KR20150079821A

KR20150079821A - Conveyance device, component mounting device, and gripper

Info

Publication number: KR20150079821A
Application number: KR1020157013796A
Authority: KR
Inventors: 히로아키 카타이; 토모요시 우츠미
Original assignee: 야마하하쓰도키 가부시키가이샤
Priority date: 2013-01-30
Filing date: 2013-01-30
Publication date: 2015-07-08
Also published as: WO2014118820A1; JPWO2014118820A1; CN104838739A; KR101682036B1; CN104838739B; JP5902836B2

Abstract

반송 장치는 헤드 본체와, 이 헤드 본체에 장착되는 파지구 본체와 접리 가능한 제 1 파지 클로 및 제 2 파지 클로를 포함하고, 작동압의 공급을 받아서 작동하는 파지구와, 상기 파지구에 대하여 작동압을 공급하는 압력 공급 기구를 포함한다. 파지구 본체는 상기 압력 통로에 연통하는 실린더와, 이 실린더의 내부를 대기 개방하기 위한 리크 통로를 구비한다. 제 1 파지 클로는 실린더 내에 수용되는 피스톤부를 포함하고, 실린더에 공급되는 작동압을 받음으로써 제 2 파지 클로에 접근하는 방향으로 변위함과 아울러, 양쪽 파지 클로의 간격이 피반송물을 파지하는 제 1 간격보다 좁은 제 2 간격이 되는 상태까지 변위 가능하도록 최대 변위량이 설정된다. 피스톤부는 양쪽 파지 클로의 간격이 제 2 간격이 된 상태에서만 리크 통로와 실린더를 연통시켜서 실린더 내의 압력을 대기압에 리크시키는 통로 개폐부를 구비한다.The conveying apparatus includes a head main body, a wave earth including a first grip claw and a second grip claw capable of being folded back on a wave core body mounted on the head main body, the wave core being operated by supply of operating pressure, And a pressure supply mechanism for supplying pressure. The wave earth main body has a cylinder communicating with the pressure passage, and a leak passage for opening the interior of the cylinder to the atmosphere. The first grip claw includes a piston portion accommodated in the cylinder and is displaced in a direction toward the second grip claw by receiving operating pressure supplied to the cylinder, and the gap between the both grip claws is spaced apart from the first gap The maximum displacement amount is set so as to be able to be displaced to a state where the second interval becomes narrower. The piston portion has a passage opening / closing portion for communicating the leak passage with the cylinder only when the gap between the both grip claws is at the second gap, thereby allowing the pressure in the cylinder to be leaked to the atmospheric pressure.

Description

CONVEYANCE DEVICE, COMPONENT MOUNTING DEVICE, AND GRIPPER}

본 발명은 전자 부품 등의 피반송물을 파지한 상태로 반송하는 반송 장치, 이 반송 장치를 포함하는 부품 실장 장치, 및 상기 반송 장치에 적합한 파지구에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conveying apparatus for conveying a conveyed object such as an electronic part in a gripped state, a component mounting apparatus including the conveying apparatus, and a wave guide suitable for the conveying apparatus.

종래부터 부품 실장용의 헤드에 의해 부품 공급부로부터 부품(피반송물)을 인출해서 기판 상의 탑재 위치에 실장하는 부품 실장 장치가 알려져 있다. 상기 헤드는 헤드 본체와 이 헤드 본체에 장착되는 부품 유지 부재로 구성된다. 부품 유지 부재는 부품을 흡착하는 노즐이나, 부품을 파지하는 기계 척(파지구)이 있고, 이들 노즐이나 기계 척이 부품의 종류에 따라 구별하여 사용된다. 예를 들면, IC 등의 소형의 전자 부품은 노즐에 의해 흡착되고, 커넥터 등의 대형 부품은 기계 척에 의해 파지되어서 각각 반송된다.BACKGROUND ART Conventionally, a component mounting apparatus for pulling out a component (a transported object) from a component supply section by a component mounting head and mounting the component on a mounting position on the substrate is known. The head is composed of a head main body and a component holding member mounted on the head main body. The component holding member is a nozzle for picking up a component or a mechanical chuck (grasping region) for holding a component. These nozzles and a mechanical chuck are used in accordance with the type of component. For example, a small electronic component such as an IC is sucked by a nozzle, and a large component such as a connector is gripped by a mechanical chuck and transported individually.

특허문헌 1에는 상기와 같은 노즐 및 기계 척을 구비한 부품 실장 장치의 일례가 개시되어 있다. 이 부품 실장 장치는 헤드 본체에 대하여 노즐 및 기계 척이 선택적으로 장착된다. 헤드 본체에 대하여 노즐이 장착된 상태에서는 헤드 내의 통로를 통해 노즐에 부압(작동압)이 공급되고, 이에 따라 부품이 노즐 선단에 흡착된다.Patent Document 1 discloses an example of a component mounting apparatus provided with a nozzle and a mechanical chuck as described above. In this component mounting apparatus, a nozzle and a mechanical chuck are selectively mounted on the head body. In a state in which the nozzle is mounted on the head body, negative pressure (operating pressure) is supplied to the nozzle through the passage in the head, so that the component is sucked to the tip of the nozzle.

기계 척은 피스톤의 상하 이동에 따라 한쌍의 클램프 클로가 개폐하는 구성이다. 즉, 헤드 본체에 기계 척이 장착되고, 상기 헤드 내의 통로를 통해 기계 척에 부압이 공급되면 상기 피스톤이 흡인되어서 상승하고, 이에 따라 상기 클램프 클로가 닫힌다. 한편, 상기 헤드 내의 통로를 통해 기계 척에 에어 블로우(정압)가 공급되면 상기 피스톤이 하강해서 상기 클램프 클로가 열린다. 따라서, 기계 척은 클램프 클로가 닫힘으로써 부품을 파지한다.The mechanical chuck is configured to open and close a pair of clamp claws according to the upward and downward movement of the piston. That is, a mechanical chuck is mounted on the head main body, and when a negative pressure is supplied to the mechanical chuck through the passage in the head, the piston is sucked up and thus the clamp claw is closed. On the other hand, when air blow (positive pressure) is supplied to the mechanical chuck through the passage in the head, the piston is lowered to open the clamp claw. Thus, the mechanical chuck grips the part by closing the clamp claw.

이 종류의 부품 실장 장치에서는 기판으로의 부품의 실장에 앞서 상기 헤드가 인출한 부품을 상기 헤드와 함께 고정 카메라 상으로 이동시켜서 촬상하고, 부품의 유무나 유지 상태를 사전에 확인한 후에 기판 상에 실장하는 것이 행해진다. 그러나, 기계 척에 의해 파지되는 대형 부품을 인식하려고 하면 대형의 카메라가 필요해지기 때문에 부품 실장 장치의 대형화나 고비용화를 수반한다. 또한, 대형 부품이 불완전한 상태로 유지되어 있을 경우에는, 예를 들면 고정 카메라 상으로의 이동 도중에 상기 대형 부품이 기판 위를 끌어서 실장이 완료된 부품이 위치 어긋남을 일으킨다는 문제가 발생하는 것도 고려된다.In this type of component mounting apparatus, before the component is mounted on the board, the component withdrawn by the head is moved together with the head onto the fixed camera to take an image. After checking the presence or absence of the component and the maintenance state in advance, Lt; / RTI > However, when a large-sized component gripped by a mechanical chuck is recognized, a large-sized camera is required, which leads to an increase in size and cost of the component mounting apparatus. In addition, when the large-sized component is maintained in an incomplete state, it is also considered that the large-sized component is dragged on the substrate during the movement to the fixed camera, causing a problem that the mounted component is displaced.

일본 특허 공개 2000-124679호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-124679

본 발명은 기계 척 등의 파지구에 의해 피반송물을 파지해서 반송할 경우에 피반송물의 파지 상태를 고정 카메라 등 특정 위치에 이동시키는 일 없이 검지하는 것이 가능한 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a technique capable of detecting a grip state of a transported object without moving it to a specific position such as a fixed camera when gripping and transporting the transported object by a waveguide such as a mechanical chuck.

그리고, 본 발명의 일국면에 의한 반송 장치는 이동 가능한 헤드 본체와, 이 헤드 본체에 장착되는 파지구 본체와 특정 방향으로 상대적으로 접리 가능한 제 1 파지 클로 및 제 2 파지 클로를 포함하고, 작동압의 공급을 받음으로써 작동하는 파지구와, 이 파지구에 연결되는 압력 통로를 포함하고, 상기 파지구에 대하여 상기 작동압을 공급하는 압력 공급 기구를 포함하고, 상기 파지구 본체는 상기 압력 통로에 연통되며, 또한 상기 특정 방향으로 연장되는 실린더와, 이 실린더의 내부를 대기 개방하기 위한 리크 통로를 구비하고, 상기 제 1 파지 클로는 상기 실린더 내에 수용되는 피스톤부를 포함하고, 상기 실린더에 공급되는 상기 작동압을 받음으로써 상기 실린더를 따라 상기 제 2 파지 클로에 접근하는 제 1 방향으로 변위함과 아울러, 양쪽 파지 클로의 간격이 피반송물을 파지하는 제 1 간격보다 좁은 제 2 간격이 되는 상태까지 변위 가능하도록 상기 제 1 파지 클로의 최대 변위량이 설정되어 있고, 상기 피스톤부는 양쪽 파지 클로의 간격이 상기 제 2 간격이 된 상태에서만 상기 리크 통로와 상기 실린더를 연통시켜서 상기 실린더 내의 압력을 대기압에 리크시키는 통로 개폐부를 구비하는 것이다.The conveying apparatus according to one aspect of the present invention includes a movable head body, a wave earth main body mounted on the head body, and first and second grip claws capable of being relatively folded in a specific direction, And a pressure supply passage connected to the branch passage, the pressure supply mechanism supplying the operating pressure to the branch passage, wherein the branch passage main body is connected to the pressure passage Wherein the first gripping claw includes a piston portion that is received in the cylinder, and the first gripping claw includes a piston portion which is communicated with the first gripping claw and extends in the specific direction, and a leak passage for opening the inside of the cylinder to the atmosphere, The first and second gripping claws are displaced along the cylinder in a first direction approaching the second gripping claws, Wherein a maximum displacement amount of the first gripping claw is set such that a gap between the first gripping claw and the second gripping claw becomes a second gap smaller than a first gap holding the transported object, And a passage opening / closing part that communicates the leak passage with the cylinder only in a state where the leak passage is in a closed state, thereby allowing the pressure in the cylinder to be leaked to the atmospheric pressure.

도 1은 본 발명에 의한 부품 실장 장치(본 발명에 의한 반송 장치를 포함하는 부품 실장 장치)를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는 부품 실장 장치를 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 3은 각 헤드 및 부압/정압 공급 회로를 나타내는 헤드 유닛의 정면도이다.
도 4는 파지구(gripper)를 나타내는 정면도이다.
도 5는 파지구를 나타내는 측면도이다.
도 6(a)는 개방 상태(파지 클로가 열린 상태)의 파지구를 나타내는 종단면도(도 4의 Ⅵ(a)-Ⅵ(a)선 단면도)이며, 도 6(b)는 개방 상태(파지 클로가 열린 상태)의 파지구를 나타내는 수평 단면도(도 4의 Ⅵ(b)-Ⅵ(b)선 단면도)이다.
도 7(a)는 폐지(閉止) 상태(파지 클로가 가장 닫힌 상태)를 나타내는 파지구의 종단면도이며, 도 7(b)는 도 7(a)의 수평 단면도이다.
도 8은 파지구를 나타내는 도 6(b)의 Ⅶ-Ⅶ선 단면도이다.
도 9는 백업 핀(피반송물)을 파지한 파지구를 나타내는 측면도이다.
도 10은 백업 핀의 반송 동작 제어의 일례를 나타내는 플로우 차트이다.
도 11은 리크 면적(리크 통로와 제 2 개구부의 중복 부분의 면적)과 실린더 내 압력의 관계를 나타내는 그래프이다.1 is a plan view schematically showing a component mounting apparatus according to the present invention (component mounting apparatus including a transfer apparatus according to the present invention).
2 is a front view schematically showing the component mounting apparatus.
3 is a front view of the head unit showing each head and the negative pressure / constant-pressure supply circuit.
4 is a front view showing a gripper.
5 is a side view showing the wave earth;
6 (a) is a vertical sectional view (VI (a) - VI (a) sectional view of FIG. 4) showing a waveguide in an open state (B) -VI (b) sectional view of Fig.
7 (a) is a longitudinal sectional view of a wave earth showing a closed state (a state in which the grip claw is closed most), and Fig. 7 (b) is a horizontal sectional view of Fig.
8 is a sectional view taken along line VII-VII of Fig.
Fig. 9 is a side view showing a waveguide holding a backup pin (a transported object); Fig.
10 is a flowchart showing an example of the conveying operation control of the backup pin.
11 is a graph showing the relationship between the leak area (the area of the overlapped portion of the leak passage and the second opening) and the in-cylinder pressure.

이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시의 일형태에 대해서 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명에 의한 부품 실장 장치(M)(본 발명에 의한 반송 장치를 포함하는 부품 실장 장치)를 개략적으로 나타내고 있다. 도 1은 평면도이며, 도 2는 정면도이며, 각각 부품 실장 장치(M)를 개략적으로 나타내고 있다. 또한, 도 1, 도 2 및 후에 설명하는 도면에는 방향 관계를 명확히 하기 위해서 XYZ 직각 좌표축이 나타내어져 있다.1 and 2 schematically show a component mounting apparatus M (component mounting apparatus including a carrying apparatus according to the present invention) according to the present invention. Fig. 1 is a plan view and Fig. 2 is a front view, and schematically shows the component mounting apparatus M, respectively. 1, 2, and later, XYZ rectangular coordinate axes are shown in order to clarify the directional relationship.

부품 실장 장치(M)는 기대(1)와, 이 기대(1) 상에 배치되어서 프린트 배선판(PWB; Printed Wiring Board) 등의 기판(P)을 X방향으로 반송하는 기판 반송 기구(2)와, 기판(P)을 위치 결정하기 위한 백업 장치(3)와, 부품 공급부(4, 5)와, 부품 실장용의 헤드 유닛(6)과, 이 헤드 유닛(6)을 구동하는 헤드 유닛 구동 기구와, 헤드 유닛(6)에 유지된 부품을 인식하기 위한 부품 촬상 유닛(도시 생략) 등을 구비한다.The component mounting apparatus M includes a base 1, a substrate transport mechanism 2 disposed on the base 1 for transporting a substrate P such as a printed wiring board (PWB) in the X direction, A backup unit 3 for positioning the substrate P, component supply units 4 and 5, a head unit 6 for component mounting, a head unit drive mechanism 6 for driving the head unit 6, And a component image pickup unit (not shown) for recognizing the component held by the head unit 6, and the like.

상기 기판 반송 기구(2)는 기대(1) 상에 있어서 기판(P)을 반송하는 한쌍의 컨베이어(2a, 2a)를 포함한다. 이들 컨베이어(2a, 2a)는 동 도면의 우측으로부터 기판(P)을 받아들여서 소정의 실장 작업 위치(동 도면에 나타내는 위치)로 반송하고, 실장 작업 후 이 기판(P)을 동 도면의 좌측으로 반출한다.The substrate transport mechanism 2 includes a pair of conveyors 2a and 2a for transporting the substrate P on the base 1. These conveyors 2a and 2a receive the substrate P from the right side of the figure and transport it to a predetermined mounting operation position (position shown in the drawing), and after the mounting operation, the substrate P is moved to the left side Out.

상기 백업 장치(3)는 상기 실장 작업 위치에 있어서 기판(P)을 컨베이어(2a, 2b)로부터 들어 올림으로써 상기 기판(P)을 상기 실장 작업 위치에 위치 결정한다. 이 백업 장치(3)는 도 2에 나타내는 바와 같이 부품의 실장 작업에 사용되는 작업용 부재로서, 상기 기판(P)을 지지하는 백업 핀(21)과, 상기 백업 핀(21)이 빼고 넣음 가능하게 장착되는 백업 플레이트(22)와, 백업 플레이트(22)를 승강시키기 위한 승강 장치(23)를 포함한다. 백업 핀(21)은 백업 플레이트(22)에 대하여 상하 방향으로 빼고 넣음 가능하며, 기판(P)의 종류에 따라 배치의 변경이 가능하다.The backup device 3 positions the substrate P to the mounting operation position by lifting the substrate P from the conveyors 2a and 2b at the mounting operation position. As shown in Fig. 2, this backup device 3 is a working member used for mounting components, and includes a backup pin 21 for supporting the substrate P, and a backup pin 21 for pulling out the backup pin 21 A backup plate 22 to be mounted, and a lifting device 23 for lifting and lowering the backup plate 22. The backup pin 21 can be pulled out in the vertical direction with respect to the backup plate 22, and the arrangement can be changed according to the type of the substrate P.

상기 부품 공급부(4, 5)는 상기 기판 반송 기구(2)의 양측(Y방향의 양측)에 배치되어 있다. 이들 부품 공급부(4, 5) 중, 장치 후방측(도 1에서는 상측; 이하, 간단히 후방측이라고 한다)의 부품 공급부(4)에는 기판 반송 기구(2)를 따라 X방향으로 배열되는 복수의 테이프 피더(4a)가 배치되어 있다. 이들 테이프 피더(4a)는 IC, 트랜지스터, 콘덴서 등의 소편 형상의 칩 부품을 수납, 유지한 테이프가 권취된 릴을 구비하고, 이 릴로부터 간헐적으로 테이프를 조출하면서 기판 반송 기구(2) 근방의 소정의 부품 공급 위치에 부품을 공급한다. 한편, 장치 전방측(도 1에서는 하측; 이하, 간단히 전방측이라고 한다)의 부품 공급부(5)에는 X방향으로 소정의 간격을 두고 트레이(5a, 5b)가 세팅되어 있다. 각 트레이(5a, 5b)에는 후술하는 헤드 유닛(6)에 의한 인출이 가능해지도록 각각 QFP(Quad Flat Package)나 BGA(Ball Grid Array) 등의 패키지형의 부품이 정렬해서 적재되어 있다.The component supply portions 4 and 5 are disposed on both sides (both sides in the Y direction) of the substrate transport mechanism 2. A plurality of tapes (not shown) arranged in the X direction along the substrate transport mechanism 2 are provided in the component supply part 4 of the component supply parts 4 and 5 on the rear side of the apparatus (upper side in FIG. 1; hereinafter simply referred to as rear side) A feeder 4a is disposed. These tape feeders 4a are provided with a tape reel in which tape-shaped chip parts such as ICs, transistors, capacitors, etc. are accommodated and held, And supplies the component to a predetermined component supply position. On the other hand, the trays 5a and 5b are set at predetermined intervals in the X direction on the component supply portion 5 on the front side of the apparatus (lower side in Fig. 1, hereinafter simply referred to as the front side). Package type components such as a QFP (Quad Flat Package) and a BGA (Ball Grid Array) are aligned and stacked so that the trays 5a and 5b can be drawn out by a head unit 6 described later.

또한, 기대(1) 상에서 상기 부품 공급부(5)와 백업 장치(3) 사이의 위치에는 핀 스테이션(7)이 설치되어 있다. 핀 스테이션(7)은 상기 백업 플레이트(22) 상에 배치되지 않는 예비의 백업 핀(21)이 보관되는 장소이다. 백업 핀(21)은 상기 핀 스테이션(7)에 대하여 상하 방향으로 빼고 넣음 가능하게 보관된다.Further, a pin station 7 is provided on the base 1 at a position between the component supplying portion 5 and the backup device 3. [ The pin station 7 is a place where a spare backup pin 21 that is not disposed on the backup plate 22 is stored. The backup pin 21 is stored in the pin station 7 so as to be vertically pulled out.

상기 헤드 유닛(6)은 부품 공급부(4, 5)로부터 부품을 인출해서 기판(P) 상에 실장함과 아울러, 백업 플레이트(22) 상의 백업 핀(21)의 배치를 변경하는 것이다. 이 헤드 유닛(6)은 기판 반송 기구(2) 및 부품 공급부(4, 5) 등의 상방에 배치되어 있다.The head unit 6 is configured to pull out the components from the component supply units 4 and 5 and mount the components on the substrate P and to change the arrangement of the backup pins 21 on the backup plate 22. [ The head unit 6 is disposed above the substrate transport mechanism 2, the component supply units 4, 5, and the like.

상기 헤드 유닛(6)은 상기 헤드 유닛 구동 기구에 의해 일정 영역 내에서 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이 헤드 유닛 구동 기구는 기대(1) 상에 설치되는 한쌍의 고가 프레임(10)에 각각 고정되며, 또한 Y방향으로 서로 평행하게 연장되는 한쌍의 고정 레일(11)과, 이들 고정 레일(11)에 지지되어서 X방향으로 연장되는 유닛 지지 부재(12)와, 이 유닛 지지 부재(12)에 나사 결합, 삽입되어서 Y축 서보 모터(14)에 의해 구동되는 볼나사축(13)을 포함한다. 또한, 헤드 유닛 구동 기구는 상기 유닛 지지 부재(12)에 고정되어서 상기 헤드 유닛(6)을 X방향으로 이동 가능하게 지지하는 고정 레일(15)과, 헤드 유닛(6)에 나사 결합, 삽입되어서 X축 서보 모터(17)에 의해 구동되는 볼나사축(16)을 포함한다. 즉, 헤드 유닛 구동 기구는 X축 서보 모터(17)에 의해 볼나사축(16)을 통해 헤드 유닛(6)을 X방향으로 구동함과 아울러, Y축 서보 모터(14)에 의해 볼나사축(13)을 통해 유닛 지지 부재(12)를 Y방향으로 구동함으로써 헤드 유닛(6)을 일정 영역 내에서 X방향 및 Y방향으로 이동시킨다.The head unit 6 is movable in X and Y directions within a certain region by the head unit driving mechanism. The head unit driving mechanism is composed of a pair of fixed rails 11 fixed to a pair of elevated frames 10 provided on the base 1 and extending parallel to each other in the Y direction, And a ball screw shaft 13 inserted into the unit support member 12 and threadedly engaged with the unit support member 12 and driven by the Y axis servomotor 14. The head unit drive mechanism includes a fixed rail 15 fixed to the unit support member 12 and supporting the head unit 6 movably in the X direction, And a ball screw shaft 16 driven by an X-axis servo motor 17. That is, the head unit drive mechanism drives the head unit 6 in the X direction via the ball screw shaft 16 by the X axis servo motor 17 and drives the head unit 6 in the X direction by the Y axis servo motor 14, The head unit 6 is moved in the X direction and the Y direction within a certain area by driving the unit support member 12 in the Y direction through the head unit 13.

상기 헤드 유닛(6)은 IC 등의 부품이나 백업 핀(21)을 유지하기 위한 복수의 헤드(25)와, 이들 헤드(25)를 헤드 유닛(6)에 대하여 승강(Z방향의 이동) 및 회전(도 2 중의 R방향의 회전)시키기 위한 서보 모터 등을 구동원으로 하는 헤드 구동 기구를 구비한다.The head unit 6 includes a plurality of heads 25 for holding components such as ICs and the backup pins 21 and a plurality of heads 25 for moving the heads 25 up and down And a head driving mechanism that uses a servo motor or the like for rotating (rotation in the R direction in Fig. 2) as a driving source.

당 실시형태에서는 상기 헤드(25)는 합계 6개이며, 이들 헤드(25)가 전후 2열로 나뉘고(도 1 참조), 열마다 X방향으로 소정의 피치로 일렬로 배열되어 있다. 또한, 전방측의 각 헤드(25)와 후방측의 각 헤드(25)는 X방향으로 오프셋되어 있다. 이에 따라 6개의 헤드(25)는 전체적으로 대략 지그재그 형상의 배열로 되어 있다.In this embodiment, the number of the heads 25 is six in total, and these heads 25 are divided into front and rear two rows (see Fig. 1), and are arrayed in a row at a predetermined pitch in the X direction for each row. The heads 25 on the front side and the heads 25 on the rear side are offset in the X direction. As a result, the six heads 25 are arranged in an approximately zigzag configuration as a whole.

도 3에 나타내는 바와 같이 상기 헤드(25)는 헤드 유닛(6)에 대하여 승강 및 회전 가능하게 지지되는 중간축 형상의 헤드 본체(26)와, 이 헤드 본체(26)의 선단(하단)에 각각 장착되는 노즐(27a) 또는 파지구(gripper)(27b)를 구비한다.3, the head 25 includes an intermediate shaft-shaped head main body 26 supported by the head unit 6 so as to be able to move up and down relative to the head unit 6, And has a nozzle 27a or a gripper 27b to be mounted.

노즐(27a)은 IC 등의 부품을 흡착함으로써 상기 부품을 반송 가능하게 유지하는 것이다. 한편, 파지구(27b)는 상기 백업 핀(21)을 파지함으로써 상기 백업 핀(21)을 반송 가능하게 유지하는 것이다. 노즐(27a) 및 파지구(27b)는 헤드 유닛(6)의 임의의 헤드 본체(26)에 대하여 착탈이 가능하다. 도 3의 예에서는 우측으로부터 1번째 및 5번째의 각 헤드(25)의 헤드 본체(26)에는 파지구(27a)가 장착되고, 그 이외의 헤드(25)의 헤드 본체(26)에는 노즐(27a)이 장착되어 있다.The nozzle 27a holds the component such that the component can be conveyed by sucking the component such as an IC. On the other hand, the waveguide 27b holds the backup pin 21 by holding the backup pin 21 in a transportable manner. The nozzle 27a and the tread 27b can be attached to or detached from any head body 26 of the head unit 6. [ In the example of Fig. 3, the wave-like earth 27a is mounted on the head body 26 of each of the first and fifth heads 25 from the right side, and the head body 26 of the other head 25 is provided with a nozzle 27a.

상기 노즐(27a) 및 파지구(27b)는 헤드 본체(26)의 내부 통로를 통해 부압/정압 공급 회로(30)에 접속되어 있고, 선택적으로 부압 및 정압의 공급을 받는다. 즉, 노즐(27a)은 그 선단에 부압이 공급됨으로써 부품을 흡착하고, 그 후에 정압이 공급됨으로써 상기 부품의 흡착 상태가 해제된다. 한편, 파지구(27b)는 작동압으로서 상기 부압이 공급됨으로써 백업 핀(21)을 파지하고, 그 후에 부압의 공급이 정지됨으로써 상기 백업 핀(21)의 파지 상태를 해제한다. 이 파지구(27b)의 구성에 대해서는 후에 상세하게 설명한다.The nozzle 27a and the tread portion 27b are connected to the negative pressure / positive pressure supply circuit 30 through the internal passage of the head main body 26 and are selectively supplied with negative pressure and positive pressure. That is, the nozzle 27a is supplied with a negative pressure to the tip thereof to suck the component, and then the positive pressure is supplied, thereby releasing the adsorption state of the component. On the other hand, the wave earth 27b holds the backup pin 21 by being supplied with the negative pressure as the operating pressure, and thereafter releases the holding state of the backup pin 21 by stopping the supply of the negative pressure. The construction of the wave earth 27b will be described later in detail.

상기 부압/정압 공급 회로(30)는 압축기로 이루어지는 에어 공급원(31)과, 이 에어 공급원(31)과 각 헤드 본체(26)를 각각 접속하는 접속 통로(32)와, 각 접속 통로(32)의 도중에 각각 개설되는 부압/정압 스위칭기(33)를 포함한다. 상기 에어 공급원(31)은 기대(1) 또는 상기 부품 실장 장치(M)의 외부에 설치되는 도면 외의 기대 상에 설치되고, 또한 각 부압/정압 스위칭기(33)는 헤드 유닛(6)에 탑재되어 있다.The negative pressure / constant pressure supply circuit 30 includes an air supply source 31 composed of a compressor, a connection passage 32 connecting the air supply source 31 and each head main body 26, Pressure / positive-pressure switch 33, which are respectively opened in the middle of the negative pressure / The air supply source 31 is provided on an outer surface of the base 1 or outside of the component mounting apparatus M and each of the negative pressure and the positive pressure switch 33 is mounted on the head unit 6 .

상기 부압/정압 스위칭기(33)는 에어 공급원(31)으로부터의 에어를 사용해서 부압을 생성하고, 상기 부압을 헤드(25)에 공급하는 부압 공급 상태와, 에어 공급원(31)으로부터의 에어(정압)를 그대로 헤드(25)에 공급하는 에어 공급 상태와, 부압 및 에어(정압)의 공급을 정지하는 정지 상태로 스위칭 가능하게 구성되어 있다.The negative pressure / positive pressure switch 33 generates a negative pressure by using the air from the air supply source 31 and supplies the negative pressure to the head 25 and the air pressure from the air supply 31 (Positive pressure) to the head 25, and a stop state in which the supply of negative pressure and air (positive pressure) is stopped.

구체적으로는 도 3에 나타내는 바와 같이 부압/정압 스위칭기(33)는 에어 공급원(31)으로부터의 에어를 헤드(25)에 안내하는 제 1 유로(34a)와, 이 제 1 유로(34a)에 개설되는 제 1 개폐 밸브(35)와, 이 제 1 개폐 밸브(35)의 상류측(에어의 공급 방향을 기준으로 해서 상류측)에 있어서 제 1 유로(34a)로부터 분기되고, 소음기(37)를 통해 외부 개방되는 제 2 유로(34b)와, 소음기(37)보다 상류측의 위치에서 제 2 유로(34b)에 개설되는 제 2 개폐 밸브(36)와, 이 제 2 개폐 밸브(36)와 소음기(37) 사이의 위치에서 제 2 유로(34b)에 개설되는 확산실(38)과, 상기 제 1 개폐 밸브(35)의 하류측의 위치에서 상기 제 1 유로(34a)와 확산실(38)을 연결시키는 흡인 유로(34c)를 구비하고 있다. 즉, 부압/정압 스위칭기(33)에 있어서 제 1 개폐 밸브(35)가 폐지되며 또한 제 2 개폐 밸브(36)가 개방된 상태에서는 제 2 유로(34b)를 통해 에어가 배기된다. 이에 따라 아스피레이터의 원리에 의해 흡인 유로(34c)를 통해 제 1 유로(34a) 안이 흡인되고, 헤드(25)에 부압이 공급된다. 반대로, 제 1 개폐 밸브(35)가 개방되며 또한 제 2 개폐 밸브(36)가 폐지된 상태에서는 제 1 유로(34a)를 통해 헤드(25)에 에어 블로우(정압)가 공급된다. 그리고, 양쪽 밸브(35, 36)가 폐지된 상태에서는 헤드(25)에 대한 부압 및 에어 블로우(정압) 쌍방의 공급이 정지되게 된다. 또한, 각 밸브(35, 36)는 후기 제어 장치(70)에 의해 스위칭 제어된다.3, the negative pressure / positive pressure switch 33 includes a first flow path 34a for guiding the air from the air supply source 31 to the head 25 and a second flow path 34b for guiding air from the air supply source 31 to the head 25, A first opening and closing valve 35 is opened and a muffler 37 is branched from the first flow path 34a on the upstream side (upstream side with respect to the air supply direction) of the first opening and closing valve 35, A second open / close valve 36 opened in the second flow path 34b at a position on the upstream side of the silencer 37, and a second open / close valve 36 A diffusion chamber 38 provided in the second flow path 34b at a position between the silencer 37 and the first flow path 34a and the diffusion chamber 38 at a position downstream of the first on- And a suction passage 34c connecting the suction passage 34c and the suction passage 34c. That is, when the first opening / closing valve 35 is closed in the negative pressure / positive pressure switch 33 and the second opening / closing valve 36 is opened, air is exhausted through the second flow path 34b. Accordingly, the first passage 34a is sucked through the suction passage 34c by the principle of the aspirator, and a negative pressure is supplied to the head 25. [ Conversely, when the first on-off valve 35 is opened and the second on-off valve 36 is closed, an air blow (positive pressure) is supplied to the head 25 through the first flow path 34a. When both the valves 35 and 36 are closed, the supply of both negative pressure and air blow (positive pressure) to the head 25 is stopped. In addition, the valves 35 and 36 are switching-controlled by the late control device 70.

상기 부압/정압 스위칭기(33)는 유량 센서(39)(본 발명의 검출부에 상당한다)를 더 포함한다. 유량 센서(39)는 제 1 유로(34a) 중 상기 흡인 유로(34c)의 분기 위치보다 하류측에 설치되어 있고, 상기 제 1 유로(34a) 내의 에어의 유량을 검출해서 그 데이터 신호를 제어 장치(70)에 출력한다.The negative pressure / positive pressure switch 33 further includes a flow sensor 39 (corresponding to the detection portion of the present invention). The flow sensor 39 is provided on the downstream side of the branching position of the suction passage 34c in the first flow path 34a to detect the flow rate of air in the first flow path 34a, (70).

또한, 이 실시형태에서는 상기 부압/정압 공급 회로(30) 및 각 헤드 본체(26)의 내부 통로가 상기 파지구(27b)에 대하여 작동압을 공급하는 본 발명의 압력 공급 기구에 상당하고, 상기 접속 통로(32), 각 부압/정압 스위칭기(33)의 제 1 유로(34a) 및 각 헤드 본체(26)의 내부 통로가 본 발명의 압력 통로에 상당한다.In this embodiment, the negative pressure / constant-pressure supply circuit 30 and the inner passages of the respective head bodies 26 correspond to the pressure supply mechanism of the present invention for supplying the operating pressure to the tread portion 27b, The connection passage 32, the first passage 34a of each negative pressure / positive pressure switch 33, and the inner passage of each head body 26 correspond to the pressure passage of the present invention.

이어서, 상기 파지구(27b)의 구체적인 구성에 대하여 설명한다.Next, a specific configuration of the wave earth 27b will be described.

도 4~도 6에 나타내는 바와 같이 파지구(27b)는 헤드 본체(26)에 장착되는 파지구 본체(40)와, X방향(본 발명의 특정 방향에 상당한다)으로 상대적으로 접리 가능해지는 상태로 상기 파지구 본체(40)에 각각 지지되는 제 1 파지 클로(60A) 및 제 2 파지 클로(60B)를 포함한다.As shown in Figs. 4 to 6, the waveguide 27b has a wave earth main body 40 mounted on the head main body 26 and a state in which the waveguide main body 40 is relatively freely movable in the X direction (corresponding to a specific direction of the present invention) And a first gripping claw 60A and a second gripping claw 60B which are respectively supported on the waveguide body 40. [

상기 파지구 본체(40)는 내부 통로를 구비한 통 형상의 연결부(42)를 상부에 구비하고 있고, 파지구(27b)는 상기 연결부(42)와 상기 헤드 본체(26)가 서로의 내부 통로끼리를 연통시킨 상태로 연결됨으로써 헤드 본체(26)에 장착된다. 또한, 도시를 생략하고 있지만 상기 연결부(42)는 그 외주면 상에 지름 방향 외측으로 팽출되는 팽출부를 갖고 있고, 이 팽출부에 헤드 본체(26)에 설치되는 판스프링 형상의 한쌍의 록킹편이 계합함으로써 상기 헤드 본체(26)에의 장착 상태가 유지된다. 상기 노즐(27a)에 대해서도 마찬가지이다.The waveguide main body 40 has a tubular connection portion 42 having an internal passage at its upper portion and the waveguide 27b is connected to the connection portion 42 and the head main body 26, And are mounted on the head body 26 by being connected to each other in a communicating state. Although not shown, the connecting portion 42 has a bulging portion that bulges outward in the radial direction on the outer peripheral surface thereof. A pair of leaf spring-shaped locking pieces provided on the head main body 26 are engaged with the bulging portion And the mounting state to the head body 26 is maintained. The same applies to the nozzle 27a.

제 1 파지 클로(60A)는 상하 방향(Z방향)으로 연장되는 암부(62)와, 이 암부(62)의 상단부에 고정되는 피스톤부(66)와, 암부(62)의 측면에 고정되는 상하 한쌍의 클로부(64)를 포함한다. 피스톤부(66)는 Y방향으로 연장되는 원기둥 형상을 이루고, 암부(62)의 상단부에 형성된 횡 구멍에 삽입된 상태로 상기 암부(62)에 볼트(67)에 의해 고정되어 있다.The first gripping claw 60A has an arm portion 62 extending in the vertical direction (Z direction), a piston portion 66 fixed to the upper end portion of the arm portion 62, And includes a pair of claw portions 64. The piston portion 66 has a cylindrical shape extending in the Y direction and is fixed to the arm portion 62 by bolts 67 while being inserted into a transverse hole formed in the upper end portion of the arm portion 62.

제 2 파지 클로(60B)도 기본 구성은 제 1 파지 클로(60A)와 동일하며, 암부(62), 피스톤부(66) 및 클로부(64)를 포함한다. 단, 제 2 파지 클로(60B)의 암부(62)는 제 1 파지 클로(60A)의 암부(62)보다 짧으며, 또한 클로부(64)는 암부(62)의 하단부에만 고정되어 있다.The second grip claw 60B has the same basic structure as the first grip claw 60A and includes an arm portion 62, a piston portion 66 and a claw portion 64. [ The arm portion 62 of the second grip claw 60B is shorter than the arm portion 62 of the first grip claw 60A and the claw portion 64 is fixed only to the lower end portion of the arm portion 62. [

각 파지 클로(60A, 60B)는 도 4에 나타내는 바와 같이 암부(62)끼리가 X방향으로 오프셋되는 상태로 파지구 본체(40)에 지지되어 있다. 또한, 각 파지 클로(60A, 60B)의 클로부(64)는 양쪽 암부(62)의 내측의 측면(도 4에 있어서 내측의 측면)에 고정되어 있다. 이에 따라 노즐(27a)을 Y방향으로부터 본 상태(도 4 참조)에서 각 파지 클로(60A, 60B)의 클로부(64)가 상하 방향으로 일렬로 배열되어 있다. 상세하게는 제 2 파지 클로(60B)의 클로부(64)를 사이에 두고 그 상하 양측에 제 1 파지 클로(60A)의 클로부(64)가 배열되어 있다. 또한, 제 1 파지 클로(60A)의 클로부(64)의 전방측면(도 5에서는 좌측의 측면) 및 제 2 파지 클로(60B)의 후방측면(도 5에서는 우측의 측면)은 각각 백업 핀(21)의 외주면에 대응한 원호형상으로 형성되어 있다. 이 구성에 의해 양쪽 파지 클로(60A, 60B)는 Y방향으로 서로 접근함으로써 상기 백업 핀(21)을 Y방향 양측으로부터 클로부(64)에 의해 파지 가능하게 되어 있다(도 9 참조).As shown in Fig. 4, the grip claws 60A and 60B are supported on the waveguide body 40 in such a manner that the arm portions 62 are offset from each other in the X direction. The claw portions 64 of the respective grip claws 60A and 60B are fixed to the inner side surfaces (the inner side surfaces in Fig. 4) of the both arm portions 62. [ The claw portions 64 of the respective grip claws 60A and 60B are arranged in a line in the vertical direction in a state in which the nozzle 27a is viewed from the Y direction (see Fig. 4). Specifically, the claw portions 64 of the first gripping claws 60A are arranged on both upper and lower sides of the claw portions 64 of the second gripping claws 60B. 5) and the rear side surface (the right side surface in FIG. 5) of the second grip claw 60B of the claw portion 64 of the first grip claw 60A are connected to the back pins 21 in the circumferential direction. With this configuration, both of the holding claws 60A and 60B approach each other in the Y direction so that the backup pin 21 can be gripped by the claw portions 64 from both sides in the Y direction (see FIG. 9).

상기 각 파지 클로(60A, 60B)는 각각 상기 피스톤부(66)가 파지구 본체(40) 내에 형성된 실린더 내에 수용됨으로써 상기 파지구 본체(40)에 수하 자세로 지지되어 있다. 상세하게 설명하면 상기 파지구 본체(40)의 내부에는 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 바와 같이 X방향으로 배열되며, 또한 Y방향으로 서로 평행하게 연장되는 단면원형의 제 1 실린더(46A) 및 제 2 실린더(46B)와, 제 1 실린더(46A)를 관통해서 상하 방향으로 연장되는 제 1 가이드 구멍(48A)과, 제 2 실린더(46B)를 관통해서 상하 방향으로 연장되는 제 2 가이드 구멍(48B)이 형성되어 있다. 그리고, 제 1 가이드 구멍(48A)에 상기 암부(62)의 상단부가 삽입되며, 또한 제 1 실린더(46A)에 상기 피스톤부(66)가 수용된 상태로 상기 제 1 파지 클로(60A)가 파지구 본체(40)에 지지되어 있다. 마찬가지로 제 2 가이드 구멍(48B)에 상기 암부(62)의 상단부가 삽입되며, 또한 제 2 실린더(46B)에 상기 피스톤부(66)가 수용된 상태로 상기 제 2 파지 클로(60B)가 파지구 본체(40)에 지지되어 있다.Each of the grip claws 60A and 60B is supported by the waveguide body 40 in an undersurface posture by receiving the piston portion 66 in a cylinder formed in the waveguide body 40. [ Specifically, as shown in Figs. 6 (a) and 6 (b), inside the waveguide main body 40, a first cylinder having a circular cross section and extending in parallel to the Y direction, A first guide hole 48A extending in the vertical direction through the first cylinder 46A and a second guide hole 48A extending in the vertical direction through the second cylinder 46B, 2 guide holes 48B are formed. The upper end of the arm portion 62 is inserted into the first guide hole 48A and the first gripping claw 60A is inserted into the first cylinder 46A while the piston portion 66 is received in the first cylinder 46A. And is supported by the main body 40. The upper end of the arm portion 62 is similarly inserted into the second guide hole 48B and the second pawl claw 60B is inserted into the second cylinder bore 46B while the piston portion 66 is received in the second cylinder 46B. (Not shown).

각 가이드 구멍(48A, 48B)은 암부(62)를 X방향으로 구속하면서 Y방향으로 소정 스트로크만큼 변위시키는 것이 가능한 단면형상을 갖고 있다. 즉, 이 암부(62)의 Y방향의 변위에 의해 각 파지 클로(60A, 60B)가 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 바와 같이 서로 이반되는 위치와, 도 7(a), 도 7(b)에 나타내는 바와 같이 서로 접근한 위치에 걸쳐서 변위 가능하게 되어 있다.Each of the guide holes 48A and 48B has a cross sectional shape capable of displacing the arm portion 62 by a predetermined stroke in the Y direction while restraining the arm portion 62 in the X direction. 6 (a) and 6 (b), the positions where the respective grip claws 60A and 60B are mutually separated by the displacement of the arm portion 62 in the Y direction, As shown in Fig. 7 (b).

각 피스톤부(66)의 선단면에는 스프링 수납용 오목부(66a)가 형성되어 있고, 이 스프링 수납용 오목부(66a)에 코일 스프링(68)(본 발명의 바이어싱 부재에 상당한다)이 압축 상태로 수용되어 있다. 상세하게는 코일 스프링(68)이 스프링 수납용 오목부(66a)의 내저부와 실린더(46A, 46B)의 단면 사이에 압축된 상태로 상기 스프링 수납용 오목부(66a)에 수납되어 있다. 이에 따라 각 파지 클로(60A, 60B)가 코일 스프링(68)의 탄발력(바이어싱력)에 의해 서로 이반되는 방향으로 바이어싱되어 있다.A coil spring 68 (corresponding to the biasing member of the present invention) is provided on the spring accommodating concave portion 66a, and a spring receiving recess 66a is formed on the distal end surface of each piston portion 66. [ And is accommodated in a compressed state. The coil spring 68 is housed in the spring accommodating concave portion 66a in a compressed state between the inner bottom portion of the spring accommodating concave portion 66a and the end surface of the cylinders 46A and 46B. As a result, the respective grip claws 60A and 60B are biased in a direction in which they are mutually separated by the elastic force (biasing force) of the coil spring 68. [

각 실린더(46A, 46B)는 상기 헤드 본체(26)의 내부 통로에 연통되어 있고, 상기 부압/정압 스위칭기(33)에 의해 생성되는 부압이 각 실린더(46A, 46B)에 공급 가능하게 되어 있다. 구체적으로는 도 8에 나타내는 바와 같이 파지구 본체(40)에는 상기 연결부(42)의 내부 통로를 포함하는 세로 통로(43)와, 이 세로 통로(43)에 연결되어서 Y방향으로 연장되고, 제 1 실린더(46A)의 선단 근방의 위치에서 상기 제 1 실린더(46A)에 연통하는 가로 통로(44)가 형성되어 있다. 또한, 도 6(a)에 나타내는 바와 같이 제 1 파지 클로(60A)의 피스톤부(66) 중 가로 통로(44)에 대향하는 위치에는 상기 가로 통로(44)와 스프링 수납용 오목부(66a)를 연통하는 제 1 개구부(66b)가 형성되어 있다. 이 구성에 의해 상기 부압/정압 스위칭기(33)에 의해 생성되는 부압이 헤드 본체(26)의 내부 통로, 상기 세로 통로(43), 가로 통로(44) 및 제 1 개구부(66b)를 통해 제 1 실린더(46A) 내에 공급된다. 또한, 제 1 개구부(66b)는 피스톤부(66)의 위치에 상관없이 상기 가로 통로(44)와 연통 가능하도록 그 크기가 설정되어 있다. 도 8 중의 부호 45는 가로 통로(44)를 외측으로부터 폐지하고 있는 마개 부재이다.Each of the cylinders 46A and 46B is communicated with the internal passage of the head main body 26 so that a negative pressure generated by the negative pressure / positive pressure switch 33 can be supplied to each of the cylinders 46A and 46B . More specifically, as shown in Fig. 8, the waveguide body 40 is provided with a longitudinal passage 43 including an internal passage of the connection portion 42, and a longitudinal passage 43 extending from the longitudinal passage 43 in the Y- A horizontal passage 44 communicating with the first cylinder 46A is formed at a position near the tip of the first cylinder 46A. 6 (a), in the piston portion 66 of the first gripping claw 60A, the lateral passage 44 and the spring accommodating recess 66a are provided at positions facing the lateral passage 44, A first opening 66b communicating with the first opening 66b is formed. This configuration allows the negative pressure generated by the negative pressure / positive pressure switch 33 to flow through the inner passage of the head main body 26, the vertical passage 43, the lateral passage 44 and the first opening 66b 1 cylinder 46A. The first opening 66b is sized so as to communicate with the lateral passage 44 irrespective of the position of the piston portion 66. Reference numeral 45 in Fig. 8 is a stopper member for closing the lateral passage 44 from the outside.

도시를 생략하고 있지만, 파지구 본체(40)에는 상기 세로 통로(43)에 연결되어서 Y방향으로 연장되고, 제 2 실린더(46B)의 선단 근방의 위치에서 상기 제 2 실린더(46B)에 연통하는 가로 통로(44)가 더 형성되어 있다. 또한, 제 2 파지 클로(60B)의 피스톤부(66)에는 가로 통로(44)와 스프링 수납용 오목부(66a)를 연통하는 제 1 개구부(66b)가 형성되어 있다. 따라서, 제 2 실린더(46B)에 대해서도 제 1 실린더(46A)와 마찬가지로 헤드 본체(26)의 내부 통로, 세로 통로(43), 가로 통로(44) 및 제 1 개구부(66b)를 통해 부압이 공급된다.The branch earth body 40 is connected to the vertical passage 43 and extends in the Y direction and communicates with the second cylinder 46B at a position near the tip end of the second cylinder 46B A lateral passage (44) is further formed. The piston 66 of the second grip claw 60B is formed with a first opening 66b for communicating the lateral passage 44 with the spring accommodating recess 66a. The negative pressure is supplied to the second cylinder 46B through the inner passage of the head body 26, the vertical passage 43, the lateral passage 44, and the first opening 66b in the same manner as the first cylinder 46A do.

이와 같이 각 실린더(46A, 46B)에 부압이 공급되면 피스톤부(66)에 상기 부압이 작용하고[피스톤부(66)가 흡인되고], 상기 코일 스프링(68)의 탄발력에 저항해서 각 파지 클로(60A, 60B)가 접근 방향으로 변위된다. 즉, 상기 파지구(27b)는 상기 부압/정압 스위칭기(33)로부터의 부압 공급이 정지되어 있을 때에는 상기 코일 스프링(68)의 바이어싱력에 의해 각 파지 클로(60A, 60B)가 서로 이반된 개방 상태(도 6의 상태)로 유지된다. 반면, 부압/정압 스위칭기(33)로부터 각 실린더(46A, 46B)에 부압이 공급되면 상기 코일 스프링(68)의 바이어싱력에 저항해서 각 파지 클로(60A, 60B)가 서로 접근한 폐지 상태(도 7의 상태)로 유지된다. 그리고, 이와 같이 파지구(27b)가 폐지 상태로 됨으로써 상기 백업 핀(21)이 양쪽 파지 클로(60A, 60B)에 의해 양측(Y방향 양측)으로부터 끼워 넣어져 상기 파지구(27b)에 파지된다.When the negative pressure is supplied to each of the cylinders 46A and 46B as described above, the negative pressure acts on the piston portion 66 (the piston portion 66 is sucked) The claws 60A and 60B are displaced in the approach direction. That is, when the supply of the negative pressure from the negative pressure / positive pressure switch 33 is stopped, the piercing claws 60A and 60B are separated from each other by the biasing force of the coil spring 68 And is kept in the open state (state of FIG. 6). On the other hand, when negative pressure is supplied to the cylinders 46A and 46B from the negative pressure / positive pressure switch 33, the gripping claws 60A and 60B approach each other against the biasing force of the coil spring 68 7). As a result, the backup pin 21 is sandwiched from both sides (both sides in the Y direction) by the two grip claws 60A and 60B and is gripped by the wave core 27b .

상기 백업 핀(21)은 도 8에 나타내는 바와 같이 하단부 근방에 플랜지부(21a)를 구비한 축형상 부재이며, 플랜지부(21a)보다 하측의 부분이 백업 플레이트(22) 또는 핀 스테이션(7)의 구멍부에 끼워짐으로써 상기 백업 플레이트(22) 등에 장착된다.8, the backup pin 21 is a shaft-shaped member having a flange portion 21a in the vicinity of the lower end thereof and a portion below the flange portion 21a is connected to the backup plate 22 or the pin station 7, And is mounted on the backup plate 22 or the like.

상기 백업 핀(21)은 원추대 형상의 선단부(21b)(상단부)를 갖고 있다. 반면, 상기 파지구(27b)의 파지구 본체(40)의 하면에는 동 도면에 나타내는 바와 같이 상기 선단부(21b)에 합치하는 원추대 형상의 위치 결정 구멍(52)이 형성되어 있다. 즉, 파지구(27b)에 의한 백업 핀(21)의 파지 시에는 백업 핀(21)의 선단부(21b)가 상기 위치 결정 구멍(52)에 삽입됨으로써 양쪽 파지 클로(60A, 60B)에 대하여 백업 핀(21)이 센터링된다(도 9 참조).The backup pin 21 has a distal end portion 21b (upper end) shaped like a truncated cone. On the other hand, as shown in the drawing, a positioning hole 52 having a truncated conical shape conforming to the distal end portion 21b is formed on the bottom surface of the waveguide body 40 of the waveguide 27b. That is, when the backup pin 21 is gripped by the tread portion 27b, the leading end portion 21b of the backup pin 21 is inserted into the positioning hole 52, so that both the backup claws 60A and 60B are backed up The pin 21 is centered (see Fig. 9).

또한, 도 5, 도 6, 및 도 8에 나타내는 바와 같이 파지구 본체(40)에는 각 실린더(46A, 46B)의 내부를 각각 외부(대기)로 개방하기 위한 리크 통로(50)가 형성되어 있다. 리크 통로(50)는 파지구 본체(40) 중 가로 통로(44)의 하측이며, 또한 파지구(27b)가 상기 개방 상태에 있을 때의 각 피스톤부(66)의 선단 외주면에 대향하는 위치에 형성되어 있다. 또한, 각 실린더(46A, 46B) 내에 수용되는 상기 피스톤부(66)의 스프링 수납용 오목부(66a)의 둘레벽에는 상기 스프링 수납용 오목부(66a)의 내부[즉, 각 실린더(46A, 46B)의 내부]와 상기 리크 통로(50)를 연통시키기 위한 제 2 개구부(66c)(본 발명의 통로 개폐부에 상당한다)가 형성되어 있다.As shown in Figs. 5, 6, and 8, a leak passage 50 for opening the inside of each of the cylinders 46A, 46B to the outside (atmospheric) is formed in the wave earth main body 40 . The leak passage 50 is located below the lateral passage 44 of the wave earth main body 40 and at a position opposite to the outer peripheral surface of the distal end of each piston portion 66 when the wave spring 27b is in the open state Respectively. The circumferential wall of the spring accommodating concave portion 66a of the piston portion 66 accommodated in each of the cylinders 46A and 46B is provided in the interior of the spring accommodating concave portion 66a (Corresponding to the passage opening / closing portion of the present invention) for communicating the leak passage 50 with the second opening portion 66c.

각 피스톤부(66)의 제 2 개구부(66c)는 백업 핀(21)을 파지하는 일 없이 각 파지 클로(60A, 60B)가 가장 접근한 상태에서만 리크 통로(50)와 중복되는 위치, 즉 스프링 수납용 오목부(66a)의 내부[각 실린더(46A, 46B)의 내부]와 리크 통로(50)를 연통시키는 위치에 형성되어 있다. 따라서, 각 리크 통로(50)는 상기 제 2 개구부(66c)와 중복될 때 이외에는 각 피스톤부(66)의 외주면에 의해 막히고, 이에 따라 각 실린더(46A, 46B)와 외부(대기)가 비연통 상태로 유지된다.The second opening portion 66c of each piston portion 66 is located at a position overlapping the leak passage 50 only in a state in which each of the holding claws 60A and 60B is closest to each other without holding the backup pin 21, Is formed at a position for communicating the inside of the accommodating concave portion 66a (the inside of each of the cylinders 46A and 46B) and the leak passage 50 with each other. Therefore, each of the leak passages 50 is blocked by the outer circumferential surface of each piston portion 66 except for overlapping with the second opening portion 66c, so that the respective cylinders 46A, 46B and the outside (atmosphere) Lt; / RTI >

이들 제 2 개구부(66c) 및 리크 통로(50)는 파지구(27b)가 백업 핀(21)을 파지하고 있는지의 여부를 상기 유량 센서(39)를 사용해서 판별하기 위한 것이다. 즉, 이 파지구(27b)는 양쪽 파지 클로(60A, 60B)의 간격이 백업 핀(21)을 파지하는 간격[도 6(a) 중의 일점 쇄선(부호 P1) 및 도 9에 나타내는 간격/본 발명의 제 1 간격]보다 좁은 간격[도 6(a) 중의 파선(부호 P2) 및 도 7(a)에 나타내는 간격/본 발명의 제 2 간격]이 되는 상태까지 변위 가능하게 각 파지 클로(60A, 60B)의 최대 변위량이 설정되어 있다. 바꿔 말하면, 파지구(27b)는 상기 개방 상태 시의 각 파지 클로(60A, 60B)의 위치를 기준 위치로 해서 상기 기준 위치로부터 백업 핀(21)을 파지하는 위치까지의 각 파지 클로(60A, 60B)의 변위량이 상기 기준 위치로부터 각 파지 클로(60A, 60B)가 가장 접근하는 위치까지의 변위량(최대 변위량)보다 작아지도록 각 파지 클로(60A, 60B)의 상기 최대 변위량이 설정되어 있다. 이 구성에 의해 백업 핀(21)을 각 파지 클로(60A, 60B)에 의해 양측으로부터 확실하게 끼워 넣은 상태로 파지하는 것이 가능해지고 있다.The second opening 66c and the leak passage 50 are for discriminating whether or not the waveguide 27b grasps the backup pin 21 by using the flow sensor 39. [ That is, in this tread region 27b, the interval between the two grip claws 60A and 60B is equal to the interval (symbol P1 in FIG. 6A) and the interval / (Second interval of the present invention) becomes a state in which each of the grip claws 60A (60A) is displaced to a state in which a narrower interval (a broken line P2 in FIG. 6A and an interval in FIG. , And 60B are set. In other words, the waveguide 27b is provided with the gripping claws 60A, 60B extending from the reference position to the position where the backup pin 21 is gripped with the position of each of the gripping claws 60A, The maximum displacement amount of each of the grip claws 60A and 60B is set so that the displacement amount of each of the grip claws 60A and 60B becomes smaller than the displacement amount (maximum displacement amount) from the reference position to the position where each of the grip claws 60A and 60B approaches the most. With this configuration, it is possible to grasp the backup pin 21 in a state where the backup pin 21 is securely fitted from both sides by the respective grip claws 60A, 60B.

그 때문에 파지구(27b)가 백업 핀(21)을 파지하고 있을 경우에는 양쪽 파지 클로(60A, 60B)가 가장 접근하는 위치까지 변위되는 일 없이 제 2 개구부(66c)와 리크 통로(50)는 비연통 상태가 된다. 이에 따라 부압/정압 스위칭기(33)로부터 헤드(25)로의 부압의 공급 개시 후, 유량 센서(39)의 검출값이 경시적으로 저하되게 된다. 반면, 파지구(27b)가 백업 핀(21)을 파지하고 있지 않은 경우에는 각 파지 클로(60A, 60B)는 가장 접근하는 위치까지 변위된다. 이에 따라 제 2 개구부(66c)와 리크 통로(50)가 부분적으로 겹쳐서 연통 상태가 되고, 각 실린더(46A, 46B)의 내부와 외부(대기)가 연통하여 상기 유량 센서(39)의 검출값이 일정 레벨까지 상승하게 된다. 따라서, 부압/정압 스위칭기(33)로부터 파지구(27b)에 부압이 공급되어 있는 상태로 유량 센서(39)의 검출값을 조사함으로써 파지구(27b)가 백업 핀(21)을 파지하고 있는지의 여부의 판별이 가능해진다. 이 부품 실장 장치(M)에서는 이러한 판별을 후술하는 제어 장치(70)(도 3에 나타낸다)가 행한다.The second opening portion 66c and the leak passage 50 are not displaced to the positions where both of the holding claws 60A and 60B are closest to each other when the tread portion 27b grips the backup pin 21. [ Non-combustion state. As a result, after the negative pressure is supplied from the negative pressure / positive pressure switch 33 to the head 25, the detection value of the flow sensor 39 is lowered with time. On the other hand, when the waveguide 27b does not hold the backup pin 21, the respective grip claws 60A and 60B are displaced to the closest approach position. The second opening portion 66c and the leak passage 50 are partially overlapped with each other to communicate with each other and the inside and outside (atmosphere) of the respective cylinders 46A and 46B communicate with each other so that the detection value of the flow sensor 39 It will rise to a certain level. Therefore, by detecting the detection value of the flow sensor 39 in the state where the negative pressure is supplied from the negative pressure / positive pressure switch 33 to the wave earth 27b, it is determined whether or not the wave earth 27b grasps the backup pin 21 It is possible to determine whether or not it is. In the component mounting apparatus M, this determination is made by a control device 70 (shown in Fig. 3), which will be described later.

이 부품 실장 장치(M)는 상기 헤드 유닛 구동 기구, 헤드 구동 기구 및 부압/정압 스위칭기(33) 등을 통해 부품 실장 장치(M)의 동작을 총괄적으로 제어함과 아울러, 상기 동작에 관한 각종 판정 처리 등을 행하는 것이다. 이 제어 장치(70)는 주지의 마이크로컴퓨터를 베이스로 하는 제어 장치로서, 프로그램을 실행하는 중앙 연산 처리 장치(CPU)와, 예를 들면 ROM이나 RAM 등 프로그램 및 각종 데이터를 저장하는 메모리와, 전기 신호의 입출력을 행하기 위한 입출력(I/O) 버스를 포함한다. 또한, 당 실시형태에서는 헤드(25)[파지구(27b)], 부압/정압 공급 회로(30) 및 제어 장치(70) 등이 본 발명의 반송 장치에 상당하고, 그 중 제어 장치(70)가 본 발명의 판정부에 상당한다.The component mounting apparatus M collectively controls the operation of the component mounting apparatus M through the head unit driving mechanism, the head driving mechanism, the negative pressure / positive pressure switch 33, and the like, Determination processing, and the like. The control device 70 is a well-known microcomputer-based control device. The control device 70 includes a central processing unit (CPU) for executing a program, a memory for storing programs and various data such as ROM and RAM, And an input / output (I / O) bus for input / output of signals. In this embodiment, the head 25 (the wave earth 27b), the negative pressure / positive pressure supply circuit 30, the control device 70, and the like correspond to the transport apparatus of the present invention, Correspond to the determination section of the present invention.

이어서, 이 제어 장치(70)에 의한 백업 핀(21)의 반송 동작 제어의 일례에 대해서 도 10을 사용해서 설명한다. 이러한 반송 동작 제어는, 예를 들면 기판(P)의 종류의 변경에 따라 백업 플레이트(22) 상의 백업 핀(21)의 배열을 변경하는 경우에 실행된다.Next, an example of the conveying operation control of the backup pin 21 by the control device 70 will be described with reference to Fig. This conveyance operation control is executed when, for example, the arrangement of the backup pins 21 on the backup plate 22 is changed in accordance with the change of the type of the substrate P. [

제어 장치(70)는 우선 백업 플레이트(22) 상의 백업 핀(21) 중 위치의 변경이 필요한 백업 핀(21)을 특정하고, 헤드 유닛(6)의 복수의 헤드(25) 중 파지구(27b)를 구비한 것이 상기 백업 핀(21)의 상방에 위치하도록 헤드 유닛(6)을 이동시킨다(스텝 S1). 이때, 제어 장치(70)는 파지구(27b)를 개방 상태로 유지한다.The control device 70 first specifies the backup pin 21 that needs to be changed in position among the backup pins 21 on the backup plate 22 and specifies the backup pin 21 The head unit 6 is moved so as to be positioned above the backup pin 21 (step S1). At this time, the control device 70 keeps the wave earth 27b in an open state.

제어 장치(70)는 이어서 헤드(25)를 소정 높이 위치까지 하강시키고, 상기 부압/정압 스위칭기(33)의 개폐 밸브(35, 36)를 스위칭 제어함으로써 상기 파지구(27b)를 개방 상태로부터 폐지 상태로 스위칭한 후, 헤드(25)를 소정 높이 위치까지 상승시킨다(스텝 S2~스텝 S7). 이에 따라 백업 핀(21)이 파지구(27b)에 의해 파지된 상태로 백업 플레이트(22)로부터 인발된다.The control device 70 then lowers the head 25 to a predetermined height position and controls the switching valves 35 and 36 of the negative pressure / After switching to the closed state, the head 25 is raised to a predetermined height position (steps S2 to S7). Accordingly, the backup pin 21 is pulled out from the backup plate 22 while being held by the wave guide 27b.

헤드(25)가 상승하면 제어 장치(70)는 백업 핀(21)을 파지하고 있는지의 여부를 그 자리에서 판별한다(스텝 S9). 구체적으로는 상기 유량 센서(39)로부터의 입력 데이터[검출 유량(Q)]와, 미리 ROM 등에 기억되어 있는 역치(Q₀)를 비교해서 검출 유량(Q)이 역치(Q₀)를 초과하는지의 여부를 판단한다. 이 역치(Q₀)는 파지구(27b)가 백업 핀(21)을 파지한 상태의 상기 부압/정압 스위칭기(33)의 제 1 유로(34a)의 에어 유량에 의거하여 상기 에어 유량과 동등하거나 또는 약간 높은 값으로 설정되어 있다. 즉, 파지구(27b)가 백업 핀(21)을 파지하고 있지 않은 경우에는 상기한 바와 같이 각 실린더(46A, 46B)의 내부와 외부(대기)가 각 피스톤부(66)의 제 2 개구부(66c) 및 리크 통로(50)를 통해 연통 상태가 되고, 유량 센서(39)의 검출값이 상승한다. 따라서, 유량 센서(39)에 의한 검출 유량(Q)과 상기 역치(Q₀)를 비교함으로써 파지구(27b)가 백업 핀(21)을 파지하고 있는지의 여부의 판별이 가능해진다.When the head 25 rises, the control device 70 determines whether or not the backup pin 21 is gripped on the spot (step S9). Specifically, it compares the input data (detected flow rate Q) from the flow rate sensor 39 with the threshold value Q ₀ previously stored in the ROM or the like and determines whether the detected flow rate Q exceeds the threshold value Q ₀ . The threshold value (Q ₀₎ is a grasp (27b) is equal to the air flow and the air flow rate on the basis of the first flow path (34a) of said negative pressure / static pressure switch group 33 of the one holding the backup pin 21 state Or a slightly higher value. The inner and outer (atmosphere) of each of the cylinders 46A and 46B are connected to the second openings (the openings) of the piston portions 66 66c and the leak passage 50, and the detection value of the flow rate sensor 39 rises. Therefore, it is possible by comparing the detected flow rate (Q) and the threshold value (Q ₀₎ by the flow rate sensor 39 grasp (27b) The determination of whether or not gripping the backup pin 21.

제어 장치(70)는 백업 핀(21)을 파지하고 있지 않는다고 판단했을 경우(스텝 S9에서 YES)에는 스텝 S1로 리턴되고, 백업 핀(21)의 파지 동작을 다시 실행한다. 또한, 도시를 생략하고 있지만, 예를 들면 스텝 S1~스텝 S9의 처리가 연속해서 소정 횟수만큼 반복되었을 경우에는 제어 장치(70)는 백업 핀(21)의 파지 동작에 에러가 발생한 것으로서 도면 외의 통지 장치를 작동시켜서 오퍼레이터에게 통지한다.If the control device 70 determines that the backup pin 21 is not gripped (YES in step S9), the control device 70 returns to step S1 and executes the gripping operation of the backup pin 21 again. For example, when the processes of the steps S1 to S9 are successively repeated a predetermined number of times, the control device 70 determines that an error has occurred in the gripping operation of the backup pin 21, The apparatus is operated to notify the operator.

한편, 백업 핀(21)을 파지하고 있다고 판단했을 경우에는 제어 장치(70)는 상기와 반대의 순서에 따라 백업 플레이트(22) 상의 구멍부에 상기 백업 핀(21)을 장착한다. 구체적으로는 제어 장치(70)는 목표로 하는 구멍부의 상방에 백업 핀(21)이 위치하도록 헤드 유닛(6)을 이동시키고, 헤드(25)를 하강시켜서 파지구(27b)를 폐지 상태로부터 개방 상태로 스위칭한 후, 헤드(25)를 상승시킨다(스텝 S11~스텝 S17).On the other hand, when it is judged that the backup pin 21 is grasped, the control device 70 mounts the backup pin 21 in the hole portion on the backup plate 22 in the reverse order to the above. Specifically, the control device 70 moves the head unit 6 so that the backup pin 21 is positioned above the targeted hole, and moves the head 25 to lower the waveguide 27b from the closed state to the open , The head 25 is raised (steps S11 to S17).

헤드(25)가 상승하면 제어 장치(70)는 다시 파지구(27b)를 개방 상태로부터 폐지 상태로 스위칭한 후, 파지구(27b)가 백업 핀(21)을 파지하고 있는지의 여부를 그 자리에서 판별한다(스텝 S19, S21). 구체적으로는 스텝 S9의 처리와 마찬가지로 제어 장치(70)는 유량 센서(39)에 의한 검출 유량(Q)과 상기 역치(Q₀)를 비교하고, 검출 유량(Q)가 역치(Q₀)를 초과하는지의 여부를 판단한다.When the head 25 is lifted, the control device 70 switches the waveguide 27b from the open state to the closed state again and then determines whether or not the waveguide 27b is gripping the backup pin 21, (Steps S19 and S21). Specifically, similarly to the process of the step S9 the controller 70 to compare the detected flow rate (Q) and the threshold value (Q ₀₎ by the flow rate sensor 39, and detects the flow rate (Q) the threshold value (Q ₀₎ It is judged whether or not it exceeds.

여기에서, 백업 핀(21)을 파지하고 있다고 판단했을 경우(스텝 S21에서 NO)에는 제어 장치(70)는 백업 핀(21)의 장착 에러가 발생한 것으로서 도면 외의 통지 장치를 작동시켜서 오퍼레이터에게 통지한다(스텝 S23). 한편, 백업 핀(21)을 파지하지 않는다고 판단했을 경우(스텝 S21에서 YES)에는 백업 핀(21)의 일련의 반송 동작 제어를 종료한다.If it is determined that the backup pin 21 is grasped (NO in step S21), the control device 70 notifies the operator of the fact that the mounting error of the backup pin 21 has occurred and activates the notifying device outside the drawing (Step S23). On the other hand, if it is determined that the backup pin 21 is not gripped (YES in step S21), the series of transportation operation control of the backup pin 21 is terminated.

여기에서는 백업 핀(21)의 반송 동작 제어의 설명을 간단하게 하기 위해서 백업 플레이트(22) 상의 1개의 백업 핀(21)을 반송하는 경우의 제어예에 대하여 설명했지만, 복수의 백업 핀(21)의 위치를 변경할 경우에는 상술한 바와 같은 스텝 S1~스텝 S23의 처리가 반복 실행된다. 백업 플레이트(22)와 핀 스테이션(7) 사이에서의 백업 핀(21)의 반송도 상기와 마찬가지이다.The description has been given of the control example in which one backup pin 21 on the backup plate 22 is transported in order to simplify the description of the transport operation control of the backup pin 21. However, The processes of the steps S1 to S23 described above are repeatedly executed. The transfer of the backup pin 21 between the backup plate 22 and the pin station 7 is also the same as described above.

또한, 이 부품 실장 장치(M)에서는 백업 핀(21)을 파지하고 있는지의 여부의 제어 장치(70)에 의한 판단(스텝 S9, 스텝 S21의 처리)이 보다 정확하게 행해지도록 상기 파지구(27b)가 다음의 구성을 갖는다. 즉, 실린더(46A, 46B)에 공급되는 부압(진공압)을 「P」, 실린더(46A, 46B)의 단면적을 「A」, 코일 스프링(68)의 스프링 정수를 「K」, 코일 스프링(68)의 변위량(압축량)을 「x」로 했을 때, 부압/정압 스위칭기(33)로부터 헤드(25)[파지구(27b)]로 부압이 공급되어 있는 상태에서는 항상[단, 백업 핀(21)을 파지하고 있는지의 여부에 상관없이] PA＞Kx의 관계가 성립하도록 각 피스톤부(66)의 제 2 개구부(66c) 및 리크 통로(50) 등이 형성되어 있다. PA＞Kx의 관계가 성립하도록, 예를 들면 양쪽 파지 클로(60A, 60B)가 가장 접근했을 때의 상기 제 2 개구부(66c)와 상기 리크 통로(50)의 중복 부분의 면적(개구 면적)이 설정되어 있다.In this component mounting apparatus M, the waveguide 27b is provided so as to be more accurately judged by the control device 70 (processing of steps S9 and S21) whether or not the backup pin 21 is grasped, Has the following configuration. That is, the negative pressure (vacuum pressure) supplied to the cylinders 46A and 46B is denoted by P, the sectional area of the cylinders 46A and 46B is denoted by A, the spring constant of the coil spring 68 is denoted by K, In the state where negative pressure is supplied from the negative pressure / positive pressure switch 33 to the head 25 (the eccentric 27b) when the amount of displacement (compression amount) of the backup pin 68 is "x" The second opening portion 66c and the leak passage 50 of each piston portion 66 are formed so that the relation of PA > Kx is satisfied regardless of whether or not the piston portion 21 is gripped. The area (opening area) of the overlapped portion of the second opening 66c and the leak passage 50 when the two grip claws 60A and 60B are closest to each other is set to satisfy the relationship of PA> Kx Is set.

상기한 바와 같이 백업 핀(21)의 파지 동작에 에러가 발생하면 각 실린더(46A, 46B)의 내부와 외부(대기)가 제 2 개구부(66c) 및 리크 통로(50)를 통해 연통 상태가 된다. 이에 따라 각 실린더(46A, 46B) 내의 압력이 상승하는 것(대기압에 근접하는 것)이 이 경우 가령 PA≤Kx가 되는 것으로 하면 코일 스프링(68)의 탄발력에 의해 각 파지 클로(60A, 60B)가 되밀려서 각 실린더(46A, 46B)의 내부와 외부(대기)가 일시적으로 비연통 상태가 된 후, 각 실린더(46A, 46B) 내의 압력이 저하되어서 PA＞Kx가 됨으로써 다시 양쪽 파지 클로(60A, 60B)가 접근 방향으로 변위하도록 동작이 발생한다. 즉, 파지구(27b)가 단시간에 반복하여 개폐한다는 현상이 발생하고, 그 결과 상기 유량 센서(39)의 검출 유량이 불안정해져서 제어 장치(70)에 의한 상기 판단(스텝 S9, 스텝 S21의 처리)이 정확하게 행해지지 않을 우려가 있다.As described above, when an error occurs in the gripping operation of the backup pin 21, the inside and the outside (atmosphere) of each cylinder 46A and 46B are communicated through the second opening 66c and the leak passage 50 . If the pressure in each of the cylinders 46A and 46B rises (approaches the atmospheric pressure) in this case, if PA < = Kx, the resilient force of the coil spring 68 causes each of the grip claws 60A and 60B The pressure in each of the cylinders 46A and 46B is lowered to PA > Kx after the inside and outside (atmosphere) of the respective cylinders 46A and 46B temporarily become non-combustion state, 60A, 60B are displaced in the approach direction. That is, a phenomenon occurs that the wave earth 27b repeatedly opens and closes in a short period of time. As a result, the detected flow rate of the flow sensor 39 becomes unstable and the determination by the controller 70 (the processing of steps S9 and S21 ) May not be performed correctly.

이러한 문제를 회피하기 위해서 상기 부품 실장 장치(M)에서는 부압/정압 스위칭기(33)로부터 헤드(25)[파지구(27b)]로 부압이 공급되어 있는 상태에서는 항상 PA＞Kx의 관계가 성립하도록 각 피스톤부(66)의 제 2 개구부(66c) 및 리크 통로(50) 등이 형성되어 있다. 이 구성에 의하면 각 실린더(46A, 46B)의 내부와 외부(대기)가 리크 통로(50) 등을 통해 연통 상태로 되었을 때에 코일 스프링(68)의 탄발력에 의해 각 파지 클로(60A, 60B)가 되밀리는 것이 방지된다. 따라서, 파지구(27b)가 단시간에 반복하여 개폐한다는 현상의 발생이 방지되고, 제어 장치(70)에 의한 상기 판단(스텝 S9, 스텝 S21의 처리)의 신뢰성이 향상된다.In order to avoid such a problem, in the component mounting apparatus M, when the negative pressure is supplied from the negative pressure / positive pressure switch 33 to the head 25 (the breaking earth 27b), the relationship of PA > Kx is always established The second opening 66c and the leak passage 50 of each piston portion 66 are formed. According to this configuration, when the inside and the outside (atmosphere) of the respective cylinders 46A and 46B are communicated with each other through the leak passage 50 or the like, the respective holding claws 60A and 60B are biased by the elastic force of the coil spring 68, Is prevented. Accordingly, the occurrence of the phenomenon that the wave earth 27b repeatedly opens and closes in a short time is prevented, and the reliability of the judgment (the processing of the steps S9 and S21) by the control device 70 is improved.

또한, 상기 파지구(27b)는 도 11에 나타내는 바와 같이 양쪽 파지 클로(60A, 60B)가 서로 접근함에 따라, 즉 리크 통로(50)와 제 2 개구부(66c)의 중복 부분의 면적인 리크 면적이 증대함에 따라 상기 실린더(46A, 46) 내의 압력이 2차 곡선적으로 연속해서 변화(상승)되도록 상기 리크 통로(50) 및 제 2 개구부(66c)가 형성되어 있다. 예를 들면, 당 실시형태에서는 도 9에 나타내는 바와 같이 상기 리크 통로(50)는 상하 방향으로 가늘고 긴 단면 소판형의 긴 구멍이며, 상기 제 2 개구부(66c)는 단면 원형의 구멍이다. 이와 같이 양쪽 파지 클로(60A, 60B)가 서로 접근함에 따라 상기 실린더(46A, 46) 내의 압력이 2차 곡선적으로 변화(상승)하는 구성에 의하면 상기 유량 센서(39)의 검출값도 현저히 변화되게 되어 제어 장치(70)에 의한 상기 판단(스텝 S9, 스텝 S21의 처리)의 신뢰성이 향상된다.11, the waveguide 27b has a leak area (area) of the overlapped portion of the leak passage 50 and the second opening 66c as the two grip claws 60A and 60B approach each other, that is, The recycle passage 50 and the second opening 66c are formed so that the pressure in the cylinders 46A and 46 is continuously changed (upward) in a quadratic curve. For example, in the present embodiment, as shown in Fig. 9, the leak passage 50 is a long, narrow, long, long hole in the vertical direction, and the second opening 66c is a circular hole having a circular section. According to the configuration in which the pressure in the cylinders 46A and 46 is changed (ascended) in a quadratic curve as the both of the grip claws 60A and 60B approach each other, the detection value of the flow sensor 39 also changes significantly And the reliability of the determination by the control device 70 (the processing of steps S9 and S21) is improved.

또한, 당 실시형태에서는 상기와 같이 파지구(27b)에 의해 백업 핀(21)이 파지될 때에는 백업 핀(21)의 선단부(21b)가 파지구 본체(40)의 위치 결정 구멍(52)에 삽입되고, 상기 백업 핀(21)이 양쪽 파지 클로(60A, 60B)에 대하여 센터링된다. 그 때문에 양쪽 파지 클로(60A, 60B) 중 어느 일방측이 타방측에 치우친 상태로 백업 핀(21)이 파지됨으로써 제어 장치(70)에 의한 상기 판단(스텝 S9, 스텝 S21의 처리)이 부정확해지는 것이 회피된다. 따라서, 이 점에서도 제어 장치(70)에 의한 상기 판단(스텝 S9, 스텝 S21의 처리)의 신뢰성이 향상된다.In this embodiment, when the backup pin 21 is gripped by the wave guide 27b as described above, the front end portion 21b of the backup pin 21 is engaged with the positioning hole 52 of the waveguide body 40 And the backup pin 21 is centered with respect to both of the grip claws 60A and 60B. Therefore, the judgment (steps S9 and S21) by the control device 70 becomes inaccurate due to the fact that either one of the two grip claws 60A and 60B is held on the other side and the backup pin 21 is gripped Is avoided. Therefore, the reliability of the determination by the control device 70 (the processing of steps S9 and S21) is also improved in this respect as well.

이상 설명한 부품 실장 장치(M)에 의하면 상기한 바와 같이 파지구(27b)에 의해 백업 핀(21)이 파지되어서 반송되지만, 이 경우 부압/정압 스위칭기(33)의 제 1 유로(34a) 내의 에어 유량의 검출에 의거하여 파지구(27b)가 백업 핀(21)을 파지하고 있는지의 여부가 제어 장치(70)에 의해 판단된다. 그 때문에 파지구(27b)에 의한 백업 핀(21)의 파지 상태[백업 핀(21)의 유무]를 고정 카메라 등 기대(1) 상의 특정 위치로 이동시키는 일 없이 상기 백업 핀(21)의 인발 위치 또는 백업 핀(21)의 장착 위치에서 즉시 행할 수 있다. 따라서, 상기 부품 실장 장치(M)에 의하면 파지구(27b)에 의한 백업 핀(21)의 파지 상태를 고정 카메라 등의 상방에 이동시켜서 화상 인식하는 경우에 비하면 상기 이동이 불필요해지는 만큼 백업 핀(21)의 배열 변경 작업을 효율 좋게 행할 수 있다.According to the above-described component mounting apparatus M, the backup pin 21 is grasped and conveyed by the wave guide 27b as described above. In this case, however, in the negative pressure / positive pressure switch 33, It is judged by the control device 70 whether or not the wave earth 27b is grasping the backup pin 21 based on the detection of the air flow rate. The retracted state of the back-up pin 21 (the presence or absence of the back-up pin 21) of the back-up pin 21 by the tread portion 27b is not moved to a specific position on the base 1, Position or the mounting position of the backup pin 21. [ Therefore, according to the component mounting apparatus M, as compared with the case where the gripping state of the backup pin 21 by the tread portion 27b is moved above the fixed camera or the like and image recognition is performed, 21 can be performed efficiently.

또한, 이 부품 실장 장치(M)에 의하면 양쪽 파지 클로(60A, 60B)가 가장 접근한 상태에서만 각 실린더(46A, 46B)의 내부와 외부(대기)가 연통하도록 파지구(27b)에 리크 통로(50) 등을 형성하고, 부압의 공급 통로[부압/정압 스위칭기(33)의 제 1 유로(34a)]의 에어 유량을 유량 센서(39)로 검출하는 비교적 간단한 구성으로 상기 작용 효과를 나타낼 수 있다. 따라서, 부품 실장 장치(M)의 대형화나 현저한 비용 상승 등을 수반하는 일 없이 백업 핀(21)의 배열 변경 작업을 효율 좋게 행할 수 있다.According to the component mounting apparatus M, the leak path 27b is provided with the leak passage 27B so that the inside and the outside (atmosphere) of the respective cylinders 46A and 46B communicate with each other only when the two grip claws 60A and 60B are in the closest approach. And the air flow rate of the negative pressure supply passage (the first flow path 34a of the negative pressure / positive pressure switch 33) is detected by the flow rate sensor 39, . Therefore, it is possible to efficiently perform the arrangement change operation of the backup pin 21 without increasing the size of the component mounting apparatus M and remarkably increasing the cost.

그런데, 이상에서 설명한 부품 실장 장치(M)는 본 발명에 의한 부품 실장 장치의 바람직한 실시형태의 예시이며, 부품 실장 장치(M)의 전체 구성이나 상기 부품 실장 장치(M)에 적용되는 파지구(27b)의 구체적인 구성은 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 적당히 변경 가능하다. 예를 들면, 이하와 같은 구성을 채용하는 것도 가능하다.The above-described component mounting apparatus M is an example of a preferred embodiment of the component mounting apparatus according to the present invention. The component mounting apparatus M includes the entire configuration of the component mounting apparatus M, 27b can be appropriately changed within a range not deviating from the gist of the present invention. For example, the following configuration can be adopted.

(1) 상기 실시형태에서는 백업 핀(21)을 반송하는 수단으로서 본 발명의 파지구(27b)나 반송 장치가 적용되어 있지만, 물론 부품을 반송하는 수단으로서 본 발명의 파지구나 반송 장치를 사용할 수도 있다. 특히, 커넥터 등의 대형 부품을 노즐(27a)에 의해 안정적으로 흡착, 유지하는 것은 곤란하며, 이러한 대형 부품에 대해서는 파지구를 사용해서 유지하는 것이 적합하다. 그 경우에는 파지구로서 상기 파지구(27b)의 파지 클로의 수나 암부 및 클로부의 형상 등을 대상 부품에 따라 변경한 것을 사용하면 좋다.(1) In the above-described embodiment, the tread portion 27b and the transporting device of the present invention are applied as means for transporting the backup pin 21, but of course, the gripping or transporting device of the present invention can also be used have. Particularly, it is difficult to stably hold and hold a large component such as a connector by the nozzle 27a. For such a large component, it is preferable to use a wave earth to hold it. In this case, the number of the holding claws of the wave earth 27b, the shape of the arm portion and the claw portion as the wave earth may be changed depending on the target part.

(2) 본 발명의 파지구나 반송 장치는 상기와 같은 부품 실장 장치(M)에 한정되지 않고, 소정의 부품 공급 위치로부터 시험용 소켓에 부품을 반송해서 상기 부품의 성능 시험을 실시하는, 소위 부품 시험 장치 등에 있어서의 부품의 파지구나 반송 장치로서 적용하는 것도 가능하다.(2) The gripping or transporting apparatus of the present invention is not limited to the above-described component mounting apparatus M, but may be a so-called component test system in which a component is transported from a predetermined component supply position to a test socket, It is also possible to apply the present invention to a holding device or a carrying device of a component in a device or the like.

(3) 상기 실시형태의 파지구(27b)는 양쪽의 파지 클로(60A, 60B)를 균등하게 변위시킴으로써 파지구(27b)가 개폐하는 것이지만, 파지구(27b)는, 예를 들면 파지구 본체(40)에 제 2 파지 클로(60B)가 고정되고, 제 1 파지 클로(60A)만이 제 2 파지 클로(60B)에 대하여 변위되는 구성이어도 좋다. 반대로, 제 1 파지 클로(60A)에 대하여 제 2 파지 클로(60B)만이 변위되는 구성이어도 좋다.(3) The wave earth 27b of the above embodiment opens and closes the wave earth 27b by evenly displacing the both of the both of the wave claws 60A and 60B. However, the wave earth 27b is, for example, The second gripping claw 60B may be fixed to the first gripping claw 40 and only the first gripping claw 60A may be displaced with respect to the second gripping claw 60B. Conversely, only the second grip claw 60B may be displaced with respect to the first grip claw 60A.

(4) 상기 실시형태의 파지구(27b)는 코일 스프링(68)의 바이어싱력에 의해 개방 상태로 유지되고, 부압(작동압)의 공급에 의해 폐지 상태로 스위칭되는, 소위 단동식의 파지구이지만, 예를 들면 상기 파지구(27b)에 있어서 상기 코일 스프링(68)을 생략함으로써 소위 복동식의 파지구로서 사용해도 좋다. 즉, 부압의 공급에 의해 파지구를 폐지 상태로 유지하고, 정압(에어 블로우)의 공급에 의해 파지구를 개방 상태로 유지하도록 해도 좋다.(4) The wave earth 27b of the above embodiment is kept in the open state by the biasing force of the coil spring 68 and is switched to the closed state by the supply of the negative pressure However, it is also possible to use, for example, the so-called double-acting type waveguide by omitting the coil spring 68 in the wave earth 27b. That is, the branch earth may be kept closed by the supply of the negative pressure, and the branch earth may be maintained in the open state by supplying the static pressure (air blow).

(5) 상기 실시형태의 파지구(27b)는 작동압으로서 부압이 공급됨으로써 작동하는(개방 상태로부터 폐지 상태로 스위칭되는) 것이지만, 작동압으로서 정압(에어 블로우)이 공급됨으로써 작동하는 것이어도 좋다. 즉, 부압/정압 스위칭기(33)로부터의 정압 공급이 정지되어 있을 때에는 코일 스프링의 바이어싱력에 의해 각 파지 클로(60A, 60B)가 서로 이반된 개방 상태로 유지되는 한편, 부압/정압 스위칭기(33)로부터 각 실린더(46A, 46B)에 정압(에어 블로우)이 공급되면 코일 스프링의 바이어싱력에 저항해서 각 파지 클로(60A, 60B)가 서로 접근한 폐지 상태로 유지되는 구성이어도 좋다. 이 경우에는 각 파지 클로(60A, 60B)가 가장 접근하는 위치까지 변위되면 각 실린더(46A, 46B)의 내부와 외부(대기)가 연통해서 유량 센서(39)의 검출값이 일정 레벨까지 저하되도록 피스톤부(66)의 제 2 개구부(66c)나 리크 통로(50)를 형성하면 좋다.(5) The wave earth 27b of the above embodiment is operated by being supplied with a negative pressure as the operating pressure (switched from the open state to the closed state), but it may be operated by supplying the static pressure (air blow) . That is, when the positive pressure supply from the negative pressure / positive pressure switch 33 is stopped, the respective holding claws 60A and 60B are maintained in an open state separated from each other by the biasing force of the coil spring, while the negative pressure / (Air blow) is supplied to each of the cylinders 46A, 46B from the cylinder 33, the grip claws 60A, 60B may be held in a closed state in which the grip claws 60A, 60B approach each other against the biasing force of the coil spring. In this case, when the respective grip claws 60A and 60B are displaced to the closest approach position, the inside and outside (atmosphere) of the cylinders 46A and 46B are connected to each other so that the detection value of the flow rate sensor 39 is lowered to a certain level The second opening 66c of the piston portion 66 and the leak passage 50 may be formed.

(6) 상기 실시형태의 부품 실장 장치(M)에서는 본 발명의 검출부로서 유량 센서(39)가 적용되고, 백업 핀(21)을 파지하고 있는지의 여부의 판단이 부압/정압 스위칭기(33)의 제 1 유로(34a)의 에어 유량의 검출에 의거하여 행해지지만, 예를 들면 본 발명의 검출부로서 압력 센서를 적용하고, 상기 제 1 유로(34a)의 압력 검출에 의거하여 상기 판단이 행해지도록 구성해도 좋다. 또한, 상기 검출부에 의한 에어 유량이나 압력의 검출 위치는 반드시 상기 제 1 유로(34a)일 필요는 없고, 헤드 본체(26)의 내부 통로 등 기타 위치이어도 좋다.(6) In the component mounting apparatus (M) of the above embodiment, the flow sensor 39 is applied as the detecting unit of the present invention, and it is judged whether or not the backup pin 21 is gripped by the negative pressure / For example, a pressure sensor is used as the detecting portion of the present invention, and the determination is made based on the pressure detection of the first flow path 34a. . The detection position of the air flow rate or pressure by the detection unit is not necessarily the first flow path 34a, but may be another position such as an internal passage of the head main body 26. [

이상에서 설명한 본 발명을 정리하면 이하와 같다.The present invention described above can be summarized as follows.

즉, 본 발명의 일국면에 의한 반송 장치는 이동 가능한 헤드 본체와, 이 헤드 본체에 장착되는 파지구 본체와 특정 방향으로 상대적으로 접리 가능한 제 1 파지 클로 및 제 2 파지 클로를 포함하고, 작동압의 공급을 받음으로써 작동하는 파지구와, 이 파지구에 연결되는 압력 통로를 포함하고, 상기 파지구에 대하여 상기 작동압을 공급하는 압력 공급 기구를 포함하고, 상기 파지구 본체는 상기 압력 통로에 연통하며 또한 상기 특정 방향으로 연장되는 실린더와, 이 실린더의 내부를 대기 개방하기 위한 리크 통로를 구비하고, 상기 제 1 파지 클로는 상기 실린더 내에 수용되는 피스톤부를 포함하고, 상기 실린더에 공급되는 상기 작동압을 받음으로써 상기 실린더에 따라 상기 제 2 파지 클로에 접근하는 제 1 방향으로 변위함과 아울러, 양쪽 파지 클로의 간격이 피반송물을 파지하는 제 1 간격보다 좁은 제 2 간격이 되는 상태까지 변위 가능하도록 상기 제 1 파지 클로의 최대 변위량이 설정되어 있고, 상기 피스톤부는 양쪽 파지 클로의 간격이 상기 제 2 간격이 된 상태로 상기 리크 통로와 상기 실린더를 연통시켜서 상기 실린더 내의 압력을 리크시키는 통로 개폐부를 구비하는 것이다.That is, the conveying apparatus according to one aspect of the present invention includes a movable head main body, a wave earth main body mounted on the head main body, and first and second grip claws capable of being relatively folded in a specific direction, And a pressure supply passage connected to the branch passage, the pressure supply mechanism supplying the operating pressure to the branch passage, wherein the branch passage main body is connected to the pressure passage Wherein the first gripping claw includes a piston portion that is received in the cylinder, and the first gripping claw includes a piston portion that communicates with the operation The first and second gripping claws are displaced in a first direction approaching the second gripping claws along the cylinder, The maximum displacement amount of the first gripping claw is set so that the gap can be shifted to a second gap that is narrower than the first gap holding the transported object, And a passage opening / closing part that communicates the leak passage with the cylinder to leak the pressure in the cylinder.

이 반송 장치에서는 상기 실린더 내에 작동압(파지 클로 작동용의 압력)이 공급됨으로써 제 1 파지 클로가 제 2 파지 클로에 접근하고, 이에 따라 양쪽 파지 클로에 의해 피반송물이 파지된다. 이때, 양쪽 파지 클로에 의해 피반송물이 적정하게 파지되어 있지 않은 경우에는 양쪽 파지 클로의 간격이 상기 제 1 간격이 되기 때문에 실린더와 리크 통로는 차단된다. 한편, 양쪽 파지 클로에 의해 피반송물이 파지되지 않고 있을 경우에는 양쪽 파지 클로의 간격이 상기 제 1 간격보다 좁아지기 때문에 실린더와 리크 통로가 통로 개폐부를 통해 연통하게 된다. 즉, 이 반송 장치에서는 파지구가 피반송물을 파지하고 있는지의 여부에 의해 실린더와 리크 통로와의 연통 상태가 스위칭된다. 이러한 실린더와 리크 통로의 연통 상태의 변화는 상기 압력 통로 내의 압력이나 에어 유량에도 변화를 초래한다. 따라서, 상기 압력 공급 기구에 의해 작동압이 공급되어 있는 상태로 압력 통로 내의 압력 또는 에어 유량을 검출하면 상기 검출 데이터에 의거하여 상기 파지구에 의한 피반송물의 파지 상태, 즉 파지구가 피반송물을 파지하고 있는지의 여부를 판정하는 것이 가능해진다. 따라서, 이 반송 장치에 의하면 파지구가 피반송물을 파지하고 있는지의 여부를 상기 파지부를 고정 카메라 상에 이동시켜서 촬상 등 하는 일 없이 판정하는 것이 가능해진다.In this carrying device, the operating pressure (pressure for operating the gripping chuck) is supplied to the cylinder so that the first gripping claw approaches the second gripping claw, whereby the transported object is gripped by both gripping claws. At this time, when the conveyed object is not appropriately gripped by both grip claws, the gap between the both grip claws becomes the first gap, so that the cylinder and the leak passage are blocked. On the other hand, when the conveyed object is not gripped by both grip claws, the gap between both grip claws becomes narrower than the first gap, so that the cylinder and the leak passage communicate with each other through the passage opening and closing part. That is, in this conveying device, the communication state between the cylinder and the leak passage is switched depending on whether or not the waveguide grasps the conveyed object. Such a change in the communication state between the cylinder and the leak passage also causes a change in the pressure in the pressure passage and the air flow rate. Therefore, when the pressure or the air flow rate in the pressure passage is detected by the pressure supply mechanism, the gripping state of the transported object by the torsion spring, that is, the gripping state of the transported object, It is possible to judge whether or not it is grasped. Therefore, according to this carrying apparatus, it is possible to determine whether or not the gripper grasps the transported object by moving the gripper on the stationary camera without performing imaging or the like.

이 반송 장치에 있어서, 상기 파지구 본체는 상기 피스톤을 상기 제 1 방향과는 반대의 제 2 방향으로 바이어싱하는 바이어싱 부재를 더 구비하고 있다.In this carrying apparatus, the wave earth unit further includes a biasing member for biasing the piston in a second direction opposite to the first direction.

이 구성에 의하면 파지구의 비작동 시, 즉 압력 공급 기구로부터 파지구로 작동압이 공급되어 있지 않는 상태에서는 바이어싱 부재에 의한 바이어싱력에 의해 제 1 파지 클로가 제 2 파지 클로에 대하여 이반된 상태로 유지된다. 그리고, 압력 공급 기구로부터 파지구로 작동압이 공급되면 제 1 파지 클로가 상기 바이어싱력에 저항해서 제 2 파지 클로에 접근한다. 그 때문에 상기 작동압의 공급과 그 정지의 스위칭에 따라 확실하게 파지 클로를 개폐시킬 수 있다.According to this configuration, in the non-operation state of the wave earth, that is, in the state in which the operating pressure is not supplied from the pressure supply mechanism to the gripping opening, the first gripping claw is retained with respect to the second gripping claw by the biasing force by the biasing member do. Then, when the operating pressure is supplied from the pressure supply mechanism to the gripping member, the first gripping claw approaches the second gripping claw against the biasing force. Therefore, the grip claw can be reliably opened and closed according to the supply of the operating pressure and the switching of the stop.

이 경우, 상기 제 1 파지 클로를 상기 제 1 방향으로 변위시키는 힘이며, 상기 피스톤부가 상기 작동압을 받음으로써 발생하는 상기 제 1 파지 클로로부터 작동력이 상기 리크 통로와 상기 실린더의 연통 상태에 상관없이 상기 바이어싱 부재의 바이어싱력보다 큰 것이 적합하다.In this case, the first gripping claw is a force for displacing the first gripping claw in the first direction, and the operating force from the first gripping claw generated by the piston receiving the operating pressure, regardless of the communication state between the leak passage and the cylinder Is preferably larger than the biasing force of the biasing member.

이 구성에 의하면 상기 파지구가 피반송물을 파지하고 있는지의 여부의 판정을 더 정확하게 행하는 것이 가능해진다. 상세하게는 파지구에 의해 피반송물이 파지되어 있지 않은 상태에서는 상기한 바와 같이 실린더와 리크 통로가 연통 상태가 되고, 실린더 내가 대기압 또는 이것에 가까운 압력이 된다. 이 경우, 가령 제 1 파지 클로의 상기 작동력이 바이어싱력 이하라고 하면, 바이어싱 부재의 바이어싱력에 의해 제 1 파지 클로가 되밀려서(제 2 방향으로 변위해서) 실린더와 리크 통로가 비연통 상태가 되고, 그 후에 상기 작동압의 공급에 의해 제 1 파지 클로의 상기 작동력이 바이어싱력을 초과해서 제 1 파지 클로가 제 1 방향으로 변위한다는 동작이 발생한다. 즉, 제 1 파지 클로가 단시간에 왕복 이동(파지 클로가 반복하여 개폐)한다는 현상이 발생하고, 그 결과 압력 통로 내의 압력이나 에어 유량이 불안정해져서 상기 판정의 신뢰성이 저해된다. 이 점, 상기한 바와 같이 상기 제 1 파지 클로의 작동력이 상기 리크 통로와 상기 실린더의 연통 상태에 상관없이 항상 바이어싱 부재에 의한 바이어싱력보다 커지는 구성에 의하면 제 1 파지 클로가 단시간에 왕복 이동한다는 상기 현상의 발생이 억제되어 파지구가 피반송물을 파지하고 있는지의 여부의 판정을 보다 정확하게 행하는 것이 가능해진다.According to this configuration, it is possible to more accurately determine whether or not the torsion spring grasps the conveyed object. Specifically, in a state in which the transported object is not gripped by the branching earth, the cylinder and the leak passage are in a communicated state as described above, and the cylinder is at atmospheric pressure or near the pressure. In this case, assuming that the operating force of the first grip claw is equal to or smaller than the pressing force, the first grip claw is pushed back by the biasing force of the biasing member (displaced in the second direction) And thereafter, by the supply of the operating pressure, the operating force of the first grip claw exceeds the piercing force, and the first grip claw is displaced in the first direction. That is, there occurs a phenomenon that the first grip claw reciprocates in a short time (the grip claw repeatedly opens and closes), and as a result, the pressure and the air flow rate in the pressure path become unstable and the reliability of the determination is deteriorated. According to this configuration, as described above, according to the configuration in which the operating force of the first grip claw is always larger than the biasing force of the biasing member regardless of the communication state between the leak passage and the cylinder, the first grip claw reciprocates in a short period of time The occurrence of the phenomenon can be suppressed and it is possible to more accurately determine whether or not the wave earth is grasping the transported object.

상기 각 반송 장치에 있어서, 상기 통로 개폐부는 양쪽 파지 클로의 간격이 상기 제 1 간격으로부터 좁아짐에 따라 상기 실린더 내의 압력이 연속적으로 변화되도록 상기 리크 통로와 상기 실린더를 연통시키는 것이 적합하다.In each of the above conveying devices, it is preferable that the passage opening and closing part communicate the cylinder with the leak passage so that the pressure in the cylinder continuously changes as the gap between both the grip claws narrows from the first gap.

이 구성에 의하면 압력 통로 내의 압력이나 에어 유량의 변화가 단시간에 현저히 변화되게 되기 때문에 파지구가 피반송물을 파지하고 있는지의 여부의 상기 판정을 보다 간단하며, 또한 정확하게 행하는 것이 가능해진다.According to this configuration, since the change in the pressure or the air flow rate in the pressure passage changes significantly in a short period of time, it is possible to carry out the above determination of whether or not the wave earth is gripping the transported object more easily and accurately.

또한, 상기 각 반송 장치는 상기 압력 통로 내의 압력 또는 에어 유량을 검출하는 검출부와, 이 검출부에 의한 검출 데이터와 상기 압력 공급 기구에 의한 상기 작동압의 공급 상태에 의거하여 상기 파지구에 의한 피반송물의 파지 상태를 판정하는 판정부를 구비한다.Each of the conveying devices may further include a detection unit that detects a pressure or an air flow rate in the pressure passage, and a control unit that, based on the detection data by the detection unit and the supply state of the operating pressure by the pressure supply mechanism, And a judging section for judging the grip state of the object.

이 구성에 의하면 상기 압력 통로 내의 압력 또는 에어 유량이 검출부에 의해 검출되고, 그 데이터와 상기 압력 공급 기구에 의한 상기 압력의 공급 상태에 의거하여 상기 파지구에 의한 피반송물의 파지 상태, 즉 파지구가 피반송물을 파지하고 있는지의 여부가 판정부에 의해 판정된다. 따라서, 파지구가 피반송물을 파지하고 있는지의 여부의 판정을 자동화하는 것이 가능해진다.According to this configuration, the pressure or the air flow rate in the pressure passage is detected by the detecting portion, and based on the data and the supply state of the pressure by the pressure supply mechanism, the gripping state of the conveyed object by the wave- It is judged by the judging unit whether or not the object to be transported is holding the transported object. Therefore, it becomes possible to automate the determination as to whether or not the wave earth is holding the transported object.

한편, 본 발명의 일국면에 의한 부품 실장 장치는 상기 부품 또는 상기 부품의 실장 작업에 사용되는 작업용 부재를 피반송물로서 반송하는 상기 중 어느 하나의 반송 장치를 구비하는 것이다.On the other hand, the component mounting apparatus according to one aspect of the present invention includes any one of the above-mentioned transporting apparatuses for transporting the component or the work member used in the mounting operation of the component as a transported object.

이 부품 실장 장치에 의하면 파지구가 피반송물(부품이나 작업용 부재)을 파지하고 있는지의 여부를 상기 파지부를 고정 카메라 상에 이동시켜서 촬상 등 하는 일 없이 판정하는 것이 가능해진다. 그 때문에 피반송물을 파지하고 있는지의 여부의 판정을 포함하는 상기 피반송물의 반송 작업을 효율 좋게 행하는 것이 가능해진다.According to this component mounting apparatus, it is possible to determine whether or not the wave earth is grasping a transported object (a component or a work member) without moving the grasping portion on the fixed camera and performing imaging or the like. Therefore, it is possible to efficiently carry out the conveying operation of the conveyed object including the judgment as to whether or not the conveyed object is grasped.

보다 구체적으로 상기 부품 실장 장치가 상기 작업용 부재로서, 상기 기판을 지지하는 백업 핀과, 상기 백업 핀이 빼고 넣음 가능하게 장착되는 백업 플레이트를 포함하는 백업 장치를 구비하는 것에서는 상기 반송 장치는 상기 백업 핀의 배열 변경을 위한 상기 백업 핀을 반송하는 것이어도 좋다.More specifically, in the case where the component mounting apparatus includes the backup device including the backup pin for supporting the substrate and the backup plate to which the backup pin is removably mounted, The backup pin may be returned for changing the arrangement of the pins.

이 구성에 의하면 백업 핀의 배열 변경 작업을 효율 좋게 행하는 것이 가능해진다.According to this configuration, it is possible to efficiently perform the arrangement change operation of the backup pin.

또한, 이 부품 실장 장치에 있어서, 상기 반송 장치는 부품을 흡착함으로써 유지하는 노즐과 상기 파지구가 선택적으로 상기 헤드 본체에 대하여 장착되는 것이며, 상기 압력 공급 기구는 상기 노즐에 부품 흡착용의 부압을 공급함과 아울러, 상기 부압을 상기 작동압으로서 상기 파지구에 공급하는 것이 적합하다.In addition, in the component mounting apparatus, the carrying device is a nozzle for holding a component by suction, and the wave guide is selectively mounted to the head body, and the pressure supply mechanism applies a negative pressure It is preferable to supply the negative pressure to the wave earth as the operating pressure in addition to the supply box.

이 구성에 의하면 부품 흡착용의 부압을 파지구의 작동압으로서 사용하는 합리적인 구성이 된다.According to this configuration, a negative pressure for adsorbing the component is used as the working pressure of the wave earth.

한편, 본 발명의 일국면에 의한 파지구는 반송 장치에 설치되는 이동 가능한 헤드 본체에 장착되고, 소정의 압력 통로를 통해 작동압의 공급을 받음으로써 작동하는 파지구로서, 상기 헤드 본체에 장착되는 파지구 본체와, 특정 방향으로 상대적으로 접리 가능한 제 1 파지 클로 및 제 2 파지 클로를 구비하고, 상기 파지구 본체는 상기 압력 통로에 연통하며 또한 상기 특정 방향으로 연장되는 실린더와, 이 실린더의 내부를 대기 개방하기 위한 리크 통로를 구비하고, 상기 제 1 파지 클로는 상기 실린더 내에 수용되는 피스톤부를 포함하고, 상기 실린더에 공급되는 상기 작동압을 받음으로써 상기 실린더를 따라 상기 제 2 파지 클로에 접근하는 방향으로 변위함과 아울러, 양쪽 파지 클로의 간격이 피반송물을 파지하는 제 1 간격보다 좁은 제 2 간격이 되는 상태까지 변위 가능하도록 상기 제 1 파지 클로의 최대 변위량이 설정되어 있고, 상기 피스톤부는 양쪽 파지 클로의 간격이 상기 제 1 간격보다 좁아진 상태로 상기 리크 통로와 상기 실린더를 연통시켜서 상기 실린더 내의 압력을 리크시키는 통로 개폐부를 구비하는 것이다.On the other hand, the wave guide according to one aspect of the present invention is a wave guide mounted on a movable head body installed in a conveying device and operated by being supplied with operating pressure through a predetermined pressure passage, And a first gripping claw and a second gripping claw which are relatively foldable in a specific direction, wherein the waveguide body includes: a cylinder communicating with the pressure passage and extending in the specific direction; Wherein the first grip claw includes a piston portion accommodated in the cylinder and receives the operating pressure supplied to the cylinder so as to move in the direction of approaching the second grip claw along the cylinder And the gap between the two grip claws becomes a second gap narrower than the first gap for holding the transported object And the piston communicates the cylinder with the leak passage in a state in which the gap between both the grip claws is narrower than the first gap so that the pressure in the cylinder is reduced to the leakage And a passage opening / closing part.

이러한 파지구는 상기 반송 장치의 파지구로서 유용한 것이며, 상기 반송 장치에 적용됨으로써 상기 반송 장치에 의한 피파지물의 반송을 보다 효율 좋게 행하게 하는 것에 기여하는 것이 된다.Such a wave guide is useful as a wave guide of the conveying device. By applying the wave guide to the conveying device, the conveying device contributes to more efficiently conveying the item.

이상과 같이 본 발명의 반송 장치나 부품 실장 장치는 부품 등의 피반송물을 파지해서 반송할 경우에 피반송물의 파지 상태를 고정 카메라 등 특정 위치 로 이동시키는 일 없이 검지하는 것을 가능하게 하는 것이며, 부품 실장 기판의 제조 효율을 높이는 데 있어서 특히 유용한 것이다.
As described above, the carrying apparatus or the component mounting apparatus of the present invention makes it possible to detect the gripping state of the transported object without moving it to a specific position such as a stationary camera when gripping and transporting the transported article such as a part, This is particularly useful for increasing the manufacturing efficiency of the mounting substrate.

Claims

A movable head body,
A wave earth unit which is mounted on the head main body, a wave earth including a first grasping claw and a second grasping claw capable of being relatively rewound in a specific direction,
And a pressure supply mechanism including a pressure passage connected to the wave earth and supplying the operating pressure to the wave earth,
The wave earth unit includes a cylinder communicating with the pressure passage and extending in the specific direction and a leak passage for opening the interior of the cylinder to the atmosphere,
Wherein the first grip claw includes a piston portion accommodated in the cylinder and receives the operating pressure supplied to the cylinder to displace in a first direction approaching the second grip claw along the cylinder, The maximum displacement amount of the first grip claw is set so that the first grip claw can be displaced to a state where the gap is narrower than the first gap holding the transported object,
Wherein the piston portion includes a passage opening / closing portion for allowing the leak passage to communicate with the cylinder in a state in which the gap between the both grip claws is at the second gap, thereby to leak the pressure in the cylinder.

The method according to claim 1,
Wherein the waveguide body further comprises a biasing member for biasing the piston portion in a second direction opposite to the first direction.

3. The method of claim 2,
Wherein the operating force of the first gripping claw generated by receiving the operating pressure of the piston portion is a force for displacing the first gripping claw in the first direction, Is greater than the biasing force of the member.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the passage opening / closing portion communicates the leak passage with the cylinder so that the pressure in the cylinder continuously changes as the gap between both the grip claws narrows from the first gap.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
A detection unit for detecting a pressure or an air flow rate in the pressure passage, and a determination unit for determining a grip state of the transported object by the waveguide on the basis of the detection data by the detection unit and the supply state of the operating pressure by the pressure supply mechanism And a conveying unit for conveying the recording medium.

1. A component mounting apparatus for mounting components on a substrate,
The component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 5, further comprising a carrying member used for mounting the component or its parts as a carrying object.

The method according to claim 6,
And a backup device including the backup pin for supporting the substrate and the backup plate to which the backup pin can be pulled out,
Wherein the transporting device transports the backup pin for changing the arrangement of the backup pins.

8. The method according to claim 6 or 7,
Wherein the transporting device is a nozzle for holding the component by suction, and the wave earth is selectively mounted to the head body,
Wherein the pressure supply mechanism supplies a negative pressure for adsorbing the component to the nozzle and supplies the negative pressure to the wave earth as the operating pressure.

A waveguide mounted on a movable head body installed in a transfer device and operated by being supplied with operating pressure through a predetermined pressure passage,
And a first gripping claw and a second gripping claw which are relatively foldable in a specific direction,
The wave earth unit includes a cylinder communicating with the pressure passage and extending in the specific direction and a leak passage for opening the interior of the cylinder to the atmosphere,
Wherein the first gripping claw includes a piston portion accommodated in the cylinder and is displaced along the cylinder in a direction approaching the second gripping claw by receiving the operating pressure supplied to the cylinder, The maximum displacement amount of the first grip claw is set so that the first grip claw can be displaced to a state where the second gap is narrower than the first gap for gripping the transported object,
Wherein the piston portion includes a passage opening / closing portion that communicates the leak passage with the cylinder in a state in which the gap between both the grip claws is narrower than the first gap, thereby to leak the pressure in the cylinder.