KR20150077720A - 액 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20150077720A
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Abstract

본 발명은 액 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 액 공급 유닛은, 액이 저장되는 바디와 상기 바디를 상단에서 덮는 커버를 갖는 액 저장 용기와, 상기 커버를 관통하여 상기 커버에 고정결합되고 상기 바디의 하부를 향해 연장되어, 저장된 액을 외부로 공급하는 액 공급 배관과, 상기 액 공급 배관의 끝단에 삽입되어 상기 바디와 상기 커버가 결합시 상기 액 공급 배관으로 액의 유입이 가능하고, 상기 바디와 상기 커버의 분리시 상기 액 공급 배관 내에 잔류하는 액의 떨어짐을 방지하는 캡을 포함한다.

Description

액 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Unit for providing liquid and Apparatus for treating substrate including the same}
본 발명은 액 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
도 1은 액 저장 용기와 액 공급 배관의 일예를 도시한 것이다. 도 1을 참조하면, 압력 용기(50) 내의 액 저장부(51)에서 액을 공급하기 위하여 빨대 형태의 공급 배관(52)을 설치한다. 액 용기(50)에서 덮개(53)를 개방하여 덮개(53)에 연결되는 공급 배관(52)의 교체 등을 위해 용기(50) 내에서 분리시에 공급 배관(52) 내부에 잔류하는 액이 아래로 떨어지게 된다. 배관 내부에 어느 정도 압력이 유지되더라도 공급 배관(52) 끝단에서는 액이 떨어진다. 즉, 액 공급 중 공급 배관(52) 내부에 있던 잔류액은 액 용기(50) 내의 저장된 액에서 분리될 경우 밑으로 흐르게 된다. 이는 상부 압력을 유지하여도 마찬가지이다.
게다가, 용기 덮개(53)가 이동되는 경우에는 공급 배관이 흔들리거나 다른 곳에 부딪힘에 의해 잔류액이 떨어질 수 있다. 이는 기판의 공정 처리시 필요한 액의 낭비를 초래한다.
또한, 분리되는 공급 배관(52) 내에는 공기가 유입될 수 있고, 이렇게 유입된 공기는 차후 잉크젯 등의 방식으로 액을 토출하는 헤드 선단부에서 미토출을 유발할 수 있다. 따라서 유입된 공기의 제거를 위해 추가 공정이 요구된다.
본 발명은 기판 처리시 공급되는 액의 낭비를 줄일 수 있는 액 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 액 공급 배관 내에 유입되는 공기를 최소화할 수 있는 액 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 액 공급 유닛을 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 액 공급 유닛은, 액이 저장되는 바디와 상기 바디를 상단에서 덮는 커버를 갖는 액 저장 용기와, 상기 커버를 관통하여 상기 커버에 고정결합되고 상기 바디의 하부를 향해 연장되어, 저장된 액을 외부로 공급하는 액 공급 배관과, 상기 액 공급 배관의 끝단에 삽입되어 상기 바디와 상기 커버가 결합시 상기 액 공급 배관으로 액의 유입이 가능하고, 상기 바디와 상기 커버의 분리시 상기 액 공급 배관 내에 잔류하는 액의 떨어짐을 방지하는 캡을 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 캡은, 중앙홀과 상기 중앙홀을 중심으로 상기 중앙홀 둘레에 다수 배치되는 제1 액공급홀을 가지며 상기 액 공급 배관 내로 삽입되는 몸체와, 상기 몸체의 상부에 배치되어 상기 제1 액공급홀을 개폐하는 차단판과, 상기 몸체의 하부에 배치되는 지지판과, 상기 차단판의 하단에서 연장되고 상기 중앙홀을 통과하여 상기 지지판의 상단과 연결되어 상하 직선 이동 가능한 로드를 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 몸체는, 상부면이 상기 액 공급 배관의 끝단과 맞닿는 하부 몸체와, 상기 하부 몸체의 상부면에서 연장 형성되어 상기 액 공급 배관 내로 삽입되는 상부 몸체를 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 상부 몸체의 상부면은 상기 중앙홀과 상기 제1 액공급홀이 형성되는 중앙 영역이 가장자리 영역보다 낮게 형성되고, 상기 차단판은 상기 중앙 영역에 위치된다.
일 예에 의하면, 상기 가장자리 영역은 상기 액 공급 배관의 중심을 향하는 방향으로 하향 경사지게 형성된다.
일 예에 의하면, 상기 차단판의 직경은 최소 상기 제1 액공급홀이 형성되는 영역의 직경보다 크고, 최대 상기 중앙 영역의 직경보다는 작게 형성된다.
일 예에 의하면, 상기 지지판의 직경은 상기 중앙홀의 직경보다는 크게 형성되고 상기 제1 액공급홀이 형성되는 위치의 직경보다는 작게 형성되며, 상기 로드의 수직길이는 상기 중앙홀의 수직길이보다 더 길게 형성된다.
일 예에 의하면, 상기 캡은, 상기 로드의 상방 이동에 의해 상기 상부 몸체로부터 상기 차단판이 이격되어 상기 제1 액공급홀이 개방되는 제1 상태와, 상기 로드의 하방 이동에 의해 상기 상부 몸체와 상기 차단판이 맞닿아 상기 제1 액공급홀이 닫히는 제2 상태를 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 로드는 상기 바디의 내부 압력 또는 상기 바디 내에 저장된 액의 부력에 의해 상기 제1 상태로 이동되고, 상기 로드는 상기 액 공급 배관의 내부 압력 또는 중력에 의해 상기 제2 상태로 이동된다.
일 예에 의하면, 상기 캡은, 다수의 미공을 갖는 마개를 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 마개는, 중앙부와 가장자리부를 가지며, 상기 가장자리부가 상기 액 공급 배관의 끝단과 맞닿는 외측부와, 상기 중앙부에서 연장되어 상기 액 공급 배관 내로 삽입되는 내측부를 포함하되, 상기 외측부와 상기 내측부에는 상하를 관통하여 제2 액공급홀이 형성되고, 상기 제2 액공급홀은 상기 미공으로서 제공된다.
일 예에 의하면, 상기 액 공급 유닛은 상기 커버를 관통하여 상기 커버에 고정결합되고 상기 바디의 하부를 향해 연장되어, 외부로부터 상기 액 저장 용기 내에 가스를 공급하는 가스 공급 배관을 더 포함한다.
또한, 본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판이 놓이는 기판 지지 유닛과, 기판 지지 유닛의 이동 경로 상부에 제공되며, 일 방향으로 이동가능한 갠트리와, 상기 갠트리에 장착되며, 잉크젯 방식으로 기판에 액을 토출하는 노즐들을 갖는 복수의 헤드와, 액 공급부로부터 액를 공급받아 내부에 액을 저장하는 레저버 공간이 형성되며, 상기 헤드에 액을 공급하는 레저버와, 상기 액 공급부에 액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은, 액이 저장되는 바디와 상기 바디를 상단에서 덮는 커버를 갖는 액 저장 용기와, 상기 커버를 관통하여 상기 커버에 고정결합되고 상기 바디의 하부를 향해 연장되어, 저장된 액을 외부로 공급하는 액 공급 배관과, 상기 액 공급 배관의 끝단에 삽입되어 상기 바디와 상기 커버가 결합시 상기 액 공급 배관으로 액의 유입이 가능하고, 상기 바디와 상기 커버의 분리시 상기 액 공급 배관 내에 잔류하는 액의 떨어짐을 방지하는 캡을 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 캡은, 중앙홀과 상기 중앙홀을 중심으로 상기 중앙홀 둘레에 다수 배치되는 제1 액공급홀을 가지며 상기 액 공급 배관 내로 삽입되는 몸체와, 상기 몸체의 상부에 배치되어 상기 제1 액공급홀을 개폐하는 차단판과, 상기 몸체의 하부에 배치되는 지지판과, 상기 차단판의 하단에서 연장되고 상기 중앙홀을 통과하여 상기 지지판의 상단과 연결되어 상하 직선 이동 가능한 로드를 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 지지판의 직경은 상기 중앙홀의 직경보다는 크게 형성되고 상기 제1 액공급홀이 형성되는 위치의 직경보다는 작게 형성되며, 상기 로드의 수직길이는 상기 중앙홀의 수직길이보다 더 길게 형성된다.
일 예에 의하면, 상기 캡은, 상기 로드의 상방 이동에 의해 상기 상부 몸체로부터 상기 차단판이 이격되어 상기 제1 액공급홀이 개방되는 제1 상태와, 상기 로드의 하방 이동에 의해 상기 상부 몸체와 상기 차단판이 맞닿아 상기 제1 액공급홀이 닫히는 제2 상태를 포함한다.
일 예에 의하면, 상기 로드는 상기 바디의 내부 압력 또는 상기 바디 내에 저장된 액의 부력에 의해 상기 제1 상태로 이동되고, 상기 로드는 상기 액 공급 배관의 내부 압력 또는 중력에 의해 상기 제2 상태로 이동된다.
본 발명의 실시예에 따른 액 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치는 기판 처리시 공급되는 액의 낭비를 효과적으로 줄일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 액 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치는 액 공급 배관 내에 유입되는 공기를 최소화하여 기판 처리 장치의 헤드 선단부에서 발생되는 액의 미토출을 방지할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 액 저장 용기와 액 공급 배관의 일예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 액 공급 유닛 중 캡의 일실시예에 의한 제1 상태를 보여주는 측단면도이다.
도 3은 도 2의 액 공급 유닛의 제2 상태의 측단면도이다.
도 4는 도 2의 몸체를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 액 공급 유닛 중 캡의 다른 실시예를 보여주는 측단면도이다.
도 6은 도 5의 캡의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 따라서 도면에서의 도시된 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 7을 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 기판 지지 유닛(1000), 갠트리(2000), 헤드(3000), 레저버(4000), 그리고 액 공급 유닛(5000)을 포함한다. 이하 각 구성에 대하여 상세히 설명한다.
베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)의 상면에는 기판 지지 유닛(1000)이 배치된다. 기판 지지 유닛(1000)은 기판(S)이 놓이는 지지판(1100)을 가진다. 지지판(1100)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(1100)의 하면에는 회전 구동 부재(1200)가 연결된다. 회전 구동 부재(1200)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(1200)는 지지판(1100)에 수직한 회전 중심축을 중심으로 지지판(1100)을 회전시킨다. 지지판(1100)이 회전 구동 부재(1200)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(1100)의 회전에 의해 회전될 수 있다.
지지판(1100)과 회전 구동 부재(1200)는 직선 구동 부재(1300)에 의해 제1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(1300)는 슬라이더(1320)와 가이드 부재(1340)를 포함한다. 회전 구동 부재(1200)는 슬라이더(1320)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(1340)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제1 방향(Ⅰ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(1320)에는 리니어 모터가 내장될 수 있으며, 슬라이더(1320)는 리니어 모터에 의해 가이드 부재(1340)를 따라 제1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동된다.
갠트리(2000)는 지지판(1100)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(2000)는 베이스(B)의 상면으로부터 위방향으로 이격 배치되며, 갠트리(2000)는 길이 방향이 제2 방향(Ⅱ)을 향하도록 배치된다.
헤드(3000)는 헤드 이동 유닛(7000)에 의해 갠트리(2000)에 결합된다. 헤드(3000)는 헤드 이동 유닛(7000)에 의해 갠트리의 길이 방향, 즉 제2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동하고, 또한 제3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동될 수 있다.
헤드(3000)는 기판에 유체, 예를 들어 액정의 액적을 토출한다. 헤드(3000)는 복수 개가 제공될 수 있다. 본 실시예에서는 3개의 헤드(3000a,3000b,3000c)가 제공된 예를 도시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 헤드(3000)는 제2 방향(Ⅱ)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있으며, 갠트리(2000)에 결합된다.
헤드(3000)의 저면에는 액정의 액적을 토출하는 복수 개의 노즐들이 제공된다. 예를 들어, 각각의 헤드들에는 128개 또는 256개의 노즐들이 제공될 수 있다. 노즐들은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다.
각각의 헤드(3000)에는 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있으며, 노즐들의 액적 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
레저버(4000)는 액정의 버퍼 탱크 역할을 하는 구성으로, 내부에 액정이 저장되는 레저버 공간을 갖는다. 레저버 공간은 몸체 내부에 형성되어 액 공급부(6000)로부터 액정을 받아서 저장하고 노즐들로 액정을 공급한다.
액 공급부(6000)는 레저버 공간으로 액정을 공급한다. 액 공급부(6000)는 액정 공급원, 가압 부재 및 액정 공급라인을 포함한다. 액정 공급원은 예를 들어 통 형상으로 제공될 수 있으며, 액정 공급원 내에는 액정 등의 유체가 채워져 있다. 가압 부재는 액정 공급원에 가스 압력을 작용시킨다. 액정 공급원 내의 액정은 가압 부재의 가스 압력에 의해 액정 공급라인를 통해 레저버 공간(4001)으로 전달된다.
도 2는 본 발명에 따른 액 공급 유닛 중 캡의 일실시예에 의한 제1 상태를 보여주는 측단면도이고, 도 3은 도 2의 액 공급 유닛의 제2 상태의 측단면도이고, 도 4는 도 2의 몸체를 도시한 사시도이다.
액 공급 유닛(5000)은 액 저장 용기(5100), 액 공급 배관(5200) 및 캡(5300)을 포함한다. 액 공급 유닛(5000)은 액 공급부(6000)에 액을 공급한다.
액 저장 용기(5100)는 바디(5110)와 커버(5120)를 갖는다. 바디(5110)에는 액이 저장된다. 바디(5110)에는 액이 저장되는 병 형상 등의 저장부가 별도로 제공될 수도 있다. 바디(5110)는 상단에 개구부를 갖는다. 커버(5120)는 바디(5110)의 상단 개구부를 개폐한다.
액 공급 배관(5200)은 커버(5120)를 관통하여 커버(5120)에 고정결합된다. 액 공급 배관(5200)은 바디(5110)의 하부를 향해 연장된다. 즉, 액 공급 배관(5200)은 바디(5110)의 하부에 저장된 액으로 연장 형성된다. 액 공급 배관(5200)은 액 저장 용기(5100)에 저장된 액을 외부로 공급한다. 액 공급 배관(5200)은 액 공급부(6000)와 연결되는 액 공급 라인(미도시)에 저장된 액을 공급한다.
캡(5300)은 액 공급 배관(5200)의 끝단에 삽입된다. 캡(5300)은 바디(5110)와 커버(5120)의 결합시 액 공급 배관(5200)으로 액의 유입이 가능하다. 또한, 캡(5300)은 바디(5110)와 커버(5120)의 분리시 액 공급 배관(5200) 내에 잔류하는 액의 떨어짐을 방지한다.
캡(5300)은 몸체(5310), 차단판(5320), 지지판(5330), 그리고 로드(5340)를 포함한다.
몸체(5310)는 액 공급 배관(5200) 내로 삽입된다. 몸체(5310)는 중앙홀(5310a)과 제1 액공급홀(5310b)을 가진다. 중앙홀(5310a)은 몸체(5310)의 중앙에 형성된다. 제1 액공급홀(5310b)은 중앙홀(5310a)을 중심으로 중앙홀(5310a) 둘레에 다수 배치된다.
몸체(5310)는 하부 몸체(5311)와 상부 몸체(5312)를 포함한다. 하부 몸체(5311)는 상부면이 액 공급 배관(5200)의 끝단과 맞닿는다. 상부 몸체(5312)는 하부 몸체(5311)의 상부면에서 연장 형성되어 액 공급 배관(5200) 내로 삽입된다.
상부 몸체(5312)의 상부면은 중앙 영역(CA)과 가장자리 영역(EA)을 갖는다. 중앙 영역(CA)에는 중앙홀(5310a)과 제1 액공급홀(5310b)이 형성된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 중앙 영역(CA)은 가장자리 영역(EA)보다 낮게 형성된다. 가장자리 영역(EA)은 액 공급 배관(5200)의 중심을 향하는 방향으로 하향 경사지게 형성된다.
차단판(5320)은 몸체의 상부에 배치되어 제1 액공급홀(5310b)을 개폐한다. 즉, 차단판(5320)은 중앙 영역(CA)의 상부에 위치된다. 차단판(5320)은 중앙 영역(CA)의 상부에서 상하방으로 이동되어 제1 액공급홀(5310b)을 상부에서 열거나 닫는다.
기본적으로 차단판(5320)의 직경은 액 공급 배관(5200)의 직경보다 작게 형성된다. 또한, 차단판(5320)의 직경은 최소 중앙 영역(CA)에 형성되는 제1 액공급홀(5310b)의 위치보다는 커야하고, 최대 중앙 영역(CA)의 직경보다는 작아야 한다. 즉, 차단판(5320)의 직경은 최소 제1 액공급홀(5310b)이 형성되는 영역의 직경보다는 크고, 최대 중앙 영역(CA)의 직경보다는 작게 형성된다. 이는 차단판(5320)의 하방 이동시 차단판(5320)이 중앙 영역(CA)에 맞닿아 제1 액공급홀(5310b)을 닫기 위함이다.
지지판(5330)은 몸체(5311)의 하부에 배치된다. 차단판(5320)과 지지판(5330)은 원형의 판 형상으로 제공된다. 지지판(5330)의 직경은 중앙홀(5310a)의 직경보다는 크게 형성되고, 제1 액공급홀(5310b)이 형성되는 위치의 직경보다는 작게 형성된다.
로드(5340)는 차단판(5320)의 중앙 하단에서 연장되고 중앙홀(5310a)을 통과하여 지지판(5330)의 상단 중앙과 연결된다. 로드(5340)의 수직길이는 중앙홀(5310a)의 수직길이보다 더 길게 형성되어 상하로 직선 이동 가능하다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 캡(5300)은 로드(5340)의 상방 이동에 상부 몸체(5311)로부터 차단판(5320)이 이격되어 제1 액공급홀(5310b)이 개방되는 제1 상태(S1)와 로드(5300)의 하방 이동에 의해 상부 몸체((5311)와 차단판(5320)이 맞닿아 제1 액공급홀(5310b)이 닫히는 제2 상태(S2)를 포함한다.
바디(5110)와 커버(5120)가 결합시, 로드(5340)는 바디(5110)의 내부 압력 또는 바디(5110) 내에 저장된 액의 부력에 의해 제1 상태(S1)로 이동된다. 또한, 바디(5110)와 커버(5120)의 분리시, 로드(5340)는 액 공급 배관(5200)의 내부 압력 또는 중력에 의해 제2 상태(S2)로 이동된다.
즉, 캡(5300)은 로드(5340)가 액과 접촉시 또는 액 저장 용기(5100)의 내부 가압시 상승하여 제1 액공급홀(5310b)을 열어 액을 공급한다. 또한, 캡(5300)은 로드(5340)의 압력이 해제되거나 액 공급 배관(5200)이 액에서 분리될 경우 중력으로 인해 하강하여 제1 액공급홀(5310b)을 닫아 잔류액의 흘러내림을 방지할 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 액 공급 유닛 중 캡의 다른 실시예를 보여주는 측단면도이고, 도 6은 도 5의 캡의 사시도이다.
캡(5300')은 다수의 미공(5350a)을 갖는 마개(5350)를 포함한다. 마개(5350)는 외측부(5351)와 내측부(5352)를 포함한다. 외측부(5351)는 중앙부와 가장자리부를 갖는다. 상기 가장자리부는 액 공급 배관(5200)의 끝단과 맞닿는다. 내측부(5352)는 상기 중앙부에서 연장되어 액 공급 배관(5200) 내로 삽입된다. 내측부(5352)의 상부는 액 공급 배관(5200)의 중심을 향해 경사지게 형성된다. 이는 마개(5350)가 액 공급 배관(5200)의 끝단에서 용이하게 삽입될 수 있게 하기 위함이다.
외측부(5351)와 내측부(5352)에는 상하를 관통하여 제2 액공급홀(5350b)이 형성된다. 제2 액공급홀(5350b)은 미공(5350a)으로서 제공된다.
따라서, 마개(5350)는 바디(5110)와 커버(5120)가 결합시에는 미공(5350a)을 통해 액을 공급받는다. 또한, 마개(5350)는 바디(5110)와 커버(5120)의 분리시에는 미공(5350a)이 액 공급 배관(5200) 내부의 일정 압력을 유지시키는데 큰 방해가 되지 않으므로 끝단의 액 떨어짐을 방지할 수 있다.
도 1의 일예를 참조하면, 액 공급 유닛(5000)은 가스 공급 배관(5400)을 더 포함한다. 가스 공급 배관(5400)은 커버(5120)를 관통하여 커버(5120)에 고정결합되고 바디(5110)의 하부를 향해 연장된다. 즉, 가스 공급 배관(5400)은 액 공급 배관(5200)과 나란하게 배치된다. 가스 공급 배관(5400)은 외부로부터 액 저장 용기(5100) 내에 가스를 공급한다. 액 저장 용기(5100) 내에 공급된 가스는 액 저장 용기(5100)의 압력을 높여 액 공급 배관(5200)으로 저장된 액을 공급한다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 기판 처리시 공급되는 액의 낭비를 효과적으로 줄일 수 있다. 또한, 본 발명은 액 공급 배관 내에 유입되는 공기를 최소화하여 기판 처리 장치의 헤드 선단부에서 발생되는 액의 미토출을 방지할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 기판 처리 장치 1000 : 기판 지지 유닛
2000 : 갠트리 3000 : 헤드
4000 : 레저버 5000 : 액 공급 유닛
5100 : 액 저장 용기 5110 : 바디
5120 : 커버 5200 : 액 공급 배관
5300,5300' : 캡 5310 : 몸체
5310a : 중앙홀 5310b : 제1 액공급홀
5320 : 차단판 5330 : 지지판
5340 : 로드 5350 : 마개
5350b : 제2 액공급홀 5400 : 가스 공급 배관
6000 : 액 공급부 7000 : 헤드 이동 유닛

Claims (2)

  1. 액이 저장되는 바디와 상기 바디를 상단에서 덮는 커버를 갖는 액 저장 용기와,
    상기 커버를 관통하여 상기 커버에 고정결합되고 상기 바디의 하부를 향해 연장되어, 저장된 액을 외부로 공급하는 액 공급 배관과,
    상기 액 공급 배관의 끝단에 삽입되어 상기 바디와 상기 커버가 결합시 상기 액 공급 배관으로 액의 유입이 가능하고, 상기 바디와 상기 커버의 분리시 상기 액 공급 배관 내에 잔류하는 액의 떨어짐을 방지하는 캡을 포함하는 액 공급 유닛.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 캡은,
    중앙홀과 상기 중앙홀을 중심으로 상기 중앙홀 둘레에 다수 배치되는 제1 액공급홀을 가지며 상기 액 공급 배관 내로 삽입되는 몸체와,
    상기 몸체의 상부에 배치되어 상기 제1 액공급홀을 개폐하는 차단판과,
    상기 몸체의 하부에 배치되는 지지판과,
    상기 차단판의 하단에서 연장되고 상기 중앙홀을 통과하여 상기 지지판의 상단과 연결되어 상하 직선 이동 가능한 로드를 포함하는 액 공급 유닛.
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