KR20150099657A - 가이드 롤러 평행도 측정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가이드 롤러의 평행도를 측정하기 위한 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 장착플레이트에 접촉되어 직선이동되는 측정수단을 통해 간편하게 가이드 롤러의 경사도, 직진도 및 평행도를 모두 측정할 수 있는 가이드 롤러 평행도 측정장치에 관한 것이다.
본 발명은 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축 상에서 직선이동되는 복수 개의 측정수단을 통하여 가이드 롤러의 평행도를 측정하기 위한 장치에 있어서, 일정면적을 갖추고 상기 Y축 방향을 따라 일정길이 관통형성되는 복수 개의 삽입공을 갖추어 상기 가이드 롤러의 상부측에 접하도록 배치되는 판상의 장착플레이트; 상기 삽입공에 삽입되어 상기 장착플레이트로부터 하부로 일정길이 돌출되고 일면이 상기 가이드 롤러에 접촉되는 한 쌍의 접촉판; 상기 장착플레이트의 상부측에 배치되고, 상기 장착플레이트의 상부면을 따라 X축 방향으로 이동되는 적어도 하나의 제1측정수단; 및 상기 장착플레이트의 상부측에 배치되고, 상기 장착플레이트의 상부면을 따라 Y축 방향으로 이동되는 제2측정수단;을 포함하는 가이드 롤러 평행도 측정장치를 제공한다.

Description

가이드 롤러 평행도 측정장치{A apparatus for gauging degree of parallelization of guide roller}

본 발명은 가이드 롤러의 평행도를 측정하기 위한 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 장착플레이트에 접촉되어 직선이동되는 측정수단을 통해 간편하게 가이드 롤러의 경사도, 직진도 및 평행도를 모두 측정할 수 있는 가이드 롤러 평행도 측정장치에 관한 것이다.

일반적으로, 잉곳의 성장공정이 완료된 후 웨이퍼로 제조하기 위해서는 잉곳을 낱장 단위로 절단하는 슬라이싱 공정이 진행된다.

이러한 슬라이싱 공정은 여러가지 방식이 있는데, 대표적인 방법으로는 챔버 내에서 와이어를 빠른 속도로 왕복 주행시키면서 그 위에 슬러리 용액이나 쿨런트(Coolant)를 분사시켜 와이어에 묻은 슬러리 또는 쿨런트와 단결정 잉곳의 마찰에 의해 절단하는 와이어 쏘 방식 또는 다이아몬드 와이어 쏘 방식이다.

이러한 방식은 잉곳을 동시에 여러 개의 웨이퍼로 절단할 수 있어 단위 시간당 생산수율을 향상시킬 수 있기 때문에 현재 널리 쓰이고 있다.

한국등록특허 제0887494호에서는 잉곳을 절단하는 와이어 쏘 시스템이 개시되어 있다. 상기 특허의 와이어 쏘 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이 메인롤러에 와이어가 수백 또는 수천회 권취되어 있고, 메인롤러의 회전으로 인해 와이어가 고속으로 주행한다. 그리고 잉곳을 고정하는 고정유닛이 하강하면서 고속 주행하는 와이어에 의해 잉곳을 절단하게 된다.

이러한 메인롤러의 안정된 회전을 유지하기 위해서는 메인롤러의 회전에 따라 메인롤러의 무게 균형을 회전축의 중심으로 조정해야 한다.

그러나, 종래의 와이어 쏘 시스템에서는 메인롤러의 평행도를 간편하게 측정할 수 있는 방법이 없었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 장착플레이트에 접촉되어 직선이동되는 측정수단을 통해 간편하게 가이드 롤러의 경사도, 직진도 및 평행도를 모두 간편하게 측정할 수 있는 가이드 롤러 평행도 측정장치를 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축 상에서 직선이동되는 복수 개의 측정수단을 통하여 가이드 롤러의 평행도를 측정하기 위한 장치에 있어서, 일정면적을 갖추고 상기 Y축 방향을 따라 일정길이 관통형성되는 복수 개의 삽입공을 갖추어 상기 가이드 롤러의 상부측에 접하도록 배치되는 판상의 장착플레이트; 상기 삽입공에 삽입되어 상기 장착플레이트로부터 하부로 일정길이 돌출되고 일면이 상기 가이드 롤러에 접촉되는 한 쌍의 접촉판; 상기 장착플레이트의 상부측에 배치되고, 상기 장착플레이트의 상부면을 따라 X축 방향으로 이동되는 적어도 하나의 제1측정수단; 및 상기 장착플레이트의 상부측에 배치되고, 상기 장착플레이트의 상부면을 따라 Y축 방향으로 이동되는 제2측정수단;을 포함하는 가이드 롤러 평행도 측정장치를 제공한다.

바람직하게는, 상기 접촉판은 일정면적을 갖는 수평판과 상기 수평판으로부터 하부로 수직하게 연장되는 수직판을 포함하고, 상기 수평판이 상기 삽입공의 테두리 측에 걸리도록 상기 삽입공에 삽입될 수 있다.

바람직하게는, 상기 수직판의 두께는 상기 삽입공의 폭보다 더 작은 크기를 갖도록 구비될 수 있다.

바람직하게는, 하부면에 제1레일부를 갖추고 상기 X축방향으로 배치되는 한 쌍의 가로대와 하부면에 제2레일부를 갖추고 상기 Y축방향으로 배치되어 상기 한 쌍의 가로대를 연결하는 세로대로 구성되는 지지체를 포함하고, 상기 제1측정수단은 제1슬라이더를 매개로 상기 제1레일부를 따라 X축방향으로 이동되고, 상기 제2측정수단은 제2슬라이더를 매개로 상기 제2레일부를 따라 Y축방향으로 이동될 수 있다.

바람직하게는, 상기 제2슬라이더로부터 하부로 연장되어 상기 삽입공을 통과하도록 배치되는 제1수직바를 포함하고, 상기 제1수직바의 양측에는 상기 한 쌍의 접촉판과 접하도록 배치되는 한 쌍의 제3측정수단이 구비되어 상기 제2슬라이더의 Y축방향 이동시 상기 한 쌍의 접촉판 사이의 이격거리를 측정할 수 있다.

바람직하게는, 상기 제1슬라이더 및 제2슬라이더는 상기 X축 방향으로 각각 연장되는 수평바를 포함하고, 상기 수평바를 따라 슬라이딩 이동가능하게 각각 결합되는 제1홀더에 상기 제1측정수단 및 제2측정수단이 결합될 수 있다.

바람직하게는, 상기 제1홀더는 상기 수평바를 감싸도록 배치되는 한 쌍의 제1날개편이 일정간격 이격 배치되고 상기 한 쌍의 제1날개편에 동시에 체결되는 고정부재를 통해 상기 수평바에 대한 제1홀더의 이동을 구속할 수 있다.

바람직하게는, 일정길이를 갖추어 상기 제1홀더에 Z축 방향으로 결합되는 제2수직바를 포함하고, 상기 제1측정수단 및 제2측정수단은 상기 제2수직바를 따라 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 제2홀더에 결합될 수 있다.

바람직하게는, 상기 제2홀더는 상기 제2수직바를 감싸도록 배치되는 한 쌍의 제2날개편이 일정간격 이격 배치되고 상기 한 쌍의 제2날개편에 동시에 체결되는 고정부재를 통해 상기 제2수직바에 대한 제2홀더의 이동을 구속할 수 있다.

본 발명에 의하면, 장착플레이트에 접촉되어 직선이동되는 측정수단을 통해 간편하게 가이드 롤러의 경사도, 직진도 및 평행도를 모두 간편하게 측정할 수 있어 가이드 롤러를 최적의 상태로 조정할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 일반적인 와이어 쏘 시스템을 나타낸 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 가이드 롤러 평행도 측정장치를 나타낸 전체사시도.
도 3은 도 2의 저면사시도.
도 4는 도 2에서 장착플레이트가 제거된 상태를 나타낸 전체사시도.
도 5는 도 4의 저면사시도.
도 6은 도 2에 사용되는 홀더 및 제1,2측정수단의 결합관계를 나타낸 요부사시도.
도 7은 도 2에 사용되는 제3,4홀더 및 제3측정수단의 결합관계를 나타낸 요부사시도.
도 8은 본 발명에 따른 가이드 롤러 평행도 측정장치가 가이드 롤러에 장착된 상태를 나타낸 측면도.
도 9는 본 발명에 따른 가이드 롤러 평행도 측정장치가 가이드 롤러에 장착된 상태를 나타낸 정면도.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하기로 한다.

이하에서, 발명의 이해를 돕기 위해 도면부호를 부가함에 있어 동일한 구성요소에 대해서는 비록 다른 도면에 표시되었다 하더라도 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.

더불어, 이하의 설명에서 X축, Y축, Z축은 서로 직교하는 세 축으로 가정하며, X축은 장착플레이트와 평행하면서 가이드 롤러의 길이방향과 수직한 방향이고, Y축은 장착플레이트와 평행하면서 가이드 롤러의 길이방향과 평행한 방향을 말하며, Z축은 장착플레이트에 수직한 방향으로 규정한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가이드 롤러의 평행도 측정장치(100)는 장착플레이트(110)에 접촉되어 직선이동되는 측정수단(140,150,160)을 통해 간편하게 가이드 롤러(10)의 평행도 및 직진도를 모두 측정할 수 있는 데 기술적 특징이 있다.

이하에서는, 설명의 편의를 위하여 본 발명에 따른 가이드 롤러의 평행도 조정장치(100)를 이용하여 도 1에 도시된 와이어 쏘 시스템에 장착되는 가이드 롤러의 평행도를 측정하는 것을 예시적으로 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 가이드 롤러의 평행도 조정장치(100)의 사용이 와이어 쏘 시스템에 한정되는 것은 아니고 이는 예시적인 것으로 이해되어야 할 것이며, 서로 나란하게 배치되는 두 개의 부재에 대한 평행도 및 직진도의 관리가 요구되는 모든 장비의 측정에 적용될 수 있음을 밝혀둔다.

본 발명에 따른 가이드 롤러 평행도 측정장치(100)는 도 2 내지 도 8에 도시된 바와 같이 장착플레이트(110), 접촉판(120), 제1측정수단(140) 및 제2측정수단(150)을 포함한다.

상기 장착플레이트(110)는 와이어 쏘 장치에 구비되는 가이드 롤러(10)의 상부측에 배치되어 상기 제1측정수단(140) 및 제2측정수단(150)이 직선이동되는 경로를 제공하기 위한 것이다. 이러한 장착플레이트(110)는 일정면적을 갖는 판상의 부재로 이루어지며, 가이드 롤러(10)의 평행도 및 직진도를 측정하고자 하는 경우 하부면이 상기 가이드 롤러(10)의 상부면에 접촉된다.

이를 통해, 상기 제1측정수단(140) 및 제2측정수단(150)이 상기 장착플레이트(110)의 상부면에 접촉된 상태에서 X축 방향이나 Y축 방향으로 이동하면서 장착플레이트(110)의 하부면에 접촉된 가이드 롤러(10)의 평행도 및 직진도를 측정할 수 있게 된다.

이때, 상기 장착플레이트(110)의 내부에는 상기 Y축 방향을 따라 일정길이 관통형성되는 적어도 두 개의 삽입공(112)이 구비된다. 이러한 삽입공(112)은 상기 장착플레이트(110)의 하부측에 대하여 수직하게 배치되는 한 쌍의 접촉판(120)을 삽입하기 위한 것이다. 즉, 상기 한 쌍의 접촉판(120)은 일정면적을 갖는 판상의 부재로 구비되어 상기 장착플레이트(110)의 하부면으로부터 하부로 일정길이 돌출되도록 상기 장착플레이트(110)에 결합되며, 일면이 상기 가이드 롤러(10)의 측부에 접촉되도록 배치된다.

이를 위해, 상기 접촉판(120)은 일정면적을 갖는 수평판(122)과 상기 수평판(122)으로부터 하부로 수직하게 연장되는 수직판(124)을 포함하고, 상기 수평판(122)이 상기 삽입공(112)의 테두리에 걸리도록 상기 삽입공(112)에 삽입된다.

여기서, 상기 한 쌍의 접촉판(120)은 제3측정수단(160)을 통하여 서로 간격을 두고 일정간격 이격배치되는 한 쌍의 가이드 롤러(10)간의 평행도를 측정하기 위한 것이다. 즉, 상기 제3측정수단(160)은 한 쌍으로 구비되어 단부가 서로 마주하는 상기 한 쌍의 접촉판(120)의 대향면에 접촉된다. 이에 따라, 상기 한 쌍의 제3측정수단(160)은 단부가 상기 접촉판(120)에 접촉된 상태에서 Y축 방향으로 직선 이동하면서 상기 한 쌍의 접촉판(120)의 이격거리를 측정함으로써 가이드 롤러(10)의 간격을 측정하게 된다. 이를 통해, 상기 접촉판(120) 사이의 이격거리가 Y축 방향을 따라 일정하게 되면 한 쌍의 가이드 롤러(10)는 서로 평행한 상태이며, 상기 접촉판(120) 사이의 이격거리가 일정하지 않으면 한 쌍의 가이드 롤러(10)는 평행하지 않고 어긋난 상태이므로 조절 작업이 요구되는 것을 간편하게 작업자가 인지할 수 있게 된다.

이때, 상기 수직판(124)의 두께는 상기 삽입공(112)의 폭보다 더 작은 크기를 갖도록 구비됨으로써 상기 제3측정수단(160)의 직선이동시 제3측정수단(160)으로부터 가해지는 압력에 의해 상기 수직판(124)의 일면이 항상 상기 가이드 롤러(10)의 측부에 접한 상태를 유지할 수 있도록 한다.

한편, 상기 장착플레이트(110)의 하부면에는 가장자리에 복수 개의 걸림턱(114)이 장착플레이트의 하부면으로부터 일정높이 돌출되도록 구비된다. 이러한 걸림턱(114)은 가이드 롤러의 평행도를 측정하기 위하여 상기 가이드 롤러(10)의 상부측에 장착플레이트(110)를 배치할 경우 가이드 롤러(10) 측에 상기 걸림턱(114)이 걸리도록 함으로써 상기 제1측정수단(140) 및 제2측정수단(150)의 직선이동시 장착플레이트(110)가 유동되는 것을 방지하기 위함이다.

상기 제1측정수단(140) 및 제2측정수단(150)은 상기 장착플레이트(110)의 상부면 상에서 X축 방향과 Y축 방향으로 직선이동되면서 가이드 롤러(10)의 평행도 및 직진도를 측정하기 위한 것이다.

이를 위해, 상기 제1측정수단(140) 및 제2측정수단(150)은 상기 장착플레이트(110)의 상부측에 배치되는 지지체(130)를 따라 이동방향이 안내되어 장착플레이트(110)의 상부면 상에서 직선이동된다.

즉, 상기 장착플레이트(110)의 상부측에는 하부면에 제1레일부(132a)를 갖추고 상기 X축 방향으로 이격배치되는 한 상의 가로대(132)와 하부면에 제2레일부(134a)를 갖추고 상기 Y축 방향으로 배치되어 상기 한 쌍의 가로대(132)를 연결하는 세로대(134)로 구성되는 지지체(130)가 배치된다.

그리고, 상기 제1측정수단(140)은 상기 제1레일부(132a)를 따라 슬라이딩 이동되는 제1슬라이더(133)를 매개로 상기 제1레일부(132a)에 장착되어 상기 제1레일부(132a)를 따라 X축방향으로 직선 이동됨으로써 가이드 롤러(10)의 평행도를 측정하게 된다. 또한, 상기 제2측정수단(150)은 상기 제2레일부(134a)를 따라 슬라이딩 이동되는 제2슬라이더(135)를 매개로 상기 제2레일부(134a)에 장착되어 상기 제2레일부(134a)를 따라 Y축방향으로 직선 이동됨으로써 가이드 롤러(10)의 직진도를 측정하게 된다.

이를 위해, 상기 제1슬라이더(133) 및 제2슬라이더(135)는 상기 X축 방향으로 각각 연장되는 수평바(133a,135a)를 포함하고, 상기 수평바(133a,135a)에는 상기 수평바(133a,135a)를 따라 슬라이딩 이동가능한 제1홀더(133b,135b)가 각각 결합된다. 이때 상기 제1홀더(133b,135b)는 상기 수평바(133a,135a)를 감싸도록 배치되는 한 쌍의 제1날개편(133c,135c)이 일정간격 이격 배치되고 상기 한 쌍의 제1날개편(133c,135c)에 동시에 체결되는 고정부()재를 통해 상기 수평바(133a,135a)에 대한 제1홀더(133b,135b)의 슬라이딩 이동을 구속하거나 해제한다. 더불어 상기 제1홀더(133b,135b)에는 일정길이를 갖추어 Z축 방향으로 결합되는 제2수직바(133d,135d)가 구비되고, 상기 제2수직바(133d,135d)에는 제2수직바(133d,135d)를 따라 상,하부로 슬라이딩 이동가능한 제2홀더(133e,135e)가 결합되며, 상기 제2홀더(133e,135e)의 일측에 상기 제1측정수단(140) 및 제2측정수단(150)이 각각 결합된다.

여기서, 상기 제2홀더(133e,135e)는 상기 제2수직바(133d,135d)를 감싸도록 배치되는 한 쌍의 제2날개편(133f,135f)이 일정간격 이격 배치되고, 상기 한 쌍의 제2날개편(133f,135f)에 동시에 체결되는 고정부재()를 통해 상기 제2수직바(133d,135d)에 대한 제2홀더(133e,135e)의 이동을 구속하거나 해제한다.

이와 같이 본 발명에 따른 가이드 롤러 평행도 측정장치(100)는 상기 제1측정수단(140) 및 제2측정수단(150)이 제1홀더(133b,135b) 및 제2홀더(133e,135e)를 통해 수평바(133a,135a) 및 제2수직바(133d,135d)에 대하여 X축 방향 및 Z축 방향으로 각각 슬라이딩 이동됨으로써 상기 장착플레이트(110)의 상부면에 접촉되도록 간편하게 셋팅을 할 수 있게 된다.

한편, 상기 세로대(134)의 하부면에 구비된 제2레일부(134a)를 따라 슬라이딩 이동되는 제2슬라이더(135)는 하부로 일정길이 연장되어 상기 삽입공(112)을 통과하도록 배치되는 제1수직바(136)를 포함하고, 상기 제1수직바(136)의 양측에는 상기 한 쌍의 접촉판(120)과 접하도록 배치되는 한 쌍의 제3측정수단(160)이 구비된다. 이러한 제3측정수단(160)은 상기 제2슬라이더(135)의 왕복이동시 상기 한 쌍의 접촉판(120) 사이의 이격거리를 측정함으로써 서로 간격을 두고 이격배치되는 한 쌍의 가이드 롤러(10) 사이의 이격거리가 일정한지를 측정하게 된다.

여기서, 상기 제1수직바(136)에는 제1수직바(136)를 따라 슬라이딩 이동가능한 제3홀더(136a)가 결합되며, 상기 제3홀더(136a)에는 상기 제3홀더(136a)로부터 X축방향으로 연장되는 지지바(136b)를 포함한다. 그리고, 상기 지지바(136b)에는 상기 지지바(136b)를 따라 슬라이딩 이동가능하게 제4홀더(136c)가 결합된다. 그리고, 상기 제4홀더(136c)에 Z축 방향으로 상기 제3측정수단(160)이 구비된다. 이에 따라, 상기 제3홀더(136a) 및 제4홀더(136c)의 위치를 조정하여 상기 한 쌍의 접촉판(120)에 상기 제3측정수단(160)이 접촉된 상태로 용이하게 설정할 수 있게 된다.

이와 같이 본 발명에 따른 가이드 롤러 평행도 측정장치(100)는 장착플레이트(110)의 상부면 상에서 X축과 Y축방향으로 각각 직선이동되는 제1측정수단(140) 및 제2측정수단(150)을 통하여 가이드 롤러(10)의 경사도 및 직진도를 모두 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 한 쌍의 접촉판(120) 사이에서 Y축방향으로 직선이동되는 제3측정수단(160)을 통하여 서로 이격된 가이드 롤러(10)의 평행도 역시 간편하게 측정할 수 있는 장점이 있다.

한편, 본 발명의 제1측정수단(140), 제2측정수단(150) 및 제3측정수단(160)은 통상적으로 사용되는 롤러 게이지가 사용될 수 있으며, 직선이동을 통해 높이편차를 측정할 수 있는 공지의 다양한 게이지가 사용될 수 있음을 밝혀둔다.

그리고, 상기 제1레일부(132a) 및 제2레일부(134a)를 따라 슬라이딩 이동되는 제1슬라이더(133) 및 제2슬라이더(135)는 공지의 리니어모터를 통해 구동될 수 있음을 밝혀둔다.

상기에서 본 발명의 특정 실시예와 관련하여 도면을 참조하여 상세히 설명하였지만, 본 발명을 이와 같은 특정 구조에 한정하는 것은 아니다. 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상을 벗어나지 않고서도 용이하게 수정 또는 변경할 수 있을 것이다. 그러나, 이러한 단순한 설계변형 또는 수정을 통한 등가물, 변형물 및 교체물은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속함을 미리 밝혀둔다.

100 : 가이드 롤러 평행도 측정장치
110 : 장착플레이트 112 : 삽입공
120 : 접촉판 122 : 수평판
124 : 수직판 130 : 지지체
132 : 가로대 132a : 제1레일부
133 : 제1슬라이더 133a : 수평바
133b : 제1홀더 133c : 제1날개편
133d : 제2수직바 133e : 제2홀더
133f : 제2날개편 134 : 세로대
134a : 제2레일부 135 : 제2슬라이더
135a : 수평바 135b : 제1홀더
135c : 제1날개편 135d : 제2수직바
135e : 제2홀더 135f : 제2날개편
136 : 제1수직바 136a : 제3홀더
136b : 지지바 136c : 제4홀더
140 : 제1측정수단 150 : 제2측정수단
160 : 제3측정수단

Claims (10)

1. 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축 상에서 직선이동되는 복수 개의 측정수단을 통하여 가이드 롤러의 평행도를 측정하기 위한 장치에 있어서,
   일정면적을 갖추고 상기 Y축 방향을 따라 일정길이 관통형성되는 복수 개의 삽입공을 갖추어 상기 가이드 롤러의 상부측에 접하도록 배치되는 판상의 장착플레이트;
   상기 삽입공에 삽입되어 상기 장착플레이트로부터 하부로 일정길이 돌출되고 일면이 상기 가이드 롤러에 접촉되는 한 쌍의 접촉판;
   상기 장착플레이트의 상부측에 배치되고, 상기 장착플레이트의 상부면을 따라 X축 방향으로 이동되는 적어도 하나의 제1측정수단; 및
   상기 장착플레이트의 상부측에 배치되고, 상기 장착플레이트의 상부면을 따라 Y축 방향으로 이동되는 제2측정수단;을 포함하는 가이드 롤러 평행도 측정장치.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 접촉판은 일정면적을 갖는 수평판과 상기 수평판으로부터 하부로 수직하게 연장되는 수직판을 포함하고, 상기 수평판이 상기 삽입공의 테두리 측에 걸리도록 상기 삽입공에 삽입되는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러 평행도 조정장치.
3. 제 2항에 있어서,
   상기 수직판의 두께는 상기 삽입공의 폭보다 더 작은 크기를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러 평행도 조정장치.
4. 제 1항에 있어서,
   하부면에 제1레일부를 갖추고 상기 X축방향으로 배치되는 한 쌍의 가로대와 하부면에 제2레일부를 갖추고 상기 Y축방향으로 배치되어 상기 한 쌍의 가로대를 연결하는 세로대로 구성되는 지지체를 포함하고,
   상기 제1측정수단은 제1슬라이더를 매개로 상기 제1레일부를 따라 X축방향으로 이동되고, 상기 제2측정수단은 제2슬라이더를 매개로 상기 제2레일부를 따라 Y축방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러 평행도 측정장치.
5. 제 4항에 있어서,
   상기 제2슬라이더로부터 하부로 연장되어 상기 삽입공을 통과하도록 배치되는 제1수직바를 포함하고, 상기 제1수직바의 양측에는 상기 한 쌍의 접촉판과 접하도록 배치되는 한 쌍의 제3측정수단이 구비되어 상기 제2슬라이더의 Y축방향 이동시 상기 한 쌍의 접촉판 사이의 이격거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러 평행도 측정장치.
6. 제 4항에 있어서,
   상기 제1슬라이더 및 제2슬라이더는 상기 X축 방향으로 각각 연장되는 수평바를 포함하고, 상기 수평바를 따라 슬라이딩 이동가능하게 각각 결합되는 제1홀더에 상기 제1측정수단 및 제2측정수단이 결합되는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러 평행도 측정장치.
7. 제 6항에 있어서,
   상기 제1홀더는 상기 수평바를 감싸도록 배치되는 한 쌍의 제1날개편이 일정간격 이격 배치되고 상기 한 쌍의 제1날개편에 동시에 체결되는 고정부재를 통해 상기 수평바에 대한 제1홀더의 이동을 구속하는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러 평행도 조정장치.
8. 제 6항에 있어서,
   일정길이를 갖추어 상기 제1홀더에 Z축 방향으로 결합되는 제2수직바를 포함하고, 상기 제1측정수단 및 제2측정수단은 상기 제2수직바를 따라 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 제2홀더에 결합되는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러 평행도 측정장치.
9. 제 8항에 있어서,
   상기 제2홀더는 상기 제2수직바를 감싸도록 배치되는 한 쌍의 제2날개편이 일정간격 이격 배치되고 상기 한 쌍의 제2날개편에 동시에 체결되는 고정부재를 통해 상기 제2수직바에 대한 제2홀더의 이동을 구속하는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러 평행도 조정장치.
10. 제 1항에 있어서,
    상기 장착플레이트는 하부면으로부터 일정높이 돌출형성되는 복수 개의 걸림턱이 구비되는 것을 특징으로 하는 가이드 롤러 평행도 조정장치.

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