KR20150056182A - 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치 - Google Patents

오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치 Download PDF

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KR20150056182A
KR20150056182A KR1020130138844A KR20130138844A KR20150056182A KR 20150056182 A KR20150056182 A KR 20150056182A KR 1020130138844 A KR1020130138844 A KR 1020130138844A KR 20130138844 A KR20130138844 A KR 20130138844A KR 20150056182 A KR20150056182 A KR 20150056182A
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홍원석
신완호
송동근
민태진
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한국기계연구원
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    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
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    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays

Abstract

세정 대상에 부착된 유기물을 부상시키기 위해서, 상기 세정 대상을 침지시킬 수 있는 미세 기포 함유 수(水)를 저장하는 부상조; 및 상기 부상조의 미세 기포 함유 수에 침지되고 배출되는 세정 대상을 침지시킬 수 있는 오존 미세 기포 함유 수(水)를 저장하는 산화조; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치가 개시된다.

Description

오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치{APPARATUS FOR CLEANING ORGANIC MATTER USING FINE OZONE BUBBLE}
본 발명은 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치에 관한 것이다.
반도체나 OLED 제조와 같은 디스플레이 제조 공정에서는, 유기성 오염물이 부착된 기판, 반응기, 및 용기류가 발생된다.
종래, 반도체나 디스플레이 제조 공정에서는 기판 자체에 대한 세정 기술은 활발하게 연구되고 산업에 적용되고 있으나, 반응기나 용기류에 부착된 유기성 오염물을 제거하는 기술은 아직 수작업에 그치고 있는 실정이다.
최근 불산 누출, 유기성 오염물을 제거하기 위한 용제에 의한 화재, 또는 고농도 화학품에 의한 안전사고가 빈번히 발생 되면서 친환경적이고 자동화된 세정 기술이 요청되고 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 오존 용해율 향상과 소수성 유기물과의 접촉 기회 증가로 세척 및 오염물 분해 효과가 우수한 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치 및 이에 사용되는 노즐이 제공된다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 고농도 유기물 증착 대상물의 제거와 동시에 부상시켜 분리하여 재부착방지 기능을 동시에 달성할 수 있는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치 및 이에 사용되는 노즐이 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 세정 대상에 부착된 유기물을 부상시키기 위해서, 상기 세정 대상을 침지시킬 수 있는 미세 기포 함유 수(水)를 저장하는 부상조; 및
상기 부상조의 미세 기포 함유 수에 침지되고 배출되는 세정 대상을 침지시킬 수 있는 오존 미세 기포 함유 수(水)를 저장하는 산화조; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치가 제공될 수 있다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 오존 용해율 향상과 소수성 유기물과의 접촉 기회 증가로 세척 및 오염물 분해 효과가 우수하게 된다.
또한, 고농도 유기물 증착 대상물의 제거와 동시에 부상시켜 분리하여 재부착방지 기능을 동시에 달성될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치를 설명하기 위한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 MNB 발생부를 설명하기 위한 도면이고,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 MNB 발생부를 설명하기 위한 도면이고,
도 4 및 도 5는 제1 실시예에 따른 MNB 노즐을 설명하기 위한 도면들이고,
도 6 및 도 7은 제2 실시예에 따른 MNB 노즐을 설명하기 위한 도면들이고,
도 8과 도 9는 제3 실시예에 따른 MNB 노즐을 설명하기 위한 도면들이고,
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소와 연결(또는 작동적으로 연결)되어 있다고 언급되는 경우, 그것은 다른 구성요소와 직접 연결되거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 적어도 하나 이상 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 식각 영역은 라운드지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서 도면에서 예시된 영역들은 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다. 아래의 특정 실시예들을 기술하는데 있어서, 여러 가지의 특정적인 내용들은 발명을 더 구체적으로 설명하고 이해를 돕기 위해 작성되었다. 하지만 본 발명을 이해할 수 있을 정도로 이 분야의 지식을 갖고 있는 독자는 이러한 여러 가지의 특정적인 내용들이 없어도 사용될 수 있다는 것을 인지할 수 있다. 어떤 경우에는, 발명을 기술하는 데 있어서 흔히 알려졌으면서 발명과 크게 관련 없는 부분들은 본 발명을 설명하는데 있어 별 이유 없이 혼돈이 오는 것을 막기 위해 기술하지 않음을 미리 언급해 둔다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치(이하, '오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치')는, 부상조(1), 산화조(2), 린스조(3), 및 미세 기포 발생부(200)(이하, 'MNB 발생부'라고도 함)를 포함할 수 있다.
부상조(1)는, 세정 대상에 부착된 유기물을 부상시키기 위해서, 세정 대상을 침지시킬 수 있는 미세 기포 함유 수(水)를 저장한다.
부상조(1)에는 미세 기포 발생부(200)와 노즐(N1)에 의해 생성된 미세 기포가 존재한다. 이러한 미세 기포에 의해, 세정 대상에 부착된 유기물이 부상되게 된다.
본원 명세서에서 '미세 기포'라고 함은 예를 들면, 직경이 1 ~ 999 nano 사이즈의 기포 및/또는 1 ~ 999 micro 사이즈의 기포를 의미한다
산화조(2)는, 부상조(1)의 미세 기포 함유 수에 소정 시간 침지된 후 배출되는 세정 대상을 침지시킬 수 있는 오존 미세 기포 함유 수(水)를 저장한다.
산화조(2)에는 미세 기포 발생부(200)와 노즐(N2)에 의해 생성된 오존 미세 기포가 존재한다. 이러한 오존 미세 기포에 의해, 세정 대상에 잔존하는 유분 등이 제거될 수 있다.
린스조(3)는, 산화조(2)의 오존 미세 기포 함유 수에 소정 시간 침지된 후 배출되는 세정 대상을 세정시키기 위한 세정수를 저장한다.
미세 기포 발생부(200)는, 에어, 물, 및 오존 가스를 유입 받아, 미세 기포와 오존 미세 기포를 부상조(1)와 산화조(2)에서 생성시킬 수 있다.
상술한 본 발명의 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치를 이용하여, 실제 세정 대상을 세정하였으며, 그 결과를 도 10으로 나타내었다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
도 10을 참조하면, 사진 (a)는 세정전 유기물이 부착된 세정대상을 나타낸 것이고, 사진 (b)는 부상조에 세정 대상을 침지시킨 상태를 나타낸 것이고, 사진 (c)는 부상조를 통과한 상태의 세정 대상을 나타낸 것이고, 사진 (d)는 산화조에서 오존 미세 기포속에 세정 대상을 침지시켜 세정한 후의 상태를 나타낸 것이다.
도 10의 사진들로부터 알 수 있듯이, 세정 대상에 부착된 유기물이 깨끗하게 제거된 것을 알 수 있다. 즉, 본 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치는, 일차적으로 부상조에서 세정 대상에 부착된 유기물을 부상시켜 제거하고, 이차적으로 산화조에서 세정 대상에 잔존하는 유분을 오존 미세 기포를 이용하여 제거함으로써, 경제적이고 효과적으로 유기물을 제거할 수 있음을 알 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 MNB 발생부를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 MNB 발생부(이하, '제1 MNB 발생부'라고도 함)(200)는, 예를 들면 본 발명에 따른 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치에 사용될 수 있다.
제1 MNB 발생부(200)는, 에어를 펌핑하여 용존수-에어가 용해된 수(水)-를 저장하는 용해탱크(210)에 제공하는 펌프(P), 펌프(P)에 의해 펌핑된 에어가 용해탱크(210)로 이동될 수 있는 경로를 제공하는 제1라인(214), 제1라인(214)에 설치되어 압축공기를 제1라인(214) 내부에서 이동되는 물에 주입하는 인젝터(216), 에어를 압축하여 인젝터(216)로 배출하는 에어 컴프레서(218), 오존가스를 압축하여 배출하는 오존 가스 컴프레서(219)를 포함한다.
제1 MNB 발생부(200)는, 또한, 용해탱크(210)에 저장된 용존수가 노즐(N1)로 이동될 수 있는 경로를 제공한 제2라인(212)과, 용해탱크(210)에 저장된 용존수가 노즐(N2)로 이동될 수 있는 경로를 제공한 제3라인(213)과, 오존 가스 컴프레서(219)로부터 압축되어 배출되는 오존 가스가 노즐(N2)로 이동될 수 있는 경로를 제공하는 제4라인(221)을 더 포함할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 MNB 발생부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 MNB 발생부(이하, '제2 MNB 발생부'라고도 함)(300)는, 예를 들면 본 발명에 따른 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치에 사용될 수 있다.
제2 MNB 발생부(300)는, 에어를 펌핑하여 용존수-에어가 용해된 수(水)-를 저장하는 제1용해탱크(310)와 오존 가스가 용해된 수(水)를 저장하는 제2용해탱크(311)에 제공하는 펌프(P), 펌프(P)에 의해 펌핑된 에어가 제1용해탱크(310)로 이동될 수 있는 경로를 제공하는 제5라인(314), 펌프(P)에 의해 펌핑된 에어가 제2용해탱크(311)로 이동될 수 있는 경로를 제공하는 제6라인(315),제5라인(314)에 설치되어 압축공기를 제5라인(314) 내부에서 이동되는 물에 주입하는 인젝터(316), 제6라인(315)에 설치되어 압축공기를 제6라인(315) 내부에서 이동되는 물에 주입하는 인젝터(317), 에어를 압축하여 인젝터(316)로 배출하는 에어 컴프레서(318), 오존가스를 압축하여 인젝터(317)로 배출하는 오존 가스 컴프레서(319)를 포함한다.
제2 MNB 발생부(300)는, 또한, 제1용해탱크(310)에 저장된 용존수가 노즐(N1)로 이동될 수 있는 경로를 제공한 제7라인(312)와, 제2용해탱크(311)에 저장된 용존수가 노즐(N2)로 이동될 수 있는 경로를 제공한 제8라인(313)을 더 포함할 수 있다.
도 4 및 도 5는 제1 실시예에 따른 MNB 노즐을 설명하기 위한 도면이다.
도 4와 도 5를 참조하면, 제1 실시예에 따른 MNB 노즐(30)은 용존수 공급관(L3)에 연결되는 전단 노즐(32), 전단 노즐의 후단에 배치되고 용존수를 기포 형태로 분사하는 후단 노즐(37), 및 전단 노즐(32)과 후단 노즐(37)을 연결하는 브릿지(31)를 포함한다.
제1 실시예에 따른 MNB 노즐은, 예를 들면 도 1에서 부상조(1) 또는 산화조(2)에 위치되는 노즐들(N1, N2)로서 사용될 수 있다.
다른 예를 들면, 제1 실시예에 따른 MNB 노즐은, 도 2에서의 노즐(N1)로서 사용될 수 있다. 이러한 경우, 용존수 공급관(L3)은 도 2에서 도면 부호 212로 표시한 라인에 해당될 수 있다.
또 다른 예를 들면, 제1 실시예에 따른 MNB 노즐은, 도 3에서의 노즐들(N1, N2)로서 사용될 수 있다.. 이러한 경우, 용존수 공급관(L3)은 도 3에서 도면 부호 312 또는 313으로 표시한 라인에 해당될 수 있다.
제1 실시예에 따른 MNB 노즐을, 본 발명에 따른 유기물 세정 장치에 사용하는 경우, 세정 대상에 부착된 유기물이 보다 효과적으로 제거될 수 있다. 이는, 제1 실시예에 따른 MNB 노즐로부터 분사되는 미세 기포는 상당한 속도로 분사될 수 있는 구조를 가지고 있기 때문이다.
도 4와 도 5를 계속 참조하면, 전단 노즐(32)은 예를 들어 원통형의 부재일 수 있고 내부에 소정 직경을 갖는 내부 유로(f1)를 가지며 이 내부 유로(f1)의 입구인 제1 유입구(34) 및 출구인 제1 유출구(36)를 포함한다.
전단 노즐(32)의 제1 유입구(34)는 용존수 공급관(L3)에 연결되고, 제1 유입구(34)를 통해 전단 노즐(32)에 유입된 산소 용존수는 제1 유출구(36)를 통해 배출된다.
바람직한 실시예에서 제1 유출구(36)의 직경은 내부 유로(f1)의 직경보다 작다. 따라서 내부 유로(f1)를 흐르는 산소 용존수는 직경이 점차 줄어드는 유로(f2)를 지나면서 유속이 빨라지면서 제1 유출구(36)를 통해 배출된다.
후단 노즐(37)은 예를 들어 원통형의 부재일 수 있고 내부에 소정 직경을 갖는 내부 유로(f3)를 가지며 이 내부 유로(f3)의 입구인 제2 유입구(42) 및 출구인 제2 유출구(39)를 포함한다.
후단 노즐(37)의 제2 유입구(42) 전단 노즐(32)의 제1 유출구(36)에 인접하여 배치되고, 제2 유입구(42)를 통해 후단 노즐(37)에 유입된 산소 용존수는 제2 유출구(39)를 통해 배출된다.
바람직한 실시예에서 제2 유입구(42)의 직경은 전단 노즐(32)의 제1 유출구(36)의 직경보다 크고, 제2 유출구(39)의 직경은 제2 유입구(42)의 직경보다 크다. 이 때, 도시한 바와 같이 후단 노즐(37)의 직경이 제2 유입구(42)에서 제2 유출구(39)측으로 갈수록 점차 감소하였다가 다시 증가하는 구조를 가질 수도 있고, 대안적으로, 제2 유입구(42)에서 제2 유출구(39)측으로 갈수록 직경이 계속 증가하는 구조를 가질 수도 있다.
브릿지(31)는 전단 노즐(32)과 후단 노즐(39)을 연결하는 결합 부재이고, 바람직하게는 전단 노즐(32)의 제1 유출구(36)과 후단 노즐(37)의 제2 유입구(42)가 브릿지(31)에 의해 소정 거리 이격되도록 배치된다. 이에 따라, 제1 유출구(36)를 통해 전단 노즐(32)에서 배출된 산소 용존수가 후단 노즐(37)의 제2 유입구(42)로 유입될 때 제2 유입구(42)의 주위의 물(부상조 또는 산화조에 저장된 물)의 일부도 제2 유입구(42)에 같이 빨려들어가며 유입된다. 이에 의해, MNB 노즐(30)에서 생성되는 미세 기포는 상당한 속도로 분사되게 된다.
한편, 후단 노즐(37)은 제2 유출구(39)쪽으로 갈수록 직경이 점차 커지므로, 제2 유입구(42)로 유입된 산소 용존수 및 주위의 물(부상조 또는 산화조에 저장된 물)은 후단 노즐(37) 내에서 유로(f3)에서 유로(f4)를 지남에 따라 유속이 상대적으로 느려지지만 용존수 및 주위의 물이 팽창하며 기포가 형성될 수 있고, 이에 의해 제2 유출구(39)를 통해 기포 형태의 배출될 수 있다.
도 6 및 도 7은 제2 실시예에 따른 MNB 노즐을 설명하기 위한 도면들이다.
이러한 제2 실시예에 따른 MNB 노즐은, 예를 들면 도 1에서 부상조(1) 또는 산화조(2)에 위치되는 노즐들(N1, N2)로서 사용될 수 있다.
다른 예를 들면, 제2 실시예에 따른 MNB 노즐은, 도 2에서의 노즐(N2)로서 사용될 수 있다. 이러한 경우, 용존수 공급관(L3)은 도 2에서 도면 부호 213으로 표시한 라인에 해당되고, 에어 또는 오존 가스 공급관(L5)은 도 2에서 도면 부호 221로 표시한 라인에 해당된다.
도 6 및 도 7을 계속 참조하면, 제2 실시예의 MNB 노즐(130)은 도 4의 제1 실시예에 따른 MNB 노즐(30)과 유사한 구성을 가짐을 알 수 있다. 즉 MNB 노즐(130)이 전단 노즐(132), 후단 노즐(137), 및 이들을 연결하는 브릿지(131)를 포함하고 브릿지(131)에 의해 전단 노즐(132)의 유출구와 후단 노즐(137)의 유입구가 소정 거리 이격되어 배치된다. 또한 전단 노즐(132)과 후단 노즐(137)의 각각의 유입구와 유출구의 직경의 크기 관계도 제1 실시예에 따른 MNB 노즐(30)과 동일 또는 유사하다.
제2 실시예에 따른 MNB 노즐(130)에서 제2 에어 공급관(L5)이 후단 노즐(137)에 연결된다. 도시된 실시예에서 후단 노즐(137)은 유입구에서 유출구측으로 갈수록 직경이 감소하다가 다시 증가하는 구조를 가지며, 바람직하게는 에어 또는 오존 가스 공급관(L5)은 후단 노즐(137)의 직경이 가장 작은 부위(이하 “결합부”(135)라고 함)에서 후단 노즐(137)과 결합된다.
결합부(135)는 후단 노즐(137)의 둘레를 둘러싸며 이 둘레를 따라 하나 이상의 개구(h1)가 형성되어 있다. 또한 후단 노즐(137)은 합부(135)의 개구(h1)를 둘러싸는 덮개부(138)를 포함하고, 에어 또는 오존 가스 공급관(L5)은 이 덮개부(138)에 연결되어 공기가 연통한다.
이러한 구성에서, 후단 노즐(137)의 결합부(135)에서의 직경이 가장 작으므로 유속이 빠른 대신 유압이 낮고, 따라서 용존수가 후단 노즐(137)을 통과할 때, 도 7에 화살표로 나타낸 것처럼 에어 또는 오존 가스 공급관(L5)으로 유입된 에어 또는 오존 가스가 덮개부(138)와 하나 이상의 개구(h1)를 통과하여 후단 노즐(137)로 유입될 수 있다. 이렇게 유입된 에어는 후단 노즐(137)을 통과하는 산소 용존수와 혼합되고 이에 따라 산소 함유량이 높은 산소 용존수가 기포 형태로 후단 노즐(137)의 유출구(139)에서 배출될 수 있다.
도 8과 도 9는 제3 실시예에 따른 MNB 노즐을 설명하기 위한 도면이다.
이러한 제3 실시예에 따른 MNB 노즐은, 예를 들면 도 1에서 부상조(1) 또는 산화조(2)에 위치되는 노즐들(N1, N2)로서 사용될 수 있다.
다른 예를 들면, 제3 실시예에 따른 MNB 노즐은, 도 2에서의 노즐(N2)로서 사용될 수 있다. 이러한 경우, 용존수 공급관(L3)은 도 2에서 도면 부호 213으로 표시한 라인에 해당되고, 에어 또는 오존 가스 공급관(L5)은 도 2에서 도면 부호 221로 표시한 라인에 해당된다.
도 6의 제2 실시예와 비교할 때 도 8의 제3 실시예는 에어 또는 오존 가스 공급관(L5)과의 연결부(135)를 제외한 나머지 구성이 제2 실시예와 동일 또는 유사함을 알 수 있다. 그러므로 전단 노즐(135)과 후단 노즐(137)의 구성에 대해서는 설명을 생략하기로 한다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 결합부(135)는 후단 노즐(137)의 둘레를 둘러싸며 이 둘레를 따라 하나 이상의 개구(h2)가 형성되어 있다. 후단 노즐(137)은 이 개구(h2)를 둘러싸는 덮개부(138)를 포함하며, 제2 에어 공급관(L5)은 이 덮개부(138)에 연결되어 공기가 연통한다.
이 때 제2 실시예와 달리 제3 실시예에서의 개구(h2)의 방향이 후단 노즐(137) 내의 유로의 흐름방향과 평행한 방향으로 형성되어 있는 점에서 차이가 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
1: 부상조 2: 산화조
3: 린스조 210, 310, 311: 용해탱크
216, 316, 317: 인젝터 218, 318: 에어 컴프레서
219, 319: 오존 가스 컴프레서 200, 300: 미세 기포 발생부

Claims (7)

  1. 세정 대상에 부착된 유기물을 부상시키기 위해서, 상기 세정 대상을 침지시킬 수 있는 미세 기포 함유 수(水)를 저장하는 부상조; 및
    상기 부상조의 미세 기포 함유 수에 침지되고 배출되는 세정 대상을 침지시킬 수 있는 오존 미세 기포 함유 수(水)를 저장하는 산화조; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 부상조에 저장된 미세 기포 함유 수에 미세 기포를 생성하고, 상기 산화조에 저장된 오존 미세 기포 함유 수에 함유된 오존 미세 기포를 생성하는 미세 기포발생부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 미세 기포발생부는,
    물을 펌핑하여 공급하는 펌프, 제1라인을 통해서 상기 펌프로부터 물을 공급받은 제1용해탱크, 제2라인을 통해서 상기 펌프로부터 물을 공급받는 제2용해탱크, 상기 제1라인에 위치되어 상기 제1라인을 통해서 흐르는 물에 에어를 주입하기 위한 제1인젝터, 상기 제2라인에 위치되어 상기 제2라인을 통해서 흐르는 물에 오존 가스를 주입하기 위한 제2인젝터, 상기 부상조에 위치되며 상기 제1용해탱크에 저장된 저장수를 유입받아 미세 기포의 형태로 분사하는 제1노즐, 및 상기 산화조에 위치되며 상기 제2용해탱크에 저장된 저장수를 유입받아 오존 미세 기포의 형태로 분사하는 제2노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 미세 기포발생부는,
    물을 펌핑하여 공급하는 펌프, 제3라인을 통해서 상기 펌프로부터 물을 공급받은 용해탱크, 상기 제3라인에 위치되어 상기 제3라인을 통해서 흐르는 물에 에어를 주입하기 위한 인젝터, 상기 부상조에 위치되며 상기 용해탱크에 저장된 저장수를 유입받아 미세 기포의 형태로 분사하는 제1노즐, 및 상기 산화조에 위치되며 상기 용해탱크에 저장된 저장수를 유입받고 오존가스를 유입받아서 오존 미세 기포의 형태로 분사하는 제2노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 부상조에는 미세 기포 함유 수 생성을 위한 노즐이 위치되며,
    상기 노즐은,
    에어가 용해된 용해탱크로부터 유체를 유입받아 이를 배출하는 전단 노즐; 및
    상기 전단 노즐의 후단에 배치되어 상기 전단 노즐에서 배출된 유체를 유입받아 기포 형태로 배출하는 후단 노즐;을 포함하고,
    상기 전단 노즐과 상기 후단 노즐이 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 산화조에는 오존 미세 기포 함유 수 생성을 위한 노즐이 위치되며,
    상기 노즐은,
    오존가스가 용해된 용해탱크로부터 유체를 유입받아 이를 배출하는 전단 노즐; 및
    상기 전단 노즐의 후단에 배치되어 상기 전단 노즐에서 배출된 유체를 유입받아 기포 형태로 배출하는 후단 노즐;을 포함하고,
    상기 전단 노즐과 상기 후단 노즐이 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 산화조에는 오존 미세 기포 함유 수 생성을 위한 노즐이 위치되며,
    상기 노즐은,
    오존 가스 또는 에어가 용해된 용해탱크로부터 유체를 유입받아 이를 배출하는 전단 노즐; 및
    상기 전단 노즐의 후단에 배치되어 상기 전단 노즐에서 배출된 유체를 유입받아 기포 형태로 배출하는 후단 노즐;을 포함하며,
    후단 노즐에 오존 가스 또는 에어를 공급하는 공급관이 연결된 것을 특징으로 하는 오존 미세 기포를 이용한 유기물 세정 장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102128207B1 (ko) * 2019-11-06 2020-06-29 주식회사 일성 나노버블발생장치
WO2020189880A1 (ko) * 2019-03-18 2020-09-24 주식회사 일성 미세버블발생장치
KR20200111053A (ko) * 2019-03-18 2020-09-28 주식회사 일성 나노버블용해장치
WO2020222387A1 (ko) * 2019-04-30 2020-11-05 주식회사 일성 미세버블발생장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200240835Y1 (ko) * 2001-04-18 2001-10-11 김예정 오존수용 제트분사장치의 와류 발생장치
KR100625320B1 (ko) * 2005-03-18 2006-09-20 세메스 주식회사 기판 세정 설비의 기능수 공급 장치
JP2007083142A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Mitsubishi Electric Corp 洗浄方法および洗浄装置
KR101185890B1 (ko) * 2011-05-13 2012-09-25 (주)이엘이앤씨 대용량 미세기포 발생 시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200240835Y1 (ko) * 2001-04-18 2001-10-11 김예정 오존수용 제트분사장치의 와류 발생장치
KR100625320B1 (ko) * 2005-03-18 2006-09-20 세메스 주식회사 기판 세정 설비의 기능수 공급 장치
JP2007083142A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Mitsubishi Electric Corp 洗浄方法および洗浄装置
KR101185890B1 (ko) * 2011-05-13 2012-09-25 (주)이엘이앤씨 대용량 미세기포 발생 시스템

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020189880A1 (ko) * 2019-03-18 2020-09-24 주식회사 일성 미세버블발생장치
KR20200111053A (ko) * 2019-03-18 2020-09-28 주식회사 일성 나노버블용해장치
WO2020222387A1 (ko) * 2019-04-30 2020-11-05 주식회사 일성 미세버블발생장치
KR102128207B1 (ko) * 2019-11-06 2020-06-29 주식회사 일성 나노버블발생장치

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