KR20150072216A - Contact glass substrate cleaning unit and the cleaning unit is equipped with a cleaning device - Google Patents

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KR20150072216A
KR20150072216A KR1020130159627A KR20130159627A KR20150072216A KR 20150072216 A KR20150072216 A KR 20150072216A KR 1020130159627 A KR1020130159627 A KR 1020130159627A KR 20130159627 A KR20130159627 A KR 20130159627A KR 20150072216 A KR20150072216 A KR 20150072216A
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KR1020130159627A
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권지훈
이길세
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권지훈
이길세
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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  • Cleaning In General (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

The present invention relates to a glass substrate contact type cleaning unit and a cleaning device equipped with the same. To be more specific, the present invention provides the cleaning unit comprising: a cleaning part (110) containing a cleaning agent; a body part (100) moving left and right along a guide rail (120) at the bottom; an unwinding roller (210) with a cleaning material (201) coiled around that is installed on both sides of the body part (100); a winding roller (220) to wind the cleaning material (201) unwound from the unwinding roller (201); and a roller consisting of a fixing block (230) installed at the bottom of the body part (100). The cleaning material (201) engages and goes through the fixing block (230) to contact and clean a glass substrate (g). The glass substrate contact type cleaning unit is connected to the upper end of a main body part (300) of the cleaning device comprising: a transportation part (310) at the top of the main body part (300) to manage the overall transportation; an air spraying part (320) located on both sides of the glass substrate contact type cleaning unit to spray air to a glass substrate (g) inserted and discharged; and a controller (330) at an external end to be connected with the glass substrate contact type cleaning unit and the main body part (300). The cleaning device contacts and cleanses a glass substrate (g) using the cleaning material (201) to perfectly remove stains and impurities left from the previous process and avoid scratches while cleansing a glass substrate at a fast pace to improve work efficiency.

Description

글라스 기판 접촉식 세정유닛 및 그 세정유닛이 구비된 세정장치{Contact glass substrate cleaning unit and the cleaning unit is equipped with a cleaning device} BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a glass substrate contact type cleaning unit and a cleaning apparatus having the cleaning unit,

본 발명은 글라스 기판 접촉식 세정유닛 및 그 세정유닛이 구비된 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송부에 의해 투입되는 글라스 기판이 이탈되지 않도록 하면서도 세정유닛에 의해 접촉되어 닦음 작업을 진행할 시 하부에 진공흡착을 통해 견고한 고정력을 확보하면서도, 상기 글라스 기판의 표면에 접촉시켜 닦아 냄으로 전 공정에서 제거되지 않은 얼룩이나 이물 등을 완벽하게 제거할 수 있도록 하며 신속한 세정작업을 통해 작업능률을 향상시킬 수 있는 글라스 기판 접촉식 세정유닛 및 그 세정유닛이 구비된 세정장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a glass substrate contact type cleaning unit and a cleaning apparatus having the cleaning unit. More particularly, the present invention relates to a glass substrate contact type cleaning unit, Thereby ensuring a firm fixation force through vacuum suction, and wiping off the surface of the glass substrate. Thus, it is possible to completely remove dirt and foreign matter which have not been removed in the previous process, and to improve work efficiency through rapid cleaning work And a cleaning apparatus provided with the cleaning unit.

최근, TFT-LCD는 소형/경량화, 넓은 시야 각, 저 소비 전력 등과 같은 그것의 다양한 장점으로 인해 각종의 표시 장치로서 각광을 받고 있다. 2. Description of the Related Art In recent years, TFT-LCDs have gained popularity as display devices due to their various advantages such as small size / light weight, wide viewing angle, and low power consumption.

TFT-LCD의 제조 공정은 크게 TFT 공정, 컬러 필터(이하 CF) 공정, 셀(Cell) 공정, 모듈 공정으로 나뉘어 진행된다. 이중에서 셀 공정은 TFT공정과, CF공정을 거친 두개의 글라스를 합착하고 절단한 후 그 사이에 액정을 주입하여 TFT-LCD 셀(Cell)을 제조하는 공정이다. 셀 공정을 거치게 되면 실제 사용되는 패널 크기 수준으로 만들어지게 되고, 이후 모듈 공정으로 넘어가게 된다. 모듈 공정은 완제품 패널을 만들기 위한 마지막 공정으로 셀 공정으로 만들어진 TFT-LCD 셀(Cell)에 편광판과 PCB, 백라이트유닛등을 부착하게 되며, 그러한 상태의 것을 TFTLCD 모듈이라고 한다. 즉, TFT-LCD 모듈이란 TFT-LCD 패널과 PCB가 TCP에 의해 전기적으로 서로 도전될 수 있는 상태의 단위 세트라 할 수 있다. The manufacturing process of the TFT-LCD is divided into a TFT process, a color filter (CF) process, a cell process, and a module process. In the cell process, a TFT process and a process of manufacturing a TFT-LCD cell by joining and cutting two glasses that have undergone a CF process and injecting liquid crystal therebetween. When the cell process is carried out, it is made to the level of the panel size actually used, and then the process goes to the module process. The module process is the final step for making the finished product panel. The polarizing plate, the PCB, and the backlight unit are attached to the TFT-LCD cell made by the cell process. Such a state is called the TFTLCD module. That is, the TFT-LCD module is a unit set in which the TFT-LCD panel and the PCB can be electrically connected to each other by TCP.

여기서, TFT-LCD 패널의 양면에 부착되는 편광판은 선택적으로 일정 방향으로 진동하는 광만이 입사되고 외부로 투과되도록 하여 TFT-LCD가 양호한 표시 기능을 발휘하도록 보조하는 역할을 한다. 그러나, 편광판이 부착되고나서 TFT-LCD 모듈로서 완성된 제품 중에는 TFT-LCD셀 표면에 묻어 있는 이물질(먼지,파티클, 고착성 이물 등)로 인한 불량품이 발생된다. 특히, TFT-LCD셀이 셀 공정에서 모듈 공정으로 운반(대기)되는 과정에서 셀 표면에 파티클 뿐만 아니라 고착성 이물이 달라붙으며, 고착성 이물은 일반적인 세정 방식으로는 쉽게 제거되지 않는 문제점이 있다.
Here, the polarizing plate attached to both sides of the TFT-LCD panel selectively absorbs light that vibrates in a predetermined direction and transmits the light to the outside, thereby assisting the TFT-LCD to exert a good display function. However, defective products due to foreign matter (dust, particles, sticky foreign matters, etc.) on the surface of the TFT-LCD cell are generated in the finished product as a TFT-LCD module after the polarizing plate is attached. Particularly, in the process of transferring (waiting) the TFT-LCD cell from the cell process to the module process, not only particles but also sticky foreign matters adhere to the cell surface, and sticky foreign matters are not easily removed by a general cleaning method.

우선 종래의 기술들을 살펴보면, First of all,

등록번호 10-1004439(특) 글라스 기판을 세정하기 위한 시스템에 있어서: REGISTRATION NO. 10-1004439 (EN) A system for cleaning glass substrates comprising:

글라스 기판을 수평 반송하는 컨베이어 유닛; 및 상기 컨베이어 유닛에 의해 반송되는 글라스 기판의 이송 경로상에 설치되며, 글라스 기판의 표면상의 이물질을 원형의 궤적을 그리는 회전하는 스크러빙 힘을 작용시켜 제거하는 스크러빙 부재를 갖는 세정 유닛들을 포함하되; 상기 스크러빙 부재는 구동모터에 의해 회전되며, 외부로부터 공급되는 세정액이 흐르는 제1유로를 갖는 샤프트; 상기 제1유로와 연통되는 제2유로를 갖는 그리고 상기 샤프트에 연결되는 홀더; 및 상기 제2유로와 연결되는 토출구를 갖는 그리고 상기 홀더에 탈착 가능하게 설치되는 세정 헤드를 포함하되; 상기 홀더는 상기 세정헤드를 자력으로 고정하기 위한 자석들; 및 상기 세정헤드에 형성된 삽입홈들에 삽입되는 고정핀들을 포함하고, 상기 세정헤드는 금속 재질의 상판; 상기 상판의 저면에 제공되는 완충 작용을 위한 쿠션패드; 상기 쿠션패드의 저면에 제공되고 글라스 기판과 면 접촉하는 저면을 갖는 원판 형상의 클리닝 패드를 포함하는 것이다.
A conveyor unit for horizontally conveying the glass substrate; And a cleaning unit provided on a conveyance path of the glass substrate conveyed by the conveyor unit and having a scrubbing member for removing foreign substances on the surface of the glass substrate by a rotating scrubbing force drawing a circular trajectory, The scrubbing member is rotated by a driving motor and has a first flow path through which a cleaning liquid supplied from the outside flows; A holder having a second flow path communicating with the first flow path and connected to the shaft; And a cleaning head detachably installed in the holder, the cleaning head having a discharge port connected to the second flow path, The holder includes magnets for magnetically fixing the cleaning head; And fixing pins inserted into the insertion grooves formed in the cleaning head, wherein the cleaning head comprises: a top plate made of a metal; A cushion pad provided on the bottom surface of the upper plate for buffering action; And a disk-shaped cleaning pad provided on the bottom surface of the cushion pad and having a bottom surface in surface contact with the glass substrate.

등록번호 10-0914736 (특) 외주연에 스폰지나 다수의 브러쉬심이 구비되는 외측관과 외측관의 내부 양측에 구비된 베어링 지지부와 상기 외측관의 양단에서 내부의 안쪽으로 양 베어링 지지부에 비 회전되게 관통 삽입되어 외측으로 돌출된 양 중심축을 포함하는 브러쉬와, 상기 양 중심축을 지지하면서 외측관이 회전되게 외측관에 동력을 전달하는 지지 구동수단을 포함하며; 상기 각 베어링 지지부는, 외측관의 내부 측부에 구비되어 각 중심축이 수평으로 삽입될 수 있는 적어도 하나 이상의 베어링부로 구성되며; 상기 베어링부는 외측관의 내측 주연부의 단부측과 단부측의 안쪽에 다수로 구성되어 있고; 상기 외측관의 내측 둘레에는 상기 베어링부 중 외측관의 단부측에 구비된 양 베어링부(21)에 양 단부가 밀착되는 축소된 내경을 가지는 둘레 돌출부가 구비되는 것이다.
Registration No. 10-0914736 (Special) (Special) The outer tube with sponge or a plurality of brush seams on the outer periphery, the bearing support provided on both sides of the inner tube and the inner tube from both ends of the outer tube to the both bearing supports And a support driving means for transmitting power to the outer tube so as to rotate the outer tube while supporting the both central axis; Wherein each of the bearing supporting portions comprises at least one bearing portion provided at an inner side portion of the outer tube and in which each central axis can be inserted horizontally; Wherein the bearing portion is composed of a plurality of bearings on the inner side of the inner periphery of the outer tube and the inner side of the end side thereof; And a circumferential projection having a reduced inner diameter in which both ends are in close contact with the both bearing portions 21 provided on the end side of the outer tube of the bearing portion are provided on the inner circumference of the outer tube.

상기한 종래 기술을 보면, 브러쉬 유닛에 세정액을 분사하여 컨베이어 유닛에 의해 이송되는 글라스 기판을 세정하도록 구성되는 것을 중심적으로 기재 하고 있다. 그러나 이러한 장치는 분사노즐을 통해 세정액을 브러쉬로 분사함과 동시에 브러쉬 유닛이 회전하면서 글라스 기판의 표면을 세척하도록 됨에 따라 글라스 기판의 표면에 잔기스가 날 수 있는 위험요소를 가지고 있을 뿐만 아니라, 전체적인 장치를 구성함에 있어서 많은 비용이 들 수밖에 없는 구성이다. According to the above-mentioned prior art, a cleaning liquid is sprayed to the brush unit, and the glass substrate conveyed by the conveyor unit is cleaned. However, such a device not only has a risk that the surface of the glass substrate may be wasted as the brush unit is rotated and the surface of the glass substrate is cleaned while the brush unit is rotated while spraying the cleaning liquid through the spray nozzle, It is a costly construction.

다른 형태의 기술을 보면, 브러쉬의 회전을 이용하여 디스플레이 글라스를 세정하도록 되어 있으나 앞서 언급한 종래의 기술과 동일한 잔기스가 날 수 밖에 없는 구조를 가지며, 실질적으로 브러쉬의 회전에 의해 글라스의 세정이 제대로 되지 않는 문제점을 가지고 있을 뿐만 아니라, 세정 시 브러쉬의 회전력에 의해 디스플레이 글라스가 튕겨져 나갈 수 있는 문제점을 가지고 있다. In another type of technology, the display glass is cleaned using the rotation of the brush, but it has a structure in which the same residue as in the above-mentioned conventional technique can not be obtained, and the cleaning of the glass is performed by virtue of the rotation of the brush But also has a problem that the display glass can be repelled by the rotational force of the brush during cleaning.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출해낸 것으로, 글라스를 세정함에 있어 투입되는 글라스 기판의 표면에 접촉되도록 구성하되, 극세사 재질을 갖는 클린소재에 선택적으로 세정액이 분사되도록 하여, 접촉 시 상기 글라스 기판의 표면에 전 공정에서 제거되지 않은 얼룩이나 이물 등을 완벽하게 제거하면서도 잔기스가 발생되지 않도록 하고, 접촉되어 글라스 기판의 표면을 닦을 때, 밀림 되거나 유동되지 않도록, 이송되는 방향으로 접착필름을 구성하여 고정될 수 있도록 하면서도, 닦음 되는 부분의 하부에 진공판넬을 구성하여 순간적으로 작업이 진행될 때 진공흡작 되게 하여 견고한 고정력을 확보 할 수 있도록 하여 신속하게 세정작업이 이루어질 수 있는 글라스 기판 접촉식 세정유닛 및 그 세정유닛이 구비된 세정장치를 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로 창안해낸 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art described above, and it is an object of the present invention to provide a cleaning apparatus for cleaning a glass, The surface of the glass substrate is completely removed from the surface of the glass substrate while removing any unevenness or foreign matter that has not been removed in the previous step so that residuals are not generated and when the surface of the glass substrate is cleaned, A vacuum panel is formed at a lower portion of the wiped portion so that the vacuum can be absorbed when the work is progressed instantaneously so that a firm fixing force can be ensured and a cleaning operation can be performed quickly. A cleaning unit and a cleaning unit provided with the cleaning unit Focuses on providing value to initiatives came up with the technological challenges.

이에 본 발명은 세정장치의 일측에 구성되어 글라스 기판을 세정하는 세정유닛에 있어서, 내부에 세정액이 포함되게 구성되는 세정부(110)와, 하부에 안내레일(120)이 구성되어 좌, 우로 유동되는 몸체부(100)와, 상기 몸체부(100)의 양측에 각각 축 설치되되, 외주에 클린소재(201)가 감김된 인출롤러(210)와, 상기 인출롤러(210)에서 풀림 되는 클린소재(201)를 권취하는 권취롤러(220)와, 상기 몸체부(100)의 하부에 축 설치되어 클린소재(201)가 경유하며 맞닿는 고정뭉치(230)로 구성되는 롤러부(200)로 구성되어, 상기 글라스 기판(g)과 접촉시켜 닦아 내도록 구성되는 글라스 기판 접촉식 세정유닛을 구성하고, 상부 일측에 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛이 결합되는 본체부(300)가 구성되되, 상기 본체부(300)의 상부에 구성되어 전체적인 이송을 담당하는 이송부(310)와, 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛을 중심으로 양측에 위치되어 투입 및 배출되는 글라스 기판(g)에 에어를 분사하는 에어부(320)와, 외부 일측에 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛과 본체부(300)와 연결되는 제어부(330)로 구성하여, 이송부(310)에 의해 투입되는 글라스 기판(g)이 이탈되지 않고 고정되어 이동될 수 있도록 접착필름(p)을 구성하고, 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛과 대응되는 본체부의 내부에는 진공판넬(340)을 구성하여, 접착필름(p)에 접착된 글라스 기판(g)을 고정뭉치(230)에 감김된 클린소재(201)를 이용하여 닦을 시 접착필름(p)에서 이탈되지 않게 하여 신속한 세정작업이 이루어 질 수 있도록 하면서도, 회전을 통한 세정이 아닌, 접촉시켜 닦아 냄으로 전 공정에서 제거되지 않은 얼룩이나 이물 등을 완벽하게 제거할 수 있으면서도 잔기스가 발생되지 않도록 하여 상기 기술적 과제를 해결하고자 하였다.
Accordingly, the present invention provides a cleaning unit for cleaning a glass substrate, the cleaning unit comprising a cleaning unit 110 including a cleaning liquid therein, and a guide rail 120 disposed at a lower portion thereof, A take-out roller 210 which is installed on both sides of the body 100 and has a clean material 201 wound around the take-out roller 210, a clean material 210 which is unwound from the take-out roller 210, And a roller unit 200 constituted by a winding roller 220 for winding up the main body 201 and a fixing bundle 230 which is provided on the lower part of the main body 100 and which is in contact with the clean material 201 via the clean material 201 , And a cleaning unit (300) configured to clean the glass substrate (g) and to wipe the glass substrate (g), and the glass substrate contact cleaning unit is coupled to one side of the cleaning unit 300) for carrying out overall conveyance, and a conveying part (31 0), an air portion (320) for spraying air to the glass substrate (g) placed on both sides of the glass substrate contact type cleaning unit and injected into and discharged from the glass substrate (g), and a glass substrate contact type cleaning unit And a control unit 330 connected to the main body 300. The adhesive film p is configured such that the glass substrate g injected by the transfer unit 310 can be fixedly moved without being separated, A vacuum panel 340 is formed in the body portion corresponding to the substrate contact type cleaning unit and a clean material 201 wound around the fixing bundle 230 is used for the glass substrate g adhered to the adhesive film p (P), so that it is possible to perform a rapid cleaning operation, but it is possible to completely remove dirt or foreign matter which has not been removed in the previous process by wiping by contact instead of cleaning by rotation Be able So as to prevent the occurrence of road haze.

본 발명에 따른 글라스 기판 접촉식 세정유닛 및 그 세정유닛이 구비된 세정장치에 의하면, 투입되는 글라스 기판과 접촉시켜 클린소재로 표면을 닦아 내는 구조로 구성되되, 상기 클린소재에 선택적으로 세정액을 분사하여 상기 글라스 기판의 표면에 전 공정에서 제거되지 않는 얼룩이나 이물 등을 완벽하게 제거할 수 있으면서도 잔기스가 발생되지 않게 되어 불량률을 최소화 할 수 있고, 이송부에 의해 투입될 때 상기 글라스 기판의 이탈을 방지 할 수 있도록 이송부의 진행방향으로 접착필름을 구성하며, 세정유닛의 클린소재와 접착필름에 접착된 글라스 기판과 대응되어 닦음 작업 시 하부에 진공판넬에 의해 진공흡착 되어 상기 세정유닛의 유동되는 힘에도 흔들림 없이 견고한 고정력을 확보 하여 신속한 작업이 가능하여 작업능률을 향상 시킬 수 있는 유용한 발명인 것이다. According to the present invention, there is provided a cleaning apparatus comprising a glass substrate contact-type cleaning unit and a cleaning device provided with the cleaning unit, wherein the cleaning substrate has a structure in which a cleaning material is wiped with a clean material in contact with a glass substrate to be charged, So that the surface of the glass substrate can be completely removed from unevenness or foreign matter which is not removed in the previous process, and no residue is generated, so that the defective rate can be minimized and the glass substrate can be prevented from being separated The cleaned material of the cleaning unit and the glass substrate adhered to the adhesive film are vacuum-adsorbed by a vacuum panel at the bottom during the wiping operation, so that the force of the cleaning unit It is possible to work quickly by ensuring firm fixing force without shaking, thus improving work efficiency Which can be useful inventions.

도 1은 본 발명의 바람직한 세정유닛을 나타내는 정면도
도 2는 본 발명의 바람직한 세정유닛을 나타내는 평면도
도 3은 본 발명이 바람직한 세정유닛을 나타내는 우측면도
도 4는 본 발명의 바람직한 세정유닛을 나타내는 좌측면도
도 5는 본 발명의 바람직한 세정유닛을 나타내는 도면
도 6은 본 발명의 바람직한 세정유닛의 작동상태를 나타내는 작동상태도
도 7은 본 발명의 바람직한 세정유닛의 작동상태를 나타내는 작동상태도
도 8은 본 발명의 바람직한 세정장치를 나타내는 우측면도, 확대도
도 9는 본 발명의 바람직한 세정장치를 나타내는 정면도
도 10은 본 발명의 바람직한 세정장치를 나타내는 평면도
도 11은 본 발명의 바람직한 본체부를 나타내는 평면도, 우측면도
도 12는 본 발명의 바람직한 에어부를 나타내는 우측면도, 정면도
도 13은 본 발명의 바람직한 세정장치의 작동상태를 나타내는 작동상태도
도 14는 본 발명의 바람직한 세정장치의 사용 상태를 나타내는 사용상태도
도 15는 본 발명의 바람직한 세정장치의 사용 상태를 나타내는 사용상태도, 확대도
도 16은 본 발명의 바람직한 세정장치의 사용 상태를 나타내는 사용상태도1 is a front view showing a preferred cleaning unit of the present invention;
2 is a plan view showing a preferred cleaning unit of the present invention
Figure 3 is a right side view of the preferred cleaning unit of the present invention.
4 is a left side view showing a preferred cleaning unit of the present invention
5 is a view showing a preferred cleaning unit of the present invention
6 is an operating state diagram showing an operating state of a preferred cleaning unit of the present invention
7 is an operating state diagram showing an operating state of a preferred cleaning unit of the present invention
8 is a right side view showing a preferred cleaning device of the present invention,
9 is a front view showing a preferred cleaning apparatus of the present invention
10 is a plan view showing a preferred cleaning apparatus of the present invention
11 is a plan view showing a preferred body portion of the present invention,
12 is a right side view and a front view showing a preferred air portion of the present invention
13 is an operating state diagram showing an operating state of a preferred cleaning apparatus of the present invention
Fig. 14 is an explanatory view showing the state of use showing the use state of the preferred cleaning apparatus of the present invention
Fig. 15 is a use state diagram showing the use state of the preferred cleaning apparatus of the present invention,
16 is an explanatory view showing the state of use of the preferred cleaning apparatus of the present invention

본 발명은 이송부(310)에 의해 투입되는 글라스 기판(g)이 이탈되지 않도록 하면서도 세정유닛에 의해 접촉되어 닦음 작업을 진행할 시 하부에 진공흡착을 통해 견고한 고정력을 확보하면서도, 상기 글라스 기판의 표면에 접촉시켜 닦아 냄으로 전 공정에서 제거되지 않은 얼룩이나 이물 등을 완벽하게 제거할 수 있도록 하며 신속한 세정작업을 통해 작업능률을 향상시킬 수 있는 글라스 기판 접촉식 세정유닛 및 그 세정유닛이 구비된 세정장치를 제공한다.
The present invention can prevent the glass substrate g introduced by the transferring unit 310 from being detached from the surface of the glass substrate while ensuring a firm fixing force through vacuum suction at the lower portion when the wiping operation is performed by the cleaning unit, A cleaning unit provided with a glass substrate contact type cleaning unit capable of completely removing dirt and foreign matter which have not been removed in the previous process by wiping by contact and capable of improving work efficiency through rapid cleaning operation, Lt; / RTI >

이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성 및 작용에 대하여 도 1 내지 도 16을 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

우선 본 발명을 설명하기에 앞서 그 구성을 도 1 내지 7을 참고하여 설명하면, 세정장치의 일측에 구성되어 글라스 기판을 세정하는 세정유닛에 있어서, 내부에 세정액이 포함되게 구성되는 세정부(110)와, 하부에 안내레일(120)이 구성되어 좌, 우로 유동되는 몸체부(100)와, 상기 몸체부(100)의 양측에 각각 축 설치되되, 외주에 클린소재(201)가 감김된 인출롤러(210)와, 상기 인출롤러(210)에서 풀림 되는 클린소재(201)를 권취하는 권취롤러(220)와, 상기 몸체부(100)의 하부에 축 설치되어 클린소재(201)가 경유하며 맞닿는 고정뭉치(230)로 구성되는 롤러부(200)로 구성되어, 상기 글라스 기판(g)과 접촉시켜 닦아 내도록 구성되는 것이다.
1 to 7, a cleaning unit, which is provided at one side of the cleaning apparatus and cleans the glass substrate, includes a cleaning unit 110 having a cleaning liquid therein And a guide rail 120 disposed at a lower portion of the main body 100. The main body 100 is installed at both sides of the main body 100 and has a clean material 201 wound around the periphery thereof. A take-up roller 220 for winding up a clean material 201 to be unwound from the take-out roller 210; a clean material 201 installed on the lower part of the body 100 and passing through the clean material 201; And a roller unit 200 constituted by a fixing bundle 230 to be brought into contact with the glass substrate g.

상기 세정유닛을 더욱 자세하게 설명하면, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 인출롤러(210)와 권취롤러(220)의 일측에는, 클린소재(201)를 인출하며 권취하는 샤프트(211, 221)가 각각 구성되고, 각각의 상기 샤프트(211, 221)를 고정하는 손잡이(212, 222)가 각각 구성되며, 각각의 상기 손잡이(212, 222)의 일측에 샤프트(212, 222)를 고정하는 고정부재(213, 223)가 각각 구성되는 것이다. 1 to 5, shafts 211 and 221 for drawing and winding the clean material 201 are provided at one side of the drawing roller 210 and the winding roller 220, respectively, as shown in FIGS. 1 to 5, And the shafts 212 and 222 are fixed to one side of each of the handles 212 and 222. The shafts 212 and 222 are provided with a pair of shafts 212 and 222, And fixing members 213 and 223, respectively.

상기 인출롤러(210)는 회전 가능한 구조로 구성되어, 선택적으로 상기 샤프트(211)의 외주에 감김되는 클린소재(201)를 교체할 수 있는 구조로 구성되는 것이다. 상기 클린소재(201)의 교환은 먼저 샤프트(211)를 고정하고 있는 고정부재(213)를 일측방향으로 돌려 푼 다음 손잡이를 돌리면 양측에 고정된 샤프트(211)를 손쉽게 이탈 시켜 상기 샤프트(211)의 외주에 감김된 또는 감김시킬 클린소재(201)를 용이하게 교체할 수 있게 되는 것이다. The drawing roller 210 is configured to be rotatable so that the clean material 201, which is selectively wound around the shaft 211, can be replaced. In order to replace the clean material 201, first, the fixing member 213 fixing the shaft 211 is rotated in one direction, and then the handle 211 is rotated to easily remove the shaft 211 fixed to both sides of the shaft 211, It is possible to easily replace the clean material 201 to be wound or rolled around the outer periphery of the clean material 201.

상기 인출롤러(210)의 타측에 구성되는 권취롤러(220)의 경우 상기 인출롤러(210)와 동일한 구조로 구성되어 권취되는 클린소재(201)를 용이하게 빼낼 수 있게 되게 구성되고, 상기 손잡이(222)가 구성된 상기 권취롤러(220)의 타측에는 샤프트(221)가 회전되어 인출롤러(210)에서 인출되는 클린소재(201)를 자동적으로 권취할 수 있도록 상기 샤프트(221)와 연결되는 서보모터(224)가 구성되는 것이다. In the case of the take-up roller 220 formed on the other side of the take-out roller 210, the take-out roller 210 is constructed to have the same structure as the take-out roller 210, A servo motor 222 connected to the shaft 221 for automatically winding the clean material 201 drawn from the take-out roller 210 is rotatably mounted on the other side of the take- (224).

즉, 상기 권취롤러(220)가 서보모터(224)에 의해 자동적으로 회전하게 되면 인출롤러(210)에 감김된 클린소재(201)가 자연스레 고정뭉치(230)를 경유하면서 권취롤러(220)에 권취되도록 구성되는 것이다.
That is, when the winding roller 220 is automatically rotated by the servo motor 224, the clean material 201 wound on the drawing roller 210 naturally passes through the fixing bundle 230, As shown in Fig.

여기서, 상기 인출롤러(210)와 권취롤러(220)의 각각의 샤프트(211, 221)의 외주에는 도시하진 않았지만 클린소재(201)가 감김되되, 샤프트(211, 221)가 전체적으로 빠지는 것이 아닌, 샤프트(211, 221)의 외주에 감싸지는 별도의 인출부재와 권취부재가 구성되어 상기 샤프트(211, 221)에서 이탈시킬 수 있도록 구성되는 것이다.
Although the clean material 201 is wound around the outer periphery of each of the shafts 211 and 221 of the take-out roller 210 and the take-up roller 220, the shafts 211 and 221 are not entirely removed, A separate take-out member and a wrapping member that are wrapped around the shaft 211 and 221 are configured to be separated from the shafts 211 and 221.

한편, 세정유닛의 하부 즉, 상기 인출롤러(210)와 권취롤러(220)의 사이 하부에는 상기 인출롤러(210)에서 인출되는 클린소재(201)가 권취롤러(220)로 권취될 시 하부에 외주를 감싸지며 경유될 수 있도록 고정뭉치(230)가 구성된다. On the other hand, when the clean material 201 drawn out from the drawing-out roller 210 is wound on the lower part of the cleaning unit, that is, between the drawing-out roller 210 and the winding-up roller 220, The fixed bundle 230 is constructed so as to surround and pass the outer periphery.

상기 고정뭉치(230)는 일측에 적어도 하나 이상 다수의 홈(231) 또는 돌기가 형성되어, 하기될 글라스 기판(g)과 접촉 시 용이하게 상기 글라스 기판(g)의 표면을 닦아 낼 수 있게 하기 위한 구성인 것이다. At least one or more grooves 231 or protrusions are formed on one side of the fixed bundle 230 so that the surface of the glass substrate g can be easily wiped off when the substrate bundle 230 contacts the glass substrate g .

또한, 통상의 글라스 기판(g)이 이송부(310)에 의해 수평형태로 이송되기 때문에 상기 글라스 기판(g)의 표면과 맞닿을 시 깨끗이 닦여 질 수 있도록 육각형태로 형성되는 것이 바람직하며, 상기 고정뭉치(230)의 하나의 면이 글라스 기판(g)의 표면과 접촉되게 되는 것이다. 또한, 상기 고정뭉치(230)의 형태로 육각형태 이외에도 삼각형태 사각 형태 등 다각형으로 구성될 수 도 있으며, 다각형으로 형성될 시에는 모서리 부분에 라운드 지게 하여 인출과 권취되는 클린소재(201)의 훼손을 방지 할 수 있도록 구성되어야 한다.
Further, since the normal glass substrate g is transferred in a horizontal form by the transfer unit 310, it is preferably formed in a hexagonal shape so that it can be wiped cleanly when it comes into contact with the surface of the glass substrate g, One surface of the bundle 230 is brought into contact with the surface of the glass substrate g. In addition, in the form of the fixed bundle 230, a polygonal shape such as a triangular rectangular shape may be used in addition to a hexagonal shape. In the case of a polygonal shape, rounded corners may be used to deteriorate the drawn and wound clean material 201 And to prevent it.

상기 클린소재(201)의 경우 글라스 기판(g)의 표면에 맞닿아 지기 때문에 비교적 기스가 나지않도록 하면서도 깨끗이 닦여질 수 있는 극세사로 구성되는 것이 바람직하다.
Since the clean material 201 is brought into contact with the surface of the glass substrate g, it is preferable that the clean material 201 is made of microfibers that can be wiped cleanly while preventing relatively gasses.

또한, 상기 클린소재(201)가 글라스 기판(g)과 맞닿아지며 세정할 시에 상기 클린소재(201)가 촉촉함을 유지할 수 있도록 상기 세정유닛의 상부 일측에 세정부(110)가 구성되며 상기 세정부(110)의 일측에는 도시하진 않았지만 선택적으로 방향을 조절할 수 있는 노즐이 구성되어 상기 노즐을 통해 고정뭉치(230)를 경유하는 클린소재(201)에 세정액을 분사 할 수 있게 구성된다. A cleaning part 110 is provided on one side of the upper part of the cleaning unit 201 so that the clean material 201 abuts against the glass substrate g and can maintain the moistness of the clean material 201 when the cleaning material 201 is cleaned. Although not shown on one side of the cleaning unit 110, a nozzle capable of selectively controlling the direction is formed, and the cleaning liquid is sprayed to the clean material 201 passing through the fixing bundle 230 through the nozzle.

여기서, 상기 세정부(110)의 외부 일측에는 상기 세정부(110)의 내부로 세정액을 투입할 수 있도록 투입구(111)가 구성되고, 세정 시 사용되는 세정액은 글라스 기판(g)의 부식을 방지 하는 통상의 세정액으로 사용되는 것이 바람직하다.
An inlet 111 is formed at one side of the cleaner 110 so that the cleaning liquid can be injected into the cleaner 110. The cleaning liquid used for cleaning prevents corrosion of the glass substrate g It is preferable that the cleaning liquid is used as an ordinary cleaning liquid.

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 몸체부(100)의 내부 또는 외부 일측에 구성되되 하부에 위치하여 글라스 기판(g)과의 거리를 감지하는 도착센서(140)가 구성되는데, 상기 도착센서(140)는 글라스 기판(g)과의 근접거리를 인식하여 자동적으로 유동하는 세정유닛을 멈추게 하는 것으로써, 유동하는 세정유닛이 글라스 기판(g)과의 맞닿는 힘에 의해 상기 글라스 기판(g)의 파손을 방지 할 수 있도록 하는 효과를 갖기 위한 구성인 것이다. As shown in FIGS. 2 to 5, an arrival sensor 140 is disposed at one side of the inside or outside of the body 100 to detect a distance to the glass substrate g, The sensor 140 recognizes the proximity distance to the glass substrate g and stops the cleaning unit that flows automatically so that the cleaning unit that is flowing moves to the glass substrate g In order to prevent the breakage of the semiconductor device.

또한, 상기 몸체부(100)의 내측에는 클린소재(201)가 인출되어 고정뭉치(230)를 경유하여 권취롤러(220)로 권취 시 원활한 인출과 경유 및 권취가 이루어질 수 있도록 다수의 롤러(r) 또는 지지샤프트가 축 설치되어 권취가 용이하게 이루어지게 되며, 극세사로 구성되는 클린소재(201)의 훼손을 방지 할 수 있게 되는 것이다.
In addition, a plurality of rollers r (n) are disposed inside the body 100 so that the clean material 201 is drawn out and is smoothly drawn out, lighted, and wound up by the winding roller 220 via the fixed bundle 230 Or the support shaft is installed on the shaft to facilitate winding, and the damage of the clean material 201 constituted by microfibers can be prevented.

도 6에 도시된 바와 같이 상기 세정유닛은 유동되게 구성되는데, 하부에 형성되는 안내레일(120)을 타며 좌, 우로 유동되는 것이다. 상기 안내레일(120)을 타며 좌, 우로 유동할 수 있기 때문에, 투입되는 글라스 기판(g)이 고정 될 시 일측방향으로 유동하면서 상기 글라스 기판(g)과 접촉되어 표면을 닦을 수 있게 되는 것이다. As shown in FIG. 6, the cleaning unit is configured to flow, and flows to the left and right through the guide rails 120 formed at the bottom. Since the glass substrate g can flow to the left and right by riding on the guide rails 120, the glass substrate g can be moved in one direction when the glass substrate g is fixed, and can be contacted with the glass substrate g to wipe the surface.

또한, 상기 세정유닛을 상, 하로 유동할 수 있도록 구성할 수 있는데 상기 몸체부(100)의 상부 일측에는 높이제어모터(130)가 구성되어 고정뭉치(230)의 높이를 선택적으로 조절할 수가 있는데 이러한 이유는 투입되는 글라스 기판의 크기 및 형태가 가변될 수 있기 때문에 선택적으로 조절시켜 가변되는 글라스 기판의 형태에 맞춰 용이하게 작업을 진행 할 수도 있다. In addition, the cleaning unit can be configured to flow upward and downward. A height control motor 130 is disposed at one side of the upper portion of the body 100 to selectively control the height of the fixed bundle 230. The reason for this is that the size and shape of the inserted glass substrate can be varied, so that the operation can be easily performed in accordance with the shape of the glass substrate which is selectively adjusted and changed.

본 발명에서 별도의 부호를 기재 하지 않았지만, 도면에서 보시는 바와 같이 상, 하부로 유동될 수 있는 구조로 구성되기 때문에 상, 하로 유동이 가능하고, 통상의 구조를 적용할 수 도 있다. In the present invention, no reference numeral is given, but as shown in the drawing, since it is constituted by a structure capable of flowing upward and downward, it can flow upward and downward, and a normal structure can be applied.

예를 들면, 실린더에 의해 상, 하로 유동할 수 있도록 구성하거나, 스크류 방식을 적용하여 회전에 의해 상, 하루 유동될 수 있게 구성할 수도 있으며, 본 발명의 도면에서는 스크류 방식으로 유동되도록 도시되어 있다.
For example, it may be configured to be able to flow upward and downward by a cylinder, or to be able to flow by rotation for up to one day by applying a screw system, and is shown to flow in a screw manner in the drawings of the present invention .

상기 세정유닛을 도 4 내지 도 7을 참고하여 작동을 설명하면, 먼저 권취롤러(220)의 서보모터(224)의 작동으로 인해 인출롤러(210)에 감김된 클린소재(201)가 인출되면서 자연스레 권취롤러(220)로 감김되되, 고정뭉치(230)를 경유하면서 인출되게 되는 것이다. 또한, 몸체부(100)의 하부에 구성되는 안내레일(120)에 의해 좌, 우로 유동하면서 글라스 기판(g)의 표면과 접촉하여 깨끗이 세정할 수 있게 되며, 상기 클린소재(201)의 촉촉함을 유지할 수 있도록 세정부(110)의 노즐에서 세정액이 선택적으로 분사되어 상기 글라스 기판(g)의 미세 먼지까지 세정할 수 있는 것이다.
4 to 7, when the clean material 201 wound around the drawing roller 210 is drawn out by the operation of the servo motor 224 of the winding roller 220, The sheet bundle is wound around the winding roller 220, The guide rails 120 formed at the lower portion of the body 100 can move to the left and right while being in contact with the surface of the glass substrate g for clean cleaning, The cleaning liquid can be selectively sprayed from the nozzles of the cleaning unit 110 to clean fine dust of the glass substrate g.

상기한 바와 같은 글라스 기판 접촉식 세정유닛이 구비된 세정장치를 도 8 내지 도 16을 참고하여 설명하면, 상부 일측에 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛이 결합되는 본체부(300)가 구성되되, 상기 본체부(300)의 상부에 구성되어 전체적인 이송을 담당하는 이송부(310)와, 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛을 중심으로 양측에 위치되어 투입 및 배출되는 글라스(g)에 에어를 분사하는 에어부(320)와, 외부 일측에 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛과 본체부(300)와 연결되는 제어부(330)로 구성되는 것이다. 8 to 16, a cleaning unit including the above-described glass substrate contact type cleaning unit will be described. The cleaning unit includes a main body 300 to which the glass substrate contact type cleaning unit is coupled at one side, A transfer unit 310 formed at an upper portion of the main body 300 and configured to transfer the glass substrate contact-type cleaning unit, and an air blower (not shown) for blowing air to the glass g placed on both sides of the glass substrate- And a control unit 330 connected to the glass substrate contact type cleaning unit and the body unit 300 at one side thereof.

상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛은 본체부(300)의 상부 일측에 구성되어, 안내레일(120)에 의해 좌, 우로 이동되게 구성되는 것이다. The glass substrate contact type cleaning unit is configured on one side of the upper part of the main body 300 and is configured to be moved to the left and right by the guide rails 120.

여기서, 상기 본체부(300)의 상부 일측에는 이송부(310)에 의해 이송되는 글라스 기판(g)을 고정하는 다수의 진공판넬(340)이 구성되어 상기 세정유닛에 의해 이송되는 글라스 기판(g)을 세정 시에 견고한 고정력을 확보 할 수 있게 되어 상기 글라스 기판(g)이 밀림되지 않게 되어 신속한 세정작업이 이루어질 수 있게 되어 작업능률을 향상시킬 수 있게 되는 것이다. A plurality of vacuum panels 340 for fixing the glass substrate g to be transferred by the transfer unit 310 are formed on one side of the main body 300 so that the glass substrate g, It is possible to secure a firm fixation force at the time of cleaning, and the glass substrate g can be prevented from being pushed, so that a quick cleaning operation can be performed, and work efficiency can be improved.

또한, 상기 본체부(300)의 내부 또는 외부 일측에는 상기 진공판넬(340)과 연결되어 진공 흡입하는 진공펌프(341)가 구성되어, 이송부(310)에 의해 이송되는 글라스 기판(g)이 진공판넬(340)의 상부에 위치될 시 진공펌프(341)가 순간적으로 진공흡착이 가능하게 하기 위한 구성인 것이다.
A vacuum pump 341 connected to the vacuum panel 340 is connected to the inside or the outside of the main body 300 so that the glass substrate g conveyed by the transfer unit 310 is vacuum- And a vacuum pump 341 is disposed at an upper portion of the panel 340 so as to allow instant vacuum adsorption.

도 8 내지 도 13에 도시된 바와 같이 상기 이송부(310)는 상기 본체부(300)의 상부에 컨베이어(311)가 구성되고, 상기 본체부(300)의 하부 양측에 축 설치되되, 외주에 접착필름(p)이 감겨진 공급롤러(312)와, 상기 공급롤러(312)에서 풀림 되는 접착필름(p)을 회수하는 회수롤러(313)로 구성되며, 상기 공급롤러(312)에서 풀림 되는 접착필름(p)이 상기 컨베이어(311)를 거치며 회수롤러(313)로 회수되도록 구성된다. 8 to 13, the conveyance unit 310 includes a conveyor 311 formed on an upper portion of the main body 300 and a shaft disposed on both sides of the lower portion of the main body 300, A feeding roller 312 wound around the film p and a collecting roller 313 for collecting the adhesive film p to be unloaded from the feeding roller 312, So that the film p is recovered by the collection roller 313 through the conveyor 311.

상기 이송부(310)의 공급롤러(312)와 회수롤러(313)는 앞서 설명한 세정유닛의 롤러부(200)와 동일 또는 유사한 구조를 갖도록 구성되어, 상기 공급롤러(312)의 외주에 접착필름(p)이 감김되어 있으며, 상기 회수롤러(313)에 의해 공급롤러(312)에 감김된 접착필름(p)이 당겨지며 컨베이어(311)를 타며 자연스레 풀림되어 회수롤러(313)에 감김되게 되며, 상기 회수롤러(313)의 일측에는 서보모터가 별도로 연결 구성된다. The feeding roller 312 and the collecting roller 313 of the conveying unit 310 are configured to have the same or similar structure as the roller unit 200 of the cleaning unit described above, The adhesive film p wound on the feeding roller 312 is pulled by the collecting roller 313 and is naturally loosened by the conveyor 311 and wound on the collecting roller 313 And a servomotor is separately connected to one side of the collection roller 313.

또한, 상기 접착필름(p)이 풀림될 수 있도록 컨베이어(311)에는 다수의 롤러부가 구성되며, 본체부(300)의 모서리 부분에도 롤러가 구성되어 접착필름(p)의 훼손을 방지 하게 되고, 상기 접착필름(p)은 외측이 접착가능하게 형성되어 글라스 기판(g)이 안착 시 접착되어 고정되게 되는 것이다.
A plurality of rollers are formed on the conveyor 311 so that the adhesive film p can be loosened and a roller is also formed on the corner of the body 300 to prevent the adhesive film p from being damaged, The adhesive film (p) is formed such that its outer side is adherable to the glass substrate (g), and the glass substrate (g) is adhered and fixed when it is seated.

상기 에어부(320)는 도 8 내지 도 12에 도시된 바와 같이 이송부(310)가 진행하는 방향의 일측과 타측에 각각 구성되되, 레귤레이터가 연결 구성되는 에어나이프(321)와, 이온조절기가 연결 구성되는 이온바(323)로 구성되며, 상기 에어나이프(321)와 이온바(323)는 선택적으로 분사되는 방향을 조절할 수 있는 것이다. As shown in FIGS. 8 to 12, the air unit 320 includes an air knife 321 formed at one side and the other side in the direction in which the feed unit 310 advances, an air knife 321 connected to a regulator, And the air knife 321 and the ion bar 323 can selectively control the direction in which the air knife 321 and the ion bar 323 are injected.

상기 에어부(320)의 경우, 이송부(310)에 의해 이송되는 글라스 기판(g)에 1차적으로 에어를 분사하여 상기 글라스 기판(g)의 표면에 있는 이물질을 제거하고, 재차 이송되어, 세정유닛에 의해 접촉되어 닦음 작업을 한 후에, 2차적으로 에어를 분사하여 이물질을 제거하게 되는 것이다. In the case of the air portion 320, air is primarily sprayed on the glass substrate g conveyed by the conveying portion 310 to remove foreign substances on the surface of the glass substrate g, After the wiping operation is performed by the unit, the air is secondly injected to remove foreign matter.

또한, 앞서 설명한 바와 같이 상기 에어부(320)는 선택적으로 분사되는 방향을 조절할 수가 있으며, 각각 연결 구성되는 레귤레이터와 이온조절기를 통해 선택적으로 제어하여 작업의 편리성을 부여할 수 있는 것이다.
In addition, as described above, the air portion 320 can selectively control the direction in which the air is injected, and the air can be selectively controlled through the regulator and the ion regulator which are connected to each other to provide convenience of operation.

상기 제어부(330)는, 본 발명의 세정유닛과 그 세정유닛이 구비된 세정장치를 전체적으로 제어하는 것으로써, 자동 또는 수동으로 변환이 가능한 운전모드스위치(331)와 오작동 및 오류가 발생 했을 시 작업을 중단 또는 일시 중단하는 스위치(332) 및 투입되는 글라스의 모델인식 및 작업조건 설정하는 메인설정부(333)로 구성되는 것이다. The control unit 330, The cleaning unit of the present invention and the cleaning device equipped with the cleaning unit are entirely controlled. The operation mode switch 331 is capable of automatic or manual conversion. The operation mode switch 331 is a switch for interrupting or temporarily stopping the operation (332), and a main setting unit (333) for recognizing the model of the glass to be introduced and setting working conditions.

즉, 상기 제어부(330)의 제어에 따라 이송부(310), 에어부(320) 및 몸체부(100)와 롤러부(200)로 구성된 세정유닛을 제어하여 상기 이송부(310)에 의해 이송되는 글라스 기판(g)의 표면과 접촉시켜 클린소재(201)로 닦아 낼 수 있도록 하는 것이다.
That is, the control unit 330 controls the cleaning unit including the transfer unit 310, the air unit 320, and the body unit 100 and the roller unit 200 so that the glass transferred by the transfer unit 310 And can be wiped with the clean material 201 by contacting the surface of the substrate (g).

도 14 내지 16을 참고하여 세정장치의 전체적인 설명을 하면, Referring to FIGS. 14 to 16,

최초 제어부(330)의 제어에 따라 전체적인 작동이 이루어지되, 회수롤러(313)의 회전에 의해 이송부(310)가 작동하게 되면 다수의 글라스 기판(g)을 접착필름(p)에 올리게 되면 자연스레 상기 글라스 기판(g)이 이송되게 되며 세정유닛이 있는 곳으로 위치되게 된다. The entire operation is performed under the control of the initial control unit 330. When the conveyance unit 310 is operated by the rotation of the collection roller 313, if a plurality of glass substrates g are placed on the adhesive film p, The glass substrate g is transported and is positioned where the cleaning unit is located.

여기서, 이송부(310)에 의해 이송되는 글라스 기판(g)이 세정유닛과 대응하게 될 시 이송부(310)의 작동이 잠시 멈추게 되고, 진공판넬(340)이 진공흡착을 하여 상기 글라스 기판(g)을 견고하게 고정하게 되며, 세정유닛은 유동하면서 글라스 기판(g)에 근접하되, 도착센서(140)에 의해 접촉 시 더 이상 유동하지 않고 접촉하게 된다. When the glass substrate g transferred by the transferring unit 310 corresponds to the cleaning unit, the operation of the transferring unit 310 is temporarily stopped and the vacuum panel 340 is vacuum- And the cleaning unit is brought close to the glass substrate g while it is in contact with the arrival sensor 140 without any further flow.

세정유닛이 글라스 기판(g)에 접촉한 상태에서 상기 세정유닛은 안내레일(120)을 타며 좌, 우로 유동하면서 세정부(110)의 노즐에서 세정액이 선택적으로 분사되며, 클린소재(201)의 촉촉함을 유지 할 수 있도록 하여 상기 글라스 기판(g)의 표면을 닦아 내되, 깨끗한 세정이 가능하게 하고, 다수의 글라스 기판(g)을 닦아내어 클린소재(201)가 훼손이 되었을 경우, 세정유닛의 롤러부(200)의 권취롤러(220)를 작동 시켜, 클린소재(201)가 고정뭉치(230)를 경유하면서 상기 클린소재(201)의 다른 면이 글라스 기판(g)에 접촉될 수 있도록 위치시키게 되는 것이다. While the cleaning unit is in contact with the glass substrate g, the cleaning unit is moved to the left and right while riding on the guide rails 120 and the cleaning liquid is selectively ejected from the nozzles of the cleaning unit 110, The surface of the glass substrate g is wiped so that the surface of the glass substrate g can be cleaned and cleaned and the glass substrate g is wiped off so that the clean material 201 is damaged. The winding roller 220 of the roller unit 200 is operated so that the clean material 201 passes through the fixing bundle 230 and the other side of the clean material 201 contacts the glass substrate g .

여기서, 상기 세정유닛은 글라스 기판(g)을 닦아 내되, 클린소재(201)를 고정시킨 상태에서 안내레일(120)을 타며 작업을 진행 할 수도 있으며, 상기 클린소재(201)를 풀림 시키면서 작업을 진행 할 수도 있다. The cleaning unit may clean the glass substrate g so that the cleaning material 201 is fixed while the cleaning material 201 rides on the guide rail 120. You can proceed.

또한, 클린소재(201)를 고정한 상태에서 세정유닛을 좌, 우로 이동시켜 하나의 글라스 기판(g)을 세정한 후, 상기 클린소재(201)를 권취하여 다른 면이 다른 하나의 글라스 기판(g)과 접촉될 수 있도록 할 수도 있으며, 선택적으로 제어가 가능한 것이다. The cleaning unit is moved left and right while the clean material 201 is fixed to clean one glass substrate g and then the clean material 201 is wound so that the other glass substrate g ), And is selectively controllable.

이렇게 글라스 기판(g)의 세정이 완료되면 재차 이송부(310)에 의해 이송되며 다른 하나의 글라스 기판(g)의 세정작업이 이루어지게 되는 것이다.
When the cleaning of the glass substrate g is completed, the glass substrate g is again transported by the transporting unit 310 and the cleaning operation of the other glass substrate g is performed.

본 발명에 따른 글라스 기판 접촉식 세정유닛 및 그 세정유닛이 구비된 세정장치에 의하면, 투입되는 글라스 기판(g)과 접촉시켜 클린소재(201)로 표면을 닦아 내는 구조로 구성되되, 상기 클린소재(201)에 선택적으로 세정액을 분사하여 상기 글라스 기판(g)의 표면에 전 공정에서 제거되지 않는 얼룩이나 이물 등을 완벽하게 제거할 수 있으면서도 잔기스가 발생되지 않게 되어 불량률을 최소화 할 수 있고, 이송부(310)에 의해 투입될 때 상기 글라스 기판(g)의 이탈을 방지 할 수 있도록 이송부(310)의 진행방향으로 접착필름(p)을 구성하며, 세정유닛의 클린소재(201)와 접착필름(p)에 접착된 글라스 기판(g)과 대응되어 닦음 작업 시 하부에 진공판넬(340)에 의해 진공흡착 되어 상기 세정유닛의 유동되는 힘에도 흔들림 없이 견고한 고정력을 확보 하여 신속한 작업이 가능하여 작업능률을 향상 시킬 수 있는 유용한 발명인 것이다.
According to the cleaning apparatus of the present invention, it is possible to clean the surface of the glass substrate by the cleaning material 201 in contact with the glass substrate (g) The cleaning liquid can be selectively sprayed to the glass substrate 201 to remove the unevenness or foreign matter which is not removed in the previous step on the surface of the glass substrate g while the residue is not generated and the defective rate can be minimized, An adhesive film p is formed in the moving direction of the transfer unit 310 so as to prevent the glass substrate g from being released when the glass substrate g is inserted by the cleaning unit 310, p, vacuum bonding is carried out by the vacuum panel 340 at the lower part during the wiping operation, so that a firm fixing force is ensured without fluctuation in the force of the cleaning unit, Will be useful inventions that can be up is possible to improve work efficiency.

100 : 몸체부 110 : 세정부 111 : 투입구
120 : 안내레일 130 : 높이제어모터 140 : 도착센서 150 : 롤러
200 : 롤러부 201 : 클린소재
210 : 인출롤러 211 : 샤프트 212 : 손잡이 213 : 고정부재
220 : 권취롤러 221 : 샤프트 222 : 손잡이 223 : 고정부재
224 : 서브모터 230 : 고정뭉치 231 : 홈, 돌출부
300 : 본체부 310 : 이송부 311 : 컨베이어 312 : 공급롤러
313 : 회수롤러 320 : 에어부 321 : 에어나이프 323 : 이온바
321 : 진공펌프 330 : 제어부 331 : 운전모드스위치
332 : 스위치 333 : 메인설정부 340 : 진공판넬 341 : 진공펌프
g : 글라스 기판 p : 접착필름 100: Body part 110: Washing part 111:
120: guide rail 130: height control motor 140: arrival sensor 150: roller
200: roller portion 201: clean material
210: draw-out roller 211: shaft 212: handle 213: fixing member
220: winding roller 221: shaft 222: handle 223: fixing member
224: Sub motor 230: Fixing bundle 231: Groove, protrusion
300: main body 310: conveying unit 311: conveyor 312: feeding roller
313: Collection roller 320: Air part 321: Air knife 323: Ion bar
321: Vacuum pump 330: Control unit 331: Operation mode switch
332: switch 333: main setting unit 340: vacuum panel 341: vacuum pump
g: glass substrate p: adhesive film

Claims (10)

세정장치의 일측에 구성되어 글라스 기판을 세정하는 세정유닛에 있어서,
내부에 세정액이 포함되게 구성되는 세정부(110)와, 하부에 안내레일(120)이 구성되어 좌, 우로 유동하는 몸체부(100);
상기 몸체부(100)의 양측에 각각 축 설치되되, 외주에 클린소재(201)가 감김된 인출롤러(210)와, 상기 인출롤러(210)에서 풀림 되는 클린소재(201)를 권취하는 권취롤러(220)와, 상기 몸체부(100)의 하부에 축 설치되어 클린소재(201)가 경유하며 맞닿는 고정뭉치(230)로 구성되는 롤러부(200); 로 구성되어,
상기 글라스 기판(g)과 접촉시켜 닦아 내도록 구성되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛.
A cleaning unit for cleaning a glass substrate on one side of a cleaning device,
A cleaning part 110 configured to contain a cleaning liquid therein, a body part 100 having a guide rail 120 formed at a lower part thereof and flowing left and right;
A take-up roller 210 which is installed on both sides of the body 100 and has a clean material 201 wound around the take-up roller 210, a take-up roller 210 for winding up a clean material 201 to be unwound from the take- A roller unit 200 including a fixing unit 220 and a fixing unit 230 mounted on a lower portion of the body unit 100 and contacting the cleaning unit 201 via a clean material 201; Lt; / RTI >
Wherein the glass substrate (g) is configured to contact and wipe the glass substrate (g).
제 1항에 있어서,
상기 인출롤러(210)와 권취롤러(220)의 일측에는,
클린소재(201)의 인출과 클린소재(201)를 권취하는 샤프트(211, 221)가 각각 구성되고,
각각의 상기 샤프트(211, 221)를 고정하는 손잡이(212, 222)가 각각 구성되며,
각각의 상기 손잡이(212, 222)의 일측에 샤프트(212, 222)를 고정하는 고정부재(213, 223)가 각각 구성되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛.
The method according to claim 1,
On one side of the take-out roller 210 and the take-up roller 220,
Shafts 211 and 221 for winding the clean material 201 and winding the clean material 201 are formed, respectively,
And grips 212 and 222 for fixing the shafts 211 and 221, respectively,
And a fixing member (213, 223) for fixing the shaft (212, 222) to one side of each of the handles (212, 222).
제 2항에 있어서,
상기 손잡이(222)가 구성된 상기 권취롤러(220)의 타측에는 샤프트(221)가 회전되어 인출롤러(210)에서 인출되는 클린소재(201)를 자동적으로 권취할 수 있도록 상기 샤프트(221)와 연결되는 서보모터(224)가 구성되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛.
3. The method of claim 2,
The shaft 221 is rotated on the other side of the winding roller 220 constituting the handle 222 so as to be connected to the shaft 221 so as to automatically wind the clean material 201 drawn out from the drawing roller 210 And a servo motor (224) is provided on the rear side of the cleaning unit.
제 1항에 있어서,
상기 고정뭉치(230)의 외형은 다각형으로 형성되며, 상기 클린소재(201)와 맞닿는 부분에는 다수의 홈(231) 또는 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛.
The method according to claim 1,
Wherein a plurality of grooves (231) or protrusions are formed in a portion of the fixed bundle (230) that is in contact with the clean material (201).
제 1항에 있어서,
상기 몸체부(100)의 내부 또는 외부 일측에 구성되되 하부에 위치하여 글라스 기판(g)과의 거리를 감지하는 도착센서(140)가 구성되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛.
The method according to claim 1,
And an arrival sensor (140) configured to detect a distance between the glass substrate (g) and the inside of the body part (100).
제 1항에 있어서,
상기 몸체부(100)의 내측에는 클린소재(201)가 인출되어 고정뭉치(230)를 경유하여 권취롤러(220)로 권취 시 원활한 인출과 경유 및 권취가 이루어질 수 있도록 다수의 롤러(r) 또는 지지샤프트가 축 설치되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛.
The method according to claim 1,
A plurality of rollers r or a plurality of rollers are disposed inside the body 100 so that the clean material 201 is drawn out and is smoothly drawn out and lightly damped and wound up by the winding roller 220 via the fixed bundle 230. [ And a support shaft is mounted on the glass substrate contact-type cleaning unit.
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 글라스 기판 접촉식 세정유닛을 이용하되,
상부 일측에 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛이 결합되는 본체부(300)가 구성되되,
상기 본체부(300)의 상부에 구성되어 전체적인 이송을 담당하는 이송부(310)와, 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛을 중심으로 양측에 위치되어 투입 및 배출되는 글라스 기판(g)에 에어를 분사하는 에어부(320)와, 외부 일측에 상기 글라스 기판 접촉식 세정유닛과 본체부(300)와 각각 연결되는 제어부(330)로 구성되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛이 구비된 세정장치.
Use of the glass substrate contact type cleaning unit according to any one of claims 1 to 6,
And a main body part (300) to which the glass substrate contact type cleaning unit is coupled to an upper side,
A transfer unit 310 formed at an upper portion of the main body 300 to take charge of overall transfer and a glass substrate g placed on both sides of the glass substrate contact- And a control unit (330) connected to the glass substrate contact type cleaning unit and the body unit (300) at an outer side of the cleaning unit.
제 7항에 있어서,
상기 본체부(300)의 상부 일측에는 이송부(310)에 의해 이송되는 글라스 기판(g)을 고정하는 다수의 진공판넬(340)이 구성되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛이 구비된 세정장치.
8. The method of claim 7,
And a plurality of vacuum panels 340 for fixing the glass substrate g to be transferred by the transfer unit 310 are formed on one side of the upper portion of the main body unit 300. [ Device.
제 8항에 있어서,
상기 본체부(300)의 내부 또는 외부 일측에는 상기 진공판넬(340)과 연결되어 진공 흡입하는 진공펌프(341)가 구성되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛이 구비된 세정장치.
9. The method of claim 8,
And a vacuum pump (341) connected to the vacuum panel (340) and vacuum sucked is formed at one side of the inside or the outside of the main body part (300).
제 7항에 있어서,
상기 이송부(310)는 상기 본체부(300)의 상부에 컨베이어(311)가 구성되고,
상기 본체부(300)의 하부 양측에 축 설치되되, 외주에 접착필름(p)이 감겨진 공급롤러(312)와, 상기 공급롤러(312)에서 풀림 되는 접착필름(p)을 회수하는 회수롤러(313)로 구성되며,
상기 공급롤러(312)에서 풀림 되는 접착필름(p)이 상기 컨베이어(311)를 거치며 회수롤러(313)로 회수되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접촉식 세정유닛이 구비된 세정장치.
8. The method of claim 7,
The conveyance unit 310 includes a conveyor 311 at an upper portion of the main body 300,
A supply roller 312 provided on both sides of the lower portion of the main body 300 and wound with an adhesive film p on the outer periphery thereof and a recovery roller 312 for recovering the adhesive film p released from the supply roller 312, (313)
Wherein the adhesive film (p) to be unloaded from the supply roller (312) is collected by the collecting roller (313) through the conveyor (311).
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