KR20150071853A - 플렉서블 기판 증착장치 - Google Patents

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박성현
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김경준
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

롤투롤 방식 및 원자층 증착 방식을 적용한 플렉서블 디스플레이 장치용 기판의 증착장치가 개시된다. 플렉서블 기판 증착장치는, 플렉서블 기판을 롤투롤(roll-to-roll) 방식으로 이송하기 위한 롤링부, 상기 기판의 너비에 대응되는 막대 또는 원기둥 형상을 갖는 노즐 바디와, 상기 노즐 바디에 형성되어 상기 기판에 서로 다른 복수의 증착 가스를 제공하는 분사구를 포함하고, 상기 기판이 권취되며 회전하는 노즐 유닛 및 상기 기판을 이송하기 위한 이송 롤러를 포함하고, 상기 기판이 'W'자 형태로 배치되도록 상기 노즐 유닛이 2열 이상 배치되고, 한 열에 2개 이상의 노즐 유닛이 서로 평행하게 구비될 수 있다.

Description

플렉서블 기판 증착장치{DEPOSITION APPARATUS FOR FLEXIBLE SUBSTRATE}
본 발명은 플렉서블 디스플레이용 기판의 증착장치에 관한 것으로 롤투롤 방식의 플렉서블 기판 증착장치에 관한 것이다.
근래 디스플레이 장치에 대한 급격한 기술 발전과 더불어 가볍고 휘어지면서 소자의 특성이 그대로 유지되는 플렉서블 디스플레이(flexible display)에 대한 관심이 날로 증가되고 있다.
플렉서블 디스플레이를 구현하기 위해서는 플라스틱 또는 메탈포일(Metal Foil)과 같은 얇은 필름(Thin film) 형태의 플렉서블 기판을 사용하게 된다. 그런데 이러한 플렉서블 기판은 기존 디스플레이 장치에 사용되는 유리 기판 등과는 달리 그 특유의 유연성 때문에 기존 공정을 적용하는 것이 어려울 수 있다. 따라서 플렉서블 디스플레이가 지향하고 있는 저가, 고속의 대량생산을 위해서는 기존의 유리 기판을 근간으로 하는 배치 타입의 공정이 아니라 연속 공정에 의한 롤투롤(Roll-to-Roll) 공정이 일반적으로 사용되고 있다.
롤투롤 공정이란 플렉서블 기판의 제조방법 중 하나로서, 하나의 롤(Roll)에서 소재 필름을 계속 풀어주고 다른 롤(Roll)은 계속 필름을 감아주면서 두 롤 사이에 펼쳐진 박막 기판에 소정의 공정이 이루어지도록 하는 방법을 의미한다.
롤투롤 공정의 대표적인 예로 박막증착 공정을 들 수 있는데, 최근 반도체, LCD 등의 정밀 제조분야에 광범위하게 사용되고 있다. 구체적인 사용 예로는 0.128㎛두께의 PET 필름에 ITO(Indium Tin Oxide) 증착을 하거나 플렉서블 전도성 필름으로 FCCL(Flexible Copper Clad Lamination)을 제작하는 경우 등이 있다.
이러한 롤투롤 공정에는 플렉서블 기판을 풀어주는 공급롤과, 작업이 이루어진 플렉서블 기판을 다시 감아주는 회수롤뿐만 아니라 이송되는 플렉서블 기판을 지지하여 처짐을 방지하고 플렉서블 기판을 신속하게 작업이 진행될 공정으로 유도하기 위한 다양한 반송 롤러가 사용되고 있다.
본 발명의 실시예들은 플렉서블 디스플레이용 기판의 제조를 위한 롤투롤 방식의 플렉서블 기판의 증착장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 실시예들은, 스텝 커버리지 특성이 매우 우수하며 불순물 함유량이 낮은 순수한 박막을 증착하는 것이 가능한 원자층 증착(atomic layer deposition, ALD) 방식을 적용할 수 있는 플렉서블 기판의 증착장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따르면, 플렉서블 기판을 롤투롤(roll-to-roll) 방식으로 이송하기 위한 롤링부, 상기 기판의 너비에 대응되는 막대 또는 원기둥 형상을 갖는 노즐 바디와, 상기 노즐 바디에 형성되어 상기 기판에 서로 다른 복수의 증착 가스를 제공하는 분사구를 포함하고, 상기 기판이 권취되며 회전하는 노즐 유닛 및 상기 기판을 이송하기 위한 이송 롤러를 포함하고, 상기 기판이 'W'자 형태로 배치되도록 상기 노즐 유닛이 2열 이상 배치되고, 한 열에 2개 이상의 노즐 유닛이 서로 평행하게 구비될 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 노즐 유닛은, 상기 노즐 바디의 외측 방향으로 상기 증착 가스를 분사하도록 상기 노즐 바디의 외주면 둘레를 따라 상기 분사구가 형성되고, 상기 기판이 상기 노즐 유닛의 둘레로 권취될 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 노즐 유닛은, 상기 노즐 바디가 내부가 빈 원통형상을 갖고, 상기 노즐 바디의 내측 방향으로 상기 증착 가스를 분사하도록 상기 노즐 바디의 내주면 둘레를 따라 상기 분사구가 형성되고, 상기 기판이 상기 노즐 유닛의 내주면 둘레로 권취될 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 노즐 유닛의 열 사이에는 상기 기판의 이송을 위한 복수의 이송 롤러가 배치되고, 상기 이송 롤러는 상기 기판에 대해서 상기 노즐 유닛과 반대쪽에 위치하여, 상기 노즐 유닛에 대해서 상기 기판을 가압하도록 배치될 수 있다. 또한, 상기 이송 롤러는, 상기 노즐 유닛 사이 사이에 배치될 수 있다. 또는, 상기 노즐 바디가 내부가 빈 원통형상을 갖고, 상기 기판이 상기 노즐 유닛의 내주면 둘레로 권취되고, 상기 이송 롤러는 상기 노즐 바디 내부에서 상기 기판의 내측에 구비될 수 있다. 그리고 상기 노즐 바디 내부로 상기 기판이 유입 및 유출되는 부분에 가이드 롤러가 구비될 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 노즐 유닛 사이에 배기 가스를 흡입하는 배기부가 구비될 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 노즐 유닛은, 소스 가스, 리액턴스 가스, 퍼지 가스를 각각 분사하는 복수의 분사구가 형성되고, 각 분사구 사이에 배기 가스를 흡입하는 배기구가 형성될 수 있다. 또한, 상기 노즐 유닛은, 상기 분사구들이 서로 동일 면적으로 또는 동일 간격으로 형성되고, 상기 배기구는 상기 분사구와 동일하거나 작은 면적으로 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 롤투롤 방식으로 플렉서블 기판의 처리 효율을 향상시키고 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 원자층 증착 방식을 이용하여 균질하고 우수한 품질의 박막을 증착시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 기판 증착장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 기판 증착장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략될 수 있다.
이하, 도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 기판 증착장치(100)에 대해 간략하게 설명한다. 참고적으로, 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 기판 증착장치(100)의 구성을 간략하게 도시한 모식도다.
도면을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 기판 증착장치(100)는 플렉서블 기판(10)을 롤투롤(roll to roll) 방식으로 이송하면서 증착 공정을 수행하며, 원자층 증착(atomic layer deposition, ALD) 방식을 적용하여 증착 공정이 수행되는 장치이다. 플렉서블 기판 증착장치(100)는, 롤투롤(roll to roll) 방식으로 기판(10)을 연속적으로 이송하기 위한 롤링부(101, 102)와 이송되는 기판(10)에 원자층 증착 방식으로 증착 가스를 제공하기 위한 노즐 유닛(103)을 포함하여 구성된다.
이하에서는 설명의 편의를 위해서 기판(10)을 중심으로 방향을 설명하며, 기판(10)의 이동 방향을 따르는 방향을 기판(10)의 '길이 방향'이라 하고, 길이 방향에 수직인 방향을 '너비 방향'이라 한다. 또한 기판(10)에서 박막이 증착될 면을 '증착면'이라 하고, 상기 증착면의 이면을 '배면'이라 한다.
또한, 본 실시예에서 '증착 가스'라 함은 기판(10)에 박막을 증착하기 위해서 제공되는 적어도 1종 이상의 가스를 포함한다. 예를 들어, 기판(10)에 형성하고자 하는 박막의 구성 물질을 포함하는 소스 가스(source gas)(S), 상기 소스 가스(S)와 화학적으로 반응하는 리액턴스 가스(reactance gas)(R), 및 상기 소스 가스(S)와 리액턴스 가스(R)를 퍼지 시키기 위한 퍼지 가스(purge gas)(P)를 포함한다. 그리고 'V'는 배기 가스를 나타낸다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 증착 가스의 종류는 증착하고자 하는 박막의 종류에 따라 실질적으로 다양하게 변경될 수 있다.
롤링부(101, 102)는 기판(10)의 이송이 시작되고, 증착 전의 기판(10)이 권취되어 있는 제1 롤링부(101)와 증착이 완료된 기판(10)이 권취되는 제2 롤링부(102)로 구성되며, 제1 롤링부(101)는 롤 피더(roll feeder)이고, 제2 롤링부(102)는 리와인더(rewinder)로 구성될 수 있다.
노즐 유닛(103)은 소정 크기의 막대(rod) 또는 원기둥 형태를 갖는 노즐 바디(131)의 외주면 둘레를 따라 각각의 증착 가스를 각각 분사하기 위한 다수의 분사구(133)가 형성되어서, 노즐 바디(131)의 외측 방향을 향해 증착 가스가 분사되도록 구성된다. 예를 들어, 노즐 유닛(103)은 원자층 증착 방식으로 박막을 증착할 수 있도록 소스 가스(S), 리액턴스 가스(R) 및 퍼지 가스(P)를 각각 분사하는 4 종류의 분사구(133)와 배기 가스(V)를 배기시키기 위한 배기구(135)가 형성될 수 있다. 그리고 노즐 유닛(103)은 노즐 바디(131)의 중심축을 기준으로 자전하면서 기판(10)에 증착 가스를 순차적으로 분사한다.
노즐 유닛(103)은 분사구(133)를 통해 분사되는 증착 가스의 궤적이 기판(10)과 직선 형태로 만날 수 있도록 분사구(133)가 배치된다. 노즐 유닛(103)은 서로 다른 증착 가스를 각각 분사할 수 있도록 분사구(133)가 각각 서로 다른 가스 공급원(미도시)에 연결된다.
예를 들어, 노즐 유닛(103)의 길이 방향을 따르는 소정의 직선 상에 분사구(133)가 일렬로 배치될 수 있다. 또한, 노즐 유닛(103)은 기판(10)에 증착 가스가 제공되는 시간이 일정하게 유지될 수 있도록 하기 위해서, 직선 상에 배치된 분사구(133)의 열이 노즐 유닛(103)의 둘레를 따라 서로 동일한 간격으로 이격되어 배치될 수 있다.
노즐 유닛(103)은 원기둥 형태의 노즐 바디(131) 외주면에 원형의 분사구(133)가 형성되고, 분사구(133)는 서로 동일한 간격 또는 동일한 면적으로 형성될 수 있다. 그리고 배기구(135)는 분사구(133)와 동일하거나 작은 면적으로 형성될 수 있다.
그러나 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니며 분사구(133) 및 배기구(135)의 크기와 형상 및 배치 등은 실질적으로 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 또한, 본 실시예에서는 분사구(133)와 배기구(135)가 면적으로 도시되었으나, 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 분사구(133)와 배기구(135)는 각각 하나 이상의 홀 또는 슬릿 등일 수 있다.
노즐 유닛(103)은 기판(10)이 적어도 2개 이상의 노즐 유닛(103) 둘레로 권취되어 이동할 수 있도록 2개 이상의 노즐 유닛(103)이 구비되며, 기판(10) 및 노즐 유닛(103)끼리 서로 평행하도록 배치된다. 또한, 증착장치(100)의 설치 공간을 줄일 수 있도록 노즐 유닛(103)은 다수의 열로 배치될 수 있다. 예를 들어, 기판(10)이 'W'자 형태로 이동하도록 노즐 유닛(103)이 2열 이상 배치될 수 있다.
한편, 노즐 유닛(103)은 기판(10)에 소스 가스(S)와 리액턴스 가스(R)를 균일하게 제공할 수 있도록 도면에 도시한 바와 같이, 소스 가스(S)를 분사하는 분사구(133)과 리액턴스 가스(R)를 분사하는 분사구(133)가 서로 반대 방향에 배치되고, 노즐 유닛(103)은 동일한 가스를 분사하는 분사구(133)가 기판(10)에 대해서 서로 동일한 방향이 되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에서는, 한 열에 2개의 노즐 유닛(103)이 구비되는 2개 열(총 4개의 노즐 유닛(103))이 배치된 것을 예시하였으나, 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 노즐 유닛(103)은 한 열에 2개 이상 복수개가 배치될 수 있고, 다수 열이 배치될 수 있다.
노즐 유닛(103)은 기판(10)의 증착면 쪽에 배치된다. 그리고 이송 롤러(106)는 기판(10)의 배면 쪽에 배치된다.
또한, 다수의 노즐 유닛(103)은 기판(10)에 제공되는 증착 가스의 양이 일정하게 유지될 수 있도록, 동일한 각속도로 회전할 수 있다. 상세하게는, 노즐 유닛(103)에서 동일한 증착 가스가 분사되는 분사구(133)가 기판(10)에 대해서 동일 위치에 정렬될 수 있도록 노즐 유닛(103)의 위치가 정렬되어서 동일 각속도로 회전한다.
한편, 도시하지는 않았으나, 노즐 유닛(103)의 일측에는 노즐 유닛(103)의 회전을 위한 회전 구동력을 제공하는 구동부(미도시)와 회전 위치 및 각속도를 제어하기 위한 제어부(미도시)가 구비될 수 있다.
노즐 유닛(103)의 열 사이에는 기판(10)의 이송을 위한 이송 롤러(106)가 구비된다. 이송 롤러(106)는, 기판(10)의 위치를 일정하게 유지시키고, 노즐 유닛(103)에 대해서 접촉된 상태를 유지시킬 수 있도록 안내하는 역할을 한다. 이송 롤러(106)의 위치는, 노즐 유닛(103)의 사이 사이와 기판(10)의 이송이 시작되는 부분과 끝나는 부분에 구비되며, 도면에 의해 한정되는 것은 아니며 필요에 따라 적절하게 구비될 수 있다. 예를 들어, 각 열마다 2개씩 이송 롤러(106)가 구비된 것을 예시하였으나, 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 이송 롤러(106)의 수와 크기 및 배치된 위치는 실질적으로 다양하게 변경될 수 있다.
노즐 유닛(103) 사이의 공간에서 배기 가스를 흡입하여 배출시킬 수 있도록 노즐 유닛(103) 사이에 배기부(104)가 형성된다. 그러나 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 배기부(104)는 노즐 유닛(103) 사이에 배기 가스의 배출을 위한 별도의 배기 유로가 형성되는 것도 가능하다.
본 실시예에 따르면, 기판(10)에 복수의 증착 가스를 순차적으로 제공하여 반응시키므로 증착 가스의 반응성을 향상시키고, 박막의 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 다수의 노즐 유닛(103)을 배치하면 플렉서블 기판을 처리할 수 있으므로, 기판(10)의 처리 속도 및 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 노즐 유닛(103)이 기판(10)에 증착 가스를 제공함과 더불어, 기판(10)을 이송시키는 역할을 하므로, 설비를 간소화하고 크기를 줄일 수 있다.
한편, 상술한 실시예에서는 기판(10)이 노즐 유닛(103)의 외측 둘레로 권취되는 예를 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 기판(10)이 노즐 유닛(203)의 내측으로 권취되는 것도 가능하다. 이하에서는, 도 2를 참조하여 기판(10)이 노즐 유닛(203)의 내측으로 권취되는 기판 증착장치(200)에 대해 설명한다. 참고적으로, 도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 기판 증착장치(200)의 구성을 간략하게 도시한 모식도다. 그리고 이하에서 설명하는 기판 증착장치(200)는 도 1에서 설명한 증착장치(100)와 노즐 유닛(203)을 제외하고는 동일하므로, 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 명칭을 사용하며, 중복되는 설명은 생략한다.
기판 증착장치(200)는, 롤투롤(roll to roll) 방식으로 기판(10)을 연속적으로 이송하기 위한 롤링부(201, 102)와 이송되는 기판(10)에 원자층 증착 방식으로 증착 가스를 제공하기 위한 노즐 유닛(203)을 포함하여 구성된다.
노즐 유닛(203)은 내부가 빈 원통 형상을 갖는 노즐 바디(231)의 내주면 둘레를 따라 내측 방향을 향해 증착 가스를 분사하도록 다수의 분사구(233)가 형성된다. 그리고 노즐 유닛(203)은 노즐 바디(231)의 중심축을 기준으로 자전하면서 기판(10)에 증착 가스를 순차적으로 분사한다. 예를 들어, 노즐 유닛(203)은 원자층 증착 방식으로 박막을 증착할 수 있도록 소스 가스(S), 리액턴스 가스(R) 및 퍼지 가스(P)를 각각 분사하는 4 종류의 분사구(233)가 형성될 수 있다. 그리고 노즐 유닛(203)은 분사구(233) 사이 사이에 배기 가스(V)를 배기시키기 위한 배기구(235)가 형성될 수 있다. 예를 들어, 분사구(233)는 서로 동일한 간격 또는 동일한 면적으로 형성될 수 있다. 그리고 배기구(235)는 분사구(233)와 동일하거나 작은 면적으로 형성될 수 있다. 여기서, 본 실시예에서는 분사구(233)와 배기구(235)가 면적으로 도시되었으나, 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 분사구(233)와 배기구(235)는 각각 하나 이상의 홀 또는 슬릿 등일 수 있다.
한편, 도 2에서는, 노즐 유닛(203)이 1개만 도시되었으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 기판(10)이 적어도 2개 이상의 노즐 유닛(203)에 권취될 수 있도록 2개 이상의 노즐 유닛(203)이 구비될 수 있다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 노즐 유닛(203)이 다수의 열로 배치되며, 각 열마다 다수의 노즐 유닛(203)이 배치될 수 있다.
또한, 다수의 노즐 유닛(203)은 기판(10)에 제공되는 증착 가스의 양이 일정하게 유지될 수 있도록, 동일한 각속도로 회전할 수 있다. 상세하게는, 노즐 유닛(203)에서 동일한 증착 가스가 분사되는 분사구(233)가 기판(10)에 대해서 동일 위치에 정렬될 수 있도록 노즐 유닛(203)의 위치가 정렬되어서 동일 각속도로 회전한다.
노즐 유닛(203)의 내부에는 기판(10)의 이송을 위한 이송 롤러(206)가 구비된다. 이송 롤러(206)는 기판(10)을 사이에 두고 노즐 유닛(203)의 내주면에 기판(10)을 가압할 수 있도록 형성되어서, 기판(10)의 위치를 일정하게 유지시키고, 기판(10)이 노즐 유닛(203)에 대해서 접촉된 상태를 유지시킬 수 있도록 안내하는 역할을 한다. 한편, 노즐 유닛(203) 내부로 기판(10)이 유입 및 유출되는 부분에는 기판(10)의 위치를 안내하기 위한 가이드 롤러(207)가 더 구비될 수 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것이다. 또한, 본 발명이 상술한 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10: 기판
100: 플렉서블 기판 증착장치
101, 102: 롤링부
103: 노즐 유닛
131: 노즐 바디
133: 분사구
135: 배기구
104: 배기부
106: 이송 롤러

Claims (10)

  1. 플렉서블 기판을 롤투롤(roll-to-roll) 방식으로 이송하기 위한 롤링부;
    상기 기판의 너비에 대응되는 막대 또는 원기둥 형상을 갖는 노즐 바디와, 상기 노즐 바디에 형성되어 상기 기판에 서로 다른 복수의 증착 가스를 제공하는 분사구를 포함하고, 상기 기판이 권취되며 회전하는 노즐 유닛; 및
    상기 기판을 이송하기 위한 이송 롤러;
    를 포함하고,
    상기 기판이 'W'자 형태로 배치되도록 상기 노즐 유닛이 2열 이상 배치되고, 한 열에 2개 이상의 노즐 유닛이 서로 평행하게 구비된 플렉서블 기판 증착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 유닛은, 상기 노즐 바디의 외측 방향으로 상기 증착 가스를 분사하도록 상기 노즐 바디의 외주면 둘레를 따라 상기 분사구가 형성되고, 상기 기판이 상기 노즐 유닛의 둘레로 권취되는 플렉서블 기판 증착장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 유닛은, 상기 노즐 바디가 내부가 빈 원통형상을 갖고, 상기 노즐 바디의 내측 방향으로 상기 증착 가스를 분사하도록 상기 노즐 바디의 내주면 둘레를 따라 상기 분사구가 형성되고, 상기 기판이 상기 노즐 유닛의 내주면 둘레로 권취되는 플렉서블 기판 증착장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 유닛의 열 사이에는 상기 기판의 이송을 위한 복수의 이송 롤러가 배치되고,
    상기 이송 롤러는 상기 기판에 대해서 상기 노즐 유닛과 반대쪽에 위치하여, 상기 노즐 유닛에 대해서 상기 기판을 가압하도록 배치되는 플렉서블 기판 증착장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이송 롤러는, 상기 노즐 유닛 사이 사이에 배치되는 플렉서블 기판 증착장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 노즐 바디가 내부가 빈 원통형상을 갖고, 상기 기판이 상기 노즐 유닛의 내주면 둘레로 권취되고,
    상기 이송 롤러는 상기 노즐 바디 내부에서 상기 기판의 내측에 구비되는 플렉서블 기판 증착장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 노즐 바디 내부로 상기 기판이 유입 및 유출되는 부분에 가이드 롤러가 더 구비되는 플렉서블 기판 증착장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 유닛 사이에 배기 가스를 흡입하는 배기부가 구비된 플렉서블 기판 증착장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 유닛은, 소스 가스, 리액턴스 가스, 퍼지 가스를 각각 분사하는 복수의 분사구가 형성되고, 각 분사구 사이에 배기 가스를 흡입하는 배기구가 형성되는 플렉서블 기판 증착장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 노즐 유닛은, 상기 분사구들이 서로 동일 면적으로 또는 동일 간격으로 형성되고,
    상기 배기구는 상기 분사구와 동일하거나 작은 면적으로 형성된 플렉서블 기판 증착장치.
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