KR101800159B1 - 롤 투 롤 장비 및 그를 이용한 플렉시블 기판 처리 방법 - Google Patents

롤 투 롤 장비 및 그를 이용한 플렉시블 기판 처리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 플렉시블 기판을 공급하는 공급롤; 상기 플렉시블 기판을 회수하는 회수롤; 상기 공급롤과 회수롤 사이에서 상기 플렉시블 기판에 대한 공정 진행을 위해서 상기 플렉시블 기판과 접촉하는 드럼을 포함하여 이루어지고, 상기 드럼의 표면에는 상기 플렉시블 기판에서 방출하는 가스를 배출하기 위한 적어도 하나의 가스 배출홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 롤 투 롤 장비 및 및 그를 이용한 플렉시블 기판 처리 방법에 관한 것으로서,
본 발명에 따르면, 드럼의 표면에 가스 배출홈이 형성되어 있기 때문에, 플렉시블 기판에서 방출되는 가스가 상기 가스 배출홈을 따라 이동하게 되어 상기 플렉시블 기판과 드럼 사이에 가스가 잔존하지 않게 된다. 따라서, 상기 플렉시블 기판이 상기 드럼 위로 들뜨는 등의 변형이 발생하지 않게 되어, 상기 플렉시블 기판 상에 균일한 박막층을 형성할 수 있다.

Description

롤 투 롤 장비 및 그를 이용한 플렉시블 기판 처리 방법{Roll to Roll Apparatus and Method for processing a Flexible Substrate using the same}
본 발명은 롤 투 롤(Roll to Roll) 장비에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 플렉시블 기판(Flexible substrate)에서 발생되는 가스를 용이하게 배출할 수 있는 롤 투 롤 장비에 관한 것이다.
롤 투 롤 장비는 고분자 필름과 같은 플렉시블 기판 상에 박막 트랜지스터 등과 같은 다양한 소자층을 패턴 형성할 수 있는 장비로서, 연속 공정 진행이 가능하기 때문에 기존의 배치식(Batch type) 장비에 비하여 많은 생산성 향상을 가져올 수 있는 이점이 있다.
롤 투 롤 장비는 프로세스가 진행될 플렉시블 기판을 공급하는 공급롤과 프로세스가 완료된 플렉시블 기판을 회수하는 회수롤을 포함하여 이루어지며, 상기 공급롤에서 회수롤로 이동하는 사이에서 상기 플렉시블 기판 상에 다양한 소자층을 패턴 형성하게 된다.
상기 공급롤과 회수롤 사이에는 소자층의 종류에 따라서 다양한 패턴 형성 장치가 구성될 수 있고, 일반적으로, 상기 패턴 형성 장치에는 스퍼터(Sputter)와 같은 고온의 박막 증착 장치가 포함된다.
한편, 고분자 필름을 이용하여 고온의 박막 증착 공정 등을 수행하게 되면, 고분자 필름의 특성상 필름에서 가스가 발생하게 되고, 그와 같은 가스를 적절히 배출하지 못할 경우 정밀한 박막 증착 공정이 이루어지지 못하게 되는 문제점이 있다.
이하 도면을 참조로 종래의 롤 투 롤(Roll to Roll) 장비의 문제점에 대해서 설명하기로 한다.
도 1은 종래의 롤 투 롤(Roll to Roll) 장비에서 박막 증착 장치의 구성을 도시한 개략도이다.
도 1에서 알 수 있듯이, 고분자 필름(10)이 공급롤 방향에서 회수롤 방향으로 이동하게 되고, 그 과정 중에 박막 증착 장치에 의해 상기 고분자 필름(10) 상에 소정의 박막층이 증착되게 된다.
상기 박막 증착 장치는 드럼(drum)(20) 및 소스 공급부(Source supply)(30)를 포함하여 이루어진다.
상기 고분자 필름(10)은 공급롤 방향에서 회수롤 방향으로 이동하다가 박막 증착 공정이 수행될 경우에는 상기 드럼(20)의 표면과 접촉한 상태로 이동을 멈추고, 이어서 상기 소스 공급부(30)에서 상기 고분자 필름(10)의 표면에 소스를 공급하여 상기 고분자 필름(10) 상에 박막층을 형성하게 된다.
그러나, 박막 증착과 같은 고온 상태에서는 상기 고분자 필름(10)에서 가스가 발생하게 되고, 그와 같은 가스는 상기 고분자 필름(10)과 상기 드럼(20) 사이의 공간으로 방출되게 된다. 따라서, 확대도에서 알 수 있듯이, 상기 고분자 필름(10)에서 방출된 가스가 상기 드럼(20)과 고분자 필름(10) 사이에 잔류하게 되어, 상기 고분자 필름(10)이 상기 드럼(20)으로부터 들뜨게 되는 등 변형을 일으키게 된다. 결국, 이와 같이 고분자 필름(10)이 변형됨으로 인해서, 상기 고분자 필름(10) 상에 균일한 박막층을 형성하기 어려운 문제점이 있다.
특히, 상기 고분자 필름(10)의 두께가 두꺼운 경우 방출되는 가스의 양이 많아져 상술한 바와 같은 변형으로 인한 균일한 박막층을 형성하기 어렵게 되는 문제점이 더 크게 된다.
또한, 일반적으로 박막 증착 공정은 진공하에서 수행하게 되는데, 상기와 같이 고분자 필름(10)에서 방출하는 가스로 인해서 장비 내의 진공도가 변경되고 또한 장비 내부 오염이 발생하여, 결국, 박막 증착 공정 조건 변경으로 인해 정밀한 박막층 형성이 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 고분자 필름에서 방출하는 가스를 효율적으로 배출함으로써 균일하고 정밀한 박막층을 형성할 수 있는 롤 투 롤 장비 및 그를 이용한 플렉시블 기판의 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 플렉시블 기판을 공급하는 공급롤; 상기 플렉시블 기판을 회수하는 회수롤; 상기 공급롤과 회수롤 사이에서 상기 플렉시블 기판에 대한 공정 진행을 위해서 상기 플렉시블 기판과 접촉하는 드럼을 포함하여 이루어지고, 상기 드럼의 표면에는 상기 플렉시블 기판에서 방출하는 가스를 배출하기 위한 적어도 하나의 가스 배출홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 롤 투 롤 장비를 제공한다.
상기 가스 배출홈은 상기 드럼의 폭 방향으로 기준으로 상기 드럼의 일단에서부터 상기 드럼의 타단까지 형성될 수 있다.
상기 가스 배출홈은 상기 드럼의 일단에서부터 타단까지 나선형으로 형성될 수 있다.
상기 드럼의 중앙부에 형성되는 가스 배출홈의 크기보다 상기 드럼의 단부에 형성되는 가스 배출홈의 크기가 클 수 있다.
상기 드럼의 정중앙에서 상기 드럼의 일단 및 타단으로 갈수록 상기 가스 배출홈의 크기가 점차로 증가될 수 있다.
상기 드럼의 일단부 및 타단부 중 적어도 하나에 가스를 포집하는 후드가 추가로 형성될 수 있고, 이때, 상기 후드는 상기 드럼의 원통 단면적보다 큰 단면적으로 가지도록 형성되고, 상기 후드에는 관통홀이 구비되어 있고, 상기 관통홀은 배기 펌프와 연결될 수 있다.
상기 플렉시블 기판을 중심으로 상기 드럼의 맞은편에는 기판 전처리용 가열 장치가 형성될 수도 있고, 박막 증착용 소스 공급 장치가 형성될 수도 있다.
본 발명은 또한, 공급롤에서 공급한 플렉시블 기판을 처리한 후 처리한 플렉시블 기판을 회수롤에서 회수하는 플렉시블 기판의 처리 방법에 있어서, 상기 방법은. 상기 플렉시블 기판을 제1 드럼에 접촉한 상태에서 가열 장치를 이용하여 상기 플렉시블 기판을 가열하여 상기 플렉시블 기판 내에 함유된 수분을 증발시키거나 가스를 제거하는 전처리 공정; 및 상기 전처리 공정 이후에 상기 플렉시블 기판을 제2 드럼에 접촉한 상태에서 소스 공급 장치를 이용하여 상기 플렉시블 기판 상에 박막층을 증착하는 박막 증착 공정을 포함하여 이루어지고, 이때, 상기 제1 드럼 및 제2 드럼 중 적어도 하나의 드럼은 그 표면에 적어도 하나의 가스 배출홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판의 처리 방법을 제공한다.
이상과 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 따르면, 드럼의 표면에 가스 배출홈이 형성되어 있기 때문에, 플렉시블 기판에서 방출되는 가스가 상기 가스 배출홈을 따라 이동하게 되어 상기 플렉시블 기판과 드럼 사이에 가스가 잔존하지 않게 된다. 따라서, 상기 플렉시블 기판이 상기 드럼 위로 들뜨는 등의 변형이 발생하지 않게 되어, 상기 플렉시블 기판 상에 균일한 박막층을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 드럼의 일단부 및 타단부로 이동한 가스를 후드를 이용하여 포집한 후 강제로 외부로 배출할 수 있기 때문에, 상기 플렉시블 기판에서 방출되는 가스로 인해서 장비 내부의 진공도가 변경될 우려가 적고 또한 장비 내부가 오염될 가능성도 줄어들게 되다. 따라서, 박막 증착 공정 조건 등의 변경이 최소화되어 상기 플렉시블 기판 상에 정밀한 박막층을 형성할 수 있다.
도 1은 종래의 롤 투 롤(Roll to Roll) 장비에서 박막 증착 장치의 구성을 도시한 개략도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 투 롤(Roll to Roll) 장비에 사용되는 드럼(drum)의 개략적인 사시도이고, 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 투 롤 장비에 사용되는 드럼(drum)의 개략적인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤 투 롤 장비(Roll to Roll)에 사용되는 드럼(drum)의 개략적인 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 투 롤(Roll to Roll) 장비의 개략도이다.
이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 투 롤(Roll to Roll) 장비에 사용되는 드럼(drum)의 개략적인 사시도이고, 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 투 롤 장비에 사용되는 드럼(drum)의 개략적인 단면도이다.
도 2a 및 도 2b에서 알 수 있듯이, 고분자 필름과 같은 플렉시블 기판(S)은 공급롤 방향에서 회수롤 방향으로 이동하게 되고, 그 이동 과정 중 원통형의 드럼(100)과 접촉한 상태에서 박막 증착 공정과 같은 다양한 공정이 진행된다.
여기서, 상기 원통형의 드럼(100)이 반드시 박막 증착 공정만을 위해 적용되는 것은 아니고, 기판 전처리 공정 또는 롤 인쇄 공정 등 다양한 공정을 위해 롤 투 롤 장비에 적용될 수 있다.
상기 드럼(100)은 플렉시블 기판(S)이 감겨 이동할 수 있도록 소정의 폭(W), 즉, 플렉시블 기판(S)의 폭과 같거나 다소 큰 폭(W)으로 형성되어 있다.
상기 드럼(100)의 표면에는 적어도 하나, 바람직하게는 복수 개의 가스 배출홈(110)이 형성되어 있다. 따라서, 상기 플렉시블 기판(S)에서 방출되는 가스가 상기 플렉시블 기판(S)과 드럼(100) 사이에서 잔류하지 않고 상기 가스 배출홈(110)을 따라 이동하여 외부로 배출되게 되며, 그에 따라, 상기 플렉시블 기판(S)이 상기 드럼(100)으로부터 들떠 변형이 발생하지 않게 된다. 이와 같이 상기 플렉시블 기판(S)이 변형되지 않기 때문에, 결국 상기 플렉시블 기판(S) 상에 균일한 박막층을 형성할 수 있게 된다.
상기 가스 배출홈(110)은 상기 드럼(100)의 폭(W) 방향으로 기준으로 상기 드럼(100)의 일단(T1)에서부터 상기 드럼의 타단(T2)까지 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 플렉시블 기판(S)에서 방출되는 가스가 상기 가스 배출홈(110)을 따라 상기 드럼(100)의 일단(T1) 또는 타단(T2)으로 이동하여 배출될 수 있도록 하기 위해서, 상기 가스 배출홈(110)은 상기 드럼(100)의 일단(T1)에서부터 타단(T2)까지 형성되는 것이 바람직하다.
상기 가스 배출홈(110)은 상기 드럼(100)의 일단(T1)에서부터 타단(T2) 까지 나선형(helical)으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 플렉시블 기판(S)이 상기 드럼(100)의 표면을 따라 이동하는 것을 고려할 때, 상기 가스 배출을 보다 용이하게 하기 위해서는 상기 가스 배출홈(110)을 상기 드럼(100)의 표면에서 나선형으로 형성하는 것이 유리할 수 있다.
다만, 상기 가스 배출홈(110)이 반드시 나선형으로 형성되는 것은 아니고, 경우에 따라서 상기 드럼(100)의 일단(T1)에서부터 타단(T2)까지 직선형으로 형성될 수도 있다. 또는, 상기 가스 배출홈(110)을 상기 드럼(100)의 표면에서 메쉬(mesh) 형상으로 형성할 수도 있다.
상기 가스 배출홈(110)은 상기 드럼(100)의 중앙부(A) 및 단부(B) 사이에서 그 크기를 다르게 형성할 수 있다. 즉, 상기 드럼(100)의 중앙부(A)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 크기보다 상기 드럼(100)의 단부(B)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 크기를 보다 크게 형성함으로써, 플렉시블 기판(S)에서 방출되는 가스를 보다 용이하게 배출할 수 있다.
특히, 상기 드럼(100)의 정중앙에서 상기 드럼(100)의 일단(T1) 및 타단(T2)으로 갈수록 상기 가스 배출홈(110)의 크기를 점차로 크게 증가시킬 수 있다.
여기서, 상기 가스 배출홈(110)의 크기는 상기 가스 배출홈(110)의 폭 및/또는 깊이를 의미하는 것이다. 즉, 상기 드럼(100)의 중앙부(A)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 폭보다 상기 드럼(100)의 단부(B)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 폭을 보다 크게 형성할 수도 있고, 상기 드럼(100)의 중앙부(A)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 깊이보다 상기 드럼(100)의 단부(B)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 깊이를 보다 크게 형성할 수도 있고, 상기 드럼(100)의 중앙부(A)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 폭 및 깊이보다 상기 드럼(100)의 단부(B)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 폭 및 깊이를 보다 크게 형성할 수도 있다.
다만, 상기 가스 배출홈(110)의 크기가 커짐으로 인해서 상기 드럼(100)과 접촉하는 플렉시블 기판(S)에 변형이 가해져서는 안되며, 따라서, 상기 가스 배출홈(110)의 크기는 플렉시블 기판(S) 변형을 일으키지 않을 정도로 제한되어야 한다.
이와 같은 가스 배출홈(110)은 드럼(100)의 표면에 레이저 가공을 수행하거나 화학적 에칭을 수행하여 형성할 수도 있고, 임프린팅(Imprinting) 공정을 이용하여 형성할 수도 있다.
이상과 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, 드럼(100)의 표면에 가스 배출홈(110)이 형성되어 있기 때문에, 플렉시블 기판(S)에서 방출되는 가스가 상기 가스 배출홈(110)을 따라 이동하게 되어 상기 플렉시블 기판(S)과 드럼(100) 사이에 가스가 잔존하지 않게 된다. 따라서, 상기 플렉시블 기판(S)이 상기 드럼(100) 위로 들뜨는 등의 변형이 발생하지 않게 된다.
특히, 본 발명에 따르면, 플렉시블 기판(S)에서 방출되는 가스로 인해서 기판 변형의 문제가 발생하지 않기 때문에, 플렉시블 기판(S)의 두께를 두껍게 형성할 수 있어, 다양한 응용제품 제조에 적용할 수 있는 장점이 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤 투 롤 장비(Roll to Roll)에 사용되는 드럼(drum)의 개략적인 사시도이다.
도 3에 도시한 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 드럼(100)의 일단부 및 타단부에 가스를 포집하는 후드(Hood)(200)를 추가로 형성한 것을 제외하고, 상기 드럼(100)의 구체적인 구성은 전술한 도 2a 및 도 2b에 도시한 실시예와 동일하다.
도 3에서 알 수 있듯이, 플렉시블 기판(S)은 원통형의 드럼(100)과 접촉한 상태에서 박막 증착 공정과 같은 다양한 공정이 진행되며, 이때, 상기 드럼(100)의 표면에는 가스 배출홈(110)이 형성되어 있다.
상기 가스 배출홈(110)은 전술한 실시예에서와 마찬가지로, 상기 드럼(100)의 폭(W) 방향으로 기준으로 상기 드럼(100)의 일단(T1)에서부터 상기 드럼의 타단(T2)까지 형성되며, 상기 드럼(100)의 일단(T1)에서부터 타단(T2) 까지 나선형(helical)으로 형성될 수 있으며, 상기 드럼(100)의 중앙부(A)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 크기보다 상기 드럼(100)의 단부(B)에 형성되는 가스 배출홈(110)의 크기를 보다 크게 형성할 수 있다.
상기 드럼(100)의 일단부 및 타단부에는 후드(Hood)(200)가 형성되어 있다.
상기 후드(200)는 상기 드럼(100)의 일단부 및 타단부로 이동하는 가스를 포집함으로써, 상기 가스를 외부로 보다 용이하게 배출할 수 있도록 하는 것이다. 따라서, 상기 후드(200)가 반드시 상기 드럼(100)의 일단부 및 타단부 모두에 형성되어야 하는 것은 아니지만, 양자 모두에 형성되는 것이 바람직하다.
상기 후드(200)는 상기 드럼(100)의 원통 단면보다 크도록, 즉, 상기 드럼(100)의 원통 단면적보다 큰 단면적으로 가지도록 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 플렉시블 기판(S)에서 방출된 가스는 상기 드럼(100)의 표면에 형성된 가스 배출홈(110)을 따라 이동하기 때문에, 상기 가스에 대한 포집율을 높이기 위해서는 상기 후드(200)를 상기 드럼(100)의 원통 단면적보다 크게 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 후드(200)에는 관통홀(210)이 구비되어 있고, 상기 관통홀(210)은 배기 펌프(미도시)와 연결되어 있다. 따라서, 포집된 가스는 상기 관통홀(210)을 통해 외부로 배출된다.
이와 같이, 도 3에 도시한 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 드럼(100)의 일단부 및 타단부로 이동한 가스를 상기 후드(200)를 이용하여 포집한 후 강제로 외부로 배출할 수 있기 때문에, 상기 플렉시블 기판(S)에서 방출되는 가스로 인해서 장비 내부의 진공도가 변경될 우려가 적고 또한 장비 내부가 오염될 가능성도 줄어들게 되다. 따라서, 박막 증착 공정 조건 등의 변경이 최소화되어 상기 플렉시블 기판(S) 상에 정밀한 박막층 형성이 가능하게 된다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 투 롤(Roll to Roll) 장비의 개략도이다.
도 4에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 투 롤 장비는, 공급롤(300), 회수롤(400), 다수의 가이드롤(510, 520, 530, 540, 550), 드럼(100a, 100b), 가열장치(600), 및 소스(source) 공급 장치(700)를 포함하여 이루어진다.
상기 공급롤(300)은 처리될 플렉시블 기판(S)을 공급하는 역할을 하고, 상기 회수롤(500)은 처리가 완료된 플렉시블 기판을 회수하는 역할을 한다. 즉, 플렉시블 기판(S)은 상기 공급롤(300)에서 상기 회수롤(500)로 이동하면서 감겨지고, 상기 이동 중에 그 표면 상에 박막층 형성 공정이 이루어진다.
상기 다수의 가이드롤(510, 520, 530, 540, 550)은 상기 공급롤(300)과 상기 회수롤(400) 사이에서 플렉시블 기판(S)의 원활한 이동을 가이드하는 역할을 하는 것으로서, 그 형성 위치 및 그 형성 개수 등은 적절히 변경될 수 있다.
상기 드럼(100a, 100b)은 제1 드럼(100a), 및 제2 드럼(100b)을 포함하여 이루어지는데, 상기 제1 드럼(100a)은 상기 가열 장치(600)와 마주하고 있고, 상기 제2 드럼(100b)은 상기 소스(source) 공급 장치(700)와 마주하고 있다.
즉, 플렉시블 기판(S)을 중심으로 상기 제1 드럼(100a)의 맞은편에는 상기 가열 장치(600)가 형성되어 있고, 플렉시블 기판(S)을 중심으로 상기 제2 드럼(100b)의 맞은편에는 상기 소스 공급 장치(700)가 형성되어 있다.
상기 가열 장치(600)는 기판 전처리용 가열장치로서 IR 히터로 이루어질 수 있다. 이와 같은 가열 장치(600)는 상기 플렉시블 기판(S)을 가열함으로써, 상기 플렉시블 기판(S) 내부에 함유되어 있는 수분 또는 가스를 외부로 증발 또는 방출시키는 역할을 한다. 즉, 플렉시블 기판(S)은 일반적인 유리 기판에 비하여 수분이나 가스를 쉽게 흡수하는 특성이 있기 때문에, 박막 증착 공정을 수행하기 이전에, 플렉시블 기판(S) 내부에 포함되어 있는 수분 또는 가스를 외부로 증발 또는 방출시키는 것이다.
이와 같은 가열 장치(600)를 이용하여 플렉시블 기판(S)을 가열함에 있어서, 상기 플렉시블 기판(S)은 상기 제1 드럼(100a)에 접촉되어 있는 상태를 유지하게 되는데, 이때, 상기 제1 드럼(100a)으로서 전술한 도 2a 및 도 2b에 도시한 바와 같이, 그 표면에 가스 배출홈(110)이 형성된 원통형의 드럼(100)을 이용함으로써 상기 가열 장치(600)를 이용한 전처리 공정시 플렉시블 기판(S)의 변형을 방지할 수 있다.
또한, 상기 제1 드럼(100a)으로서 전술한 도 3에 도시한 바와 같이 그 표면에 가스 배출홈(110)이 형성된 원통형의 드럼(100)과 더불어 상기 드럼(100)의 일단부 및 타단부에 가스를 포집하여 외부로 배출시키기 위한 후드(200)가 형성된 구조를 적용할 수도 있다.
상기 소스(source) 공급 장치(700)는 플렉시블 기판(S) 상에 박막층을 증착하기 위한 박막 증착용 장치로서, 스퍼터(sputter) 장치로 이루어질 수 있다.
이와 같은 소스 공급 장치(700)를 이용하여 플렉시블 기판(S) 상에 박막층을 증착함에 있어서, 상기 플렉시블 기판(S)은 상기 제2 드럼(100b)에 접촉되어 있는 상태를 유지하게 되는데, 이때, 상기 제2 드럼(100b)으로서 전술한 도 2a 및 도 2b에 도시한 바와 같이, 그 표면에 가스 배출홈(110)이 형성된 원통형의 드럼(100)을 이용함으로써, 상기 소스 공급 장치(700)를 이용한 박막 증착 공정시 플렉시블 기판(S)의 변형을 방지하여 균일한 박막층이 증착되도록 할 수 있다.
또한, 상기 제2 드럼(100b)으로서 전술한 도 3에 도시한 바와 같이 그 표면에 가스 배출홈(110)이 형성된 원통형의 드럼(100)과 더불어 상기 드럼(100)의 일단부 및 타단부에 가스를 포집하여 외부로 배출시키기 위한 후드(200)가 형성된 구조를 적용할 수도 있다.
한편, 이상과 같이, 상기 가열 장치(600)와 마주하는 제1 드럼(100a) 및 상기 소스 공급 장치(700)와 마주하는 제2 드럼(100b) 모두, 전술한 도 2a 및 도 2b에 따른 구조 또는 전술한 도 3에 따른 구조로 이루어질 수도 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 상기 소스 공급 장치(700)와 마주하는 제2 드럼(100b)은 전술한 도 2a 및 도 2b에 따른 구조 또는 전술한 도 3에 따른 구조로 형성하고, 상기 가열 장치(600)와 마주하는 제1 드럼(100a)은 가스 배출홈(110)이 구비되지 않은 일반적인 드럼으로 형성할 수도 있다. 경우에 따라서는 그 반대로 할 수도 있다.
100: 드럼 100a, 100b: 제1 드럼, 제2 드럼
110: 가스 배출홈 200: 후드
210: 관통홀 300: 공급롤
400: 회수롤
510, 520, 530, 540, 550: 다수의 가이드롤
600: 가열장치 700: 소스 공급 장치

Claims (10)

  1. 플렉시블 기판을 공급하는 공급롤;
    상기 플렉시블 기판을 회수하는 회수롤;
    상기 공급롤과 회수롤 사이에서 상기 플렉시블 기판에 대한 공정 진행을 위해서 상기 플렉시블 기판과 접촉하는 드럼을 포함하여 이루어지고,
    상기 드럼의 표면에는 상기 플렉시블 기판에서 방출하는 가스를 배출하기 위한 적어도 하나의 가스 배출홈이 형성되어 있고,
    상기 드럼의 일단부 및 타단부 중 적어도 하나에, 가스를 포집하는 후드가 상기 드럼과 이격되어 형성되어 있으며,
    상기 후드는 상기 드럼의 원통 단면적보다 큰 단면적을 가지도록 형성되고, 상기 후드에는 관통홀이 구비되어 있으며, 상기 관통홀은 배기 펌프와 연결되어 있는, 롤 투 롤 장비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가스 배출홈은 상기 드럼의 폭 방향을 기준으로 상기 드럼의 일단에서부터 상기 드럼의 타단까지 형성된, 롤 투 롤 장비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가스 배출홈은 상기 드럼의 일단에서부터 타단까지 나선형으로 형성된, 롤 투 롤 장비.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 드럼의 중앙부에 형성되는 가스 배출홈의 크기보다 상기 드럼의 단부에 형성되는 가스 배출홈의 크기가 큰, 롤 투 롤 장비.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 드럼의 정중앙에서 상기 드럼의 일단 및 타단으로 갈수록 상기 가스 배출홈의 크기가 점차로 증가되는, 롤 투 롤 장비.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 플렉시블 기판을 중심으로 상기 드럼의 맞은편에는 기판 전처리용 가열 장치가 형성되어 있는, 롤 투 롤 장비.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 플렉시블 기판을 중심으로 상기 드럼의 맞은편에는 박막 증착용 소스 공급 장치가 형성되어 있는, 롤 투 롤 장비.
  10. 공급롤에서 공급한 플렉시블 기판을 처리한 후 처리한 플렉시블 기판을 회수롤에서 회수하는 플렉시블 기판의 처리 방법에 있어서, 상기 방법은
    상기 플렉시블 기판을 제1 드럼에 접촉한 상태에서 가열 장치를 이용하여 상기 플렉시블 기판을 가열하여 상기 플렉시블 기판 내에 함유된 수분을 증발시키거나 가스를 제거하는 전처리 공정; 및
    상기 전처리 공정 이후에 상기 플렉시블 기판을 제2 드럼에 접촉한 상태에서 소스 공급 장치를 이용하여 상기 플렉시블 기판 상에 박막층을 증착하는 박막 증착 공정을 포함하여 이루어지고,
    이때, 상기 제1 드럼 및 제2 드럼 중 적어도 하나의 드럼에는, 그 표면에 적어도 하나의 가스 배출홈이 형성되어 있고, 가스를 포집하는 후드가 상기 제1 드럼 및 제2 드럼 중 적어도 하나의 드럼과 이격되어 형성되며, 상기 후드에는 관통홀이 구비되어 있고, 상기 관통홀은 배기 펌프와 연결되어 있는, 플렉시블 기판의 처리 방법.
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