KR102016353B1 - 롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어 및 이를 이용한디스플레이 백플레인 제조 설비 - Google Patents

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Abstract

롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어가 개시된다. 상기 카세트 캐리어는 다면으로 둘러싸인 내부공간을 갖고, 상기 내부공간으로부터 외부로 열린 개방영역을 일면에 구비하는 카세트바디; 상기 내부공간에서 상기 개방영역의 아래에 배치되고, 회전하여 상기 개방영역 아래의 제1 위치로부터 상기 제1 위치와 일정 거리 이격된 제2 위치로 상기 개방영역과 평행하게 가요성 기재를 공급하는 공급롤러; 상기 제2 위치에 배치되고, 상기 공급롤러와 동기 회전하여 상기 공급롤러로부터 공급되는 기재를 당겨서 회수하거나 회수된 기재를 상기 제1 위치 방향으로 푸는 회수롤러; 및 상기 개방영역의 아래에 위치하도록 상기 내부공간에 삽입되고, 상기 내부공간 및 외부로 이동 가능하게 구비되어, 상기 개방영역을 지나도록 상기 내부공간으로부터 외부 방향으로 이동하여 상기 개방영역에 대향하는 상기 기재의 일부 길이를 상기 카세트바디 외부로 인출하는 기재인출샤프트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어 및 이를 이용한디스플레이 백플레인 제조 설비{CASSETTE CARRIER FOR LOADING AND UNLOADING SUBSTRATES IN ROLL-TO-ROLL AND DISPLAY BACKPLANE MANUFACTURING EQUIPMENT USING SAME}
본 발명은 카세트 캐리어에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 백플레인 제조 설비에서의 각 공정 수행을 위해 각 공정 설비로 기재를 로딩시키기 위한 카세트 캐리어에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 백플레인 디바이스는 웨이퍼 표면 상부에 여러 가지 기능을 수행하는 박막을 증착하고 이를 패터닝하여 다양한 회로 기하구조를 형성함으로써 제조하게 되는데, 이러한 디스플레이 백플레인 디바이스를 제조하기 위한 공정은 크게 유연 소재 또는 글라스 기판 상에 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 상기 박막을 소정의 패턴으로 형성하는 식각공정, 그리고 기판 상부에 보호막 증착을 한 후 화소전극을 증착, 패터닝한다. 디스플레이 백플레인 디바이스를 제조하기 위해서는 상기와 같은 여러 단위 공정들을 반복 실시하게 되는데, 이러한 단위공정별로 해당 공정을 수행하기 위한 각각의 공정설비가 사용된다.
상기와 같은 여러 단위 공정들을 실시하기 위해서는 각각의 공정 설비 내로 기판을 이송하는 것이 불가피한데, 이러한 이송과정 중 대기중의 먼지나 불순물들에 의해 기판의 표면이 오염되는 것을 방지하기 위해 기판을 카세트에 수납시켜서 카세트를 각 공정 설비로 이동시키면서 필요한 공정을 수행하였다.
이러한 종래의 디스플레이 백플레인 제조 공정은 기판을 수납한 카세트를 각 공정 설비로 이동시키면서 공정을 수행함에 따라 각 공정 설비의 챔버 내에서 1가지 공정만을 수행 가능하기 때문에 디스플레이 백플레인 제조 설비의 대규모화를 피할 수 없으며, 공정 수가 늘어나면 공정 설비도 증가하고 라인 규모도 대폭 증가하므로 디스플레이 백플레인 제조 설비 비용이 상승하게 되는 문제가 있었다.
한편, 카세트에 수납된 기판은 각 공정을 수행하는 디스플레이 백플레인 장치 제조설비 내에서도 설치된 로봇에 의해 인출되어 요구되는 위치로 이송되는 과정을 거치게 된다. 따라서, 각 공정을 수행하기 위해 각 공정 설비에는 카세트에 수납된 기판을 인출하기 위한 로봇의 설치가 필수적으로 요구되었다.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 디스플레이 백플레인 제조 설비의 규모의 소형화와 제조 라인 규모 축소가 가능하여 디스플레이 백플레인 제조 설비 및 라인 설비 비용이 절감되고, 디스플레이 백플레인 소자 생산에 대한 생산성이 증가할 수 있도록 한 카세트 캐리어를 제공하는데 있다.
다른 목적으로, 롤투롤 타입으로 제조되는 디스플레이 백플레인 소자의 제조가 용이하며, 롤투롤 타입으로 디스플레이 백플레인 소자를 생산하는 디스플레이 백플레인 제조 장비에서의 비용 절감 및 롤투롤 타입으로 제조되는 디스플레이 백플레인 소자의 유연한 생산성을 확보할 수 있도록 한 카세트 캐리어를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어는 다면으로 둘러싸인 내부공간을 갖고, 상기 내부공간으로부터 외부로 열린 개방영역을 일면에 구비하는 카세트바디; 상기 내부공간에서 상기 개방영역의 아래에 배치되고, 회전하여 상기 개방영역 아래의 제1 위치로부터 상기 제1 위치와 일정 거리 이격된 제2 위치로 상기 개방영역과 평행하게 가요성 기재를 공급하는 공급롤러; 상기 제2 위치에 배치되고, 상기 공급롤러와 동기 회전하여 상기 공급롤러로부터 공급되는 기재를 당겨서 회수하거나 회수된 기재를 상기 제1 위치 방향으로 푸는 회수롤러; 및 상기 개방영역의 아래에 위치하도록 상기 내부공간에 삽입되고, 상기 내부공간 및 외부로 이동 가능하게 구비되어, 상기 개방영역을 지나도록 상기 내부공간으로부터 외부 방향으로 이동하여 상기 개방영역에 대향하는 상기 기재의 일부 길이를 상기 카세트바디 외부로 인출하는 기재인출샤프트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예로, 상기 챔버는 상기 개방영역에 수직한 적어도 하나의 면에 상기 개방영역에 수직하도록 연장되고 상기 개방영역을 향해 열려 있는 적어도 하나의 가이드홀을 더 포함하고, 상기 기재인출샤프트는 상기 내부공간으로 삽입되는 일부분의 끝단부가 상기 가이드홀에 삽입되어 상기 개방영역을 지나도록 이동할 수 있다.
일 실시예로, 상기 기재인출샤프트는 상기 카세트바디가 수용되는 공정챔버의 내부공간에 수용되어, 상기 공정챔버의 내부공간에서 상기 가이드홀이 형성된 면에 대향하는 위치로부터 상기 가이드홀을 향해 이동하여 상기 카세트바디의 내부공간으로 삽입되게 구비될 수 있다.
일 실시예로, 상기 가이드홀은 상기 개방영역의 전체 길이의 1/2의 지점에 위치하고, 상기 개방영역으로부터 인출되는 기재의 일부 길이는 상기 기재인출샤프트를 기준으로 한 양측의 면적이 동일 면적을 갖는 길이일 수 있다.
일 실시예로, 상기 공급롤러는 상기 기재의 공급하도록 회전하는 방향의 역방향으로의 회전이 가능하고, 상기 회수롤러는 상기 기재를 회수하도록 회전하는 방향의 역방향으로의 회전이 가능하고, 상기 공급롤러 및 회수롤러가 상기 역방향으로 회전하는 경우 상기 기재는 이전 공급방향의 역방향으로 공급방향이 전환될 수 있다.
일 실시예로, 상기 기재는 상기 기재인출샤프트를 통해 인출된 길이에서 상기 기재인출샤프트를 기준으로 상기 기재인출샤프트의 양측에 위치하는 제1 영역 및 제2 영역에 대해 디스플레이 백플레인 제조 공정이 동시 수행되어 처리될 수 있다.
일 실시예로, 상기 제1 영역 및 제2 영역은 서로 다른 디스플레이 백플레인 제조 공정이 동시 수행되어 처리될 수 있다.
일 실시예로, 상기 카세트 캐리어는 플렉서블 기판을 이용한 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 제조에 이용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 백플레인 제조 설비는 상기 카세트 캐리어; 내부공간이 진공이고, 상기 카세트 캐리어를 상기 진공의 내부공간에 수용하는 공정챔버; 및 상기 공정챔버의 내부공간에 수용되고, 상기 카세트 캐리어의 개방영역의 위로 이동 가능하게 구성되며, 상기 개방영역을 통해 카세트 캐리어로부터 인출되는 기재에 대하여 디스플레이 백플레인 제조 공정을 수행하는 적어도 하나의 공정 장비를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예로, 상기 공정 장비는 복수이고, 각각의 공정 장비는 상기 카세트 캐리어로부터 인출된 기재의 일부 길이의 서로 마주하는 제1 영역 및 제2 영역에 각각 대향되게 위치하여 디스플레이 백플레인 제조 공정을 수행할 수 있다.
본 발명에 따른 카세트 캐리어를 이용하면 단일의 진공 공간 내에 본 발명의 카세트 캐리어 및 디스플레이 백플레인 제조를 위한 각 공정단계의 공정 설비를 위치시켜서 카세트의 이동 없이 다수의 공정 수행이 가능하다. 따라서, 디스플레이 백플레인 제조 설비의 규모를 소형화시킬 수 있고, 이에 따라 디스플레이 백플레인 제조 설비 비용이 절감될 수 있는 이점이 있다.
또한, 카세트바디로부터 기재가 인출된 상태에서 기재인출샤프트를 기준으로 한 인출된 기재의 양측 영역에 대해 각각 같은 공정을 수행하여 1회 공정 수행시 복수 영역에 대한 공정 수행이 가능할 뿐만 아니라, 기재인출샤프트를 기준으로 한 인출된 기재의 양측 영역에 대해 각각 다른 공정을 수행할 수도 있으므로 기재의 1회 인출에 대해 복수의 공정을 수행할 수 있다. 따라서, 디스플레이 백플레인 소자 생산 과정에서의 공정 수행 속도가 증가하여, 디스플레이 백플레인 소자 생산에 대한 생산성이 증가할 수 있는 이점이 있다.
또한, 카세트바디 내에서 가요성 기재, 즉 플렉서블 기판이 롤투롤 타입으로 로딩 및 언로딩 되면서 공정 수행이 가능하므로 플렉서블 기판을 이용한 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 등의 디스플레이 백플레인 소자의 제조가 용이할 뿐만 아니라, 롤투롤 타입으로 디스플레이 백플레인 소자를 생산하는 디스플레이 백플레인 제조 장비에서의 비용 절감 및 롤투롤 타입으로 제조되는 디스플레이 백플레인 소자의 유연 생산성을 확보하게 되는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기재인출샤프트가 이동하여 기재가 인출된 상태를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어를 이용한 디스플레이 백플레인 제조 설비를 예시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어를 이용하여 기재가 에칭 처리되는 과정을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어의 구성을 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기재인출샤프트가 이동하여 기재가 인출된 상태를 나타낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어는 카세트바디(110), 공급롤러(120), 회수롤러(130) 및 기재인출샤프트(140)를 포함한다.
카세트바디(110)는 상기 공급롤러(120) 및 회수롤러(130)를 수용하기 위해 다면으로 둘러싸인 내부공간을 갖는다. 이를 위해, 카세트바디(110)는 다면체로 구성될 수 있다. 일 예로, 카세트바디(110)는 직육면체의 박스 형태로 구비될 수 있다.
상기 공급롤러(120) 및 회수롤러(130)는 기재(10)를 롤투롤(roll-to-roll) 타입으로 진행시킨다. 이를 위해, 상기 기재(10)는 플렉서블 기판으로 구성된다. 상기 기재(10)는 디스플레이 백플레인 제조를 위한 공정 진행 전에 상기 공급롤러(120) 상에 롤 타입으로 구비되며, 공정 진행 중에 상기 회수롤러(130)에 권취되거나 상기 회수롤러(130)에 권취된 후 다시 상기 공급롤러(120) 방향으로 풀릴 수도 있다.
상기 공급롤러(120)는 카세트바디(110)의 내부공간에 수용되어, 상기 공급롤러(120)가 위치하는 제1 위치로부터 상기 회수롤러(130)가 위치하는 제2 위치로 상기 기재(10)를 공급할 수 있다. 이를 위해, 상기 공급롤러(120)는 회전 가능하게 구비된다. 공급롤러(120)는 제1 방향으로 회전하여 상기 기재(10)를 상기 회수롤러(130)를 향해 공급할 수 있고, 상기 제1 방향의 역방향인 제2 방향으로 회전하여 상기 회수롤러(130) 상에 권취된 상기 기재(10)의 일부 영역을 당겨올 수도 있다.
상기 회수롤러(130)는 카세트바디(110)의 내부공간에 수용되어, 상기 제1 위치로부터 이격된 상기 제2 위치에 구비되며, 상기 공급롤러(120)로부터 공급되는 기재(10)를 권취하여 회수할 수 있다. 이를 위해, 상기 회수롤러(130)는 상기 공급롤러(120)와 동기 회전하도록 구비된다. 즉, 회수롤러(130)는 상기 공급롤러(120)가 상기 제1 방향으로 회전할 때 동시에 제1 방향으로 회전하여 상기 공급롤러(120)로부터 공급되는 기재를 권취하여 회수할 수 있고, 상기 공급롤러(120)가 상기 제2 방향으로 회전할 때 동시에 제2 방향으로 회전하여 권취된 기재(10)의 일부 길이가 상기 공급롤러(120)를 향해 풀리도록 할 수도 있다.
이러한 공급롤러(120) 및 회수롤러(130)를 통해 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)되는 기재(10)는 디스플레이 백플레인 제조를 위한 각 공정 단계에서의 공정 진행을 위해 상기 카세트바디(110)의 외부로 노출된다. 이를 위해, 카세트바디(110)는 일면에 내부공간으로부터 외부로 열린 개방영역(110a)을 포함한다. 상기 개방영역(110a)은, 예를 들면, 직육면체의 평면부에 위치할 수 있다. 상기 개방영역(110a)의 아래에는 상기 기재(10)가 위치하며, 기재(10)는 상기 기재인출샤프트(140)를 통해 상기 카세트바디(110)의 외부로 인출될 수 있다.
상기 기재인출샤프트(140)는 상기 개방영역(110a)의 아래에 위치하도록 상기 카세트바디(110)의 내부공간에 삽입된다. 상기 기재인출샤프트(140)는 상기 기재(10)의 인출을 위해, 상기 카세트바디(110)의 내부공간 및 외부로 이동 가능하게 구비되어, 상기 개방영역(110a)을 지나도록 상기 내부공간으로부터 외부 방향으로 이동하여 상기 개방영역(110a)에 대향하는 상기 기재(10)의 일부 길이를 도 2와 같이 상기 카세트바디(110)의 외부로 인출한다.
이러한 기재인출샤프트(140)는 상기 카세트바디(110)의 내부공간에 수용되는 형태로 구비될 수도 있고, 별도의 공간에 구비될 수도 있다. 일 예로, 상기 기재인출샤프트(140)는 디스플레이 백플레인 제조 공정을 위해 상기 카세트바디(110)가 수용되는 공정챔버(210)의 내부공간에 수용되는 형태로 구비될 수 있다. 이러한 경우, 상기 기재인출샤프트(140)는 상기 공정챔버(210)의 내부공간으로부터 상기 기재(10)의 아래쪽을 향해 이동하여 상기 카세트바디(110)의 내부공간으로 삽입되게 구비될 수 있다. 이러한 구조에서 상기 기재인출샤프트(140)가 상기 카세트바디(110)의 내부공간으로 삽입된 이후에 상기 디스플레이 백플레인 제조 공정의 각 단계가 진행되는 동안에는 상기 기재인출샤프트(140)가 상기 카세트바디(110)의 내부공간에 수용된 상태로 유지될 수 있고, 상기 기재(10)의 디스플레이 백플레인 제조를 위한 공정 진행이 완료되어 상기 카세트바디(110)를 교체하고자 하는 경우에는 상기 카세트바디(110)의 내부공간으로부터 최초 위치로 복귀될 수 있다.
한편, 상기 기재인출샤프트(140)가 상기 카세트바디(110)의 내부공간으로 삽입될 때 항상 같은 위치에 정 위치하고, 정 위치에서 상기 개방영역(110a)을 향해 이동하도록 하기 위해 상기 카세트바디(110)는 가이드홀(110b)을 포함할 수 있다.
상기 가이드홀(110b)은 상기 개방영역(110a)에 수직한 카세트바디(110)의 적어도 하나의면, 예를 들면, 상기 카세트바디(110)의 평면(111)에 수직한 정면(112) 및 배면(113)에서 상기 개방영역(110a)에 수직하도록 연장되고, 상기 개방영역(110a)을 향해 열려 있게 구비될 수 있다.
이러한 가이드홀(110b)에 상기 기재인출샤프트(140)가 삽입되어 정 위치하며, 이때, 상기 기재인출샤프트(140)는 상기 공정챔버(210)의 내부공간으로부터 상기 기재인출샤프트(140)를 향해 이동하여 상기 카세트바디(110)의 내부공간으로 삽입될 수 있고, 상기 가이드홀(110b)에 삽입된 기재인출샤프트(140)는 상기 개방영역(110a)을 지나도록 상승하여 상기 기재(10)를 상시 카세트바디(110)의 외부로 인출할 수 있다.
한편, 상기 가이드홀(110b)은 상기 개방영역(110a)의 전체 길이의 1/2의 지점에 위치할 수 있다. 이에 따라, 상기 가이드홀(110b)에 삽입되어 정 위치하는 기재인출샤프트(140)가 기재(10)를 인출하면, 상기 개방영역(110a)으로부터 인출되는 기재(10)의 일부 길이는 상기 기재인출샤프트(140)를 기준으로 한 양측의 면적이 동일 면적을 갖는 길이가 될 수 있다. 이러한 경우, 기재인출샤프트(140)를 기준으로 한 기재(10)의 양측 영역은 동일한 공정 또는 서로 다른 2개의 공정이 동시 진행될 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어를 이용한 디스플레이 백플레인 제조 설비를 예시하는 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어를 이용한 디스플레이 백플레인 제조 설비는 내부가 진공인 공정챔버(210), 상기 공정챔버(210)의 내부공간에 수용되는 카세트 캐리어(100) 및 상기 공정챔버(210)의 내부공간에 수용되는 복수의 공정 장비(221)를 포함할 수 있다.
상기 카세트 캐리어(100)는 도 1을 참조하여 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어(100)와 동일하며, 기재인출샤프트(140)는 공정챔버(210)의 내부공간에 구비되어 도 1에 도시된 A방향을 따라 이동하여 상기 공정챔버(210)의 내부공간으로부터 카세트바디(110)의 내부공간으로 삽입가능하고, 도 1에 도시된 B방향을 따라 상기 카세트바디(110)의 개방영역(110a)을 지나도록 이동할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어를 이용한 디스플레이 백플레인 제조 공정의 진행 과정을 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. 일 예로, 디스플레이 백플레인 제조 공정 중 에칭 공정에 대해 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어를 이용하여 기재가 에칭 처리되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이 공정챔버(210)의 진공 공간 내에 카세트 캐리어(100)가 수용된 상태에서, 카세트 캐리어(100)와 동일 진공 공간 내에 수용된 공정 장비(221), 예를 들어, 도 4에 도시된 에칭 처리를 위한 전극들(2211, 2212)을 포함하는 공정 장비(221)를 카세트바디(110)의 개방영역(110a)의 위치로 이동시켜서 상기 전극들(2211, 2212)이 개방영역(110a)에 인접하도록 위치시킬 수 있다. 이때, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 전극들(2211, 2212)은 두 개가 한 쌍을 이루어 각각의 쌍이 서로 마주하는 형태로 배치될 수 있다.
이러한 상태에서, 카세트바디(110)의 가이드홀(110b) 내에 위치하고 있는 기재인출샤프트(140)가 상기 개방영역(110a)을 지나서 상기 전극들(2211, 2212)을 향해 이동하고 이와 동시에 공급롤러(120) 및 회수롤러(130)는 서로 반대방향으로 동기 회전하여, 상기 개방영역(110a)에 대향하는 기재(10)의 일부 길이를 상기 카세트바디(110)의 외부로 인출한다.
이때, 카세트바디(110)의 외부로 인출된 기재(10)의 기재인출샤프트(140)를 기준으로 한 양측의 제1 영역(10a) 및 제2 영역(10b)은 상기 전극들(2211, 2212)에 마주하게 되며, 상기 제1 영역(10a) 및 제2 영역(10b)은 상기 전극들(2211, 2212)에 의해 에칭 처리된다.
에칭 처리된 후 상기 기재인출샤프트(140)는 상기 개방영역(110a)을 지나서 상기 가이드홀(110b)을 향해 이동하여 상기 가이드홀(110b) 내에 정 위치하며 이와 동시에 회수롤러(130)는 상기 기재(10)를 인출할 때의 회전방향과 반대방향으로 회전하고 상기 공급롤러(120)는 회수롤러(130)의 회전방향과 동일하게 동기 회전하여, 인출된 기재(10)의 길이를 회수롤러(130)에 권취하여 회수한다. 이때, 에칭처리된 기재(10)의 일부 길이에 연속되는 다른 일부 길이가 상기 개방영역(110a)에 대향되게 위치하며, 개방영역(110a)에 대향하게 위치한 기재(10)의 다른 일부 길이는 이상에서 설명한 과정이 동일하게 진행되면서 에칭처리된다. 이 과정은 기재(10)의 길이 전체의 에칭처리를 위해 반복될 수 있다.
이상의 설명에서는 카세트바디(110)의 개방영역(110a)에 에칭처리를 위한 공정 장비(221)가 위치하는 것으로 설명하였으나, 서로 다른 공정을 위한 2개의 공정 장비가 카세트바디(110)로부터 인출된 기재(10)의 상기 제1 영역(10a) 및 제2 영역(10b)에 각각 대향하도록 위치할 수도 있고, 이전 공정이 완료된 후 회수롤러(130)에 권취되어 회수된 기재(10)가 공급롤러(120)에 권취되도록 회전하여 이전 공정에서의 기재(10)의 공급방향의 반대 방향으로 기재(10)의 공급 방향을 전환하는 것도 가능할 수 있다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 캐리어를 이용하면 단일의 진공 공간 내에 본 발명의 카세트 캐리어 및 디스플레이 백플레인 제조를 위한 각 공정단계의 공정 설비를 위치시켜서 카세트의 이동 없이 다수의 공정 수행이 가능하므로 디스플레이 백플레인 제조 설비를 소형화시킬 수 있고, 라인 규모도 대폭 줄일 수 있다. 이에 따라 디스플레이 백플레인 제조 설비 비용이 절감될 수 있는 이점이 있다.
또한, 카세트바디(110)로부터 기재(10)가 인출된 상태에서 기재인출샤프트(140)를 기준으로 한 인출된 기재(10)의 양측 영역에 대해 각각 같은 공정을 수행하여 1회 공정 수행시 복수 영역에 대한 공정 수행이 가능할 뿐만 아니라, 기재인출샤프트(140)를 기준으로 한 인출된 기재(10)의 양측 영역에 대해 각각 다른 공정을 수행할 수도 있으므로 기재(10)의 1회 인출에 대해 복수의 공정을 수행할 수 있다. 따라서, 디스플레이 백플레인 소자 생산 과정에서의 공정 수행 속도가 증가하여, 디스플레이 백플레인 소자 생산에 대한 생산성이 증가할 수 있는 이점이 있다.
한편, 카세트바디(110) 내에서 가요성 기재(10), 즉 플렉서블 기판이 롤투롤 타입으로 로딩 및 언로딩 되면서 공정 수행이 가능하므로 플렉서블 기판을 이용한 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 등의 디스플레이 백플레인 소자의 제조가 용이할 뿐만 아니라, 롤투롤 타입으로 디스플레이 백플레인 소자를 생산하는 디스플레이 백플레인 제조 장비에서의 비용 절감 및 롤투롤 타입으로 제조되는 디스플레이 백플레인 소자의 생산 유연성을 확보하게 되는 이점이 있다.
제시된 실시예들에 대한 설명은 임의의 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 이용하거나 또는 실시할 수 있도록 제공된다. 이러한 실시예들에 대한 다양한 변형들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이며, 여기에 정의된 일반적인 원리들은 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 다른 실시예들에 적용될 수 있다. 그리하여, 본 발명은 여기에 제시된 실시예들로 한정되는 것이 아니라, 여기에 제시된 원리들 및 신규한 특징들과 일관되는 최광의의 범위에서 해석되어야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 다면으로 둘러싸인 내부공간을 갖고, 상기 내부공간으로부터 외부로 열린 개방영역을 일면에 구비하는 카세트바디;
    상기 내부공간에서 상기 개방영역의 아래에 배치되고, 회전하여 상기 개방영역 아래의 제1 위치로부터 상기 제1 위치와 일정 거리 이격된 제2 위치로 상기 개방영역과 평행하게 가요성 기재를 공급하는 공급롤러;
    상기 제2 위치에 배치되고, 상기 공급롤러와 동기 회전하여 상기 공급롤러로부터 공급되는 기재를 당겨서 회수하거나 회수된 기재를 상기 제1 위치 방향으로 푸는 회수롤러; 및
    상기 개방영역의 아래에 위치하도록 상기 내부공간에 삽입되고, 상기 내부공간 및 외부로 이동 가능하게 구비되어, 상기 개방영역을 지나도록 상기 내부공간으로부터 외부 방향으로 이동하여 상기 개방영역에 대향하는 상기 기재의 일부 길이를 상기 카세트바디 외부로 인출하는 기재인출샤프트를 포함하고,
    상기 카세트바디는 상기 개방영역에 수직한 적어도 하나의 면에 상기 개방영역에 수직하도록 연장되고 상기 개방영역을 향해 열려 있는 적어도 하나의 가이드홀을 더 포함하고,
    상기 기재인출샤프트는 상기 내부공간으로 삽입되는 일부분의 끝단부가 상기 가이드홀에 삽입되어 상기 개방영역을 지나도록 이동하는 것을 특징으로 하는,
    롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기재인출샤프트는 상기 카세트바디가 수용되는 공정챔버의 내부공간에 수용되어, 상기 공정챔버의 내부공간에서 상기 가이드홀이 형성된 면에 대향하는 위치로부터 상기 가이드홀을 향해 이동하여 상기 카세트바디의 내부공간으로 삽입되게 구비되는 것을 특징으로 하는,
    롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가이드홀은 상기 개방영역의 전체 길이의 1/2의 지점에 위치하고,
    상기 개방영역으로부터 인출되는 기재의 일부 길이는 상기 기재인출샤프트를 기준으로 한 양측의 면적이 동일 면적을 갖는 길이인 것을 특징으로 하는,
    롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 공급롤러는 상기 기재의 공급하도록 회전하는 방향의 역방향으로의 회전이 가능하고,
    상기 회수롤러는 상기 기재를 회수하도록 회전하는 방향의 역방향으로의 회전이 가능하고,
    상기 공급롤러 및 회수롤러가 상기 역방향으로 회전하는 경우 상기 기재는 이전 공급방향의 역방향으로 공급방향이 전환되는 것을 특징으로 하는,
    롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 기재는 상기 기재인출샤프트를 통해 인출된 길이에서 상기 기재인출샤프트를 기준으로 상기 기재인출샤프트의 양측에 위치하는 제1 영역 및 제2 영역에 대해 디스플레이 백플레인 제조 공정이 동시 수행되어 처리되는 것을 특징으로 하는,
    롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 영역 및 제2 영역은 서로 다른 디스플레이 백플레인 제조 공정이 동시 수행되어 처리되는 것을 특징으로 하는,
    롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 카세트 캐리어는 플렉서블 기판을 이용한 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 제조에 이용되는 것을 특징으로 하는,
    롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어.
  9. 제1항의 카세트 캐리어;
    내부공간이 진공이고, 상기 카세트 캐리어를 상기 진공의 내부공간에 수용하는 공정챔버; 및
    상기 공정챔버의 내부공간에 수용되고, 상기 카세트 캐리어의 개방영역의 위로 이동 가능하게 구성되며, 상기 개방영역을 통해 카세트 캐리어로부터 인출되는 기재에 대하여 디스플레이 백플레인 제조 공정을 수행하는 적어도 하나의 공정 장비를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어를 이용한 디스플레이 백플레인 제조 설비.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 공정 장비는 복수이고,
    각각의 공정 장비는 상기 카세트 캐리어로부터 인출된 기재의 일부 길이의 서로 마주하는 제1 영역 및 제2 영역에 각각 대향되게 위치하여 디스플레이 백플레인 제조 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는,
    롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어를 이용한 디스플레이 백플레인 제조 설비.
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