KR20150068508A - 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법 - Google Patents

금속-탄소 복합 입자의 제조 방법 Download PDF

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KR20150068508A KR1020130153544A KR20130153544A KR20150068508A KR 20150068508 A KR20150068508 A KR 20150068508A KR 1020130153544 A KR1020130153544 A KR 1020130153544A KR 20130153544 A KR20130153544 A KR 20130153544A KR 20150068508 A KR20150068508 A KR 20150068508A
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Abstract

금속-탄소 복합 입자의 제조 방법이 제공된다. 상기 방법은, 금속 입자의 외면에 폴리머가 코팅된 베이스 입자(base particle)를 준비하는 단계, 및 상기 베이스 입자를 열처리하여 상기 금속 입자의 상기 외면에 코팅된 상기 폴리머를 탄소층으로 변환시키는 단계를 포함한다. 이에 따라, 생산 공정이 간소화되고, 생산 단가가 감소된 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법이 제공될 수 있다.

Description

금속-탄소 복합 입자의 제조 방법{Method of fabricating metal-carbon composite particle}
본 발명은 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 관련된 것으로, 보다 상세하게는, 금속 입자의 외면에 코팅된 폴리머를 탄소층으로 변환시킨 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 관련된 것이다.
나노 입자는 크기가 수 nm에서 수백 nm 크기의 넓은 표면적을 갖는 입자를 의미한다. 나노 입자는 나노 스케일에서 물질을 조작 및 제어하기 때문에, 기준 물질과 다른 새로운 물리적/화학적 특성을 기대할 수 있어, 기존 물질의 한계를 극복할 수 있는 차세대 재료로 각광받고 있다.
이에 따라, 나노 입자는 바이오 센서, 차세대 디스플레이의 발광체, 테라비트급 하드 드라이브, 태양 전지, 잉크젯 프리팅의 잉크 원료 등 다양한 분야의 기술이 상용화되기 위해 필요한 핵심 신소재이다.
대한민국 특허공개 공보 10-2011-0038430(출원번호 10-2009-0095716)에 개시된 것과 같이, 금속 나노 입자를 간편하고 효율적으로 생산하기 위해, 금속 전구체와 고분자 화합물을 용매에 교반시켜 혼합물/착화합물을 제조하고, 제조된 혼합물/착화합물에 전자빔을 조사하는 기술들이 개발되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 대량생산이 가능한 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 생성 공정이 간소화된 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 생산 단가가 감소된 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
상술된 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법을 제공한다.
상기 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법은, 금속 입자의 외면에 폴리머가 코팅된 베이스 입자(base particle)를 준비하는 단계, 및 상기 베이스 입자를 열처리하여, 상기 금속 입자의 외면에 코팅된 상기 폴리머를 탄소층으로 변환시키는 단계를 포함한다.
상기 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법은, 상기 베이스 입자를 열처리하기 전, 상기 베이스 입자에, 상기 베이스 입자 사이의 네킹(necking)을 방지하는 보조 용액을 공급하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 보조 용액은, 상기 폴리머를 포함하는 용액을 포함할 수 있다.
상기 폴리머는 탄소 백본(carbon backbone)을 갖는 것을 포함할 수 있다.
상기 폴리머는 폴리비닐피로리돈(polyvinylpyrrolidone, PVP), 폴리스티렌(polystyrene, PS), 폴리아크릴로나이트릴(polyacrylonitrile, PAN), 또는 폴리메틸메타크릴레이트(polymethyl methacrylate, PMMA) 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 베이스 입자를 열처리하는 것은, 화학기상증착(CVD) 장비를 이용하여 수행되는 것을 포함할 수 있다.
상기 탄소층은 그래핀(graphene)을 포함할 수 있다.
상기 금속 입자는 전이 금속(transition metal)을 포함할 수 있다.
상기 금속 입자는 구리(Cu)를 포함할 수 있다.
상기 베이스 입자는 800~900℃ 온도로 열처리되는 것을 포함할 수 있다.
상기 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법은, 용기 내에 상기 폴리머 및 환원제를 포함하는 용액을 준비하는 단계, 금속 원소를 포함하는 용액을 상기 용기 내에 공급하는 단계, 상기 용기를 열처리하여 상기 금속 원소를 포함하는 금속 입자의 외면에 상기 폴리머가 코팅된 베이스 입자를 생성하는 단계, 및 상기 베이스 입자를 열처리하여 상기 금속 입자의 외면에 코팅된 상기 폴리머를 탄소층으로 변환시키는 단계를 포함한다.
상기 환원제는 복수의 수산기를 갖는 화합물을 포함할 수 있다.
상기 용기는, 상기 베이스 입자를 열처리하는 온도보다 낮은 온도에서 열처리되는 것을 포함할 수 있다.
상기 금속 원소를 포함하는 용액은, 상기 용기 내에 점적(點滴, dipping)되는 것을 포함할 수 있다.
상기 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법은, 상기 베이스 입자를 열처리하기 전, 상기 베이스 입자에, 상기 베이스 입자 사이의 네킹(necking)을 방지하는 보조 용액을 공급하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법은, 금속 입자의 외면에 폴리머가 코팅된 베이스 입자에 대해 열처리 공정이 수행된다. 열처리 공정으로 인해, 상기 폴리머를 탄소층으로 변환되어, 탄소층이 코팅된 금속 입자가 제공될 수 있다. 이에 따라, 생산 공정이 간소화되고, 생산 단가가 감소된 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법이 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따른 제조 공정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 3a 및 도 3b는 각각 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 제조된 베이스 입자 및 금속-탄소 복합 입자의 TEM 사진이다.
도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 제조된 베이스 입자 및 금속-탄소 복합 입자의 XPS 결과를 나타내는 그래프이다.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 제조된 베이스 입자 및 금속-탄소 복합 입자의 라만 분광분석 결과를 나타내는 그래프이다.
도 6a 는 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에서 보조 용액이 도포되지 않고 열처리 공정이 수행된 베이스 입자의 TEM 사진이다.
도 6b는 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 보조 용액이 도포된 후 열처리 공정이 수행된 베이스 입자의 TEM 사진이다.
도 7a 및 도 7b는 각각 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 제조된 베이스 입자의 열처리 시간을 달리하여 제조된 금속-탄소 복합 입자의 SEM 사진이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 막 또는 기판상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 막 또는 기판상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 막이 개재될 수도 있다는 것을 의미한다.
또한, 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따른 제조 공정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 1 및 도 2a를 참조하면, 기판(SUB) 상에 베이스 입자(130, base particle)이 준비된다. 상기 베이스 입자(130)는 금속 입자(110), 및 상기 금속 입자(110)의 외면에 코팅된 폴리머(120)를 포함할 수 있다.
상기 금속 입자(110)는 전이 금속(transition metal)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 금속 입자(110)는 구리(Cu), 아연(Zn), 텅스텐(W) 등을 포함할 수 있다.
상기 폴리머(120)는 탄소 백본(carbon backbone)을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 폴리머(120)는 폴리비닐피로리돈(polyvinylpyrrolidone, PVP), 폴리스티렌(polystyrene, PS), 폴리아크릴로나이트릴(polyacrylonitrile, PAN), 또는 폴리메틸메타크릴레이트(polymethyl methacrylate, PMMA) 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 베이스 입자(130)는, 상술된 것과 같이, 구리 입자, 및 상기 구리 입자의 외면에 코팅된 PVP층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 구리 입자의 직경은 약 100nm이고, 상기 구리 입자의 외면에 코팅된 상기 PVP층의 두께는 약 10nm일 수 있다.
상기 베이스 입자(130)를 준비하는 것은, 용기 내에 상기 폴리머(120) 및 환원제를 포함하는 용액을 준비하는 단계(S110), 금속 원소를 포함하는 용액을 상기 용기 내에 공급하는 단계(S120), 및 상기 용기를 열처리하여 상기 금속 원소를 포함하는 상기 금속 입자(110) 및 상기 금속 입자(110)의 상기 외면에 코팅된 상기 폴리머(120)를 포함하는 상기 베이스 입자(130)를 생성하는 단계(S130)를 포함할 수 있다.
상기 환원제는 복수의 수산기(hydroxyl)를 갖는 화합물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 환원제는 에틸렌글리콜(Ethlylene glycol), 프로필렌글리콜(Diethlylene glycol), 또는 테트라메틸렌글리콜(Trimethylolethane) 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 환원제와 다른 종류의 추가 환원제가 상기 용기 내에 더 준비될 수 있다. 예를 들어, 상기 추가 환원제는 NaH2PO2H2O 일 수 있다.
상기 금속 원소를 포함하는 용액은, 상기 용기 내에 점적(點滴, dipping)되어 공급될 수 있다. 상기 금속 원소를 포함하는 용액이 상기 용기 내에 점적되어, 상기 금속 입자(110)의 크기가 제어될 수 있고, 고온 상태의 상기 용기 내의 용액에 상기 금속 원소를 포함하는 용액이 용이하게 공급될 수 있다. 예를 들어, 상기 금속 원소를 포함하는 용액은 황산구리 용액과 초순수(DI water)가 혼합된 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 금속 원소를 포함하는 용액은 분당 8ml씩 5분 동안 상기 용기 내에 점적될 수 있다.
상기 금속 원소를 포함하는 용액이 공급된 후, 상기 용기는 일정 시간 동안 열처리될 수 있다. 예를 들어, 상기 용기가 약 200℃로 약 1시간 동안 열처리되어, 상기 베이스 입자(130)가 생성될 수 있다.
상기 금속 원소를 포함하는 용액이 상기 용기 내에 점적되는 동안, 그리고 상기 용기가 열처리되는 동안, 마그네틱 바(magnetic bar) 또는 초음파 진동 등을 이용하여, 상기 용기 내의 용액이 교반될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 폴리머(120) 및 상기 환원제를 포함하는 용액에 상기 금속 원소를 포함하는 용액을 공급한 후, 열처리를 수행하여 상기 베이스 입자(130)가 제조될 수 있다. 이에 따라, 금속 입자를 제조하는 공정, 및 상기 금속 입자에 폴리머를 코팅하는 공정을 개별적으로 진행하지 않더라도, 1회의 단위 공정(unit process)으로, 상기 금속 입자(110)의 상기 외면에 상기 폴리머(120)가 코팅된 상기 베이스 입자(130)가 제조될 수 있다. 이로 인해, 상기 베이스 입자(130)의 제조 공정이 간소화될 수 있고, 제조 단가가 감소될 수 있다.
도 1 및 도 2b를 참조하면, 상기 기판(SUB) 상의 상기 베이스 입자(130)에 보조 용액(140)이 도포될 수 있다. 상기 보조 용액(140)은, 후속 열처리 공정에서 상기 베이스 입자(130) 사이의 네킹(necking)을 최소화하고, 상기 베이스 입자(130)가 산화되는 것을 최소화시킬 수 있다.
상기 보조 용액(140)은 상기 금속 입자(110)에 코팅된 상기 폴리머(120)를 포함하는 용액일 수 있다. 예를 들어, 상기 폴리머(120)가 PVP인 경우, 상기 보조 용액(140)은 PVP를 포함하는 용액일 수 있다.
도 1 및 도 2c를 참조하면, 상기 베이스 입자(130)를 열처리하여, 상기 금속 입자(110)의 상기 외면에 코팅된 상기 폴리머(120)가 탄소층(122)으로 변환될 수 있다. 이에 따라, 상기 금속 입자(110)의 상기 외면에 상기 탄소층(122)이 코팅된 금속-탄소 복합 입자(132)가 제조될 수 있다. 상기 폴리머(120)가 변환된 상기 탄소층(122)은 그래핀(graphene)일 수 있다. 상기 탄소층(122)의 두께는, 상기 폴리머(120)의 두께보다 얇을 수 있다.
화학기상증착(CVD) 챔버 내에 상기 베이스 입자(130)가 배치된 상기 기판(SUB)이 인입되어, 상기 베이스 입자(130)가 열처리될 수 있다. 상기 베이스 입자(130)는 2~3분간 열처리된 후, 급속 냉각될 수 있다.
상기 금속-탄소 복합 입자(132)를 제조하기 위해 상기 베이스 입자(130)가 열처리되는 온도는, 상기 베이스 입자(130)를 제조하기 위해 상기 용기가 열처리되는 온도보다 높을 수 있다. 예를 들어, 상기 베이스 입자(130)가 열처리되는 온도는 800~900℃이고, 상기 용기가 열처리되는 온도는 200℃일 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 베이스 입자(130)가 열처리 되고, 열처리가 수행된 상기 베이스 입자(130)의 상기 폴리머(120)가 상기 탄소층(122)으로 변환되어, 상기 탄소층(122)으로 코팅된 상기 금속 입자(110)를 포함하는 상기 금속-탄소 복합 입자(132)가 제조될 수 있다. 이에 따라, 상기 금속-탄소 복합 입자(132)의 생산 공정이 간소화되고, 생산 단가가 감소될 수 있다. 또한, 생산공정 간소화 및 생산 단가 감소로 인해, 상기 금속-탄소 복합 입자(132)의 대량 생산이 가능해질 수 있다.
도 3a 는 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 제조된 베이스 입자의 TEM 사진이고, 도 3b는 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 제조된 금속-탄소 복합 입자의 TEM 사진이다.
도 3a를 참조하면, PVP 1.6g, 디에틸글리콜 223.6ml, 및 NaH2PO2H2O 0.36g을 용기 내에 준비하고, 상기 용기 내에 CuSO45H2O 1g 및 초순수 27.4ml를 포함하는 용액을 분당 8ml를 점적하고, 1시간 동안 200℃에서 열처리를 수행하여, 구리입자의 외면에 PVP가 코팅된 베이스 입자를 제조하였다. 상기 구리 입자의 직경은 대략 100nm로 측정되었고, PVP의 두께는 약 10nm인 것을 확인할 수 있다.
도 3b를 참조하면, 도 3a에서 제조된 베이스 입자를 아르곤(Ar) 및 수소(H2) 분위기에서 열처리를 수행하여, 금속-탄소 복합 입자를 제조하였다. 상기 열처리는 900℃의 온도에서 5분간 수행되었으며, 승온 속도는 분당 60℃로 설정하였다. 상기 구리 입자의 외면에 코팅된 PVP가 약 2nm 두께의 그래핀으로 변환된 것을 확인할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 제조된 베이스 입자 및 금속-탄소 복합 입자의 XPS 결과를 나타내는 그래프들이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 도 4a는 도 3a를 참조하여 설명된 베이스 입자의 XPS 결과이고, 도 4b는 도 3b를 참조하여 설명된 금속-탄소 복합 입자의 XPS 결과이다. C-N 결합의 peak intensity에 대한 C-C 결합의 peak intensity의 비율을 peak intensity ratio(C-C peak intensity/C-N peak intensity)로 정의하여, 베이스 입자의 peak intensity ratio와 금속-탄소 복합 입자의 peak intensity ratio를 측정하였다.
베이스 입자의 peak intensity ratio는 3.78로 측정되었고, 금속-탄소 복합 입자의 peak intensity ratio는 4.15로 측정되었다. 열처리가 수행된 후 peak intensity ratio가 0.37 증가된 것을 확인할 수 있다. 즉, PVP의 C-N 결합이 끊어져, 구리 입자에 코팅된 PVP가 그래핀으로 변환된 것을 확인할 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 제조된 베이스 입자 및 금속-탄소 복합 입자의 라만 분광분석 결과를 나타내는 그래프들이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 도 5a는 도 3a를 참조하여 설명된 베이스 입자의 라만 분광분석 결과이고, 도 5b는 도 3b를 참조하여 설명된 금속-탄소 복합 입자의 라만 분광분석 결과이다. 도 5a 및 도 5b에서 알 수 있듯이, 베이스 입자에 대한 라만 분광분석 그래프에서는 그래핀을 나타내는 peak가 발견되지 않지만, 베이스 입자에 열처리 공정이 수행된 후에는 그래핀을 나타내는 peak가 발견된다. 이에 따라, 구리 입자에 코팅된 PVP가 열처리에 의해 그래핀으로 변환된 것을 확인할 수 있다.
도 6a는 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에서 보조 용액이 도포되지 않고 열처리 공정이 수행된 베이스 입자의 TEM 사진이고, 도 6b는 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 보조 용액이 도포된 후 열처리 공정이 수행된 베이스 입자의 TEM 사진이다.
도 6a를 참조하면, 도 3a를 참조하여 설명된 베이스 입자에 500℃ 온도에서 5분간 열처리 공정을 수행하였다. 보조 용액이 첨가되지 않고 열처리 공정이 수행된 경우 구리 입자 사이에 네킹(necking)이 발생되었고, 구리 입자가 산화된 것을 확인할 수 있다.
도 6b를 참조하면, 도 3a를 참조하여 설명된 베이스 입자에 PVP 용액을 30 wt% 도포한 후, 500℃ 온도에서 5분간 열처리 공정을 수행하였다. PVP 용액이 베이스 입자에 도포된 경우, PVP 용액이 구리입자 표면으로 전달되는 열의 일부를 차단하고, 구리 입자가 산소의 영향을 덜 받게 되어, 구리 입자 사이에 네킹이 방지되고, 구리 입자의 산화가 방지되는 것을 확인할 수 있다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 실시 예에 따른 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법에 따라 제조된 베이스 입자의 열처리 시간을 달리하여 제조된 금속-탄소 복합 입자의 SEM 사진이다.
도 7a 및 도 4b를 참조하면, 도 7a는 베이스 입자를 아르곤(Ar) 및 수소(H2) 분위기에서 3분간 열처리한 것이다. 도 7b는 도 7a와 동일한 조건에서 베이스 입자를 2분간 열처리한 것이다. 열처리 공정 시간이 증가할수록, 금속-탄소 입자 사이의 네킹(necking)이 증가되는 것을 확인할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
SUB: 기판
110: 금속 입자
120: 폴리머
122: 탄소층
130: 베이스 입자
132: 금속-탄소 복합 입자
140: 보조 용액

Claims (15)

  1. 금속 입자의 외면에 폴리머가 코팅된 베이스 입자(base particle)를 준비하는 단계; 및
    상기 베이스 입자를 열처리하여, 상기 금속 입자의 상기 외면에 코팅된 상기 폴리머를 탄소층으로 변환시키는 단계를 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 베이스 입자를 열처리하기 전,
    상기 베이스 입자에, 상기 베이스 입자 사이의 네킹(necking)을 방지하는 보조 용액을 공급하는 단계를 더 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 보조 용액은, 상기 폴리머를 포함하는 용액을 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 폴리머는 탄소 백본(carbon backbone)을 갖는 것을 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 폴리머는, 폴리비닐피로리돈(polyvinylpyrrolidone, PVP), 폴리스티렌(polystyrene, PS), 폴리아크릴로나이트릴(polyacrylonitrile, PAN), 또는 폴리메틸메타크릴레이트(polymethyl methacrylate, PMMA) 중에서 적어도 어느 하나를 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 베이스 입자를 열처리하는 것은, 화학기상증착(CVD) 장비를 이용하여 수행되는 것을 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 탄소층은 그래핀(graphene)을 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 금속 입자는 전이 금속(transition metal)을 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 금속 입자는 구리(Cu)를 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 베이스 입자는 800~900℃ 온도로 열처리되는 것을 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  11. 용기 내에 상기 폴리머 및 환원제를 포함하는 용액을 준비하는 단계;
    금속 원소를 포함하는 용액을 상기 용기 내에 공급하는 단계;
    상기 용기를 열처리하여, 상기 금속 원소를 포함하는 금속 입자의 외면에 상기 폴리머가 코팅된 베이스 입자를 생성하는 단계; 및
    상기 베이스 입자를 열처리하여, 상기 금속 입자의 외면에 코팅된 상기 폴리머를 탄소층으로 변환시키는 단계를 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 환원제는 복수의 수산기를 갖는 화합물을 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 용기는, 상기 베이스 입자를 열처리하는 온도보다 낮은 온도에서 열처리되는 것을 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  14. 제11 항에 있어서,
    상기 금속 원소를 포함하는 용액은, 상기 용기 내에 점적(點滴, dipping)되는 것을 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
  15. 제11 항에 있어서,
    상기 베이스 입자를 열처리하기 전,
    상기 베이스 입자에, 상기 베이스 입자 사이의 네킹(necking)을 방지하는 보조 용액을 공급하는 단계를 더 포함하는 금속-탄소 복합 입자의 제조 방법.
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