 장치의 점검을 위한 도어가 검사 장치의 뒷면 또는 다른 쪽에 설치될 수 있다. 검사 대상의 출입과 관련된 도어가 설치되는 경우 검사 대상의 이동 과정에서 도어의 개폐를 위한 작동이 이루어져야 한다. 그리고 이와 같은 도어의 작동은 검사 시간을 지연시키는 결과를 가져올 수 있다. 본 발명에 따르면, 이와 같은 도어의 작동에 따른 검사 시간의 지연이 방지될 수 있다. On the other hand, the inspection apparatus 10 according to the present invention need not be provided with a door related to the inflow or discharge of the inspection object. For example, the observation window 13 is disposed on the front surface of the inspection apparatus 10 and the door is not provided separately. However, a door for inspection of the apparatus may be installed on the back side or the other side of the inspection apparatus. When a door related to the entrance and exit of the inspection object is installed, an operation for opening and closing the door must be performed in the moving process of the inspection object. The operation of such a door may result in delayed inspection time. According to the present invention, a delay in inspection time due to the operation of the door can be prevented.

아래에서 본 발명에 따른 각각의 장치에 대하여 설명된다. Each device according to the present invention will be described below.

도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용될 수 있는 스테이지의 이동 구조의 실시 예를 도시한 것이다. 2A and 2B illustrate an embodiment of a moving structure of a stage that can be applied to an X-ray examination apparatus according to the present invention.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 검사실 내부에 고정 프레임(F)이 배치될 수 있고, 고정 프레임(F)에 스테이지(12)가 고정될 수 있는 이동 프레임(25)이 배치될 수 있다. 그리고 이동 프레임(25)에 한 쌍의 선형 가이드(21)가 설치될 수 있다. 스테이지(12)는 선형 가이드(21)를 따라 슬라이딩 방식으로 검사실의 내부 및 외부로 이동될 수 있다. 스테이지(12)의 이동을 위한 모터와 같은 구동 장치가 검사실 내부의 적절한 위치에 배치될 수 있다. 필요에 따라 스테이지(12)에 검사 대상의 정렬을 위한 정렬 부분(121)이 형성될 수 있다. Referring to FIGS. 2A and 2B, a fixed frame F may be disposed inside a test chamber, and a movable frame 25 to which the stage 12 can be fixed may be disposed in the fixed frame F. FIG. And a pair of linear guides 21 may be provided on the movable frame 25. [ The stage 12 can be moved in and out of the test chamber in a sliding manner along the linear guide 21. [ A driving device such as a motor for moving the stage 12 can be disposed at an appropriate position inside the examination room. An alignment portion 121 for aligning the inspection object may be formed on the stage 12 as required.

도 2a를 참조하면, 이동 프레임(25)은 검사실의 내부에서 상하 및 좌우 방향을 따라 이동 가능하도록 설치될 수 있다. 예를 들어 제1 이동 유닛(22)에 의하여 이동 프레임(25)이 화살표(A)로 표시된 방향을 따라 이동될 수 있고 그리고 프레임(F)에 설치된 이동 가이드를 따라 이동 프레임(25)이 화살표(B)로 표시된 방향으로 이동될 수 있다. 추가로 스테이지(12)가 출입 포트를 통하여 화살표(C) 방향으로 이동될 수 있고 필요에 따라 이동 프레임(25) 위에서 화살표(C)로 표시된 방향으로 이동되어 검사 위치가 조절될 수 있다. Referring to FIG. 2A, the moving frame 25 may be installed so as to be movable up and down and left and right in the interior of the examination room. For example, the first moving unit 22 can move the moving frame 25 along the direction indicated by the arrow A and move the moving frame 25 along the moving guide provided on the frame F in the direction of arrow B). ≪ / RTI > The stage 12 can be moved in the direction of the arrow C through the access port and moved in the direction indicated by the arrow C on the movable frame 25 as necessary so that the inspection position can be adjusted.

이동 프레임(25) 또는 스테이지(12)는 다양한 방향으로 이동 가능하도록 설치될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 예를 들어 검사실의 구조에 따라 이동 프레임(25) 또는 스테이지(12)가 회전 가능하도록 설치될 수 있다. The movable frame 25 or the stage 12 can be installed so as to be movable in various directions, and the present invention is not limited to the embodiments shown. For example, the movable frame 25 or the stage 12 may be rotatably installed according to the structure of the examination room.

도 2b를 참조하면, 엑스레이 튜브(T) 또는 디텍터(D)가 검사실 내부에서 이동 가능하도로 설치될 수 있고 그리고 셔터 유닛(11)에 설치된 셔터의 이동을 위한 예를 들어 벨트와 같은 이동 수단(23)이 검사실 내부에 설치될 수 있다. 엑스레이 튜브(T) 또는 디텍터(D)는 검사실 내부에 검사에 적합하도록 배치될 수 있고 본 발명은 엑스레이 튜브(T) 또는 디텍터(D)의 배치 위치에 의하여 제한되지 않는다. 2B, an X-ray tube T or a detector D may be movably installed inside the examination room and may be provided with a moving means such as a belt for moving the shutter provided on the shutter unit 11 23) can be installed inside the laboratory. The X-ray tube T or the detector D may be arranged to be inspectable inside the examination room and the present invention is not limited by the position of the X-ray tube T or the detector D.

아래에서 셔터 유닛에 대하여 설명된다. The shutter unit will be described below.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치에 적용될 수 있는 셔터 구조의 실시 예를 도시한 것이다. 3A and 3B illustrate an embodiment of a shutter structure that can be applied to the x-ray inspection apparatus according to the present invention.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 셔터 유닛(11)은 베이스 기판(31), 베이스 기판(31)에 배치되는 유도 가이드(33a, 33b) 및 유도 가이드(33a, 33b)를 따라 상하 이동이 가능하도록 배치되는 셔터(32)를 포함할 수 있다. 베이스 기판(31)은 판 형상이 될 수 있고 예를 들어 검사실의 내부 벽면에 고정될 수 있다. 베이스 기판(31)에 형성된 고정 홈(311)에 유도 가이드(33a, 33b)가 고정될 수 있다. 그리고 엑스레이의 차폐가 가능한 소재로 만들어진 윈도우 형상의 셔터(32)가 유도 가이드(33a, 33b)를 따라 상하로 이동될 수 있다. 예를 들어 셔터(32)는 모터와 같은 구동 장치(M)에 의하여 회전되는 벨트와 같은 이동 수단(23)을 이용하여 화살표(P)로 표시된 상하 방향으로 슬라이딩 방식으로 이동되어 위에서 설명된 출입 포트를 개폐시킬 수 있다. 3A and 3B, the shutter unit 11 is movable up and down along the guide base 33, guide guides 33a and 33b disposed on the base substrate 31, and guide guides 33a and 33b. (Not shown). The base substrate 31 may have a plate shape and may be fixed to the inner wall surface of the test chamber, for example. Guide guides 33a and 33b can be fixed to the fixing grooves 311 formed on the base substrate 31. [ The window-shaped shutter 32 made of a material capable of shielding the X-rays can be moved up and down along the guide guides 33a and 33b. The shutter 32 is moved in a sliding manner in the vertical direction indicated by the arrow P by using a moving means 23 such as a belt rotated by a driving device M such as a motor so as to move Can be opened and closed.

다양한 방법으로 셔터(32)가 이동될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The shutter 32 can be moved in various ways, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치는 검사 스테이지가 외부로 배출되어 검사 대상을 내부로 이송시키고 그리고 검사가 완료되면 검사 스테이지에 의하여 검사 대상이 외부로 배출되도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 별도로 도어가 설치되지 않도록 하는 것에 의하여 구조가 간단해지도록 하면서 이와 동시에 장치의 설계가 효율적으로 되도록 한다는 장점을 가진다. The X-ray inspection apparatus according to the present invention has an advantage that the inspection efficiency is improved by discharging the inspection stage to the outside and transferring the inspection target to the inside and discharging the inspection target to the outside by the inspection stage when the inspection is completed . Further, the inspection apparatus according to the present invention has an advantage that the structure is simplified by not providing a separate door, and at the same time, the design of the apparatus is made efficient.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.

11: 셔터 유닛 12: 스테이지
13: 관찰 창 14: 디스플레이 유닛
15: 입력 수단 21: 선형 가이드
23: 이동 수단 25: 이동 프레임
31: 베이스 기판 32: 셔터
33a, 33b: 유도 가이드 11: shutter unit 12: stage
13: Observation window 14: Display unit
15: input means 21: linear guide
23: Moving means 25: Moving frame
31: base substrate 32: shutter
33a, 33b: guide guide

Claims (6)

엑스레이 튜브 및 디텍터가 배치된 검사실(R);
상기 검사실(R)의 벽면에 형성된 적어도 하나의 출입 포트(P);
상기 출입 포트(P)를 통하여 적어도 일부가 검사실(R)의 외부로 이동 가능하도록 배치되는 스테이지(12); 및
상기 출입 포트(P)의 차단이 가능한 셔터 유닛(11)을 포함하는 스테이지 배출 구조의 엑스레이 검사 장치. A laboratory (R) in which an x-ray tube and a detector are arranged;
At least one access port (P) formed on a wall surface of the examination room (R);
A stage (12) arranged so that at least a part thereof can be moved out of the examination room (R) through the entry / exit port (P); And
And a shutter unit (11) capable of interrupting the entry / exit port (P). 청구항 1에 있어서, 상기 출입 포트(P)는 슬릿 형상이 되고 그리고 상기 스테이지(12)는 판 형상이 되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사 장치. 2. The x-ray examination apparatus according to claim 1, wherein the access port (P) has a slit shape and the stage (12) has a plate shape. 청구항 1에 있어서, 상기 검사실(R)의 한쪽 면에 배치된 적어도 하나의 관찰 창(13)을 더 포함하는 엑스레이 검사 장치. The apparatus according to claim 1, further comprising at least one observation window (13) arranged on one side of the inspection room (R). 청구항 1에 있어서, 상기 스테이지(12)의 이동을 위한 선형 가이드(21) 및 선형 가이드(21)가 고정되는 이동 프레임(25)을 더 포함하고, 상기 이동 프레임(25)은 상기 선형 가이드(21)의 이동 방향과 서로 다른 적어도 하나의 방향을 따라 이동 가능하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사 장치. The apparatus according to claim 1, further comprising a moving frame (25) to which a linear guide (21) and a linear guide (21) for moving the stage (12) are fixed, And the at least one of the X-ray source and the X-ray source is movable in at least one direction different from the moving direction of the X-ray. 청구항 1에 있어서, 상기 셔터 유닛(11)은 베이스 기판(31), 베이스 기판(31)에 배치되는 유도 가이드(33a, 33b) 및 유도 가이드(33a, 33b)를 따라 상하 이동이 가능하도록 배치되는 셔터(32)를 포함하는 엑스레이 검사 장치. The shutter unit 11 according to claim 1, wherein the shutter unit 11 is disposed so as to be movable up and down along the base substrate 31, the guide members 33a and 33b disposed on the base substrate 31, and the guide members 33a and 33b And a shutter (32). 청구항 1에 있어서, 상기 셔터 유닛(11)은 구동 장치(M)에 의하여 상하 슬라이딩이 가능하도록 배치되는 셔터(32)를 포함하는 엑스레이 검사 장치. The apparatus according to claim 1, wherein the shutter unit (11) includes a shutter (32) arranged to be able to slide up and down by a driving device (M).
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KR100878777B1 (en) * 2007-02-09 2009-01-14 주식회사 엠피스엑스선 3 dimension x-ray image capture system
KR100978054B1 (en) * 2009-11-13 2010-08-25 (주)자비스 X-ray inspection apparatus for battery
KR100956873B1 (en) * 2009-12-28 2010-05-11 한국기계연구원 Inspection system using x-ray
KR101374634B1 (en) * 2012-08-10 2014-03-17 주식회사 쎄크 inline X-ray shielding door unit and X-ray inspecting system having the same

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